408386 A7 B7 ------------------------- 五、發明説明（1 ) 技術領域 本發明乃關於收容基板之收容盒及使用此收容盒之曝光 装置、特別是關於：收容製造半導體元件或液晶顯示元件 等時所用之光罩或中間掩膜，或晶圊或玻璃板等基板之收 容盒、及使用該收容盒之曝光裝置。 習知技術 製造半導體无件或液晶顯示元件時，作爲原版使用之光 罩或中間掩膜（以下統稱中間掩膜）乃防止灰塵附著上所必 需，故保管於專用之收容盒内。同樣地，電路圖案所轉印 之晶圓或玻璃板亦被保管於防塵用專用收容盒中。以下取 中間掩膜收容盒爲例繼續説明習知技術。 圖15 A-15C表示習知之收容盒’因I5A乃自收容盒上方 所見之圖，圖15B爲圖15A之A-A斷面圖，表示前門7爲 打開之狀’圖1 5 C爲圖15 A之A-A斷面圖，表示前門 爲關閉之狀態。 如圖1 5 A-1 5C所示’收容盒於金屬製之底板2a上，安裝 2個側面部3 a及背面部4 a，藉鉸鏈5 a開閉自如地轴支上 蓋la 3此上蓋la乃由透明塑膠形成’藉未圖示之较鏈叫 支前門7a。於側面部3a外側，各一體地設置導引部19a 。導引部19a具有壓彈簧SP，在上蓋la爲閉狀態時藉由 壓彈簧SP、彈撥上蓋la、將上蓋ia對側面部3a固定' 收容盒内部於4處設置用以支持中間掩膜r之lll支持 插梢Sa。中間掩膜R上貼裝了張開設置了透明保護膜之透 明保護膜框PF。 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） .--HI~---裝------訂------外 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 408386 A7 ______ B7 '一 ---- —~ 一- —---— _____ 五、發明説明（2 ) 於上蓋1 a内側設有掛彈簧邵10a、此掛彈簧部1 〇a上安 裝有伸張線圏彈簧11 a。 中間掩膜壓係可旋轉的安裝於上蓋13上，以隨著伸 張線圈彈簧11a之伸縮而連動旋轉之方式，與伸張彈黃lla 連結。藉此’中間掩膜壓RH在前門關閉時壓中間掩膜 R(參照圖15c)，在將中間掩膜R自收容盒取出收容時，退 避至不會阻礙中間掩膜R之搬送的位置上（參照圖15 B)。 圖16爲使用上述收容盒、將中間掩膜r之圖案在晶圓w 上予以曝光之曝光裝置表示圖。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 I丨.--A---!-裝------訂 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) - 曝光裝置係配設於將曝光裝置的環境保持爲大致一致之 室20a内，與中間掩膜收容系30a、中間掩膜搬送系4〇a 、及曝光系50a區別開來。中間掩膜收容系30a在底板33a 上具備收容複數的上述收容盒之中間掩膜庫3 1 a =中間掩 膜搬送系4 0 a具有中間掩膜搬送臂4 1 a、中間掩膜運送單 元42a、裝載用運送臂43a、及卸載用搬送臂44a、於中間 掩膜收容系3Oa與曝光系50a之間搬送中間掩膜R。曝光 系50a具有載置中間掩膜R之中間掩膜台5 1 a，及載置晶 圓W之晶圓台52a，藉由投影光學系PL將中間掩膜R之圖 案的像在晶圓W上曝光。 依作業者之指示，將具有所期望之圖案之中間掩膜R， 自中間掩膜庫3 1 a運送至中間掩膜台5 1 a，除此之外，並 將具有曝光完畢之圖案之中間掩膜R、自中間掩膜台5 la 運送至中間掩膜庫3 1 a。 -5- 本紙译尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2 ί 0 X W7公釐） 408386 A7 ------二__B7 五、發明説明（3 ) 〜 ' -* 發明之揭示 惟，習知技術有以下之問题。 ⑴在將收容盒裝著於曝光裳置前，作業者或有需要在例 如典塵至内房複數之收容盒庫疊放置運送，暫時保管之情 沉。因爲以往的收容盒並沒有決定收容盒彼此的位置之^ 構，故重疊放置的收容盒會滑倒。收容盒滑落使收容盒内 的中間掩膜R有破損之虞。又，將收容盒重疊放置時的震 動' 可能會使附著於收容盒上蓋13上之異物脱離内在盒内 浮遊，使中間掩膜R上有異物所著之虞。 (2) 如圖15A-圖15C所示，收容盒雖由線圈彈簧Ua將前 門7 a關閉，但收容盒有可能受到意料外之大的力量作用' 與線圈彈簧1 I a之力相反使前門7a打開、中間掩膜R有自 收容盒落下之虞。 (3) 在將前門7 a大幅打開打太開的情泥下、線圈彈簧！ j a 伸張，有使前門7a無法正常關閉之虞。 經濟部中央榡準局貝工消費合作社印絮 I - _lt I Jr ( i Y I— ' —ί I - I— _1 I ^ (請先閱讀背面之注意事項再缜寫本頁)， (4) 習知之曝光裝置中，作業者有需將收容盒安裝於中間 掩膜庫3 1 a中之情況，今後隨著中間掩膜II之大塑化（例如 9吋中間掩膜）、收容盒變重、作業者之負擔增加。雖有人 設想使用機器人來將收容盒安置於中間掩膜庫3 la内，但 因隨著收容盒之大型化使收容盒重量增加之故，必需確立 確實的收容盒運送方法》 (5) 在曝光系5 1 a與保持於中刹掩膜庫3 h之收容盒之間 運送中間掩膜R時’作業者誤出指令將其他的中間掩膜R 裝填至已收容了中間掩膜R的收容盒’而使中間掩膜R彼 -_____ 本紙張尺度適用中國囡家標準（CNS ) A4規格U!〇X297公疫） 經濟部中央標準扃員工消費合作社印製 408386 A7 ------—__B7 五、發明説明（4 ) 此干涉造成中間掩膜R的破損。 本發明之第1目的在提供不會使中間掩膜等之基板破損 之收容盒。
本發明之第2目的在提彳共不會使中間掩膜等之基板破損 ，且可運送基板之曝光裝置D 爲達成上述第1目的，本發明之收容盒，係形成爲箱形 、收谷基板者，其特徵在於具備：.支持部’於特定面内支 持前述基板者；門部，用以將前述基板搬入、搬出而開閉 動作者；及卡合構件，設於與前述門部垂直的側面部上呈 凹狀或凸狀者。若使用卡合構件搬送收容盒，則可確實地 搬送收容盒。 卡合構件係向與前述特定面内垂直的方向凹或凸者爲理 相 0 與前述側面部之前述卡合構件相對的部分上，若該卡合 構件爲凸狀則更具備凹狀的卡合構件，而若前述卡合構件 爲凹狀則更具備凸狀之卡合構件亦可。此樣態中，不論使 用凹或凸的卡合構件皆可搬送收容盒，可使得搬送收容盒 時之自由度變大。 若將凹狀之卡合構件之形狀比前述凸狀的卡合構件之形 狀更大’則在重叠放置複數之收容盒時，利用凹與凸的卡 合構件’即可不會互相滑動地重疊。若將此凹與凸的卡合 構件設於側面部，則在重疊放蘆收容盒時的震動不會傳遞 至基板正上面的構件’例如上蓋，故可減低附著於該構件 上之異物之浮遊。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公發） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 408386 A7 B7 五、發明説明（5 ) ---- 經濟部中央標準局員工消费合作社印衮 ，二Θ述門4垂直之第i及第2側面部i ,各設置了複數 I則述卡合構件，將形成於前述第〗側面部之前述複數之 卡合構件之間隔，與形成於前述帛2侧面部之前述複數之 卡合構件之間隔.做成相異亦可。藉此可辨識收容盒之收 方向。 本發明4收容盒可作爲收容中間掩膜周。該收容盒，具 備：支持部，將於特定區域形成圖案之中間掩膜以特定面 内予以支持者；門部，用以將前述中間掩膜搬入、搬出而 開閉動作I;凹部，與前述特定面内約成平行，形成於前 述收容盒周邊部所形成之第丨面者；及凸部，於與前述第！ 面約成平行相對的第2面中，與前述凹部成對峙形成，並 比前述凹部的形狀小者^在重疊放置複數之收容盒時，可 利用凹與凸的卡合構件。第丨面與第2面係設於收容盒之 周邊邵之故，重疊放置時之震動不易傳達至中間掩膜的上 面的構件，可抑制異物自該構件浮遊於收容盒之内。 形成爲箱形、收容基板之本發明之收容盒，具備：支持 部，支持前述基板者；門部，用以將前述基板搬入、搬出 而開閉動作者；及鎖止裝置，與前述門部卡合，將前^開 閉動作予以鎖止者。在將門部鎖止時，即使大的力作用於 收谷盒’亦可防止基板落下。 爲達成上述第2目的，使用上述收容盒而搬送中間掩膜 之本發明之曝光裝置，具備：收容裝置，可保持複數^收 容前述中間掩膜之前述收容盒者；曝光機，將形成於前述 中間掩膜之圖案的像在基板上予以曝光者；第1搬送裝置 (請先開讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 訂 -8, 表纸浪尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 408386 五、發明説明（6 ，於W述收容裝置與前述曝光機之間搬送前述中間掩膜者 及第2¾送裝置，自前述曝光裝置外部收取前述收容盒 、’.將前述收容盒搬送至前述曝光裝置之特定位置者。此曝 光裝置’於第2搬送裝置上設置與上述收容盒上所設之卡 合構件卡合之卡合構件亦可。藉此，可使用收容盒之凹或 凸的卡合構件，於曝光裝置内確實搬送收容盒。 收容盒具備鎖止裝置之情況下，於曝光裝置之收容裝置 中具備鎖止解除裝置，與鎖止裝置之至少—部分卡合，而 解除門部之鎖止。若於中間掩膜搬入、搬出時藉由鎖止解 除裝置解除門部之鎖止，則可防止搬送時中間掩膜自收容 盒落下^ 上述曝光裝置具備檢知裝置，於前述收容盒之前述門部 開時’於前述中間掩膜端面照射檢知光，檢知是否有前述 中間掩膜者爲理想。依此曝光裝置，可防止將其他的中間 掩膜誤放至已收容了中間掩膜之收容盒中。 依達成上述第丨目的之本發明之收容盒’係由底板，前 述底板之左右側板、前述底板裏側的背板，與前述背板相 對因基板之搬入搬出而開閉之前門，以及與前述底板相對 開閉之上蛊’形成前述基板之收容空間者。此收容盒具備 :支持構件’於前述底板上支持前述基板；一對盒承受部 ’於前述左右側板之前述上蓋側中，突設於前述收容盒之 側方者；一對盒支持部，於前述左右側板之前述底板側中 ’突設於前述收容盒之側方者；第1卡合構件，於前述盒 承受部’於前述基板之搬入方向，以特定間隔設置，爲凹 -9 t紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2t〇X297公釐） (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁)
A7 408386 B7 -·' —也·- _ _ __________ _ _ 五、發明説明（7) .---- —1'- - 11^— » 士^- 1 --1 ^^1 ^^1 ^^1------ Τ» - ' ，-fl (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 或凸者；第2卡合構件；於前述盒承受部，於前述基板之 ' 搬入方向，以特定間隔設置，若前述第1卡合構件爲凹則 爲凸，若前述第1卡合構件爲凸則爲凹者；及鎖止裝置， 將前述前門鎖止者。 依達成上述第2目的之本發明之曝光裝置，係使用上述 收容盒，於室内搬送前述基板者，其特徵在於：具備：基 板庫，保持複數之收容前述基板之前述收容盒者；曝光機 ，將形成之基板上之圖案之像在基板上予以曝光者；第1 搬送裝置，於前述基板庫與前述曝光機之間，搬送前述中 間掩膜者；以及第2搬送裝置，自前述室之外部收取前述 收容盒，將前述收容盒搬送至前述基板庫爲止者；前述第 2搬送裝置包含搬送臂，具有與前述卡合構件卡合之卡合 構件者：前述基板庫設有鎖止解除裝置，在保持前述收容 盒後，將依據前述鎖止裝置之前述前門之鎖止予以解除。 圖面之簡單説明- 圖1A爲實施例之收容盒之上面圖（俯視圖）。 圖1B爲圖1A所示之收容盒之正面圖。 圖1C爲圖1A所示之收容盒之侧面圖。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 圖2爲收容盒之上蓋1爲開狀態之表示圖。 圖3爲盒支持部13之突起部14之放大表示圖。 圖4爲重疊放置之複數之收容盒之表示圖。 圖5A-圖5C爲前門鎖止機構桌示圖。 圖6爲自動解除前門鎖止裝置之鎖止解除裝置表示圖。 圖7爲本實施例之曝光裝置之概略表示圖。 -10- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公瘦) 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 408386 A7 -------________ 五、發明説明（8 ) 圖8爲依據搬送臂之收容盒之搬送表示圖。 圖9爲依據搬送臂之收容盒之撤送之變形例表示圖。 圖10爲依據搬送臂之收容盒之搬送之變形例表示圖3 圖1 1爲中間掩膜收容判別感測器60之構造表示圖。 圖12爲曝光裝置之方塊圖。 圖13爲控制裝置8 0所執行之處理之流程圖。 圖14 A爲圖1之C部之變形例之門爲開之情況之圖。 圖14 B爲圖1之C部之變形例之門爲關之情況之圖。 圖1 5 A爲自上方看習知收容盒之圖。 圖15B爲圖〗5A之A-A斷面圖，前門7爲開狀態表示圖。 圖15C爲圖15A之A-A斷面圖，前門7爲閉狀態表示圖。 圖16爲將中間掩膜R之圖案在晶圓上曝光之曝光裝置表 示圖。 用以實施發明之最佳形態 以下用圖卜圖13説明本發明之一實施例。 於本實施例中，以使用形成電路圖案之中間掩膜R作爲 基板之情況爲例予以説明。此中間掩膜R之大小有各種尺 寸’現在雖王流爲6叶' 但已檢討導入9忖。於中間掩膜r 上設有用以辨識中間掩膜之種類之資訊之條碼。 圖1A示本實施例之收容盒之俯視圖，圖1B爲正面圖， 圖1C爲側面圖。又，圖2爲收容盒之上蓋1爲開的狀態之 表示圖。 — 如圖1 A-1C及圖2所示，收容盒具有底板2及2個倒雨 部3及背面部4，藉設於側面部3上之鉸鏈5開閉自如地^ -11 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210x297公釐） ---，~- J—J—--- 裝------訂-----1 ^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作杜印災 408386 五、發明説明（9 ) 5上蓋匕此上蓋1乃由透明塑膠形A，藉鉸鏈6軸支前 門7 〇此前門7亦墓明Pq人 n ’’閉自如者，在前門7爲開狀態時進 行中間掩膜R之搬入、搬出。又，前巧7與2個侧面部3 約成垂直。 I收+ i内邵4處设有用以於特定面内支持中間掩膜r 用（中間掩膜支持插梢8。中間掩膜尺將圖案面作爲F倒 面t中間掩膜支持插梢8支待。於中間掩膜R之圖案面上 爲了 =止*物&人圖案面’姑裳了貼設了透明保護膜之 ，月保及膜框9 :亦有未於中間掩膜r上貼裝透明保護膜 1 9 (情況。上蓋1與底板2係與被支持之中間掩膜R大 致平行》 — 上蓋^内倒設置掛彈簧部1〇，於此掛彈普部1〇上安裝 伸張線圈彈y 1 1(參照圖2)。伸張線圈彈菁i ^爲了不使前 二7打開而將則門7於經常保持關閉側予以彈撥施力。於 4門7中，以將圖1A ( A部團團圍住的方式設置向側方突 出士開閉插梢i“若使用與此開閉插梢Μ卡合之構件、 对W門7施加比線圈彈*n之彈 ，
前門7。 J 於側面部3之各個外側與侧面部3—體設有盒承受部ι? 及盒支持邵"。盒承受部12上形成穴部心，其具有穴 ^穴係沿與上蓋i同樣高度的水平方向，即向與中間掩 μ Rm平行之方向延伸貫通之穴。在盒承受部12之 厚度非常厚之情況下，不使穴部12貫通而係做成凹陷狀亦 可，若爲後述盒支持部13所設之突起部14可插人凹形狀 12 本紙ί長尺度適用中國D家榡準（CNS ) M規格（训幻97公瘦） ----- ----—11— --J---裝------訂-------、4 *· 先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 4〇83邮 五、發明説明（1〇 ) I. — I *1^ ,* . ? - —^1 - ·^^A i I -- - 1— l^n ^l* (#先閲请背面之注意事項真填寫本寅) ’則入部12爲何種形狀皆可。盒承受部12具有麼彈簧 ’上蓋1爲閉狀態時，藉壓彈簧12b，可彈撥上蓋1將上 蓋1對側面部3固定。 盒支持部13係沿底板2專面向水平方向延伸，於對應於 穴部12a上所形成之穴之位置上各形成突起部M。圖3爲 盒支持部1 3之突起部14之放大表示圖，突起部〗4係由狀 入部14a，具有比盒承受部12上所形成之穴更小之徑者； 及段差部I4b ’具有比此穴更大的徑者所構成。 如此構成之複數之收容盒可如圖4所示重疊放裏。如® 4 所示，於收容盒之盒承受部12之穴部12a上所形成2〆倜 穴中，已嵌入了一個收容盒之盒支持部13之嵌入部14a ° 又，爲了使穴部12a之穴與嵌入部l4a之嵌入容易進行’ K的上面與嵌入部14a之前端各取〇5至1〇mm^截韵或 半輕R取於0.5至〗·〇 min爲理想。 如此構成之收容盒具有以下之優點。 (1) —個收容盒的盒承受部12之穴部i2a上所形成之/V 中，已嵌入了一個收容盒之盒支持部13之嵌入部〖4a ’重 疊放置了複數之收容盒之故，收容盒不會滑落。 趣濟部中央榡準局員工消f合作社印製 (2) 盒承夂邯12與盒支持部13係與倒面部3 —體自側齑 部3向側方張出形成之故，將複數之收容盒重疊放襄時的 震動不會直接傳達至上蓋〖，即使上蓋1上有異物附著〜 情況下，亦可抑制異物因震動落下而在收容盒中浮遊，< 減低異物附著於中間掩膜R上之可能性。 (3) 藉由在突起部M上設有段差部丨❹，因一個收容袁~ -13- 本紙張尺度適用t國國家標準（規格（训x297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 408386 五、發明説明（11) 底板2與另一個收容盒之上蓋1並不直接接觸之故，可更 進一步減低因震動造成之異物浮遊。 本實施例中雖於盒承受部丨2上設穴部12a，於盒支持部 13上設哭起部14，但於盒承受部J 2上設凸的突起部i 4， 於盒支持部13上設穴部i2a亦可。雖穴部12a與突起部14 之數量並無所謂’但各在側面部3向中間掩膜出入方向上 ，以特定間隔至少在2處設置爲理想。此情況下，若將〆 方的侧面部3上所形成之2個突起的間隔（同樣地2個穴的 間隔），做成與另一方的側面部3上所形成之2個突起的間 隔（同樣地2個突起的間隔）相異，則於後述之曝光裝置内 搬送收容盒時’不會將收容方向弄錯。將一方的側面部3 上所形成之突起之大小，以及另一方的側面部3上所形成 之突起的大小改變亦可s &承乂部1 2並未必需要設於側面部3上，只要係不與中 間掩膜R的圖案形成區域相對的位置±，在上蓋1上形成 盒承受部12亦可。具體言之，在圖】之上蓋1之周邊 上=冗（凹陷處）即可。此情況下，爲了防止異物侵入，形 成於上蓋！上之穴以不要貫通者爲理想。同樣地，盒支持 部13若只要係佐於不與中間掩膜圖案形成區域相對的 么置上，形成於底板2上亦可。 A圖IA中雖未圖示，如圖5 A_圖％所示，前門7與側 面部3上設有前門鎖止裝置"―。前門鎖止裝置15係由鎖 止承文部15a，設於前門7左右端部或任一方之端部之丰 ㈡/狀者，鎖止構件15 b，設於側面部3之外壁者；旋轉
I 1· 「i —^1. , I ·-·' ·^^A -- !i 广请先閱讀背面之法意事"舟球寫本寅J
I - ·- I
.- I 用中國' A7 B7 ^08366 五、發明説明（12) ---.--i------訂 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 中心插梢15c，可旋轉地支持鎖止構件i5b者；及壓彈簧 15d所構成。鎖止構件15b係依壓彈簧15d之力以旋轉中心 插梢15C爲中心，向順時針方向彈撥d藉由鎖止構件依該 彈撥力與鎖止承受部15a卡止，使前門7被鎖止（參照圖5a) 。前門鎖止裝置鎖止前門7時，即使以比線圈彈簧n 的彈撥力更大的力，向與線圖彈簧丨丨之彈撥方向相反的方 向施力，前門7亦不會被打開。藉此，可防止中間掩膜r 之掉落，即破損。鎖止構件15b係藉由未圖示之擋止器予 以規制，使其不會順時針方向移動超過圖5a的位置。 解除前門7之鎖止之情況，如圖5B所示，只要將鎖止構 件1 5 b以旋轉中心插梢15 c爲中心，逆時針方向旋轉即可 。於此狀態如前所述，使用與前門7之突出部分卡合之構 件（圖5A中之符號16所示）’施加比伸張線圈彈簧u之彈 撥力更大之力’則可打開前門7(參照圖5c)。將前門7以伸 張線圈彈簧1 1之力關閉時，即使鎖止構件15 b位於圖5 A 之仏置，因鎖止承受部係爲半圓形狀之故，可將前門7銷 止。搭線圈彈簧1 1之彈簧係數做成比墨彈簧1 5 d之彈簧係 數更大爲理想。 經濟部中央標準局貝工消費合作杜印製 圖6爲自動解除前門鎖止裝置1 5之鎖止之鎖止解除裝置 1 7之表示圖。鎖止解除裝置17係由鎖止解除插梢i 7a，將 鎖止構件1 5 b向逆時針方向旋轉者；及檢知關閉〗7b，檢 知鎖止構件1 5b者所構成。此鎖止解除插梢i 7a與檢知關 閉1 7b係設於設置收容盒之設置台1 8上。在於收容盒上形 成突起部1 4之情況下，設置穴部1 8 a，使突起部14之嵌 -15- 私紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2l〇X 297公釐） 408386 A7 B7 五、發明説明（13) " ~- 入部14a可嵌入設置台18。將收容盒載置於設置台以上 時’若將鎖止構们5b放置於鎖止肖除裝I 17之解除播梢 17a上，則因收容盒本身之重量，鎖止構件工汕會對抗彈簧 15(1之彈撥力’向逆時針方向旋轉，鎖止即被解除。將解 除插梢17a做成可依調節器上下動亦可。 將则門鎖止設置1 5不設於收容盒外侧，而設於内侧（側 面邵3之内側）亦可。此情況下，.