JP2004221244A - 液処理装置及び液処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】洗浄液ノズルにおいて、ウエハの直径とほぼ同じ長さに亘って洗浄液吐出口を形成すると共に、洗浄液吐出口の前方側に同様な長さのガス吐出口を設け、更にガス吐出口の前方側に同様な長さの現像液の吸引口を設ける。この洗浄液ノズルをウエハの面に沿って一端側から他端側に移動させ、現像液の液面にガスを吹き付けながら現像液を吸引し、薄膜化された現像液の薄膜を洗浄液で洗浄する。
【選択図】 図6
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば表面にレジストが塗布されて、露光処理がされた半導体ウエハ、フォトマスク用のレチクル基板あるいはLCD基板(液晶ディスプレイ用ガラス基板)などに対して、現像液を供給して現像処理を行う液処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体ウエハの表面上に回路パターンを形成するためのマスクは、例えばウエハ表面にレジスト液の塗布を行い、光等の照射を行った後、レジストが例えばネガ形ならば光の当たった部分が硬化するので、硬化しない部分即ちレジストの溶けやすい部分を現像液により溶解することにより形成される。また、例えばポジ形レジストであれば露光された部分が現像液で溶解される。
【0003】
例えばネガ形のレジストが現像される様子について説明すると、図17に示すように、先に露光処理を終えた例えば半導体ウエハ(以下ウエハという)Wの表面のレジスト10に対して現像液を塗布した後、所定の時間その状態を保持させると、現像液に対して溶解性の部分11が溶解する。続いてウエハW上の現像液を洗浄液で洗い流し、乾燥させてレジストパターン12を得る。現像液を洗浄するためには、ウエハを回転させながらウエハの中心部に洗浄液を供給するスピン洗浄が行われていたが、この手法は中心部における現象液の置換効率が悪く、線幅が細る傾向があることから、基板を回転させずに、基板の最大幅と同等の長さを有する線状の洗浄液供給吐出口を持つノズルを基板全面にスキャンさせる言わばスキャン洗浄方法が開発されている(例えば、特許文献1参照)。また、角型基板であるLCD基板をスキャン洗浄する方法として、特許文献2の図8には洗浄液供給ノズルの前方側に吸引ノズルを連結し、吸引ノズルによりLCD基板上の現像液を吸引しながら、洗浄ノズルから洗浄液を吐出させる方法が記載されている。また特許文献2の図7には吸引ノズルの前方側に、窒素(N2)ガス吐出ノズルを配設して、ガス吐出ノズルから吐出したガスによって巻き上げられた現像液を吸引ノズルで吸引回収し、この吸引ノズルによるスキャンが終了した後、別途設けられた洗浄液供給ノズルによりスキャン洗浄を行って現像液を洗い流す方法が記載されている。
【0004】
【特許文献1】
特開平10−20508号公報(図2)
【特許文献2】
特開平8−45832号公報(図7、図8、段落0053及び0057)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献1に記載されたスキャンノズル洗浄方法は、現像液が静止している状態で洗浄液と置換していくので置換効率が悪く、十分な洗浄を行うためにはスキャン回数を多くしなければならず、スループットの低下の要因になるという課題がある。一方、特許文献2の図8に記載された現像液を吸引しながら洗浄液を供給する方法は、吸引されて少量となった現像液を洗浄液により置換するので置換効率は高いが、基板がウエハの場合にはノズルがウエハの直径に重なる位置以外においては、吸引口がウエハの周縁からはみ出すため、はみ出した吸引口が空吸いをしてその吸気作用によりウエハ周縁部近傍の現像液の吸引が乱れて現像液が吸引されずにウエハ上に残ってしまい、この結果、ウエハ面内での洗浄が不均一となり、面内均一性の高い現像液処理を行うことが困難になる。更にまた、特許文献2の図7に記載された方法は、現像液の吸引ノズルが通過した後、洗浄ノズルが通過するまでの間、吸引により薄膜化された現像液の液膜が乾燥してしまい、現像液成分が残存して予定の線幅が得られない懸念がある。
【0006】
