UA64008C2 - A furnace for the manufacture of ingots of synthetic transparent quartz glass and a method for preparing the shaped article from the synthetic transparent quartz glass - Google Patents
A furnace for the manufacture of ingots of synthetic transparent quartz glass and a method for preparing the shaped article from the synthetic transparent quartz glass Download PDFInfo
- Publication number
- UA64008C2 UA64008C2 UA2001021047A UA2001021047A UA64008C2 UA 64008 C2 UA64008 C2 UA 64008C2 UA 2001021047 A UA2001021047 A UA 2001021047A UA 2001021047 A UA2001021047 A UA 2001021047A UA 64008 C2 UA64008 C2 UA 64008C2
- Authority
- UA
- Ukraine
- Prior art keywords
- ingot
- quartz glass
- transparent quartz
- glass
- synthetic transparent
- Prior art date
Links
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 91
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims abstract description 27
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 16
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims abstract description 14
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims abstract 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 41
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 claims description 20
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 15
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 12
- -1 silica compound Chemical class 0.000 claims description 9
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N ZrO2 Inorganic materials O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 230000004927 fusion Effects 0.000 claims description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 5
- 238000003892 spreading Methods 0.000 claims description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 4
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 claims description 3
- HMMGMWAXVFQUOA-UHFFFAOYSA-N octamethylcyclotetrasiloxane Chemical compound C[Si]1(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O1 HMMGMWAXVFQUOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 claims description 3
- XMSXQFUHVRWGNA-UHFFFAOYSA-N Decamethylcyclopentasiloxane Chemical compound C[Si]1(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O1 XMSXQFUHVRWGNA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 2
- UQEAIHBTYFGYIE-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisiloxane Chemical compound C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C UQEAIHBTYFGYIE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N methyltrimethoxysilane Chemical compound CO[Si](C)(OC)OC BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 13
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 9
- 239000011449 brick Substances 0.000 description 8
- 239000011819 refractory material Substances 0.000 description 8
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 7
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 6
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 5
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 5
- 229910021487 silica fume Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 239000006060 molten glass Substances 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 description 3
- VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 4-[4-(4-methoxyphenyl)piperazin-1-yl]aniline Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1N1CCN(C=2C=CC(N)=CC=2)CC1 VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 2
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 2
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005049 silicon tetrachloride Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000004017 vitrification Methods 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005046 Chlorosilane Substances 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010923 batch production Methods 0.000 description 1
- YXTPWUNVHCYOSP-UHFFFAOYSA-N bis($l^{2}-silanylidene)molybdenum Chemical compound [Si]=[Mo]=[Si] YXTPWUNVHCYOSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 238000005524 ceramic coating Methods 0.000 description 1
- KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N chlorosilane Chemical class Cl[SiH3] KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 239000000156 glass melt Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000000265 homogenisation Methods 0.000 description 1
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910021343 molybdenum disilicide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000003345 natural gas Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000005373 porous glass Substances 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
- 239000011882 ultra-fine particle Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B20/00—Processes specially adapted for the production of quartz or fused silica articles, not otherwise provided for
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B19/00—Other methods of shaping glass
- C03B19/14—Other methods of shaping glass by gas- or vapour- phase reaction processes
- C03B19/1484—Means for supporting, rotating or translating the article being formed
- C03B19/1492—Deposition substrates, e.g. targets
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B17/00—Forming molten glass by flowing-out, pushing-out, extruding or drawing downwardly or laterally from forming slits or by overflowing over lips
- C03B17/04—Forming tubes or rods by drawing from stationary or rotating tools or from forming nozzles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B19/00—Other methods of shaping glass
- C03B19/09—Other methods of shaping glass by fusing powdered glass in a shaping mould
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B19/00—Other methods of shaping glass
- C03B19/14—Other methods of shaping glass by gas- or vapour- phase reaction processes
- C03B19/1407—Deposition reactors therefor
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/50—Multiple burner arrangements
- C03B2207/52—Linear array of like burners
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Silicon Compounds (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Description
Опис винаходу
Плавлені кварцові стекла, виготовлені звичайно плавленням, очищених природних кварцових кристалічних 2 порошків, широко використовуються в оптичній, оптико-волоконній та напівпровідниковій промисловості завдяки своїм оптичним властивостям, хімічній стійкості, термічній стабільності або іншим властивостям.
У деяких критичних способах використання домішки або неоднорідності, які виникають унаслідок використання природної кристалічної сировини, можуть бути неприйнятними, і тоді стає необхідним заміна його синтетично отриманим матеріалом. Іноді він може являти собою синтетично виготовлений порошок, але більш 70 широко продукти найвищого сорту з прозорого кварцового скла отримують осадженням пар. Таким чином, випаровану вихідну сполуку кремнію подають у полум'я синтезу, де її окиснюють або гідролізують, щоб отримати потік кремнеземного диму або потік мікрочастинок кремнезему, які осаджують або у вигляді маси пористих кремнеземних ультрадисперсних частинок, яка може бути дегідрована або допірована нагріванням у відповідній атмосфері, і потім спечена зі склом, яке не містить пори, або альтернативно осаджують при такій температурі, 79 Що осаджуваний кремнезем спікається безпосередньо з прозорим склом.
Останній спосіб, який часто називають способом прямого осадження, надає скло з відносно високим вмістом
ОНі(вмістом гідроксилів), типово 800-1200ррт за вагою, але це допустимо для багатьох способів використання, для оптичних компонентів, таких, як призми, лінзи та ін., для більш крупних виробів, таких, як вікна печей або космічних кораблів та ін., для дзеркал та для виробництва фотомасок, тобто пластин, які несуть на собі зображення, яке необхідно надрукувати способом фотолітографії на тонкій кристалічній пластині кремнію під час виготовлення мікросхем.
