WO1999003139A1 - Boitier de rangement et dispositif d'alignement - Google Patents

Boitier de rangement et dispositif d'alignement Download PDF

Info

Publication number
WO1999003139A1
WO1999003139A1 PCT/JP1998/002896 JP9802896W WO9903139A1 WO 1999003139 A1 WO1999003139 A1 WO 1999003139A1 JP 9802896 W JP9802896 W JP 9802896W WO 9903139 A1 WO9903139 A1 WO 9903139A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
reticle
storage case
substrate
storage
case
Prior art date
Application number
PCT/JP1998/002896
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Kanefumi Nakahara
Original Assignee
Nikon Corporation
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corporation filed Critical Nikon Corporation
Priority to AU79349/98A priority Critical patent/AU7934998A/en
Publication of WO1999003139A1 publication Critical patent/WO1999003139A1/ja

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67353—Closed carriers specially adapted for a single substrate
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67359—Closed carriers specially adapted for containing masks, reticles or pellicles
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67373—Closed carriers characterised by locking systems
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67386—Closed carriers characterised by the construction of the closed carrier

Definitions

  • the present invention relates to a storage case for storing a substrate and an exposure apparatus using the storage case, and in particular, to a mask or reticle, or a wafer or glass plate used in manufacturing a semiconductor element or a liquid crystal display element.
  • the present invention relates to a storage case for storing such a substrate and an exposure apparatus using the storage case.
  • reticles Masks or reticles (hereinafter collectively referred to as “reticles”) used as masters when manufacturing semiconductor devices or liquid crystal display devices are stored in special storage cases because it is necessary to prevent adhesion of dust and the like. ing. Similarly, a wafer or a glass plate to which a circuit pattern or the like is transferred is also stored in a dedicated storage case for dust prevention.
  • a reticle storage case as an example.
  • FIGS. 15A to 15C are views showing a conventional storage case
  • FIG. 15A is a view of the storage case seen from above
  • FIG. 15B is a cross-sectional view taken along line A-A of FIG. 15A
  • FIG. 15C is a diagram showing a state where the front door 7 is open
  • FIG. 15C is a cross-sectional view taken along a line AA of FIG. 15A, showing a case where the front door 7a is closed.
  • the storage case has two side parts 3a and a back part 4a mounted on a metal bottom plate 2a, and is connected through hinges 5a.
  • the upper lid 1a is pivotally supported so that it can be opened and closed freely.
  • the upper lid la is formed of transparent plastic, and pivotally supports the front door 7a via a hinge (not shown).
  • Guide portions 19a are integrally provided outside the side surfaces 3a.
  • the guide portion 19a has a holding panel SP. When the top cover 1a is in a closed state, the upper cover 1a is held by the holding panel SP.
  • the upper lid 1a is fixed to the side surface 3a by urging.
  • Reticle support pins 8a for supporting the reticle R are provided at four locations inside the storage case.
  • the reticle R has a pellicle frame P F with a pellicle stretched thereon.
  • a spring hook 10a is provided inside the upper lid 1a, and a tension coil spring 11a is attached to the panel hook 10a.
  • the reticle retainer R H is rotatably attached to the upper lid 1a, and is connected to the tension coil spring 11a so as to rotate in conjunction with expansion and contraction of the tension coil spring 11a.
  • the reticle retainer RH holds down the reticle R when the front door 7a is closed (see Fig. 15C), and prevents the reticle R from being transported when the reticle R is taken out of or stored in the storage case. It has been evacuated to a position where it should not be (see Figure 15B).
  • FIG. 16 is a view showing an exposure apparatus for exposing the pattern of the reticle R to the wafer W using the above-described storage case.
  • the exposure apparatus is disposed in a chamber 20a that keeps the environment of the exposure apparatus almost constant, and is roughly divided into a reticle storage system 30a, a reticle transport system 40a, and an exposure system 50a.
  • the reticle storage system 30a includes a reticle library 31a for storing a plurality of storage cases described above in a base plate 33a.
  • the reticle transport system 40a has a reticle transport arm 41a, a reticle transport unit 42a, a load transport arm 43a, and an unloading transport arm 44a, and a reticle storage system 3a.
  • the reticle R is transported between 0a and the exposure system 50a.
  • the exposure system 50a has a reticle stage 5la on which a reticle R is mounted, and a wafer stage 52a on which a wafer W is mounted. An image of the pattern of the reticle R is projected by the projection optical system PL onto the wafer W. Exposure.
  • a reticle R having a desired pattern is transported from the reticle library 31a to the reticle stage 51a according to a worker's instruction, and a reticle R having a pattern whose exposure has been completed is transferred from the reticle stage 51a to the reticle library 31a.
  • the conventional technology has the following problems. (1) Before attaching the storage cases to the exposure apparatus, the operator may, for example, stack a plurality of storage cases in a clean room, transport the storage cases, or temporarily store the storage cases. Since conventional storage cases do not have a mechanism for positioning the storage cases, the stacked storage cases may slip, and the storage case may fall and damage the reticle R in the storage case. In addition, when foreign matter adhering to the upper lid 1a of the storage case separates and floats in the case due to vibration when the storage cases are stacked, foreign matter may adhere to the reticle R.
  • the operator sometimes sets the storage case in the reticle library 31a.
  • the size of the reticle R for example, 9-inch reticle
  • the storage case becomes heavy. The burden on the worker increases.
  • the weight of the storage case will increase with the increase in the size of the storage case. Need to stand.
  • a first object of the present invention is to provide a storage case that does not damage a substrate such as a reticle.
  • a second object of the present invention is to provide an exposure apparatus capable of carrying a substrate without damaging a substrate such as a reticle.
  • a storage case according to the present invention which is formed in a box shape and stores a substrate, includes a support portion for supporting the substrate in a predetermined plane, and a loading / unloading substrate.
  • the engaging member be concave or convex in a direction perpendicular to the predetermined plane.
  • the storage case can be transported using either the concave or the convex engagement member, and the degree of freedom in transporting the storage case can be increased.
  • the concave and convex engaging members are used so that they do not slip each other. Can be overlapped. If the concave and convex engaging members are provided on the side surface, the vibration when the storage case is placed on top of the board will not be transmitted to the member directly above the substrate, for example, the top lid, so that the foreign matter adhering to the member will float. Can be reduced.
  • a plurality of engaging members are provided on each of a first side surface and a second side surface orthogonal to the door, and a distance between the plurality of engaging members formed on the first side surface and a second side surface are provided.
  • the interval between the plurality of engaging members formed in the portion may be different.
  • the storage case of the present invention can be used for storing a reticle.
  • the storage case includes a support section for supporting a reticle having a pattern formed in a predetermined area within a predetermined plane, a door section that opens and closes for loading and unloading the reticle, and a storage section substantially parallel to the predetermined plane.
  • a concave portion formed on the first surface formed in the peripheral portion of the case; and a convex portion formed on the second surface substantially parallel to the first surface so as to face the concave portion and smaller than the shape of the concave portion. is provided.
  • concave and convex engaging members can be used. Since the first and second surfaces are provided in the periphery of the storage case, it is difficult for vibrations when they are placed on top of each other to be transmitted to the members on the upper surface of the reticle. Can be suppressed.
  • the storage case according to the present invention which is formed in a box shape and stores a substrate, includes a support portion that supports the substrate, a door portion that opens and closes for loading and unloading the substrate, and a door portion that is A locking device for locking the closing operation.
  • a support portion that supports the substrate
  • a door portion that opens and closes for loading and unloading the substrate
  • a door portion that is A locking device for locking the closing operation.
  • An exposure machine that exposes the substrate image to the substrate, a first transport device that transports the reticle between the storage device and the exposure device, and a storage case that is received from outside the exposure device and stored in a predetermined position of the exposure device
  • a second transport device for transporting the case it is preferable that an engaging member that engages with an engaging member provided in the storage case is provided in the second transport device.
  • the storage case can be reliably transported into the exposure apparatus using the concave or convex engagement member of the storage case.
  • the storage device of the exposure apparatus is provided with a lock release device for engaging at least a part of the lock device to release the lock of the door. If the door is unlocked by the lock release device when loading and unloading the reticle, the reticle will not fall from the storage case during transport.
  • the exposure apparatus preferably includes a detection device that irradiates the end face of the reticle with detection light when the door of the storage case is open to detect the presence or absence of the reticle. According to this exposure apparatus, it is possible to prevent another reticle from being erroneously stored in the storage case in which the reticle is already stored.
  • a storage case according to the present invention that achieves the first object is a bottom plate, left and right side plates of the bottom plate, a back plate on the back side of the bottom plate, and opens and closes for loading and unloading the substrate facing the back plate.
  • the front door and the upper lid that opens and closes facing the bottom plate form a storage space for the substrate.
  • the storage case includes a support member for supporting the substrate on the bottom plate, a pair of case receiving portions protruding from the storage case on the upper lid sides of the left and right side plates, and a storage member on the bottom plate side of the left side plate.
  • a pair of case supports protruding from the side of the receiving case, a first concave or convex engaging member provided at a predetermined interval in the case receiving direction in the case receiving direction of the substrate, and the substrate support being provided on the case support.
