KR19990026652A - 플라즈마 표시소자의 전극구조 - Google Patents

Abstract

본 발명은 플라즈마 표시소자의 전극구조에 관한 것으로, 특히 제조공정중 금속전극의 산화가 발생하는 것을 방지하여 기판의 오염 및 이로인한 공정불량을 막아주기 위한 전극구조를 제공하는데 목적이 있다.

이를 실현하기 위하여 본 발명은 평행한 상부기판과 하부기판이 프리트글라스에 의해 결합되고, 상기 일측 기판에는 쌍을 이루는 전극이 다수개 형성되며, 상기 전극의 사이에 평행하게 BM층이 형성되고, 그 위에는 상기 전극의 방전시에 발생한 표면전하를 유지하기 위한 유전체층이 형성되며, 상기 유전체층 상에는 보호층이 형성되는 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 상기 전극은 금속전극이 투명전극의 일측 하단에 형성되도록 구성하였다.

Description

플라즈마 표시소자의 전극구조

본 발명은 플라즈마 표시소자에 관한 것으로서, 특히 표시소자의 기판 내측면에 평행하게 쌍을 이루며 형성되어 유지전극을 형셩하는 표시소자의 전극구조에 관한 것이다.

종래 구성의 일례로 칼라 플라즈마 디스플레이 패널(PDP)은 도 1에 도시된 바와같이 상부구조(이해를 돕기위해 90도 회전시켜 도시함)와 하부구조로 구성되는데, 상부구조는 상부기판(1)과, 상기 상부기판(1)에 형성되는 유지전극(3, 3')과, 상기 유지전극의 사이에 평행하게 형성되는 BM층(9)과, 상기 유지전극(3, 3')의 방전시에 발생한 표면전하를 유지하기 위한 유전체층(4)과, 상기 유전체층(4)을 방전으로부터 보호하기 위한 보호층(5)으로 이루어지고, 하부구조는 하부기판(2)과, 상기 하부기판(2) 상에 형성되는 어드레스전극(6)으로 이루어지며, 상기 상부기판(1)과 하부기판(2) 사이에는 표면에 형광체(8)가 도포된 격벽(7)이 형성되는데 격벽의 상부는 어두운 색을 띄는 저융점 글래스로 구성되며, 그 외는 밝은 색을 띄는 저융점 글래스로 구성된다.

상기에서 임의의 유지전극라인(3, 3')은 산화인듐 또는 산화주석을 증착한 투명전극(ITO : 3')을 사용하고, 상기 투명전극(3')에 크롬(Cr)-구리(Cu)-크롬(Cr)의 3층 금속전극(3)을 일측에 형성하여 전압강하를 개선하게 된다.

또한, 전체 화면은 복수개의 어드레스 전극라인(6)과 복수개의 투명전극라인(3')에 의해 셀 단위로 구분된다.

상기와 같이 구성된 종래기술에 의한 플라즈마 표시패널중 상부구조의 제조공정을 이하에서 살펴본다.

먼저 상부기판(1)상에 유지전극을 형성하기 위한 투명전극(3')을 형성하기 위하여 산화인듐이나 산화주석을 이용하여 투명한 도전막을 형성한다. 이 투명도전막을 원하는 치수에 맞추어 패턴을 형성한다. 또한 공정의 단순화를 위해 투명도전막 페이스트를 인쇄하여 패턴을 형성한 후 소성에 의해서 투명전극을 형성할 수도 있다. 투명도전막은 전기전도도가 금속전극보다 낮아 고정세, 대형의 PDP를 제작했을 때 전압이 인가되는 첫 부분과 마지막 부분 사이에 걸리는 전압강하에 의해 원하는 신호의 표시를 하지 못하는 현상이 있어 이것을 보완하기 위해 전기전도도가 뛰어난 금속막을 입히는 구조를 채택한다. 이 금속전극(3)을 형성하는 방법으로 널리 알려진 것은 도 2에 나타낸 바와같이 크롬(Cr)층을 형성하고 그 위에 구리(Cu)층을 형성하고 그위에 다시 크롬층을 형성하는 3중구조의 금속전극층이 사용되고있다.

그리고 상기와 같이 형성된 유지전극(3, 3') 쌍의 사이에는 전극과 평행하게 BM층(9)을 형성하고, 500℃이상에서 소성공정을 거친후, 벽전하를 발생시켜 구동전압을 떨어뜨리기 위한 유전체층(4)을 형성한다.

다음으로 유전체층(4)을 방전에 의한 손상으로부터 보호하기 위해서 보호층(5)을 형성하며 주로 전자빔 증착법에 의해 약 500㎚정도의 균일한 산화마그네슘막을 형성한다.

