KR100849976B1 - 무기 페이스트 조성물, 이의 제조 방법 및 디스플레이 패널생산용 시트형 언베이크 바디 - Google Patents

무기 페이스트 조성물, 이의 제조 방법 및 디스플레이 패널생산용 시트형 언베이크 바디 Download PDF

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Abstract

본 발명은 무기 분말들, 측쇄에 수산기를 가진 접합제 수지 및 수산기를 갖지 않은 유기 용매를 함유하고, 5 중량% 이거나 그 이하의 양으로 수산기를 가진 유기 용매를 포함하는 무기 페이스트 조성물에 관한 것이다. 상기 조성물은 그 안에서 무기 분말들의 균일한 분산성과 균일한 두께를 나타낸다. 얻은 막은 많은 수축을 일으키지 않는다.
무기 페이스트 조성물, 무기 분말, 접합제 수지, 유기 용매

Description

무기 페이스트 조성물, 이의 제조 방법 및 디스플레이 패널 생산용 시트형 언베이크 바디{Inorganic paste composition, method for preparing inorganic paste composition, and sheet-shaped unbaked body for producing display panel}
본 발명은 무기 페이스트 조성물, 이의 제조 방법 및 무기 페이스트 조성물을 사용하는 디스플레이 패널 생산용 시트형 언베이크 바디에 관한 것이다.
방전 효과에 의해 여러 미세 셀들이 스스로 발광하게 하여 영상을 형성하는 플라즈마 디스플레이는 종래의 디스플레이에 의해 구현되지 않은 대형이고, 얇고, 경량이며 평면인 디스플레이라는 우수한 특징을 구비하며, 이의 보급이 계획되고 있다.
통상적인 플라즈마 디스플레이는 격벽이 세로 방향으로만 형성된 직선 구조를 구비한 셀들을 주로 사용한다. 그러나, 최근에, 빛을 플라즈마 디스플레이 상판에 효과적으로 주입하기 위해서, 격벽이 가로 방향뿐만 아니라 세로 방향으로도 형성된 와플 구조를 구비한 셀들이 개발되었다. 와플 구조를 구비한 셀들에서는, 인접 셀들로부터 빛이 세는 것이 예방되어, 빛을 상판에 매우 높은 효율로 주입할 수 있게 된다.
와플 구조형 셀들을 구비한 플라즈마 디스플레이는 투명 전극과 버스 전극을 포함하고 서로 평행하게 형성된 결합 전극들을 포함하는 상판, 및 결합 전극들에 대해 교차 방향으로 서로 평행하게 형성된 어드레스 전극들을 포함하는 하판을 포함하는 디스플레이 장치이고, 상판과 하판은 서로 대면하도록 배치되고 결합된다. 상판은 디스플레이 평면으로서 투명 유리 기판을 가지며, 결합 전극은 유리 기판의 내면, 즉, 하판과 대면하는 측면상에 배치된다. 유전층은 결합 전극을 덮기 위해 형성되며, 유전층에 패턴화된 공간층이 제공되며, MgO로 제조된 보호막은 공간층과 유전층의 표면에 형성된다. 반면에, 어드레스 전극은 상판을 대면하는 측면상의 하판의 기판에 배치되고, 유전층은 어드레스 전극을 덮기 위해 형성되며, 이하에서 기술된 발광부가 유전층에 형성된다.
상기 발광부는 결합 전극이 어드레스 전극을 가로지르는 공간에 위치된 여러 셀들로 이루어진다. 셀들은 수직 및 수평 방향의 유전층에 형성된 격벽들로 구성되며, 형광층은 격벽의 측벽 및 격벽 속의 유전층의 표면, 즉 각 셀의 내벽과 바닥을 덮기 위해 제공된다. 플라즈마 디스플레이에서, 전기장을 형성하여 셀들에 전하를 발생시키기 위해 교류 전원으로부터의 소정의 전압을 상판 위의 결합 전극에 인가한다. 이 전하는 형광층으로부터 추가로 발광을 일으키는 자외선을 발생시킨다.
와플 구조형 플라즈마 디스플레이에서, 여러 공간층들이 유전층에 제공되어 균일하게 이격된 라인들의 형태로 배열된다. 상판에서, 공간층은 격벽과 접촉하고 따라서 격벽에 의해 둘러싸인 각 셀의 상부에 갭이 형성되고 희유 가스가 이 갭을 통해 각 셀에 주입될 수 있다.
이런 플라즈마 디스플레이 상판을 생산하는 공정으로, 포토리소그래피 방법 을 사용하는 공정이 주로 사용된다.
포토리소그래피 방법을 사용하는 생산 공정은 이하에서 기술될 것이다. 먼저, 비-감광성 유리 페이스트막으로 이루어진 유전층과 감광성 유리 페이스트막으로 이루어진 공간층을 유리 기판에 형성하고, 공간층을, 예를 들어, 포토마스크를 통해 자외선으로 조사한다. 그런 후에, 레지스트 패턴이 나타나도록 층을 현상하고, 500 내지 700℃로 베이킹하여 유전층과 공간층을 동시에 형성한다.
포토리소그래피 방법을 사용하는 생산 공정에서, 유전층과 공간층은 하나의 베이킹 작업으로 동시에 베이크될 수 있고 따라서 생산 비용은 스크린 인쇄 방법을 사용하는 공정에 필요한 생산 비용과 비교하여 유리하게 감소될 수 있다.
유전층과 공간층을 형성하기 위한 유리 페이스트 조성물은 적절한 유기 용매에 접합제 수지를 용해하여 얻은 접합제 성분에 유리 프릿을 분산시켜 제조할 수 있다. 접합제 수지로서, 수산기-함유 수지는 유리 기판에 대한 접착력을 얻기 위한 관점에서 통상적으로 사용되고 있다. 수산기-함유 수지를 용해하는 유기 용매로서, 용매에서 수산기-함유 수지의 용해성을 얻고 환경 안정성을 확보하기 위한 관점에서, 알콜 용매가 산업용 생산 스케일에 주로 사용된다.
그러나, 유리 프릿이 수산기-함유 수지와 알콜 용매의 조합으로 이루어진 접합제 성분에 첨가될 때, 유리 프릿은 균일하게 분산되지 않고 자주 덩어리를 형성하는 문제를 일으킨다.
유리 페이스트 조성물의 균일한 막을 형성하기 위해서, 유리 프릿은 접합제 성분에 균일하게 분산되는 것이 매우 중요하다. 유리 프릿이 접합제 성분에서 균일하게 분산되지 않을 때, 즉, 접합제 성분에서 유리 프릿의 분산에 두껍고 얇은 부분이 있을 때, 분산에서 두꺼운 부분인 유리 페이스트의 덩어리는 유리 페이스트 조성물을 도포함으로써 막을 형성할 때 막의 표면에 줄무늬를 형성하여, 품질을 떨어뜨린다.
유리 프릿의 분산성과 접합제 수지의 수산기 함량 사이에는 밀접한 관계가 있고 접합제 수지에서 유리 프릿의 분산성은 접합제 수지의 수산기 함량을 증가시킴으로써 향상될 수 있다. 그러나, 다량의 수산기를 가진 접합제 수지를 사용할 때, 유전층은 베이킹 단계에서 수축되고 기판과 유전층 사이에 응력이 발생하여, 유전층에 잔금이 발생하는 다른 문제들이 불리하게 생긴다.
따라서, 통상적인 유리 페이스트 조성물이 유리 프릿의 분산성과 유전층의 평탄성을 동시에 향상시키는 것은 어렵다.
본 발명은 상기 문제들의 면에서 완성되었고, 본 발명의 목적은 조성물에서 유리 프릿의 분산성이 우수할 뿐만 아니라, 균일한 두께의 막이 조성물로부터 형성될 수 있다는 점에서 유리한 무기 페이스트 조성물, 및 무기 페이스트 조성물을 제조하기 위한 방법을 제공하는 것이다. 또한, 다른 목적은 균일한 두께를 가지며 베이킹하는 동안 수축을 막을 수 있는 디스플레이 패널 생산용 시트형 언베이크 바디를 제공하는 것이다.
본 발명자들은 상기한 문제들을 해결하기 위해 광범위한 연구들을 수행하였다. 그 결과, 유리 프릿의 분산성을 향상시키기 위해서, 수소 결합이 유리 프릿의 표면에 흡수된 수분으로부터 유도된 수산기와 접합제 수지로부터 유도된 수산기 사이에 형성되는 것이 중요하다. 또한, 본 발명자들은 수산기를 갖지 않는 유기 용매를 사용하고 수산기를 가진 유기 용매의 함량이 5 중량% 이거나 그 이하로 제한될 때, 유리 프릿과 접합제 수지 사이의 수소 결합은 바람직하고 효과적으로 형성될 수 있다는 것을 발견하였다. 수산기를 갖지 않는 유기 용매를 사용하고 조성물에 함유된 수산기를 가진 유기 용매의 양이 소정의 범위로 제한될 때, 접합제 수지와 유기 용매가 함께 수소 결합하는 것을 막을 수 있어서, 접합제 수지에서 유리 프릿의 분산성을 향상시킨다.
구체적으로, 본 발명의 무기 페이스트 조성물은 무기 분말들, 측쇄에 수산기를 가진 접합제 수지, 및 수산기를 갖지 않는 유기 용매를 포함하는 조성물이고, 무기 페이스트 조성물은 5중량% 이거나 그 이하의 양으로 수산기를 가진 유기 용매를 함유한다.