  • a second engaging member provided at a predetermined interval in the carrying direction of the first engaging member, if the first engaging member is concave, and concave if the first engaging member is convex, and a locking device for locking the front door. Is provided.
  • a transport arm having an engagement member engaged with the engagement member, wherein the board library is provided with an opening release device for unlocking the front door by the locking device when the storage case is held.
  • FIG. 1A is a top view of the storage case of the embodiment.
  • FIG. 1B is a front view of the storage case shown in FIG. 1A.
  • FIG. 1C is a side view of the storage case shown in FIG. 1A.
  • FIG. 2 is a diagram showing a state in which the upper cover 1 of the storage case is open.
  • FIG. 3 is an enlarged view showing a protrusion 14 of the case support 13.
  • Fig. 4 shows multiple storage cases stacked.
  • 5A to 5C are views showing a front door lock mechanism.
  • FIG. 6 is a view showing a lock release device that automatically releases the front door lock device.
  • FIG. 7 is a view schematically showing an exposure apparatus of the present embodiment.
  • FIG. 8 is a view showing the transfer of the storage case by the transfer arm.
  • FIG. 9 is a view showing a modification of the transfer of the storage case by the transfer arm.
  • FIG. 10 is a view showing a modification of the transfer of the storage case by the transfer arm.
  • FIG. 11 is a diagram showing a configuration of a reticle storage determination sensor 60.
  • FIG. 12 is a block diagram of the exposure apparatus.
  • FIG. 13 is a flowchart of a process executed by the control device 80.
  • Fig. 14A is a view showing a modification of the part C in Fig. 1 when the door is open.
  • FIG. 14B is a view showing a modification of the part C in FIG. 1 when the door is closed.
  • Figure 15A is a top view of a conventional storage case.
  • FIG. 15B is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 15A, showing a state where the front door 7 is open.
  • FIG. 15C is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 15A, showing the case where the front door 7 is closed.
  • FIG. 16 is a view showing an exposure apparatus for exposing a pattern of a reticle R to a wafer.
  • a case where a reticle R on which a circuit pattern is formed is used as a substrate will be described as an example.
  • the reticle R is provided with a bar code having information for recognizing the type of the reticle.
  • FIG. 1A shows a top view of the storage case of this embodiment
  • FIG. 1B shows a front view
  • FIG. 1C shows a side view
  • FIG. 2 is a diagram showing a state where the upper cover 1 of the storage case is open.
  • the storage case has a bottom plate 2, two side portions 3 and a rear portion 4, and can be opened and closed via a hinge 5 provided on the side portion 3.
  • the upper lid 1 is pivotally supported.
  • the upper lid 1 is made of a transparent plastic, and supports the front door 7 via a hinge 6.
  • the front door 7 can also be opened and closed, and the reticle R is loaded and unloaded while the front door 7 is open.
  • the front door 7 and the two side portions 3 are substantially orthogonal.
  • reticle support pins 8 for supporting the reticle R within a predetermined plane are provided at four places.
  • the reticle R is supported by the reticle support pins 8 with the pattern surface facing down.
  • a pellicle frame 9 with a pellicle is attached to the pattern surface of the reticle R in order to prevent foreign matter from entering the pattern surface.
  • Pellicle frame 9 may not be attached to reticle R.
  • the top lid 1 and the bottom plate 2 are almost parallel to the reticle R supported.
  • a panel hanging portion 10 is provided inside the upper cover 1, and a tension coil spring 11 is attached to the panel hanging portion 10 (see FIG. 2).
  • the tension coil spring 11 always urges the front door 7 to the closed side so that the front door 7 is not opened.
  • the front door 7 is provided with an opening / closing pin 16 protruding to the side as circled in the A section of FIG. 1A.
  • the front door 7 can be opened by applying a force greater than the urging force of the coil panel 11 to the front door 7 using the member to be engaged with the opening / closing pin 16.
  • a case receiving portion 12 and a case supporting portion 13 are provided outside each of the side surface portions 3 integrally with the side surface portion 3.
  • the case receiving section 1 2 is located at the same height as the top lid 1.
  • a hole 12a extending in the horizontal direction, that is, in a direction parallel to the pattern surface of the reticle R, and having a penetrated hole is formed. When the thickness of the case receiving portion 12 is sufficiently large, the hole 12 may not be penetrated and may be formed as a recess. If so, the holes 12 may be of any shape.
  • the case receiving portion 1 2 has a holding panel 1 2 b, and when the top cover 1 is closed, the upper cover 1 is urged by the holding panel 1 2 b to fix the upper cover 1 to the side portion 3. can do.
  • the case support portion 13 extends in the horizontal direction along the bottom surface of the bottom plate 2, and has protrusions 14 formed at positions corresponding to the holes formed in the hole portions 12a.
  • FIG. 3 is an enlarged view of the projecting portion 14 of the case supporting portion 13.
  • the projecting portion 14 has a fitting portion having a smaller diameter than the hole formed in the case receiving portion 12. 14a and a step portion 14b having a diameter larger than this hole.
  • the plurality of storage cases configured as described above can be stacked as shown in FIG.
  • the fitting part 14a of the case support part 13 of the other storage case fits into the hole formed in the hole 12a of the case receiving part 12 of one storage case. ing.
  • the upper surface of the hole and the tip of the fitting portion 14a are each chamfered by 0.5 to 1.0 mm. It is desirable to add an R of 0.5 mm, 1.0 mm.
  • the storage case thus configured has the following advantages.
  • the case receiving portion 12 is provided with the hole portion 12 a and the case supporting portion 13 is provided with the projection 14, but the case receiving portion 12 is provided with an upwardly projecting projection 14.
  • a hole 12 a may be provided in the case support 13.
  • the number of the holes 12a and the number of the protrusions 14 may be any number, but it is preferable to provide at least two locations on each side surface 3 at predetermined intervals in the reticle insertion / removal direction. In this case, the distance between two protrusions formed on one side 3 (similarly between two holes) and the distance between two protrusions formed on the other side 3 (similarly between two holes)
  • the size of the protrusion formed on one side surface portion 3 and the size of the protrusion formed on the other side surface portion 3 may be changed.
  • the case receiving portion 12 does not necessarily need to be provided on the side surface portion 3, and the case receiving portion 12 may be formed on the upper lid 1 at a position that does not face the pattern forming region of the reticle R.
  • a hole may be provided in the peripheral portion B of the upper lid 1 in FIG. In this case, it is preferable not to penetrate the hole formed in the upper lid 1 in order to prevent foreign substances from entering.
  • the case support portion 13 may be formed on the bottom plate 2 as long as it does not face the pattern formation region of the reticle R.
  • a front door lock device 15 is provided on the front door 7 and the side surface portion 3.
  • the front door lock device 15 includes a semicircular lip receiving portion 15a provided at the left or right end or one of the ends of the front door 7, and a lock provided at the outer wall of the side portion 3. It comprises a member 15b, a rotation center pin 15c that rotatably supports the lock member 15b, and a holding panel 15d.
  • the lock member 15b is urged in the clockwise direction around the rotation center pin 15c by the force of the holding panel 15d.
  • the front door 7 is locked by the locking member 15 locking with the locking receiving portion 15a by its urging force (see FIG. 5A).
  • the lock member 15b is regulated by a stopper (not shown) so as not to move clockwise from the position shown in FIG. 5A.
  • the lock member 15b may be rotated counterclockwise about the rotation center pin 15c. In this state, as described above, if a force greater than the urging force of the tension coil panel 11 is applied using a member (indicated by reference numeral 16 in FIG.
  • FIG. 6 is a view showing a lock release device 17 for automatically releasing the lock by the front door lock device 15.
  • the lock release device 17 is composed of a lock release pin 17a for rotating the lock member 15b counterclockwise and a detection switch 17b for detecting the lock member 15b.
  • the lock release pin 17a and the detection switch 17b are provided on the installation table 18 on which the storage case is installed.
  • a hole 18 a is provided in the installation table 18 so that the insertion portion 14 a of the projection 14 is fitted.
  • the lock member 15 b is placed on the release pin 17 a of the lock release device 17. 15b rotates counterclockwise against the biasing force of the spring 15d, and the lock is released.
  • the release pin 17a may be made to be able to move up and down by overnight.
  • the front door lock device 15 may be installed inside (inside the side part 3) instead of outside the storage case. In this case, if a part of the lock release device 17 is provided in the storage case and the lock is released in conjunction with the member of the lock release device 17 outside the storage case, dust in the storage case can be prevented.
  • FIG. 7 is a view schematically showing an exposure apparatus of the present embodiment.
  • a pattern is exposed using the reticle R in the storage case described with reference to FIGS. 1A to 6.
  • the exposure apparatus is disposed in a chamber 20 that keeps the environment of the exposure apparatus almost constant.
  • the chamber 20 is used to carry a storage case storing a reticle R from the outside into the chamber 120.
  • An entrance 21 is provided.
  • the exposure apparatus is roughly classified into a reticle storage system 30, a reticle transport system 40, and an exposure system 50.
  • the reticle storage system 30 stores a plurality of storage cases described above. It has a reticle library 3 1 (only one storage case is shown in FIG. 7), and a transfer device 32 that receives the storage case from the loading port 21 and transfers the storage case to the reticle library 31. Are provided on the base plate 33.
  • the transfer device 32 has a transfer arm 34.
  • the transfer arm 34 is extendable and contractable, and can move in the Z direction and the XY plane.
  • the transfer arm 34 has a projection 35 (see FIG. 8) that can be fitted into a hole 12 a formed in the case receiving portion 12. .
  • FIG. 8 is a view showing the transfer of the storage case by the transfer arm 34.
  • the storage case is transported by the unmanned transport robot (not shown) to the vicinity of the front of the entrance 21 of the chamber 20, and the table 36 of the unmanned transport robot (only the table 36 is shown in the figure) Shall be kept at
