WO2001069601A1

WO2001069601A1 - Glisseur de tete de lecture a pression negative et dispositif de disque

Info

Publication number: WO2001069601A1
Application number: PCT/JP2000/001529
Authority: WO
Inventors: Masaki Kameyama
Original assignee: Fujitsu Limited
Priority date: 2000-03-14
Filing date: 2000-03-14
Publication date: 2001-09-20
Also published as: US7149056B2; US20050280942A1; US7251105B2; US6950281B2; JPWO2001069601A1; US20060007597A1; US20030011934A1

Description

明細書負圧へッドスライダ及びデイスク装置技術分野

本発明は、一般的に磁気ディスク装置に関し、特に、磁気ディスク装置の負圧へ、ソドスライダに関する。背景技術

近年、磁気ディスク装置は小型化、高密度化をするために、ヘッドスライダの浮上量を低減させ、極低浮上或いはスラィダが記録媒体に接触するような接触記録 /再生の実現が望まれている。へッドスライダの浮上量を小さくするためには、磁気ディスク表面の表面粗さを小さくする必要がある。従来から現在に至るまで広く用いられているコンタクト ' スタート ' ストップ（ C S S ) 方式では、磁気ディスクの回転停止時には磁気ヘッドスライダの浮上面と磁気ディスクが接触し, 磁気ディスクの回転時には磁気ヘッドスライダは磁気ディスクの回転に伴って生じる空気流の作用で浮上する。

この方式は高い浮上安定性と微小な浮上量（サブミクロン）を確保できる反面, デイスク回転停止時にはデイスクにへッドスライダの空気ベアリング表面が接触し、磁気ディスク装置の起動時と停止時に磁気ディスクと空気ベアリング表面の摺動が起こる。このため、磁気ディスクの記録層上には力一ポン等の硬い材料からなる保護膜と、保護膜の摩擦 · 磨耗を低減して磁気ディスクの耐久性を向上させるための潤滑層が形成されている。潤滑層の存在により保護膜の摩擦 · 磨耗は低減するが、一方で停止時には磁気ディスクとヘッドスライダとの吸着（スティクシヨン）が起こり起動しない場合が生じてくる。

近年の情報量の増大に伴い、磁気ディスク装置の高密度化 · 大容量化及び小型化の進展は著しく、小型化に伴うスピンドルモ一夕のトルクの減少や、高密度化のための磁気ディスク表面の平滑化により、吸着問題の発生は動作不良の原因として大きくクローズアップされてきている。この吸着の問題を防止するために磁気ディスクの c s s v—ンにレ一ザによりテクスチャ一加工を施す技術や、スライダ浮上面（空気ベアリング表面）に複数個の突起を設けることによりヘッドスライダと磁気ディスク表面間の接触面積を小さく抑える技術が提案されている。磁気ディスクに対する磁気へッドスライダの浮上間隙を小さくするために、最近の磁気ディスク装置にはヘッドスライダの空気流入端側で一旦圧縮された空気をスライダの溝中で膨張させて負圧を発生させる負圧磁気ヘッドスライダが多く用いられている。この負圧磁気へッドスライダを採用した磁気ディスク装置においては、 C S S動作やシーク動作に伴いへッドスライダの溝面に汚れ又は塵埃が付着し、この付着物が許容量を超えると、磁気ディスク表面に落下し、ヘッドクラッシュの原因となる怖れがある。

よって本発明の目的は、磁気ディスク装置内に存在し得る微量の塵埃が負圧へッドスライダの溝面に付着するのを抑制することができ、塵埃の落下が原因で発生するヘッドクラッシュを有効に防止できるディスク装置を提供することである, 発明の開示 .

本発明によると、ベースを有するハウジングと；複数のトラックを有するディスクに対してデータをリード/ライトするトランスデュ一サと、ディスク対向面と、空気流入端と、空気流出端とを有する負圧へッドスライダと；前記負圧へッドスライダをディスクのトラックを横切って移動させるァクチユエ一夕とを具備し；前記ァクチユエ一夕は、前記ベースに回転可能に取り付けられたァクチユエ —夕アームと；前記ァクチユエ一夕アームの先端部にその基端部が固定されたサスペンションと；前記サスペンションの先端部に搭載された前記負圧へッドスライダとを含み；前記負圧へッドスライダは、前記空気流入端近傍の前記デイスク対向面に形成された、最上面と該最上面よりも低いステップ面を有するフロントパッドと；前記空気流出端近傍に形成された前記トランスデューザと；前記フロントパッドで一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる第 1 の溝と；前記第 1 の溝中に前記フロントパッドの下流側から前記空気流出端にかけて連続して且つ互いに離間して形成された複数の第 2の溝と；を含むことを特徴とするディスク装置が提供される。好ましくは、複数の第 2の溝は C S S領域での空気の流線に沿って形成されている。代案として、複数の第 2の溝は C S S領域における空気流入方向と概略平行に形成されている。他の代案として、最ィンナ一条件における空気流入方向から最ァウタ一条件における空気流入方向に概略平行となるように、へッドスライダ長手方向に対して複数の第 2の溝の角度が連続して変化している。

