TWI833438B - 使用非揮發性記憶體單元之商業化標準現場可編程邏輯閘陣列(fpga)積體電路晶片組成之邏輯運算驅動器 - Google Patents

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    • H01L2224/13022Disposition the bump connector being at least partially embedded in the surface
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    • H01L2224/13001Core members of the bump connector
    • H01L2224/1302Disposition
    • H01L2224/13023Disposition the whole bump connector protruding from the surface
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    • H01L2224/13001Core members of the bump connector
    • H01L2224/13075Plural core members
    • H01L2224/1308Plural core members being stacked
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    • H01L2224/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/13001Core members of the bump connector
    • H01L2224/13099Material
    • H01L2224/131Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/13101Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of less than 400°C
    • H01L2224/13109Indium [In] as principal constituent
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    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/13001Core members of the bump connector
    • H01L2224/13099Material
    • H01L2224/131Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/13101Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of less than 400°C
    • H01L2224/13111Tin [Sn] as principal constituent
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    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
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    • H01L2224/13001Core members of the bump connector
    • H01L2224/13099Material
    • H01L2224/131Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/13101Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of less than 400°C
    • H01L2224/13113Bismuth [Bi] as principal constituent
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    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
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    • H01L2224/13001Core members of the bump connector
    • H01L2224/13099Material
    • H01L2224/131Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/13117Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 400°C and less than 950°C
    • H01L2224/13118Zinc [Zn] as principal constituent
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    • H01L2224/13117Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 400°C and less than 950°C
    • H01L2224/1312Antimony [Sb] as principal constituent
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    • H01L2224/13001Core members of the bump connector
    • H01L2224/13099Material
    • H01L2224/131Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/13138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/13139Silver [Ag] as principal constituent
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    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/16227Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation the bump connector connecting to a bond pad of the item
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    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/16238Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation the bump connector connecting to a bonding area protruding from the surface of the item
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    • H01L2224/29099Material
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    • H01L2224/29299Base material
    • H01L2224/293Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
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    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/28Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/29Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/2954Coating
    • H01L2224/29599Material
    • H01L2224/296Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/29638Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/29647Copper [Cu] as principal constituent
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    • H01L2224/28Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
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    • H01L2224/2954Coating
    • H01L2224/29599Material
    • H01L2224/296Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/29663Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than 1550°C
    • H01L2224/29666Titanium [Ti] as principal constituent
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    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/28Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/29Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/2954Coating
    • H01L2224/29599Material
    • H01L2224/296Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/29663Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than 1550°C
    • H01L2224/29684Tungsten [W] as principal constituent
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    • H01L2224/2954Coating
    • H01L2224/29599Material
    • H01L2224/29686Material with a principal constituent of the material being a non metallic, non metalloid inorganic material
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    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73201Location after the connecting process on the same surface
    • H01L2224/73203Bump and layer connectors
    • H01L2224/73204Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
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    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73259Bump and HDI connectors
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    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/81Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
    • H01L2224/8119Arrangement of the bump connectors prior to mounting
    • H01L2224/81191Arrangement of the bump connectors prior to mounting wherein the bump connectors are disposed only on the semiconductor or solid-state body
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    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/831Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector the layer connector being supplied to the parts to be connected in the bonding apparatus
    • H01L2224/83104Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector the layer connector being supplied to the parts to be connected in the bonding apparatus by applying pressure, e.g. by injection
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    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/8338Bonding interfaces outside the semiconductor or solid-state body
    • H01L2224/83399Material
    • H01L2224/834Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/83438Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/83447Copper [Cu] as principal constituent
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    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/838Bonding techniques
    • H01L2224/8385Bonding techniques using a polymer adhesive, e.g. an adhesive based on silicone, epoxy, polyimide, polyester
    • H01L2224/83855Hardening the adhesive by curing, i.e. thermosetting
    • H01L2224/83862Heat curing
    • HELECTRICITY
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    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/91Methods for connecting semiconductor or solid state bodies including different methods provided for in two or more of groups H01L2224/80 - H01L2224/90
    • H01L2224/92Specific sequence of method steps
    • H01L2224/922Connecting different surfaces of the semiconductor or solid-state body with connectors of different types
    • H01L2224/9222Sequential connecting processes
    • H01L2224/92222Sequential connecting processes the first connecting process involving a bump connector
    • H01L2224/92225Sequential connecting processes the first connecting process involving a bump connector the second connecting process involving a layer connector
    • HELECTRICITY
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    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/93Batch processes
    • H01L2224/94Batch processes at wafer-level, i.e. with connecting carried out on a wafer comprising a plurality of undiced individual devices
    • HELECTRICITY
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    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2225/00Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2225/03All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
    • H01L2225/10All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers
    • H01L2225/1005All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
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Abstract

一晶片封裝結構包括一中介載板、一FPGA IC晶片位在中介板上,其中FPGA IC晶片包括一可編程邏輯區塊用以將其輸入值執行一邏輯運算操作,其中可編程邏輯區塊包括一查找表(look-up table)用以提供該邏輯運算操作的複數結果值,該些結果值係分別與可編程邏輯區塊的輸入值的結合或組合相關,其中可編程邏輯區塊係根據其輸入值的組合(或結合)從該些結果值之中選擇其中之一將其輸出,以及複數非揮發性記憶體單元分別用以儲存該些結果值;複數的第一金屬凸塊位在中介載板與FPGA IC晶片之間,以及底部填充材料(underfill)位在中介載板與FPGA IC晶片之間,其中此底部填充材料將第一金屬凸塊包覆住。

Description

使用非揮發性記憶體單元之商業化標準現場可編程邏輯閘陣列(FPGA)積體電路晶片組成之邏輯運算驅動器
本發明係有關一邏輯運算晶片封裝、一邏輯運算驅動器封裝、一邏輯運算晶片裝置、一邏輯運算晶片模組、一邏輯運算驅動器、一邏輯運算硬碟、一邏輯運算驅動器硬碟、一邏輯運算驅動器固態硬碟、一現場可編程邏輯閘陣列(Field Programmable Gate Array(FPGA))邏輯運算硬碟或一現場可編程邏輯閘陣列邏輯運算器(以下簡稱邏輯運算驅動器,亦即為以下說明書提到邏輯運算晶片封裝、一邏輯運算驅動器封裝、一邏輯運算晶片裝置、一邏輯運算晶片模組、一邏輯運算硬碟、一邏輯運算驅動器硬碟、一邏輯運算驅動器固態硬碟、一現場可編程邏輯閘陣列(Field Programmable Gate Array(FPGA))邏輯運算硬碟或一現場可編程邏輯閘陣列邏輯運算器,皆簡稱邏輯運算驅動器),本發明之邏輯運算驅動器包括複數FPGA積體電路(IC)晶片,更具體而言,使用複數商業化標準FPGA IC晶片組成一商業化標準邏輯運算驅動器,當現場程式編程時可被使用在不同應用上
FPGA半導體IC晶片己被用來發展一創新的應用或一小批量應用或業務需求。當一應用或業務需求擴展至一定數量或一段時間時,半導體IC供應商通常會將此應用視為一特殊應用IC晶片(Application Specific IC(ASIC)chip)或視為一客戶自有工具IC晶片(Customer-Owned Tooling(COT)IC晶片)。對於一特定應用及相較於一ASIC晶片或COT晶片下,會因為以下因素將FPGA晶片設計切換為ASIC晶片或COT晶片設計,(1)需較大尺寸的半導體晶片、較低的製造良率及較高製造成本;(2)需消耗較高的功率;(3)較低的性能。當半導體技術依照摩爾定律(Moore’s Law)發展至下一製程世代技術時(例如發展至小於30奈米(nm)或20奈米(nm)),針對設計一ASIC晶片或一COT晶片的一次性工程費用(Non-Recurring Engineering(NRE))的成本是十分昂貴的(例如大於5百萬元美金,或甚至超過1千萬元美金、2千萬元美金、5千萬元美金或1億元美金)。如此昂貴的NRE成本,降低或甚至停止先進IC技術或新一製程世代技術應用在創新或應用上,因此為了能輕易實現在半導體創新進步,需要發展一持續的創新及低製造成本的一新製造方法或技術。
本發明揭露一商業化標準邏輯運算驅動器,此商業化標準邏輯運算驅動器為一多晶片封裝用經由現場編程(field programming)方式使用在在計算及(或)處理等功能上,此晶片封裝包括複數可應用在需現場編程的邏輯、計算及/或處理應用的FPGA IC晶片,此商業化標準邏 輯運算驅動器所使用的非揮發性記憶體IC晶片是類似使用一商業化標準固態儲存硬碟(或驅動器)、一資料儲存硬碟、一資料儲存軟碟、一通用序列匯流排(Universal Serial Bus(USB))快閃記憶體碟(或驅動器)、一USB驅動器、一USB記憶棒、一快閃記憶碟或一USB記憶體。標準商業化FPGA IC晶片的使用類似一標準商業資料儲存記憶體IC晶片,例如,一標準商業DRAM晶片或標準商業化NAND快閃晶片,其中不同之處在於後者(標準商業資料儲存記憶體IC晶片)皆可用於資料儲存的功能,而前者(商業化標準邏輯運算驅動器)可用於處理及/或計算的邏輯功能。
本發明更揭露一降低NRE成本方法,此方法係經由標準商業化邏輯驅動器實現在半導體IC晶片上的創新及應用,其中此標準商業化邏輯驅動器包括複數標準商業化FPGA IC晶片。具有創新想法或創新應用的人、使用者或開發者需購買此商業化標準邏輯驅動器及可寫入(或載入)此商業化標準邏輯驅動器的一開發或撰寫軟體原始碼或程式,用以實現他/她的創新想法或創新應用。此實現的方法與經由開發一ASIC晶片或COT IC晶片實現的方法相比較,使用本發明所提供標準商業化邏輯驅動器可降低NRE成本大於25倍或10倍以上。對於先進半導體技術或下一製程世代技術時(例如發展至小於30奈米(nm)或20奈米(nm))而言,開發ASIC晶片或COT晶片的NRE成本大幅地增加,例如增加超過美金5百萬元,甚至超過美金1千萬元、2千萬元、5千萬元或1億元。例如ASIC晶片或COT IC晶片的16奈米技術或製程世代所需的光罩的成本就超過美金2百萬元、美金5百萬元或美金1千萬元,若使用本發明邏輯驅動器實現相同或相似的創新或應用時,可將此NRE成本費用降低小於美金1仟萬元,甚至可小於美金5百萬元、美金3百萬元、美金2百萬元或美金1百萬元。本發明可激勵創新及降低實現IC晶片設計在創新上的障礙以及使用先進IC製程或下一製程世代上的障礙,例如使用比30奈米、20奈米或10奈米更先進的IC製程技術。
本發明另一方面提供一個”公開創新平台”,此平台可使創作者輕易地且低成本下在半導體晶片上使用先進於28nm的IC技術世代之技術,執行或實現他們的創意或發明,其先進的技術世代例如是先進於20nm、16nm、10nm、7nm、5nm或3nm的技術世代,在早期1990年代時,創作者或發明人可經由設計IC晶片並在幾十萬美元的成本之下,在半導體製造代工廠使用1μm、0.8μm、0.5μm、0.35μm、0.18μm或0.13μm的技術世代之技術實現他們的創意或發明,其中半導體製造代工公司係沒有自有產品的公司但擁有半導體製造工廠,半導體製造代工公司提供製造的服務,而客戶是沒有晶圓廠的公司,其中客戶包括(i)設計及擁有IC晶片的IC晶片設計公司;(ii)設計和擁有系統的系統公司;(iii)設計及擁有IC晶片的IC晶片的設計人員。此半導體製造工廠在當時是所謂的”公共創新平台”,然而,當IC技術世代遷移並進步至比28nm更先進的技術世代時,例如是先進於20nm、16nm、10nm、7nm、5nm或3nm的技術世代之技術,只有少數大的系統商或IC設計公司(非公共的創新者或發明人)可以負擔得起半導體IC製造代工廠所需的開發費用,其中使用這些先進世代的開發及實現的費用成本大約是高於1000萬美元,現今的半導體IC代工廠現在己不是”公共創新平台”,而是變成俱樂部創新者或發明人的”俱樂部創新平台”,而本發明所提出的邏輯驅動器概念(包括標準商業化現場可編程邏輯閘陣列(FPGA)積體電路晶片(標準商業化FPGA IC晶片s))可提供公共創作者再次的回到1990年代一樣的半導體IC產業的”公共創新平台”,創作者可經由使用標準商業化FPGA IC邏輯運算器及撰寫軟體程式執行或實現他們的創作或發明,其成本係低於500K或300K美元,其中軟體程式係常見的軟體語,例如是C,Java,C++,C#,Scala,Swift,Matlab,Assembly Language, Pascal,Python,Visual Basic,PL/SQL或JavaScript等程式語言,其中創作者可使用他們自己擁有的標準商業化FPGA IC邏輯運算器或他們可以經由網路在資料中心或雲端租用邏輯運算器進行開發或實現他們的創作或發明。
本發明另一方面對創作者提供”公開創新平台”,此平台包括:在一資料中心或一雲端中複數邏輯運算器,其中複數邏輯運算器包括使用先進於28nm技術世代的半導體IC製程製造的複數標準商業化FPGA IC晶片,一創作者的裝置及在一資料中心或雲端中,經由互聯網或網路與多個邏輯驅動器通信的複數使用者的裝置,其中創作者使用一常見的程式語言發展及撰寫軟體程式去執行他們的創作,其中軟體程式係常見的軟體語,例如是C,Java,C++,C#,Scala,Swift,Matlab,Assembly Language,Pascal,Python,Visual Basic,PL/SQL或JavaScript等程式語言,在邏輯驅動器編程後,創作者或複數使用者可以經由互聯網或網路使用己編程的邏輯驅動器用於他或他的應用。
本發明另外揭露一種商業模式,此商業模式係將現有邏輯ASIC晶片或COT晶片的商業模式經由使用標準商業化邏輯驅動器轉變成一商業邏輯IC晶片商業模式,例如像是現在商業化DRAM或商業化快閃記憶體IC晶片商業模式,其中此邏輯驅動器從效能、功耗、工程及製造成本上比現有常規ASIC晶片或常規COT IC晶片更好或相同。現有邏輯ASIC晶片及COT IC晶片設計、製造及/或生產的公司(包括無晶圓廠IC設計和產品公司,IC代工廠或合同製造商(可能是無產品),和/或垂直集成IC設計、製造和產品(IDM)的公司)可變成類似DRAM或商業化快閃記憶體IC晶片設計、製造及/或生產公司,或是變成類似現有快閃記憶體模組、快閃USB記憶棒或驅動器,或閃存固態驅動器或磁盤驅動器設計、製造和/或產品公司。現有邏輯ASIC晶片、COT IC晶片設計及/或製造公司(包括無晶圓廠IC設計和產品公司,IC代工廠或合同製造商(可能是無產品),和/或垂直集成IC設計,製造和產品公司)可變成以下商業模式:(1)設計、製造及/或販賣此標準商業化FPGA IC晶片;及/或(2)設計、製造及/或販賣此標準商業化邏輯驅動器,商業模式類似於當前的商業化DRAM或快閃記憶體晶片及模組產業。使用者、客戶或軟體開發者可購買此標準商業化邏輯驅動器及撰寫軟體之程式碼,用在他們所需的軟體的編程上,例如係用在人工智能(Artificial Intelligence,AI)、機器學習、深度學習、大數據資料庫儲存或分析、物聯網(Internet Of Things,IOT)、工業電腦、虛擬實境(VR)、擴增實境(AR)、自動駕駛或無人駕駛車、車用電子圖形處理(GP)、數位訊號處理(DSP)、微控制器(MC)或中央處理器(CP)等功能或其中的任一種組合之功能的程式,此邏輯驅動器是一可現場編程的加速器,可用在用戶端、資料中心或雲端中,或是用在AI功能中的訓練/推測的應用程式中進行現場編程。
本發明另外揭露一種產業模式,此產業模式係將現有邏輯ASIC晶片或COT晶片硬體產業模式經由本發明邏輯驅動器改變成一軟體產業模式。在同一創新及應用上,本發明之邏輯驅動器從效能、功耗、工程及製造成本應可比現有的常規ASIC晶片或常規COT IC晶片好或相同,標準商業化邏輯驅動器可用於設計ASIC晶片或COT IC晶片的替代方案。現有的ASIC晶片或COT IC晶片的設計公司或供應商可變成軟體開發商或供應商,他們可能調整變成以下商業模式:(1)變成軟體公司,針對他們的發明或應用可發展成軟體及販賣軟體為主的商業模式,可讓他們的客戶或使用者安裝軟體至客戶的或使用者所擁有的商業化標準邏輯運算器中;及/或(2)硬體公司仍是販賣硬體的商業模式,沒有ASIC晶片或COT IC晶片的設 計及生產,其中在商業模式(2)時,客戶或使用者可安裝自我研發的軟體安裝在所販賣(或購買)的標準商業邏輯驅動器內的一或複數非揮發性記憶體IC晶片內,然後再賣給他們的客戶或使用者。在商業模式(1)及和(2)二種情況下,客戶/用戶或開發商/公司他們也可針對所期望寫軟體原始碼在標準商業邏輯驅動器內(也就是將軟體原始碼安裝在標準商業邏輯驅動器內的非揮發性記憶體IC晶片內),例如在人工智能(Artificial Intelligence,AI)、機器學習、物聯網(Internet Of Things,IOT)、工業電腦、虛擬實境(VR)、擴增實境(AR)、自動駕駛或無人駕駛車、電子圖形處理(GP)、數位訊號處理(DSP)、微控制器(MC)或中央處理器(CP)等功能。本發明之邏輯驅動器可編程執行一些功能,例如像是編程成為一圖形晶片或基頻晶片,或一以太網路晶片、或無線(例如802.11ac)晶片、或一AI晶片,此邏輯驅動器也可另外被編程執行人工智能(AI),機器學習,深度學習,大數據,物聯網(IOT),工業電腦,汽車電子,虛擬現實(VR)、增強現實(AR),圖形處理(GP),數字信號處理(DSP),微控制(MC)和/或中央處理(CP)的全部或任何功能組合的功能。
本發明另外揭露一種將現有系統設計、系統製造及(或)系統產品的產業經由商業化標準邏輯運算器改變成一商業化系統/產品產業,例如像是現在的商業DRAM產業或快閃記憶體產業。現有的系統、電腦、處理器、智慧型手機或電子儀器或裝置可變成一商業化標準硬體公司,其中硬體以記憶體驅動器及邏輯驅動器為主要硬體,其中記憶體驅動器可以是硬碟、閃存驅動器(隨身碟)及(或)固態硬碟(solid-state drive)。本發明中所揭露的邏輯驅動器可具有數量足夠多的輸出/輸入端(I/Os),用以支持(支援)所有或大部分應用程式的編程的I/Os部分。例如執行以下其中之一功能或以下功能之組合:人工智能(Artificial Intelligence,AI)、機器學習、深度學習、大數據資料庫儲存或分析、物聯網(Internet Of Things,IOT)、工業電腦、虛擬實境(VR)、擴增實境(AR)、自動駕駛或無人駕駛車、車用電子圖形處理(GP)、數位訊號處理(DSP)、微控制器(MC)或中央處理器(CP)等其它功能,而邏輯驅動器可包括:(1)針對軟體或應用程式開發商進行編程或配置時所需的I/Os,這些I/Os可讓外部元件經由一或複數外部I/Os(或連接器)連接或耦接至邏輯驅動器的I/Os,進行安裝應用程式軟體或程式原始碼,以執行邏輯驅動器的編程或配置;(2)操作、執行或使用者操作所需要的I/Os,使用者經由這些外部I/Os(或連接器)連接或耦接至邏輯驅動器的I/Os而執行指令,其指令例如為產生製作一微軟文書檔(word file)、一簡報檔或一試算表,其中連接或耦接至相對應的邏輯驅動器I/Os的外部元件之外部I/Os(或連接器)包括一或複數(2,3,4或大於4)的USB連接端、一或複數IEEE 1394連接埠、一或複數乙太網路連接端、一或複數音源端或序列埠,例如是RS-232連接端或COM(通信)連接端、無線收發器I/Os及(或)藍牙收發器I/Os等。連接或耦接至相對應的邏輯驅動器I/Os的外部I/Os可包括用於通訊、連接或耦接至記憶體驅動器用途的串行高級技術附件(Serial Advanced Technology Attachment,SATA)連接端或外部連結(Peripheral Components Interconnect express,PCIe)連接端。這些用於通訊、連接或耦接的I/Os可設置(位在、組裝或連接)在一基板、一軟板或硬板上,例如一印刷電路板(Printed Circuit Board,PCB)、一具有連接線路結構的矽基板、一具有連接線路結構的金屬基板、一具有連接線路結構的玻璃基板、一具有連接線路結構的陶瓷基板或一具有連接線路結構的軟性基板。邏輯驅動器經由錫凸塊或銅柱或銅凸塊,可使用類似覆晶(flip-chip)晶片封裝製程或使用類似液晶顯示器驅動器封裝技術的覆晶接合(Chip-On-Film(COF))封裝製程技術將邏輯驅動器設置在基板、軟板或硬板上。因此,現有的系統、電腦、處 理器、智慧型手機或電子儀器或裝置公司可變成:(1)販賣商業化標準硬體的公司,對於本發明而言,此類型的公司仍是硬體公司,而硬體包括記憶體驅動器及邏輯驅動器;(2)為使用者開發系統及應用軟體的公司,此種類型的公司可將所開發的系統及應用軟體安裝在使用者自有的商業化標準硬體中,對於本發明而言,此類型的公司是軟體公司;(3)此類型的公司,將第三者所開發系統及應用軟體或程式安裝在商業化標準硬體中,並且販賣己安裝(第三者)開發系統及應用軟體或程式的硬體,對於本發明而言,此類型的公司也是硬體公司。
本發明另外揭露一種使用在商業化標準邏輯運算器中的標準商業化FPGA IC晶片。此標準商業化FPGA IC晶片係採用先進的半導體技術或新世代製程設計及製造,使其在最小製造成本下仍能具有小晶片尺寸及高的製造良率,其半導體技術例如是比30奈米(nm)、20nm或10nm更先進或相等之技術或是晶片尺寸更小或相同的半導體先進製程技術。此標準商業化FPGA IC晶片的尺寸,例如可介於400毫米平方(mm2)與9mm2之間、介於225mm2與9mm2之間、介於144mm2與16mm2之間、介於100mm2與16mm2之間、介於75mm2與16mm2之間或介於50mm2與16mm2之間。另外,使用先進的半導體技術或新世代製程技術所製造的電晶體可以是一鰭式場效電晶體(FIN Field-Effect-Transistor(FINFET))、矽晶片在絕緣體上(Silicon-On-Insulator(FINFET SOI))、薄膜全耗盡之矽晶片在絕緣體上((FDSOI)MOSFET)、薄膜部分耗盡之矽晶片在絕緣體上(Partially Depleted Silicon-On-Insulator(PDSOI))、金氧半場效電晶體(Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor(MOSFET))或常規MOSFET。此標準商業化FPGA IC晶片可(或僅可以)直接與邏輯驅動器內的其它晶片進行通信,其中標準商業化FPGA IC晶片的輸入/輸出(I/O)電路可能僅需要小型輸入/輸出驅動器(複數I/O驅動器)、小型輸入/輸出接收器(I/O複數接收器)、小型靜電放電(Electrostatic Discharge(ESD))裝置或是無需設置ESD裝置。此輸入/輸出(I/O)驅動器、輸入/輸出(I/O)接收器或輸入/輸出(I/O)電路的驅動能力、負載、輸出電容或輸入電容係介於0.1皮法(pF)至10pF之間、介於0.1pF至5pF之間、介於0.1pF至3pF之間或介於0.1pF至2pF之間,或小於10pF、小於5pF、小於3pF、小於2pF或小於1pF。ESD裝置的大小係介於0.05pF至10pF之間、介於0.05pF至5pF之間、介於0.05pF至2pF之間或介於0.05pF至1pF之間,或小於5pF、小於3pF、小於2pF、小於1pF或小於0.5pF。例如一雙向(或三態)的輸入/輸出(I/O)接墊或電路可包括一ESD電路、一接收器及一驅動器,其輸出電容或輸入電容係介於0.1pF至10pF之間、介於0.1pF至5pF之間或介於0.1pF至2pF之間,或小於10pF、小於5pF、小於3pF、小於2pF或小於1pF。全部或大部分的控制及(或)輸入/輸出(I/O)電路或單元可設置在標準商業化FPGA IC晶片之外部(不在標準商業化FPGA IC晶片內,例如是關閉-邏輯-驅動器輸入/輸出電路(off-logic-drive I/O circuits),亦即為大型輸入/輸出電路用於與外部邏輯驅動器的電路或元件通訊),但可設置在同一邏輯驅動器中另一專用控制晶片內、同一邏輯驅動器中的一專用輸入/輸出晶片內或同一邏輯驅動器中的一專用控制及輸入/輸出晶片內。標準商業化FPGA IC晶片中最小(或無)面積可使用在設置控制或I/O電路,例如小於15%、10%、5%、2%、1%、0.5%或01%面積使用在設置控制或I/O電路,或者,標準商業化FPGA IC晶片中最小(或無)電晶體可使用在設置控制或I/O電路,例如晶片中的電晶體數量小於15%、10%、5%、2%、1%、0.5%或01%使用在設置控制或I/O電路。在標準商業化FPGA IC晶片中全部或大部分的面積係使用在(i)設置邏輯區塊,其包括邏輯閘矩陣、運算單元或操作單元、及(或)查找表(Look-Up-Tables,LUTs)及多工器(複數多工器);及(或)(ii)可編程互連接線(可 編程交互連接線)。例如,在標準商業化FPGA IC晶片中大於85%、大於90%、大於95%、大於98%、大於99%、大於99.5%、大於99.9%面積是使用在設置邏輯區塊(/功能)及可編程互連接線,或是標準商業化FPGA IC晶片中全部或大部分的電晶體使用在設置邏輯區塊(/功能)及(或)可編程互連接線,例如電晶體數量大於85%、大於90%、大於95%、大於98%、大於99%、大於99.5%、大於99.9%可用來設置邏輯區塊(/功能)及(或)可編程互連接線。
本發明另外揭露提供一浮閘互補式金屬氧化物非揮發性記憶體單元(Floating-Gate CMOS非揮發性記憶體(NVM)單元),簡稱”FGCMOS非揮性記憶體”單元或”FGCMOS NVM”單元,此FGCMOS NVM單元可使用在標準商業化FPGA IC晶片中,其可用於可編程交互連接線或用於LUTs的資料儲存,例如,第一種FGCMOS NVM單元類型包括一浮閘P-MOS(FG P-MOS電晶體)電晶體及一浮閘N-MOS(FG N-MOS電晶體)電晶體,其中FG P-MOS電晶體及FG N-MOS電晶體的浮閘極(floating gates)相連接,而FG P-MOS電晶體及FG N-MOS電晶體之汲極相連接或耦接,其中FG P-MOS及FG N-MOS可分享同一個連接的浮閘極,FG P-MOS電晶體電晶體小於FG N-MOS電晶體,例如,FG N-MOS電晶體的閘極電容大於或等於FG P-MOS電晶體的閘極電容的2倍,存儲在FGCMOS NVM單元中的資料可經由浮閘極與源極/井之間的閘極氧化物(絕緣體)之電子穿隧(tunneling)而被抹除,其中可經由以下電壓進行抺除(i)偏置或耦接在FG P-MOS電晶體的源極/井端的一抺除電壓VEr;(ii)偏置或耦接FG N-MOS電晶體的源極/井端的一接地參考電壓Vss及(iii)將電壓切換成浮空狀態(floating)。由於FG P-MOS電晶體的閘極電容小於FG N-MOS電晶體的閘極電容,通過FG P-MOS電晶體閘極氧化物的抺除電壓VEr大幅下降,亦即為FG P-MOS電晶體的浮閘極端及源極/井端之間的電壓差足夠大而引起電子穿隧的現象產生,因此使陷入在浮閘極中的電子穿隧(tunneling through)FG P-MOS電晶體的閘極氧化物,使FGCMOS NVM單元在抺除後位在邏輯值”1”。經由以下方式可將熱電子注入通過FG N-MOS電晶體之浮閘極與通道/汲極之間的閘極氧化物(或絕緣物),使資料可儲存或編程在NVM單元,例如的方式為(i)偏置或耦接具有一編程(寫)電壓VPr的汲極端;(ii)偏置或耦接具有編程電壓VPr的FG P-MOS電晶體之源極/井端;(iii)偏置或耦接具有一接地參考電壓Vss的源極/基板端。經熱載注入通過FG N-MOS的閘極氧化物的該些所注入之電子被捕獲並陷入在浮閘極中,FG CMOS NVM單元在編程(寫入)後之邏輯值為”0”,第一種FGCMOS NVM單元使用電子穿隧方式以抺除及使用熱載注入的方式進行編程(寫入),藉由將FG P-MOS的源極/井端施加一讀取、存取或操作電壓Vcc並將FG N-MOS的源極/井端施加一接地參考電壓Vss,此時儲存在FGCMOS NVM單元內的資料可經由相互連接或耦接的汲極進行讀取或存取。當浮閘極端帶電且邏輯值在”1”時,在讀取、存取或操作程序或模式,FG P-MOS電晶體可被關閉及FG N-MOS電晶體可被打開,因此,FG N-MOS電晶體源極的接地參考電壓Vss通過FG N-MOS電晶體的通道耦接至FG CMOS NVM單元的輸出端(連接汲極端),由此,FG CMOS NVM單元的輸出端的邏輯值可在”0”,此時,FG P-MOS電晶體可被打開及FG N-MOS電晶體可被關閉,因此在FG P-MOS電晶體的源極端之電源供應電壓Vcc可通過FG P-MOS電晶體的一通道耦接至FGCMOS NVM單元的輸出端(連接汲極端),因此FGCMOS NVM單元的輸出端的邏輯值為”1”。
另一舉例,以電子穿隧方式進行抺除及編程的第二類型之FGCMOS NVM單 元,此第二類型之FG CMOS NVM單元包括一浮閘P-MOS(FG P-MOS電晶體)電晶體及一浮閘N-MOS(FG N-MOS電晶體)電晶體,其中FG P-MOS電晶體及FG N-MOS電晶體的複數浮閘極相連接,並且FG P-MOS電晶體及FG N-MOS電晶體的汲極端相互連接或耦接,且FG P-MOS及FG N-MOS分享同一個連接的浮閘(flosting gate),FG N-MOS電晶體小於FG P-MOS電晶體,亦即為FG P-MOS電晶體的閘極電容大於或等於FG N-MOS電晶體閘極電容的2倍,可經由以下方式,將儲存在FGCMOS NVM單元內的資料經由電子穿隧通過FG N-MOS電晶體的源極端與浮閘極端之間的閘極氧化物(或絕緣層)而進行抺除,如(i)偏置或耦接FG N-MOS電晶體的源極一抺除電壓VEr;(ii)偏置FG P-MOS電晶體源極端/井一接地參考電壓Vss;以及(iii)將電壓切換成浮空狀態(floating)。由於FG N-MOS電晶體的浮閘極與源極結之間的電容比FG P-MOS電晶體與FG N-MOS電晶體的閘極電容總合小得很多,所以在FG P-MOS電晶體的浮閘極與FG N-MOS電晶體的源極結之間的閘極氧化物上的VEr的電壓大幅的降/落,亦即為,浮閘極與FG N-MOS電晶體的源極端之間的電壓差大到足夠引起電子穿隧。因此,陷入在浮閘極的電子可隧穿通過浮閘極與FG N-MOS電晶體的源極端之間的閘極氧化物,而FG CMOS NVM單元在抹除後且在一邏輯值為”1”。可經由以下方式,將儲存在FGCMOS NVM單元內的資料經由電子穿隧通過FG N-MOS電晶體的源極端與浮閘極端之間的閘極氧化物(或絕緣層)而進行儲存或編程,如(i)偏置或耦接FG P-MOS電晶體的源極端/井一編程壓VPr;(ii)偏置或耦接FG N-MOS電晶體源極端/井一接地參考電壓Vss;及(iii)將電壓切換成浮空狀態(floating)。由於FG N-MOS電晶體的閘極電容小於FG P-MOS電晶體的閘極電容,導致在FG N-MOS電晶體閘極氧化物上的編程電壓VPr大幅下降,亦即為FG N-MOS電晶體的浮閘極與源極端/通道之間的電壓差足夠大而引起電子穿隧,因此在FG N-MOS電晶體的源極端/通道的電子可隧穿閘極氧化物至浮閘極並陷(困)在浮閘極內,而使浮閘極可被編程至一邏輯值”0”,第二型FGCMOS NVM單元的”讀取”、”存取”、”操作”的程序或模式與第一種類型的FGCMOS NVM單元相同。
另一舉例,以電子穿隧方式進行如上述第二種類型FGCMOS NVM單元中所示之抺除及編程程序的第三類型之FGCMOS NVM單元,第三種類型FGCMOS NVM單元包括一增加的浮閘極P-MOS(AD FG P-MOS電晶體)電晶體增加至浮閘極P-MOS(FG P-MOS電晶體)電晶體及浮閘極N-MOS(FG N-MOS電晶體)電晶體在上述第二類型FGCMOS NVM單元中,FG P-MOS電晶體、FG N-MOS電晶體及AD FG P-MOS電晶體的浮閘極相連接及FG P-MOS電晶體及FG N-MOS電晶體的汲極端相連接,AD P-MOS的源極端、汲極端及井相連接,所以AD FG P-MOS電晶體的功能類似於MOS電容器。FG N-MOS電晶體、FG P-MOS電晶體及AD FG P-MOS電晶體的尺寸可設計成使用一特定電壓(certain voltage)偏置在每一個端點執行第三類型FGCMOS NVM單元的抺除、編程(寫入)及讀取功能,也就是FG N-MOS電晶體、FG P-MOS電晶體及AD FG P-MOS電晶體的閘極電容可被設計用於抺除、寫入及讀取等功能,在後續的舉例中,用於AD FG P-MOS電晶體、FG P-MOS電晶體及FG N-MOS電晶體的尺寸假設相同,也就是AD FG P-MOS電晶體、FG P-MOS電晶體、FG N-MOS電晶體的閘極電容假設相同,可經由以下方式,將儲存在FGCMOS NVM單元內的資料經由電子穿隧通過AD FG P-MOS電晶體的源極端/汲極端/井端與浮閘極端之間的閘極氧化物(或絕緣層)而進行抺除,如(i)偏置或耦接AD FG P-MOS電晶體連接的源極/汲極/井一抺除電壓VEr;(ii)偏置或耦接FG P-MOS電 晶體源極端/井一接地參考電壓Vss;(iii)偏置或耦接FG N-MOS電晶體源極端/基板一接地參考電壓Vss;以及(iv)將電壓切換成浮空狀態(floating)。由於AD FG P-MOS電晶體的浮閘極與連接的源極/汲極/井之間的電容比FG P-MOS電晶體與FG N-MOS電晶體的閘極電容之總合小,AD FG P-MOS電晶體所連接的源極/汲極/井與浮閘極之間的閘極氧化物上的抺除電壓VEr大幅的下降,亦即為,浮閘極與AD FG P-MOS電晶體所連接的源極端/汲極端/井之間的電壓差大到足夠引起電子穿隧,因此,陷入在浮閘極中的電子穿隧通過浮閘極與AD FG P-MOS電晶體所連接的源極/汲極/井與浮閘極之間的閘極氧化物以執行抺除動作,而FGCMOS NVM單元在抹除後且在一邏輯值為”1”。可經由以下方式,將儲存在FGCMOS NVM單元內的資料經由電子穿隧通過FG N-MOS電晶體的通道/源極端/井端與浮閘極端之間的閘極氧化物(或絕緣層)而進行儲存或編程,如(i)藉由一編程電壓VPr偏置或耦接FG P-MOS電晶體的源極端/井及AD FG P-MOS電晶體所連接的源極/汲極/井;及(ii)藉由一接地參考電壓Vss偏置或耦接FG N-MOS電晶體源極端/井;及(iii)將電壓切換成浮空狀態(floating)。由於FG N-MOS電晶體的閘極電容小於FG P-MOS電晶體及AD FG P-MOS電晶體的閘極電容總合,在FG N-MOS電晶體閘極氧化物上的編程電壓VPr大幅下降,亦即為FG N-MOS電晶體的浮閘極與源極端/通道之間的電壓差足夠大而引起電子穿隧,在FG N-MOS電晶體的源極端/通道的電子可隧穿閘極氧化物至浮閘極並陷(困)在浮閘極內,使浮閘極被編程成邏輯值”0”,第三型FGCMOS NVM單元的”讀取”、”存取”、”操作”的程序或模式與第一種類型使用FG P-MOS電晶體及FG N-MOS電晶體相同,除了AD FG P-MOS電晶體所連接的源極/汲極/井可被偏置或耦接Vcc或、Vss或在Vcc與Vss之間的一特定電壓。
本發明另一方面提供一FGCMOS NVM單元、一鎖存電路及一設定/設定條(set/set-bar)電路,這些元件及電路用於可編程交互連接線及/或LUTs單元的資料儲存的標準商業化FPGA IC晶片中,其中該FGCMOS NVM單元包括如上述所揭露及說明的FGCMOS單元(第一、第二或第三型FGCMOS單元),此型式的FGCMOS NVM單元可命名為一鎖存FGCMOS NVM單元,簡稱為L-FGCMOS NVM,例如,此鎖存電路包括二反相器在6T SRAM單元中的鎖存4T電路內,在鎖存4T電路中的一第一反相器的P-MOS汲極連接或耦接至FG-P-MOS(在FGCMOS NVM中)的源極,及在鎖存4T電路中的一第一反相器的N-MOS汲極連接或耦接至FG-N-MOS(在FGCMOS NVM中)的源極,此鎖存4T電路的位元條(Bit-bar)節點連接或耦接至(i)L-FGCMOS NVM單元的FG-P-MOS、FG-N-MOS之汲極,及(ii)在鎖存4T電路中的一第二反相器P-MOS及N-MOS的閘極。此鎖存4T電路的位元條(Bit-bar)節點也可連接或耦接至(i)在鎖存4T電路中的一第二反相器P-MOS及N-MOS的汲極,及(ii)第一反相器中P-MOS及N-MOS的閘極,設定條P-MOS電晶體(Set-bar P-MOS transistor)的汲極連接至FG-P-MOS的源極,以設定N-MOS電晶體(Set N-MOS transistor)的汲極連接至FG-N-MOS汲極連接至FG N-MOS的源極。在編程或寫入的程序中,如以上揭露及說明的第一型FGCMOS NVM使用在下列例子中:(i)偏置一電壓在節點或終端上,以寫入”1”的位元,此電壓例如為:(a)設定條P-MOS的閘極連接或耦接至一低的操作電壓(Vss)及設定N-MOS的閘極連接或耦接至一高的操作電壓(Vcc);(b)設定條P-MOS的源極及FG-P-MOS的N井連接或耦接至編程電壓(VPr),及設定N-MOS的源極連接或耦接至低的操作或接地電壓(Vss);(c)FGCMOS的汲極(位元條節點)連接或耦接一編程(寫入)電壓VPr,及(d)斷開在4T鎖存電路中的P-MOS及N-MOS的公共源極。利用熱載流子注入方式經 由FG N-MOS的閘極氧化物將熱電子注入及陷入在浮閘極,使FG NVM單元在編程(寫入)後,其位元條節點的邏輯值為”0”而在位元節點的邏輯值為”1”;(ii)寫入”0”位元或抹除在浮閘極中的電子,(a)設定條N-MOS的閘極連接或耦接至一低的操作電壓(Vss),及設定N-MOS的閘極連接或耦接至一高的操作電壓(Vcc);(b)設定條P-MOS的源極及FG P-MOS的N井連接或耦接至抺除電壓(VEr),設定N-MOS的源極連接或耦接至低的操作接地電壓(Vss);(c)斷開所連接或耦接的FG CMOS(位元條節點)的汲極。被陷入在浮閘極的電子可隧穿FG P-MOS電晶體的閘極氧化物,及FG NVM單元在抺除後,在位元條節點的邏輯值為”0”,而在位元節點的邏輯值為”1”。
當裝置或FPGA IC晶片開啟時,L-FG CMOS NVM單元可提供更正及恢復的能力,以防止當裝置或FPGA IC晶片(電源)關閉的期間因漏電所引起的資料錯誤。儲存在位元條及位元節點的資料在啟動程序(initiation process)後可恢復至更正狀態,其中在裝置或FPGA IC晶片開啟後的啟動程序中包括:(1)設定位元條P-MOS的閘極連接或耦接至一低的操作電壓或一接地電壓(Vss)及設定N-MOS的閘極連接或耦接至一高的操作電壓(Vcc);設定條P-MOS的源極連接或耦接至一高的操作電壓(Vcc)及設定N-MOS的源極連接或耦接至一低的操作電壓或一接地電壓(Vss);(ii)在4T鎖存電路中的P-MOS的共同的源極連接或耦接至高的操作電壓(Vcc)及在4T鎖存電路中的N-MOS的共同的源極連接或耦接至低的操作電壓或接地電壓(Vss),在啟動程序後,儲存在位元條及位元節點的資料恢復至更正狀態,在讀取操作程序中,儲存在FG CMOS NVM單元中的資訊可被讀取,在讀取操作程序中包括:(i)位元條P-MOS的閘極連接或耦接至一高操作電壓(Vcc)及設定N-MOS的閘極連接或耦至一低的操作電壓(Vss);設定條P-MOS的源極及設定N-MOS的源極的連接斷開;(ii)在4T鎖存電路中的P-MOS的共同源極連接或耦接至高的操作電壓(Vcc)及在4T鎖存電路中的N-MOS的共同源極連接或耦接至低的操作電壓或接地電壓(Vss)。L-FG CMOS NVM單元的位元及/或位元條資料可使用在FPGA IC晶片交互連接線的編程或使用在LUT操作程序的資料儲存。
本發明另一方面提供一磁阻式隨機存取記憶體單元,簡寫為”MRAM”單元,用於在標準商業化FPGA IC晶片中的可編程交互連接線及/或LUTS的資料儲存,其中MRAM單元藉由電子轉動與在MRAM單元的一磁阻隧穿結(Magnetoresisitive Tunneling Junction,MTJ)之磁性層的磁場之間交互作用,MRAM單元使用自旋極化(spin-polarized)電流以切換電子自轉,即所謂的自旋轉移力矩(Spin Transfer Torque)MRAM,STT-MRAM,MRAM單元主要地包括4層堆疊薄層:(i)一自由磁性層(free magnetic layer),其例如包括Co2Fe6B2,此自由磁性層的厚度例如介於0.5nm至3.5nm之間或介於0.1nm至3nm之間;(ii)一隧穿阻障層,其例如包括MgO,此隧穿阻障層(tunneling barrier layer)的厚度例如介於0.3nm至2.5nm之間或介於0.5nm至1.5nm之間;(iii)一己鎖定或固定磁性層(pinned or fixed magnetic layer),其例如包括Co2Fe6B2,此己鎖定或固定磁性層的厚度例如介於0.5nm至35nm之間或介於1nm至3nm之間,此己鎖定或固定磁性層與自由磁性層具有相似的材質,及(iv)一鎖定層,其例如包括一反鐵磁層(anti-ferromagnetic,AF),此AF層可是一複合層,例如包括Co/[CoPt]4,經由該AF層相鄰的己鎖定層將鎖定層的磁性方向被己鎖定或固定,該MTJ的堆疊層經由物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition,PVD)方法以多陰極PVD室或濺鍍方式,然後蝕刻以形成MTJ的臺面結構(mesa structure)而形成,自由磁性層或鎖定層(固定 層)的磁性方向可以是(i)與自由或己鎖定(固定)層(iMTJ)共平面(in-plane),或(ii)垂直於自由磁性層或鎖定層的平面(pMTJ),己鎖定(固定)層的磁性方向經由鎖定/固定層的雙層結構固定,該鐵磁己鎖定(固定)層及該AF鎖定層的界面導致鐵磁己鎖定(固定)層的方向在一固定方向(例如,在pMTJ的上或下方向),使其在一外部電磁力或磁場下變得更難以改變或翻轉磁場,雖然鐵磁自由層(例如,在pMTJ的上或下方向)的方向在外部電磁力或磁場下是容易改變或翻轉的,改變或翻轉該鐵磁自由層的方向可用於編程MTJ MRAM單元,當自由磁性層的磁場方向平行(in-parallel)於該己鎖定(固定)層的磁場方向時的狀態定義為”0”,當自由磁性層的磁場方向相反平行(anti-parallel)時,該己鎖定(固定)層的磁場方向時的狀態定義為”1”,電子從鎖定(固定)層隧穿至自由層時則寫入”0”值,當電流流過該己鎖定(固定)層時,電子旋轉將排列成與己鎖定(固定)層的磁性方向平行。當具有對齊旋轉隧穿電子在自由磁性流動時:(i)如果隧穿電子的對齊旋轉(aligned spins)平行於該自由磁性層的對齊旋轉時,該隧穿電子可經由自由磁性層通過;(ii)假如隧穿電子的對齊旋轉不平行於該自由磁性層的對齊旋轉時,該隧穿電子可翻轉或改變自由磁性層的磁性方向至與使用電子的旋轉扭矩與固定層平行的方向,在寫入”0”之後,該自由磁性層的磁性方向平行於該固定層的磁性方向,從原本的”0”寫成”1”時,電子從自由磁性層隧穿至己鎖定(固定)層,由於自由磁性層及己鎖定(固定)層的磁性方向相同,具有多數旋轉極性的電子(與鎖定層磁性方向平行)可流動並通過己鎖定(固定)層;只有具有較少旋轉極性的電子(與鎖定層磁性方向不平行)可從己鎖定(固定)層反射回到自由磁性層,反射電子的旋轉極性與自由磁性層的磁性方向相反,及可使用電子的旋轉扭矩將自由磁性層的磁性方向翻轉或改變至與固定層反向平行的方向,在寫入”1”之後,自由磁性層的磁性方向不平行於固定層的磁性方向,由於寫入”1”時使用少數旋轉極性電子,所以與寫入”0”相比較下,需要更大的電流流過MTJ。
依據磁阻理論,當自由磁性層的磁性方向平行於鎖定層的磁性方向時,MTJ的電阻為低電阻狀態(LR),處於”0”狀態,當自由磁性層的磁性方向不平行於鎖定層的磁性方向時,為高電阻狀態且處於”1”狀態,此二種電阻狀態可使用在MTJMRAM單元的讀取。
本發明另一方面提供一MRAM單元,其包括用於可編程交互連接線及/或用於LUTS的資料儲存,在標準商業化FPGA IC晶片中的二個互補MTJ,此型式的MRAM單元可命名為一補充MRAM單元(Complementary MRAM cell),簡稱CMRAM,此二個MTJ經由堆疊而形成,其作為FPGA IC晶片朝上時(具有複數電晶體及金屬交互連接線結構在矽基板上或上方),從上至下分別包括鎖定層/己鎖定層/阻障層/自由磁性層,第一MTJ(F-MTJ)頂端電極可連接或耦接至一第二MTJ(S-MTJ)頂端電極,可替代方案,第一MTJ(F-MTJ)底端電極可連接或耦接至一第二MTJ(S-MTJ)底端電極,其它的替代方案,二個MTJs可由堆疊方式而形成,其作為FPGA IC晶片朝上時(具有複數電晶體及金屬交互連接線結構在矽基板上或上方),從上至下分別包括自由磁性層/阻障層/己鎖定層/鎖定層,第一MTJ(F-MTJ)頂端電極可連接或耦接至一第二MTJ(S-MTJ)頂端電極,可替代方案,第一MTJ(F-MTJ)底端電極可連接或耦接至一第二MTJ(S-MTJ)底端電極,其連接或耦接至鎖定層的電極的節點或端點為MTJ的節點P,及連接或耦接至自由磁性層的電極的節點或端點為MTJ的節點F,可用F-MTJ及S-MTJ(如上所述的單一MTJ)使CMRAM可被編程或寫入,在CMRAM(第一型式MRAM單元)單元中的F-MTJ及S-MTJ處在反極性中,也就是,當F-MTJ在HR狀態時,S-MTJ在LR狀態,及當F-MTJ在LT狀態時,S-MTJ在HR狀態,例如,在此案列中,假如用於F-MTJ及S-MTJ的所連接的節點連接或耦 接至自由磁性層的電極時,CMRAM CELL可寫入”0”,經由己切換成編程電壓(Vp)F-MTJ的P節點連接至己切換成接地參考電壓Vss S-MTJ的P節點,S-MTJ編程為LR狀態及F-MTJ編程為HR狀態,該CMRAM位在[1,0]狀態時,CMRAM的狀態定義成”0”。CMRAM CELL可寫入”1”,經由切換成編程電壓(Vpr)S-MTJ的P節點連接至切換成接地參考電壓Vss F-MTJ的P節點,S-MTJ編程為HR狀態及F-MTJ編程為LR狀態,也就是,該CMRAM位在[0,1]狀態時,CMRAM的狀態定義成”1”。
本發明另一方面揭露使用在標準商業化FPGA IC晶片中的可編程交互接線及/或LUTs的資料儲存之的MRAM單元、鎖存電路及設定/設定條電路,其中該MRAM單元包括CMRAM,此型式的MRAM單元可命名為一鎖存MRAM單元,簡稱為一LMRAM,例如,此鎖存電路包括二反相器在6T SRAM單元中的鎖存4T電路內,在鎖存4T電路中的一第一反相器(inverter)電路或一中繼器(repeater)電路的P-MOS汲極連接或耦接至F-TWJ的P節點及在鎖存4T電路中的一第一反相器的N-MOS汲極連接或耦接至S-TWJ的P節點,此鎖存4T電路的位元條(Bit-bar)節點連接或耦接至(i)CMRAM單元的節點(F-TWJ及S-TWJ的F節點),及(ii)在鎖存4T電路中的一第二反相器P-MOS及N-MOS的閘極。此鎖存4T電路的位元條(Bit-bar)節點也可連接或耦接至(i)在鎖存4T電路中的一第二反相器P-MOS及N-MOS的汲極,及(ii)第一反相器中P-MOS及N-MOS的閘極,設定/設定條電路的設定條P-MOS電晶體連接至F-TWJ的P節點,設定/設定條電路的設定N-MOS電晶體連接至S-TWJ的P節點。在編程或寫入的程序中,設定條P-MOS的閘極連接或耦接至一低的操作電壓或一接地電壓(Vss),設定N-MOS的閘極連接或耦接至一高的操作電壓(Vcc),且斷開在4T鎖存電路中的P-MOS及N-MOS的共同源極端,當設定條P-MOS的源極連接或耦接至編程電壓(VP)及設定N-MOS的源極連接或耦接至低的操作電壓或接地電壓(Vss)時,F-TWJ位在HR狀態,而S-TWJ位在LR狀態,位元條節點的邏輯值為”0”,而其它的鎖存節點、位元節點的邏輯值則位在”1”。當設定條P-MOS的源極連接或耦接至低的電壓或接地電壓(Vss)及設定N-MOS的源極連接或耦接至編程電壓(VP),此時F-TWJ位在LR狀態、S-TWJ位在HR狀態、位元條節點的邏輯值為”1”,而其它的鎖存節點、位元節點的邏輯值則位在”0”。
當裝置或FPGA IC晶片開啟時,LMRAM單元可提供更正及恢復的能力,以防止當裝置或FPGA IC晶片(電源)關閉的期間因漏電所引起的資料錯誤。儲存在位元條及位元節點的資料在啟動程序(initiation process)後可恢復至更正狀態,其中在裝置或FPGA IC晶片開啟後的啟動程序中包括:(i)設定位元條P-MOS的閘極連接或耦接至一低的操作電壓或一接地電壓(Vss)及設定N-MOS的閘極連接或耦接至一高的操作電壓(Vcc);設定P-MOS的源極連接或耦接至一高的操作電壓(Vcc)及設定N-MOS的源極連接或耦接至一低的操作電壓或一接地電壓(Vss);(ii)在4T鎖存電路中的P-MOS的共同的源極連接或耦接至高的操作電壓(Vcc)及在4T鎖存電路中的N-MOS的共同的源極連接或耦接至低的操作電壓或接地電壓(Vss),在啟動程序後,儲存在位元條及位元節點的資料恢復至更正狀態,在讀取操作程序中,儲存在非揮發性MRAM單元或TWJs中的資訊可被讀取,在讀取操作程序中包括:(i)位元條P-MOS的閘極連接或耦接至一高操作電壓(Vcc)及設定N-MOS的閘極連接或耦至一低的操作電壓或接地電壓(Vss);設定條P-MOS的源極及設定N-MOS的源極的連接斷開;(ii)在4T鎖存電路中的P-MOS的共同源極連接或耦接至高的操作電壓(Vcc)及在4T鎖存電路中的N-MOS的共同源極連接 或耦接至低的操作電壓或接地電壓(Vss)。LMRAM的位元及/或位元條資料可使用在FPGA IC晶片交互連接線的編程或使用在LUT的資料儲存。
本發明另一方面提供一電阻式隨機存取記憶體(Resistive Random Access Memory cell),簡稱為”RRAM”單元,使用在標準商業化FPGA IC晶片中用於可編程交互連接線及/或LUTS的資料儲存,該RRAM單元依據氧空位(Vo)構造相關的納米形態修飾,該RRAM係固體電解質的氧化還原(氧化還原)電化學程序。在氧化物基底的RRAM元件的電鑄製程中,氧化物層經歷一定程度的氧空位(Vo)構造相關的某些納米形態修飾。該RRAM單元經由在氧化層中是否存在導電細絲或路徑而切換,其中係取決於施加的電壓。該RRAM單元包括一金屬層/絕緣層/金屬層(MIM)裝置或結構,其主要包括四堆疊層:(i)一第一金屬電極層,例如,此金屬可包括氮化鈦(TiN)或氮化鉭(TaN);(ii)一氧儲存層,用以從氧化層捕捉氧原子。該氧儲存層可為一層金屬,其包括鈦或鉭,鈦或鉭二者捕捉氧原子以形成TiOx或TaOx,此鈦層的厚度為介於1nm至25nm之間、介於3nm至15nm之間,厚度例如是2nm、7nm或12nm,該氧儲存層可由原子層沉積(ALD)方法形成;(iii)一氧化層或一絕緣層,其係根據所施加的電壓形成導電細絲或路徑,此氧化層例如可包括氧化鉿(HfO2)或氧化鉭(Ta2O5),此氧化鉿的厚度為5nm、10nm或15nm或介於1nm至30nm之間、介於3nm至20nm之間或介於5nm至15nm之間,該氧化層可由原子層沉積(ALD)方法形成;(iv)一第二金屬電極層,例如是包括氮化鈦(TiN)或氮化鉭(TaN),此RRAM單元是一種記憶電阻(記憶體電阻),在形成程序階段中,一MIM元件(RRAM單元)的第一電極為一偏置(biased),其連接或耦接至一形成電壓(Vf)及第二電極為偏置,連接或耦接至一低操作或接地參考電壓(Vss),形成電壓將氧離子從氧化物層(例如是HfO2)驅動或拉入氧儲存層(例如是鈦),以形成TiOx層。在氧化物或絕緣層中產生原始氧點位的空位及在氧化層或絕緣層內形成一或多個導電細絲或路徑。在存在一或多個導電細絲或路徑情況下,氧化物層或絕緣層變成導電層,並在RRAM單元位在低電阻狀態(LR)時。在形成程序之後,RRAM單元被激活作為一NVM單元使用,當RRAM處於LR狀態時定義為”0”,重置或寫入RRAM單元至狀態(HR)”1”時,一MIM元件(RRAM單元)第二電極被偏置,連接或耦接至一重置電壓(VRset),以及第一電極被偏置,連接或耦接至一低操作或接地參考電壓(Vss),該重置電壓(VRset)將從氧儲存層(例如鈦層)驅動或拉氧原子出去,並且該氧離子跳躍或流向氧化物層或絕緣層,在原始氧點位的空位經由氧離子被重新佔據(Re-occupied)及一或多個導電細絲或路徑被破壞或損壞,該氧化物或絕緣層為低導電且RRAM單元位在一高電阻狀態,其位在”1”狀態,設定或寫入RRAM單元至一”0”狀態(LR),一MIM元件(RRAM單元)的第一電極被偏置並連接或耦接至一設定電壓VSE,及該第二電極被偏置並連接或耦接至一低操作或接地參考電壓(VSS),該設定電壓VSE將驅動或拉氧原子或離子從氧化物或絕緣層(例如是HfO2)至該氧儲存層(例如是鈦)中,以形成TiOx層,在氧化物層或絕緣層中產生原始氧點位之空位及形成一或多個導電細絲或路徑在氧化物層或絕緣層中,氧化物層或絕緣層變成導電層,並在RRAM單元位在低電阻狀態”0”(LR)時。
依據導電理論,當該組電壓偏置且連接或耦接至第一電極時,一MIM的電阻為一低電阻狀態(LR)並為”0”狀態,當該組電壓偏置且連接或耦接至第二電極時,一MIM的電阻在高電阻時(HR)並為”1”狀態,此二個電阻狀態可使用在MIM RRAM單元的取讀取。
本發明另一方面提供在標準商業化FPGA IC晶片中的一RRAM單元,其包括用於可編程交互連接線及/或用於LUTS的資料儲存,在FPGA IC晶片中的二個互補MIMs(二個如說明書中揭露之單一RRAM單元),此型式的RRAM單元可命名為一補充RRAM單元(Complementary MRAM cell),簡稱CRRAM,此二個MIMs經由堆疊而形成,其作為FPGA IC晶片朝上時(具有複數電晶體及金屬交互連接線結構在矽基板上或上方),從上至下分別包括第一電極/氧儲存層/氧化層/第二電極,第一MIMs(F-MIMs)的第一電極(頂部)可連接或耦接至一第二MIMs(S-MIMs)的第一電極(頂部),可替代方案,第一MIMs(F-MIMs)的第二電極(底部)可連接或耦接至一第二MIMs(S-MIMs)的第二電極(底部),其它的替代方案,二個MIMss可由堆疊方式而形成,其作為FPGA IC晶片朝上時(具有複數電晶體及金屬交互連接線結構在矽基板上或上方),從上至下分別包括第二電極/氧化層/氧儲存層/第一電極,第一MIMs(F-MIMs)的第一電極(底部)可連接或耦接至一第二MIMs(S-MIMs)的第一電極(底部),可替代方案,第一MIMs(F-MIMs)的第二電極(頂部)可連接或耦接至一第二MIMs(S-MIMs)的第二電極(頂部),其連接或耦接至第一的電極的節點或端點為MIMs的節點F,及連接或耦接至第二電極的節點或端點為MIMs的節點S,可用F-MIMs及S-MIMs(如上所述的單一MIMs)使CRRAM可被編程或寫入,在CRRAM(第一型式RRAM單元)單元中的F-MIMs及S-MIMs處在反極性中,也就是,當F-MIMs在HR狀態時,S-MIMs在LR狀態,及當F-MIMs在LT狀態時,S-MIMs在HR狀態,例如,在此案列中,假如用於F-MIMs及S-MIMs的所連接的節點連接或耦接至第一電極(F節點)時,CRRAM單元可寫入”0”,經由切換成編程電壓(Vp)F-MIMs的S節點連接至切換成接地參考電壓Vss S-MIM的S節點,S-MIMs編程為LR狀態及F-MIMs編程為HR狀態,該CRRAM位在[1,0]狀態時,CRRAM的狀態定義成”0”。CRRAM單元可寫入”1”,經由切換成編程電壓(Vp)S-MIM的S節點連接至切換成接地參考電壓Vss F-MIM的S節點,S-MIMs編程為HR狀態及F-MIMs編程為LR狀態,也就是,該CRRAM位在[0,1]狀態時,CRRAM的狀態定義成”1”。
本發明另一方面揭露使用在標準商業化FPGA IC晶片中的可編程交互接線及/或LUTs的資料儲存之的RRAM單元、鎖存電路及設定/設定條電路,其中該RRAM單元包括CRRAM,此型式的MRAM單元可命名為一鎖存RRAM單元,簡稱為一LRRAM,例如,此鎖存電路包括二反相器在6T SRAM單元中的4T鎖存電路內,在4T鎖存電路中的一第一反相器電路的P-MOS汲極連接或耦接至F-MIM的S節點及在第一反相器的N-MOS汲極連接或耦接至S-MIM的S節點,此4T鎖存電路的位元條(Bit-bar)節點連接或耦接至(i)CRRAM單元的節點(連接或耦接至F-MOM及S-MOM的S節點),及(ii)在4T鎖存電路中的第二反相器P-MOS及N-MOS的閘極。4T鎖存電路的位元條(Bit-bar)節點及其它鎖存節點也可連接或耦接至(i)在4T鎖存電路中的第二反相器P-MOS及N-MOS的汲極,及(ii)4T鎖存電路內第一反相器中的P-MOS及N-MOS的閘極,設定條P-MOS電晶體連接至F-MIM的S節點,設定N-MOS電晶體連接至S-MIM的S節點。在編程或寫入的程序中,設定條P-MOS的閘極連接或耦接至一低的操作電壓或一接地電壓(Vss),設定N-MOS的閘極連接或耦接至一高的操作電壓(Vcc),且斷開在4T鎖存電路中的P-MOS及N-MOS的共同源極端,當設定條P-MOS的源極連接或耦接至編程電壓(VP)及設定N-MOS的源極連接或耦接至低的操作電壓或接地電壓(Vss)時,F-MIM位在HR狀態,而S-MIM位在LR狀態,位元條節點的邏輯值為”0”,而位元節點的邏輯值則位在”1”。當設定條P-MOS的源極連接或耦接至低的操作電壓或接地電壓(Vss)及設定N-MOS的源極連接或耦接至編程電 壓(VP),此時F-MIM位在LR狀態、S-MIM位在HR狀態、位元條節點的邏輯值為”1”,而位元節點的邏輯值則位在”0”。