  • the transfer arm 34 moves in the Y direction shown in FIG. 7 via the carry-in portion 21 to enter between the case receiving portion 12 and the case supporting portion 13 and stops at a predetermined position. . Thereafter, the transfer arm 34 moves up in the Z direction, and the projection 35 formed on the transfer arm 34 is fitted into the hole 12 a of the case receiving portion 12, thereby moving the storage case. Lift from the table 36 and transport the storage case so that it is loaded into the reticle library 31.
  • the pitch of the plurality of holes (or projections 14) formed in the left and right side portions 3 of the storage case is different between the right side portion 3 and the left side portion 3.
  • a projection 35 of the transfer arm 34 is also formed. For this reason, the transfer arm 34 cannot hold the storage case if the direction of the storage case is incorrect. Therefore, the transfer arm 34 does not load the reticle library 31 in the wrong direction of the storage case.
  • FIG. 9 shows a modification of the transfer by the transfer arm 34.
  • the transfer arm 34 may be inserted between the case receiving portion 12 and the case support portion 13 by using a mechanism capable of changing the interval of the transfer arm 34 in the X direction.
  • the case support portion 13 is provided with a hole that can be fitted with the projection 35 of the transfer arm 34
  • the transfer arm 34 holds the case support portion 13
  • the storage case can be transported.
  • the reticle library 31 is formed with a plurality of holding tables 37 so as to hold a plurality of storage cases.
  • Each of the holding tables 37 has a hole releasing device 17 shown in FIG. 6 and a hole into which a fitting portion 14 a formed in the case supporting portion 13 can be fitted. Section 18a is provided. Therefore, the lock of the front door 7 by the front door lock device 15 is released by the lock release device 17 as described above when the storage case is loaded into the reticle library 31.
  • the reticle transport system 40 includes a reticle transport arm 41, a reticle transport unit 42, a load transport arm 43, and an unload transport arm 44, and includes a reticle storage system 30 and an exposure system 50.
  • Transports reticle R between The exposure system 50 has a reticle stage 51 on which a reticle R is mounted, and a wafer stage 52 on which a wafer W is mounted, and exposes a pattern image of the reticle R to the wafer W by a projection optical system PL.
  • Note that the configuration itself of the reticle transport system 40 and the exposure system 50 is well known, and a detailed description thereof will be omitted.
  • a reticle storage discrimination sensor 60 for detecting the presence or absence of a reticle R can be moved in the Z direction substantially opposite the front door 7 of the storage case held in the reticle library 31. It is arranged.
  • the reticle storage sensor 60 detects the presence or absence of the reticle R by detecting the end surface of the reticle R when the front door 7 of the storage case is open.
  • FIG. 11 is a diagram showing a configuration of the reticle storage determination sensor 60.
  • the reticle storage determination sensor 60 includes an irradiation system 61 for irradiating the detection light to the end face of the reticle R, and a light receiving system 62 for receiving light reflected from the end face of the reticle.
  • the reticle R is a transparent member made of quartz glass and transmits light, but the irradiation system 61 irradiates the detection light from the oblique direction to the end face of the reticle R. The detection light reflected on the end face enters the light receiving system 62.
  • the reticle storage determination sensor 60 outputs a signal indicating that the reticle R is stored when the light receiving system 62 receives the detection light reflected on the end face of the reticle R, and outputs the signal of the reticle R.
  • the light receiving system 62 does not receive the detection light reflected at the end face, it outputs a signal indicating that the reticle R is not stored.
  • the dimension of the end face of the reticle R (the thickness of the reticle R) is proportional to the size of the reticle R, and is about 3 mm to about 10 mm. Therefore, reticle R has a sufficient thickness to detect the end face.
  • FIG. 12 is a block diagram of the exposure apparatus.
  • the controller 80 controls the entire exposure apparatus.
  • the reticle storage system 30 and the reticle transport system 40 are connected to the exposure apparatus.
  • the optical system 50 and the reticle storage determination sensor 60 are controlled.
  • step 101 the control device 80 controls the transfer device 32 to hold the storage case placed on the table 36 of the unmanned transfer robot and load it into the reticle library 31. .
  • the transport device 32 transports the transport arm 34 by fitting the projection 35 of the transport arm 34 into the hole 12a of the storage case, the size of the reticle R increases and the weight of the storage case increases. Also, the storage case can be reliably transported.
  • the front door 7 of the storage case is locked by the front door lock device 15 until it is loaded into the reticle library 31.When the reticle library 31 is loaded, the front door 7 is unlocked. Is done.
  • the transfer arm 34 can recognize the direction in which the storage case is placed on the table 36, when the transfer arm 34 cannot hold the storage case, the storage case moves to the table 36. It can be output to the control device 80 that it is not placed correctly.
  • step 102 When a plurality of storage cases are loaded in the reticle library 31, the controller 80 controls the reticle transport system 40 in step 102 to store the reticle R having a desired pattern. Remove the storage case from the reticle library 31 and transport it to the reticle stage 51. The operation of step 102 will be described in detail.
  • the front door opening / closing pin (not shown in FIG. 7, which corresponds to reference numeral 16 in FIG. 5) is engaged with the protruding portion of the front door. 7 is opened, and the reticle storage determination sensor 60 detects the presence or absence of the reticle R.
  • controller 80 moves reticle transfer arm 41 into reticle library 31 to cause reticle R to be vacuum-adsorbed and transfer reticle R to reticle transfer unit 42.
  • the reticle transport unit 42 receives the reticle R from the reticle transport arm 41, sucks the reticle R under vacuum, and moves along the minus X direction to the position drawn by the dotted line.
  • the loading transfer arm 43 receives the reticle R from the reticle transfer unit 42, sucks the reticle R under vacuum, and transfers the reticle R to the reticle stage 51.
  • the barcode provided on the reticle R is read by a barcode reader (not shown), and the reticle R being transported is moved to a desired position. It is desirable to confirm whether it is.
  • controller 80 When reticle R is set on reticle stage 51, controller 80 performs exposure in step 103. Specifically, after aligning reticle R with wafer W, control device 80 illuminates reticle R with a light beam from a light source (not shown). The image of the pattern of the reticle R is exposed to an exposure area on the wafer W by the projection optical system PL. When a series of exposure operations is completed, the controller 80 replaces the reticle R with another reticle R based on an operator's command in step 104. To explain this step 104 in detail, the transfer arm 44 for unloading takes out the reticle R placed on the reticle stage 51, and the transfer arm 43 for loading transfers another reticle R to the reticle stage. 5 Set to 1.
  • the reticle R placed on the unloading transfer arm 44 is transferred to the reticle transfer arm 41 via the reticle transfer unit 42.
  • the reticle transfer arm 41 on which the reticle R is mounted transfers the reticle R to a predetermined storage case in the reticle library 31 based on an instruction (a command of an operator) of the control device 80.
  • the reticle storage determination sensor 60 detects the presence or absence of the reticle in the predetermined storage case.
  • control device 80 stores reticle R placed on reticle transfer arm 41 in the predetermined storage case. I do.
  • the control device 80 displays an error message on a display device (not shown) and waits for an operator's instruction, or The presence or absence of a reticle in another storage case is detected, and reticle R placed on reticle transfer arm 41 is stored.
  • the reticle R is returned to the storage case loaded in the reticle library 31, the presence or absence of the reticle in the storage case is checked. If you make a mistake, reticle R will not be damaged. Note that the step 104 is sequentially repeated as necessary.
  • the storage case loaded with the reticle library 31 is transferred to the outside of the chamber 20 by the transfer device 32.
  • the front door 7a of the storage case rotates clockwise with the urging force of the panel 15d when the storage case is removed from the reticle library 31.
  • FIG. 14A shows a modification of the portion C in FIG. 1C, in which the front door 7 is open
  • FIG. 14B shows a modification of the portion C in FIG.
  • stoppers 22 a and 22 b for limiting the opening amount of the front door 7 are formed on the upper lid 1 and the front door 7.
  • the opening of the front door 7 is limited by the flanges 22a and 22b, so that the tension coil spring 11 is extended and the front door 7 is not normally closed.
  • the collar for limiting the opening amount of the front door 7 may be formed only on the upper lid 1 or may be formed only on the front door 7. Further, the stove may be provided on the bottom plate 2, the side portion 3, and the like. The storage case of this modification may be provided with the front door opening device 15 described above.
  • the storage case of the present embodiment has, for example, a side surface portion 3 and a back surface portion 4 formed by injection molding, a top cover 1, a bottom plate 2 and a front door 7 attached thereto, and a locking device 15 and stoppers 22a, 22a. It can be manufactured by attaching b.
  • the side surface portion 3 is provided integrally with the case receiving portion 12 and the case supporting portion 13 described above.
  • the exposure apparatus of this embodiment incorporates and adjusts the projection optical system PL composed of a plurality of lenses into the exposure system 50, and exposes the reticle stage 51 and the wafer stage 52 composed of many mechanical parts.
  • the exposure apparatus according to the present embodiment can be manufactured by connecting the wiring and piping by attaching to the system 50, and performing comprehensive adjustment (electrical adjustment, operation check, etc.). The manufacture of the exposure apparatus can be performed in a clean room where the temperature, cleanliness, etc. are controlled. Industrial applicability
  • the storage case of the reticle R has been described above, but the storage case of the present embodiment can be applied to substrates other than the reticle R.
  • it can be applied to a glass substrate on which a pattern of a liquid crystal display element is formed. Since this glass substrate has a rectangular shape and a thickness of about 1.1 mm, the end face of the glass substrate may be detected using the reticle storage determination sensor 60 of the present embodiment.
  • the exposure equipment is of the step and repeat type. / JP98 / 02896
  • the present invention can be applied to an exposure apparatus using a charged particle beam such as an electron beam as an exposure light source or an exposure apparatus using X-rays.
  • a charged particle beam such as an electron beam as an exposure light source or an exposure apparatus using X-rays.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