本発明の他の側面によると、ベースを有するハウジングと；複数のトラックを有するディスクに対してデータをリード/ライ卜するトランスデューザと、ディスク対向面と、空気流入端と、空気流出端とを有する負圧ヘッドスライダと；前記負圧へッドスライダをディスクのトラックを横切って移動させるァクチユエ一夕とを具備し；前記ァクチユエ一夕は、前記ベースに回転可能に取り付けられたァクチユエ一夕アームと；前記ァクチユエ一タアームの先端部にその基端部が固定されたサスペンションと；前記サスペンションの先端部に搭載された前記負圧ヘッドスライダとを含み；前記負圧へッドスライダは、前記空気流出端近傍の前記ディスク対向面に形成された、最上面と該最上面よりも低いステップ面を有するフロントパッドと；前記空気流出端近傍に形成された前記トランスデューサと；前記フロントパッドで一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる溝と；前記溝中に前記フロントパッドの下流側から前記空気流出端にかけて速続して且つ互いに離間して形成された複数のレールと；を含むことを特徴とするディスク装置が提供される。

本発明の更に他の側面によると、ベ一スを有するハウジングと；複数のトラックを有するディスクに対してデータをリード /ライトするトランスデュ一ザと、ディスク対向面と、空気流入端と、空気流出端とを有する負圧ヘッドスライダと；前記負圧へッドスライダをディスクのトラックを横切って移動させるァクチユエ一夕とを具備し；前記ァクチユエ一夕は、前記ベースに回転可能に取り付けられたァクチユエ一夕アームと；前記ァクチユエ一タアームの先端部にその基端部が固定されたサスペンションと；前記サスペンションの先端部に搭載された前記負圧へッドスライダとを含み；前記負圧へッドスライダは、前記ディスク対向面に形成された、それそれディスク回転時の浮上力を発生させるための平坦な空気ベアリング表面を有する一対のレールと；前記一対のレールの間に画成された、空気流入端側で一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる第 1 の溝と；前記レールの一方が位置する前記空気流出端近傍に形成された前記トランスデュ

—ザと；前記第 1 の溝中に前記空気流入端近傍から前記空気流出端にかけて連続して且つ互いに離間して形成された複数の第 2の溝と；を含むことを特徴とするディスク装置が提供される。

本発明の更に他の側面によると、ベースを有するハウジングと；複数のトラックを有するディスクに対してデータをリード/ライトするトランスデューザと、ディスク対向面と、空気流入端と、空気流出端とを有する負圧ヘッドスライダと；前記圧へッドスライダをディスクのトラックを横切って移動させるァクチユエ一夕とを具備し；前記ァクチユエ一夕は、前記ベースに回転可能に取り付けられたァクチユエ一夕アームと；前記ァクチユエ一タアームの先端部にその基端部が固定されたサスペンションと；前記サスペンションの先端部に搭載された前記負圧へッドスライダとを含み；前記負圧へッドスライダは、前記ディスク対向面に形成された、それぞれディスク回転時の浮上力を発生させるための平坦な空気ベアリング表面を冇する一対の第 1 のレールと；前記一対の第 1 のレールの間に画成された、空気流入端側で一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる溝と；前記第 1 のレールの一方が位 gする前記空気流出端近傍に形成された前記トランスデューザと；前記溝中に前記空気流入端近傍から前記空気流出端にかけて迚続して旦っ互いに離間して形成された複数の第 2のレールと；を含むことを特徴とするディスク装置が提供される。図面の簡単な説明

図 1 はカバーを外した状態の磁気ディスク装置の斜視図；

図 2 Aはへヅドアセンブリの斜視図；

図 2 Bはへッドアセンブリの縦断面図；

図 3はへッドアセンブリの分解斜視図；

図 4は本発明第 1実施形態の負圧へッドスライダ平面図；

図 5は第 1実施形態の負圧へッドスライダの一部破断斜視図；

図 6は本発明第 2実施形態の負圧へッドスライダの一部破断斜視図；図 7は本発明第 3実施形態の負圧へッドスライダ平面図；

図 8は本発明第 4実施形態の負圧へッドスライダ平面図；

図 9は図 8の 9 一 9線に沿った断面図；

図 1 0は本発明第 5実施形態の負圧へッドスライダ平面図；

図 1 1 は第 5実施形態の負圧へッドスライダの一部破断斜視図；

図 1 2は本発明第 6実施形態の負圧へッドスライダの一部破断斜視図；図 1 3は本発明第 7実施形態の負圧へッドスライダ平面図；

図 1 4は本発明第 8実施形態の負圧へッドスライダ平面図；

図 1 5は図 1 4の 1 5— 1 5線に沿った断面図；

図 1 6 A〜図 1 6 I は第 1実施形態の負圧へッドへッドスライダの製造方法を示す図；

図 1 7 A〜図 1 7 Fは第 1実施形態の負圧へッドスライダの他の製造方法を示す図；

図 1 8 A〜図 1 8 Iは第 2実施形態の負圧へッドスライダの製造方法を示す図；

図 1 9 A〜図 1 9 Fは第 2実施形態の負圧へッドスライダの他の製造方法を示す図である。発明を実施するための最良の態様

以下、図面を参照して本発明の数多くの実施形態について説明する。各実施形態の説明において、実質的に同一構成部分には同一符号を付して説明する。図 1 を参照すると、カバ一を外した状態の磁気ディスク装置の斜視図が示されている, ベース 2 にはシャフト 4が固定されており、このシャフト 4回りに D Cモータにより回転駆動される図示しないスピンドルハブが設けられている。スピンドルハブには磁気ディスク 6 とスぺ一サ（図示せず）が交互に挿入され、ディスククランプ 8 を複数のネジ 1 0 によりスピンドルハブに締結することにより、複数枚の磁気ディスク 6が所定間隔離間してスピンドルハブに取り付けられる。

