WO1998027241A1 - Carbure fritte, procede de production de celui-ci et outils en carbure fritte - Google Patents

Carbure fritte, procede de production de celui-ci et outils en carbure fritte Download PDF

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cemented carbide
raw material
crystal grains
powder
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Hideki Moriguchi
Akihiko Ikegaya
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Sumitomo Electric Industries, Ltd.
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Definitions

  • the present invention relates to a tungsten carbide (hereinafter referred to as “WC”) base having an excellent balance between hardness and toughness used for impact-resistant tools such as cutting tools and bits, and plastic working tools such as rolls and can-making tools.
  • WC tungsten carbide
  • cemented carbides composed of crystal grains mainly composed of WC and a binder phase mainly composed of an iron group metal such as Co or Ni have been used in various types due to their excellent hardness, toughness and rigidity.
  • Cutting tools have been used for wear-resistant tools.
  • the use of cemented carbide has expanded, the demand for WC cemented carbide with even higher hardness and toughness has increased.
  • Japanese Patent Publication No. 3369659 a proposal has been made to make the WC crystal grains plate-shaped, and to have higher hardness and toughness than conventional cemented carbide.
  • Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-27971 or Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-199285 discloses a ratio of a maximum dimension to a minimum dimension (hereinafter referred to as an aspect ratio).
  • an aspect ratio a ratio of a maximum dimension to a minimum dimension
  • the properties of the alloy could be improved to some extent. Manufacturing costs increased due to the use of special raw material powders and manufacturing methods. Also, the amount of plate-like WC crystal grains generated was unstable, and as a result, the alloy characteristics were unstable. Moreover, although the toughness was improved to some extent by the formation of these plate-like WC grains, the strength of some over-coarse plate-like w C grains was not necessarily higher than that of non-coarse-grown WC grains. It was not high, and was a factor in increasing the variation in strength of the cemented carbide itself. Also, as the WC crystal grains become coarser, the alloy becomes lower in hardness. Therefore, the development of a WC cemented carbide with even higher hardness and toughness has been desired. Disclosure of the invention
  • An object of the present invention is to provide a cemented carbide and a cemented carbide tool having small strength variations and excellent hardness and toughness.
  • the cemented carbide according to the present invention comprises crystal grains mainly composed of WC and a binder phase mainly composed of an iron group metal. At least a part of the WC grains contains at least one of carbides, nitrides, carbonitrides selected from the group IVa, Va, and VIa elements, or a solid solution of the same to form a hard phase.
  • the above compound means this compound, which is the main subject of WC.
  • the inventors of the present application have conducted various studies in order to achieve the above object, and have succeeded in producing a cemented carbide having a small variation in strength and an excellent hardness and toughness. Specifically, the present inventors have found that the presence of the above-described compound in at least a part of the plate-like WC crystal grains causes distortion in the WC crystal grains, and this distortion strengthens the WC crystal grains. Learned to help.
  • Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-850 discloses a composite hard ceramic particle in which a Ti compound is dispersed in a WC crystal grain to generate a compressive stress in the WC crystal grain.
  • the powder produced by this method is suitable as a raw material for solid phase sintering, its effect cannot be sufficiently exhibited by liquid phase sintering as in the present invention. This is thought to be because the raw material dissolves and reprecipitates during liquid phase sintering, and the effect is reduced by half.
  • no special raw material is prepared in advance as in JP-A-5-850.
  • the wc crystal grains having the structure described above can be produced at low cost.
  • WC crystal grains could be strengthened.
  • the area ratio of WC crystal grains in which the above compound is present in the crystal grains is 10 of the area of all WC crystal grains. /. The above is preferable, and particularly preferable is a case where it exceeds 30%.
  • the above-mentioned compound is particularly preferably composed of carbides, nitrides, carbonitrides or solid solutions of Ti, Zr, ⁇ , W.
  • Zr is a carbide, nitride or carbonitride, the effect of improving toughness and strength is great.
  • the content of Ti, Zr, and Hf in the entire cemented carbide is 10 weight. / 0 or less is preferable. More preferably, the content is 5% by weight or less. This is because if the contents of Ti, Zr, and Hf are too large, the sinterability decreases and the strength of the cemented carbide decreases.
  • the above compound need not be present only in the WC crystal grains, but may be present in both the WC crystal grains and the binder phase.
  • the particle size of the above compound (in the case of a polygon, the maximum length of a diagonal line, in the case of a triangle, the maximum length of a side.
  • the particle size of a WC crystal grain is also the same) is less than 1 // m.
  • the WC grains are easily strengthened, and the toughness is greatly improved. Particularly preferred is a case where the particle size of the compound is 0.3 m or less.
  • the weight of at least one carbide, nitride, carbonitride or solid solution thereof selected from Va and VIa group elements in the cemented carbide. / 0 is defined as Wa
  • the weight% of at least one carbide, nitride, carbonitride or solid solution thereof selected from the group IVa elements is defined as Wb.
  • the content of at least one carbide, nitride, carbonitride or one solid solution thereof selected from the group elements Va and VIa is 10% with respect to the weight of the binder phase. If the content is less than 5% by weight, at least one of carbides, nitrides, carbonitrides or a solid solution thereof selected from the group Va and VIa elements is incorporated into the WC grains. Is easily performed.
  • the area ratio of WC grains with a grain size of 1 / xm or less is 10 to 40% of the total WC grain area, and the WC grains with grain sizes exceeding 1 ⁇
  • the area ratio of crystal grains is 60 to 90. /. If the above compound is present mainly in WC crystal grains having a particle size exceeding 1 ⁇ m, a cemented carbide having particularly excellent hardness and toughness can be obtained.
  • the area ratio of WC grains having a grain size of 1 ⁇ m or less was limited to 10 to 40% of the area of all WC grains. However, if it exceeds 40%, the toughness decreases.
  • the area ratio of WC crystal grains having a particle size exceeding 1 im is defined as 60 to 90% because the toughness decreases when the content is less than 60% and the hardness decreases when the content is more than 90%. To do that.
  • the toughness is particularly improved when the cross-section and the shape on the woven fabric contain 30% or more of those with an aspect ratio of 2 or more. I do. Normally, when the aspect ratio becomes as large as 2 or more, the hardness decreases, but when the compound is present in the grains, the decrease in hardness is suppressed. Therefore, a cemented carbide having particularly excellent toughness and hardness can be produced. The above compound exists in the WC grains. This effect can be expected even when the aspect ratio is 1 to 2.
  • a method for manufacturing a cemented carbide according to the present invention includes the following steps. That is, the average particle size from 0.6 to 1 // 1 1 1 ⁇ Ji powder (raw material A), WC powder having an average particle diameter is more than twice the material A (raw material B), Co, N i , Cr, Fe, Mo, at least one metal powder (raw material C) and at least one carbide, nitride, or charcoal selected from the group I Va, Va, VIa elements Use nitrides or their solid solutions with an average particle size of 0.01 to 0.5 zm (raw material D) as raw material powders, preferably at a temperature of 1500 ° C or higher. . Thereby, the cemented carbide according to the present invention can be stably manufactured.
  • the average particle size of the raw materials A, B, and D may be the above value in the pulverization and mixing steps.
  • a cemented carbide containing plate-like WC grains can be manufactured stably because of the mechanism of growth of plate-like WC grains, the phenomenon of dissolution and re-precipitation of WC in the liquid phase (fine WC (The phenomenon of dissolution in the phase and re-precipitation on coarse-grained WC).
  • fine WC The phenomenon of dissolution in the phase and re-precipitation on coarse-grained WC.
  • the average particle size of the raw material WC powder after pulverization and mixing also referred to as the “Fisher subsieve sizer”, which is the average particle size measured by a device according to JISH 2116; the same applies hereinafter) is twice or more. It is considered that the use of two types of WC powders, which preferably differ by a factor of three or more, may also contribute.