當裝置或FPGA IC晶片開啟時,LRRAM單元可提供更正及恢復的能力,以防止當裝置或FPGA IC晶片(電源)關閉的期間因漏電所引起的資料錯誤。儲存在位元條及位元節點的資料在啟動程序(initiation process)後可恢復至更正狀態,其中在裝置或FPGA IC晶片開啟後的啟動程序中包括:(i)設定位元條P-MOS的閘極連接或耦接至一低的操作電壓或一接地電壓(Vss)及設定N-MOS的閘極連接或耦接至一高的操作電壓(Vcc);設定條P-MOS的源極連接或耦接至一高的操作電壓(Vcc)及設定N-MOS的源極連接或耦接至一低的操作電壓或一接地電壓(Vss);(ii)在4T鎖存電路中的P-MOS的共同的源極連接或耦接至高的操作電壓(Vcc)及在4T鎖存電路中的N-MOS的共同的源極連接或耦接至低的操作電壓或接地電壓(Vss),在啟動程序後,儲存在位元條及位元節點的資料恢復至更正狀態,在讀取操作程序中,儲存在非揮發性RRAM單元或MIMs中的資訊可被讀取,在讀取操作程序中包括:(i)位元條P-MOS的閘極連接或耦接至一高操作電壓(Vcc)及設定N-MOS的閘極連接或耦至一低的操作電壓或接地電壓(Vss);設定條P-MOS的源極及設定N-MOS的源極的連接斷開;(ii)在4T鎖存電路中的P-MOS的共同源極連接或耦接至高的操作電壓(Vcc)及在4T鎖存電路中的N-MOS的共同源極連接或耦接至低的操作電壓或接地電壓(Vss)。LRRAM的位元及/或位元條資料可使用在FPGA IC晶片交互連接線的編程或使用在LUT的資料儲存。
標準商業化FPGA IC晶片中的複數可編程互連接線包括複數個位在複數可編程互連接線中間的複數交叉點開關,例如n條的金屬線連接至複數交叉點開關的輸入端,m條金屬線連接至複數交叉點開關的輸出端,其中該些交叉點開關位在n條金屬線與m條金屬線之間。此些交叉點開關被設計成使每一條n金屬線可經由編程方式連接至任一條m金屬線,每一交叉點開關例如可包括一通過/不通電路,此通過/不通電路包括相成對的一n型電晶體及一p型的電晶體,其中之一條n金屬線可連接至該通過/不通電路內的相成對n型電晶體及p型電晶體的源極端(source),而其中之一條m金屬線連接至該通過/不通電路內的相成對n型電晶體及p型電晶體的汲極端(drain),交叉點開關的連接狀態或不連接狀態(通過或不通過)係由儲存或鎖存在一FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元內的資料(0或1)控制,FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元如上述說明,其中FGCMOS NVM單元包括如上述說明所揭露之FGCMOS NVM單元或鎖存FGCCMOS單元,該MRAM單元包括如上述說明所揭露之MRAM單元、補充MRAM(Complementary MRAM(CMRAM))單元或鎖存MRAM(LMRAM)單元;而RRAM單元包括如上述說明所揭露之補充RRAM(CRRAM)單元或鎖存RRAM(LRRAM)單元,複數FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元可分布在FPGA晶片且位在或靠近相對應的開關。另外,FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元可被設置在FPGA某些區塊內的FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元矩陣內,其中FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元聚集或包括複數FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元用於控制在分布位置上的對應的交叉點開關。另外,FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元可被設置在FPGA某些複數區塊內的複數FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元矩陣其中之一內,其中每一FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元矩陣聚集或包括複數FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元用於控制在分布位置上的對 應的交叉點開關。在交叉點開關中的n型電晶體及p型電晶體二者的閘極分別連接或耦接至FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元的輸出端(位元)及其反相的端點(位元條),FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元的輸出端(位元)連接或耦接至在通過/不通開關電路內n型電晶體的閘極端,及FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元的輸出端(位元)連接或耦接至在通過/不通開關電路內p型電晶體的閘極端,且在二者之間設有一反相器。在FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元所儲存(編程)的資料連接至交叉點開關的節點上,且儲存的資料係用來編程二金屬線之間呈連接狀態或不連接狀態,當資料儲存在FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元被編程為1,輸出端(位元)”1”係連接至n型電晶體的閘極端,及其反相”0”節點(位元條)係連接至p型電晶體閘極時,此通過/不通過電路為”打開”狀態,也就是二金屬線與通過/不通過電路的二節點之間呈現連接狀態。當資料儲存在FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元為”0”時,輸出端(位元)”0”係連接至n型電晶體閘極,及其反相”1”的節點(位元條)則連接至p型電晶體閘極,此通過/不通過電路為”關閉”狀態,也就是二金屬線與通過/不通過電路的二節點之間呈現不連接狀態。由於標準商業化FPGA IC晶片包括常規及重覆閘極矩陣或區塊、LUTs及多工器或可編程互連接線,就像是商業化標準的DRAM晶片、NAND快閃IC晶片,對於晶片面積例如大於50mm2或80mm2的製程具有非常高的良率,例如是大於70%、80%、90%或95%。
另外,每一交叉點開關例如包括一二級逆變器(inverter/buffer),其中之一條n金屬線連接至通過/不通過電路中緩衝器的輸入級的公共連接閘極端,而其中之一條m金屬線連接至通過/不通過電路中緩衝器的一輸出級的公共汲極端,此輸出級係由一控制P-MOS與一控制N-MOS堆疊而成,其中控制P-MOS在頂端(位在Vcc與輸出級逆變器的P-MOS的源極之間),而控制N-MOS在底部(位在Vss與輸出級逆變器的N-MOS的源極之間)。交叉點開關的連接狀態或不連接狀態(通過或不通過)係由FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元所儲存的資料(0或1)所控制,複數FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元可分布在FPGA晶片且位在或靠近相對應的開關。另外,FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元可被設置在FPGA某些區塊內的FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元矩陣內,其中FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元矩陣聚集或包括複數FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元用於控制在分布位置上的對應的交叉點開關。另外,FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元可被設置在FPGA許多複數區塊內的FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元矩陣內,其中每一FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元矩陣聚集或包括複數FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元用於控制在分布位置上的對應的交叉點開關。在交叉點開關內的控制N-MOS電晶體及控制P-MOS電晶體二者的閘極分別連接或耦接至FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元的輸出端(位元)及其反相端(位元條),FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元的輸出端(位元)連接或耦接至通過/不通過開關電路的控制N-MOS電晶體閘極,而FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元的輸出端(位元)連接或耦接至通過/不通過開關電路的控制P-MOS電晶體閘極,且在二者之間具有一反相器。儲存在FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元連接至交叉點開關的節點上,且儲存的資料係用來編程二金屬線之間呈連接狀態或不連接狀態,當資料儲存在FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元的資料”1時,其中為”1”的輸出端(位元)係連 接至控制N-MOS電晶體閘極,及在其反相端”0”則係連接至控制P-MOS電晶體閘極時,此通過/不通過電路可讓輸入端的資料通過至輸出端,也就是二金屬線與通過/不通過電路的二節點之間呈現連接狀態(實質上)。當資料儲存在FGCMOS NVM單元、MRAM單元及RRAM單元被編程為”0”,為”0”的輸出端(位元)連接至控制N-MOS電晶體閘極,及其反相端”1”則係連接至控制P-MOS電晶體閘極時,複數控制N-MOS電晶體與複數控制P-MOS電晶體為”關閉”狀態,資料不能從輸入端通過至輸出端,也就是二金屬線與通過/不通過電路的二節點之間呈現不連接狀態。
另外,交叉點開關例如可包括複數多工器及複數開關緩衝器,此些多工器可依據儲存在FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元內的資料從n條輸入金屬線中選擇一個n輸入資料,並將所選擇的輸入資料輸出至開關緩衝器,此開關緩衝器依據儲存在FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元內的資料決定讓從多工器所輸出的資料通過或不通過至開關緩衝器輸出端所連接的一金屬線,此開關緩衝器包括一二級反相器(緩衝器),其中從多工器所選擇的資料連接(輸入)至緩衝器的一輸入級的公共閘極端,而其中之一條金屬線連接至緩衝器的一輸出級的公共汲極端,此輸出級反相器係由一控制P-MOS與控制N-MOS堆疊而成,其中控制P-MOS在頂端(位在Vcc與輸出級反相器的P-MOS的源極之間),而控制N-MOS在底部(位在Vss與輸出級反相器的N-MOS的源極之間)。開關緩衝器的連接狀態或不連接狀態(通過或不通過)係由FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元所儲存的資料(0或1)所控制,FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元的輸出端(位元)連接或耦接至開關緩衝器電路的控制N-MOS電晶體閘極,而且也連接或耦接至開關緩衝器電路的控制P-MOS電晶體閘極,且在二者之間具有一反相器。,例如,複數金屬線A及複數金屬線B分別相交連接於一交叉點,其中分別將金屬線A分割成金屬線A1段及金屬線A2段,將金屬線B分別成金屬線B1段及金屬線B2段,交叉點開關可設置位於該交叉點,交叉點開關包括4對多工器及開關緩衝器,每一多工器具有3輸入端及1輸出端,也就是每一多工器可依據儲存在2個FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元內的2位元(bits)資料從3輸入端選擇其中之一作為輸出端。每一開關緩衝器接收從相對應的多工器所輸出資料及依據第三個FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元內的儲存第三個位元資料決定是否讓接收的資料通過或不通過,交叉點開關設置位在金屬線A1段、金屬線A2段、金屬線B1段及金屬線B2段之間,此交叉點開關包括4對多工器/開關緩衝器:(1)第一多工器的3個輸入端可能是金屬線A1段、金屬線B1段及金屬線B2段,對於多工器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的2位元資料為”0”及”0”,第一多工器選擇金屬線A1段為輸入端,金屬線A1段連接至一第一開關緩衝器的輸入端。對於第1開關緩衝器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的位元資料為”1”時,金屬線A1段的資料通過輸入至金屬線A2段,對於第1開關緩衝器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的位元資料為”0”時,金屬線A1段的資料不能通過至金屬線A2段。對於第一多工器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的2位元資料為”1”及”0”時,第一多工器選擇金屬線B1段,而金屬線B1段連接至第一開關緩衝器的輸入端,對於第一開關緩衝器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的位元資料為”1”時,金屬線B1段的資料通過輸入至金屬線A2段,對於第一開關緩衝器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的位元資料為”0”時,金屬線B1段的資料 不能通過至金屬線A2段。對於第一多工器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的2位元資料為”0”及”1”時,第一多工器選擇金屬線B2段,而金屬線B2段連接至第一開關緩衝器的輸入端,對於第一開關緩衝器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的位元資料為”1”時,金屬線B2段的資料通過輸入至金屬線A2段,對於第一開關緩衝器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的位元資料為”0”時,金屬線B2段的資料不能通過至金屬線A2段。(2)第一多工器的3個輸入端可能是金屬線A2段、金屬線B1段及金屬線B2段,對於第二多工器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的2位元資料為”0”及”0”,第二多工器選擇金屬線A2段為輸入端,金屬線A2段連接至一第二開關緩衝器的輸入端。對於第2開關緩衝器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的位元資料為”1”時,金屬線A2段的資料通過輸入至金屬線A1段,對於第2開關緩衝器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的位元資料為”0”時,金屬線A2段的資料不能通過至金屬線A1段。對於第二多工器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的2位元資料為”1”及”0”時,第二多工器選擇金屬線B1段,而金屬線B1段連接至第二開關緩衝器的輸入端,對於第二開關緩衝器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的位元資料為”1”時,金屬線B1段的資料通過輸入至金屬線A1段,對於第二開關緩衝器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的位元資料為”0”時,金屬線B1段的資料不能通過至金屬線A1段。對於第二多工器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的2位元資料為”0”及”1”時,第二多工器選擇金屬線B2段,而金屬線B2段連接至第二開關緩衝器的輸入端,對於第二開關緩衝器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的位元資料為”1”時,金屬線B2段的資料通過輸入至金屬線A1段,對於第二開關緩衝器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的位元資料為”0”時,金屬線B2段的資料不能通過至金屬線A1段。(3)第三多工器的3個輸入端可能是金屬線A1段、金屬線A2段及金屬線B2段,對於第二多工器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的2位元資料為”0”及”0”,第三多工器選擇金屬線A1段為輸入端,金屬線A1段連接至一第三開關緩衝器的輸入端。對於第3開關緩衝器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的位元資料為”1”時,金屬線A1段的資料通過輸入至金屬線B1段,對於第3開關緩衝器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的位元資料為”0”時,金屬線A1段的資料不能通過至金屬線B1段。對於第三多工器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的2位元資料為”1”及”0”時,第三多工器選擇金屬線A2段,而金屬線A2段連接至第三開關緩衝器的輸入端,對於第三開關緩衝器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的位元資料為”1”時,金屬線A2段的資料通過輸入至金屬線B1段,對於第三開關緩衝器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的位元資料為”0”時,金屬線A2段的資料不能通過至金屬線B1段。對於第三多工器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的2位元資料為”0”及”1”時,第三多工器選擇金屬線B2段,而金屬線B2段連接至第三開關緩衝器的輸入端,對於第三開關緩衝器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的位元資料為”1”時,金屬線B2段的資料通過輸入至金屬線B1段,對於第三開關緩衝器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的位元資料為”0”時,金屬線B2段的資料不能通過至 金屬線B1段。(4)第四多工器的3個輸入端可能是金屬線A1段、金屬線A2段及金屬線B1段,對於第四多工器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的2位元資料為”0”及”0”,第四多工器選擇金屬線A1段為輸入端,金屬線A1段連接至一第四開關緩衝器的輸入端。對於第4開關緩衝器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的位元資料為”1”時,金屬線A1段的資料通過輸入至金屬線B2段,對於第4開關緩衝器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的位元資料為”0”時,金屬線A1段的資料不能通過至金屬線B2段。對於第四多工器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的2位元資料為”1”及”0”時,第四多工器選擇金屬線A2段,而金屬線A2段連接至第四開關緩衝器的輸入端,對於第四開關緩衝器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的位元資料為”1”時,金屬線A2段的資料通過輸入至金屬線B2段,對於第四開關緩衝器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的位元資料為”0”時,金屬線A2段的資料不能通過至金屬線B2段。對於第四多工器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的2位元資料為”0”及”1”時,第四多工器選擇金屬線B1段,而金屬線B1段連接至第四開關緩衝器的輸入端,對於第四開關緩衝器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的位元資料為”1”時,金屬線B1段的資料通過輸入至金屬線B2段,對於第四開關緩衝器,假如FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元儲存的位元資料為”0”時,金屬線B1段的資料不能通過至金屬線B2段。在此種情況下,交叉點開關是雙向的,且此交叉點開關具有4對多工器/開關緩衝器,每一對多工器/開關緩衝器被儲存在FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元內的3位元資料控制,對於交叉點開關共需要FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元的12位元資料,FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元可分布設置在FPGA晶片上,且位在或靠近相對應的交叉點開關及/或開關緩衝器。另外,FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元可被設置在FPGA某些區塊內的FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元矩陣內,其中FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元聚集或包括複數FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元用於控制在分布位置上的對應的交叉點開關。另外,FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元可被設置在FPGA複數某些複數區塊內的複數SRAM矩陣其中之一內,其中每一FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元矩陣聚集或包括複數FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元用於控制在分布位置上的相對應的交叉點開關。
商業化標準FPGA晶片的可編程互連接線包括位在互連接金屬線中間(或之間)一(或複數)多工器,此多工器每一FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元中儲存的資料從n條金屬互連接線中選擇連接一條金屬互連接線連接至多工器的輸出端,例如,金屬互連接線數目n=16,4位元資料的每一FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元需要選擇連接多工器之16輸入端的16條金屬互連接線任一條,並將所選擇的金屬互連接線連接或耦接至一連接至多工器輸出端的一金屬互連接線,從16條輸入端選擇一資料耦接、通過或連接至多工器輸出端連接的金屬線。
本發明另一方面揭露商業化標準邏輯驅動器在一多晶片封裝內,此多晶片封裝包括商業化標準複數FPGA IC晶片,其中非揮發性記憶體IC晶片用於使用不同應用所需編程的邏輯計算及(或)運算功能,而商業化標準複數FPGA IC晶片分別為裸片類型、單一晶片封裝或 複數晶片封裝,每一商業化標準複數FPGA IC晶片可具有共同標準特徵或規格;(1)邏輯區塊數目、或運算器數目、或閘極數目、或密度、或容量或尺寸大小,此邏輯區塊數目、或運算器數量可大於或等於16K、64K、256K、512K、1M、4M、16M、64M、256M、1G或4G的邏輯區塊數厘或運算器數量。邏輯閘極數目可大於或等於16K、64K、256K、512K、1M、4M、16M、64M、256M、1G或4G的邏輯閘極數目;(2)連接至每一邏輯區塊或運算器的輸入端的數目可大於或等於4、8、16、32、64、128或256;(3)電源電壓:此電壓可介於0.2伏特(V)至2.5V之間、0.2V至2V之間、0.2V至1.5V之間、0.1V至1V之間、0.2V至1V之間,或小於或低於或等於2.5V、2V、1.8V、1.5V或1V;(4)I/O接墊在晶片佈局、位置、數量及功能。由於FPGA晶片是商業化標準IC晶片,FPGA晶片在設計或產品數量可大量減少,因此,使用在先進半導體技術製造時所需的昂貴光罩或光罩組可大幅減少。例如,針對一特定技術可減少至3至20組光罩、3至10組光罩或3至5組光罩,因此NRE及製造的支出可大幅的降低。針對少量的晶片設計或產品,可經由少量的設計及產品使製造程序可被調整或優化,使其達到非常高的晶片製造良率。這樣的方式類似現在的先進商業化標準DRAM、或NAND快閃記憶體設計及製造程序。此外,晶片庫存管理變得簡單、高效率,因此可使FPGA晶片交貨時間變得更短,成本效益更高。
本發明另一範例提供在多晶片封裝內的標準商業化邏輯驅動器,其包括複數標準商業化FPGA IC晶片,用於需要通過現場編程的邏輯、計算及/或處理功能的不同應用上,其中複數標準商業化FPGA IC晶片均為單晶片或多晶片封裝,每一標準商業化FPGA IC晶片可具有如上述所規定的標準共同特徵或規格,類似用於使用在DRAM模組中的於標準DRAM IC晶片,每一標準商業化FPGA IC晶片更可包括一些額外的(通用的、標準的)I/O引腳或接墊,例如係(1)一晶片賦能引腳;(2)一輸入賦能引腳;(3)一輸出賦能引腳;(4)二輸入選擇引腳;及/或(5)二輸出選擇引腳,每一標準商業化FPGA IC晶片例如可包括一標準的I/O埠,例如4個I/O埠,每一I/O埠可包括64個雙向I/O電路(bi-directional I/O circuits)。
本發明另一方面揭露商業化標準邏輯驅動器在一多晶片封裝,此多晶片封裝包括複數標準商業化FPGA IC晶片,其中非揮發性記憶體IC晶片用於使用不同應用所需編程的邏輯計算及(或)運算功能,而複數標準商業化FPGA IC晶片分別為裸片類型、單一晶片封裝或複數晶片封裝,商業化標準邏輯驅動器可具有共同標準特徵或規格;(1)商業化標準邏輯驅動器的邏輯區塊數目、或運算器數目、或閘極數目、或密度、或容量或尺寸大小,此邏輯區塊數目、或運算器數量可大於或等於32K、64K、256K、512K、1M、4M、16M、64M、256M、1G、4G或8G的邏輯區塊數厘或運算器數量。邏輯閘極數目可大於或等於128K、256K、512K、1M、4M、16M、64M、256M、1G、4G、8G、16G、32G或64G的邏輯閘極數目;(2)電源電壓:此電壓可介於0.2V至12V之間、0.2V至10V之間、0.2V至7V之間、0.2V至5V之間、0.2V至3V之間、0.2V至2V之間、0.2V至1.5V之間、0.2V至1V之間;(3)I/O接墊在商業化標準邏輯驅動器的多晶片封裝佈局、位置、數量及功能,其中邏輯驅動器可包括I/O接墊、金屬柱或凸塊,連接至一或多數(2、3、4或大於4)的USB連接埠、一或複數IEEE複數單層封裝揮發性記憶體驅動器4連接埠、一或複數乙太連接埠、一或複數音源連接埠或串連埠,例如RS-32或COM連接埠、無線收發I/O連接埠、及/或藍芽訊號收發連接埠等。邏輯驅 動器也可包括通訊、連接或耦接至記憶體碟的I/O接墊、金屬柱或凸塊,連接至SATA連接埠、或PCIs連接埠,由於邏輯驅動器可商業化標準生產,使得產品庫存管理變得簡單、高效率,因此可使邏輯驅動器交貨時間變得更短,成本效益更高。
另一方面本發明揭露商業化標準邏輯驅動器在一多晶片封裝,其包括一專用控制晶片,此專用控制晶片係被設計用來實現及製造各種半導體技術,包括舊的或成熟的技術,例如不先進於、等於或大於40nm、50nm、90nm、130nm、250nm、350nm或500nm的技術。或者,此專用控制晶片可使用先前半導體技術,例如先進於或等於、以下或等於40nm、20nm或10nm。此專用控制晶片可使用半導體技術1世代、2世代、3世代、4世代、5世代或大於5世代以上的技術,或使用更成熟或更先進的技術在同一邏輯驅動器內標準商業化FPGA IC晶片封裝上。使用在專用控制晶片的電晶體可以是FINFET、全空乏絕緣上覆矽(Fully depleted silicon-on-insulator,FDSOI)的MOSFET、部分耗盡矽絕緣體MOSFETs或常規的MOSFET。使用在專用控制晶片的電晶體可以是從使用在同一邏輯運算器中的標準商業化FPGA IC晶片封裝不同的,例如專用控制晶片係使用常規MOSFET,但在同一邏輯驅動器內的標準商業化FPGA IC晶片封裝可使用FINFET電晶體;或是專用控制晶片係使用FDSOI MOSFET,但在同一邏輯驅動器內的標準商業化FPGA IC晶片封裝可使用FINFET。此專用控制晶片的功能有:(1)從外部邏輯運算器下載編程軟體原始碼至在商業化標準FPGA晶片的可編程交互連接線或LUTs之複數FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元內。或者,來自邏輯運算器以外的可編程軟體原始碼在取得進入在商業化標準FPGA晶片上的可編程互連接線或LUTs的FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元之前可經由專用控制晶片中的一緩衝器或驅動器。專用控制晶片的緩衝器可將來自邏輯運算器以外的資料鎖存以及增加資料的頻寬。例如,來自邏輯運算器以外的資料頻寬(在標準SATA)為1位元,該緩衝器可鎖存此1位元資料在緩衝器中每一複數SRAM單元內,及將儲存或鎖存在複數並聯SRAM單元且同時增加資料頻寬,例如等於或大於4位元頻寬、8位元頻寬、16位元頻寬、32位元頻寬或64位元頻寬,另一例子,來自邏輯運算器以外的資料位元頻寬為32位元(在標準PCIs類型下),緩衝器可增加資料位元頻寬至大於或等於64位元頻寬、128位元頻寬或256位元頻寬,在專用控制晶片的驅動器可將來自邏輯運算器以外的資料訊號放大;(2)作為一使用者應用的輸入/輸出訊號;(3)電源管理。
本發明另一方面揭露在多晶片封裝內的商業化標準邏輯驅動器更包括一專用I/O晶片,此專用I/O晶片可使用各種半導體技術設計用來實現及製造,包括舊的或成熟的技術,例如不先進於、等於或大於40nm、50nm、90nm、130nm、250nm、350nm或500nm的技術。此專用I/O晶片可使用半導體技術1世代、2世代、3世代、4世代、5世代或大於5世代以上的技術,或使用更成熟或更先進的技術在同一邏輯驅動器內標準商業化FPGA IC晶片封裝上。使用在專用I/O晶片的電晶體可以是全空乏絕緣上覆矽(Fully depleted silicon-on-insulator,FDSOI)的MOSFET、部分耗盡矽絕緣體MOSFETs或常規的MOSFET。使用在專用I/O晶片的電晶體可以是從使用在同一邏輯運算器中的標準商業化FPGA IC晶片封裝不同的,例如專用I/O晶片係使用常規MOSFET,但在同一邏輯驅動器內的標準商業化FPGA IC晶片封裝可使用FINFET電晶體;或是專用I/O晶片係使用FDSOI MOSFET,但在同一邏輯驅動器內的標準商業化FPGA IC晶片封裝可使用FINFET。專用I/O晶片所使用的電源電壓可大於或等於1.5V、2V、2.5V、3V、3.5V、4V或5V,而在同一邏輯驅動器內的標準商業化FPGA IC晶 片所使用的電源電壓可小於或等於2.5V、2V、1.8V、1.5V或1V。在專用I/O晶片所使用的電源電壓可與同一邏輯驅動器內的標準商業化FPGA IC晶片封裝不同,例如,專用I/O晶片可使用的電源電壓為4V,而在同一邏輯驅動器內的標準商業化FPGA IC晶片封裝所使用用的電源電壓為1.5V,或專用IC晶片所使用的電源電壓為2.5V,而在同一邏輯驅動器內的標準商業化FPGA IC晶片封裝所使用用的電源電壓為0.75V。使用在專用I/O晶片內的場效電晶體(Field-Effect-Transistors(FETs))的閘極的氧化物層(物理)厚度可大於或等於5nm、6nm、7.5nm、10nm、12.5nm或15nm,而使用在邏輯驅動器的標準商業化FPGA IC晶片封裝內的FETs中閘極氧化物(物理)厚度可小於4.5nm、4nm、3nm或2nm。使用在專用I/O晶片中的FETs閘極氧化物厚度可與使用在同一輯運算驅動器中的標準商業化FPGA IC晶片封裝內的FETs中閘極氧化物厚度不同,例如,專用I/O晶片中的FETs閘極氧化物厚度為10nm,而使用在同一輯運算驅動器中的標準商業化FPGA IC晶片封裝內的FETs中閘極氧化物厚度為3nm,或是專用I/O晶片中的FETs閘極氧化物厚度為7.5nm,而使用在同一輯運算驅動器中的標準商業化FPGA IC晶片封裝內的FETs中閘極氧化物厚度為2nm。專用I/O晶片為邏輯驅動器提供複數輸入端、複數輸出端及ESD保護器,此專用I/O晶片提供:(i)巨大的複數驅動器、複數接收器或與外界通訊用的I/O電路;(ii)小型的複數驅動器、複數接收器或與邏輯驅動器內的複數晶片通訊用的I/O電路。複數驅動器、複數接收器或與外界通訊用的I/O電路的驅動能力、負載、輸出電容或輸入電容大於在邏輯驅動器內的小型的複數驅動器、複數接收器或與邏輯驅動器內的複數晶片通訊用的I/O電路。複數驅動器、複數接收器或與外界通訊用的I/O電路具有驅動能力、負載、輸出電容或輸入電容可介於2pF與100pF之間、2pF與50pF之間、2pF與30pF之間、2pF與20pF之間、2pF與15pF之間、2pF與10pF之間、2pF與5pF之間,或大於2pF、5pF、10pF、15pF或20pF。小型的複數驅動器、複數接收器或與邏輯驅動器內的複數晶片通訊用的I/O電路的驅動能力、負載、輸出電容或輸入電容可介於0.1pF與10pF之間、0.1pF與5pF之間、0.1pF與2pF之間,或小於10pF、5pF、3pF、2pF或1pF。專用I/O晶片上的ESD保護器尺寸是大於同一邏輯驅動器中其它的標準商業化FPGA IC晶片中的ESD保護器尺寸,在大的專用I/O晶片中的ESD保護器尺寸可介於0.5pF與20pF之間、0.5pF與15pF之間、0.5pF與10pF之間、0.5pF與5pF之間或0.5pF與2pF之間,或大於0.5pF、1pF、2pF、3pF、5pF或10pF,例如,一雙向I/O(或三態)接墊、I/O電路可使用在大型I/O驅動器或接收器、或用於與外界通訊(邏輯驅動器之外)通訊之用的I/O電路可包括一ESD電路、一接收器及一驅動器,且具有輸入電容或輸出電容可介於2pF與100pF之間、2pF與50pF之間、2pF與30pF之間、2pF與20pF之間、2pF與15pF之間、2pF與10pF之間或2pF與5pF之間,或大於2pF、5pF、10pF、15pF或20pF。例如,一雙向I/O(或三態)接墊、I/O電路可使用在小型I/O驅動器或接收器、或用於與邏輯驅動器內的複數晶片通訊用的I/O電路可包括一ESD電路、一接收器及一驅動器,且具有輸入電容或輸出電容可介於0.1pF與10pF之間、0.1pF與5pF之間、0.1pF與2pF之間,或小於10pF、5pF、3pF、2pF或1pF。
在標準商用化邏輯運算器中多晶片封裝的專用I/O晶片(或複數晶片)可包括一緩衝器及(或)驅動器電路作為下載來自邏輯運算器以外的編程軟體原始碼至在商業化標準FPGA晶片上的可編互連接線或LUTs之FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元。來自邏輯運算器以外的可編程軟體原始碼在取得進入可編程互連接線的FGCMOS NVM單元、MRAM單 元或RRAM單元之前可先通過專用I/O晶片中的一緩衝器或驅動器或先通過標準商業化FPGA晶片上的LUTs。專用I/O晶片的緩衝器可將來自邏輯運算器以外的資料鎖存以及增加資料的頻寬。例如,來自邏輯運算器以外的資料頻寬(在標準SATA)為1位元,該緩衝器可鎖存此1位元資料在緩衝器中每一複數SRAM單元內,並將儲存或鎖存在複數且並聯SRAM單元內的資料輸出並同時增加資料的位元寛度,例如等於或大於4位元頻寬、8位元頻寬、16位元頻寬、32位元頻寬或64位元頻寬,另一例子,來自邏輯運算器以外的資料位元頻寬為32位元(在標準PCIs類型下),緩衝器可增加資料位元頻寬至大於或等於64位元頻寬、128位元頻寬或256位元頻寬,在專用I/O晶片的驅動器可將來自邏輯運算器以外的資料訊號放大。
商業化標準邏輯驅動器中的多晶片封裝的專用I/O晶片(或複數晶片)包括I/O電路或複數接墊(或複數微銅金屬柱或凸塊)作為連接或耦接至一或複數USB連接埠、一或複數IEEE複數單層封裝揮發性記憶體驅動器4連接埠、一或複數乙太網路連接埠、一或複數音源連接埠或串接埠,例如是RS-232或COM連接埠、無線訊號收發I/Os及(或)藍芽訊號收發連接埠,此專用I/O晶片包括複數I/O電路或複數接墊(或複數微銅金屬柱或凸塊)作為連接或耦接至SATA連接埠或PCIs的連接埠,作為通訊、連接或耦接至記憶體碟之用。
本發明另一範例揭露在多晶片封裝內的標準商業化邏輯驅動器,此標準商業化邏輯驅動器包括標準商業化FPGA IC晶片、專用I/O晶片、專用控制晶片及一或複數非揮發性記憶體IC晶片,經由現場編程用在使用各種不同應用需要的邏輯、計算及(或)處理功能,如上述說明及揭露中的專用I/O晶片及專用控制晶片,在邏輯驅動器中的複數晶片之間的通訊及邏輯驅動器與外部或外界(邏輯驅動器之外)之間的通訊的揭露內容如下:(1)專用I/O晶片可直接與其它晶片或邏輯驅動器內的晶片通訊,及專用I/O晶片也可直接與外部電路或外界電路(邏輯驅動器之外)直接通訊,專用I/O晶片包括二種I/O電路型式,一種型式具有大的驅動能力、大的負載、大的輸出電容或大的輸入電容作為與邏輯驅動器之外的外部電路或外界電路通訊,而另一型式具有小的驅動能力、小的負載、小的輸出電容或小的輸入電容可直接與邏輯驅動器內的其它晶片或複數晶片通訊;(2)FPGA IC晶片可單一直接與邏輯驅動器內的其它晶片或複數晶片通訊,但是不與邏輯驅動器之外的外部電路或外界電路通訊,其中多個FPGA IC晶片內的I/O電路可間接經由(或通過)專用I/O晶片中的I/O電路與邏輯驅動器之外的外部電路或外界電路通訊,其中專用I/O晶片中的I/O電路的驅動能力、負載、輸出電容或輸入電容明顯大於多個FPGA IC晶片中的I/O電路,其中多個FPGA IC晶片中的I/O電路(例如,輸出電容或輸入電容小於2pF)連接或耦接至專用I/O晶片中的大型的I/O電路(例如,輸入電容或輸出電容大於3pF)作為與邏輯驅動器之外的外部電路或外界電路通訊;(3)專用控制晶片可單一直接與邏輯驅動器內的其它晶片或複數晶片通訊,但是不與邏輯驅動器之外的外部電路或外界電路通訊,其中專用控制晶片內的I/O電路可間接經由(或通過)專用I/O晶片中的I/O電路與邏輯驅動器之外的外部電路或外界電路通訊,其中專用I/O晶片中的I/O電路的驅動能力、負載、輸出電容或輸入電容明顯大於專用控制晶片中的I/O電路,此外,專用控制晶片可直接與邏輯驅動器內的其它晶片或複數晶片通訊,也可與邏輯驅動器之外的外部電路或外界電路通訊。上文中”物件X直接與物件Y通訊”亦即為物件X(例如是邏輯驅動器中的第一晶片)直接與物件Y通訊或耦接不需要經由或通過邏輯驅動器中的任一晶片。上文中”物件X不直接與物件Y通訊”亦即為物件X(例如邏輯驅動器中的第一晶片)可不經由或通過邏輯驅動器中的任一晶片中複數晶片與物件Y間接地通訊或耦接,而”物 件X不與物件Y不通訊”亦即為物件X(例如是邏輯驅動器中的第一晶片)不直接或間接與物件Y通訊或耦接。物件X不與物件Y通訊,亦即為物件X(例如邏輯驅動器中的第一晶片)不直接與物件Y通訊或耦接,物件X也不間接與物件Y通訊或耦接。
本發明另一方面揭露在多晶片封裝內的商業化標準邏輯驅動器更包括一專用控制晶片及一專用I/O晶片,此專用控制晶片及專用I/O晶片在單一晶片上所提供功能如上述所揭露之內容相同,此專用控制晶片及專用I/O晶片可使用各種半導體技術設計用來實現及製造,包括舊的或成熟的技術,例如不先進於、等於或大於40nm、50nm、90nm、130nm、250nm、350nm或500nm的技術。此專用控制晶片及專用I/O晶片可使用半導體技術1世代、2世代、3世代、4世代、5世代或大於5世代以上的技術,或使用更成熟或更先進的技術在同一邏輯驅動器內標準商業化FPGA IC晶片封裝上。使用在專用控制晶片及專用I/O晶片的電晶體可以是FINFET、FDSOI MOSFET、部分耗盡矽絕緣體MOSFETs或常規的MOSFET,使用在專用控制晶片及專用I/O晶片的電晶體可以是從使用在同一邏輯運算器中的標準商業化FPGA IC晶片封裝不同的,例如專用控制晶片及專用I/O晶片係使用常規MOSFET,但在同一邏輯驅動器內的標準商業化FPGA IC晶片封裝可使用FINFET電晶體,或是專用控制晶片及專用I/O晶片係使用FDSOI MOSFET,而在同一邏輯驅動器內的標準商業化FPGA IC晶片封裝可使用FINFET,針對在I/O晶片內的複數小型I/O電路(也就是小型驅動器或接收器)及大型I/O電路(也就是大型驅器或接收器)皆可應用上述所揭露的專用控制晶片及專用I/O晶片的規範及內容。
本發明另一方面揭露在多晶片封裝內的商業化標準邏輯驅動器,商業化標準邏輯驅動器包括複數標準商業化FPGA IC晶片、專用控制及I/O晶片,經由現場編程用在使用各種不同應用需要的邏輯、計算及(或)處理功能,邏輯驅動器內的複數晶片之間的通訊及邏輯驅動器內的每一晶片與邏輯驅動器之外的外部電路或外界電路之間的通訊如以下所示:(1)專用控制及I/O晶片直接與邏輯驅動器內的其它晶片或複數晶片通訊,也可與邏輯驅動器之外的外部電路或外界電路通訊,此專用控制及I/O晶片包括複數I/O電路的二種類型,一種類型具有大的驅動能力、大的負載、大的輸出電容或大的輸入電容作為與邏輯驅動器之外的外部電路或外界電路通訊,而另一類型具有小的驅動能力、小的負載、小的輸出電容或小的輸入電容可直接與邏輯驅動器內的其它晶片或複數晶片通訊;(2))每一FPGA IC晶片可單一直接與邏輯驅動器內的其它晶片或複數晶片通訊,但是不與邏輯驅動器之外的外部電路或外界電路通訊,其中複數FPGA IC晶片內的I/O電路可間接經由(或通過)專用控制及I/O晶片中的I/O電路與邏輯驅動器之外的外部電路或外界電路通訊,其中專用控制及I/O晶片中的I/O電路的驅動能力、負載、輸出電容或輸入電容明顯大於複數FPGA IC晶片中的I/O電路。”物件X直接與物件Y通訊”、”物件X不直接與物件Y通訊”及”物件X不與物件Y通訊”等敍述文字,己揭露於及定義於之前段落的內容中。
本發明另一方面揭露一開發套件或工具,作為一使用者或開發者使用(經由)商業化標準邏輯驅動器實現一創新技術或應用技術,具有創新技術、新應用概念或想法的使用者或開發者可購買商業化標準邏輯驅動器及使用相對應開發套件或工具進行開發,或軟體原始碼或程式撰寫而加載至商業化標準邏輯驅動器中的FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元中,以作為實現他(或她)的創新技術或應用概念想法。
本發明另一方面揭露在一多晶片封裝中的邏輯驅動器類型,邏輯驅動器類型更 包括一創新的ASIC晶片或COT晶片(以下簡稱IAC),作為知識產權(Intellectual Property(IP))電路、特殊應用(Application Specific(AS))電路、類比電路、混合訊號(mixed-mode signal)電路、射頻(RF)電路及(或)收發器、接收器、收發電路等。IAC晶片可使用各種半導體技術設計用來實現及製造,包括舊的或成熟的技術,例如不先進於、等於或大於30nm、40nm、50nm、90nm、130nm、250nm、350nm或500nm的技術。此IAC晶片可以使用先進於或等於、以下或等於30nm、20nm或10nm。此IAC晶片可使用半導體技術1世代、2世代、3世代、4世代、5世代或大於5世代以上的技術,或使用更成熟或更先進的技術在同一邏輯驅動器內標準商業化FPGA IC晶片封裝上。此IAC晶片可使用半導體技術1世代、2世代、3世代、4世代、5世代或大於5世代以上的技術,或使用更成熟或更先進的技術在同一邏輯驅動器內標準商業化FPGA IC晶片封裝上。使用在IAC晶片的電晶體可以是FINFET、FDSOI MOSFET、PDSOI MOSFET或常規的MOSFET。使用在IAC晶片的電晶體可以是從使用在同一邏輯運算器中的標準商業化FPGA IC晶片封裝不同的,例如IAC晶片係使用常規MOSFET,但在同一邏輯驅動器內的標準商業化FPGA IC晶片封裝可使用FINFET電晶體;或是IAC晶片係使用FDSOI MOSFET,但在同一邏輯驅動器內的標準商業化FPGA IC晶片封裝可使用FINFET。IAC晶片可使用各種半導體技術設計用來實現及製造,包括舊的或成熟的技術,例如不先進於、等於或大於30nm、40nm、50nm、90nm、130nm、250nm、350nm或500nm的技術,而且NRE成本係比現有或常規的ASIC或COT晶片使用先進IC製程或下一製程世代設計及製造上便宜,例如比30nm、20nm或10nm的技術更先進的技術便宜。使用先進IC製程或下一製程世代設計一現有或常規的ASIC晶片或COT晶片,例如,比30nm、20nm或10nm的技術設計,需超過美金5百萬元、美金一千萬元、美金2千萬元或甚至超過美金5千萬元或美金1億元。如ASIC晶片或COT IC晶片的16奈米技術或製程世代所需的光罩的成本就超過美金2百萬元、美金5百萬元或美金1千萬元,若使用邏輯驅動器(包括IAC晶片)設計實現相同或相似的創新或應用,及使用較舊的或較不先進的技術或製程世代可將此NRE成本費用降低小於美金1仟萬元、美金7百萬元、美金5百萬元、美金3百萬元或美金1百萬元。對於相同或類似的創新技術或應用,與現有常規邏輯運算ASIC IC晶片及COT IC晶片的開發比較,開發IAC晶片的NRE成本可被降低大於2倍、5倍、10倍、20倍或30倍。
本發明另一方面揭露在多晶片封裝中的邏輯驅動器類型可包括整合上述專用控制晶片及IAC晶片功能的單一專用控制及IAC晶片(以下簡稱DCIAC晶片),DCIAC晶片現今包括控制電路、智慧產權電路、特殊應用(AS)電路、類比電路、混合訊號電路、RF電路及(或)訊號發射電路、訊號收發電路等,DCIAC晶片可使用各種半導體技術設計用來實現及製造,包括舊的或成熟的技術,例如不先進於、等於或大於30nm、40nm、50nm、90nm、130nm、250nm、350nm或500nm的技術。此外,DCIAC晶片可以使用先進於或等於、以下或等於40nm、20nm或10nm。此DCIAC晶片可使用半導體技術1世代、2世代、3世代、4世代、5世代或大於5世代以上的技術,或使用更成熟或更先進的技術在同一邏輯驅動器內複數標準商業化FPGA IC晶片上。使用在DCIAC晶片的電晶體可以是FINFET、FDSOI MOSFET、部分耗盡矽絕緣體MOSFETs或常規的MOSFET,使用在DCIAC晶片的電晶體可以是從使用在同一邏輯運算器中的標準商業化FPGA IC晶片封裝不同的,例如DCIAC晶片係使用常規MOSFET,但在同一邏輯驅動器內的標準商業化FPGA IC晶片封裝可使用FINFET電晶體,而在同一邏輯驅動器內的 標準商業化FPGA IC晶片封裝可使用FINFET。或是DCIAC晶片係使用FDSOI MOSFET,而在同一邏輯驅動器內的標準商業化FPGA IC晶片封裝可使用FINFET。DCIAC晶片可使用各種半導體技術設計用來實現及製造,包括舊的或成熟的技術,例如不先進於、等於或大於30nm、40nm、50nm、90nm、130nm、250nm、350nm或500nm的技術,而且NRE成本係比現有或常規的ASIC或COT晶片使用先進IC製程或下一製程世代設計及製造上便宜,例如比30nm、20nm或10nm的技術更先進的技術便宜。使用先進IC製程或下一製程世代設計一現有或常規的ASIC晶片或COT晶片,例如,比30nm、20nm或10nm的技術設計,需超過美金5百萬元、美金一千萬元、美金2千萬元或甚至超過美金5千萬元或美金1億元。若使用邏輯驅動器(包括DCIAC晶片晶片)設計實現相同或相似的創新或應用,及使用較舊的或較不先進的技術或製程世代可將此NRE成本費用降低小於美金1仟萬元、美金7百萬元、美金5百萬元、美金3百萬元或美金1百萬元。對於相同或類似的創新技術或應用,與現有常規邏輯運算ASIC IC晶片及COT IC晶片的開發比較,開發DCIAC晶片的NRE成本可被降低大於2倍、5倍、10倍、20倍或30倍。
本發明另外揭露一種將現有邏輯ASIC晶片或COT晶片硬體產業模式經由邏輯驅動器改變成一軟體產業模式。在同一創新及應用上,邏輯驅動器從效能、功耗、工程及製造成本應可比現有的常規ASIC晶片或常規COT IC晶片好或相同,現有的ASIC晶片或COT IC晶片的設計公司或供應商可變成軟體開發商或供應商,而僅使用舊的或較不先進的半導體技術或製程世代設計如上述之IAC晶片、DCIAC晶片或DCDI/OIAC晶片,關於此方面的揭露,可能是(1)設計及擁有IAC晶片、DCIAC晶片或DCDI/OIAC晶片;(2)從第三方採購祼晶類型或封裝類型的複數商業化標準FPGA晶片;(3)設計及製造(可以外包此製造工作給製造提供者的一第三方)內含有自有擁有的IAC晶片、DCIAC晶片或DCI/OIAC晶片的邏輯驅動器;(3)為了創新技術或新應用需求安裝內部開發軟體至邏輯驅動器內的FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元內;及(或)(4)賣己安裝程式的邏輯驅動器給他們的客戶,在此情況下,他們仍可販賣硬體,此硬體不用使用先進半導體技術的設計及製造之傳統昂貴的ASIC IC晶片或COT IC晶片,例如比30nm、20nm或10nm的技術更先進的技術。他們可針對所期望的應用撰寫軟體原始碼進行邏輯驅動器中的複數商業化標準FPGA晶片編程,期望的應用例如是人工智能(Artificial Intelligence,AI)、機器學習、深度學習、大數據資料庫儲存或分析、物聯網(Internet Of Things,IOT)、工業計算、虛擬實境(VR)、擴增實境(AR)、自動駕駛或無人駕駛車、車用電子圖形處理(GP)、數位訊號處理(DSP)、微控制器(MC)或中央處理器(CP)等功能或其中的任一種組合之功能。
本發明另一範例揭露在多晶片封裝中的邏輯驅動器型式可包括標準商業化FPGA IC晶片,以及更包括一運算IC晶片與(或)計算IC晶片,例如使用先進半導體技術或先進世代技術設計及製造的一或多個中央處理器(CPU)晶片、一或多個圖形處理器(GPU)晶片、一或多個數位訊號處理(DSP)晶片、一或多個張量處理器(Tensor Processing Unit(TPU))晶片及(或)一或多個特殊應用處理器晶片(APU),例如比30奈米(nm)、20nm或10nm更先進或相等,或尺寸更小或相同的半導體先進製程,或是比使用在相同邏輯驅動器中的FPGA IC晶片更先進的半導體先進製程。或者,此處理IC晶片及計算IC晶片可以係系統單晶片(SOC),其可包括:(1)CPU及DSP單元;(2)CPU及GPU單元;(3)DSP及GPU單元;或(4)CPU、GPU及DSP單元,處理IC晶片及計算IC晶片中的所使用的電晶體可能是FINFET、FINFET SOI、FDSOI MOSFET、PDSOI MOSFET或一常規MOSFET。另外,處理IC晶片及計算IC晶片型式可包括封裝型式或合併在邏輯驅動器內,且處理IC晶片及計算IC晶片的組合可包括二型的晶片,組合類型如下所示:(1)處理IC晶片及計算IC晶片中的一型式為CPU晶片及另一型式為GPU晶片;(2)處理IC晶片及計算IC晶片中的一型式為CPU晶片及另一型式為DSP晶片;(3)處理IC晶片及計算IC晶片中的一型式為CPU晶片及另一型式為TPU晶片;(4)處理IC晶片及計算IC晶片中的一型式為GPU晶片及另一型式為DSP晶片;(5)處理IC晶片及計算IC晶片中的一型式為GPU晶片及另一型式為TPU晶片;(6)處理IC晶片及計算IC晶片中的一型式為DSP晶片及另一型式為TPU晶片。此外,處理IC晶片及計算IC晶片型式可包括封裝型式或合併在邏輯驅動器內,且處理IC晶片及計算IC晶片的組合可包括三型的晶片,組合類型如下所示:(1)處理IC晶片及計算IC晶片中的一型式為CPU晶片、另一型式為GPU晶片及另一型式為DSP晶片型式;(2)處理IC晶片及計算IC晶片中的一型式為CPU晶片、另一型式為GPU晶片及另一型式為TPU晶片型式;(3)處理IC晶片及計算IC晶片中的一型式為CPU晶片、另一型式為DSP晶片及另一型式為TPU晶片型式;(4)處理IC晶片及計算IC晶片中的一型式為GPU晶片、另一型式為DSP晶片及另一型式為TPU晶片型式;(5)處理IC晶片及計算IC晶片中的一型式為CPU晶片、另一型式為GPU晶片及另一型式為TPU晶片型式。此外,處理IC晶片及計算IC晶片的組合類型可包括(1)複數GPU晶片,例如2、3、4或大於4個GPU晶片;(2)一或複數CPU晶片及(或)一或複數GPU晶片;(3)一或複數CPU晶片及(或)一或複數DSP晶片;(4)一或複數CPU晶片及(或)一或複數TPU晶片;或(5)一或複數CPU晶片、及(或)一或複數GPU晶片(或)一或複數TPU晶片,在上述所有的替代方案中,邏輯驅動器可包括一或處理IC晶片及計算IC晶片,及用於高速並聯運算及(或)計算功能的一或多個高速、高頻寬及高位元寬快取SRAM晶片或DRAM IC晶片。例如邏輯驅動器可包括複數GPU晶片,例如2、3、4或大於4個GPU晶片,及複數高位元寬(wide bit-width)及高頻寬(high bandwidth)緩存SRAM晶片或DRAM IC晶片,其中之一GPU晶片與其中之一SRAM或DRAM IC晶片之間的通訊的位元寬度可等或大於64、128、256、512、1024、2048、4096、8K或16K,另一例子,邏輯驅動器可包括複數TPU晶片,例如是2、3、4或大於4個TPU晶片,及多個高位元寬及高頻寬緩存SRAM晶片或DRAM IC晶片,其中之一TPU晶片與其中之一SRAM或DRAM IC晶片之間的通訊的位元寬度可等或大於64、128、256、512、1024、2048、4096、8K或16K。
邏輯運算晶片、運算晶片及(或)計算晶片(例如FPGA、CPU、GPU、DSP、APU、TPU及(或)AS IC晶片)及高速高頻寬的SRAM、DRAM或NVM晶片中的通訊、連接或耦接係透過(經由)載板(中介載板)中的FISIP及(或)SISIP,其連接及通訊方式與在相同晶片中的內部電路相似或類式,其中FISIP及(或)SISIP將於後續的揭露中說明。此外,在一邏輯晶片、運算晶片及/或計算晶片(例如FPGA、CPU、GPU、DSP、APU、TPU及(或)AS IC晶片)及高速高頻寬的SRAM、DRAM或NVM晶片中的通訊、連接或耦接係透過(經由)載板(中介載板)中的FISIP及(或)SISIP,並可使用小型I/O驅動器及小型接收器連接或耦接,其中此小型I/O驅動器、小型接收器或I/O電路的驅動能力、負載、輸出電容或輸入電容可介於0.01pF與10pF之間、0.05pF與5pF之間或0.01pF與2pF之間,或是小於10pF、5pF、3pF、2pF、1pF、0.5pF或0.01pF,例如,一雙向I/O(或三向)接墊、I/O電路可使用在小型I/O驅動器、接收器或I/O電 路與邏輯驅動器中的高速高頻寬邏輸運算晶片及記憶體晶片之間的通訊,及可包括一ESD電路、一接收器及一驅動器,且具有輸入電容或輸出電容可介於0.01pF與10pF之間、0.05pF與5pF之間、0.01pF與2pF之間,或小於10pF、5pF、3pF、2pF、1pF、0.5pF或0.1pF。
運算IC晶片或計算IC晶片或在邏輯驅動器中的晶片提供使用在(可現場編程)功能、處理器及操作的一固定金屬交互線路(非現場編程),此標準商業化FPGA IC晶片提供(1)使用(可現場編程)功能、處理器及操作的可編程金屬交互線路(可現場編程)及(2)用於(非現場編程)邏輯功能、處理器及操作的固定金屬交互線路。一旦FPGA IC晶片中的可現場編程金屬交互線路被編程,被編程的金屬交互線路與在FPGA晶片中的固定金屬交互線路一起提供針對一些應用的一些特定功能。一些操作的FPGA晶片可被操作與運算IC晶片與計算IC晶片或在同一邏輯驅動器中的晶片一起提供強大功能及應用程式中的操作,例如提供人工智能(Artificial Intelligence,AI)、機器學習、深度學習、大數據資料庫儲存或分析、物聯網(Internet Of Things,IOT)、工業電腦、虛擬實境(VR)、擴增實境(AR)、車用電子圖形處理(GP)、數位訊號處理(DSP)、微控制器(MC)或中央處理器(CP)等功能或其中的任一種組合之功能。
本發明另一方面提供在多晶片封裝中的邏輯驅動器,此邏輯驅動器更包括用於運算及/或計算時可高速存取資料的一(或多個)高速DRAM晶片,此高速DRAM晶片可使用先進於40nm技術世代的半導體IC製程製造,例如係先進於40nm、30nm、20nm、15nm或10nm之技術,而DRAM晶片的密度(density)可等於或大於64M-bits(Mb),例於大於64Mb、128Mb、256Mb、1Gb、4Gb、8Gb、16Gb、32Gb、128Gb、256Gb或512Gb。需要運算或計算的資料可從儲存在DRAM晶片中的資料取得或存取,以及運算或計算後的結果資料可儲存在DRAM晶片中。
本發明另一範例揭露在邏輯驅動器中使用的標準商業化FPGA IC晶片,使用先進半導體技術或先進世代技術設計及製造的標準商業化FPGA晶片,例如比30奈米(nm)、20nm或10nm更先進或相等,或尺寸更小或相同的半導體先進製程,標準商業化FPGA IC晶片由以下段落中揭露製造過程之步驟:
(1)提供一半導體基板(例如一矽基板)或一絕緣層上覆矽(Silicon-on-Insulator;SOI)基板,其中晶圓的形式及尺寸例如是8吋、12吋或18吋,複數電晶體經由先進半導體技術或新世代技術晶圓製程技術形成在基板表面,電晶體可使用先進的半導體技術世代之製程所製造形成,其電晶體可能是FINFET、FDSOI MOSFET、PDSOI MOSFET或常規的MOSFET,形成電晶體的製程可使用於MOSFET電晶體(例如用於邏輯閘、多工器、控制電路等)及使用於在FGCMOS NVM單元中的MOSFET電晶體,,另外一雙閘極氧化物製程中的一厚氧化物可用於FGCMOS NVM單元中的FG NMOS及FG PMOS中編程的高電壓及抺除控制電路上;(2)經由晶圓製程在基板(或晶片)表面上或含有電晶體的層面上形成一第一交互連接線結構(First Interconnection Scheme in,on or of the Chip(FISC)),此FISC包括複數交互連接線金屬層,在複數交互連接線金屬層之間具有一金屬間介電層,此FISC結構可經由執行一單一鑲嵌銅製程及(或)一雙鑲嵌銅製程而形成,例如,在複數交互連接線金屬層中一交互連接線金屬層中的金屬線可經由單一鑲嵌銅製程形成,其製程如下步驟如示:(1)提供一第一絕緣介電層(可以是一金屬間介電層位在暴露通孔金屬層或暴露在外的金屬接墊、金屬線或交互連接線的上表面),第一絕緣介電層的最頂層例如可以是一低介電系 數(Low K)介電層,例如是一碳基氧化矽(SiOC)層;(2)例如以化學氣相沉積(Chemical Vapor Deposition(CVD))方法沉積一第二絕緣介電層在整個晶圓上或在第一絕緣介電層上及在第一絕緣介電層中暴露通孔金屬層或暴露在外的金屬接墊上,第二絕緣介電層經由下列步驟形成(a)沉積一底部區分蝕刻停止層,例如一碳基氮化矽(SiNC)層在第一絕緣介電層的最頂層表面上及第一絕緣介電層中暴露通孔金屬層或暴露在外的金屬接墊上;(b)接著沉積一低介電係數介電層在底部區分蝕刻停止層上,例如一SiOC層,此低介電常數介電材質之介電常數小於氧化矽材質,SiOC層及SiON層可經由CVD方式沉積,FISC的第一絕緣介電層及第二絕緣介電層的材質包括一無機材質、或包括矽、氮、碳及(或)氧的化合物;(3)接著形成複數溝槽或複數開孔在第二絕緣介電層中,經由以下步驟:(a)塗覆、曝光、形成複數溝槽或複數開孔在一光阻層中;(b)經由蝕刻的方式形成溝槽或複數開孔在第二絕緣介電層中,接著去除光阻層;(4)然後沉積一黏著層在整個晶圓上,包括在第二絕緣介電層的複數溝槽或複數開孔內,例如係使用濺鍍或CVD的方式,形成一鈦層(Ti)或氮代鈦(TiN)層(厚度例如是在1納米至50納米之間);(5)接著,形成一電鍍用種子層在黏著層上,例如濺鍍或CVD形成一銅種子層(其厚度例如可介於3納米(nm)至200nm之間);(6)接著電鍍一銅層(其厚度例如是介於10nm至3000nm之間、介於10nm至1000nm之間、介於10nm至500nm之間)在銅種子層上;(7)接著使用化學機械程序(Chemical-Mechanical Process(CMP))移除在第二絕緣介電層中複數溝槽或複數開孔之外不需要的金屬(Ti或TiN/銅種子層/電鍍銅層),直到第二絕緣介電層的頂面被露出,保留在第二絕緣介電層內的複數溝槽或複數開孔中的金屬被用來作為FISC中的交互連接線金屬層的金屬栓塞(金屬栓塞)、金屬線或金屬連接線。
可重複多次使用單一鑲嵌銅製程或雙鑲嵌銅製程,形成交互連接線金屬層中的金屬線或連接線及形成金屬間介電層中的金屬栓塞,用以形成FISC中複數交互連接線金屬層中的金屬線或連接線及金屬間介電層中的金屬栓塞,雙鑲嵌銅製程與單一鑲嵌銅製程相似,除了,形成在底部絕緣介電層中的底部開口可用於形成金屬栓塞及形成在頂部絕緣介電層中的頂部開口可用於形成金屬線、金屬連接線或金屬接墊,接著可利用鑲嵌電鍍製程及CMP製程(如上述說明所揭露之技術內容)形成金屬栓塞在底部絕緣介電層中及形成金屬線、金屬金屬連接線或金屬接墊在頂部絕緣介電層中。此外,可替代之方式也可以是底部開口可用於形成金屬線、金屬連接線或金屬接墊形成在一底部絕緣介電層中,而頂部開口可用於形成金屬栓塞形成在一頂部絕緣介電層中,接著可利用鑲嵌電鍍製程及CMP製程(如上述說明所揭露之技術內容)形成金屬線、金屬金屬連接線或金屬接墊在底部絕緣介電層中及形成金屬栓塞在頂部絕緣介電層中。FISC可包括複數交互連接線金屬層中4至15層金屬線或連接線或6至12層金屬線或連接線。
在FISC內的金屬線或連接線係連接或耦接至底層的電晶體,無論是單一鑲嵌製程或雙向鑲嵌製程所形成FISC內的金屬線或連接線的厚度係介於3nm至500nm之間、介於10nm至1000nm之間,或是厚度小於或等於5nm、10nm、30nm、50nm、100nm、200nm、300nm、500nm或1000nm,而FISC中的金屬線或連接線的寬度例如是介於3nm至500nm之間、介於10nm至1000nm之間,或寬度窄於5nm、10nm、30nm、50nm、100nm、200nm、300nm、500nm或1000nm,金屬間介電層的厚度例如是介於3nm至500nm之間、介於10nm至1000nm之間,或是厚度小於或等於5nm、10nm、30nm、5可用於0nm、100nm、200nm、300nm、500 nm或1000nm,FISC中的金屬線或連接線可作為可編程交互連接線。
MRAM單元或RRAM單元可形成在FISC中,MRAM單兀或RRAM單元可插設在金屬栓塞層(位在底層)及金屬線、金屬金屬連接線或金屬接墊層(位在上層)之間,亦即為:上述所揭露形成MRAM單元及形成RRAM單元的製程步驟可在金屬栓塞層(位在底層)形成之後及在金屬線、金屬金屬連接線或金屬接墊層(位在上層)形成之前被執行。此外,可替代之方式也可以是MRAM單兀或RRAM單元可插設在金屬線、金屬金屬連接線或金屬接墊層(位在底層)及金屬栓塞層(位在頂層)之間,亦即為:上述所揭露形成MRAM單元及形成RRAM單元的製程步驟可在金屬線、金屬金屬連接線或金屬接墊層(位在底層)形成之後及在金屬栓塞層(位在頂層)形成之前被執行。
(3)沉積一保護層(passivation layer)在整個晶圓上及在FISC結構上,此保護層係用於保護電晶體及FISC結構免於受到來自於外部環境中的水氣或污染,例如是鈉游離粒子。保護層包括一游離粒子捕捉層例如是SiN層、SiON層及(或)SiCN層,此游離粒子捕捉層的厚度係大於或等於100nm、150nm、200nm、300nm、450nm或500nm,形成開口在保護層內,曝露出FISC最頂層的上表面。
(4)形成一第二交互連接線結構(Second Interconnection Scheme in,on or of the Chip(SISC))在FISC結構上,此SISC包括複數交互連接線金屬層,及複數交互連接線金屬層每一層之間的一金屬間介電層,以及可選擇性包括一絕緣介電層在保護層上及在SISC最底部的交互連接線金屬層與保護層之間,接著絕緣介電層沉積在整個晶圓上,包括在保護層上及保護層中的開口內,此絕緣介電層可使用一聚合物材質,此聚合物材質包括聚酰亞胺、苯並環丁烯(BenzoCycloButene(BCB))、聚對二甲苯、環氧樹脂基底材質或其化合物、光感性環氧樹脂SU-8、彈性體或矽膠(silicone),聚合物材質可使用在SISC中,例如包括一聚合物、或材質化合物包括碳,此聚合物材質層可經由旋塗、網版印刷、滴注或灌模成型的方式形成,聚合物的材質可以是光感性材質,可用於光組層中圖案化開口,以便在之後的程序中形成金屬栓塞,也就是將光感性光阻聚合物層塗佈、及經由一光罩曝光,接著顯影及蝕刻而形成複數開口在聚合物層內,在光感性光阻絕緣介電層中的開口與保護層中的開口重疊並曝露出FISC最頂端之金屬層表面,在某些應用或設計中,在聚合物層中的開口尺寸係大於保護層中的開口,而保護層部分上表面被聚合物中的開口曝露,接著光感性光阻聚合物層(絕緣介電層)在一溫度下固化,例如是高於100℃、125℃、150℃、175℃、200℃、225℃、250℃、275℃或300℃,接著在某些情況下,進行一浮凸(emboss)銅製程在固化後的聚合物層上及曝露在固化聚合物層開口內的FISC最頂層交互連接線金屬層表面或曝露在固化聚合物層開口內的保護層表面:(a)首先沉積一黏著層在整個晶圓的固化聚合物層上,及在固化聚合物層開口內的FISC最頂層交互連接線金屬層表面或曝露在固化聚合物層開口內的保護層表面,例如係經由濺鍍方式、CVD沉積一Ti層或一TiN層(其厚度例如係介於1nm至50nm之間);(b)接著沉積電鍍用種子層在黏著層上,例如係以濺鍍或CVD沉積的方式(其厚度例如係介於3nm至200nm之間);(c)塗佈、曝露及顯影光阻層在銅種子層上,經由之後接續的製程形成複數溝槽或複數開孔在光阻層內,用於形成SISC中的交互連接線金屬層之金屬線或連接線,其中在光阻層內的溝槽(開口)部分可與固化聚合物層內的開口整個面積重疊,經由後接程序在固化聚合物層開口中的金屬栓塞;曝露在複數溝槽或複數開孔底部的銅種子層;(d)接著電鍍一銅層(其厚度例如係介於0.3μm至20μm之間、 介於0.5μm至5μm之間、介於1μm至10μm之間、介於2μm至20μm之間)在光阻層內的圖案化複數溝槽或複數開孔底部的銅種子層上;(e)移除剩餘的光阻層;(f)移除或蝕刻未在電鍍銅層下方的銅種子層及黏著層,此浮凸金屬(Ti(TiN)/銅種子層/電鍍銅層)留在或保留在固化聚合物層的開口內,用於作為絕緣介電層內的金屬栓塞及保護層內的金屬栓塞;及浮凸金屬(Ti(TiN)/銅種子層/電鍍銅層)留在或保留在光阻層中的複數溝槽或複數開孔的位置(其中光阻層將在形成電鍍銅層後被移除)用於交互連接線金屬層的金屬線或連接線。形成絕緣介電層的製程及其開口的製程及以浮凸銅製程形成絕緣介電層內的金屬栓塞及在絕緣介電層中的交互連接線金屬層的金屬線或連接線的製程,可被重覆而形成SISC中的複數交互連接線金屬層,其中絕緣介電層用於作為位在SISC中複數交互連接線金屬層之間的金屬間介電層,以及在絕緣介電層(現在是在金屬間介電層內)中的金屬栓塞用於連接或耦接複數交互連接線金屬層上下二層的金屬線或連接線,SISC中最頂層的交互連接線金屬層被SISC最頂層的絕緣介電層覆蓋,最頂層的絕緣介電層具有複數開口曝露最頂層的交互連接線金屬層的上表面,SISC可包括例如是2至6層的複數交互連接線金屬層或3至5層的複數交互連接線金屬層,SISC中複數交互連接線金屬層的金屬線或連接線具有黏著層(例如是Ti層或TiN層)及只位在金屬線或連接線底部的銅種子層,但沒有在金屬線或連接線的側壁,此FISC中複數交互連接線金屬層金屬線或連接線具有黏著層(例如是Ti層或TiN層)及位在金屬線或連接線底部及側壁的銅種子層。
SISC的交互連接金屬線或連接線連接或耦接至FISC的交互連接金屬線或連接線,或經由保護層中開口中的金屬栓塞連接至晶片內的電晶體,此SISC的金屬線或連接線厚度係介於0.3μm至20μm之間、介於0.5μm至10μm之間、介於1μm至5μm之間、介於1μm至10μm之間或介於2μm至10μm之間,或厚度大於或等於0.3μm、0.5μm、0.7μm、1μm、1.5μm、2μm或3μm,而SISC的金屬線或連接線寬度係例如可介於0.3μm至20μm之間、介於0.5μm至10μm之間、介於1μm至5μm之間、介於1μm至10μm之間或介於2μm至10μm之間,或寬度大於或等於0.3μm、0.5μm、0.7μm、1μm、1.5μm、2μm或3μm。金屬間介電層的厚度例如係介於0.3μm至20μm之間、介於0.5μm至10μm之間、介於1μm至5μm之間、介於1μm至10μm之間或介於2μm至10μm之間,或厚度大於或等於0.3μm、0.5μm、0.7μm、1μm、1.5μm、2μm或3μm,SISC的金屬線或連接線用於作為可編程交互連接線。