明細書 収納ケース及び露光装置 本出願は日本国特許出願平成 9年第 1 8 0 8 4 3号を基礎とし、 その内容は引用 文としてここに組込まれる。 技術分野
本発明は、 基板を収納する収納ケースおよびこの収納ケースを用いた露光装置に 関し、 特に、 半導体素子または液晶表示素子等を製造する際に用いられるマスクも しくはレチクル、 またはウェハもしくはガラスプレー卜のような基板を収納する収 納ケースおよびこの収納ケースを用いた露光装置に関する。 背景技術
半導体素子または液晶表示素子等を製造する際に原版として使用されるマスクま たはレチクル （以下、 レチクルと総称する） は、 塵等の付着を防止する必要がある ため専用の収納ケースに保管されている。 同様に、 回路パターン等が転写されるゥ ェハまたはガラスプレー トも、 防塵のため専用の収納ケースに保管されている。 以 下、 レチクルの収納ケースを例に取って従来技術の説明を続ける。
図 1 5 A〜 1 5 Cは従来の収納ケースを表す図であり、 図 1 5 Aは収納ケースを 上から見た図、 図 1 5 Bは図 1 5 Aの A— A断面図であり前扉 7が開いている状態 を表す図、 図 1 5 Cは図 1 5 Aの A— A断面図で前扉 7 aが閉じている場合を示す 図である。
図 1 5 A〜 1 5 Cに示してあるように、 収納ケースは、 金属製の底板 2 aの上に 2つの側面部 3 aと背面部 4 aとを取り付けてあり、 ヒンジ 5 aを介して開閉自在 に上蓋 1 aが軸支されている。 この上蓋 l aは、 透明なプラスチックで形成されて おり、 不図示のヒンジを介して前扉 7 aを軸支している。 側面部 3 aの外側には、 それぞれ一体的にガイ ド部 1 9 aが設けられている。 ガイ ド部 1 9 aは、 押えパネ S Pを有しており、 上蓋 1 aが閉じた状態のときに押えパネ S Pにより上蓋 1 aを 付勢して上蓋 1 aを側面部 3 aに対して固定している。
収納ケースの内部にはレチクル Rを支持するためのレチクル支持ピン 8 aが 4ケ 所に設けられている。 レチクル Rにはペリクルが張設されたペリクルフレーム P F が貼り付けられている。
上蓋 1 aの内側にはバネ掛け部 1 0 aが設けられており、 このパネ掛け部 1 0 a に引張りコイルバネ 1 1 aが取り付けられている。
レチクル押え R Hは、 上蓋 1 aに回転可能に取り付けられており、 引張りコイル バネ 1 1 aの伸縮に連動して回転するように引張りコイルバネ 1 1 aと連結してい る。 これにより、 レチクル押え R Hは、 前扉 7 aが閉じられているときにレチクル Rを押さえ （図 1 5 C参照） 、 レチクル Rを収納ケースから取り出したり収納する 際にレチクル Rの搬送の邪魔にならない位置へ待避している （図 1 5 B参照） 。 図 1 6は、 上述した収納ケースを用いてレチクル Rのパターンをウェハ Wに露光 する露光装置を示す図である。
露光装置は、 露光装置の環境をほぼ一定に保つチャンバ一 2 0 a内に配設され、 レチクル収納系 3 0 aとレチクル搬送系 4 0 aと、 露光系 5 0 aとに大別されてい る。 レチクル収納系 3 0 aはベース板 3 3 aに上述した収納ケースを複数収納する レチクルライブラリ 3 1 aを備えている。 レチクル搬送系 4 0 aは、 レチクル搬送 アーム 4 1 aとレチクル搬送ュニッ ト 4 2 aとロード用搬送アーム 4 3 aとアン口 ―ド用搬送アーム 4 4 aとを有し、 レチクル収納系 3 0 aと露光系 5 0 aとの間で レチクル Rを搬送する。 露光系 5 0 aは、 レチクル Rを載置するレチクルステージ 5 l aと、 ウェハ Wを載置するウェハステージ 5 2 aとを有し、 投影光学系 P Lに より レチクル Rのパターンの像をウェハ Wに露光する。
作業者の指示により所望のパターンを有するレチクル Rをレチクルライブラリ 3 1 aからレチクルステージ 5 1 aに搬送するとともに、 露光が終了したパターンを 有するレチクル Rをレチクルステージ 5 1 aからレチクルライブラリ 3 1 aに搬送 する。 発明の開示
しかしながら、 従来の技術には次のような問題がある。 ( 1 ) 収納ケースを露光装置に装着する前に、 作業者が例えばクリーンルーム内で 複数の収納ケースを重ね置きして搬送したり、 一時的に保管する場合がある。 従来 の収納ケースには収納ケース同志を位置決めする機構がないため、 重ね置きした収 納ケースがすべってしまい、 収納ケースが落下して収納ケース内のレチクル Rを破 損するおそれがある。 また、 収納ケースを重ね置きした際の振動により、 収納ケ一 スの上蓋 1 aに付着していた異物が離れてケース内に浮遊すると、 レチクル Rに異 物が付着するおそれがある。
( 2 ) 図 1 5 A〜図 1 5 Cに示してあるように、 収納ケ一スは、 コイルバネ 1 1 a により前扉 7 aを閉じていたが、 収納ケースに予想外の大きな力が作用するとコィ ルバネ 1 1 aの力に逆らって前扉 7 aが開く場合があり、 レチクル Rが収納ケース から落下するおそれがある。
( 3 ) 前扉 7 aを大きく開き過ぎた場合には、 コイルパネ 1 1 aが伸びて前扉 7 a が正常に閉じなくなるおそれがある。
( 4 ) 従来の露光装置においては、 作業者が収納ケースをレチクルライブラリ 3 1 aにセッ トする場合があつたが、 今後レチクル Rの大型化 （例えば 9インチレチク ル） が予想され収納ケースが重くなり作業者の負担が増える。 ロボッ トを用いて収 納ケースをレチクルライブラリ 3 1 aにセッ トすることも予想されるが、 収納ケー スの大型化に伴い収納ケースの重量が増すため、 確実な収納ケースの搬送方法を確 立する必要がある。
( 5 ) 露光系 5 0 aとレチクルライブラリ 3 1 aに保持された収納ケースとの間で レチクル Rを搬送する際に、 レチクル Rが既に収納されている収納ケースに作業者 が誤って別のレチクル Rを装填させるという指令を出すとレチクル R同志が干渉し てしまいレチクル Rが破損してしまう。
本発明の第 1の目的は、 レチクル等の基板を破損させることのない収納ケースを 提供することにある。
本発明の第 2の目的は、 レチクル等の基板を破損させることなく基板搬送が可能 な露光装置を提供することにある。
上記第 1の目的を達成するため、 箱型に形成された、 基板を収納する本発明によ る収納ケースは、 基板を所定面内で支持する支持部と、 基板を搬入 ， 搬出するため に開閉動作する扉部と、 扉部と直交する側面部に設けられた凹状もしくは凸状の係 合部材とを備える。 係合部材を用いて収納ケースを搬送すれば収納ケースを確実に 搬送することができる。
係合部材は、 所定面内と直交する方向に凹または凸にするのが好ましい。
上記係合部材に対向させて、 その係合部材が凸状であれば凹状の別の係合部材を、 その係合部材が凹状であれば凸状の別の係合部材をさらに備えるようにしてもよい。 この態様では、 凹および凸の係合部材のいずれを用いても収納ケースを搬送するこ とができ、 収納ケースを搬送する際の自由度を大きくすることができる。
凹状の係合部材の形状を凸状の係合部材の形状よりも大きくすれば、 複数の収納 ケースを重ね置きする際に、 凹と凸の係合部材を利用して、 互に滑ることなく重ね ることができる。 この凹と凸の係合部材を側面部に設ければ、 収納ケースを重ね置 きしたときの振動が基板真上の部材、 たとえば上蓋に伝わらないので、 その部材に 付着している異物の浮遊を低減することができる。
係合部材を、 扉部と直交する第 1の側面部と第 2の側面部のそれぞれに複数づっ 設け、 第 1の側面部に形成された複数の係合部材の間隔と、 第 2の側面部に形成さ れた複数の係合部材の間隔とを異ならせてもよい。 これにより、 収納ケースの収納 方向を認識することができる。
本発明の収納ケースをレチクル収納用とすることもできる。 その収納ケースは、 所定領域にパターンが形成されたレチクルを所定面内で支持する支持部と， レチク ルを搬入 ， 搬出するために開閉動作する扉部と、 所定面内とほぼ平行で、 収納ケー スの周辺部に形成された第 1面に形成された凹部と、 第 1面とほぼ平行に対向する 第 2面において、 凹部と対峙して形成され、 凹部の形状よりも小さい凸部とを備え る。 複数の収納ケースを重ね置きする際に、 凹と凸の係合部材を利用することがで きる。 第 1面と第 2面は収納ケースの周辺部に設けられているから、 重ね置きした 際の振動がレチクルの上面の部材に伝わりにく く、 その部材から異物がケース内に 浮遊するのを抑制できる。
箱型に形成された、 基板を収納する本発明による収納ケースは、 基板を支持する 支持部と、 基板を搬入 · 搬出するために開閉動作する扉部と、 扉部と係合して、 開 閉動作をロックするロック装置とを備える。 扉部をロックしている際には、 大きな 力が収納ケースに作用したとしても基板の落下を防止することができる。