  • the driving force for dissolving and recrystallizing WC is improved, and plate-like WC crystal grains are easily generated.
  • coarse WC added as raw material B is uniformly present in the raw material powder and acts as a seed crystal for grain growth.
  • local growth of plate-like WC is suppressed, and plate-like WC crystal grains are stably formed in the sintered body regardless of the difference between the powder port and the sintering port. Can be generated.
  • a commercially available WC raw material can be used as it is.
  • a powder whose particle size has been adjusted by pre-grinding raw material A has an average particle diameter of 0.1 el / zm and raw material B is at least twice that of raw material A
  • it is lightly mixed with a ball mill or the like Two or more types of commercially available WC powders having different average particle diameters to achieve the target particle size may be used.
  • raw material D is easily incorporated into WC grains.
  • the cemented carbide of the present invention can be produced stably.
  • a liquid phase synthesis method such as a sol-gel method or a gas phase synthesis method such as PVD or CVD in addition to the usual pulverization method.
  • the average particle size of the raw material D is set to 0.1 to 0.5 ⁇ m is that it is industrially difficult to make the average particle size smaller than 0.1 ⁇ m, and it is larger than 0.5 ⁇ . This is because it becomes difficult to incorporate the raw material D into the WC grains.
  • the ratio WAZWB of the weight WA of the raw material ⁇ to the weight WB of the raw material W is 0.5 to 30, a cemented carbide having particularly excellent performance can be obtained. More preferably, WA / WB :! ⁇ 10.
  • WA / WB is smaller than 0.5, it becomes difficult to generate plate-like WC crystal grains having an aspect ratio larger than 2.
  • WAZWB is larger than 30, the generation of plate-like WC crystal grains becomes unstable, and locally large plate-like WC crystal grains are easily generated. In addition, the above compound is less likely to be incorporated into WC crystal grains.
  • WC powder obtained by recycling used cemented carbide by at least a part of the raw material A by a recycling method can be used.
  • a zinc treatment method or a high-temperature treatment method can be used.
  • Recycling is generally carried out by the zinc treatment method.
  • the particle size of the recycled WC powder depends on the WC crystal grain size of the used cemented carbide to be recycled, it is not possible to produce a WC raw material having a specific particle size.
  • Even in the high-temperature treatment method since the WC crystal grains grow partially during the treatment, the width of the particle size distribution of the WC powder becomes very wide even if the pulverization is performed thereafter. For this reason, when a cemented carbide is produced using these recycled powders, the WC crystal grain size distribution cannot be controlled, and there has been a problem that the dispersion of the performance becomes large.
  • recycled powder having a particle size in the range of 0.6 to 1 / m which is regenerated from used cemented carbide as a recycled material, is converted into a liquid phase in a sintering process. It is dissolved and reprecipitated on raw material B, which has a larger average particle size.
  • the particle size of the plate-like WC crystal of the manufactured sintered body is controlled by the particle size of the WC powder of the raw material B. Therefore, the particle size of the recycled powder does not determine the particle size of the final sintered body, and the above-described problem can be avoided.
  • the fine-grained raw material A dissolves in the liquid phase and then precipitates on the coarse-grained raw material B, so that the properties of the plate-like WC depend on the characteristics of the coarse-grained raw material B. Therefore, a sintered body having excellent characteristics can be produced even when a recycled raw material having unstable characteristics is used.
  • the ratio of the weight of WC powder WR to the weight of raw material A, WA, of WC powder generated from recycled powder obtained by grinding the used cemented carbide used as the above-mentioned recycled material WR / WA is 0.3 to 1 (preferably In the case of 0.5 to 1), a cemented carbide which can be produced at a particularly low cost and which is preferable from the viewpoint of protection of the global environment can be obtained.
  • the surface of a product such as a tool made of cemented carbide as described above is further provided with at least one kind of carbide, nitride, oxide, boride selected from I Va, Va, VIa group element and A1.
  • carbide, nitride, oxide, boride selected from I Va, Va, VIa group element and A1.
  • a solid solution or a coating film consisting of at least one layer selected from diamond, DLC, and CBN is provided and these are used as cutting tools and wear-resistant tools, the alloy base material has excellent hardness and toughness. Because of its balance, it exhibits particularly excellent performance.
  • Figure 1 is a scanning electron micrograph of a cemented carbide.
  • FIG. 2 is a diagram showing a cross-sectional shape of a work material used for a cutting test.
  • Table 1 the numbers other than the numbers in the columns of the raw materials No and WaZWb are wt. Indicates / o.
  • Table 1 shows that the weight percent of at least one carbide, nitride, carbonitride or solid solution thereof selected from the group consisting of Va and Via elements is defined as Wa, and that at least one selected from the group IVa elements.
  • Wa the weight percent of at least one carbide, nitride, carbonitride or their solid solution.
  • the value of W a ZWb when / 0 is Wb is shown.
  • a conventional WC powder having an average particle diameter of 6 ⁇ m, a Co powder having an average particle diameter of 1.5 / m, and a Ni powder having an average particle diameter of 1.3 ⁇ m were used for comparison.
  • the symbol ⁇ indicates that the present invention is applicable.
  • the samples prepared by the method of the present invention include at least one type of carbide, nitride, carbonitride or any one of the elements selected from the group IVa, Va, and Via in the WC grains. It can be seen that a compound consisting of a solid solution exists, and the hardness and fracture toughness of these samples show superior values as compared to the samples prepared by the conventional method.
  • the photograph shown in FIG. 1 is a scanning electron micrograph of Sample 1-1.
  • the gray square crystals are WC grains 1 and the black phases are the Co phase, which is the binder phase 2, and the gray precipitate (compound 3) in the WC grains is Ti It is a carbohydrate.
  • the particle size of the compound 3 present in the WC crystal grains 1 of the sample 11 is about 0.3, which is not more than 0.3 // m.
  • the area of the compound 3 is 10% or less of the area of the WC crystal grains having the compound 3 therein. In the present invention, using such a sectional structure, WC The presence or absence of the compound in the crystal grains was determined.
  • samples of 1-2 to 18 in Table 2 contain WC grains containing carbides, nitrides, carbonitrides or solid solutions of Ti, Zr, Hf, and W. It was confirmed that it existed within. Samples 1–9 and 1–10 are selected from Group IVa, Va, and VIa elements other than carbides, nitrides, carbonitrides, or solid solutions of Ti, Zr, Hf, and W. In addition, it was confirmed that at least one type of carbide, nitride, carbonitride, or a solid solution thereof was present.
  • the characteristic values of the samples from 1-1 to 1-8 are determined by the conventional method. It shows excellent values compared with the characteristic values of the samples of Nos. 2 to 8 and the improvement ratio is 1 to 9 of the samples of the present invention. It was also found that the value was larger than the improved value. That is, as the compound present in the WC crystal grains, a compound composed of carbides, nitrides, carbonitrides of Ti, Zr, Hf, W or a solid solution thereof, and particularly a compound of Zr is preferable. However, it was also confirmed that Samples 1-2 in which nitrides were present in the WC crystal grains exhibited extremely excellent alloy properties.
  • At least one kind of carbide, nitride, carbonitride or solid solution thereof selected from the group consisting of Va, VIa group elements is defined as Wa
  • at least one kind of carbide selected from group IVa elements is defined as Wa
  • Weight of nitrides, carbonitrides or their solid solutions is defined as Wa, Weight of nitrides, carbonitrides or their solid solutions.
  • the percentages (%) in Table 3 are the percentages (%) of the contents of the carbides, nitrides, carbonitrides or their solid solutions (excluding WC) of the Va and VIa group elements with respect to the weight of the binder phase. is there.
  • the numbers other than those in the column of raw material No., ratio and Wa / Wb are wt. /. Is shown.
