JP2007529880A - ドア作動式ウェーハ制止部を備えるウェーハ容器 - Google Patents
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Abstract
Description
可能な代替ウェーハ衝撃緩衝手段である。
、ウェーハ76から若干外側に離れるように広がる。この位置において、ウェーハ76は開口前部24に向けて動かないよう維持される。
的に、旋回心軸86の反対側にドア係合部分88とアーム90とを含む。アーム90は先端部94にウェーハ係合部分92を有する。ドア28が容器から除去される場合、ウェーハ76を挿入するようアーム90を適切な位置に設けるため、また先端部94がウェーハ76に向けて内側に向けて移動される場合、アーム90を側面18,20に向けて引っ張るような付勢力をもたらすため、バネ96は各アーム90と、側面18,20との間で結合される。ドア係合部分88を受け入れるため、ドア28はパッド98を有する。
Claims (27)
- ウェーハと、このウェーハを保持するための容器との組み合わせであって、この容器が、
上面、底面、1対の対向面、背面、ドアフレームにより規定される対向開口前部をもつ筐体部と、
開口前部を閉止するため、ドアフレームにおいて封止的に係合可能なドアと;
少なくとも1個の固定ウェーハ制止部分と、少なくとも1個の操作可能ウェーハ制止部分を備える筐体内におけるウェーハ制止システムであって、操作可能ウェーハ制止部分が、ウェーハが容器に対して挿入・除去できるよう位置決めされる第1位置と、ウェーハが固定ウェーハ制止部で受入れられる場合に操作可能ウェーハ制止部分がウェーハと係合・制止する第2位置との間でドアに対して選択的に移動可能であるウェーハ制止システムとを備えるところの組み合わせ。 - 請求項1の組み合わせであって、ウェーハ制止システムが、1対の対向ブランチをもつほぼコの字型のウェーハ支持体を含み、各ブランチが、筐体部分背面に固着される第1の端部と、そこから片持ち梁状に支えられる第2の対向端部とを有し、各ブランチが、第2端部に近接する前部ウェーハ係合部分を含み、ウェーハ制止システムがさらに、ドアが筐体部分と係合する場合にブランチの第2端部を内部に向けて係合・推進するよう配置されるアクチュエータを含む組み合わせ。
- 請求項2の組み合わせであって、アクチュエータが、筐体部分と作動可能に結合されるガイドと、このガイド内に滑動可能に配設されるピストンとを備えるところの組み合わせ。
- 請求項3の組み合わせであって、ピストンが、ドアと係合可能になるよう配設されるヘッド部分を含むとともに、アクチュエータがさらに、ガイドに向けてヘッド部分の付勢力抵抗運動を行うよう配設される戻りバネを備えるところの組み合わせ。
- 請求項4の組み合わせであって、ピストンが、ヘッドに対向する楔状ウェーハ支持係合部分を含むところの組み合わせ。
- 請求項2の組み合わせであって、アクチュエータがドア上に突起を有するところの組み合わせ。
- 請求項1の組み合わせであって、操作可能ウェーハ制止部分が、筐体部分と枢軸的に結合されるアームを備えるところの組み合わせ。
- 請求項7の組み合わせであって、アームが、ドア接触部分を備える第1端部と、ウェーハ接触部分を備える第2の対向端部とを含むところの組み合わせ。
- 請求項7の組み合わせであって、さらに、アームを第1位置に向けて付勢するため、筐体部分とアームとの間で作動可能に結合されるバネを備えるところの組み合わせ。
- ウェーハを保持するための容器であって、
上面、底面、1対の対向面、背面、ドアフレームにより規定される対向開口前部をもつ筐体と、
開口前部を閉止するため、ドアフレームにおいて封止的に係合可能なドアと、
固定ウェーハ制止手段と操作可能ウェーハ制止手段とを含む筐体内のウェーハ制止手段であって、操作可能ウェーハ制止手段は、ドアフレームに対してドアを係脱することで選択的に位置決め可能であり、操作可能ウェーハ制止手段は、ドアがドアフレームから離脱する場合、容器に対してウェーハの挿入あるいは除去を可能にするよう位置決めされ、ド
アがドアフレームと係合する場合、ウェーハを容器内で制止するため、固定式ウェーハ制止手段と協動するよう位置決めされるウェーハ制止手段と