この発明は、このような事情の下になされたものであり、その目的は、現像液の洗浄を短時間で行うことができ、また基板表面の薄膜の乾燥を防止し且つ面内均一性の高い液処理例えば現像処理を行うことのできる液処理装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、基板の表面に薬液を供給して処理を行い、次いで当該表面に洗浄液を供給して洗浄する液処理装置において、
基板を水平に保持する基板保持部と、
この基板表面に保持された基板の表面に薬液を供給する薬液供給ノズルと、
前記基板の有効領域の幅に対応する長さに亘って洗浄液吐出口が形成され、薬液が塗布された基板の表面に対して洗浄液を供給するための洗浄液ノズルと、
この洗浄液ノズルを、基板の一端側から他端側に亘って相対的に移動させる移動機構と、を備え、
前記洗浄液ノズルは、前記洗浄液吐出口の前方側に基板の有効領域の幅に対応する長さに亘って形成され、基板の表面にガスを吹き付けるガス吐出口と、このガス吐出口の前方側に基板の有効領域の幅に対応する長さに亘って形成され、基板上の薬液を吸引する薬液吸引口と、を備えたことを特徴とする。
【0008】
この発明によれば、吸引口から薬液を吸引しながら洗浄液を供給するようにしているので、洗浄液の置換効率が高い。また吸引口の後方側にて薬液の液膜にガスを吹き付けているので、薬液の吸引を確実に行うことができる。そして基板は、洗浄液ノズルの進行方向において幅が変化する形状であれば、例えば基板が半導体ウエハであれば、吸引口が基板からはみ出て空吸いが起こっても、ガスを吹き付けることにより薬液面が盛り上がるので基板の周縁部においても空吸いの影響をほとんどあるいは全く受けずに確実に吸引することができ、均一な洗浄を行うことができる。
【0009】
この発明は、例えばレジスト膜が形成されその後露光され、次いで現像液が盛られた基板の表面を洗浄する場合に適用できる。ガス吐出口と薬液吸引口との離間距離は、例えば10mmを越えない大きさであることが好ましい。またガス吐出口と洗浄液吐出口との間に、吸引口を設けるようにしてもよく、このようにすれば、ミストが発生した場合ミストを吸引して処理雰囲気にミストが舞うことを抑えることができる。更にまた洗浄液吐出口の後方側に更にガス吐出口を設けるようにしてもよい。そして薬液吸引口及びガス吐出口は、平面で見たときに中央部から両端側に向かうに従って連続的例えば直線状にあるいは段階的に後方側に変位するように形成するようにしてもよい。
【0010】
【発明の実施の形態】
本発明に係る液処理装置を現像装置に適用した第一の実施の形態について説明する。図1はこの実施の形態における現像装置の概略断面図であり、図2はその概略平面図である。図中2は基板である例えば8インチサイズのウエハWの裏面中心部を真空吸着し、水平に保持するスピンチャックであり、このスピンチャック2は駆動部20により回転及び昇降できるように構成さている。ウエハWがスピンチャック2に吸着保持された状態において、ウエハWの側周方を囲むようにして外カップ30と内カップ31とが設けられている。また内カップ31は円筒の上部側が上方内側に傾斜し、上部側開口部が下部側より狭くなるように形成されており、更には外カップ30が昇降部32により上昇すると、外カップ30の移動範囲の一部において連動して昇降するように構成されている。更にスピンチャック2の下方側には、スピンチャック2の回転軸を囲む円板33と、円板33の周り全周に亘って凹部を形成し、底面に排液口34が形成されている液受け部35とが設けられている。また円板33の周縁部には上端がウエハWの裏面に接近する断面山形のリング体36が設けられている。
【0011】
またこの現像装置は、スピンチャック2に吸着保持されたウエハWに現像液を供給(塗布)するための現像供給手段をなす現像液供給ノズル4と、ウエハW上の現像液を洗浄する洗浄液ノズル5とを備えている。現像液供給ノズル4は、例えば図1及び図3に示すように、例えばウエハWの有効領域(デバイスの形成領域)の幅と同じかそれ以上の長さに亘る現像液の吐出領域を形成できるように、ノズルの長さ方向に配列された例えばスリット形状の吐出口40と、この吐出口40に現像液流路41を介して連通される現像液貯留部42とを備えている。現像液貯留部42は、供給路43例えば配管を介して現像液供給部44と接続されており、その途中には開閉バルブV1が設けられている。現像液貯留部42の底面には例えばスリット状の現像液流路41が垂直に形成されており、この現像液流路41の下端は拡大されて、その拡大された空間には例えば石英棒あるいは多孔質体からなる緩衝棒45が設けられている。この緩衝棒45により流路41からの現像液の吐出圧力が現像液供給ノズル4の長さ方向で均一となり、また吐出口40からの現像液の液漏れが防止されるようになっている。このような現像液供給ノズル4は図2に示すように、第1の移動機構46により昇降自在であり、更には外カップ30の外側に設けられたガイドレールGに沿って横方向に移動可能に設けられている。なお、現像液供給ノズル4は前記した構成に限られず、例えば単にスリット形状の吐出口40が形成され、緩衝棒45を設けないようにしてもよい。
