WO2003078884A1

WO2003078884A1 - Joint de tuyau

Info

Publication number: WO2003078884A1
Application number: PCT/JP2003/003293
Authority: WO
Inventors: Kazuhiko Sugiyama; Keiko Hada; Eiji Ideta; Nobukazu Ikeda; Naofumi Yasumoto; Michio Yamaji
Original assignee: Tokyo Electron Limited; Fujikin Incorporated
Priority date: 2002-03-20
Filing date: 2003-03-19
Publication date: 2003-09-25
Also published as: AU2003221426A1; EP1486715A1; IL164121A0; DE60319352D1; EP1486715B1; TWI289642B; KR100981082B1; IL164121A; DE60319352T2; CA2479708A1; CN100390455C; US20050179259A1; JP2004053006A; CN1643289A; TW200306395A; JP3538737B2; EP1486715A4; KR20040093162A; US7497482B2

Description

明細書管継手技術分野

この発明は、管継手に関し、特に合成樹脂製の継手部材同士をねじ手段で連結する管継手に'関する。背景技術

例えば半導体製造用の流体制御装置では、一対の管状継手部材と、両継手部材の突合わせ端面に介在させられる環状ガスケットと、両継手部材を連結するねじ手段とを備えている管継手がよく使用されている。この種の管継手では、管状継手部材およびガスケットが金属製、例えば S U S 3 1 6 Lなどのステンレス鋼製とされるのが一般的であった。

上記従来のステンレス鋼製管継手では、半導体製造過程で種々の流 ¾：が流されるが、流体の中には酸性フッ化アンモンなどのように金属を腐食させる性質が高いものも含まれており、その改良が要望されている。そこで、ステンレス鋼などの金属に代えて、 P F Aなどの合成樹脂で管継手の各部材を形成することが考えられるが、合成樹脂の場合には、金属製のもの,に比べて、形状の経時変化（応力緩和、コールドフロ一など）が大きく、突き合わせ部分での部材間に生じている面圧が徐々に低下し、これによつて流体の漏れが起こる懸念がある。

この発明の目的は、流体に接触する部分を合成樹脂製とするとともに、時間が経過しても流体漏れ防止性能が維持される管継手を提供することにある。発明の開示

第 1 の発明による管継手は、第 1 および第 2 の合成樹脂製管状継手部材と、両継手部材の突き合わせ部分に介在される合成樹脂製ガスケットと、両継手部材を連結するねじ手段とを備えている管継手において、第 1 継手部材の突き合わせ端面に、ガスケットの全部が嵌め入れられた状態で開口部が残るように環状の凹部が設けられるとともに、第 2 継手部材の突き合わせ端面に環状の凸部が設けられて、ガスケットが嵌め入れられた凹部の開口部に凸部が嵌まり合っており、管継手の適正締め付け状態では、第 1 継手部材の凹部内面と第 2 継手部材の凸部外面とがガスケットを介してほほ'全面で密着するとともに、第 1 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向内側の部分と第 2 継手部材の突き合わせ端面の凸部よりも径方向内側の部分とがほぼ全面で密着し、第 1 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向外側の部分と第 2 継手部材の突き合わせ端面の凸部よりも径方向外側の部分もほぼ全面で密着することを特徴とするものである。

第 2 の発明による管継手は、第 1 および第 2 の合成樹脂製管状継手部材と、両継手部材を連結するねじ手段とを備えている管継手において、第 1 継手部材の突き合わせ端面に環状の凹部が設けられるとともに、第 2 継手部材の突き合わせ端面に環状の凸部が設けられ、管継手の適正締め付け状態では、第 1 継手部材の凹部内に第 2 継手部材の凸部が嵌り合って凹部内面と凸部外面とがほぼ全面で密着するとともに、第 1 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向内側の部分と第

2 継手部材の突き合わせ端面の凸部よりも径方向内側の部分とがほぼ全面で密着し、第 1 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向外側の部分と第 2 継手部材の突き合わせ端面の凸部よりも径方向外側の部分もほぼ全面で密着することを特徴とするものである。

第 2 の発明による管継手において、第 2 継手部材の凸部は、第 2 継手部材に一体に成形された一体部と、一体部とは別体に成形された別体部とよりなり、管継手の適正締め付け状態では、第 2 継手部材の凸部一体部と第 2 継手部材の凸部別体部.とが密着するようにしてもよい。

第 3 の発明による管継手は、第 1 および第 2 の合成樹脂製管状継手部材と、両継手部材の突き合わせ部分に介在される合成樹脂製ガスケットと、両継手部材を連結するねじ手段とを備えている管継手において、各継手部材の突き合わせ端面に、継手部材同士が突き合わされた際にガスケットが収納されるガスケット収納部を形成するための環状の凹部がそれぞれ設けられており、管継手の適正締め付け状態では、第 1 継手部材の凹部内面のほぼ全面がガスケットに密着し、同凹部から露出しているガスケットの面が第 2 継手部材の凹部内面のほぼ全面に密着するとともに、第 1 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向内側の部分と第 2継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向内側の部分とがほぼ全面で密着し、第 1 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向外側の部分と第 2継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向

3 - 外側の部分もほぼ全面で密着することを特徴とするものである。

上記第 1 から第 3 までの発明の管継手によると、流体に接触する部分が合成樹脂製でありながら、時間が経過しても流体漏れ防止性能が維持される管継手が得られる。第 2 の発明の管継手は、さらに部品数を少なくできるという利点を有しており、第 3 の発明の管継手は、' 管継手分解時にガスケットを外しやすいとレう利点を有している。

第 3 の発明による管継手において、第 1 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向内側の部分が径方向外側の部分よりも軸方向に突出しており、第 2 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向内側の部分も径方向外側の部分よりも軸方向に突出していることがあり、また、第 1 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向内側の部分が凹部の底面と面一であり、径方向外側の部分は凹部の底面より軸方向に突出しており、 .第 2 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向内側の部分が凹部の底面よりも軸方向に突出し、径方向外側の部分は凹部の底面よりも軸方向に凹んでいることがあり、さらにまた、第 1 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向内側の部分が凹部の底面よりさらに凹んでおり、径方向外側の部分は凹部の底面より軸方向に突出しており、第 2 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向内側の部分が凹部の底面よりも軸方向に突出し、径方向外側の部分は凹部の底面よりもさらに軸方向に凹んでいることがある。

上記各発明の管継手は、管継手を手で締め付けた状態において、第 1 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向内側の部分と第 2 継手部材の突き合わせ端面の凸部または凹部よりも径方向内側の部分との間に、第 1 の間隙が存在し、第 1 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向外側の部分と第 2 継手部材の突き合わせ端面の凸部または凹部よりも径方向外側の部分との間に、第 1 の間隙よりも大きい第 2 の間隙が存在しているものであることが好ましい。このようにすると、適正締め付け状態では、 S圧が大の部分、面圧が中の部分および面圧が小の部分が存在し、使用期間の前半は、面圧大の部分における圧力が低下するが、この期間中には、面圧が中の部分の圧力低下が抑えられることから、所定レベル以上の流体漏れ防止性能を長く保持することができる。

第 1 の間隙は、 0 . 1 m m以上 0 . 4 m m以下が好ましく、 0 . 1 5 mm以上 0 . 3 mm以下がより好ましい。第 2 の間隙は、 0 . 2 mm以上 0 . 6 mm以下が好ましく、 0 . 2 5 m m以上 0 . 5 m m以下がより好ましい。また。第 2 の間隙と第 1 の間隙との差は、 0 . 0 5 m m以上 0 . 3 m m'以下が好ましく、 0 . 1 mm以上 0 . 2 mm以下がより好ましい。

上記各発明の管継手において、各継手部材の突き合わせ端部に、フランジ部が設けられており、ねじ手段は、いずれか一方の継手部材のフランジ部に先端面が当接する環状のおねじ部材と、他方の継手部材側から嵌め入れられて同継手部材のフランジ部に頂壁が当接しかつおねじ部材にねじ合わされる袋ナットとよりなることがある。おねじ部材および袋ナツトは、継手部材内を流れる流体に接触することはなく、金属製であってもよく、合成樹脂製であってももちろんよい。おねじ部材に対して袋ナツトを締め付けていくことにより、各継手部材のフランジ部が軸方向内向きに押され、これにより、両継手部材同士が流体密に結合される。

また、上記各発明の管継手において、おねじ部材と継手部材のフランジ部との間および袋ナツトの頂壁と継手部材のフランジ部との間のうちの少なくとも一方に、一方の継手部材を他方の継手部材に向かって付勢する付勢部材が介在されていることがあり、また、袋ナットの内径と両継手部材のフランジ部外径との間に環状の間隙が形成されて、この間隙に環状のスぺ一サが納められており、袋ナットの頂壁とスぺ一サとの間およびおねじ部材とスぺーサとの間のうちの少なくとも一方に、一方の継手部材を他方の継手部材に向かって付勢する付勢部材が介在されていることがある。このようにすると、合成樹脂製の継手部材およびガスケッ卜が経時変化（応力緩和、コールドフローなど）したとしても、一方の継手部材が他方の継手部材に向かって常に付勢されていることから、流体漏れ防止性能への影響が大きい面圧を維持することができ、より確実に流体漏れ防止性能が確保される。

さらにまた、袋ナットの頂壁と継手部材のフランジ部との間に、合成樹脂製のスラストリングが介在されていることが好ましい。このようにすると、袋ナットを回転させて締め付けていった場合に、スラストリングが袋ナツトおよび継手部材に接触した状態でこれらに対してすベることになり、袋ナッ卜と継手部材とが共回りすることが防止される。

この場合に、スラストリングの外径が袋ナツトの内径よりも大きくなされており、袋ナット内周に、スラストリングの外周縁部を収める環状の凹所が形成されていることがある。スラストリングの厚みは、ガスケットと同等かまたはこれより小さくなされることが好ましく、応力緩和の点からできるだけ薄いことが好ましい。

各継手部材を構成する合成樹脂としては、例えば P F Aのようなフッ素樹脂が例示され、ガスケットを構成する合成樹脂としては、例えば P T F Eのようなフッ素樹脂が例示されるが、これ以外の F E P 、 P C T F E、 E T F Eなどのフッ素樹脂でもよく、また、その他の合成樹脂であってもよく、継手部材とガスケットとが同じ材料であってももちろんよい。また、スラストリングを構成する合成樹脂としては、例えば、ガスケットと同様の材質とされるが、これよりすべり摩擦係数の小さい（すべりやすい）合成樹脂としてもよい。図面の簡単な説明

図 1 は、第 1 の発明による管継手の実施形態を示す縦断面図である。

図 2 は、同要部の拡大縦断面図であり、（ a ) は手で締め付けた状態、（ b ) は適正締め付け状態をそれぞれ示している。

図 3 は、第 2 の発明による管継手の実施形態を示す縦断面図である。

図 4 は、同要部の拡大縦断面図である。

図 5 は、第 3 の発明による管継手の第 1 実施形態を示す縦断面図である。

図 6 は、第 3 の発明による管継手の第 2 実施形態を示す縦断面図である。図 7 は、第 3 の発明による管継手の第 3 実施形態を示す縦断面図である。

図 8 は、第 1 の発明による管継手の他の実施形、を示す縦断面図である。

図 9 は、第 1 の発明による管継手のさらに他の実施形態を示す縦断面図である。

図 1 0 は、第 1 の発明による継手のさらに他の実施形態を示す縦断面図である。

図 1 1 は、第 1 の発明による管継手のさらに他の実施形態を示す縦断面図である。発明を実施するための最良の形態この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。図 1 および図 2 は、第 1 の発明の管継手の実施形態を示している。図 1 に示すように、管継手（1)は、合成樹脂製第 1 管状継手部材（2)および合成樹脂製第 2管状継手部材（3)と、両継手部材（2) (3)の突き合わせ部分に介在される断面が方形で環状の合成樹脂製ガスケット（4)と、第 2継手部材（3)に嵌められた環状のおねじ部材（5)と、第 1 継手部材（2)側から嵌められておねじ部材（5)にねじ合わされた袋ナツト（6)とよりなる。

各継手部材（2) (3)は、互いに等しく全長にわたって一定の内径を有しており、突き合わせ部に近い方の厚肉部（2a) (3a) と、突き合わせ部から遠い方の薄肉部（2b) (3b)と、厚肉部（2a) (3a)の突き合わせ端部に設けられたフランジ部（2c) (3c)とよりなる。 ' 第 1 継手部材（2)の突き合わせ端面の径方向中間部には、断面が方形で環状の凹部（7)が設けられている。第 2 継手部材（3)の突き合わせ端面の径方向中間部には、断面が方形で環状の凸部（8)が設けられている。

おねじ部材（5)および袋ナット（6)は、金属製であり、おねじ部材（5)の突き合わせ部と反対側の端部には、六角柱状のフランジ部（5a)が設けられてお 'り、袋ナットの突き合わせ部と反対側の端部には、孔あき円板状の頂壁（6a)が設けられている。おねじ部材（5)の内径は、第 2継手部材（3)の厚肉部（3a) の外径にほぼ等しく、袋ナット（6)の頂壁（6a)の内径は、第 1 継手部材（2)の厚肉部（2a)の外径にほぼ等しくなされている。おねじ部材（5)に対して袋ナツト（6)を締め付けていくと、おねじ部材（5)が第 2 継手部材（3)のフランジ部（3c)を軸方向内向きに押し、袋ナット（6)が第 1 継手部材（2)のフランジ部 (2c)を軸方向内向きに押し、これにより、両継手部材（2) (3) 同士がガスケット (4)を介して密接させられる。

第 1 継手部材（2)の凹部（7)、第 2 継手部材（3)の凸部（8)およびガスケット（4)の内径は、それぞれほぼ等しく、また、第 1 継手部材（2)の凹部（7)、第 2 継手部材（3)の凸部（8)およびガスケッ卜（4)の外径も、それぞれほぼ等しくなされている。凹部（7)の凹み量は、凸部（8)の突出量よりも.大きくなされており、ガスケット（4)の厚みは、凹部（7)の凹み量よりも小さくなされている。そして、 .凹部（7)の凹み量は、凸部（8) の突出量とガスケット（4)の厚みとの和よりも若干小さくなされている。

図 2 ( a ) は、袋ナット（6)をおねじ部材（5)に手で締め付けた状態を示し、図 2 ( b ) は、この状態からさらにスパナ等を使用して適正に締め付けた状態を示している。

m 2 ( a ) に示すように、管継手（1)の手締め状態では、第 1 継手部材（2)の凹部（7)内にガスケット（4)の全部が嵌め入れられており、第 2 継手部材（3)の凸部（8)がこのガスケット（4)を凹部（7)の底面に押圧している。そして、第 1 継手部材（2)の突き合わせ端面の凹部（7)よりも径方向内側の部分 '(2d)と第 2 継手部材（3)の突き合わせ端面の凸部（8)よりも径方向内側の部分（3d)との間には、第 1 の間隙（G1)が存在し、第 1 継手部材（2)の突き合わせ端面の凹部（7)よりも径方向外側の部分（2e)と第 2 継手部材（3)の突き合わせ端面の凸部（8) よりも径方向外側の部分（3e)との間には、第 1 の間隙（G1)よりも大きい第 2 の間隙（G2)が存在している。具体的な寸法の一例を挙げると、第 1 継手部材（2)の凹部（7)の径方向内側部分（2d) と径方向外側部分（2e) とは面一であり、凹部（7)の凹み量が 1 . 5 mm、第 2 '継手部材（3)の凸部（8)の径方向内側部分（3d)は、径方向外側部分（3e)よりも 0 . 2 mm軸方向に突出しており、凸部（8)の突出量は、径方向内側部分（3d) を基準にして 0 . 8 m m、ガスケット（4)の厚みが 1 m m、第 1 の間隙（G1)が 0 . 3 m m、第 2 の間隙（G2)が 0 . 5 m mである。

図 2 ( b ) に示すように、管継手（1)の適正締め付け状態では、第 1 継手部材（2)の凹部（7)内にガスケット（4)および第 2 継手部材（3)の凸部（8)全部が嵌り込んでおり、第 1 継手部材（2)の凹部（7)内面と第 2 継手部材（3)の凸部（8)外面とがガスケット（4)を介してほぼ全面で密着するとともに、第 1 継手部材（2)の突き合わせ端面の凹部（7)よりも径方向内側の部分（2d)と第 2 継手部材（3)の突き合わせ端面の凸部（8)よりも径方向内側の部分（3d)とがほぼ全面で密着し、第 1 継手部材（2)の突き合わせ端面の凹部（7)よりも径方向外側の部分 (2e)と第 2 継手部材（3)の突き合わせ端面の凸部（8)よりも径方向外側の部分（3e)もほぼ全面で密着している。

図 3 および図 4 は、第 2 の発明の管継手の実施形態を示している。図 3 に示すように、管継手（11)は、合成樹脂製第 1 管状継手部材（12)および合成樹脂製第 2 管状継手部材（13) と、第 2 継手部材（13)に嵌められた環状のおねじ部材（5)と、第 1 継手部材（12)側から嵌められておねじ部材（5)にねじ合わされた袋ナツト（6)とよりなる。

各継手部材（12) (13)は、互いに等しく全長にわたって一定の内径を有しており、突き合わせ部に近い方の厚肉部（12a) (13a) と、突き合わせ部から遠い方の薄肉部（12b) (13b)と、厚肉部（ 12a) ( 13a)の突き合わせ端部に設けられたフランジ部

(12c) (13c)とよりなる。

第 1 継手部材（12)の突き合わせ端面の径方向中間部には、断面が方形で環状の凹部（17)が設けられている。第 2 継手部材（13)の突き合わせ端面の径方向中間部には、断面が方形で環状の凸部 (18)が設けられている。，

おねじ部材（5)および袋ナット（6)は、金属製であり、おねじ部材（5)の突き合わせ部と反対側の端部には、六角柱状のフランジ部（5a)が設けられており、袋ナットの突き合わせ部と反対側の端部には、孔あき円板状の頂壁（6a).が設けられている。おねじ部材（5)の内径は、第 2 継手部材（13)の厚肉部 (13a)の外径にほぼ等しく、袋ナツト（6)の頂壁（6a)の内径は、第 1 継手部材（12)の厚肉部（12a)の外径にほぼ等しくなされている。おねじ部材（5)に対して袋ナット（6)を締め付けていくと、おねじ部材（5)が第 2 継手部材（13)のフランジ部（13c) を軸方向内向きに押し、袋ナット（6)が第 1 継手部材（12)のフランジ部（12c)を軸方向内向きに押し、これにより、両継手部材（12) (13)同士は、凹部（17)と凸部（18)とが嵌り合った状態で密接させられる。

第 1 継手部材（12)の凹部（17)および第 2 継手部材（13)の凸部（18)の内径は、それぞれほぼ等しく、また、第 1 継手部材 (12)の凹部（17)および第 2継手部材（13)の凸部（18)の外径も、それぞれほぼ等しくなされている。' 凹部（17)の凹み量は、凸部（18)の突出量よりも若干小さくなされている。

図 4 は、袋ナット（6)をおねじ部材（5)に手で締め付けた状態を示している。同図に示すように、管継手（11)の手締め状態では、第 1 継手部材（12)の凹部（17)内に第 2 継手部材（13) の凸部（18)が嵌め入れられて、凸部（18)先端面が凹部（17)の底面を押圧している。そして、第 1 継手部材（12)の突き合わせ端面の凹部（ 17)よりも径方向内側の部分（ 12d)と第 2 継手部材（13)の突き合わせ端面の凸部（18)よりも径方向内側の部分（13d) との間には、第 1 の間隙（G1)が存在し、第 1 継手部材（12)の突き合わせ端面の凹部（17)よりも径方向外側の部.分 (I2e)と第 2 継手部材（13)の突き合わせ端面の凸部（18)よりも径方向外側の部分（13e) との間には、第 1 の間隙（G1)よりも大きい第 2 の間隙（G2)が存在している。具体的な寸法の一例を挙げると、第 1 継手部材（12)の凹部（17)の径方向内側部分（ 12d)と径方向外側部分（ 12e) とは面一であり、凹部（ 17)の凹み量が 1 . 5 m m、第 2 継手部材（3)の凸部（18)の径方向内側部分（ 13d)は、径方向外側部分（ 13e)よりも 0 . 2 m m軸方向に突出しており、凸部（18)の突出量は、径方向内側部分 ( 13d)を基準にして 1 . 8 m m、第 1 の間隙（G1 )が 0 . 3 m m、第 2 の間隙（G2)が 0 . 5 m mである。 '

図 4 の状態からさらに締め付けた適正締め付け状態では、第 1 継手部材（ 12)の凹部（ 17)内に第 2 継手部材（ 13 )の凸部 ( 18)全部が嵌り込んでおり、第 1 継手部材（12)の凹部（17)内面と第 2 継手部材（13 )の凸部（18)外面とがほぼ全面で密着するとともに、第 1 継手部材（12)の突き合わせ端面の凹部（17) よりも径方向内側の部分（12d) と第 2 継手部材（13 )の突き合わせ端面の凸部（18)よりも径方向内側の部分（13d) とがほぼ全面で密着し、第 1 継手部材（12)の突き合わせ端面の凹部 ( 17)よりも径方向外側の部分（12e)と第 2 継手部材（ 13)の突き合わせ端面の凸部（18)よりも径方向外側の部分（13e)もほぼ全面で密着している。

図 5 は、第 3 の発明の管継手の第 1 実施形態を示している。図 5 に示すように、管継手（21 )は、合成樹脂製第 1 管状継手部材（22)および合成樹脂製第 2 管状継手部材（23)と、両継手部材（22) ( 23)の突き合わせ部分に介在される断面が方形で環状の合成樹脂製ガスケット（24)と、第 2 継手部材（23 )に嵌められた環状のおねじ部材（5 )と、第 1 継手部材（22)側から嵌められておねじ部材（5)にねじ合わされた袋ナツト（6)とよりなる。

各継手部材（22) (23)は、互いに等しく全長にわたって一定の内径を有しており、突き合わせ部に近い方の厚肉部（22a) (23a)と、突き合わせ部から遠い方の薄肉部（図示略）と、厚肉部（22a) (23a)の突き合わせ端部に設けられたフランジ部 (22c) (23c)とよりなる。

第 1 継手部材（22)の突き合わせ端面の径方向中間部には、断面が方形で環状の凹部（27)が設けられている。第 2 継手部材（23)の突き合わせ端面の径方向中間部にも、断面が方形で環状の凹部（28)が設けられている。第 1 継手部材（22)の突き合わせ端面の凹部（27)よりも径方向内側の部分（22d)が径方向外側の部分（22e)よりもわずかに軸方向に突出しており、第 2 継手部材（23)の突き合わせ端面の凹部（28)よりも径方向内側の部分（23d)も径方向外側の部分（23e)よりもわずかに軸方向に突出している。両凹部（27) (28)によって、継手部材（22) (23)同士が突き合わされた際にガスケット (24)が収納されるガスケット収納部 (26)が形成されている。

おねじ部材（5)および袋ナット（6)は、金属製であり、おねじ部材（5)の突き合わせ部と反対側の端部には、六角柱状のフランジ部（5a)が設けられており、袋ナットの突き合わせ部と反対側の端部には、孔あき円板状の頂壁（6a)が設けられている。おねじ部材（5)の内径は、第 2 継手部材（23)の厚肉部 (23a)の外径にほぼ等しく、袋ナツト（6)の頂壁（6a)の内径は、第 1 継手部材（22)の厚肉部（22a) の外径にほぼ等しくなされている。おねじ部材（5)に対して袋ナット（6)を締め付けていくと、おねじ部材（5)が第 2 継手部材（23)のフランジ部（23c) を軸方向内向きに押し、袋ナット（6)が第 1 継手部材（22)のフランジ部（22c)を軸方向内向きに押し、これにより、両継手部材（22) (23)同士がガスケヅト（24)を介して密接させられる。

第 1 継手部材（22)の凹部（27)、第 2継手部材（23)の凹部（28) およびガスケット（24)の内径は、それぞれほぼ等しく、また、第 1 継手部材（22)の凹部（27)、第 2 継手部材（23)の凹部（28) およびガスケット（24)の外径も、それぞれほぼ等しくなされている。両凹部（27) (28)の継手材（22) (23)の径方向内側の部分（22d) (23d)を基準とした凹み量の和は、ガスケット（24) の厚みよりも若干小さくなされている。

図 5 は、袋ナット（6)をおねじ部材（5)に手で締め付けた状態を示しており、この管継手（21)の手締め状態では、第 1 継手部材（22)の凹部（27)内にガスケット（24)の約半部が嵌め入れられ、第 2 継手部材（23)の凹部（28)内にガスケット（24)の残りの約半部が嵌め入れられており、第 1 継手部材（22)の凹部（27)底面と第 2 継手部材（23)の凹部（28)底面とによってガスケット（24)が押圧されている。そして、第 1 継手部材（22) の突き合わせ端面の凹部（27)よりも径方向内側の部分（22d) と第 2 継手部材（23)の突き合わせ端面の凹部（28)よりも径方向内側の部分（23d)との間には、第 1 の間隙（G1)が存在し、第 1 継手部材（22)の突き合わせ端面の凹部（27)よりも径方向外側の部分（22e) と第 2 継手部材（23)の突き合わせ端面の凹部（28)よりも径方向外側の部分（23e) との間には、第 1 の間隙（G1)よりも大きい第 2 の間隙（G2)が存在している。具体的な寸法の一例を挙げると、各継手部材（22) (23)の凹部（27) (28)の径方向内側部分（22d) (23d)は、径方向外側部分（22e) (23e)よりも 0 . 1 mm軸方向に突出しており、凹部（27) (28) の凹み量は、径方向内側部分（22d) ( 23d)を基準にして 1 . 1 5 m m、ガスケット（4)の厚みが 2 m m、第 1 の間隙（G1)が 0 . 3 m m、第 2 の間隙（G2)が 0 . 5 m mである。

図 5 の状態からさらに'締め付けていくと、まず、第 1 継手部材（22)の突き合わせ端面の凹部（27)よりも径方向内側の部分（22d) と第 2 継手部材（23)の突き合わせ端面の凹部（28)よりも径方向内側の部分（23d)と；^ほぼ全面で密着し、さらに締め付けて管継手（21 )の適正締め付け状態にすると、第 1 継手部材（22)の凹部（27)および第 2 継手部材（23 )の凹部（28)によって形成されたガスケット収納凹部 ( 26)内にガスケット ( 24)全部が嵌り込み、第 1 継手部材（22)の凹部（27)内面のほぼ全面がガスケット（24)に密着し、第 1 継手部材（22)の凹部 ( 27)から露出しているガスケット（24)の面が第 2 継手部材 ( 23)の凹部（28)内面のほぼ全面に密着するとともに、第 1 継手部材（22)の突き合わせ端面の凹部（27)よりも径方向外側の部分（22e)と第 2 継手部材（23)の突き合わせ端面の凹部（28)よりも径方向外側の部分（23e)もほぼ全面で密着する。

図 6 は、第 3 の発明の管継手の第 2 実施形態を示している。図 6 に示すように、管継手（31 )は'、合成樹脂製第 1 管状継手部材（32)および合成樹脂製第 2 管状継手部材（33)と、両継手部材（32) ( 33)の突き合わせ部分に介在される断面が方形で環状の合成樹脂製ガスケット（34)と、第 2 継手部材（33)に嵌められた環状のおねじ部材（5 )と、第 1 継手部材（32)側から嵌められておねじ部材（5)にねじ合わされた袋ナツト（6)とよりなる。

各継手部材（32) (33)は、互いに等しく全長にわたって一定の内径を有しており、突き合わせ部に近い方の厚肉部（32a) (33a) と、突き合わせ部から遠い方の薄肉部（図示略）と、厚肉部（32a) (33a)の突き合わせ端部に設けられたフランジ部 (32c) (33c)とよりなる。

第 1 継手部材（32)の突き合わせ端面の径方向中間部には、断面が方形で環状の凹部（37)が設けられている。第 2 継手部材（33)の突き合わせ端面の径方中間部にも、断面が方形で環状の凹部（38)が設けられている。第 1 継手部材（32)の突き合わせ端面の凹部（37)よりも径方向内側の部分（32d)が凹部 (37)の底面と面一であり、径方向外側の部分（32e)は凹部（37) の底面より軸方向に突出しており、第 2 継手部材（33)の突き合わせ端面の凹部（38)よりも径方向内側の部分（33d)が凹部 (38)の底面よりも軸方向に突出し、径方向外側の部分（33e) は凹部（38)の底面よりも軸方向に凹んでいる。両凹部（37) (38)、第 1 継手部材（32)の径方向外側の部分（32e)および第 2 継手部材（33)の径方向内側の部分（33d)によって、継手部材 (32) (33)同士が突き合わされた際にガスケット（34)が収納されるガスケット収納部（36)が形成されている。

おねじ部材（5)および袋ナット（6)は、金属製であり、おねじ部材（5)の突き合わせ部と反対側の端部には、六角柱状のフランジ部（5a)が設けられており、袋ナットの突き合わせ部と反対側の端部には、孔あき円板状の頂壁（6a)が設けられている。おねじ部材（5)の内径は、第 2 継手部材（33)の厚肉.部 (33a)の外径にほぼ等しく、袋ナツト（6)の頂壁 (6a)の内径は、第 1 継手部材（32)の厚肉部（32a)の外径にほぼ等しくなされている。おねじ部材（5)に対して袋ナット（6)を締め付けていくと、おねじ部材（5)が第 2 継手部材（33)のフランジ部（33c) を軸方向内向きに押し、袋ナット（6)が第 1 継手部材（32)のフランジ部（32c) を軸方向内向きに押し、これにより、両継手部材（32) (33)同士がガスケット（34)を介して密接させられる。

第 1 継手部材（32)の凹部（37)、第 2 継手部材（33)の凹部（38) およびガスケット（34)の内径は、'それぞれほぼ等しく、また、第 1 継手部材（32)の凹部（37)、第 2 継手部材（33)の凹部（38) およびガスケット（34)の外径も、それぞれほぼ等しくなされている。第 1 継手部材（32)の凹部（37)の凹み量は、ガスケット（₃₄) の厚みよりも若干大きく、第 2 継手部材（33)の凹部 (38)の凹み量は、ガスケット（34)の厚みよりも若干小さくなされている。

図 6 は、袋ナット（6)をおねじ部材（5)に手で締め付けた状態を示しており、この管継手（31)の手締め状態では、ガスケット収納部（36)内にガスケット（34)の全部が嵌め入れられ、第 1 継手部材（32)の凹部（37)底面と第 2 継手部材（33)の凹部 (38)底面とによってガスケット（34)が押圧されている。 .そして、第 1 継手部材（32)のき合わせ端面の凹部（37)よりも径方向内側の部分（32d) と第 2 継手部材（33)の突き合わせ端面の凹部（38)よりも径方向内側の部分（33d) との間には、第 1 の間隙（G1)が存在し、第 1 継手部材（32)の突き合わせ端面の凹部（37)よりも径方向外側の部分（32e)と第 2 継手部材（33)の突き合わせ端面の凹部（38)よりも径方向外側の部分（33e) との間には、第 1 の間隙（G1)よりも大きい第 2 の間隙（G2)が存在している。具体的な寸法の一例を挙げると、第 1 継手部材（32)の径方向外側の部分（32e)の突出量は、凹部（37)の底面を基準として、 1 . 5 mm、第 2 継手部材（33)の径方向内側の部分（33d)の突出量は、凹部（38)の底面を基準として 0 . 7 m m、第 2 継手部材（33)の径方向外側の部分（33e)の凹み量は、凹部（38)の底面を基準として 1 mm、ガスケット（34) の厚みが 1 m m、第 1 の間隙（G1)が 0 . 3 m m、第 2 の間隙（G2)が 0 . 5 m mである。 '

図 6 の状態からさらに締め付けていくと、まず、第 1 継手部材（32)の突き合わせ端面の凹部（37)よりも径方向内側の部分（32d) と第 2 継手部材（33)の突き合わせ端面の凹部（38)よりも径方向内側の部分（33d)とがほぼ全面で密着し、さらに締め付けて管継手（31)の適正締め付け状態にすると、両凹部 (37) (38)、第 1 継手部材（32)の径方向外側の部分（32e)および第 2 継手部材（33)の径方向内側の部分（33d)によってガスケット収納凹部（36)内にガスケット（34)全部が嵌り込み、ガスケット収納凹部（36)内面とガスケット（34)の外面とがほぼ全面で密着し、第 1 継手部材（32)の突き合わせ端面の凹部（37) よりも径方向外側の部分（32e) と第 2 継手部材（33)の突き合わせ端面の凹部（38)よりも径方向外側の部分（33e)もほぼ全面で密着する。

図 7 は、第 3 の発明の管継手の第 3実施形態を示している。図 7 に示すように、管継手（41)は、合成樹脂製第 1 管状継手部材（42)および合成樹脂製第 2 管状継手部材（43)と、両継手部材（42) (43)の突き合わせ部分に介在される断面が方形で環状の合成樹脂製ガスケット（44)と、第 2 継手部材（43)に嵌められた環状のおねじ部材（5)と、第 1 継手部材（42)側から嵌められておねじ部材（5)にねじ合わされた袋ナツト（6)とよりなる。

各継手部材（42) (43)は、互いに等しく全長にわたって一定の内径を有しており、突き合わせ部に近い方の厚肉部（42a) (43a) と、突き合わせ部から遠い方の薄肉部（図示略）と、厚肉部（42a) (43a)の突き合わせ端部に設けられたフランジ部 (42c) (43c)とよりなる。

第 1 継手部材（42)の突き合わせ端面の径方向中間部には、断面が方形で環状の凹部（47)が設けられている。第 2 継手部材（43)の突き合わせ端面の径方向中間部にも、断面が方形で環状の凹部（48)が設けられている。第 1 継手部材（42)の突き合わせ端面の凹部（47)よりも径方向内側の部分（42d)が凹部 (47)の底面よりさらに凹んでおり、径方向外側の部分（42e) は凹部（47)の底面より軸方向に突出している。 .第 2 継手部材 (43)の突き合わせ端面の凹部（48)よりも径方向内側の部分 (43d)が凹部（48)の底面よりも軸方向に突出し、径方向外側の部分（43e)は凹部（48)の底面よりも軸方向に凹んでいる。両凹部（47) (48)、第 1 継手部材（42)の径方向外側の部分（42e) および第 2 継手部材（43)の径方向内側の部分（43d)によって、継手部材（42) (43)同士が突き合わされた際にガスケット（44) が収納されるガスケット収納部（46)が形成されている。

おねじ部材（5)および袋ナット（6)は、金属製であり、おねじ部材（5)の突き合わせ部と反対側の端部には、六角柱状のフランジ部（5a)が設けられており、袋ナットの突き合わせ部と反対側の端部には、孔あき円板状の頂壁（6a)が設けられている。おねじ部材（5)の内径は、第 2 継手部材（43)の厚肉部 (43a)の外径にほぼ等しく、袋ナツト（6)の頂壁（6a)の内径は、第 1 継手部材（42)の厚肉部（42a)の外径にほぼ等しくなされている。おねじ部材（5)に対して袋ナット（6)を締め付けていくと、おねじ部材（5)が第 2 継手部材（43)のフランジ部（43c) を軸方向内向きに押し、袋ナット（6)が第 1 継手部材（42)のフランジ部（42c)を軸方向内向きに押し、これにより、両継手部材（42) (43)同士がガスケット（44)を介して密接させられる。

第 1 継手部材（42)の凹部（47)、第 2 継手部材（43)の凹部（48) およびガスケット（44)の内径は、それぞれほぼ等しく、また、第 1 継手部材（42)の凹部（47)、第 2 継手部材（43)の凹部（48) およびガスケット（44)の外径も、それぞれほぼ等しくなされている。第 1 継手部材（42)の凹部（47)の凹み量は、ガスケット（44)の厚みよりも若干大きく、第 2 継手部材（43)の凹部 (48)の凹み量も、ガスケット（44)の厚みよりも若干大きくなされている。

図 7 は、袋ナット（6)をおねじ部材（5)に手で締め付けた状態を示しており、この管継手（41)の手締め状態では、ガスケット収納部（46)内にガスケット（44)の全部が嵌め入れられ、第 1 継手部材（42)の凹部（47)底面と第 2 継手部材（43)の凹部 (48)底面とによってガスケット（44)が押圧されている。そして、第 1 継手部材（42)の突き合わせ端面の凹部（47)よりも径方向内側の部分（42d) と第 2 継手部材（43)の突き合わせ端面の凹部（48)よりも径方向内側の部分（43d) との間には、第 1 の間隙（G1)が存在し、第 1 継手部材（42)の突き合わせ端面の凹部（47)よりも径方向外側の部分（42e)と第 2 継手部材（43)の突き合わせ端面の凹部（48)よりも径方向外側の部分（43e) との間には、第 1 の間隙（G1)よりも大きい第 2 の間隙（G2)が存在している。具体的な寸法の一例を挙げると、第 1 継手部材（42)の径方向外側の部分（42e)の突出量は、凹部（47)の底面を基準として、 1 . 5 m m、第 1 継手部材（42)の径方向内側の部分（42d)の凹み量は、凹部（47)の底面を基準として、 0 . 8 m m、第 2 継手部材（43)の径方向内側の部分（43d)の突出量は、凹部（48)の底面を基準として 1 . 5 m m、第 2 継手部材（43)の径方向外側の部分（43e)の凹み量は、凹部（48)の底面を基準として、 1 . 0 m m、ガスケット（44)の厚みが 1 m m 、第 1 の間隙（G1 )が 0 . 3 m m、第 2 の間隙（G2)が 0 . 5 m mである。

図 7 の状態からさらに締め付けていくと、まず、第 1 継手部材（42)の突き合わせ端面の凹部（47)よりも径方向内側の部分（42d) と第 2 継手部材（43)の突き合わせ端面の凹部（48)よりも径方向内側の部分（43d) とがほぼ全面で密着し、さらに締め付けて管継手（41 )の適正締め付け状態にすると、両凹部 (47) (48)、第 1 継手部材（42)の径方向外側の部分（42e)および第 2 継手部材（43)の径方向内側の部分（43d)によってガスケット収納凹部（46)内にガスケット（44)全部が嵌り込み、ガスケット収納凹部（46)内面とガスケット（44)の外面とがほぼ全面で密着し、第 1 継手部材（42)の突き合わせ端面の凹部（47) よりも径方向外側の部分（42e) と第 2 継手部材（43 )の突き合わせ端面の凹部（48)よりも径方向外側の部分（43e)もほぼ全面で密着する。

図 8 は、第 1 の発明の管継手の他の実施形態を示している。図 8 に示すように、管継手（51)は、合成樹脂製第 1 管状継手部材（52)および合成樹脂製第 2 管状継手部材（53)と、両継手部材（52) (53)の突き合わせ部分に介在される断面が方形で環状の合成樹脂製ガスケット（54)と、第 2 継手部材（53)に嵌められた環状のおねじ部材（55)と、第 1 継手部材（52)側から嵌められておねじ部材（55)にねじ合わされた袋ナツト（56) とよりなる。

各継手部材' (52) (53)は、互いに等しく全長にゎ广こって一定の内径を有しており、突き合わせ部に近い方の厚肉部（52a) (53a)と、突き合わせ部から遠い方の薄肉部（52b) (53b)と、厚肉部（ 52a) ( 53a)の突き合わせ端部に設けられたフランジ部 (52c) (53c)とよりなる。

第 1 継手部材（52)の突き合わせ端面の径方向中間部には、断面が方形で環状の凹部（57)が設けられている。第 2 継手部材（53)の突き合わせ端面の径方向中間部には、断面が方形で環状の凸部（58)が設けられている。

おねじ部材（55)および袋ナツト（56)は、金属製であり、おねじ部材（55)の突き合わせ部と反対側の端部には、六角柱状のフランジ部（55a)が設けられており、袋ナット（56)の突き合わせ部と反対側の端部には、孔あき円板状の頂壁（56a)が設けられている。おねじ部材（55)の内径は、第 2継手部材（53) の厚肉部（53a)の外径にほぼ等しく、袋ナツト（56)の頂壁（56a) の内径は、第 1 継手部材（52)の厚肉部（52a)の外径にほぼ等しくなされている。

この実施形態では、おねじ部材（55)の外径および袋ナツト (56)の内径は、両継手部材（52) (53)のフランジ部（52c) (53c) の外径よりも大きくなされており、袋ナツト（56)の内径と両継手部材（52) (53)のフランジ部（52c) (53c)の外径との間には、間隙が形成されている。この間隙に、環状のスぺーサ（59)が納められている。そして、袋ナット（56)の頂壁と第 1 継手部材（52)のフランジ部（52c)およびスぺ一サ（59)との間には、第 1 継手部材（52)のフランジ部（52c)を第 2 継手部材（53)に向かつて付勢する付勢部材としての環状の皿ばね（₅₀)およびスプリングヮッシャ (60)がスプリングヮッシャ (60)をフランジ部 (52c)およびスぺ一サ（59)側にして設けられている。スぺ一サ（59)の軸方向の長さは、両継手部材（52) (53)のフランジ部 (52c) (53c)の軸方向の長さの和よりも若干小さくなされている。

おねじ部材（55)に対して袋ナツト（56)を締め付けていくと、おねじ部材（55)が第 2 継手部材（53)のフランジ部（53c)を軸方向内向きに押し、袋ナット（56)が第 1 継手部材 (52)のフランジ部（52c)を皿ばね（50)およびスプリングヮッシャ（60)を介して軸方向内向きに押し、これにより、両継手部材（52) (53) 同士がガスケット（54)を介して密接させられる。

第 1 継手部材（52)の凹部（57)、第 2 継手部材（53)の凸部（58) およびガスケット（54)の内径は、それぞれほぼ等しく、また、第 1 継手部材（52)の凹部（57)、第 2 継手部材（53)の凸部（58) およびガスケット（54)の外径も、それぞれほぼ等しくなされている。凹部（57)の凹み量は、凸部（58)の突出量よりも大きくなされており、ガスケット（54)の厚みは、凹部（57)の凹み量よりも小さくなされている。そして、凹部（57)の凹み量は、凸部（58)の突出量とガスケッ卜（54)の厚みとの和よりも若干小さくなされている。

図 8 は、袋ナット (56)をおねじ部材（55)に手で締め付けた状態を示している。この管継手（51)は、スぺーサ（59)および付勢部材（50) (60)を除く構成は、図 1 および図 2 に示した実施形態と同じとされている。従って、詳細は省略するが、管継手（51)の手締め状態では、第 1 継手部材（52)の凹部（57)内にガスケット（54)の全部が嵌め入れられており、第 2 継手部材（53)の凸部（58)がこのガスケット（54)を凹部（57)の底面に押圧し、第 1 継手部材（52)の突き合わせ端面の凹部（57)よりも径方向内側の部分と第 2 継手部材（53)の突き合わせ端面の凸部（58)よりも径方向内側の部分との間には、第 1 の間隙 (G1)が存在し、第 1 継手部材（52)の突き合わせ端面の凹部 (57)よりも径方向外側の部分と第 2 継手部材（53)の突き合わせ端面の凸部（58)よりも径方向外側の部分との間には、第 1 の間隙（ G1)よりも大きい第 2 の間隙（G2)が存在している。そして、管継手（51)の適正締め付け状態では、第 1 継手部材 (52)の凹部（57)内にガスケット（54)および第 2 継手部材（53) の凸部（58)全部が嵌り込んでおり、第 1 継手部材（52)の凹部 (57)内面と第 2 継手部材（53)の凸部（58)外面とがガスケット (54)を介してほぼ全面で密着するとともに、第 1 継手部材 (52)の突き合わせ端面の凹部（57)よりも径方向内側の部分と第 2 継手部材（53)の突き合わせ端面の凸部（58)よりも径方向内側の部分とがほぼ全面で密着し、第 1 継手部材（52)の突き合わせ端面の凹部（57)よりも径方向外側の部分と第 2 継手部材（53)の突き合わせ端面の凸部（58)よりも径方向外側の部分もほぼ全面で密着するようになされている。この実施形態の管継手（51)によると、合成樹脂製継手部材 (52) (53)およびガスケット（54)が経時変化したとしても、第 1 継手部材（52)が第 2 継手部材（53)に向かって常に皿ばね (50)によって付勢されていることから、流体漏れ防止性能への影響が大きい面圧を維持することができる。

図 9 は、第 1 の発明の管継手のさらに他の実施形態を示している。図 9 に示すように、管継手（61)は、合成樹脂製第 1 管状継手部材（62)および合成樹脂製第 2 管状継手部材（63) と、両継手部材（62) (63)の突き合わせ部分に介在される断面が方形で環状の合成樹脂製ガスケット（64)と、第 2 継手部材 (63) に嵌められた環状のおねじ部材（55) と、第 1 継手部材 (62)側から嵌められておねじ部材（55)にねじ合わされた袋ナット（56)とよりなる。

各継手部材（62) (63)は、互いに等しく全長にわたって一定の内径を有しており、突き合わせ部に近い方の厚肉部（62a) (63a)と、突き合わせ部から遠い方の薄肉部（62b) (63b)と、厚肉部（ 62a) ( 63a)の突き合わせ端部に設けられたフランジ部 (62c) (63c)とよりなる。

第 1 継手部材（62)の突き合わせ端面の径方向中間部には、断面が方形で環状の凹部（67)が設けられている。第 2 継手部材（63)の突き合わせ端面の径方向中間部には、断面が方形で環状の凸部（68)が設けられている。

おねじ部材（55)および袋ナツト（56)は、金属製であり、おねじ部材（55)の突き合わせ部と反対側の端部には、六角柱状のフランジ部（55a)が設けられており、袋ナット（56)の突き合わせ部と反対側の端部には、孔あき円板状の頂壁（56a)が設けられている。おねじ部材（55)の内径は、第 2継手部材（63) の厚肉部（63a)の外径にほぼ等しく、袋ナツト（56)の頂壁（56a) の内径は、第 1 継手部材（62)の厚肉部（62a)の外径にほぼ'等しくなされている。

この実施形態では、おねじ部材（55)の外径および袋ナツト (56)の内径は、両継手部材（62) (63)のフランジ部（62c) (63c) の外径よりも大きく、袋ナット（56)の内径と両継手部材（62) (63)のフランジ部（62c) (63c)の外径との間には、間隙が形成されている。 'この間隙に、環状のスぺーサ（69)が納められている。そして、袋ナット（56)の頂壁と第 1 継手部材（62)のフランジ部（62c)およびスぺ一サ（69) との間には、第 1 継手部材 (62)のフランジ部 (62c)を第 2 継手部材 (63)に向かって付勢する付勢部材としての環状の皿ばね（70)およびスプリングヮッシャ (71)がスプリングヮッシャ (71)をフランジ部 (62c)およびスぺ一サ（69)側にして設けられている。また、おねじ部材 (55) と第 2 継手部材（63)のフランジ部（63c)およびスぺーサ (69)との間にも、第 2 継手部材（63)のフランジ部（63c)を第 1 継手部材（62)に向かって付勢する付勢部材としての環状の皿ばね (72)およびスプリングヮッシャ (73)がスプリングヮッシャ（73)をフランジ部（63c)およびスぺーサ（69)側にして設けられている。スぺーサ（69)の軸方向の長さは、両継手部材（62) (63)のフランジ部（62c) (63c)の軸方向の長さの和よりも若干小さくなされている。

おねじ部材（55)に対して袋ナツト（56) を締め付けていくと、おねじ部材（55)が第 2継手部材（63)のフランジ部（63c)を皿ばね（72)およびスプリングヮッシャ（73)を介して軸方向内向きに押し、袋ナット（56)が第 1 継手部材（62)のフランジ部 (62c)を皿ばね（70)およびスプリングヮッシャ（71)を介して軸方向内向きに押し、これにより、両継手部材（62) (63)同士がガスケット（64)を介して密接させられる。

第 1 継手部材（62)の凹部（67)、第 2 継手部材（63)の凸部（68) 、およびガスケット（64)の内径は、それぞれほぼ等しく、また、第 1 継手部材（62)の凹部（67)、 2 継手部材（63)の凸部（68) およびガスケット（64)の外径も、それぞれほぼ等しくなされている。凹部（67)の凹み量は、凸部（68)の突出量よりも大きくなされており、ガスケット（64)の厚みは、凹部（67)の凹み量よりも小さくなされている。そして、凹部（67)の凹み量は、凸部（68)の突出量とガスケット（64)の厚みとの和よりも若干小さくなされている。

図 9 は、袋ナット（56)をおねじ部材（55)に手で締め付けた状態を示している。この管継手（61)は、スぺーサ（69)および付勢部材（70) (71) (72) (73)を除く構成は、図 1 および図 2 に示した実施形態と同じとされている。従って、詳細は省略するが、管継手（61)の手締め状態では、第 1 継手部材（62)の凹部（67)内にガスケット（64)の全部が嵌め入れられて、第 2 継手部材（63)の凸部（68)がこのガスケット（64)を凹部（67)の底面に押圧しており、第 1 継手部材（62)の突き合わせ端面の凹部（67)よりも径方向内側の部分と第 2 継手部材（63)の突き合わせ端面の凸部（68)よりも径方向内側の部分との間には、第 1 の間隙（G1)が存在し、第 1 継手部材（62)の突き合わせ端面の凹部（67)よりも径方向外側の部分と第 2 継手部材（63)の突き合わせ端面の凸部（68)よりも径方向外側の部分との間には、第 1 の間隙（G1)よりも大きい第 2 の間隙（G2)が存在している。そして、管継手（61)の適正締め付け状態では、第 1 継手部材（62)の凹部（67)内にガスケット（64)および第 2 継手部材（63)の凸部（68)全部が嵌り込んでおり、第 1 継手部材 (62)の凹部（67)内面と第 2 継手部材（63)の凸部（68)外面とがガスケット（64)を介してほぼ全面で密着するとともに、第 1 継手部材（62)の突き合わせ端面の凹部（67)よりも径方向内側の部分と第 2 継手部材（63)の突き合わせ端面の凸部（68)よりも径方向内側の部分とがほぼ全面で密着し、第 1 継手部材 (62)の突き合わせ端面の凹部（67)よりも径方向外側の部分と第 2 継手部材（63)の突き合わせ端面の凸部（68)よりも径方向外側の部分もほぼ全面で密着している。

この実施形態の管継手（61)によると、合成樹脂製継手部材 (62) (63)およびガスケット（64)が経時変化したとしても、第 1 継手部材（62)が第 2 継手部材（63)に向かって常に皿ばね (70)によって付勢されるとともに、第 2 継手部材（63)が第 1 継手部材（62)に向かって常に皿ばね（72)によって付勢されていることから、流体漏れ防止性能への影響が大きい面圧を維持することができる。

なお、図 8 および図 9 は、第 1 の発明による管継手の他の実施形態として説明したが、これらの実施形態が図 1 および図 2 のものと異なっている構成を第 2 の発明による管継手の実施形態および第 3 の発明による管継手の各実施形態に対して適用することもできる。また、スぺ一サ（59) (69)については、省略することが可能であり、例えば、図 1 に示した実施形態において、皿ばねを付加する構成とすることもできる。スぺ一サ（59) (69)を使用するこ.とにより、皿ばね（50) (70) (72) の径を大きくすることができる。また、付勢部材としては、皿ばね（50) (70) (72)およびスプリングヮッシャ（60) (71) (73) に代えて、コイルばねを使用してももちろんよい。

図 1 0 は、第 1 の発明の管継手のさらに他の実施形態を示している。図 1 0 に示すように、この管継手（1)は、合成樹脂製第 1 管状継手部材（2)および、合成樹脂製第 2 管状継手部材（3)と、両継手部材（2) (3)の突き合わせ部分に介在される断面が方形で環状の合成樹脂製ガスケット（4)と、第 2 継手部材（3)に嵌められた環状のおねじ部材 (5)と、第 1 継手部材 (2)側から嵌められておねじ部材（5)にねじ合わされた袋ナツト（6)と、袋ナット（6)の頂壁（6a)内面と第 1 継手部材（2)のフランジ部（2c)との間に介在された合成樹脂製のスラストリング（9)とよりなる。

この実施形態と第 1 実施形態との相違点は、スラストリング（9)の有無だけであり、第 1 実施形態と同じ構成のものには、同じ符号を付してその説明を省略する。なお、図 1 0 は、図 2 ( a ) に対応する図であり、袋ナツト（6)をおねじ部材（5) に手で締め付けた状態を示している。

スラストリング（9)は、ガスケット（4)と同材質またはこれよりもすベり摩擦係数の小さい材質によって形成され、その厚みは、ガスケット（4)と同等かまたはこれより小さく、例えば、ガスケット（4)厚みの約半分となされている。また、スラストリング（9)の内径は、袋ナット（6)の頂壁（6a)の孔径にほぼ等しく、外径は、第 1 継手部材（2)のフランジ部（2c) の外径にほぼ等しくなされている。スラストリング（9)は、円環状であるが、完全な円環でない C状であってもよい。この実施形態の管継手（1 )によると、袋ナット（6)を回転させて締め付けていった場合に、スラストリング（9)が袋ナツト（6)の頂壁（6a)内面および第 1 継手部材（2)のフランジ部 ( 2c)側面に接触した状態でこれらに対してすベることになり、袋ナット（6)と第 1 継手部材（2)とが共回りすることが防止される。同様のスラストリング（9)は、おねじ部材（5 )の先端面と第 2 継手部材（3 )との間にも設けることができる。 . 図 1 1 は、図 1 0 に示した管継手（1 )の他の実施形態を示している。この管継手（1 )は、合成樹脂製第 1 管状継手部材

(2)および合成樹脂製第 2管状継手部材（3)と、両継手部材（2)

( 3 )の突き合わせ部分に介在される断面が方形で環状の合成樹脂製ガスケット（4)と、第 2 継手部材（3 )に嵌められた環状のおねじ部材（5 )と、第 1 継手部材（2)側から嵌められておねじ部材（5 )にねじ合わされた袋ナット（6)と、袋ナット（6)の頂壁（6a)内面と第 1 継手部材（2)のフランジ部（2c) との間に介在された合成樹脂製のスラストリング（10)とよりなる。

この実施形態と第 1 実施形態との相違点は、スラストリング（ 10 )の有無および袋ナツト（6)への追加加工の有無だけであり、第 1 実施形態と同じ構成のものには、同じ符号を付してその説明を省略する。なお、図 1 1 は、図 2 ( a ) に対応する図であり、袋ナット（6)をおねじ部材（5 )に手で締め付けた状態を示している。

スラストリング（10)は、ガスケット（4)と同材質またはこれよりもすベり摩擦係数の小さい材質によって形成され、その厚みは、ガスケット（4) と同等かまたはこれより小さく、例えば、ガスケット（4)厚みの約半分となされている。また、スラストリング（10)の内径は、袋ナット（6)の頂壁（6a)の孔径にほぼ等しく、外径は、第 1 継手部材（2)のフランジ部（2c) の外径より大きくなされている。スラストリング（10)は、円環状であるが、完全な円環でない C状であってもよい。

スラストリング（10)の外径が第 1 継手部材（2)のフランジ部（2c)の外径より大きくなされているのにともなって、袋ナット（6)の内周には、スラストリング（10)の外周縁部を収めるために、頂壁（6a)の内面に沿う環状の凹所（6b)が形成されている。環状の凹所（6b)の外径は、スラストリング（10)の外径にほぼ等しくなされている。スラストリング（ 10)は、合成樹脂製であることから若干の弾性を有しており、袋ナツト（6) の頂壁（6a)の内面に沿わせてその外周縁部をこの凹所（6b)に嵌め入れておくことができる。したがって、スラストリング (10)の入れ忘れが防止されるとともに、袋ナット（6)を外した場合のスラストリング（10)の脱落も防止される。

この実施形態の管継手（1)によると、袋ナット（6)を回転させて締め付けていった場合に、スラストリング（10)が袋ナツト（6) の頂壁（6a)内面および第 1 継手部材（2)のフランジ部 (2c)側面に接触した状態でこれらに対してすベることになり、袋ナット（6)と第 1 継手部材（2)とが共回りすることが防止される。おねじ部材（5)の先端面と第 2継手部材（3)との間には、図 1 0 に示したものと同様のスラストリング（9)を設けることができる。

なお、図 1 0 および図 1 1 は、第 1 の発明による管継手の他の実施形態として説明したが、これらの実施形態が図 1 および図 2 のものと異なっている構成を第 2 の発明による管継手の実施形態および第 3 の発明による管継手の各実施形態に対して適用することもできる。産業上の利用可能性

この発明による管継手は、例えば半導体製造装置の流体制御装置において、金属を腐食させる性質が高い流体を使用する際の使用に適している。

Claims

請求の範囲

1 . 第 1 および第 2 の合成樹脂製管状継手部材と、両継手部材の突き合わせ部分に介在される合成樹脂製ガスケットと、両継手部材を連結するねじ手段とを備えている管継手において、第 1 継手部材の突き合わせ端面に、ガスケットの全部が嵌め入れられた状態で開口部が残るように環状の凹部が設けられるとともに、第 2 継手部材の突き合わせ端面に環状の凸部が設けられて、ガスケットが嵌め入れられた凹部の開口部に凸部が嵌まり合っており、管継手の適正締め付け状態では、第 1 継手部材の凹部内面と第 2 継手部材の凸部外面とがガスケットを介してほぼ全面で密着するとともに、第 1 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向内側の部分と第 2継手部材の突き合わせ端面の凸部よりも径方向内側の部分とが.ほぼ全面で密着し、第 1 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向外側の部分と第 2継手部材の突き合わせ端面の凸部よりも径方向外側の部分もほぼ全面で密着することを特徴とする管継手。

2 . 第 1 および第 2 の合成樹脂製管状継手部材と、両継手部材を連結するねじ手段とを備えている管継手において、第 1 継手部材の突き合わせ端面に環状の凹部が設けられるとともに、第 2 継手部材の突き合わせ端面に環状の凸部が設けられ、管継手の適正締め付け状態では、第 1 継手部材の凹部内に第 2 継手部材の凸部が嵌り合って凹部内面と凸部外面とがほぼ全面で密着するとともに、第 1 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向内側の部分と第 2 継手部材の突き合わせ端面の凸部よりも径方向内側の部分とがほぼ全面で密着し、第 1 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向外側の部分と第 2 継手部材の突き合わせ端面の凸部よりも径方向外側の部分もほぼ全面で密着することを特徴とする管継手。

3 - 第 1 および第 2 の合成樹脂製管状継手部材と、両継手部材の突き合わせ部分に介在される合成樹脂製ガスケットと、両継手部材を連結するねじ手段とを備えている管継手において、各継手部材の突き合わせ端に、継手部材同士が突き合わされた際にガスケットが収納されるガスケット収納部を形成するための環状の凹部がそれぞれ設けられており、管継手の適正締め付け状態では、第 1 継手部材の凹部内面のほぼ全面がガスケットに密着し、同凹部から露出しているガスケッ卜の面が第 2 継手部材の凹部内面のほぼ全面に密着するとともに、第 1 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向内側の部分と第 2 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向内側の部分とがほぼ全面で密着し、第 1 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向外側の部分と第 2 継手部材の突き合わせ端面の'凹部よりも径方向外側の部分もほぼ全面で密着することを特徴とする管継手。

4 . 第 1 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向内側の部分が径方向外側の部分よりも軸方向に突出しており、第

2 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向内側の部分も径方向外側の部分よりも軸方向に突出していることを特徴とする請求項 3 の管継手。

5 . 第 1 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向内側の部分が凹部の底面と面一であり、径方向外側の部分は凹部の底面より軸方向に突出しており、第 2 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向内側の部分が凹部の底面よりも軸方向に突出し、径方向外側の部分は凹部の底面よりも軸方向に凹んでいることを特徴とする請求項 3 の管継手。

6 . 第 1 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向内側の部分が凹部の底面よりさらに凹んでおり、径方向外側の部分は凹部の底面より軸方向に突出しており、第 2継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径向内側の分が凹部の底面よりも軸方向に突出し、径方向外側の部分は凹部の底面よりもさらに軸方向に凹んでいることを特徴とする請求項 3 の管継手。

7 . 管継手を手で締め付けた状態において、第 1 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向内側の部分と第 2 継手部材の突き合わせ端面の凸部よりも径方向内側の部分との間に、第 1 の間隙が存在し、第 1 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向外側の部分と第 2継手部材の突き合わせ端面の凸部よりも径方向外側の部分との間に、第 1 の間隙よりも大きい第 2 の間隙が存在している請求項 1 または 2 の管継手。

8 . 管継手を手で締め付けた状態において、第 1 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向内側の部分と第 2 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向内側の部分との間に、第 1 の間隙が存在し、第 1 継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方外側の部分と第 2継手部材の突き合わせ端面の凹部よりも径方向外側の部分との間に、第 1 の間隙よりも大きい第 2 の間隙が存在している請求項 3 から 6 までの管継手。

9 . 各継手部材の突き合わせ端部に、フランジ部が設けられており、ねじ手段は、いずれか一方の継手部材のフランジ部に先端面が当接する環状のおねじ部材と、他方の継手部材側から嵌め入れられて同継手部材のフランジ部に頂壁が当接しかつおねじ部材にねじ合わされる袋ナットとよりなる請求項 1 から 8 までの管継手。

1 0 . おねじ部材と継手部材のフランジ部との間および袋ナットの頂壁と継手部材のフランジ部との間のうちの少なくとも一方に、一方の継手部材を他方の継手部材に向かって付勢する付勢部材が介在されている請求項 9 の管継手。

1 1 . 袋ナットの内径と両継手部材のフランジ部外径との間に環状の間隙が形成されて、この間隙に環状のスぺーサが納められており、袋ナツ卜の頂壁とスぺ一サとの間およびおねじ部材とスぺーサとの間のうちの少なくとも一方に、一方の継手部材を他方の継手部材に向かって付勢する付勢部材が介在されている請求項 9 の管継手。

1 2 . 袋ナットの頂壁と継手部材のフランジ部との間に、合成樹脂製のスラストリングが介在されている請求項 9 の管継手。

1 3 . スラストリングの外径が袋ナットの内径よりも大きくなされており、袋ナット内周に、スラストリングの外周縁部を収める環状の凹所が形成されている請求項 1 2 の管継手。