符号 1 2はァクチユエ一夕アームアセンブリ 1 4 と磁気回路 1 6 とから構成されるロータリアクチユエ一夕を示している。ァクチユエ一夕アームアセンブリ 1 4は、ベース 2 に固定されたシャフト 1 8回りに回転可能に取り付けられている _c ァクチユエ一夕アームアセンブリ 1 4は一対の軸受を介してシャフト 1 8回りに回転可能に取り付けられたァクチユエ一タブロック 2 0 と、ァクチユエ一タブ口ヅク 2 0から一方向に伸長した複数のァクチユエ一夕アーム 2 2 と、各ァクチュェ一夕アーム 2 2の先端部に固定されたへッドアセンブリ 2 4 とを含んでいる。各へヅドアセンブリ 2 4は磁気ディスク 6 に対してデータをリ一ド Zライ卜する電磁トランスデューサ（磁気ヘッド素子）を有する負圧ヘッドスライダ 2 6 と、先端部にへヅドスライダ 2 6 を支持しその基端部がァクチユエ一夕アーム 2 2 に固定されたロードビーム（サスペンション） 2 8 を含んでいる。シャフト 1 8に対してァクチユエ一夕アーム 2 2 と反対側には図示しないコイルが支持されており、コイルが磁気回路 1 6のギャップ中に挿入されて、ポイスコイルモータ（V C M ) 3 0が構成される。符号 3 2は電磁トランスデューザに書き込み信号を供給したり、電磁トランスデューザからの読み取り信号を取り出すフレキシブルプリント配線板（ F P C ) を示しており、その一端がァクチユエ一夕ブロック 2 0 の側面に固定されている。

図 2 Aはへッドアセンブリ 2 4の斜視図を示しており、図 2 Bはその縦断面図を示している。図 3はヘッドアセンブリ 2 4の分解斜視図である。図 3 に最も良く示されるように、ジンバル 3 4がロードビーム 2 8 と一体的に形成されている , すなわち、ロードビーム 2 8の先端部に形成された U形状のスリット 3 6がジンバル 3 4を画成している。ロードビーム 2 8はステンレス鋼から形成されており、約 2 2 ·ί ΐηの厚さを有している。ロードビーム 2 8はへッドスライダ 2 6 をディスクに押し付けるためのパネ部 2 8 aと、剛体部 2 8 bを含んでいる。剛体部 2 8 bの裏面には補強板 3 8がスポット溶接等により接合されている。

補強板 3 8は例えばステンレス鋼から形成されており、その厚さは口一ドビーム 2 8の厚さの約 1 . 0倍〜約 2 . 0倍、望ましくは約 1 . 3倍〜約 1 . 5倍である。補強板 3 8の厚さが上述した範囲内にあるとき、ヘッドアセンブリ 2 4の共振周波数を高くすることができ、質量増加を最小に抑えることができる。補強板 3 8の厚さをロードビーム 2 8の厚さの 1倍未満にすると、剛体部 2 8 bの剛性が低下して共振点が下がってしまう。逆に、補強板 3 8の厚さをロードビーム 2 8の厚さの 2倍以上にすると、質量増加につながり、磁気へッドスライダ 2 6 がディスクから離れる衝撃加速度が小さくなるので、耐衝撃性を悪化させる原因となる。

ロードビーム 2 8は平板状であるが、実際の使用においては磁気へヅドスライダ 2 6 を磁気ディスクに押し付けるためにばね部 2 8 aに R曲げが施されている , 補強版 3 8の先端部にはピポット 4 0が形成されており、ピポット 4 0の先端がジンバル 3 4の裏面に接触して磁気へッドスライダ 2 6 を支持している。ロードビーム 2 8の基端部にはアルミニウムから形成されたスぺ一サ 4 2がスポット溶接されている。

ヒ述したへッドアセンブリ 2 4では、ジンバル 3 4はピボット 4 0 を中心にその前後の曲げ剛性が等しくなるように設定されているので、ピポット 4 0でへッドスライダ搭載部の衷側を押しても磁気へッドスライダ 2 6が傾くことはない。従って、磁気ヘッドスライダ 2 6 にモーメントをかけずに加重できるので、安定した浮上姿勢を実現できる。また、ピポット 4 0 による与圧分だけ加重時のピポット ^擦が大きくなるので、パネ部 2 8 aによる磁気へッドスライダ 2 6の磁気ディスクへの押し付け力が小さくてもピポット滑りの限界を高く保つことができる。