【0012】
洗浄液ノズル5は、図4に示すように、基板であるウエハWの有効領域(デバイスの形成領域)の幅に対応する長さに亘って形成された洗浄液吐出口50を備えている。前記有効領域の幅に対応する長さに亘ってとは、当該幅とほぼ同じかそれ以上の長さに亘ってということであり、洗浄液吐出口50はこの長さに亘ってスリット状に形成されているものであってもよいし、あるいは多数の吐出口が間隔をおいて配列されているものであってもよい。ウエハWは結晶の方向を示すオリエンテーションフラットやノッチが形成される部分を除くと円形であるからここでいう有効領域の幅とは言い換えればウエハWの直径にほぼ等しい長さである。
【0013】
洗浄液吐出口50の具体的な構成について説明すると、ノズル本体5a内には洗浄液貯留部52が形成されると共に洗浄液貯留部52の底部には垂直に(洗浄時の姿勢において)洗浄液流路51が形成され、この洗浄液流路51の下端部が洗浄液吐出口50として形成されている。洗浄液流路51の下端部のより詳しい構造を図4(b)に示すと、当該下端部は拡大されていて、その拡大部5b内には例えば石英や多孔質体からなる緩衝棒55が設けられている。また洗浄液貯留部52、洗浄液流路51及び緩衝棒55は、いずれもウエハWの有効領域の幅に対応する長さに亘って形成されている。また、洗浄液貯留部52には、供給路53及びバルブV2を介して洗浄液例えば純水を供給するための洗浄液供給部54に接続されている。
【0014】
そして、洗浄液吐出口50の前方側には段差が形成されていて、当該洗浄液吐出口50よりも高い位置に形成された面にガス吐出口60が設けられると共に更にこのガス吐出口60の前方側に吸引口(薬液吸引口)70が設けられている。これらガス吐出口60及び吸引口70は、各々ウエハWの有効領域の幅に対応する長さに亘って形成されている。この例ではガス吐出口60及び吸引口70は夫々例えばノズル本体5a内に垂直に形成されたガス流路61の下端開口部及び吸引路71の下端開口部に相当する。ガス流路61の基端側は配管62及びバルブV3を介して例えば窒素ガスなどの不活性ガスあるいは空気などを供給するためのガス供給部63に接続されており、吸引路71の基端側は配管72及びバルブV4を介して吸引手段73に接続されている。
【0015】
洗浄液ノズル5における各部の寸法の一例について記載すると、洗浄液吐出口50及びガス吐出口60の幅は例えば0.1〜3mmであり、現像液吸引口70の幅は例えば1〜5mmである。ウエハWから洗浄液吐出口50までの高さ位置L1は例えば0.1〜2mmに設定してあり、ガス吐出口60及び現像液吸引口70の高さ位置L2は夫々例えば2〜5mmに設定してある。また、洗浄液吐出口50とガス吐出口60との各中心部の離間距離が例えば8〜20mmであり、ガス吐出口60と現像液吸引口70との各中心部の離間距離が例えば4〜10mmである。なお、洗浄液ノズル5は前記した構成に限られず、洗浄液吐出口50において例えば単にスリット形状の吐出口50が形成され、緩衝棒55を設けないようにしてもよい。
【0016】
この洗浄液ノズル5は図2に示すように第2の移動機構56により昇降自在であり、更には待機位置例えばガイドレールGの一端側の位置からウエハWの上方側を通って前記待機位置とウエハWを挟んで対向する位置まで水平移動可能に設けられている。ここで図2において第1の移動機構46及び第2の移動機構56が夫々示されている位置は既述の非作業時における現像液供給ノズル4及び洗浄液ノズル5の待機位置であって、ここには、例えば上下可動の板状体により構成された第1の移動機構46及び第2の移動機構56の待機部57、58が設けられている。また外カップ30、内カップ31、昇降部32、第1の移動機構46及び第2の移動機構56は箱状の筐体59により囲まれた一ユニットとして形成されており、筐体59内には図示しない搬送口を介して図示しない搬送アームによりウエハWの搬入出がなされる。