  • Table 4
  • raw materials Nos. 16 to 23 having different mixing ratios of raw materials A and B were prepared with the compositions shown in Table 5. These powders were pressed using a mold at a pressure of 1 ton / cm 2 , and sintered at 1500 ° C. for 1 hour in a vacuum. As a result, a sintered body having a shape of ISO model number CNMG120408 was produced. Table 5
  • the area ratio of WC grains having a particle size of 1 / m or more with an aspect ratio of 2 or more was measured in the same manner. It is described in Table 6.
  • the presence or absence of the ZrC, ZrN, and Tic compounds in the WC grains was examined in the same manner as in the first embodiment. As a result, it was confirmed that the above compounds were present in the WC crystal grains in all samples other than 3-16 and 3-23.
  • the weight of raw material A and the weight of raw material B WB ratio The ratio of WA / WB in the range of 0.5 to 30 is 3 to 18 to 3 to 21.
  • the area ratio of WC crystal grains of less than m is within the range of 10 to 40%, and has an excellent balance between hardness and fracture toughness.
  • WC grains having an aspect ratio of 2 or more among WC grains having a grain size of more than 1 / m, and samples 3-20 and 3-21 having an area ratio of 30% or more It can be seen that the alloy exhibits excellent alloy properties.
  • the tool having the coating film formed on the sample Nos. 1-1 to 1-15 of the present invention is the sample No. 2— :! It can be seen that the performance is superior to that of the tool with the coating film formed on ⁇ 2-5. Similar results were obtained when the diamond in Table 7 was changed to cubic boron nitride (CBN). Thus, the sample in which the coating film is formed on the cemented carbide of the present invention can exert excellent characteristics.
  • a raw material No. using the same composition as the No. 1 raw material powder produced in Embodiment 1 and using recycled WC powder obtained by treating a used cemented carbide with a zinc treatment method or a high temperature treatment method for a part of the material A 24 to 28 (Table 8) were prepared. These were sintered in the same manner as in the first embodiment, and the hardness, fracture toughness, and the presence or absence of the above compound in the WC crystal grains were measured in the same manner as in the first embodiment. Table 9 shows the results.
  • Raw material A has WC powder with an average particle size of 0.9 ⁇ m
  • raw material B has WC powder with an average particle size of 4 / m
  • raw material C has an average particle size of 1.5 // m Co powder with an average particle size of 1.8 ⁇
  • Cr powder and ZrCN powder with an average particle size of 0.1 ⁇ , 0.5 / zm and 0.9 m as raw material D raw materials Nos. 29 to 32 mixed with the composition shown in Table 10 were prepared. did. Table 10
  • the numbers other than those in the column of the raw material No in Table 10 indicate wt%. Pressing and sintering were performed in the same manner as in Embodiment 1 using the powders of the raw materials No. 29 to 32 to produce a sintered body having a shape of ISO model number C NMG 12 04 08 . Next, a cutting test was performed on these samples in the same manner as in Embodiment 4 to measure the time until the samples were broken. The measurement results are shown in Table 11. Further, when these samples were subjected to surface grinding and mirror polishing and photographed with a scanning electron microscope at 500 ⁇ magnification, it was confirmed that the above compounds were present in WC crystal grains. In addition, EDX analysis confirmed that the composition of this compound was Zr carbonitride.
  • At least one type of carbide, nitride, carbonitride or a solid solution of a compound selected from the group consisting of I Va, Va, and VIa elements is used as a WC crystal grain.
  • the WC crystal has excellent strength, and the effect is particularly remarkable when the WC crystal grains are plate-like.
  • a cemented carbide having excellent strength and toughness can be provided.
  • the present invention can be advantageously applied to tools such as cutting tools and impact-resistant tools.

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Description

明細書 超硬合金、 その製造方法および超硬工具 技術分野
この発明は、 切削工具、 ビットなどの耐衝撃工具、 ロールや製缶工具などの塑 性加工用工具に用いられる、 硬度と靱性のバランスに優れた炭化タングステン (以下 「WC」 と称する） 基超硬合金に関する。 背景技術
従来より、 WCを主体とした結晶粒と、 C oあるいは N iのような鉄族金属を 主体とする結合相からなる超硬合金は、 その優れた硬度、 靱性、 剛性率のため、 各種の切削工具ゃ耐摩工具などに用いられてきた。 しカゝし、 近年、 超硬合金の用 途が拡大するにつれて、 一段と優れた硬度、 靱性を有する WC超硬合金への二一 ズが高まってきた。
このようなニーズに対して、 特開平 2— 4 7 2 3 9号公報、 特開平 2— 1 3 8 4 3 4号公報、 特開平 2— 2 7 4 8 2 7号公報、 特開平 5— 3 3 9 6 5 9号公報 では、 WC結晶粒の粒形状を板状とし、 従来の超硬合金よりもさらに硬度と靱性 に優れたものとする提案がなされている。
上記特開平 5— 3 3 9 6 5 9号公報には、 超硬合金中に存在する WC結晶粒の
1 5 %以上が 1〜 1 0 // mの最大寸法で最小寸法の 2倍以上である板状の WC結 晶粒からなるものが開示されている。 また、 特開平 7— 2 7 8 7 1 9号公報、 あ るいは特開平 8— 1 9 9 2 8 5号公報には、 最小寸法に対する最大寸法の比 （以 下ァスぺク ト比と称す。 すなわち、 WCを主体とする結晶粒と鉄族金属を主体と する結合相からなる超硬合金が板状の WC結晶粒を含有している場合、 超硬合金 の任意の断面を走査型電子顕微鏡で観察したとき、 該任意断面での個々の板状 W C結晶粒の最大寸法の最小寸法に対する比率をいう。 ） 、 3〜2 0である板状 W C結晶粒を含有しているものが開示されている。
上記のような提案では、 合金の特性をある程度向上させることができたが、 特 殊な原料粉末や製造方法を用いるため製造コス トが増大していた。 また、 板状 W C結晶粒の生成量も不安定であり、 その結果、 合金特性が不安定なものであった。 しかもこれらの板状 W C結晶粒の生成で靱性の改善はある程度達成されたが、 一部の粗大化しすぎた板状 w C結晶粒の強度は粗大化していない W C結晶粒と比 較して必ずしも高くなく、 超硬合金自体の強度のばらつきを大きくする要因とな つていた。 また、 WC結晶粒が粗大化すると合金は低硬度となるため、 さらに硬 度と靱性に優れた WC超硬合金の開発が望まれていた。 発明の開示
この発明は、 上記のような課題を解決するためになされたものである。 この発 明の目的は、 強度のばらつきが小さく、 かつ硬度および靱性に優れた超硬合金お よび超硬工具を提供することにある。
この発明に係る超硬合金は、 WCを主体とする結晶粒と、 鉄族金属を主体とす る結合相からなる。 そして、 WC結晶粒の少なくとも一部の内部に、 I V a， V a , V I a族元素から選ばれた少なくとも 1種の炭化物、 窒化物、 炭窒化物もし くはそれらの固溶体であって硬質相の本来の主体である WC以外のものからなる 化合物 （以下、 単に 「上記化合物」 と称した場合には本化合物のことを意味す る） が存在している。
本願の発明者らは、 上記の目的を達成すべく種々の研究を行ない、 強度のばら つきが小さく、 硬度おょぴ靱性に優れた超硬合金を製造することに成功した。 具 体的には、 本願の発明者らは、 板状 WC結晶粒の少なくとも一部に上述の化合物 が存在することにより、 WC結晶粒内に歪みが生じ、 この歪みが WC結晶粒の強 化に役立つことを知得した。
なお、 WC結晶粒内に T iの化合物を分散させて WC結晶粒に圧縮応力を生じ させた複合硬質セラミックス粒子が、 特開平 5— 8 5 0に開示されている。 しか し、 この方法で作製された粉末は、 固相焼結用原料としては適するものの、 本発 明のような液相焼結では十分その効果を発揮できない。 これは、 液相焼結中に原 料が溶解再析出するために効果が半減するものと考えられる。 本発明では、 特開 平 5— 8 5 0の場合のように予め特殊な原料を作製することなく、 液相焼結中に 上記のような構造の wc結晶粒を安価に作製することができる。 しかも、 特開平 5 - 8 5 0では、 WC結晶粒の強化に体積率で 1 0 %以上 7 0 %以下の T iの化 合物の分散が必要であるが、 本発明では面積率で 1 0 %以下の化合物の分散量で も、 WC結晶粒の強化が可能となった。 また、 上記化合物が結晶粒内に存在する WC結晶粒の面積率は、 すべての WC結晶粒面積の 1 0。/。以上が好ましく、 特に 好ましいのは 3 0 %を超える場合である。
上記化合物は、 特に、 T i， Z r， Η ί， Wの炭化物、 窒化物、 炭窒化物もし くはそれらの固溶体からなることが好ましい。 なかでも、 Z rの炭化物、 窒化物 もしくは炭窒化物であると、 靱性および強度向上の効果が大きい。
これは、 T i， Z r , H f， Wの炭化物、 窒化物、 炭窒化物もしくはそれらの 固溶体からなる化合物は、 WC結晶粒内に取込まれやすく、 本発明の効果を発揮 しゃすいからである。 さらに、 T i， Z r , H f の超硬合金全体に対する含有量 は、 1 0重量。 /0以下であることが好ましい。 より好ましくは、 上記含有量は、 5 重量％以下である。 これは、 T i， Z r， H f の含有量が多すぎると焼結性が低 下し、 超硬合金の強度が低下するためである。
なお、 上記化合物は、 WC結晶粒内にのみ存在する必要はなく、 W C結晶粒内 と結合相内の両方に存在していてもよい。 また、 上記化合物の粒径 （多角形の場 合は対角線の最大長さで示し、 三角形の場合は辺の最大長さとした。 WC結晶粒 の粒径も同じ。 ） は、 1 // m未満である場合に W C結晶粒の強化が行なわれやす く、 靱性が大幅に向上する。 特に好ましいのは、 上記化合物の粒径が 0 . 3 m 以下の場合である。
また、 上記超硬合金における V a， V I a族元素から選ばれた少なくとも 1種 の炭化物、 窒化物、 炭窒化物もしくはそれらの固溶体の重量。 /0を W aとし、 I V a族元素から選ばれた少なくとも 1種の炭化物、 窒化物、 炭窒化物もしくはそれ らの固溶体の重量％を W bとしたときに、 W a ZW bの値が 0〜0 . 2である場 合には特に優れた靱性と硬度のバランスを示す。
これは、 T i， Z r， H f などの I V a族元素の炭化物、 窒化物、 炭窒化物若 しくはそれらの固溶体からなる化合物は W C結晶粒内に取込まれやすいのに対し、 V a， V i a族元素から選ばれた少なくとも 1種の炭化物、 窒化物、 炭窒化物も しくはそれらの固溶体からなる化合物は wc結晶粒内に取込まれにくく、 さらに 焼結時の WC結晶粒成長を抑制する働きがあるからである。 そこで、 W a /W b の値を 0〜0 . 2とした場合に、 本発明の効果を発揮させやすいためこのように 限定した。
また、 前述の理由で、 V a， V I a族元素から選ばれた少なくとも 1種の炭化 物、 窒化物、 炭窒化物もしくはそれらの 1種の固溶体の含有量が結合相の重量に 対し 1 0重量％以下とした場合には、 V a， V I a族元素から選ばれた少なくと も 1種の炭化物、 窒化物、 炭窒化物もしくはそれらの固溶体からなる化合物の W C結晶粒内への取込が行なわれやすくなる。
次に、 超硬合金の断面組織において、 粒径が 1 /x m以下の WC結晶粒の面積率 力 すべての WC結晶粒面積の 1 0〜4 0 %で、 粒径が 1 μ ηιを超える WC結晶 粒の面積率が 6 0〜 9 0。/。である場合、 上記化合物が 1 μ mを超える粒径の WC 結晶粒内に主に存在すると、 特に優れた硬度と靱性とを有する超硬合金が得られ る。
ここで、 粒径が 1 μ m以下の WC結晶粒の面積率をすベての W C結晶粒の面積 の 1 0〜4 0 %と限定したのは、 1 0 %よりも少ないと硬度が低下し、 4 0 %よ りも多いと靱性が低下するためである。 また、 粒径が 1 i mを超える WC結晶粒 の面積率を 6 0〜 9 0 %と規定したのは、 6 0 %よりも少ないと靱性が低下し、 9 0 %よりも多いと硬度が低下するためである。
また、 断面組織上の形状がァスぺク ト比で 2以上の W C結晶粒内に上記化合物 が存在する場合には、 特に優れた硬度と靱性とを示す。 これは、 WC結晶粒が板 状に粗粒化した場合に、 通常生じる硬度の低下が上記化合物が w C結晶粒内に存 在することによって緩和されること、 粗粒化による靱性向上効果、 WC結晶粒の 強化が顕著になったこと等に起因するものと考えられる。
また、 上記粒径が 1 // mを超える WC結晶粒のうち、 断面,祖織上の形状がァス ぺク ト比で 2以上のものを 3 0 %以上含む場合には特に靱性が向上する。 通常、 ァスぺク ト比が 2以上と大きくなると硬度が低下するが、 上記化合物が粒内に存 在している場合には、 硬度の低下が抑制される。 そのため、 靱性と硬度に特に優 れた超硬合金を製造することができる。 なお、 W C結晶粒内に上記化合物が存在 する効果は、 ァスぺク ト比が 1〜 2の場合でも期待できる。
この発明に係る超硬合金の製造方法は、 下記の工程を備える。 すなわち、 平均 粒径が 0. 6〜1 // 111の\ じ粉末 （原料 A) と、 平均粒径が原料 Aの 2倍以上と なる WC粉末 （原料 B) と、 Co， N i , C r , F e， Moから選ばれた少なく とも 1種の金属の粉末 （原料 C) と、 I Va， V a, V I a族元素から選ばれた 少なくとも 1種の炭化物、 窒化物、 炭窒化物もしくはこれらの固溶体であって平 均粒径が 0. 01〜0. 5 zmのもの （原料 D) を各々原料粉末として用い、 好 ましくは 1 500°C以上の温度で焼結する。 それにより本発明に係る超硬合金を 安定して製造することができる。 なお、 上記原料 A， B， Dの平均粒径は、 粉砕、 混合工程で上記の値となってもよい。
また、 上述の方法では、 特開平 2— 47239号公報、 特開平 2— 1 3843 4号公報、 特開平 2— 274827号公報のように特殊な原料粉末を用いる必要 がない。 さらに、 特開平 5— 339659号公報のように WC粉末を 0. 5 μΐη 以下まで粉砕する必要もない。 それにより、 市販されている WC原料粒径に近い WC粉末を過度に粉砕することなく利用でき、 余分な粉砕時の粉砕 ·混合装置 (アトライタ） からの異物混入や WC粉末の酸化現象を抑制できる。 その結果、 優れた特性の超硬合金を安価に安定して製造することができる。
上記本方法により、 安定して板状 WC結晶粒を含有する超硬合金を製造できる 原因は、 板状 WC結晶粒が成長する機構として WCの液相への溶解再析出現象 (微粒 WCが液相中に溶解し、 粗粒 WC上に再析出する現象） が主であると考え られる。 また、 粉砕、 混合後の原料 WC粉末の平均粒径 （フィッシャーサブシー ブサイザ粒径とも称され、 J I S H 21 16による装置で測定した平均粒径 のことである。 以下同じ。 ） が 2倍以上、 好ましくは 3倍以上異なる 2種類の W C粉末を原料として用いることも寄与し得るものと考えられる。 このような平均 粒径の異なる 2種穎の WC粉末を原料として用いることにより、 WCの溶解再析 出のための駆動力が向上し、 板状 WC結晶粒が生成しやすくなる。 そればかりで なく、 原料 Bとして添カ卩した粗粒 WCが原料粉末内に均一に存在し、 粒成長の種 結晶として作用する。 それにより、 局所的な板状 WCの成長が抑制され、 粉末口 ットゃ焼結口ットなどの違いに関係なく、 板状 WC結晶粒が焼結体内で安定して 生成され得る。
従来の製造法でも何らかの問題で粉碎工程で均一な粉砕が行なわれず、 結果的 に WC粒度分布が大きくなることで板状 W C結晶粒の生成が促進され、 α 2と呼 ばれる異常に粗大な WC結晶粒が生成されることは報告されていた。 しカゝし、 粗 粒側の WCの粒度管理がなされていないため、 安定した板状 WC結晶粒の生成が 行なえなかった。 これに対し、 本発明に係る方法では、 原料 Αと原料 Βの配合比 および原料 Aと原料 Bの平均粒度差を管理することで、 WC結晶粒の形状、 粒度 分布などの,組織制御が可能となる。 また、 本発明の方法では、 欠陥の少ない特性 の優れた粗粒 WCを原料 Bとして用いた場合、 この WCが種結晶となって溶解再 析出現象により成長する。 それにより、 半導体製造で有名なブリッジマン法のよ うに、 欠陥の少ない特性の優れた板状 WCを生成させることができる。 さらに、 上記のように粒度の異なる 2種類の WC粉末を使用することにより、 原料 Dが W C粒内に取込まれやすくなる。
なお、 原料 A、 原料 Bの WC粉末には、 市販の WC原料をそのまま用いること もできる。 また、 予備粉砕により、 粒度調整 （原料 Aは 0 . e l /z m 原料 B はその 2倍以上の平均粒径） した粉末を用いて、 ボールミルなどにより軽混合し て用いたり、 混合、 粉砕工程で狙いとする粒度となるような平均粒径の異なる 2 種類以上の市販 WC粉末を用いてもよい。
また、 平均粒径 0 . 0 1〜 0 . 5 μ mの原料 Dもしくは粉砕、 混合工程で平均 粒径が 0 . 0 1〜0 . 5 / mとなる原料 Dを原料粉末として用いることにより、
WCの溶解再析出時に原料 Dが WC結晶粒内に取込まれやすくなる。 それにより、 安定して本発明の超硬合金を作製することができる。 このように平均粒径の小さ い原料を準備するには、 通常の粉砕法以外にゾルゲル法などの液相合成法や P V Dや C V Dなどの気相合成法により作製された原料粉末を使用することもできる。 なお、 ここで原料 Dの平均粒径を 0 . 0 1〜0 . 5 μ mとしたのは、 0 . 0 1 mよりも小さくすることは工業的に難しく、 0 . 5 μ παよりも大きくすると原料 Dを WC結晶粒へ取込みにくくなるためである。
なお、 原料 Αの重量 WAと原料 Βの重量 W Bの比 WAZWBが 0 . 5〜3 0で あるときに、 特に優れた性能の超硬合金を得ることができる。 より好ましくは、 WA/WBが：！〜 1 0である。 WA/WBが 0 . 5より小さい場合にはァスぺク ト比が 2より大きい板状 W C結晶粒を生成しにくくなる。 また、 WAZWBが 3 0よりも大きい場合には、 板状 WC結晶粒の生成が不安定となり、 局所的に粗大 な板状 WC結晶粒が生成しやすくなる。 その上、 WC結晶粒内に上記化合物が取 込まれにくくなる。
また、 原料 Aの少なくとも一部に使用済超硬合金をリサイクル法 （亜鉛処理法 や高温処理法等による） でリサイクルした WC粉末を使用することができる。 そ れにより、 安価に本発明の超硬合金が製造できるばかりでなく、 地球環境保護の 観点からタングステン （W) 鉱山の無益な採掘を抑制できる。 従来より、 超硬合 金のリサイクル粉末を使用することは試みられてきたが、 ごく一部に使用される だけで全面的な採用はなされていないのが現状であつた。
リサイクルは、 一般に亜鉛処理法で行われるが、 リサイクル WC粉末の粒度は リサイクルする使用済超硬合金の W C結晶粒度に依存するため、 特定の粒度の W C原料を作製することはできない。 高温処理法でも、 処理時に WC結晶粒が部分 的に粒成長するため、 その後粉砕したとしても WC粉末の粒度分布の幅が非常に 大きくなる。 このため、 これらのリサイクル粉末を使用して超硬合金を作製する と、 WC結晶粒度分布を管理することができないため、 性能のばらつきが大きく なるという問題があった。