(5)形成微型銅柱或凸塊(i)在SISC最頂層的交互連接線金屬層的上表面及SISC中絕緣介電層內的曝露的開口內,及(或)(ii)在SISC最頂層的絕緣介電層上。執行如上述段落揭露及說明中的浮凸銅製程而形成微型銅柱或凸塊,此微型銅柱或凸塊連接或耦接至SISC的交互連接金屬線或連接線及FISC的交互連接金屬線或連接線,及經由SISC最頂端絕緣介電層的開口中的金屬栓塞連接至晶片中的電晶體。微型金屬柱或凸塊的高度係介於3μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於5μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間,或大於或等於30μm、20μm、15μm、5μm或3μm,微型金屬柱或凸塊的剖面的最大直徑(例如係圓形的直徑或是方形或長方形的對角線長度)例如係介於3μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於5μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間,或小於或等於60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm,微型金屬柱或凸塊中最相鄰近的金屬柱或凸塊之間的空間距離係介於3μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介 於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於5μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間,或小於或等於60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm。
(6)切割晶圓取得分開的複數商業化標準FPGA晶片,複數商業化標準FPGA晶片依序從底部至頂端分別包括:(i)電晶體層;(ii)FISC;(iii)一保護層;(iv)SISC層及(v)微型銅柱或凸塊,SISC最頂端的絕緣介電層頂面的層級的高度例如是介於3μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於5μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間,或大於或等於30μm、20μm、15μm、5μm或3μm。
本發明另一範例揭露一中介載板(中介載板)用於邏輯驅動器的多晶片封裝之覆晶組裝或封裝,此多晶片封裝係依據多晶片在中介載板(multiple-Chips-On-an-InterPoser(COIP))的覆晶封裝方法製造,COIP多晶片封裝內的中介載板包括:(1)高密度的交互連接線用於黏合或封裝在中介載板上的覆晶組裝中複數晶片之間的扇出(fan-out)繞線及交互連接線之用;(2)複數微金屬接墊及凸塊或金屬柱位在高密度的交互連接線上。IC晶片或封裝可被覆晶組裝、黏合或封裝至中介載板,其中IC晶片或封裝包括上述提到的標準商業化FPGA晶片、非揮發性晶片或封裝、專用控制晶片、專用I/O晶片、專用控制晶片及專用I/O晶片、IAC、DCIAC、DCDI/OIAC晶片及(或)運算IC晶片及(或)計算IC晶片,例如是CPU晶片、GPU晶片、DSP晶片、TPU晶片或APU晶片,形成非揮發性晶片的中介載板的步驟如下所示:
(1)提供一基板,此基板可以一晶圓型式(例如直徑是8吋、12吋或18吋的晶圓),或正方形面板型式或長方形面板型式(例如是寬度或長度大於或等於20公分(cm)、30cm、50cm、75cm、100cm、150cm、200cm或300cm),此基板的材質可以是矽材質、金屬材質、陶瓷材質、玻璃材質、鋼金屬材質、塑膠材質、聚合物材質、環氧樹脂基底聚合物材質或環氧樹脂基底化合物材質,以下可以矽晶圓作為一基板為例,形成矽材質中介載板。
(2)在基板內形成穿孔,矽晶圓被用來作為例子形成金屬栓塞在基板內,矽晶圓底部表面的金屬栓塞在邏輯驅動器的最終產品被曝露,因此金屬栓塞變成穿孔,這些穿孔為矽穿孔栓塞(Trough-Silicon-Vias(TSVs)),經由以下步驟形成金屬栓塞在基板內:(a)沉積一光罩絕緣層在晶圓上,例如,一熱生成氧化矽層(SiO2)及(或)一CVD氮化矽層(Si3N4);(b)沉積光阻層,圖案化及接著從光阻層的孔洞或開口中蝕刻光罩絕緣層;(c)利用光罩絕緣層作為一蝕刻光罩蝕刻矽晶圓,而在光罩絕緣層的孔洞或開口位置下矽晶圓形成複數孔洞,二種孔洞或開口的型式被形成,一種型式是深孔洞,其深度係介於30μm至150μm之間或介於50μm至100μm之間,深孔洞的直徑及尺寸係介於5μm至50μm之間、介於5μm至15μm之間,另一型式為淺孔洞,其深度係介於5μm至50μm之間或介於5μm至30μm之間,淺孔洞的直徑及尺寸係介於20μm至150μm之間、介於30μm至80μm之間;(d)去除剩餘的光罩絕緣層,然後形成一絕緣襯層在孔洞的側壁,此絕緣襯層例如可是一熱生成氧化矽層及(或)一CVD氮化矽層;(e)經由金屬填流填入孔洞內形成金屬栓塞。鑲嵌銅製程,如上述所述,被用來形成深的金屬栓塞在深孔洞內,而浮凸銅製程,如上述所述,被用來形成淺金屬栓塞在淺孔洞內,在鑲嵌銅製程形成深的金屬栓塞的步驟為沉積一金屬黏著層,接著沉積一銅種子層,接著電鍍一銅層,此電鍍銅層製程係在整晶圓上電鍍直到深孔洞完整被填滿,而經由CMP之步驟去除孔洞外的不需要的電鍍銅、種子層及黏著層,在鑲嵌製程中形成深金屬栓塞的製程及材質與上述中說明及規範相同,在浮凸銅製程形成淺金屬栓 塞的步驟為沉積一金屬黏著層,接著沉積一電鍍用種子層,接著塗佈及圖案化一光阻層在電鍍用種子層上,在淺的孔洞的側壁及底部及(或)沿著孔洞邊界的環形區域形成孔洞在光阻層內並曝露種子層,然後在光阻層內的孔洞內進行電鍍銅製程直到矽基板的淺孔洞被完全的填滿,而經由一乾蝕刻或濕蝕刻程序或經由一化學機械研磨(CMP)製程去除孔洞外的不需要的種子層及黏著層,在浮凸製程中形成淺金屬栓塞的製程及材質與上述中說明及規範相同。
(3)形成一第一交互連接金屬線在中介載板結構(First Interconnection Scheme on or of the Interposer(FISIP)),FISIP的金屬線或連接線及金屬栓塞經由上述說明中FPGA IC晶片中FISC中的金屬線或連接線及金屬栓塞的製程中的單一鑲嵌銅製程或雙鑲嵌銅製程所形成,此製程及材質可形成(a)交互連接線金屬層的金屬線或連接線;(b)金屬間介電層;及(c)FISIP內的金屬間介電層之金屬栓塞與上述說明中FPGA IC晶片中FISC中的說明相同,形成交互連接線金屬層的金屬線或連接線及金屬間介電層內的金屬栓塞的製程可重覆用單一鑲嵌銅製程或雙鑲嵌銅製程數次去形成交互連接線金屬層中的金屬線或連接線及FISIP的複數金屬間介電層內的金屬栓塞,FISIP中交互連接線金屬層的金屬線或連接線具有黏著層(例如Ti層或TiN層)及銅種子層位在金屬線或連接線的底部及側壁上。
FISIP在係連接或耦接至邏輯驅動器內的IC晶片之微銅凸塊或銅柱,及連接或耦接至中介載板之基板內的TSVs,FISIP的金屬線或連接線的厚度(無論是單一鑲嵌製程製造或雙鑲嵌製程製造)例如係介於3nm至500nm之間、介於10nm至1000nm之間或介於10nm至2000nm之間,或厚度小於50nm、100nm、200nm、300nm、500nm、1000nm、1500nm或2000nm,FISIP的金屬線或連接線的寬度例如係小於或等於、50nm、100nm、150nm、200nm、300nm、500nm、1000nm、1500nm或2000nm,FISIP的金屬線或連接線的最小間距,例如小於或等於100nm、200nm、300nm、400nm、600nm、1000nm、1500nm或2000nm,而金屬間介電層的厚度例如係介於3nm至500nm之間、介於10nm至1000nm之間或介於10nm至2000nm之間,或厚度小於或等於50nm、100nm、200nm、300nm、500nm、1000nm或2000nm,FISIP的金屬線或連接線可被作為可編程交互連接線。
(4)形成中介載板上之第二交互連接線結構(SISIP)在FISIP結構上,SISIP包括交互連接線金屬層,其中交互連接線金屬層每一層之間具有金屬間介電層,金屬線或連接線及金屬栓塞被經由浮凸銅製程形成,此浮凸銅製程可參考上述FPGA IC晶片的SISC中形成金屬線或連接線及金屬栓塞的說明,製程及材質可形成(r)交互連接線金屬層的金屬線或連接線;(b)金屬間介電層;(c)在金屬間介電層內的金屬栓塞,其中此部分的說明與上述形成FPGA IC晶片的SISC相同,形成交互連接線金屬層的金屬線或連接線及在金屬間介電層內的金屬栓塞可使用浮凸銅製程重覆數次形成交互連接線金屬層的金屬線或連接線及金屬間介電層內的金屬栓塞,SISIP可包括1層至5層的交互連接線金屬層或1層至3層的交互連接線金屬層。或者,在中介載板上的SISIP可被省略,及COIP只具有FISIP交互連接線結構在中介載板之基板上。或者,在中介載板上的FISIP可被省略,COIP只具有SISIP交互連接線結構在中介載板之基板上。
SISIP的金屬線或連接線的厚度例如係介於0.3μm至20μm之間、介於0.5μm至10μm之間、介於1μm至10μm之間或介於2μm至10μm之間,或厚度大於或等於0.3μm、0.5μm、0.7μm、1μm、1.5μm、2μm或3μm,SISIP的金屬線或連接線的寬度例如係介 於0.3μm至20μm之間、介於0.5μm至10μm之間、介於1μm至5μm之間、介於1μm至10μm之間或2μm至10μm之間,或寬度小於或等於0.3μm、0.5μm、0.7μm、1μm、1.5μm、2μm或3μm,金屬間介電層的厚度例如係介於0.3μm至20μm之間、介於0.5μm至10μm之間、介於1μm至5μm之間或介於1μm至10μm之間,或厚度大於或等於0.3μm、0.5μm、0.7μm、1μm、1.5μm、2μm或3μm,SISIP的金屬線或連接線可被作為可編程交互連接線。
(5)微銅柱或凸塊形成(i)在SISIP的頂端絕緣介電層開口曝露SISIP最頂端交互連接線金屬層的上表面;或(ii)在FISIP最頂端絕緣介電層的開口內曝露的FISIP的頂端交互連接線金屬層的上表面,在此範例中,SISIP可被省略。經由如上述說明的浮凸銅製程形成微銅柱或凸塊在中介載板上。
在中介載板上微金屬柱或凸塊的高度例如係介於2μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於2μm至15μm之間或介於2μm至10μm之間,或大於或等於60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm、10μm或5μm,微金屬柱或凸塊在剖面視圖中最大直徑(例如係圓形的直徑或是方形或長方形的對角線長度)例如係介於2μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於2μm至15μm之間或介於2μm至10μm之間,或小於或等於60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm,微金屬柱或凸塊中最相鄰近的金屬柱或凸塊之間的空間距離係介於2μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於2μm至15μm之間或介於2μm至10μm之間,或小於或等於60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm、10μm或5μm。
本發明另一範例提供一方法,依據覆晶組裝多晶片封裝技術及製程,使用具有FISIP、微銅凸塊或銅柱及TSVs的中介載板,可形成邏輯驅動器在COIP多晶片封裝中,形成COIP多晶片封裝邏輯驅動器的製程步驟如下所示:
(1)進行覆晶組裝、接合及封裝:(a)第一提供中介載板,此中介載板包括FISIP、SISIP、微銅凸塊或銅柱及TSVs、及IC晶片或封裝,接著覆晶組裝、接合或封裝IC晶片或封裝至中介載板上,中介載板的形成方式如上述說明示,IC晶片或封裝被組裝、接合或封裝至中介載板上,包含上述說明提到的複數晶片或封裝:標準商業化FPGA晶片、專用控制晶片、專用I/O晶片、專用控制晶片及專用I/O晶片、IAC、DCIAC、DCDI/OIAC晶片及(或)計算晶片及(或)複數運算晶片,例如是CPU晶片、GPU晶片、DSP晶片、TPU晶片或APU晶片,所有的複數晶片以覆晶封裝方式在複數邏輯驅動器中,其中包括具有焊錫層的微銅柱或凸塊在晶片中位於最頂層的表面,具有焊錫層的微銅柱或凸塊的頂層表面具有一水平面位在複數晶片的最頂層絕緣介電層之上表面的水平面之上,其高度例如是介於3μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於5μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間,或大於或等於30μm、20μm、15μm、5μm或3μm;(b)複數晶片為覆晶組裝、接合或封裝在中介載板相對應的微銅凸塊或金屬柱上,其中具有電晶體的晶片表面或一側朝下接合,晶片的矽基板的背面(也就是沒有電晶體的表面或一側)朝上;(c)例如係以點膠機滴注方式填入底部填充材料(underfill)至中介載板、IC晶片(及IC晶片的微銅凸塊或銅柱及中介載板)之間,此底部填充材料包括環氧樹脂或化合物,及此底部填充材料可 在100℃、120℃或150℃被固化或這些溫度之上被固化。
(2)例如使用旋轉塗佈的方式、網版印刷方式或滴注方式或壓模方式將一材料、樹脂或化合物填入複數晶片之間的間隙及覆蓋在複數晶片的背面,此壓模方式包括壓力壓模(使用上模及下模的方式)或澆注壓模(使用滴注方式),此材料、樹脂或化合物可以是一聚合物材質,例如包括聚酰亞胺、苯並環丁烯、聚對二甲苯、環氧樹脂基底材質或化合物、光感性環氧樹脂SU-8、彈性體或矽膠(silicone),此聚合物以是日本Asahi Kasei公司所提供的感光性聚酰亞胺/PBO PIMELTM、或是由日本Nagase ChemteX公司提供的以環氧樹脂為基底的壓模化合物、樹脂或密封膠,此材料、樹脂或化合物被使在(經由塗佈、印刷、滴注或壓模)中介載板之上及在複數晶片的背面上至一水平面,如(i)將複數晶片的間隙填滿;(ii)將複數晶片的背面最頂端覆蓋,此材料、樹脂及化合物可經由溫度加熱至一特定溫度被固化或交聯(cross-linked),此特定溫度例如是高於或等於50℃、70℃、90℃、100℃、125℃、150℃、175℃、200℃、225℃、250℃、275℃或300℃,此材料可是聚合物或壓模材料,使用CMP拋光或研磨方式將使用的材料、樹脂或化合物的表面平整化,CMP或研磨程序被進行直到所有IC晶片的背面全部曝露。
(3)薄化中介載板以曝露在中介載板背面的TSVs的表面,一晶圓或面板的薄化程序,例如經由化學機械研磨方式、拋光方式或晶圓背面研磨方式進行去除部分晶圓或面板,而使晶圓或面板變薄,使TSVs的表面在中介載板的背面曝露。
FISIP的交互連接金屬線或連接線及(或)中介載板的SISIP對邏輯驅動器可能:(a)包括一金屬線或連接線的交互連接網或結構在FISIP及(或)邏輯驅動器的SISIP可連接或耦接至複數電晶體、FISC、SISC及(或)邏輯驅動器的FPGA IC晶片的微銅柱或凸塊連接至電晶體、FISC、SISC及(或)在同一邏輯驅動器內的另一FPGA IC晶片封裝的微銅柱或凸塊,FISIP的金屬線或連接線之交互連接網或結構及(或)SISIP可經由中介載板內的TSVs連接至在邏輯驅動器外的外界或外部複數電路或複數元件,FISIP的金屬線或連接線之交互連接網或結構及(或)SISIP可以是一網狀線路或結構,用於複數訊號、電源或接地供電;(b)包括在FISIP內金屬線或連接線的交互連接網或結構及(或)邏輯驅動器的SISIP連接至邏輯驅動器內的IC晶片之微銅柱或凸塊,FISIP內的金屬線或連接線之交互連接網或結構及(或)SISIP可經由中介載板內的TSVs連接至在邏輯驅動器外的外界或外部複數電路或複數元件,FISIP的金屬線或連接線之交互連接網或結構及(或)SISIP可係網狀線路或結構,用於複數訊號、電源或接地供電;(c)包括在FISIP內交互連接金屬線或連接線及(或)邏輯驅動器的SISIP可經由中介載板基板內的一或複數TSVs連接至在邏輯驅動器外的外界或外部複數電路或複數元件,在交互連接網或結構內的交互連接金屬線或連接線及SISIP可用於複數訊號、電源或接地供電。在這種情況下,例如在中介載板的基板內的一或複數TSVs例如可連接至邏輯驅動器的專用I/O晶片之I/O電路,I/O電路在此情況下可係一大型I/O電路,例如是一雙向I/O(或三向)接墊、I/O電路包括一ESD電路、接收器及驅動器,且具有輸入電容或輸出電容可介於2pF與100pF之間、2pF與50pF之間、2pF與30pF之間、2pF與20pF之間、2pF與15pF之間、2pF與10pF之間或2pF與5pF之間,或大於2pF、5pF、10pF、15pF或20pF;(d)包括在FISIP內的金屬線或連接線之交互連接網或結構及(或)邏輯驅動器的SISIP用於連接至複數電晶體、SISIP、SISC及(或)邏輯驅動器的FPGA IC晶片之微銅柱或凸塊連接至複數電晶體、SISIP、SISC及(或)在邏輯驅動器內另一FPGA IC晶 片封裝的微銅柱或凸塊,但沒有連接至在邏輯驅動器外的外界或外部複數電路或複數元件,也就是說,邏輯驅動器的中介載板之基板內沒有TSV連接至FISIP的或SISIP的金屬線或連接線的交互連接網或結構,在此種情況下,FISIP內的及SISIP內的金屬線或連接線之交互連接網或結構可連接或耦接至邏輯驅動器內的FPGA晶片封裝之片外(off-chip)I/O電路,I/O電路在此種情況可以是小型I/O電路,例如是一雙向I/O(或三向)接墊、I/O電路包括一ESD電路、接收器及驅動器,且具有輸入電容或輸出電容可介於0.1pF與10pF之間、0.1pF與5pF之間、0.1pF與2pF之間,或小於10pF、5pF、3pF、2pF或1pF;(e)包括邏輯驅動器的FISIP內的或SISIP內的金屬線或連接線之一交互連接網或結構用於連接或耦接至邏輯驅動器內的IC晶片之IC晶片的複數微銅柱或凸塊,但沒有連接至在邏輯驅動器外的外界或外部複數電路或複數元件,也就是說,邏輯驅動器的中介載板之基板內沒有TSV連接至FISIP的或SISIP的金屬線或連接線的交互連接網或結構,在此種情況下,FISIP內的及SISIP內的金屬線或連接線之交互連接網或結構可連接或耦接至電晶體、FISC、SISC及(或)邏輯驅動器的FPGA IC晶片之微銅柱或凸塊不經過任一FPGA IC晶片的I/O電路。
(4)形成焊錫凸塊在複數TSVs曝露的底部表面,對於淺TSVs而言,曝露的底部表面區域足夠大到可用作基底,以形成焊錫凸塊在曝露的銅表面上;而對於深TSVs而言,曝露的底部表面區域沒有大到可用作基底,以形成焊錫凸塊在曝露的銅表面上,因此一浮凸銅製程可被執行而形成複數銅接墊作為基底,用於形成焊錫凸塊在曝露的銅表面上;為了此揭露的目的,晶圓或面板作為中介載板被上下顛倒,使中介載板在頂端而IC晶片在底部,IC晶片的電晶體正面朝上,IC晶片的背面及壓模化合物在底部,複數基底銅接墊經由執行一浮凸銅製程形成,如以下步驟:(a)沉積及圖案化一絕緣層,例如一聚合物層,在整個晶圓或面板上,及在絕緣層開口或孔洞中所曝露TSVs表面上;(b)沉積一黏著層在此絕緣層上,及在絕緣層開口或孔洞中所曝露TSVs表面上,例如濺鍍或CVD沉積一Ti層或TiN層(其厚度例如係介於1nm至200nm之間或介於5nm至50nm之間);(c)接著沉積一電鍍用種子層在黏著層上,例如是濺鍍或CVD沉積一銅種子層(其厚度例如係介於3nm至400nm之間或介於10nm至200nm之間);(d)沉積一光阻層並以曝光及顯影等製程,在光阻層中形成圖案化的開口及孔洞並曝露銅種子層,用於形成之後的銅接墊,其中光阻層的開口可對準絕緣層內的開口;及延伸至絕緣層的開口之外至一絕緣層的開口周圍區域(將形成銅接墊);(e)接著電鍍一銅層(其厚度例如係介於1μm至50μm之間、介於1μm至40μm之間、介於1μm至30μm之間、介於1μm至20μm之間、介於1μm至10μm之間、介於1μm至5μm之間或介於1μm至3μm之間)在光阻層的開口內的銅種子層上;(f)移除剩餘的光阻;(g)移除或蝕刻未在電鍍銅層下方的銅種子層及黏著層,剩下的黏著層/種子層/電鍍銅層被用於作為銅接墊,此焊錫凸塊可經由網板印刷方式或錫球植球方式形成,接著在複數淺的TSVs所曝露的表面或複數電鍍銅接墊表面上進行焊錫迴焊製程,或在複數深的TSVs所曝露的表面或複數電鍍銅接墊表面上進行焊錫迴焊製程,焊錫凸塊的材質可以是無铅銲錫,此無铅焊錫在商業用途可包括錫、銅、銀、鉍、銦、鋅、銻或其他金屬,例如此無铅焊錫可包括錫-銀-銅焊錫、錫-銀焊錫或錫-銀-銅-鋅焊錫,焊錫凸塊用於連接或耦接IC晶片,例如係專用I/O晶片,經由IC晶片的微銅柱或凸塊及經由FISIP、SISIP及中介載板或基板的TSVs連接至邏輯驅動器之外的外部電路或元件,焊錫凸塊的高度例如是介於5μm至150μm之間、介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間,或大於、高於或等於75μm、50μm、30μm、20μm、15μm或10μm,焊錫凸 塊的剖面視圖中最大直徑(例如是圓形的直徑或方形或長方形的對角線)例如係介於5μm至200μm之間、介於5μm至150μm之間、介於5μm至120μm之間、介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間、介於10μm至30μm之間,或大於或等於100μm、60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm,最相近焊錫凸塊之間的最小空間(間隙)例如係介於5μm至150μm之間、介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間,或大於或等於60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm,焊錫凸塊可用於邏輯驅動器覆晶封裝在基板、軟板或母板上,類似使用在LCD驅動器封裝技術中的覆晶組裝的晶片封裝技術或Chip-On-Film(COF)封裝技術,此焊錫凸塊封裝製程包括使用焊錫焊劑(solder flux)或不使用焊錫焊劑情況下進行焊錫流(solder flow)或迴焊(reflow)程序,基板、軟板或母板例如可用在印刷電路板(PCB)、一含有交互連接線結構的矽基板、一含有交互連接線結構的金屬基板、一含有交互連接線結構的玻璃基板、一含有交互連接線結構的陶瓷基板或一含有交互連接線結構的軟板,焊錫凸塊被設置在邏輯驅動器封裝的正面(上面),其正面具有球柵陣列(Ball-Grid-Array(BGA))的布局,其中在外圍區域的焊錫凸塊用於訊號I/Os,而中心區域附近的電源/接地(P/G)I/Os,訊號凸塊在外圍區域可圍成一環(圈)形區域在靠近邏輯驅動器封裝邊界,例如是1圈、2圈、3圈、4圈、5圈或6圈,複數訊號I/Os的間距在環形區域可小於中心區域附近的電源/接地(P/G)I/Os的間距。
或者,銅柱或凸塊可被形成在TSVs曝露的底部表面,為此目的,將晶圓或面板上下顛倒,中介載板在頂端,而IC晶片在底部,IC晶片的電晶體正面朝上,IC晶片的背面及壓模化合物在底部,銅柱或凸塊經由執行一浮凸銅製程形成(淺的TSVs及深的TSVs所形成的銅柱或凸塊),如以下步驟:(a)沉積及圖案化一絕緣層,例如一聚合物層,在整個晶圓或面板上,及在絕緣層開口或孔洞中所曝露TSVs表面上;(b)沉積一黏著層在此絕緣層上,及在絕緣層開口或孔洞中所曝露TSVs表面上,例如濺鍍或CVD沉積一Ti層或TiN層(其厚度例如係介於1nm至200nm之間或介於5nm至50nm之間);(c)接著沉積一電鍍用種子層在黏著層上,例如是濺鍍或CVD沉積一銅種子層(其厚度例如係介於3nm至400nm之間或介於10nm至200nm之間);(d)沉積一光阻層並以曝光及顯影等製程,在光阻層中形成圖案化的開口及孔洞並曝露銅種子層,用於形成之後的銅柱或凸塊,在光阻層內的開口可對準絕緣層內的開口;及延伸至絕緣層的開口之外至一絕緣層的開口周圍區域(將形成銅柱或凸塊);(e)接著電鍍一銅層(其厚度例如係介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間)在光阻層的開口內的銅種子層上;(f)移除剩餘的光阻;(g)移除或蝕刻未在電鍍銅層下方的銅種子層及黏著層,剩下的金屬層被用於作為銅柱或凸塊,銅柱或凸塊可用於連接或耦接至邏輯驅動器的複數晶片,例如是專用I/O晶片,至邏輯驅動器之外的外部電路或元件,銅柱或凸塊的高度例如是介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間,或大於、高於或等於50μm、30μm、20μm、15μm或10μm,銅柱或凸塊的剖面視圖中最大直徑(例如是圓形的直徑或方形或長方形的對角線)例如係介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間、介於10μm至30μm之間,或大於或等於60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm,最相近銅柱或凸塊之間的最小空間(間 隙)例如係介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間,或大於或等於60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm,複數銅凸塊或銅金屬柱可用於邏輯驅動器覆晶封裝在基板、軟板或母板上,類似使用在LCD驅動器封裝技術中的覆晶組裝的晶片封裝技術或Chip-On-Film(COF)封裝技術,基板、軟板或母板例如可用在印刷電路板(PCB)、一含有交互連接線結構的矽基板、一含有交互連接線結構的金屬基板、一含有交互連接線結構的玻璃基板、一含有交互連接線結構的陶瓷基板或一含有交互連接線結構的軟板,基板、軟板或母板可包括複數金屬接合接墊或凸塊在其表面,此複數金屬接合接墊或凸塊具有一銲錫層在其頂端表面用於焊錫流或熱壓合程序將銅柱或凸塊接合在邏輯驅動器封裝上,此銅柱或凸塊設置在邏輯驅動器封裝的正面表面具有球柵陣列(Ball-Grid-Array(BGA))的布局,其中在外圍區域的銅柱或凸塊用於訊號I/Os,而中心區域附近的電源/接地(P/G)I/Os,訊號凸塊在外圍區域可圍成一環(圈)形區域在沿著邏輯驅動器封裝的邊界,例如是1圈、2圈、3圈、4圈、5圈或6圈,複數訊號I/Os的間距在環形區域可小於中心區域附近的電源/接地(P/G)I/Os的間距或靠近邏輯驅動器封裝的中心區域。
(5)切割己完成的晶圓或面板,包括經由在二相鄰的邏輯驅動器之間的材料或結構分開、切開,此材料(例如係聚合物)填在二相鄰邏輯驅動器之間的複數晶片被分離或切割成單獨的邏輯驅動器單元。
本發明另一範例提供標準商業化coip複數晶片封裝邏輯驅動器,此標準商業化COIP邏輯驅動器可在可具有一定寬度、長度及厚度的正方形或長方形,一工業標準可設定邏輯驅動器的直徑(尺寸)或形狀,例如COIP多晶片封裝邏輯驅動器標準的形狀可以是正方形,其寬度係大於或等於4mm、7mm、10mm、12mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm或40mm,及具有厚度大於或等於0.03mm、0.05mm、0.1mm、0.3mm、0.5mm、1mm、2mm、3mm、4mm或5mm。或者,COIP-多晶片封裝邏輯驅動器標準形狀可以是長方形,其寬度大於或等於3mm、5mm、7mm、10mm、12mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm或40mm,其長度大於或等於3mm、5mm、7mm、10mm、12mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm、40mm、45mm或50mm,其厚度大於或等於0.03mm、0.05mm、0.1mm、0.3mm、0.5mm、1mm、2mm、3mm、4mm或5mm,另外,金屬凸塊或金屬柱在邏輯驅動器內的中介載板上可以係為標準尺寸,例如是一MxN的陣列區域,其二相鄰金屬凸塊或金屬柱之間具有標準間距尺寸或空間尺寸,每一金屬凸塊或金屬柱位置也在一標準位置上,且每一金屬凸塊或金屬柱的功能也是(或具有)一標準的功能。
本發明另一範例提供邏輯驅動器包括複數單層封裝邏輯驅動器,及在多晶片封裝的每一單層封裝邏輯驅動器如上述說明揭露,複數單層封裝邏輯驅動器的數量例如是2、5、6、7、8或大於8,其型式例如是(1)覆晶封裝在印刷電路板(PCB),高密度細金屬線PCB,BGA基板或軟性電路板;或(2)堆疊式封裝(Package-on-Package(POP))技術,此方式就一單層封裝邏輯驅動器封裝在其它單層封裝邏輯驅動器的頂端,此POP封裝技術例如可應用表面黏著技術(Surface Mount Technology(SMT))。
本發明另一範例提供一方法用於單層封裝邏輯驅動器適用於堆疊POP封裝技術,用於POP封裝的單層封裝邏輯驅動器的製程步驟及規格與上述段落中描述的COIP多晶片封 裝邏輯驅動器相同,除了在形成封裝體穿孔(Through-Package-Vias,TPVs)或聚合物穿孔(Thought Polymer Vias,TPVs)在邏輯驅動器的複數晶片的間隙之間、及(或)邏輯驅動器封裝的周邊區域及邏輯驅動器內的晶片邊界之外。TPVs用於連接或耦接在邏輯驅動器正面(底部)至邏輯驅動器封裝背面(頂部),其中”邏輯驅動器正面”為中介載板或基板的一側面,其中複數晶片中具有電晶體的一側朝下,具有TPVs的單層封裝邏輯驅動器可使用於堆疊邏輯驅動器,此單層封裝邏輯驅動器可是標準型式或標準尺寸,例如單層封裝邏輯驅動器可具有一定寬度、長度及厚度的正方型或長方型,一工業標準可設定單層封裝邏輯驅動器的直徑(尺寸)或形狀,例如單層封裝邏輯驅動器標準的形狀可以是正方形,其寬度係大於或等於4mm、7mm、10mm、12mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm或40mm,及具有厚度大於或等於0.03mm、0.05mm、0.1mm、0.3mm、0.5mm、1mm、2mm、3mm、4mm或5mm。或者,單層封裝邏輯驅動器標準形狀可以是長方形,其寬度大於或等於3mm、5mm、7mm、10mm、12mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm或40mm,其長度大於或等於3mm、5mm、7mm、10mm、12mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm、40mm、45mm或50mm,其厚度大於或等於0.03mm、0.05mm、0.1mm、0.3mm、0.5mm、1mm、2mm、3mm、4mm或5mm。具有TPVs的邏輯驅動器經由另一組銅柱或凸塊設置在中介載板上形成,其銅凸塊或銅柱的高度比用於中介載板上的複晶封裝(複晶微銅柱或凸塊)的SISIP及(或)FISIP上之微銅凸塊或銅柱高,形成複晶微銅凸塊或銅柱的製程步驟己揭露在上述段落中,這裡再將形成複晶微銅凸塊或銅柱的製程步驟再說明一次,以下為形成TPVs的製程步驟:(a)在SISIP的頂端交互連接線金屬層之頂端表面上、曝露在SISIP最頂端的絕緣介電層的開口,或(b)在FISIP最頂端交互連接線金屬層的上表面上,曝露在FISIP最頂端的絕緣介電層的開口,在此範例中SISIP可省略。接著進行一雙鑲嵌銅製程形成(a)使用在覆晶(IC晶片)封裝上的微銅柱或凸塊,及(b)在中介載板上的TPVs,如下所述:(i)沉積黏著層在整個晶圓或面板最頂端絕緣介電層(SISIP的或FISIP)表面上,及位在最頂端絕緣層的開口底部的SISIP的或FISIP的最頂端交互連接層所曝露的頂端表面,例如濺鍍或CVD沉積一Ti層或TiN層(其厚度例如是介於1nm至200nm之間或介於5nm至50nm之間);(ii)然後沉積一電鍍用種子層在黏著層上,例如濺鍍或CVD沉積銅種子層(其厚度例如係介於3nm至300nm之間或介於10nm至120nm之間);(iii)沉積一第一光阻層,及第一光阻層經由塗佈、曝光及顯影形成圖案化開口或孔洞在第一光阻層內,用於形成之後的覆晶微銅柱或凸塊,第一光阻層之厚度例如可介於2μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於2μm至15μm之間、或介於3μm至10μm之間,或厚度小於或等於60μm、30μm、20μm、15μm、10μm或5μm,在第一光阻層的開口或孔洞可對準最頂端絕緣層的開口,及可延伸至絕緣介電層的開口之外至圍繞在一絕緣介電層內開口周圍區域;(iv)接著電鍍一銅層(其厚度例如係介於2μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於2μm至15μm之間或介於2μm至10μm之間,或小於或等於60μm、30μm、20μm、15μm、10μm或5μm)在光阻層的圖案化開口內的銅種子層上;(v)移除剩餘的第一光阻層,使電鍍銅種子層的表面曝露;(vi)沉積一第二光阻層,及第二光阻層經由塗佈、曝光及顯影形成圖案化開口或孔洞在第二光阻層內、並曝露第二光阻層內的開口及孔洞底部的銅種子層,用於形成之後的覆晶TPVs,第二光阻層之厚度例如可介於5μm至300μm之間、介於5μm至200μm之間、介於5μm至150μm之間、介 於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間,在光阻層內的開口或孔洞的位置在邏輯驅動器內的晶片之間,及(或)在邏輯驅動器封裝周圍區域及在邏輯驅動器內複數晶片邊界之外(在之後的製程中,這些晶片係以覆晶封方接合至覆晶微銅柱或凸塊上),該些微銅接墊、微銅柱或微銅凸塊的上表面在第二光阻層中沒有被複數開口曝露;(vii)接著電鍍一銅層(其厚度例如係介於5μm至300μm之間、介於5μm至200μm之間、介於5μm至150μm之間、介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間)在第二光阻層的圖案化開口或孔洞內的銅種子層上;(viii)移除剩餘的第二光阻層以曝露銅種子層;(ix)移除或蝕刻未在TPVs及覆晶微銅柱或凸塊的電鍍銅下方的銅種子層及黏著層。或者,微銅柱或凸塊可形成在TPVs的位置上,同時形成覆晶微銅柱或凸塊,其製程步驟為上述(i)至(v),在此種情況下,在步驟(vi)中,在沉積第二光阻層,及經由塗佈、曝光及顯影形成圖案化開口或孔洞在第二光阻層內,在TPVs的位置的微型銅柱或凸塊的上表面被第二光阻層之開口或孔洞曝露,而覆晶微銅柱或凸塊的上表面沒有被曝露TPVsTPVs;及在步驟(vii)開始從第二光阻層之開口或孔洞中所曝露的覆晶微銅柱或凸塊上表面電鍍一銅層,TPVs的高度(從最頂端絕緣層的上表面至銅柱或凸塊上表面之間的距離)例如係介於5μm至300μm之間、介於5μm至200μm之間、介於5μm至150μm之間、介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間、介於10μm至30μm之間,或大於、高於或等於50μm、30μm、20μm、15μm或5μm,TPVs的剖面視圖中最大直徑(例如是圓形的直徑或方形或長方形的對角線)例如係介於5μm至300μm之間、介於5μm至200μm之間、介於5μm至150μm之間、介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間,或大於或等於150μm、100μm、60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm,最相近TPV之間的最小空間(間隙)例如係介於5μm至300μm之間、介於5μm至200μm之間、介於5μm至150μm之間、介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間,或大於或等於150μm、100μm、60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm。
中介載板的晶圓或面板具有FISIP、SISIP、複數覆晶微銅柱及高的銅柱或凸塊(TPVs),然後用覆晶封裝或接合IC晶片至中介載板上的覆晶微銅柱或凸塊上以形成一邏輯驅動器,用TPVs形成邏輯驅動器的揭露及規格與上述段落說明相同,包括覆晶封裝或接合、底部填充材料、壓模、壓模材料平面化、矽中介載板薄化及金屬接墊、在中介載板上(或下)金屬柱或凸塊的結構(組成),以下再次揭露一些步驟:用於形成上述邏輯驅動器的製程步驟:(1)用於形成上述揭露的邏輯驅動器:TPVs位在IC晶片之間,滴注器需要一明確的空間去進行底部填充材料的滴注,就是底部填充材料的滴注路徑在沒有TPVs的位置,在步驟(2)用於形成上述邏輯驅動器:一材料、樹脂或化合物被使用至(i)填流複數晶片之間的間隙;(ii)複數晶片背面表面(具有IC晶片朝下);(iii)填充在中介載板上的銅柱或凸塊(TPVs)之間的間隙;(iv)覆蓋在晶圓或面板上的銅柱或凸塊(光阻層)的上表面。使用CMP之步驟及研磨步驟平坦化應用材料、樹脂或化合物的表面至一水平面至(i)在晶圓或面板上的銅柱或凸塊(TPVs)的上表面全部曝露於外,曝露的TPVs上表面被用作為金屬接墊,且使用POP封裝方式使金屬接墊接合至在邏輯驅動器上的 其它電子元件(在邏輯驅動器上側且IC晶片朝下),或者,焊錫凸塊可經由網板印刷或植球方式形成在TPVs曝露的上表面上,焊錫凸塊被使用於連接或組裝邏輯驅動器至邏輯驅動器(IC晶片朝下)上側的其它電子元件。
本發明另一範例提供形成堆疊邏輯驅動器的方法,例如經由以下製程步驟:(i)提供一第一單層封裝邏輯驅動器,第一單層封裝邏輯驅動器為分離或晶圓或面板型式,其具有銅柱或凸塊或焊錫凸塊朝下,及其曝露的TPVs複數銅接墊朝上(IC晶片係朝下);(ii)經由表面黏著或覆晶封裝方式形成POP堆疊封裝,一第二分離單層封裝邏輯驅動器設在所提供第一單層封裝邏輯驅動器的頂端,表面黏著製程係類似使用在複數元件封裝設置在PCB上的SMT技術,此製程係以印刷焊錫層或焊錫膏或焊劑(flux)在TPVs的銅接墊上(上表面),接著以覆晶封裝製程將第二分離單層封裝邏輯驅動器的銅柱或凸塊、焊錫凸塊連接或耦接至第一分離單層封裝邏輯驅動器上的銅柱或凸塊、焊錫凸塊。,此製程係類似於使用在IC堆疊技術的POP技術,連接或耦接至第二分離單層封裝邏輯驅動器上的銅柱或凸塊或焊錫凸塊至第一單層封裝邏輯驅動器的TPVs上的銅接墊,將另一第三分離單層封裝邏輯驅動器以覆晶封裝方式連接或耦接至第二單層封裝邏輯驅動器的TPVs所曝露的複數銅接墊,可重覆此POP堆疊封裝製程,用於組裝更多分離的單層封裝邏輯驅動器(例如多於或等於n個分離單層封裝邏輯驅動器,其中n是大於或等於2、3、4、5、6、7、8)以形成完成堆疊邏輯驅動器,當第一單層封裝邏輯驅動器為分離型式,它們例如可以是第一覆晶封裝組裝至一載板或基板,例如是PCB、或BGA板,然後進行POP製程,而在載板或基板型式,形成複數堆疊邏輯驅動器,接著切割此載板或基板而產生複數分離完成堆疊邏輯驅動器,當第一單層封裝邏輯驅動器仍是晶圓或面板型式,對於進行POP堆疊製程形成複數堆疊邏輯驅動器時,晶圓或面板可被直接用作為載板或基板,接著將晶圓或面板切割分離,而產生複數分離的堆疊完成邏輯驅動器。
本發明另一範例提供適用於堆疊POP組裝技術的一單層封裝邏輯驅動器的方法,單層封裝邏輯驅動器用於POP封裝組裝係依照上述段落中描述的複數COIP多晶片封裝相同的製程步驟及規格,除了形成位在單層封裝邏輯驅動器背面的背面金屬交互連接線結構(以下簡稱BISD)及封裝穿孔或聚合物穿孔(TPVs)在邏輯驅動器中複數晶片之間的間隙,及(或)在邏輯驅動器封裝周圍區域及在邏輯驅動器內複數晶片邊界(具有複數電晶體的IC晶片朝下),BISD可包括在交互連接線金屬層內的金屬線、連接線或金屬板,及BISD形成IC晶片(具有複數電晶體IC晶片的一側朝下)背面上,在壓模化合物平坦化處理步驟後,曝露TPVs上表面,BISD提供額外交互連接線金屬層或邏輯驅動器封裝背面的連接層,包括在邏輯驅動器(具有複數電晶體的IC晶片之一側朝下)的IC晶片正上方且垂直的位置,TPVs被用於連接或耦接邏輯驅動器的中介載板上的電路或元件(例如FISIP及(或)SISIP)至邏輯驅動器封裝背面(例如是BISD),具有TPVs及BISD的單層封裝邏輯驅動器可使用於堆疊邏輯驅動器,此單層封裝邏輯驅動器可是標準型式或標準尺寸,例如單層封裝邏輯驅動器可具有一定寬度、長度及厚度的正方型或長方型,及(或)在BISD上的複數銅接墊、銅柱或焊錫凸塊的位置具有標準布局,一工業標準可設定單層封裝邏輯驅動器的直徑(尺寸)或形狀,例如單層封裝邏輯驅動器標準的形狀可以是正方形,其寬度係大於或等於4mm、7mm、10mm、12mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm或40mm,及具有厚度大於或等於0.03mm、005mm、0.1mm、0.3mm、0.5mm、1mm、2mm、3mm、4mm或5mm。或者,單層封裝邏輯驅動器標準形狀可以是長方形,其寬度大於或 等於3mm、5mm、7mm、10mm、12mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm或40mm,其長度大於或等於3mm、5mm、7mm、10mm、12mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm、40mm、45mm或50mm,其厚度大於或等於0.03mm、0.05mm、0.1mm、0.3mm、0.5mm、1mm、2mm、3mm、4mm或5mm。具有BISD的邏輯驅動器形成,係經由形成金屬線、連接線或金屬板在IC晶片(具有複數電晶體的IC晶片那一側朝下)背面上的交互連接線金屬層上、壓模化合物,及壓模化合物平坦化步驟後所曝露的TPVs之上表面,BISD形的製程步驟為:(a)沉積一最底端的種子層在整個晶圓或面板上、IC晶片曝露背面上、TPVs的曝露的上表面及壓模化合物表面,最底端絕緣介電層可以是聚合物材質,例如包括聚醯亞胺、苯基環丁烯(BenzoCycloButene(BCB))、聚對二甲苯、以環氧樹脂為基底之材質或化合物、光感性環氧樹脂SU-8、彈性體或矽膠(silicone),此最底端的聚合物絕緣介電層可經由旋塗、網版印刷、滴注或壓模成型的方式形成,聚合物的材質可以是光感性材質,可用於光組層中圖案化開口,以便在之後的程序中形成金屬栓塞,也就是將光感性光阻聚合物層經由塗佈、光罩曝光及顯影等步驟而形成複數開口在聚合物層內,在最底端絕緣介電層內的開口曝露TPVs的上表面,最底端聚合物層(絕緣介電層)在一溫度下固化,例如是高於100℃、125℃、150℃、175℃、200℃、225℃、250℃、275℃或300℃,固化最底端聚合物層的厚度係介於3μm至50μm之間、介於3μm至30μm之間、介於3μm至20μm之間或介於3μm至15μm之間,或大於(厚於)或等於3μm、5μm、10μm、20μm或30μm;(b)進行一浮凸(emboss)銅製程以形成金屬栓塞在固化最底端聚合物絕緣介電層的開口內,及以形成BISD最底端交互連接線金屬層的金屬線、連接線或金屬板:(i)沉積黏著層在整個晶圓或面板在最底端絕緣介電層上及在固化最底端聚合物層內複數開口的底部TPVs曝露上表面上,例如係經由濺鍍方式、CVD沉積一Ti層或一TiN層(其厚度例如係介於1nm至50nm之間);(ii)接著沉積電鍍用種子層在黏著層上,例如係以濺鍍或CVD沉積的方式(其厚度例如係介於3nm至300nm之間或介於10nm至120nm之間);(iii)經由塗佈、曝露及顯影光阻層,曝露銅種子層在光阻層內複數溝槽、開口或孔洞的底部上,而在光阻層內的溝槽、開口或孔洞可用於形成之後最底端交互連接線金屬層的金屬線、連接線或金屬板,其中在光阻層內的溝槽、開口或孔洞可對準最底端絕緣介電層內的開口,及可延伸最底端絕緣介電層的開口;(iv)然後電鍍一銅層(其厚度例如係介於5μm至80μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於3μm至20μm之間、介於3μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間)在光阻層內圖案化溝槽開口或孔洞上;(v)移除剩餘的光阻層;(vi)移除移除或蝕刻未在電鍍銅層下方的銅種子層及黏著層,此金屬(Ti(TiN)/銅種子層/電鍍銅層)留在或保留在光阻層內的內圖案化溝槽開口或孔洞(註:光阻層現在己被清除),其用於作為BISD的最底端交互連接線金屬層之金屬線、連接線或金屬板,及此金屬(Ti(TiN)/銅種子層/電鍍銅層)留在或保留在最底端絕緣介電層複數開口內被用來作為BISD的最底端絕緣介電層之金屬栓塞,形成最底端絕緣介電層的製程及其複數開口,及浮凸銅製程用來形成金屬栓塞在交互連接線金屬層最底端的金屬線、連接線或金屬板及在最底端絕緣介電層內,可被重覆而形成BISD內交互連接線金屬層的金屬層;其中重覆最底端絕緣介電層被用作為BISD之交互連接線金屬層之間的金屬間介電層,以及使用上述揭露的浮凸銅製程,在最底端絕緣介電層(現在金屬間介電層內)內金屬栓塞可用作為連接或耦接BISD的交互連接線金屬層之間、上面及底部的金屬栓塞的金屬線、連接線或金屬板,形成複數銅接墊、焊錫凸塊、 銅柱在曝露在BISD的最頂端絕緣介電層內開口內金屬層上,銅接墊、銅柱或焊錫凸塊的位置係在:(a)邏輯驅動器內的複數晶片之間的間隙之上;(b)及(或)在邏輯驅動器封裝體周圍區域及邏輯驅動器內複數晶片的邊界外;(c)及/或直接垂直於在IC晶片背面上。BISD可包括1至6層的交互連接線金屬層或2至5層的交互連接線金屬層,BISD的金屬線、連接線或金屬板交互連接線具有黏著層(例如Ti層或TiN層)及銅種子層只位在底部,但沒有在金屬線或連接線的側壁,FISIP的及FISC的交互連接金屬線或連接線具有黏著層(例如Ti層或TiN層)及銅種子層位在金屬線或連接線側壁及底部。
BISD的金屬線、連接線或金屬板的厚度例如係介於0.3μm至40μm之間、介於0.5μm至30μm之間、介於1μm至20μm之間、介於1μm至15μm之間、介於1μm至10μm之間或介於0.5μm至5μm之間,或厚於(大於)或等於0.3μm、0.7μm、1μm、2μm、3μm、5μm、7μm或10μm,BISD的金屬線或連接線寬度例如係介於0.3μm至40μm之間、介於0.5μm至30μm之間、介於1μm至20μm之間、介於1μm至15μm之間、介於1μm至10μm之間或介於0.5μm至5μm之間,或寬於或等於0.3μm、0.7μm、1μm、2μm、3μm、5μm、7μm或10μm,BISD的金屬間介電層厚度例如係介於0.3μm至50μm之間、介於0.5μm至30μm之間、介於0.5μm至20μm之間、介於1μm至10μm之間或介於0.5μm至5μm之間,或厚於或等於0.3μm、0.7μm、1μm、2μm、3μm或5μm,金屬板在BISD的交互連接線金屬層之金屬層內,可被用作為電源供應的電源/接地面,及(或)作為散熱器或散熱的擴散器,其中此金屬的厚度更厚,例如係介於5μm至50μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間或介於5μm至15μm之間,或厚度大於或等於5μm、10μm、20μm或30μm,電源/接地面,及(或)散熱器或散熱的擴散器在BISD的交互連接線金屬層中可被佈置設計成交錯或交叉型式,例如可佈置設計成叉形(fork shape)的型式。
單層封裝邏輯驅動器的BISD交互連接金屬線或連接線被使用在:(a)用於連接或耦接銅接墊、銅柱或焊錫凸塊、位在單層封裝邏輯驅動器的背面(具有複數電晶體的IC晶片朝下)焊錫凸塊的銅柱至相對應TPVs;及通過位在單層封裝邏輯驅動器背面的相對應TPVs、複數銅接墊、焊錫凸塊或銅柱連接或耦接至中介載板的FISIP的及(或)SISIP的金屬線或連接線;及更通過微銅柱或凸塊、SISC及IC晶片的FISC連接或耦接至複數電晶體;(b)連接或耦接至位在單層封裝邏輯驅動器背面(頂面具有複數電晶體的IC晶片朝下)的複數銅接墊、焊錫凸塊或銅柱至相對應的TPVs,及及通過位在單層封裝邏輯驅動器背面的相對應單層封裝邏輯驅動器、複數銅接墊、焊錫凸塊或銅柱連接或耦接至FISIP的金屬線或連接線及(或)中介載板的SISIP,及更通過TSVs連接或耦接至複數接墊、金屬凸塊或金屬柱,例如是位在單層封裝邏輯驅動器正面的(背面,具有複數電晶體的IC晶片朝下)焊錫凸塊、複數銅柱或銅凸塊,因此,位在單層封裝邏輯驅動器背面(頂面具有複數電晶體的IC晶片朝下)的複數銅接墊、焊錫凸塊或銅柱連接或耦接至位在單層封裝邏輯驅動器正面(底部具有複數電晶體的IC晶片朝下)的複數銅接墊、金屬柱或凸塊;(c)經由使用BISD內的金屬線或連接線的一交互連接網或結構連接或耦接,直接地且垂直位在單層封裝邏輯驅動器的第一FPGA晶片(頂面具有複數電晶體的IC晶片朝下)之背面的複數銅接墊、焊錫凸塊或銅柱至直接地且垂直位在單層封裝邏輯驅動器的第二FPGA晶片(頂面具有複數電晶體的第二FPGA晶片朝下)的複數銅接墊、焊錫凸塊或銅柱,交互連接網或結構可連接或耦接至單層封裝邏輯驅動器的TPVs;(d)經由使用BISD內金屬線或連接線的交互連接網 或結構連接或耦接直接地或垂直位在單層封裝邏輯驅動器的FPGA晶片上的一銅墊、焊錫凸塊或複數銅柱至,直接地或垂直位在同一FPGA晶片上的另一銅接墊、焊錫凸塊或銅柱、或其它複數銅墊、焊錫凸塊或銅柱,此交互連接網或結構可連接至耦接至單層封裝邏輯驅動器的TPVs;(e)為電源或接地面及散熱器或散熱的擴散器。
本發明另一範例提供使用具有BISD及TPVs的單層封裝邏輯驅動器形成堆疊邏輯驅動器的方法,堆疊邏輯驅動器可使用如前述揭露相同或類似的製程步驟形成,例如經由以下製程步驟:(i)提供一具有TPVs及BISD的第一單層封裝邏輯驅動器,其中單層封裝邏輯驅動器是分離晶片型式或仍以晶圓或面板型式進行,其在TSVs上(或下方)具有銅柱或凸塊、焊錫凸塊朝下,及其位在BISD上面曝露的複數銅接墊、銅柱或焊錫凸塊;(ii)POP堆疊封裝,可經由表面黏著及(或)覆晶方去的方式將一第二分離單層封裝邏輯驅動器(也具有TPVs及BISD)設在提供第一單層封裝邏輯驅動器頂端,表面黏著製程係類似使用在複數元件封裝設置在PCB上的SMT技術,例如經由印刷焊錫層或焊錫膏、或曝露銅接墊表面上的助焊劑,接著以覆晶封裝製程將第二分離單層封裝邏輯驅動器上的銅柱或凸塊、焊錫凸塊連接或耦接至第一單層封裝邏輯驅動器曝露複數銅接墊上的焊錫層、焊錫膏或助焊劑,以覆晶封裝製程連接或耦接在第一單層封裝邏輯驅動器的銅接墊的銅柱或凸塊、焊錫凸塊表面,其中此覆晶封裝製程係類似使用在IC堆疊技術的POP封裝技術,這裡需注意,在第二分離單層封裝邏輯驅動器上的銅柱或凸塊、焊錫凸塊接合至第一單層封裝邏輯驅動器的銅接墊表面可被設置直接且垂直地在IC晶片位在第一單層封裝邏輯驅動器的位置上方;及第二分離單層封裝邏輯驅動器上的銅柱或凸塊、焊錫凸塊接合至第一單層封裝邏輯驅動器的SRAM單元表面可被設置直接且垂直地在IC晶片位在第二單層封裝邏輯驅動器的位置上方,一底部填充材料可被填入在第一單層封裝邏輯驅動器與第二單層封裝邏輯驅動器之間的間隙,第三分離單層封裝邏輯驅動器(也具有TPVs及BISD)可被覆晶封裝連接至耦接至第二單層封裝邏輯驅動器的TPVs銅接墊(在BISD上),POP堆疊封裝製程可被重覆封裝複數分離單層封裝邏輯驅動器(數量例如是大於或等於n個分離單層封裝邏輯驅動器,其中n是大於或等於2、3、4、5、6、7或8)以形成完成型堆疊邏輯驅動器,當第一單層封裝邏輯驅動器是分離型式,它們例如可以是第一覆晶封裝組裝至一載板或基板,例如是PCB、或BGA板,然後進行POP製程,而在載板或基板型式,形成複數堆疊邏輯驅動器,接著切割此載板或基板而產生複數分離完成堆疊邏輯驅動器,當第一單層封裝邏輯驅動器仍是晶圓或面板型式,對於進行POP堆疊製程形成複數堆疊邏輯驅動器時,晶圓或面板可被直接用作為POP堆疊製程的載板或基板,接著將晶圓或面板切割分離,而產生複數分離的堆疊完成邏輯驅動器。
本發明另一範例提供單層封裝邏輯驅動器的TPVs的數種可替換的交互連接線:(a)TPV可被設計及形成作為一穿孔經由堆疊TPV直接在FISIP的及SISIP的堆疊金屬栓塞上,及直接在中介載板或基板內的TSV上,TSV用作為一穿孔連接單層封裝邏輯驅動器上方的另一單層封裝邏輯驅動器及下方的另一單層封裝邏輯驅動器,而不連接或耦接至單層封裝邏輯驅動器的任何IC晶片上的FISIP、SISIP或微銅柱或凸塊,在此種情況下,一堆疊結構的形成,從頂端至底端為:(i)銅接墊、銅柱或焊錫凸塊;(ii)複數堆疊交互連接層及在FISIP的及(或)SISIP的介電層內的金屬栓塞;(iii)TPV層;(iv)複數堆疊交互連接層及在FISIP的及(或)SISIP的介電層內的金屬栓塞;(v)在中介載板或基板層內TSV;(vi)在TSV底部表面上的銅接墊、金屬凸塊、焊錫凸塊、銅柱,或者,堆疊TPV/複數金屬層及金屬栓塞/TSV可使用作為一熱傳導穿孔;(b)TPV被堆疊作為在(a)結構中穿過FISIP的或SISIP的金屬線或連接線之直通 的TPV(through TPV),但連接或耦接至單層封裝邏輯驅動器的一或複數IC晶片上的FISIP、SISIP或微銅柱或凸塊;(c)TPV只堆疊在頂部,而沒有堆疊在底部,在此種情況下,TPV連接結構的形成,從頂端至底端分別為:(i)銅接墊、銅柱或焊錫凸塊;(ii)複數堆疊交互連接線層及在BISD的介電層的金屬栓塞;(iii)TPV;(iv)底端通過SISIP的及(或)FISIP中介電層內的交互連接線金屬層及金屬栓塞連接或耦接至單層封裝邏輯驅動器的一或複數IC晶片上的FISIP、SISIP或微銅柱或凸塊,其中(1)一銅接墊、金屬凸塊、焊錫凸塊、銅柱直接地位在TPV的底部,且沒有連接或耦接至TPV;(2)在中介載板上(及下方)一銅接墊、金屬凸塊、焊錫凸塊、銅柱連接或耦接至TPV的底端(通過FISIP(或)SISIP),且其位置沒有直接及垂直地在TPV底端下方;(d)TPV連接結構的形成,從頂端至底端分別為:(i)一銅接墊、銅柱或焊錫凸塊(在BISD上)連接或耦接至TPV的上表面,及其位置可直接且垂直地在IC晶片背面的上方;(ii)銅接墊、銅柱或焊錫凸塊(在BISD上)通過BISD中介電層內的交互連接線金屬層及金屬栓塞連接或耦接至TPV的上表面(其位在複數晶片之間的間隙或在沒有放置晶片的周邊區域);(iii)TPV;(iv)TPV底端通過SISIP的及(或)FISIP的介電層內的交互連接線金屬層及金屬栓塞連接或耦接至單層封裝邏輯驅動器的一或複數IC晶片上的FISIP、SISIP或微銅柱或凸塊;(v)TSV(在中介載板或基板內的)及一金屬接墊、金屬柱或凸塊(在TSV上或下方)連接或耦接至TPV底端,其中TSV或金屬接墊、凸塊或金屬柱的位置沒有直接位在TPV底端的下方;(e)TPV連接結構的形成,從頂端至底端分別為:(i)在BISD上的銅接墊、銅柱或焊錫凸塊直接或垂直地位在單層封裝邏輯驅動器的IC晶片的背面;(ii)在BISD上銅接墊、銅柱或焊錫凸塊通過BISD的介電層內的交互連接線金屬層及金屬栓塞連接或耦接至TPV上表面(其位在複數晶片之間的間隙或在沒有放置晶片的周邊區域);(iii)TPV;(iv)TPV底端通過CISIP及(或)FISIP中介電層內的交互連接線金屬層及金屬栓塞連接或耦接至中介載板的FISIP及SISIP,及(或)單層封裝邏輯驅動器的一或複數IC晶片上的微銅柱或凸塊、SISC或FISC,其中沒有TSV(在中介載板或基板內)及沒有金屬接墊、柱或凸塊(在TSV上或下方)連接或耦接至TPV下端。
本發明另一範例揭露一位在FISIP內金屬線或連接線的交互連接網或結構,及(或)單層封裝邏輯驅動器的SISIP用於作為連接或耦接FISC、SISC、及(或)FPGA IC晶片的微銅柱或凸塊、或封裝在單層封裝邏輯驅動器內的FISIP,但交互連接網或結構沒有連接或耦接至單層封裝邏輯驅動器之外的複數電路或元件,也就是說,在單層封裝邏輯驅動器的中介載板上或下方沒有複數金屬接墊、柱或凸塊(銅接墊、複數金屬柱或凸塊、焊錫凸塊)連接至FISIP的及(或)SISIP內的金屬線或連接線之交互連接網或結構,以及BISD上(或上方)的複數銅接墊、銅柱或焊錫凸塊沒有連接或耦接至SISIP的或FISIP的內金屬線或連接線的交互連接網或結構。
本發明另一範例揭露在多晶片封裝中的邏輯驅動器型式可更包括一或複數專用可編程NVM(dedicated programmable NVM(DPNVM))晶片,DPNVM晶片包括FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元及交叉點開關,及使用在邏輯驅動器中晶片的複數電路或交互連接線之間的編程交互連接線,此晶片例如是標準商業化FPGA晶片
,可編程交互連接線包括中介載板(FISIP的及(或)SISIP的)上或上方的,且在該些晶片(例如是標準商業化FPGA晶片)之間的交互連接金屬線或連接線,其具有FISIP的或SISIP的且位在交互連接金屬線或連接線中間之交叉點開關電路,例如FISIP的及(或)SISIP的n條金屬線或連接線輸入至一交叉點開關電路,及FISIP的及(或)SISIP的m條金屬 線或連接線從開關電路輸出,交叉點開關電路被設計成FISIP的及(或)SISIP的n條金屬線或連接線中每一金屬線或連接線可被編程為連接至FISIP的及(或)SISIP的m條金屬線或連接線中的任一條金屬線或連接線,交叉點開關電路可經由例如儲存在DPNVM晶片中的FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元的編程原始碼控制,而在FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元中儲存(或編程)的資料可使用作為編程FISIP及/或SISIP中的金屬線或連接線之間的”連接”或”不連接”,而此部分中的交叉點開關係與上述揭露在標準商業化FPGA IC晶片內的交叉點開關相同, 各型的交叉點開關的細節在上述FPGA IC晶片的段落中揭露或說明,交叉點開關可包括:(1)n型及p型電晶體成對電路;或(2)多工器及切換緩衝器,在(1)型式之中,當儲存在FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元中的資料被編程在”1”時,一n型及p型成對電晶體的通過/不通電路切換成”導通”狀態,及連接至通過/不通電路的二端(分別為成對電晶體的源極及汲極)的FISIP的及(或)SISIP的二金屬線或連接線為連接狀態,而儲存在FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元中的資料被編程在”0”時,一n型及p型成對電晶體的通過/不通電路切換成”不導通”狀態,連接至通過/不通電路的二端(分別為成對電晶體的源極及汲極)的FISIP的及(或)SISIP的二金屬線或連接線為不連接狀態,在(2)型式時,多工器從n輸入選擇其中之一作為其輸出,然後輸出至開關緩衝器內。當儲存在FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元中的資料被編程在”1”時,在切換緩衝器內的控制N-MOS電晶體及控制P-MOS電晶體切換成”導通”狀態,在輸入金屬線的資料被導通至交叉點開關的輸出金屬線,及連接至交叉點開關的二端點的FISIP的及(或)SISIP的二金屬線或連接線為連接或耦接;當儲存在FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元中的資料被編程在”0”時,在切換緩衝器內的控制N-MOS電晶體及控制P-MOS電晶體切換成”不導通”狀態,在輸入金屬線的資料不導通至交叉點開關的輸出金屬線,及連接至交叉點開關的二端點的FISIP的及(或)SISIP的二金屬線或連接線為不連接或耦接。DPNVM晶片包括FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元及交叉點開關,FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元中及交叉點開關用於邏輯驅動器內標準商業化FPGA晶片之間FISIP的及(或)SISIP的金屬線或連接線之可編程交互連接線。
或者,DPNVM晶片包括FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元及交叉點開關用於邏輯驅動器內的標準商業化FPGA晶片與TPVs(例如TPVs底部表面)之間FISIP的及(或)SISIP的金屬線或連接線之可編程交互連接線,如上述相同或相似的揭露的方法。在FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元內儲存的(編程)資料用於編程二者之間的”連接”或”不連接”,例如:(i)FISIP的及(或)SISIP的第一金屬線、連接線或網連接至在邏輯驅動器中一或複數IC晶片上的一或複數微銅柱或凸塊,及(或)連接至中介載板的TSVs上(或下方)一或複數金屬接墊、金屬柱或凸塊,及(ii)FISIP的及(或)SISIP的第二金屬線、連接線或網連接至或耦接至一TPV(例如TPV底部表面),如上述相同或相似的揭露的方法。根據上述揭露內容,TPVs為可編程,也就是說,上述揭露內容提供可編程的TPVs,可編程的TPVs或者可用在可編程交互連接線,包括用在邏輯驅動器的FPGA晶片上的FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元及交叉點開關,可編程TPV可被(經由軟體)編程為(i)連接或耦接至邏輯驅動器的一或複數IC晶片中之一或複數微銅柱或凸塊(為此連接至SISC的及(或)FISC的金屬線或連接 線,及(或)複數電晶體),及(或)(ii)連接或耦接至邏輯驅動器的中介載板之TSVs上(或下方)的一或複數銅接墊、銅柱或焊錫凸塊。
當位在邏輯驅動器背面上的一銅接墊、焊錫凸塊或銅柱(在BISD上或上方)連接至可編程TPV、金屬接墊、凸塊或柱(在BISD上或上方)可根據DPNVM晶片上的FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元及交叉點開關變成一可編程金屬凸塊或金屬柱(在BISD上或上方),位在邏輯驅動器背面上的可編程的銅接墊、焊錫凸塊或銅柱(在BISD上或上方)可經由編程及通過可編程TPV連接或耦接至(i)位在邏輯驅動器的一或複數IC晶片(為此連接至SISC的及(或)FISC的)正面(具有複數電晶體的一側)之一或複數微銅柱或凸塊;及(或)(ii)在邏輯驅動器的中介載板上(或下方)的複數金屬接墊、凸塊或柱。
或者,在BISD上的可編程的金屬凸塊或金屬柱可用作為在邏輯驅動器內FPGA晶片上的可編程交互連接線,此可編程交互連接線可包括FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元及交叉點開關,DPNVM晶片包括FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元及交叉點開關,其可用於在邏輯驅動器的中介載板的TSVs上(或下方)的複數金屬接墊、柱或凸塊之間的FISIP的及(或)SISIP的金屬線或連接線之可編程交互連接線,以及在邏輯驅動器的一或複數IC晶片上一或複數微銅柱或凸塊,如上述相同或相似的揭露的方法。
在FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元及交叉點開關內儲存(或編程)的資料可用於二者之間的”連接”或”不連接”的編程,例如:(i)FISIP的及(或)SISIP的第一金屬線、連接線或網連接至在邏輯驅動器的一或複數IC晶片上之一或複數微銅柱或凸塊,及(ii)FISIP的及(或)SISIP的一第二金屬線、連接線或網連接或耦接至中介載板的TSVs上(或下方)複數金屬接墊、柱或凸塊,如上述相同或相似的揭露的方法。根據上述揭露內容,中介載板的TSVs上(或下方)複數金屬接墊、柱或凸塊也可編程,換句話說,本發明上述揭露內容提供的中介載板的TSVs上(或下方)複數金屬接墊、柱或凸塊是可編程,位在中介載板的TSVs上(或下方)可編程的複數金屬接墊、柱或凸塊或者可用在可編程交互連接線,包括用在邏輯驅動器的FPGA晶片上的FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元及交叉點開關,位在中介載板上(或下方)可編程的複數金屬接墊、柱或凸塊可經由編程,連接或耦接邏輯驅動器的一或複數IC晶片(為此連接至SISC的及(或)FISC的金屬線或連接線,及(或)複數電晶體)之一或複數微銅柱或凸塊。
DPNVM可使用各種半導體技術設計用來實現及製造,包括舊的或成熟的技術,例如不先進於、等於或大於40nm、50nm、90nm、130nm、250nm、350nm或500nm的技術。或者DPNVM包括使用先進於或等於、以下或等於30nm、20nm或10nm。此DPNVM可使用半導體技術1世代、2世代、3世代、4世代、5世代或大於5世代以上的技術,或使用更成熟或更先進的技術在同一邏輯驅動器內複數標準商業化FPGA IC晶片上。使用在DPNVM的電晶體可以是FINFET、FDSOI MOSFET、部分耗盡矽絕緣體MOSFETs或常規的MOSFET,使用在DPNVM的電晶體可以是從使用在同一邏輯運算器中的標準商業化FPGA IC晶片封裝不同的,例如DPNVM係使用常規MOSFET,但在同一邏輯驅動器內的標準商業化FPGA IC晶片封裝可使用FINFET電晶體,或是DPNVM係使用FDSOI MOSFET,而在同一邏輯驅動器內的標準商業化FPGA IC晶片封裝可使用FINFET。本發明另一方面提供用於之後形成商業化標準邏輯驅動器製程中的一在庫存中或商品清單中的一晶圓類型、面板類型的標準化複數IC晶片及封裝,如 上述說明及揭露的內容,標準化複數IC晶片及封裝包括在複數IC晶片及封裝背面上的複數銅接墊及TPVS之一固定布局或設計,以及如果複數IC晶片及封裝中包含,在BISD的之固定設計及或布局,複數IC晶片及封裝中或上的TPVS及複數銅接墊的相同,如果有BISDs,設計或BISD的交互連接線,例如是在複數銅接墊與TPVS之間的連接結構,每一商業化標準複數IC晶片及封裝係相同的,在庫存及商品清單中的商業化標準複數IC晶片及封裝接著可經由上述揭露及說明內容形成商業化標準邏輯驅動器,包括的步驟包括:(1)放置、容納、固定或黏著複數IC晶片在複數IC晶片及封裝上,其中複數IC晶片及封裝具有晶片的表面(其有複數電晶體)或一側朝上;(2)利用一材料、樹脂、或化合物填入複數晶片之間的間隙,及例如在晶圓或面板類型下經由塗佈、印刷、滴注或灌模的方法覆蓋在複數晶片上,使用CMP程序平坦化應用材料、樹脂或化合物的表面至一水平面至複數晶片上全部複數微型凸塊或金屬柱被曝露;(3)形成TISD;及(4)形成TISD上的複數金屬柱或凸塊,具有固定布局或設計的商業化標準載體、支架、灌模器或基板可通過TISD不同的設計或布局針對不同的應用進行訂製,具有固定布局或設計的商業化標準載體、支架、灌模器或基板是可針對不同的應用經由軟體編碼或編程專門定製及使用,如上所述,資料安裝或編程在複數DPSRAM或DPNVM晶片的複數FGCMOS NVM單元,MRAM or RRAM內,可用於可編程TPVs,資料安裝或編程在複數FPGA晶片的複數FGCMOS NVM單元,MRAM or RRAM或者可用於可編程TPVs。
本發明另一範例提供用於之後形成標準商業化邏輯驅動器製程中的一在庫存中或商品清單中的一晶圓型式、面板型式的標準化中介載板,如上述說明及揭露的內容,標準化中介載板包括在中介載板內的TSVs之一固定物理布局或設計,以及如果中介載板中包含,在中介載板上的TPVs之一固定設計及或布局,中介載板中或上的TPVs及TSVs的複數位置或坐標相同,或用於複數標準化中介載板的複數標準布局及設計的複數特定型式,例如在TSVs與TPVs之間的連接結構與每一標準商業化中介載板相同,另外FISIP的及(或)SISIP的設計或交互連接線,及FISIP上的及(或)SISIP上的微銅接墊、柱或凸塊的布局或坐標相同,或用於複數標準化中介載板的特定型式的標準化複數布局及設計,在庫存及商品清單中的標準商業化中介載板接著可經由上述揭露及說明內容形成標準商業化邏輯驅動器,包括的步驟包括:(1)複晶封裝或接合IC晶片在標準化中介載板上,其中中介載板具有晶片的表面(其有複數電晶體)或一側朝下;(2)利用一材料、樹脂、或化合物填入複數晶片之間的間隙,及例如在晶圓或面板型式下經由塗佈、印刷、滴注或壓模的方法覆蓋在IC晶片的背面,使用CMP之步驟及研磨步驟平坦化應用材料、樹脂或化合物的表面至一水平面至複數中介載板上全部凸塊或金屬柱(TPVs)的上表面全部被曝露及IC晶片的背面全部曝露;(3)形成BISD;及(4)形成BISD上的複數金屬接墊、柱或凸塊,可經由軟體編碼或編程、或使用如上述揭露說明之中的中介載板的TSVs上或下方可編程TPVs、可編程的金屬接墊、金屬柱或金屬凸塊,及/或使用BISD上或上方的可編程金屬接墊、金屬柱或金屬凸塊,而使用訂制化(客制化)的標準商業化中介載板(或基板)或具有固定佈局或設計的基板。如上述揭露說明,安裝或編程在FPGA晶片中FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元的資料可用於可編程TPVs及(或)可編程金屬接墊、柱或凸塊(可編程TSVs),及/或可用於BISD上或上方的可編程金屬接墊、金屬柱或金屬凸塊。
本發明另一範例提供標準商品化邏輯驅動器,其中標準商品化邏輯驅動器具有固定設計、布局或腳位的:(i)在中介載板的TSVs上或下方的複數金屬接墊、柱或凸塊(銅柱或 凸塊、焊錫凸塊),及(ii)在標準商業化邏輯驅動器的背面(IC晶片具有複數電晶體的那一側(頂面)朝下)上的銅接墊、複數銅柱或焊錫凸塊(在BISD上或上方),標準商品化邏輯驅動器針對不同應用可經由軟體編碼或編程專門定製,中介載板的TSVs上或下方可編程的複數金屬接墊、柱或凸塊,及(或)如上所述之BISD(通過可編程TPVs)上的可編程銅接墊、銅柱或凸塊或焊錫凸塊用於不同應用,如上所述,軟體編程的原始碼可被載入、安裝或編程在DPNVM晶片內,對於不同種類的應用時,用於控制標準商業化邏輯驅動器內同一DPNVM晶片的交叉點開關,或者,軟體編程的原始碼可被載入、安裝或編程在標準商業化邏輯驅動器內的邏輯驅動器的FPGA IC晶片之FGCMOS NVM單元、MRAM單元或RRAM單元,對於不同種類的應用時,用於控制同一FPGA IC晶片內的交叉點開關,每一標準商業化邏輯驅動器具有相同的且在中介載板之TSVs上或下方的金屬接墊、柱或凸塊設計、布局或腳位,及BISD上或上方的銅接墊、銅柱或凸塊或焊錫凸塊可經由使用軟體編碼或編程、使用在中介載板的TSVs上或下方的可編程的複數金屬接墊、柱或凸塊,及(或)在邏輯驅動器中BISD(通過可編程TPVs)上或上方的可編程銅接墊、銅柱或凸塊或焊錫凸塊用於不同的應用、目的或功能。