【0017】
次に上述の現像装置を用いて現像処理する工程について図5を用いて説明する。先ず外カップ30及び内カップ31が共に下降位置に設定された状態にてスピンチャック2を外カップ30の上方まで上昇させ、既に前工程でレジストが塗布されて、露光処理が行われたウエハWが図示しない搬送アームからスピンチャック2に渡され、その後スピンチャック2を下降させる。
【0018】
続いて現像液供給ノズル4が第1の移動機構46により外カップ30とウエハWの周縁との間の所定位置に案内され、次いで吐出口40がウエハW表面レベルよりも例えば1mm程度高い吐出開始位置に設定される。そしてここでバルブV1を開いて吐出口40から現像液Dの吐出を開始しながら、図5(a)に示すように、当該現像液供給ノズル4をウエハWの一端側から他端側へ所定のスキャン速度で移動させてウエハWの表面に現像液Dを塗布して、膜厚が例えば1.0〜1.7mm程度の現像液膜を形成する。続いて図5(b)に示すように、この状態を所定時間例えば60秒程度保持する静止現象を行って現象反応を進行させる。一方、現像液供給ノズル4は、ウエハWの他端側を通過した後、開閉バルブV1を閉じて現像液Dの吐出を停止して待機部57に戻される。
【0019】
しかる後、洗浄液ノズル5が第2の移動機構56により吸引口70が基板の端に位置する様に移動される。この位置においては、洗浄液の吐出口50はウエハ上の現像液に接触しないことが好ましいが、現像液から離れ過ぎていると現像液を吸引させるためにガス吐出口60から吐出させるガスの圧力、流量を大きくしなければならないので効率が悪い。このためウエハW表面に対する洗浄液吐出口50の高さL1が例えば0.1〜2.0mmに設定される。またウエハWの表面に対するガス吐出口60及び吸引口70の高さL2が例えば2〜5mmになるように設定される。なお、ここでいうウエハW表面はレジスト膜の厚さが通常0.5μm程度であるからレジスト膜の厚さは高さL1とL2に比べて十分小さい。そして図5(c)に示すように、バルブV2、V3及びV4を開き、ガス吐出口60から窒素ガスあるいは空気等のガスをウエハWの表面、詳しくは現像液の液面に吹き付けると共に吸引口70から現像液を吸引しながら洗浄液の吐出口50から洗浄液R例えば純水を例えば1.0〜4リットル/分の流量、及び0.03〜0.3MPaの圧力でウエハWの表面に供給し、そして、洗浄液ノズル5を例えば20〜200mm/秒程度のスキャン速度で、好ましくは現像液供給ノズル4のスキャン速度と同じ速度でウエハWの一端側から他端側に亘って移動させる。この場合、ガス吐出口60からのガスの吐出流量は、例えば5〜40リットル/分、ガスの吐出圧は例えば0.1〜0.4MPaに設定され、また吸引口70からの現像液の吸引流量は例えば0.5〜4リットル/分に設定される。
【0020】
図6は現像液が洗浄液に置換される様子を示す図であり、ガス吐出口60からガスが現像液に吹き付けられると現像液の液膜が押圧されてその部位が例えば0.05〜0.5mm程度に基板表面が乾燥しない程度に薄膜化されると共にその反動で押圧された部位の前方側の現像液が盛り上がり、現像液面より高く設定された吸引口70に現像液が吸込まれ易くなる。また、洗浄液ノズル5がウエハWの直径上に位置していないときにも、ウエハWの周縁よりも外部に吸引口70が存在しここで空吸いが起こるが、ガスの吹き付けにより現像液を盛り上がらせ吸引するようにしているため、ウエハWの周縁付近の現像液は空吸いの影響をほとんどあるいは全く受けることなく、つまり空吸いの吸引口70にも引き寄せられようとして現像液が外側に膨らんで結果としてウエハW上に残ってしまうことなく、その上方にある吸引口70から確実に吸引されていく。このため吸引口70の後方側においては現像液は均一に薄膜化されており、薄膜化された液膜に洗浄液吐出口50からの洗浄液が供給され現像液が洗浄液に置換されるので均一に洗浄される。また現像液にガスを吹き付けて薄膜化し、そこに洗浄液を供給することにより次のような現像も起こっていると考えられる。即ち、吐出されたガスにより、ウエハW上の現像液Dに液流れが起きてレジストの溶解生成物が巻き上げられ、巻き上げられた溶解生成物は吸引口70から吸引されることによって前方側のパターンの谷間にあるレジストの溶解生成物(現象パドル)の表層部が掃き出される。