수산기를 갖지 않는 유기 용매로서는, 에터, 케톤 및 에스터로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 하나의 유기 용매를 사용하는 것이 바람직하다. 측쇄에 수산기를 갖는 접합제 수지로서는, 수산기를 가진 아크릴 수지를 사용하는 것이 바람직하다. 접합제 수지의 측쇄에 수산기의 함량은 접합제 수지의 모노머 단위당 측쇄에 함유된 수산기의 평균 숫자로 환산하여, 모노머 단위당 0.3이거나 그 이하가 바람직하다.
본 발명의 무기 페이스트 조성물의 제조 방법은 무기 분말들, 측쇄에 수산기를 가진 접합제 수지, 및 수산기를 갖지 않는 유기 용매를 포함하는 무기 페이스트 조성물을 제조하는 것이고, 상기 방법은 적어도 세 개의 성분들을 혼합하는 단계와 얻은 혼합물을 반죽하는 단계를 포함하고, 상기 혼합물은 5중량% 이거나 그 이하의 양으로 수산기를 가진 유기 용매를 함유한다.
본 발명의 디스플레이 패널 생산용 시트형 언베이크 바디는 제거가능한 지지막 및 제거가능한 지지막에 형성된 무기 페이스트막을 포함하는 시트형 재료이고 무기 페이스트막은 적어도 본 발명의 무기 페이스트 조성물을 포함한다. 본 발명의 명세서에서, "디스플레이 패널 생산용 시트형 언베이크 바디"란 용어는 디스플레이 패널의 생산에 사용되는 시트형 재료를 의미하고, 제거가능한 지지막에 형성된 층은 제거가능한 지지막으로부터 벗겨져 유리 기판에 적층된다.
본 발명의 무기 페이스트 조성물에서, 수산기를 갖지 않는 유기 용매를 사용하고 5중량% 이거나 그 이하의 양으로 수산기를 가진 유기 용매를 사용하여, 접합제 수지에서 무기 분말들의 분산성이 크게 향상되어, 조성물을 도포하는 동안 줄무늬의 발생을 막을 수 있다.
또한, 수산기를 갖지 않는 유기 용매를 사용하고 5중량% 이거나 그 이하의 양으로 수산기를 가진 유기 용매를 사용하여, 비록 접합제 수지의 수산기 함량이 매우 낮을 경우, 조성물에서 유리 프릿의 만족할 만한 분산성이 유지될 수 있고, 따라서 접합제 수지에서 수산기의 함량은 접합제 수지의 모노머 단위당 측쇄에 함유된 수산기의 평균 숫자로 환산하여, 모노머 단위당 0.3이거나 그 이하로 정해질 수 있다. 통상적으로, 접합제 수지에서 무기 분말들을 균일하게 분산시키기 위해서, 접합제 수지의 수산기 함량은 베이킹하는 동안 수축을 일으키는 소정의 높은 레벨로 필수적으로 조절된다. 접합제 수지의 수산기 함량이 접합제 수지의 모노머 단위당 측쇄에 함유된 수산기의 평균 숫자로 환산하여, 모노머 단위당 0.3이거나 그 이하일 때, 이런 문제는 해결될 수 있다. 즉, 본 발명의 무기 페이스트 조성물에서, 접합제에서 무기 분말들의 균일한 분산성과 막의 평탄성을 포함하는 막 특성은 동시에 향상될 수 있다.
본 발명의 무기 페이스트 조성물에서, 접합제 수지로서 수산기를 가진 아크릴 수지를 사용함으로써, 유리 기판에 대한 접착력이 향상될 수 있다. 또한, 수산기를 갖지 않는 유기 용매로서 에터, 케톤 및 에스터로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 하나의 유기 용매를 사용함으로써, 무기 분말들의 분산성이 향상될 수 있다.
본 발명의 무기 페이스트 조성물의 제조 방법에서, 성분들은 수산기를 갖지 않는 유기 용매를 사용하여 함께 혼합되고, 따라서 무기 분말들의 표면에 흡수된 수분으로부터 유도된 수산기와 접합제 수지로부터 유도된 수산기 사이의 수소 결합은 (바람직하고 효과적으로) 높은 속도로 형성될 수 있어서, 우수한 분산성과 우수한 막 특성들을 가진 무기 페이스트 조성물이 제조될 수 있다.
본 발명의 디스플레이 패널 생산용 시트형 언베이크 바디는 플라즈마 디스플레이, 플라즈마 어드레스 액정 디스플레이, 및 전계 방출 디스플레이와 같은 다양한 디스플레이에서 유전 재료와 공간 재료층을 형성하기 위한 재료로 사용되며, 특히 높은 정밀도를 갖는 것이 필요한 플라즈마 디스플레이 상판에서 유전층과 공간 재료층을 형성하는데 사용되는 것이 유리할 수 있다.
본 발명의 예시적 양태들을 이하에서 설명할 것이다.
(A) 무기 페이스트 조성물
본 발명의 무기 페이스트 조성물은 적어도 하나의 무기 분말들, 측쇄에 수산기를 가진 접합제 수지 및 수산기를 갖지 않은 유기 용매를 포함하며, 무기 페이스트 조성물은 5중량% 이거나 그 이하인 양으로 수산기를 가진 유기 용매를 함유한다.
본 발명의 무기 페이스트 조성물은 측쇄에 수산기를 가진 접합제 수지를 수산기를 갖지 않는 유기 용매에 용해시켜 얻은 접합제 성분에 분산된 무기 분말들을 포함하는 페이스트이다.
본 발명의 무기 페이스트 조성물에서, 접합제 수지로서, 측쇄의 말단에 수산기를 가진 수산기 함유 수지는 유리 기판에 대한 우수한 접착력을 얻기 위한 관점에서 사용된다. 수산기 함유 수지는 수산기를 가진 유기 용매에 쉽게 용해되고, 따라서, 통상적으로, 알콜과 같은 수산기 함유 용매가 일반적으로 사용된다.
반대로, 본 발명의 무기 페이스트 조성물은 수산기를 갖지 않는 유기 용매가 용매로서 사용되는 것을 특징으로 한다. 수산기를 갖지 않는 유기 용매를 사용할 때, 접합제 수지와 유기 용매 사이에 수소 결합이 형성되지 않고, 따라서 용매는 무기 분말들과 접합제 수지가 함께 수소 결합을 형성하는 것을 막지 못한다. 이런 이유로, 무기 분말들과 접합제 수지 사이의 수소 결합의 양은 증가하여, 접합제 수지에서 무기 분말들의 분산성을 향상시킬 수 있다.
(a) 유기 용매
본 발명에 사용된 유기 용매에 관해서, 접합제 수지를 쉽게 용해시킬 수 있고 분자에 수산기를 갖지 않는 유기 용매인 한 특히 제한되지 않는다. 유기 용매로서, 에터, 케톤 및 에스터로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 하나의 유기 용매를 사용하는 것이 바람직하다.
본 발명에서 사용하기 위한 유기 용매들의 구체적인 예는 에틸렌 글리콜 모노메틸 에터 아세트산염, 에틸렌 글리콜 모노에틸 에터 아스트산염, 에틸렌 글리콜 모노뷰틸 에터 아세트산염, 에틸렌 글리콜 다이아세트산염, 에틸렌 글리콜 다이에틸 에터, 에틸렌 글리콜 다이뷰틸 에터, 에틸렌 글리콜 다이메틸 에터, 에틸렌 글리콜 모노페닐 에터 아세트산염, 에틸렌 글리콜 모노헥실 에터 아세트산염, 글리세롤 삼아세트산염, 글리세롤 삼라우르산염, 다이에틸렌 글리콜 모노메틸 에터 아세트산염, 다이에틸렌 글리콜 모노에틸 에터 아세트산염, 다이에틸렌 글리콜 모노뷰틸 에터 아세트산염, 다이에틸렌 글리콜 다이아세트산염, 다이에틸렌 글리콜 다이메틸 에터 아세트산염, 다이에틸렌 글리콜 다이에틸 에터 아세트산염, 다이에틸렌 글리콜 다이뷰틸 에터 아세트산염, 다이에틸렌 글리콜 다이벤조산염, 트라이에틸렌 글리콜 다이메틸 에터, 트라이에틸렌 글리콜 모노메틸 에터 아세트산염, 프로필렌 글리콜 이아세트산염, 프로필렌 글리콜 다이메틸 에터, 프로필렌 글리콜 다이에틸 에터, 프로필렌 글리콜 다이뷰틸 에터, 프로필렌 글리콜 모노메틸 에터 아세트산염, 프로필렌 글리콜 모노에틸 에터 아세트산염, 프로필렌 글리콜 모노뷰틸 에터 아세트산염, 다이프로필렌 글리콜 이아세트산염, 다이프로필렌 글리콜 다이메틸 에터, 다이프로필렌 글리콜 다이에틸 에터, 다이프로필렌 글리콜 다이뷰틸 에터, 다이프로필렌 글리콜 모노메틸 에터 아세트산염, 다이프로필렌 글리콜 모노에틸 에터 아세트산염, 다이프로필렌 글리콜 모노뷰틸 에터 아세트산염, 아세톤, 메틸 에틸 케톤, 메틸 아이소뷰틸 케톤, 아세틸아세톤, 아세토페논, 아이소포론, 에틸 n-뷰틸 케톤, 다이아세톤 알콜(4-하이드록시-4-메틸-2-페타논), 다이아이소뷰틸 케톤, 다이아이소프로필 케톤, 다이에틸 케톤, 사이클로헥사논, 다이-n-프로필 케톤, 메틸 n-아밀 케톤(아밀 메틸 케톤), 메틸렌사이클로헥사논, 메틸 n-뷰틸 케톤, 메틸 n-프로필 케톤, 메틸 n-헥실 케톤, 메틸 n-헵틸 케톤, 다이에틸 아디프산염, 트라이메틸 아세틸시트르산염, 트라이에틸 아세틸시트르산염, 트라이뷰틸 아세틸시트르산염, 메틸 아세토아세트산염, 에틸 아세토아세트산염, 뷰틸 아세토아세트산염, 아이소아밀 벤조산염, 메틸 벤조산염, 에틸 벤조산염, 뷰틸 벤조산염, 프로필 벤조산염, 벤질 벤조산염, 아이소아밀 포름산염, 아이소뷰틸 포름산염, 에틸 포름산염, 뷰틸 포름산염, 프로필 포름산염, 헥실 포름산염, 벤질 포름산염, 메틸 포름산염, 트라이에틸 시트르산염, 트라이뷰틸 시트르산염, 아밀 아세트산염, 알릴 아세트산염, 아이소아밀 아세트산염, 메틸아이소아밀 아세트산염, 메톡시뷰틸 아세트산염, 아이소뷰틸 아세트산염, 아이소프로필 아세트산염, 에틸 아세트산염, 메틸 아세트산염, 2차-헥실 아세트산염, 2-에틸헥실 아세트산염, 2-에틸뷰틸 아세트산염, 사이클로헥실 아세트산염, 메틸사이클로헥실 아세트산염, n-뷰틸 아세트산염, 2차-뷰틸 아세트산염, 아이소프로필 아세트산염, 벤질 아세트산염, 메틸사이클로헥실 아세트산염, 다아아밀 옥살산염, 다이에틸 옥살산염, 다이에틸 옥살산염, 다이뷰틸 옥살산염, 다이에틸 타르타르산염, 다이뷰틸 타르타르산염, 아밀 스테아르산염, 메틸 스테아르산염, 에틸 스테아르산염, 뷰틸 스테아르산염, 아밀 락트산염, 메틸 락트산염, 에틸 락트산염, 뷰틸 락트산염, 프탈산 에스터, γ-뷰티로락톤, 아이소아밀 프로피온산염, 메틸 프로피온산염, 에틸 프로피온산염, 뷰틸 프로피온산염, 벤질 프로피온산염, 다이아이소프로필 말론산염, 다이메틸 말론산염, 다이에틸 말론산염, 다이뷰틸 말론산염, 아이소아밀 뷰티르산염, 아이소프로필 뷰티르산염, 메틸 뷰티르산염, 에틸 뷰티르산염, 뷰틸 뷰티르산염, 알케인, 톨루엔, 헥세인, 사이클로헥세인, 사이클로헥센, 사이클로펜테인, 탄화수소 할로겐화물, 및 질소 함유 화합물을 포함할 수 있다.