本發明另一範例提供單層封裝或堆疊型式的邏輯驅動器,其包括IC晶片、邏輯區塊(包括LUTs、多工器、交叉點開關、開關緩衝器、複數邏輯運算電路、複數邏輯運算閘及(或)複數計算電路)及(或)記憶體單元或陣列,此邏輯驅動器沉浸在一具有超級豐富交互連接線的結構或環境內,邏輯區塊(包括LUTs,多工器、交叉點開關、複數邏輯運算電路、複數邏輯運算閘及(或)複數計算電路)及(或)標準商業化FPGA IC晶片(及(或)其它在單層封裝或堆疊型式的邏輯驅動器)內的記憶體單元或陣列沉浸在一可編程的3D沉浸式IC交互連接線環境(IIIE),邏輯驅動器封裝中的可編程的3D IIIE提供超級豐富交互連接線結構或環境,包括:(1)IC晶片內的FISC、SISC及微銅柱或凸塊;(2)中介載板或基板的TSVs,及FISIP及SISIP、TPVs及微銅柱或凸塊;(3)中介載板的TSVs上或下方的複數金屬接墊、柱或凸塊;(4)BISD;及(5)在BISD上或上方的銅接墊、銅柱或凸塊或焊錫凸塊,可編程3D IIIE提供可編程3度空間超級豐富的交互連接線結構或系統,包括:(1)FISC、SISC、FISIP及(或)SISIP及(或)BISD提供交互連接線結構或系統在x-y軸方向,用於交互連接或耦接在同一FPGA IC晶片內的或在單層封裝邏輯驅動器內的不同FPGA晶片的邏輯區塊及(或)記憶體單元或陣列,在x-y軸方向之金屬線或連接線的交互連接線在交互連接線結構或系統是可編程的;(2)複數金屬結構包括(i)在FISC及SISC內的金屬栓塞;(ii)在SISC上的微金屬柱或凸塊;(iii)在FISIP及SISIP內的金屬栓塞;(iv)在SISIP上的金屬柱及凸塊;(v)TSVs;(vi)在中介載板的TSVs上或下的複數金屬接墊、柱或凸塊;(vi)TPVs;(viii)在BISD內的金屬栓塞;及/或(ix)在BISD上或上方的銅接墊、銅柱或凸塊或焊錫凸塊提供交互連接線結構或系統在z軸方向,用於交互連接或耦接邏輯區塊,及(或)在不同FPGA晶片內的或在堆疊邏輯驅動器中不同單層封裝邏輯驅動器堆疊封裝內的記憶體單元或陣列,在z軸方向的交互連接線系統內的交互連接線結構也是可編程的,在極低的成本下,可編程3D IIIE提供了幾乎無限量的電晶體或邏輯區塊、交互連接金屬線或連接線及記憶體單元/開關,可編程3D IIIE相似或類似人類的頭腦:(i)複數電晶體及(或)邏輯區塊(包括複數邏輯運算閘、邏輯運算電路、計算操作單元、計算電路、LUTs及或交叉點開關)及或交互連接線等係相似或類似神經元(複數細胞體)或複數神經細胞;(ii)FISC的或SISC的金屬線或連接線是相似或類似樹突(dendrities)連接至神經元(複數細胞體)或複數神經細胞,微金屬柱或凸塊連接至接收器係 用於FPGA IC晶片內邏輯區塊(包括複數邏輯運算閘、邏輯運算電路、計算操作單元、計算電路、LUTs及(或)交叉點開關)的複數輸入係相似或類似突觸末端的突觸後細胞:(iii)長距離的複數連接經由FISC的金屬線或連接線、SISC、FISIP及(或)SISIP、及(或)BISD、及金屬栓塞、複數金屬接墊、柱或凸塊、包含在SISC上的微銅柱或凸塊、TSV、中介載板的TSVs上或下方的複數金屬接墊、柱或凸塊、TPVs、及(或)銅接墊、複數金屬柱或凸塊或在BISD上或上方的焊錫凸塊形成,其相似或類似軸突(axons)連接至神經元(複數細胞體)或複數神經細胞,微金屬柱或凸塊連接至複數驅動器或發射器用於FPGA IC晶片內的邏輯區塊(包括複數邏輯運算閘、邏輯運算電路、計算操作單元、計算電路、LUTs及(或)交叉點開關)的複數輸出,其相似或類似於在軸突末端的複數突觸前細胞(pre-synaptic cells)。
本發明另一方面提供具有相似或類似複數連接、交互連接線及(或)複數人腦功能的可編程的3D IIIE:(1)複數電晶體及(或)複數邏輯區塊(包括複數邏輯運算閘、邏輯運算電路、計算操作單元、計算電路、LUTs及(或)複數交叉點開關)係相似或類似神經元(複數細胞體)或複數神經細胞;(2)複數交互連接線結構及邏輯驅動器的結構係相似或類似樹突(dendrities)或軸突(axons)連接至神經元(複數細胞體)或複數神經細胞,複數交互連接線結構及(或)邏輯驅動器結構包括(i)FISC的金屬線或連接線、SISC、FISIP及/或SISIP、及BISD及(或)(ii)微型銅柱或凸塊、TISD上的複數金屬柱或凸塊、TPVS、及(或)在背面上的複數銅接墊,一類軸突(axon-like)交互連接線結構及(或)邏輯驅動器結構連接至一邏輯運算單元或操作單元的驅動輸出或發射輸出(一驅動器),其具有一結構像是一樹狀結構,包括:(i)一主幹或莖連接至邏輯運算單元或操作單元;(ii)從主幹分支而出的複數分支,每個分支的末端可連接或耦接至其它複數邏輯運算單元或操作單元,可編程複數交叉點開關(複數FPGA IC晶片的或(及)複數DPNVM的複數FGCMOS NVM單元,MRAM or RRAM/複數開關,或複數DPNVM)用於控制主幹與每個分支的連接或不連接;(iii)從複數分支再分支出來的子分支,而每一子分支的末端可連接或耦接至其它複數邏輯運算單元或操作單元,可編程複數交叉點開關(複數FPGA IC晶片的或(及)複數DPNVM的複數FGCMOS NVM單元,MRAM or RRAM/複數開關,或複數DPNVM)係用於控制主幹與其每一分支之間的”連接”或”不連接”,一枝蔓狀交互連接線結構及(或)邏輯驅動器的結構連接至一邏輯運算單元或操作單元的接收或感測輸入(一接收器),及枝蔓狀交互連接線結構具有一結構類似一灌木(shrub or bush):(i)一短主幹連接至一邏輯單元或操作單元;(ii)從主幹分支出來複數分支,複數可編程開關(複數FPGA IC晶片的或(及)複數DPNVM的複數FGCMOS NVM單元,MRAM or RRAM/複數開關,或複數DPNVM)用於控制主幹或其每一分支之間的”連接”或”不連接”,複數類枝蔓狀交互連接線結構連接或耦接至邏輯運算單元或操作單元,類枝蔓狀交互連接線結構的每一分支的末端連接或耦連至類軸突結構的主幹或分支的末端,邏輯驅動器的類枝蔓狀交互連接線結構可包括複數FPGA IC晶片的複數FISC及SISC。
本發明另一方面提供用於系統/機器除了可使用sequential、parallel、pipelined或Von Neumann等計算或處理系統結構及/或演算法之外,也可使用整體及可變的記憶體單元及邏輯單元,來進行計算或處理的一可重新配置可塑性(或彈性)及/或整體架構,本發明提供具有可塑性(或彈性)及整體性的一可編程邏輯運算器(邏輯驅動器),其包括記憶單元及邏輯單元,以改變或重新配置在記憶體單元中的邏輯功能、及/或計 算(或處理)架構(或演算法),及/或記憶(資料或資訊),邏輯驅動器之可塑性及完整性的特性相似或類似於人類大腦,大腦或神經具有可塑性(或彈性)及完整性,大腦或神經許多方面在成年時可以改變(或是說”可塑造”或”彈性”)及可重新配置。如上述說明的邏輯驅動器(或FPGA IC晶片)提供用於固定硬體(given fixed hardware)改變或重新配置邏輯功能及/或計算(或處理)的整體結構(或演算法)的能力,其中係使用儲存在附近的編程記憶體單元(PM)中的複數記憶(資料或訊息)達成,在該邏輯驅動器(或FPGA IC晶片)中,儲存在PM的記憶體單元內的記憶可用於改變或重配置邏輯功能及/或計算/處理的架構(或演算法),而儲存在複數記憶體單元中的一些其它記憶僅用於資料或訊息(資料記憶單元,DM)。
邏輯驅動器的彈性(或可塑性)及整體性係根據複數事件,用於nth個事件,在邏輯驅動器的nth個事件之後的整體單元(integral unit,IUn)的nth狀態(Sn)可包括邏輯單元、在nth狀態的PM及DM、Ln、DMn,也就是Sn(IUn,Ln,PMn,DMn),該nth整體單元IUn可包括數種邏輯區塊、數種具有複數記憶(內容、資料或資訊等項目)的PM記憶體單元(如項目數量、數量及位址/位置),及數種具有複數記憶(內容、資料或資訊等項目)的DM記憶體(如項目數量、數量及位址/位置),用於特定邏輯功能、一組特定的PM及DM,該nth整體單元IUn係不同於其它的整體單元,該nth狀態及nth整體單元(IUn)係根據nth事件(En)之前的發生先前事件而生成產生。
某些事件可具有巨大的影響份量並被分類作為重大事件(GE),假如nth事件被分類為一GE,該nth狀態Sn(IUn,Ln,PMn,DMn)可被重新分配獲得一新的狀態Sn+1(IUn+1,Ln+1,PMn+1,DMn+1),像是人類大腦在深度睡眠時的重新分配大腦一樣,新產生的狀態可變成長期的記憶,用於一新的(n+1)th整體單元(IUn+1)的該新(n+1)th狀態(Sn+1)可依據重大事件(GE)之後的用於巨大重新分配的演算法及準則,演算法及準則例如以下所示:當該事件n(En)在數量上與先前的n-1事件完全不同時,此En被分類為一重大事件,以從nth狀態Sn(IUn,Ln,PMn,DMn)得到(n+1)th狀態Sn+1(IUn+1,Ln+1,PMn+1,DMn+1),在重大事件En後,該機器/系統執行具有某些特定標準的一重大重新分配,此重大重新分配包括濃縮或簡潔的流程及學習程序:
I.濃縮或簡潔的流程
(A)DM重新分配:(1)該機器/系統檢查DMn找到一致相同的記憶,然後保持全部相同記憶中的唯一一個記憶而刪除所有其它相同的記憶;及(2)該機器/系統檢查DMn找到類似的記憶(其相似度在一特定的百分比x%,x%例如是等於或小於2%,3%,5% or 10%),然後保持全部相似記憶中的一個或二個記憶而刪除所有其它相似的記憶;可替換方案,全部相似記憶中的一代表性記記憶(資料或訊息)可被產生及維持,並同時刪除所有類似的記憶。
(B)邏輯重新分配:(1)該機器/系統檢查PMn找到用於相對應邏輯功能一致相同的邏輯(PMs),然後保持全部相同邏輯(PMs)中的唯一一個記憶而刪除所有其它相同的邏輯(PMs);及(2)該機器/系統檢查PMn找到類似的邏輯(PMs)(其相似度在一特定的差異百分比x%,x%例如是等於或小於2%,3%,5% or 10%),然後保持全部相似邏輯(PMs)中的一個或二個邏輯(PMs)而刪除所有其它相似的邏輯(PMs);可替換方案,全部相似記憶中的一代表性記邏輯(PMs)(在PM中且在一特定範中用於相對應代表性的邏輯資料或訊息)可被產生及維持,並同時刪除所有類似的邏輯(PMs)。
II.學習程序
根據Sn(IUn,Ln,PMn,DMn),執行一對數而選擇或篩選(記憶)有用的,重大的及 重要的複數整體單元、邏輯、PMs,並且刪除(忘記)沒有用的、非重大的或非重要的整體單元、邏輯、PMs或DMs,選擇或篩選演算法可根據一特定的統計方法,例如是根據先前n個事件中整體單元、邏輯、PMs及/或DMs之使用頻率,另一例子為,可使用貝氏推理之演算法產生Sn+1(IUn+1,Ln+1,PMn+1,DMn+1)。
在多數事件後用於系統/機器之狀態,該演算法及準則提供學習程序,邏輯驅動器的彈性(或可塑性)及整體性提供在機器學習及人工智慧上的應用。
本發明另一範例提供一在多晶片封裝中的標準商業化記憶體驅動器、封裝或封裝驅動器、裝置、模組、硬碟、硬碟驅動器、固態硬碟或固態硬碟驅動器(以下簡稱驅動器),包括複數標準商業化非揮發性記憶體IC晶片用於資料儲存。即使驅動器的電源關閉時,儲存在標準商業化非揮發性記憶體晶片驅動器中的資料仍然保留,複數非揮發性記憶體IC晶片包括一祼晶型式或一封裝型式的複數NAND快閃晶片,或者,複數非揮發性記憶體IC晶片可包括裸晶型式的或封裝型式的NVRAMIC晶片,NVRAM可以是鐵電隨機存取記憶體(Ferroelectric RAM(FRAM)),磁阻式隨機存取記憶體(Magnetoresistive RAM(MRAM))、可變電阻式隨機存取記憶體(RRAM)、相變化記憶體(Phase-change RAM(PRAM)),標準商業化記憶體驅動器由COIP封裝構成,其中係以上述段落所述之說明中,使用在形成標準商業化邏輯驅動器中同樣或相似的複數COIP封裝製程製成,COIP封裝的流程步驟如下:(1)提供非揮發性記憶體IC晶片,例如複數標準商業化NAND快閃IC晶片、一中介載板,然後覆晶封裝或接合IC晶片在中介載板上;(2)每一NAND快閃晶片可具有一標準記憶體密度、內量或尺寸大於或等於64Mb、512Mb、1Gb、4Gb、16Gb、64Gb、128Gb、256Gb或512Gb,其中”b”為位元,NAND快閃晶片可使用先進NAND快閃技術或下一世代製程技術或設計及製造,例如,技術先進於或等於45nm、28nm、20nm、16nm及(或)10nm,其中先進的NAND快閃技術可包括在平面快閃記憶體(2D-NAND)結構或立體快閃記憶體(3D NAND)結構中使用單一單層式儲存(Single Level Cells(SLC))技術或多層式儲存(multiple level cells(MLC))技術(例如,雙層儲存(Double Level Cells DLC)或三層儲存(triple Level cells TLC))。3D NAND結構可包括複數NAND記憶單元的堆疊層(或級),例如大於或等於4、8、16、32NAND記憶單元的堆疊層。每一NAND快閃晶片被封裝在記憶體驅動器內,其可包括微銅柱或凸塊設置在複數晶片的上表面,微銅柱或凸塊的上表面具有一水平面位在複數晶片中位於最頂層的絕緣介電層之上表面的水平面之上,其高度例如是介於3μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於5μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間,或大於或等於30μm、20μm、15μm、5μm或3μm,複數晶片以覆晶方式封裝或接合中介載板,其中具有複數電晶體的晶片的表面或一側朝下;(2)如果存在可通過以下方法,例如旋塗,網版印刷,滴注或晶圓或面板型式中的壓模,可利用一材料、樹脂、或化合物填入複數晶片之間的間隙及覆蓋在複數晶片的背面及TPVs的上表面,使用CMP之步驟及研磨步驟平坦化應用材料、樹脂或化合物的表面至IC晶片的所有背面的上表面及TPVs的上表面全部被曝露;(3)經由晶圓或面板製程形成一BISD在平坦化應用材料、樹脂或化合物上,及TPVs曝露的上表面;(4)形成銅接墊、複數金屬接墊、柱或凸塊在BISD上;(5)形成銅接墊、複數金屬接墊、柱或凸塊或焊錫凸塊在中介載板的TSVs上或下方;(6)切割己完成的晶圓或面板,包括經由在二相鄰的記憶體驅動器之間的材料或結構分開、切開,此材料或化合物(例如係聚合物)填在二相鄰記憶體驅 動器之間的複數晶片被分離或切割成單獨的記憶體驅動器。
本發明另一方面提供在多晶片封裝中的商業化標準記憶體驅動器,商業化標準記憶體驅動器包括複數商業化標準非揮發性記憶體IC晶片,而商業化標準非揮發性記憶體IC晶片更包括專用控制晶片、專用I/O晶片或專用控制晶片及專用I/O晶片用於資料儲存,即使驅動器的電源關閉時,儲存在商業化標準非揮發性記憶體驅動器中的資料仍然保留,複數非揮發性記憶體IC晶片包括一祼晶類型或一封裝類型的複數NAND快閃晶片,或者,複數非揮發性記憶體IC晶片可包括一祼晶類型或一封裝類型的非揮發性NVRAM複數IC晶片,NVRAM可以是鐵電隨機存取記憶體(Ferroelectric RAM(FRAM)),磁阻式隨機存取記憶體(Magnetoresistive RAM(MRAM))、電阻式隨機存取記憶體(Resistive RAM(RRAM))、相變化記憶體(Phase-change RAM(PRAM)),專用控制晶片、專用I/O晶片或專用控制晶片及專用I/O晶片的功能係用於記憶體控制及(或)輸入/輸出,及上述段落所述之說明用於邏輯驅動器的相同或相似揭露,在非揮發性記憶體IC晶片之間的通訊、連接或耦接例如是複數NAND快閃晶片、專用控制晶片、專用I/O晶片,或在同一記憶體驅動器內的專用控制晶片及專用I/O晶片的說明與上述段落用於邏輯驅動器中的說明(揭露)相同或相似,複數商業化標準NAND快閃IC晶片可使用不同於專用控制晶片、專用I/O晶片或在相同記憶體驅動器內的專用控制晶片及專用I/O晶片的IC製造技術節點或世代製造,複數商業化標準NAND快閃IC晶片包括複數小型I/O電路,而用在記憶體驅動器的專用控制晶片、專用I/O晶片或專用控制晶片及專用I/O晶片可包括複數大型I/O電路,如上述用於邏輯驅動器的揭露及說明,商業化標準記憶體驅動器包括專用控制晶片、專用I/O晶片或經由COIP所構成的專用控制晶片及專用I/O晶片,使用在形成邏輯驅動器中同樣或相似的複數COIP製程製成,如上述段落中的揭露及說明。
本發明另一方面提供堆疊非揮發性(例如NAND快閃)的記憶體驅動器,其包括如上述揭露及說明中,具有TPVs及/或BISD的單層封裝非揮發性記憶體驅動器用於標準類型(具有標準尺寸)之堆疊的非揮發性記憶體驅動器,例如,單層封裝非揮發性記憶體驅動器可具有一定寬度、長度及厚度的正方型或長方型,一工業標準可設定單層封裝非揮發性記憶體驅動器的直徑(尺寸)或形狀,例如單層封裝非揮發性記憶體驅動器標準的形狀可以是正方形,其寬度係大於或等於4mm、7mm、10mm、12mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm或40mm,及具有厚度大於或等於0.03mm、0.05mm、0.1mm、0.3mm、0.5mm、1mm、2mm、3mm、4mm或5mm。或者,單層封裝非揮發性記憶體驅動器標準形狀可以是長方形,其寬度大於或等於3mm、5mm、7mm、10mm、12mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm或40mm,其長度大於或等於3mm、5mm、7mm、10mm、12mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm、40mm、45mm或50mm,其厚度大於或等於0.03mm、0.05mm、0.1mm、0.3mm、0.5mm、1mm、2mm、3mm、4mm或5mm。堆疊的複數非揮發性記憶體晶片驅動器包括例如是2、5、6、7、8或大於8個單層封裝非揮發性記憶體驅動器,可使用上述形成堆疊的邏輯驅動器所揭露及說明的相似或相同的製程形成,單層封裝非揮發性記憶體驅動器包括TPVs及/或BISD用於堆疊封裝的目的,這些製程步驟用於形成TPVs及/或BISD,上述段落中揭露及說明TPVs及/或BISD的部分可用於堆疊的邏輯驅動器,而使用TPVs及/或BISD堆疊的方法(例如POP方法)如上述段落中堆疊的邏輯驅動器之揭露及說明。
本發明另一範例提供在多晶片封裝內的標準商業化記憶體驅動器,其包括複數 標準商業化揮發性IC晶片用於資料儲存,其中多晶片封裝包括祼晶型式或封裝型式的複數DRAM晶片,標準商業化DRAM記憶體驅動器係由COIP形成,可使用上述段落揭露及說明利用相同或相似的COIP封裝製程形成邏輯驅動器步驟,其流程步驟如下:(1)提供標準商業化DRAM晶片及一中介載板,然後覆晶封裝或接合IC晶片在中介載板上,每一DRAM晶片可具有一標準記憶體密度、內量或尺寸大於或等於64Mb、512Mb、1Gb、4Gb、16Gb、64Gb、128Gb、256Gb或512Gb,其中”b”為位元,DRAM快閃晶片可使用先進DRAM快閃技術或下一世代製程技術或設計及製造,例如,技術先進於或等於45nm、28nm、20nm、16nm及(或)10nm,所有的複數DRAM晶片被封裝在記憶體驅動器內,其可包括微銅柱或凸塊設置在複數晶片的上表面,微銅柱或凸塊的上表面具有一水平面位在複數晶片中位於最頂層的絕緣介電層之上表面的水平面之上,其高度例如是介於3μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於5μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間,或大於或等於30μm、20μm、15μm、5μm或3μm,複數晶片以覆晶方式封裝或接合中介載板,其中具有複數電晶體的晶片的表面或一側朝下;(2)可通過以下方法,例如旋塗,網版印刷,滴注或晶圓或面板型式中的壓模,可利用一材料、樹脂、或化合物填入複數晶片之間的間隙及覆蓋在複數晶片的背面及TPVs的上表面,使用CMP之步驟及研磨步驟平坦化應用材料、樹脂或化合物的表面至全部複數晶片的所有背面的表面及全部TPVs的上表面全部被曝露;(3)經由晶圓或面板製程形成一BISD在平坦化應用材料、樹脂或化合物上,及TPVs曝露的上表面;(4)形成銅接墊、複數金屬接墊、柱或凸塊在BISD上;(5)形成銅接墊、複數金屬接墊、柱或凸塊或焊錫凸塊在中介載板的TSVs上或下方;(6)切割己完成的晶圓或面板,包括經由在二相鄰的記憶體驅動器之間的材料或結構分開、切開,此材料或化合物(例如係聚合物)填在二相鄰記憶體驅動器之間的複數晶片被分離或切割成單獨的記憶體驅動器。
本發明另一方面提供在多晶片封裝中的商業化標準記憶體驅動器,商業化標準記憶體驅動器包括複數商業化標準複數揮發性IC晶片,而商業化標準複數揮發性IC晶片更包括專用控制晶片、專用I/O晶片或專用控制晶片及專用I/O晶片用於資料儲存,複數揮發性IC晶片包括一祼晶類型或一DRAM封裝類型,專用控制晶片、專用I/O晶片或專用控制晶片及專用I/O晶片用於記憶體驅動器的功能係用於記憶體控制及(或)輸入/輸出,及上述段落所述之說明用於邏輯驅動器的相同或相似揭露,在複數DRAM晶片之間的通訊、連接或耦接例如是複數NAND快閃晶片、專用控制晶片、專用I/O晶片,或在同一記憶體驅動器內的專用控制晶片及專用I/O晶片的說明與上述段落用於邏輯驅動器中的說明(揭露)相同或相似,商業化標準複數DRAM晶片可使用不同於專用控制晶片、專用I/O晶片或專用控制晶片及專用I/O晶片的IC製造技術節點或世代製造,商業化標準複數DRAM晶片包括複數小型I/O電路,而用在記憶體驅動器的專用控制晶片、專用I/O晶片或專用控制晶片及專用I/O晶片可包括複數大型I/O電路,如上述用於邏輯驅動器的揭露及說明,商業化標準記憶體驅動器可使用在形成邏輯驅動器中同樣或相似的複數COIP製程製成,如上述段落中的揭露及說明。
本發明另一方面提供堆疊揮發性(例如DRAM晶片)的記憶體驅動器,其包括如上述揭露及說明中,具有TPVs及/或BISD的複數單層封裝揮發性記憶體驅動器用於標準類型(具有標準尺寸)之堆疊的複數非揮發性記憶體晶片驅動器,例如,複數單層封裝揮發性記憶體驅動器可具有一定寬度、長度及厚度的正方型或長方型,一工業標準可設定複數單層封裝揮發性 記憶體驅動器的直徑(尺寸)或形狀,例如複數單層封裝揮發性記憶體驅動器標準的形狀可以是正方形,其寬度係大於或等於4mm、7mm、10mm、12mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm或40mm,及具有厚度大於或等於0.03mm、0.05mm、0.1mm、0.3mm、0.5mm、1mm、2mm、3mm、4mm或5mm。或者,複數單層封裝揮發性記憶體驅動器標準形狀可以是長方形,其寬度大於或等於3mm、5mm、7mm、10mm、12mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm或40mm,其長度大於或等於3mm、5mm、7mm、10mm、12mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm、40mm、45mm或50mm,其厚度大於或等於0.03mm、0.05mm、0.1mm、0.3mm、0.5mm、1mm、2mm、3mm、4mm或5mm。堆疊的揮發性記憶體驅動器包括例如是2、5、6、7、8或大於8個複數單層封裝揮發性記憶體驅動器,可使用上述形成堆疊的邏輯驅動器所揭露及說明的相似或相同的製程形成,複數單層封裝揮發性記憶體驅動器包括TPVs及/或BISD用於堆疊封裝的目的,這些製程步驟用於形成TPVs及/或BISD,上述段落中揭露及說明TPVs及/或BISD的部分可用於堆疊的邏輯驅動器,而使用TPVs及/或BISD堆疊的方法(例如POP方法)如上述段落中堆疊的邏輯驅動器之揭露及說明。
本發明另一範例提供堆疊邏輯運算及揮發性記憶體(例如是DRAM)驅動器,其包括複數單層封裝邏輯驅動器及複數單層封裝揮發性記憶體驅動器,如上述揭露及說明,每一單層封裝邏輯驅動器及每一單層封裝揮發性記憶體驅動器可位在多晶片封裝內,每一單層封裝邏輯驅動器及每一單層封裝揮發性記憶體驅動器可具有相同標準型式或具有標準形狀及尺寸,以及可具有相同的標準的複數金屬接墊、柱或凸塊在上表面的腳位,及相同的標準的複數金屬接墊、柱或凸塊在下表面的腳位,如上述揭露及說明,堆疊的邏輯運算及揮發性記憶體驅動器包括例如是2、5、6、7、8或總共大於8個單層封裝邏輯驅動器或複數揮發性記憶體驅動器,可使用上述形成堆疊的邏輯驅動器所揭露及說明的相似或相同的製程形成,而從下到上的堆疊順序可以是:(a)全部的單層封裝邏輯驅動器位在底部及全部的單層封裝揮發性記憶體驅動器位在頂部,或(b)單層封裝邏輯驅動器及單層封裝揮發性驅動器依順序從底部到頂部堆疊交錯:(i)單層封裝邏輯驅動器;(ii)單層封裝揮發性記憶體驅動器;(iii)單層封裝邏輯驅動器;(iv)單層封裝揮發性記憶體等等,單層封裝邏輯驅動器及單層封裝揮發性記憶體驅動器用於堆疊的複數邏輯驅動器及揮發性記憶體驅動器,每一邏輯驅動器及發性記憶體驅動器包括用於封裝為目的TPVs及(或)BISD,形成TPVs及(或)BISD的製程步驟,如上述段落揭露及相關說明,而使用TPVs及(或)BISD堆疊的方法(例如POP方法)如上述段落之揭露及說明。
本發明另一範例提供堆疊的非揮發性晶片(例如NAND快閃)及揮發性(例如DRAM)記憶體驅動器包括單層封裝非揮發性晶片驅動器及單層封裝揮發性記憶體驅動器,每一單層封裝非揮發性晶片驅動器及每一單層封裝揮發性記憶體驅動器可位在多晶片封裝內,如上述段落揭露與說明,每一單層封裝揮發性記憶體驅動器及每一單層封裝非揮發性晶片驅動器可具有相同標準型式或具有標準形狀及尺寸,以及可具有相同的標準的複數金屬接墊、柱或凸塊在上表面及下表面的腳位,如上述揭露及說明,堆疊的非揮發性晶片及揮發性記憶體驅動器包括例如是2、5、6、7、8或總共大於8個單層封裝的非揮發性記憶體晶片或單層封裝揮發性記憶體驅動器,可使用上述形成堆疊的邏輯驅動器所揭露及說明的相似或相同的製程形成,而從下到上的堆疊順序可以是:(a)全部的單層封裝揮發性記憶體驅動器位在底部及全部的複數單層封裝的非揮發性記憶體晶片位在頂部,或(b)全部複數單層封裝的非揮發性記憶體晶片位在底部及全部複數單層封裝揮發性記憶體驅動器位在頂部;(c)單層封裝的非揮發性記憶體晶片及單層 封裝揮發性驅動器依順序從底部到頂部堆疊交錯:(i)單層封裝揮發性記憶體驅動器;(ii)單層封裝的非揮發性記憶體晶片;(iii)單層封裝揮發性記憶體驅動器;(iv)單層封裝非揮發性記憶體晶片等等,單層封裝非揮發性晶片驅動器及單層封裝揮發性記憶體驅動器用於堆疊的非揮發性晶片及揮發性記憶體驅動器,每一邏輯驅動器及發性記憶體驅動器包括用於封裝為目的TPVs及(或)BISD,形成TPVs及(或)BISD的製程步驟,如上述用於堆疊邏輯驅動器中的段落之揭露及相關說明,而使用TPVs及(或)BISD堆疊的方法(例如POP方法)如上述用於堆疊邏輯驅動器中的段落之揭露及相關說明。
本發明另一範例提供堆疊的邏輯非揮發性晶片(例如NAND快閃)記憶體及揮發性(例如DRAM)記憶體驅動器包括單層封裝邏輯驅動器、複數單層封裝的非揮發性記憶體晶片及複數單層封裝揮發性記憶體驅動器,每一單層封裝邏輯驅動器、每一單層封裝的非揮發性記憶體晶片及每一單層封裝揮發性記憶體驅動器可位在多晶片封裝內,如上述揭露與說明,每一單層封裝邏輯驅動器、每一單層封裝的非揮發性記憶體晶片及每一單層封裝揮發性記憶體驅動器驅動器可具有相同標準型式或具有標準形狀及尺寸,以及可具有相同的標準的複數金屬接墊、柱或凸塊在上表面及下表面的腳位,如上述揭露及說明,堆疊的邏輯非揮發性晶片(快閃)記憶體及揮發性(DRAM)記憶體驅動器包括例如是2、5、6、7、8或總共大於8個單層封裝邏輯驅動器、單層封裝非揮發性晶片記憶體驅動器或單層封裝揮發性記憶體驅動器,可使用上述形成堆疊的邏輯驅動器記憶體所揭露及說明的相似或相同的製程形成,而從下到上的堆疊順序例如是:(a)全部的單層封裝邏輯驅動器位在底部、全部單層封裝揮發性記憶體驅動器位在中間位置及全部的複數單層封裝的非揮發性記憶體晶片位在頂部,或(b)單層封裝邏輯驅動器、單層封裝揮發性記憶體驅動器及複數單層封裝的非揮發性記憶體晶片依順序從底部到頂部堆疊交錯:(i)單層封裝邏輯驅動器;(ii)單層封裝揮發性記憶體驅動器;(iii)單層封裝的非揮發性記憶體晶片;(iv)單層封裝邏輯驅動器;(v)單層封裝揮發性記憶體;(vi)單層封裝的非揮發性記憶體晶片等等,單層封裝邏輯驅動器、單層封裝揮發性記憶體驅動器及單層封裝揮發性記憶體驅動器用於堆疊的邏輯運算非揮發性晶片記憶體及複數揮發性記憶體驅動器,每一邏輯驅動器及發性記憶體驅動器包括用於封裝為目的TPVs及(或)BISD,形成TPVs及(或)BISD的製程步驟,如上述用於堆疊邏輯驅動器中的段落之揭露及相關說明,而使用TPVs及(或)BISD堆疊的方法(例如POP方法)如上述用於堆疊邏輯驅動器中的段落之揭露及相關說明。
本發明另一方面提供具有邏輯驅動器的系統、硬體、電子裝置、電腦、處理器、行動電話、通訊設備、及(或)機械人、非揮發性(例如NAND快閃)記憶體驅動器、及(或)揮發性(例如DRAM)記憶體驅動器,邏輯驅動器可為單層封裝邏輯驅動器或堆疊的邏輯驅動器,如上述揭露及說明,非揮發性快閃記憶體驅動器可以是單層封裝非揮發性147或堆疊的非揮發性快閃記憶體驅動器,如上述揭露及說明,及揮發性DRAM記憶體驅動器可以是單層封裝DRAM記憶體驅動器或堆疊的揮發性DRAM記憶體驅動器,如上述揭露及說明,邏輯驅動器、非揮發性快閃記憶體驅動器、及(或)揮發性DRAM記憶體驅動器以覆晶封裝方式設置在PCB基板、BGA基板、軟性電路軟板或陶瓷電路基板上。
本發明另一方提供包括單層封裝邏輯驅動器及單層封裝記憶體驅動器的堆疊式封裝或裝置,單層封裝邏輯驅動器如上述揭露及說明,及其包括一或複數FPGA晶片或DPNVM、專用控制晶片、專用I/O晶片、及(或)專用控制晶片及專用I/O晶片,單層封裝邏輯驅動器可更包括一或複數處理IC晶片及計算IC晶片,例如是一或複數CPU晶片、GPU晶 片、DSP晶片及(或)TPU晶片,單層封裝記憶體驅動器如上述揭露及說明,及其包括一或複數高速、高頻寬及高位元寬快取SRAM晶片、一或複數DRAM晶片、或一或複數NVM晶片用於高速平行處理運算及(或)計算,一或複數高速、高頻寬及高位元寬的NVMs可包括MRAM、RRAM或PRAM,單層封裝邏輯驅動器如上述揭露及說明,單層封裝邏輯驅動器的形成係使用包括有FISIP及(或)SISIP、TPVs、TSVs及在TSVs上或下方的複數金屬接墊、柱或凸塊的中介載板所構成,為了與單層封裝記憶體驅動器的記憶體晶片、堆疊的金屬栓塞(在FISIP及(或)SISIP內)直接且垂直形成在TSVs上或上方、微銅接墊、在SISIP上或上方的複數金屬柱或凸塊、及(或)FISIP直接且垂直的形成在堆疊的金屬栓塞高速、高頻寬通訊,複數堆疊結構、每一高速的位元資料、寬的位元頻寬匯流排(bus)從上到下形成:(1)在SISIP上及(或)在FISIP上的微銅接墊、柱或凸塊;(2)經由堆疊金屬栓塞而成的堆疊的金屬栓塞及SISIP的及(或)FISIP的複數金屬層;(3)TSVs;及(4)在TSVs上或下方的銅接墊、柱或凸塊,在IC晶片上的微銅金屬/焊錫金屬柱或凸塊接著使用覆晶方式封裝或接合在堆疊結構的微銅接墊、柱或凸塊(在SISIP及(或)FISIP上)上,每一IC晶片的堆疊結構的數量(即每一邏輯IC晶片及每一高速、高頻寬及高位元寛記憶體晶片之間的資料位元頻寬)係等於或大於64、128、256、512、1024、2048、4096、8K或16K用於高速、高頻寬平行處理運算及(或)計算。相似地,複數堆疊結構形成在單層封裝記憶體驅動器內,單層封裝邏輯驅動器以覆晶組裝或封裝在單層封裝記憶體晶片,其在邏輯驅動器內的IC晶片,其IC晶片中具有電晶體的表面之一側朝下,及在記憶體驅動器內的IC晶片,其IC晶片中具有電晶體的表面之一側朝上,因此,在FPGA、CPU、GPU、DSP及(或)TPU晶片上的一微銅/焊錫金屬柱或凸塊可短距離的連接或耦接至在記憶體晶片上的微銅/焊錫金屬柱或凸塊,例如DRAM、SRAM或NVM,通過:(1)在邏輯驅動器內SISIP的及(或)FISIP的微銅接墊、柱或凸塊;(2)經由堆疊金屬栓塞的堆疊的複數金屬栓塞及在邏輯驅動器內的SISIP上的及(或)FISIP上的複數金屬層;(3)邏輯驅動器的TSVs;及(4)在邏輯驅動器內的TSVs上或下方的銅接墊、柱或凸塊;(5)在記憶體驅動器的TSVs上及上方的銅接墊、柱或凸塊;(6)記憶體驅動器的TSVs;(7)經由堆疊金屬栓塞的堆疊的複數金屬栓塞及記憶體驅動器內的SISIP的及(或)FISIP的複數金屬層;(8)記憶體驅動器內的SISIP的及(或)FISIP的微銅接墊、柱或凸塊,TPVs及(或)BISDs對於單層封裝邏輯驅動器及單層封裝記憶體驅動器而言,堆疊的邏輯驅動器及記憶體驅動器或裝置可從堆疊的邏輯驅動器及記憶體驅動器或裝置的上側(單層封裝邏輯驅動器的背面,在邏輯驅動器中具有複數電晶體的IC晶片的一側朝下)及下側(單層封裝記憶體驅動器的背面,在記憶體驅動器中具有複數電晶體的IC晶片的一側朝上)進行通訊、連接或耦接至複數外部電路,或者,TPVs及(或)BISDs對於單層封裝邏輯驅動器是可省略,及堆疊的邏輯驅動器及記憶體驅動器或裝置可從堆疊的邏輯驅動器及記憶體驅動器或裝置的背面(單層封裝記憶體驅動器的背面,在記憶體驅動器內具有電晶體的IC晶片朝上),通過記憶體驅動器的TPVs及(或)BISD進行通訊、連接或耦接至複數外部電路,或者,eTPVs及(或)BISD對於單層封裝記憶體驅動器是可省略,堆疊的邏輯驅動器及記憶體驅動器或裝置可從堆疊的邏輯驅動器及記憶體驅動器或裝置的上側(單層封裝邏輯驅動器的背面,在邏輯驅動器內且具有電晶體的IC晶片朝上)通過在邏輯驅動器內的BISD及(或)TPVs進行通訊、連接或耦接至複數外部電路或元件。
在邏輯驅動器及記憶體驅動器或裝置的所有替代的方案中,單層封裝邏輯驅動 器可包括一或複數處理IC晶片及計算IC晶片及單層封裝記憶體驅動器,其中單層封裝記憶體驅動器可包括一或複數高速、高頻寬及高位元寬快取SRAM晶片、DRAM或NVM晶片(例如,MRAM、RRAM或PRAM)可高速平行處理及(或)計算,例如,單層封裝邏輯驅動器可包括複數GPU晶片,例如是2、3、4或大於4個GPU晶片,及單層封裝記憶體驅動器可包括複數高速、高頻寬及高位元寬快取SRAM晶片、DRAM IC晶片或NVM晶片,一GPU晶片與SRAM、DRAM或NVM晶片(其中之一)之間的通訊係通過上述揭露及說明的堆疊結構,其資料位元頻寬可大於或等於64、128、256、512、1024、2048、4096、8K或16K,舉另一個例子,邏輯驅動器可包括複數TPU晶片,例如是2、3、4或大於4個TPU晶片,及單層封裝記憶體驅動器可包括複數高速、高頻寬及高位元寬快取SRAM晶片、DRAM IC晶片或NVM晶片,一TPU晶片與SRAM、DRAM或NVM晶片(其中之一)之間的通訊係通過上述揭露及說明的堆疊結構,其資料位元頻寬可大於或等於64、128、256、512、1024、2048、4096、8K或16K。
邏輯運算、處理及(或)計算晶片(例如FPGA、CPU、GPU、DSP、APU、TPU及(或)AS IC晶片)及一高速、高頻寬、高位元寬之SRAM、DRAM或NVM晶片之間的通訊、連接或耦接係通過如上述揭露及說明的堆疊結構,其通訊或連接方式係與同一晶片內的複數內部電路相同或相似,或者,一邏輯運算、處理及(或)計算晶片(例如FPGA、CPU、GPU、DSP、APU、TPU及(或)AS IC晶片)及一高速、高頻寬及高位元寬之SRAM、DRAM或NVM晶片之間的通訊、連接或耦接係通過如上述揭露及說明的複數堆疊結構,其係使用小型I/O驅動器及(或)接收器,小型I/O驅動器、小型接收器或I/O電路的驅動能力、負載、輸出電容或輸入電容可介於0.01pF與10pF之間、0.05pF與5pF之間或0.01pF與2pF之間,或是小於10pF、5pF、3pF、2pF、1pF、0.5pF或0.01pF,例如,一雙向I/O(或三向)接墊、I/O電路可使用在小型I/O驅動器、接收器或I/O電路使用在邏輯驅動器及記憶體堆疊驅動器內的高位元寬、高速、高頻寬邏輯驅動器及記憶體晶片之間的通訊,其包括一ESD電路、接收器及驅動器,且具有輸入電容或輸出電容可介於0.01pF與10pF之間、0.05pF與5pF之間、0.01pF與2pF之間,或小於10pF、5pF、3pF、2pF、1pF、0.5pF或0.1pF。
將經由對說明性實施例、隨附圖式及申請專利範圍之以下詳細描述的評述,使本發明之此等以及其他組件、步驟、特徵、效益及優勢變得明朗。
當以下描述連同隨附圖式一起閱讀時,可更充分地理解本發明之配置,該等隨附圖式之性質應視為說明性而非限制性的。該等圖式未必按比例繪製,而是強調本發明之原理。
圖式揭示本發明之說明性應用電路、晶片結構及封裝結構。其並未闡述所有應用電路、晶片結構及封裝結構。可另外或替代使用其他應用電路、晶片結構及封裝結構。為節省空間或更有效地說明,可省略顯而易見或不必要之細節。相反,可實施一些應用電路而不揭示所有細節。當相同數字出現在不同圖式中時,其係指相同或類似組件或步驟。
2:矽半導體基板
607:浮閘
608:閘極氧化物
610:P型MOS電晶體
620:N型MOS電晶體
630:開關
632:寄生電容
666:感測放大器
710:浮閘極
711:氧化閘
730:P型MOS電晶體
750:N型MOS電晶體
740:P型MOS電晶體
762、761、763、451、454:字元線
751、752、753、754、851、336:開關
755:寄生電容
764:P型MOS電晶體
808:浮閘極
830:P型MOS電晶體
850:N型MOS電晶體
840:N型MOS電晶體
855:寄生電容
200:FPGA IC晶片
100:半導體晶片
870:電阻式隨機存取記憶體
869:RRAM層
873:電阻層
20:第一交互連接線結構
14:保護層
6:交互連接線金屬層
4:半導體元件
871:電極
872:電極
12:介電層
398:SRAM記憶單元
875:不可編程的電阻
880:磁阻式隨機存取記憶體
879:MRAM層
881:電極
882:電極
883:磁阻層
884:反鐵磁層
885:鎖定磁性層
886:隧穿氧化物層
887:自由磁性層
8:金屬接墊或連接線
452、453:位元線
447、448、449、941、942、943、944、222、223、293、294、295、296、231、232、285、385、386:電晶體(或開關)
940、910、900、800、760、700、650、600、950:非揮發性記憶體單元
902、713、803、706、703、603:N型井
901、712、802、705、702、602:N型條帶
714、804、903、707、704、604:N型鰭
904、805、806、708、605:P型鰭
905、807、709、606:場氧化物
907:閘極層
906、809:閘極氧化物
908、911、912、914、915、916、917、918、919:金屬交互連接線
258、292:通過/不通過開關
379:交叉點開關
211:多工器
215、216、217、218、292:緩衝器
770、389、391、291、289、233、207、208、289、291、533、297、219、220:反相器
272:I/O接墊
273、373:靜電放電(ESD)保護電路
274、374:驅動器
275、375:接收器
341、203:I/O電路
282、283、382、383:二極體
281、381:節點
288、388:非或(NOR)閘
287、290、387、390、213、214:非及(NAND)閘
372:I/O金屬接墊
210:查找表(LUT)
201:可編程邏輯區塊(LB)
490、362、262、446:記憶體單元
212、234、235、236、237、239、253、344、345、347:及(AND)閘
238、242、342、343:互斥或(ExOR)閘
361、202:可編程交互連接線
364:固定交互連接線
502:晶片內交互連接線
209:晶片賦能(chip-enable(CE))接墊
226:輸入選擇(input selection(IS))接墊
372、77e、16、109、571:金屬接墊
228:輸出選擇接墊
229:時脈接墊
395、395a、395b:記憶體陣列區塊
279:繞道交互連接線
278:區域
455:連接區塊(CB)
456:區塊(SB)
276、277:開關陣列
2011、2012、2013、2014、2016:單元
2015:區塊內交互連接線
346:或(OR)閘
410:可編程交互連接(DPI)之積體電路(IC)晶片
423:記憶體矩陣區塊
206:接地接墊
265:專用於輸入/輸出(I/O)之晶片
300:邏輯驅動器
321:DRAM積體電路(IC)晶片
260:專用控制晶片
371:晶片間(INTER-CHIP)交互連接線
266:專用控制及I/O晶片
402:IAC晶片
267:DCIAC晶片
268:DCDI/OIAC晶片
250:非揮發性記憶體IC晶片
269、269a、269b:處理及/或計算(PC)積體電路(IC)晶片
324:揮發性(VM)積體電路(IC)晶片
251:高速高頻寬的記憶體(HBM)積體電路(IC)晶片
324:揮發性記憶體(VM)IC晶片
269c:TPU晶片
265:方塊
360:方塊
271:外部電路
315:資料匯流排
340:緩衝/驅動單元
337:控制單元
586:接合接點
453:位元條(bit-bar)線
12a:蝕刻停止層
24:銅金屬層
15、17、30、38、48、554、559、567、581、75:光阻層
15a、12d、17a、38a、97a、75a、30a、552a:溝槽或開孔
18、26、44、566a、81:黏著層
22、28、46、566b、83:種子層
12e:介電層
12g:SiOC層
12f、12h:停止層
12j:孔洞
32:金屬層
33:銲錫層/銲錫凸塊
34:金屬柱或凸塊
36:聚合物層
40、50:金屬層
27:交互連接線金屬層
42:聚合物層
42a、51a、48a、554a、553a、559a、36a、585a、567a、581a、97a、87a、12i、14a、552a:開口或孔洞
29:SISC
27b:金屬接墊、金屬線或連接線
51、42、565、585、97、87、318:聚合物層
27a、558、582、77a、10、568、85:金屬層(或金屬栓塞)
552:基板
553:光罩絕緣層
552b:表面
556、566、580、579:黏著/種子層
557:銅層
588:SISIP
561:交互連接線結構
551:中介載板
560:第一交互連接線結構(FISIP)
563:接合連接點
564、114:底部填充材料
569:銲錫球或凸塊
100a、551a、585b、582a、565a:背面
555:絕緣層
570:金屬柱或凸塊
573、574、575、576、577:交互連接線網路
371:晶片間交互連接線
578:焊錫凸塊
110:載體或基板
112:焊錫、焊膏或助焊劑
113:基板單元
79:背面金屬交互連接線結構(BISD)
77b:金屬線或連接線
77:交互連接線金屬層
583:金屬/銲錫凸塊
77c:金屬平面
77d:金屬平面
482:交互連接線
411、412、413、414、415、419、420、422:交互連接線網
461、462、463、464、465:內部驅動交互連接線
201:神經元、神經細胞或樹突(邏輯區塊)
481:樹突(交互連接線)
362-1、362-2、362-3、362-4:編程記憶體(PM)單元
490-1、490-2、490-3、490-4:記憶體(DM)單元
310:記憶體驅動器
322:非揮發性記憶體驅動器
323:揮發性記憶體驅動器
305:I/O連接埠
126:軟性基板或薄膜
325:焊錫球
330:桌上型或膝上型電腦或、手機或機械人
301:基頻處理器
302:應用處理器
304:電源管理
303:處理器
306:無線訊號通訊元件
307:顯示裝置
308:照相機
309:音頻裝置
312:乙太網路
311:鍵盤
313:電源管理晶片
586:接合連接點
587:路徑
317:記憶體IC晶片
590:雲端
591:資料中心
593:使用者裝置
592:互聯網或網路
圖式揭示本發明之說明性實施例。其並未闡述所有實施例。可另外或替代使用其他實施例。為節省空間或更有效地說明,可省略顯而易見或不必要之細節。相反,可實施一些實施例而不揭示所有細節。當相同數字出現在不同圖式中時,其係指相同或類似組件或步驟。
當以下描述連同隨附圖式一起閱讀時,可更充分地理解本發明之態 樣,該等隨附圖式之性質應視為說明性而非限制性的。該等圖式未必按比例繪製,而是強調本發明之原理。
第1A圖及第1D圖至第1H圖為本發明實施例中的第1類型的複數非揮發性記憶體單元電路圖。
第1B圖及第1C圖為本發明實施例在第1A圖中的第1類型的複數非揮發性記憶體單元之各種結構示意圖。
第2A圖及第2D圖至第2E圖為本發明實施例中的第二類型的複數非揮發性記憶體單元電路圖。
第2B圖及第2C圖為本發明實施例在第2A圖中的第二類型的複數非揮發性記憶體單元之各種結構示意圖。
第3A圖及第3D圖至第3U圖為本發明實施例中的第三類型的複數非揮發性記憶體單元電路圖。
第3B圖及第3C圖為本發明實施例在第3A圖中的第三類型的複數非揮發性記憶體單元之各種結構示意圖。
第3V圖及第3W圖為本發明實施例在第3U圖中的第三類型的複數非揮發性記憶體單元之各種結構示意圖。
第4A圖及第4D圖至第4S圖為本發明實施例中的第四類型的複數非揮發性記憶體單元電路圖。
第4B圖及第4C圖為本發明實施例在第4A圖中的第四類型的複數非揮發性記憶體單元之各種結構示意圖。
第5A圖、第5E圖及第5F圖為本發明實施例中的第五類型的複數非揮發性記憶體單元電路圖。
第5B圖至第5D圖為本發明實施例在第5A圖中的第五類型的複數非揮發性記憶體單元之各種結構示意圖。
第6A圖至第6C圖為本發明實施例中電阻式隨機存取記憶體(RRAM)之各種結構示意圖。
第6D圖為本發明實施例中電阻式隨機存取記憶體(RRAM)之各種狀態示意圖。
第6E圖為本發明實施例中的第六類型非揮發性記憶體單元的第一種替代方案之電路示圖。
第6F圖為本發明實施例中的第六類型的複數非揮發性記憶體單元的結構示意圖。
第6G圖為本發明實施例中的第六類型非揮發性記憶體單元的第二種替代方案之電路示圖。
第7A圖至第7D圖為本發明實施例中磁阻式隨機存取記憶體(MRAM)之各種結構示意圖。
第7E圖為本發明實施例中的第七類型非揮發性記憶體單元的第一種替代方案之電路示圖。
第7F圖為本發明實施例中的第七類型的複數非揮發性記憶體單元的結構示意圖。
第7G圖為本發明實施例中的第七類型非揮發性記憶體單元的第二種替代方案之電路示圖。
第7H圖為本發明實施例中的第七類型非揮發性記憶體單元的第三種替代方案之電路示圖。
第7I圖為本發明實施例中的第七類型的複數非揮發性記憶體單元的結構示意圖。
第7J圖為本發明實施例中的第七類型非揮發性記憶體單元的第四種替代方案之電路示圖。
第8圖為本發明實施例中6T SRAM單元的電路圖。
第9A圖為本發明實施例中的第一型鎖存非揮發性記憶單元電路示意圖。
第9B圖為本發明實施例第二型鎖存非揮發性記憶單元電路示意圖。
第9C圖至第9E圖為本發明實施例第9A圖中的第一型鎖存非揮發性記憶單元結合第六或第七類型的非揮發性記憶體單元的結構示意圖。
第10A圖至第10F圖為本發明實施例中各種類型的通過/不通過開關電路圖。
第11A圖至第11D圖為本發明實施例中各種類型的複數交叉點開關方塊圖。
第12A圖及第12C圖至第12L圖為本發明實施例中各種類型的複數多工器電路圖。
第12B圖為本發明實施例中多工器中的一三態緩衝器電路圖。
第13A圖為本發明實施例中大型I/O電路之電路圖。
第13B圖為本發明實施例中小型I/O電路之電路圖。
第14A圖為本發明實施例中可編程邏輯運算方塊示意圖。
第14B圖為本發明之OR閘極之示意圖。
第14C圖為本發明用於獲得一OR閘極的一查找表。
第14D圖為本發明之AND閘極之示意圖。
第14E圖為本發明用於獲得一AND閘極的一查找表。
第14F圖為本發明實施例中邏輯運算操作單元之電路圖。
第14G圖為本發明實施例中的第14B圖之邏輯運算操作單元的查找表(look-up table)。
第14H圖為本發明實施例計算操作器之方塊示意圖。
第14I圖為本發明實施例中的第14E圖之計算運算操作單元的查找表。
第14J圖為本發明實施例中計算運算操作單元之電路圖。
第15A圖至第15F圖為本發明實施例中複數可編程交互連接線經由通過/不通過開關或交叉點開關編程的方塊圖。
第16A圖至第16H圖為本發明實施例中標準商業化FPGA IC晶片各種佈置的上視圖。
第16I圖至第16J圖為本發明實施例中各種修復算法的方塊圖。
第16K圖為本發明實施例用於一標準商業化FPGA IC晶片的一可編程邏輯運算區塊之方塊示意圖。
第16L圖為本發明實施例加法器單元的電路示意圖。
第16M圖為本發明實施例用於加法器單元的一加法單元之電路示意圖。
第16N圖為本發明實施例乘法器單元的電路示意圖。
第17圖為本發明實施例中專用可編程交互連接線(dedicated programmable-interconnection,DPI)在積體電路(IC)晶片的方塊上視圖。
第18圖為本發明實施例中專用輸入/輸出(I/O)晶片的方塊上視圖。
第19A圖至第19N圖為本發明實施例中各種類型的邏輯驅動器佈置之上視圖。
第20A圖至第20B圖為本發明實施例中在邏輯驅動器中複數晶片之間的各種類型之連接的方塊圖。
第20C圖為本發明實施例用於一或複數個標準商業FPGA IC晶片及高頻寬記憶體(high bandwidth memory,HBM)晶片的方塊示意圖。
第21A圖至第21B圖為本發明實施例中用於資料加載至複數記體體單元的方塊圖。
第22A圖為本發明實施例中半導體晶圓剖面圖。
第22B圖至第22H圖為本發明實施例中以單一鑲嵌製程(single damascene process)形成第一交互連接線結構的剖面圖。
第22I圖至第22Q圖為本發明實施例中以雙鑲嵌製程(double damascene process)形成第一交互連接線結構的剖面圖。
第23A圖至第23K圖為本發明實施例中形成微型凸塊或微型金屬柱在一晶片上的製程剖面圖。
第24A圖至第24O圖為本發明實施例中形成第二交互連接線結構在一保護層上及形成複數微型金屬柱或微型凸塊在第二交互連接線金屬層上的製程剖面圖。
第25A圖至第25K圖為本發明實施例中形成具有第一型金屬栓塞的中介載板的製程剖面圖。
第25L圖至第25W圖為本發明實施例中形成多晶片位在中介載板(multi-chip-on-interposer(COIP))的邏輯驅動器的製程剖面圖。
第26A圖至第26M圖為本發明實施例中形成具有第二型金屬栓塞的中介載板之製程示意圖。
第26N圖至第26T圖為本發明實施例中形成多晶片位在中介載板(multi-chip-on-interposer(COIP))的邏輯驅動器的製程剖面圖。
第27A圖至第27B圖為本發明實施例中用於具有第一型金屬栓塞的中介載板中複數交互連接層之剖面示意圖。
第28A圖至第28B圖為本發明實施例中用於具有第二型金屬栓塞的中介載板中複數交互連接層之剖面示意圖。
第29A圖至29O圖為本發明實施例中形成具有複數封裝穿孔(金屬栓塞)的多晶片位在中介載板(multi-chip-on-interposer(COIP))的邏輯驅動器的製程剖面圖。
第30A圖至30C圖為本發明實施例中形成具有複數封裝穿孔(金屬栓塞)的多晶片位在中介載板(multi-chip-on-interposer(COIP))的邏輯驅動器的製程剖面圖。
第31A圖至第31F圖為本發明實施例中製造POP封裝之製程示意圖。
第32A圖至32E圖為本發明實施例中形成複數封裝穿孔(TPV)及微金屬凸塊在中介載板上之製程剖面示意圖。
第33A圖至33M圖為本發明實施例中形成形成具有背面金屬交互連接層結構的多晶片位在中介載板(multi-chip-on-interposer(COIP))的邏輯驅動器的製程示意圖。
第33N圖為本發明實施例中金屬平面的上視圖。
第34A圖至34D圖為本發明實施例中形成具有背面金屬交互連接層結構的多晶片位在中介載板(multi-chip-on-interposer(COIP))的邏輯驅動器的製程示意圖。
第35A圖為第35D圖為本發明實施例中在一COIP邏輯驅動器中複數交互連接線網(Net)之剖面示意圖。
第36A圖至36F圖為本發明實施例中製造POP封裝之製程示意圖。
第37A圖至37C圖為本發明實施例中複數邏輯驅動器的複數連接(connections)在POP封裝中的剖面示意圖。
第38A圖至第38B圖為本發明實施例中複數邏輯區塊之間的交互連接線從人類神經系統中模擬的概念圖。
第38C圖為本發明實施例中可重新配置之可塑性或彈性及/或整體性的結構示意圖。
第38D圖為本發明實施例中的第8事件E8的可塑性或彈性及/或整體性的結構示意圖。
第39A圖至第39K圖為本發明實施例中POP封裝的複數種組合用於邏輯運算及記憶體驅動器的示意圖。
第39L圖為本發明實施例中複數POP封裝的上視圖,其中第32K圖係沿著切割線A-A之剖面示意圖。
第40A圖至第40C圖為本發明實施例中邏輯運算及記憶體驅動器的各種應用之示意圖。
第41A圖至第41F圖為本發明實施例中各種商業化標準記憶體驅動器之上視圖。
第42A圖至第42E圖為本發明實施例中數種用於COIP邏輯及記憶體驅動器各種封裝之剖面示意圖。
第42F圖至第42G圖為本發明實施例中數種用於具有一或多個記憶體IC晶片的COIP邏輯驅動器各種封裝之剖面示意圖。
第43圖為本發明實施例複數個資料中心與複數個使用者之間的網路方塊示意圖。
雖然在圖式中已描繪某些實施例,但熟習此項技術者應瞭解,所描繪之實施例為說明性的,且可在本發明之範疇內構想並實施彼等所示實施例之變化以及本文所述之其他實施例。
非揮發性記憶體(NVM)單元說明
(1)第1種類型的非揮發性記憶體(NVM)單元
第1A圖繪示本發明一實施例中的第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元之電路圖說明,第1B圖為本發明實施例第一種類型非揮發性記憶體(NVM)單元的結構示意圖,如第1A圖及第1B圖所示,第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元600(也就是浮閘CMOS NVM單元)可形成在一P型或N型矽半導體基板2(例如是矽基板)上,在此實施例,非揮發性記憶體(NVM)單元600可提供一P型矽基板(半導體基板)2耦接接地參考電壓Vss,此第1類型的非揮發性記憶體(NVM)單元600可包括:一N型條帶帶(stripe)602,形成在P型矽半導體基板2內之N型井(well)603及一垂直凸出於N型井603之頂部表面的N型鰭(fin)604,其中N型井603之深度dw介於0.3微米(μm)至5μm之間且其寬度ww介於50奈米(nm)至1μm之間,而N型鰭604之高度hfN介於10nm至200nm之間且其寬度wfN介於1nm至100nm之間;(2)一P型鰭605垂直地凸出於P型矽半導體基板2上,其中P型鰭605之高度hfP介於10nm至200nm之間及其寬度wfP介於1nm至100nm之間,其中N型鰭604與P型鰭605之間具有一距離(space)介於100nm至2000nm之間。
(3)一場氧化物(field oxide)606在P型矽半導體基板2上,此場氧化物606例如是氧化矽,其中場氧化物606可之厚度to介於20nm至500nm之間。
(4)一浮閘(floating gate)607橫向從N型鰭604延伸至P型鰭605延伸形成在場氧化物606上,其中浮閘極607例如是多晶矽、鎢、氮化鎢、鈦、氮化鈦、鉭、氮化鉭、含銅金屬、含鋁金屬或其它導電金屬,其中浮閘極607之寬度wfgN大於P型鰭605,例如大於或等於其在N型鰭604上的寬度wfgP,其中在P型鰭605上的寬度wfgN相對於N型鰭604上的寬度wfgP介於1至10倍之間或介於1.5倍至5倍之間,例如,等於N型鰭604上的寬度wfgP2倍,其中N型鰭604上的寬度wfgP係介於1nm至25nm之間,而在P型鰭605上的寬度wfgN可介於1至25nm之間。
(5)一閘極氧化物608從N型鰭604延伸至P型鰭605延伸形成在場氧化物606上,其中閘極氧化物608之厚度例如介於1nm至5nm之間,且閘極氧化物608位在浮閘極607與N型鰭604之間、浮閘極607與P型鰭605之間及浮閘極607與場氧化物606之間,此閘極氧化物608例如是氧化矽、含鉿氧化物(hafnium-containing oxide)、含鋯氧化物(zirconium-containing oxide)或含鈦氧化物(titianium-containing oxide)。
另外,第1C圖為本發明實施例第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元的結構,第1C圖與第1B圖中以相同數字代表的元件,第1C圖所示的元件規格及說明可參考第1B圖所揭露之規格及說明,第1B圖與第1C圖之間之差異如下所示,如第1C圖所示,多個相互平行的P型鰭605垂直凸出P型矽半導體基板2上,其中每一P型鰭605大致上具有相同的高度hfP,例如可介於10nm至200nm之間,且大致上具有相同的寬度wfP,例如可介於1nm至100之間,其中複數p型鰭605的組合可用於N型鰭式場效電晶體(FinFET),N型鰭604與位在N型鰭604旁邊的P型鰭605之間的間距s1可介於100nm與2000nm之間,二相鄰P型鰭605之間的間距s2,例如可介於2nm至200nm之間,P型鰭605的數目可介於1個至10個之間,在本實施例中例如為2個,浮閘極607可從N型鰭604至P型鰭605橫向延伸在場氧化物606上,其中浮閘極607垂直地位在N型 鰭604上方之一第一總面積A1可大於或等於垂直地位在N型鰭604上方第二總面積A2的1倍至10倍或1.5位至5倍,例如等於2倍的第二總面積,其中第一總面積A1可介於1至2500nm2,而第二總面積A2可介於1至2500nm2
如第1A圖至第1C圖,N型鰭604可摻雜P型原子,例如是硼原子,以形成2個P+部在閘極氧化物608的相對二側之N型鰭604內,分別構成P型MOS電晶體610的通道二端,其中N型鰭604的硼原子的濃度可大於P型矽半導體基板2中的硼原子濃度。每一P型鰭605可摻雜N型原子,例如是砷原子,以形成2個N+部在閘極氧化物608的相對二側之P型鰭605內,分別構成N型金屬氧化物半導體(MOS)電晶體610的通道二端,位於閘極氧化物608一側的一或多個P型鰭605中多個N+部可相互耦接,以構成P型MOS電晶體620的通道的一端,而位於閘氧化物608之另一側的一或多個P型鰭605中多個N+部可相互耦接,以構成N型金屬氧化物半導體(MOS)電晶體620之通道的另一端。上述一或多個P型鰭605中的每一砷原子濃度可大於N型井603中砷原子濃度,因此,N型MOS電晶體620的電容可大於或等於P型MOS電晶體610的電容,N型MOS電晶體620的電容為P型MOS電晶體610電容1倍至10倍之間或1.5倍至5倍之間,N型MOS電晶體620的電容例如係P型MOS電晶體610的2倍,N型MOS電晶體620的電容係介於0.1aF至10fF之間,而P型MOS電晶體610的電容係介於0.1aF至10fF之間。
如第1A圖至第1C圖所示,浮閘極607耦接至P型MOS電晶體610的閘極端,也就是FG P-MOS電晶體,及耦接至N型MOS電晶體620的閘極端,也就是FG N-MOS電晶體,用以捕獲其中的電子,P型MOS電晶體610可形成一通道,其一端耦接至N型條帶(stripe)602連接之節點N3,而其另一端點耦接至節點N0,N型MOS電晶體620可形成一通道,其一端耦接至P型矽半導體基板2連接之節點N4,而其另一端點耦接至節點N0。
如第1A圖至第1C圖所示,當浮閘極607在抺除時,(1)節點N3係耦接至己切換成抺除電壓VEr,的N型條帶602;(2)節點N4係耦接至處在接地參考電壓Vss的P型矽半導體基板2及(3)節點N0係切換成浮空狀態(floating),由於P型MOS電晶體610的閘極電容小於N型MOS電晶體620的閘極電容,使得浮閘極607與節點N3之間的電壓差大到足夠引起電子穿隧,因此陷入在浮閘極607中的電子可穿過閘極氧化物608至節點N3,從而浮閘極607可被抺除至邏輯值”1”。
如第1A圖至第1C圖所示,在第一型非揮發性記憶體(NVM)單元600抹除之後,浮閘極607可充電至邏輯值”1”而開啟N型MOS電晶體620及關閉P型MOS電晶體610,在此情形下,當浮閘極607被編程時,(1)節點N3係耦接至己切換成編程電壓VPr的N型條帶602;(2)節點N0可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(3)節點N4耦接至處在接地參考電壓Vss的P型矽半導體基板2,因此,電子可從節點N4經由通過N型MOS電晶體620的通道至節點N0,此時該些電子中的一些熱電子可經由閘極氧化物608跳躍或注入至浮閘極607以補獲在浮閘極607之中,使浮閘極607被編程成邏輯值”0”。
如第1A圖至第1C圖所示,在非揮發性記憶體(NVM)單元的操作時,(1)節點N3耦接至己切換成電源供應電壓Vcc的N型條帶602;(2)節點N4係耦接至處在接地參考電壓Vss的P型矽半導體基板2;及(3)節點N0可切換至作為第二型非揮發性記憶體(NVM)單元 650的輸出端,當浮閘極607充電為邏輯值”1”時,可關閉P型MOS電晶體610並開啟N型MOS電晶體620,此時P型矽半導體基板2為接地參考電壓Vss,使節點N0經由N型MOS電晶體620的通道切換以作為非揮發性記憶體(NVM)單元600的輸出端,節點N0係處在邏輯值”0”,當浮閘極607放電為邏輯值”0”時,可開啟P型MOS電晶體610,且關閉N型MOS電晶體620,而使N型條帶602所耦接的節點N3(己切換成電源供應電壓Vcc)經由P型MOS電晶體610的通道耦接至節點N0,此節點N0切換以作為非揮發性記憶體(NVM)單元600的輸出端,因此,節點N0係處在邏輯值”1”。
另外,第1D圖為本發明實施例第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元的電路示意圖,第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元的抺除、編程及操作可參考上述第1A圖至第1C圖之說明,第1A圖至第1D圖中以相同數字代表的元件,第1D圖相同數字的元件規格及說明可參考第1A圖至第1C圖所揭露之規格及說明,其中它們之間的差異如下所示,如第1D圖所示,第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元600更可包括一開關630在P型MOS電晶體610的汲極端點(在操作時)與節點N0之間,此開關630例如是一開關(N型MOS電晶體)630,此開關(N型MOS電晶體)630可用於形成一通道,此通道一端耦接至P型MOS電晶體610的汲極端(在操作時)而通道的另一端耦接至節點N0,當第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元600在抹除時,開關(N型MOS電晶體)630的閘極端切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss而關閉其通道,而使節點N0斷開P型MOS電晶體610的汲極端(在操作時),因此可防止電流從P型MOS電晶體610的汲極端(在操作時)至節點N0洩漏,當第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元600在編程時,開關(N型MOS電晶體)630的閘極端可切換成(或耦接至)編程電壓VPr開啟其通道,而使P型MOS電晶體610的汲極端(在操作時)耦接至己切換成編程電壓VPr的節點N0,其中節點N0當第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元600操作時,開關(N型MOS電晶體)630的閘極端切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc開啟其通道而耦接P型MOS電晶體610的汲極端(在操作時)至節點N0,以作為第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元600的輸出端。
另外,第1E圖為本發明實施例中的第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元600之電路示意圖,第1E圖中的第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元的抺除、編程及操作可參考上述第1A圖至第1D圖之說明,第1A圖至第1E圖以相同數字代表的元件,第1E圖相同數字的元件規格及說明可參考第1A圖至第1D圖所揭露之規格及說明,其中它們之間的差異如下所示,如第1E圖所示,第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元600更包括一寄生電容(parasitic capacitor)632,此寄生電容632具有一第一端點耦接至浮閘極607及一第二端點耦接至電源供應電壓Vcc或耦接至一接地參考電壓Vss,寄生電容632之電容大於P型MOS電晶體610的閘極電容及大於N型MOS電晶體620的閘極電容,例如,寄生電容632的電容可等於P型MOS電晶體610閘極電容1至1000倍之間,以及等於N型MOS電晶體620閘極電容1至1000倍之間,此寄生電容632的電容範圍可位在0.1aF至1pF之間,因此多的電荷或電子可儲存在浮閘極607之中。
另外,第1F圖為本發明實施例第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元之電路示意圖,第1B圖、第1C圖及第1F圖以相同數字代表的元件,第1F圖相同數字的元件規格及說明可參考第1B圖及第1C圖所揭露之規格及說明,其中它們之間的差異如下所示,如第1F圖所示,對於第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元600,其本身的P型MOS電晶體610係用於形成一通道,此通道具有二端點耦接至節點N3,第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元600更包括一開 關630(例如是N型MOS電晶體)位在節點N3與節點N0之間,開關(N型MOS電晶體)630可用於形成一通道,此通道的一端耦接至節點N3而通道的另一端耦接至節點N0,此通道與非揮發性記憶體(NVM)單元600連接,將節點N0係切換成浮空狀態(floating),如第1I圖所示,第1I圖為本發明實施例之感測放大器的電路示意圖,在操作時,(1)節點N0切換成(或耦接至)感測放大器666的節點N31;(2)感測放大器666之一節點N32切換成(或耦接至)一參考線;及(3)感測放大器666具有複數節點SAENb切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以啟動感測放大器666,此感測放大器666可將節點N31的電壓與節點N2的電壓比較而產生一比較資料,然後依據比較資料產生非揮發性記憶體(NVM)單元600的一輸出”Out”。
如第1F圖所示,當浮閘極607在抹除時,(1)節點N3耦接至己切換成抺除電壓VEr的N型條帶602;(2)節點N4耦接至處於接地參考電壓Vss下的P型矽半導體基板2;(3)節點N0係切換成浮空狀態(floating),開關(N型MOS電晶體)630的閘極端可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss而關閉本身之通道,而斷開節點N0與節點N3之間的連接,由於P型MOS電晶體610的閘極電容小於N型MOS電晶體620的閘極電容,使得浮閘極607與節點N3之間的電壓差大到足夠引起電子穿隧。因此,陷入在(或被捕獲)在浮閘極607中的電子可穿過閘極氧化物608至節點N3,使得浮閘極607可被抺除至邏輯值”1”。
如第1F圖所示,在第一型非揮發性記憶體(NVM)單元600抹除之後,浮閘極607可充電至邏輯值”1”而開啟N型MOS電晶體620及關閉P型MOS電晶體610,在此情形下,當浮閘極607被編程時,(1)節點N3係耦接至己切換成編程電壓VPr的N型條帶602;(2)節點N4耦接至處於接地參考電壓Vss下的P型矽半導體基板2;及(3)節點N0可切換成(或耦接至)編程電壓VPr,開關(N型MOS電晶體)630的閘極端可切換成(或耦接至)編程電壓VPr而開啟通道耦接節點N3至節點N0,因此電子可從節點N4經由通過N型MOS電晶體620的通道至節點N0及節點N3,此時該些電子中的一些熱電子可包括從經由閘極氧化物608跳躍或注入至浮閘極607以補獲在浮閘極607之中的電子,使得浮閘極607可被編程成一邏輯值”0”。
如第1F圖所示,第1類型的非揮發性記憶體(NVM)單元600之操作時,(1)節點N3耦接至N型條帶602切換至耦接電源供應電壓Vcc及(2)節點N4耦接至處於接地參考電壓Vss下的P型矽半導體基板2,此開關(N型MOS電晶體)630的閘極端可切換成(或耦接至)接地參考電壓並關閉其通道,從節點N0斷開與節點N3的連結,節點N0首先切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以預先預充電至邏輯值”1”,此時,N型MOS電晶體620可被開啟其通道,使在接地參考電壓Vss下之節點N4至耦接至節點N0,使節點N0的邏輯值可從”1”變成”0”,此時,N型MOS電晶體620可關閉其通道以從節點N0斷開位在接地參考電壓Vss的節點N4之間的連接,節點N0的邏輯值可被保持在”1”,接著,節點N0切換成(或耦接至)如第1I圖所示的感測放大器666的節點N31,感測放大器666可比較位在節點N0之電壓(即第1I圖所示的節點N31)與位在參考線的一電壓(即第1I圖所示的節點N32)而產生一比較資料,然後依據比較資料產生非揮發性記憶體(NVM)單元的輸出”Out”,例如,當位在邏輯電壓”0”的節點N31之電壓經由感測放大器666比較小於節點N32的電壓時,感測放大器666可在邏輯值”0”產生輸出”Out”,當位在邏輯值”1”節點N31之電壓經由感測放大器666比較大於節點N32的電壓,感測放大器666可在輯值”1”產生輸出”Out”。
另外,如第1F圖所示,開關630可以係一P型MOS電晶體用於形成一通道, 此通道的一端耦接節點N3,而其它端耦接至節點N0,第1F圖中的第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元600抺除、編程及操作可參考上述說明所示,其差異如下所示:當第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元600進行抺除時,開關(P型MOS電晶體)630的閘極端切換成(或耦接至)抺除電壓VEr而使節點N0關閉其通道,而斷開節點N3及節點N0之間的連接,當第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元600在編程時,開關(P型MOS電晶體)630的閘極端可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss開啟其通道,而使節點N3耦接至節點N0,其中節點N0切換成(或耦接至)編程電壓VPr,當第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元600操作時,開關(N型MOS電晶體)630的閘極端切換成(或耦接至)電源供應電壓Vss關閉其通道,而斷開節點N3與節點N0之連接。
另外,第1G圖為本發明實施例第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元之電路示意圖,第1A圖至第1C圖、第1E圖及第1G圖以相同數字代表的元件,第1F圖相同數字的元件規格及說明可參考第1A圖至第1C圖所揭露之規格及說明,第1E圖與第1G圖之間的差異如下所示,如第1G圖所示,第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元600具有其浮閘極607,在操作時在節點N1用作為本身之輸出,其本身的P型MOS電晶體610用於形成一通道,此通道具有二端耦接至節點N3,其中N型條帶602耦接節點N3及其N型MOS電晶體620,用於形成一通道,此通道一端耦接節點N0而通道的另一端耦接節點N4z,在本實施例,在節點N0與節點N3之間不會形成物理性之導電路徑。