そして溶解生成物が残っていた場合例えばパターンの底部や角部に溶解生成物が付着している場合には、直ぐ後に通過する洗浄液ノズル5の吐出口50から吐出された洗浄液Rに掃き出される。1回のスキャン洗浄によりウエハW表面が十分に洗浄されている場合には、昇降部32により外カップ30及び内カップ31が上昇位置に設定され、図5(d)に示すように、ウエハWをある程度乾燥させるために例えば4000rpm程度の回転数にてウエハWを回転させて洗浄液Rを振り切るスピン乾燥が行われる。なお、1回のスキャン洗浄ではウエハW表面の洗浄が不十分な場合には、後述のように更に洗浄工程を行ってもよい。スピン乾燥工程が終了した後は、ウエハWは図示しない搬送アームにより現像装置の外へ搬送されて現像処理が終了する。
【0021】
上述の実施の形態によれば、洗浄液ノズル5に設けた吸引口70から現像液Dを吸引して現像液Dの液膜を薄膜化し、吸引口70の直ぐ後から、この薄膜化された液膜に洗浄液Rを供給して洗浄するようにしているため洗浄液Rの置換効率が高い。スキャン洗浄の合計回数はパターンの線幅や現像液の種類等により適切な値が設定されることになるが、従来のように洗浄液ノズルから洗浄液だけを吐出させながら単にスキャンを行う場合に比べてスキャン洗浄におけるスキャン回数は少なく済み、スループットが向上する。そして吸引口70の後方側に設けられたガス吐出口60からガスを現像液Dに吹き付けて液面を盛り上がらせて現像液Dを吸引するようにしているため、洗浄液ノズル5の進行に伴ってその幅が変わっていく基板、この例ではウエハWに対しても、つまり既述のようにウエハWの周縁の外方にて空吸いが生じても、ガスが吹き付けられた部位の現像液Dは確実に吸引口70から吸引されていくので、面内において均一な洗浄を行うことができ、レジストパターンの均一性を損なうおそれもない。
【0022】
以上において洗浄液ノズル5の他の例について述べると、ガス吐出口60は、上述のように鉛直下向きに設ける構成に限られず、図7に示すように、前方斜めに設けるようにしてもよい。更にまた洗浄液吐出口50、ガス吐出口60及び吸引口70は、上述の図8に示すように、平面形状が前方側に突き出た山形(く字型)状に、即ち中央部よりも両端が後方に位置する形状に形成してもよく、このようにすれば、ガス吐出口60からガスが吹き付けられて盛り上がった現像液は洗浄液ノズル5が前進することにより、外方側に向かう力が加わって順次、外方側に押し出されていくのでウエハW上の現像液が洗浄液ノズル5の側方から流れ落ち易くなり、この結果洗浄液ノズル5がウエハWから離れる時にはウエハW上の残液は少なくなるので、表面張力によりウエハ上に現像液が残ることによる洗浄の不均一性を避けることができる。
【0023】
以下に洗浄液ノズル5の更に他の例について列挙して説明する。図9に示す例は、洗浄液吐出口50とガス吐出口60との間に、前記吸引口70と同様の吸引口70aを設けた構成を示し、このような構成によればガス吐出口60から吹き出されたガスにより現像液が押圧されるときにミストが発生したとしても、そのミストが吸引され、ミストの浮遊によりウエハWに再付着して現像欠陥が生じるといったおそれがなくなるし、また現像液の薄膜化を促進することができる。図10に示す例は洗浄液吐出口50の後方側に前記ガス吐出口60と同様のガス吐出口60aを設けた構成を示し、このようにすれば洗浄液にガスが吹き付けられるので洗浄液のより一層の攪拌が行われ、レジストパターン内の溶解生成物が掻き出されて高い洗浄効果が得られる。図11に示す例は、洗浄液ノズル5の進行方向に沿って既述の洗浄液吐出口50と同様の複数例えば3個のスリット形状の洗浄液吐出口50a、50b、50cを設けた例であり、この例では各洗浄液吐出口50a〜50cに対応する流路の夫々に流量調節が可能なように流量調整部例えば流量調整バルブV2a、V2b、V2cを設けている。この場合、各洗浄液吐出口50a〜50cの流量は同じに設定してもよいが、例えば粒子径の小さい不溶解物を先ず掃き出してから粒子径の大きいものを掃き出すようにするために例えば0.5〜4.0リットル/分の流量範囲において例えば前方側の洗浄液吐出口50aの流量が最も少なく、洗浄液吐出口50b、洗浄液吐出口50cの順に流量が多くなるように設定するのが好ましい。このような構成であっても上述の場合と同様な効果を得ることができ、更には洗浄液Rの供給量を多くすることにより、短い洗浄時間で洗浄することができる。