Спосіб прямого осадження може працювати у будь-якому з двох режимів. У першому режимі, показаному на фігурі 1 супровідних креслень, пальник 11 дає полум'я синтезу 12, звичайне киснево-водневе полум'я, і у нього подають за допомогою центральної трубки 11а потік вихідного матеріалу. Вихідний матеріал може являти собою с один або більше газоподібний хлорсилан(наприклад, тетрахлорид кремнію), але останнім часом було (3 встановлено, що більш переважними є не утримуючі хлор вихідні матеріали. Сполуки кремнію окиснюють або гідролізують, щоб отримати потік кремнеземного диму або потік мікрочастинок кремнезему, який направляють на підкладку, яка створює випуклий кінець 13а обертового циліндричного злитка 13, який підтримується усередині конструкції печі 14. Значна частина кремнезему, який генерується у полум'ї, осаджується на підкладку, яку со повільно витягують(у напрямку 7) з печі, переважно підтримуючи по суті постійну відстань від пальника до ав підкладки. Кремнезем осаджують на підкладку при такій температурі, що він безпосередньо спікається з прозорим, не утримуючим пори склом. Злиток може обертатися навколо горизонтальної, вертикальної або іншої о осі і може зазнавати коливального руху вздовж тієї або іншої осі або обох осей(Х і/або У) перпендикулярно «І руху обертання, щоб розподілити термічне навантаження на кінці злитка 1За і, таким чином, збільшити
Зо гомогенність осаджуваного скла або контролювати форму поперечного перерізу злитка. о
Друге геометричне компонування, яке використовується для збору скла прямим осадженням, показане на фігурі 2 супровідних креслень. Воно використовує обертовий неглибокий вогнетривкий тигель 21, звичайно облицьований цирконом або вогнетривкими цеглинами на основі двоокису цирконію, змонтований на поворотній «Ф плиті 22. Дно неглибокого тигля звичайно облицьоване спочатку шаром кварцу високої чистоти, або порошком З 70 кварцового скла 23, або альтернативно подрібненим синтетичним прозорим кварцовим склом для максимальної с чистоти. Зверху цього тигля змонтована вогнетривка кришка 24, яка несе на собі одну або більше пальників для
Із» синтезу 25. Тигель може мати від 1 до 2 метрів у діаметрі та при таких обставинах може використовуватися значне число пальників. Вони служать як для нагріву тигля до температури вище за температуру плавлення кремнезему, так і як генератори полум'я 26 для синтезу, кожний з яких осаджує потік кремнеземного диму або
Уультрадисперсних частинок на поверхню басейну розплавленого скла 27, який створюється у тиглі. б Після того, як таким чином створена відповідна товщина скла, тиглю дають охолодитися, видаляють «їз» вогнетривкі стінки, і злиток скла у формі диска виймають, щоб розрізати, піддають механічній обробці або формують іншим способом у необхідну форму. о Спосіб за фігурою 1 можна використати для виробництва циліндричного(наприклад, кільцеподібного ав! 20 циліндричного) злитка. Він може бути відповідного розміру для перетворення у циліндричні секції, якщо це потрібно, наприклад, для заготовок лінз або дзеркал, або може бути перетворений подальшою термічною со обробкою у продукт у формі прута або труби. Однак циліндрична форма може, бути незручним вихідним матеріалом для деяких застосувань. Таким чином, для певної мети, де потрібні серії квадратних або прямокутних продуктів, наприклад, для підкладок фотомасок, їх або піддають механічній обробці із злитка 25 більшого розміру з очевидними витратами, або альтернативно змінюють форму циліндричного злитка,
ГФ) наприклад, нагріваючи до температури розм'якшення у графітовій формі відповідних внутрішніх розмірів та осаджуючи під власною вагою, або з доданням тиску, щоб примусити розм'якшений кремнезем прийняти вигляд о форми. Після охолоджування злиток із зміненою формою можна розрізати на частини бажаних розмірів. Ця вторинна операція є дорогою та призводить до втрат матеріалу. 60 Якщо такі форми необхідно вирізати з одного з великих злитків у формі диска, які виготовлені за способом плавильного тигля фігури 2, це включає дорогі операції розрізання і також має багато витрат. Може бути також необхідно бракувати матеріал незадовільної якості, наприклад, через забруднення від вогнетривких матеріалів кришки печі або від самого плавильного тигля.
Таким чином, для певних форм продукту, особливо форм квадратного поперечного перерізу, жоден з двох бо головних способів виготовлення не дає злиток, який можна використати безпосередньо та з високою ефективністю матеріалів. Більше того, жоден з них не допускає безперервного функціонування, як було би бажано для більш економічної роботи, оскільки обидва є по суті періодичними процесами.
Аналогом винаходу є міжнародна заявка РСТ/О596/14428(МО 97/10183), в якій описана герметична судина
Для виробництва плавленого кварцового скла. Відповідно до цього винаходу спечені кремнієві зливки з покращеною гомогенністю виробляються шляхом піддавання злитка дії радіального рушення під час його виробництва з метою досягнення місцевого змішування частин злитка, які могли зазнавати різних умов відкладення. Змішування досягається одним з наступних шляхів або їхньою комбінацією: 1) використання герметичної судини обладнаної стінками, розташованими під нахилом; 2) використання герметичної судини, в 70 якій внутрішній радіус(гм) є значно більшим ніж зовнішній радіус(грЬ) пальників, що використовуються для виробництва злитка; і/або підтримання злитка в умовах відносно високої температури під час відкладення таким чином, щоб досягався радіальний потік з мінімальною висотою скла. З таких злитків можуть вироблятися великі заготівлі з високою гомогенністю, зокрема, заготівлі з діаметрами більше 200мм і значеннями Ар меншими за 0,25 х 10,
Найбільш близьким до заявленого винаходу є рішення за японською патентною заявкою УР 63319220. В заявці описується виробництво кварцу, відповідно до якого кварцовий стрижень безперервно виробляється шляхом протягування кварцу спеченого в печі за допомогою протяжного механізму через стискувальну частину утворену у нижній частині печі і його застигання шляхом охолоджування на повітрі. Протяжний механізм складається з стрічок для вставляння стрижню між ними та гвинтових стрижнів, які обертаються за допомогою двигуна і вертикально переміщують стрічки. У вищезгаданому способі температура поверхні стрижня в нижній частині стискувальної частини вимірюється двокольоровим термометром і виміряне значення передається на контролюючий пристрій, який регулює швидкість протягування стрижня із застосуванням двигуна таким чином, що температура поверхні регулюється відповідно до попередньо заданої цільової температури.