これに対し、 本発明に係る製造方法では、 リサイクル原料である使用済超硬合 金から再生された粒径 0 . 6〜1 / mの範囲のリサイクル粉末を、 焼結過程で液 相中に溶解させ、 より平均粒径の大きい原料 B上に再析出させている。 それによ り、 作製した焼結体の板状 WC結晶の粒径を原料 Bの W C粉末粒度で制御するこ ととなる。 そのため、 リサイクル粉末の粒度が最終焼結体の粒径を決定すること にならず、 前述の問題を回避できる。 しかも、 本方法では前述したように微粒原 料 Aは、 液相に溶解後、 粗粒原料 B上に析出するので板状 WCの特性は粗粒原料 Bの特性に依存することとなる。 そのため、 特性が不安定なリサイクル原料を用 いた場合でも、 優れた特性を有する焼結体を作製できる。
上記リサイクル原料である使用済超硬合金を粉砕したリサイクル粉末から生じ た WC粉末の重量 WRと原料 Aの重量 WAの比 WR/WAが 0 . 3〜 1 (好まし くは 0. 5〜1) である場合には、 特に安価に本発明の超硬合金を作製できるほ 力、 地球環境保護の観点からも好ましい超硬合金が得られる。
以上のような超硬合金からなる工具等の製品の表面に、 さらに I Va， Va, V I a族元素， A 1から選ばれた少なくとも 1種の炭化物、 窒化物、 酸化物、 ホ ゥ化物およびこれらの固溶体、 あるいはダイヤモンド、 DLC、 CBNから選ば れた少なくとも 1層以上からなる被覆膜を設け、 これらを切削工具ゃ耐摩工具と して用いた場合に、 合金母材が優れた硬度と靱性のバランスを有するため、 特に 優れた性能を発揮する。
特に、 20 μ m以上の被覆膜を従来の WC基超硬合金上に被覆した場合には、 被覆膜が亀裂の発生を助長 （グリフィスの予亀裂の働き） すると考えられる。 そ のため、 超硬合金における耐欠損性の低下が見られた。 しかし、 本発明に係る超 硬合金では、 WC結晶粒内に上記化合物が析出し、 WC結晶粒が強化されている ため、 亀裂の進展が起こりにくく優れた耐欠損性が得られることが判明した。 図面の簡単な説明
図 1は、 超硬合金の走査電子顕微鏡写真である。
図 2は、 切削試験に用いた被削材の断面形状を示す図である。 発明を実施するための最良の形態
以下、 この発明の実施の形態について、 図 1， 図 2および表 1〜表 14を用い て説明する。
(実施の形態 1 )
原料粉末として粉砕効率の高いァトライタを用いて粉砕した平均粒径 0. 7 μ mの WC粉末 （原料 A) と、 同様の粉砕により平均粒径 2 // mの WC粉末 （原料 B) を準備した。 また、 平均粒径 1. 5 /zmの CO粉末、 平均粒径 1. 3 μ mの N i粉末、 平均粒径 0. 3 // の2 〇粉末、 平均粒径 0. 5 / の丁 10粉末、 平均粒径 0. 5 / mの H f C粉末、 平均粒径 0. 3 μ mの N b C粉末、 平均粒径 0. 4 111の丁 &じ粉末、 平均粒径 0. 3 // mの C r 3C2粉末、 平均粒径 0. 5 μmのZ r N粉末、 平均粒径 0. 5 μ mの （W， T i ) (C， N) 固溶体粉末、 平均粒径 0. 5 mの （W， Z r ) C固溶体粉末、 平均粒径 0. 5 μ mの （T a， Nb) C固溶体粉末を加えて、 表 1の組成に配合し、 通常のボールミルを用いて アセトン溶媒中で 2時間の混合を行った。 その後、 スプレードライヤによって造 粒を行った。
Figure imgf000011_0001
上記の表 1において、 原料 N oおよび WaZWbの列の数字以外の数字は、 w t。/oを示す。 また、 表 1には、 V a， V i a族元素から選ばれた少なくとも 1種 の炭化物、 窒化物、 炭窒化物もしくはそれらの固溶体の重量％を Waとし、 I V a族元素から選ばれた少なくとも 1種の炭化物、 窒化物、 炭窒化物もしくはそれ らの固溶体の重量。/0を Wbとしたときの W a ZWbの値が示されている。
これらの粉末を 1 t o n/c m2の圧力で金型を用いてプレスし、 真空中で 1 550°Cで 1時間保持して焼結を行う。 それにより、 I SO型番CNMG 1 20 408の形状 （J I S G 4053に準拠した菱形スローァウェイチップ） の 焼結体を作製した。 焼結体は、 # 250のダイヤモンド砥石で研削加工され、 ダ ィャモンドペーストを用いてラッピング処理が施される。 その後、 ダイヤモンド 製のピツカ一ス圧子を用いて 50 k g荷重で硬度と、 同圧子の圧痕隅に生じる亀 裂長より求める Indentation Fracture 法による破壊靱性の値 K！ c (MP a m 1/2) を測定した。
また、 本発明との比較のために従来例による平均粒径 6 μ mの WC粉末と、 平 均粒径 1. 5 / mの C o粉末、 平均粒径 1. 3 μ mの N i粉末、 平均粒径 2 // m の Z r C粉末、 平均粒径 1. 5 / mの T i C粉末、 平均粒径 2 μπιの H f C粉末、 平均粒径 2 μ mの N b C粉末、 平均粒径 1. 5 / mの T a C粉末、 平均粒径 2 μ mの. C r 3 C 2粉末、 平均粒径 1. 5 μ mの Z r N粉末、 平均粒径 2 μ mの （W， T i ) (C， N) 固溶体粉末、 平均粒径 1. 5 //mの （W， Z r ) C固溶体粉末、 平均粒径 1. 8 //mの （T a， Nb) C固溶体粉末をアトライタで 7時間混合し、 同様にして造粒した粉末も作製した。 この粉末を 1 t o n/c m2の圧力で金型 を用いてプレスし、 真空中で 1 400°Cで 1時間保持して焼結を行った。 そして、 焼結体の硬度、 破壊靱性を同様の方法で測定した。
また、 WC結晶粒内に I Va， V a, V I a族元素から選ばれた少なくとも 1 種の炭化物、 窒化物、 炭窒化物もしくはそれらの固溶体からなる化合物が存在し ているかどうかを測定した。 すなわち、 走査型電子顕微鏡もしくは透過電子顕微 鏡用の試料を作製し、 EDX (Energy dispersive X-ray Spectrometer の略称 であって、 半導体検出器を用いて電気的に分光選別するエネルギ分散型の蛍光 X 線分析） にて元素分析した。 そして、 T i と Cが検出された際には、 その物質は T i Cであるとした。 これらの測定結果を表 2に示す。 なお、 表 2の試料番号に おいて、 No. 1—：！〜 1 0が本発明に係る方法により作製された焼結体を示し、 No. 2—：！〜 1 0が従来の WC粉末により作製された焼結体を示している。
表 2
Figure imgf000013_0001
表 2において、 〇印は、 本発明に該当していることを示している。 表 2の結果 より、 本発明の方法で作製した試料には、 WC結晶粒内に I V a， V a , V i a 族元素から選ばれた少なくとも 1種の炭化物、 窒化物、 炭窒化物もしくはそれら の固溶体からなる化合物が存在し、 これらの試料の硬度、 破壊靱性は従来の方法 で作製した試料と比較して優れた値を示していることがわかる。
図 1に示される写真は、 試料 1 _ 1の走査電子顕微鏡写真である。 図 1におい て、 灰色で四角く見える結晶が WC結晶粒 1であり、 黒く見えるのが結合相 2で ある C o相であり、 WC結晶粒内に灰色に見える析出物 （化合物 3 ) は T iの炭 化物である。 この写真より、 試料 1一 1の WC結晶粒 1内に存在する上記化合物 3の粒径は約 0 . であって、 0 . 3 // m以下であることがわかる。 また、 上記化合物 3を内部に有する WC結晶粒の面積に対する上記化合物 3の面積が 1 0 %以下であることもわかる。 本発明では、 このような断面組織を用いて、 WC 結晶粒内の化合物の存在の有無を判定した。
同様にして、 表 2の 1— 2〜 1一 8の試料には、 T i、 Z r、 H f , Wの炭化 物、 窒化物、 炭窒化物もしくはそれらの固溶体からなる化合物が WC結晶粒内に 存在していることが確認できた。 1— 9、 1— 10の試料には、 T i、 Z r、 H f 、 Wの炭化物、 窒化物、 炭窒化物もしくはそれらの固溶体以外の I V a， V a, V I a族元素から選ばれた少なくとも 1種の炭化物、 窒化物、 炭窒化物もしくは それらの固溶体からなる化合物が存在していることが確認できた。
