JPH065202A

JPH065202A - プラズマディスプレイ用基板のカラーフィルター形成方法

Info

Publication number: JPH065202A
Application number: JP4187396A
Authority: JP
Inventors: Masatoshi Harayama; 雅俊原山; Motohiro Oka; 素裕岡
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1992-06-23
Filing date: 1992-06-23
Publication date: 1994-01-14

Abstract

(57)【要約】【目的】耐熱性に優れるとともに出ガスがなく、しか
も膜厚均一性、解像性、加工精度においても満足のいく
プラズマディスプレイ用基板のカラーフィルターを形成
する。【構成】カラーフィルターを形成すべきガラス等の基
板１上に耐熱性のある着色剤を分散させた着色剤組成物
２を塗布し、その上から感光性組成物３を塗布する。次
に、マスクＭを介して感光性組成物３の層にパターニン
グ部分３ａを形成した後、非露光部分３ｂを現像して除
去する。続いて、このパターニング部分３をマスキング
材として着色剤組成物２の層を現像パターニングした
後、着色反応に十分な温度で焼成し、有機分を焼失して
着色剤からなるフィルター部分を形成する。着色剤とし
ては、耐熱性顔料、色ガラス、基板ガラス中のアルカリ
イオンを着色イオンと交換するような材料が使用でき
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プラズマディスプレイ
パネル（以下、ＰＤＰと略す）を構成するプラズマディ
スプレイ用基板のカラーフィルター形成方法に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】図１は反射型蛍光面を有する従来のＤＣ
型ＰＤＰの一構成例を示すもので、ガラスからなる平板
状の前面板１１と背面板１２が互いに平行にかつ対向し
て配設され、両者はその間に設けられたセル障壁１３に
より一定の間隔に保持されている。また、前面板１１の
背面には互いに平行な複数のライン状の陽極１４が形成
されているとともに、背面板１２の前面側には互いに平
行な複数のライン状の陰極１５がこの陽極１４と直交し
て形成されている。さらにセル障壁１３の内面には蛍光
層１６が隣接して形成されており、この蛍光層１６には
各セル１７毎に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の発光色
の蛍光体が所定のパターンで振り分けて設けられてい
る。

【０００３】上記従来のＤＣ型ＰＤＰにおいては、陽極
１４と陰極１５の間に直流電源から所定の電圧を印加し
て電場を形成することにより、前面板１１と背面板１２
とセル障壁１３とで構成される表示要素しての各セル１
７の内部で放電が行われる。そして、この放電により生
じる紫外線が蛍光層１６を発光させ、前面板１１を透過
する光を観察者が視認するようになっている。

【０００４】また、図２は反射型蛍光面を有する従来の
ＡＣ型ＰＤＰの一構成例を示すもので、このＡＣ型ＰＤ
Ｐにおいても先のＤＣ型ＰＤＰと同様に、ガラスからな
る平板状の前面板２１と背面板２２が互いに平行にかつ
対向して配設され、両者はその間に設けられたセル障壁
２３により一定の間隔に保持されている。そして、セル
障壁の下に書込み用の電極２４が形成されており、また
前面板２１の背面側にはセル２５に一対ずつ対応して電
極２６，２７が平行に形成され、さらにその背面側に誘
電体層２８及び保護層２９が形成されており、セル障壁
２３の内面及び背面板２２の前面側に蛍光層３０が形成
されている。

【０００５】上記従来のＡＣ型ＰＤＰにおいては、前面
板２１に形成された一対の電極２６，２７間に交流電源
から所定の電圧を印加して電場を形成することにより、
前面板２１と背面板２２とセル障壁２３との間の表示要
素しての各セル２５内で放電が行われる。そして、この
放電により生じる紫外線が蛍光層３０を発光させ、前面
板２１を透過する光を観察者が視認するようになってい
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の如き
カラーＰＤＰでは今までに様々な改良がなされてきた。
しかしながら、ＰＤＰの輝度が十分でないためもあって
コントラストが十分とれていないのが現状である。