如第1G圖所示,當浮閘極607在抹除時,(1)節點N3耦接至己切換成抺除電壓VEr的N型條帶602;(2)節點N4耦接至處於接地參考電壓Vss下的P型矽半導體基板2;(3)將節點N0係切換成浮空狀態(floating),由於P型MOS電晶體610的閘極電容小於N型MOS電晶體620的閘極電容,使得浮閘極607與節點N3之間的電壓差大到足夠引起電子穿隧。因此,陷入在(或被捕獲)在浮閘極607中的電子可穿過閘極氧化物608至節點N3,使得浮閘極607可被抺除至邏輯值”1”,在操作時在節點N1處作為非揮發性記憶體(NVM)單元600的輸出。
如第1G圖所示,在第一型非揮發性記憶體(NVM)單元600抹除之後,浮閘極607可充電至邏輯值”1”而開啟N型MOS電晶體620及關閉P型MOS電晶體610,在此情形下,當浮閘極607被編程時,(1)節點N3係耦接至己切換成編程電壓VPr的N型條帶602;(2)節點N0可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以及(3)N4耦接至處於接地參考電壓Vss下的P型矽半導體基板2;因此電子可從節點N4經由通過N型MOS電晶體620的通道至節點N0及節點N3,此時該些電子中的一些熱電子可包括從經由閘極氧化物608跳躍或注入至浮閘極607以補獲在浮閘極607之中的電子,而使得浮閘極607可被編程成一邏輯值”0”,在操作時在節點N1作為非揮發性記憶體(NVM)單元600的輸出。
另外,第1H圖為本發明實施例中的第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元600之電路示意圖,第1A圖至第1C圖、第1E圖及第1H圖中以相同數字代表的元件,第1H圖相同數字的元件規格及說明可參考第1A圖至第1C圖及第1E圖所揭露之規格及說明,其中第1E圖與第1H圖中的電路之差異如下所示,如第1H圖所示,第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元600的P型MOS電晶體610用於形成一通道,此通道的二端耦接至節點N3,其中N型條帶602耦接節點N3,以及其本身的N型MOS電晶體620用於形成一通道,此通道一端耦接節點N3,以及其它端耦接節點N0,在此案例下,在節點N0與節點N3之間沒有物理性的導電路 徑,P型矽半導體基板2耦接至節點N4,此通道與非揮發性記憶體(NVM)單元600之連接,將節點N0係切換成浮空狀態(floating)或如第1I圖所示之感測放大器666可切換成”斷開”,在操作時,(1)節點N0切換成(或耦接至)感測放大器666的節點N31;(2)感測放大器666之一節點N32切換成(或耦接至)一參考線;及(3)感測放大器666具有複數節點SAENb切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以啟動感測放大器666,此感測放大器666可將節點N31的電壓與節點N2的電壓比較而產生一比較資料,然後依據比較資料產生非揮發性記憶體(NVM)單元600的一輸出”Out”。
如第1H圖所示,當浮閘極607在抹除時,(1)節點N3耦接至抺除電壓VEr的N型條帶602;(2)節點N4耦接至處於接地參考電壓Vss下的P型矽半導體基板2;(3)將節點N0係切換成浮空狀態(floating),由於P型MOS電晶體610的閘極電容小於N型MOS電晶體620的閘極電容,使得浮閘極607與節點N3之間的電壓差大到足夠引起電子穿隧。因此,陷入在(或被捕獲)在浮閘極607中的電子可穿過閘極氧化物608至節點N3,使得浮閘極607可被抺除至邏輯值”1”。
如第1H圖所示,在第一型非揮發性記憶體(NVM)單元600抹除之後,浮閘極607可充電至邏輯值”1”而開啟N型MOS電晶體620及關閉P型MOS電晶體610,在此情形下,當浮閘極607被編程時,(1)節點N3耦接至己切換成編程電壓VPr的N型條帶602;(2)節點N0可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以及(3)N4耦接至處於接地參考電壓Vss下的P型矽半導體基板2;因此電子可從節點N4經由通過N型MOS電晶體620的通道至節點N0及節點N3,此時該些電子中的一些熱電子可包括從經由閘極氧化物608跳躍或注入至浮閘極607以補獲在浮閘極607之中的電子,而使得浮閘極607可被編程成一邏輯值”0”。
如第1H圖所示,第1類型的非揮發性記憶體(NVM)單元600之操作時,(1)節點N3耦接至N型條帶602切換至耦接電源供應電壓Vcc及(2)節點N4耦接至處於接地參考電壓Vss下的P型矽半導體基板2,此節點N0切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以預先預充電至邏輯值”1”,此時,N型MOS電晶體620可被開啟其通道,使在接地參考電壓Vss下之節點N4至耦接至節點N0,使節點N0的邏輯值可從”1”變成”0”,此時,N型MOS電晶體620可關閉其通道以從節點N0斷開位在接地參考電壓Vss的節點N4之間的連接,節點N0的邏輯值可被保持在”1”,接著,節點N0切換成(或耦接至)如第1I圖所示的感測放大器666的節點N31,感測放大器666可比較位在節點N0之電壓(即第1I圖所示的節點N31)與位在參考線的一電壓(即第1I圖所示的節點N32)而產生一比較資料,然後依據比較資料產生非揮發性記憶體(NVM)單元的輸出”Out”,例如,當位在邏輯電壓”0”的節點N31之電壓經由感測放大器666比較小於節點N32的電壓時,感測放大器666可在邏輯值”0”產生輸出”Out”,當位在邏輯值”1”節點N31之電壓經由感測放大器666比較大於節點N32的電壓,感測放大器666可在輯值”1”產生輸出”Out”。
第1A圖至第1H圖中的第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元600,其抺除電壓VEr可大於或等於編程電壓VPr,而編程電壓VPr可大於或等於電源供應電壓Vcc,抺除電壓VEr的範圍在5伏特至0.25伏特之間的電壓,編程電壓VPr的範圍在5伏特至0.25伏特之間的電壓,電源供應電壓Vcc的範圍在3.5伏特至0.25伏特之間的電壓,例如是0.75伏特或3.3伏特。
(2)第2類型非揮發性記憶體(NVM)單元
另外,第2A圖為本發明實施例中的第二型非揮發性記憶體(NVM)單元650電 路示意圖,第2B圖為本發明實施例中的第二型非揮發性記憶體(NVM)單元650(即可浮閘CMOSNVM單元)的結構示意圖,在此實施例中,第2A圖及第2B圖中的第二型非揮發性記憶體(NVM)單元650係類似於第1A圖及第1B圖所示之第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元600,並可參考關於第1A圖及第1B圖的說明。第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元600與第二型非揮發性記憶體(NVM)單元650之間的不同點係如下所述,如第2A圖及第2B圖所示,浮閘極607的寬度wfgN小於或等於寬度wfgP,對於第1B圖及第2B圖中以相同數字代表的元件,其在第2B圖中的元件規格及說明可參考上述第1B圖所示的元件規格及說明,如第2B所示,在N型鰭604上方的寬度wfgP為P型鰭605上方的寬度wfgN的1倍至10倍之間或係1.5倍至5倍之間,例如,N型鰭604上方的寬度wfgP為2倍的P型鰭605上方的寬度wfgN,其中N型鰭604上方的寬度wfgP的範圍為1nm至25nm之間,而P型鰭605上方的寬度wfgN的範圍為1nm至25nm之間。
另外,如第2C圖所示,複數平行N型鰭604垂直地凸出形成在N型井603上,其中每一或多個N型鰭604大致上具有相同的高度hfN,例如可介於10nm至200nm之間,及大致上具有相同的寬度wfN,例如可介於1nm至100nm之間,其中N型鰭604組合可用於P型鰭式場效電晶體(FinFET),第2C圖為本發明實施例第2類型非揮發性記憶體(NVM)單元結構示意圖,第1B圖、第1C圖及第2C圖中以相同數字代表的元件,第2C圖相同數字的元件規格及說明可參考第1B圖及第1C圖所揭露之規格及說明,其中二者之間的差異如下所示,如第2C圖所示,二相鄰N型鰭604之間的間距s6例如可介於2nm至200nm之間,N型鰭604的數目可介於1個至10個之間,在本實施例中例如為2個,浮閘極607可從N型鰭604至P型鰭605橫向延伸位在場氧化物606上,其中浮閘極607垂直地位在P型鰭605上方之第三總面積A3可小於或等於垂直地位在N型鰭604上方之第四總面積A4的1倍至10倍或1.5位至5倍,例如等於2倍的第三總面積A3,其中第三總面積A3可介於1至2500nm2,而第四總面積A4可介於1至2500nm2。每一或多數N型鰭604可摻雜P型原子,例如是硼原子,以形成2個P+部在閘極氧化物608的相對二側之每一或多個N型鰭604內,位於閘極氧化物608一側的一或多個N型鰭604中多個P+部可相互耦接,以構成P型金屬氧化物半導體(MOS)電晶體610(即是FG P-MOS)的通道之另一端,以及位在閘極氧化物608其它側的一或多數N型鰭604中的複數P+部可相互耦接,以構成P型MOS電晶體610之通道的另一端,一或多個N型鰭604中的每一硼原子濃度可大於P型矽半導體基板2中硼原子濃度,P型鰭605可摻雜N型原子,例如砷原子,形成二N+部在閘極氧化物608的相對二側的P型鰭605內,分別構成N型金屬氧化半導體(MOS)電晶體620(即是FG N-MOS電晶體)的一通道的二端,其中每一P型鰭605中的砷原子的濃度可大於N型井603中的砷原子的濃度,因此,P型MOS電晶體610的電容可大於或等於N型MOS電晶體620的電容,P型MOS電晶體610的電容為N型MOS電晶體620電容1倍至10倍之間或1.5倍至5倍之間,例如P型MOS電晶體610的電容例如係N型MOS電晶體620的2倍,N型MOS電晶體620的電容係介於0.1aF至10fF之間,而P型MOS電晶體610的電容係介於0.1aF至10fF之間。
如第2A圖至第2C圖所示,對於第一方面,當浮閘極607在抹除時,(1)節點N4可切換成(或耦接至)抺除電壓VEr;(2)節點N3耦接至己切換成接地參考電壓Vss的N型條帶602;(3)將節點N0係切換成浮空狀態(floating),由於N型MOS電晶體620的閘極電容小於P型MOS電晶體610的閘極電容,使得浮閘極607與節點N4之間的電壓差大到足夠引起電子 穿隧。因此,陷入在(或被捕獲)在浮閘極607中的電子可穿過閘極氧化物608至節點N4,使得浮閘極607可被抺除至邏輯值”1”。
對於第二方面,當浮閘極607在抹除時,(1)節點N0可切換成(或耦接至)抺除電壓VEr;(2)節點N3係耦接至己切換成接地參考電壓Vss的N型條帶602;(3)將節點N4係切換成浮空狀態(floating),由於N型MOS電晶體620的閘極電容小於P型MOS電晶體610的閘極電容,所以浮閘極607與節點N0之間的電壓差大到足夠引起電子穿隧。因此,陷入在(或被捕獲)在浮閘極607中的電子可穿過閘極氧化物608至節點N0,使得浮閘極607可被抺除至邏輯值”1”。
對於第三方面,當浮閘極607在抹除時,(1)節點N0及節點N4可切換成(或耦接至)抺除電壓VEr;(2)節點N3耦接至己切換成接地參考電壓Vss的N型條帶602,由於N型MOS電晶體620的閘極電容小於P型MOS電晶體610的閘極電容,使得浮閘極607與節點N0之間的電壓差大到足夠引起電子穿隧。因此,陷入在(或被捕獲)在浮閘極607中的電子可穿過閘極氧化物608至節點N0及/或節點N4,使得浮閘極607可被抺除至邏輯值”1”。
如第2A圖至第2C圖所示,在非揮發性記憶體(NVM)單元650抹除之後,浮閘極607可充電至邏輯值”1”而開啟N型MOS電晶體620及關閉P型MOS電晶體610,在此情形下,對於第一種方面,當浮閘極607被編程時,(1)節點N3耦接至己切換成編程電壓VPr的N型條帶602;(2)節點N4耦接至接地參考電壓Vss;及(3)將節點N0係切換成浮空狀態(floating),由於N型MOS電晶體620的閘極電容小於P型MOS電晶體610的閘極電容,使得浮閘極607與節點N4之間的電壓差大到足夠引起電子穿隧。因此,在節點N4的電子可穿過閘極氧化物608至浮閘極607中而陷入在(或被捕獲)在浮閘極607中,而使得浮閘極607可被抺除至邏輯值”0”。
對於第二種方面,當浮閘極607被編程時,(1)節點N3係耦接至己切換成編程電壓VPr的N型條帶602;(2)節點N0可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以及(3)將節點N4係切換成浮空狀態(floating),由於N型MOS電晶體620的閘極電容小於P型MOS電晶體610的閘極電容,使得浮閘極607與節點N0之間的電壓差大到足夠引起電子穿隧。因此,在節點N0的電子可穿過閘極氧化物608至浮閘極607中而陷入在(或被捕獲)在浮閘極607中,而使得浮閘極607可被編程至(並儲存為)邏輯值”0”。
對於第三種方面,當浮閘極607被編程時,(1)節點N3係耦接至己切換成編程電壓VPr的N型條帶602;(2)節點N0及節點N4可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,由於N型MOS電晶體620的閘極電容小於P型MOS電晶體610的閘極電容,使得浮閘極607與節點N0之間或浮閘極607與節點N4之間的電壓差大到足夠引起電子穿隧。因此,在節點N0及節點N4的電子可穿過閘極氧化物608至浮閘極607中而陷入在(或被捕獲)在浮閘極607中,而使得浮閘極607可被編程至(並儲存為)邏輯值”0”。
如第2A圖至第2C圖所示,在非揮發性記憶體(NVM)單元650的操作時,(1)節點N3可係耦接至己切換成處於電源供應電壓Vcc的N型條帶602;(2)節點N4可切換成接地參考電壓Vss;及(3)節點N0可切換至作為第二型非揮發性記憶體(NVM)單元650的輸出端,當浮閘極607充電為邏輯值”1”時,可關閉P型MOS電晶體610並開啟N型MOS電晶體620,而使節點N0耦接切換成接地參考電壓的節點N4,此節點N0經由N型MOS電晶體620的通道切 換成作為非揮發性記憶體(NVM)單元650的輸出端,節點N0係處在邏輯值”0”,此時,可關閉P型MOS電晶體610,且N型MOS電晶體620可被關閉,而使N型條帶602所耦接的節點N3(己切換成電源供應電壓Vcc)經由P型MOS電晶體610的通道耦接至節點N0,此節點N0切換以作為非揮發性記憶體(NVM)單元600的輸出端,因此,節點N0係處在邏輯值”1”。
另外,第2D圖為本發明實施例第2類型非揮發性記憶體(NVM)單元的電路示意圖,第2類型非揮發性記憶體(NVM)單元的抺除、編程及操作可參考上述第2A圖至第2C圖之說明,第2A圖至第2D圖以相同數字代表的元件,第2D圖相同數字的元件規格及說明可參考第2A圖至第2C圖所揭露之規格及說明,其中它們之間的差異如下所示,如第2D圖所示,第2類型非揮發性記憶體(NVM)單元650更可包括開關630在P型MOS電晶體610的汲極端點(在操作時)與節點N0之間,此開關630例如是一開關(N型MOS電晶體)630,此開關(N型MOS電晶體)630可用於形成一通道,此通道一端耦接至P型MOS電晶體610的汲極端(在操作時)而通道的另一端耦接至節點N0,當第2類型非揮發性記憶體(NVM)單元650對於上述第1種方面、第2種樣方面及第3種方面在抹除時,開關(N型MOS電晶體)630的閘極端切換成接地參考電壓Vss而關閉其通道,而使節點N0斷開P型MOS電晶體610的汲極端(在操作時),因此可防止電流經P型MOS電晶體610的通道時從節點N0至節點N3洩漏,及/或防止電流經N型MOS電晶體620及P型MOS電晶體610的通道時從節點N4至節點N3洩漏,當第2類型非揮發性記憶體(NVM)單元650的第1種方面、第2種方面及第3種方面編程時,開關(N型MOS電晶體)630的閘極端可切換成(或耦接至)接地參數電壓Vss關閉其通道,而使節點N0斷開P型MOS電晶體610的汲極端(在操作時),因此可防止電流經P型MOS電晶體610的通道時從節點N3至節點N0洩漏,及/或防止電流經P型MOS電晶體610及N型MOS電晶體620的通道時從節點N3至節點N4洩漏,當第2類型非揮發性記憶體(NVM)單元650操作時,開關(N型MOS電晶體)630的閘極端切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc開啟其通道而耦接P型MOS電晶體610的汲極端(在操作時)至節點N0。
另外,如第2D圖所示,開關630可以係一P型MOS電晶體用於形成一通道,此通道的一端耦接P型MOS電晶體610的汲極端(在操作中),而其它端耦接至節點N0,當第2類型非揮發性記憶體(NVM)單元650對於上述第1種樣式、第2種樣式及第3種樣式進行抺除時,開關(P型MOS電晶體)630的閘極端切換成抺除電壓VEr而使節點N0關閉其通道,而斷開P型MOS電晶體610的汲極端,因此可防止電流經P型MOS電晶體610的通道時從節點N0至節點N3洩漏,及/或防止電流經N型MOS電晶體620及P型MOS電晶體610的通道時從節點N4至節點N3洩漏,當第2類型非揮發性記憶體(NVM)單元650的第1種方面、第2種方面及第3種方面在編程時,開關(P型MOS電晶體)630的閘極端可切換成(或耦接至)編程電壓VPr關閉其通道,而使節點N0斷開P型MOS電晶體610的汲極端(在操作時),因此可防止電流經P型MOS電晶體610的通道時從節點N3至節點N0洩漏,及/或防止電流經P型MOS電晶體610及N型MOS電晶體620的通道時從節點N3至節點N4洩漏,當第2類型非揮發性記憶體(NVM)單元650操作時,開關(P型MOS電晶體)630的閘極端切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss開啟其通道而耦接P型MOS電晶體610的汲極端(在操作時)至節點N0。
另外,第2E圖為本發明實施例中的第2類型非揮發性記憶體(NVM)單元650之電路示意圖,第2E圖中的第2類型非揮發性記憶體(NVM)單元的抺除、編程及操作可參考 上述第2A圖至第2D圖之說明,第2A圖至第2E圖以相同數字代表的元件,第2E圖相同數字的元件規格及說明可參考第2A圖至第2D圖所揭露之規格及說明,其中它們之間的差異如下所示,如第2E圖所示,第2類型非揮發性記憶體(NVM)單元650更包括一寄生電容(parasitic capacitor)632,此寄生電容632具有一第一端點耦接至浮閘極607及一第二端點耦接至電源供應電壓Vcc或耦接至一接地參考電壓Vss,寄生電容632之電容大於P型MOS電晶體610的閘極電容及大於N型MOS電晶體620的閘極電容,例如,寄生電容632的電容可等於P型MOS電晶體610閘極電容1至1000倍之間,以及等於N型MOS電晶體620閘極電容1至1000倍之間,此寄生電容632的電容範圍可位在0.1aF至1pF之間,因此多的電荷或電子可儲存在浮閘極607之中。
第2A圖至第2E圖中的第2類型非揮發性記憶體(NVM)單元650,其抺除電壓VEr可大於或等於編程電壓VPr,而編程電壓VPr可大於或等於電源供應電壓Vcc,抺除電壓VEr的範圍在5伏特至0.25伏特之間的電壓,編程電壓VPr的範圍在5伏特至0.25伏特之間的電壓,電源供應電壓Vcc的範圍在3.5伏特至0.25伏特之間的電壓,例如是0.75伏特或3.3伏特。
(3)第三種類型非揮發性記憶體(NVM)單元
第3A圖為本發明一實施例中的第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元之電路圖說明,第3B圖為本發明實施例第三種類型非揮發性記憶體(NVM)單元的結構示意圖,如第3A圖及第3B圖所示,第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700(也就是FGCMOS NVM單元)可形成在一P型或N型矽半導體基板2(例如是矽基板)上,在此實施例,非揮發性記憶體(NVM)單元700可提供一P型矽半導體基板2耦接接地參考電壓Vss,此第三類型的非揮發性記憶體(NVM)單元700可包括:
(1)一第一N型條帶(stripe)702形成在P型矽半導體基板2內之一N型井703內及垂直凸出於N型井703的頂部表面的一N型鰭704,其中N型井703之深度d1w介於0.3微米(μm)至5μm之間且其寬度w1w介於50奈米(nm)至1μm之間,而N型鰭704之高度h1fN介於10nm至200nm之間且其寬度w1fN介於1nm至100nm之間。
(2)一第二N型條帶705形成在P型矽半導體基板2內之N型井(well)706上及垂直地凸出於N型井706的頂部表面的N型鰭707,其中N型井706之深度d2w介於0.3微米(μm)至5μm之間且其寬度w2w介於50奈米(nm)至1μm之間,而N型鰭707之高度h2fN介於10nm至200nm之間且其寬度w2fN介於1nm至100nm之間。
(3)一P型鰭708,垂直地凸出於P型矽半導體基板2上,其中P型鰭708之高度h1fP介於10nm至200nm之間,且其寬度w1fP介於1nm至100nm之間,而N型鰭704與P型鰭708之間具有一距離(space)s3介於100nm至2000nm之間及N型鰭707與P型鰭708之間具有一距離(space)s4介於100nm至2000nm之間;
(4)一場氧化物709在P型矽半導體基板2上,此場氧化物709例如是氧化矽,其中場氧化物709可之厚度to介於20nm至500nm之間。
(5)一浮閘極(floating gate)710橫向從第一N型條帶702的N型鰭704延伸至第二N型條帶705的N型鰭707以延伸越過P型鰭708位在場氧化物709,其中浮閘極710例如是多晶矽、鎢、氮化鎢、鈦、氮化鈦、鉭、氮化鉭、含銅金屬、含鋁金屬或其它導電金屬,其中在第一N型條帶702的N型鰭704上方之浮閘極710之寬度wfgP1大於或等於在P型鰭708上方之寬 度wfgN1,以及大於或等於第二N型條帶705的N型鰭707上方之寬度wfgP2,其中第一N型條帶702之N型鰭704上方的寬度wfgP1可為P型鰭708上方寬度wfgN11倍至10倍之間或1.5倍至5倍之間,例如等於2倍P型鰭708上方寬度wfgN1,及第一N型條帶702的N型鰭704上的寬度wfgP1可等於1倍至10倍或1.5倍至5倍第二N型條帶705的N型鰭707上的寬度wfgP2,例如等於2倍第二N型條帶705之N型鰭707上方寬度wfgP2,其中第一N型條帶702之N型鰭704上方寬度wfgP1介於1nm至25nm之間,第二N型條帶705的N型鰭707上的寬度wfgP2介於1nm至25nm之間,及P型鰭708上方寬度wfgN1介於1nm至25nm之間;及
(6)一閘極氧化物711橫向從第一N型條帶702的N型鰭704延伸至第二N型條帶705的N型鰭707並穿過P型鰭708,而形成在場氧化物709上,且閘極氧化物711位在浮閘極710與N型鰭704之間、位在浮閘極710與N型鰭707之間、位在浮閘極710與P型鰭708之間及位在浮閘極710與場氧化物709之間,其中閘極氧化物711之厚度例如介於1nm至5nm之間,此閘極氧化物711例如是氧化矽、含鋯氧化物(zirconium-containing oxide)或含鈦氧化物(titanium-containing oxide)。
另外,第3C圖為本發明實施例第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元的結構,第3C圖與第3B圖以相同數字代表的元件,第3C圖所示的元件規格及說明可參考第3B圖所揭露之規格及說明,第3B圖與第3C圖之間之差異如下所示,如第3C圖所示,多個相互平行的N型鰭704垂直凸出N型井703上,其中每一N型鰭704大致上具有相同的高度h1fN,例如可介於10nm至200nm之間,及大致上具有相同的寬度w1fN,例如可介於1nm至100之間,其中複數N型鰭704的組合可用於P型鰭式場效電晶體(FinFET),P型鰭708與位在P型鰭708旁邊的一N型鰭704之間的間距s3可介於100nm與2000nm之間,二相鄰N型鰭704之間的間距s5,例如可介於2nm至200nm之間,N型鰭704的數目可介於1個至10個之間,在本實施例中例如為2個,浮閘極710可從N型鰭704至N型鰭707越過P型鰭708並橫向延伸在場氧化物709上,其中浮閘極710垂直地位在N型鰭704上方之第五總面積A5,及浮閘極710垂直地位在第二N型條帶705上方之第六總面積A6,及浮閘極710垂直地位在N型鰭707上方之第七總面積A7,其中垂直地位在N型鰭707上方之第五總面積A5可大於或等於第六總面積及第七總面積,其第五總面積A5可大於或等於第六總面積A6的1倍至10倍或1.5位至5倍,例如五總面積A5等於2倍的第六總面積A6,其第五總面積A5可大於或等於第七總面積A7的1倍至10倍或1.5位至5倍,例如五總面積A5等於2倍的第七總面積A7,其中第五總面積A5可介於1至2500nm2,而第六總面積A6可介於1至2500nm2及第七總面積A7可介於1至2500nm2
如第3A圖至第3C圖所示,每一或複數N型鰭704可摻雜P型原子,例如是硼原子,以形成2個P+部在每一或多個閘極氧化物711相對二側之N型鰭704上,位於N型鰭704一側的多個P+部可相互耦接,分別構成第一P型金屬氧化物半導體(MOS)電晶體730的通道二端,及位在閘極氧化物711中的N型鰭704另一側的多個P+部可相互耦接,以構成第一P型金屬氧化物半導體(MOS)電晶體730(即是FG P-MOS)的通道的另一端,及在閘極氧化物711其它側的一或多數N型鰭704的複數P+部可相互耦接,以構成第一P型金屬氧化物半導體(MOS)電晶體730通道的另一端,一或多個N型鰭704中的硼原子濃度可大於P型矽半導體基板2中硼原子濃度,N型 鰭707可摻雜P型原子,例如是硼原子,以形成2個P+部在閘極氧化物711的相對二側之N型鰭707內,分別構成第2P型金屬氧化物半導體(MOS)電晶體740的通道二端,亦即為AD FG P-MOS電晶體,其中在N型鰭707中的硼原子濃度可大於P型矽半導體基板2中硼原子濃度,P型鰭708可摻雜N型原子,例如砷原子,形成二N+部在閘極氧化物711的二相對二側的P型鰭708內,分別構成N型MOS電晶體750(即是FG N-MOS電晶體)的一通道的二端,其中在P型鰭708中的砷原子的濃度可大於N型井703中的砷原子的濃度及大於在N型井706中砷原子的濃度,因此,第一P型金屬氧化物半導體(MOS)電晶體730的電容可大於或等於第二P型金屬氧化物半導體(MOS)電晶體740的電容,以及大於或等於N型MOS電晶體750的電容,第一P型金屬氧化物半導體(MOS)電晶體730的電容為第二P型金屬氧化物半導體(MOS)電晶體740電容1倍至10倍之間或1.5倍至5倍之間,例如係第二P型金屬氧化物半導體(MOS)電晶體740電容的2倍,第一P型金屬氧化物半導體(MOS)電晶體730的電容為N型MOS電晶體750電容1倍至10倍之間或1.5倍至5倍之間,例如係N型MOS電晶體750電容的2倍,N型MOS電晶體750的電容係介於0.1aF至10fF之間,第一P型金屬氧化物半導體(MOS)電晶體730的電容係介於0.1aF至10fF之間,第二P型金屬氧化物半導體(MOS)電晶體740的電容係介於0.1aF至10fF之間。
如第3A圖至第3C圖所示,浮閘極710耦接至第一P型MOS電晶體730的閘極端、第二P型MOS電晶體740的閘極端及N型MOS電晶體750的閘極端,用以捕獲其中的電子,第一P型MOS電晶體730可形成一通道,其二端中之一端耦接至與第一N型條帶702連接的節點N3,而其另一端點耦接至節點N0,第二P型MOS電晶體740可用於形成一通道,其二端耦接至與第二N型條帶705連接的節點N2,N型MOS電晶體620可形成一通道,其二端的其中之一端耦接至節點N4,而其二端中的另一端點耦接至節點N0。
如第3A圖至第3C圖所示,當浮閘極710在抹除時,(1)節點N2耦接至己切換成抺除電壓VEr的第二N型條帶705,;(2)節點N4可切換成接地參考電壓Vss;(3)節點N3耦接至己切換成接地參考電壓Vss的第一N型條帶702,及;(4)將節點N0係切換成浮空狀態(floating),由於第二P型MOS電晶體740的閘極電容小於第一P型MOS電晶體730的閘極電容與N型MOS電晶體750的閘極電容總合,使得浮閘極710與節點N2之間的電壓差大到足夠引起電子穿隧。因此,陷入在(或被捕獲)在浮閘極710中的電子可穿過閘極氧化物711至節點N2,使得浮閘極710可被抺除至邏輯值”1”。
如第3A圖至第3C圖所示,在非揮發性記憶體(NVM)單元700抹除之後,浮閘極710可充電至邏輯值”1”而開啟N型MOS電晶體750及關閉第一P型MOS電晶體730及第二P型MOS電晶體740,在此情形下,當浮閘極710被編程時,(1)節點N2係耦接至己切換成編程電壓VPr的第二N型條帶705;(2)節點N4耦接至接地參考電壓Vss;及(3)節點N3連接至切換成編程電壓VPr的第一N型條帶702;及(4)將節點N0係切換成浮空狀態(floating),由於N型MOS電晶體750的閘極電容小於第一P型MOS電晶體730及第二P型MOS電晶體740的閘極電容總合,使得浮閘極710與節點N4之間的電壓差大到足夠引起電子穿隧。因此,從節點N4電子可穿過閘極氧化物711至浮閘極710中而陷入在(或被捕獲)在浮閘極710中,而使得浮閘極710可被編程至(並儲存為)邏輯值”0”。
如第3A圖至第3C圖所示,在非揮發性記憶體(NVM)單元700的操作時,(1)節點N2耦接至己切換成介於電源供應電壓Vcc與接地參考電壓Vss之間的一電壓的第二N型條 帶705,例如是電源供應電壓Vcc、接地參考電壓Vss或一半的電源供應電壓Vcc,或是將節點N2係切換成浮空狀態(floating);(2)節點N4可切換成接地參考電壓Vss;(3)節點N3耦接至己切換成電源供應電壓Vcc之第一N型條帶702,及(4)節點N0可切換至作為非揮發性記憶體(NVM)單元700的輸出端,當浮閘極710充電為邏輯值”1”時,可關閉第一P型MOS電晶體730,且可開啟N型MOS電晶體750並耦接切換成接地參考電壓Vss的節點N4,使節點N0經由N型MOS電晶體750的通道切換以作為非揮發性記憶體(NVM)單元700的輸出端,節點N0係處在邏輯值”0”,此時,可開啟第一P型MOS電晶體730,且關閉N型MOS電晶體750,而使第一P型MOS電晶體730所耦接的節點N3(己切換成電源供應電壓Vcc)經由第一P型MOS電晶體730的通道耦接至節點N0,此節點N0切換以作為非揮發性記憶體(NVM)單元700的輸出端,因此,節點N0係處在邏輯值”1”。
另外,第3D圖為本發明實施例第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元的電路示意圖,第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元的抺除、編程及操作可參考上述第3A圖至第3C圖之說明,第3A圖至第3D圖以相同數字代表的元件,第3D圖相同數字的元件規格及說明可參考第3A圖至第3C圖所揭露之規格及說明,其中它們之間的差異如下所示,如第3D圖所示,第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700更可包括開關751在第一P型MOS電晶體730的汲極端點(在操作時)與節點N0之間,此開關751例如是一N型金屬氧化半導體電晶體,此開關(N型金屬氧化半導體電晶體)751可用於形成一通道,此通道一端耦接至第一P型MOS電晶體730的汲極端(在操作時)而通道的另一端耦接至節點N0,當第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700在抹除時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)751的閘極端切換至(1)耦接至接地參考電壓Vss而關閉其通道,而使節點N0斷開第一P型MOS電晶體730的汲極端(在操作時);(2)耦接至抺除電壓VEr以開啟其通道耦接第一P型MOS電晶體730的汲極端(在操作時)至節點N0,或(3)非揮發性記憶體(NVM)單元700係切換成浮空狀態(floating)。當第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700在編程時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)751的閘極端可切換成(或耦接至)接地參數電壓Vss關閉其通道,而使節點N0斷開第一P型MOS電晶體730的汲極端(在操作時),因此可防止電流經第一P型MOS電晶體730的通道時從節點N3至節點N4洩漏,另外,當第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700在編程時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)751的閘極端可切換成編程電壓VPr,以開啟其通道耦接第一P型MOS電晶體730的汲極端(在操作時)至節點N0,或非揮發性記憶體(NVM)單元700係切換成浮空狀態(floating)。當第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700操作時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)751的閘極端切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc開啟其通道而耦接第一P型MOS電晶體730的汲極端(在操作時)至節點N0。
另外,如第3D圖所示,此開關751可以是一P型MOS電晶體,其可用於形成一通道,此通道一端耦接至第一P型MOS電晶體730的汲極端(在操作時)而通道的另一端耦接至節點N0,當第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700在抹除時,開關(P型金屬氧化半導體電晶體)751的閘極端切換至(1)耦接至抺除電壓VEr而關閉其通道,而使節點N0斷開第一P型MOS電晶體730的汲極端(在操作時);(2)耦接至接地參考電壓Vss以開啟其通道耦接第一P型MOS電晶體730的汲極端(在操作時)至節點N0,或(3)非揮發性記憶體(NVM)單元700係切換成浮空狀態(floating)。當第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700在編程時,開關(P型金屬氧化半導體電 晶體)751的閘極端可切換成(或耦接至)抺除電壓VPr關閉其通道,而使節點N0斷開第一P型MOS電晶體730的汲極端(在操作時),因此可防止電流經第一P型MOS電晶體730的通道時從節點N3至節點N4洩漏,另外,當第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700在編程時,開關(P型金屬氧化半導體電晶體)751的閘極端可切換成浮空狀態(floating)。當第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700操作時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)751的閘極端切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss開啟其通道而耦接第一P型MOS電晶體730的汲極端(在操作時)至節點N0。
另外,第3E圖為本發明實施例第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元的電路示意圖,第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元的抺除、編程及操作可參考上述第3A圖至第3C圖之說明,第3A圖至第3C圖及第3E圖以相同數字代表的元件,第3E圖相同數字的元件規格及說明可參考第3A圖至第3C圖所揭露之規格及說明,其中它們之間的差異如下所示,如第3A圖至第3C圖及第3E圖所示,多個第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700可使其節點N2彼此並聯或其中之一經由一字元線761耦接至一開關752,此開關752例如是N型MOS電晶體,及其複數節點N3經由字元線762彼此並聯或耦接其中之一,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)752可用於形成一通道,此通道之一端耦接至每一非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N2,此通道之另一端用於切換成抺除電壓VEr、編程電壓VPr或位在電源供應電壓Vcc與接地參考電壓Vss之間的一電壓,當第三型非揮發性記憶體(NVM)單元700抺除時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)752的閘極端切換成抺除電壓VEr而使節點N0開啟其通道耦接至己切換成抺除電壓VEr的每一非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N2,當第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700在編程時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)752的閘極端可切換成(或耦接至)編程電壓VPr開啟其通道,而使每一非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N2切換成編程電壓VPr,當第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700操作時,(1)開關(N型金屬氧化半導體電晶體)752的閘極端可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss關閉其通道,以引導每一非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N2切換成浮空狀態(floating),或(2)開關(N型金屬氧化半導體電晶體)752的閘極端可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc而開啟其通道,以耦接至己切換成位在電源供應電壓Vcc與接地參考電壓Vss之間一電壓的每一非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N2,當第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700在省電模式時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)752的閘極端可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss而開啟其通道,以引導每一非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N2切換成浮空狀態(floating)。
如第3A圖至第3C圖及第3E圖所示,開關752可以係一P型MOS電晶體,其用於形成一通道,此通道之一端耦接至每一非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N2,此通道之另一端用於切換成(或耦接至)一抺除電壓VEr、編程電壓VPr或位在電源供應電壓Vcc與接地參考電壓Vss之間的一電壓,當第三型非揮發性記憶體(NVM)單元700抺除時,開關(P型金屬氧化半導體電晶體)752的閘極端切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss而使節點N0開啟其通道耦接至己切換成抺除電壓VEr的每一非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N2,當第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700在編程時,開關(P型金屬氧化半導體電晶體)752的閘極端可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss開啟其通道,而使每一非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N2切換成編程電壓VPr,當第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700操作時,(1)開關(P型金屬氧化半導體電 晶體)752的閘極端可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc關閉其通道,以引導每一非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N2切換成浮空狀態(floating),或(2)開關(P型金屬氧化半導體電晶體)752的閘極端可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss而開啟其通道,以耦接至己切換成位在電源供應電壓Vcc與接地參考電壓Vss之間一電壓的每一非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N2,當第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700在省電模式時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)752的閘極端可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc而開啟其通道,以引導每一非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N2切換成浮空狀態(floating)。
另外,第3F圖為本發明實施例第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元的電路示意圖,第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元的抺除、編程及操作可參考上述第3A圖至第3C圖之說明,第3A圖至第3C圖及第3F圖以相同數字代表的元件,第3F圖相同數字的元件規格及說明可參考第3A圖至第3C圖所揭露之規格及說明,其中它們之間的差異如下所示,如第3A圖及第3F圖所示,多個第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700可使其節點N2經由一字元線761彼此耦接並聯或耦接其中之一,及使其複數節點N3經由字元線762彼此並聯或耦接其中之一,及經由字元線762耦接至一開關753,此開關753例如是N型MOS電晶體,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)753可用於形成一通道,此通道之一端耦接至每一非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N3,此通道之另一端用於切換成(或耦接至)一接地參考電壓Vss、編程電壓VPr、電源供應電壓Vcc,當第三型非揮發性記憶體(NVM)單元700抺除時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)753的閘極端切換成(或耦接至)抺除電壓VEr而使節點N0開啟其通道耦接至每一非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N3至接地參考電壓Vss,當第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700在編程時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)753的閘極端可切換成(或耦接至)編程電壓VPr開啟其通道,而使每一非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N3切換成編程電壓VPr,當第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700操作時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)753的閘極端可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc而開啟其通道,使其耦接至每一非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N3切換成電源供應電壓Vcc,當第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700在省電模式時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)753的閘極端切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss而關閉其通道,以引導每一非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N3切換成浮空狀態(floating)。
如第3B圖、第3C圖及第3F圖所示,開關753可以係P型MOS電晶體用於形成一通道,此通道之一端耦接至每一非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N3,此通道之另一端用於切換成(或耦接至)一接地參考電壓Vss、編程電壓VPr、電源供應電壓Vcc,當第三型非揮發性記憶體(NVM)單元700抺除時,開關(P型金屬氧化半導體電晶體)753的閘極端切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss而使節點N0開啟其通道耦接至每一非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N3至接地參考電壓Vss,當第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700在編程時,開關(P型金屬氧化半導體電晶體)753的閘極端可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss開啟其通道,而使每一非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N3切換成編程電壓VPr,當第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700操作時,開關(P型金屬氧化半導體電晶體)753的閘極端可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss而開啟其通道,使其耦接至每一非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N3切換成電源供應電壓Vcc,當第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700在省電模式時,開關(P型金屬氧 化半導體電晶體)753的閘極端切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc而關閉其通道,以引導每一非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N3切換成浮空狀態(floating)。
另外,第3G圖為本發明實施例第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元的電路示意圖,第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元的抺除、編程及操作可參考上述第3A圖至第3C圖之說明,第3A圖至第3C圖及第3G圖以相同數字代表的元件,第3G圖相同數字的元件規格及說明可參考第3A圖至第3C圖所揭露之規格及說明,其中它們之間的差異如下所示,如第3A圖至第3C圖及第3G圖所示,多個第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700可使其節點N2經由一字元線761彼此耦接並聯或耦接其中之一,及使其複數節點N3經由字元線762彼此並聯或耦接其中之一,每一非揮發性記憶體(NVM)單元700更可包括一開關754用於形成一通道,此開關754例如是N型MOS電晶體或P型MOS電晶體,此通道一端耦接至N型MOS電晶體750的源極端(在操作時),而其它端耦接其節點N4,多個非揮發性記憶體(NVM)單元700的開關(N型金屬氧化半導體電晶體)754(開關754也可是P型金屬氧化半導體電晶體,但以下說明皆以N型金屬氧化半導體電晶體為例)之閘極端經由字元線763相互彼此耦接或耦接至另一開關(N型金屬氧化半導體電晶體)754,當每一非揮發性記憶體(NVM)單元700抺除時,字元線763可切換成(或耦接至)抺除電壓VEr而開啟開關(N型金屬氧化半導體電晶體)754的通道耦接N型MOS電晶體750的源極端(在操作中)至其節點N4,在多個非揮發性記憶體(NVM)單元700抺除後,每一非揮發性記憶體(NVM)單元700可選擇編程或不編程,例如,最左邊的一非揮發性記憶體(NVM)單元700的浮閘極710選擇不編程至邏輯值”0”而保持處在邏輯值”1”,當最左邊的一非揮發性記憶體(NVM)單元700編程及最右邊中的一非揮發性記憶體(NVM)單元700不編程,字元線763可切換成(或耦接至)編程電壓VPr分別開啟它們的開關(N型金屬氧化半導體電晶體)754之通道,以分別耦接他們的N型MOS電晶體750的源極端(在操作中)至節點N4,最左邊的一非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N4切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,使電子可從其節點N4至其浮閘極710而隧穿閘極氧化物711,而被補獲在其浮閘極710中,從而其浮閘極710可被編程(抺除)至邏輯值”0”。最右邊的一非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N4切換成(或耦接至)編程電壓VPr,以使電子不從其節點N4至其浮閘極710而隧穿閘極氧化物711,因而浮閘極710可保持位在邏輯值”1”,當每一第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700操作時,字元線763可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc而開啟開關(N型金屬氧化半導體電晶體)754的通道,耦接至N型MOS電晶體750的源極端至其節點N4(在操作中),當每一第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700在省電模式時,字元線763可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss而關閉開關(N型金屬氧化半導體電晶體)754的通道,以從其節點N4斷開N型MOS電晶體750的源極端(在操作中)。
另外,如第3G圖所示,非揮發性記憶體(NVM)單元700可以係P型MOS電晶體,每一非揮發性記憶體(NVM)單元700用於形成一通道,此開關754例如是N型MOS電晶體,此通道一端耦接至N型MOS電晶體750的源極端(在操作時),而其它端耦接其節點N4,多個非揮發性記憶體(NVM)單元700的開關(N型金屬氧化半導體電晶體)754之閘極端經由字元線763相互彼此耦接或耦接至另一開關(N型金屬氧化半導體電晶體)754,當每一非揮發性記憶體(NVM)單元700抺除時,字元線763可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss而開啟開關(N型金屬氧化半導體電晶體)754的通道耦接N型MOS電晶體750的源極端(在操作中)至其節點N4,當最左邊的一非揮發性記憶體(NVM)單元700編程及最右邊中的一非揮發性記憶體(NVM)單元700不編 程,字元線763可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss分別開啟它們的開關(N型金屬氧化半導體電晶體)754之通道,以分別耦接他們的N型MOS電晶體750的源極端(在操作中)至節點N4,當每一第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700操作時,字元線763可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss而開啟開關(N型金屬氧化半導體電晶體)754的通道,耦接至N型MOS電晶體750的源極端至其節點N4(在操作中),當每一第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700在省電模式時,字元線763可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc而關閉開關(N型金屬氧化半導體電晶體)754的通道,以從其節點N4斷開N型MOS電晶體750的源極端(在操作中)。
另外,第3H圖至第3R圖為本發明實施例多個第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元的電路示意圖,第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元的抺除、編程及操作可參考上述第3A圖至第3G圖之說明,第3H圖至第3R圖與第3A圖至第3G圖以相同數字代表的元件,第3H圖至第3R圖相同數字的元件規格及說明可參考第3A圖至第3G圖所揭露之規格及說明,其中它們之間的差異如下所示,如第3H圖所示,開關751及開關752可併入用於第三類型的非揮發性記憶體(NVM)單元700,當第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700抺除、編程或操作時,開關751及開關752可切換如第3D圖及第3E圖所示之說明,如第3I圖所示,開關751及開關753可併入併入用於第三類型的非揮發性記憶體(NVM)單元700,當非揮發性記憶體(NVM)單元700抺除、編程或操作時,開關751及開關753可切換如第3D圖及第3F圖所示之說明,如第3J圖所示,開關751及開關754可併入併入用於第三類型的非揮發性記憶體(NVM)單元700,當非揮發性記憶體(NVM)單元700抺除、編程或操作時,開關751及開關754可切換如第3D圖及第3G圖所示之說明,如第3K圖所示,開關752及開關753可併入併入用於第三類型的非揮發性記憶體(NVM)單元700,當非揮發性記憶體(NVM)單元700抺除、編程或操作時,開關752及開關753可切換如第3E圖及第3F圖所示之說明,如第3L圖所示,開關752及開關754可併入併入用於第三類型的非揮發性記憶體(NVM)單元700,當非揮發性記憶體(NVM)單元700抺除、編程或操作時,開關752及開關754可切換如第3E圖及第3G圖所示之說明,如第3M圖所示,開關753及開關754可併入併入用於第三類型的非揮發性記憶體(NVM)單元700,當非揮發性記憶體(NVM)單元700抺除、編程或操作時,開關753及開關754可切換如第3F圖及第3G圖所示之說明,如第三N圖所示,開關751、開關752及開關753可併入併入用於第三類型的非揮發性記憶體(NVM)單元700,當非揮發性記憶體(NVM)單元700抺除、編程或操作時,開關751、開關752及開關753可切換如第3D圖至第3F圖所示之說明,如第3O圖所示,開關751、開關752及開關754可併入併入用於第三類型的非揮發性記憶體(NVM)單元700,當非揮發性記憶體(NVM)單元700抺除、編程或操作時,開關751、開關752及開關754可切換如第3D圖、第3E圖及第3G圖所示之說明,如第3P圖所示,開關751、開關753及開關754可併入併入用於第三類型的非揮發性記憶體(NVM)單元700,當非揮發性記憶體(NVM)單元700抺除、編程或操作時,開關752、開關753及開關754可切換如第3D圖、第3F圖及第3G圖所示之說明,如第3Q圖所示,開關752、開關753及開關754可併入併入用於第三類型的非揮發性記憶體(NVM)單元700,當非揮發性記憶體(NVM)單元700抺除、編程或操作時,開關752、開關753及開關754可切換如第3E圖至第3G圖所示之說明,如第3R圖所示,開關751、開關752、開關753及開關754可併入併入用於第三類型的非揮發性記憶體(NVM)單元700,當非揮發性記憶體(NVM)單元700抺除、編程或操作時,開關751、開關752、開關753及開關754可切換如第3D圖至第3G圖所示之說明。
另外,第3S圖為本發明實施例中的第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700之電路示意圖,第3S圖中的第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元的抺除、編程及操作可參考上述第3A圖至第3C圖之說明,第3A圖至第3C圖及第3S圖以相同數字代表的元件,第3S圖相同數字的元件規格及說明可參考第3A圖至第3C圖所揭露之規格及說明,其中它們之間的差異如下所示,如第3S圖所示,在第3A圖至第3R圖中所示的每一非揮發性記憶體(NVM)單元700更可包括寄生電容755,此寄生電容755具有一第一端點耦接至浮閘極710及一第二端點耦接至電源供應電壓Vcc或耦接至一接地參考電壓Vss,第3A圖所示的結構為本說明書之範例並以結合寄生電容755為一例子,寄生電容755之電容大於第一P型MOS電晶體730的閘極電容、大於第二P型MOS電晶體740的閘極電容及大於N型MOS電晶體750的閘極電容,例如,寄生電容755的電容可等於第一P型MOS電晶體730閘極電容1至1000倍之間、等於第二P型MOS電晶體740閘極電容1至1000倍之間以及等於N型MOS電晶體750閘極電容1至1000倍之間,此寄生電容755的電容範圍可位在0.1aF至1pF之間,因此多的電荷或電子可儲存在浮閘極710之中。
另外,第3T圖為本發明實施例中的第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700之電路示意圖,第3T圖中的第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元的抺除、編程及操作可參考上述第3A圖至第3C圖之說明,第3A圖至第3C圖及第3T圖以相同數字代表的元件,第3T圖相同數字的元件規格及說明可參考第3A圖至第3C圖所揭露之規格及說明,其中它們之間的差異如下所示,如第3T圖所示,第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700的N型MOS電晶體750用於一通過/不通過電路,並經由浮閘極710而開啟或關閉節點N6及節點N7之間的連結,N型MOS電晶體750可用於形成一通道,此通道具有二端分別耦接至節點N6及節點N7,第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700的第一P型MOS電晶體730用於形成一通道,其通道的二端耦接至與第一N型條帶702連接的節點N3。
如第3B圖、第3C圖及第3T圖所示,當浮閘極710在抹除時,(1)節點N2耦接至己切換成抺除電壓VEr的第二N型條帶705;(2)節點N3耦接至己切換成接地參考電壓Vss的第一N型條帶702,及(3)節點N6及節點N7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss或非揮發性記憶體(NVM)單元700切換成浮空狀態(floating),由於第二P型MOS電晶體740的閘極電容小於第一P型MOS電晶體730及N型MOS電晶體750的閘極電容總合,使得浮閘極710與節點N2之間的電壓差大到足夠引起電子穿隧。因此,陷入在(或被捕獲)在浮閘極710中的電子可穿過閘極氧化物711至節點N2,使得浮閘極710可被抺除至邏輯值”1”。
如第3A圖至第3C圖及第3T圖所示,在非揮發性記憶體(NVM)單元700抹除之後,浮閘極710可充電至邏輯值”1”而開啟N型MOS電晶體750及關閉第一P型MOS電晶體730及第二P型MOS電晶體740,在此情形下,當浮閘極710被編程時,(1)節點N2係耦接至己切換成編程電壓VPr的第二N型條帶705;(2)連接至第一N型條帶702連接之節點N3切換成(或耦接至)編程電壓VPr;及(3)節點N6及節點N7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,亦即為將節點N6及節點N7係切換成浮空狀態(floating),由於N型MOS電晶體750的閘極電容小於第一P型MOS電晶體730及第二P型MOS電晶體740的閘極電容總合,使得浮閘極710與節點N6、節點N7或P型矽半導體基板2之間的電壓差大到足夠引起電子穿隧。因此,從節點N6、節點N7或P型矽半導體基板2的電子可穿過閘極氧化物711至浮閘極710中而陷入在(或被捕獲)在浮閘極710中,而使得浮閘極710可被抺除至邏輯值”0”。
如第3A圖至第3C圖及第3T圖所示,在非揮發性記憶體(NVM)單元700的操作時,(1)節點N2耦接至己切換成介於電源供應電壓Vcc與接地參考電壓Vss之間的一電壓的第二N型條帶705或非揮發性記憶體(NVM)單元700切換成浮空狀態(floating);(2)節點N3耦接至己切換成介於電源供應電壓Vcc與接地參考電壓Vss之間的一電壓的第一N型條帶702或非揮發性記憶體(NVM)單元700切換成浮空狀態(floating);及(3)節點N6及節點N7可切換分別耦接至二編程交互連接線,當浮閘極710充電為邏輯值”1”時,N型MOS電晶體750可開啟以耦接節點N6及節點N7,當浮閘極710放電為邏輯值”0”時,N型MOS電晶體750可被關閉,而斷開節點N7與節點N6之間的連接。
另外,第3U圖為本發明實施例第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元的電路示意圖,第3V圖為本發明實施例第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元的結構,第3A圖至第3C圖與第3T圖至第3V圖相同數字的元件,第3U圖至第3V圖元件規格及說明可參考第3A圖至第3C圖及第3T圖所揭露之規格及說明,第3U圖至第3V圖與第3T圖之間之差異如下所示,如第3U圖及第3V圖所示,第3T圖中的N型MOS電晶體750可被第三P型MOS電晶體764替代,用於通過/不通過開關以經由浮閘極710切換開啟或關閉節點N6及節點N7之間的連結。在第3B圖及第3C圖中用於N型MOS電晶體750的P型鰭708可被用於第三P型MOS電晶體764之第三N型條帶712的之一N型鰭714替代,其中N型鰭714係垂直凸出於用於P型MOS電晶體764之第三N型條帶712的N型井713之上表面,此N型井713之深度d4w介於0.3μm至5μm之間及其寬度w4w介於50nm至1μm之間,而N型鰭707之高度h4fN介於10nm至200nm之間及其寬度w4fN介於1nm至100nm之間,浮閘極710可從第一N型條帶702的N型鰭704延伸至第二N型條帶705的N型鰭707,並越過第三N型條帶712的N型鰭714,如第3U圖所示,對於此例子而言,第三N型條帶712替換第3B圖中的P型鰭708,位在N型鰭704與第三N型條帶712的N型鰭714之間的間距s3介於100nm至2000nm之間,及位在N型鰭707及第三N型條帶712的N型鰭714之間的間距s4介於100nm至2000nm之間,且第三N型條帶712之寬度wfgP1大於或等於位在第三N型條帶712的N型鰭714上方的浮閘極710之寬度wfgP4,以及大於或等於寬度wfgP2,其中寬度wfgP1可等於或介於寬度wfgP31倍至10倍之間或介於1.5倍至5倍之間,例如,等於2倍的寬度wfgP4,其中寬度wfgP4介於1至25nm之間。
另外,第3W圖為本發明實施例第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元的結構,第3A圖至第3C圖與第3T圖至第3W圖相同數字的元件,第3W圖元件規格及說明可參考第3A圖至第3C圖及第3T至第3V圖圖所揭露之規格及說明,第3W圖與第3V圖之間之差異如下所示,如第3W圖所示,對於此例子而言,第三N型條帶712替換第3C圖中的P型鰭708,第三N型條帶712的N型鰭714與位在N型鰭714旁邊的N型鰭704之間的間距s3介於100nm至2000nm之間,其中第五總面積A5可大於或等於第七總面積A7,第五總面積A5可等於浮閘極的總面積A14的1倍至10倍之間或介於1.5倍至5倍之間,例如等於2倍的浮閘極的總面積A14,其中浮閘極的總面積A14可介於1至2500nm2,第三P型MOS電晶體764可用於形成一通道,其通道的二端分別耦接至節點N6及節點N7。
如第3U圖至第3W圖所示,當浮閘極710在抹除時,(1)節點N2耦接至第二N型條帶705切換成(或耦接至)抺除電壓VEr;(2)節點N3耦接第一N型條帶702並切換成(或耦接 至)接地參考電壓Vss,及(3)節點N6及節點N7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss或非揮發性記憶體(NVM)單元700切換成浮空狀態(floating),由於第二P型MOS電晶體740的閘極電容小於第一P型MOS電晶體730及P型MOS電晶體764的閘極電容總合,使得浮閘極710與節點N2之間的電壓差大到足夠引起電子穿隧。因此,陷入在(或被捕獲)在浮閘極710中的電子可穿過閘極氧化物711至節點N2,使得浮閘極710可被抺除至邏輯值”1”。
如第3U圖至第3W圖所示,在非揮發性記憶體(NVM)單元700抹除之後,浮閘極710可充電至邏輯值”1”而關閉第一P型MOS電晶體730、第二P型MOS電晶體740及第3P型MOS電晶體764,在此情形下,當浮閘極710被編程時,(1)節點N2係耦接至己切換成編程電壓VPr的第二N型條帶705;(2)節點N3耦接第一N型條帶702切換成(或耦接至)編程電壓VPr;及(3)節點N6至節點N7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss或是將節點N6及節點N7係切換成浮空狀態(floating),由於P型MOS電晶體764的閘極電容小於第一P型MOS電晶體730及第二P型MOS電晶體740的閘極電容總合,使得浮閘極710與節點N6或節點N7或第三N型條帶712之間的電壓差大到足夠引起電子穿隧。因此,從節點N6或節點N7或第三N型條帶712電子可穿過閘極氧化物711至浮閘極710中而陷入在(或被捕獲)在浮閘極710中,而使得浮閘極710可被抺除至邏輯值”0”。當浮閘極710被編程時,(1)節點N2耦接至己切換成接地參考電壓Vss的第二N型條帶705;及(2)節點N3係耦接至己切換成編程電壓VPr的第一N型條帶702;及(3)將節點N6及節點N7係切換成浮空狀態(floating),由於第一P型MOS電晶體730的閘極電容小於第二P型MOS電晶體740及P型MOS電晶體764的閘極電容總合,使得浮閘極710與節點N2之間的電壓差大到足夠引起電子穿隧。因此,從節點N2電子可穿過閘極氧化物711至浮閘極710中而陷入在(或被捕獲)在浮閘極710中,而使得浮閘極710可被抺除至邏輯值”0”。
如第3U圖至第3W圖所示,在非揮發性記憶體(NVM)單元700的操作時,(1)節點N2係耦接至己切換成介於電源供應電壓Vcc與接地參考電壓Vss之間的一電壓的第二N型條帶705或非揮發性記憶體(NVM)單元700切換成浮空狀態(floating);(2)節點N3耦接至第一N型條帶702切換成(或耦接至)介於電源供應電壓Vcc與接地參考電壓Vss之間的一電壓或從非揮發性記憶體(NVM)單元700切換成浮空狀態(floating);及(3)節點N6及節點N7可切換分別耦接至二編程交互連接線,當浮閘極710被放電時且邏輯值”1”時,P型MOS電晶體764可開啟以耦接節點N6及節點N7,當浮閘極710放電為邏輯值”1”時,P型MOS電晶體764可被關閉,而斷開節點N7與節點N6之間的連接。
第3A圖至第3W圖中的第2類型非揮發性記憶體(NVM)單元700,其抺除電壓VEr可大於或等於編程電壓VPr,而編程電壓VPr可大於或等於電源供應電壓Vcc,抺除電壓VEr的範圍在5伏特至0.25伏特之間的電壓,編程電壓VPr的範圍在5伏特至0.25伏特之間的電壓,電源供應電壓Vcc的範圍在3.5伏特至0.25伏特之間的電壓,例如是0.75伏特或3.3伏特。
(3)第四種類型非揮發性記憶體(NVM)單元
另外,如第4A圖所示,另外,第4A圖為本發明實施例中的第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760電路示意圖,第4B圖為本發明實施例中的第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的結構示意圖,在此實施例中,第4A圖及第4B圖中的第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760係類似於第3A圖及第3B圖所示之第1類型非揮發性記憶體(NVM)單元700,並 可參考關於第3A圖及第3B圖的說明。第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700與第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760之間的不同點係如下所述,如第4A圖及第4B圖所示,浮閘極710的寬度wfgP2大於或等於浮閘極710的寬度wfgP1及大於或等於浮閘極710的寬度wfgN1,對於第3B圖及第4B圖中以相同數字代表的元件,其在第4B圖中的元件規格及說明可參考上述第3B圖所示的元件規格及說明,如第4B所示,在N型鰭707上方的寬度wfgP2為P型鰭708上方的寬度wfgN1的1倍至10倍之間或係1.5倍至5倍之間,例如,N型鰭707上方的寬度wfgP2為2倍的P型鰭708上方的寬度wfgN1,N型鰭707上方的寬度wfgP2為2倍的浮閘極710上方的寬度wfgP1,其中P型鰭708上方的寬度wfgP1的範圍為1nm至25nm之間,而P型鰭708上方的寬度wfgN1的範圍為1nm至25nm之間,以及浮閘極710上方的寬度wfgP2的範圍為1nm至25nm之間。
