KR20240031061A - 반송 시스템, 리소그래피 장치 및 물품의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
복수의 물체 중 격납 용기 내에 있는 물체의 위치에 관한 제1 정보를 기억하는 기억부와, 상기 복수의 물체 중 상기 격납 용기 외에 있는 제1 물체를 상기 격납 용기 내로 반송하는 핸드의 구동에 관한 정보에 기초하여, 상기 격납 용기 내에 있어서의 상기 제1 물체의 위치에 관한 제2 정보를 생성하는 정보 생성부와, 상기 제2 정보에 기초하여 상기 제1 정보를 갱신하는 정보 갱신부를 구비한다.
Description
본 발명은, 반송 시스템, 리소그래피 장치 및 물품의 제조 방법에 관한 것이다.
반도체 디바이스나 액정 표시 디바이스 등의 제조 공정에 있어서, 패턴이 형성된 복수 종류의 원판(물체)이 격납된 격납 용기로부터, 노광 처리에 사용하는 소정의 원판을 반송하는 반송 시스템이 사용된다. 이러한 반송 시스템에 있어서는, 제어부가 격납 용기 내에 있어서의 원판의 정보를 파악할 필요가 있다.
따라서, 일본 특허 공개 평10-154646호에는 센서를 사용하여 격납 용기 내에 있어서의 원판의 유무, 위치, 종류의 판정을 행하는 방법이 개시되어 있다.
그러나, 센서를 사용하여 원판의 유무, 위치, 종류를 판정하는 방법에서는, 예를 들어 원판의 유무, 위치를 판정하기 위한 센서와 원판의 종류를 판정하기 위한 센서가 각각 필요해져, 장치가 복잡화된다.
본 발명은, 장치의 단순화에 유리한 반송 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일측면으로서의 반송 시스템은, 복수의 물체 중 격납 용기 내에 있는 물체의 위치에 관한 제1 정보를 기억하는 기억부와, 상기 복수의 물체 중 상기 격납 용기 외에 있는 제1 물체를 상기 격납 용기 내로 반송하는 핸드의 구동에 관한 정보에 기초하여, 상기 격납 용기 내에 있어서의 상기 제1 물체의 위치에 관한 제2 정보를 생성하는 정보 생성부와, 상기 제2 정보에 기초하여 상기 제1 정보를 갱신하는 정보 갱신부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 추가 특징들은 이하의 예시적인 실시 형태들에 대한 설명으로부터 명백해질 것이다.
본 발명에 따르면, 장치의 단순화에 유리한 반송 시스템을 제공할 수 있다.
도 1은 제1 실시 형태에 있어서의 기판 처리 장치의 구성을 나타내는 개략도이다.
도 2는 제1 실시 형태에 있어서의 노광부의 구성을 나타내는 도면이다.
도 3은 제1 실시 형태에 있어서의 격납 용기의 구성을 나타내는 도면이다.
도 4는 제1 실시 형태에 있어서의 격납 용기로부터 반송부가 트레이, 원판, 커버를 반출하는 예이다.
도 5는 제1 실시 형태에 있어서의 핸드의 구동 이력의 예이다.
도 6은 제1 실시 형태에 있어서의 제1 기억부가 기억하고 있는 정보를 갱신하는 흐름도이다.
도 7은 제2 실시 형태에 있어서의 물품의 제조 방법의 흐름도이다.
도 2는 제1 실시 형태에 있어서의 노광부의 구성을 나타내는 도면이다.
도 3은 제1 실시 형태에 있어서의 격납 용기의 구성을 나타내는 도면이다.
도 4는 제1 실시 형태에 있어서의 격납 용기로부터 반송부가 트레이, 원판, 커버를 반출하는 예이다.
도 5는 제1 실시 형태에 있어서의 핸드의 구동 이력의 예이다.
도 6은 제1 실시 형태에 있어서의 제1 기억부가 기억하고 있는 정보를 갱신하는 흐름도이다.
도 7은 제2 실시 형태에 있어서의 물품의 제조 방법의 흐름도이다.
이하에, 본 발명의 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다. 또한, 이하의 실시 형태는 특허 청구의 범위에 관한 발명을 한정하는 것은 아니다. 실시 형태에는 복수의 특징이 기재되어 있지만, 이들 복수의 특징 모두가 발명에 필수적인 것은 아니고, 또한 복수의 특징은 임의로 조합되어도 된다. 또한, 도면에 있어서는, 동일 혹은 마찬가지의 구성에 동일한 참조 번호를 붙이고, 중복된 설명은 생략한다.
또한, 본 명세서 및 도면에서는, 기본적으로, 연직 방향을 Z축으로 하고, 연직 방향에 대하여 수직인 수평면을 XY 평면으로 하는, 각 축이 서로 직교하는 XYZ 좌표계에 의해 방향이 나타나 있다. 단, 각 도면에 기재된 XYZ 좌표계가 있는 경우는 그 좌표계를 우선한다.
이하, 각 실시 형태에 있어서, 구체적인 구성을 설명한다.
<제1 실시 형태>
도 1은, 본 실시 형태에 있어서의 기판 처리 장치(100)의 구성을 나타내는 개략도이다. 기판 처리 장치(100)는, 본 실시 형태에서는, 원판(마스크, 레티클)의 패턴을, 투영 광학계를 통해 기판에 노광하는 투영 노광 장치이다. 단, 기판 처리 장치(100)는, 노광 장치에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 기판 처리 장치(100)는, 전자선이나 이온빔 등에 의해 기판에 묘화를 행하여, 패턴을 기판에 형성하는 묘화 장치여도 된다. 또한, 기판 처리 장치(100)는, 다른 리소그래피 장치, 예를 들어 기판 상의 임프린트재를 형에 의해 성형하여 패턴을 기판 상에 형성하는 임프린트 장치여도 된다. 혹은, 기판 처리 장치(100)는, 이온 주입 장치, 현상 장치, 에칭 장치, 성막 장치, 어닐 장치, 스퍼터링 장치, 증착 장치 등, 반도체 웨이퍼나 유리 플레이트 등의 기판을 처리하는 다른 장치여도 된다. 또한, 기판 처리 장치(100)는, 평탄한 판을 사용하여 기판 상의 조성물을 평탄화하는 평탄화 장치여도 된다.
