JP2015170752A - 基板収納容器 - Google Patents
基板収納容器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015170752A JP2015170752A JP2014045115A JP2014045115A JP2015170752A JP 2015170752 A JP2015170752 A JP 2015170752A JP 2014045115 A JP2014045115 A JP 2014045115A JP 2014045115 A JP2014045115 A JP 2014045115A JP 2015170752 A JP2015170752 A JP 2015170752A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container body
- air supply
- container
- substrate storage
- storage container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】半導体ウェーハWを収納するフロントオープンボックスの容器本体1と、容器本体1に取り付けられて容器本体1の外部から内部に不活性ガスを供給可能な給気バルブ40とを備え、容器本体1の正面2を開口させた状態で容器本体1内のエアをパージする基板収納容器であり、容器本体1の底板3の前部両側に取付孔8をそれぞれ穿孔し、各取付孔8に給気バルブ40を嵌着するとともに、各給気バルブ40の容器本体1内に臨む給気口44を、不活性ガスを斜め上方に案内する吹出しカバー50により被覆し、取付孔8から容器本体1の後方に向かう直線と吹出しカバー50の吹出し開口部とに0°〜20°の角度を形成させ、一対の吹出しカバー50の吹出し開口部53を相互に対向させる。
【選択図】図2
Description
容器本体の底板の前部両側に取付孔をそれぞれ設け、この複数の取付孔に給気部材をそれぞれ取り付けるとともに、この複数の給気部材の容器本体内に臨む給気口を、パージ用の気体を斜め上方に案内する吹出しカバーによりそれぞれ被覆し、取付孔から容器本体の後方に向かう直線と吹出しカバーとに0°〜20°の角度を形成させ、複数の吹出しカバーの吹出し開口部を対向させるようにしたことを特徴としている。
また、給気部材のハウジングの上部を容器本体内に臨ませ、このハウジングの上部端面の一部分に給気口を設けるとともに、この給気口を容器本体の側壁寄りに位置させ、ハウジングの上部端面の一部分側に吹出しカバーを設けることができる。
さらに、気体供給管に逆止弁を接続することが可能である。
請求項5記載の発明によれば、容器本体の底板前部の給気バルブから底板後部の接続用の給気バルブにパージ用の気体が逆流するのを防止することが可能になる。
この場合、各吹出しカバー50の吹出し開口部53が直線SLと平行になり、各吹出し開口部53から吹き出る不活性ガスが容器本体1の開口した正面2と平行な流れを形成するので、外部から容器本体1内へダウンフローされるクリーンエアの侵入を効果的に防止することができる。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
2 正面
3 底板
5 側壁
8 取付孔
20 蓋体
40 給気バルブ(給気部材)
40A 給気バルブ(給気部材)
41 第一のハウジング
42 第二のハウジング
44 給気口
46 継手
47 気体供給管
48 逆止弁
50 吹出しカバー
51 起立壁
52 傾斜偏向壁
53 吹出し開口部
60 パージ装置
61 蓋体開閉装置
62 EFEM
63 ファンフィルターユニット
S 澱み
SL 直線
W 半導体ウェーハ(基板)
θ1 傾斜偏向壁の傾斜角度
θ2 取付孔から容器本体の後方に向かう直線と吹出し開口部との間の角度
Claims (5)
- 基板を収納するフロントオープンボックスの容器本体と、この容器本体に取り付けられて容器本体の外部から内部にパージ用の気体を供給可能な給気部材とを備え、容器本体の正面を開口させた状態で容器本体内の気体をパージする基板収納容器であって、
容器本体の底板の前部両側に取付孔をそれぞれ設け、この複数の取付孔に給気部材をそれぞれ取り付けるとともに、この複数の給気部材の容器本体内に臨む給気口を、パージ用の気体を斜め上方に案内する吹出しカバーによりそれぞれ被覆し、取付孔から容器本体の後方に向かう直線と吹出しカバーとに0°〜20°の角度を形成させ、複数の吹出しカバーの吹出し開口部を対向させるようにしたことを特徴とする基板収納容器。 - 吹出しカバーは、給気部材に設けられて容器本体内に臨む起立壁と、この起立壁と一体化され、給気部材の給気口の上方に傾斜して位置する傾斜偏向壁とを含み、これら起立壁と傾斜偏向壁とにより吹出し開口部を区画し、傾斜偏向壁の傾斜角度を15°〜50°とした請求項1記載の基板収納容器。
- 給気部材のハウジングの上部を容器本体内に臨ませ、このハウジングの上部端面の一部分に給気口を設けるとともに、この給気口を容器本体の側壁寄りに位置させ、ハウジングの上部端面の一部分側に吹出しカバーを設けた請求項1又は2記載の基板収納容器。
- 容器本体の底板後部に接続用の給気部材を複数取り付け、この複数の接続用の給気部材と給気部材とを気体供給管により接続した請求項1、2、又は3記載の基板収納容器。
- 気体供給管に逆止弁を接続した請求項4記載の基板収納容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014045115A JP6165653B2 (ja) | 2014-03-07 | 2014-03-07 | 基板収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014045115A JP6165653B2 (ja) | 2014-03-07 | 2014-03-07 | 基板収納容器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015170752A true JP2015170752A (ja) | 2015-09-28 |
JP6165653B2 JP6165653B2 (ja) | 2017-07-19 |
Family
ID=54203216
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014045115A Active JP6165653B2 (ja) | 2014-03-07 | 2014-03-07 | 基板収納容器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6165653B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20230135559A (ko) | 2022-03-15 | 2023-09-25 | 주식회사 히타치하이테크 | 진공 처리 장치 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7421939B2 (ja) | 2020-01-30 | 2024-01-25 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003017553A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-17 | Semiconductor Leading Edge Technologies Inc | 基板収納容器、基板搬送システム及びガス置換方法 |