【0024】
更にまた、現象液吸引ノズル4と洗浄液ノズル5とを別個のノズルとする構成に限られず、例えば図12に示すように、供給路43、53を介して現像液供給部44と洗浄液供給部54とが夫々接続された共通の吐出口80を有する共通ノズルを備えた構成とし、各バルブV1、バルブV2の切り換えにより現像液Dあるいは洗浄液Rを供給するようにしてもよい。
【0025】
また洗浄液ノズル5は、図13に示すように洗浄液吐出口50とガス吐出口60との間に、洗浄液吐出口50よりも低い位置まで突出した突出部500をウエハWの有効領域の幅に対応する長さに亘って形成してもよい。このような突出部500を設ければ、ガス吐出口60から吐出するガスと洗浄液とを分断することができ、ガス吐出口60から吐出したガスがスキャン方向の上流側(図13では右側)に流れやすくなり、吸引口70が現像液をより一層吸引しやすくなるし、またガス吐出口60からの噴気によって舞上がった現像液のミストが洗浄液吐出口50へ飛散することを防止できるなどの利点がある。突出部500とウエハW表面との距離は特に限定されず、例えば図13のように洗浄液吐出口50とウエハWの表面との距離の半分程度であってもよいし、それよりも大きくてもよいし、更には0.1mm程度であってもよい。なお図13に示す突出部500は、既述の洗浄液ノズル5の全ての例に適用できる。
【0026】
図14は本発明における洗浄液ノズル5を用いたウエハW上の現像液を洗浄する工程の他の例を示す説明図である。図14(a)は既述のようにして現像を行い、次いでウエハWの一端側から他端側に亘ってスキャン洗浄を行った後、ウエハWの他端側から一端側に洗浄液ノズル5を移動させながら洗浄液をウエハW上に供給する。洗浄液ノズル5の復路においては、吸引及びガスの吐出は行われず洗浄液だけの供給が行われる。スキャン洗浄が終わった後、ウエハWを回転させることによりスピン乾燥が行われる。また図14(a)で行ったスキャン洗浄は複数回繰り返し行われてもよい(図14(b))。また、スキャン洗浄の後、ウエハWを回転させながらウエハWの中心部に洗浄液を供給する回転リンスを行い、その後スピン乾燥を行ってもよい(図14(c))。更にまた、現像液供給ノズル4をウエハWの一端側から他端側に移動させながら現像液を供給する工程を行った後、直ぐに図5にて説明したと同様にして洗浄液ノズル5により洗浄を行い、次いでスピン乾燥を行い、しかる後、再度同様にして現像液の供給、洗浄液の供給及びスピン乾燥を繰り返してもよい(図14(d))。図14(d)では、一連の工程を2回繰り返している例を示しているが、3回以上繰り返すようにしてもよい。
【0027】
続いて上述の現像装置を組み込んだ塗布・現像装置の一例について図15及び図16を参照しながら説明する。図中B1は基板であるウエハWが例えば13枚密閉収納されたカセットCを搬入出するためのカセット細載置部であり、カセットCを複数個載置可能な載置部91aを備えた載置台91と、この載置台91から見て前方の壁面に設けられる開閉部92と、開閉部92を介してカセットCからウエハWを取り出すための受け渡し手段93とが設けられている。
【0028】
カセット載置部B1の奥側には筐体100にて周囲を囲まれる処理部B2が接続されており、この処理部B2には手前側から順に加熱・冷却系のユニットを多段化した棚ユニットU1、U2、U3と、塗布装置及び現像装置を含む各処理ユニット間のウエハWの受け渡しを行う主搬送手段101A、101Bとが交互に配列して設けられている。即ち、棚ユニットU1、U2、U3及び主搬送手段101A、101Bはカセット載置部B1側から見て前後一列に配列されており、各々の接続部位には図示しないウエハ搬送用の開口部が形成されており、ウエハWは処理部B1内を一端側の棚ユニットU1から他端側の棚ユニットU2まで自由に移動できるようになっている。また主搬送手段101A、101Bは、カセット載置部B1から見て前後方向に配置される棚ユニットU1、U2、U3側の一面部と、例えば右側の塗布装置(COT)及び現像装置(DEV)を含む液処理ユニットU4、U5側の一面部と、左側の一面部をなす背面部とで構成される区画壁102により囲まれる空間内に置かれている。また図中103、104は各ユニットで用いられる処理液の温度調整装置や温湿度調整用ダクト等を備えた温湿度調節ユニットである。