を備える容器。 - 請求項10の容器であって、ウェーハ制止手段が、1対の対向ブランチをもつほぼコの字型のウェーハ支持体を含み、各ブランチが、筐体部分背面に固着される第1の端部と、そこから片持ち梁状に支えられる第2の対向端部とをもち、各ブランチが、第2端部に近接する前部ウェーハ係合部分を含み、ウェーハ制止システムがさらに、ドアが筐体部分と係合する場合にブランチの第2端部を内部に向けて係合・推進するよう配置されるアクチュエータを含む容器。
- 請求項11の容器であって、アクチュエータが、筐体部分と作動可能に結合されるガイドと、このガイド内に滑動可能に配設されるピストンとを備えるところの容器。
- 請求項12の容器であって、ピストンが、ドアと係合可能になるよう配設されるヘッド部分を含むとともに、アクチュエータがさらに、ガイドに向けてヘッド部分の付勢力抵抗運動を行うよう配設される戻りバネを備えるところの容器。
- 請求項13の容器であって、ピストンが、ヘッドに対向する楔状ウェーハ支持係合部分を含むところの容器。
- 請求項11の容器であって、アクチュエータがドア上に突起をもつところの容器。
- 請求項10の容器であって、操作可能ウェーハ制止手段が、筐体部分と枢軸的に結合されるアームを備えるところの容器。
- 請求項16の容器であって、アームが、ドア接触部分を備える第1端部と、ウェーハ接触部分を備える第2の対向端部とを含むところの容器。
- 請求項16の容器であって、さらに、アームを第1位置に向けて付勢するため、筐体部分とアームとの間で作動可能に結合されるバネを備えるところの容器。
- 複数のウェーハと、同一軸線上にあり、ほぼ平行に離間した配置でこれらのウェーハを保持するための容器との組み合わせであって、この容器が、
上面、底面、1対の対向面、背面、ドアフレームにより規定される対向開口前部を有する筐体部と、
開口前部を閉止するため、ドアフレームにおいて封止的に係合可能なドアと、
複数の固定ウェーハ制止部分と、複数の対応する操作可能ウェーハ制止部分とを備える筐体内におけるウェーハ制止システムであって、操作可能ウェーハ制止部分は、ウェーハが容器に対して挿入・除去できるよう操作可能ウェーハ制止部分が位置決めされる第1位置と、ウェーハが固定ウェーハ制止部で受入れられる場合に操作可能ウェーハ制止部分がウェーハと係合・制止する第2位置との間でドアに対して選択的に移動可能なウェーハ制止システムと
を備える組み合わせ。 - 請求項19の組み合わせであって、ウェーハ制止システムが、1対の対向ブランチを有する、複数のほぼコの字型のウェーハ支持体を備え、各ブランチが、筐体部分背面に固着される第1の端部と、そこから片持ち梁状に支えられる第2の対向端部とをもち、各ブランチが、第2端部に近接する前部ウェーハ係合部分を含み、ウェーハ制止システムがさらに、ドアが筐体部分と係合する場合にブランチの第2端部を内部に向けて係合・推進するよ
う配置される各ブランチに対するアクチュエータを含む組み合わせ。 - 請求項20の組み合わせであって、各アクチュエータが、筐体部分と作動可能に結合されるガイドと、このガイド内に滑動可能に配設されるピストンとを備えるところの組み合わせ。
- 請求項21の組み合わせであって、各ピストンが、ドアと係合可能になるよう配設されるヘッド部分を含むとともに、各アクチュエータがさらに、ガイドに向けてヘッド部分の付勢力抵抗運動を行うよう配設される戻りバネを備えるところの組み合わせ。
- 請求項22の組み合わせであって、ピストンが、ヘッドに対向する楔状ウェーハ支持係合部分を含むところの組み合わせ。
- 請求項20の組み合わせであって、各アクチュエータがドア上に突起をもつところの組み合わせ。
- 請求項19の組み合わせであって、操作可能ウェーハ制止部分が、筐体部分と枢軸的に結合されるアームを備えるところの組み合わせ。
- 請求項25の組み合わせであって、各アームが、ドア接触部分を備える第1端部と、ウェーハ接触部分を備える第2の対向端部とを含むところの組み合わせ。
- 請求項26の組み合わせであって、さらに、複数のバネを備え、各バネが、アームを第1位置に向けて付勢するため、筐体部分と、1個の別個のアームとの間で作動可能に結合される組み合わせ。
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