上記第 2の目的を達成するため、 上記の収納ケースを用いてレチクルを搬送する 本発明による露光装置は、 レチクルが収納された収納ケースを複数保持可能な収納 装置と、 レチクルに形成されたパターンの像を基板に露光する露光機と、 収納装置 と露光機との間でレチクルを搬送する第 1搬送装置と、 露光装置の外部から収納ケ ースを受け取って露光装置の所定の位置に収納ケースを搬送する第 2搬送装置とを 備える。 この露光装置では、 第 2搬送装置に上記収納ケースに設けられた係合部材 に係合する係合部材を設けるとよい。 これにより、 収納ケースの凹もしくは凸の係 合部材を用いて収納ケースを露光装置内に確実に搬送することができる。
収納ケースがロック装置を備えている場合、 露光装置の収納装置には、 ロック装 置の少なくとも一部と係合して扉部のロックを解除する口ック解除装置が備えられ る。 レチクルの搬入 · 搬出時にロック解除装置により扉部のロックを解除すれば、 搬送時にレチクルが収納ケースから落下することが防止される。
上記露光装置には、 収納ケースの扉部が開いている際にレチクルの端面に検出光 を照射してレチクルの有無を検出する検出装置を備えるのが好ましい。 この露光装 置によれば、 レチクルが既に収納されている収納ケースに間違って別のレチクルを 収納させるのが防止できる。
上記第 1の目的を達成する本発明による収納ケースは、 底板と、 底板の左右の側 板と、 底板の奥側の背板と、 背板と対向して基板の搬入搬出のために開閉する前扉 と、 底板と対向して開閉する上蓋とにより、 基板の収納空間が形成される。 この収 納ケースは、 基板を底板上に支持する支持部材と、 左右の側板の上蓋側において収 納ケースの側方に突設する一対のケース受け部と、 左おの側板の底板側において収 納ケースの側方に突設する一対のケース支持部と、 ケース受け部に基板の搬入方向 に所定間隔で設けられた、 凹もしくは凸である第 1の係合部材と、 ケース支持部に 基板の搬入方向に所定間隔で設けられた、 第 1の係合部材が凹であれば凸、 凸であ れば凹である第 2の係合部材と、 前扉をロックする口ック装置とを備える。
上記第 2の目的を達成する本発明による、 上記収納ケースを用いてチャンバ内で 基板を搬送するようにした露光装置は、 基板が収納された収納ケースを複数保持す る基板ライブラリと、 基板に形成されたパターンの像を基板に露光する露光機と、 基板ライブラリ と露光機との間でレチクルを搬送する第 1搬送装置と、 チャンバの 外部から収納ケースを受け取って基板ライブラリまで収納ケースを搬送する第 2搬 送装置とを備え、 第 2搬送装置は、 係合部材と係合する係合部材を有する搬送ァー ムを含み、 基板ライブラリには、 収納ケースが保持されるとロック装置による前扉 のロックを解除する口ック解除装置が設けられる。 図面の簡単な説明
図 1 Aは実施例の収納ケースの上面図。
図 1 Bは図 1 Aに示す収納ケースの正面図。
図 1 Cは図 1 Aに示す収納ケースの側面図。
図 2は収納ケースの上蓋 1が開いている状態を示す図。
図 3はケース支持部 1 3の突起部 1 4を拡大して示す図。
図 4は重ね置きした複数の収納ケースを示す図。
図 5 A〜図 5 Cは前扉ロック機構を示す図。
図 6は前扉ロック装置を自動的に解除する口ック解除装置を示す図。
図 7は本実施例の露光装置の概略を示す図。
図 8は搬送アームによる収納ケースの搬送を示す図。
図 9は搬送アームによる収納ケースの搬送の変形例を示す図。
図 1 0は搬送アームによる収納ケースの搬送の変形例を示す図。
図 1 1はレチクル収納判別センサ 6 0の構成を示す図。
図 1 2は露光装置のブロック図。
図 1 3は制御装置 8 0で実行される処理のフローチヤ— ト。
図 1 4 Aは図 1の C部の変形例を示す扉が開いている場合の図。
図 1 4 Bは図 1の C部の変形例を示す扉が閉じている場合の図。
図 1 5 Aは従来の収納ケースを上から見た図。
図 1 5 Bは図 1 5 Aの A— A断面図であり前扉 7が開いている状態を表す図。 図 1 5 Cは図 1 5 Aの A— A断面図で前扉 7が閉じている場合を示す図。
図 1 6はレチクル Rのパターンをウェハに露光する露光装置を示す図。 発明を実施するための最良の形態
以下、 図 1〜図 1 3を用いて本発明の一実施例を説明する。
本実施例においては、 基板として回路パターンが形成されたレチクル Rを用いた 場合を例に説明する。 このレチクル Rの大きさは、 さまざまなものがあり、 現在は 6インチサイズが主流であるが、 9インチサイズの導入も検討されている。 レチク ル Rには、 レチクルの種類を認識するための情報を有するバーコ一 ドが設けられて いる。
図 1 Aは本実施例の収納ケースの上面図を、 図 1 Bは正面図を、 図 1 Cは側面図 を示している。 また、 図 2は収納ケースの上蓋 1が開いている状態を示す図である。 図 1 A〜 1 Cおよび図 2に示すように、 収納ケースは、 底板 2 と 2つの側面部 3 と背面部 4とを有しており、 側面部 3に設けたヒンジ 5を介して開閉自在に上蓋 1 が軸支されている。 この上蓋 1は、 透明なプラスチックで形成されており、 ヒンジ 6を介して前扉 7を軸支している。 この前扉 7も開閉自在であり、 前扉 7が開いて いる状態でレチクル Rの搬入 ' 搬出が行われる。 なお、 前扉 7 と 2つの側面部 3と はほぼ直交している。
収納ケースの内部には、 レチクル Rを所定面内で支持するためのレチクル支持ピ ン 8が 4ケ所に設けられている。 レチクル Rはパターン面を下側にしてレチクル支 持ピン 8により支持される。 レチクル Rのパターン面には、 パターン面への異物の 侵入を防ぐため、 ペリクルが張設されたペリクルフレーム 9が張り付けられている。 ペリクルフレーム 9がレチクル Rに貼り付けられていない場合もある。 上蓋 1 と底 板 2とは支持されたレチクル Rとほぼ平行である。
上蓋 1の内側にはパネ掛け部 1 0が設けられており、 このパネ掛け部 1 0に引張 りコイルバネ 1 1が取り付けられている （図 2参照） 。 引張りコイルバネ 1 1は前 扉 7が開かないように前扉 7を常時閉じ側に付勢している。 前扉 7には、 図 1 Aの A部に丸で囲ったように、 側方に突出した開閉ピン 1 6が設けられている。 この開 閉ピン 1 6に係合させる部材を用いてコイルパネ 1 1の付勢力より大きい力を前扉 7に与えれば前扉 7を開く ことができる。
側面部 3のそれぞれの外側には、 側面部 3と一体的にケース受け部 1 2とケース 支持部 1 3とが設けられている。 ケース受け部 1 2は、 上蓋 1 と同じ高さに沿って 水平方向に、 すなわち、 レチクル Rのパターン面と平行な方向に伸びており、 貫通 した穴を有する穴部 1 2 aが形成されている。 ケース受け部 1 2の厚さが十分厚い 場合には、 穴部 1 2を貫通させずに凹みとしてもよく、 後述するケース支持部 1 3 に設けられた突起部 1 4が挿入できる凹形状であれば、 穴部 1 2はどのような形状 でも構わない。 ケース受け部 1 2は、 押えパネ 1 2 bを有しており、 上蓋 1が閉じ た状態のときに押えパネ 1 2 bにより上蓋 1 を付勢して上蓋 1 を側面部 3に対して 固定することができる。
ケース支持部 1 3は、 底板 2の底面に沿って水平方向に伸びており、 穴部 1 2 a に形成された穴に対応する位置にそれぞれ突起部 1 4が形成されている。 図 3はケ —ス支持部 1 3の突起部 1 4を拡大して示した図であり、 突起部 1 4は、 ケース受 け部 1 2に形成された穴よりも小さな径を有する嵌入部 1 4 aと、 この穴よりも大 きな径を有する段差部 1 4 bとから構成されている。
このように構成された複数の収納ケースは図 4に示すように重ね置きすることが できる。 図 4に示すように、 一つの収納ケースのケース受け部 1 2の穴部 1 2 aに 形成された穴にもう-一つの収納ケースのケース支持部 1 3の嵌入部 1 4 aが嵌入し ている。 なお、 穴部 1 2 aの穴と嵌入部 1 4 aとの嵌入を容易にするために、 穴の 上面と嵌入部 1 4 aの先端とにそれぞれ 0 . 5から 1 . 0 mmの面取りもしくは 0 . 5力、ら 1 . 0 mmの Rを付けることが望ましい。
このように構成した収納ケースには次のような利点がある。
( 1 ) 一つの収納ケースのケース受け部 1 2の穴部 1 2 aに形成された穴にもう一 つの収納ケースのケース支持部 1 3の嵌入部 1 4 aが嵌入して複数の収納ケースを 重ね置きしているので、 収納ケースが滑ることがない。
( 2 ) ケース受け部 1 2 とケース支持部 1 3とは側面部 3 と一体に側面部 3から側 方に張り出して形成されているので、 複数の収納ケースを重ね置きした際の振動が 直接上蓋 1 に伝わることがなく、 上蓋 1 に異物が付着していた場合でも異物が振動 により落下して収納ケース内に浮遊することを抑制でき、 レチクル Rに異物が付着 する可能性を低減できる。
( 3 ) 突起部 1 4に段差部 1 4 bを設けることにより、 一つの収納ケースの底板 2 ともう一つの収納ケースの上蓋 1 とが直接接触しないので振動による異物の浮遊を CT/JP98/02896
9 一層低減することができる。