若將鎖止解除裝置η之 —部分設於收容盒内，與收容盒外部之鎖止解除裝置17之 構件連續解除鎖止，則可做到收容盒内之防麈效果。 圖7爲本實施例之曝光裝置之概略圖，此曝光裝置係使 用圖1A-圖6所説明之收容盒内之中間掩膜R，進行圖案 之曝光。 曝光裝置係配設於將曝光裝置之環境保持爲大致一定之 至20内，室20上設有搬入口部2 1，用以自外部將保管中 間掩膜R之收容盒搬入室20内用。 曝光裝置分別有中間掩膜收容系30，中間掩膜搬送系4〇 ，及曝光系50。中間掩膜收容系3 〇具有中間掩膜庫3 1， 收容複數之上述説明之收容盒（圖7中僅圖示1個收容盒） ;及搬送裝置3 2，自搬入口部2 1收取收容盒，將收容盒 搬送至中間掩膜庫3 1 ;各皆設於底板33上。搬送裝置32 具有搬送臂34，搬送臂34係可伸縮者，可向z方向及χγ 平面内移動。又，搬送臂34雖未圖示於圖7中，其形成有 可嵌入盒承受部12上所形成之穴部12a之穴内之突起35( 參照圖8)。 -16- 本紙張尺度適用中—國國家標孪（CNS ) A4規洛（210'〆297公釐） ---,- i-J---J---篆---I--丁 _ I____··' • ，va Λ r - (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -濟部中央榇芈局員工消費合作社印製 408386 A7 —----__ 五、發明说明（14 ) 圖8爲由搬送臂34搬送收容盒之表示圖。此處收容盒係 由未圖示之無人搬送機器人搬送至室20之搬入口部21之 正面附近，保持於無人搬送機器人之台3 6(僅圖示台3 6)者 。搬送臂3 4經搬入口部2 1，向圖7所示之Y方向移動， 進入盒承受部12與盒支持部n之間而停止於特定的位置 。其後，搬送臂34向2方向上升。藉由使搬送臂34上所 形成之突起35嵌入盒承受部12之穴部12a，而將收容盒 自台36拿起，將收容盒裝填至中間掩膜庫31予以搬送。 又，收容盒左右之側面部3上所形成之複數之穴（或突起部 14)之間距，右側面3與左側面3乃相異。對應於此，亦形 成了搬送臂34之突起35 ^因此，搬送臂34若弄錯收容盒 的方向即無法保持收容盒。故，搬送臂34不會弄錯收容盒 方向裝填至中間掩膜庫3 1。 又’搬送臂34之搬送的變形例示於圖9。於圖9中’搬 送臂j4之X方向的間隔係做成可變之機構，使搬送臂 進入盒承受部12與盒支持部〖3之間亦可。又，如圖丨〇所 不，若於盒支持部13上設搬送臂34之突起部35可嵌入之 穴’則搬达臂34可保持盒支持部π搬送收容盒。 回到圖7，爲了於中間掩膜庫3〖保持複數之收容盒，形 成複數I保持台37。於各保持台37上設有圖6所示之鎖 亡解除装置17，及盒支持部13上所形成之嵌入部I4a可 敢入I K邵I8a。因此，前門錶止裝置15所致之前門7已 鎖止，在收容盒被裝塡至中間掩膜庫3 1時，如上所述可由 鎖止解除裝置1 7予以解除q --1-1 I ----77-1 -裂 —-----訂------v (諳先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 408386 A7 B7 五、發明説明（15) 中間掩膜搬送系40具有之中間掩膜搬送臂4丨，中間掩 膜搬送單元42，裝載用搬送臂43，及卸載用搬送臂44， 於中間掩膜收容系3 0與曝光系5 0之間搬送中間掩膜R。 曝光系50具有：載置中間掩膜r之中間掩膜台5 i，及載 置晶圓W之晶圓台52，由投影光學系PL將中間掩膜R的 圖案的像在晶圖W上曝光。又，中間掩膜搬送系40與曝 光系5 0之構造乃爲習知，故省略其説明。 本實施例之曝光裝置中，與保持於中間掩膜庫3 1之收容 盒之前門7大約相對地，配設可向z方向移動之檢知中間 掩膜R之有無之中間掩膜收容判別感測器6〇。中間掩膜收 容判別感測器60係在前門7打開時，藉由檢知中間掩膜R 之端面，而檢知是否有中間掩膜R。 經濟部中央標隼局員工消費合作.杜印製 11.--Μ--4I •裝------訂 鑫 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖1 1爲中間掩膜收容判別感測器60之構造表示圖。中 間掩膜收容判別感測器60係由將檢知光向中間掩膜R之端 面照射之照射系6 1，以及接收來自中間掩膜R之端面之反 射光之受光系62所構成。中間掩膜R係由石英玻璃所成之 透明構件，雖係使光透過者，但因照射系6 1乃向中間掩膜 R之端面自斜的方向照射檢知光之故，於中間掩膜R端面 反射之檢知光會入射至受光系62。