Таким чином, існує потреба у способі прямого осадження синтетичного прозорого кварцового скла, який с може працювати безперервно і який буде давати злиток із заздалегідь певними розмірами поперечного перерізу, о тобто круглого, квадратного, прямокутного або іншого.
Задачею винаходу є створення способу для безперервного формування скляних чистих злитків з синтетичного прозорого кварцового скла із заздалегідь певними контрольованими розмірами поперечного перерізу. Задачею є також створення відповідної конструкції печі для реалізації винаходу. Зазначений винахід (ее) завдяки застосуванню безперервного виробництва дозволяє більш економно проводити процес виготовлення скляних злитків. о
Згідно з одним аспектом винаходу спосіб отримання формованого виробу з синтетичного прозорого ав) кварцового скла включає стадії генерування маси синтетичного кремнезему у вогнетривкій місткості, частина межі якої визначає межі формувального отвору, і видалення виготовленого синтетичного кремнезему з місткості т через отвір у вигляді формованого злитка. (Се)
Вогнетривка місткість(наприклад, плавильний тигель) бажано міститься усередині корпусу вогнетривкої печі.
Температура кремнезему усередині місткості може підтримуватися вище за температуру сплавлення одним або більше пальниками, які можуть зручно підтримуватися кришкою корпусу печі так, що полум'я кожного пальника « спрямовано безпосередньо вниз у напрямку до плавильного тигля. Переважно, синтетичний кремнезем виробляють осадженням пари у цьому випадку принаймні один з пальників повинен бути пальником синтезу. - с Альтернативно, заздалегідь синтезований кремнезем можна подавати у тигель, наприклад, у формі порошку, ц кристалічних або аморфних гранул. ,» Зручно, коли формувальний отвір розташований у найнижчій частині маси у тиглі і видалення включає поступове відведення злитка знизу, переважно при швидкості, схожій зі швидкістю, при якій синтетичний
Ккремнезем додають до маси. (є) Переважно, що пальник(і) служить(ать) як для генерування синтетичного кремнезему у формі макрочастинок, їз так і для нагрівання розплаву так, щоб кремнезем безпосередньо спікавсий зі склом у масі. При необхідності додаткову кількість тепла можна передавати додатковим нагрівальним засобом. (ав) Згідно з подальшим аспектом, винахід надає піч для виготовлення злитків з синтетичного прозорого о 50 кварцового скла, причому ця піч містить корпус з розміщеною у ньому вогнетривкою місткістю, причому ця місткість здатна витримувати розплав синтетичного прозорого кварцового скла; один або більше пальників,
ІЧ е) направлених усередину корпуса печі та здатних у процесі роботи підтримувати температуру прозорого кварцового скла усередині вказаної місткості при або вище його температури сплавлення; екструзійну головку, розташовану усередині стінки вказаної місткості, причому екструзіийна головка має отвір, через який екструдують злиток скла; та систему рухомих затискачів нижче отвору, пристосованих для підтримки екструдованого злитка. о Переважно, принаймні один пальник являє собою пальник синтезу, адаптований як для осадження іме) синтетичного прозорого кварцового скла у вогнетривку місткістьс(наприклад, тигель), так і для допомоги. у підтримці температури такого кремнезему вище його температури сплавлення. При такому розташуванні апарат 60 також містить засіб для подачі кисню, пального та кремнієвмісного вихідного матеріалу до кожного пальника для синтезу.
За вибором тигель з його головкою для екструзії, злиток та пристрій затискачів можуть синхронно обертатися, щоб забезпечити осаджене скло поліпшеної гомогенності.
І, також за вибором, тигеля його головкою для екструзії, злиток та система затискачів можуть переміщатися 65 поворотно-поступально горизонтально у напрямку Х, або альтернативно у ортогонально розташованих напрямках Х та У, для розтікання осадженого скла від одного або більше пальників.
Альтернативно, розтікання осадженого кремнезему можна досягнути подібним переміщенням комплекту пальників та корпусу печі.
Винахід далі буде більш повно описаний за допомогою прикладу з посиланням до фігур З та 4 супровідних креслень.
В одному варіанті здійснення винаходу, як ілюструється на фігурі З, апарат містить корпус печі 31, облицьований вогнетривкою цеглою, та несучу кришку 32, також зроблену з відповідного вогнетривкого матеріалу. Один або більше пальників 33 виступають через цю кришку. Ці пальники можна зробити з металу або кварцового скла, і у них подають горючий газ(наприклад, водень і/або природний газ та ін.), кисень та пари 70 відповідної сполуки кремнію, яка при окисненні або гідролізі дає потік мікрочастинок кремнеземного диму, потік якого направляють до поверхні маси 34 розплаву скла, яке міститься у вогнетривкій місткості або плавильному тиглі З5.
Вихідний матеріал може являти собою тетрахлорид кремнію або інший галосилан, у цьому випадку газоподібні продукти містять отруйні та корозійні побічні продукти, хлористоводневу кислоту та хлор. З ними /5 треба поводитися обережно і чистити на відповідному обладнанні для очищення газів перед викидом в атмосферу. Альтернативно, якщо вихідний матеріал являє собою сполуку кремнію, яка не утримує хлор, таку як силоксан або алкоксисилан, тоді газоподібні продукти містять тільки діоксид вуглеводу, пари води та незібраний кремнеземний дим, і обробка відходів значно спрощується.