另外,如第4C圖所示,複數平行的N型鰭707垂直地凸出於N型井706,其中每一或多個N型鰭707大致上具有相同的高度h2fN,例如可介於10nm至200nm之間,及大致上具有相同的寬度w2fN,例如可介於1nm至100nm之間,其中N型鰭707組合可用於P型鰭式場效電晶體(FinFET),第4C圖為本發明實施例第2類型非揮發性記憶體(NVM)單元結構示意圖,P型鰭708與位在P型鰭708旁邊的N型鰭707之間的間距s4可介於100nm至2000nm之間,二相鄰N型鰭707之間的間距s7可介於2nm至200nm之間,N型鰭707的數目可介於1個至10個之間,在本實施例中例如為2個,浮閘極710可從N型鰭704至N型鰭707橫向延伸越過P型鰭708位在場氧化物709上,其中浮閘極710垂直地位在N型鰭707上方之面積為第八總面積A8,垂直的位在第二N型條帶705的上方之面積為第九總面積A9,垂直的位在N型鰭704的上方之面積為第十總面積A10,其中第八總面積A8可大於或等於第九總面積A9的1倍至10倍或1.5位至5倍,例如等於2倍的第九總面積A9的1倍至10倍或1.5位至5倍,例如第8總面積A8等於2倍的第九總面積A9,以及第8總面積A8可大於或等於第十總面積A10,例如第8總面積A8等於2倍的第十總面積A10,其中第8總面積A8可介於1至2500nm2,第九總面積A9可介於1至2500nm2,而第十總面積A10可介於1至2500nm2。每一或多數N型鰭707可摻雜P型原子,例如是硼原子,以形成2個P+部在閘極氧化物711的相對二側之每一或多個N型鰭707內,位於閘極氧化物711一側的一或多個N型鰭707中多個P+部可相互耦接,分別構成第二P型金屬氧化物半導體(MOS)電晶體740的通道之一端,及位於閘極氧化物711另一側的一或多個N型鰭707中多個P+部可相互耦接,以構成第二P型金屬氧化物半導體(MOS)電晶體740的通道的另一端(或其它端),一或多個N型鰭707中的每一硼原子濃度可大於P型矽半導體基板2中硼原子濃度,N型鰭704可摻雜P型原子,例如硼原子,分別形成二P+部在閘極氧化物711的相對二側的N型鰭704內,以分別作為第一P型金屬氧化半導體(MOS)電晶體730的源極端及汲極端,其中在N型鰭704內硼原子的濃度大於P型矽半導體基板2中硼原子濃度,P型鰭708可摻雜N型原子,例如砷原子,分別形成二N+部在閘極氧化物711的相對二側的P型鰭708內,以分別作為N型MOS電晶體750的源極端及汲極端,其中在P型鰭708內砷原子的濃度大於N型井703中砷原子濃度,及大於N型井706內砷原子濃度,分別構成N型金屬氧化半導體(MOS)電晶體620的一通道的二端,其中每一P型鰭605中的砷原子的濃度可大於N型條帶602中的砷原子的濃度,因此,第二P型MOS電晶體740的電容可大於或等於第一P型MOS電晶體730的電容,以及大於或等於N型MOS電晶 體750的電容,第二P型MOS電晶體740的電容為第一P型MOS電晶體730電容1倍至10倍之間或1.5倍至5倍之間,第二P型MOS電晶體740的電容例如係第一P型MOS電晶體730的2倍,第二P型MOS電晶體740的電容為N型MOS電晶體750電容1倍至10倍之間或1.5倍至5倍之間,第二P型MOS電晶體740的電容例如係N型MOS電晶體750的2倍,N型MOS電晶體750的電容係介於0.1aF至10fF之間,第一P型MOS電晶體730的電容係介於0.1aF至10fF之間,第二P型MOS電晶體740的電容係介於0.1aF至10fF之間。
如第4A圖至第4C圖所示,當浮閘極710在抹除時,(1)節點N2耦接至己切換成接地參考電壓Vss的第二N型條帶705;(2)節點N4可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點N3係耦接至己切換成抺除電壓VEr的第一N型條帶702;及(4)將節點N0係切換成浮空狀態(floating),由於第一P型MOS電晶體730的閘極電容小於第二P型MOS電晶體740及N型MOS電晶體750的閘極電容總合,使得浮閘極710與節點N3之間的電壓差大到足夠引起電子穿隧。因此,陷入在(或被捕獲)在浮閘極710中的電子可穿過閘極氧化物711至節點N3,使得浮閘極710可被抺除至邏輯值”1”。
如第4A圖至第4C圖所示,在第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760抹除之後,浮閘極710可充電至邏輯值”1”而開啟N型MOS電晶體750及關閉第一P型MOS電晶體730及第二P型MOS電晶體740,在此情形下,當浮閘極710被編程時,(1)節點N2係耦接至己切換成編程電壓VPr的第二N型條帶705;(2)節點N4耦接至接地參考電壓Vss;及(3)節點N3耦接至己切換成編程電壓VPr的第一N型條帶702;(4)將節點N0係切換成浮空狀態(floating),由於N型MOS電晶體750的閘極電容小於第一P型MOS電晶體730及第二P型MOS電晶體740的閘極電容總合,使得浮閘極710與節點N4之間的電壓差大到足夠引起電子穿隧。因此,電子可從節點N4穿過閘極氧化物711至浮閘極710中而陷入在(或被捕獲)在浮閘極710中,而使得浮閘極710可被抺除至邏輯值”0”。
如第4A圖至第4C圖所示,在第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的操作時,(1)節點N2可耦接至己切換成介於電源供應電壓Vcc與接地參考電壓Vss之間的一電壓的第二N型條帶705,例如是電源供應電壓Vcc、接地參考電壓Vss或一半的電源供應電壓Vcc,或是將節點N2係切換成浮空狀態(floating);(2)節點N4可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點N3耦接至己切換成電源供應電壓Vcc的第一N型條帶702,及(4)節點N0可切換至作為非揮發性記憶體(NVM)單元760的輸出端,當浮閘極710充電為邏輯值”1”時,可關閉第一P型MOS電晶體730並開啟N型MOS電晶體750,而耦接至己切換成接地參考電壓Vss的節點N4,此節點N0經由N型MOS電晶體750的通道切換以作為非揮發性記憶體(NVM)單元760的輸出端,節點N0係處在邏輯值”0”,此時,可開啟第一P型MOS電晶體730,且關閉N型MOS電晶體750,而使N型條帶702所耦接的節點N3(己切換成電源供應電壓Vcc)經由第一P型MOS電晶體730的通道耦接至節點N0,此節點N0切換以作為非揮發性記憶體(NVM)單元760的輸出端並處在邏輯值”1”。
另外,第4D圖為本發明實施例第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元的電路示意圖,第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元的抺除、編程及操作可參考上述第4A圖至第4C圖之說明,第4A圖至第4D圖以相同數字代表的元件,第4D圖相同數字的元件規格及說明可參考第4A圖至第4C圖所揭露之規格及說明,其中它們之間的差異如下所示,如第4D圖所示,第四 類型非揮發性記憶體(NVM)單元760更可包括開關751在第一P型MOS電晶體730的汲極端點(在操作時)與節點N0之間,此開關751例如是一N型MOS電晶體,此開關(N型金屬氧化半導體電晶體)751可用於形成一通道,此通道一端耦接至與第一P型MOS電晶體730之汲極端(在操作時)連接的節點N0,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760在抹除時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)751的閘極端切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss而關閉其通道,而使節點N0斷開第一P型MOS電晶體730的汲極端(在操作時),對於此例子,節點N0可選擇性的切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,因此可防止電流經P型MOS電晶體610的通道時從節點N3至節點N4或至節點N0洩漏,另外,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760抺除時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)751的閘極端可切換成(1)耦接至抺除電壓VEr而開啟其通道,以使節點N0耦接第一P型MOS電晶體730的汲極端(在操作時);或(2)將非揮發性記憶體(NVM)單元760切換成浮空狀態(floating),當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760在編程時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)751的閘極端可切換成(或耦接至)接地參數電壓Vss關閉其通道,而使節點N0斷開第一P型MOS電晶體730的汲極端(在操作時),對於此例子,節點N0可選擇性的切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,因此可防止電流經P型MOS電晶體610的通道時從節點N3至節點N4或至節點N0洩漏。另外,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760在編程時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)751的閘極端可切換成(1)耦接至編程電壓VPr而開啟其通道,以耦接第一P型MOS電晶體730的汲極端(在操作時)至節點N0;或將非揮發性記憶體(NVM)單元760係切換成浮空狀態(floating),當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760操作時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)751的閘極端切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc開啟其通道而耦接第一P型MOS電晶體730的汲極端(在操作時)至節點N0。
另外,此開關751例如是一P型MOS電晶體,此P型MOS電晶體可用於形成一通道,此通道一端耦接至第一P型MOS電晶體730的汲極端(在操作時)及另一端點耦接至節點N0,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760在抹除時,開關(P型金屬氧化半導體電晶體)751的閘極端切換成(或耦接至)抺除電壓VEr而關閉其通道,而使節點N0斷開第一P型MOS電晶體730的汲極端(在操作時),因此可防止電流經P型MOS電晶體610的通道時從節點N3至節點N4洩漏,另外,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760抺除時,開關(P型金屬氧化半導體電晶體)751的閘極端可切換成(1)耦接至接地參考電壓Vss而開啟其通道,以使節點N0耦接第一P型MOS電晶體730的汲極端(在操作時);或(2)將非揮發性記憶體(NVM)單元760切換成浮空狀態(floating),當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760在編程時,開關(P型金屬氧化半導體電晶體)751的閘極端可切換成(或耦接至)編程電壓VPr關閉其通道,而使節點N0斷開第一P型MOS電晶體730的汲極端(在操作時),因此可防止電流經P型MOS電晶體610的通道時從節點N3至節點N4洩漏。另外,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760在編程時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)751的閘極端可切換成(1)耦接至接地參考電壓Vss而開啟其通道,以耦接第一P型MOS電晶體730的汲極端(在操作時)至節點N0;或將非揮發性記憶體(NVM)單元760切換成浮空狀態(floating),當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760操作時,開關(P型金屬氧化半導體電晶體)751的閘極端切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss開啟其通道而耦接第一P型MOS電晶體730的汲極端(在操作時)至節點N0。
另外,第4E圖為本發明實施例中的第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760之電路示意圖,第4E圖中的第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元的抺除、編程及操作可參考上述第4A圖至第4D圖之說明,第4A圖至第4E圖以相同數字代表的元件,第4E圖相同數字的元件規格及說明可參考第4A圖至第4D圖所揭露之規格及說明,其中它們之間的差異如下所示,如第4E圖所示,第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760更包括多個第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760可使其節點N2彼此並聯或其中之一經由一字元線761耦接至一開關752,此開關752例如是N型MOS電晶體,及其複數節點N3經由字元線762彼此並聯或耦接其中之一,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)752可用於形成一通道,此通道之一端耦接至每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N2,此通道之另一端用於切換成(或耦接至)一接地參考電壓Vss、編程電壓VPr或位在電源供應電壓Vcc與接地參考電壓Vss之間的一電壓,當第4型非揮發性記憶體(NVM)單元760抺除時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)752的閘極端切換成(或耦接至)抺除電壓VEr而使節點N0開啟其通道耦接至己切換成接地參考電壓Vss的第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N2,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760在編程時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)752的閘極端可切換成(或耦接至)編程電壓VPr開啟其通道,而使每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N2切換成編程電壓VPr,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760操作時,(1)開關(N型金屬氧化半導體電晶體)752的閘極端可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss關閉其通道,以引導每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N2切換成浮空狀態(floating),或(2)開關(N型金屬氧化半導體電晶體)752的閘極端可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc而開啟其通道,以耦接至己切換成位在電源供應電壓Vcc與接地參考電壓Vss之間一電壓的每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N2,此電壓,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760在省電模式時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)752的閘極端可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss而開啟其通道,以引導每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N2切換成浮空狀態(floating)。
如第4A圖至第4C圖及第4E圖所示,開關752可以係一P型MOS電晶體,其用於形成一通道,此通道之一端耦接至每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N2,此通道之另一端用於切換成(或耦接至)一接地參考電壓Vss、編程電壓VPr或位在電源供應電壓Vcc與接地參考電壓Vss之間的一電壓,當第三型第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760抺除時,開關(P型金屬氧化半導體電晶體)752的閘極端切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss而使節點N0開啟其通道耦接至己切換成接地參考電壓Vss的每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N2,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760在編程時,開關(P型金屬氧化半導體電晶體)752的閘極端可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss開啟其通道,而使每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N2切換成編程電壓VPr,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760操作時,(1)開關(P型金屬氧化半導體電晶體)752的閘極端可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc關閉其通道,以引導每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N2切換成浮空狀態(floating),或(2)開關(P型金屬氧化半導體電晶體)752的閘極端可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss而開啟其通道,以耦接至己切換成位在電源供應電壓Vcc與接地參考電壓Vss之間的一電壓的每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N2,當第四類型非 揮發性記憶體(NVM)單元760在省電模式時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)752的閘極端可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc而開啟其通道,以引導每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N2切換成浮空狀態(floating)。
另外,第4F圖為本發明實施例第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的電路示意圖,第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的抺除、編程及操作可參考上述第4A圖至第4C圖之說明,第4A圖至第4C圖及第4F圖以相同數字代表的元件,第4F圖相同數字的元件規格及說明可參考第4A圖至第4C圖所揭露之規格及說明,其中它們之間的差異如下所示,如第4A圖及第4F圖所示,多個第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760可使其節點N2經由一字元線761彼此耦接並聯或耦接其中之一,及使其複數節點N3經由字元線762彼此並聯或耦接其中之一,及經由字元線762耦接至一開關753,此開關753例如是N型MOS電晶體,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)752可用於形成一通道,此通道之一端耦接至每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N3,此通道之另一端用於切換成(或耦接至)一抺除電壓VEr、編程電壓VPr、電源供應電壓Vcc,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760抺除時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)753的閘極端切換成(或耦接至)抺除電壓VEr而使節點N0開啟其通道耦接至己切換成抺除電壓VEr的每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N3,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760在編程時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)753的閘極端可切換成(或耦接至)編程電壓VPr開啟其通道,而使每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N3切換成編程電壓VPr,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760操作時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)753的閘極端可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc而開啟其通道,使其耦接至己切換成電源供應電壓Vcc的每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N3,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760在省電模式時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)753的閘極端切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss而關閉其通道,以引導每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N3切換成浮空狀態(floating)。
如第4A圖至第4C圖及第4F圖所示,開關753可以係一P型MOS電晶體,其用於形成一通道,此通道之一端耦接至每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N2,此通道之另一端用於切換成(或耦接至)一抺除電壓VEr、編程電壓VPr或電源供應電壓Vcc,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760抺除時,開關(P型金屬氧化半導體電晶體)753的閘極端切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss而使節點N0開啟其通道耦接至己切換成抺除電壓VEr的每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N3,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760在編程時,開關(P型金屬氧化半導體電晶體)753的閘極端可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss開啟其通道,而使每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N3切換成編程電壓VPr,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760操作時,開關(P型金屬氧化半導體電晶體)753的閘極端可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss而開啟其通道,以耦接至己切換成電源供應電壓Vcc的每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N3,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760在省電模式時,開關(P型金屬氧化半導體電晶體)753的閘極端可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc而關閉其通道,以引導每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N3切換成浮空狀態(floating)。
另外,第4G圖為本發明實施例第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的電路示意圖,第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的抺除、編程及操作可參考上述第4A圖至第4C圖之說明,第4A圖至第4C圖及第4G圖以相同數字代表的元件,第4G圖相同數字的元件規格及說明可參考第4A圖至第4C圖所揭露之規格及說明,其中它們之間的差異如下所示,如第4A圖至第4C圖及第4G圖所示,多個第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760可使其節點N2經由一字元線761彼此耦接並聯或耦接其中之一,及使其複數節點N3經由字元線762彼此並聯或耦接其中之一,每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760更可包括一開關754用於形成一通道,此開關754例如是N型MOS電晶體,此通道一端耦接至第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760之N型MOS電晶體750的源極端(在操作時),而其它端用以耦接其節點N4,多個第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的開關(N型金屬氧化半導體電晶體)754之閘極端經由字元線763相互彼此耦接或耦接至另一開關(N型金屬氧化半導體電晶體)754,當每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760抺除時,字元線763可切換成(或耦接至)抺除電壓VEr而開啟開關(N型金屬氧化半導體電晶體)754的通道耦接N型MOS電晶體750的源極端(在操作中)至其節點N4,在多個第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760抺除後,每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760可選擇編程或不編程,例如,最左邊的一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的浮閘極710選擇不編程至邏輯值”0”而保持處在邏輯值”1”,當最左邊的一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760編程及最右邊中的一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760不編程,字元線763可切換成(或耦接至)編程電壓VPr分別開啟它們的開關(N型金屬氧化半導體電晶體)754之通道,以分別耦接他們的N型MOS電晶體750的源極端(在操作中)至節點N4,最左邊的一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N4切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,使電子可從其節點N4至其浮閘極710而隧穿閘極氧化物711,而被補獲在其浮閘極710中,從而其浮閘極710可被編程(抺除)至邏輯值”0”。最右邊的一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N4切換成(或耦接至)編程電壓VPr,以使電子不從其節點N4至其浮閘極710而隧穿閘極氧化物711,因而浮閘極710可保持位在邏輯值”1”,當每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760操作時,字元線763可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc而開啟開關(N型金屬氧化半導體電晶體)754的通道,耦接至N型MOS電晶體750的源極端至其節點N4(在操作中),當每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760在省電模式時,字元線763可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss而關閉開關(N型金屬氧化半導體電晶體)754的通道,以從其節點N4斷開N型MOS電晶體750的源極端(在操作中)。
另外,如第4G圖所示,第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760可以係P型MOS電晶體,每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760用於形成一通道,此開關754例如是N型MOS電晶體,此通道一端耦接至N型MOS電晶體750的源極端(在操作時),而其它端耦接其節點N4,多個第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的開關(N型金屬氧化半導體電晶體)754之閘極端經由字元線763相互彼此耦接或耦接至另一開關(N型金屬氧化半導體電晶體)754,當每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760抺除時,字元線763可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss而開啟開關(N型金屬氧化半導體電晶體)754的通道耦接N型MOS電晶體750的源極端(在操作中)至其節點N4,當最左邊的一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760編程及最右邊中的一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760不編程,字元線763可切換 成(或耦接至)接地參考電壓Vss分別開啟它們的開關(N型金屬氧化半導體電晶體)754之通道,以分別耦接他們的N型MOS電晶體750的源極端(在操作中)至節點N4,當每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760操作時,字元線763可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss而開啟開關(N型金屬氧化半導體電晶體)754的通道,耦接至N型MOS電晶體750的源極端至其節點N4(在操作中),當每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760在省電模式時,字元線763可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc而關閉開關(N型金屬氧化半導體電晶體)754的通道,以從其節點N4斷開N型MOS電晶體750的源極端(在操作中)。
另外,第4H圖至第4R圖為本發明實施例多個第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的電路示意圖,第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的抺除、編程及操作可參考上述第4A圖至第4G圖之說明,第4H圖至第4R圖與第4A圖至第4G圖以相同數字代表的元件,第4H圖至第4R圖相同數字的元件規格及說明可參考第4A圖至第4G圖所揭露之規格及說明,其中它們之間的差異如下所示,如第4H圖所示,開關751及開關752可併入用於第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760抺除、編程或操作時,開關751及開關752可切換如第4D圖及第4E圖所示之說明,如第4I圖所示,開關751及開關753可併入併入用於第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760抺除、編程或操作時,開關751及開關753可切換如第4D圖及第4F圖所示之說明,如第4J圖所示,開關751及開關754可併入併入用於第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760抺除、編程或操作時,開關751及開關754可切換如第4D圖及第4G圖所示之說明,如第4K圖所示,開關752及開關753可併入併入用於第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760抺除、編程或操作時,開關752及開關753可切換如第4E圖及第4F圖所示之說明,如第4L圖所示,開關752及開關754可併入併入用於第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760抺除、編程或操作時,開關752及開關754可切換如第4E圖及第4G圖所示之說明,如第4M圖所示,開關753及開關754可併入併入用於第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760抺除、編程或操作時,開關753及開關754可切換如第4F圖及第4G圖所示之說明,如第4N圖所示,開關751、開關752及開關753可併入併入用於第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760抺除、編程或操作時,開關751、開關752及開關753可切換如第4D圖至第4F圖所示之說明,如第4O圖所示,開關751、開關752及開關754可併入併入用於第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760抺除、編程或操作時,開關751、開關752及開關754可切換如第4D圖、第4E圖及第4G圖所示之說明,如第4P圖所示,開關751、開關753及開關754可併入併入用於第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760抺除、編程或操作時,開關752、開關753及開關754可切換如第4D圖、第4F圖及第4G圖所示之說明,如第4Q圖所示,開關752、開關753及開關754可併入併入用於第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760抺除、編程或操作時,開關752、開關753及開關754可切換如第4E圖至第4G圖所示之說明,如第4R圖所示,開關751、開關752、開關753及開關754可併入併入用於第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760,當第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760抺除、編程或操作時,開關751、開關752、 開關753及開關754可切換如第4D圖至第4G圖所示之說明。
另外,第4S圖為本發明實施例中的第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760之電路示意圖,第4S圖中的第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760的抺除、編程及操作可參考上述第4A圖至第4C圖之說明,第4A圖至第4C圖及第4S圖以相同數字代表的元件,第4S圖相同數字的元件規格及說明可參考第4A圖至第4C圖所揭露之規格及說明,其中它們之間的差異如下所示,如第4S圖所示,在第4A圖至第4R圖中所示的每一第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760更可包括寄生電容755,此寄生電容755具有一第一端點耦接至浮閘極710及一第二端點耦接至電源供應電壓Vcc或耦接至一接地參考電壓Vss,第4A圖所示的結構為本說明書之範例並以結合寄生電容755為一例子,寄生電容755之電容大於第一P型MOS電晶體730的閘極電容、大於第二P型MOS電晶體740的閘極電容及大於N型MOS電晶體750的閘極電容,例如,寄生電容755的電容可等於第一P型MOS電晶體730閘極電容1至1000倍之間、等於第二P型MOS電晶體740閘極電容1至1000倍之間以及等於N型MOS電晶體750閘極電容1至1000倍之間,此寄生電容755的電容範圍可位在0.1aF至1pF之間,因此多的電荷或電子可儲存在浮閘極710之中。
第4A圖至第4R圖中的第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元760,其抺除電壓VEr可大於或等於編程電壓VPr,而編程電壓VPr可大於或等於電源供應電壓Vcc,抺除電壓VEr的範圍在5伏特至0.25伏特之間的電壓,編程電壓VPr的範圍在5伏特至0.25伏特之間的電壓,電源供應電壓Vcc的範圍在3.5伏特至0.25伏特之間的電壓,例如是0.75伏特或3.3伏特。
(5)第五種類型非揮發性記憶體(NVM)單元
第5A圖為本發明一實施例中的第五類型非揮發性記憶體(NVM)單元之電路圖說明,第5B圖為本發明實施例第五種類型非揮發性記憶體(NVM)單元的結構示意圖,如第5A圖及第5B圖所示,第五類型非揮發性記憶體(NVM)單元800可形成在一P型或N型矽半導體基板2(例如是矽基板)上,在此實施例,非揮發性記憶體(NVM)單元800可提供一P型矽半導體基板2耦接接地參考電壓Vss,此第五類型的非揮發性記憶體(NVM)單元800可包括:
(1)一N型條帶802形成在P型矽半導體基板2內之一N型井803上及N型鰭804垂直地凸出於N型井803的頂部表面上,其中N型井803之深度d3w介於0.3微米(μm)至5μm之間且其寬度w3w介於50奈米(nm)至1μm之間,而N型鰭804之高度h3fN介於10nm至200nm之間且其寬度w3fN介於1nm至100nm之間
(2)一第一P型鰭805垂直地凸出於P型矽半導體基板2上,其中第一P型鰭805之高度h2fP介於10nm至200nm之間及其寬度w2fP介於1nm至100nm之間,其中N型鰭804與第一P型鰭805之間的間距(space)介於100nm至2000nm之間。
(3)一第二P型鰭806垂直地凸出於P型矽半導體基板2上,其中第二P型鰭806之高度h3fP介於10nm至200nm之間及其寬度w3fP介於1nm至100nm之間,其中第一P型鰭805與第二P型鰭806之間的間距(space)介於100nm至2000nm之間。
(4)一場氧化物807在P型矽半導體基板2上,此場氧化物807例如是氧化矽,其中場氧化物807可之厚度to介於20nm至500nm之間。
(5)一浮閘極808橫向從N型條帶802的N型鰭804至第二P型鰭806延伸穿過第 一P型鰭805,而形成在場氧化物807上,其中浮閘極808例如是多晶矽、鎢、氮化鎢、鈦、氮化鈦、鉭、氮化鉭、含銅金屬、含鋁金屬或其它導電金屬,其中浮閘極808之寬度wfgN3大於第一P型鰭805上的寬度wfgN2,及大於N型條帶802的N型鰭804上方的寬度wfgN3,其中第二P型鰭806上方的寬度wfgN3可為第一P型鰭805上方的寬度wfgN2的1倍至10倍之間或1.5倍至5倍之間第一P型鰭805上方寬度wfgN2,位在第二P型鰭806上方的寬度wfgN3可為N型條帶802的N型鰭804上方的寬度wfgP3的1至10倍之間或介於1.5倍至5倍,例如等於2倍的N型條帶802的N型鰭804上方的寬度wfgP3,其中N型條帶802的N型鰭804上方的寬度wfgP3介於1nm至25nm之間,第一P型鰭805上方的寬度wfgN2介於1nm至25nm之間,第二P型鰭806上方的寬度wfgN3介於1nm至25nm之間。
(6)一閘極氧化物809橫向從N型條帶802的N型鰭804延伸至第二P型鰭806延伸穿過第一P型鰭805,而形成在閘極氧化物807上,且閘極氧化物809位在浮閘極808與N型鰭804之間、位在浮閘極808與第一P型鰭805之間、位在浮閘極808與第二P型鰭806之間及位在浮閘極808與場氧化物807之間,其中閘極氧化物809之厚度例如介於1nm至5nm之間,此閘極氧化物809例如是氧化矽、含鉿氧化物(hafnium-containing oxide)、含鋯氧化物(zirconium-containing oxide)或含鈦氧化物(titanium-containing oxide)。
另外,第5C圖為本發明實施例第五類型非揮發性記憶體(NVM)單元的結構,第5C圖與第5B圖以相同數字代表的元件,第5C圖所示的元件規格及說明可參考第5B圖所揭露之規格及說明,第5B圖與第5C圖之間之差異如下所示,如第5C圖所示,在第二P型鰭806上方浮閘極808的寬度wfgN3可大致上等於在第一P型鰭805上方浮閘極808的寬度wfgN2,及等於在N型條帶802的N型鰭804上方浮閘極808的寬度wfgP3,在N型條帶802的N型鰭804上方的寬度wfgP3介於1nm至25nm之間,在第一P型鰭805上方的寬度wfgN2介於1nm至25nm之間,在第二P型鰭806上方的寬度wfgN3介於1nm至25nm之間。
另外,第5D圖為本發明實施例第五類型非揮發性記憶體(NVM)單元的結構,第5B圖與第5D圖以相同數字代表的元件,第5D圖所示的元件規格及說明可參考第5B圖所揭露之規格及說明,第5B圖與第5D圖之間之差異如下所示,如第5D圖所示,多個相互平行的第二P型鰭806垂直凸出P型矽半導體基板2上,其中每一第二P型鰭806大致上具有相同的高度h3fP,例如可介於10nm至200nm之間,及大致上具有相同的寬度w3fP,例如可介於1nm至100之間,其中複數第二P型鰭806的組合可用於N型鰭式場效電晶體(FinFET),第一P型鰭805與位在第二P型鰭806旁邊的第一P型鰭805之間的間距s9可介於100nm與2000nm之間,二相鄰第二P型鰭806之間的間距s10,例如可介於2nm至200nm之間,第二P型鰭806的數目可介於1個至10個之間,在本實施例中例如為2個,浮閘極808可橫向從N型鰭804至第二P型鰭806橫向超過第一P型鰭805而延伸形成在場氧化物807上,其中浮閘極808垂直地位在第一P型鰭805上方之面積為第十一總面積A11,而垂直地位在第一P型鰭805上之面積為第十二總面積A12,垂直地位在第一N型鰭804上之面積為第十三總面積A13,其中第十一總面積A11可大於或等於第十二總面積A12的1倍至10倍或1.5位至5倍,第十一總面積A11例如等於2倍的第十二總面積A12,其第十一總面積A11可大於或等於第十三總面積A13的1倍至10倍或1.5位至5倍,第十一總面積A11例 如等於2倍的第十三總面積A13,其中第十一總面積A11可介於1至2500nm2、第十二總面積A12可介於1至2500nm2及第十三總面積A13可介於1至2500nm2
如第5A圖至第5D圖,N型鰭804可摻雜P型原子,例如是硼原子,以形成2個P+部在閘極氧化物809的相對二側之N型鰭804內,分別作為P型金屬氧化物半導體(MOS)電晶體830的源極端及汲極端,其中N型鰭804的硼原子的濃度可大於P型矽半導體基板2中的硼原子濃度。第一P型鰭805可摻雜N型原子,例如是砷原子,以形成2個N+部在閘極氧化物809的相對二側之第一P型鰭805內,分別作為第一N型金屬氧化物半導體(MOS)電晶體850的源極端及汲極端,其中第一P型鰭805的砷原子的濃度可大於N型井803中的硼原子濃度。每一第二P型鰭806可摻雜N型原子,例如是砷原子,以形成2個N+部在閘極氧化物809的相對二側之第二P型鰭806內,位於閘極氧化物809一側的多個第二P型鰭806中多個N+部可相互耦接,分別構成第二N型金屬氧化物半導體(MOS)電晶體840的通道二端,及位於閘極氧化物809另一側的多個第二P型鰭806中多個N+部可相互耦接,以構成第一N型MOS電晶體840的通道的另一端,在第二P型鰭806中的砷原子濃度可大於N型井803中砷原子濃度,因此,第一N型MOS電晶體840的電容可大於或等於第一N型金屬氧化半導體電晶體850的電容,及大於或等於P型MOS電晶體830,第一N型MOS電晶體840的電容為P型MOS電晶體830電容1倍至10倍之間或1.5倍至5倍之間,例如第一N型MOS電晶體840的電容例如係P型MOS電晶體830的2倍,第一N型金屬氧化半導體電晶體850的電容係介於0.1aF至10fF之間,而第一N型MOS電晶體840的電容係介於0.1aF至10fF之間及P型MOS電晶體830的電容係介於0.1aF至10fF之間。
如第5A圖至第5D圖所示,浮閘極808耦接至第一N型金屬氧化半導體電晶體850的閘極端、第一N型MOS電晶體840的閘極端及P型MOS電晶體830的閘極端,用以捕獲其中的電子,P型MOS電晶體830可形成一通道,其二端中之一端耦接至N型條帶802連接之節點N3,而其另一端點耦接至節點N0,第一N型金屬氧化半導體電晶體850可形成一通道,其二端的其中之一端耦接至P型矽半導體基板2所耦接的節點N4,而其二端中的另一端點耦接至節點N0,第一N型MOS電晶體840可形成一通道,其二端的其中之一端耦接至P型矽半導體基板2所耦接的節點N4,而其二端中的另一端點耦接至節點N2。
如第5A圖至第5D圖所示,在浮閘極808開始抹除時,(1)節點N3耦接至己切換成抺除電壓VEr的N型條帶802;(2)節點N2切換成(耦接至)接地參考電壓Vss;及(3)連接至P型矽半導體基板2連接之節點N4處在接地參考電壓Vss;及(4)將節點N0係切換成浮空狀態(floating),由於P型MOS電晶體830的閘極電容小於第一N型金屬氧化半導體電晶體850及第一N型MOS電晶體840的閘極電容總合,使得浮閘極808與節點N3之間的電壓差大到足夠引起電子穿隧。因此,在浮閘極808被捕獲的電子穿隧閘極氧化物809至節點N3,而使得浮閘極808可被抺除至邏輯值”1”。
如第5A圖至第5D圖所示,當浮閘極808在抹除時,(1)節點N3耦接至N型條帶802切換成(或耦接至)一抺除電壓VEr,;(2)節點N2可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)P型矽半導體基板2所耦接的節點N4耦接至P型矽半導體基板2至接地參考電壓Vss及;(4)將節點N0係切換成浮空狀態(floating),由於P型MOS電晶體830的閘極電容小於第 一N型MOS電晶體840的閘極電容與第一N型金屬氧化半導體電晶體850的閘極電容總合,使得浮閘極808與節點N3之間的電壓差大到足夠引起電子穿隧。因此,陷入在(或被捕獲)在浮閘極808中的電子可穿過閘極氧化物809至節點N3,使得浮閘極808可被抺除至邏輯值”1”。
如第5A圖至第5D圖所示,在非揮發性記憶體(NVM)單元800的操作時,(1)將節點N2係切換成浮空狀態(floating);(2)節點N4耦接至處於接地參考電壓Vss下的P型矽半導體基板2;(3)節點N3係耦接至己切換成電源供應電壓Vcc的N型條帶802,及(4)節點N0可切換至作為非揮發性記憶體(NVM)單元800的輸出端,當浮閘極808充電為邏輯值”1”時,可關閉P型MOS電晶體830,且可開啟第一N型金屬氧化半導體電晶體850,而使節點N4切換成(耦接至)接地參考電壓Vss,此時節點N4切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,而使節點N0經由第一N型金屬氧化半導體電晶體850的通道切換以作為非揮發性記憶體(NVM)單元800的輸出端,節點N0係處在邏輯值”0”,此時,可開啟第一P型MOS電晶體830,且關閉第一N型金屬氧化半導體電晶體850,而使節點N3(己切換成電源供應電壓Vcc的)經由P型MOS電晶體830的通道耦接至節點N0,此節點N0切換以作為非揮發性記憶體(NVM)單元800的輸出端並處在邏輯值”1”。
另外,第5E圖為本發明實施例第五類型非揮發性記憶體(NVM)單元的電路示意圖,第五類型非揮發性記憶體(NVM)單元的抺除、編程及操作可參考上述第5A圖至第5D圖之說明,第5A圖至第5E圖以相同數字代表的元件,第5E圖相同數字的元件規格及說明可參考第5A圖至第5D圖所揭露之規格及說明,其中它們之間的差異如下所示,如第5E圖所示,第五類型非揮發性記憶體(NVM)單元800更可包括開關851在P型MOS電晶體830的汲極端點(在操作時)與節點N0之間,此開關851例如是一N型金屬氧化半導體電晶體或P型金屬氧化半導體電晶體,以下說明開關851皆以N型金屬氧化半導體電晶體為例,此開關(N型金屬氧化半導體電晶體)851可用於形成一通道,此通道一端耦接至P型MOS電晶體830的汲極端(在操作時)而通道的另一端耦接至節點N0,當第五類型非揮發性記憶體(NVM)單元800在抹除時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)851的閘極端切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss而關閉其通道,而使節點N0斷開第一N型金屬氧化半導體電晶體850的汲極端(在操作時),在此例子中,節點N0可選擇性地切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,因此可防止電流經P型MOS電晶體830的通道時從節點N3至節點N4洩漏。當第五類型非揮發性記憶體(NVM)單元800在編程時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)851的閘極端可切換成(或耦接至)接地參數電壓Vss關閉其通道,而使節點N0斷開P型MOS電晶體830的汲極端(在操作時),因此可防止電流經第一P型MOS電晶體730的通道時從節點N3至節點N4洩漏,當第五類型非揮發性記憶體(NVM)單元800操作時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)851的閘極端切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc開啟其通道而耦接P型MOS電晶體830的汲極端(在操作時)至節點N0。
另外,如第5E圖所示,開關851可以係一P型MOS電晶體用於形成一通道,此通道的一端耦接P型MOS電晶體830的汲極端(在操作中),而其它端耦接至節點N0,當第五類型非揮發性記憶體(NVM)單元800進行抺除時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)851的閘極端切換成(或耦接至)抺除電壓VEr而使節點N0關閉其通道,而斷開P型MOS電晶體830的汲極端,因此可防止電流經P型MOS電晶體830的通道時從節點N3至節點N4洩漏。當第五類型非揮發性記憶體(NVM)單元800操作時,開關(N型金屬氧化半導體電晶體)851的閘極端切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss開啟其通道而耦接P型MOS電晶體830的汲極端(在操作時)至節點N0。
另外,第5F圖為本發明實施例中的第五類型非揮發性記憶體(NVM)單元800之電路示意圖,第5F圖中的第五類型非揮發性記憶體(NVM)單元的抺除、編程及操作可參考上述第5A圖至第5D圖之說明,第5A圖至第5D圖及第5F圖以相同數字代表的元件,第5F圖相同數字的元件規格及說明可參考第5A圖至第5D圖所揭露之規格及說明,其中它們之間的差異如下所示,如第5F圖所示,在第5A圖至第5E圖中所示的每一非揮發性記憶體(NVM)單元800更可包括寄生電容855,此寄生電容855具有一第一端點耦接至浮閘極808及一第二端點耦接至電源供應電壓Vcc或耦接至一接地參考電壓Vss,第5A圖所示的結構為本說明書之範例並以結合寄生電容855為一例子,如第5F圖所示,寄生電容855之電容大於P型MOS電晶體830的閘極電容、大於第一N型金屬氧化半導體電晶體850的閘極電容及大於第一N型MOS電晶體840的閘極電容,例如,寄生電容855的電容可等於P型MOS電晶體830閘極電容1至1000倍之間、等於第一N型MOS電晶體840閘極電容1至1000倍之間以及等於第一N型金屬氧化半導體電晶體850閘極電容1至1000倍之間,此寄生電容855的電容範圍可位在0.1aF至1pF之間,因此多的電荷或電子可儲存在浮閘極808之中。
第5A圖至第5F圖中的第2類型非揮發性記憶體(NVM)單元800,其抺除電壓VEr可大於或等於編程電壓VPr,而編程電壓VPr可大於或等於電源供應電壓Vcc,抺除電壓VEr的範圍在5伏特至0.25伏特之間的電壓,編程電壓VPr的範圍在5伏特至0.25伏特之間的電壓,電源供應電壓Vcc的範圍在3.5伏特至0.25伏特之間的電壓,例如是0.75伏特或3.3伏特。
(6)第六種類型非揮發性記憶體(NVM)單元
如第6A圖至第6C圖為本發明實施例第六種型式半導體晶片的結構剖面示意圖,第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元可以是一電阻式隨機存取記憶體(resistive random access memories,RRAM),亦即為可編程電阻,如第6A圖所示,用於標準商業化FPGA IC晶片200的一半導體晶片100,該半導體晶片100包括複數電阻式隨機存取記憶體870,形成在其P型矽半導體基板2上的一RRAM層869中,且RRAM層869在半導體晶片100之第一交互連接線結構(first interconnection scheme,FISC)20中且在保護層14下方,位在第一交互連接線結構(FISC)20中及位在RRAM層869與P型矽半導體基板2之間的交互連接線金屬層6可耦接電阻式隨機存取記憶體870至位在P型矽半導體基板2上的複數半導體元件4,位在第一交互連接線結構(FISC)20內且位在保護層14與RRAM層869之間的交互連接線金屬層6可耦接電阻式隨機存取記憶體870至半導體晶片100的外部電路,且其線距(Line pitch)小於0.5微米,位在第一交互連接線結構(FISC)20內且位在RRAM層869上方的每一交互連接線金屬層6之厚度例如大於第一交互連接線結構(FISC)20內且位在RRAM層869下方的每一交互連接線金屬層6的厚度,對於P型矽半導體基板2、半導體元件4、交互連接線金屬層6及保護層14的詳細說明可參考第22A圖至第22Q圖之說明及圖示。
如第6A圖所示,每一電阻式隨機存取記憶體870可具有(i)由氮化鈦、氮化鉭、銅或鋁合金所製成的一底部電極871,其厚度例如介於1nm至20nm之間;(ii)由氮化鈦、氮化鉭、銅或鋁合金所製成的一頂部電極872,其厚度例如介於1nm至20nm之間;(iii)一電阻層873介於底部電極871與頂部電極872之間,其厚度例如介於1nm至20nm之間,其中電阻層873可由包括諸如一巨大磁阻(colossal magnetoresistance,CMR)的材質、一聚合物材質、一導電橋接隨機存取記憶體(conductive-bridging random-access-memory,CBRAM)類型的材料、經摻雜的金屬氧化物 或是二元金屬氧化物(binary metal oxide)所組成的複合層,其中巨大磁阻材質例如是La1-xCaxMnO3(0<x<1)、La1-xSrxMnO3(0<x<1)或Pr0.7Ca0.3MnO3,聚合物材質例如是聚(偏氟乙烯三氟乙烯),亦即為P(VDF-TrFE),導電橋接隨機存取記憶體類型的材質例如是Ag-GeSe基底的材料、摻雜金屬氧化物的材料,例如是摻雜Nb之SrZrO3,而二元金屬氧化物(binary metal oxide),例如是WOx(0<x<1)、氧化鎳(NiO)、二氧化鈦(TiO2)或二氧化鉿(HfO2)或是例如是包括鈦的金屬。
例如,如第6A圖所示,電阻層873可包括一氧化物層在底部電極871上,其中取決於施加的電壓可以形成導電絲(線)或路徑於其中,此電阻層873的氧化物層可包括例如二氧化鉿層或氧化鉭(Ta2O5)層,其厚度例如為5nm、10nm、15nm或介於1nm至30nm之間、介於3nm至20nm之間或介於5nm至15nm之間,此氧化物層可由原子層沉積(atomic-layer-deposition,ALD)方法形成。電阻層873更包括一儲氧層,位在其氧化物層上,用於捕獲來自氧化物層的氧原子,此儲氧層可包括鈦金屬或鉭金屬以捕捉來自氧化物層的氧原子,以形成氧化鈦(TiOx)或氧化鉭(TaOx),此儲氧層之厚度例如為2nm、7nm或12nm或介於1nm至25nm之間、介於3nm至15nm之間或介於5nm至12nm之間,此儲氧層可由原子層沉積(atomic-layer-deposition,ALD)方法形成,頂部電極872係形成在電阻層873的儲氧層上。
例如,如第6A圖所示,電阻層873可包括一厚度例如介於1nm至20nm之間的二氧化鉿層在其底部電極871上、一厚度例如介於1nm至20nm之間的二氧化鈦層在其二氧化鉿層上、及一厚度例如介於1nm至20nm之間的鈦層位在二氧化鈦層上,而頂部電極872係形成在電阻層873的鈦層上。
如第6A圖所示,每一電阻式隨機存取記憶體870的底部電極871形成在如第22A圖至第22Q圖中較低的一交互連接線金屬層6之較低的金屬栓塞10之上表面上,及在如第22A圖至第22Q圖中較低的絕緣介電層12之上表面上,如第22A圖至第22Q圖中較高的絕緣介電層12可形成在電阻式隨機存取記憶體870的頂部電極872上,及如第22A圖至第22Q圖中較高的一交互連接線金屬層6具有較高的金屬栓塞10形成在較高的絕緣介電層12內及在電阻式隨機存取記憶體870的頂部電極872上。
另外,如第6B圖所示,每一電阻式隨機存取記憶體870的底部電極871形成在如第22A圖至第22Q圖中較低的一交互連接線金屬層6之較低的金屬接墊或連接線8的上表面上,如第22A圖至第22Q圖中較高的絕緣介電層12可形成在一電阻式隨機存取記憶體870的頂部電極872上,以及如第22A圖至第22Q圖一高的交互連接線金屬層6具有較高的金屬栓塞10形成在較高的絕緣介電層12內及在電阻式隨機存取記憶體870的頂部電極872上。
另外,如第6C圖所示,每一電阻式隨機存取記憶體870的底部電極871形成在如第22A圖至第22Q圖中較低的一交互連接線金屬層6之較低的金屬接墊或連接線8的上表面上,如第22A圖至第22Q圖中較高的交互連接線金屬層6具有較高的金屬接墊或連接線8形成在較高的絕緣介電層12內及在電阻式隨機存取記憶體870的頂部電極872上。
如第6D圖為本發明一實施例電阻式隨機存取記憶體的各種狀態的曲線圖,其中,x軸表示電阻式隨機存取記憶體的電壓,而y軸表示電阻式隨機存取記憶體的電流的對數值,如第6A圖至第6D圖所示,在重置或設置步驟之前,當電阻式隨機存取記憶體870開始首次使用時,可對每一電阻式隨機存取記憶體870執行形成步驟,以在其電阻層873內形成空穴,使 電荷能夠在底部電極871與頂部電極872之間以低電阻的方式移動,當每一電阻式隨機存取記憶體870在執行形成步驟時,可向其頂部電極872施加介於0.25伏特至3.3伏特的一形成電壓Vf,並且將接地參考電壓Vss施加至其底部電極871,使得每個電阻式隨機存取記憶體870可經形成步驟後成為具有100至100,000歐姆之間的低電阻。
如第6D圖所示,電阻式隨機存取記憶體870在進行上述的形成步驟之後,可對電阻式隨機存取記憶體870執行一重置步驟,當電阻式隨機存取記憶體870在執行重置步驟時,可向其底部電極871施加介於0.25伏特至3.3伏特的一重置電壓VRE,及向頂部電極872施加一接地參考電壓Vss,使得該電阻式隨機存取記憶體870可在重置步驟中被重置為具有介於1000歐姆(ohms)至100,000,000,000歐姆(ohms)之間的一高電阻,其中形成電壓Vf係大於重置電壓VRE
如第6D圖所示,電阻式隨機存取記憶體870經上述重置步驟而成為具有高電阻時,一電阻式隨機存取記憶體870可執行一設定步驟,當電阻式隨機存取記憶體870在執行設定步驟時,可向其頂部電極872施加介於0.25伏特至3.3伏特之間的一設定電壓VSE,及向其底部電極871施加一接地參考電壓Vss,使得電阻式隨機存取記憶體870可在設定步驟中被設定成具有介於100歐姆至100000歐姆之間的低電阻,其中形成電壓Vf係大於設定電壓VSE
如第6E圖為本發明實施例一第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元電路示意圖,第6F圖為本發明實施例第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元的結構示意圖,如第6E圖及第6F圖所示,二個電阻式隨機存取記憶體870在以下說明中分別稱為電阻式隨機存取記憶體870-1及電阻式隨機存取記憶體870-2,電阻式隨機存取記憶體870-1及電阻式隨機存取記憶體870-2可提供用在第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元900中,亦即為互補型電阻式隨機存取記憶體(RRAM),其簡寫為CRRAM,此電阻式隨機存取記憶體870-1的底部電極871耦接至電阻式隨機存取記憶體870-2的底部電極871及第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元900的節點M3,電阻式隨機存取記憶體870-1的頂部電極872耦接節點M1,電阻式隨機存取記憶體870-2的頂部電極872耦接至節點M2。
如第6E圖及第6F圖所示,當電阻式隨機存取記憶體870-1及電阻式隨機存取記憶體870-2執行形成步驟時,(1)節點M1及節點M2可切換成(或耦接至)形成電壓Vf,例如介於0.25伏特至3.3伏特之間的電壓,其中形成電壓Vf大於電源供應電壓Vcc,及(2)節點M3可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,使得電流可在一第一前進方向(forward direction)上從電阻式隨機存取記憶體870-1的頂部電極872流至電阻式隨機存取記憶體870-1的底部電極871,以增加在電阻式隨機存取記憶體870-1的電阻層873中的空穴,因此電阻式隨機存取記憶體870-1可在執行形成步驟中被形成具有介於100歐姆至100000歐姆之間的一第一低電阻。一電流可在一第二前進方向上從電阻式隨機存取記憶體870-2的頂部電極872流至電阻式隨機存取記憶體870-2的底部電極871,以增加在電阻式隨機存取記憶體870-2的電阻層873中的空穴,因此電阻式隨機存取記憶體870-2可在執行形成步驟中被形成具有介於100歐姆至100000歐姆之間的一第二低電阻,其中第二低電阻可等於或幾乎等於第一低電阻,或者,第一低電阻與第二低電阻之間的差值相對於第一低電阻及第二低電阻中較大的一個的比值(比率)可小於50%。
在第一種情況下,如第6E圖及第6F圖所示,在執行上述形成步驟後,可對電 阻式隨機存取記憶體870-2執行重置步驟,此時(1)節點M1切換成(或耦接至)編程電壓VPr,例如可介於0.25伏特至3.3伏特之間的電壓,且可等於或大於電阻式隨機存取記憶體870-2的該重置電壓VRE及大於電源供應電壓Vcc;(2)節點M3係切換成浮空狀態(floating)。因此,一電流可在一第二往後(backward direction)方向上從電阻式隨機存取記憶體870-2的底部電極871流至電阻式隨機存取記憶體870-2的頂部電極872,其中第二往後方向係與第二前進方向相反,以減少電阻式隨機存取記憶體870-2的電阻層873中的空穴,因此電阻式隨機存取記憶體870-2可在重置步驟中被重置成具有介於1000歐姆至100,000,000,000之間的一第一高電阻,此時電阻式隨機存取記憶體870-1係保持在該第一低電阻,該第一高電阻可等於1.5倍至10,000,000倍的第一低電阻,因此第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元900可使節點M3的電壓被編程為邏輯值”1”,其中在操作時節點M3可作為第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元900的輸出端。
在第二種情況下,如第6E圖及第6F圖所示,在執行上述形成步驟後,可對電阻式隨機存取記憶體870-1執行重置步驟,此時(1)節點M2可切換成(或耦接至)該編程電壓VPr,例如介於0.25伏特至3.3伏特之間的電壓,且可等於或大於電阻式隨機存取記憶體870-1的該重置電壓VRE及大於電源供應電壓Vcc;(2)節點M1可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(3)節點M3係切換成浮空狀態(floating)。因此,一電流可在一第一往後(backward direction)方向上從電阻式隨機存取記憶體870-1的底部電極871流至電阻式隨機存取記憶體870-1的頂部電極872,其中第一往後方向係與第一前進方向相反,以減少電阻式隨機存取記憶體870-2的電阻層873中的空穴,因此電阻式隨機存取記憶體870-1可在重置步驟中被重置成具有介於1000歐姆至100,000,000,000之間的一第二高電阻,此時電阻式隨機存取記憶體870-2係保持在該第二低電阻,該第二高電阻可等於1.5倍至10,000,000倍的第二低電阻,因此第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元900可使節點M3的電壓被編程為邏輯值”0”,其中在操作時節點M3可作為第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元900的輸出端。
如第6E圖及第6F圖所示,在第六非揮發性記憶體(NVM)單元900在第一種情況下被編程至邏輯值”1”後,此時第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元900在第三種情況下可被編程至(並儲存為)邏輯值”0”,此時電阻式隨機存取記憶體870-1可在重置步驟中被重置成具有一第三高電阻,及電阻式隨機存取記憶體870-2在設定步驟中可被設定成一第三低電阻,為達成該目的,(1)節點M2可切換成(或耦接至)編程電壓VPr,例如介於0.25伏特至3.3伏特之間的電壓,此編程電壓VPr等於或大於電阻式隨機存取記憶體870-1的重置電壓VRE、等於或大於電阻式隨機存取記憶體870-2的設定電壓VSE及大於電源供應電壓Vcc;(2)節點M1可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點M3係切換成浮空狀態(floating)。因此,一電流可在一第二前進方向上從電阻式隨機存取記憶體870-2的頂部電極872流至電阻式隨機存取記憶體870-2的底部電極871,以增加在電阻式隨機存取記憶體870-2的電阻層873中的空穴,因此電阻式隨機存取記憶體870-2可經由上述設定步驟被設定成具有介於100歐姆至100,000歐姆之間的第三低電阻,然後此電流可在第一往後方向上從電阻式隨機存取記憶體870-1的底部電極871流至電阻式隨機存取記憶體870-1的頂部電極872,以減少電阻式隨機存取記憶體870-1的電阻層873中的空穴,因此電阻式隨機存取記憶體870-1可在重置步驟中被重置成具有介於1000歐姆至100,000,000,000之間的一第三高電阻,該第三高電阻可等於1.5倍至10,000,000倍的第三低電阻,因此第六類型非 揮發性記憶體(NVM)單元900可使節點M3的電壓被編程為邏輯值”0”,其中在操作時節點M3可作為第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元900的輸出端。
如第6E圖及第6F圖所示,在第六非揮發性記憶體(NVM)單元900在第二種情況下被編程至邏輯值”0”後,第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元900在第四種情況下可被編程至(並儲存為)邏輯值”1”,在第四種情況下,電阻式隨機存取記憶體870-2可在重置步驟中被重置成具有一第四高電阻,及電阻式隨機存取記憶體870-1可經由上述設定步驟被設定成一第四低電阻,為達成該目的,(1)節點M1切換成(或耦接至)編程電壓VPr,例如介於0.25伏特至3.3伏特之間的電壓,此編程電壓VPr可等於或大於電阻式隨機存取記憶體870-2的重置電壓VRE、等於或大於電阻式隨機存取記憶體870-1的設定電壓VSE及大於電源供應電壓Vcc;(2)節點M2可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點M3係切換成浮空狀態(floating)。因此,一電流可在一第一前進方向上從電阻式隨機存取記憶體870-1的頂部電極872流至電阻式隨機存取記憶體870-1的底部電極871,以增加在電阻式隨機存取記憶體870-1的電阻層873中的空穴,因此電阻式隨機存取記憶體870-1可經由上述設定步驟被設定成具有介於100歐姆至100,000歐姆之間的第四低電阻,然後此電流可在第二往後方向上從電阻式隨機存取記憶體870-2的底部電極871流至電阻式隨機存取記憶體870-2的頂部電極872,以減少在電阻式隨機存取記憶體870-2的電阻層873中的空穴,因此電阻式隨機存取記憶體870-2可在重置步驟中被重置成具有介於1000歐姆至100,000,000,000之間的一第四高電阻,該第四高電阻可等於1.5倍至10,000,000倍的第四低電阻,因此第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元900可使節點M3的電壓被編程為邏輯值”1”,其中在操作時節點M3可作為第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元900的輸出端。