이와같은 공정을 통해 상부구조가 완성되면 하부구조를 해당 공정을 통해 완성한 후 상, 하부기판을 결합시키고 내부에 방전가스를 집어넣고 완전히 밀봉함으로 플라즈마 디스플레이 패널이 완성되는 것이다.

그러나 이러한 종래 제조공정은 BM층(9)의 소성공정이 500℃이상에서 진행되는데 이때, 높은 온도로 인해 금속전극(3)의 산화가 발생하게 되고 이로인하여 제조공정중 오염이 발생하는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기한 바와같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 발명된 것으로 상부기판상의 금속전극이 투명전극의 끝단부 하단에 형성되도록 함으로서, 소성공정시 투명전극이 금속전극을 산화로부터 보호하도록 하는 전극구조를 제공하는데 목적이 있다.

도 1은 종래 플라즈마 표시소자의 단면 구조도.

도 2는 종래 상부기판상에 형성되는 유지전극 상세 구조도.

도 3은 본 발명의 전극이 형성된 상부기판 구조도.

도 4는 본 발명의 상부기판상에 형성되는 유지전극 상세 구조도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

101 : 상부기판 102 : 투명전극

103 : 금속전극 104 : 유전체층

105 : 보호층 109 : BM층

본 발명을 첨부도면을 참조하여 이하에서 상세히 설명한다.

먼저 본 발명에 의한 플라즈마 디스플레이 패널의 상부구조를 살펴보면 도 3에 도시된 바와같이 상부기판(101)에는 쌍을 이루는 유지전극(102, 103)이 다수개형성되는데 이때, 금속전극(103)은 투명전극(102)의 일측 하단에 형성한다.

그리고 상기 유지전극의 사이에는 평행하게 BM층(109)이 형성되고, 그 위에는 상기 유지전극의 방전시에 발생한 표면전하를 유지하기 위한 유전체층(104)이 형성되며, 상기 유전체층(104)을 방전에 의한 손상으로부터 보호하기 위한 보호층(105)이 형성된다.

본 발명의 PDP 상부구조 제조공정을 이하에서 알아본다.

먼저 상부기판(101)상에 유지전극을 형성하기 위하여 일정패턴으로 Cr-Cu-Cr구조의 금속전극(103)을 형성하고, 그 위에 도 4에 도시된 바와같이 금속전극(103)이 끝단부 하단에 위치하도록 투명전극(102)을 형성한다.

그리고 유지전극(102, 103) 쌍의 사이에는 전극과 평행하게 BM층(109)을 형성하고, 500℃이상에서 소성공정을 거친후, 벽전하를 발생시켜 구동전압을 떨어뜨리기 위한 유전체층(104)을 형성한다.

다음으로 유전체층(104)을 방전에 의한 손상으로부터 보호하기 위해서 보호층(105)을 형성하는데, 주로 전자빔 증착법에 의해 약 500nm정도의 균일한 산화마그네슘막을 형성함으로 상부구조가 완성되는 것이다.

상기와 같은 본 발명의 유지전극 구조는 투명전극(102)이 금속전극(103)의 상단에 위치함으로 BM층(109) 소성공정시 투명전극(102)이 금속전극(103)을 산화로부터 보호하는 역할을 하게되어 제조공정중 발생되는 오염발생을 막아줄 수 있게된다.

이로 인하여 제품의 제조공정중 불량 발생을 저감하고 플라즈마 디스플레이패널의 생산효율을 더욱 증대시키게 되는 것이다.

이상 설명한 바와같이 본 발밍의 유지전극구조는 제조공정중 금속전극의 산화가 발생하는 것을 방지하여 기판의 오염 및 이로인한 공정불량을 막아주고 제품의 생산수율을 향상시키는 효과가 있다.

Claims (2)

1. 평행한 상부기판과 하부기판이 프리트글라스에 의해 결합되고, 상기 일측 기판에는 쌍을 이루는 전극이 다수개 형성되며, 상기 전극의 사이에 평행하게 BM층이 형성되고, 그 위에는 상기 전극의 상부에 유전체층이 형성되며, 상기 유전체층 상에는 보호층이 형성되는 플라즈마 디스플레이 패널에 았어서, 상기 전극은 금속전극이 투명전극의 일측 하단에 형성되는 구조로 이루어짐을 특징으로 하는 플라즈마 표시소자의 전극구조.
2. 제 1항에 있어서, 상기 금속전극은 상단부와 일측면이 투명전극에 접촉되도록 형성됨을 특징으로 하는 플라즈마 표시소자의 전극구조.