Існує широкий діапазон потенційних силоксанів, які можна використати у пальниках 33, але переважні билоксани являють собою поліметилсилоксани, включаючи лінійний поліметилсилоксан гексаметилдисилоксан, та циклічні поліметилсилоксани октаметилциклотетрасилоксан( о МС) та декаметилциклопентасилоксан(ОМСРБ). З різноманітної кількості алкоксисиланів, які альтернативно можуть використовуватися, одна з переважних вихідних сполук являє собою метилтриметоксисиланімМ ТМ).
Як альтернатива, синтетичне прозоре кварцове скло(наприклад, яке виробляється з одного з вищезгаданих с ов вихідних матеріалів) може безпосередньо подаватися у плавильний тигель у формі порошку, кристалічних або аморфних гранул, а не осаджуватися там за допомогою пальника для синтезу. і)
Газоподібні продукти відводять з печі за допомогою витяжних каналів 36, 37, причому їх потоки контролюються за допомогою клапанів З8, 39.
Як було зазначено, вогнетривка огорожа 35 служить як тигель, щоб містити розплав скла, і в основі цього со зо Тигля є отвір 40, який може бути обмежений цеглинами екструзійної головки, або іншим збиранням головки 40а, сконструйований для отримання виходу, який служить як безперервна насадка для лиття, через яку о розплавлене скло поступово просувається у ході процесу. Ця екструзійна головка з цеглі або збирання головки о може бути зроблена з вогнетривкого матеріалу, схожого з тим, який використаний для облицювання місткості З5, або може бути виготовлена з іншого вогнетривкого матеріалу, вибраного через поліпшену стійкість до - з5 руйнування, або навіть може бути виготовлена з вогнетривкого металу, необов'язково захищеного керамічним со покриттям(наприклад, молібдену, покритого дисиліцидом молібдену). При використанні отвору металевої екструзійної головки переважно оточити метал, який зазнає впливу(наприклад, нижню частину країв головки), відновлювальним газом, таким, як газова суміш водню з азотом.
Тигель 35 підтримується, за допомогою відповідних ізолюючих цеглин 41, на фіксованій опорній плиті 42. «
Нижче отвору 40 знаходиться скляний злиток 43, який підтримується серією рухомих затискачів 44, які з с протягом нормальної роботи призначені поступово переміщатися вниз, підтримуючи відведення розплаву з . тигля 35 при вибраній швидкості(наприклад, відповідної швидкості, при якій синтетичне кремнеземне скло и?» осаджується зверху набором пальників 34). Час від часу захват будь-якого з цих затискачів може бути відчеплений від злитка, і затискач незалежно від інших затискачів може бути переміщений вгору до верхньої
Межі свого руху, перш ніж буде встановлений знову для захоплення злитка, який опускається. Таким чином б затискачі циклічно переміщаються вгору і повільно вниз, та підтримується постійний рух злитка скла вниз.
При забезпеченні постійного захоплення злитка щонайменше двома затискачами, злиток підтримується ве абсолютно прямо. о Від нижньої частини скляного злитка 43 може бути з проміжками відрізаний шматок, наприклад у точці 45, доступній з рівня середнього ярусу 46, і потім опущений на рівень першого ярусу 47, де його звільняють та о видаляють для подальшої обробки. с Таким чином, вибираючи розміри отвору 40, можна безперервно отримувати злиток синтетичного прозорого кварцового скла із заздалегідь заданими поперечним перерізом та розмірами. Таким чином, можна виготувати циліндричний злиток або злиток квадратного або прямокутного перерізу та навіть екструдувати прямокутник з ов Високим співвідношенням сторін, тобто пластину. У той час, як для простоти основа плавильного тигля 35 показана на фігурі З по суті як плоска, для деяких застосувань може бути переважним мати альтернативні (Ф, форми, наприклад, зрізано-конічну, для полегшення просування потоку скла до отвору 40, щоб забезпечити ка належний розподіл температури біля стінок місткості та щоб звести до мінімуму розсклування біля; стінок або навколо отвору, що може в іншому випадку впливати на розміри екструдованного злитка. 60 Зображений на фігурі З спосіб можна починати таким чином. Плавильний тигель 35 збирають на опорній плиті 41, і вставляють вузол екструзійної головки 40а. Заздалегідь виготовлений злиток підіймають за допомогою затискачів 44 в отвір 40. Цей злиток можна механічно обробити, якщо це необхідно, щоб він точно відповідав отвору екструзійної головки, і він служить як затравка. Основу тигля покривають виготовленим раніше синтетичним прозорим кварцовим склом(наприклад, у формі шматків скла). Піч доводять до б5 температурної межі, нагріваючи комплектом пальників, спричиняючи плавлення початкового завантаження печі та злиття з верхнім краєм виступаючої затравки. Потім у пальники подають вихідний матеріал і, як тільки починає відбуватися осадження скла, рівень розплаву у тиглі 35 збільшується. Коли досягається бажана глибина розплаву, починається відведення злитка поступовим рухом донизу затискачів 42. Потім виготовлення злитка продовжується у вигляді постійного процесу, з відведенням злитка, щонайменше, по суті відповідним швидкості осадження скла, і з відрізанням секцій злитка і віддаленням при необхідних інтервалах(наприклад, постійних інтервалах).
Процес, який зображений на фігурі 3, зручний для багатьох застосувань, де потрібний скляний злиток з високою чистотою та контрольованими розмірами. Однак, як зображено, тигель 35 є стаціонарним, і очевидно, що кожний пальник 33 направлений до фіксованої області поверхні розплаву. Осаджувальне у цій області 7/0 бтекло, таким чином, має ледве відмінний рівень гідроксилів, ніж скло, осаджене у будь-якому іншому місці у більш холодних областях. Якщо використовують хлоровмісний вихідний матеріал, тоді вміст хлору у склі буде вище в областях впливу кожного полум'я для синтезу. Ці ефекти можуть призвести до незначної негомогенності у хімічних властивостях, а також у показнику заломлення скляного злитка. На цій підставі може виявитися бажаним обертати тигель 35 та злиток 43 у ході процесу, і це досягається за допомогою вдосконаленого /5 варіанту способу, показаного на фігурі 4.