本実施例では、 ケース受け部 1 2に穴部 1 2 aを設けケース支持部 1 3に突起部 1 4を設けたが、 ケース受け部 1 2に上に凸の突起部 1 4を設け、 ケース支持部 1 3に穴部 1 2 aを設けてもいい。 穴部 1 2 aと突起部 1 4との数はいくつでも構わ ないが、 それぞれの側面部 3にレチクル出し入れ方向に所定間隔で少なく とも 2ケ 所設けるのが好ましい。 この場合、 一方の側面部 3に形成された 2つの突起の間隔 (同様に 2つの穴の間隔） と他方の側面部 3に形成される 2つの突起の間隔 （同様 に 2つの穴の間隔） とを異なるようにすれば、 後述する露光装置内に収納ケースを 搬送する際に収納方向を間違えることはない。 一方の側面部 3に形成される突起の 大きさと他方の側面部 3に形成される突起の大きさとを変えてもよい。
ケース受け部 1 2は必ずしも側面部 3に設ける必要はなく、 レチクル Rのパ夕一 ン形成領域と対向しない位置であれば上蓋 1 にケース受け部 1 2を形成してもよい。 具体的には、 図 1の上蓋 1の周辺部 Bに穴 （窪み） を設ければよい。 この場合、 異 物の侵入を防ぐため、 上蓋 1に形成する穴は貫通させないほうが好ましい。 同様に、 ケース支持部 1 3 もレチクル Rのパターン形成領域と対向しない位置であれば底板 2に形成してもよい。
図 1 Aにおいては図示省略している力 図 5 A〜図 5 Cに示すように、 前扉 7 と 側面部 3とには前扉ロック装置 1 5が設けられている。 前扉ロック装置 1 5は、 前 扉 7の左右の端部もしくはいずれか一方の端部に設けられた半円形状の口ック受け 部 1 5 aと、 側面部 3の外壁に設けたロック部材 1 5 bと、 ロック部材 1 5 bを回 転可能に支持する回転中心ピン 1 5 c と、 押さえパネ 1 5 dとから構成されている。 ロック部材 1 5 bは、 押さえパネ 1 5 dの力により回転中心ピン 1 5 cを中心に時 計回転方向に付勢される。 口ック部材 1 5がその付勢力により口ック受け部 1 5 a と係止することにより、 前扉 7がロックされる （図 5 A参照） 。 前扉ロック装置 1 5が前扉 7をロックしている際に、 コイルバネ 1 1の付勢力よりも大きな力がコィ ルバネ 1 1の付勢方向の反対方向に働いたとしても前扉 7が開く ことはない。 これ により、 レチクル Rの落下、 すなわち破損を防ぐことができる。 ロック部材 1 5 b は、 不図示のス 卜ッパにより図 5 Aの位置よりも時計方向に移動しないように規制 されている。 前扉 7のロックを解除する場合は、 図 5 Bに示してあるように、 ロック部材 1 5 bを回転中心ピン 1 5 cを中心として反時計まわりに回転させればよい。 この状態 で前述したように、 前扉 7の突出した部分に係合させる部材 （図 5 Aでは符号 1 6 で示す） を用いて引張りコイルパネ 1 1の付勢力より大きい力を与えれば前扉 7を 開く ことができる （図 5 C参照） 。 前扉 7を引張りコイルパネ 1 1の力により閉め る際にロック部材 1 5 bが図 5 Aの位置にあっても、 口ック受け部を半円形状にし ているので、 前扉 7をロックすることができる。 コイルバネ 1 1のばね定数を押さ ぇバネ 1 5 dのばね定数よりも大きく しておく ことが望ましい。
図 6は前扉ロック装置 1 5によるロックを自動的に解除するロック解除装置 1 7 を示す図である。 ロック解除装置 1 7は、 ロック部材 1 5 bを反時計方向に回転さ せる口ック解除ピン 1 7 aと、 ロック部材 1 5 bを検出する検出スィッチ 1 7 bと から構成され、 この口ック解除ピン 1 7 aと検出スィツチ 1 7 bとを、 収納ケース が設置される設置台 1 8に設ける。 収納ケースに突起部 1 4が形成されている場合 には、 設置台 1 8に突起部 1 4の嵌入部 1 4 aが嵌入するような穴部 1 8 aを設け る。 収納ケースを設置台 1 8上に載置する際、 ロック解除装置 1 7の解除ピン 1 7 aの上にロック部材 1 5 bが置かれるようにすると、 収納ケースの自重により、 口 ック部材 1 5 bがバネ 1 5 dの付勢力に抗して反時計回転方向に回動し、 ロックが 解除される。 解除ピン 1 7 aをァクチユエ一夕により上下動可能にしてもよい。 前扉ロック装置 1 5を、 収納ケースの外側ではなく内側 （側面部 3の内側） に設 けてもよい。 この場合、 ロック解除装置 1 7の一部を収納ケース内に設けて、 収納 ケース外部のロック解除装置 1 7の部材と連動してロックを解除すれば、 収納ケ一 ス内を防塵できる
図 7は本実施例の露光装置の概略を示す図であり、 この露光装置では、 図 1 A〜 図 6を用いて説明した収納ケース内のレチクル Rを使用してパターンの露光を行う。 露光装置は露光装置の環境をほぼ一定に保つチャンバ一 2 0内に配設されており、 チヤンバー 2 0には外部からレチクル Rが保管された収納ケースをチャンバ一 2 0 内に搬入するための搬入口部 2 1が設けられている。
露光装置は、 レチクル収納系 3 0 と、 レチクル搬送系 4 0と、 露光系 5 0とに大 別されている。 レチクル収納系 3 0は、 上述で説明した収納ケースを複数収納する レチクルライブラリ 3 1 と （図 7では 1つの収納ケースのみを示す） 、 搬入口部 2 1から収納ケースを受け取りレチクルライブラリ 3 1 に収納ケースを搬送する搬送 装置 3 2とを有しており、 それぞれがベース板 3 3上に設けられている。 搬送装置 3 2は搬送アーム 3 4を有し、 搬送アーム 3 4は、 伸縮可能であり、 Z方向および X Y平面内で移動することができる。 なお、 搬送アーム 3 4は、 図 7では図示省略 しているが、 ケース受け部 1 2に形成された穴部 1 2 aの穴に嵌入できる突起 3 5 (図 8参照） が形成されている。
図 8は搬送アーム 3 4による収納ケースの搬送を示す図である。 ここで収納ケ一 スは、 不図示の無人搬送ロボッ トによりチャンバ— 2 0の搬入口部 2 1の正面付近 に搬送され、 無人搬送ロボッ トのテーブル 3 6 (テーブル 3 6のみ図に示す） に保 持されているものとする。 搬送アーム 3 4は、 搬入口部 2 1 を介して、 図 7に示す Y方向に移動することによりケース受け部 1 2 とケース支持部 1 3 との間に進入し て所定の位置で停止する。 この後、 搬送アーム 3 4は、 Z方向に上昇して搬送ァー ム 3 4に形成された突起 3 5をケース受け部 1 2の穴部 1 2 aに嵌入させることに より、 収納ケースをテーブル 3 6から持ち上げて収納ケースをレチクルライブラリ 3 1 に装填させるように搬送する。 なお、 収納ケースの左右の側面部 3に形成され た複数の穴 （または突起部 1 4 ) のピッチは、 右の側面部 3と左の側面部 3とでは 異なっている。 これに対応して、 搬送アーム 3 4の突起 3 5も形成されている。 こ のため、 搬送アーム 3 4は、 収納ケースの方向を間違えては収納ケースを保持する ことができない。 従って、 搬送アーム 3 4は、 収納ケースの方向を間違えてレチク ルライブラリ 3 1 に装填することはない。
また、 搬送アーム 3 4による搬送の変形例を図 9に示す。 図 9において、 搬送ァ —ム 3 4の X方向の間隔を可変できる機構にして、 搬送アーム 3 4をケース受け部 1 2 とケース支持部 1 3 との間に進入させてもよい。 更に、 図 1 0に示すように、 搬送アーム 3 4の突起 3 5と嵌入可能な穴をケース支持部 1 3に設ければ、 搬送ァ ーム 3 4はケース支持部 1 3を保持して収納ケースを搬送することができる。 図 7に戻って、 レチクルライブラリ 3 1には、 複数の収納ケースを保持するよう に、 複数の保持台 3 7が形成されている。 各々の保持台 3 7には、 図 6に示した口 ック解除装置 1 7 と、 ケース支持部 1 3に形成された嵌入部 1 4 aが嵌入可能な穴 部 1 8 aとが設けられている。 このため、 前扉ロック装置 1 5による前扉 7のロッ クは、 収納ケースがレチクルライブラリ 3 1に装填されたときに、 上述したように ロック解除装置 1 7により解除される。
レチクル搬送系 4 0は、 レチクル搬送アーム 4 1 とレチクル搬送ュニッ ト 4 2と ロー ド用搬送アーム 4 3とアンロー ド用搬送アーム 4 4を有し、 レチクル収納系 3 0 と露光系 5 0 との間でレチクル Rを搬送する。 露光系 5 0は、 レチクル Rを載置 するレチクルステージ 5 1 と、 ウェハ Wを載置するウェハステージ 5 2とを有し、 投影光学系 P Lにより レチクル Rのパターンの像をウェハ Wに露光する。 なお、 レ チクル搬送系 4 0 と露光系 5 0との構成自体は周知であり、 その詳細な説明は省略 する。
本実施例の露光装置には、 レチクルライブラリ 3 1 に保持されている収納ケース の前扉 7にほぼ対向して、 レチクル Rの有無を検出するレチクル収納判別センサ 6 0が Z方向に移動可能に配設されている。 レチクル収納判別センサ 6 0は収納ケー スの前扉 7が開いているときにレチクル Rの端面を検出することによりレチクル R の有無を検出する。
