JP2005101160A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】レチクルへの異物付着の機会を減少させる。
【解決手段】レチクルへの異物付着の機会を減少させるICの製造方法は、レチクルメーカでレチクルがレチクルケースに収納されるステップと、レチクルケースが梱包されて発送されるステップと、ICメーカで受け入れられたレチクルケースが保管庫に保管されるステップと、保管されたレチクルケースが出庫されてステッパに投入されるステップと、ステッパに投入されたレチクルケースからレチクルが取り出されるステップとを備えている。搬送専用レチクルケースとステッパ専用レチクルケースとの間でのレチクルの入れ替え作業を省略できるので、工数を低減できるばかりでなく、異物の付着等の機会を低減できる。
【選択図】図1
【解決手段】レチクルへの異物付着の機会を減少させるICの製造方法は、レチクルメーカでレチクルがレチクルケースに収納されるステップと、レチクルケースが梱包されて発送されるステップと、ICメーカで受け入れられたレチクルケースが保管庫に保管されるステップと、保管されたレチクルケースが出庫されてステッパに投入されるステップと、ステッパに投入されたレチクルケースからレチクルが取り出されるステップとを備えている。搬送専用レチクルケースとステッパ専用レチクルケースとの間でのレチクルの入れ替え作業を省略できるので、工数を低減できるばかりでなく、異物の付着等の機会を低減できる。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置の製造方法に関し、特に、半導体集積回路装置(以下、ICという。)が作り込まれる半導体ウエハ(以下、ウエハという。)に所望のパターンを転写する露光工程において使用されるフォトマスクを管理する技術に関する。
ICの高集積化およびパターンの微細化が進んだ今日、パターンをウエハに転写する露光工程においては、縮小投影露光装置(以下、ステッパという。)が多く使用されている。このステッパが使用される場合には、ウエハに転写すべきパターンが五倍〜十倍に拡大されて形成された拡大フォトマスクであるレチクルが使用される。このレチクルは所望のパターンの一部を拡大したフォトマスクであるために、同一のICを製造するのに複数種類のレチクルが使用されることになる。しかも、最近のICの生産形態は多品種少量生産が進んでいるために、その生産ラインで使用されるレチクルの種類および枚数は膨大なものとなる。そこで、各レチクルには個々を識別するための固有の識別コードがそれぞれ付されている。
他方、きわめて高価であるステッパは膨大なレチクルの種類毎に一台ずつ用意することはできないために、レチクルのステッパに対する交換が頻繁に実施されることになる。したがって、レチクルメーカからICメーカへ送られて来た新規のレチクルを含めて、待機中の多数枚のレチクルは、保管庫に保管されることになる。そして、保管庫に保管されたレチクルは作業者が識別コードを指定して保管庫から所定のレチクルを出庫し、ステッパに投入する。
ところで、レチクルの上に異物が付着すると、異物がウエハに繰り返し投影されることにより所謂全チップ不良になるために、レチクルはレチクルケースに収納されて異物の付着等から保護された状態で搬送されている。なお、フォトマスクの管理システムが述べられた文献としては、例えば、特許文献1がある。
特開平9−51028号公報
レチクルメーカからICメーカ(IC製造工場)へはレチクルが輸送専用のレチクルケースに収納されて送られて来るために、受け入れ後のICメーカにおいてステッパ専用のレチクルケースに入れ替える作業が発生する。このレチクルの輸送専用レチクルケースからステッパ専用レチクルケースへの入れ替え作業は、工数が増加するばかりでなく、異物付着の原因になるという問題点がある。
本発明の目的は、レチクルへの異物付着の機会を減少させることができる半導体装置の製造方法を提供することにある。
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通りである。すなわち、フォトマスクを搬送したフォトマスクケースをフォトマスクを収納したまま露光装置に投入することを特徴とする。
前記した手段によれば、搬送専用フォトマスクケースと露光装置専用フォトマスクケースとの間でのフォトマスクの入れ替え作業を省略することができるので、工数を低減することができるばかりでなく、異物の付着等の機会を低減することができる。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
以下、本発明の一実施の形態を図面に即して説明する。
図1は本発明の一実施の形態であるICの製造方法の露光工程におけるレチクル供給方法を示すフローチャートである。
図1に示されているように、レチクルメーカの新規レチクル作成時において新規に作成されたレチクルはレチクルケースに収納された後に、梱包されて発送される。図2に示されているように、レチクル1は石英ガラスからなる正方形の平板形状のブランク2の一主面に転写すべきパターン3がクロム等が用いられて電子線描画装置等の手段によって形成されて構成されており、ブランク2のパターン3側の主面にはパターン3を保護するためのペリクル4が枠体5によって張設されている。ペリクル4はブランク2のパターン3と反対側の主面にも張設されることがある。パターン3はウエハの上に形成される実際のパターンに対して五倍〜十倍程度拡大されて形成されている。
図3に示されているように、レチクルケース10はレチクル1を収納し得るレチクル1よりも大きい正方形の箱形状に形成されており、レチクル1の輸送とステッパへの投入とに共通に使用し得るように構成されている。レチクルケース10はレチクル1よりも大きめの略正方形の皿形状に形成されて互いに最中合わせに被せられる本体11と蓋体12とを備えており、本体11の上面の周辺部に形成された雄印籠嵌合部13と蓋体12の下面の周辺部に形成された雌印籠嵌合部14とが嵌合されることにより密封可能な箱体を構成するようになっている。本体11の上面の雄印籠嵌合部13の内側および蓋体12の雌印籠嵌合部14の内側には、複数本(本実施の形態では四本)の保持部15、16が互いに対向して突設されており、これら保持部15、16はレチクル1の周辺部を上下から挟み込んで保持するように構成されている。
図3(b)に示されているようにレチクル1を収納したレチクルケース10は、レチクル梱包発送ステップにおいて、例えば、図4で参照されるように、密封袋17によって梱包された状態でICメーカに発送される。
図1に示されているように、ICメーカにおいては、レチクル受入れステップおよびレチクル受入れ検査ステップを経て、保管ステップにおいて、レチクル1はレチクルケース10に収納された状態で保管庫に保管される。すなわち、図4に示されているように、密封袋17に梱包された梱包体18はレチクル受入れステップにおいて受け入れられ、レチクル受入れ検査ステップにおいて、梱包体18が解梱されて、レチクルケース10が密封袋17から取り出され、レチクル1の固有の識別コード等が検査される。その後、保管ステップにおいて、レチクル1はレチクルメーカにおいて収納されたレチクルケース10に収納された状態のままで、識別コードに基づいて保管庫20に保管される。
図4に示されているように、保管庫20は内部の清浄度を一定に維持されたクリーンベンチ21を備えており、クリーンベンチ21の正面壁には入出庫口22が開設されている。図示しないが、クリーンベンチ21の室内には多数段の保管棚および搬送ロボットが設置されており、搬送ロボットはコンピュータ等から構築されたコントローラによって制御されるように構成されている。コントローラは入出庫口22から入庫されたレチクルケース10を保管棚の指定された場所に保管するように構成されているとともに、識別コードによって指定されたレチクルケース10を指定された保管場所から出庫するように構成されている。
図1に示されているように、出庫ステップにおいて保管庫20から出庫されたレチクルケース10は、ステッパ投入ステップにおいてステッパ30に投入される。すなわち、レチクル1はステッパ専用レチクルケースに入れ替えられることなく、保管庫20から出庫されたレチクルケース10に収納された状態のままで、ステッパ30の筐体31の側壁に開設された投入搬出口32からステッパ30に投入され、図5に示されているように、レチクルライブラリー33に保管される。レチクルライブラリー33は保管庫20と同様に複数個のレチクルケース10を整理して保管するように構成されている。
図1に示されているように、ステッパ30に投入されたレチクル1はレチクル異物検査ステップにおいてレチクル異物検査装置40に送られ異物検査される。この際、レチクルライブラリー33において、図6(a)に示されているようにレチクルケース10に密封された状態で収納されているレチクル1は、図6(b)に示されているように、蓋体12が本体11から開放装置(図示せず)によって持ち上げられて開放され、図5に示されたレチクルキャリア34によって本体11の上から図6(c)に示されているようにピックアップされる。レチクルキャリア34によってピックアップされたレチクル1は、図5に示されているように、受け渡しアーム35に受け取られ、走査キャリア36の所に搬送され、走査キャリア36に受け渡される。
走査キャリア36に受け渡されたレチクル1は、図5に示されているように、異物検査装置40の暗箱41に抜き差し口42から走査キャリア36によって挿入されて行く。暗箱41内においては、レザー等の検査光43がレチクル1に走査ミラー44によって走査されながら照射され、レチクル1からの反射光が光電子増倍管45によって受光される。異物検査装置40は光電子増倍管45からの電気信号に基づいてレチクル1の上に付着した異物を測定し、検査の良否を判定するように構成されている。
図1に示されているように、レチクル異物検査ステップにおいて、検査が「良」と判定された場合には、レチクル1はレチクルステージ46に送られてレチクルアライメントステップを実施される。すなわち、レチクル異物検査装置40によって「良」と判定されて暗箱41の抜き差し口42から走査キャリア36から抜き出されたレチクル1は、走査キャリア36の上から受け渡しアーム35によってピックアップされて、レチクルステージ46に搬送され、レチクルステージ46に受け渡される。レチクル1はレチクルステージ46においてレチクルアライメントステップを実施される。
レチクルステージ46においてアライメントされたレチクル1は、図5に示されているように、ステッパ30の露光ステージ47に送られ、図1に示されているように、露光ステップを実施される。
図1に示されたレチクルライブラリー待機ステップは、レチクル1が予め所定の露光ステップを終了した後に次の使用に対してレチクルライブラリー33において待機するステップを示している。すなわち、予め所定の露光ステップを終了したレチクル1はレチクルステージ46に移動された後に、レチクルステージ46からレチクルキャリア34に受け渡しアーム35によって受け渡され、レチクルライブラリー33に待機している元のレチクルケース10に図6に基づいて前述した手順と逆の手順によって戻される。
生産するICの機種変更等の理由によって、ステッパ30のレチクルライブラリー33に待機させておくレチクル1が交換される場合等に際しては、レチクル1はレチクルケース10に収納された状態のまま、レチクルライブラリー33から搬出され、保管庫20に戻されて保管される。保管庫20に保管されたレチクル1は必要に応じて、前述した手順によって出庫され、ステッパ30に投入される。
ところで、図1に示されているように、レチクル異物検査ステップにおいて「不良」と判定された場合には、レチクル1はレチクルメーカに送られて洗浄・ペリクル張り替えステップを実施される。この場合には、レチクル異物検査装置40によって「不良」と判定されて暗箱41の抜き差し口42から走査キャリア36によって抜き出されたレチクル1は、走査キャリア36の上から受け渡しアーム35によってピックアップされて、レチクルキャリア34に受け渡しアーム35によって受け渡され、レチクルライブラリー33に待機している元のレチクルケース10に図6に基づいて前述した手順と逆の手順によって戻される。レチクルライブラリー33においてレチクルケース10に収納された不良のレチクル1はステッパ30から直ちに搬出され、輸送用レチクルケースに入れ替えられことなく密封袋17によって梱包されてから、レチクルメーカに輸送される。
レチクルメーカに輸送されたレチクル1は解梱された後にレチクルケース10から取り出され、レチクル洗浄ステップおよびペリクル張り替えステップをそれぞれ実施される。レチクル洗浄ステップおよびペリクル張り替えステップを実施されて更新されたレチクル1は、新規のレチクルと同様にしてレチクルケースへの収納ステップおよびレチクル梱包・発送ステップを実施され、ICメーカに返送される。
更新されてICメーカに返送されたレチクル1は、図1に示されているように、新規のレチクル1の場合と同様の手順によってステッパ30に投入されて、使用されることになる。
前記実施の形態によれば、次の効果が得られる。
1) レチクルを収納するレチクルケースを搬送とステッパ投入との間で共用することにより、搬送専用ケースと露光装置専用ケースとの間でのレチクルの入れ替え作業を省略することができるので、露光工程全体としての工数を低減することができるばかりでなく、異物の付着等の機会を低減することができ、ICのコストを低減することができる。
2) 露光工程全体としての工数を低減することにより、ICの製造方法のランニングコストを低減することができる。
3) 異物等の付着等の機会を低減することにより、レチクルの洗浄作業およびペリクルの張り替え作業の発生を低減することができるので、ICの製造方法のランニングコストを低減することができる。
なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。
例えば、保管庫への保管ステップは省略してもよい。
露光装置はステッパに限らず、ステップアンドスキャン方式の縮小投影露光装置や1対1の露光装置およびX線露光装置等であってもよい。
また、フォトマスクは拡大フォトマスクであるレチクルに限らず、1対1のフォトマスク等であってもよい。
1…レチクル(拡大フォトマスク)、2…ブランク、3…パターン、4…ペリクル、5…枠体、10…レチクルケース(フォトマスクケース)、11…本体、12…蓋体、13…雄印籠嵌合部、14…雌印籠嵌合部、15、16…保持部、17…密封袋、18…梱包体、20…保管庫、21…クリーンベンチ、22…入出庫口、30…ステッパ(縮小投影露光装置)、31…筐体、32…投入搬出口、33…レチクルライブラリー、34…レチクルキャリア、35…受け渡しアーム、36…走査キャリア、40…異物検査装置、41…暗箱、42…抜き差し口、43…検査光、44…走査ミラー、45…光電子増倍管、46…レチクルステージ、47…露光ステージ。
Claims (5)
- フォトマスクを搬送したフォトマスクケースをフォトマスクを収納したまま露光装置に投入することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- フォトマスクがフォトマスクケースに収納されるステップと、
前記フォトマスクを収納したフォトマスクケースが搬送されるステップと、
前記搬送されたフォトマスクケースが前記フォトマスクを収納したまま露光装置に投入されるステップと、
前記露光装置に投入されたフォトマスクケースから前記フォトマスクが取り出されるステップと、
を備えていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記フォトマスクケースに収納されるフォトマスクが、新規に作成されたフォトマスクまたは更新されたフォトマスクであることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記搬送されたフォトマスクケースが、保管庫に保管された後に、前記露光装置に投入されることを特徴とする請求項1、2または3に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記フォトマスクケースから取り出された前記フォトマスクが、異物検査されてから前記露光装置の露光ステージに送られることを特徴とする請求項1、2、3または4に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003331400A JP2005101160A (ja) | 2003-09-24 | 2003-09-24 | 半導体装置の製造方法 |
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Family
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2008060576A (ja) * | 2006-08-30 | 2008-03-13 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置及び方法 |
-
2003
- 2003-09-24 JP JP2003331400A patent/JP2005101160A/ja active Pending
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