У цьому випадку апарат включає у себе корпус печі 51, облицьованої вогнетривкою цеглою, та несучу кришку 52, також виготовлену з відповідного вогнетривкого матеріалу. Один або більше пальників 53 виступають через цю кришку. Ці пальники можна виготовити з металу або кварцового скла, і у них подають горючі гази, кисень та вихідну пароподібну речовину, як описано вище.
Газоподібні продукти відводять з печі за допомогою витяжних каналів 56, 57, причому їх потік контролюють за допомогою клапанів 58, 59.
Склоподібні продукти також збирають у вогнетривку місткість або вузол плавильного тигля 55, в основі якого розташований формувальний отвір 60, обмежений вогнетривкою головкою для екструзії, зробленої з однієї або більше цеглин, або альтернативно вогнетривкою металевою плитою, як описано вище. Вузол плавильного с об Тигля 55 також спирається на ізолюючі цеглини 61 та на опорну плиту 62, яка включає у себе у цьому випадку поворотну плиту, яку підтримують на постійній висоті, але яка здатна обертатися навколо вертикальної осі. і)
Під формувальним отвором 60 знаходиться скляний злиток 63, який підтримується серією обертових затискачів 64, які виконані з можливістю синхронного обертання з вузлом плавильного тигля 55 та поворотною плитою 62, але які також здатні поступово просуватися вперед у нижньому напрямку, причому всі затискачі со зо рухаються з рівною швидкістю, таким чином надаючи можливість відводити розплав з вузла плавильного тигля 55 при вибраній швидкості(переважно постійної швидкості, відповідної швидкості, при якій синтетичне кварцове о скло осаджується комплектом розташованих вище пальників). о
Як і у попередньому варіанті, захват будь-якого з цих затискачів 64 може бути відчеплений від злитка 63, і затискач може бути потім незалежно від інших затискачів піднятий вгору до верхньої межі свого руху, перш « з5 Ніж буде встановлений знову для захоплення злитка, який опускається. Таким чином, затискачі 64 циклічно со переміщуються вгору і повільно вниз, у той самий час обертаючись з постійною швидкістю, та підтримують постійне обертання і стабільний рух скляного злитка вниз. Використовуючи двокулачкові затискачі 64, можна утримувати злиток абсолютно прямо.
Від скляного злитка може бути з проміжками відрізаний шматок, наприклад у точці 65, на рівні середнього « ярусу 66, і потім цей шматок опущений до рівня першого ярусу 67, де його відокремлюють та віддаляють для з с подальшої обробки.
Й Знову, вибираючи розміри формувального отвору 60, можна безперервно отримувати злиток синтетичного а прозорого кварцового скла із заздалегідь визначеними поперечним перерізом та розмірами. Таким чином, можна виготовляти круглий циліндричний злиток або злиток квадратного або прямокутного перерізу та навіть екструдувати злиток з поперечним перерізом, що являє собою прямокутник з високим співвідношенням сторін,
Ге» тобто пластину. У той час, для спрощення основа вузла тигля 55 на фігурі 4 показана по суті як плоска, для деяких застосувань може бути переважним наявність альтернативної форми, наприклад зрізано-конічної, для о полегшення просування потоку скла до формувального отвору 60, щоб забезпечити відповідний розподіл о температури біля стінок посудини та для зменшення до мінімуму розсклування біля стінок або навколо отвору 80, що в іншому випадку може впливати на розміри екструдованого злитка. о Через обертання вузла плавильного тигля 55 пальники 53 здійснюють осадження на безперервно рухому с поверхню, і це уможливлює уникнення перегріву будь-якої локалізованої області на поверхні скла, збільшує ефективність осадження та дозволяє досягнути значного збільшення гомогенності скла, осаджуваного у тиглі.
Крім того, поступовий рух скла через вузол тигля до отвору 60 дозволяє протікати процесам змішання і дифузії, ов Які додатково збільшують гомогенність продукту зі скла.
Пристрій, який включає у себе поворотну плиту 62 та рухомі затискачі 64, може розглядатися як великий (Ф, вертикально розташований токарний верстат, основа якого включає у себе вузол опори 68. Для досягнення ка максимальної гомогенності, можна надати підтримуючій опорі 68 горизонтальний поворотно-поступальний рух у
Х-нагірямку, або навіть в обох Х- та У-напрямках, причому ці напрямки знаходяться під прямим кутом один до бо одного і під прямим кутом до напряму 7 виштовхування злитка, але це не є необхідним для більшості способів отримання продукту, який являє собою скляний злиток. Альтернативно, у принципі можна надати вузлу кришка печі/пальника повільні коливання у Х-напрямку і потенційно у Х- та У-напрямках, щоб здійснити такий самий процес гомогенізації.
Очевидно, що вибір вогнетривких матеріалів є важливим для успішного функціонування процесу цього типу. 65 Загалом, вогнетривкі матеріали з циркону високої якості виявилися такими, що відповідають вимогам, але необхідна їх висока чистота, щоб звести до мінімуму забруднення, особливо при використанні не утримуючих хлор вихідних речовин.
Однак, більш значний, опір ерозії досягається при використанні вогнетривких матеріалів з двоокису цирконію, стабілізованої ітрієм, додаткові витрати, які виправдовуються збільшеною довговічністю компонентів печі та ефективністю способу, який надає можливість виробляти на безперервній основі злитки необхідного поперечного перерізу та розмірів.