JP2003170969A (ja) * | 2001-12-06 | 2003-06-17 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 収納容器 |
JP2005033118A (ja) * | 2003-07-11 | 2005-02-03 | Tdk Corp | パージ装置およびパージ方法 |
JP2008535283A (ja) * | 2005-04-04 | 2008-08-28 | インテグリス・インコーポレーテッド | 制御環境を有するレチクルsmifポッド |
JP2013513951A (ja) * | 2009-12-10 | 2013-04-22 | インテグリス・インコーポレーテッド | 微小環境中に均一に分布した浄化ガスを得るための多孔質バリア |
JP2013153036A (ja) * | 2012-01-25 | 2013-08-08 | Tdk Corp | ガスパージ装置及び該ガスパージ装置を有するロードポート装置 |
-
2014
- 2014-03-07 JP JP2014045115A patent/JP6165653B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003017553A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-17 | Semiconductor Leading Edge Technologies Inc | 基板収納容器、基板搬送システム及びガス置換方法 |
JP2003170969A (ja) * | 2001-12-06 | 2003-06-17 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 収納容器 |
JP2005033118A (ja) * | 2003-07-11 | 2005-02-03 | Tdk Corp | パージ装置およびパージ方法 |
JP2008535283A (ja) * | 2005-04-04 | 2008-08-28 | インテグリス・インコーポレーテッド | 制御環境を有するレチクルsmifポッド |
JP2013513951A (ja) * | 2009-12-10 | 2013-04-22 | インテグリス・インコーポレーテッド | 微小環境中に均一に分布した浄化ガスを得るための多孔質バリア |
JP2013153036A (ja) * | 2012-01-25 | 2013-08-08 | Tdk Corp | ガスパージ装置及び該ガスパージ装置を有するロードポート装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20230135559A (ko) | 2022-03-15 | 2023-09-25 | 주식회사 히타치하이테크 | 진공 처리 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6165653B2 (ja) | 2017-07-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10727100B2 (en) | Load port and EFEM | |
JP6400534B2 (ja) | 基板収納容器 | |
KR102068368B1 (ko) | 기판 수용 용기의 퍼지 장치 및 퍼지 방법 | |
JP2022095763A (ja) | 側方収納ポッド、機器フロントエンドモジュール、及び、基板を処理する方法 | |
JP6367153B2 (ja) | 基板収納容器 | |
US7789609B2 (en) | Lid opening/closing system for closed container and substrate processing method using same | |
WO2016013536A1 (ja) | 基板収納容器 | |
JP2021068919A (ja) | ロードポート | |
JP2021090072A (ja) | ドア開閉システムおよびドア開閉システムを備えたロードポート | |
US10453723B2 (en) | Gas purge filter | |
US9536765B2 (en) | Load port unit and EFEM system | |
US10522379B2 (en) | Substrate transfer apparatus | |
TW201503966A (zh) | 設備前端模組,載入埠 | |
JP6431440B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP2021015979A (ja) | 基板容器システム | |
US20150235885A1 (en) | Purge system, pod used with purge system, and load port apparatus | |
JP6695945B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP6165653B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP6553498B2 (ja) | 基板収納容器 | |
TWI803613B (zh) | 裝載端口以及設備前端模組 | |
JP2011187712A (ja) | 基板収納容器及びその搬送設備 | |
JP7032521B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP2018110246A (ja) | Efem | |
JP6721852B2 (ja) | ロードポート | |
US20240321614A1 (en) | Valve cover and substrate carrier using the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160908 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170607 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170620 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170621 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6165653 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |