WO2003056600A1 - Composition for dielectric material for use in plasma display panel, laminate for dielectric material, method for forming dielectric material - Google Patents

Composition for dielectric material for use in plasma display panel, laminate for dielectric material, method for forming dielectric material Download PDF

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Kiminori Oshio
Tomoyuki Inoue
Hiroyuki Obiya
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Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.
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Definitions

  • the present invention relates to a dielectric composition, a dielectric laminate, and a method for forming a dielectric.
  • the present invention relates to a dielectric composition for forming a dielectric of a plasma display panel, a dielectric laminate, and a method for forming a dielectric.
  • a plasma display panel (hereinafter abbreviated as PDP) consists of phosphors, electrodes, and inorganic materials in a large number of minute spaces formed by two glass substrates and barrier ribs (barrier ribs) provided between the substrates. It is formed by forming a dielectric consisting of and then injecting discharge gas into it.
  • each minute space is one pixel, and when electricity is supplied to the electrodes, discharge starts through the dielectric, and the phosphor emits light by ultraviolet rays generated when the excited discharge gas returns to the ground state. It has become.
  • Such a PDP is more suitable for a large screen than a conventional liquid crystal display device or a CRT display, and is being put to practical use.
  • the phosphor can be applied to a total of five surfaces, that is, the bottom surface in each cell and the four side surfaces surrounding the bottom surface, so that the surface area of the phosphor can be increased, so that the luminance can be improved.
  • the cell type there is a problem that it is difficult to secure a discharge gas introduction path since the four sides are covered with barrier ribs. Therefore, a technology was developed in which steps were provided in the barrier ribs surrounding each cell, and gas was introduced through gaps formed by the steps.
  • each of the vertical and horizontal barrier ribs formed so as to be orthogonal to each other is formed through a patterning process using a photoresist or sandblast, which is a manufacturing method requiring a large number of processes. There was a problem of inefficiency.
  • a composition for a dielectric of a plasma display panel according to the present invention is a composition for a dielectric of a plasma display panel formed by laminating two layers.
  • the first layer includes an inorganic powder, a binder resin, and a light absorber that absorbs light of a predetermined wavelength
  • the second layer includes an inorganic powder, a binder resin, a photopolymerizable monomer, and a photopolymerization initiator. It is characterized by including.
  • the first and second layers each include an inorganic powder and a resin, and form a first layer.
  • the dielectric composition further contains a light absorber for absorbing light of a predetermined wavelength, and the dielectric composition for forming the second layer further comprises a photopolymerizable monomer and a photopolymerization starter. Agent.
  • the second layer is selectively irradiated with the predetermined wavelength through a mask or the like in a state where the first layer and the second layer are stacked to form a dielectric laminate
  • the second layer is formed.
  • Light that reaches the first layer via the layer is absorbed by the light absorber.
  • a pattern is formed in a desired shape by developing the second layer, and then the first layer and the second layer are removed by baking to remove all organic components from the first layer and the second layer.
  • a dielectric in which the two layers are integrated is formed, and irregularities derived from the pattern of the second layer are formed on the surface.
  • the light absorber absorbs light having a wavelength capable of sensitizing the second layer.
  • the material may be any of an organic substance and an inorganic substance as long as the property of the dielectric is not impaired.
  • a plurality of types of light absorbers may be mixed and used.
  • the light absorbing agent in the first layer may be contained in an amount of 0.1 to 100 parts by weight in total of the inorganic powder, the binder resin, and the light absorbing agent.
  • the amount is preferably from 0.1 to 30 parts by weight, whereby a sufficient light absorbing effect is exhibited.
  • the ratio of the light absorbing agent in the composition for a derivative is less than 0.01 part by weight, a sufficient light absorbing effect cannot be exerted, and the pattern may be disturbed by halation when the second layer is patterned. There is. If the pattern is disturbed in this manner, it is not preferable because a sufficient gas introduction path for the discharge gas cannot be secured, or the cells communicate with each other, causing an unintended discharge, which may disturb the discharge voltage. . If the content exceeds 30 parts by weight, the sensitivity at the bottom of the second layer is reduced, so that when the second layer is patterned, patterning cannot be formed or a good pattern can be formed. It is not preferable because the shape may not be obtained. Further, according to the second aspect of the present invention,
  • the dielectric laminate is a dielectric laminate for a plasma display panel formed by laminating two layers, wherein the first layer contains an inorganic powder, a binder resin, and a light absorber that absorbs light of a predetermined wavelength.
  • the second layer contains an inorganic powder, a binder resin, a photopolymerizable monomer, and a photopolymerization initiator.
  • the gas introduction path can be easily formed, and the working efficiency of the plasma display panel manufacturing process can be improved. And the tact time per panel can be shortened.
  • the dielectric composition or the dielectric laminate may have another film or thin plate, for example, the first layer or the second layer It may be laminated so as to be in contact with the support film or the protective film. Further, it may be in a state of being laminated on a glass substrate constituting PDP.
  • a method for forming a dielectric of a plasma display panel comprises: A first layer containing an inorganic powder, a binder resin, and a light absorber for absorbing light of a predetermined wavelength is provided, and a first layer containing an inorganic powder, a binder resin, a photopolymerizable monomer, and a photopolymerization initiator is provided thereon. The second layer is then provided, and then the second layer is selectively irradiated with light of the predetermined wavelength and developed to form a pattern of a predetermined shape, and the first layer and the second layer are fired together. It is characterized by doing.
  • the work efficiency of the plasma display panel manufacturing process can be increased, and the tact time per panel can be reduced. it can.
  • the first layer and the second layer that constitute the dielectric laminate according to the present invention include an inorganic powder and a binder resin as essential components. Further, the first layer contains a light absorber that absorbs light of a predetermined wavelength, and the second layer contains a photopolymerizable monomer and a photopolymerization initiator. As described above, the first layer and the second layer are composed of an inorganic powder, a binder resin, a light absorber, a photopolymerizable monomer and a photopolymerization initiator.
  • a liquid or paste-like dielectric composition is prepared by mixing with a solvent, etc., and this composition is applied directly to the glass substrate constituting the PDP to form a laminated film, or a film is prepared from the composition. It can be formed by laminating the film on a glass substrate.
  • Inorganic powder contained in the first layer and the second layer is preferably one that vitrified by firing, for example, PbO S i 0 2 system, P B_ ⁇ one B 2 ⁇ 3 _ S i ⁇ 2 system, Zn ⁇ -1 S i ⁇ 2 system, Zn ⁇ 1 B 2 ⁇ 3 — S i ⁇ 2 system, B i O— S i ⁇ 2 system, B i ⁇ _B 2 0 : i — S i 0 2 system, P bO- B 2 0 3 - S I_ ⁇ 2 _A 1 2 0 3 system, PbO-ZnO -B, 0 3 - such as S i 0 2 systems.
  • PbO S i 0 2 system P B_ ⁇ one B 2 ⁇ 3 _ S i ⁇ 2 system, Zn ⁇ -1 S i ⁇ 2 system, Zn ⁇ 1 B 2 ⁇ 3 — S i ⁇ 2 system, B i O— S i ⁇ 2 system, B i ⁇ _B 2
  • binder resin contained in the first layer and the second layer those obtained by polymerizing or copolymerizing the following monomers can be used. Further, these monomers can be mixed as a photopolymerizable monomer in the first layer and the second layer.
  • a monomer for example, (meth) acrylic acid ester, ethylenically unsaturated carboxylic acid, and other copolymerizable monomers can be suitably used.
  • Examples of other copolymerizable monomers include, for example, fumarate esters in which the above-mentioned exemplified compounds of the (meth) acrylic acid ester are replaced with fumarate, maleic acid esters in place of maleate, and crotonic acid in place of crotonate Esters, acid esters substituted with itaconate, ⁇ -methylstyrene, ⁇ -vinyltoluene, m_vinyltoluene, p-vinyltoluene, o-chlorostyrene, m-chlorostyrene, p- Chlorostyrene, o-methoxystyrene, m-methoxystyrene, p-methoxystyrene, vinyl acetate, vinyl butyrate, vinyl propionate, acrylamide, methacrylamide, acrylonitrile, methacrylonitrile, isoprene, chloroprene, 3-
  • Examples of the photopolymerizable monomer include the above-mentioned monomers, and a monomer having two or more polymerizable ethylenically unsaturated bonds (hereinafter, referred to as a polyfunctional monomer) is preferable.
  • polyfunctional monomers include, for example, diacrylates or dimethacrylates of alkylene glycols such as ethylene glycol and propylene glycol, diacrylates or dimethacrylates of borial alkylene glycols such as polyethylene glycol and polypropylene dalicol, glycerin, trimethylolpropane Pentaerythryl, dipentyl erythryl and the like, polyhydric alcohol polyacrylates or polymethacrylates, and dicarboxylic acid modified products thereof.
  • alkylene glycols such as ethylene glycol and propylene glycol
  • diacrylates or dimethacrylates of borial alkylene glycols such as polyethylene glycol and polypropylene dalicol, glycerin, trimethylolpropane Pentaerythryl, dipentyl erythryl and the like
  • polyhydric alcohol polyacrylates or polymethacrylates and dicarboxylic acid modified products thereof.
  • a general radical polymerization initiator can be used as a polymerization catalyst for polymerizing the above monomer as a binder resin.
  • 2,2'-azobisisobutyronitrile, 2,2'- Azo compounds such as azobis- (2,4-dimethylvaleronitrile) and 2,2'-azobis- (4-methoxy-2-dimethylvaleronitrile
  • benzoylperoxide lauroylbeloxide
  • tert-butyl Organic peroxides such as peroxypivalate, 1,1-bis- (tert-butylperoxy) cyclohexane, and hydrogen peroxide
  • a peroxide is used as the radical polymerization initiator
  • a redox-type initiator may be used in combination with a reducing agent.
  • the binder resins include cellulosic acid, hydroxymethylcellulose, hydroxyethylcellulose, hydroxypropylcellulose, carboxymethylcellulose, carboxyethylcellulose, carboxylethyl Cellulose derivatives such as methylcellulose and copolymers of these cellulose derivatives with ethylenically unsaturated carboxylic acids and (meth) acrylate compounds can be used.
  • polyvinyl alcohols such as polybutyral resin which is a reaction product of polyvinyl alcohol and butyraldehyde, ⁇ -valerolactone, ⁇ -force prolactone, -propiolactone, ⁇ -methyl; Piolactone,
  • diols such as ethylene glycol, propylene glyco
  • Polyesters obtained by condensation reaction with dicarboxylic acids polyethers such as polyethylene glycol, polypropylene glycol, polytetramethylene glycol, polypentamethylene glycol, bisphenol ⁇ , hydroquinone, dihydroxycyclohexene Di O Ichiru such as down, Jifue two Luke one Poneto, phosgene, poly force one Poneto acids can be mentioned the reaction product of a carbonyl compound such as succinic anhydride.
  • These binder resins can be used alone or in a mixture of two or more.
  • an organic solvent can be used in preparing the dielectric composition in a liquid or paste form.
  • organic solvent examples include alcohols such as methanol, ethanol, ethylene glycol, diethylene glycol, propylene glycol, 3-methoxy-3-methylbutanol, cyclic ethers such as tetrahydrofuran and dioxane, and ethylene glycol monomethyl ester. 1 ter, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl Propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, etc.
  • alcohols such as methanol, ethanol, ethylene glycol, diethylene glycol, propylene glycol, 3-methoxy-3-methylbutanol
  • cyclic ethers such as tetrahydrofuran and dioxane
  • Alkyl ethers of polyhydric alcohols 2-methoxybutyl acetate, 3-methoxybutyl acetate, 4-methoxybutyl acetate, 2-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-ethylethyl 3-methoxybutyl acetate, 2-ethoxy Alkoxyalkyl acetates such as butyl acetate, 4-ethoxybutyl acetate, ethylene glycol monoethyl acetate, diethylene glycol ethyl ether acetate, propylene glycol ethyl acetate, propylene dalycol monomethyl ether
  • Alkyl ethers of polyhydric alcohols such as acetate, aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, 4-hydroxy-1-methyl
  • solvents are used for dissolving or uniformly dispersing the dielectric composition. If the resin that can be dissolved by itself without the solvent is uniformly dispersed, do not use these solvents. Is also good.
  • the photopolymerization initiator contained as an essential component in the second layer includes 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, and 2-methyl-1- [4- (Methylthio) phenyl] 1-2-1 morpho linopropane 1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-11- (4-morphine linophenyl) 1-butane 1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl Propane 1-one, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphinoxide, 1-1 [4-1 (2-hydroxyethoxy) phenyl] — 2-hydroxy 2-methyl-1-propane-1-one , 2,4-diethylthioxanthate 1,2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 3,3-dimethyl-14-methoxybenzophenone, benzophenone, 1-chloro-4
  • a photopolymerizable monomer and a photopolymerization initiator as essential components in the second layer, after forming the second layer on the first layer, by patterning only the second layer, Most Finally, a dielectric having irregularities derived from the pattern of the second layer can be formed. Then, as described later, by overlapping the convex portion with the barrier rib portion, a “gap” is formed at an upper portion of each cell, and a discharge gas can be introduced.
  • the entire surface of the first layer may be exposed before exposure and development of the second layer.
  • the first layer may be patterned as well.
  • the peripheral portion of the first layer may be formed in a predetermined pattern according to the outer shape of the glass substrate constituting the PDP.
  • the first layer contains, as an essential component, a light absorber capable of absorbing light having a wavelength that sensitizes the second layer, that is, photoactivates the photopolymerization initiator contained in the second layer. .
  • a light absorber those which absorb a wavelength of 300 to 450 nm are suitably used.
  • These light absorbers are used in the composition for forming the first layer in an amount of 0.01 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the inorganic powder, the binder resin and the light absorber in total. Mixing is preferred.
  • the amount is less than 0.01 part by weight, a sufficient light absorbing effect cannot be exhibited. On the other hand, if the amount exceeds 30 parts by weight, the second layer near the interface is not sufficiently exposed due to excessive absorption of light, which may result in peeling of the film or inability to form a pattern.
  • the first layer contains the light absorber capable of absorbing light having a wavelength that causes the photopolymerization initiator contained in the second layer to photoactivate, so that the first layer and the second layer
  • the second layer is exposed to light and patterned into a predetermined shape in a state where the layers are stacked, light entering the first layer can be prevented from being scattered by inorganic powder or the like inside the first layer. That is, if the light absorbing agent is not contained, light is scattered by particles such as inorganic powder in the first layer, so that the second layer is incident from the first layer in an indeterminate direction. The light is exposed to the light, and as a result, it is impossible to form a pattern exactly as the mask. To prevent this, the first layer must be fired to a transparent glass state, then fired twice, as if the second layer was formed, exposed and fired again.
  • the first layer contains the light absorbing agent, the first layer can be fired at a time and a desired pattern can be formed.
  • the above-mentioned organic solvent, binder resin, light absorber, inorganic powder, and, if necessary, a photopolymerizable monomer are used for the first layer.
  • a liquid or paste-like composition for a dielectric hereinafter, referred to as a first composition
  • a photopolymerization initiator is prepared for the second layer.
  • a liquid or paste-like composition obtained by mixing the above-mentioned organic solvent, binder resin, inorganic powder, photopolymerizable monomer and photopolymerization initiator hereinafter referred to as “second (Referred to as composition).
  • first composition and the second composition contain various additives such as a dispersant, a tackifier, a plasticizer, a surface tension adjuster, a stabilizer, and an antifoaming agent as optional components. May be.
  • the ratio of the inorganic powder is 100 parts by weight based on 100 parts by weight of all organic components (including an organic solvent, a binder resin, a photopolymerizable monomer, and a photopolymerization initiator). Thus, it may be 100 to 100 parts by weight.
  • each of the first composition and the second composition may be the same material or different materials. Even if they are the same material, the respective ratios may be different.
  • the dielectric laminate according to the present invention is manufactured, for example, by the following methods (1) to (3).
  • (1) The first composition is applied to the glass substrate constituting the PDP, the solvent is removed to form a first layer, and then the second composition is applied on the first layer, and the solvent is applied. Removing to form a second layer to obtain a laminate.
  • the first composition and the second composition are each formed into a film by removing the solvent, and the films are laminated. Then, it is fixed to the glass substrate constituting the PDP. Alternatively, the films are sequentially laminated on a glass substrate.
  • the dielectric laminate of the present invention may be formed by directly laminating on a glass substrate, or may be formed in a laminated state before being provided on the glass substrate.
  • the thickness of the first layer derived from the dielectric laminate after firing is 5 to 40 x m, and the thickness of the second layer is 5 to 50 zm.
  • the first layer and the second layer are separately formed into a film before being provided on a glass substrate, or when a two-layer laminated film is formed, the ease of film production, handling, or storage For convenience, it is preferable to form it on a supporting film or cover it with a protective film.
  • Supporting films ⁇ Resin that can be used as a protective film include polyethylene terephthalate, polyester, polyethylene, polypropylene, polystyrene, polyimide, polyvinyl alcohol, polyvinyl chloride, fluorine-containing resins such as polyfluoroethylene, and nylon. And cellulose. Further, a mold release treatment such as a Si treatment may be used to improve the mold releasability.
  • the thickness of the support film is, for example, 15 to 100 zm, and the thickness of the protective film is, for example, 15 to 60 m.
  • the photopolymerizable monomer and the photopolymerization initiator may be mixed as necessary.However, after the film is formed, before and after being provided on the glass substrate, When cured by photopolymerization, the adhesive strength is reduced and the support film and protective film are easily peeled off. Furthermore, by containing the same photopolymerizable monomer and photopolymerization initiator as in the second layer, the shrinkage ratio during firing can be made uniform.
  • the second layer is exposed to light having a predetermined wavelength through a mask having a predetermined shape. Thereafter, the unexposed portions are removed with a developing solution composed of a solvent or the like to form a predetermined pattern. Thereafter, by baking the first layer and the second layer at a temperature of 450 ° C. or more, all the organic components are burned off, the inorganic components are vitrified, and a dielectric is formed. . Irregularities resulting from the pattern of the second layer are formed on the surface of the dielectric.
  • wavelength of the light source for forming the pattern of the second layer light having a wavelength of 300 nm to 450 nm can be used.
  • g-line (436 nm), h-line (405 nm) and i-line (365 nm) can be preferably used.
  • a glass substrate provided with a dielectric having irregularities (irregularities of the irregularities) is bonded to the cell-type substrate having a phosphor or the like formed inside the barrier ribs.
  • a gap is formed on the dielectric side of each cell facing the phosphor, and discharge gas can be introduced into the cell.
  • the present invention may be applied to a force stripe type PDP which can be particularly preferably used for a cell type PDP.
  • the glass base as the first composition is kneaded.
  • a composition was prepared.
  • the glass paste composition obtained in (1) is applied on a support film made of polyethylene terephthalate using Lipco overnight, and the coating film is dried at 100 ° C for 6 minutes to remove the solvent. Then, a glass paste film having a thickness of 60 m was formed on the supporting film.
  • the azo dye was added to the organic component in order to prevent halation in the second layer and to form a sharp pattern.
  • a water-developable photosensitive glass base composition as a second composition was prepared by kneading 80 parts by weight of the glass frit with 20 parts by weight of the obtained organic component (solid content: 50%). did.
  • the resulting water-developable photosensitive glass paste composition is applied to a support film made of polyethylene terephthalate using Lipco Allen / Water, and the coating film is dried at 10 ° C for 6 minutes to remove the solvent. After removal, a 40 / m-thick photosensitive glass paste film was formed on the supporting film.
  • Example 1 While the polyethylene film of the water-developable photosensitive film obtained in 2- (2) of Example 1 was peeled off, it was obtained in the above 3- (1) of Example 1 which was previously heated at 80 ° C. Roll lamine on the surface of the dielectric film layer on the glass substrate And laminated at room temperature. The air pressure at this time was 3 kg / cm 2 , and the laminating speed was 1. OmZmin.
  • the dielectric laminate of the present invention including the first layer derived from the dielectric film and the second layer derived from the water-developable photosensitive film was formed on the glass substrate.
  • the surface of the dielectric laminate (water-developable photosensitive film) is covered with a supporting film.
  • the water-developable photosensitive film of the dielectric laminate on the glass substrate obtained in 3— (2) of Example 1 was applied to a test pattern mask on which a predetermined pattern was formed. Exposure was performed using a mercury lamp at a dose of 300 mJ / cm 2 with ultraviolet rays. Subsequently, the supporting film, polyethylene terephthalate, was peeled off.
  • the minimum line width of the formed lines was 60 m.
  • the photosensitive glass paste composition obtained in (1) was applied to a support film made of polyethylene terephthalate using Lipco overnight, and the coated film was dried at 100 ° C for 6 minutes, and the solvent was removed. Was removed, and a photosensitive glass paste film having a thickness of 60 im was formed on the support film.
  • a water-developable photosensitive glass paste composition as a second composition was prepared by kneading 80 parts by weight of the glass frit with 20 parts by weight of the obtained organic component (solid content: about 50%). did.
  • the obtained water-developable photosensitive glass paste composition was applied on a support film made of polyethylene terephthalate using a lip coater, and the coating J3 was dried at 100 ° C for 6 minutes to remove the solvent.
  • a photosensitive glass paste film having a thickness of 40 m was formed on the supporting film.
  • the water-developable photosensitive film obtained in 2- (2) of Example 2 was peeled off, and the polyethylene film was peeled off, and the film was obtained in 3- (1) of Example 2 previously heated at 80 ° C. On the surface of the dielectric film layer on the glass substrate And laminated at room temperature. At this time, the air pressure was 3 kgZcm 2 and the laminating speed was 1. Om / min.
  • the dielectric laminate of the present invention including the first layer derived from the dielectric film and the second layer derived from the water-developable photosensitive film was formed on the glass substrate.
  • the surface of the dielectric laminate (water-developable photosensitive film) is covered with a supporting film.
  • the water-developable photosensitive film of the dielectric laminate on the glass substrate obtained in 3- (2) of Example 2 was passed through a test pattern mask on which a predetermined pattern was formed. Exposure to ultraviolet light was performed using an ultra-high pressure mercury lamp at an irradiation dose of 300 mJZcm 2 . Subsequently, the supporting film, polyethylene terephthalate, was peeled off.
  • the minimum line width of the formed lines was 60 / xm.
  • the PDP can have an accuracy of several hundred meters, so it can be said that a sufficiently good pattern was obtained.
  • a glass paste composition was prepared. Next, using this photosensitive glass paste composition, a three-layer dielectric film was produced in the same manner as in 1- (2).
  • a water-developable photosensitive film having a three-layer structure was produced in exactly the same manner as in 2— (1) and (2) of Example 2.
  • a dielectric laminate was formed on a glass substrate in exactly the same manner as in 3— (1) and (2) of Example 2.
  • the water-developable photosensitive film of the dielectric laminate on the glass substrate obtained in Comparative Example 3 was passed through an ultra-high pressure mercury lamp through a test pattern mask on which a predetermined pattern was formed. Exposure was performed with ultraviolet light at a dose of OmJZcm 2 . Subsequently, the supporting film, polyethylene terephthalate, was peeled off.
  • the first layer including the inorganic powder and the binder resin and the second layer, and the second layer includes a photopolymerizable monomer and a photopolymerization initiator.
  • the dielectric composition for forming the body laminate and forming the first layer further contains a light absorber that absorbs the light having the predetermined wavelength. Therefore, when the first layer and the second layer are stacked to form a dielectric laminate, and the second layer is exposed to light at the predetermined wavelength through a mask or the like to form a pattern, Light that reaches the first layer via the second layer is absorbed by the light absorber. This prevents light that has reached the first layer from being scattered by the inorganic powder or the like in the first layer and then re-entering the second layer from a random direction. A pattern can be formed.
  • a pattern is formed in a desired shape on the second layer, and then all organic components are removed from the first and second layers by firing to obtain a dielectric.
  • the irregularities originating from the evening are formed.
  • a dielectric material derived from the second layer is assembled so as to cover each cell, and at this time, the convex and concave portions correspond to the barrier ribs and the concave portions correspond to the cells, respectively. By combining them, a path for introducing the discharge gas to each cell can be secured.
  • a path for introducing a discharge gas into the PDP can be formed, and furthermore, the first layer and the second layer are fired together to form a dielectric, so that a gas introduction path can be easily formed.
  • the working efficiency of the plasma display panel manufacturing process can be improved.

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Description

明 細 書
)誘電体用組成物、 誘電体用積層体、 及び誘電体の 形成方法 技術分野
本発明は、 プラズマディスプレイパネルの誘電体を形成するための誘電体用組 成物、 誘電体用積層体、 及び誘電体の形成方法に関する。 背景技術
プラズマディスプレイバネル (以下、 P D Pと略記する) は、 2枚のガラス基 板とその基板間に設けられた隔壁 (バリアリブ) によって形成される多数の微小 空間内に、 蛍光体、 電極、 及び無機材料からなる誘電体を形成し、 そこに放電ガ スを注入して構成される。 P D Pでは、 各微小空間が 1つの画素であり、 電極に 通電すると誘電体を介して放電が始まり、 これにより励起された放電ガスが基底 状態に戻る際に発生する紫外線により蛍光体が発光するようになっている。 この ような P D Pは、 従来の液晶表示装置や C R Tディスプレイに比較して、 大型画 面に好適であり、 実用化されつつある。
微小空間の具体的な構造としては、 従来は平行な溝を多数並べたストライプ型 が多かった。 このストライプ型では、 蛍光体を溝内の底と対向する 2側面の 3面 に形成し、 溝の両端から放電ガスを導入する。 しかし、 この構造では発光輝度に 限界があった。
そこで、 近年では、 ストライプ型の各溝内に仕切りを設けたセル型が開発され るようになってきている。 このセル型であれば、 各セル内の底面及び底面を取り 囲む 4つの側面の合計 5面に蛍光体を塗布し、蛍光体の表面積を多くとれるので、 輝度を向上させることができる。 しかしながら、 セル型の場合、 バリアリブで 4方が覆われているため放電ガス の導入路が確保しにくいという問題があった。 そこで、 各セルを囲むバリアリブ に段差を設け、段差により形成される隙間からガスを導入する技術が開発された。 しかし、 この場合、 互いに直交するように形成される縦方向及び横方向のバリア リブのそれぞれを、 ホトレジストやサンドブラストを利用したパターニング工程 を経て形成し、 多くの工程数を要する製造方法であり、 作業効率が悪いという問 題があった。
このように P D P、 特にセル型の P D Pでは、 簡単に放電ガス導入用の経路を 確保しにくいという問題があつた。
本発明は、 放電ガスの導入路を従来に比較して簡単に形成し、 プラズマデイス プレイパネルを製造する工程の作業効率の向上を図ることを目的とする。 発明の開示
以上の課題を解決するため、 本発明の第 1の側面によれば、 本発明のプラズマ ディスプレイパネルの誘電体用組成物は、 2層を積層してなるプラズマディスプ レイパネルの誘電体用組成物において、 第 1の層は、 無機粉末、 バインダー樹脂 及び所定波長の光を吸収する光吸収剤を含み、 第 2の層は、 無機粉末、 バインダ 一樹脂、 光重合性単量体及び光重合開始剤を含むことを特徴とする。
本発明のプラズマディスプレイパネルの誘電体用組成物によれば、 無機粉末と ノ'インダー榭脂とを含む第 1の層と第 2の層とから構成され、 第 1の層を形成す るための誘電体用組成物は、 さらに所定波長の光を吸収する光吸収剤を含有し、 第 2の層を形成するための誘電体用組成物はさらに光重合性単量体及び光重合開 始剤を含む。
従って、 第 1の層と第 2の層を重ねて誘電体用積層体を成した状態で、 第 2の 層をマスクなどを介して前記所定波長を選択的に照射した場合に、 第 2の層を経 て第 1の層に至った光は光吸収剤に吸収されることになる。 これにより、 第 1の 層に至った光が第 1の層内の無機粉末などにより散乱した後第 2の層にランダム な方向から再び入るといったハレーションを防ぎ、 マスクの形状に従つた所望の 潜像パターンを形成することができる。 そして、 第 2の層を現像処理することに よつて所望の形状でパターン形成し、 その後焼成により第 1の層と第 2の層から 有機分を全て除去することで、 第 1の層と第 2の層が一体となった誘電体が形成 され、 その表面に第 2の層のパターン由来の凹凸が形成される。
P D Pを製造する際には、 第 2の層の凸部がバリアリブに、 凹部が各セルをそ れぞれ被うように合わせることで、 各セルに放電ガスを導入する経路を確保する ことができる。 また、 第 1の層と第 2の層とを一括で焼成し誘電体を形成するこ とで簡単にガス導入路を形成でき、 プラズマディスプレイパネルの製造工程の作 業効率を上げることができ、 パネルあたりのタクトタイムを短縮できる。
ここで、 光吸収剤は、 第 2の層を感光させることができる波長の光を吸収する もので、 誘電体の特性を損ねるものでなければ材質は、 有機物及び無機物のいず れでもよいし、 また、 複数種類の光吸収剤を混合して用いてもよい。
この本発明のプラズマディスプレイパネルの誘電体用組成物は、 第 1の層にお いて、 光吸収剤が、 無機粉末、 バインダー樹脂及び光吸収剤の合計 1 0 0重量部 に対して、 0 . 0 1重量部〜 3 0重量部であることが好ましく、 これにより、 十 分な光吸収効果を発揮する。
この誘導体用組成物において、 光吸収剤の割合が、 0 . 0 1重量部未満である と、 十分な光吸収効果が発揮できず第 2の層をパターニングした際にハレーショ ンによりパターンが乱れる可能性がある。 このようにパターンが乱れると、 放電 ガスのガス導入路が十分確保できなかったり、 あるいはセル同士が連通してしま い意図しない放電が発生し、 放電電圧の乱れが生じる可能性があるため好ましく ない。 また、 3 0重量部を超えて含有する場合には、 第 2の層底部の感度が低下 し、 第 2の層をパターニングした際に、 パ夕一ニングの形成ができなかったり、 良好なパターン形状が得られない可能性があるため好ましくない。 また、 本発明の第 2の側面によれば、 本発 E
誘電体用積層体は、 2層を積層してなるプラズマディスプレイパネルの誘電体用 積層体において、 第 1の層は、 無機粉末、 バインダー樹脂及び所定波長の光を吸 収する光吸収剤を含み、 第 2の層は、 無機粉末、 バインダー樹脂、 光重合性単量 体及び光重合開始剤を含むことを特徴とする。
本発明のプラズマディスプレイパネルの誘電体用積層体によれば、 上記第 1の 側面と同様に、 簡単にガス導入路を形成することができ、 プラズマディスプレイ パネルの製造工程の作業効率を上げることができ、 パネルあたりのタクトタイム を短縮できる。
なお、 第 1及び第 2の側面において、 誘電体用組成物や誘電体用積層体は、 他 のフィルムや薄板などを有していてもよく、 例えば、 第 1の層や第 2の層が支持 フィルムや保護フィルムと接するように積層されていてもよい。 また、 P D Pを 構成するガラス基板上に積層された状態であってもよい。
さらに、 本発明の第 3の側面によれば、 本発明のプラズマディスプレイパネル の誘電体の形成方法は、 2層を積層してなるプラズマディスプレイパネルの誘電 体の形成方法において、 ガラス基板上に、 無機粉末、 バインダー樹脂及び所定波 長の光を吸収する光吸収剤を含む第 1の層を設け、 この上に無機粉末、 バインダ 一樹脂、 光重合性単量体及び光重合開始剤を含む第 2の層を設け、 次いで、 第 2 の層に選択的に前記所定波長の光を照射後現像して所定形状のパターンを形成し、 第 1の層と第 2の層とを一括して焼成することを特徴とする。
本発明のプラズマディスプレイパネルの誘電体の形成方法によれば、 上記第 1 及び第 2の側面と同様に、 プラズマディスプレイパネルの製造工程の作業効率を 上げることができ、 パネルあたりのタクトタイムを短縮できる。
そして、 誘電体には第 2の層のパターン由来の凹凸が形成される。 P D Pを製 造する際には、 第 2の層由来の誘電体を各セルを被うように組付け、 そのとき凸 部がバリアリブに、 凹部が各セルにそれぞれ対応するように合わせることで、 各 セルに放電ガスを導入する経路を確保することができる。 発明を実施するための最良の形態
以下、 本発明について詳細に説明する。
本発明に係る誘電体用積層体を構成する第 1の層と第 2の層は、 無機粉末とバ ィンダ一樹脂を必須成分とする。 さらに、 第 1の層は所定波長の光を吸収する光 吸収剤を含有し、 第 2の層は光重合性単量体及び光重合開始剤を含有する。 第 1の層及び第 2の層は、 上記したように、 無機粉末と、 バインダー樹脂、 及 び光吸収剤、 光重合性単量体と光重合開始剤から成るが、 通常はこれらを、 有機 溶剤等と混合し、 液状またはペースト状の誘電体用組成物を調製し、 この組成物 を P D Pを構成するガラス基板に直接塗布して積層フィルム化するか、 または組 成物からフィルムを作製し該フィルムをガラス基板上に積層させることで形成で さる。
第 1の層と第 2の層に含まれる無機粉末は、 焼成することでガラス化するもの であることが好ましく、 例えば、 PbO— S i 02系、 P b〇一 B23_ S i〇2 系、 Zn〇一S i〇2系、 Z n〇一 B23— S i〇2系、 B i O— S i〇2系、 B i 〇_B20:i— S i 02系、 P bO— B203— S i〇2_A 1203系、 PbO—ZnO -B,03- S i 02系などが挙げられる。
また、 第 1の層と第 2の層に含まれるバインダー樹脂としては、 次に挙げるモ ノマーを重合あるいは共重合させたものを用いることができる。 また、 これらモ ノマ一を光重合性単量体として第 1の層及び第 2の層に混合することができる。 このようなモノマーとしては、 例えば、 (メタ) アクリル酸エステル、 ェチレ ン性不飽和カルボン酸、 その他の共重合可能なモノマーを好適に用いることがで き、 ベンジルァクリレート、 ベンジルメ夕クリレート、 シクロへキシルァクリレ 一卜、 シ々口へキシルメタクリレート、 フエノキシェチルァクリレー卜、 フエノ キシェチルメタクリレート、 フエノキシポリエチレングリコールァクリレート、 フエノキシポリエチレングリコールメタクリレート、 スチレン、 ノニルフエノキ シポリエチレンダリコールモノアクリレート、 ノニルフエノキシポリェチレンク" リコールモノメタクリレート、 ノニルフエノキシポリプロピレンモノアクリレー ト、 ノニルフエノキシポリプロピレンモノメタクリレート、 2—ヒドロキシ一 3 一フエノキシプロピルァクリレー卜、 2ーァクリロイ口キシェチルフ夕レート、 2—ァクリロイロキシェチルー 2—ヒドロキシェチルフタレート、 2—メ夕クリ ロイロキシェチル— 2—ヒドロキシプロピルフタレ一ト、 メチルァクリレート、 ェチルァクリレート、 メチルメタクリレ一卜、 ェチルメタクリレート、 n _プロ ピルァクリレート、 n—プロピルメタクリレート、 i 一プロピルァクリレート、 i —プロピルメタクリレート、 n—ブチルァクリレート、 n—ブチルメタクリレ 一卜、 i 一ブチルァクリレート、 i 一プチルメ夕クリレート、 s e c—ブチルァ クリレート、 s e cーブチルメタクリレ一卜、 t e r t—ブチルァクリレート、 t e r t—ブチルメタクリレート、 2—ヒドロキシェチルァクリレート、 2—ヒ ドロキシェチルメタクリレート、 2—ヒドロキシプロピルァクリレ一卜、 2—ヒ ドロキシプロピルメタクリレート、 3—ヒドロキシプロピルァクリレー卜、 3― ヒドロキシプロピルメタクリレート、 2—ヒドロキシブチルァクリレート、 2— ヒドロキシブチルメ夕クリレート、 3—ヒドロキシブチルァクリレート、 3—ヒ ドロキシブチルメ夕クリレート、 4ーヒドロキシブチルァクリレート、 4ーヒ.ド 口キシブチルメ夕クリレート、 3—ェチルへキシルァクリレート、 エチレングリ コールモノアクリレート、 エチレングリコ一ルモノメ夕クリレー卜、 グリセ口一 ルァクリレート、 グリセ口一ルメタクリレート、 ジペン夕エリ トリトールモノア クリレート、 ジペン夕エリトリ! ルモノメタクリレート、 ジメチルアミノエチ ルァクリレート、 ジメチルアミノエチルメ夕クリレート、 テトラヒドロフルフリ ルァクリレ一ト、 テトラヒドロフルフリルメタクリレート、 アクリル酸、 メ夕ク リル酸、 クロトン酸、 ケィ皮酸、 マレイン酸、 無水マレイン酸、 フマル酸、 イタ コン酸、 無水ィタコン酸、 シトラコン酸、 無水シトラコン酸等を挙げることがで きる。 このうち、 アクリル酸及びメ夕クリル酸が好適に用いられる。
その他の共重合可能なモノマーとしては、 例えば前述の (メタ) アクリル酸ェ ステルの例示化合物をフマレートに代えたフマル酸エステル類、 マレエ一卜に代 えたマレイン酸エステル類、 クロトネートに代えたクロトン酸エステル類、 イタ コネ一トに代えたィ夕コン酸エステル類、 α—メチルスチレン、 ο—ビニルトル ェン、 m_ビニルトルエン、 p—ビニルトルエン、 o—クロロスチレン、 m—ク ロロスチレン、 p—クロロスチレン、 o—メトキシスチレン、 m—メトキシスチ レン、 p—メトキシスチレン、 酢酸ビニル、 酪酸ビニル、 プロピオン酸ビニル、 アクリルアミド、 メタクリルアミド、 アクリロニトリル、 メタクリロニトリル、 イソプレン、 クロ口プレン、 3—ブタジエン等を挙げることができる。
光重合性単量体としては、 前述のモノマーを挙げることができるが、 重合可能 なェチレン性不飽和結合を 2個以上有するモノマー (以下、 多官能性モノマーと いう) が好ましい。 多官能性モノマーとして、 例えば、 エチレングリコール、 プ ロピレングリコール等のアルキレングリコ一ルのジァクリレート又はジメタクリ レート類、 ポリエチレングリコール、 ポリプロピレンダリコール等のボリアルキ レングリコールのジァクリレート又はジメタクリレート類、 グリセリン、 トリメ チロールプロパン、 ペンタエリスリ ] ル、 ジペン夕エリスリ 1 ル等の多価ァ ルコールのポリアクリレー卜又はポリメタクリレート類やそれらのジカルボン酸 変性物などが挙げられる。
この中で、 具体的には、 エチレングリコールジァクリレー卜、 エチレングリコ 一ルジメ夕クリレート、 トリエチレングリコールジァクリレート、 トリエチレン グリコールジメタクリレート、 テトラエチレングリコールジァクリレー卜、 テト ラェチレングリコールジメタクリレート、プロピレングリコールジァクリレート、 プロピレングリコールジメタクリレート、 ポリプロピレングリコールジァクリレ ート、 ポリプロピレングリコールジメタクリレート、 卜リメチロールプロパント リアクリレート、 トリメチロールプロパントリメタクリレート、 テトラメチロー ト、 ペン夕エリ トリ トールトリァクリレート、 ペン夕エリトリ ] ^一ルトリメタク リレート、 ペン夕エリ トリト一ルテトラァクリレート、 ペン夕エリトリトールテ トラメタクリレート、 ジペン夕エリトリ! ^一ルペンタメ夕クリレート、 ジペン夕 エリトリ 1 ^一ルへキサァクリレート、 ジペン夕エリトリ 1 ルへキサメタクリレ —ト等が挙げられる。
上記モノマーをバインダー樹脂として用いるべく重合するにあたっての重合触 媒としては、一般的なラジカル重合開始剤を用いることができ、例えば、 2, 2 ' —ァゾビスイソプチロニトリル、 2, 2 ' —ァゾビス— (2 , 4—ジメチルバレ ロニトリル) 、 2 , 2 ' ーァゾビス一 (4—メトキシー 2—ジメチルバレロニ卜 リル) などのァゾ化合物、 ベンゾィルペルォキシド、 ラウロイルベルォキシド、 t e r t—ブチルペルォキシピバレ一ト、 1 , Γ —ビス一 ( t e r t—ブチル ペルォキシ) シクロへキサンなどの有機過酸化物及び過酸化水素などを挙げるこ とができる。 過酸化物をラジカル重合開始剤に使用する場合、 還元剤を組み合わ せてレドックス型の開始剤としてもよい。
上記モノマーの重合体'共重合体のほかに、 バインダー樹脂としては、 セル口 —ス、 ヒドロキシメチルセルロース、 ヒドロキシェチルセルロース、 ヒドロキシ プロピルセルロース、 カルボキシメチルセルロース、 カルポキシェチルセル口一 ス、 カルボキシェチルメチルセルロースなどのセルロース誘導体や、 さらに、 こ れらセルロース誘導体とエチレン性不飽和カルボン酸や (メタ) ァクリレート化 合物等との共重合体を用いることができる。
さらに、 バインダー樹脂としては、 ポリビニルアルコールとブチルアルデヒド との反応生成物であるポリプチラール樹脂などのポリビニルアルコール類、 δ一 バレロラクトン、 ε—力プロラクトン、 —プロピオラクトン、 α—メチルー ;3 一プロピオラクトン、 |3—メチルー β—プロピオラクトン、 α—メチルー /3—プ 口ピオラクトン、 ]3 _メチル一/3—プロピオラクトン、 a , ひ—ジメチルー jS— プロピオラクトン、 β , /3—ジメチルー /3 _プロピオラクトンなどのラクトン類 が開環重合したポリエステル類、 エチレングリコ一ル、 プロピレングリコール、 ジエチレングリコール、 トリエチレングリコール、 ジプロピレングリコール、 ネ ォペンチルグリコール等のアルキレンダリコール単独または二種以上のジオール 類と、 マレイン酸、 フマル酸、 グルタル酸、 アジピン酸などのジカルボン酸類と の縮合反応で得られたポリエステル類、 ポリエチレングリコール、 ポリプロピレ ングリコール、 ポリテ卜ラメチレングリコール、 ポリペンタメチレングリコール などのポリエーテル類、 ビスフエノール Α、 ヒドロキノン、 ジヒドロキシシクロ へキサン等のジォ一ル類と、 ジフエ二ルカ一ポネート、 ホスゲン、 無水コハク酸 等のカルボニル化合物との反応生成物であるポリ力一ポネート類が挙げられる。 以上のバインダー樹脂は単独でも又 2種以上での混合物でも使用できる。 ここで、 誘電体用組成物を液状またはペースト状に調製するにあたり、 有機溶 剤を用いることができる。有機溶剤としては、例えば、 メタノール、エタノール、 エチレングリコール、 ジエチレングリコール、 プロピレングリコール、 3—メト キシ— 3—メチルブ夕ノールなどのアルコール類、 テトラヒドロフラン、 ジ才キ サンなどの環状エーテル類、 エチレングリコールモノメチルェ一テル、 エチレン グリコ一ルモノェチルエーテル、 エチレングリコ一ルジメチルエーテル、 ェチレ ングリコールジェチルエーテル、 ジエチレングリコールモノメチルエーテル、 ジ エチレングリコールモノェチルエーテル、 ジエチレングリコールジメチルエーテ ル、 ジエチレングリコールジェチルエーテル、 ジエチレングリコールェチルメチ ルエーテル、 プロピレングリコールモノメチルエーテル、 プロピレングリコール モノェチルエーテルなどの多価アルコールのアルキルエーテル類、 2—メトキシ ブチルアセテート、 3—メトキシブチルアセテート、 4ーメトキシブチルァセテ ート、 2—メチルー 3—メトキシブチルアセテート、 3 _メチル—3—メトキシ ブチルァセ 'テート、 3ーェチルー 3—メトキシブチルァセテート、 2—エトキシ プチルァセテート、 4—エトキシブチルァセテートなどのアルコキシアルキルァ セテート類、 エチレングリコ一ルェチルェ一テルアセテート、 ジエチレングリコ ールェチルエーテルァセテ一ト、 プロピレングリコールェチルェ一テルァセテ一 ト、 プロピレンダリコールモノメチルエーテルァセテ一トなどの多価アルコール のアルキルエーテルァセテ一ト類、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素類、 アセトン、 メチルェチルケトン、 メチルイソブチルケトン、 シクロへキサノン、 4ーヒドロキシ一 4ーメチルー 2—ペンタノン、 ジアセトンアルコールなどのケ トン類、 酢酸ェチル、 酢酸プチル、 2—ヒドロキシプロピオン酸ェチル、 2—ヒ ドロキシ— 2—メチルプロピオン酸メチル、 2—ヒドロキシー 2—メチルプロピ オン酸ェチル、 エトキシ酢酸ェチル、 ヒドロキシ酢酸ェチル、 2—ヒドロキシー 3—メチルブタン酸メチル、 3—メトキシプロピオン酸メチル、 3—メトキシプ 口ピオン酸ェチル、 3—エトキシプロピオン酸ェチル、 3—エトキシプロピオン 酸メチルなどのエステル類が挙げられる。 これらのうち、 環状エーテル類、 多価 アルコールのアルキルエーテル類、 多価アルコールのアルキルエーテルァセテ一 卜類、 ケトン類、 エステル類などが好ましい。
なお、 これら溶剤は、 誘電体用組成物を溶解または均一に分散させるために用 いられるもので、 溶剤がなくてもそれだけで溶解あるレゝは均一に分散するのであ れば、 用いなくてもよい。
第 2の層に必須成分として含まれる光重合開始剤としては、 1—ヒドロキシシ クロへキシルフェニルケトン、 2, 2—ジメトキシー 1 , 2—ジフエニルェタン 一 1—オン、 2—メチルー 1一 [ 4 - (メチルチオ) フエニル] 一 2一モルフォ リノプロパン一 1 _オン、 2—べンジルー 2—ジメチルァミノ _ 1一 (4—モリ フ才リノフエニル) 一ブタン一 1—オン、 2—ヒドロキシー 2—メチルー 1ーフ ェニルプロパン一 1—オン、 2, 4, 6—トリメチルベンゾィルジフエニルホス フィンォキシド、 1一 [ 4一 (2—ヒドロキシエトキシ) フエニル] — 2 -ヒド 口キシー 2—メチルー 1一プロパン一 1—オン、 2, 4一ジェチルチオキサン卜 ン、 2—クロ口チォキサントン、 2, 4一ジメチルチオキサントン、 3 , 3—ジ メチル一 4—メトキシベンゾフエノン、 ベンゾフエノン、 1一クロ口— 4—プロ ポキシチォキサントン、 1— ( 4一イソプロピルフエニル) —2—ヒドロキシー 2—メチルプロパン— 1一オン、 1 一 (4—ドデシルフェニル) 一 2—ヒドロキ シ一 2—メチルプロパン— 1一オン、 4—ベンゾィルー 4 ' —メチルジメチルス ルフイ ド、 4ージメチルァミノ安息香酸、 4ージメチルァミノ安息香酸メチル、 4ージメチルァミノ安息香酸ェチル、 4ージメチルァミノ安息香酸プチル、 4一 ジメチルァミノ安息香酸一 2—ェチルへキシル、 4—ジメチルァミノ安息香酸一 2—イソァミル、 2, 2—ジエトキシァセトフエノン、 2 , 2—ジメトキシー 2 一フエニルァセトフエノン、 ベンジルジメチルケタール、 ベンジルー |3—メトキ シェチルァセタール、 1—フエ二ルー 1, 2 _プロパンジオン一 2— (o—エト キシカルボニル) ォキシム、 o—ベンゾィル安息香酸メチル、 ビス (4一ジメチ ルァミノフエニル)ケトン、 4 , 4 ' —ビスジェチルァミノべンゾフエノン、 4 , 4 ' ージクロ口べンゾフエノン、 ベンジル、 ベンゾィン、 ベンゾィンメチルエー テル、 ベンゾィンェチルエーテル、 ベンゾィンィソプロピルエーテル、 ベンゾィ ンー n _ブチルエーテル、 ベンゾインイソプチルェ一テル、 p—ジメチルァミノ ァセ卜フエノン、 p - t e r t—ブチル卜リクロロアセ卜フエノン、 - t e Γ 一プチルジクロロアセトフエノン、 チォキサントン、 2—メチルチオキサント ン、 2—イソプロピルチオキサントン、 ジベンゾスベロン、 ひ、 ひ一ジクロロー 4一フエノキシァセ卜フエノン、 ペンチル— 4ージメチルァミノべンゾエート、 9一フエ二ルァクリジン、 1, 7—ビス一 ( 9ーァクリジニル) ヘプタン、 1, 5—ビス一 (9ーァクリジニル) ペンタン、 1 , 3—ビス一 (9ーァクリジニル) プロパンなどが挙げられる。 これら光重合開始剤は単独でも 2種以上を組み合わ せてもよい。
第 2の層に、 光重合性単量体及び光重合開始剤を必須成分として含むことで、 第 1の層上に第 2の層を形成した後、 第 2の層のみパターニングすることで、 最 終的に第 2の層のパターン由来の凹凸を有する誘電体を形成することができる。 そして、 後述するように凸部分をバリァリブ部分に重ねることで各セルの上部に 「隙間」ができ、 放電ガスを導入することができるようになる。
第 1の層においても、さらに光重合性単量体及び光重合開始剤を含む場合には、 第 2の層の露光現像前に第 1の層のほぼ全面を露光しておけばよい。 なお、 第 1 の層もパターンニングしてもよく、 例えば、 P D Pを構成するガラス基板の外形 形状に合わせて、 第 1の層の周縁部を所定のパターンに形成してもよい。
また、 第 1の層には、 第 2の層を感光させる、 つまり第 2の層に含まれる光重 合開始剤を光活性化させる波長の光を吸収できる光吸収剤を必須成分として含有 する。
このような光吸収剤としては、 3 0 0〜4 5 0 n mの波長を吸収するものが好 適に用いられ、 例えば、 アゾ系染料、 アミノケトン系染料、 キサンテン系染料、 キノリン系染料、 ベンゾフエノン系染料、 トリアジン系染料、 ベンゾトリァゾ一 ル系染料、 アントラキノン系染料が挙げられる。
これら光吸収剤は、 第 1の層を形成するための組成物において、 無機粉末、 ノ ' ィンダ一樹脂及び光吸収剤の合計 1 0 0重量部に対して 0 . 0 1〜 3 0重量部混 合することが好ましい。
0 . 0 1重量部未満であると、 十分な光吸収効果を発揮することができない。 また、 3 0重量部を超えると、 光を吸収し過ぎることにより、 界面付近の第 2の 層が充分に露光されず、 膜が剥がれたり、 パターンが形成できないといったこと が生じる。
このように第 1の層が、 第 2の層に含まれる光重合開始剤を光活性ィヒさせる波 長の光を吸収できる光吸収剤を含有することで、 第 1の層と第 2の層を積層した 状態で第 2の層を露光して所定形状にパターニングした際に、 第 1の層に入つた 光が第 1の層内部の無機粉末などによって散乱することを防ぐことができる。 つまり、 仮に光吸収剤が含まれていなかつたならば、 第 1の層内の無機粉末な どの粒子によって光が散乱するので、 第 2の層が第 1の層から不確定な方向で入 射する光により露光されてしまい、 結果的にマスク通りの正確なパターン形成が できなくなる。 それを防ぐためには、 第 1の層を焼成し、 透明なガラス状態にし た後、 第 2の層を形成し露光し再び焼成するといつたように、 2回焼成しなけれ ばならない。
しかし、 本発明では第 1の層が光吸収剤を含有しているので、 一度に焼成する ことができ、 所望のパターンを形成できる。
本発明において、 誘電体用積層体を得るためには、 第 1の層用に、 上記で挙げ た有機溶剤、 バインダー樹脂、 光吸収剤、 無機粉末、 必要に応じて光重合性単量 体と光重合開始剤とを混合した液状またはペースト状の誘電体用組成物 (以下、 第 1の組成物と言う) を調製する。 第 2の層用に、 上記で挙げた有機溶剤、 バイ ンダ一樹脂、 無機粉末、 光重合性単量体と光重合開始剤とを混合した液状または ペースト状の組成物 (以下、 第 2の組成物と言う) を調製する。
さらに、第 1の組成物及び第 2の組成物には、分散剤、粘着性付与剤、可塑剤、 表面張力調製剤、 安定剤、 消泡剤などの各種添加剤が任意成分として含有されて いてもよい。
第 1の組成物及び第 2の組成物において、 無機粉末の割合は、 全ての有機成分 (有機溶剤、 バインダー樹脂、 光重合性モノマ一、 光重合開始剤など含む) 1 0 0重量部に対して、 1 0 0〜1 0 0 0重量部であればよい。
また、 第 1の組成物と第 2の組成物それぞれに含まれる無機粉末、 バインダー 樹脂及びその他の添加物は、 同じ材料であってもよいし、 異なるものであっても よい。 同じ材料であっても、 それぞれの割合は別であってもよい。
本発明に係る誘電体用積層体は例えば、 次の (1 ) 〜 (3 ) それぞれの方法で 製造する。 ( 1 ) 第 1の組成物を P D Pを構成するガラス基板に塗布し、 溶剤を除去し第 1の層を形成し、 その後、 第 2の組成物を第 1の層上に塗布し、 溶剤を除去し、 第 2の層を形成し、 積層体を得る。
( 2 ) 予め第 1の組成物の溶剤を除去しフィルム化し、 その表面に第 2の組成 物を塗布し溶剤を除去しフィルムを形成し、 複層の積層体を得る。 その後 P D P を構成するガラス基板に固着させる。
( 3 ) 第 1の組成物と第 2の組成物それぞれを溶剤を除去しフィルム化し、 フ イルム同士を積層しておく。 その後 P D Pを構成するガラス基板に固着させる。 または、 フィルム化したものを順にガラス基板に積層していく。
すなわち、 本発明の誘電体用積層体は、 ガラス基板上に直接積層していき形成 したものであってもよいし、 ガラス基板に設ける前に予め積層状態に形成したも のでもよい。
なお、 焼成後の誘電体用積層体由来の第 1の層の厚さは 5〜4 0 x m、 第 2の 層の厚さは 5〜 5 0 z mであることが好ましい。
ガラス基板上に設ける前に、 第 1の層及び第 2の層をそれぞれ別にフィルム化 する場合や、 2層重なった積層フィルム化する場合には、 フィルム作製の容易さ や取扱い、 あるいは保存時の利便性の都合上、 支持フィルム上に形成したり、 保 護フィルムで被うことが好ましい。
支持フィルムゃ保護フイルムとして使用可能な樹脂としては、 ポリエチレンテ レフ夕レート、 ポリエステル、 ポリエチレン、 ポリプロピレン、 ポリスチレン、 ポリイミド、 ポリビニルアルコール、 ポリ塩ィ匕ビニル、 ポリフルォロエチレンな どの含フッ素樹脂、' ナイロン、 セルロースなどを挙げることができる。 また、 離 型性向上のため S i処理等の離型処理をしたものでもよい。 支持フィルムの厚さ としては、 例えば 1 5〜1 0 0 z m、 保護フィルムとしては、 例えば 1 5〜6 0 mである。 なお、 前述のように第 1の層において、 光重合性単量体や光重合開始剤を必要 に応じて混合してもよいと記載したが、 フィルム化した後に、 ガラス基板上に設 ける前後に光重合することで硬化させると、 接着力が低下し、 支持フィルムや保 護フィルムを剥がしやすくなる。 さらに、 第 2の層と同じ光重合性単量体や光重 合開始剤を含むことで、 焼成時の収縮率を均一化することができる。
ガラス基板上に誘電体用積層体を設けた後は、 第 2の層を所定形状のマスクを 介して所定波長の光で露光する。 その後、 未露光部分を溶剤等から成る現像液で 除去し、 所定のパターンを形成する。 その後、 4 5 0 °C以上の温度で、 第 1の層 及び第 2の層を一括して焼成することで、 全ての有機成分が焼き飛び、 無機成分 がガラス化し、 誘電体が形成される。 この誘電体の表面には第 2の層のパターン 由来の凹凸が形成される。
第 2の層のパターンを形成する光源の波長としては、 3 0 0 n m〜4 5 0 n m の波長の光を用いることができ、 具体的には、 g線 (4 3 6 n m) 、 h線 (4 0 5 n m) 、 i線 (3 6 5 n m) を好ましく用いることができる。
そして、 P D Pの製造時には、 凹凸を有する誘電体 (凹凸誘電体) 付きのガラ ス基板と、 バリァリブの内側に蛍光体などの形成された前記セル型の基板を貼り 合わせる。 このとき誘電体の凸部分をバリアリブに、 凹部分をセル上に合わせる ことで、 各セルの蛍光体と対向する誘電体側に隙間ができ、 セル内に放電ガスを 導入することができる。
なお、 本発明は、 セル型の P D Pに特に好適に用いることができるものである 力 ストライプ型の P D Pに用いてもよいことは勿論である。 実施例
次に実施例に基づいて、 本発明をさらに詳細に説明するが、 本発明はこれらの 例によって何ら限定されるものではない。
[実施例 1 ] 1. 第 1の層用の誘電体用フィルム製造
(1) 第 1の層形成用の第 1の組成物の調製 ト (80Z20、 重量比) の共重合体 (Mw=20000) 99. 5重量部、 紫 外線吸収剤としてァゾ染料 (商品名染料 SS、 ダイトーケミックス社製) 0. 5 重量部、 及び溶剤として 3—メトキシ— 3—メチルブタノール 100重量部を混 ぜ、 混合機により 3時間混合することにより有機成分を調製した。
得られた有機成分 (固形分 50%) 20重量部と、 ガラスフリット (Pb〇一 S i〇2系) 80重量部とを混練りすることで、第 1の組成物としてのガラスべ一 スト組成物を調製した。
(2) フィルムの製造
(1) で得られたガラスペ一スト組成物を、 ポリエチレンテレフ夕レートから なる支持フィルム上にリップコ一夕一を用いて塗布し、 塗膜を 100°Cで 6分間 乾燥し、 前記溶剤を除去し、 支持フィルム上に厚さ 60 mのガラスペースト膜 を形成した。
次に、 得られたガラスペースト莫上に、 保護膜として厚さ 25 のボリェチ レンフィルムを張り合わせ誘電体用フィルムを製造した。
2. 第 2の層用の水現像型感光性フィルム作製
(1) 第 2の層形成用の第 2の組成物の調製
水溶性セルロース誘導体としてヒドロキシプロピルセルロース 22重量部、 ァ 量比) の共重合体 (Mw=40000) 14重量部、 光重合性単量体として前記 2—メ夕クリロイロキシェチルー 2—ヒドロキシプロピルフタレート 63重量部、 光重合開始剤として 2, 2—ジメトキシー 2—フエニルァセトフエノン 0. 9重 量部、 紫外線吸収剤として前記ァゾ染料 0. 1重量部、 溶剤として 3—メトキシ 一 3—メチルブ夕ノール 100重量部を混ぜ、 混合機で 3時間混合することによ り、 有機成分を調製した。
なお、 有機成分内にァゾ染料を添加したのは、 第 2の層内でのハレーションを 防ぎ、 シャープなパターンを形成するためである。
得られた有機成分 (固形分 50%) 20重量部に対して、 前記ガラスフリット 80重量部を混練りすることで、 第 2の組成物としての水現像型感光性ガラスべ ースト組成物を調製した。
(2) フィルムの作製
得られた水現像型感光性ガラスペースト組成物を、 ポリエチレンテレフ夕レー トからなる支持フィルム上にリップコ一夕一を用いて塗布し、 塗膜を 10 o°cで 6分間乾燥して溶剤を除去し、 厚さ 40 /mの感光性ガラスペースト膜を支持フ イルム上に形成した。
次に、 感光性ガラスペースト膜上に、 保護膜として厚さ 25 mのポリエチレ ンフィルムを張り合わせ水現像型感光性フィルムを製造した。
3. 誘電体用積層体の製造
(1) 誘電体用フィルムの積層
実施例 1の 1— (2) で得られた誘電体用フィルムのポリエチレンフィルムを 剥がしながら、 予め 80°Cに加熱しておいた、 バス電極が形成されたガラス基板 にホットロールラミネ一ターにより 105°Cでラミネート (積層) した。 このと きのエア圧力は 3 k gZcm2、 ラミネー卜速度は 1. Om/mi n. であった。 次いで、 支持フィルムであるボリエチレンテレフ夕レートを剥離した。
( 2 ) 水現像型感光性フィルムの積層
実施例 1の 2— (2) で得られた水現像型感光性フィルムのポリエチレンフィ ルムを剥がしながら、 予め 80°Cで加熱しておいた実施例 1の上記 3— (1) で 得られたガラス基板上の誘電体用フィルム層の表面に、 ロールラミネ一夕一によ り常温でラミネートした。 このときのエア圧力は 3 k g/cm2で、 ラミネ一ト速 度は 1. OmZmi n. であった。
以上により、 ガラス基板上に、 誘電体用フィルム由来の第 1の層と、 水現像型 感光性フィルム由来の第 2の層からなる本発明の誘電体用積層体が形成された。 この段階では、 誘電体用積層体 (水現像型感光性フィルム) の表面は支持フィル ムで覆われている。
4. 誘電体用積層体の評価及び誘電体の製造
実施例 1の 3— (2) で得られたガラス基板上の誘電体用積層体の水現像型感 光性フィルムを、所定のパターンが形成された試験用のパターンマスクを介して、 超高圧水銀灯により 300mJ/cm2の照射量で紫外線で露光した。続いて、支 持フィルムであるポリエチレンテレフ夕レートを剥離した。
続いて、液温 30°Cの水を用いて 3 k gZcm2の噴射圧力で、 30秒間ノズル から水を吹き付け、 スプレー現像を行い、 水現像型感光性フィルムの非露光部分 を除去し、 パターンを形成した。
得られたパターンについてパターン形状を評価したところ、 形成された線のう ち最小の線幅は 60 mであった。
次いで、 昇温スピード 10°CZm i n. で加熱していき、 その後 580°Cで 3 0分間保持し、焼成処理を行った。その結果、良好な誘電体パターンが得られた。
[実施例 2]
1. 第 1の層用の誘電体用フィルム製造
(1) 第 1の層形成用の第 1の組成物の調製