이들 중에서, 바람직한 것은 250℃ 이하의 용융점을 가진 유기 용매들이고 특히 바람직한 것은 100 내지 200℃의 용융점을 갖는 유기 용매들이고, 구체적으로, 바람직한 것은 다이클로로에틸 에터(용융점: 178.6℃), n-뷰틸 에터(용융점: 140.9℃), 다이아이소아밀 에터(용융점: 173.2℃), 메틸 페닐 에터(용융점: 153.9℃), 에틸 페닐 에터(용융점: 170.1℃), 크레실 메틸 에터(용융점: 171.8 내지 176.7℃), 에틸 벤질 에터(용융점: 185℃), 에피클로로하이드린(용융점: 117℃), 다이글리시딜 에터(용융점: 103℃), 1,4-다이옥세인(용융점: 101.4℃), 트라이옥세인(용융점: 114.5℃), 푸르푸랄(용융점: 162℃), 씨네올(용융점: 176 내지 177℃), 다이에틸아세탈(용융점: 104.2℃), 메틸 n-프로필 케톤(용융점: 102.4℃), 메틸 n-뷰틸 케톤(용융점: 127.2℃), 메틸 아이소뷰틸 케톤(용융점: 116.7℃), 메틸 n-아밀 케톤(용융점: 150.2℃), 메틸 n-헥실 케톤(용융점: 174℃), 다이에틸 케톤(용융점: 101.7℃), 에틸 n-헥실 케톤(용융점: 174℃), 다이에틸 케톤(용융점: 101.7℃), 에틸 n-뷰틸 케톤(용융점: 147.4℃), 다이-n-프로필 케톤(용융점: 144.2℃), 다이아이소뷰틸 케톤(용융점: 168.2℃), 아세톤일아세톤(용융점: 191.4℃), 다이아세톤 알콜(용융점: 163 내지 167.9℃), 메시틸 산화물(용융점: 131.4℃), 포론(용융점: 198.2℃), 사이클로헥사논(용융점: 156℃), O-메틸사이클로헥사논(용융점: 165℃), n-뷰틸 포름산염(용융점: 106.8℃), 아밀 포름산염(용융점: 130.4℃), n-프로필 아세트산염(용융점: 101.6℃), n-뷰틸 아세트산염(용융점: 126.3℃), 아이소뷰틸 아세트산염(용융점: 118℃), 2차-뷰틸 아세트산염(용융점: 112.2℃), n-아밀 아세트산염(용융점: 149.0℃), 아이소아밀 아세트산염(용융점: 142℃), 메틸아이소아밀 아세트산염(용융점: 146.3℃), 메톡시뷰틸 아세트산염(용융점: 173℃), 2차-헥실 아세트산염(용융점: 146.3℃), 2-에틸뷰틸 아세트산염(용융점: 162 내지 163℃), 2-에틸헥실 아세트산염(용융점: 197.5 내지 198℃), 사이클로헥실 아세트산염(용융점: 175 내지 176℃), 메틸사이클로헥실 아세트산염(용융점: 181.5 내지 186.5℃), n-뷰틸 프로피온산염(용융점: 146.8℃), 아이소아밀 프로피온산염(용융점: 160.3℃), 메틸 뷰티르산염(용융점: 102.3℃), 에틸 뷰티르산염(용융점: 121.3℃), n-뷰틸 뷰티르산염(용융점: 164.8℃), 아이소아밀 뷰티르산염(용융점: 179℃), 에틸 옥시아이소뷰티르산염(용융점: 147.5 내지 149℃), 메틸 아세토아세트산염(용융점: 171.7℃), 에틸 아세토아세트산염(용융점: 180.4℃), 아이소아밀 아이소발레르산염(용융점: 192.7℃), 메틸 락트산염(용융점: 143.8℃), 에틸 락트산염(용융점: 154.1℃), n-뷰틸 락트산염(용융점: 188℃), 메틸 벤조산염(용융점: 199.5℃), 다이에틸 옥살산염(용융점: 183.5℃), 및 다이에틸 말론산염(용융점: 198.9℃)이다. 용매들은 개별적으로 또는 조합해서 사용될 수 있다. 복수의 용매들이 조합해서 사용될 때, 용매들의 공비 온도는 250℃ 이하가 바람직하고, 특히 100 내지 200℃가 바람직할 것이다.
(b) 무기 분말들
본 발명에 사용되는 무기 분말들은 유리를 형성하기 위해 베이크되는 유리 프릿이고 이의 예들은 PbO-SiO2, PbO-B2O3-SiO2, ZnO-SiO2, ZnO-B2O3-SiO2, BiO-SiO2, BiO-B2O3-SiO2, PbO-B2O3-SiO2, Al2O3, 및 PbO-ZnO-B2O3-SiO2 유리 프릿을 포함할 수 있다.
유리 프릿이외에, 세라믹(예를 들어, 코디어라이트) 또는 금속으로 이루어진 무기 분말들이 사용될 수 있다. 이런 무기 분말들의 구체적인 예는 산화 코발트, 산화철, 산화 크롬, 산화 니켈, 산화 구리, 산화 망간, 산화 네오디뮴, 산화 바나듐, 세륨 티패크 옐로우 산화물, 산화 카드뮴, 산화 루테늄 및 실리카, 마그네시아, 첨정석과 같은 Na, K, Mg, Ca, Ba, Ti, Zr, 또는 Al의 산화물을 포함할 수 있다.
무기 분말들의 압자 크기에 관해서는, 0.1 내지 10㎛의 평균 입자 크기를 가진 무기 분말들이 사용되는 것이 바람직하며, 0.5 내지 8㎛의 평균 입자 크기를 가진 무기 분말들이 사용되는 것이 더욱 바람직하다. 10㎛ 이상의 평균 입자 크기를 가진 무기 분말들을 사용할 때, 막의 표면은 높은 정밀도를 가진 패턴을 형성하자마자 불리하게 거칠어질 수 있고, 0.1㎛ 이하의 평균 입자 크기를 가진 무기 분말들을 사용할 때, 베이킹하는 동안 막에 미세구들이 불리하게 형성될 수 있어서 절연 파괴를 일으킨다. 무기 분말들의 형태의 예는 구형, 블럭형, 파편형, 및 엽상형을 포함할 수 있고, 개별적으로 또는 함께 사용될 수 있다.
선택적으로, 무기 분말들은 다른 물리적 특성값들을 가진 미세 입자들의 혼합물일 수 있다. 특히 유리 프릿과 유리 프릿과 다른 열 연화점을 가진 세라믹 분말들을 사용할 때, 베이킹하는 동안 수축이 억제될 수 있다. 무기 분말들은 무기 페이스트 조성물의 사용에 따라 형태의 조합과 물리적 특성값을 변화시켜 제조하는 것이 바람직하다.
(c) 접합제 수지
본 발명의 무기 페이스트 조성물에서, 측쇄에 수산기를 가진 수지는 접합제 수지로서 사용된다.
접합제 수지는 수산기를 얻은 수지에 삽입할 수 있는 하기 모노머들을 중합 또는 공중합 하여 얻은 것들을 포함할 수 있다.