기판 처리 장치(100)는, 반송 장치(10)와 노광 장치(20)로 구성된다. 반송 장치(10)는, 원판이 격납되어 있는 격납 용기(11)와, 격납 용기(11)에 대하여 원판의 반입출을 행하여, 노광 장치(20)와의 사이에서 원판을 반송하는 반송부(12)와, 반송 장치(10)를 제어하는 제2 제어부(13)와, 조작부(17)와, 제2 기억부(29)와, 제2 송신부(30)를 갖는다. 반송부(12)는 반송물을 보유 지지하기 위한 핸드(12a)를 구비한다. 격납 용기(11)는 복수의 원판(복수의 물체)을 격납 가능한 용기이고, 내부의 원판의 유무, 위치를 검출 가능한 센서(35)를 갖는다. 조작부(17)는, 반송부(12)를 유저가 매뉴얼 조작할 때 사용한다. 제2 기억부(29)는 유저가 조작부(17)에 의해 매뉴얼 조작을 행했을 때의 정보를 기억한다. 제2 송신부(30)는, 제2 기억부(29)가 기억한 정보를 제1 제어부(21)로 송신한다.
노광 장치(20)는, 제1 제어부(21)와, 노광부(22)와, 제1 기억부(32)와, 제1 송신부(33)를 갖는다. 제1 제어부(21)는, 노광부(22)에서 사용하는 소정의 원판을 반송하도록, 제2 제어부(13)에 핸드(12a)로의 반송 지시를 통지한다. 제1 기억부(32)는 노광 장치(20)에 관한 정보 및 격납 용기(11) 내에 격납된 원판의 유무, 위치, 종류를 기억하고 있다. 또한, 반송 장치(10)는 반송 시스템용 전원(14)과, 노광 장치(20)는 노광 장치용 전원(31)과 접속되어 있고, 각각 별도의 전원으로부터 전력을 얻고 있다.
여기서, 본 실시 형태에 있어서의 제1 제어부(21)는, 정보 생성부(21a)와, 정보 갱신부(21b)와, 판정부(21c)를 갖는다. 정보 생성부(21a)는 원판을 격납 용기(11) 내로 반송할 때의 핸드(12a)의 구동에 관한 정보에 기초하여 격납 용기(11) 내에 있어서의 반송한 원판의 위치에 관한 정보를 생성한다. 정보 갱신부(21b)는 정보 생성부가 생성한 정보에 기초하여 제1 기억부(32)에 기억된 격납 용기(11) 내에 격납된 원판의 유무, 위치, 종류에 관한 정보를 갱신한다. 판정부(21c)는 격납 용기(11) 내에 있는 원판의 위치를 검출하는 센서의 검출 결과와 정보 갱신부(21b)가 갱신한 정보의 비교에 의한 판정을 행한다. 또한, 본 실시 형태에서는 제1 제어부(21)가 정보 생성부(21a)와, 정보 갱신부(21b)와, 판정부(21c)를 갖는 예를 나타냈지만, 이것들은 동일한 제어부에 마련되지 않아도 된다. 예를 들어, 정보 생성부(21a)와, 정보 갱신부(21b)와, 판정부(21c)는 각각 독립적으로 구성되어도 되고, 정보 생성부(21a)와, 정보 갱신부(21b)와, 판정부(21c) 중 적어도 2개 이상은 동일한 제어부에 포함되도록 구성되어도 된다. 정보 생성부(21a)와, 정보 갱신부(21b)와, 판정부(21c)의 각각의 구체적인 동작은 후술한다.
도 2는, 본 실시 형태에 있어서의 노광부(22)의 구성을 나타내는 도면이다. 노광부(22)는, 광을 조사하는 광 조사부인 조명 광학계(23)와, 원판(24)을 보유 지지하는 원판 스테이지(25)와, 투영 광학계(26)와, 기판(27)을 보유 지지하면서 XY방향으로 이동 가능한 스테이지(28)를 갖는다. 원판(24)은, 예를 들어 석영 유리의 표면에 전사되어야 할 패턴(예를 들어, 회로 패턴)이 크롬으로 형성되어 있는 원판이다. 또한, 기판(27)은, 예를 들어 단결정 실리콘이고, 기판 처리 장치(100)가 노광 장치인 경우에 있어서 기판 처리 장치(100)로 반송되는 기판(27)은, 표면 상에 감광성 재료(레지스트)가 도포되어 있다.
노광부(22)에 있어서, 광원(도시하지 않음)으로부터의 노광광은, 조명 광학계(23)를 통해, 원판 스테이지(25)에 보유 지지된 소정의 원판을 조명한다. 원판(24)을 투과한 광은, 투영 광학계(26)를 통해, 기판(27)에 조사된다. 이때, 원판(24)에 형성된 패턴이 기판(27) 표면에 결상된다. 기판 처리 장치(100)는 이렇게 기판(27) 상의 샷 영역을 노광하고, 복수의 샷 영역의 각각에 대하여 마찬가지로 노광을 행한다.
도 3은, 본 실시 형태에 있어서의 격납 용기(11)의 구성을 나타내는 도면이다. 격납 용기(11)는 복수의 원판(24)을 격납(적재)하기 위한 수용부(18)를 복수 갖고, 각각 수용부(18a), 수용부(18b), 수용부(18c), 수용부(18d)로 한다. 수용부(18)는 원판(24)을 수평하게 보유 지지할 수 있도록 격납 용기(11) 내의 벽면에 대칭이 되도록 설치되어 있다. 그리고, 수용부(18)는 각각 위치 정렬 코마(19)을 구비한다. 원판(24)은 격납 용기(11)에 격납될 때, 트레이(15) 상에 적재된다. 그리고, 원판(24) 상에 이물이 부착되지 않도록 원판(24) 상을 덮도록 커버(16)가 적재된다. 트레이(15)에는 위치 정렬 코마(19)의 위치에 대응한 위치에 구멍이 형성되고, 구멍의 위치와 위치 정렬 코마(19)의 위치가 맞도록 트레이(15)를 적재함으로써, 소정의 위치에 트레이(15), 원판(24), 커버(16)를 격납할 수 있다. 또한, 본 실시 형태에서는 수용부(18)를 2세트 구비하고, 원판을 2매 격납 가능한 격납 용기(11)의 예를 나타냈지만, 격납 용기(11)의 격납 가능 매수 및 구성은 도 3의 예에 한정되지 않는다.
도 4는 본 실시 형태에 있어서의 반송부(12)가 격납 용기(11)로부터 트레이(15), 원판(24), 커버(16)를 반출하는 예이다. 예를 들어, 수용부(18a)와 수용부(18b)에 적재되어 있는 원판(24)을 취득하는 경우에, 핸드(12a)는 연직 방향에 있어서 수용부(18a), 수용부(18b)의 하측이고 또한 수용부(18c), 수용부(18d)의 상측의 위치에 +Z방향으로 상승 이동한다. 그 후 +Y방향으로 이동함으로써 트레이(15)의 하측으로 이동한다. 그리고 또한 +Z방향으로 상승 이동하여, 트레이(15), 원판(24), 커버(16)를 취득한다. 취득 후에, 상승 이동을 정지하고, -Y방향으로 이동함으로써 격납 용기(11)로부터 트레이(15), 원판(24), 커버(16)를 반출한다.
또한, 트레이(15), 원판(24), 커버(16)를 반입할 때는 반출 시와 역의 순서로 역의 방향으로 핸드(12a)를 이동시킨다.
여기서, 일반적으로, 격납 용기(11) 내의 원판의 유무, 위치, 종류를 판정하는 방법으로서, 센서를 사용하는 방법이 있다. 그러나, 센서를 사용하여 원판의 유무, 위치, 종류의 판정을 행하는 방법에서는, 예를 들어 광의 반사에 의해 원판의 유무와 위치를 검출하는 센서와 원판의 종류를 판정하는 바코드 리더와 같은 센서가 각각 필요해져, 장치가 복잡화될 가능성이 있다.
또한, 예를 들어 노광 장치(20)가 어떤 에러에 의해 정지했을 때, 제1 제어부(21)로부터 제2 제어부(13)로의 명령이 정지하는 경우가 있다. 핸드(12a)의 원판(24)을 포함하는 반송물의 반송을 긴급 정지하면, 핸드(12a)가 불안정한 자세로 정지하는 경우가 있고, 이러한 경우에 반송물이 낙하할 가능성이 있다. 이러한 사태를 방지하기 위해, 유저가 매뉴얼 조작에 의해 반송 도중에 정지하고 있는 핸드(12a)를 조작부(17)로부터 조작하여, 격납 용기(11)로 반송 도중의 반송물을 반송하는 경우가 있다. 유저가 매뉴얼 조작에 의해 격납 용기(11)로의 반송을 조작한 경우에, 격납하는 위치가 잘못될 가능성이 있다. 또한, 매뉴얼 조작 시는 통상의 동작 외이기 때문에, 센서에 의한 원판의 유무, 위치, 종류의 판정을 행하지 않는 것이 일반적이다.
매뉴얼 조작 시에 있어서 유저가 격납하는 위치가 잘못된 경우에, 노광 장치(20)가 통상 동작 가능한 상태로 복구되어 통상 동작을 행했을 때, 이하의 에러가 발생할 가능성이 있다. 예를 들어, 제1 기억부(32)가 원하는 원판이 있다고 기억하고 있는 위치에 대하여, 핸드(12a)가 반출을 위한 동작을 행하였다고 하자. 이 경우에, 유저가 격납하는 위치를 잘못 알고 있으면, 제1 제어부(21)는 원판을 취득할 수 없기 때문에 에러 발생이라고 인식한다. 혹은, 원판을 격납 용기(11)에 반입할 때, 제1 기억부(32)가 아무것도 적재되어 있지 않다고 기억하고 있는 위치에 대하여, 핸드(12a)가 반입을 위한 동작을 행하였다고 하자. 이 경우에, 유저가 격납하는 위치가 잘못되어, 다른 위치에 반입을 행해야 할 원판을, 앞으로 원판을 반입하고자 하는 위치에 반입하고 있으면, 이미 반입된 원판과 핸드(12a)가 간섭하여, 제1 제어부(21)는 에러 발생이라고 인식한다. 제1 제어부(21)가 이러한 에러 발생을 인식한 경우에, 노광 장치(20)가 복구되어 있다고 해도 기판 처리 장치(100)의 노광 처리를 정지시키게 되어, 단위 시간당의 처리 매수를 감소시켜 생산성을 저하시킨다.
따라서, 본 실시 형태에서는, 제1 제어부(21)(정보 생성부(21a))가 핸드(12a)의 구동 이력(구동에 관한 정보)에 기초하여 매뉴얼 조작에 의해 반송한 원판(24)의 위치, 종류에 관한 정보(제2 정보)를 생성한다. 그리고, 제1 제어부(21)(정보 생성부(21a))가 생성한 제2 정보에 기초하여, 제1 제어부(21)(정보 갱신부(21b))는 제1 기억부(32)에 원래 기억된 격납 용기(11) 내의 각 위치에 있어서의 원판의 유무, 위치, 종류에 관한 정보(제1 정보)를 갱신한다.
제1 제어부(21)(정보 생성부(21a))는, 제2 송신부(30)로부터 송신된 매뉴얼 조작 시의 핸드(12a)의 구동 이력(구동에 관한 정보)과, 핸드(12a)로의 반송 지시 이력에 기초하여, 매뉴얼 조작 시에 반송한 원판(24)의 정보(제2 정보)를 생성한다. 제2 정보 중 원판의 위치에 관한 정보는 매뉴얼 조작 시에 핸드(12a)의 구동에 관한 정보에 기초하여 생성된다. 구체적으로는 제1 제어부(21)(정보 생성부(21a))는, 제1 기억부(32)에 기억된 수용부(18)의 좌표 정보, 미리 취득한 각 수용부(18)에 대하여 핸드(12a)가 반송물을 반입출할 때의 구동 정보, 매뉴얼 조작 시의 핸드(12a)의 구동 이력을 사용한다. 그리고, 이들 정보를 사용하여 제1 제어부(21)(정보 생성부(21a))는, 매뉴얼 조작에 의해 반송한 원판(24)의 위치에 관한 제2 정보를 생성한다. 여기서, 미리 취득한 각 수용부(18)에 대하여 핸드(12a)가 반송물을 반입출할 때의 구동 정보와 매뉴얼 조작 시의 핸드(12a)의 구동 이력은 핸드(12a)의 좌표 변화 정보이다.
도 5는, 본 실시 형태에 있어서의 핸드(12a)의 구동 이력의 예이다. 도 5의 (a)는 Y방향에 있어서의 핸드(12a)의 구동 이력의 예이다. 종축은 Y방향 좌표를 나타내고, 횡축은 시간을 나타낸다. 또한, 점선은 격납 용기(11)의 -Y방향측의 단부면에 있어서의 좌표를 나타낸다. 그리고, 실선은 매뉴얼 조작 시의 핸드(12a)의 Y축 방향에 있어서의 좌표 변화 정보이고, 일점 쇄선은 미리 취득한 수용부(18a), 수용부(18b)에 물체를 반입할 때의 핸드(12a)의 Y축 방향에 있어서의 좌표 변화 정보이다.
도 5의 (b)는 Z방향에 있어서의 핸드(12a)의 구동 이력의 예이다. 종축은 Z방향 좌표를 나타내고, 횡축은 시간을 나타낸다. 또한, 2개의 점선은 수용부(18a), 수용부(18b)의 물체를 적재하는 면의 Z축 방향에 있어서의 좌표와, 수용부(18c), 수용부(18d)의 물체를 적재하는 면의 Z축 방향에 있어서의 좌표를 각각 나타낸다. 그리고, 실선은 매뉴얼 조작 시의 핸드(12a)의 Z축 방향에 있어서의 좌표 변화 정보이고, 일점 쇄선은 미리 취득한 수용부(18a), 수용부(18b)에 물체를 반입할 때의 핸드(12a)의 Z축 방향에 있어서의 좌표 변화 정보이다.
미리 취득한 좌표 변화 정보에서는, 핸드(12a)는 시간 t0부터 시간 t1에 있어서, 격납 용기(11) 단부면의 -Y방향측으로부터 격납 용기(11) 단부면보다도 더 +Y측, 즉 격납 용기(11) 내로 이동하고, Z방향으로는 이동하고 있지 않다. 핸드(12a)는 시간 t1부터 시간 t2에 있어서, Y방향으로는 이동하지 않고, -Z방향으로 이동하고 있다. 그리고, 시간 t2 후에는 격납 용기(11) 단부면의 +Y방향측으로부터 격납 용기(11) 단부면보다도 더 -Y측, 즉 격납 용기 외로 이동하고, Z방향으로는 이동하고 있지 않다.
매뉴얼 조작 시의 좌표 변화 정보에서는, 핸드(12a)는 시간 t0부터 시간 t3에 있어서, 격납 용기(11) 단부면의 -Y방향측으로부터 격납 용기(11) 단부면보다도 더 +Y측, 즉 격납 용기(11) 내로 이동하고, Z방향으로는 이동하고 있지 않다. 핸드(12a)는 시간 t3부터 시간 t4에 있어서, Y방향으로는 이동하지 않고, -Z방향으로 이동하고 있다. 그리고, 시간 t4 후에는 격납 용기(11) 단부면의 +Y방향측으로부터 격납 용기(11) 단부면보다도 더 -Y측, 즉 격납 용기(11) 외로 이동하고, Z방향으로는 이동하고 있지 않다.
따라서 도 5의 예에 있어서의, 매뉴얼 조작 시의 좌표 변화 정보와 미리 취득한 좌표 변화 정보는, 타이밍이나 좌표 변화량은 약간 다르지만, 핸드(12a)의 구동의 경향은 동일하다. 즉, 매뉴얼 조작 시에 있어서, 핸드(12a)는 미리 취득한 좌표 변화 정보를 취득했을 때와 동일한 동작인, 수용부(18a), 수용부(18b)에 물체를 반입하는 동작을 실시한 것을 알 수 있다. 이에 의해, 매뉴얼 조작 시의 동작에 의해 수용부(18a), 수용부(18b)에는 원판(24)을 포함하는 반송물이 적재되어 있는 것을 알 수 있다.
제1 제어부(21)(정보 갱신부(21b))에 의해 제1 기억부(32)의 격납 용기(11) 내의 원판의 유무, 위치, 종류에 관한 정보가 갱신된 후에, 제1 제어부(21)(판정부(21c))는 제1 제어부(21)(정보 생성부(21a))가 생성한 제2 정보의 정오의 판정을 행한다. 구체적으로는, 제1 제어부(21)(판정부(21c))는 센서(35)에 의해 원판(24)(트레이(15))의 유무, 위치를 검출한 검출 결과와 제1 제어부(21)(정보 갱신부(21b))에 의해 갱신한 제1 기억부(32)의 정보의 비교를 행한다. 비교의 결과, 제1 제어부(21)(정보 갱신부(21b))에 의해 갱신한 제1 기억부(32)의 정보와, 센서(35)가 검출한 원판의 유무, 위치의 검출 결과가 일치하고 있으면 갱신한 데이터는 이상 없음이라고 판정된다. 한편, 일치하고 있지 않으면 갱신한 데이터는 이상 있음이라고 판정된다. 이 경우, 유저가 격납 용기(11) 내의 원판의 유무, 위치, 종류를 확인하고, 제1 기억부(32)의 정보를 수동으로 갱신하는 것이 바람직하다.
제1 송신부(33)는, 제1 제어부(21)(판정부(21c))가 판정한 정오의 판정의 결과를 표시부(도시하지 않음)에 표시하기 위한 표시 정보를 표시 제어부(도시하지 않음)로 송신하고, 표시 제어부는 송신된 정보를 표시부에 표시하도록 제어한다. 유저는 표시부의 표시를 확인함으로써, 매뉴얼 조작 후에 자동 갱신된 격납 용기(11) 내의 원판의 정보의 정오를 인식할 수 있고, 정오의 결과에 따라 제1 기억부(32)의 정보를 수동으로 갱신한다.
그리고, 제1 제어부(21)(정보 생성부(21a))는 매뉴얼 조작 시에 반송한 원판(24)의 종류도 판정할 수 있고, 이 원판(24)의 종류에 관한 정보도 제2 정보에 포함된다.
정보 생성부(21a)는 노광 장치(20)의 에러 발생 전에 제2 제어부(13)에 통지한 지시(핸드(12a)로의 반송 지시 이력)와 핸드(12a)의 구동 이력에 기초하여, 매뉴얼 조작을 행한 원판의 종류를 판정한다. 예를 들어, 에러 발생 전에 마지막으로 통지한 지시가 제1 원판(24a)을 노광 장치(20)로 반송하는 지시였다고 하자. 이 경우에, 먼저 제1 제어부(21)(정보 생성부(21a))는 매뉴얼 조작을 실시한 이력이 있는지 여부를 판정한다. 매뉴얼 조작을 실시하고 있지 않으면 핸드(12a)의 구동 이력에 기초하는 격납 용기(11) 내에 있어서의 원판의 판정을 행할 필요가 없다. 매뉴얼 조작을 실시하고 있으면, 반송부(12)가 에러 발생 전에 제1 원판(24a)의 반송을 개시했는지 여부를 판정한다. 개시하고 있고, 매뉴얼 조작 시에 원판의 격납 용기(11)로의 반입이 행해지고 있던 경우는, 매뉴얼 조작 시에 격납 용기(11)로 반입된 원판은 제1 원판(24a)인 것을 알 수 있다. 제1 원판(24a)의 반송을 개시하고 있지 않으면, 제1 원판(24a)의 반송 지시의 하나 앞에 통지한, 제2 원판(24b)을 격납 용기(11)에 반입하는 지시에 대한 핸드(12a)의 구동 이력을 확인하여, 에러 발생 전에 제2 원판(24b)의 반송을 개시했는지 여부를 판정한다. 제2 원판(24b)의 반송을 개시하고 있고, 매뉴얼 조작 시에 원판의 격납 용기(11)로의 반입이 행해지고 있던 경우는, 매뉴얼 조작에 의해 격납 용기(11)에 반입된 원판은 제2 원판(24b)인 것을 알 수 있다. 제2 원판(24b)의 반송을 개시하고 있지 않으면 하나 더 앞에 지시를 행한 원판에 대하여 조사한다. 이 제1 제어부(21)(정보 생성부(21a))의 매뉴얼 조작에 의해 반송한 원판의 위치, 종류의 판정 및 제2 정보의 생성은, 노광 장치(20)의 에러 종료 후, 또는 노광 장치(20)의 가동 재개 시에 행해진다.
제1 제어부(21)(정보 갱신부(21b))는, 원판의 종류의 판정의 결과(종류에 관한 제2 정보)와, 전술한 핸드(12a)의 구동 이력에 기초하는 원판의 위치의 판정 결과(위치에 관한 제2 정보)를 관련짓는다. 그리고, 제1 제어부(21)(정보 갱신부(21b))는, 관련지은 제2 정보에 기초하여 제1 기억부(32)가 기억하고 있는 격납 용기(11) 내의 원판의 유무, 위치, 종류에 관한 정보(제1 정보)를 갱신한다.
또한, 본 실시 형태에서는 에러 발생 시에 매뉴얼 조작의 실시를 한 경우에 대하여 설명했지만, 제1 제어부(21)(정보 갱신부(21b))가 제1 기억부(32) 내에 기억된 격납 용기(11) 내의 원판의 정보를 갱신하기 전에 노광 장치(20)의 전원을 오프한 경우에 적용해도 된다.
도 6은 본 실시 형태에 있어서의 제1 기억부(32)가 기억하고 있는 정보를 갱신하는 흐름도이다. 먼저, 제1 제어부(21)는, 반송이 완료되어 있지 않은 원판(제1 물체)이 있는지 여부를 판정한다(S210). 반송이 완료되어 있지 않은 원판이란, 예를 들어 매뉴얼 조작이 행해져 있지 않거나, 반송이 완료되기 전에 중단되었기 때문에, 격납 용기(11) 내에 격납되어 있지 않고 반송 장치(10) 내에 있는 원판이다. 이것은, 예를 들어 핸드(12a)에 보유 지지되어 있는 상태의 원판이다. 스텝 S210에서, 반송이 완료되어 있지 않은 원판이 있는 경우는, 제1 제어부(21)는, 매뉴얼 조작 실행에 관한 통지를 행한다(S220). 스텝 S220의 통지는, 예를 들어 화면 표시 또는 경보음 등에 의해 유저에게 매뉴얼 조작을 실행하도록 통지한다. 그리고, 스텝 S210으로 복귀된다. 스텝 S210에서, 반송이 완료되어 있지 않은 원판이 없다고 판정된 경우는, 제1 제어부(21)(정보 생성부(21a))는 매뉴얼 조작을 실시했는지 여부를 판정한다(S230). 여기서, 본 실시 형태에 있어서의 매뉴얼 조작은, 핸드(12a)가 원판(제1 물체)을 반송하는 동작을 행하기 위한 조작이고, 매뉴얼 조작은 반송 공정이다. 매뉴얼 조작을 실시하고 있지 않으면 종료한다. 매뉴얼 조작을 실시하고 있으면, 제1 제어부(21)(정보 생성부(21a))가 매뉴얼 조작 시의 구동 이력을 사용하여, 매뉴얼 조작 시에 반송한 원판의 위치에 관한 정보(위치에 관한 제2 정보)를 생성한다(S240). 본 실시 형태에서는, 스텝 S210에서, 반송이 완료되어 있지 않은 원판이 없다고 판정된 경우에 제2 정보의 생성을 행하기 위해, 제2 정보의 생성은 복수의 물체(복수의 원판)가 격납 용기(11)로 반송된 상태에 있어서 행해진다.
이어서, 제1 제어부(21)(정보 생성부(21a))는 매뉴얼 조작 시에 반송한 원판의 종류를 판정한다. 제1 제어부(21)(정보 생성부(21a))는 마지막으로 반송의 지시를 한 원판의 반송을 개시했는지 여부를 판정한다(S250). 개시하고 있으면, 제1 제어부(21)(정보 생성부(21a))는, 매뉴얼 조작에 의해 반송한 원판은 마지막으로 반송을 지시한 원판이라고 판정하고, 종류에 관한 정보를 생성한다(S260). 스텝 S250에서 마지막으로 반송의 지시를 한 원판의 반송을 개시하고 있지 않은 경우, 제1 제어부(21)(정보 생성부(21a))는 하나 앞에 반송의 지시를 한 원판의 반송을 개시했는지 여부를 판정한다(S270). 스텝 S270에서 개시하고 있으면, 제1 제어부(21)(정보 생성부(21a))는 매뉴얼 조작에 의해 반송한 원판은 스텝 S270에서 판정한 원판이라고 판정하고, 종류에 관한 정보를 생성한다(S280). 스텝 S270에서 개시하고 있지 않으면, 다시 스텝 S270을 행하고, 하나 더 앞에 반송의 지시를 한 원판에 대하여 판정을 행한다. 이상의 스텝 S250 내지 280의 공정에 의해 제1 제어부(21)(정보 생성부(21a))는, 매뉴얼 조작 시에 반송한 원판의 종류를 판정하고, 원판의 종류에 관한 정보(종류에 관한 제2 정보)를 생성한다. 또한, 이 스텝 S240 내지 280은 정보 생성 공정이다.
제1 제어부(21)(정보 갱신부(21b))는, 생성한 원판의 위치에 관한 제2 정보와 종류에 관한 제2 정보를 관련짓는다. 그리고, 관련지은 제2 정보에 기초하여, 제1 기억부(32)에 원래 기억되어 있던 격납 용기(11) 내의 원판의 유무, 위치, 종류에 관한 정보(제1 정보)를 갱신한다(S290, 정보 갱신 공정). 그 후, 제1 제어부(21)(판정부(21c))는 센서(35)에 의해 검출한 결과와 갱신한 제1 기억부(32)의 원판의 유무, 위치의 정보는 일치하는지 여부를 판정한다(S300, 판정 공정). 여기서, 스텝 S300에 있어서 전술한 바와 같이 판정부(21c)는, 제1 제어부(21)(정보 갱신부(21b))가 갱신한 정보에 대하여 판정한다. 일치하면 이상 없음이라고 판정하고(S310), 종료한다. 일치하지 않으면 스텝 S290에서 갱신한 정보에 오류가 있기 때문에 이상 있음이라고 판정하고(S320), 유저에게 이상 개소의 확인을 재촉하기 위해 에러를 통지하고(S330), 종료한다.
여기서, 본 실시 형태에서는 핸드(12a)의 구동 이력(구동에 관한 정보)으로서 좌표 변화 정보를 사용하여, 매뉴얼 조작에 의해 반송한 원판(24)의 위치를 판정하고, 핸드(12a)로의 반송 지시와 좌표 변화 정보에 기초하여 원판(24)의 종류를 판정하는 예를 나타냈다. 그러나, 핸드(12a)의 구동 이력(구동에 관한 정보)으로서 핸드(12a)의 토크 정보를 사용하여, 매뉴얼 조작에 의해 반송한 원판(24)의 위치, 종류에 대하여 판정해도 된다.
이 경우, 제1 제어부(21)(정보 생성부(21a))는 이 토크 정보에 기초하여 매뉴얼 조작에 의해 반송한 원판(24)의 위치, 종류에 관한 정보(제2 정보)를 생성한다. 구체적으로는, 제1 기억부(32)는 미리 각 수용부(18)에 물체를 반입할 때의 각 축에 있어서의 토크 정보를 기억한다. 미리 제1 기억부(32)에 토크 정보를 기억시킬 때는, 격납 용기(11)에 격납될 수 있는 원판(24)의 각각에 대하여 실시한다. 그리고, 제1 제어부(21)는 매뉴얼 조작에 있어서의 반송부(12)의 각 축을 구동시키는 모터의 토크 정보를 취득하여, 제1 기억부(32)에 기억시킨다. 여기서, 토크 정보는, 반송하는 원판(24)의 중량에 따라 다르기 때문에, 원판(24)의 종류가 바뀜으로써 토크 정보도 바뀐다. 본 실시 형태의 제1 제어부(21)(정보 생성부(21a))는 미리 취득한 토크 정보에 기초하여 원판(24)의 종류를 판정하고, 종류에 관한 제2 정보를 생성한다.
또한, 토크 정보는 매뉴얼 조작 시의 핸드(12a)의 이동 이력(좌표 이력)이기도 하다. 따라서, 제1 제어부(21)(정보 생성부(21a))는 미리 각 수용부(18)에 물체를 반입할 때의 각 축에 있어서의 토크 정보와 매뉴얼 조작에 있어서의 토크 정보를 사용함으로써 원판(24)의 위치를 판정하고, 위치에 관한 제2 정보를 생성한다. 그리고, 제1 제어부(21)(정보 갱신부(21b))는, 제1 제어부(21)(정보 생성부(21a))가 토크 정보에 기초하여 생성한 위치에 관한 제2 정보와 종류에 관한 제2 정보를 관련짓는다. 그 후, 관련지은 제2 정보에 기초하여, 제1 기억부(32)에 원래 기억되어 있던 격납 용기(11) 내의 원판의 유무, 위치, 종류에 관한 정보(제1 정보)를 갱신한다.
본 실시 형태에 따르면, 종류를 판정하기 위한 센서를 구비하지 않아도, 격납 용기 내의 원판의 유무, 위치, 종류를 판정할 수 있고, 장치를 단순화할 수 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 과거의 핸드(12a)로의 반송 지시 이력과 매뉴얼 조작 시에 있어서의 핸드(12a)의 구동 이력에 기초하여 격납 용기(11) 내의 원판의 정보를 갱신한다. 이에 의해, 매뉴얼 조작에 있어서 원판을 격납하는 위치가 잘못되었다고 해도, 통상 동작을 개시할 때의 에러의 발생을 억제할 수 있다.
<제2 실시 형태>
본 실시 형태는, 제1 실시 형태에 기재된 반송 시스템을 사용하여 물품을 제조하는 것을 특징으로 한다.
도 7은 본 실시 형태에 있어서의 물품의 제조 방법의 흐름도이다. 핸드(12a)가, 패턴이 형성된 복수의 원판 중 제1 원판을 격납 용기 내로 반송하는 반송 공정(S410)을 행한다. 이어서, 반송 공정에 있어서의 핸드(12a)의 구동에 관한 정보에 기초하여 제1 원판의 격납 용기 내에 있어서의 위치에 관한 정보를 생성하는 정보 생성 공정(S420)을 행한다. 그리고, 정보 생성 공정에서 생성된 정보에 기초하여 격납 용기 내에 있는 하나 또는 복수의 원판의 위치에 관한 정보를 갱신하는 정보 갱신 공정(S430)을 행한다.
그 후, 정보 갱신 공정에서 갱신된 정보에 기초하여 격납 용기 내로부터 소정의 원판을 반송하고, 소정의 원판을 사용하여 기판에 패턴을 형성하는 형성 공정(S440)을 행한다. 그리고, 형성 공정에서 패턴이 형성된 기판으로부터 물품을 제조하는 제조 공정(S450)을 행한다.
이 제조 방법으로 제조하는 물품은, 예를 들어 반도체 IC 소자, 액정 표시 소자, 컬러 필터, MEMS 등이다.
형성 공정은, 예를 들어 패턴 재료 상에 감광 재료가 도포된 기판(실리콘 웨이퍼, 유리 플레이트 등)을 노광 장치(리소그래피 장치)에 의해 노광함으로써, 기판에 패턴을 형성한다.
제조 공정은, 예를 들어 패턴이 형성된 기판(감광 재료)의 현상, 현상된 기판에 대한 에칭 및 레지스트 박리, 다이싱, 본딩, 패키징의 실시가 포함된다.
본 명세서의 개시는, 이하의 반송 시스템, 반송 방법, 리소그래피 장치 및 물품의 제조 방법을 포함한다.
〔항목 1〕
복수의 물체 중 격납 용기 내에 있는 물체의 위치에 관한 제1 정보를 기억하는 기억부와, 상기 복수의 물체 중 상기 격납 용기 외에 있는 제1 물체를 상기 격납 용기 내로 반송하는 핸드의 구동에 관한 정보에 기초하여, 상기 격납 용기 내에 있어서의 상기 제1 물체의 위치에 관한 제2 정보를 생성하는 정보 생성부와,
상기 제2 정보에 기초하여 상기 제1 정보를 갱신하는 정보 갱신부를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
〔항목 2〕
상기 정보 생성부는 상기 핸드로의 반송 지시 이력과 상기 핸드의 구동에 관한 정보에 기초하여 상기 제1 물체의 종류를 판정하고, 판정한 상기 제1 물체의 종류에 관한 정보를 포함하는 상기 제2 정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 항목 1에 기재된 반송 시스템.