図 1 1はレチクル収納判別センサ 6 0の構成を示す図である。 レチクル収納判別 センサ 6 0は、 検出光をレチクル Rの端面に照射する照射系 6 1 と、 レチクル の 端面からの反射光を受光する受光系 6 2とから構成されている。 レチクル Rは、 石 英ガラスからなる透明な部材であり、 光を透過させるものであるが、 照射系 6 1は レチクル Rの端面に対して斜め方向から検出光を照射しているので、 レチクル の 端面で反射された検出光が受光系 6 2に入射する。 このため、 レチクル収納判別セ ンサ 6 0は、 レチクル Rの端面で反射された検出光を受光系 6 2が受光したときに レチクル Rが収納されていることを表わす信号を出力し、 レチクル Rの端面で反射 された検出光を受光系 6 2が受光しないときにレチクル Rが収納されていないこと を表わす信号を出力する。 レチクル Rの端面の寸法 （レチクル Rの厚さ） は、 レチ クル Rの大きさに比例しており、 約 3 mmから 1 0 mm程度の厚さである。 このため、 レチクル Rは、 端面を検出するのに十分な厚さを有している。
図 1 2は露光装置のブロック図である。 制御装置 8 0は、 露光装置全体を制御し ており、 特に本実施例においては、 レチクル収納系 3 0 とレチクル搬送系 4 0 と露 光系 5 0とレチクル収納判別センサ 6 0 とを制御している。
以上のように構成された露光装置の動作について、 図 1 3の制御装置 8 0の制御 によるフローチヤ一 卜を用いて以下説明する。
制御装置 8 0は、 ステップ 1 0 1において、 搬送装置 3 2を制御して、 無人搬送 ロボッ トのテーブル 3 6上に載置されている収納ケースを保持してレチクルライブ ラリ 3 1に装填する。 このとき、 搬送装置 3 2は、 搬送アーム 3 4の突起 3 5を収 納ケースの穴部 1 2 aに嵌入して搬送するので、 レチクル Rのサイズが大きくなり 収納ケースの重量が増加しても確実に収納ケースを搬送することができる。 また、 収納ケースの前扉 7は、 レチクルライブラリ 3 1に装填されるまでは前扉ロック装 置 1 5によりロックされており、 レチクルライブラリ 3 1 に装填されたときに前扉 7のロックが解除される。 更に、 前述したように搬送アーム 3 4は収納ケースがテ 一ブル 3 6に載置されている方向を認識できるので、 搬送アーム 3 4が収納ケース を保持できないときに収納ケースがテーブル 3 6に正しく載置されていないことを 制御装置 8 0に出力することができる。
複数の収納ケースがレチクルライブラリ 3 1に装填されると、 制御装置 8 0は、 ステップ 1 0 2において、 レチクル搬送系 4 0を制御して、 所望のパターンを有す るレチクル Rが収納された収納ケースをレチクルライブラリ 3 1から取り出し、 レ チクルステージ 5 1に搬送する。 このステップ 1 0 2の動作を詳細に説明すると、 前扉の突出した部分と係合する前扉開閉ピン （図 7には不図示。 図 5の符号 1 6に 相当） が収納ケースの前扉 7を開き、 レチクル収納判別センサ 6 0がレチクル Rの 有無を検出する。 制御装置 8 0は、 レチクル Rの存在を確認した後、 レチクル搬送 アーム 4 1をレチクルライブラリ 3 1内に進入させレチクル Rを真空吸着させ、 レ チクル搬送ユニッ ト 4 2まで搬送させる。 レチクル搬送ユニッ ト 4 2は、 レチクル 搬送アーム 4 1からレチクル Rを受け取り、 レチクル Rを真空吸着してマイナス X 方向に沿って点線で描かれた位置まで移動する。 ロー ド用搬送アーム 4 3は、 レチ クル搬送ュニッ ト 4 2からレチクル Rを受け取り、 レチクル Rを真空吸着してレチ クルステージ 5 1までレチクル Rを搬送する。 なお、 レチクルライブラリ 3 1から レチクルステージ 5 1 までの間の搬送経路の中で、 レチクル Rに設けられたバーコ — ドを不図示のバーコー ドリーダーで読み取り、 搬送しているレチクル Rが所望の ものかどうか確認することが望ましい。
制御装置 8 0は、 レチクル Rがレチクルステージ 5 1にセッ トされると、 ステツ プ 1 0 3で露光を行う。 具体的には、 制御装置 8 0は、 レチクル Rとウェハ Wとの 位置合わせを行った後に、 不図示の光源からの光束でレチクル Rを照明する。 レチ クル Rのパターンの像は投影光学系 P Lによりウェハ W上の露光領域に露光される。 制御装置 8 0は、 一連の露光動作が終了すると、 ステップ 1 0 4において、 作業 者の指令に基づいてレチクル Rを別のレチクル Rに交換する。 このステップ 1 0 4 を詳細に説明すると、 アンロー ド用搬送アーム 4 4がレチクルステージ 5 1 に載置 されていたレチクル Rを取り出し、 ロー ド用搬送アーム 4 3が別のレチクル Rをレ チクルステージ 5 1 にセッ トする。 アンロー ド用搬送アーム 4 4に載置されたレチ クル Rは、 レチクル搬送ュニッ ト 4 2を介してレチクル搬送アーム 4 1 に受け渡さ れる。 レチクル Rを載置したレチクル搬送アーム 4 1は制御装置 8 0の指示 （作業 者の指令） に基づいて、 レチクルライブラリ 3 1内の所定の収納ケースにレチクル Rを搬送する。 所定の収納ケースの前扉 7が開かれると、 レチクル収納判別センサ 6 0が所定の収納ケース内のレチクルの有無を検出する。
制御装置 8 0は、 センサ 6 0から収納ケース内にレチクルがないことを表わす信 号が入力されていない場合、 レチクル搬送アーム 4 1 に載置されたレチクル Rを所 定の収納ケース内に収納する。 制御装置 8 0は、 センサ 6 0から収納ケース内にレ チクルがあることを表わす信号が入力されている場合、 不図示の表示装置にエラー メッセージを表示し作業者の指示を待つか、 もしくは、 別の収納ケースのレチクル の有無を検出して、 レチクル搬送アーム 4 1 に載置されたレチクル Rの収納を行う。 本実施例においては、 レチクル Rをレチクルライブラリ 3 1に装填された収納ケ一 スに戻す際にも、 収納ケース内のレチクルの有無を確認しているので、 レチクル R を収納させる位置を作業者が間違えたとしてもレチクル Rを破損することはない。 なお、 ステップ 1 0 4の工程は必要に応じて順次繰り返される。
また、 レチクル Rの露光がすべて終了した場合は、 搬送装置 3 2によりレチクル ライブラリ 3 1の装填された収納ケースがチャンバ— 2 0の外部に搬送される。 な お、 収納ケースの前扉 7 aは、 収納ケースがレチクルライブラリ 3 1から取り外さ れる際に、 口ック部材 1 5 bがパネ 1 5 dの付勢力で時計回転方向に回動して前扉 ロック装置 1 5によりロックされる。
図 1 A〜図 1 Cに示した収納ケースを図 1 4 A及び図 1 4 Bに示すようにするこ ともできる。 図 1 4 Aは図 1 Cの C部の変形例を示し、 前扉 7が開いている場合の 図、 図 1 4 Bは図 1の C部の変形例を示す図である。 図 1 4 A及び図 1 4 Bに示す ように、 上蓋 1 と前扉 7 とに前扉 7の開き量を制限するストッパ 2 2 a , 2 2 bが 形成されている。 このス トツバ 2 2 a , 2 2 bにより、 前扉 7の開き量が制限され るので、 引張りコイルばね 1 1が伸びてしまい、 前扉 7が正常に閉じなくなること はない。 なお、 前扉 7の開き量を制限するス トツバは、 上蓋 1のみに形成してもよ いし、 あるいは、 前扉 7のみに形成してもよい。 さらに、 このストツバは底板 2 ， 側面部 3などに設けても良い。 この変形例の収納ケースに前述の前扉口ック装置 1 5を合せて設けてもよい。
本実施例の収納ケースは、 たとえば、 射出成形により側面部 3と背面部 4を形成 し、 上蓋 1、 底板 2および前扉 7を取り付けるとともに、 ロック装置 1 5およびス トツパ 2 2 a、 2 2 bを取り付けることにより製造することができる。 なお、 側面 部 3には、 前述のケース受け部 1 2とケース支持部 1 3 とが一体的に設けられてい る。
同様に、 本実施例の露光装置は、 複数のレンズから構成される投影光学系 P Lを 露光系 5 0に組込み調整するとともに、 多数の機械部品からなるレチクルステージ 5 1やウェハステージ 5 2を露光系 5 0に取り付けて配線や配管を接続し、 さらに、 総合調整 （電気的な調整、 動作確認など） をすることにより本実施例の露光装置を 製造することができる。 なお、 露光装置の製造は温度およびクリーン度などが管理 されたクリーンルームで行なうことができる。 産業上の利用可能性
以上ではレチクル Rの収納ケースについて述べたが、 本実施例の収納ケースをレ チクル R以外の基板に適用できる。 例えば、 液晶表示素子のパターンが形成される ガラス基板に適当できる。 このガラス基板は、 角型をしており、 厚さも 1 . 1 mm 程度あるので、 本実施例のレチクル収納判別センサ 6 0を用いて、 ガラス基板の端 面を検出してもよい。 露光装置としては、 ステップ ' アンド · リ ピートタイプのも /JP98/02896
16 のでも、 ステップ · アンド ' スキャンリ ピートタイプのものでも構わない。 更に、 露光光源として電子線などの荷電粒子線を用いた露光装置あるいは X線を用いた露 光装置にも本発明を適用できる。