セルロース誘導体としてヒドロキシプロピルセルロース 25重量部、 光重合性 単量体として 2—メタクリロイ口キシェチル— 2—ヒドロキシプロピルフタレー ト (商品名 H〇一 MPP、 共栄社化学 (株) 製) 34重量部、 光重合開始剤とし て 2, 2—ジメトキシ一 2—フエニルァセトフエノン (商品名 I R— 651、 チ バガイギ一社製) 40. 5重量部、 紫外線吸収剤としてァゾ染料 (商品名染料 S S、 ダイ ト一ケミックス社製) 0. 5重量部、 及び溶剤として 3—メトキシ一 3 ーメチルブ夕ノール 100重量部を混ぜ、 混合機により 3時間混合することによ り有機成分を調製した。
得られた有機成分 (固形分約 50%) 20重量部と、 ガラスフリット (例えば PbO— S i 02などの鉛系) 80重量部とを混練りすることで、第 1の組成物と しての感光性ガラスペースト組成物を調製した。
(2) フィルムの製造
(1) で得られた感光性ガラスペースト組成物を、 ポリエチレンテレフ夕レー 卜からなる支持フィルム上にリップコ一夕一を用いて塗布し、 塗膜を 100°Cで 6分間乾燥し、 前記溶剤を除去し、 支持フィルム上に厚さ 60 imの感光性ガラ スペースト膜を形成した。
次に、 得られた感光性ガラスペースト膜上に、 保護膜として厚さ 25 mのポ リエチレンフィルムを張り合わせ誘電体用フィルムを製造した。
2. 第 2の層用の水現像型感光性フィルム作製
(1) 第 2の層形成用の第 2の組成物の調製
水溶性セルロース誘導体としてヒドロキシプロピルセルロース 22重量部、 ァ クリル樹脂としてスチレン/ヒドロキシェチルメ夕クリレート (55Z45、 重 量比) の共重合体 (Mw=40000) 14重量部、 光重合性単量体として前記 2 _メ夕クリロイ口キシェチル一 2—ヒドロキシプロピルフタレート 63重量部、 光重合開始剤として前記 2, 2—ジメトキシー 2—フエニルァセトフエノン 0. 9重量部、 紫外線吸収剤として前記ァゾ染料 0. 1重量部、 溶剤として 3—メト キシー 3—メチルブ夕ノール 100重量部を混ぜ、 混合機で 3時間混合すること により、 有機成分を調製した。
なお、 有機成分内にァゾ染料を添加したのは、 第 2の層内でのハレーションを 防ぎ、 シャープなパターンを形成するためである。 得られた有機成分 (固形分約 50%) 20重量部に対して、 前記ガラスフリツ 卜 80重量部を混練りすることで、 第 2の組成物としての水現像型感光性ガラス ペースト組成物を調製した。
(2) フィルムの作製
得られた水現像型感光性ガラスペースト組成物を、 ポリエチレンテレフタレー 卜からなる支持フィルム上にリップコーターを用いて塗布し、 塗 J3莫を 100°Cで 6分間乾燥して溶剤を除去し、 厚さ 40 mの感光性ガラスペースト膜を支持フ イルム上に形成した。
次に、 感光性ガラスペースト膜上に、 保護膜として厚さ 25 mのポリエチレ ンフィルムを張り合わせ水現像型感光性フィルムを製造した。
3. 誘電体用積層体の製造
(1) 誘電体用フィルムの積層
実施例 2の 1一 (2) で得られた誘電体用フィルムのポリエチレンフィルムを 剥がしながら、 予め 80°Cに加熱しておいた、 バス電極が形成されたガラス基板 にホット口一ルラミネ一夕一により 105°Cでラミネート (積層) した。 このと きのエア圧力は 3 k gZcm2、 ラミネート速度は 1. OmZm i n. であった。 ガラス基板上の誘電体用フィルム層を超高圧水銀灯により 10 OmJZcm2 の照射量で紫外線で露光した。 これにより 2, 2—ジメトキシー 2—フエニルァ セトフエノンを開始剤として 2—メタクリロイロキシェチルー 2—ヒドロキシプ 口ピルフタレートを重合した。 重合により硬化することで接着性が低下し、 支持 フィルムを剥がしゃすくなる。
次いで、 支持フィルムであるポリエチレンテレフタレートを剥離した。
(2) 水現像型感光性フィルムの積層
実施例 2の 2— (2) で得られた水現像型感光性フィルムのポリエチレンフィ ルムを剥がしながら、 予め 80°Cで加熱しておいた実施例 2の上記 3— (1) で 得られたガラス基板上の誘電体用フィルム層の表面に、 口一ルラミネ一夕一によ り常温でラミネートした。 このときのエア圧力は 3 k gZcm2で、 ラミネート速 度は 1. Om/m i n. であった。
以上により、 ガラス基板上に、 誘電体用フィルム由来の第 1の層と、 水現像型 感光性フィルム由来の第 2の層からなる本発明の誘電体用積層体が形成された。 この段階では、 誘電体用積層体 (水現像型感光性フィルム) の表面は支持フィル ムで覆われている。
4. 誘電体用積層体の評価及び誘電体の製造
実施例 2の 3— (2) で得られたガラス基板上の誘電体用積層体の水現像型感 光性フィルムを、所定のパ夕一ンが形成された試験用のパターンマスクを介して、 超高圧水銀灯により 300mJZcm2の照射量で紫外線で露光した。続いて、支 持フィルムであるボリエチレンテレフタレ一卜を剥離した。
続いて、液温 30°Cの水を用いて 3 k g/cm2の噴射圧力で、 30秒間ノズル から水を吹き付け、 スプレー現像を行い、 水現像型感光性フィルムの非露光部分 を除去し、 パターンを形成した。
得られたパターンについてパターン形状を評価したところ、 形成された線のう ち最小の線幅は 60 /xmであった。 PDPでは、 現状として数百 m程度の精度 でもよいことから、 十分良好なパターンが得られたと言える。
次いで、 パターン形成後、 昇温スピード 10°CZmi n. で加熱していき、 そ の後 580°Cで 30分間保持し、 焼成処理を行った。 その結果、 良好な誘電体パ 夕一ンが得られた。
[比較例]
1. 誘電体用フィルムの製造
紫外線吸収剤であるァゾ染料を混合せず、 代わりに 2, 2—ジメトキシー 2 - フエニルァセトフエノンを 41重量部混合した以外は、 実施例 2の 1一 (1) と 同様に感光性ガラスペースト組成物を調製した。 次いで、 この感光性ガラスペースト組成物を用い、 前記 1— (2) と同様に 3 層構造の誘電体用フィルムを製造した。
2. 水現像型感光性フィルムの製造
実施例 2の 2— (1) 、 (2) と全く同様にして 3層構造の水現像型感光性フ イルムを製造した。
3. 誘電体用積層体の製造
実施例 2の 3— (1) 、 (2) と全く同様にしてガラス基板上に誘電体用積層 体を形成した。
4. 誘電体用積層体の評価及び誘電体の製造
比較例の 3で得られたガラス基板上の誘電体用積層体の水現像型感光性フィル ムを、 所定のパターンが形成された試験用のパターンマスクを介して、 超高圧水 銀灯により 10 OmJZcm2の照射量で紫外線で露光した。続いて、支持フィル ムであるポリエチレンテレフタレ一トを剥離した。
続いて、液温 30°Cの水を用いて 3 k gZcm2の噴射圧力で、 30秒間ノズル から水を吹き付け、 スプレー現像を行い、 水現像型感光性フィルムの非露光部分 を除去し、 パターンを形成した。
得られたパターンについてパターン形状を評価したところ、 パターンのエッジ 部にガ夕ツキが見られた。 これは、 誘電体用フィルムに紫外線吸収剤であるァゾ 染料が入つていないために、 水現像型感光性フィルムをマスクを介して露光する ときに、 第 1の層である誘電体用フィルム内に紫外線が入り内部のガラス粉末な どで紫外線が散乱し、 マスクの形状通りに高い精度で露光することができなかつ たためと考えられる。
次いで、 パターン形成後、 昇温スピード 10°CZm i n. で加熱していき、 そ の後 580°Cで 30分間保持し、 焼成処理を行った。 当然のことながら、 焼成パ ターンにガタツキが見られた。 産業上の利用可能性
本発明によれば、 無機粉末とバインダー榭脂とを含む第 1の層と第 2の層とか ら少なくとも構成され、 第 2の層が光重合性単量体及び光重合開始剤を有する誘 電体用積層体を形成し、 第 1の層を形成するための誘電体用組成物は、 さらに、 前記所定波長の光を吸収する光吸収剤を含有する。 従って、 第 1の層と第 2の層 を重ねて誘電体用積層体を成した状態で、 第 2の層をマスクなどを介して前記所 定波長で感光しパターンを形成する場合に、 第 2の層を経て第 1の層に至った光 は光吸収剤に吸収される。 これにより、 第 1の層に至った光が第 1の層内の無機 粉末などにより散乱した後第 2の層にランダムな方向から再び入射することを防 ぎ、 マスクの形状に従った所望のパターンを形成することができる。
そして、 第 2の層に所望の形状でパターン形成し、 その後第 1の層と第 2の層 から焼成により有機分を全て除去し誘電体を得ると、 その表面には第 2の層のパ 夕一ン由来の凹凸が形成される。 P D Pを製造する際には、 例えば、 第 2の層由 来の誘電体を各セルを被うように組付け、 そのとき凹凸の凸部がバリァリブに、 凹部が各セルにそれぞれ対応するように合わせることで、 各セルに放電ガスを導 入する経路を確保することができる。
このように P D P内に放電ガスを導入する経路を形成でき、 しかも、 第 1の層 と第 2の層とを一括で焼成し誘電体を形成することで、 簡単にガス導入路を形成 でき、プラズマディスプレイパネルの製造工程の作業効率を上げることができる。

Claims

1 . 2層を積層; )誘電体用組成物におい て、
第 1の層は、 無機粉末、 -樹脂及び所定波長の光を吸収する光吸収剤 請
を含み、
第 2の層は、 無機粉末、 -樹脂、 光重合性単量体及び光重合開始剤を 含むことを特徴 < )誘電体用組成物。 囲
2 . 第 1の層において、 光吸収剤が、 無機粉末、 バインダー樹脂及び光吸収剤 の合計 1 0 0重量部に対して、 0 . 0 1重量部〜 3 0重量部であることを特徴と する請求の範囲第 1項に記載のプラズマディスプレイパネルの誘電体用組成物。
3 . 2層を積層してなるプ スプレイパネルの誘電体用積層体におい て、
第 1の層は、 無機粉末、 一樹脂及び所定波長の光を吸収する光吸収剤 を含み、
第 2の層は、 無機粉末、 ー榭脂、 光重合性単量体及び光重合開始剤を 含むことを特徴とする )誘電体用積層体。
4 . 2層を積層' )誘電体の形成方法にお いて、
ガラス基板上に、 無機粉末、 バインダー樹脂及び所定波長の光を吸収する光吸 収剤を含む第 1の層を設け、
この上に無機粉末、 バインダー樹脂、 光重合性単量体及び光重合開始剤を含む 第 2の層を設け、 次いで、 第 2の層に選択的に前記所定波長の光を照射後現像して所定形状のパ ターンを形成し、
第 1の層と第 2の層とを一括して焼成することを特徴(
レイパネルの誘電体の形成方法。
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