【0029】
処理部B2における棚ユニットU3の奥側には、例えば第1の搬送室106及び第2の搬送室107からなるインターフェイス部B3を介して露光部B4が接続されている。インターフェイス部B3の内部には処理部B2と露光部B4との間でウエハWの受け渡しを行うための2つの受け渡し手段108、109の他、棚ユニットU6及びバッファカセットC0が設けれている。
【0030】
この装置におけるウエハの流れについて一例を示すと、先に外部からウエハWの収納されたカセットCが載置台91に載置されると、開閉部92と共にカセットCの蓋体が外されて受け渡し手段93によりウエハWが取り出される。そしてウエハWは棚ユニットU1の一段をなす受け渡しユニット(図示せず)を介して主搬送手段101Aへと受け渡され、棚ユニットU1〜U3内の一の棚にて、塗布処理の前処理として例えば疎水化処理、冷却処理が行われ、しかる後塗布ユニットCOTにてレジスト液が塗布される。こうして表面にレジスト膜が形成されると、ウエハWは棚ユニットU1〜U3の一の棚をなす加熱ユニットで加熱され、更に冷却された後棚ユニットU3の受け渡しユニットを経由してインターフェイス部B3へと搬入される。このインターフェイス部B3においてウエハWは例えば受け渡し手段108→棚ユニットU6→受け渡し手段109という経路で露光部B4へ搬送され、露光が行われる。露光後、棚ユニットU1〜U3の一つの棚をなす加熱ユニットで加熱され、更に冷却された後、ウエハWは逆の経路で主搬送手段101Aまで搬送され、現像ユニットDEVにて現像されることでレジストマスクが形成される。しかる後ウエハWは載置台91上の元のカセットCへと戻される。
【0031】
【発明の効果】
以上により本発明によれば、現像液の洗浄を短時間で行うことができ、また基板表面の薄膜の乾燥を防止し且つ面内均一性の高い液処理例えば現像処理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の液処理装置の実施の形態に係る現像装置を示す縦断面図である。
【図2】本発明の液処理装置の実施の形態に係る現像装置を示す平面図である。
【図3】前記現像装置に用いられる現像液供給ノズルを示す縦断面図である。
【図4】前記現像装置に用いられる洗浄液ノズルを示す縦断面図、一部拡大断面図及び平面図である。
【図5】前記現像装置を用いた現像処理及び洗浄工程を示す説明図である。
【図6】前記洗浄工程の様子を示す説明図である。
【図7】本発明の液処理装置に用いられる洗浄液ノズルの他の例を示す縦断面図である。
【図8】本発明の液処理装置に用いられる洗浄液ノズルの更に他の例を示す平面図である。
【図9】本発明の液処理装置に用いられる洗浄液ノズルの上記以外の例を示す縦断面図である。
【図10】本発明の液処理装置に用いられる洗浄液ノズルの上記以外の例を示す縦断面図である。
【図11】本発明の液処理装置に用いられる洗浄液ノズルの上記以外の例を示す縦断面図である。
【図12】本発明の液処理装置に用いられる洗浄液ノズルの上記以外の例を示す縦断面図である。
【図13】本発明の液処理装置に用いられる洗浄液ノズルの上記以外の更に他の例を示す縦断面図である。
【図14】前記液処理装置を用いた洗浄工程の他の例を示す説明図である。
【図15】本発明に係る液処理装置を組み込んだ塗布、現像装置の一例を示す平面図である。
【図16】本発明に係る液処理装置を組み込んだ塗布、現像装置の一例を示す斜視図である。
【図17】現像処理工程の流れを示す説明図である。
【符号の説明】
W ウエハ
2 スピンチャック
31 内カップ
4 現像液供給ノズル
40 現像液吐出口
44 現像液供給部
5 洗浄液ノズル
50 洗浄液吐出口
54 洗浄液供給部
60 ガス吐出口
63 気体供給部
70 吸引口
73 吸引手段
V1、V2、V3、V4 バルブ
R 洗浄液
D 現像液
Claims (8)
- 基板の表面に薬液を供給して処理を行い、次いで当該表面に洗浄液を供給して洗浄する液処理装置において、
基板を水平に保持する基板保持部と、
この基板表面に保持された基板の表面に薬液を供給する薬液供給ノズルと、
前記基板の有効領域の幅に対応する長さに亘って洗浄液吐出口が形成され、薬液が塗布された基板の表面に対して洗浄液を供給するための洗浄液ノズルと、
