JPH03257845A - 基板収納装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、シンクロトロン軌道放射光（以下ＳＯＲと記
す）を光源とする半導体露光装置におけるマスク収納容
器等として使用される基板収納装置に関するものである
。

従来の技術 最近、半導体露光装置の光源としてＳＯＲを利用するこ
とが注目されている。−軌道の接線方向に発せられる軟
Ｘ線であるというＳＯＲの性質上、ＳＯＲは地面と略平
行に進行するので、ＳＯＲを光源とする半導体露光装置
はマスク表面とウエノ＼表面がともに地面に略垂直にな
るようにマスクとウェハを夫々保持して位置合わせを行
う縦型のマスクステージ及びウェハステージを有する構
造をとる。マスク収納容器と縦型マスクステージ間のマ
スク搬送を考慮すると、マスク収納容器においてはマス
ク表面を地面に略垂直に保ったままマスクを出し入れで
きる縦置型のものが有利である。

以下、従来例について図面を参照して説明する。第３図
は従来の基板収納容器の斜視図である。同図において、
２１は底蓋である。底蓋２１には基板の周辺を保持する
段部２１ａが設けられている。２２は上蓋、２３は扉で
、共に開閉可能である。２４はロック部材で、上蓋２２
を閉じた状態に固定できる。２５は押え部材で、上蓋２
２に同図中矢印Ｂ方向に回動可能に取り付けられている
。２６．２７はバネで、バネ２６は押さえ部材２５と上
蓋２２とを、バネ２７は押さえ部材２５とｗ２３とを夫
々連結する。底蓋２１の段部２１ａには基板の大きさに
合わせて突出部２１ｂが設けられ、基板収納装置内にお
ける基板の位置を規制する。

以上のように構成された従来の基板収納容器について、
以下その動作をさらに第４図を用いて説明する。第４図
は従来の基板収納容器の断面図で、第４　［１（ａ）は
Ｔｉ１２３が閉じた状態を、第４図（ｂ）はｌ１ｉ２３
が開いた状態を夫々示す。同図において、２８は基板で
ある。扉２３が閉じた状態ではバネ２６の引張力がバネ
２７の引張力よりも大きいので、第４図（ａ）に示すよ
うに押え部材２５が基板２８の表面を押圧する。この押
圧作用により、基板収納容器の露光装置等への着脱や持
ち運びの際に基板が基板収納容器内で摺動したりガタつ
いたりすることが防止される。扉２３を開いていくと、
ｗ２３に引っ張られてバネ２７の引張力が増大してバネ
２６の引張力よりも太き（なり、第４図（ｂ）に示すよ
うに扉２３が開いた状態では押え部材２５が基板２８０
表面から離れて押圧が解除される。この状態で基板２８
を搬送手段により突出部２１ｂの高さよりも大きい量だ
け持ち上げてやれば、基板２８を押え部材２５等で傷つ
けることなく水平方向に出し入れ可能でる。

発明が解決しようとする課題 しかしながら上記従来例は基板表面を地面と略平行に位
置させての使用を前提としており、これをそのまま縦置
き即ち基板表面を地面と略垂直に位置させて使用した場
合、扉を開いた時点で押圧が解除されるので基板は水平
方向に不安定となり、基板の出し入れに支障をきたすと
いう課題を有していた。

そこで本発明はこの課題を解決するため、露光装置内等
で基板表面を地面と略垂直に位置させて使用しても基板
を安定に保ちつつ出し入れ可能な基板収納装置を提供す
るものである。

課題を解決するための手段 本発明は、基板押圧ころが取り付けられた押圧回動部材
を本体に回動可能に取り付け、本体と押圧回動部材とを
弾性体により連結し、扉と押圧回動部材とを長穴による
遊嵌部を備えて連結する構成としたものである。

作　　　用 上記構成の基板収納装置を、基板表面を地面と略垂直に
位置させて使用する場合において、まず基板が収納され
扉が閉じた状態においては、押圧回動部材が弾性体の力
を受けて基板抑圧ころが基板表面を押圧するので基板の
摺動やガタつきが防止される。扉を開いてい（と、その
開（角度がある一定角度以下では、連結状態を長穴によ
る遊び空間を設けた連結としているために連結部材は押
圧回動部材に対して力を及ぼさず、基板表面は依然とし
て基板押圧ころにより押圧される。この状態で搬送手段
により基板を基板押圧ころの方向に押し付けながら基板
表面と略平行に引き出すと、基板は水平方向に安定に保
たれたまま取り出され、しかもころで押圧されているの
で基板の損傷は防止される。扉をある一定角度以上開く
と、扉と押圧回動部材の長穴による遊空間の限度を越え
連結部材が押圧回動部材に対して弾性体の力よりも大き
な力を及ぼし、基板押圧ころが基板表面から離れる方向
に移動する。扉をある一定角度以下開いた状態で搬送手
段により基板をその表面と略平行に挿入した後、扉の開
（角度を減じて基板押圧ころを作用させ、搬送手段のみ
を引き出すと、基板は基板押圧ことろ干渉することなく
挿入されて水平方向に安定した状態に落ち着（こととな
る。

実施例 本発明の実施例について以下図面を参照しながら説明す
る。第１図は本発明の実施例の基板収納装置の斜視図で
ある。同図において、１はベースである。ベース１には
段部１ａが設けられている。２は蓋で、ベース１に接続
されその接続部分を軸として開閉自在である。ベース１
と蓋２で本体を構成する。３は扉で、蓋２に接続されそ
の接続部分を軸として開閉自在である。４はロック部材
で、蓋２を閉じた状態に固定できる。５は案内部材で、
基板収納装置の露光装置等への装着時にガイドの役目を
する。６は支持ビン、７及び８は規制ビンで、全てベー
ス１の段部１ａに設けられている。基板収納時に支持ビ
ン６は基板表面の４隅に接触し、規制ビン７．８は基板
の位置を規制する。９は基板支持ころで、基板の下方を
支持する。１０は押圧回動部材で、蓋２に同図中矢印へ
方向に回動可能に取り付けられている。１１は基板押圧
ころである。１２は引張コイルバネで、蓋２と押圧回動
部材１０とを連結する。１３は連結部材で、Ｎ３と押圧
回動部材１０とを連結する。

連結部材１３と押圧回動部材１０との接続部分は、押圧
回動部材１０の突起部１０ａが連結部材１３に設けられ
た長穴１３ａにはまり込む構造として長穴１３ａの長寸
性分だけ連結部材、ガタのある１３の連結に遊びのある
遊嵌連結状態とする。１４は引張コイルバネで、蓋２と
Ｗｉ３とを連結し、＆’３を閉じる向きの力を加える。

以上のように構成された本発明の実施例につい。

て、以下その動作をさらに一部２図を用いて説明する。

第２図は本発明の実施例の基板収納装置の断面図で、第
２図（ａ）は１１３が閉じた状態を、第２図（ｂ）はｉ
ｉ！３をある一定角度だけ開いた状態を、第２図（Ｃ）
はＮ３をさらに開いた状態を夫々示す。同図において、
１５は本容器に収容される基板である。本実施例の基板
収納装置は、露光装置等において基板表面を地面と略垂
直に位置させて使用される。基板が収納されて扉が閉じ
た状態では、第２図（ａ）に示すように押圧回動部材１
０が引張コイルバネ１２の引張力を受けて基板押圧ころ
１１が基板１５の表面を押圧する。この押圧作用により
、基板は基板押圧ころ１１と支持ビン６に挟まれて安定
し、基板収納容器の露光装置等への着脱や持ち運びの際
に基板が基板収納容器内で揺動することが防止される。

Ｎ３をある一定角度開いた状態では、扉３の動きに連結
部材１３が連動するが、押圧回動部材１０の突起部１０
ａと長穴１３ａの相対位置が変化するだけで連結部材１
３は押圧回動部材１０に対して力を及ぼさず、基板１５
の表面は依然として基板押圧ころ１１により押圧される
。この状態で基板１５の取り出しが行われる。即ち、搬
送手段、例えば真空吸着アーム、が基板１５の支持ビン
６と接触している面とベース１との間の空間に挿入され
基板１５を装着した後、規制ビン７と支持ビン６の高さ
の差より少し多い量だけ基板１５を基板押圧ころ１１の
方へ移動させる。それに伴って基板押圧ころ１１及び押
圧回動部材１０が動いて引張コイルバネ１２が伸びるが
、押圧状態はかわらない。ここで第２図（ｂ）に示すよ
うに基板１５がその表面と略平行に引き出される。基板
１５はその表面を押圧ころ１１で押圧され、下方を支持
ころ９で支持されたまま、損傷することなく取り出され
ることになる。取り出された基板１５の再収納は、Ｎ３
をさらに開いた状態で行われる。この状態では、第２図
（Ｃ）に示すように押圧回動部材１０の突起部１０（ａ
）が長穴１３ａの端部に引っ掛かって連結部材１３は押
圧回動部材１０に対して引張コイルバネ１２の引張力よ
りも大きい力を及ぼし、基板抑圧ころ１１が蓋２の方へ
移動する。ここで搬送手段により基板１５がその表面と
略平行に、基板押圧ころ１０及び規制ビン７と干渉する
ことなく挿入される。その後ｗ３の開き角度が減じられ
て連結部材１３が押圧回動部材１０に対して力を及ぼさ
なくなり、基板押圧ころ１１が基板１５の表面を押圧す
る。

基板１５を支持ビン６の方に移動させて支持ビン６と接
触させた後、搬送手段において基板の装着が解除され、
搬送手段が引き出される。最後に扉３が閉じられて基板
１５の再収納は完了し、第２図部（ａ）の状態に戻る。

なお、本実施例では、弾性体の例として引張コイルバネ
を用いているが、他の弾性体を用いても本発明の意図に
変わりはない。

発明の効果 本発明によれば、基板の取出し可能な角度にまで扉を開
いた状態にしても押圧ころが基板を押圧して保持するの
で、露光装置内等で基板表面を地面と略垂直に位置させ
て使用した時にも、扉が開（と基板が水平方向に不安定
になることが無くなリ、基板を安定に保ちつつ出し入れ
できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の基板収納装置の斜視図、第
２図は本発明の一実施例の基板収納装置る。 ■・・・・・・ベース、２・・・・・・蓋、３・・・・
・・扉、１０・・・・・・押圧回動部材、１０ａ・・・
・・・突起部、１１・・・・・・基板押圧ころ、１２・
・・・・・引張コイルバネ、１３・・・・・・連結部材
。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. レティクル、マスク等の基板を収納し、前記基板をその
   表面と略平行に出し入れする位置に開口部を設けた箱状
   の本体と、前記本体との接続部分を軸として前記開口部
   を開閉する扉と、前記本体に回動可能に取り付けられた
   押圧回動部材と、前記押圧回動部材に取り付けられた基
   板押圧ころと、前記本体と前記押圧回動部材とを連結す
   る弾性体と、前記扉と前記押圧回動部材とを長穴による
   遊嵌部を備えて連結する連結部材とで構成した基板収納
   装置。