図 4を参照すると、本発明第 1 実施形態の負圧へッドスライダ 2 6の平面図が示されている。図 5は図 4 に示した負圧へッドスライダ 2 6の一部破断斜視図である。 ί¾圧ヘッドスライダ 2 6は直方体形状をしており、空気流入端 2 6 a及び空気流出端 2 6 bを有している。負圧へッドスライダ 2 6のディスク対向面には、空気流入端 2 6 aに隣接してフロントパッド 4 4が形成され、空気流出端 2 6 b に隣接して一対のリアパッド 4 6 , 4 8が形成されている。フロントノヅド 4 4 にはスライダ幅方向に延びる最上面（空気ベアリング表面） 5 0 と、最上面 5 0 に対して段差を有するステップ面 5 2が形成されている。

同様に、リアパッド 4 6 , 4 8 には最上面（空気ベアリング表面） 5 4 , 5 6 と、これらの最上面 5 4， 5 6 に対して段差を有するステップ面 5 8 , 6 0が形成されている。一方の最上面 5 4は他方の最上面 5 6 に比べて小さく形成されている。従ってこの負圧ヘッドスライダ 2 6では、一方の最上面 5 4に比べて他方の最上面 5 6 に大きな浮力が生成される。よって、リアパッド 4 6の空気流出端近傍には電磁トランスデューサ 6 2が形成されており、負圧へッドスライダ 2 6 と磁気ディスク面との距離はこの電磁トランスデューサ 6 2近辺で最も小さくなる。

磁気ディスクが回転し、ディスク面に沿って気流が発生すると、その気流が最上面 5 0 , 5 4， 5 6 に作用する。その結果、最上面 5 0 , 5 4， 5 6では、へッドスライダ 2 6 をディスク面から浮上させる浮力が発生される。このへヅドスライダ 2 6では、磁気ディスク上を浮上しているときには最上面 5 0に大きな浮力が生成される。その結果、ヘッドスライダ 2 6は空気流入端側が持ちあがったピッチ角ひの傾斜姿勢で維持される。

フロン、'ッド 4 4のステップ面 5 2には C S S時にへッドスライダ 2 6の吸着（スティクシヨン）を防止するための一対の突起 6 4， 6 6が形成されている < リアパッド 4 8のステップ面 6 0 にも突起 6 8が形成されている。フロントド 4 4のスライダ幅方向両端には、下流側に延びる一対のサイドパッド 7 0， 7 2が述続して形成されている。サイドパッド 7 0 にもスティクシヨン防止のための突起 Ί 4が形成されている。

フロントパッド 4 4の下流側には第 1 の溝 7 6が形成されている。この第 1 の溝 7 6はヘッドスライダ 2 6の長手方向中心よりも流入端側から開始され、流出端 2 6 bにかけて形成されている。従って、 ig上面 5 0 に沿って流れる気流はフロントパッド 4 4 を通過すると同時に第 1 の溝 7 6部分でデイスク面鉛直方向に広がり、その結果、第 1 の溝 7 6部分で負圧が生成される。この負圧が前述した浮力にバランスすることによって、へヅドスライグ 2 6の浮上量が規定される。第 1 の溝 7 6 中にはフロントパッド 4 4の下流側から空気流出端 2 6 bにかけて連続して且つ互いに離間して複数の細い第 2の溝 7 8が形成されている。これらの複数の第 2の溝 7 8は第 1 の溝 7 6面に発生する空気の流線 7 9 に沿って形成されている。好ましくは、これらの第 2の溝 7 8は C S S (コンタクト ' スタ — ト ' ストップ）領域において、第 1 の溝 7 6面に発生する空気の流線に沿って形成されている。溝 7 6 中に複数の細い溝 7 8 を形成したことにより空気の流入に伴って第 1 の溝 7 6 面に付着した塵埃又は汚れが第 2の溝 7 8 に沿って空気流出端 2 6 bに導かれ、溝 7 6面への塵埃又は汚れの堆積を抑制することができる c これにより、溝 7 6面に堆積した塵埃がディスク上に落下することを防止でき、塵埃に起因するへッドクラッシュを防止することができる。第 2の溝 7 8の深さは以下、幅は 1 0〃 m 2 0〃 mが望ましい。

また、空気流出端部に例えばポリウレタン等の多孔質の高分子層を接着することにより、空気流出端 2 6 bに導かれた塵埃を吸収し、ディスク装置内への飛散を防止できる。好ましくは、第 2の溝 7 8に撥水処理を施すのが良い。この撥水処理は、イオンビームエッチングで第 2の溝 7 8 を形成する際に、 A rを主体とするエッチングガス中に例えば C F ₄等のフッ素系ガスを含有させることにより行うことができる。

図 6 を参照すると、本発明第 2実施形態の負圧へッドスライダ 2 Aの一部破断斜視図が示されている。本実施形態の負圧スライダ 2 6 Aは、第 1 実施形態の負圧スライダ 2 6の第 2の溝 7 8に代わって複数のレール 8 0 を溝 7 6 中に形成したものである。本実施形態の他の構成は上述した第 1実施形態と同様である。レ —ル 8 0の高さは 0 . 4 m以下、幅は 1 0 / 2 0 / が望ましい。