Claims (15)
- Формула винаходу 70 1. Піч для безперервного виготовлення злитків синтетичного прозорого кварцового скла, яка містить: корпус печі (31), який містить вогнетривку місткість (35), здатну витримувати розплав синтетичного прозорого кварцового скла (34); один або декілька пальників, здатних підтримувати температуру вказаного розплаву синтетичного прозорого кварцового скла у вказаній вогнетривкій місткості вище за температуру його спікання, причому щонайменше один з пальників є пальником синтезу (33), забезпеченим зв'язаними з ним засобами подачі вихідної сполуки кремнезему та горючих газів і пристосований для осадження синтетичного прозорого кварцового скла за допомогою осадження пари на поверхню розплаву; екструзійну головку, розташовану на стінці або основі місткості, причому головка містить отвір (40) для екструдування скляного злитка (43); систему рухомих засобів затискання (44), розташованих нижче за отвір, пристосовану для підтримки та полегшення відведення злитка, причому засоби затискання виконані з можливістю безперервного відведення ор бинтетичного прозорого кварцового скла у вигляді злитка ів розмірами поперечного перерізу, визначеними розміром екструзійного отвору, при швидкості, по суті рівній швидкості осадження кремнезему за допомогою пальникаїйів) синтезу.
- 2. Піч за п. 1, яка відрізняється тим, що система рухомих засобів затискання виконана таким чином, що прямолінійність вихідного злитка підтримується за рахунок того, що в будь-який час злиток затискається сч ов щонайменше двома затискачами.
- З. Піч за п. 2, яка відрізняється тим, що вогнетривка місткість із своєю екструзійною головкою, злиток та (о) система затискачів виконані з можливістю синхронного обертання для забезпечення поліпшеної однорідності осадженого кремнезему.
- 4. Піч за пп. 2 або 3, яка відрізняється тим, що вогнетривка місткість із своєю екструзійною головкою, со зо злиток та система затискачів виконані з можливістю зворотно-поступального переміщення для забезпечення розтікання осаджуваного скла від пальникаків). о
- 5. Піч за пп. 2 або 3, яка відрізняється тим, що вогнетривка місткість із своєю екструзійною головкою, о злиток та система затискачів виконані із можливістю переміщення в ортогонально розташованих х- та у-напрямках для забезпечення розтікання осаджуваного скла від пальника(ів). « 35
- 6. Піч за будь-яким з пунктів 1-3, яка відрізняється тим, що розтікання осаджуваного кремнезему со здійснюється переміщенням пальника або комплекту пальників і/або вогнетривкої місткості.
- 7. Піч за будь-яким з попередніх пунктів, яка відрізняється тим, що отвір екструзійної головки виконаний із вогнетривкого металу і захищений потоком відновлювального газу.
- 8. Піч за будь-яким з попередніх пунктів, яка відрізняється тим, що отвір екструзійної головки виконаний із « діоксиду цирконію, стабілізованого ітрієм. з с
- 9. Спосіб безперервного формування злитків синтетичного прозорого кварцового скла, який включає стадії: виготовлення розплаву синтетичного прозорого кварцового скла (34), яке міститься у вогнетривкій місткості :з» (35), частина межі якої визначає формувальний отвір (40) екструзійної головки; підтримування розплаву у розплавленому стані шляхом його нагрівання одним або більше пальниками, щонайменше один з яких є пальником синтезу (33); осадження синтетичного прозорого кварцового скла з вказаного пальника(ів) синтезу за б допомогою осадження пари на поверхню розплаву; відведення синтетичного прозорого кварцового скла у вигляді злитка із розмірами поперечного перерізу, визначеними розміром отвору екструзійної головки, при ве швидкості, по суті рівній швидкості осадження кремнезему за допомогою пальника(ів) синтезу. о
- 10. Спосіб за п. 9, який відрізняється тим, що сформований злиток є синтетичним прозорим кварцовим склом 50р птичної якості з високим рівнем гомогенності і по суті вільним від пор та пузирків. о
- 11. Спосіб за пп. 9 або 10, який відрізняється тим, що заздалегідь визначені розміри поперечного перерізу «со злитка відповідають розмірам бажаного продукту, зменшуючи таким чином втрати при подальших виробничих операціях.
- 12. Спосіб за будь яким з пунктів 9-11, який відрізняється тим, що формувальний отвір розташовують у найнижчій частині маси у вогнетривкій місткості і злиток поступово видаляють відведенням знизу.