在操作時,請參考第6E圖及第6F圖所示,(1)節點M1可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點M2可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(3)節點M3可切換成作為第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元900的輸出端,當電阻式隨機存取記憶體870-1在重置步驟中被重置成具有第一高電阻或第三高電阻,及電阻式隨機存取記憶體870-2在設定步驟中被設定成具有第二低電阻或第三低電阻,第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元900可在節點M3產生一輸出,其電壓介於接地參考電壓Vss與一半的電源供應電壓Vcc之間,定義為邏輯值”0”,當電阻式隨機存取記憶體870-1在執行設定步驟中被設定成具有第一低電阻或第四低電阻,及電阻式隨機存取記憶體870-2在重置成具有第二高電阻或第四高電阻時,第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元900可在節點M3產生一輸出,其電壓係介於電源供應電壓Vcc與一半的電源供應電壓Vcc之間,定義為邏輯值”1”。
另外,如第6G圖所示,第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元900可由可編程的電阻之電阻式隨機存取記憶體870及一不可編程的電阻875組成,第6G圖為本發明實施例之第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元一電路示意圖,電阻式隨機存取記憶體870的底部電極871耦接至不可編程的電阻875的一第一端點及耦接至第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元900的一節點M12,電阻式隨機存取記憶體870的頂部電極872耦接至節點M10,以及不可編程的電阻875相對於其第一端點之一第二端點耦接至節點M11。
如第6G圖所示,當電阻式隨機存取記憶體870執行形成步驟時,(1)節點M10可切換成(或耦接至)形成電壓Vf,例如介於0.25伏特至3.3伏特之間的電壓,其中形成電 壓Vf大於電源供應電壓Vcc,及(2)節點M3可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,及(3)將節點M11係切換成浮空狀態(floating),使得電流可在一第一前進方向(forward direction)上從電阻式隨機存取記憶體870的頂部電極872流至電阻式隨機存取記憶體870的底部電極871,以增加在電阻式隨機存取記憶體870的電阻層873中的空穴,因此電阻式隨機存取記憶體870可在形成步驟中被形成具有介於100歐姆至100000歐姆之間的一第五低電阻,此第五低電阻比不可編程的電阻875的電阻值低,不可編程的電阻875的電阻值可等於第五低電阻1.5倍至10,000,000倍之間。
如第6G圖所示,在執行上述形成步驟後,可對電阻式隨機存取記憶體870執行重置步驟,此時(1)節點M11切換成(或耦接至)編程電壓VPr,例如可介於0.25伏特至3.3伏特之間的電壓,且可等於或大於電阻式隨機存取記憶體870的該重置電壓VRE及大於電源供應電壓Vcc;(2)節點M10可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(3)節點M12係切換成浮空狀態(floating)。因此,一電流可在一往後方向上從電阻式隨機存取記憶體870的底部電極871流至電阻式隨機存取記憶體870的頂部電極872,其中往後方向係與前進方向相反,以減少在電阻式隨機存取記憶體870的電阻層873中的空穴,因此電阻式隨機存取記憶體870可在重置步驟中被重置成具有介於1000歐姆至100,000,000,000之間的一第五高電阻,此第五高電阻大於不可編程的電阻875的電阻值,該第五高電阻可等於1.5倍至10,000,000倍的不可編程的電阻875的電阻值,因此第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元900可使節點M12的電壓被編程為邏輯值”0”,其中在操作時節點M12可作為第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元900的輸出端。
如第6G圖所示,在第六非揮發性記憶體(NVM)單元900被編程至邏輯值”0”後,第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元900可被編程至(並儲存為)邏輯值”1”。為達成此目的,電阻式隨機存取記憶體870可經由上述設定步驟被設定成一第六低電阻,此時(1)節點M10切換成(或耦接至)電壓介於0.25伏特至3.3伏特之間的電壓,此電壓等於或大於電阻式隨機存取記憶體870的設定電壓VSE及大於電源供應電壓Vcc;(2)節點M11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點M12係切換成浮空狀態(floating)。因此,一電流可在一第一前進方向上從電阻式隨機存取記憶體870的頂部電極872流至電阻式隨機存取記憶體870的底部電極871,以增加在電阻式隨機存取記憶體870的電阻層873中的空穴,因此電阻式隨機存取記憶體870可經由上述設定步驟被設定成具有介於100歐姆至100,000歐姆之間的第六低電阻,在設定步驟時此第六低電阻比不可編程的電阻875的電阻值低,不可編程的電阻875的電阻值可等於1.5倍至10,000,000倍的第六低電阻,因此第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元900可使節點M12的電壓被編程為邏輯值”1”,其中在操作時節點M12可作為第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元900的輸出端。
在操作時,參考第6G圖所示,(1)節點M10可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點M11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,及(3)節點m12可切換成作為第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元900的輸出端,當電阻式隨機存取記憶體870重置成具有第五高電阻,第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元900可在節點M12產生一輸出,其電壓位在接地參考電壓Vss與一半的電源供應電壓Vcc之間,其邏輯值定義為”0”,當電阻式隨機存取記憶體870在形成步驟中被形成具有第五低電阻或在設定步驟中被設定成具有第六低電阻時,第六類型非揮發性記憶體(NVM)單元900可在節點M3產生一輸出,其電壓介於電源供應電壓Vcc與一半的電源供應電壓Vcc之間,定義為邏輯值”1”。
(7)第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元
第7A圖至第7C圖為本發明實施例用於半導體晶片的第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元的各種結構的剖面示意圖,第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元可以是磁阻式隨機存取記憶體(Magnetoresistive Random Access Memory,MRAM),亦即為可編程電阻,如第7A圖所示,圖中揭示用於FPGA IC晶片200的一半導體晶片100包括複數磁阻式隨機存取記憶體880形成在其P型矽半導體基板2上方的一MRAM層879內,MRAM層879位在半導體晶片100之的保護層14下方的第一交互連接線結構(FISC)20內,該半導體晶片100包括複數交互連接線金屬層6,此交互連接線金屬層6在第一交互連接線結構(FISC)20內並且在MRAM層879與P型矽半導體基板2之間,交互連接線金屬層6耦接磁阻式隨機存取記憶體880及在P型矽半導體基板2上的複數半導體元件4,在第一交互連接線結構(FISC)20內且位在保護層14與RRAM層869之間的複數交互連接線金屬層6耦接電阻式隨機存取記憶體870至半導體晶片100的外部電路,其中交互連接線金屬層6具有一線距(Line pitch)小於05微米,位在第一交互連接線結構(FISC)20內且位在RRAM層869上方的每一交互連接線金屬層6之厚度大於位在第一交互連接線結構(FISC)20在內且位在RRAM層869下方的每一交互連接線金屬層6的厚度,對於P型矽半導體基板2、半導體元件4、交互連接線金屬層6、第一交互連接線結構(FISC)20及保護層14的詳細說明可參考第22A圖至第22Q圖之說明及圖示。
如第7A圖所示,每一磁阻式隨機存取記憶體880具有由氮化鈦、銅或鋁合金所製成的一底部電極881,其厚度例如介於1nm至20nm之間,每一磁阻式隨機存取記憶體880另具有由氮化鈦、銅或鋁合金所製成的一頂部電極882,其厚度例如介於1nm至20nm之間,每一磁阻式隨機存取記憶體880另具有厚度例如介於1nm至35nm之間的磁阻層883,此磁阻層883位在底部電極881與頂部電極882之間,第一種替代方案,磁阻層883可由下列組成:(1)一反鐵磁層884(antiferromagnetic layer)位在底部電極881上,反鐵磁層884即鎖定層(pinning layer),例如是鉻、鐵-錳合金、氧化鎳、硫化亞鐵、Co/[CoPt]4等材質所構成,其厚度例如介於1nm至10nm之間;(2)一固定磁性層885(pinned magnetic layer)在反鐵磁層884上,固定磁性層885例如是FeCoB合金或是Co2Fe6B2合金,其厚度例如介於1nm至10nm之間、介於0.5nm至35nm之間或介於1nm至3nm之間;(3)一隧穿氧化物層886(tunneling oxide layer)在固定磁性層885上,隧穿氧化物層886亦即為隧穿阻障層(tunneling barrier layer),隧穿氧化物層886例如是氧化鎂(MgO),其厚度例如介於0.5nm至5nm之間、介於0.3nm至2.5nm之間或介於0.5nm至1.5nm之間;(4)一自由磁性層887(free magnetic layer)在隧穿氧化物層886上,自由磁性層887例如是FeCoB合金或是Co2Fe6B2合金等材質構成,其厚度例如介於1nm至3nm之間,頂部電極882形成在磁阻層883的自由磁性層887上,固定磁性層885與自由磁性層887具有相同的材質。
如第7A圖所示,每一磁阻式隨機存取記憶體880的底部電極881形成在如第22A圖至第22Q圖中較低的一交互連接線金屬層6之較低的金屬栓塞10之上表面上,及在如第22A圖至第22Q圖中較低的絕緣介電層12上表面上,如第22A圖至第22Q圖中較高的絕緣介電層12可形成在其中之一磁阻式隨機存取記憶體880的頂部電極882上,及如第22A圖至第22Q圖中較高的一交互連接線金屬層6具有較高的金屬栓塞10,每一金屬栓塞10形成在較高的絕緣介電層12內及在一磁阻式隨機存取記憶體880的頂部電極882上。
另外,如第7B圖所示,每一磁阻式隨機存取記憶體880的底部電極881形成在 如第22A圖至第22Q圖中較低的一交互連接線金屬層6之較低的金屬接墊或連接線8的上表面上,如第22A圖至第22Q圖中較高的絕緣介電層12可形成在一磁阻式隨機存取記憶體880的頂部電極882上,以及如第22A圖至第22Q圖一高的交互連接線金屬層6具有較高的金屬栓塞10,每一金屬栓塞10形成在較高的絕緣介電層12內及在一磁阻式隨機存取記憶體880的頂部電極882上。
另外,如第7C圖所示,每一磁阻式隨機存取記憶體880的底部電極881形成在如第22A圖至第22Q圖中較低的一交互連接線金屬層6之較低的金屬接墊或連接線8的上表面上,如第22A圖至第22Q圖中較高的交互連接線金屬層6具有較高的金屬接墊或連接線8,每一金屬接墊或連接線8形成在較高的絕緣介電層12內及在一磁阻式隨機存取記憶體880的頂部電極882上。
對於第二種替代方案,第7D圖為本發明實施例用於半導體晶片的一第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元結構剖面示意圖,除了磁阻層883的組成之外,如圖7D所示的半導體晶片的結構類似於圖7A所示的結構。如第7D圖所示,磁阻層883可由在底部電極881上的自由磁性層887、在自由磁性層887上的隧穿氧化物層886、在隧穿氧化物層886上的固定磁性層885及在固定磁性層885上的反鐵磁層884組成,頂部電極882形成在反鐵磁層884上,用於第二種替代方案的自由磁性層887、隧穿氧化物層886、固定磁性層885及反鐵磁層884的材質及厚度可參考第一種替代方案中的說明及揭露。對於第二種替代方案磁阻式隨機存取記憶體880的底部電極881形成在如第22A圖至第22Q圖中較低的一交互連接線金屬層6之較低的金屬栓塞10的上表面上及在如第22A圖至第22Q圖中的一低的絕緣介電層12的上表面上,對於第二種替代方案,如第22A圖至第22Q圖中較高的絕緣介電層12可形成在一磁阻式隨機存取記憶體880的頂部電極882上,如第22A圖至第22Q圖中較高的交互連接線金屬層6具有形成在一高的絕緣介電層12內的一高的金屬栓塞10,及在一磁阻式隨機存取記憶體880的頂部電極882上。
另外,對於第二種替代方案,在第7D圖中的磁阻式隨機存取記憶體880可提供在低的金屬接墊或連接線8與如第7B圖中所示之高的金屬栓塞10之間,如第7B圖及第7D圖所示,對於第二種替代方案,每一磁阻式隨機存取記憶體880的底部電極881形成在如第22A圖至第22Q圖中的一低的交互連接線金屬層6的一低的金屬接墊或連接線8的一上表面上,對於第二種替代方案,如第22A圖至第22Q圖中的一高的絕緣介電層12可形成在一磁阻式隨機存取記憶體880的頂部電極882上,及如第22A圖至第22Q圖中的一高的交互連接線金屬層6具有較高的金屬栓塞10形成在一高的絕緣介電層12內及在一磁阻式隨機存取記憶體880的頂部電極882上。
另外,對於第二種替代方案,在第7D圖中的磁阻式隨機存取記憶體880可提供在低的金屬接墊或連接線8與如第7C圖中所示之高的金屬接墊或連接線8之間,如第7C圖及第7D圖所示,對於第二種替代方案,每一磁阻式隨機存取記憶體880的底部電極881形成在如第22A圖至第22Q圖中的一低的交互連接線金屬層6的一低的金屬接墊或連接線8的一上表面上,對於第二種替代方案,如第22A圖至第22Q圖中的一高的交互連接線金屬層6具有較高的金屬接墊或連接線8形成在一高的絕緣介電層12內及在一磁阻式隨機存取記憶體880的頂部電極882上。
如第7A圖至第7D圖所示,固定磁性層885具有複數場域(domains),每一場域在一方向上具有一磁性區域,固定磁性層885的每一場域會被反鐵磁層884固定(鎖定),也就是 被固定的場域幾乎不被通過固定磁性層885的電流所引起的自旋轉移矩(spin-transfer torque)影響,自由磁性層887具有複數場域,每一場域在一方向上具有一磁性區域,自由磁性層887的場域可輕易的被通過自由磁性層887之電流引起的自旋轉移矩而改變。
如第7A圖至第7C圖所示,在第一種替代方案的磁阻式隨機存取記憶體880在進行設定步驟時,可施加介於0.25伏特至3.3伏特的一電壓VMSE至其頂部電極882,及施加接地參考電壓Vss至其底部電極881上,此時電子可通過其隧穿氧化物層886從固定磁性層885流向其自由磁性層887,使其自由磁性層887的每一場域中的磁性區域的方向可被設定與其固定磁性層885的每一場域被由電流所引起自旋轉移矩影響的磁性區域的方向相同,因此一磁阻式隨機存取記憶體880可在設定步驟中被設定成具有介於10歐姆至100,000,000,000歐姆之間的一低電阻,在第一替代方案的一磁阻式隨機存取記憶體880在進行重置步驟時,可施加介於0.25伏特至3.3伏特的重置電壓VMRE至其底部電極881,及施加接地參考電壓Vss至其頂部電極882上,此時電子可通過其隧穿氧化物層886從自由磁性層887流向其固定磁性層885,使其自由磁性層887的每一場域中的磁性區域的方向被重置成與其固定磁性層885的每一場域中的磁性區域之方向相反,因此一磁阻式隨機存取記憶體880可在重置步驟中被重置成具有介於15歐姆至500,000,000,000歐姆之間的一高電阻。
如第7A圖至第7D圖所示,在第二種替代方案的磁阻式隨機存取記憶體880在進行設定步驟時,可施加介於0.25伏特至3.3伏特的一電壓VMSE至其底部電極881,及施加接地參考電壓Vss至其頂部電極882上,此時電子可通過其隧穿氧化物層886從固定磁性層885流向其自由磁性層887,使其自由磁性層887的每一場域中的磁性區域的方向可被設定與其固定磁性層885的每一場域被由電流所引起自旋轉移矩影響的磁性區域的方向相同,因此一磁阻式隨機存取記憶體880可在設定步驟中被設定成具有介於10歐姆至100,000,000,000歐姆之間的一低電阻,在第二替代方案的一磁阻式隨機存取記憶體880在進行重置步驟時,可施加介於0.25伏特至3.3伏特的重置電壓VMRE至其頂部電極882,及施加接地參考電壓Vss至其頂部電極882上,此時電子可通過其隧穿氧化物層886從自由磁性層887流向其固定磁性層885,使其自由磁性層887的每一場域中的磁性區域的方向被重置成與其固定磁性層885的每一場域中的磁性區域之方向相反,因此一磁阻式隨機存取記憶體880可在重置步驟中被重置成具有介於15歐姆至500,000,000,000歐姆之間的一高電阻。
(7.1)由第一種替代方案之MRAMS所組成的第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元
第7E圖為本發明實施例第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元的電路示意圖,第7F圖為本發明實施例第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元的結構示意圖,如第7E圖及第7F圖所示,二個磁阻式隨機存取記憶體880在以下說明中分別稱為磁阻式隨機存取記憶體880-1及磁阻式隨機存取記憶體880-2,磁阻式隨機存取記憶體880-1及磁阻式隨機存取記憶體880-2可提供用在第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910中,亦即為互補式MRAM,其簡寫為CMRAM,此磁阻式隨機存取記憶體880-1的底部電極881耦接至磁阻式隨機存取記憶體880-2的底部電極881及第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910的節點M6,磁阻式隨機存取記憶體880-1的頂部電極882耦接節點M4,磁阻式隨機存取記憶體880-2的頂部電極872耦接至節點M5。
在第一種情況下,如第7E圖及第7F圖所示,在執行上述形成步驟後,磁阻式隨機存取記憶體880-2的重置步驟中被重置成具有第一高電阻,及磁阻式隨機存取記憶體880-1在設定步驟中被設定成具有第一低電阻,此時(1)節點M4切換成(或耦接至)編程電壓VPr,例如可介於0.25伏特至3.3伏特之間的電壓,且可等於或大於磁阻式隨機存取記憶體880-2的該重置電壓VMRE、等於或大於磁阻式隨機存取記憶體880-1的電壓VMSE及大於電源供應電壓Vcc;(2)節點M5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(3)節點M6係切換成浮空狀態(floating)。因此,一電流可從磁阻式隨機存取記憶體880-2的頂部電極882流至磁阻式隨機存取記憶體880-2的底部電極881,以重置在磁阻式隨機存取記憶體880-2的自由磁性層887中每一場域的磁場方向,此方向與在磁阻式隨機存取記憶體880-2的固定磁性層885中每一場域的方向相反,因此,磁阻式隨機存取記憶體880-2可在重置步驟中被重置成具有介於15歐姆至500,000,000,000歐姆之間的第一高電阻,接著該電流可從磁阻式隨機存取記憶體880-1的底部電極881流至磁阻式隨機存取記憶體880-1的頂部電極882,以設定磁阻式隨機存取記憶體880-1的自由磁性層887中每一場域的磁場方向,此方向與在磁阻式隨機存取記憶體880-1的固定磁性層885中每一場域的方向相同,因此,磁阻式隨機存取記憶體880-1可經由上述設定步驟被設定成具有介於10歐姆至100,000,000,000歐姆之間的第一低電阻,該第一高電阻可等於1.5倍至10倍的第一低電阻,因此第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910可使節點M6的電壓被編程為邏輯值”1”,其中在操作時節點M6可作為第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端。
在第二種情況下,如第7E圖及第7F圖所示,在執行上述形成步驟後,磁阻式隨機存取記憶體880-1的重置步驟中可被重置成具有第二高電阻,及磁阻式隨機存取記憶體880-2在設定步驟中被設定成具有第二低電阻,此時(1)節點M5切換成(或耦接至)編程電壓VPr,例如可介於0.25伏特至3.3伏特之間的電壓,且可等於或大於磁阻式隨機存取記憶體880-1的該重置電壓VMRE、等於或大於磁阻式隨機存取記憶體880-2的電壓VMSE及大於電源供應電壓Vcc;(2)節點M4可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(3)節點M6係切換成浮空狀態(floating)。因此,一電流可從磁阻式隨機存取記憶體880-1的頂部電極882流至磁阻式隨機存取記憶體880-1的底部電極881,以重置在磁阻式隨機存取記憶體880-1的自由磁性層887中每一場域的磁場方向,此方向與在磁阻式隨機存取記憶體880-1的固定磁性層885中每一場域的方向相反,因此,磁阻式隨機存取記憶體880-1可在重置步驟中被重置成具有介於15歐姆至500,000,000,000歐姆之間的第二高電阻,接著該電流可從磁阻式隨機存取記憶體880-2的底部電極881流至磁阻式隨機存取記憶體880-2的頂部電極882,以設定磁阻式隨機存取記憶體880-2的自由磁性層887中每一場域的磁場方向,此方向與在磁阻式隨機存取記憶體880-2的固定磁性層885中每一場域的方向相同,因此,磁阻式隨機存取記憶體880-2可經由上述設定步驟被設定成具有介於10歐姆至100,000,000,000歐姆之間的第二低電阻,該第二高電阻可等於1.5倍至10倍的第二低電阻,因此第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910可使節點M6的電壓被編程為邏輯值”0”,其中在操作時節點M6可作為第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端。
在操作時,請參考第7E圖及第7F圖所示,(1)節點M4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點M5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(3)節點M6可切換成作為第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端,當磁阻式隨機存取記憶體880-1在重置步驟 中被重置成具有第二高電阻,及磁阻式隨機存取記憶體880-2在設定步驟中被設定成具有第二低電阻,第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910可在節點M6產生一輸出,其電壓介於接地參考電壓Vss與一半的電源供應電壓Vcc之間,定義為邏輯值”0”,當磁阻式隨機存取記憶體880-1在執行設定步驟中被設定成具有第一低電阻,及磁阻式隨機存取記憶體880-2在重置步驟中被重置成具有第一高電阻時,第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910可在節點M6產生一輸出,其電壓介於電源供應電壓Vcc與一半的電源供應電壓Vcc之間,定義為邏輯值”1”。
另外,如第7G圖所示,不可編程的電阻875的第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910可由用於第一種替代方案可編程的電阻之磁阻式隨機存取記憶體880及一不可編程的電阻875組成,第7G圖為本發明實施例之第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910一電路示意圖,用於第一種替代方案之磁阻式隨機存取記憶體880的底部電極881耦接至不可編程的電阻875的一第一端點及耦接至第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910的一節點M15,用於第一種替代方案之磁阻式隨機存取記憶體880的頂部電極882耦接至節點M13,以及不可編程的電阻875相對於其第一端點之一第二端點耦接至節點M14。
在第三種情況下,如第7G圖所示,磁阻式隨機存取記憶體880可經由上述設定步驟被設定成具有第七低電阻,此時:(1)節點M13切換成(或耦接至)編程電壓VPr,例如可介於0.25伏特至3.3伏特之間的電壓,且可等於或大於磁阻式隨機存取記憶體880的電壓VMSE及大於電源供應電壓Vcc;(2)節點M14可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(3)節點M15係切換成浮空狀態(floating)。因此,一電流可從磁阻式隨機存取記憶體880的底部電極881至磁阻式隨機存取記憶體880的頂部電極882,以設定在磁阻式隨機存取記憶體880的自由磁性層887中每一場域中磁性區域的方向,此方向與在磁阻式隨機存取記憶體880的固定磁性層885中每一場域的方向相同,因此,磁阻式隨機存取記憶體880-1可經由上述設定步驟被設定成介於10歐姆至100,000,000,000歐姆之間的第七低電阻,其中第七低電阻低於不可編程的電阻875的電阻,不可編程的電阻875的電阻可等於1.5倍至10,000,000倍的第七低電阻,因此第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910可使節點M15的電壓被編程為邏輯值”1”,其中在操作時節點M15可作為第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端。
在第四種情況下,如第7G圖所示,磁阻式隨機存取記憶體880可在重置步驟中被重置成具有第七高電阻,此時(1)節點M14切換成(或耦接至)編程電壓VPr,例如可介於0.25伏特至3.3伏特之間的電壓,且可等於或大於磁阻式隨機存取記憶體880的重置電壓VMRE及大於電源供應電壓Vcc;(2)節點M13可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(3)節點M15係切換成浮空狀態(floating)。因此,一電流可從磁阻式隨機存取記憶體880的頂部電極882至磁阻式隨機存取記憶體880的底部電極881,以重置在磁阻式隨機存取記憶體880的自由磁性層887中每一場域中磁性區域的方向,此方向與在磁阻式隨機存取記憶體880的固定磁性層885中每一場域的方向相反,因此,磁阻式隨機存取記憶體880可在重置步驟中被重置成具有介於15歐姆至500,000,000,000歐姆之間的第七高電阻,其中第七低電阻低於不可編程的電阻875的電阻,不可編程的電阻875的電阻可等於介於1.5倍至10,000,000倍的第七低電阻,第七高電阻可等於介於1.5倍至10倍的不可編程的電阻875的電阻,因此第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910可使節點M15的電壓被編程為邏輯值”0”,其中在操作時節點M15可作為第七 類型非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端。
在操作時,請參考第7G圖所示,(1)節點M13可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點M14可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(3)節點M15可切換成作為第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端,當磁阻式隨機存取記憶體880重置成具有第七高電阻,第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910可在節點M15產生一輸出,其電壓介於接地參考電壓Vss與一半的電源供應電壓Vcc之間的一電壓值並定義為邏輯值”0”,當磁阻式隨機存取記憶體880在執行設定步驟中被設定成具有第七低電阻時,第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910可在節點M15產生一輸出,其電壓介於電源供應電壓Vcc與一半的電源供應電壓Vcc之間,定義為邏輯值”1”。
(7.2)由第二種替代方案的MRAM所組成之第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元
第7H圖為本發明實施例第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元的電路示意圖,第7I圖為本發明實施例第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元的結構示意圖,如第7H圖及第7I圖所示,二個磁阻式隨機存取記憶體880在以下說明中分別稱為磁阻式隨機存取記憶體880-3及磁阻式隨機存取記憶體880-4,磁阻式隨機存取記憶體880-3及磁阻式隨機存取記憶體880-4可提供用在第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910中,此磁阻式隨機存取記憶體880-3的底部電極881耦接至磁阻式隨機存取記憶體880-4的底部電極881及第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910的節點M9,磁阻式隨機存取記憶體880-3的頂部電極882耦接節點M7,磁阻式隨機存取記憶體880-4的頂部電極872耦接至節點M8。
在第一種情況下,如第7H圖及第7I圖所示,在執行上述形成步驟後,磁阻式隨機存取記憶體880-3的重置步驟中被重置成具有第一高電阻,及磁阻式隨機存取記憶體880-4在設定步驟中被設定成具有第三低電阻,此時(1)節點M7切換成(或耦接至)編程電壓VPr,例如可介於0.25伏特至3.3伏特之間的電壓,且可等於或大於磁阻式隨機存取記憶體880-4的該重置電壓VMRE、等於或大於磁阻式隨機存取記憶體880-3的電壓VMSE及大於電源供應電壓Vcc;(2)節點M8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(3)節點M9係切換成浮空狀態(floating)。因此,一電流可從磁阻式隨機存取記憶體880-4的頂部電極882流至磁阻式隨機存取記憶體880-4的底部電極881,以設定在磁阻式隨機存取記憶體880-4的自由磁性層887中每一場域中磁性區域的方向,此方向與在磁阻式隨機存取記憶體880-4的固定磁性層885中每一場域的磁場方向相同,因此,磁阻式隨機存取記憶體880-4可經由上述設定步驟被設成具有介於10歐姆至100,000,000,000歐姆之間的第三低電阻,接著該電流可從磁阻式隨機存取記憶體880-3的底部電極881流過至磁阻式隨機存取記憶體880-3的頂部電極882,以重置在磁阻式隨機存取記憶體880-3的自由磁性層887中每一場域的磁場方向,此方向與在磁阻式隨機存取記憶體880-3的固定磁性層885中每一場域的方向相反,因此,磁阻式隨機存取記憶體880-3可在重置步驟中被重置成具有介於15歐姆至500,000,000,000歐姆之間的第三高電阻,該第三高電阻可等於1.5倍至10倍的第三低電阻,因此第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910可使節點M6的電壓被編程為邏輯值”0”,其中在操作時節點M9可作為第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端。
在第二種情況下,如第7H圖及第7I圖所示,磁阻式隨機存取記憶體880-3可經由上述設定步驟被設定成具有第四低電阻,而磁阻式隨機存取記憶體880-4可在重置步驟中 被重置成具有第四高電阻,此時(1)節點M8切換成(或耦接至)介於0.25伏特至3.3伏特之間之一電壓,此電壓可等於或大於磁阻式隨機存取記憶體880-4的該重置電壓VMRE、等於或大於磁阻式隨機存取記憶體880-3的電壓VMSE及大於電源供應電壓Vcc;(2)節點M7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(3)節點M9係切換成浮空狀態(floating)。因此,一電流可從磁阻式隨機存取記憶體880-3的頂部電極882流至磁阻式隨機存取記憶體880-3的底部電極881,以設定在磁阻式隨機存取記憶體880-3的自由磁性層887中每一場域中磁性區域的方向,此方向與在磁阻式隨機存取記憶體880-3的固定磁性層885中每一場域的磁場方向相同,因此,磁阻式隨機存取記憶體880-3可經由上述設定步驟被設定成介於10歐姆至100,000,000,000歐姆之間的第四低電阻,接著該電流可從磁阻式隨機存取記憶體880-4的底部電極881流至磁阻式隨機存取記憶體880-4的頂部電極882,以重置在磁阻式隨機存取記憶體880-4的自由磁性層887中每一場域的磁場方向,此方向與在磁阻式隨機存取記憶體880-4的固定磁性層885中每一場域的方向相反,因此,磁阻式隨機存取記憶體880-4可在重置步驟中被重置成具有介於15歐姆至500,000,000,000歐姆之間的第四高電阻,該第四高電阻可等於1.5倍至10倍的第四低電阻,因此第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910可使節點M9的電壓被編程為邏輯值”1”,其中在操作時節點M9可作為第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端。
在操作時,請參考第7H圖及第7I圖所示,(1)節點M7可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點M8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(3)節點M9可切換成作為第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端,當磁阻式隨機存取記憶體880-3在重置步驟中被重置成具有第四高電阻,及磁阻式隨機存取記憶體880-4在設定步驟中被設定成具有第四低電阻,第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910可在節點M9產生一輸出,其電壓介於接地參考電壓Vss與一半的電源供應電壓Vcc之間,定義為邏輯值”0”,當磁阻式隨機存取記憶體880-3在執行設定步驟中被設定成具有第四低電阻及磁阻式隨機存取記憶體880-4在重置步驟中被重置成具有第四高電阻時,第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910可在節點M9產生一輸出,其電壓介於電源供應電壓Vcc與一半的電源供應電壓Vcc之間,定義為邏輯值”1”。
另外,如第7J圖所示,不可編程的電阻875的第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910可由用於第二種替代方案可編程的電阻之磁阻式隨機存取記憶體880及一不可編程的電阻875組成,第7J圖為本發明實施例之第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910一電路示意圖,用於第二種替代方案之磁阻式隨機存取記憶體880的底部電極881耦接至不可編程的電阻875的一第一端點及耦接至第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910的一節點M18,用於第二種替代方案之磁阻式隨機存取記憶體880的頂部電極882耦接至節點M16,以及不可編程的電阻875相對於其第一端點之一第二端點耦接至節點M17。
在第三種情況下,如第7J圖所示,磁阻式隨機存取記憶體880可在重置步驟中被重置成具有第八高電阻,此時(1)節點M16切換成(或耦接至)編程電壓VPr,例如可介於0.25伏特至3.3伏特之間的電壓,且可等於或大於磁阻式隨機存取記憶體880的電壓VMSE及大於電源供應電壓Vcc;(2)節點M17可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(3)節點M18係切換成浮空狀態(floating)。因此,一電流可從磁阻式隨機存取記憶體880的底部電極881至磁阻式隨機存取記憶體880的頂部電極882,以重置在磁阻式隨機存取記憶體880的自由磁性層887中每一 場域中磁性區域的方向,此方向與在磁阻式隨機存取記憶體880的固定磁性層885中每一場域的方向相反,因此,磁阻式隨機存取記憶體880可在重置步驟中被重置成介於15歐姆至500,000,000,000歐姆之間的第八高電阻,其中第八高電阻可等於1.5倍至10,000,000倍的不可編程的電阻875的電阻,因此第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910可使節點M18的電壓被編程為邏輯值”0”,其中在操作時節點M18可作為第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端。
在第四種情況下,如第7J圖所示,磁阻式隨機存取記憶體880可經由上述設定步驟被設定成具有第七高電阻,此時(1)節點M17可切換成(或耦接至)介於0.25伏特至3.3伏特之間的一電壓,此電壓可等於或大於磁阻式隨機存取記憶體880的電壓VMSE及大於電源供應電壓Vcc;(2)節點M16可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(3)節點M18係切換成浮空狀態(floating)。因此,一電流可從磁阻式隨機存取記憶體880的頂部電極882至磁阻式隨機存取記憶體880的底部電極881,以設定在磁阻式隨機存取記憶體880-3的自由磁性層887中每一場域中磁性區域的方向,此方向與在磁阻式隨機存取記憶體880的固定磁性層885中每一場域的方向相同,因此,磁阻式隨機存取記憶體880可經由上述設定步驟被設定成介於10歐姆至100,000,000,000歐姆之間的第八低電阻,不可編程的電阻875的電阻可等於介於1.5倍至10,000,000倍的第八低電阻,因此第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910可使節點M18的電壓被編程為邏輯值”1”,其中在操作時節點M18可作為第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端。
在操作時,請參考第7J圖所示,(1)節點M16可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點M17可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(3)節點M18可切換成作為第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端,當磁阻式隨機存取記憶體880在重置步驟中被重置成具有第八高電阻,第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910可在節點M18產生一輸出,其電壓介於接地參考電壓Vss與一半的電源供應電壓Vcc之間,定義為邏輯值”0”,當磁阻式隨機存取記憶體880在執行設定步驟中被設定成具有第八低電阻時,第七類型非揮發性記憶體(NVM)單元910可在節點M18產生一輸出,其電壓介於電源供應電壓Vcc與一半的電源供應電壓Vcc之間,定義為邏輯值”1”。
靜態隨機存取記憶體(Static Random-Access Memory(SRAM))單元之說明
第8圖係為根據本申請案之實施例所繪示之6T SRAM單元之電路圖。請參見第8圖,第一型之SRAM記憶單元398(亦即為6T SRAM單元)係具有一記憶體單元446,包括四個資料鎖存電晶體447及448,亦即為兩對之P型金屬氧化物半導體(metal-oxide-semiconductor(MOS))電晶體447及N型MOS電晶體448,在每一對之P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448中,其汲極係相互耦接,其閘極係相互耦接,而其源極係分別耦接至電源端(Vcc)及接地端(Vss)。位在左側之該對之P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448的閘極係耦接至位在右側之該對之P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448的汲極,作為記憶體單元446之輸出Out1。位在右側之該對之P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448的閘極係耦接至位在左側之該對之P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448的汲極,作為記憶體單元446之輸出Out2。
請參見第8圖,第一型之SRAM記憶單元398還包括二開關或是轉移(寫入)電晶體449,例如為P型MOS電晶體或N型MOS電晶體,其中第一電晶體(開關)449之閘極係耦接 至字元線451,其通道之一端係耦接至位元線452,其通道之另一端係耦接至位在左側之該對之P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448的汲極及位在右側之該對之P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448的閘極,而其中第二電晶體(開關)449之閘極係耦接至字元線451,其通道之一端係耦接至位元線453,其通道之另一端係耦接至位在右側之該對之P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448的汲極及位在左側之該對之P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448的閘極。在位元線452上的邏輯值係相反於在位元線453上的邏輯值。電晶體(開關)449可稱為是編程電晶體,用於寫入編程碼或資料於該些四個資料鎖存電晶體447及448之儲存節點中,亦即位在該些四個資料鎖存電晶體447及448之汲極及閘極中。電晶體(開關)449可以透過字元線451之控制以開啟”連接”,使得位元線452透過該第一電晶體(開關)449之通道連接至位在左側之該對之P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448的汲極及位在右側之該對之P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448的閘極,因此在位元線452上的邏輯值可以載入於位在右側之該對之P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448的閘極其間的導線上及位在左側之該對之P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448的汲極其間的導線上。再者,位元線453可透過該第二電晶體(開關)449之通道連接至位在右側之該對之P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448的汲極及位在左側之該對之P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448的閘極,因此在位元線453上的邏輯值可以載入於位在左側之該對之P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448的閘極其間的導線上及位在右側之該對之P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448的汲極其間的導線上。因此,位在位元線452上的邏輯值可以記錄或鎖存於位在右側之該對之P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448的閘極其間的導線上及位在左側之該對之P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448的汲極其間的導線上;位在位元線453上的邏輯值可以記錄或鎖存於位在左側之該對之P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448的閘極其間的導線上及位在右側之該對之P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448的汲極其間的導線上。
第一型鎖存非揮發性記憶體單元的內容說明
第9A圖為本發明實施例第一型鎖存非揮發性記憶體單元的電路示意圖,第9C圖至第9E圖為本發明實施例第9A圖中的第一型鎖存非揮發性記憶單元結合第六或第七類型的非揮發性記憶體單元的結構示意圖。
如第9A圖所示,第一型鎖存非揮發性記憶體940可包括如第8圖所示之6T SRAM單元398中的記憶體單元446及第一型至第七型非揮發性記憶體單元600、650、700、760、800、900或910的其中之一,在記憶體單元446中,左邊的那對P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448分別具有各自的汲極端且(在操作時)相互耦接,而P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448各自的閘極端相互耦接且連接節點L3,及P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448各自的源極端(在操作時)分別各自耦接至節點L4及節點L5,而右邊的那對P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448具有各自的汲極端(在操作時)分別耦接至節點L1及節點L2,而P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448各自的閘極端相互耦接,而P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448各自的源極端(在操作時)分別耦接至節點L4及節點L5,在右邊的那對P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448的閘極端(在操作時)耦接至在左邊的那對P型MOS電晶體447及N型MOS電晶體448的汲極端。第一型鎖存非揮發性記憶體940更可包括用以形成通道的一電晶體(或開關)941(例如是P型或N型MOS電晶體),其通道 的一端耦接至節點L1及其通道的另一端耦接至節點L6,第一型鎖存非揮發性記憶體940更可包括一電晶體(或開關)942(例如是P型或N型MOS電晶體)用以形成一通道,其通道的一端耦接至節點L2及通道的其它端耦接至節點L7,節點L8耦接至電晶體(或開關)941(P型或N型MOS電晶體)的閘極端及節點L9耦接至電晶體(或開關)942(P型或N型MOS電晶體)的閘極端,在此範例中,電晶體(或開關)941為一P型MOS電晶體而電晶體(或開關)942為一N型MOS電晶體。
第9A圖中的第一型鎖存非揮發性記憶體940可經由第9C圖至第9E圖中的鰭式場效電晶體實現,在此範例中,第一型鎖存非揮發性記憶體940耦接至P型矽基板2所提供的接地參考電壓Vss,該鎖存非揮發性記憶體940可包括:
(1)一N型條帶901形成在P型矽基板2內之一N型井902上及垂直凸出於N型井902的上表面的一N型鰭903上,其中N型井902之深度d5w介於0.3微米(μm)至5微米(μm)之間及其寬度w5w介於50奈米(nm)至1微米(μm)之間,而N型鰭903之高度h5fN介於10nm至200nm之間且其寬度w5fN介於1nm至100nm之間。
(2)一P型鰭904,垂直地凸出於P型矽基板2,其中P型鰭904之高度h5fP介於10nm至200nm之間且其寬度w5fP介於1nm至100nm之間,其中在N型鰭903及P型鰭904之間的間距s11介於100nm至2000nm之間。
(3)一場氧化物905(例如是氧化矽)位在P型矽基板2上,其中此場氧化物905之厚度to介於20nm至500nm之間。
(4)一閘極層907位在場氧化物905上,此閘極層907例如是多晶矽、鎢、氮化鎢、鈦、氮化鈦、鉭、氮化鉭、含銅金屬、含鋁金屬或其他導電金屬,其中此閘極層907可圖案化形成多數縱向閘極,橫跨N型鰭903、P型鰭904或N型鰭903及P型鰭904二者,閘極層907的每一縱向閘極之寬度介於1nm至25nm之間;以及
(5)一閘極氧化物906,位在閘極層907及N型鰭903之間、位在閘極層907及P型鰭904之間及位在閘極層907及場氧化物905之間,其中該閘極氧化物906例如是氧化矽、含鉿氧化物、含鋯氧化物或含鈦氧化物,且閘極氧化物906之厚度例如介於1nm至5nm之間。
如第9A圖及第9C圖至第9E圖所示,N型鰭903可摻雜P型原子(例如硼原子)以形成二P+部分位在閘極氧化物906之相對二側邊之N型鰭903內,分別構成P型金屬氧化半導體(MOS)電晶體T1、T3或T5的通道二端,其中在N型鰭903內的硼原子的濃度可大於P型矽基板2中硼原子的濃度,P型鰭904可滲雜N型原子(例如是砷原子)以形成二N+部分位在閘極氧化物906的相對二側邊之P型鰭904內,分別構成N型金屬氧化半導體(MOS)電晶體T2、T4或T6的通道二端,其中在P型鰭904內的砷原子的濃度可大於N型井902中砷原子的濃度,在第9A圖中左邊那對P型及N型MOS電晶體447及448分別具有第9C圖至第9E圖中T1及T2的結構,在第9A圖右邊那對P型及N型MOS電晶體447及448分別具有第9C圖至第9E圖中T3及T4的結構,在第9A圖中的P型及N型MOS電晶體491及492分別具有第9C圖至第9E圖中T5及T6的結構。
請參閱第9C圖至第9E圖所示,例如揭示設有第六型或第七型非揮性記憶體單元900或910的第一型鎖存非揮發性記憶體940示意圖,在第9C圖中的第一型鎖存非揮發性記憶體940可設置有二隨機存取記憶體R1及R2,隨機存取記憶體R1及R2例如可以是第6E圖及第6F圖中各自的電阻式隨機存取記憶體(RRAM)870-1及870-2具有的底部電極871形成在較低的交互連 接金屬層6上,其中較低的交互連接金屬層6設有第一型鎖存非揮發記憶體單元940的一金屬交互連接線908,其中電阻式隨機存取記憶體(RRAM)870-1及870-2的底部電極871可經由金屬交互連接線908交互連接、連接至P型及N型MOS電晶體T1及T2的閘極端及連接至節點L3,而各自的電阻式隨機存取記憶體(RRAM)870-1及870-2具有的頂部電極872位於較高的交互連接金屬層6之下方且形成接觸連接,其中較高的交互連接金屬層6設有第一型鎖存非揮發性記憶體單元940之二金屬交互連接線911及912,其中電阻式隨機存取記憶體(RRAM)870-1的頂部電極872經由金屬交互連接線911連接至P型MOS電晶體T3及T5的汲極端(在操作時)及連接至節點L1,電阻式隨機存取記憶體(RRAM)870-2的頂部電極872經由金屬交互連接線912連接至N型MOS電晶體T4及T6的汲極端(在操作時)及連接至節點L2。
或者,隨機存取記憶體R1及R2例如可以是第7E圖及第7F圖中各自的磁阻式隨機存取記憶體(MRAM)880-1及880-2具有的底部電極881形成在較低的交互連接金屬層6上,其中較低的交互連接金屬層6設有第一型鎖存非揮發記憶體單元940的一金屬交互連接線908,其中磁阻式隨機存取記憶體(MRAM)880-1及880-2的底部電極881可經由金屬交互連接線908交互連接、連接至P型及N型MOS電晶體T1及T2的閘極端及連接至節點L3,而各自的磁阻式隨機存取記憶體(MRAM)880-1及880-2具有頂部電極882位在較高的交互連接金屬層6之下方且形成接觸連接,其中較高的交互連接金屬層6設有第一型鎖存非揮發性記憶體單元940之二個金屬交互連接線911及912,其中金屬交互連接線911連接磁阻式隨機存取記憶體(MRAM)880-1的頂部電極882至P型MOS電晶體T3及T5的汲極端(在操作時)及連接至節點L1,磁阻式隨機存取記憶體(MRAM)880-2的頂部電極882經由金屬交互連接線912連接至N型MOS電晶體T4及T6的汲極端(在操作時)及連接至節點L2。
或者,隨機存取記憶體R1及R2例如可以是第7H圖及第7I圖中各自的磁阻式隨機存取記憶體(MRAM)880-3及880-4具有的底部電極881形成在較低的交互連接金屬層6上,其中較低的交互連接金屬層6設有第一型鎖存非揮發記憶體單元940的一金屬交互連接線908,其中磁阻式隨機存取記憶體(MRAM)880-3及880-4的底部電極881可經由金屬交互連接線908交互連接、連接至P型及N型MOS電晶體T1及T2的閘極端及連接至節點L3,而各自的磁阻式隨機存取記憶體(MRAM)880-3及880-4具有的頂部電極882)位在較高的交互連接金屬層6之下方且形成接觸連接,其中較高的交互連接金屬層6設有第一型鎖存非揮發性記憶體單元940的二金屬交互連接線911及912,其中磁阻式隨機存取記憶體(MRAM)880-3的頂部電極882可經由金屬交互連接線911連接至P型MOS電晶體T3及T5的汲極端(在操作時)及連接至節點L1,磁阻式隨機存取記憶體(MRAM)880-4的頂部電極882經由金屬交互連接線912連接至N型MOS電晶體T4及T6的汲極端(在操作時)及連接至節點L2。如第9D圖所示,第一型鎖存非揮發性記憶體940更可包括一金屬交互連接線913耦接至節點L12至P型及N型電晶體T1及T2的汲極端(在操作時)及耦接至P型及N型MOS電晶體T3及T4的閘極端。
如第9E圖所示,第一型鎖存非揮發性記憶體940更可包括一金屬交互連接線914耦接節點L4至P型MOS電晶體T3的源極端(在操作時),第一型鎖存非揮發性記憶體940更可包括一金屬交互連接線915耦接節點L5至N型MOS電晶體T4的源極端(在操作時),第一型鎖存非揮發性記憶體940更可包括一金屬交互連接線916耦接節點L6至P型MOS電晶體T5的源極端(在操作時),第一型鎖存非揮發性記憶體940更可包括一金屬交互連接線917耦接節 點L7至N型MOS電晶體T6的源極端(在操作時),第一型鎖存非揮發性記憶體940更可包括一金屬交互連接線918耦接節點L8至P型MOS電晶體T5的閘極端(在操作時),第一型鎖存非揮發性記憶體940更可包括一金屬交互連接線919耦接節點L9至N型MOS電晶體T6的閘極端(在操作時)。
(1)第一型鎖存非揮發性記憶體單元的第一種應用方式
在第一種應用方式下,如第1A圖至第1H圖及第9A圖所示,在第1A圖至第1H圖中的第一型非揮發性記憶體單元600之節點N3可耦接至記憶體單元446的節點L1,而其節點N4可耦接至記憶體單元446的節點L2及其節點N0可耦接至記憶體單元446的節點L3,當每一非揮發性記憶體單元600的浮閘極607被抺除時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)抺除電壓VEr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)抺除電壓VEr;(6)節點L7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(7)節點L3係切換成浮空狀態(floating)。此時,非揮發性記憶體單元600的浮閘極607可被抺除至(並儲存為)邏輯值”1”,請參見上述針對第1A圖至第1E圖中之說明。
對於第一應用方式,關於如第1A圖至第1E圖及第9A圖所示,當每一非揮發性記憶體單元600的浮閘極607被編程時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(6)節點L7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(7)節點L3可切換成(或耦接至)編程電壓VPr。此時,非揮發性記憶體單元600的浮閘極607可被編程至(並儲存為)邏輯值”0”,請參見前述針對第1A圖至第1E圖中的說明。
對於第一應用方式,關於如第1A圖至第1E圖及第9A圖所示,在初始階段時,亦即當鎖存非揮發性記憶體單元940初始化進行操作步驟時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道,以耦接節點L6至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道以使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;及(6)節點L7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss。此時,非揮發性記憶體單元600的輸出N0可耦接至記憶體單元446的節點L3,使得每一非揮發性記憶體單元600的輸出N0的邏輯值可鎖存在記憶體單元446中,連接至左邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元600的節點N0上的邏輯值相同,連接至右邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元600的節點N0上的邏輯值相反。
對於第一應用方式,關於如第1A圖至第1E圖及第9A圖所示,在初始階段後,當鎖存非揮發性記憶體單元940可進行操作步驟時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供 應電壓Vcc以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接,如此,;及(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接,如此,鎖存非揮發性記憶體單元940可在節點L3或L12產生一輸出,此輸出與儲存在非揮發性記憶體單元600的浮閘極607上的邏輯值有關。
(2)第一型鎖存非揮性記憶體單元的第二種應用方式
對於第二應用方式,關於如第2A圖至第2E圖及第9A圖所示,在第1A圖至第1H圖中的第二型非揮發性記憶體單元650之節點N3可耦接至記憶體單元446的節點L1,而其節點N4可耦接至記憶體單元446的節點L2及其節點N0可耦接至記憶體單元446的節點L3,當每一非揮發性記憶體單元650的浮閘極607被抺除時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)抺除電壓VEr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(6)節點l7可切換,(i)耦接至抺除電壓VEr(針對在第2A圖至第2E圖中的第一方面及第三方面),或是(ii)節點L7切換成浮空狀態(floating)(針對在第2A圖至第2E圖中的第二方面);及(7)節點L3可切換成(i)浮空狀態(floating)(針對在第2A圖至第2E圖中的第一方面);或(ii)耦接至抺除電壓VEr(針對在第2A圖至第2E圖中的第二及第三方面),此時,非揮發性記憶體單元650的浮閘極607可被抺除至(並儲存為)邏輯值”1”,請參見第2A圖至第2E圖中的說明。
對於第二應用方式,關於如第2A圖至第2E圖及第9A圖所示,當每一非揮發性記憶體單元650的浮閘極607被編程時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(6)節點l7可切換,(i)耦接至接地參考電壓Vss(第2A圖至第2E圖中的第一方面及第三方面),或是(ii)節點L7切換成浮空狀態(floating)(針對在第2A圖至第2E圖中的第二方面);及(7)節點L3可切換成(i)浮空狀態(floating)(針對在第2A圖至第2E圖中的第一方面);或(ii)耦接至接地參考電壓Vss(針對在第2A圖至第2E圖中的第二及第三方面),此時,非揮發性記憶體單元650的浮閘極607可被編程至(並儲存為)邏輯值”0”,請參見前述針對第2A圖至第2E圖中的說明。
對於第二應用方式,關於如第2A圖至第2E圖及第9A圖所示,在初始階段時,亦即當鎖存非揮發性記憶體單元940初始化進行操作步驟時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道,以耦接節點L6至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道以使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;及(6)節點可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss。此時,非揮發性記憶體單元650的輸出N0可耦接至記憶體單元446的節 點L3,使得每一非揮發性記憶體單元650的輸出N0的邏輯值可以鎖存在記憶體單元446中,連接至左邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元650的節點N0上的邏輯值相同,連接至右邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元650的節點N0上的邏輯值相反。
對於第二應用方式,關於如第2A圖至第2E圖及第9A圖所示,在初始階段後,鎖存非揮發性記憶體單元940可進行操作,此時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;及(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L12與節點L7之間的連接,如此,鎖存非揮發性記憶體單元940可在節點L3或L12產生一輸出,此輸出與儲存在非揮發性記憶體單元650的浮閘極607上的邏輯值有關。
(3)第一型鎖存非揮發性記憶體單元的第三種應用方式
對於第三應用方式,關於如第3A圖至第3D圖、第3S圖及第9A圖所示,在第3A圖至第3D圖、第3S圖中的第三型非揮發性記憶體單元700之節點N3可耦接至記憶體單元446的節點L1,而其節點N4可耦接至記憶體單元446的節點L2及其節點N0可耦接至記憶體單元446的節點L3,當每一非揮發性記憶體單元700的浮閘極710被抺除時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)抺除電壓VEr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(6)節點l7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(7)節點L3可切換成浮空狀態(floating),此時,非揮發性記憶體單元700的浮閘極710可被抺除至(並儲存為)邏輯值”1”,請參見第3A圖至第3D圖及第3S圖中的說明。
對於第三應用方式,關於如第3A圖至第3D圖及第9A圖所示,當每一非揮發性記憶體單元700的浮閘極710被編程時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(6)節點l7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(7)節點L3可切換成(或耦接至)編程電壓VPr,此時,非揮發性記憶體單元700的浮閘極710可被編程至(並儲存為)邏輯值”0”,請參見前述針對第3A圖至第3D圖及第3S圖中的說明。
對於第三應用方式,關於如第3A圖至第3D圖、第3S圖及第9A圖所示,在初始階段時,亦即當鎖存非揮發性記憶體單元940初始化進行操作步驟時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道,以耦接節點L6至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道以使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;及(6)節點可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss。此時,非揮發性記憶體單元700的輸出N0可耦接至記憶體單 元446的節點L3,使得每一非揮發性記憶體單元700的輸出N0的邏輯值可鎖存在記憶體單元446中,連接至左邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元700的節點N0上的邏輯值相同,連接至右邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元700的節點N0上的邏輯值相反。
對於第三應用方式,關於如第3A圖至第3D圖、第3S圖及第9A圖所示,在初始階段後,鎖存非揮發性記憶體單元940可進行操作,此時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;及(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接,如此,鎖存非揮發性記憶體單元940可在節點L3或L12產生一輸出,此輸出與儲存在非揮發性記憶體單元700的浮閘極710上的邏輯值有關。
(4)第一型鎖存非揮發性記憶體單元的第四種應用方式
對於第四種應用方式下,如第4A圖至第4D圖、第4S圖及第9A圖所示,在第4A圖至第4D圖、第4S圖中的第四型非揮發性記憶體單元760之節點N3可耦接至記憶體單元446的節點L1,而其節點N4可耦接至記憶體單元446的節點L2及其節點N0可耦接至記憶體單元446的節點L3,當每一非揮發性記憶體單元760的浮閘極710被抺除時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)抺除電壓VEr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)抹除電壓VEr;(6)節點l7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(7)節點L3可切換,(i)通過節點L3成浮空狀態(floating)(針對在於第4A圖至第4D圖及第4S圖的每一非揮發性記憶體單元760),或(ii)耦接至接地參考電壓Vss,用於第4D圖中的每一非揮發性記憶體單元760,此時,非揮發性記憶體單元760的浮閘極710可被抺除至(並儲存為)邏輯值”1”,請參見第4A圖至第4D圖及第4S圖中的說明。
對於第四應用方式,關於如第4A圖至第4D圖、第4S圖及第9A圖所示,當每一非揮發性記憶體單元760的浮閘極710被編程時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(6)節點l7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(7)節點L3可切換,(i)節點L3切換成浮空狀態(floating)(針對在第4A圖至第4D圖及第4S圖的每一非揮發性記憶體單元760),或(ii)耦接至接地參考電壓Vss,用於第4D圖中的每一非揮發性記憶體單元760,此時,非揮發性記憶體單元760的浮閘極710可被編程至(並儲存為)邏輯值”1”,請參見前述針對第4A圖至第4D圖及第4S圖中的說明。
對於第四應用方式,關於如第4A圖至第4D圖、第4S圖及第9A圖所示,在初始 階段時,亦即當鎖存非揮發性記憶體單元940初始化進行操作步驟時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道,以耦接節點L6至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道以使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;及(6)節點可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss。此時,非揮發性記憶體單元760的輸出N0可耦接至記憶體單元446的節點L3,使得每一非揮發性記憶體單元760的輸出N0的邏輯值可鎖存在記憶體單元446中,連接至左邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元760的節點N0上的邏輯值相同,連接至右邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元760的節點N0上的邏輯值相反。
對於第四應用方式,關於如第4A圖至第4D圖、第4S圖及第9A圖所示,在初始階段後,鎖存非揮發性記憶體單元940可進行操作,此時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;及(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接,如此,鎖存非揮發性記憶體單元940可在節點L3或L12產生一輸出,此輸出與儲存在非揮發性記憶體單元760的浮閘極710上的邏輯值有關。
(5)第一型鎖存非揮發性記憶體單元的第五種應用方式
對於第五應用方式,關於如第5A圖至第5F圖及第9A圖所示,在第5A圖至第5F圖中的第四型非揮發性記憶體單元800之節點N3可耦接至記憶體單元446的節點L1,而其節點N4可耦接至記憶體單元446的節點L2及其節點N0可耦接至記憶體單元446的節點L3,當每一非揮發性記憶體單元800的浮閘極808被抺除時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)抺除電壓VEr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)抹除電壓VEr;(6)節點l7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(7)節點L3可切換,(i)節點L3切換成浮空狀態(floating)(針對在第5A圖至第5F圖的每一非揮發性記憶體單元800),或(ii)耦接至接地參考電壓Vss,用於第5E圖中的每一非揮發性記憶體單元800,此時,非揮發性記憶體單元800的浮閘極808可被抺除至(並儲存為)邏輯值”1”,請參見如第5A圖至第5F圖中的說明。