Claims

請求の範囲
1 . 箱型に形成された、 基板を収納する収納ケースは、
前記基板を所定面内で支持する支持部と、
前記基板を搬入 ·搬出するために開閉動作する扉部と、
前記扉部と直交する側面部に設けられた凹状もしくは凸状の係合部材とを備える。
2 . 請求項 1記載の収納ケースにおいて、
前記係合部材は、 前記所定面内と直交する方向に凹または凸である。
3 . 請求項 1 または請求項 2記載の収納ケースにおいて、
前記側面部の前記係合部材に対向した部分に、 前記係合部材が凸状であれば凹状 の係合部材を、 前記係合部材が凹状であれば凸状の係合部材をさらに備える。
4 . 請求項 3記載の収納ケースにおいて、
前記凹状の係合部材の形状は前記凸状の係合部材の形状よりも大きい。
5 . 請求項 1〜請求項 4のいずれかに記載の収納ケースにおいて、
前記扉部と直交する側面部は、 互に対向する第 1および第 2の側面部を有し、 前 記第 1および第 2の側面部のそれぞれには、 前記基板の搬入方向に所定間隔で前記 係合部材が複数づっ設けられ、 前記第 1の側面部に形成された前記複数の係合部材 の間隔と、 前記第 2の側面部に形成された前記複数の係合部材の間隔とを異ならせ る。
6 . 箱型に形成された、 レチクルを収納する収納ケースは、
所定領域にパターンが形成されたレチクルを所定面内で支持する支持部と、 前記レチクルを搬入 · 搬出するために開閉動作する扉部と、
前記所定面内とほぼ平行で、 前記収納ケースの周辺部に形成された第 1面に形成 された凹部と、
前記第 1面とほぼ平行に対向する第 2面において、 前記凹部と対峙して形成され、 前記凹部の形状よりも小さい凸部とを備える。
7 . 箱型に形成された、 基板を収納する収納ケースは、
前記基板を支持する支持部と、
前記基板を搬入 ·搬出するために開閉動作する扉部と、
前記扉部と係合して、 前記開閉動作をロックするロック装置とを備える。
8 . 請求項 1〜請求項 7のいずれかに記載された収納ケースを用いてレチクルを搬 送する露光装置は、
前記レチクルが収納された前記収納ケースを複数保持可能な収納装置と、 前記レチクルに形成されたパターンの像を基板に露光する露光機と、
前記収納装置と前記露光機との間で前記レチクルを搬送する第 1搬送装置と、 前記露光装置の外部から前記収納ケースを受け取って前記露光装置の所定の位置 に前記収納ケースを搬送する第 2搬送装置とを備える。
9 . 請求項 8記載の露光装置において、
前記第 2搬送装置は、 前記収納ケースに設けられた前記係合部材に係合する係合 部材を有する。
1 0 . 請求項 8または請求項 9記載の露光装置において、
前記収納ケースの前記扉部が開いている際に前記レチクルの端面に検出光を照射 して前記レチクルの有無を検出する検出装置を備える。
1 1 . 請求項 7に記載された収納ケースを用いてレチクルを搬送する露光装置は、 前記レチクルが収納された前記収納ケースを複数保持可能な収納装置と、 前記レチクルに形成されたパターンの像を基板に露光する露光機と、
前記収納装置と前記露光機との間で前記レチクルを搬送する第 1搬送装置と、 前記ロック装置の少なく とも一部と係合して前記扉部の前記ロックを解除する、 前記収納装置に設けられたロック解除装置とを備える。
1 2 . 請求項 1 1記載の露光装置において、
前記収納ケースの前記扉部が開いている際に前記レチクルの端面に検出光を照射 して前記レチクルの有無を検出する検出装置を備える。
1 3 . 底板と、 前記底板の左右の側板と、 前記底板の奥側の背板と、 前記背板と対 向して基板の搬入搬出のために開閉する前扉と、 前記底板と対向して開閉する上蓋 とにより、 前記基板の収納空間が形成される収納ケースは、
前記基板を前記底板上に支持する支持部材と、
前記左右の側板の前記上蓋側において前記収納ケースの側方に突設する一対のケ ース受け部と、
前記左右の側板の前記底板側において前記収納ケースの側方に突設する一対のケ ース支持部と、
前記ケース受け部に前記基板の搬入方向に所定間隔で設けられた、 凹もしくは凸 である第 1の係合部材と、
前記ケース支持部に前記基板の搬入方向に所定間隔で設けられた、 前記第 1の係 合部材が凹であれば凸、 凸であれば凹である第 2の係合部材と、
前記前扉を口ックする口ック装置とを備える。
1 4 . 請求項 1 3記載の収納ケースを用いてチャンバ内で前記基板を搬送するよう にした露光装置は、
前記基板が収納された前記収納ケースを複数保持する基板ライブラリと、 前記基板に形成されたパターンの像を基板に露光する露光機と、
前記基板ライブラリ と前記露光機との間で前記レチクルを搬送する第 1搬送装置 と、
前記チヤンバの外部から前記収納ケースを受け取って前記基板ライブラリまで前 記収納ケースを搬送する第 2搬送装置とを備え、
前記第 2搬送装置は、 前記係合部材と係合する係合部材を有する搬送アームを含 み、
前記基板ライブラリには、 前記収納ケースが保持されると前記ロック装置による 前記前扉のロックを解除する口ック解除装置が設けられる。
PCT/JP1998/002896 1997-07-07 1998-06-29 Boitier de rangement et dispositif d'alignement WO1999003139A1 (fr)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AU79349/98A AU7934998A (en) 1997-07-07 1998-06-29 Accommodation case and aligner

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18084397 1997-07-07
JP9/180843 1997-07-07

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO1999003139A1 true WO1999003139A1 (fr) 1999-01-21

Family

ID=16090336

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP1998/002896 WO1999003139A1 (fr) 1997-07-07 1998-06-29 Boitier de rangement et dispositif d'alignement

Country Status (3)

Country Link
AU (1) AU7934998A (ja)
TW (1) TW408386B (ja)
WO (1) WO1999003139A1 (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003092338A (ja) * 2001-09-18 2003-03-28 Nec Corp 半導体ウェハ収納状態の検知装置
JP2008219032A (ja) * 2001-08-10 2008-09-18 Asml Holding Nv レチクルを保護及び搬送する装置及び方法
JP2013074012A (ja) * 2011-09-27 2013-04-22 Murata Mach Ltd 板状体の検出装置とケースポート及び保管装置
WO2015001907A1 (ja) * 2013-07-03 2015-01-08 村田機械株式会社 搬送システム
WO2015001906A1 (ja) * 2013-07-03 2015-01-08 村田機械株式会社 保管容器
WO2016083508A1 (de) * 2014-11-26 2016-06-02 Von Ardenne Gmbh Substrathaltevorrichtung, substrattransportvorrichtung, prozessieranordnung und verfahren zum prozessieren eines substrats
JP2017041490A (ja) * 2015-08-18 2017-02-23 株式会社テックインテック 搬送装置および制御方法
WO2019116714A1 (ja) * 2017-12-11 2019-06-20 株式会社日立製作所 電力変換器ユニット、および電力変換装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113264286A (zh) * 2021-06-01 2021-08-17 长鑫存储技术有限公司 光罩保护盒及光罩传送设备

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03257845A (ja) * 1990-03-07 1991-11-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 基板収納装置
JPH03270049A (ja) * 1990-03-19 1991-12-02 Fujitsu Ltd 基板収納容器
JPH0475063A (ja) * 1990-07-18 1992-03-10 Canon Inc 露光装置
JPH0513052U (ja) * 1991-07-29 1993-02-19 山形日本電気株式会社 半導体ウエーハ収納ケース

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03257845A (ja) * 1990-03-07 1991-11-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 基板収納装置
JPH03270049A (ja) * 1990-03-19 1991-12-02 Fujitsu Ltd 基板収納容器
JPH0475063A (ja) * 1990-07-18 1992-03-10 Canon Inc 露光装置
JPH0513052U (ja) * 1991-07-29 1993-02-19 山形日本電気株式会社 半導体ウエーハ収納ケース

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008219032A (ja) * 2001-08-10 2008-09-18 Asml Holding Nv レチクルを保護及び搬送する装置及び方法
JP4717096B2 (ja) * 2001-08-10 2011-07-06 エーエスエムエル ホールディング エヌ．ブイ． レチクルを保護及び搬送する装置及び方法
JP2003092338A (ja) * 2001-09-18 2003-03-28 Nec Corp 半導体ウェハ収納状態の検知装置
JP2013074012A (ja) * 2011-09-27 2013-04-22 Murata Mach Ltd 板状体の検出装置とケースポート及び保管装置
WO2015001907A1 (ja) * 2013-07-03 2015-01-08 村田機械株式会社 搬送システム
WO2015001906A1 (ja) * 2013-07-03 2015-01-08 村田機械株式会社 保管容器
JP5987988B2 (ja) * 2013-07-03 2016-09-07 村田機械株式会社 保管容器
JPWO2015001907A1 (ja) * 2013-07-03 2017-02-23 村田機械株式会社 搬送システム
US10770324B2 (en) 2014-11-26 2020-09-08 VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG Substrate holding device, substrate transport device, processing arrangement and method for processing a substrate
WO2016083508A1 (de) * 2014-11-26 2016-06-02 Von Ardenne Gmbh Substrathaltevorrichtung, substrattransportvorrichtung, prozessieranordnung und verfahren zum prozessieren eines substrats
DE112015004190B4 (de) 2014-11-26 2024-05-29 VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG Substrathaltevorrichtung, Substrattransportvorrichtung, Prozessieranordnung und Verfahren zum Prozessieren eines Substrats
JP2017041490A (ja) * 2015-08-18 2017-02-23 株式会社テックインテック 搬送装置および制御方法
CN111095758A (zh) * 2017-12-11 2020-05-01 株式会社日立制作所 电力转换器单元和电力转换装置
JP2019106765A (ja) * 2017-12-11 2019-06-27 株式会社日立製作所 電力変換器ユニット、および電力変換装置
CN111095758B (zh) * 2017-12-11 2023-06-16 株式会社日立制作所 电力转换器单元和电力转换装置
WO2019116714A1 (ja) * 2017-12-11 2019-06-20 株式会社日立製作所 電力変換器ユニット、および電力変換装置

Also Published As

Publication number Publication date
AU7934998A (en) 1999-02-08
TW408386B (en) 2000-10-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7450219B2 (en) Reticle-carrying container
US7453549B2 (en) Reticle protection member, reticle carrying device, exposure device and method for carrying reticle
US6471037B1 (en) Semiconductor manufacturing apparatus and method
TWI540668B (zh) 基板處理裝置、基板裝置之運用方法及記憶媒體
US7420655B2 (en) Reticle-carrying container
JP5418511B2 (ja) レチクル保護装置及び露光装置
JP5071109B2 (ja) レチクル搬送装置、露光装置、レチクル搬送方法、レチクルの処理方法、及びデバイス製造方法
US20020020751A1 (en) Substrate transfer apparatus, semiconductor manufacturing apparatus, and semiconductor device manufacturing method
WO1999003139A1 (fr) Boitier de rangement et dispositif d'alignement
JPH10154646A (ja) 搬送装置
JP2000012670A (ja) 基板カセット
JPH11147613A (ja) 原版搬送装置
JP2005101069A (ja) 搬送装置及び基板処理装置
JP3167089B2 (ja) 露光装置及び方法
JP2001022053A (ja) 基板収納ケースおよび露光装置
JP2003092328A (ja) ロードポート装置
CN113330370A (zh) 掩模配接器、掩模配接器安装工具、曝光装置以及元件制造方法
WO1999060625A1 (fr) Procede et appareil pour le transport de plaquettes, systeme d'exposition, micro dispositif et banque de reticules
TWI833889B (zh) 遮罩配接器、遮罩配接器安裝工具、曝光裝置以及元件製造方法
KR20070095700A (ko) 레티클 케이스 및 이를 사용하는 반도체 제조 설비
JPH11186359A (ja) 基板搬送装置およびレチクル
KR20240031061A (ko) 반송 시스템, 리소그래피 장치 및 물품의 제조 방법
JPH0444422B2 (ja)
JPH0444421B2 (ja)
JP2024014518A (ja) 搬送装置、リソグラフィ装置及び物品の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AL AU BA BB BG BR CA CN CU CZ EE GE GW HU ID IL IS JP KR LC LK LR LT LV MG MK MN MX NO NZ PL RO SG SI SK SL TR TT UA US UZ VN YU

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): GH GM KE LS MW SD SZ UG ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE BF BJ CF CG CI CM GA GN ML MR NE SN TD TG

DFPE Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: KR

122 Ep: pct application non-entry in european phase
NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: CA