- 13. Спосіб за будь-яким з пунктів 9-12, який відрізняється тим, що пальником(ами) синтезу нагрівають (Ф) поверхню розплаву так, щоб осаджуваний кремнезем спікався безпосередньо у скло. ГІ
- 14. Спосіб за будь-яким з пунктів 9-13, який відрізняється тим, що вихідною сполукою кремнезему є вільний від хлору кремній. во
- 15. Спосіб за п.14, який відрізняється тим, що вихідну сполуку кремнезему вибирають з гексаметилдисилоксану, октаметилциклотетрасилоксану, декаметилциклопентасилоксану і метилтриметоксисилану. б5
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GBGB9815357.0A GB9815357D0 (en) | 1998-07-15 | 1998-07-15 | Improvements in and relating to the manufacture of synthetic vitreous silica ingot |
| PCT/GB1999/002278 WO2000003955A1 (en) | 1998-07-15 | 1999-07-15 | Process and apparatus for manufacturing a glass ingot from synthetic silica |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| UA64008C2 true UA64008C2 (en) | 2004-02-16 |
Family
ID=10835565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| UA2001021047A UA64008C2 (en) | 1998-07-15 | 1999-07-15 | A furnace for the manufacture of ingots of synthetic transparent quartz glass and a method for preparing the shaped article from the synthetic transparent quartz glass |
Country Status (12)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6763682B1 (uk) |
| EP (1) | EP1097110B1 (uk) |
| JP (1) | JP4639274B2 (uk) |
| KR (1) | KR100637027B1 (uk) |
| CN (1) | CN1227171C (uk) |
| AT (1) | ATE265990T1 (uk) |
| AU (1) | AU4922599A (uk) |
| DE (1) | DE69917035T2 (uk) |
| GB (1) | GB9815357D0 (uk) |
| RU (1) | RU2240988C2 (uk) |
| UA (1) | UA64008C2 (uk) |
| WO (1) | WO2000003955A1 (uk) |
Families Citing this family (32)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001342026A (ja) | 2000-05-30 | 2001-12-11 | Tosoh Quartz Corp | 石英ガラスの製造方法及び製造装置 |
| JP4509342B2 (ja) * | 2000-09-21 | 2010-07-21 | 東ソー・クォーツ株式会社 | 長尺石英ガラスの製造方法及びその装置 |
| US6997015B2 (en) * | 2001-11-27 | 2006-02-14 | Corning Incorporated | EUV lithography glass structures formed by extrusion consolidation process |
| US7299657B2 (en) * | 2002-07-12 | 2007-11-27 | Corning Incorporated | Method of making high strain point glass |
| US20040118155A1 (en) * | 2002-12-20 | 2004-06-24 | Brown John T | Method of making ultra-dry, Cl-free and F-doped high purity fused silica |
| DE10337388B4 (de) * | 2003-08-13 | 2006-04-20 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Vertikal-Tiegelziehverfahren zur Herstellung eines zylinderförmigen Quarzglaskörpers und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
| GB0605461D0 (en) * | 2006-03-17 | 2006-04-26 | Saint Gobain Quartz Plc | Manufacture of large articles in synthetic vitreous silica |
| US8062986B2 (en) * | 2007-07-27 | 2011-11-22 | Corning Incorporated | Fused silica having low OH, OD levels and method of making |
| GB2478307A (en) | 2010-03-02 | 2011-09-07 | Heraeus Quartz Uk Ltd | Manufacture of silica glass |
| US9120700B2 (en) * | 2010-03-26 | 2015-09-01 | Corning Incorporated | Non-contact etching of moving glass sheets |
| DE102010033408B3 (de) * | 2010-08-05 | 2011-06-16 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Ziehverfahren zur Herstellung zylinderförmiger Bauteile aus Quarzglas |
| GB201106015D0 (en) | 2011-04-08 | 2011-05-25 | Heraeus Quartz Uk Ltd | Production of silica soot bodies |
| CN102701568B (zh) * | 2012-06-11 | 2014-07-09 | 山东理工大学 | 高纯石英连续熔融炉用陶瓷内胆的制备方法及连续熔融炉 |
| GB2514118B (en) | 2013-05-13 | 2015-11-11 | Heraeus Quartz Uk Ltd | Froth floatation separation and analysis |
| US10604437B2 (en) * | 2014-10-20 | 2020-03-31 | Navus Automation, Inc. | Fused silica furnace system and method for continuous production of fused silica |
| US9751796B2 (en) * | 2015-03-24 | 2017-09-05 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Sintering apparatus and method for sintering |
| CN104926087B (zh) * | 2015-07-16 | 2018-03-27 | 中国建筑材料科学研究总院 | 制备合成石英玻璃砣的沉积炉 |
| CN104926088B (zh) * | 2015-07-16 | 2018-04-10 | 中国建筑材料科学研究总院 | 高均匀合成石英玻璃砣的制备方法 |
| CN109153593A (zh) | 2015-12-18 | 2019-01-04 | 贺利氏石英玻璃有限两合公司 | 合成石英玻璃粉粒的制备 |
| JP7044454B2 (ja) | 2015-12-18 | 2022-03-30 | ヘレウス クワルツグラス ゲーエムベーハー ウント コンパニー カーゲー | 石英ガラス調製時の中間体としての炭素ドープ二酸化ケイ素造粒体の調製 |
| US11952303B2 (en) | 2015-12-18 | 2024-04-09 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Increase in silicon content in the preparation of quartz glass |
| TWI812586B (zh) | 2015-12-18 | 2023-08-21 | 德商何瑞斯廓格拉斯公司 | 石英玻璃體、其製備方法與應用、及用於控制烘箱出口處之露點 |
| EP3390290B1 (de) | 2015-12-18 | 2023-03-15 | Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG | Herstellung eines opaken quarzglaskörpers |
| TWI794150B (zh) | 2015-12-18 | 2023-03-01 | 德商何瑞斯廓格拉斯公司 | 自二氧化矽顆粒製備石英玻璃體 |
| TW201731782A (zh) | 2015-12-18 | 2017-09-16 | 何瑞斯廓格拉斯公司 | 在多腔式爐中製備石英玻璃體 |
| CN108698887B (zh) | 2015-12-18 | 2022-01-21 | 贺利氏石英玻璃有限两合公司 | 由均质石英玻璃制得的玻璃纤维和预成形品 |
| CN108698883A (zh) | 2015-12-18 | 2018-10-23 | 贺利氏石英玻璃有限两合公司 | 石英玻璃制备中的二氧化硅的喷雾造粒 |
| KR20180095616A (ko) | 2015-12-18 | 2018-08-27 | 헤래우스 크바르츠글라스 게엠베하 ＆ 컴파니 케이지 | 용융 가열로에서 이슬점 조절을 이용한 실리카 유리체의 제조 |