複数のレール 8 0は、 C S S領域において、溝 7 6面に発生する空気の流線に沿って形成されている。溝 7 6中にフロントパッド 4 4の下流側から空気流出端 2 6 bにかけて連続して且つ互いに離間してレール 8 0が形成されていることにより、空気の流入に伴って溝 7 6 面に付着した塵埃又は汚れがレール 8 0 に沿つて空気流出端 2 6 bに導かれ、溝 7 6面への塵埃又は汚れの堆積を防止できる。図 7 を参照すると、本発明第 3実施形態の負圧へッドスライダ 2 6 Bの平面図が示されている。本実施形態の負圧スライダ 2 6 Bでは、第 1 の溝 7 6内に矢印 8 4で示す C S S ゾーンにおける空気流入方向と概略平行に複数の第 2の溝 8 2 が形成されている。 C S Sゾーンでは負圧へッドスライダ 2 6 Bが磁気ディスクに接触するため、溝 7 6内に塵埃又は汚れが付着し易くなる。 C S S ゾーンにおける空気流入方向 8 4 と概略平行に第 2の溝 8 2 を形成したことにより、 C S S ゾーンで積極的に溝 7 6面に付着した塵埃又は汚れを第 2の溝 8 2 に沿って空気流出端 2 6 bに導くことができる。本実施形態の他の構成は、上述した第 1実施形態と同様である。複数の第 2の溝 8 2に代えて、第 2実施形態のような複数のレールを形成するようにしても良い。

図 8 を参照すると、本発明第 4実施形態の負圧へッドスライダ 2 6 Cの平面図が示されている。図 9は図 8の 9 一 9線断面図である。本実施形態の負圧スライダ 2 6 Cでは、最インナ一条件における空気流入方向 8 8から最アウター条件における空気流入方向 9 0にほぼ平行となるように、スライダ長手方向に対して第 2の溝 8 6の角度を速続的に変化させている。更に、図 9 に示されるように第 2 の溝 8 6の深さを空気流入側から空気流出端 2 6 bにかけて連続的に浅く形成している。溝 8 6の深さは空気流出端にかけて段階的に浅くなるようにしても良い ₍ 本実施形態ではこのように第 2 の溝 8 6の角度を連続的に変化させるようにしたので、へヅドスライダ 2 6 Cのシーク範囲全体に渡り、いずれかの溝 8 6が空気流入方向と概略平行となるため、溝 7 6面に付着した塵埃又は汚れを溝 8 6 に沿って空気流出端 2 6 bに効果的に導くことができる。更に、第 2の溝 8 6の深さを上流側で深くなるように形成したのは、フロントパッド 4 4直後の溝 7 6 中での負圧が一番大きいため、この部分での塵埃又は汚れの付着が一番大きくなると予想され、これらの塵埃又は汚れを積極的に除去しょうとしたものである。上述した第 1及び第 3実施形態においても、第 2の溝 7 8 ， 8 2の深さを図 9に示した第 3実施形態の負圧へ 'ソドスライダ 2 6 Cのように変化させるようにしても良い。

図 1 0 を参照すると、本発明第 5実施形態の負圧スライダ 2 6 Dの平面図が示されている。図 1 1 は第 5実施形態の負圧スライダ 2 6 Dの一部破断斜視図である。負圧へッドスライダ 2 6 Dは空気流入端 2 6 a及び空気流出端 2 6 bを有している。負圧ヘッドスライダ 2 6 Dのディスク対向面には、正圧を発生させるための一対のレール 9 2 ， 9 4が形成されている。各レール 9 2 ， 9 4はそれそれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面 9 2 a , 9 4 aを有している。

各レール 9 2 , 9 4の空気流入端側にはそれそれテ一パ面 9 2 b , 9 4 bが形成されている。一対のレール 9 2 , 9 4の間の空気流入端側にはセンタ一レール 1 0 4が形成されている。センタ一レール 1 0 4 も空気流入端にテ一パ面 1 0 4 bを有している。一対のレール 9 2 , 9 4 とセンタ一レール 1 0 4の間には、スリット 1 0 6 , 1 0 8が画成されている。更に、一対のレール 9 2 ， 9 4の間には流入端側で一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる第一の溝 1 1 0 が画成されている。レール 9 2が位置するへヅドスライダ 2 6 Dの空気流出端には電磁トランスデュ一サ 6 2が形成されている。各レール 9 2 ， 9 4の幅を流入端及び流出端で広く、中間部分で細く形成することにより、ョ一角変化による浮上変動を抑えている。

レール 9 2 には C S S時の負圧へッドスライグ 2 6 Dのスティクシヨンを防止するための突起 9 6 ， 9 8が形成されている。同様に、レール 9 4 にもステイクシヨン防止のための突起 1 0 0 , 1 0 2が形成されている。本実施形態の負圧スライダ 2 6 Dでは更に、第 1 の溝 1 1 0中に空気流入側から空気流出端 2 6 bにかけて速続して且つ互いに離間して複数の細い第 2の溝 1 1 2が形成されている < これらの溝 1 1 2 は第 1 の溝 1 1 0面に発生する矢印 1 1 3で示される空気の流線に沿って形成されているのが好ましい。更に好ましくは、 C S S領域において、潢 1 1 0面に発生する空気の流線に沿って、これらの溝 1 1 2は形成されている < このように溝 1 1 0内に複数の細い溝 1 1 2 を空気流入側から空気流出端 2 6 bにかけて迚続して形成することにより、空気の流入に伴って溝 1 1 0面に付着した塵埃又は汚れが第 2の溝 1 1 2 に沿って空気流出端 2 6 bに導かれ、塵埃又は汚れが溝 1 1 0面へ堆積するのを防止することができる。