수산기를 삽입할 수 있는 모노머는 바람직하게는 (메타)크릴산 에스터, 에틸렌 불포화 탄산, 또는 다른 공중합성 모노머일 수 있고 이의 예들은 벤질 아크릴산염, 벤질 메타크릴산염, 사이클로헥실 아크릴산염, 사이클로헥실 메타크릴산염, 페녹시에틸 아크릴산염, 페녹시에틸 메타크릴산염, 페녹시 폴리에틸렌 글리콜 아크릴산염, 페녹시 폴리에틸렌 글리콜 메타크릴산염, 스타이렌, 논일페녹시 폴리에틸렌 글리콜 모노아크릴산염, 논일페녹시 폴리에틸렌 글리콜 모노메타크릴산염, 논일페녹시 폴리프로필렌 모노아크릴산염, 논일페녹시 폴리프로필렌 모노메타크릴산염, 2-하이드록시-3-페녹시프로필 아크릴산염, 2-아크릴올옥시에틸 프탈산염, 2-아크릴올옥시에틸-2-하이드록시에틸 프탈산염, 2-메타크릴올옥시에틸-2-하이드록시프로필 프탈산염, 메틸 아크릴산염, 에틸 아크릴산염, 메틸 메타크릴산염, 에틸 메타크릴산염, n-프로필 아크릴산염, n-프로필 메타크릴산염, i-프로필 아크릴산염, i-프로필 메타크릴산염, n-뷰틸 아크릴산염, n-뷰틸 메타크릴산염, i-뷰틸 아크릴산염, i-뷰틸 메타크릴산염, sec-뷰틸 아크릴산염, sec-뷰틸 메타크릴산염, tert-뷰틸 아크릴산염, tert-뷰틸 메타크릴산염, 2-하이드록시에틸 아크릴산염, 2-하이드록시에틸 메타크릴산염, 2-하이드록시프로필 아크릴산염, 2-하이드록시프로필 메타크릴산염, 3-하이드록시프로필 아크릴산염, 3-하이드록시프로필 메타크릴산염, 2-하이드록시뷰틸 아크릴산염, 2-하이드록시뷰틸 메타크릴산염, 3-하이드록시뷰틸 아크릴산염, 3-하이드록시뷰틸 메타크릴산염, 4-하이드록시뷰틸 아크릴산염, 4-하이드록시뷰틸 메타크릴산염, 3-에틸헥실아크릴산염, 에틸렌 글리콜 모노아크릴산염, 에틸렌 글리콜 모노메타크릴산염, 글리세롤 아크릴산염, 글리세롤 메타크릴산염, 다이펜타에리트리톨 모노아크릴산염, 다이펜타에리트리톨 모노메타크릴산염, 다이메틸아미노에틸 아크릴산염, 다이메틸아미노에틸 메타크릴산염, 테트라하이드로푸르푸릴 아크릴산염, 테트라하이드로푸르푸릴 메타크릴산염, 아크릴산, 메타크릴산, 크로톤산, 신남산, 말레산, 무수 말레산, 퓨마르산, 이타콘산, 무수 이타콘산, 시트라콘산, 및 무수 시트라콘산을 포함할 수 있다. 이들 중에서, 아크릴산과 메타크릴산을 사용하는 것이 바람직하다.
다른 공중합성 모노머들의 예는 (메타)아크릴산염이 퓨마르산염, 말레산염, 크로톤산염, 또는 이타콘산염, α-메틸스타이렌, o-바이닐톨루엔, m-바이닐톨루엔, p-바이닐톨루엔, o-클로로스타이렌, m-클로로스타이렌, p-클로로스타이렌, o-메톡시스타이렌, m-메톡시스타이렌, p-메톡시스타이렌, 바이닐 아세트산염, 바이닐 뷰틸산염, 바이닐 프로피온산염, 아크릴아마이드, 메타아크릴아마이드, 아크릴로나이트릴, 메타크릴로나이트릴, 아이소프렌, 클로로프렌, 및 3-뷰타다이엔으로 치환되는 것을 제외하고 (메타)아크릴산염의 상기한 구체적인 예들의 것과 동일한 구조를 가진 화합물들을 포함할 수 있다.
본 발명에 사용된 접합제 수지의 측쇄에 있는 수산기의 함량은 접합제 수지의 모노머 단위당 측쇄에 함유된 수산기의 평균 숫자로 환산하여, 모노머 단위당 0.3이거나 그 이하가 바람직하고, 더욱 바람직하게는 0.1 내지 0.3, 특히 바람직하게는 0.15 내지 0.25이다. 분자의 수산기 함량이 한 모노머 단위당 0.3을 초과할 때, 베이킹하는 동안 수축이 불리하게 발생할 수 있어서, 유전층에 잔금이 생긴다.
측쇄에 수산기를 가진 접합제 수지는 다른 접합제 수지와 함께 사용될 수 있다. 사용하기 위한 다른 접합제 수지들의 예는 셀룰로오스, 하이드록시메틸 셀룰로오스, 하이드록시에틸 셀룰로오스, 하이드록시프로필 셀룰로오스, 카복시메틸 셀룰로오스, 카복시에틸 셀룰로오스, 또는 카복시에틸메틸 셀룰로오스와 같은 셀룰로오스 유도체, 또는 셀룰로오스 유도체의 공중합체 및 에틸렌 불포화 카복실산 또는 (메타)아크릴산염 화합물을 포함할 수 있다.
접합제 수지들의 예는 폴리바이닐 알콜과 뷰틸알데하이드의 반응 생성물인 폴리뷰티랄 수지와 같은 폴리바이닐 알콜; δ-발레로락톤, ε-카프로락톤, β-프로피오락톤, α-메틸-β-프로피오락톤, β-메틸-β-프로피오락톤, α-메틸-β-프로피오락톤, β-메틸-β-프로피오락톤, α,α-다이메틸-β-프로피오락톤 또는 β,β-다이메틸-β-프로피오락톤과 같은 락톤의 개환 중합에 의해 얻은 폴리에스터; 에틸렌 글리콜, 프로필렌 글리콜, 다이에틸렌 글리콜, 트라이에틸렌 글리콜, 다이프로필렌 글리콜 또는 네오펜틸 글리콜과 같은 하나 이상의 알킬렌 글리콜일 수 있는 다이올의 축합 반응에 의해 얻은 에스터, 및 말레산, 푸마르산, 글루탐산 또는 아디프산과 같은 다이카복실산; 폴리에틸렌 글리콜, 폴리프로필렌 글리콜, 폴리테트라메틸렌 글리콜, 및 폴리펜타메틸렌 글리콜과 같은 폴리에터; 및 비스페놀 A, 하이드로퀴논, 또는 다이하이드록시사이클로헥세인과 같은 다이올 및 다이페닐 카본산염, 포스겐, 또는 무수 숙신산과 같은 카본일 화합물의 반응 생성물인 폴리탄산염을 포함할 수 있다. 접합제 수지들은 개별적으로 또는 둘 이상의 타입의 접합제 수지의 혼합물의 형태로 사용될 수 있다.
이 경우에, 측쇄에 수산기를 가진 접합제 수지 및 다른 접합제 수지의 100 중량부를 기초로, 측쇄에 수산기를 가진 접합제 수지의 양은 30 중량부 이상일 수 있고 다른 접합제 수지의 양은 70 중량부 이하일 수 있다. 측쇄에 수산기를 가진 접합제 수지의 양은 50 중량부 이상이고 다른 접합제 수지의 양은 50 중량부 이하인 것이 바람직하고, 측쇄에 수산기를 가진 접합제 수지의 양은 70 중량부 이상이고 다른 접합제 수지의 양은 30 중량부 이하인 것이 더욱 바람직하다. 다른 접합제 수지의 양이 증가할 때, 조성물에서 무기 분말들의 분산성은 불리하게 나빠질 수 있다.
(d) 다른 성분들
본 발명의 무기 페이스트 조성물은 필수 성분들로서 상기한 (a) 수산기가 없는 유기 용매, (b) 무기 분말들, 및 (c) 측쇄에 수산기를 가진 접합제 수지를 포함하며, 용도에 따라 다른 성분들을 더 포함할 수 있다.
예를 들어, 본 발명의 무기 페이스트 조성물이 플라즈마 디스플레이 상판에서 공간층을 생산하는데 사용될 때, 세 개의 필수 성분을 함유하는 페이스트 조성물은 조성물에 감광성을 제공하는 성분들로서 광중합성 모노머와 광중합성 개시제를 더 함유할 수 있다.
광중합성 모노머들의 예는 측쇄에 수산기를 가진 (c) 접합제 수지와 함께 상기한 모노머들을 포함할 수 있고, 둘 이상의 중합성 에틸렌 불포화 결합을 가진 모노머들(이후에는 "다기능성 모노머들"로 부름)이 바람직하다. 다기능성 모노머들의 예는 에틸렌 글리콜 또는 프로필렌 글리콜과 같은 알킬렌 글리콜의 다이아크릴산염 또는 다이메타크릴산염; 폴리에틸렌 글리콜 또는 폴리프로필렌 글리콜과 같은 폴리알킬렌 글리콜의 다이아크릴산염 또는 다이메타크릴산염; 글리세롤, 트라이메틸올프로페인, 펜타에리트리톨, 또는 다이펜타에리트리톨과 같은 다가 알콜의 폴리아크릴산염 또는 폴리메타크릴산염; 뿐만 아니라 다이카복실산 변형 생성물을 포함할 수 있다. 이런 모노머들 중에서, 구체적인 예들은 에틸렌 글리콜 다이아크릴산염, 에틸렌 글리콜 다이메타크릴산염, 트라이에틸렌 글리콜 다이아크릴산염, 트라이에틸렌 글리콜 다이메타크릴산염, 테트라에틸렌 글리콜 다이아크릴산염, 테트라에틸렌 글리콜 다이메타크릴산염, 프로필렌 글리콜 다이아크릴산염, 프로필렌 글리콜 다이메타크릴산염, 트라이메틸올프로페인 트라이아크릴산염, 트라이메틸올프로페인 트라이메타크릴산염, 테트라메틸올프로페인 테트라아크릴산염, 테트라메틸올프로페인 테트라메타크릴산염, 펜타에리트리톨 트라이아크릴산염, 펜타에리트리톨 트라이메타크릴산염, 펜타에리트리톨 테트라아크릴산염, 펜타에리트리톨 테트라메타크릴산염, 다이펜타에리트리톨 펜타메타크릴산염, 다이펜타에리트리톨 헥사아크릴산염, 및 다이펜타에리트리톨 헥사메타크릴산염을 포함할 수 있다.