1 - 1 ~ 1 - 8までの試料の特性値は従来の方法による 2—：！〜 2— 8の試料 の特性値と比較して優れた値を示し、 その向上割合は 1— 9〜 1— 10の本発明 の試料が従来の方法による試料 2— 9〜 2— 10の特性値に対して向上した値と 比較して大きいことも判明した。 すなわち、 WC結晶粒内に存在する化合物とし ては、 T i、 Z r、 H f 、 Wの炭化物、 窒化物、 炭窒化物もしくはそれらの固溶 体からなる化合物が好ましく、 特に Z rの炭化物、 窒化物が WC結晶粒内に存在 していた試料 1一 2は非常に優れた合金特性を示すことも確認できた。
中でも、 Va， V I a族元素から選ばれた少なくとも 1種の炭化物、 窒化物、 炭窒化物もしくはそれらの固溶体の重量％を W aとし、 I V a族元素から選ばれ た少なくとも 1種の炭化物、 窒化物、 炭窒化物もしくはそれらの固溶体の重量。 /0 を Wbとしたときに Wa/Wbの値が 0〜0. 2の範囲にある 1—：!〜 1—6の 試料が、 従来の方法による試料 2— 1〜 2— 6と比較して特に優れた特性を示す ことも確認できた。
(実施の形態 2)
実施の形態 1で作製した原料 N o. 8と I Va， V a, V i a族元素の炭化物 である T i C、 Ta C、 C r 3 C 2の量が異なる原料 N o . 1 1〜 1 5を準備し (表 3 ) 、 実施の形態 1と同様にして焼結体を作製し、 硬度および破壊靱性の測 定を行った。 その結果を表 4に示す。 また、 WC結晶粒内の上記化合物の有無に ついて、 実施の形態 1と同様に調べたところ、 いずれの試料にも WC結晶粒内に 上記化合物が存在することが確認できた。 表 3
Figure imgf000015_0001
表 3の割合 （％) は、 Va， V I a族元素の炭化物、 窒化物、 炭窒化物もしく はそれらの固溶体 （WCを除く） の含有量の、 結合相の重量に対する割合 （％) である。 なお、 原料 No、 割合および Wa/Wbの列の数字以外の数字は、 w t。/。を示す。 表 4
Figure imgf000015_0002
表 4の結果より、 Ta C， C r 3 C2の合計添加量が結合相の量に対して 1 0 w t %以下である試料 N o. 1 -1 2-1 - 1 5の合金特性は優れており、 中で も T a C、 C r 3C 2の添加量が結合相に固溶できる量より少ない試料 1— 14、 1 -1 5は特に優れた合金特性を示すことが確認できた。
(実施の形態 3)
実施の形態 1と同様にして、 原料 Aと原料 Bの配合比の異なる原料 No. 1 6 〜23を表 5に示す組成で準備した。 これらの粉末を 1 t o n/cm2の圧力で 金型を用いてプレスし、 真空中で 1 500°Cで 1時間保持して焼結を行った。 そ れにより、 I SO型番 CNMG 1 20408の形状の焼結体を作製した。 表 5
Figure imgf000016_0001
表 5の原料 N o . および WAZW Bの列の数字以外の数字は、 w t。/。を示す。 次に、 これらの試料の硬度および破壊靱性を、 実施の形態 1の場合と同様の方 法で測定した。 その測定結果を表 6に示す。 また、 これらの試料を平面研削、 鏡 面研磨後に走査電子顕微鏡で 5 0 0 0倍にて写真撮影した。 この写真を画像処理 装置を用いて粒径が 1 // mを超える WC結晶粒と粒径が 1 以下の WC結晶粒 に分類し、 それぞれの面積率を測定した結果についても表 6中に記載した。 さら に、 これらの WC結晶粒のうち、 粒径が 1 / mを超える WC結晶粒のうちのァス ぺク ト比が 2以上であるものの面積割合を同様にして測定し、 その結果について も表 6中に記載した。 なお、 WC結晶粒内への Z r C、 Z r N、 T i C化合物の 有無については実施の形態 1と同様にして調べた。 その結果、 3— 1 6、 3 - 2 3以外の試料については、 いずれも WC結晶粒内に上記化合物が存在しているこ とが確認できた。
表 6
Figure imgf000017_0001
表 6の結果より、 原料 Aの重量 WAと原料 Bの重量 WBの比 WA/WBが 0. 5〜 30の範囲にある 3— 1 8〜3— 2 1の試料は、 粒径が 1 μ m以下の WC結 晶粒の面積率が 1 0〜 40 %の範囲内にあり、 優れた硬度と破壊靱性のバランス を有している。 中でも、 粒径が 1 /mを超える WC結晶粒のうちのアスペク ト比 が 2以上である WC結晶粒を、 面積率で 3 0%以上を有する試料 3— 20と 3— 2 1は、 特に優れた合金特性を示すことがわかる。
(実施の形態 4)
実施の形態 1で作製した試料 1— 1〜 1— 1 0および試料 2—：！〜 2— 1 0の CNMG 1 20408形状のチップに 0. 0 5 Rのホーユング処理を行った後、 表 7に示す被覆膜を形成した。 そして、 丸棒材の円周方向に 4本の溝を設けた図 2に示す形状の S CM4 3 5製被削材 4を下記条件で切削テストし、 欠損するま での時間を測定した。 その結果を表 7に示す。 なお、 表 7の被覆膜中の DLCは ダイヤモンドライク力一ボン、 CVDは化学蒸着法、 PVDは物理蒸着法を示す。 切削条件 切削速度 1 00 / m i n
送り 0. 4 mm/ r e v
切り込み 2 mm
切削形態 乾式 表 7
Figure imgf000018_0001
表 7の欠損に至るまでの時間を測定した結果より、 本発明の試料 No. 1— 1 〜 1一 5に被覆膜を形成した工具は従来の方法の試料 N o. 2—：！〜 2— 5に被 覆膜を形成した工具よりも優れた性能を示すことがわかる。 なお、 表 7中のダイ ャモンドを立方晶窒化ホウ素 （CBN) にしても同様の結果を得ることができた。 このように、 本発明の超硬合金に被覆膜を形成した試料は優れた特性を発揮でき ること力わ力 る。
(実施の形態 5)
実施の形態 1で作製した N o . 1の原料粉末と同一の組成で、 原料 Aの一部に 使用済超硬合金を亜鉛処理法もしくは高温処理法で処理したリサイクル WC粉末 を使用した原料 No. 24〜28 (表 8) を作製した。 これらを実施の形態 1と 同一の方法で焼結し、 硬度、 破壊靱性、 WC結晶粒内の上記化合物の有無を実施 の形態 1と同様の方法で測定した。 その結果を表 9に示す。
表 8
Figure imgf000019_0001
表 9
Figure imgf000019_0002
表 9の結果より、 亜鉛処理法、 高温処理法でリサイクルした粉末を使用した試 料 24〜28の合金特性は、 リサイクル粉末を用いない試料 1と同等の優れた特 性を示していることがわかる。 このように、 本発明の方法では、 従来、 合金特性 が劣るため少量しか使用できなかったリサイクル粉末を W C粉末の主成分として 使用できる。 それにより、 これまでの超硬合金の製造法と比較して低コストで地 球環境保護に好ましい超硬合金が得られる。
(実施の形態 6)
原料 Aとして平均粒径 0. 9 μmのWC粉末、 原料 Bとして平均粒径 4 / mの WC粉末、 原料 Cとして平均粒径 1. 5 //mの C o粉末、 平均 1. 8 μπιの C r 粉末、 原料 Dとして平均粒径 0· 1 μηι、 0. 5 /zm、 0. 9 mのZ r CN粉 末を用いて、 表 10の組成に配合した原料 No. 29〜32を作製した。 表 1 0
Figure imgf000020_0001
表 1 0の原料 N oの列の数字以外の数字は、 w t %を示す。 原料 N o . 2 9 ~ 3 2の粉末を用いて、 実施の形態 1と同様にして、 プレス、 焼結を行ない、 I S O型番 C NMG 1 2 0 4 0 8の形状の焼結体を作製した。 次に、 実施の形態 4と 同様の手法で、 これらの試料の切削テス トを行ない、 欠損するまでの時間の測定 を行なった。 測定結果を表 1 1中に示す。 また、 これらの試料を平面研削、 鏡面 研磨後に、 走査電子顕微鏡で 5 0 0 0倍にて写真撮影したところ、 WC結晶粒に 上記化合物が存在していることが確認できた。 また、 この化合物の組成は、 E D X分析により、 Z rの炭窒化物であることも確認できた。 さらに、 この写真を用 いて、 画像処理装置により、 写真内の WC結晶粒の総面積とそれらの中で結晶粒 内に上記化合物の存在が認められる結晶粒の面積を測定し、 結晶粒内に上記化合 物が存在する WC結晶粒の面積率を算出した。 その結果を表 1 1に示す。
Figure imgf000020_0002