図 1 2 を参照すると、本発明第 6実施形態の負圧スライダ 2 6 Eの一部破断斜視図が示されている。本実施形態の負圧スライダ 2 6 Eは、図 1 0及び図 1 1 に示した第 5実施形態の第 2の溝 1 1 2に代えて複数のレール 1 1 4を第 1 の潢 1 1 0 中に形成したものである。本実施形態の他の構成は図 1 0及び図 1 1 に示した第 5実施形態と同様である。本実施形態では、空気の流入に伴って、溝 1 1 0 面に付着した塵埃又は汚れがレール 1 1 4に沿って空気流出端 2 6 bに導かれ、溝 1 1 0面への塵埃又は汚れの堆積を防止できる。

図 1 3 を参照すると、本発明第 7実施形態の負圧へッドスライダ 2 6 Fの平面図が示されている。本実施形態の負圧へヅドスライダ 2 6 Fでは、 C S S領域における空気流入方向 1 1 8 とほぼ平行となるように複数の第 2の溝 1 1 6が第 1 の溝 1 1 0 中に形成されている。本実施形態の負圧へッドスライダ 2 6 Fは図 7 に示した第 3実施形態の負圧へッドスライダ 2 6 Bと同様に、特に C S S領域における塵埃又は汚れ除去効果が大きい。本実施形態の他の構成は図 1 0及び図 1 1 に示した第 5実施形態と同様である。

図 1 4を参照すると、本発明第 8実施形態の負圧へッドスライダ 2 6 Gの平面図が示されている。図 1 5は図 1 4の 1 5 — 1 5線断面図である。本実施形態の負圧へッドスライダ 2 6 Gでは、最インナ一条件における空気流入方向 1 2 2から最アウター条件における空気流入方向 1 2 4にほぽ平行となるように、スライダ長手方向に対して第 2の溝 1 2 0の角度を速続的に変化させて第 1 の溝 1 1 0 中に形成している。更に、図 1 5 に示すように第 2の溝 1 2 0の深さを空気流入側から空気流出端 2 6 bにかけて迚続的に浅くなるように形成している。第 2の溝 1 2 0の深さを段階的に浅くなるように形成しても良い。上述した第 5及び第 7実施形態においても、第 2の満 1 1 2 , 1 1 6の深さを空気流入側から空気流出端 2 6 bにかけて速続的或いは段階的に浅くなるように形成しても良い。

次に図 1 6 A〜図 1 6 I を参照して、第 1実施形態の負圧ヘッドスライダ 2 6 の製造方法について説明する。本実施形態の製造方法は、従来工程の後に第 2の溝形成工程を追加した製造方法である。まず、図 1 6 Aに示すようにスライダ基板 1 3 0の空気ベアリング表面となるべき場所にフォトレジスト 1 3 2を塗布する。次いで、図 1 6 Bに示すように、 A rガスを主体としたイオンビームエッチングによりスライダ基板 1 3 0を空気ベアリング表面（最上面）とステップ面の差だけ削り、フォトレジストを剥離する（図 1 6 C ) 。これにより、空気べァリング表面 1 3 4が形成される。

次いで、図 1 6 Dに示すように、空気ベアリング表面 1 3 4上及びステップ面となるべき場所にフォトレジスト 1 3 6を塗布する。次いで、図 1 6 Eに示すように、イオンビームエッチングによりスライダ基板 1 3 0 を所定の厚さ削り、レジス卜 1 3 6を剥離する（図 1 6 F ) 。これにより、ステップ面 1 3 8 と第 1の溝 1 4 0が形成される。

次いで、図 1 6 Gに示すように、第 2の溝形成部分 1 4 2を除き、フォトレジスト 1 4 4を塗布し、図 1 6 Hに示すようにイオンビームエッチングにより所定の厚さスライダ基板 1 3 0を削った後、フォトレジストを剥離する（図 1 6 1 ) , これにより、空気ベアリング表面 1 3 4、ステップ面 1 3 8、第 1の溝 1 4 0及び第 2の溝 1 4 6が形成される。

図 1 7 A〜図 1 7 Fを参照すると、負圧へッドスライダ 2 6の他の製造方法のプロセスが示されている。本実施形態の製造方法は、空気ベアリング表面形成と同時に第 2の溝を形成する方法である。まず、図 1 7 Aに示すように、ステップ面形成領域 1 4 8及び第 2の溝形成領域 1 5 0を除き、スライダ基板 1 3 0上にフォトレジスト 1 5 2を塗布する。次いで、図 1 7 Bに示すように、イオンビームエッチングによりスライダ基板 1 3 0を所定の厚さ削った後、フォトレジスト 1 5 2を剥離する（図 1 7 C ) 。これにより、空気ベアリング表面 1 5 4が形成される。