광중합 개시제들의 예는 1-하이드록시사이클로헥실 페닐 케톤, 2,2-다이메톡시-1,2-다이페닐에테인-1-온, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르포닐노프로페인-1-온, 2-벤질-2-다이메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-뷰테인-1-온, 2-하이드록시-2-메틸-1-페닐프로페인-1-온, 2,4,6-트라이메틸벤조일다이페닐포스핀 옥사이드, 1-[4-(2-하이드록시에톡시)페닐]-2-하이드록시-2-메틸-1-프로페인-1-온, 2,4-다이에틸티옥산톤, 2-클로로티옥산톤, 2,4-다이메틸티옥산톤, 3,3-다이메틸-4-메톡시벤조페논, 벤조페논, 1-클로로-4-프로폭시티옥산톤, 1-(4-아이소프로필페닐)-2-하이드록시-2-메틸프로페인-1-온, 1-(4-도데실페닐)-2-하이드록시-2-메틸프로페인-1-온, 4-벤조일-4'-메틸다이메틸 황화물, 4-다이메틸아미노벤조산, 메틸 4-다이메틸아미노벤조산염, 에틸 4-다이메틸아미노벤조산염, 뷰틸 4-다이메틸아미노벤조산염, 2-에틸헥실 4-다이메틸아미노벤조산염, 2-아이소아밀 4-다이메틸아미노벤조산염, 2,2-다이에톡시아세토페논, 2,2-다이메톡시-2-페닐아세토페논, 벤질다이메틸 케탈, 벤질-β-메톡시에틸아세탈, 1-페닐-1,2-프로페인다이온 2-(o-에톡시카본일)옥심, 메틸 o-벤조일벤조산염, 비스(4-다이메틸아미노페닐)케톤, 4,4'-비스다이에틸아미노벤조페논, 4,4'-다이클로로벤조페논, 벤질, 벤조인, 벤조인 메틸 에터, 벤조인 에틸 에터, 벤조인 아이소프로필 에터, 벤조인 n-뷰틸 에터, 벤조인 아이소뷰틸 에터, p-다이메틸아미노아세토페논, p-tert-뷰틸트라이클로로아세토페논, p-tert-뷰틸다이클로로아세토페논, 티옥산톤, 2-메틸티옥산톤, 2-아이소프로필티옥산톤, 다이벤조수베론, α,α-다이클로로-4-페녹시아세토페논, 펜틸 4-다이메틸아미노벤조산염, 9-페놀아크리딘, 1,7-비스-(9-아크리딘일)헵테인, 1,5-비스-(9-아크리딘일)펜테인, 및 1,3-비스-(9-아크리딘일)프로페인을 포함할 수 있다. 이런 광중합 개시제들은 개별적으로 또는 조합해서 사용될 수 있다.
본 발명의 무기 페이스트 조성물이 플라즈마 디스플레이 상판에 유전층을 생산하는데 사용될 때, 유전층은 공간층에 감광성을 주는, 즉 공간층에 함유된 광중합 개시제를 광학적으로 활성화하는 파장을 가진 빛을 흡수할 수 있는 광흡수제를 함유할 수 있다. 이런 광흡수제로서, 300 내지 450nm의 파장을 가진 빛을 흡수하는 것이 사용되는 것이 바람직하고, 예들은 아조 염료, 아미노케톤 염료, 크산텐 염료, 퀴놀린 염료, 벤조페논 염료, 트라이아진 염료, 벤조트라이아졸 염료, 및 안트라퀴논 염료를 포함할 수 있다.
유전층이 공간층에 함유된 광중합 개시제를 광학적으로 활성화하는 파장을 가진 빛을 흡수할 수 있는 광흡수제를 함유할 때, 유전층과 공간층이 서로 적층되는 상태로 공간층의 노광에 의해 소정의 형태로의 패터닝으로, 제 1 층에 대한 입사광은 유전층에 있는 무기 분말들에 의해 산란되는 것을 막을 수 있다. 다시 말하면, 유전층이 광흡수제를 함유하지 않을 때, 유전층에 있는 무기 분말들에 의해 빛이 산란될 수 있어서, 공간층은 유전층으로부터 불확정한 방향으로 입사하는 빛에 노광될 수 있고, 마스크에 따라 높은 정확도를 가진 패턴을 형성하는 것을 어렵게 한다. 이를 막기 위해서, 공간층이 형성되어야 하고 노광되어야 하고 베이킹 후에 유전층이 투명 유리 상태가 되도록 베이킹되어야 하는데, 즉, 두 개의 개별 단계의 베이킹을 필요로 할 것이다. 반대로, 유전층이 광흡수제를 함유할 때, 유전층과 공간층을 위한 베이킹은 원하는 패턴을 얻기 위해 동시에 행해질 수 있다.
막에 가소성을 부여하기 위해서, 가소제가 조성물에 첨가될 수 있다. 가소제로서, 통상적으로 공지된 것이 사용될 수 있고, 바람직한 것은 200℃ 이상의 용융점을 가지며 실온에서 액체 상태이고 투명도가 우수한 가소제들이다. 가소제들의 예는 다이메틸 프탈산염, 다이에틸 프탈산염, 다이뷰틸 프탈산염, 다이헵틸 프탈산염, 다이-2-에틸헥실 프탈산염, 다이아이소논일 프탈산염, 다이아이소데실 프탈산염, 다이뷰틸벤질 프탈산염, 다이옥틸 프탈산염과 같은 프탈산 화합물들 및 뷰틸 프탈일뷰틸 글리콜산염; 다이아이소뷰틸 아디프산염, 다이아이소논일 아디프산염, 다이아이소데실 아디프산염, 및 다이뷰톡시에틸 아디프산염과 같은 아디프산 화합물들; 다이뷰틸 세바신산염 및 다이-2-에틸헥실 세바신산염과 같은 세바신산 화합물들; 트라이에틸 인산염, 트라이페닐 인산염, 트라이크레실 인산염, 트라이자일렌일 인산염, 및 크레실 페닐 인산염과 같은 인산 화합물들; 다이옥틸 세바신산염 및 메틸아세틸 리시놀레산염과 같은 지방산 화합물들; 다이아이소도데실 4,5-에폭시테트라하이드로프탈산염과 같은 에폭시 화합물들; 트라이뷰틸 트라이멜리트산염, 트라이-2-에틸헥실 트라이멜리트산염, 트라이-n-옥틸 트라이멜리트산염 및 트라이아이소도데실 트라이멜리트산염과 같은 트라이멜리트산 화합물들; 및 뷰틸 올레산염, 염소화 파라핀, 폴리부텐 및 폴리아이소뷰틸렌을 포함할 수 있다. 이들은 개별적으로 사용될 수 있고 또는 필요하다면 둘 이상의 타입의 것들이 혼합될 수 있다.
(e) 조성물 비율
본 발명의 무기 페이스트 조성물은 5 중량% 이거나 그 이하의 양으로 수산기를 가진 유기 용매를 함유하는 것을 특징으로 한다. 수산기를 가진 유기 용매들의 예는 무기 분말들의 분산성을 향상시키려는 본 발명에 의해 목표로 하는 효과를 손상시키는 않는 양으로 첨가된 알콜과 같은 희석용 유기 용매들을 포함할 수 있다. 수산기를 가진 유기 용매들의 예는 임의의 첨가제들이 고유하게 함유된 수산기-함유 유기 용매를 포함할 수 있다. 수산기를 가진 유기 용매들의 구체적인 예는 메탄올, 에탄올, 에틸렌 글리콜, 다이에틸렌 글리콜, 프로필렌 글리콜 및 3-메톡시-3-메틸뷰탄올과 같은 알콜; 및 에틸렌 글리콜 모노메틸 에터, 에틸렌 글리콜 모노에틸 에터, 다이에틸렌 글리콜 모노메틸 에터, 다이에틸렌 글리콜 모노에틸 에터, 프로필렌 글리콜 모노메틸 에터, 및 프로필렌 글리콜 모노에틸 에터와 같은 다가 알콜의 알킬 에터를 포함할 수 있다. 무기 페이스트 조성물에 수산기를 가진 유기 용매의 함량이 5 중량%를 초과할 때, 수소 결합은 수산기를 가진 유기 용매와 접합제 수지 사이에 불리하게 형성되어 접합제 수지와 무기 분말들이 함께 수소 결합을 형성하는 것을 막는다. 본 발명의 무기 페이스트 조성물에 수산기를 가진 유기 용매의 함량은 1 중량% 이거나 그 이하가 바람직하며, 0.1 중량% 이거나 그 이하가 더욱 바람직하다.
본 발명의 무기 페이스트 조성물에서 성분들의 비율은 무기 페이스트 조성물에 수산기를 가진 유기 용매의 함량이 5 중량% 이거나 그 이하인 한 조성물의 용도에 따라 적절하게 조절될 수 있다. 성분들의 비율은 특히 플라즈마 디스플레이 상판에 유전층을 형성하는데 사용되는 (1) 조성물 및 플라즈마 디스플레이 상판에 공간층을 형성하는데 사용되는 (2) 조성물에 관해서 이하에서 상세하게 기술할 것이다.