| WO2018229151A1 (en) | 2017-06-14 | 2018-12-20 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Preparation of a quartz glass body |
| EP3656746B1 (en) | 2018-11-23 | 2024-06-05 | Heraeus Conamic UK Limited | Method and apparatus for cutting a hollow quartz glass ingot |
| EP3656744A1 (en) * | 2018-11-23 | 2020-05-27 | Heraeus Conamic UK Limited | On-line annealing of large fused quartz ingots |
| CN114349310B (zh) * | 2021-12-29 | 2023-06-23 | 中建材衢州金格兰石英有限公司 | 一种大直径石英砣熔制炉 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1363233A (fr) * | 1963-04-16 | 1964-06-12 | Corning Glass Works | Procédé de fabrication de masses pleines, notamment de verres et céramiques, et appareil de mise en oeuvre |
| JPS63288906A (ja) | 1987-05-20 | 1988-11-25 | Nkk Corp | ケイ酸の製造方法 |
| JPS63319220A (ja) * | 1987-06-23 | 1988-12-27 | Nkk Corp | ケイ酸の製造方法 |
| JPS643028A (en) * | 1987-06-26 | 1989-01-06 | Nkk Corp | Production of silicic acid |
| JPS643027A (en) * | 1987-06-26 | 1989-01-06 | Nkk Corp | Production of silicic acid |
| JPS649823A (en) * | 1987-06-30 | 1989-01-13 | Nippon Kokan Kk | Production of silicic acid |
| DE3815974C1 (uk) * | 1988-05-10 | 1989-08-24 | Heraeus Quarzschmelze | |
| DE4212099C2 (de) * | 1992-04-10 | 1994-07-21 | Heraeus Quarzglas | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Verbundkörpers aus Glas |
| DE69635662T2 (de) * | 1995-09-12 | 2006-08-10 | Corning Inc. | Verfahren und Ofen zur Herstellung von Quarzglas mit reduziertem Gehalt an Schlieren |
| US5698484A (en) * | 1995-09-12 | 1997-12-16 | Corning Incorporated | Method and containment vessel for producing fused silica glass and the fused silica blank produced |
| JPH10167741A (ja) * | 1996-12-16 | 1998-06-23 | Nikon Corp | 合成石英ガラスの製造方法、合成石英ガラスの製造装置および合成石英ガラス |
-
1998
- 1998-07-15 GB GBGB9815357.0A patent/GB9815357D0/en not_active Ceased
-
1999
- 1999-07-15 RU RU2001104345/03A patent/RU2240988C2/ru not_active IP Right Cessation
- 1999-07-15 WO PCT/GB1999/002278 patent/WO2000003955A1/en active IP Right Grant
- 1999-07-15 AU AU49225/99A patent/AU4922599A/en not_active Abandoned
- 1999-07-15 UA UA2001021047A patent/UA64008C2/uk unknown
- 1999-07-15 AT AT99933050T patent/ATE265990T1/de not_active IP Right Cessation
- 1999-07-15 EP EP99933050A patent/EP1097110B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-07-15 DE DE69917035T patent/DE69917035T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1999-07-15 KR KR1020017000581A patent/KR100637027B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1999-07-15 US US09/743,623 patent/US6763682B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-07-15 CN CNB998098531A patent/CN1227171C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1999-07-15 JP JP2000560067A patent/JP4639274B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2002520249A (ja) | 2002-07-09 |
| EP1097110B1 (en) | 2004-05-06 |
| JP4639274B2 (ja) | 2011-02-23 |
| AU4922599A (en) | 2000-02-07 |
| KR20010074714A (ko) | 2001-08-09 |
| DE69917035T2 (de) | 2005-04-28 |
| CN1227171C (zh) | 2005-11-16 |
| GB9815357D0 (en) | 1998-09-16 |
| US6763682B1 (en) | 2004-07-20 |
| EP1097110A1 (en) | 2001-05-09 |
| DE69917035D1 (de) | 2004-06-09 |
| RU2240988C2 (ru) | 2004-11-27 |
| KR100637027B1 (ko) | 2006-10-20 |
| ATE265990T1 (de) | 2004-05-15 |
| CN1313839A (zh) | 2001-09-19 |
| WO2000003955A1 (en) | 2000-01-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| UA64008C2 (en) | A furnace for the manufacture of ingots of synthetic transparent quartz glass and a method for preparing the shaped article from the synthetic transparent quartz glass | |
| RU2103232C1 (ru) | Индукционная печь, устройство с использованием этой печи, способ тепловой обработки синтетических кремнийдиоксидных масс и способы получения кремнийдиоксидного стекла | |
| JP2007161573A (ja) | 溶融シリカを製造するための方法および装置 | |
| RU2217391C2 (ru) | Способ образования трубчатого элемента для производства оптического волокна с использованием плазменного внешнего осаждения из паровой фазы | |
| EP0045599B1 (en) | Process and apparatus for the production of silicon bodies by continuous chemical vapor deposition | |
| EP2024289B1 (en) | Method for producing a semifinished product from synthetic quartz glass | |
| US6698248B2 (en) | Methods and furnaces for fused silica production | |
| CN107867798B (zh) | 从合成石英玻璃产生光学坯件的方法 | |
| KR20150058211A (ko) | ＳｉＯ₂―ＴｉＯ₂계 유리의 제조 방법 및 그 유리로 이루어지는 포토마스크 기판의 제조 방법 | |
| JPH07121813B2 (ja) | 平板状石英ガラスの製造方法 | |
| TW202248153A (zh) | 合成石英的製造方法 | |
| JPS6143290B2 (uk) | ||
| JPH09202632A (ja) | シリンダー状石英ガラスの製造方法 | |
| KR20020029790A (ko) | 순수 용융 실리카, 용융로 및 용융방법 | |
| JPH0881224A (ja) | 合成石英ガラスの製造装置およびそれを用いた製造方法 | |
| JP2611684B2 (ja) | 石英ガラスの製造方法 | |
| JPH0692648A (ja) | 合成石英ガラス部材の製造方法 | |
| JP2002249342A (ja) | ガラス体およびその製造方法 | |
| CN105308435A (zh) | 适于单晶硅提拉用石英玻璃坩埚的制造的石英粉的评估方法 | |
| KR20190020238A (ko) | 상부 가열식 석영유리 진공 용융 장치 및 방법 | |
| JPH0710571A (ja) | 合成石英ガラス部材の製造方法 | |
| JPH02184530A (ja) | 合成石英ガラスの製造方法とその装置 | |
| GB2059405A (en) | Method of and apparatus for producing liquid silicon | |
| KR20150035281A (ko) | 홈이 형성된 석영유리 잉곳 제조용 성장판 |