因此，中間掩膜收容判 別感測器60在中間掩膜R之端面所反射之檢知光被受光系 60接收時，輪出表示收容有中間掩膜r之信號，而在受光 系60沒有接收到中間掩膜r之_扁面所反射之檢知光時’輸 出未收容有中間掩膜R之信號。中間掩膜R之端面之尺寸（ 中間掩膜R之厚度）係與中間掩膜R之太小成正比，爲約3 ____ -18- __ _ 本紙張尺度適用中國囤家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 408386 at -------B7 五、發明説明（16 ) mm至1〇 mm左右3因此，中間掩膜R在檢知端面上具有 足夠的厚度。 圖12爲曝光裝置之方塊圖。控制裝置8〇控制曝光裝置 整體，特別在本實施例中，控制中間掩膜收容系30、中間 掩膜搬送系40、及曝光系50與中間掩膜收容判別感測器 60 ° 以下使用圖1 3之控制裝置8 0之控制流程圖説明上述構 造之曝光裝置之動作如下。 組濟部中央標準局員工消費合作'杜印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 控制裝置8 0於步骤1 〇 1中，控制搬送裝置3 2，保持載 置於無人搬送機器人之台36上之收容盒，裝填至中間掩膜 庫3 1。此時，搬送裝置32係將搬送臂34之突起35嵌入收 容盒之穴部1 2 a予以搬送之故。即使中間掩膜R之尺寸變 大’收容盒的重量增加，亦可確實地搬送收容盒。又，收 容盒之前門7在被裝填至中間掩膜庫3 1爲止係由前門鎖止 裝置15鎖止，在被裝填至中間掩膜庫3 1時，前門7之鎖 止被解除。進而，如前所述搬送臂34可辨識收容盒被載置 於台36之方向之故，搬送臂34在不能保持收容盒時，可 向控制裝置8 0輸出告知收容盒未被正確地載置於台3 6上 一事。 當複數之收容盒被裝填至中間掩膜庫3 1後，控制裝置80 在步驟102中，控制中間掩膜搬送系40，將收容具有所期 望之圖案中間掩膜R之收容盒自中間掩膜庫3 1中取出，搬 送至中間掩膜台5 I。此步驟102之動作詳予説明如下。即 與前門之突出部分卡合之前門開閉插梢（圖7中未圖示，乃 -- -19- 本紙張尺度適家標辛（CNS )八4規格（21〇><297公楚j ~· ~~- 408386 A7 --—-------- B7 五、發明説明（17^ — ' 相當於圖5之符號16)將收容盒之前門7打開’中間掩膜收 合判別感測為60檢知是否有中間掩膜FL。控制裝置80在 確w中間掩膜R之存在後，使中間掩膜搬送臂4 1進入中間 掩膜庫J 1内’眞空吸引中間掩膜R，搬送至中間掩膜搬送 單元42爲止。中間掩膜搬送單元42自中間掩膜搬送臂41 收取中間掩膜R。將中間掩膜予以眞空吸引沿負X方向點 線所拓1的仓1置爲止移動。裝載用搬送臂43自中間掩膜搬送 早疋42收取中間掩膜R，將中間掩膜尺予以眞空吸引搬送 至中間掩膜台5 1爲止。又，於自中間掩膜庫3丨至中間掩 膜台51爲止之搬送路徑之中，藉未圖示之條碼讀取器讀取 中間掩膜R上所設之條碼，以確認所搬送之中間掩膜R是 否爲所期望者爲理想。 控制裳置80在將中間掩膜R安設於中間掩膜台5 1後， 以步躁103進行曝光。具體上，控制裝置8〇在中間掩膜r 與晶圓W之位置對合後，以來自未圖示之光源之光束照明 中間掩膜R。中間掩膜r之圖案之像由投影光學系PL於晶 圓W上之曝光區域上曝光。 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 ^ϋ· 11 1.1^^— »1 ·«. -I - , 士I i- 1 J ——I I. l^i •-- * 、T - - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 制裝置80在一連串的曝光動作結束後，於步驟丨04中 ’基於作業者之指令將中間掩膜r與其他的中間掩膜R交 換。詳細説明步驟1 〇4如下a裝載用搬送臂44取出載置於 中間掩膜台5 1上之中間掩膜R，裝載用搬送臂43將其他 的中間掩膜R安設於中間掩膜台5 1。