この洗浄液ノズルを、基板の一端側から他端側に亘って相対的に移動させる移動機構と、を備え、
前記洗浄液ノズルは、前記洗浄液吐出口の前方側に基板の有効領域の幅に対応する長さに亘って形成され、基板の表面にガスを吹き付けるガス吐出口と、このガス吐出口の前方側に基板の有効領域の幅に対応する長さに亘って形成され、基板上の薬液を吸引する薬液吸引口と、を備えたことを特徴とする液処理装置。 - 基板は、洗浄液ノズルの進行方向において幅が変化する形状であることを特徴とする請求項1記載の液処理装置。
- 基板は半導体ウエハであることを特徴とする請求項1記載の液処理装置。
- ガス吐出口と薬液吸引口との離間距離は、10mmを越えない大きさであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の液処理装置。
- ガス吐出口と洗浄液吐出口との間に、吸引口を備えたことを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の液処理装置。
- 洗浄液吐出口の後方側に更にガス吐出口を備えたことを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の液処理装置。
- 薬液吸引口及びガス吐出口は、平面で見たときに中央部から両端側に向かうに従って連続的にあるいは段階的に後方側に変位するように形成されていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の液処理装置。
- 基板はレジスト膜が形成されその後露光されたものであり、薬液は現像液であることを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の液処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003005839A JP3899319B2 (ja) | 2003-01-14 | 2003-01-14 | 液処理装置及び液処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003005839A JP3899319B2 (ja) | 2003-01-14 | 2003-01-14 | 液処理装置及び液処理方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004221244A true JP2004221244A (ja) | 2004-08-05 |
JP2004221244A5 JP2004221244A5 (ja) | 2005-07-28 |
JP3899319B2 JP3899319B2 (ja) | 2007-03-28 |
Family
ID=32896397
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003005839A Expired - Fee Related JP3899319B2 (ja) | 2003-01-14 | 2003-01-14 | 液処理装置及び液処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3899319B2 (ja) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041115 |
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A521 | Written amendment |
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A977 | Report on retrieval |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100105 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130105 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160105 Year of fee payment: 9 |
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