次いで、図 1 7 Dに示すように、空気ベアリング表面 1 5 4及びステップ而となるべき場所にフォトレジスト 1 5 6を塗布し、図 1 7 ( E ) に示すようにィォンビームエッチングによりスライダ基板 1 3 0を所定の厚さ削った後、フオトレジスト 1 5 6を剥離する（図 1 7 F ) 。これにより、空気ベアリング表面（最上面） 1 5 4、ステップ面 1 5 8、第 1 の溝 1 6 0及び第 2の溝 1 6 2を形成することができる。この製造方法によると、図 1 6 A〜図 1 6 1 に示した製造方法よりも 3工程分製造工程を短縮化することができる。

次に、図 1 8 A〜図 1 8 1 を参照して、図 6に示した第 2実施形態の負圧へッドスライダ 2 6 Aの製造方法について説明する。まず、図 1 8 Aに示すように、スライダ基板 1 3 0の空気ベアリング表面（最上面）となるべき場所にフオトレジスト 1 6 4を塗布し、図 1 8 Bに示すようにイオンビームエッチングでスライダ基板 1 3 0を所定の厚さ削った後、フォトレジスト 1 6 4を剥離する（図 1 8 C ) 。これにより、空気ベアリング表面 1 6 6が形成される。

次いで、図 1 8 Bに示すように、空気ベアリング表面 1 6 6及びステップ面となるべき場所にフォトレジスト 1 6 8を塗布し、図 1 8 Eに示すようにイオンビ —ムエッチングでスライダ基板 1 3 0を所定の厚さ削った後、フォトレジスト 1 6 8を剥離する（図 1 8 F ) 。これにより空気ベアリング表面 1 6 6及びステツプ面 1 7 0が形成される。

次いで、図 1 8 Gに示すように、空気ベアリング表面 1 6 6、ステップ面 1 7 0及びレールを形成すべき箇所にフォトレジスト 1 Ί 4を塗布し、図 1 8 Hに示すように、イオンビームエッチングでスライダ基板 1 3 0 を所定の厚さ削った後、フォトレジスト 1 7 4を剥離する（図 1 8 1 ) 。これにより、空気ベアリング表面 1 6 6、ステップ面 1 7 0、溝 1 7 2及びレール 1 7 6 を形成することができる。

次に、図 1 9 A〜図 1 9 Fを参照して、第 2実施形態の負圧へヅドスライダ 2

6 Aの他の製造方法について説明する。この製造方法は、空気ベアリング表面と同時にレールを形成する方法である。まず、図 1 9 Aに示すように、スライダ基板 1 3 0の空気ベアリング表面及びレールを形成すべき箇所にフォトレジスト 1

7 8 を塗布する。次いで、図 1 9 Bに示すように、イオンビームエッチングでスライダ基板 1 3 0 を所定の厚さ削った後、フォトレジスト 1 7 8を剥離する（図 1 9 C ) 。これにより空気ベアリング表面 1 8 0 が形成される。

次いで、図 1 9 Dに示すように、空気ベアリング表面 1 8 0及びステップ面となるべき筒所にフォトレジスト 1 8 2 を塗布する。図 1 9 Eに示すように、ィォンビームエッチングでスライダ基板 1 3 0 を所定の厚さ削った後、フォトレジスト 1 8 2 を剥離する（図 1 9 F ) 。これにより、空気ベアリング表面 1 8 0、ステツブ面 1 8 4、溝 1 8 6及びレール 1 8 8 を形成することができる。本実施形態の製造方法によると、図 1 8 A〜図 1 8 1 に示した製造方法に比較して、 3ェ程の工程短縮化を図ることができる。産業上の利用可能性

本発明の負圧へッドスライダは、負圧を発生する溝内に複数の細い溝又は細いレールが形成されている。これら複数の細い溝又はレールは C S S領域における空気の流線に沿って、又は C S S領域における空気流入方向とほぼ平行となるように形成されている。代案として、これらの溝又はレールの角度を最インナ一条件における空気流入方向から最ァウタ一条件における空気流入方向にほぼ平行となるように連続的に変化させるようにしても良い。

本発明では、このように負圧を発生させる溝中に複数の細い溝又はレールを形成したので、空気の流入に伴って負圧発生用の溝面に付着した塵埃又は汚れが複数の細い溝又はレールに沿って空気流出端に導かれ、溝面への塵埃又は汚れの堆積を防止できる。これにより塵埃又は汚れがディスク上に落下することを防止することができ、塵埃に起因するへッドクラッシュの発生を防止することができる ,

Claims

請求の範囲 1 . ベ一スを有するハウジングと；

複数のトラックを有するディスクに対してデ一夕をリード/ライトするトランスデューザと、ディスク対向面と、空気流入端と、空気流出端とを有する負圧へッドスライダと；

前記負圧へッドスライダをディスクのトラックを横切って移動させるァクチュエー夕とを具備し；

前記ァクチユエ一夕は、前記ベースに回転可能に取り付けられたァクチユエ一夕アームと；

前記ァクチユエ一夕アームの先端部にその基端部が固定されたサスペンションと；

前記サスペンションの先端部に搭載された前記負圧へッドスライダとを含み；前記負圧へッドスライダは、前記空気流入端近傍の前記ディスク対向面に形成された、最上面と該最上面よりも低いステップ面を有するフロントノッドと；前記空気流出端近傍に形成された前記トランスデューザと；