조성물(1)
본 발명의 무기 페이스트 조성물이 유전층을 형성하는데 사용될 때, 수산기를 갖지 않는 유기 용매는 측쇄에 수산기를 가진 접합제 수지의 100 중량부 당 30 내지 500 중량부, 바람직하게는 50 내지 300 중량부, 더욱 바람직하게는 100 내지 250 중량부의 양으로 포함되는 것이 유리할 수 있다.
무기 분말들은 모든 유기 성분들(유기 용매, 접합제 수지 및 기타를 포함)의 총량의 100 중량부 당 100 내지 1,000 중량부의 양으로 포함되는 것이 바람직하다. 가소제는 측쇄에 수산기를 가진 접합제 수지의 100 중량부 당 200 중량부 이상, 바람직하게는 5 내지 100 중량부, 더욱 바람직하게는 10 내지 80 중량부의 양으로 포함되는 것이 유리할 수 있다.
광흡수제는 무기 분말, 접합제 수지 및 광흡수제의 총량의 100 중량부 당 30 중량부 이상의 양으로 혼합되는 것이 바람직하다. 광흡수제의 양이 30 중량부를 초과할 때, 얻은 조성물은 너무 많은 빛을 흡수할 것이어서, 계면 근처의 공간층은 만족스럽게 노광되지 못해서, 막이 벗겨지거나 패턴이 형성되지 않는 문제들을 일으킬 수 있다.
조성물(2)
본 발명의 무기 페이스트 조성물이 공간층을 형성하는데 사용될 때, 수산기를 갖지 않는 유기 용매는 측쇄에 수산기를 가진 접합제 수지의 100 중량부 당 30 내지 700 중량부, 바람직하게는 50 내지 500 중량부, 더욱 바람직하게는 100 내지 300 중량부의 양으로 포함되는 것이 유리할 수 있다.
무기 분말들은 모든 유기 성분들(유기 용매, 접합제 수지, 광중합성 모노머, 광중합 개시제 및 기타를 포함)의 총량의 100 중량부 당, 100 내지 1,000 중량부의 양으로 포함되는 것이 바람직하다.
광중합성 모노머는 측쇄에 수산기를 가진 접합제 수지의 100 중량부 당 10 내지 500 중량부, 바람직하게는 30 내지 300 중량부, 더욱 바람직하게는 50 내지 200 중량부의 양으로 사용되는 것이 유리할 수 있다.
광중합 개시제는 측쇄에 수산기를 가진 접합제 수지의 100 중량부 당, 0.01 내지 50 중량부, 더욱 바람직하게는 0.1 내지 20 중량부의 양으로 사용되는 것이 바람직하다. 광중합 개시제의 양은 0.01 중량부 이하일 때, 조성물의 경화 특성은 나빠진다. 한편, 광중합 개시제의 양이 50 중량부를 초과하면, 개시제의 흡수에 의한 바닥에서의 경화 파괴가 관찰될 수 있다.
(B) 무기 페이스트 조성물의 제조 방법
본 발명의 무기 페이스트 조성물을 제조하는 방법은 무기 분말, 측쇄에 수산기를 가진 접합제 수지 및 수산기를 갖지 않은 유기 용매를 포함하는 세 가지 성분을 함께 혼합하는 단계 및 얻은 혼합물을 반죽하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하며, 반죽 단계에서 혼합물은 5 중량% 이거나 그 이하의 양으로 수산기를 가진 유기 용매를 함유한다.
본 발명에서, 접합제 수지, 유기 용매 및 무기 분말들을 혼합하는 순서에 관해서, 특별한 제한이 없다. 예를 들어, 접합제 수지, 유기 용매 및 무기 분말들을 포함하는 세 가지 성분들은 동시에 함께 혼합될 수 있고 또는 무기 분말들이 첨가되고 유기 용매에 접합제 수지를 용해시켜 미리 얻은 접합제 성분에 혼합될 수 있다. 후자의 방법을 예로 들면, 본 발명의 무기 페이스트 조성물의 제조 방법은 이하에서 기술될 것이고, 그러나 성분들의 혼합 순서는 이 예에 제한되지 않는다.
먼저, 접합제 성분을 제조하기 위해서, 용매에 접합제 수지를 용해시키도록 수산기를 갖지 않는 유기 용매와 접합제 수지는 교반기에 의해 함께 혼합된다. 이 단계에서, 광중합성 모노머, 광중합 개시제, 및 가소제, 분산제, 점착 부여제, 표면 장력 조절제, 안정제 또는 소포제와 같은 첨가제가 첨가될 수 있다.
접합제 성분을 제조한 후에, 혼합물을 제조하기 위해 무기 분말들이 접합제 성분에 첨가되고, 무기 분말들을 분산시키기 위해 혼합물은 반죽된다. 무기 분말들이 정상 상태하에서 보관되는 경우, 공기 중의 수분을 흡수하여 무기 분말들의 표면에 흡수된 수분으로부터 유도된 수산기를 가진다. 따라서, 무기 분말들의 표면 속에 수산기를 주입하기 위해 무기 분말들에 어떠한 특별한 처리를 할 필요가 없다. 그러나, 무기 분말들이 장시간 동안 건조된 상태하에서 보관되는 경우, 무기 분말들은 사용하기 전에 선택적으로 수분을 흡수하게 되고 그 후 접합제 성분에 첨가되는 것이 바람직하다.
본 발명에서, 반죽 단계에서의 혼합물은 가능하면 소량으로 수산기를 가진 유기 용매를 함유하는 것이 바람직하다. 구체적으로, 혼합물에서 수산기를 가진 유기 용매의 함량은 5 중량% 이하로 제한되는 것이 필요하다. 수산기를 가진 유기 용매는 첨가제 또는 불순물로서 혼합물에 함유될 수 있다. 이런 경우에, 혼합물에 수산기를 가진 유기 용매의 함량이 너무 높을 때, 수소 결합은 접합제 수지와 무기 분말들이 함께 수소 결합을 형성하는 것을 막아서 수산기를 가진 유기 용매와 접합제 수지 사이에 불리하게 수소 결합이 형성될 수 있다. 반죽 단계에서, 혼합물에서 수산기를 가진 유기 용매의 함량은 5 중량% 이거나 그 이하, 더욱 바람직하게는 1 중량% 이거나 그 이하, 더 바람직하게는 0.1 중량% 이거나 그 이하이다.
본 발명에서, 알콜과 같은 수산기를 가진 유기 용매는 무기 분말들의 분산성을 향상시키려는 본 발명에 의해 목표로 하는 효과를 손상시키지 않는 한 무기 분말들을 분산시키기 전 또는 후에 첨가될 수 있다.
수산기 함유-용매가 무기 분말들을 분산하기 전, 즉, 수소 결합이 무기 분말들과 접합제 수지 사이에 형성되기 전에 혼합물에 첨가될 때, 접합제 수지와 수산기-함유 용매는 함께 수소 결합을 불리하게 형성할 수 있어서, 무기 분말들의 분산성을 떨어뜨린다. 그러나, 혼합물에 함유된 수산기를 가진 유기 용매들의 총량이 5 중량% 이거나 그 이하일 때는, 혼합물이 소정량의 수산기-함유 용매를 함유할지라도 문제가 없다.
반죽 단계를 통해 무기 분말들을 분산하여 얻은 혼합물은 본 발명의 무기 페이스트 조성물로서 사용될 수 있다.
추가 성분이 무기 분말들을 분산시켜 얻은 혼합물에 더 첨가될 수 있고, 얻은 혼합물은 무기 페이스트 조성물로서 사용될 수 있다. 예를 들어, 무기 분말들이 분산되어 무기 분말들과 접합제 수지 사이에 수소 결합이 형성된 후, 무기 분말들과 접합제 수지 사이의 수소 결합은 비교적 안정하게 유지된다. 따라서, 이런 경우에, 비록 알콜과 같은 수산기를 가진 유기 용매들이 혼합물에 첨가될지라도, 무기 분말들과 접합제 수지 사이의 수소 결합은 악영향을 받지 않는다. 따라서, 반죽 단계 후, 알콜과 같은 수산기를 가진 유기 용매는 무기 페이스트 조성물의 농도를 조절하기 위해 선택적으로 첨가될 수 있다.
(C) 디스플레이 패널 생산용 시트형 언베이크 바디
본 발명의 시트형 언베이크 바디는 제거가능한 지지막과 본 발명의 무기 페이스트 조성물을 제거가능한 지지막에 도포하고 얻은 막을 건조하여 형성된 무기 페이스트막을 포함한다. 예를 들어, 비-감광성 무기 페이스트 조성물을 사용하는 시트형 언베이크 바디는 플라즈마 디스플레이 상판에서 유전층을 형성하기 위한 재료로 사용될 수 있고, 감광성 무기 페이스트 조성물을 사용하는 시트형 언베이크 바디는 플라즈마 디스플레이 상판에서 공간층을 형성하기 위한 재료로 사용될 수 있다. 본 발명의 시트형 언베이크 바디는 쉽게 벗겨질 수 있는 제거가능한 막에 의해 보호되는 무기 페이스트막의 표면을 가질 수 있어서, 보관, 운반 및 처리가 용이하다.
본 발명의 시트형 언베이크 바디는 무기 분말들이 균일하게 분산되어 우수한 평탄성을 가진 본 발명의 무기 페이스트 조성물을 사용하여 형성된다. 또한, 베이킹하는 동안 수축이 억제되어, 잔금이 없는 균일한 두께를 가진 유전층 또는 공간층을 얻을 수 있어서, 고품질 디스플레이 패널을 생산할 수 있다.