被載置於裝載用搬送 臂44之中間掩膜R，經由中間掩膜搬送單元42被傳遞給 中間掩膜搬送臂4卜載置中間掩膜R之中間掩膜搬送臂4 1 __ -20- 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（2IOX297公釐） 408386 A7 B7 五、發明説明（18 ) 基於控制裝置80之指示（作業者之指令），將中間掩膜r搬 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} ，至中間掩膜庫31内之特定之收容盒内。特定的收容盒之 ίΐί門7打開後，中間掩膜收容判別感測器 %抑特定夂收 各盒内是否有中間掩膜存在。 控制裝置8 0在未被輪入來自感測器6 〇之矣_ ^ ^ 〜衣不收容盒円 沒有中間掩膜存在之信號之情況下，將载置於中間掩膜搬 送臂41之中間掩膜R收容於特定之收容盒内。控制裝置如 在被輸入來自感測器60之表示收容盒内有中間掩膜存在 之信號之情況下，於未圖示之顯示裝置顯示「錯誤訊息」 ，等待作業者之指示，或者檢知其他的收容盒内是否有中 間掩膜存在，而進行載置中間掩膜搬送臂4丨之中間掩膜r 之收容。於本實施例中，即使在將中間掩膜R放回至中間 掩膜庫31所裝填之收容盒時，亦有進行收容盒内是否存在 中間掩膜之確認工作之故，不會有發生作業者弄錯中間掩 膜R之收容位置造成中間掩膜r破損之虞。又，步驟1〇4 可應於所需反覆進行。 經濟部中央標準局員Η消费合作社印製 又’中間掩膜R之曝光全部完畢後，由搬送裝置32將裝 填於中間掩膜庫3 1之收容盒搬送至室20之外部。又，收 容盒之前門7a在收容盒被自中間掩膜庫3 1取出時，鎖止 構件1 5b以彈簧15d之彈撥力向順時針方向旋動，由前門 鎖止裝置15鎖止。 將圖1A-圖1C所示之收容盒做成如圖14A及圖14B所示 亦可。圖WA爲圖1C之C部之變形例，前門7爲開之情況 下之圖，圖14B爲圖1之C部之變形例之圖。如圖14A及 -21 - 私纸張尺度適财_家縣（CNS ) A4麟（2!GX297公楚 406386 A7 B7 五、發明説明（19) 圖14B所示，上蓋1及前門7上形诸古生,时 3 〜成有制限前門7之打開 量之擋止器22a、22b。依此擒止哭 奋22a ' 22b限制前門7 的打開量之故，不會發生伸張線圈彈簧伸張使得前門7 無法正常關閉之事。又，限制前門7之打開量之擋止器僅 於上蓋1上形成亦可’或僅於前門7上形成亦可^又，此 撐止器設於底板2 ’側面部3等亦可。於此變形例之收容 盒上將前述前門鎖止裝置15 —起設置亦可。 本實施例之收容盒可例如以射出成型形成側面部3及背 面邵4，士裝上蓋1、底板2及钠門7之外，並且安裝顯帝 裝置15及撞止器22a、而予以製造。又，於側面部3 上一體設置了前述盒承受部12及盒支持部a。 同樣地’本貫施例之曝光裝置可將由複數之鎖片所構成 之投影光學系PL組入曝光系50調整之外，並且將由多數 之機械零件所成之中間掩膜台5 1或晶圓台5 1安裝於曝光 系5 0連續配線或配管。又，進行综合調整（如電性調整' 動作確認等）而製造本實施例之曝光裝置。又，曝光裝置之 製造可於有管理溫度及無塵埃之無塵室内進行。 產業上之可利用性 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 I--·—tJM i r 装------ir - ' 严请先閱读背面之注意事項真填寫本寅)
以上雖針對中間掩膜R之收容盒予以敘述，但亦可將本 實施例之收容盒用於中間掩膜R以外之基板上。例如可適 用於液晶顯示元件之形成圖案之玻璃基板上。此破璃基板 爲方型 '厚度亦約有1 _ 1 mm之故，使用本實施例之中間掩 膜收容判別感測器60，檢知玻璃基板之端面亦可。曝光裝 置爲 STEP AND REPEAT TYPE 或 STEP AND SCANREPEAT -22 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS > A4規格（2丨0XW7公釐） A7 40b386 B7 五、發明説明（2〇 ) TYPE皆可進而，曝光光源方面，使用電子線等之荷電粒 子線之曝光裝置或使用X光之曝光裝置皆可使用本發明。 -- I I -'-=1 Γ cl V I— - - - I H. 1—、^τ * * - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印— -23- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4g ( 210X297公釐）