表 1 1の結果より、 Z r C N粉末には微粒原料を用いた方が、 Z r C Nを結晶 粒内に取込む WC結晶粒の面積率が高くなり、 結晶粒内に上記化合物が存在する
WC結晶粒の面積率が多いほど耐欠損性も向上することがわかる。 中でも、 結晶 粒内に上記化合物が存在する WC結晶粒の面積率が 1 0 %を超えると急激に耐欠 損性が向上することも確認できた。
(実施の形態 7)
表 1 2に示す組成の粉末を用いて、 ボールミルによりアセトン溶媒中で 2時間 の混合を行なった。 その後、 この粉末を乾燥させ、 1 t o nZc m2の圧力で金 型を用いてプレスし、 真空中で 1 5 0 0°Cの温度下で 1時間保持して焼結を行な つた。 それにより実施の形態 1と同じ CNMG 1 204 0 8の形状の焼結体 N o . 3— 4〜3— 6を作製した。 なお、 これらの焼結体には WC結晶粒内に表 1 3に 示す化合物が存在することが、 透過型電子顕微鏡で EDXもしくは X線定性分析 を行なうことで確認できた。 次に、 これらの試料の硬度および破壊靱性を実施の 形態 1と同様の方法で測定した。 その結果を表 1 4に示す。 表 1 2
Figure imgf000021_0001
数字は体積％を表わす 表 1 3
化合物を内部に有する
試料 原料 WG粒内に存在する
WG結晶粒の面積に対する 本発明品
No. No. 化合物
化合物の面積の割合 (%)
3-1 33 TiC 5 〇
3-2 34 TiCN 5 O
3-3 35 TiN 5 o
3-4 36 ZrN 5 〇
3-5 37 ZrCN 5 〇
3-6 38 ZrN 5 〇 表 1 4
Figure imgf000022_0001
表 1 4の結果より、 Z r化合物が WC結晶粒内に析出した試料 N o. 3— 4〜 3— 6の試料は、 T i化合物が WC結晶粒内に析出した試料 No. 3— :！〜 3— 3の試料よりも優れた硬度と破壊靱性のバランスを有することが確認できた。 さ らに、 この焼結体を平面研削、 外周研削し、 さらに 0. 0 5 Rのホ一エング処理 を行なった後、 下層から順に 0. 5 //mT i N、 5 μ mT i CN, 3 μ mT i C, 2 μηιアルミナ、 0. 5 μ mT i Nの被覆膜を C V D法でコーティングした。 こ れらの試料を用いて、 実施の形態 4で用いた被削材を下記の条件で切削し、 欠損 するまでの時間を測定した。 その結果を表 1 4に示す。
切削条件 切削速度 200 m/m i n
送り 0. 2 mm/ r e v
切り込み 2 mm
切削形態 湿式
表 1 4に記載した結果より、 Z r化合物が WC結晶粒内に析出した試料 N o . 3— 4〜 3— 6の試料は、 T i化合物が WC結晶粒内に析出した試料 N o. 3— 1〜 3— 3の試料よりも優れた耐欠損性を示すことが確認できた。
以上説明したように、 本発明によれば、 I Va， V a, V I a族元素から選ば れた少なくとも 1種の炭化物、 窒化物、 炭窒化物もしくはそれらの固溶体からな る化合物が WC結晶粒の中に生成されることにより、 強度に優れた WC結晶とな り、 特にその効果は WC結晶粒が板状である場合に顕著となる。 その結果、 強度 と靱性に優れた超硬合金を提供することができる。 産業上の利用可能性
この発明は、 切削工具ゃ耐衝撃工具等の工具に有利に適用され得る。

Claims

請求の範囲
1 . 炭化タングステン （WC ) を主体とする結晶粒と鉄族金属を主体とする結 合相からなる超硬合金において、 炭化タングステン結晶粒の少なくとも一部の内 部に I V a， V a， V I a族元素から選ばれた少なくとも 1種の炭化物、 窒化物、 炭窒化物もしくはそれらの固溶体であって前記炭化タングステン以外のものから なる化合物が存在することを特徴とする超硬合金。
2 . 前記超硬合金の断面組織において、 前記化合物を内部に有する前記炭化タ ングステン結晶粒の面積に対する前記化合物の面積が 1 0 %以下であることを特 徴とする、 請求項 1に記載の超硬合金。
3 . 前記超硬合金の断面組織において、 結晶粒内に前記化合物が存在する前記 炭化タングステン結晶粒の面積率が、 すべての前記炭化タングステン結晶粒の面 積の 1 0 %以上であることを特徴とする、 請求項 1に記載の超硬合金。
4 . 前記化合物が、 チタン （T i ) 、 ジルコニウム （Z r ) 、 ハフニウム （H f ) 、 タングステン （W) の少なくとも 1種の炭化物、 窒化物、 炭窒化物もしく はそれらの固溶体であつて前記炭化タンダステン以外のものからなることを特徴 とする、 請求項 1に記載の超硬合金。
5 . 前記化合物が、 ジルコニウム （Z r ) の炭化物、 窒化物、 炭窒化物の少な くとも 1種からなることを特徴とする、 請求項 1に記載の超硬合金。
6 . 前記化合物の存在が、 断面組織上の形状がアスペク ト比で 2以上の前記炭 化タングステン結晶粒内で認められることを特徴とする、 請求項 1に記載の超硬 合金。
7 . 前記化合物の平均粒径が 0 . 3 μ m未満であることを特徴とする、 請求項 1に記載の超硬合金。
8 . V a , V I a族元素から選ばれた少なくとも 1種の炭化物、 窒化物、 炭窒 化物もしくはそれらの固溶体であつて前記炭化タンダステン以外のものからなる 化合物の重量。 /0を W aとし、 I V a族元素もしくはタングステン （W) から選ば れた少なくとも 1種の炭化物、 窒化物、 炭窒化物もしくはそれらの固溶体であつ て前記炭化タングステン以外のものからなる化合物の重量。 /0を W bとしたときに、 \¥& 1^ 13の値が0〜0. 2であることを特徴とする、 請求項 1に記載の超硬合 金。
9. V a, V I a族元素から選ばれた少なくとも 1種の炭化物、 窒化物、 炭窒 化物もしくはそれらの固溶体であつて前記炭化タングステン以外のものからなる 化合物の含有量が、 結合相の重量に対して 10重量％以下であることを特徴とす る、 請求項 1に記載の超硬合金。
10. 前記超硬合金の断面組織において、 粒径が 1 μ m以下の前記炭化タンダ ステン結晶粒の面積率が、 すべての前記炭化タングステン結晶粒面積の 10〜4 0 %で、 粒径が 1 mを超える前記炭化タンダステン結晶粒の面積率が、 すべて の前記炭化タングステン結晶粒面積の 60〜 90。/0であることを特徴とする、 請 求項 1に記載の超硬合金。
1 1. 粒径が 1 μ mを超える前記炭化タングステン結晶粒のうち断面組織上の 形状がァスぺク ト比で 2以上であるものを 30%以上含むことを特徴とする、 請 求項 10に記載の超硬合金。
1 2. 平均粒径が 0. 6〜1 //mの炭化タングステン （WC) 粉末 （原料 A) と、 平均粒径が前記原料 Aの 2倍以上となる炭化タングステン粉末 （原料 B) と、 コバルト （Co) 、 ニッケル （N i ) 、 クロム （C r ) 、 鉄 （F e) 、 モリブデ ン （Mo) から選ばれた少なくとも 1種の金属の粉末 （原料 C) と、 平均粒径が 0. 01〜0. 5 111でぁり 1 3， V a, V I a族元素から選ばれた少なくと も 1種の炭化物、 窒化物、 炭窒化物もしくはそれらの固溶体であって前記炭化タ ンダステン以外のものからなる原料 Dとを原料粉末として用いることを特徴とす る、 超硬合金の製造方法。
13. 前記原料 Aの重量 WAと、 前記原料 Bの重量 WBの比 WA/WBが 0. 5〜 30であることを特徴とする、 請求項 1 2に記載の超硬合金の製造方法。
14. 前記原料 Aの少なくとも一部に、 超硬合金のリサイクル粉末を用いるこ とを特徴とする、 請求項 1 2に記載の超硬合金の製造方法。
1 5. 前記リサイクル粉末の粉砕で生じた前記炭化タンダステン粉末の重量 W Rと前記原料 Aの重量 WAの比 WR/WAが 0. 3〜：！であることを特徴とする、 請求項 14に記載の超硬合金の製造方法。
16. 請求項 1に記載の超硬合金からなる工具表面に、 I Va， V a, V i a 族元素， A 1から選ばれた少なくとも 1種の炭化物、 窒化物、 酸化物、 ホウ化物、 これらの固溶体、 あるいはダイヤモンド、 ダイヤモンドライクカーボン （DL C) 、 立方晶窒化ホウ素 （CBN) の少なくとも 1層以上からなる被覆膜を設け た、 超硬工具。
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