또한, 본 발명의 시트형 언베이크 바디는 미리 생산되어, 비록 제한된 기간인 소정의 기간 동안 저장될 수 있어서 디스플레이 패널을 생산하는데 즉시 사용될 수 있어, 디스플레이 패널의 생산 효율을 향상시킬 수 있다는 특징을 가진다.
본 발명의 시트형 언베이크 바디는 쉽게 벗겨질 수 있는 제거가능한 막에 의해 보호되는 양 표면들을 가진 무기 페이스트막의 형태로 제공되는 것이 바람직하다. 구체적으로, 제거가능한 지지막에 형성된 유전층은 보호층으로서 보호막으로 덮힌다.
본 발명의 시트형 언베이크 바디를 생산하는데 사용되는 지지막에 관해서, 지지막이 그 위에 형성된 층이 지지막으로부터 쉽게 벗겨져 유리 기판으로 이동될 수 있는 제거가능한 막 인한 특별한 제한이 없고, 이의 예들은 폴리에틸렌 테레프탈산염, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리탄산염 또는 폴리염화비닐과 같은 합성 수지막으로 구성된 15 내지 125㎛의 두께를 가진 유연한 막들을 포함할 수 있다. 지지막은 필요하다면 이동을 용이하게 하기 위해 제거될 수 있도록 처리되는 것이 바람직하다.
지지막에 무기 페이스트 막을 형성함에 있어서, 본 발명의 무기 페이스트 조성물을 제조하고, 무기 페이스트 조성물을, 예를 들어, 도포기, 바 코터, 와이어 바 코터, 롤 코터, 또는 커튼 플로우 코터를 사용하여 지지막에 도포한다. 롤 코터는 두께가 뛰어나게 균일하며 만족할 만하게 큰 두께를 가진 막을 효과적으로 형성할 수 있기 때문에 특히 바람직하다.
막을 건조한 후에, 무기 페이스트 막의 표면은 사용하기 전에 무기 페이스트 막을 안정하게 보호하기 위해서 보호막으로 덮이는 것이 바람직하다. 보호막으로서, 코팅되거나 베이크된 실리콘을 가지며 약 15 내지 125㎛의 두께를 가진 폴리에틸렌 테레프탈산염 막, 폴리프로필렌 막, 또는 폴리에틸렌 막이 바람직하다.
디스플레이 패널의 생산에서, 보호막은 본 발명의 시트형 언베이크 바디로부터 벗겨질 수 있고, 얻은 언베이크 바디는 노광된 무기 페이스트 막이 전극들이 형성된 유리 기판의 표면과 접촉하도록 유리 기판에 놓이고, 열 롤러는 무기 페이스트 막을 기판의 표면에 고온 압축하기 위해 지지막 위로 이동할 것이다.
고온 압축은 표면 온도가 80 내지 140℃가 되도록 가열되고, 롤 압력이 1 내지 5 kg/cm2의 범위이며, 이동 속도가 0.1 내지 10.0 m/min의 범위에 있는 조건하에서 수행되는 것이 바람직하다. 유리 기판은 예열될 수 있고, 예열 온도는, 예를 들어, 40 내지 100℃의 범위에서 선택될 수 있다.
무기 페이스트 막에서 벗겨진 보호막은 회수 롤러에 의해 연속적으로 회수되어 재사용될 수 있는 롤의 형태로 저장될 수 있다.
무기 페이스트 막은 이런 방식으로 기판의 표면에 가열 결합될 수 있고, 그런 후에 지지막은 기판 위의 무기 페이스트 막의 표면을 노출하기 위해 무기 페이스트 막에서 벗겨질 수 있다. 기판 위의 무기 페이스트 막에서 벗겨진 지지막은 흡수 롤러에 의해 연속적으로 흡수될 수 있고 재사용할 수 있는 롤의 형태로 저장될 수 있다.
유리 기판의 표면에 이렇게 형성된 무기 페이스트 막은 무기 페이스트 막에 함유된 유리 프릿을 소결하기 위해서 500 내지 700℃로 베이크될 수 있어서, 유전층 및/또는 공간층의 어느 하나를 형성한다. 베이킹 단계에서, 무기 페이스트 막에 함유된 유기 물질은 증발되어 분해될 수 있어서, 실질적으로 유전층 또는 공간층에 유기 성분들이 남지 않는다. 이렇게, 본 발명의 디스플레이 패널이 얻어진다.
디스플레이 패널을 이런 방식으로 생산한 후, 노광된 유전층은, 예를 들어, MgO로 구성된 보호막으로 덮이는 것이 바람직하다.
본 발명은 이하의 실시예들을 참조하여 더욱 상세하게 기술될 것이다. 본 발명은 실시예들에 의해 제한되지 않는다는 것을 알아야 한다.
실시예 1 내지 7 및 비교예 1
(1) 유리 페이스트 조성물의 제조
아래 표 1에 나타낸 조성물 비율(단위: 중량부)에 따라, 접합제 수지, 용매 및 다른 성분들을 3시간 동안 교반기를 통해 혼합하여, 유기 성분을 제조하였고, 그런 후에 40 중량부의 유기 성분(고체 함량: 50%) 및 80 중량부의 유리 프릿(PbO-SiO2)을 혼합하고 반죽하여 유리 페이스트 조성물을 제조하였다.
(2) 시트형 언베이크 바디의 생산
얻은 유리 페이스트 조성물을 폴리에틸렌 테레프탈산염으로 이루어진 지지막에 립 코터를 사용하여 도포하였고, 얻은 막을 6분 동안 100℃에서 건조시켜 용매를 완전히 제거하였고, 이렇게 지지막에 60㎛의 두께를 가진 유리 페이스트 막을 형성하였다. 그런 후에, 25㎛의 두께를 가진 폴리에틸렌 막을 유리 페이스트 막에 적층하여, 시트형 언베이크 바디를 생산하였다.
(3) 유전막 층의 형성
상기 (2)에서 얻은 시트형 언베이크 바디에서 폴리에틸렌 막을 제거하는 동안, 80℃로 예열된 유리 기판에 형성된 버스 전극들을 가진 유리 기판에 핫 롤 라미네이터에 의해 유리 페이스트 막을 박층화하였다. 공기압은 3kg/cm2이었고, 박층 속도는 1.0m/min이었다.
(4) 유리 페이스트 막의 평가
실시예 1 내지 7 및 비교예 1의 유리 페이스트 막의 성능을 평가하기 위해서, 하기한 평가법대로 실험을 수행하였다. 결과를 아래 표 1에 나타내었다.
(지지막을 벗겨낸 후 외관의 관찰)
상기 (3)에서 얻은 유전층에서 지지막으로서 폴리에틸렌 테레프탈산염을 벗겨낸 후에, 유리 페이스트 막의 외관을 관찰하였다.
G: 줄무늬, 구멍과 같은 결함이 발견되지 않았다.
NG: 줄무늬, 구멍과 같은 결함이 발견되었다.
(베이킹 전 표면 거침도 Rmax)
유리 페이스트 막의 표면 거침도를 첨필 표면 거침도 검사기로 측정하였다.
(베이킹 후 표면 거침도 Rmax)
베이킹 후 유리 페이스트 막의 특성들을 평가하기 위해서, 막에 온도를 1.0℃/min의 속도로 상승시키고 30분 동안 580℃로 유지하는 베이킹 처리를 하였고, 얻은 막의 표면 거침도를 첨필 표면 거침도 검사기로 측정하였다.
(내전압)
베이킹 후에, 내전압을 측정하였다.
G: 측정된 내전압은 표면에서 균일하다.
NG: 측정된 내전압은 표면에서 불균일하다.
성분 주해) 실시예 비교예
1 2 3 4 5 6 7 1
접합제 수지 (A-1) 75 75 75 75 75 75 - 75
(A-2) - - - - - - 14 -
(A-3) - - - - - - 22 -
용매 (B-1) 100 - - - - 99.9 - -
(B-2) - 100 - - - - - -
(B-3) - - 100 - - - 100 -
(B-4) - - - 100 - - - -
(B-5) - - - - 100 - - -
(B-6) - - - - 0.1 - 100
다른 성분들 (C-1) - - - - - - 63 -
(C-2) - - - - - - 0.9 -
(C-3) - - - - - - 0.1 -
(C-4) 25 25 25 25 25 25 25
지지막을 벗겨낸 후 외관의 관찰 G G G G G G G NG
베이킹 전 표면 거침도 Rmax(㎛) 1.8 1.8 1.8 1.8 1.8 1.8 2 4
베이킹 후 표면 거침도 Rmax(㎛) 0.9 0.9 0.9 0.9 0.9 0.9 1.6 2
내전압 G G G G G G G NG
주해:
(A-1): 측쇄에 수산기를 가진 접합제 수지
아이소뷰틸 메타크릴산염/하이드록시에틸 아크릴산염 = 90/10(중량%)
공중합체(Mw:70,000)
(A-2): 측쇄에 수산기를 가진 접합제 수지
스타이렌/하이드록시에틸 메타크릴산염 = 55/45(중량%) 공중합체(Mw:40,000)
(A-3): 측쇄에 수산기를 가진 접합제 수지
하이드록시프로필 셀룰로오스
(B-1): 용매 에틸 아세트산염
(B-2): 용매 뷰틸 아세트산염
(B-3): 용매 3-메톡시뷰틸 아세트산염
(B-4): 용매 에틸 n-뷰틸 케톤
(B-5): 용매 에틸 아세트산염/에틸 n-뷰틸 케톤 = 50/50(중량%)
(B-6): 용매 3-메톡시-3-메틸뷰탄올
(C-1): 모노머 2-메타크릴올옥시에틸-2-하이드록시프로필 프탈산염
(C-2): 광중합 개시제
2,2-다이메톡시-2-페닐아세토페논
(C-3): 광흡수제
아조 염료(상품명: Dye SS; 다이토 케믹스사에 의해 제조)(헐레이션 방지용)
(C-4): 가소제 다이뷰틸 프탈산염
실시예 1 내지 5 및 7에서, 수산기를 갖지 않은 유기 용매를 유기 용매로 사용하였고, 베이킹 전의 표면 거침도 Rmax 및 베이킹 후의 표면 거침도 Rmax에 관한 표 1에 도시한 평가 결과로부터 볼 수 있는 것과 같은 매우 우수한 분산성의 유리 프릿, 정밀하게 평탄한 유리 페이스트 막, 및 균일한 내전압을 얻게 된다. 또한, 실시예 6에서, 수산기를 가진 유기 용매(3-메톡시-3-메틸뷰탄올)는 유기 용매의 일부를 구성하나, 유기 용매(유리 페이스트 조성물의 중량을 기초로, 0.0167 중량%)의 함량은 유기 용매의 총량을 기초로, 0.1 중량% 정도로 매우 작고, 분산성은 실시예 1 내지 5 및 7에서와 같이 매우 우수하였고, 우수한 평탄성을 가진 유리 페이스트 막을 형성하였고, 내전압의 측정값은 균일하였다.