前記フロントパッドで旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる第 1 の溝と；

前記 ¾ 1 の溝中に前記フロントパッドの下流側から前記空気流出端にかけて迚続して aつ互いに離問して形成された複数の第 2 の溝と；

を含むことを特徴とするディスク装置。

2 . ベースを有するハウジングと；

複数のトラックを有するディスクに対してデータをリード/ライトするトランスデュ一ザと、ディスク対向面と、空気流入端と、空気流出端とを有する負圧へッドスライダと；

前記負圧へッドスライダをディスクのトラックを横切って移動させるァクチュェ一夕とを具備し；

前記ァクチユエ一夕は、前記べ一スに回転可能に取り付けられたァクチユエ一夕アームと；

前記サスペンションの先端部に搭載された前記負圧へッドスライダとを含み；前記負圧へッドスライダは、前記空気流出端近傍の前記ディスク対向面に形成された、最上面と該最上面よりも低いステップ面を有するフロントパッドと；前記空気流出端近傍に形成された前記トランスデュ一ザと；

前記フロン卜パッドで一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる溝と；

前記溝中に前記フロントパッドの下流側から前記空気流出端にかけて速続して且つ互いに離間して形成された複数のレールと；

を含むことを特徴とするディスク装置。

3 . ベースを有するハウジングと；

複数のトラックを有するディスクに対してデ一夕をリード/ライ卜するトランスデュ一ザと、ディスク対向面と、空気流入端と、空気流出端とを有する負圧へッドスライダと；

前記負圧ヘッドスライダをディスクのトラックを横切って移動させるァクチュェ一夕とを具備し；

前記サスペンションの先端部に搭載された前記負圧へッドスライダとを含み；前記負圧ヘッドスライダは、前記ディスク対向面に形成された、それぞれディスク回転時の浮上力を発生させるための平坦な空気ベアリング表面を有する一対のレールと；

前記一対のレールの間に画成された、空気流入端側で一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる第 1 の溝と；

前記レールの一方が位置する前記空気流出端近傍に形成された前記卜ランスデュ一ザと；

前記第 1 の溝中に前記空気流入端近傍から前記空気流出端にかけて連続して且つ互いに離間して形成された複数の第 2の溝と；

を含むことを特徴とするディスク装置。

4 . ベースを有するハウジングと；

前記サスペンションの先端部に搭載された前記負圧ヘッドスライダとを含み；前記負圧ヘッドスライダは、前記ディスク対向面に形成された、それぞれディスク回転時の浮上力を発生させるための平坦な空気ベアリング表面を有する一対の第 1 のレールと；

前記一対の第 1 のレールの間に画成された、空気流入端側で一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる溝と；

前記第 1 のレールの一方が位置する前記空気流出端近傍に形成された前記トランスデューザと；

前記溝中に前記空気流入端近傍から前記空気流出端にかけて連続して且つ互いに離間して形成された複数の第 2のレールと；

を含むことを特徴とするディスク装置。

5 . ディスク対向面と、空気流入端と、空気流出端とを有する負圧ヘッドスライダであって、

前記空気流出端近傍の前記ディスク対向面に形成された、最上面と該最上面よりも低いステップ面を有するフロントノソドと；前記空気流出端近傍に形成されたトランスデューザと；

前記フロントパッドで一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる第 1 の溝と；

前記第 1 の溝中に前記フロントパッドの下流側から前記空気流出端にかけて連続して且つ互いに離間して形成された複数の第 2の溝と；

を具備したことを特徴とする負圧へッドスライダ。

6 . ディスク対向面と、空気流入端と、空気流出端とを有する負圧ヘッドスライダであって、

前記空気流入端近傍の前記ディスク対向面に形成された、最上面と該最上面よりも低いステップ面を有するフロントノソドと；

前記空気流出端近傍に形成されたトランスデューザと；

前記フロントパッドで一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる溝と；

を具備したことを特徴とする負圧へッドスライダ。

7 . ディスク対向面と、空気流入端と、空気流出端とを有する負圧ヘッドスラィダであって、

前記ディスク対向面に形成された、それそれディスク回転時の浮上力を発生させるための平坦な空気べァリング表面を有する一対のレールと；

前記一対のレールの問に画成された、空気流入端側で一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる第 1 の溝と；

前記レールの一方が位匿する前記空気流出端近傍に形成されたトランスデューザと；

を具備したことを特徴とする負圧へッドスライダ。

8 . ディスク対向面と、空気流入端と、空気流出端とを有する負圧ヘッドスラィダであって、前記ディスク対向面に形成された、それそれディスク回転時の浮上力を発生させるための平坦な空気ベアリング表面を有する一対の第 1 のレールと；

前記第 1 のレールの一方が位置する前記空気流出端近傍に形成されたトランスデューザと；

前記溝中に前記空気流入端近傍から前記空気流出端にかけて速続して且つ互いに離間して形成された複数の第 2のレールと；

を具備したことを特徴とする負圧へッドスライダ。