〔항목 3〕
상기 제1 정보는, 상기 격납 용기 내에 있는 물체의 종류에 관한 정보를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 항목 1 또는 2에 기재된 반송 시스템.
〔항목 4〕
상기 격납 용기 내에 있는 물체의 위치를 검출하는 센서의 검출 결과와 상기 제2 정보에 기초하여 상기 정보 갱신부가 갱신한 정보의 비교에 의해 상기 갱신한 정보의 정오를 판정하는 판정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 항목 1 내지 3 중 어느 1항에 기재된 반송 시스템.
〔항목 5〕
상기 판정부는, 상기 갱신한 정보와 상기 센서의 검출 결과가 일치하고 있는 경우에 상기 갱신한 정보는 이상 없음이라고 판정하고, 상기 갱신한 정보와 상기 센서의 검출 결과가 일치하고 있지 않은 경우에 상기 갱신한 정보는 이상 있음이라고 판정하는 것을 특징으로 하는 항목 4에 기재된 반송 시스템.
〔항목 6〕
상기 판정부의 판정 결과를, 표시부에 표시하기 위한 표시 정보를 송신하는 송신부를 구비하는 것을 특징으로 하는 항목 4 또는 5에 기재된 반송 시스템.
〔항목 7〕
상기 정보 생성부는, 매뉴얼 조작에 있어서의 상기 핸드의 구동에 관한 정보에 기초하여 상기 제2 정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 항목 1 내지 6 중 어느 1항에 기재된 반송 시스템.
〔항목 8〕
상기 제1 정보는 상기 격납 용기 내의 각 위치에 있어서의 상기 물체의 유무에 관한 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 항목 1 내지 7 중 어느 1항에 기재된 반송 시스템.
〔항목 9〕
상기 제2 정보를 생성하기 위한 상기 핸드의 구동에 관한 정보는, 상기 핸드의 상기 제1 물체를 반송할 때의 좌표의 변화의 정보인 것을 특징으로 하는 항목 1 내지 8 중 어느 1항에 기재된 반송 시스템.
〔항목 10〕
상기 정보 생성부와 상기 정보 갱신부와 상기 판정부 중 적어도 2개 이상은 동일한 제어부에 포함되는 것을 특징으로 하는 항목 4 내지 6 중 어느 1항에 기재된 반송 시스템.
〔항목 11〕
상기 제2 정보를 생성하기 위한 상기 핸드의 구동에 관한 정보는, 상기 제1 물체를 반송할 때의 상기 핸드의 토크에 관한 정보인 것을 특징으로 하는 항목 1 내지 10 중 어느 1항에 기재된 반송 시스템.
〔항목 12〕
상기 복수의 물체는 패턴이 형성된 원판인 것을 특징으로 하는 항목 1 내지 11 중 어느 1항에 기재된 반송 시스템.
〔항목 13〕
상기 제2 정보의 생성은, 상기 복수의 물체가 상기 격납 용기로 반송된 상태에 있어서 행해지는 것을 특징으로 하는 항목 1 내지 12 중 어느 1항에 기재된 반송 시스템.
〔항목 14〕
상기 판정부가 이상 있음이라고 판정한 경우에, 유저에게 이상 개소의 확인을 재촉하기 위한 통지를 행하는 것을 특징으로 하는 항목 5에 기재된 반송 시스템.
〔항목 15〕
핸드가 격납 용기 내로 제1 물체를 반송하는 반송 공정과,
상기 반송 공정에 있어서의 상기 핸드의 구동에 관한 정보에 기초하여 상기 제1 물체의 상기 격납 용기 내에 있어서의 위치에 관한 제2 정보를 생성하는 정보 생성 공정과,
상기 정보 생성 공정에서 생성된 상기 제2 정보에 기초하여 상기 격납 용기 내에 있는 물체의 위치에 관한 제1 정보를 갱신하는 정보 갱신 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 반송 방법.
〔항목 16〕
패턴이 형성된 복수의 원판 중 소정의 원판을 사용하여 기판에 상기 패턴을 형성하는 리소그래피 장치이며,
상기 소정의 원판을 조명하는 조명 광학계와,
상기 복수의 원판 중 격납 용기 내에 있는 원판의 위치에 관한 제1 정보를 기억하는 기억부와,
상기 복수의 원판 중 상기 격납 용기 외에 있는 제1 원판을 상기 격납 용기 내로 반송하는 핸드의 구동에 관한 정보에 기초하여, 상기 격납 용기 내에 있어서의 상기 제1 원판의 위치에 관한 제2 정보를 생성하는 정보 생성부와,
상기 제2 정보에 기초하여 상기 제1 정보를 갱신하는 정보 갱신부를 구비하는 것을 특징으로 하는 리소그래피 장치.
〔항목 17〕
상기 격납 용기 내에 있는 물체의 위치를 검출하는 센서의 검출 결과와 상기 제2 정보에 기초하여 상기 정보 갱신부가 갱신한 정보의 비교에 의해 상기 갱신한 정보의 정오를 판정하는 판정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 항목 16에 기재된 리소그래피 장치.
〔항목 18〕
핸드에 의해 패턴이 형성된 복수의 원판 중 제1 원판을 격납 용기 내로 반송하는 반송 공정과,
상기 반송 공정에 있어서의 상기 핸드의 구동에 관한 정보에 기초하여 상기 제1 원판의 상기 격납 용기 내에 있어서의 위치에 관한 정보를 생성하는 정보 생성 공정과,
상기 정보 생성 공정에서 생성된 상기 정보에 기초하여 상기 격납 용기 내에 있는 하나 또는 복수의 원판의 위치에 관한 정보를 갱신하는 정보 갱신 공정과,
상기 정보 갱신 공정에서 갱신된 정보에 기초하여 상기 격납 용기 내로부터 소정의 원판을 반송하고, 상기 소정의 원판을 사용하여 기판에 패턴을 형성하는 형성 공정과,
상기 형성 공정에서 상기 패턴이 형성된 상기 기판으로부터 물품을 제조하는 제조 공정
을 갖는 것을 특징으로 하는 물품의 제조 방법.
발명은 상기 실시 형태에 제한되는 것은 아니고, 발명의 정신 및 범위로부터 이탈하지 않고, 다양한 변경 및 변형이 가능하다. 따라서, 발명의 범위를 명확하게 하기 위해 청구항을 첨부한다.