반대로, 비교예 1에서, 유리 프릿의 분산성은 실시예 1 내지 7의 분산성과 비교하여, 만족스럽지 못하였다. 이런 이유는 수산기를 가진 유기 용매(3-메톡시-3-메틸뷰탄올)가 비교예 1의 유기 용매로 사용되었고 유기 용매의 함량은 본 발명에서 정의한 필수 값(5 중량%)보다 더 높은 유리 페이스트 조성물의 중량을 기초로, 16.7 중량%이라는 것에 있다. 베이킹 전의 표면 거침도 Rmax와 베이킹 후의 표면 거침도 Rmax에 관한 표 1에 도시한 평가의 결과로부터 알 수 있듯이, 실시예 1 내지 7의 평탄성과 비교하여 막 평탄성이 나빴고, 내전압의 측정값도 표면에서 불균일하였다.
실시예 8
(1) 시트형 언베이크 바디의 생산
0.5 중량부의 아조 염료(상품명: Dye SS; 달토 케믹스사 제조)를 광 흡수제로 첨가하는 것을 제외하고 실시예 1에서와 동일한 방식으로 시트형 언베이크 바디(1)를 생산하였다.
그런 후에, 유리 페이스트 막의 두께가 40㎛인 것을 제외하고 실시예 7에서와 같은 방식으로 시트형 언베이크 바디(2)를 생산하였다.
(2) 시트형 언베이크 박층의 형성
시트형 언베이크 바디(1)의 폴리에틸렌 막을 벗겨내는 동안, 언베이크 바디(1)를 80℃로 예열된 유리 기판에 형성된 버스 전극들을 가진 유리 기판에 핫 롤 라미네이터에 의해 유리 페이스트 막을 박층화하였다. 공기압은 3kg/cm2이었고, 박층 속도는 1.0m/min이었다. 그런 후에, 지지막으로 폴리에틸렌 테레프탈산염을 벗겨내었다.
그런 후에, 시트형 언베이크 바디(2)에서 폴리에틸렌 막을 벗겨내는 동안, 언베이크 바디(2)를 80℃로 예열된 유리 기판에 시트형 언베이크 바디(1)의 표면에 롤 박층기를 사용하여 실온에서 박층화하였다. 이렇게 유리 기판에 시트형 언베이크 바디(1)와 언베이크 바디(2)를 포함하는 시트형 언베이크 박층을 형성하였다. 이 단계에서, 박층의 표면을 지지막으로 덮었다.
(3) 시트형 언베이크 박층의 평가와 유전체의 생산
시트형 언베이크 박층을 그 안에 형성된 소정의 패턴을 가진 검사 패턴 마스크를 통해 초고압 수은 램프에 의해 300 mJ/cm2의 복사 에너지로 자외선에 노출시켰다. 연속적으로, 지지막으로서 폴리에틸렌 테레프탈산염을 벗겨내었다. 그런 후에, 물을 사용하여 현상될 수 있는 감광성 막의 노광되지 않은 부분을 제거하기 위해서 얻은 박층을 30초 동안 3kg/cm2의 제트 압력으로 노즐을 통해 30℃에서 물을 사용하여 분사 현상(spray development)하여, 패턴을 형성하였다.
얻은 패턴을 패턴 형태에 대해 평가하였다. 그 결과, 최소 라인 넓이는 형성된 라인을 중에서 60㎛이었다. 그런 후에, 온도를 10℃/min의 상승 속도로 올리며 30분 동안 580℃에서 유지하는 베이킹 처리를 패턴에 가하였다. 그 결과, 우수한 유전체 패턴을 얻었다.
상기한 대로, 본 발명의 무기 페이스트 조성물은 조성물에서 무기 분말들의 분산성이 우수할 뿐만 아니라, 균일한 두께를 가진 막을 조성물로부터 형성할 수 있다는 점에서 유익하다. 또한, 베이킹 후의 수축은 억제될 수 있고, 따라서 무기 페이스트 조성물은 다층 회로 및 플라즈마 디스플레이, 플라즈마 어드레스 액정 디스플레이, 및 전계 방출 디스플레이, 특히 높은 정확도를 가질 것을 필요로 하는 플라즈마 디스플레이 상판과 같은 다양한 디스플레이에서 유전층과 공간층을 형성하기 위한 재료로서 매우 유용하다.

Claims (11)

  1. 무기 분말들, 측쇄에 수산기를 가진 접합제 수지, 및 수산기를 갖지 않은 유기 용매를 포함하는 무기 페이스트 조성물에 있어서,
    상기 무기 페이스트 조성물은 5 중량% 이거나 그 이하의 양으로 수산기를 가진 유기 용매를 함유하며, 접합제 수지의 모노머 단위당 측쇄에 함유된 수산기의 평균 숫자로 환산해서, 접합제 수지의 측쇄에 수산기의 함량이 하나의 모노머 단위당 0.3이거나 그 이하인 무기 페이스트 조성물.
  2. 제 1 항에 있어서,
    수산기를 갖지 않는 상기 유기 용매는 에터, 케톤 및 에스터로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 적어도 하나의 유기 용매인 무기 페이스트 조성물.
  3. 제 1 항에 있어서,
    측쇄에 수산기를 가진 상기 접합제 수지는 수산기를 가진 아크릴 수지인 무기 페이스트 조성물.
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    광중합성 모노머 및 광중합 개시제를 더 포함하는 무기 페이스트 조성물.
  6. 무기 분말들, 측쇄에 수산기를 가진 접합제 수지, 및 수산기를 갖지 않는 유기 용매를 포함하는 무기 페이스트 조성물의 제조 방법에 있어서,
    상기 방법은 무기 분말들, 측쇄에 수산기를 가진 접합제 수지 및 수산기를 갖지 않은 유기 용매를 포함하는 세 개의 성분들을 혼합하는 단계와 얻은 혼합물을 반죽하는 단계를 포함하고,
    상기 반죽하는 단계에서 상기 혼합물은 5중량% 이거나 그 이하인 양으로 수산기를 가진 유기 용매를 함유하며, 접합제 수지의 모노머 단위당 측쇄에 함유된 수산기의 평균 숫자로 환산해서, 접합제 수지의 측쇄에 수산기의 함량이 하나의 모노머 단위당 0.3이거나 그 이하인 방법.
  7. 기판 및 기판에 형성된 유전층을 포함하는 디스플레이 패널 생산용이며, 디스플레이 패널에서 유전층을 생산하는데 사용되는 시트형 언베이크 바디에 있어서,
    상기 시트형 언베이크 바디는 제거가능한 지지막과 제거가능한 지지막에 형성된 무기 페이스트 막을 포함하고, 무기 페이스트 막은 제 1 항에 따른 적어도 하나의 무기 페이스트 조성물로 이루어지는 시트형 언베이크 바디.
  8. 기판 및 기판에 형성된 유전층을 포함하는 디스플레이 패널 생산용이며, 디스플레이 패널에서 유전층을 생산하는데 사용되는 시트형 언베이크 바디에 있어서,
    상기 시트형 언베이크 바디는 제거가능한 지지막과 제거가능한 지지막에 형 성된 무기 페이스트 막을 포함하고, 무기 페이스트 막은 제 2 항에 따른 적어도 하나의 무기 페이스트 조성물로 이루어지는 시트형 언베이크 바디.
  9. 기판 및 기판에 형성된 유전층을 포함하는 디스플레이 패널 생산용이며, 디스플레이 패널에서 유전층을 생산하는데 사용되는 시트형 언베이크 바디에 있어서,
    상기 시트형 언베이크 바디는 제거가능한 지지막과 제거가능한 지지막에 형성된 무기 페이스트 막을 포함하고, 무기 페이스트 막은 제 3 항에 따른 적어도 하나의 무기 페이스트 조성물로 이루어지는 시트형 언베이크 바디.
  10. 삭제
  11. 기판, 기판에 형성된 유전층, 및 유전층에 형성되어 각각 일정한 두께를 가지는 복수의 공간층을 포함하는 디스플레이 패널 생산용이며, 디스플레이 패널에서 유전층을 생산하는데 사용되는 시트형 언베이크 바디에 있어서,
    상기 시트형 언베이크 바디는 제거가능한 지지막과 제거가능한 지지막에 형성된 무기 페이스트 막을 포함하고, 무기 페이스트 막은 제 5 항에 따른 적어도 하나의 무기 페이스트 조성물로 이루어지는 시트형 언베이크 바디.
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