【０００７】ディスプレイを見やすくするには、反射率
を低減しコントラストを向上させることが効果があり、
これを実現するための手段としては、前面板にＮＤ（Neutral Dencity)フィルター特性を持
たせる。前面板にＮｄ₂Ｏ₃を入れ、発光体の主要スペクトル
以外のところで吸収特性を持たせる。蛍光層以外の場所を低反射材料で埋める。すなわち、
ブラックマトリクスを形成する。蛍光層に顔料を混合する。蛍光層の前に顔料層を形成する。赤，緑，青の各セルに対応して、発光スペクトル単一
波長だけ透過させるカラーフィルターを設ける。等が考えられるが、ＰＤＰはＣＲＴと異なり輝度にあま
り余裕がないため、輝度の減少を最低限に抑えてコント
ラストを上げるには、のブラックマトリクスとのカ
ラーフィルターが有効である。そして、カラーＰＤＰに
おいては、視野角の点から考えると、前面板の内側にこ
れらを設ける必要がある。しかし、このために基板作成
の工程上４５０〜６００℃程度、若しくはそれ以上の高
温に耐えるものであること及び出ガスがないことが要求
される。この点において、現在使用されている液晶表示
素子用のカラーフィルターをそのまま使用することはで
きない。

【０００８】一方、材料をペースト化してスクリーン印
刷によってカラーフィルターを形成する方法が知られて
いるが、膜厚均一性、解像性、加工精度において、特に
大型化を考えた場合に必ずしも満足のいくものではな
い。

【０００９】本発明は、上述のような背景に鑑みてなさ
れたものであり、耐熱性に優れるとともに出ガスがな
く、しかも膜厚均一性、解像性、加工精度においても満
足のいくカラーフィルターを形成できるプラズマディス
プレイ用基板のカラーフィルター形成方法を提供するこ
とを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明のプラズマディスプレイ用基板のカラーフ
ィルター形成方法は、カラーフィルターを形成すべき基
板上に耐熱性のある着色剤を分散させた着色剤組成物を
塗布する第１塗布工程と、その上から感光性組成物を塗
布する第２塗布工程と、カラーフィルターパターンのマ
スクを介しての露光により感光性組成物の層にパターニ
ング部分を形成する露光工程と、感光性組成物の非露光
部分を現像によって除去する現像工程と、感光性組成物
のパターニング部分をマスキング材として着色剤組成物
の層を現像パターニングする現像パターニング工程と、
着色反応に十分な温度で焼成し感光性組成物の有機分を
焼失して着色剤からなるフィルター部分を形成する焼成
工程とからなることを要旨としている。

【００１１】そして、異なる透過波長をもつ部分からな
るフィルターを形成する場合には、異なる透過波長をも
つ複数の着色剤をそれぞれ分散した各着色剤組成物につ
いて、前記第１塗布工程、第２塗布工程、露光工程、現
像工程、現像パターニング工程を繰り返して行った後で
焼成工程を行うことにより、基板上に選択的に各色が配
列されたフィルター部分を形成するようにすればよい。

【００１２】さらに、ブラックマトリクスを形成する場
合には、耐熱性の黒色顔料を加えた組成物について同様
の工程を加えるようにすればよいものである。

【００１３】なお、上記第１塗布工程及び第２塗布工程
をドクターブレードコーティングにより行うことが好ま
しい。

【００１４】そして、上記の形成方法において使用する
着色剤としては、耐熱性顔料又は色ガラスを使用するこ
とができ、さらには基板ガラス中のアルカリイオンを着
色イオンと交換するような材料も使用することができ
る。

【００１５】

【作用】上述の本発明のプラズマディスプレイ用基板の
カラーフィルター形成方法によれば、感光性組成物のパ
ターニング部分が着色剤組成物の現像パターニング時に
おけるマスキング材として利用される。これにより膜厚
が均一で、解像性及び加工精度に優れたカラーフィルタ
ーが形成される。また、焼成工程により有機分が焼失せ
しめられ、出ガスのないカラーフィルターが形成され
る。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて詳細に
説明する。

【００１７】図３及び図４は本発明に係るプラズマディ
スプレイ用基板のカラーフィルター形成方法の工程図で
ある。

【００１８】まず、図３の（ａ）に示すように、ガラス
からなる平面状の基板１を洗浄してフィルター形成面を
決定する。ここで、フロート方式で形成されたガラス基
板などを使用する時には、使用する着色剤に応じてガラ
ス面を錫面とするか又は非錫面とするかを選択する必要
がある。すなわち、錫面にすると、使用する着色剤の種
類によっては錫のイオンがガラス中に入って悪影響を及
ぼすことがあり、また着色剤として基板ガラス中のアル
カリイオンを着色イオンと交換するような材料を使用す
る場合には、錫面の方がイオン交換がしやすくて発色が
よくなる場合が少なくない。

【００１９】次に、図３の（ｂ）に示すように、基板１
上のカラーフィルターを形成すべき面に着色剤を分散し
た着色剤組成物２を全面塗布して乾燥させた後、（ｃ）
に示すように、着色剤組成物２を塗布した上から感光性
組成物３を塗布して乾燥させる。これら各層の塗布方法
としては、スプレー法、スピンナー法、ディップ法、印
刷法、ブレードコーター法、ロールコーター法など任意
のコーティング方法を採用することができる。

【００２０】続いて、図３の（ｄ）に示すように、カラ
ーフィルターパターンのマスクＭを介して感光性組成物
３をパターン露光してパターニング部分３ａを形成して
から、図４の（ｅ）に示すように、感光性組成物３の層
を現像して非露光部分３ｂを除去した後、パターニング
部分３ａを乾燥して硬膜化する。

【００２１】その後、図４の（ｆ）に示すように、この
パターニング部分３ａをマスキング材として着色材組成
物２の層を現像パターニングする。

【００２２】３色のカラーフィルターの場合は、赤，
緑，青の透過波長をもつ着色剤をそれぞれ分散した着色
剤組成物について、図３（ｂ）の塗布工程から図４
（ｆ）の現像パターニング工程を繰り返す。この場合、
図３（ｄ）のパターン露光の際に各色毎にマスクＭによ
ってセルを選択的に露光するようにする。さらに、ブラ
ックマトリクスを入れる場合には、耐熱性の黒色顔料を
加えた組成物について同様の工程を加えるようにする。

【００２３】以上の工程を行った後、図４の（ｇ）に示
すように感光性組成物３のパターニング部分３ａを剥離
してから、基板１全体を焼成工程に移し、着色反応に十
分な温度で焼成して残留する有機分を焼失せしめる。な
お、３色のカラーフィルターの場合は、図３（ｂ）の塗
布工程から図４（ｆ）の現像パターニング工程を繰り返
した後で、感光性組成物３のパターニング部分３ａを一
度にまとめて剥離するとよい。なお、焼成の際に分解し
やすい感光性組成物３を使用した場合であれば、剥離工
程を省略して焼成時に焼失してもよく、３色のカラーフ
ィルターの場合は、最後の焼成工程で一度に感光性組成
物３のパターニング部分３ａを飛ばすようにするとよ
い。

【００２４】上記焼成工程を経ることにより、ブラック
マトリクスを入れた３色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）のカラーフィル
ターの場合には、基板１上に図４の（ｈ）に示すような
パターンのフィルター部分４とブラックマトリクス５と
からなるカラーフィルターが形成される。

【００２５】上記のように、着色剤組成物を塗布しその
パターニングに感光性組成物を利用したことにより、均
一性が高く、解像性及び寸法精度に優れたカラーフィル
ターを形成できる。また、焼成工程を通すことにより、
出ガスの原因となる有機分を焼失することができるもの
である。この際に、着色剤によっては密着性が高くなり
着色反応を促進することが期待できる。

【００２６】上記着色剤としては、耐熱性の顔料であれ
ばいずれも使用することができる。この場合、基板の作
製工程に依存するが４５０〜６００℃程度の耐熱性があ
ればよい。また、薄い膜厚で波長選択性が確保できる色
ガラス、基板ガラス中のアルカリイオンを着色イオンと
交換するような材料等も使用することができる。また、
発色とその安定性、耐熱性、密着性、表面平滑性の向上
のために低融点のガラスフリットを混合することも有効
である。また、着色剤組成物としては、塗布の方法によ
っては、有機もしくは水系の溶媒中に分散したり、場合
によっては少量の樹脂を加えることもある。

【００２７】耐熱性顔料の種類は多いが、代表的なもの
としては、鉄系（赤）、アルミン酸マンガン系（桃
色）、金系（桃色）、アンチモン−チタン−クロム系
（橙色）、鉄−クロム−亜鉛系（褐色）、鉄系（褐
色）、チタン−クロム系（黄褐色）、鉄−クロム−亜鉛
系（黄褐色）、鉄−アンチモン系（黄褐色）、アンチモ
ン−チタン−クロム系（黄色）、亜鉛−バナジウム系
（黄色）、ジルコニウム−バナジウム系（黄色）、クロ
ム系（緑色）、バナジウム−クロム系（緑色）、コバル
ト系（青色）、アルミン酸コバルト系（青色）、バナジ
ウム−ジルコニウム系（青色）、コバルト−クロム−鉄
系（黒色）等があり、これらを混合して色調を合わせる
ことも可能である。そして、粒径１μｍ以上の粒子が全
粒子の１０ｗｔ％以下であることが望ましい。すなわ
ち、粒径の大きな粒子が多いと透過度が低下して輝度の
低下をもたらすからである。さらに、粒径０．０１〜
０．７μｍの粒子が全粒子の２０ｗｔ％以上であること
が望ましい。

【００２８】色ガラスは着色機構からも種類が非常に多
い。また同じ原料でも条件によって色が変わる。一例を
示すと、フリットは珪酸（ＳｉＯ₂）、酸化鉛（Ｐｂ
Ｏ）、酸化カリウム（Ｋ₂Ｏ₅）、硼酸（Ｂ₂Ｏ₃）、
フッ化アルミ（ＡｌＦ₃）、酸化砒素（Ａｓ₂Ｏ₃）等
を含むカリ鉛ガラスが主成分であり、原料としては、珪
石、鉛丹、黄色酸化鉛、鉛白、カリ硝石、硼酸、硼砂、
重炭酸ソーダ、フッ化物等が使用される。これに着色剤
として亜砒酸（白）、酸化錫（白）、酸化銅（緑）、酸
化コバルト（青）、重クロム酸カリ（黄色）、酸化アン
チモン（黄色）、酸化鉄（茶色）、二酸化マンガン（紫
色）、酸化ニッケル（紫色）、塩化金（赤）、ウラン酸
ソーダ（橙色）、セレン赤（朱赤色）等が組み合わされ
て混合される。そして、これらを混合し加熱溶融してガ
ラス化したものを冷却粉砕したものを使用する。

【００２９】基板ガラス中のアルカリイオンを着色イオ
ンと交換するような材料の代表的なものとしては、赤
（硫酸銅５〜４０重量部、アルカリ金属塩４０〜９０重
量部、無機充填物５〜５５重量部）、緑（硫酸銅４０〜
９０重量部、アルカリ金属塩４０〜９０重量部、無機充
填物５〜２０重量部）、青（硫酸コバルト４０〜８０重
量部、アルカリ金属塩４０〜９０重量部、無機充填物５
〜２０重量部）等を使用できる。

【００３０】ここで、アルカリ金属塩は、アルカリ金属
硫酸塩として硫酸リチウム、硫酸ナトリウム、硫酸カリ
ウムを、アルカリ土類金属硫酸塩として硫酸亜鉛、硫酸
カルシウム、硫酸マグネシウム、硫酸バリウムを１種類
若しくは２種類以上混合して用いる。これらは主にガラ
ス表面で溶融してガラス基板表面への密着性を向上して
イオン交換を増進させる働きがあると思われる。

【００３１】無機充填物は、焼成時の溶融液の縮み防止
や呈色された色調の濃淡をコントロールする働きを兼ね
備えていると思われ、各種の耐熱性無機物を使用でき
る。例えば、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）、酸化チタン（Ｔ
ｉＯ₂）、ジルコン（ＺｒＯ₂）、珪酸ジルコニウム
（ＺｒＳｉＯ₂）、炭酸カルシウム（ＣａＯ₂）、酸化
鉄（Ｆｅ₂Ｏ₃）等が使用できる。また必要に応じて１
重量部以下の銀塩（ＡｇＮＯ₃，Ａｇ₂Ｏ，Ａｇ₂ＳＯ
₄，Ａｇ₂Ｓ）を加えることにより、着色の鮮明さや色
調に変化を与えられる場合があり、より多彩な色調を発
揮できる。

【００３２】また、本発明で使用される感光性組成物に
は、分散される物質に影響を受けない、発色に影響を与
えない、焼成時に焼失でき残さを殆ど残さない等の条件
を満たすものであればどのような感光性ポリマーを用い
てもよく、また、どのような光架橋剤を用いてもよい。
特に、設備の簡便さ、経済性、作業上の安全性を考慮す
ると、水溶性（水現像性）の感光性樹脂組成物が扱いや
すい。

【００３３】感光性ポリマーとしては、ポリアクリルア
ミド、ポリビニルピロリドン、ポリビニルメチルエーテ
ル、ポリビニルアセタール、ゼラチン、カゼイン、グリ
ュー、ポリエチレンオキシド等の単独重合体、或いはア
クリルアミド−ジアセトアミドの共重合体、マレイン酸
−メチルビニルエーテル共重合体、アクリルアミド−ビ
ニルアルコール共重合体、ポリイソプレン、ポリケイ皮
酸ビニル、ポリビニルアルコール、天然ゴム等が好まし
く用いられる。一方、光架橋剤としては、ジアゾ化合
物、アジド化合物等の有機硬化剤が好ましいが、市販の
レジストを活用してもよいことは言うまでもない。

【００３４】上記の着色剤組成物をガラス等の基板上に
塗布する方法としては、ドクターブレードコーティン
グ、ミヤアバーコーティング、ロールコーティング、ス
クリーンコーティング、スクリーン印刷、スピンナーコ
ーティング等公知のコーティング方法はいずれも使用で
きるが、気泡の抱き込み、着色剤の沈降等の防止、気泡
の混入、塗布量の均一性などの点からドクターブレード
コーティングが最も適している。

【００３５】以上の如くして形成する着色剤組成物のコ
ーティング膜は、材料によって膜厚は異なるが、一般的
には乾燥時で約１〜５０μｍ程度が好ましい。コーティ
ング膜の乾燥、パターニング露光による硬化、未露光部
分の溶出による現像、さらには焼成などの各工程及びそ
れらの条件は既に述べた通りまた後述する具体例で例示
する如く、特に限定はなく、従来技術におけるのと同様
でよい。

【００３６】［具体例Ａ］まず、各色の着色剤組成物
（スラリー）を次のようにして作製した。

【００３７】「赤色フィルター用スラリー」硫酸銅：７．４ｗｔ％、硫酸ナトリウム：１４．７ｗｔ
％、アルミナ：７．４ｗｔ％、ハーキュレスエチルセル
ロースＮ−２００：１．７ｗｔ％、ジエチレングリコー
ルモノブチルエーテルアセテイト：６８．８ｗｔ％を混
合しボールミルにて分散した。

【００３８】「緑色フィルター用スラリー」硫酸銅０．９ｗｔ％、酸化コバルト０．９ｗｔ％、酸化
クロム０．６ｗｔ％、ガラスフリット２７．１ｗｔ％、
ハーキュレスエチルセルロースＮ−２００：１．７ｗｔ
％、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテイ
ト：６８．８ｗｔ％を混合しボールミルにて分散した。

【００３９】「青色フィルター用スラリー」コバルト系顔料４．４ｗｔ％、ガラスフリット２５．１
ｗｔ％、ハーキュレスエチルセルロースＮ−２００：
１．７ｗｔ％、ジエチレングリコールモノブチルエーテ
ルアセテイト：６８．８ｗｔ％を混合しボールミルにて
分散した。

【００４０】「ブラックマトリクス用スラリー」コバルト−クロム−鉄系耐熱黒色顔料４．４ｗｔ％、ガ
ラスフリット２５．１ｗｔ％、ハーキュレスエチルセル
ロースＮ−２００：１．７ｗｔ％、ジエチレングリコー
ルモノブチルエーテルアセテイト：６８．８ｗｔ％を混
合しボールミルにて分散した。

【００４１】また、感光性組成物として、ポリビニール
アルコール（クラレ２２４）の４．５ｗｔ％水溶液を作
製した。これは、使用時に全量の１．０２ｗｔ％のｐ−
ジアゾジフェニルアミンのホルムアルデヒド縮合物（シ
ンコー技研株式会社製のＤ−０１４）を混合して使用す
る。

【００４２】次に、前面板となるガラス基板上に上記ブ
ラックマトリクス用スラリーをブレードコーターにより
塗布し常温にて乾燥させた後、その上から感光性組成物
を塗布して乾燥させた。そして、マスクＭを介して３５
０ｎｍ付近に最大波長をもつ紫外線を６２ｍＪ／ｃｍ²
露光して感光性組成物の層にパターニング部分を形成し
た。次いで、水によるスプレー現像を行って感光性組成
物の非露光部分を除去した。続いて、１６０℃にてパタ
ーニング部分の乾燥及び硬膜化を行った後、トルエン中
で着色剤組成物の層を現像パターニングした。

【００４３】引き続き、緑色フィルター用スラリー、青
色フィルター用スラリー、赤色フィルター用スラリーに
ついても着色剤組成物の塗布及び乾燥、感光性組成物の
塗布及び乾燥、露光、現像、現像パターニングを同様に
繰り返し、約５８０℃で３０分間焼成することによりス
ラリー中の樹脂分（ハーキュレスエチルセルロースＮ−
２００）及び硬化剤（ｐ−ジアゾフェニルアミンのホル
ムアルデヒド縮合物）等の有機分を焼失せしめ、洗浄す
ることによって、前面板に赤、緑、青に塗り分けられた
カラーフィルターを形成した。

【００４４】そして、このようにして形成したカラーフ
ィルターの上から電極その他を形成し、図４及び図５に
示すようなＤＣ型カラーＰＤＰ、ＡＣ型カラーＰＤＰを
形成した。これにより、コントラストの高いＰＤＰを得
ることができた。なお、図４及び図５ではフィルター以
外の各部分については図１及び図２のものと同じ符号を
付している。

【００４５】［具体例Ｂ］各色の着色剤組成物（スラリ
ー）を次のようにして作製した。

【００４６】「赤色フィルター用スラリー」硫酸銅：７．４ｗｔ％、硫酸ナトリウム：１４．７ｗｔ
％、アルミナ：７．４ｗｔ％、カゼイン：１．７ｗｔ
％、純水：６５．３％、２８％アンモニア水：３．５ｗ
ｔ％を混合しボールミルにて分散した。

【００４７】「緑色フィルター用スラリー」硫酸銅０．９ｗｔ％、酸化コバルト０．９ｗｔ％、酸化
クロム０．６ｗｔ％、ガラスフリット２７．１ｗｔ％、
カゼイン：１．７ｗｔ％、純水：６５．３％、２８％ア
ンモニア水：３．５ｗｔ％を混合しボールミルにて分散
した。

【００４８】「青色フィルター用スラリー」コバルト系顔料４．４ｗｔ％、ガラスフリット２５．１
ｗｔ％、カゼイン：１．７ｗｔ％、純水：６５．３％、
２８％アンモニア水：３．５ｗｔ％を混合しボールミル
にて分散した。

【００４９】「ブラックマトリクス用スラリー」コバルト−クロム−鉄系耐熱黒色顔料４．４ｗｔ％、ガ
ラスフリット２５．１ｗｔ％、カゼイン：１．７ｗｔ
％、純水：６５．３％、２８％アンモニア水：３．５ｗ
ｔ％を混合しボールミルにて分散した。

【００５０】また、感光性組成物として、ポリビニール
アルコール（クラレ２２４）の４．５ｗｔ％水溶液を作
製した。これは、使用時に全量の１．０２ｗｔ％のｐ−
ジアゾジフェニルアミンのホルムアルデヒド縮合物（シ
ンコー技研株式会社製のＤ−０１４）を混合して使用す
る。

【００５１】次に、前面板となるガラス基板上に上記ブ
ラックマトリクス用スラリーをブレードコーターにより
塗布し常温にて乾燥させた後、その上から感光性組成物
を塗布して乾燥させた。そして、マスクＭを介して３５
０ｎｍ付近に最大波長をもつ紫外線を６２ｍＪ／ｃｍ²
露光して感光性組成物の層にパターニング部分を形成し
た。次いで、水によるスプレー現像を行って感光性組成
物の非露光部分を除去し、１６０℃にて乾燥及び硬膜化
を行った後、アンモニア性アルカリ水溶液中で着色剤組
成物の層を現像パターニングした。

【００５２】引き続き、緑色フィルター用スラリー、青
色フィルター用スラリー、赤色フィルター用スラリーに
ついても着色剤組成物の塗布及び乾燥、感光性組成物の
塗布及び乾燥、露光、現像、現像パターニングを同様に
繰り返し、約５８０℃で３０分間焼成することによりス
ラリー中の樹脂分（カゼイン）及び硬化剤（ｐ−ジアゾ
フェニルアミンのホルムアルデヒド縮合物）等の有機分
を焼失せしめ、洗浄することによって、前面板に赤、
緑、青に塗り分けられたカラーフィルターを形成した。

【００５３】このようにして形成されたカラーフィルタ
ーの上から電極その他を形成し、前記具体例Ａと同様
に、図４及び図５に示すようなＤＣ型カラーＰＤＰ、Ａ
Ｃ型カラーＰＤＰを形成した。これにより、コントラス
トの高いＰＤＰを得ることができた。

【００５４】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、耐熱性のある着色剤を分散させた着色剤組成
物と感光性組成物を使用し、感光性組成物のパターニン
グ部分をマスキング材に利用してフォトリソ法により着
色剤組成物の層に対して所定のパターンを形成するとと
もに、さらに焼成を通して有機分を焼失するようにした
ので、耐熱性に優れ、出ガスのない、膜厚均一性、解像
性、加工精度においても満足のいくプラズマディスプレ
イ用基板のカラーフィルターを形成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来のＤＣ型プラズマディスプレイパネルの一
構成例を示す断面図である。

【図２】従来のＡＣ型プラズマディスプレイパネルの一
構成例を示す断面図である。

【図３】本発明に係るプラズマディスプレイ用基板のカ
ラーフィルター形成方法の工程図である。

【図４】図３に続く工程図である。

【図５】カラーフィルターを形成した基板を前面板に用
いたＤＣ型プラズマディスプレイパネルの断面図であ
る。

【図６】カラーフィルターを形成した基板を前面板に用
いたＡＣ型プラズマディスプレイパネルの断面図であ
る。

【符号の説明】

１基板２着色剤組成物３感光性組成物３ａパターニング部分３ｂ非露光部分４フィルター部分５ブラックマトリクスＭマスク

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】カラーフィルターを形成すべき基板上に
耐熱性のある着色剤を分散させた着色剤組成物を塗布す
る第１塗布工程と、その上から感光性組成物を塗布する
第２塗布工程と、カラーフィルターパターンのマスクを
介しての露光により感光性組成物の層にパターニング部
分を形成する露光工程と、感光性組成物の非露光部分を
現像によって除去する現像工程と、感光性組成物のパタ
ーニング部分をマスキング材として着色剤組成物の層を
現像パターニングする現像パターニング工程と、着色反
応に十分な温度で焼成し感光性組成物の有機分を焼失し
て着色剤からなるフィルター部分を形成する焼成工程と
からなることを特徴とするプラズマディスプレイ用基板
のカラーフィルター形成方法。
【請求項２】請求項１記載のプラズマディスプレイ用
基板のカラーフィルター形成方法において、異なる透過
波長をもつ複数の着色剤をそれぞれ分散した各着色剤組
成物について、前記第１塗布工程、第２塗布工程、露光
工程、現像工程、現像パターニング工程を繰り返して行
った後で焼成工程を行うことにより、基板上に選択的に
各色が配列されたフィルター部分を形成することを特徴
とするプラズマディスプレイ用基板のカラーフィルター
形成方法。
【請求項３】請求項２記載のプラズマディスプレイ用
基板のカラーフィルター形成方法において、耐熱性の黒
色顔料を加えた組成物について同様の工程を加えること
によりブラックマトリクスを形成することを特徴とする
プラズマディスプレイ用基板のカラーフィルター形成方
法。
【請求項４】前記第１塗布工程及び第２塗布工程をド
クターブレードコーティングにより行うことを特徴とす
る請求項１，２又は３記載のプラズマディスプレイ用基
板のカラーフィルター形成方法。
【請求項５】前記着色剤として耐熱性顔料を使用した
ことを特徴とする請求項１，２，３又は４記載のプラズ
マディスプレイ用基板のカラーフィルター形成方法。
【請求項６】前記着色剤として色ガラスを使用したこ
とを特徴とする請求項１，２，３又は４記載のプラズマ
ディスプレイ用基板のカラーフィルター形成方法。
【請求項７】前記着色剤として基板ガラス中のアルカ
リイオンを着色イオンと交換するような材料を使用した
ことを特徴とする請求項１，２，３又は４記載のプラズ
マディスプレイ用基板のカラーフィルター形成方法。