본 발명은 예시적인 실시 형태들을 참조하여 설명되었지만, 본 발명은 개시된 예시적인 실시 형태들로 제한되지 않는다는 것을 이해해야 한다. 이하의 청구항들의 범위는 모든 그러한 수정들 및 등가의 구조들 및 기능들을 포함하도록 가장 넓은 해석에 따라야 한다.
Claims (18)
- 복수의 물체 중 격납 용기 내에 있는 물체의 위치에 관한 제1 정보를 기억하는 기억부와,
상기 복수의 물체 중 상기 격납 용기 외에 있는 제1 물체를 상기 격납 용기 내로 반송하는 핸드의 구동에 관한 정보에 기초하여, 상기 격납 용기 내에 있어서의 상기 제1 물체의 위치에 관한 제2 정보를 생성하는 정보 생성부와,
상기 제2 정보에 기초하여 상기 제1 정보를 갱신하는 정보 갱신부를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템. - 제1항에 있어서, 상기 정보 생성부는 상기 핸드로의 반송 지시 이력과 상기 핸드의 구동에 관한 정보에 기초하여 상기 제1 물체의 종류를 판정하고, 판정한 상기 제1 물체의 종류에 관한 정보를 포함하는 상기 제2 정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 제1 정보는, 상기 격납 용기 내에 있는 물체의 종류에 관한 정보를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 격납 용기 내에 있는 물체의 위치를 검출하는 센서의 검출 결과와 상기 제2 정보에 기초하여 상기 정보 갱신부가 갱신한 정보의 비교에 의해 상기 갱신한 정보의 정오를 판정하는 판정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
- 제4항에 있어서, 상기 판정부는, 상기 갱신한 정보와 상기 센서의 검출 결과가 일치하고 있는 경우에 상기 갱신한 정보는 이상 없음이라고 판정하고, 상기 갱신한 정보와 상기 센서의 검출 결과가 일치하고 있지 않은 경우에 상기 갱신한 정보는 이상 있음이라고 판정하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
- 제4항에 있어서, 상기 판정부의 판정 결과를, 표시부에 표시하기 위한 표시 정보를 송신하는 송신부를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 정보 생성부는, 매뉴얼 조작에 있어서의 상기 핸드의 구동에 관한 정보에 기초하여 상기 제2 정보를 생성하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 제1 정보는 상기 격납 용기 내의 각 위치에 있어서의 상기 물체의 유무에 관한 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 제2 정보를 생성하기 위한 상기 핸드의 구동에 관한 정보는, 상기 핸드의 상기 제1 물체를 반송할 때의 좌표의 변화의 정보인 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
- 제4항에 있어서, 상기 정보 생성부와 상기 정보 갱신부와 상기 판정부 중 적어도 2개 이상은 동일한 제어부에 포함되는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 제2 정보를 생성하기 위한 상기 핸드의 구동에 관한 정보는, 상기 제1 물체를 반송할 때의 상기 핸드의 토크에 관한 정보인 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 복수의 물체는 패턴이 형성된 원판인 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 제2 정보의 생성은, 상기 복수의 물체가 상기 격납 용기로 반송된 상태에 있어서 행해지는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
- 제5항에 있어서, 상기 판정부가 이상 있음이라고 판정한 경우에, 유저에게 이상 개소의 확인을 재촉하기 위한 통지를 행하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
- 핸드가 격납 용기 내로 제1 물체를 반송하는 반송 공정과,
상기 반송 공정에 있어서의 상기 핸드의 구동에 관한 정보에 기초하여 상기 제1 물체의 상기 격납 용기 내에 있어서의 위치에 관한 제2 정보를 생성하는 정보 생성 공정과,
상기 정보 생성 공정에서 생성된 상기 제2 정보에 기초하여 상기 격납 용기 내에 있는 물체의 위치에 관한 제1 정보를 갱신하는 정보 갱신 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 반송 방법. - 패턴이 형성된 복수의 원판 중 소정의 원판을 사용하여 기판에 상기 패턴을 형성하는 리소그래피 장치이며,
상기 소정의 원판을 조명하는 조명 광학계와,
상기 복수의 원판 중 격납 용기 내에 있는 원판의 위치에 관한 제1 정보를 기억하는 기억부와,
상기 복수의 원판 중 상기 격납 용기 외에 있는 제1 원판을 상기 격납 용기 내로 반송하는 핸드의 구동에 관한 정보에 기초하여, 상기 격납 용기 내에 있어서의 상기 제1 원판의 위치에 관한 제2 정보를 생성하는 정보 생성부와,
상기 제2 정보에 기초하여 상기 제1 정보를 갱신하는 정보 갱신부를 구비하는 것을 특징으로 하는 리소그래피 장치. - 제16항에 있어서, 상기 격납 용기 내에 있는 물체의 위치를 검출하는 센서의 검출 결과와 상기 제2 정보에 기초하여 상기 정보 갱신부가 갱신한 정보의 비교에 의해 상기 갱신한 정보의 정오를 판정하는 판정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 리소그래피 장치.
- 핸드에 의해 패턴이 형성된 복수의 원판 중 제1 원판을 격납 용기 내로 반송하는 반송 공정과,
상기 반송 공정에 있어서의 상기 핸드의 구동에 관한 정보에 기초하여 상기 제1 원판의 상기 격납 용기 내에 있어서의 위치에 관한 정보를 생성하는 정보 생성 공정과,
상기 정보 생성 공정에서 생성된 상기 정보에 기초하여 상기 격납 용기 내에 있는 하나 또는 복수의 원판의 위치에 관한 정보를 갱신하는 정보 갱신 공정과,
상기 정보 갱신 공정에서 갱신된 정보에 기초하여 상기 격납 용기 내로부터 소정의 원판을 반송하고, 상기 소정의 원판을 사용하여 기판에 패턴을 형성하는 형성 공정과,
상기 형성 공정에서 상기 패턴이 형성된 상기 기판으로부터 물품을 제조하는 제조 공정
을 갖는 것을 특징으로 하는 물품의 제조 방법.
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JPJP-P-2022-137542 | 2022-08-31 | ||
| JP2022137542 | 2022-08-31 | ||
| JPJP-P-2023-035843 | 2023-03-08 | ||
| JP2023035843A JP2024035039A (ja) | 2022-08-31 | 2023-03-08 | 搬送システム、リソグラフィ装置及び物品の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20240031061A true KR20240031061A (ko) | 2024-03-07 |
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ID=90271626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020230108775A KR20240031061A (ko) | 2022-08-31 | 2023-08-21 | 반송 시스템, 리소그래피 장치 및 물품의 제조 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20240031061A (ko) |
-
2023
- 2023-08-21 KR KR1020230108775A patent/KR20240031061A/ko unknown
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