對於第五應用方式,關於如第5A圖至第5F圖及第9A圖所示,當每一非揮發性記憶體單元800的浮閘極808被編程時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(6)節點l7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(7)節點L3可切換,(i)節 點L3切換成浮空狀態(floating),此時,非揮發性記憶體單元800的浮閘極808被編程至(並儲存為)邏輯值”0”,請參見第5A圖至第5F圖中的說明。
對於第五應用方式,關於如第5A圖至第5F圖及第9A圖所示,在初始階段時,亦即當鎖存非揮發性記憶體單元940初始化進行操作步驟時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道,以耦接節點L6至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道以使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;及(6)節點可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss。此時,非揮發性記憶體單元800的輸出N0可耦接至記憶體單元446的節點L3,使得每一非揮發性記憶體單元800的輸出N0的邏輯值可鎖存在記憶體單元446中,連接至左邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元800的節點N0上的邏輯值相同,連接至右邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元800的節點N0上的邏輯值相反。
對於第五應用方式,關於如第5A圖至第5F圖及第9A圖所示,在初始階段後,鎖存非揮發性記憶體單元940可進行操作,此時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;及(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接,如此,鎖存非揮發性記憶體單元940可在節點L3或L12產生一輸出,此輸出與儲存在非揮發性記憶體單元800的浮閘極808上的邏輯值有關。
(6)第一型鎖存非揮發性記憶體單元的第六種應用方式
對於第六應用方式,關於如第6E圖、第6F圖及第9A圖所示,在第6E圖及第6F圖中的第六型非揮發性記憶體單元900之節點M1可耦接至記憶體單元446的節點L1,而其節點M2可耦接至記憶體單元446的節點L2及其節點M3可耦接至記憶體單元446的節點L3,當每一非揮發性記憶體單元900在執行形成步驟時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)形成電壓Vf以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)形成電壓Vf;(6)節點L7可切換成(或耦接至)形成電壓Vf;及(7)節點L3可切換成(或耦接至)接地參考電壓。因此電阻式隨機存取記憶體870-1及870-2可形成具有如第6E圖及第6F圖中的第一及第二低電阻。
對於第六應用方式,關於如第6E圖、第6F圖及第9A圖所示,當針對第一種情況電阻式隨機存取記憶體870-2在重設步驟中被重置成具有第一高電阻時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節 點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(6)節點l7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(7)節點L3切換成浮空狀態(floating),因此,電阻式隨機存取記憶體870-2可重置成具有第一高電阻,請參見第6E圖及第6F圖之說明,電阻式隨機存取記憶體870-1保持第一低電阻,請參見第6D圖及第6F圖中的說明。
對於第六應用方式,關於如第6E圖、第6F圖及第9A圖所示,當針對第二種情況電阻式隨機存取記憶體870-1在重設步驟中被重置成具有第二高電阻時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(6)節點l7可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;及(7)節點L3切換成浮空狀態(floating),因此,電阻式隨機存取記憶體870-1可重置成具有第二高電阻,請參見第6E圖及第6F圖之說明,電阻式隨機存取記憶體870-2保持第二低電阻,請參見第6D圖及第6F圖中的說明。
對於第六應用方式,關於如第6E圖、第6F圖及第9A圖所示,當針對第三種情況電阻式隨機存取記憶體870-1在重設步驟中被重置成具有第三高電阻且電阻式隨機存取記憶體870-2時在重置步驟中被重置成具有第三低電阻,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(6)節點l7可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;及(7)節點L3切換成浮空狀態(floating),因此,電阻式隨機存取記憶體870-1可在重置步驟中被重置成具有第三高電阻及電阻式隨機存取記憶體870-2可在設定步驟中被設定成第三低電阻,請參見第6E圖及第6F圖中的說明。
對於第六應用方式,關於如第6E圖、第6F圖及第9A圖所示,當針對第四種情況電阻式隨機存取記憶體870-2在重設步驟中被重置成具有第三高電阻且電阻式隨機存取記憶體870-1時在重置步驟中被重置成具有第四低電阻,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(6)節點l7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(7)節點L3切換成浮空狀態(floating),電阻式隨機存取記憶體870-1可在重置步驟中被重置成具有第四低電阻及電阻式隨機存取記憶體870-2可在設定步驟中被設定成第四高電阻,請參見第6E圖及第6F圖中的說明。
對於第六應用方式,關於如第6E圖至第6F圖及第9A圖所示,在初始階段時,亦即當鎖存非揮發性記憶體單元940初始化進行操作步驟時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道,以耦接節點L6至節點L1;(4)節 點L9可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道以使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;及(6)節點可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss。此時,非揮發性記憶體單元900的輸出M3可耦接至記憶體單元446的節點L3,使得每一非揮發性記憶體單元900的節點M3的邏輯值可鎖存在記憶體單元446中,連接至左邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元900的節點M3上的邏輯值相同,連接至右邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元900的節點M3上的邏輯值相反。
對於第六應用方式,關於如第6E圖至第6F圖及第9A圖所示,在鎖存非揮發性記憶體單元940可進行操作,此時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;及(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接,如此,鎖存非揮發性記憶體單元940可在節點L3或L12產生一輸出,此輸出與在每一非揮發性記憶體單元900的節點M3上的邏輯值有關,並由電阻式隨機存取記憶體870-1及870-2的電阻值所決定。
或者,對於第六應用方式,關於如第6G圖及第9A圖所示,在第6G圖中的第六型非揮發性記憶體單元900之節點M10可耦接至記憶體單元446的節點L1,而其節點M11可耦接至記憶體單元446的節點L2及其節點M12可耦接至記憶體單元446的節點L3,當每一非揮發性記憶體單元900在執行形成步驟時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7斷開連接節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)形成電壓Vf;及(6)節點L3可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss。因此電阻式隨機存取記憶體870被形成第五低電阻,請參見上述第6G圖中的說明。
對於第六應用方式,關於如第6G圖及第9A圖所示,當電阻式隨機存取記憶體870在重置步驟中被重置成具有第五低電阻時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(6)節點l7可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;及(7)節點L3切換成浮空狀態(floating),因此,電阻式隨機存取記憶體870可重置成具有第五高電阻,請參見第6G圖中的說明,第六型非揮發性記憶體單元900被編程為一邏輯值”0”。
對於第六應用方式,關於如第6G圖及第9A圖所示,在第六型非揮發性記憶體單元900被編程為一邏輯值”0”後,第六型非揮發性記憶體單元900可經由設定步驟以設定電阻式隨機存取記憶體870具有第六低電阻而被編程變為一邏輯值”1”,此時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換 成(或耦接至)編程電壓VPr,以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;及(6)節點L7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(7)節點L3切換成浮空狀態(floating)。因此電阻式隨機存取記憶體870可被設定成具有第六低電阻,請參見前述針對第6G圖所做的說明。
對於第六應用方式,關於如第6G圖及第9A圖所示,在初始階段時,亦即當鎖存非揮發性記憶體單元940初始化進行操作步驟時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道,以耦接節點L6至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道以使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;及(6)節點可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss。此時,非揮發性記憶體單元900的輸出M12可耦接至記憶體單元446的節點L3,使得每一非揮發性記憶體單元900的節點M12的邏輯值可鎖存在記憶體單元446中,連接至左邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元900的節點M12上的邏輯值相同,連接至右邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元900的節點M12上的邏輯值相反。
對於第六應用方式,關於如第6G圖及第9A圖所示,在鎖存非揮發性記憶體單元940可進行操作,此時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;及(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接,如此,鎖存非揮發性記憶體單元940可在節點L3或L12產生一輸出,此輸出與在每一非揮發性記憶體單元900的節點M12上的邏輯值有關,並由電阻式隨機存取記憶體870的電阻值所決定。
(7)第一型鎖存非揮發性記憶體單元的第七種應用方式
對於第七應用方式,關於如第7E圖及第7F圖所述之第一替代方案,請參見第9A圖,在第7E圖及第7F圖中的第七型非揮發性記憶體單元910之節點M4可耦接至記憶體單元446的節點L1,而其節點M5可耦接至記憶體單元446的節點L2及其節點M6可耦接至記憶體單元446的節點L3,當磁阻式隨機存取記憶體880-2在重置步驟中被重置成具有第一高電阻及磁阻式隨機存取記憶體880-1在設定步驟中被設定成具有第一低電阻之時,針對第一種情況,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(6)節點L7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(7)節點L3切換成浮空狀態(floating),因此,磁阻式隨機存取記憶體880-2被重置成具有第一高電阻及磁阻式隨機存取記憶體880-1可被設定具有第一低電阻,請參見前述針對第7E圖及第7F圖所做的說明。,
對於第七應用方式,關於如第7E圖及第7F圖所述之第一替代方案,請參見 第9A圖,當磁阻式隨機存取記憶體880-1在重置步驟中被重置成具有第二高電阻及磁阻式隨機存取記憶體880-2在設定步驟中被設定成具有第二低電阻時,針對第二種情況,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(6)節點L7可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;及(7)節點L3切換成浮空狀態(floating),因此,磁阻式隨機存取記憶體880-1可被重置成具有第二高電阻及磁阻式隨機存取記憶體880-2可被設定成具有第二低電阻,請參見前述針對第7E圖及第7F圖中所做的說明。。
對於第七應用方式,關於如第7E圖及第7F圖所述之第一替代方案,請參見第9A圖,在初始階段時,亦即當鎖存非揮發性記憶體單元940初始化進行操作步驟時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道,以耦接節點L6至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道以使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;及(6)節點可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss。此時,非揮發性記憶體單元910的輸出M6可耦接至記憶體單元446的節點L3,使得每一非揮發性記憶體單元910的節點M6的邏輯值可鎖存在記憶體單元446中,連接至左邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元910的節點M6上的邏輯值相同,連接至右邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元910的節點M6上的邏輯值相反。
對於第七應用方式,關於如第7E圖及第7F圖所述之第一替代方案,請參見第9A圖,當鎖存非揮發性記憶體單元940可進行操作步驟時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;及(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接,如此,鎖存非揮發性記憶體單元940可在節點L3或L12產生一輸出,此輸出與在每一非揮發性記憶體單元910的節點M6上的邏輯值有關,並由磁阻式隨機存取記憶體870-1及870-2的電阻值所決定。
對於第七應用方式,關於如第7G圖所述之第一替代方案,請參見第9A圖,在第7G圖中的第七型非揮發性記憶體單元910之節點M13可耦接至記憶體單元446的節點L1,而其節點M14可耦接至記憶體單元446的節點L2及其節點M15可耦接至記憶體單元446的節點L3,當磁阻式隨機存取記憶體880在設定步驟中被設定成具有第七低電阻時,針對第三種情況,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(6)節點L7可切換成(或耦 接至)接地參考電壓Vss;及(7)節點L3切換成浮空狀態(floating),因此,磁阻式隨機存取記憶體880可在設定步驟中被設定成具有第一低電阻,請參見前述針對第7G圖所做的說明。
對於第七應用方式,關於如第7G圖所述之第一替代方案,請參見第9A圖,當磁阻式隨機存取記憶體880在重置步驟中被重置成具有第七高電阻,針對第四種情況,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(6)節點L7可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;及(7)節點L3切換成浮空狀態(floating),因此,磁阻式隨機存取記憶體880可被重置成具有第七高電阻,請參見前述針對第7G圖中所做的說明。。
對於第七應用方式,關於如第7G圖所述之第一替代方案,請參見第9A圖,在初始階段時,亦即當鎖存非揮發性記憶體單元940初始化進行操作步驟時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道,以耦接節點L6至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道以使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;及(6)節點可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss。此時,非揮發性記憶體單元910的輸出M15可耦接至記憶體單元446的節點L3,使得每一非揮發性記憶體單元910的節點M15的邏輯值可鎖存在記憶體單元446中,連接至左邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元910的節點M15上的邏輯值相同,連接至右邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元910的節點M15上的邏輯值相反。
對於第七應用方式,關於如第7G圖所述之第一替代方案,請參見第9A圖,當鎖存非揮發性記憶體單元940可進行操作步驟時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;及(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接,如此,鎖存非揮發性記憶體單元940可在節點L3或L12產生一輸出,此輸出與在每一非揮發性記憶體單元910的節點M15上的邏輯值有關,並由磁阻式隨機存取記憶體880的電阻值所決定。
對於第七應用方式,關於如第7H圖及第7I圖所述之第二替代方案,請參見第9A圖,在第7H圖及第7I圖中的第七型非揮發性記憶體單元910之節點M7可耦接至記憶體單元446的節點L1,而其節點M8可耦接至記憶體單元446的節點L2及其節點M9可耦接至記憶體單元446的節點L3,當磁阻式隨機存取記憶體880-3在重置步驟中被重置成具有第三高電阻及磁阻式隨機存取記憶體880-4在設定步驟中被設定成具有第三低電阻時,針對第一種情況,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並 使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(6)節點L7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(7)節點L3切換成浮空狀態(floating),因此,磁阻式隨機存取記憶體880-3可被重置成具有第三高電阻及磁阻式隨機存取記憶體880-4可被設定成具有第三低電阻,請參見前述針對第7H圖及第7I圖中所做的說明。
對於第七應用方式,關於如第7H圖及第7I圖所述之第二替代方案,請參見第9A圖,當磁阻式隨機存取記憶體880-4在重置步驟中被重置成具有第四高電阻及磁阻式隨機存取記憶體880-3在設定步驟中被設定成具有第四低電阻時,針對第二種情況,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(6)節點L7可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;及(7)節點L3切換成浮空狀態(floating),因此,磁阻式隨機存取記憶體880-3可被設定成具有第四低電阻及磁阻式隨機存取記憶體880-4可被重置成具有第四高電阻,請參見前述針對第7H圖及第7I圖中所做的說明。
對於第七應用方式,關於如第7H圖及第7I圖所述之第二替代方案,請參見第9A圖,在初始階段時,亦即當鎖存非揮發性記憶體單元940初始化進行操作步驟時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道,以耦接節點L6至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道以使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;及(6)節點可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss。此時,非揮發性記憶體單元910的輸出M9可耦接至記憶體單元446的節點L3,使得每一非揮發性記憶體單元910的節點M9的邏輯值可鎖存在記憶體單元446中,連接至左邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元910的節點M9上的邏輯值相同,連接至右邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元910的節點M9上的邏輯值相反。
對於第七應用方式,關於如第7H圖及第7I圖所述之第二替代方案,請參見第9A圖,當鎖存非揮發性記憶體單元940可進行操作步驟時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;及(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接,如此,鎖存非揮發性記憶體單元940可在節點L3或L12產生一輸出,此輸出與在每一非揮發性記憶體單元910的節點M9上的邏輯值有關,並由磁阻式隨機存取記憶體880-3及880-4的電阻值所決定。
對於第七應用方式,關於如第7J圖所述之第二替代方案,請參見第9A圖,在第7J圖中的第七型非揮發性記憶體單元910之節點M16可耦接至記憶體單元446的節點L1,而其節點M17可耦接至記憶體單元446的節點L2及其節點M18可耦接至記憶體單元446的節點L3,當磁阻式隨機存取記憶體880在重置步驟中被重置成具有第八高電阻時,針對第三種情況,(1)節 點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(6)節點L7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(7)節點L3切換成浮空狀態(floating),因此,磁阻式隨機存取記憶體880可被重置成具有第八高電阻,請參見前述針對第7J圖中所做的說明。。
對於第七應用方式,關於如第7J圖所述之第二替代方案,請參見第9A圖,當磁阻式隨機存取記憶體880在設定步驟中被設定成具有第八低電阻時,針對第四種情況,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(6)節點L7可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;及(7)節點L3切換成浮空狀態(floating)0,因此,磁阻式隨機存取記憶體880-3可被設定成具有第八低電阻,請參見前述針對第7J圖中所做的說明。。
對於第七應用方式,關於如第7J圖所述之第二替代方案,請參見第9A圖,在初始階段時,亦即當鎖存非揮發性記憶體單元940初始化進行操作步驟時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道,以耦接節點L6至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道以使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;及(6)節點可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss。此時,非揮發性記憶體單元910的輸出M18可耦接至記憶體單元446的節點L3,使得每一非揮發性記憶體單元910的節點M18的邏輯值可鎖存在記憶體單元446中,連接至左邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元910的節點M18上的邏輯值相同,連接至右邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元910的節點M18上的邏輯值相反。
對於第七應用方式,關於如第7J圖所述之第二替代方案,請參見第9A圖,當鎖存非揮發性記憶體單元940可進行操作步驟時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;及(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接,如此,鎖存非揮發性記憶體單元940可在節點L3或L12產生一輸出,此輸出與在每一非揮發性記憶體單元910的節點M18上的邏輯值有關,並由磁阻式隨機存取記憶體880的電阻值所決定。
用於第二型鎖存非揮發性記憶體單元的規格說明
第9B圖為本發明實施例第二型鎖存非揮發性記憶體單元之電路示意圖,
(1)第二型鎖存非揮發性記憶體單元的第一種應用方式
在第一種應用方式下,如第1A圖至第1E圖及第9B圖所示,在第1A圖至第1E圖中的第一型非揮發性記憶體單元600之節點N3可耦接至記憶體單元446的節點L1,而其節點N4可耦接至記憶體單元446的節點L2及其節點N0可耦接至記憶體單元446的節點L3,當每一非揮發性記憶體單元600的浮閘極607被抺除時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)抺除電壓VEr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)抺除電壓VEr;(6)節點L7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(7)節點L10可切換成(或耦接至)抺除電壓VEr以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(8)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;及(9)節點L3係切換成浮空狀態(floating)。此時,非揮發性記憶體單元600的浮閘極607可被抺除至(並儲存為)邏輯值”1”,請參見前述針對第1A圖至第1E圖中的說明。
在第一種應用方式下,如第1A圖至第1E圖及第9B圖所示,當每一非揮發性記憶體單元600的浮閘極607被編程時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(6)節點L7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(7)節點L10可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(8)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;及(9)節點L3可切換成(或耦接至)編程電壓VPr。此時,非揮發性記憶體單元600的浮閘極607可被編程至(並儲存為)邏輯值”0”,請參見前述針對第1A圖至第1E圖中的說明。
在第一種應用方式下,如第1A圖至第1E圖及第9B圖所示,在初始階段時,亦即當鎖存非揮發性記憶體950單元初始化進行操作步驟時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接;(5)節點L10可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體943的通道,經由P型MOS電晶體943的通道使節點L4耦接節點L1;(6)節點L11可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以開啟N型MOS電晶體944的通道以經由N型MOS電晶體944的通道使節點L5耦接至節點L2。此時,非揮發性記憶體單元600的輸出N0可耦接至記憶體單元446的節點L3,使得每一非揮發性記憶體單元600的輸出N0的邏輯值可鎖存在記憶體單元446中,連接至左邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元600的節點N0上的邏輯值相同,連接至右邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單 元600的節點N0上的邏輯值相反。
在第一種應用方式下,如第1A圖至第1E圖及第9B圖所示,在初始階段後,鎖存非揮發性記憶體950單元的操作時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接;(5)節點L10可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;(6)節點L11可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以開啟N型MOS電晶體944的通道以經由N型MOS電晶體944的通道使節點L5耦接至節點L2。如此,鎖存非揮發性記憶體950單元位在節點L3或節點L12產生一輸出,此輸出與儲存在非揮發性記憶體單元600的浮閘極607的邏輯值相關。
(2)第二型鎖存非揮發性記憶體單元的第二種應用方式
對於第二應用方式,關於如第2A圖至第2E圖及第9B圖所示,在第2A圖至第2E圖中的第一型非揮發性記憶體單元650之節點N3可耦接至記憶體單元446的節點L1,而其節點N4可耦接至記憶體單元446的節點L2及其節點N0可耦接至記憶體單元446的節點L3,當每一非揮發性記憶體單元650的浮閘極607被抺除時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)抺除電壓VEr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)抺除電壓VEr;(6)節點L7可切換成(或耦接至)(i)耦接至抺除電壓VEr(針對在第2A圖至第2E圖中的第一及第三方面);或(ii)節點L7係切換成浮空狀態(floating)(針對在第2A圖至第2E圖中的第二方面);(7)節點L10可切換成(或耦接至)抺除電壓VEr以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(8)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;及(9)節點L3可切換為,(i)節點L3斷切換成浮空狀態(floating)(針對在第2A圖至第2E圖中的第一方面);或(ii)耦接至抺除電壓以VEr用於第2A圖至第2E圖中的第二方面及第三方面。此時,非揮發性記憶體單元650的浮閘極607可被抺除至(並儲存為)邏輯值”1”,請參見前述針對第2A圖至第2E圖中的說明。
對於第二應用方式,關於如第2A圖至第2E圖及第9B圖所示,當每一非揮發性記憶體單元650的浮閘極607被編程時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(6)節點L7可切換成(或耦接至)(i)耦接至接地參考電壓Vss(針對在第2A圖至第2E圖中的第一及第三方面);或(ii)節點L7係切換成浮空狀態(floating)(針對在第2A圖至第2E圖中的第二方面);(7)節點L10可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(8)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,以關 閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;及(9)節點L3可切換為,(i)節點L3切換成浮空狀態(floating)(針對在第2A圖至第2E圖中的第一方面);或(ii)耦接至接地參考電壓以Vss用於第2A圖至第2E圖中的第二方面及第三方面。此時,非揮發性記憶體單元650的浮閘極607可被編程至(並儲存為)邏輯值”0”,請參見前述針對第2A圖至第2E圖中的說明。
對於第二應用方式,關於如第2A圖至第2E圖及第9B圖所示,在初始階段時,亦即當鎖存非揮發性記憶體950單元初始化進行操作步驟時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接;(5)節點L10可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體943的通道,經由P型MOS電晶體943的通道使節點L4耦接節點L1;(6)節點L11可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以開啟N型MOS電晶體944的通道以經由N型MOS電晶體944的通道使節點L5耦接至節點L2。此時,非揮發性記憶體單元650的輸出N0可耦接至記憶體單元446的節點L3,使得每一非揮發性記憶體單元650的輸出N0的邏輯值可鎖存在記憶體單元446中,連接至左邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元650的節點N0上的邏輯值相同,連接至右邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元650的節點N0上的邏輯值相反。
對於第二應用方式,關於如第2A圖至第2E圖及第9B圖所示,在初始階段後,鎖存非揮發性記憶體950單元的操作時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接;(5)節點L10可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;(6)節點L11可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以開啟N型MOS電晶體944的通道以經由N型MOS電晶體944的通道使節點L5耦接至節點L2。如此,鎖存非揮發性記憶體950單元位在節點L3或節點L12產生一輸出,此輸出與儲存在非揮發性記憶體單元650的浮閘極607的邏輯值相關。
(3)第二型鎖存非揮發性記憶體單元的第三種應用方式
對於第三應用方式,關於如第3A圖至第3D圖、第3S圖及第9B圖所示,在第3A圖至第3D圖、第3S圖中的第三型非揮發性記憶體單元700之節點N3可耦接至記憶體單元446的節點L1,而其節點N4可耦接至記憶體單元446的節點L2及其節點N0可耦接至記憶體單元446的節點L3,當每一非揮發性記憶體單元700的浮閘極710被抺除時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)抺除電壓VEr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(6)節點L7可切換成(或耦接至)接地參考 電壓Vss;(7)節點L10可切換成(或耦接至)抺除電壓VEr以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(8)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;及(9)節點L3切換成浮空狀態(floating)。此時,非揮發性記憶體單元700的浮閘極710可被抺除至(並儲存為)邏輯值”1”,請參見前述針對第3A圖至第3D圖、第3S圖中的說明。
對於第三應用方式,關於如第3A圖至第3D圖、第3S圖及第9B圖所示,當每一非揮發性記憶體單元700的浮閘極710被編程時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(6)節點L7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(7)節點L10可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(8)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;及(9)節點L3可切換成(或耦接至)編程電壓VPr。此時,非揮發性記憶體單元700的浮閘極710可被編程至(並儲存為)邏輯值”1”,請參見前述針對第3A圖至第3D圖、第3S圖中的說明。
對於第三應用方式,關於如第3A圖至第3D圖、第3S圖及第9B圖所示,在初始階段時,亦即當鎖存非揮發性記憶體950單元初始化進行操作步驟時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接;(5)節點L10可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體943的通道,經由P型MOS電晶體943的通道使節點L4耦接節點L1;(6)節點L11可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以開啟N型MOS電晶體944的通道以經由N型MOS電晶體944的通道使節點L5耦接至節點L2。此時,非揮發性記憶體單元700的輸出N0可耦接至記憶體單元446的節點L3,使得每一非揮發性記憶體單元700的輸出N0的邏輯值可鎖存在記憶體單元446中,連接至左邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元700的節點N0上的邏輯值相同,連接至右邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元700的節點N0上的邏輯值相反。
對於第三應用方式,關於如第3A圖至第3D圖、第3S圖及第9B圖所示,在初始階段後,鎖存非揮發性記憶體950單元的操作時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接;(5)節點L10可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;(6)節點L11可切換成(或耦 接至)電源供應電壓Vcc以開啟N型MOS電晶體944的通道以經由N型MOS電晶體944的通道使節點L5耦接至節點L2。如此,鎖存非揮發性記憶體950單元位在節點L3或節點L12產生一輸出,此輸出與儲存在非揮發性記憶體單元700的浮閘極710的邏輯值相關。
(4)第二型鎖存非揮發性記憶體單元的第四種應用方式
對於第四應用方式,關於如第4A圖至第4D圖、第4S圖及第9B圖所示,在第4A圖至第4D圖、第4S圖中的第四型非揮發性記憶體單元760之節點N3可耦接至記憶體單元446的節點L1,而其節點N4可耦接至記憶體單元446的節點L2及其節點N0可耦接至記憶體單元446的節點L3,當每一非揮發性記憶體單元760的浮閘極710被抺除時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)抺除電壓VEr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)抺除電壓VEr;(6)節點L7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(7)節點L10可切換成(或耦接至)抺除電壓VEr以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(8)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;及(9)節點L3可切換為,(i)節點L3切換成浮空狀態(floating)(針對在第4A圖至第4D圖、第4S圖中的每一非揮發性記憶體單元760;(ii)耦接至接地參考電壓Vss(針對在第4D圖中的每一非揮發性記憶體單元760。此時,非揮發性記憶體單元760的浮閘極710可被抺除至(並儲存為)邏輯值”1”,請參見前述針對第4A圖至第4D圖、第4S圖中的說明。
對於第四應用方式,關於如第4A圖至第4D圖、第4S圖及第9B圖所示,當每一非揮發性記憶體單元700的浮閘極710被編程時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(6)節點L7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(7)節點L10可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(8)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;及(9)節點L3切換成浮空狀態(floating),用於第4A圖至第4D圖、第4S圖中的每一非揮發性記憶體單元760;或(ii)耦接接地參考電壓Vss,用於第4D圖中的每一非揮發性記憶體單元760。此時,非揮發性記憶體單元760的浮閘極710可被編程至(並儲存為)邏輯值”0”,請參見前述針對第4A圖至第4D圖、第4S圖中的說明。
對於第四應用方式,關於如第4A圖至第4D圖、第4S圖及第9B圖所示,在初始階段時,亦即當鎖存非揮發性記憶體950單元初始化進行操作步驟時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接;(5)節點L10可切換成(或耦接至)接地參考電 壓Vss以開啟P型MOS電晶體943的通道,經由P型MOS電晶體943的通道使節點L4耦接節點L1;(6)節點L11可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以開啟N型MOS電晶體944的通道以經由N型MOS電晶體944的通道使節點L5耦接至節點L2。此時,非揮發性記憶體單元760的輸出N0可耦接至記憶體單元446的節點L3,使得每一非揮發性記憶體單元760的輸出N0的邏輯值可鎖存在記憶體單元446中,連接至左邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元760的節點N0上的邏輯值相同,連接至右邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元760的節點N0上的邏輯值相反。
對於第四應用方式,關於如第4A圖至第4D圖、第4S圖及第9B圖所示,在初始階段後,鎖存非揮發性記憶體950單元的操作時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接;(5)節點L10可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;(6)節點L11可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以開啟N型MOS電晶體944的通道以經由N型MOS電晶體944的通道使節點L5耦接至節點L2。如此,鎖存非揮發性記憶體950單元位在節點L3或節點L12產生一輸出,此輸出與儲存在非揮發性記憶體單元760的浮閘極710的邏輯值相關。
(5)第二型鎖存非揮發性記憶體單元的第五種應用方式
對於第五應用方式,關於如第5A圖至第5F圖及第9B圖所示,在第5A圖至第5F圖中的第五型非揮發性記憶體單元800之節點N3可耦接至記憶體單元446的節點L1,而其節點N4可耦接至記憶體單元446的節點L2及其節點N0可耦接至記憶體單元446的節點L3,當每一非揮發性記憶體單元800的浮閘極808被抺除時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)抺除電壓VEr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)抺除電壓VEr;(6)節點L7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(7)節點L10可切換成(或耦接至)抺除電壓VEr以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(8)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;及(9)節點L3可切換為,(i)節點L3切換成浮空狀態(floating)(針對在第5A圖至第5F圖中的每一非揮發性記憶體單元800;(ii)耦接至接地參考電壓Vss(針對在第5E圖中的每一非揮發性記憶體單元800。此時,非揮發性記憶體單元760的浮閘極808可被抺除至(並儲存為)邏輯值”1”,請參見前述針對第5A圖至第5F圖中的說明。
對於第五應用方式,關於如第5A圖至第5F圖及第9B圖所示,當每一非揮發性記憶體單元800的浮閘極808被編程時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開 啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(6)節點L7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(7)節點L10可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(8)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;及(9)節點L3切換成浮空狀態(floating)。因此,每一非揮發性記憶體單元800的浮閘極808可編程為如第5A圖至第5F圖中的邏輯值”0”。
對於第五應用方式,關於如第5A圖至第5F圖及第9B圖所示,在初始階段時,亦即當鎖存非揮發性記憶體950單元初始化進行操作步驟時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接;(5)節點L10可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體943的通道,經由P型MOS電晶體943的通道使節點L4耦接節點L1;(6)節點L11可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以開啟N型MOS電晶體944的通道以經由N型MOS電晶體944的通道使節點L5耦接至節點L2。此時,非揮發性記憶體單元800的輸出N0可耦接至記憶體單元446的節點L3,使得每一非揮發性記憶體單元800的輸出N0的邏輯值可鎖存在記憶體單元446中,連接至左邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元800的節點N0上的邏輯值相同,連接至右邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元800的節點N0上的邏輯值相反。
對於第五應用方式,關於如第5A圖至第5F圖及第9B圖所示,在初始階段後,鎖存非揮發性記憶體950單元的操作時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接;(5)節點L10可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;(6)節點L11可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以開啟N型MOS電晶體944的通道以經由N型MOS電晶體944的通道使節點L5耦接至節點L2。如此,鎖存非揮發性記憶體950單元位在節點L3或節點L12產生一輸出,此輸出與儲存在非揮發性記憶體單元800的浮閘極808的邏輯值相關。
(6)第二型鎖存非揮發性記憶體單元的第六種應用方式
對於第六應用方式,關於如第6E圖、第6F圖及第9B圖所示,在第6E圖、第6F圖中的第六型非揮發性記憶體單元900之節點M1可耦接至記憶體單元446的節點L1,而其節點M2可耦接至記憶體單元446的節點L2及其節點M3可耦接至記憶體單元446的節點L3,當每一非揮發性記憶體單元900在執行形成步驟時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)形成電壓Vf以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接 至)形成電壓Vf;(6)節點L7可切換成(或耦接至)形成電壓Vf;(7)節點L10可切換成(或耦接至)形成電壓Vf以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(8)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;及(9)節點L3可切換為切換成(耦接至)接地參考電壓。因此,如第6E圖及第6F圖中,電阻式隨機存取記憶體870-1及870-2可形成具有第二低電阻。
對於第六應用方式,關於如第6E圖、第6F圖及第9B圖所示,當電阻式隨機存取記憶體870-2針對第一種情況在重設步驟中被重置成具有第一高電阻時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(6)節點l7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(7)節點L10可切換成(或耦接至)編程電壓VPr,以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(8)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;及(9)節點L3切換成浮空狀態(floating)。因此,電阻式隨機存取記憶體870-2可重設如第6E圖及第6F圖第一高電阻,電阻式隨機存取記憶體870-1保持如第6E圖及第6F圖中的第一低電阻。
對於第六應用方式,關於如第6E圖、第6F圖及第9B圖所示,當電阻式隨機存取記憶體870-1針對第二種情況在重設步驟中被重置成具有第二高電阻時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(6)節點l7可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;及(7)節點L10可切換成(或耦接至)編程電壓VPr,以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(8)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;及(9)節點L3切換成浮空狀態(floating)。因此,電阻式隨機存取記憶體870-1可重設如第6E圖及第6F圖第二高電阻,電阻式隨機存取記憶體870-2保持如第6D圖及第6F圖中的第二低電阻。
對於第六應用方式,關於如第6E圖、第6F圖及第9A圖所示,當電阻式隨機存取記憶體870-1針對第三種情況在重設步驟中被重置成具有第三高電阻且電阻式隨機存取記憶體870-2時在重置步驟中被重置成具有第三低電阻,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(6)節點L7可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;及(7)節點L10可切換成(或耦接至)編程電壓VPr,以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(8)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電 晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;及(9)節點L3切換成浮空狀態(floating)。因此,電阻式隨機存取記憶體870-1可在重置步驟中被重置成具有第三高電阻及電阻式隨機存取記憶體870-2在設定步驟中被設定成第三低電阻,請參見上述第6E圖及第6F圖中的說明。
對於第六應用方式,關於如第6E圖、第6F圖及第9B圖所示,當針對第四種情況電阻式隨機存取記憶體870-2在重設步驟中被重置成具有第三高電阻且電阻式隨機存取記憶體870-1時在重置步驟中被重置成具有第四低電阻,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(6)節點L7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;及(7)節點L10可切換成(或耦接至)編程電壓VPr,以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(8)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;及(9)通過節點L3切換成浮空狀態(floating)。因此,電阻式隨機存取記憶體870-1可在重置步驟中被重置成具有第四低電阻及電阻式隨機存取記憶體870-2可在設定步驟中被設定成具有如第6E圖及第6F圖中的第四高電阻。
對於第六應用方式,關於如第6E圖至第6F圖及第9B圖所示,在初始階段時,亦即當鎖存非揮發性記憶體950單元初始化進行操作步驟時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc,以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接;及(5)節點L10可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,以開啟P型MOS電晶體943的通道,通過P型MOS電晶體943的通道使節點L4耦接至節點L1;及(6)節點L11可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以開啟N型MOS電晶體944的通道,通過N型MOS電晶體944的通道使節點L5耦接至節點L2。此時,非揮發性記憶體單元900的輸出M3可耦接至記憶體單元446的節點L3,使得每一非揮發性記憶體單元900的節點M3的邏輯值可鎖存在記憶體單元446中,連接至左邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元900的節點M3上的邏輯值相同,連接至右邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元900的節點M3上的邏輯值相反。
對於第六應用方式,關於如第6E圖至第6F圖及第9B圖所示,在鎖存非揮發性記憶體950單元的操作時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;及(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接;(5)節點L10可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc,以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(6)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接。因此,鎖存非揮發性記憶體950可在節點L3或L12產生一輸出,此輸出與在每一非揮發性記憶體單元900的節 點M3上的邏輯值有關,並由電阻式隨機存取記憶體870-1及870-2的電阻值所決定。
或者,對於第六應用方式,關於如第6G圖及第9B圖所示,在第6G圖中的第六型非揮發性記憶體單元900之節點M10可耦接至記憶體單元446的節點L1,而其節點M11可耦接至記憶體單元446的節點L2及其節點M12可耦接至記憶體單元446的節點L3,當每一非揮發性記憶體單元900在執行形成步驟時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7斷開連接節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)形成電壓Vf;(6)節點L10可切換成(或耦接至)形成電壓Vf,以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(7)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;及(8)節點L3可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss。因此電阻式隨機存取記憶體870被形成第五低電阻,請參見上述第6G圖中的說明。
對於第六應用方式,關於如第6G圖及第9B圖所示,當電阻式隨機存取記憶體870在重置步驟中被重置成具有第五低電阻時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(6)節點L7可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(7)節點L10可切換成(或耦接至)編程電壓VPr,以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(8)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;及(7)節點L3切換成浮空狀態(floating),因此,電阻式隨機存取記憶體870可重置成具有第五低電阻,請參見如第6G圖中的說明,第六型非揮發性記憶體單元900被編程為一邏輯值”0”。
對於第六應用方式,關於如第6G圖及第9B圖所示,在第六型非揮發性記憶體單元900被編程為一邏輯值”0”後,第六型非揮發性記憶體單元900可經由設定步驟以設定電阻式隨機存取記憶體870具有第六低電阻而被編程變為一邏輯值”1”,此時,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr,以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;及(6)節點L7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(7)節點L10可切換成(或耦接至)編程電壓VPr,以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(8)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;及(9)節點L3切換成浮空狀態(floating)。因此電阻式隨機存取記憶體870可被設定成具有第六低電阻,請參見如第6G圖中的說明。
對於第六應用方式,關於如第6G圖及第9B圖所示,在初始階段時,亦即當鎖存 非揮發性記憶體950單元初始化進行操作步驟時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc,以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接;及(5)節點L10可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,以開啟P型MOS電晶體943的通道,通過P型MOS電晶體943的通道使節點L4耦接至節點L1;及(6)節點L11可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以開啟N型MOS電晶體944的通道,通過N型MOS電晶體944的通道使節點L5耦接至節點L2。此時,非揮發性記憶體單元900的輸出M12可耦接至記憶體單元446的節點L3,使得每一非揮發性記憶體單元900的節點M12的邏輯值可鎖存在記憶體單元446中,連接至左邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元900的節點M12上的邏輯值相同,連接至右邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元900的節點M12上的邏輯值相反。
對於第六應用方式,關於如第6G圖及第9B圖所示,在鎖存非揮發性記憶體950單元的操作時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;及(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接;(5)節點L10可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc,以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(6)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接。因此,鎖存非揮發性記憶體950可在節點L3或L12產生一輸出,此輸出與在每一非揮發性記憶體單元900的節點M12上的邏輯值有關,並由電阻式隨機存取記憶體870的電阻值所決定。
(7)第二型鎖存非揮發性記憶體單元的第七種應用方式
對於第七應用方式,關於如第7E圖及第7F圖所述之第一替代方案及第9B圖,在第7E圖及第7F圖中的第七型非揮發性記憶體單元910之節點M4可耦接至記憶體單元446的節點L1,而其節點M5可耦接至記憶體單元446的節點L2及其節點M6可耦接至記憶體單元446的節點L3,當磁阻式隨機存取記憶體880-2在重置步驟中被重置成具有第一高電阻及磁阻式隨機存取記憶體880-1在設定步驟中被設定成具有第一低電阻時,針對第一種情況,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(6)節點L7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(7)節點L10可切換成(或耦接至)編程電壓VPr,以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(8)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;及(9)節點L3切換成浮空狀態(floating)。因此,磁阻式隨機存取記憶體880-2可被重置成具有第一高電阻及磁阻式隨機存取記憶體880-1可被設定成具有第一低電阻,請參見如第7E圖及第7F圖中的說明。
對於第七應用方式,關於如第7E圖及第7F圖所述之第一替代方案,請參見第9A圖,當磁阻式隨機存取記憶體880-1在重置步驟中被重置成具有第二高電阻及磁阻式隨機存取記憶體880-2在設定步驟中被設定成具有第二低電阻時,針對第二種情況,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(6)節點L7可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(7)節點L10可切換成(或耦接至)編程電壓VPr,以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(8)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;及(9)節點L3切換成浮空狀態(floating)。因此,磁阻式隨機存取記憶體880-1可被重置成具有第二高電阻及磁阻式隨機存取記憶體880-2可被設定成具有第二低電阻,請參見如第7E圖及第7F圖中之說明。
對於第七應用方式,關於如第7E圖及第9B圖所述之第一種替代方案及第9B圖,在初始階段時,亦即當鎖存非揮發性記憶體950單元初始化進行操作步驟時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc,以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接;及(5)節點L10可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,以開啟P型MOS電晶體943的通道,通過P型MOS電晶體943的通道使節點L4耦接至節點L1;及(6)節點L11可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以開啟N型MOS電晶體944的通道,通過N型MOS電晶體944的通道使節點L5耦接至節點L2。此時,非揮發性記憶體單元910的輸出M6可耦接至記憶體單元446的節點L3,使得每一非揮發性記憶體單元910的節點M6的邏輯值可鎖存在記憶體單元446中,連接至左邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元910的節點M6上的邏輯值相同,連接至右邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元910的節點M6上的邏輯值相反。
對於第七應用方式,關於如第7E圖及第9B圖所述之第一種替代方案及第9B圖,對於鎖存非揮發性記憶體950單元的操作時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;及(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接;(5)節點L10可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc,以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(6)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接。因此,鎖存非揮發性記憶體950可在節點L3或L12產生一輸出,此輸出與在每一非揮發性記憶體單元910的節點M6上的邏輯值有關,並由磁阻式隨機存取記憶體880-1及880-2的電阻值所決定。
對於第七應用方式,關於如第7G圖所述之第一替代方案及第9B圖,在第7G圖 中的第七型非揮發性記憶體單元910之節點M13可耦接至記憶體單元446的節點L1,而其節點M14可耦接至記憶體單元446的節點L2及其節點M15可耦接至記憶體單元446的節點L3,當磁阻式隨機存取記憶體880在重置步驟中被重置成具有第七低電阻時,針對第三種情況,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(6)節點L7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(7)節點L10可切換成(或耦接至)編程電壓VPr,以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(8)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;及(9)節點L3切換成浮空狀態(floating)。因此,磁阻式隨機存取記憶體880可在設定步驟中被設定成具有第一低電阻,請參見如第7G圖中的說明。
對於第七應用方式,關於如第7G圖所述之第一替代方案及第9B圖,當磁阻式隨機存取記憶體880在重置步驟中被重置成具有第七高電阻,針對第四種情況,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(6)節點L7可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(7)節點L10可切換成(或耦接至)編程電壓VPr,以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(8)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;及(9)通過節點L3從任何外部電路斷開鎖存非揮發性記憶體950單元。因此,磁阻式隨機存取記憶體880可被重置成具有第七高電阻,請參見前述針對第7G圖中所做的說明。。
對於第七應用方式,關於如第7G圖及第9B圖所述之第一種替代方案及第9B圖,在初始階段時,亦即當鎖存非揮發性記憶體950單元初始化進行操作步驟時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc,以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接;及(5)節點L10可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,以開啟P型MOS電晶體943的通道,通過P型MOS電晶體943的通道使節點L4耦接至節點L1;及(6)節點L11可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以開啟N型MOS電晶體944的通道,通過N型MOS電晶體944的通道使節點L5耦接至節點L2。此時,非揮發性記憶體單元910的輸出M15可耦接至記憶體單元446的節點L3,使得每一非揮發性記憶體單元910的節點M15的邏輯值可鎖存在記憶體單元446中,連接至左邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元910的節點M15上的邏輯值相同,連接至右邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元910的節點M15上的邏輯值相反。
對於第七應用方式,關於如第7G圖及第9B圖所述之第一種替代方案及第9B圖,對於鎖存非揮發性記憶體950單元的操作時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;及(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接;(5)節點L10可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc,以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(6)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接。因此,鎖存非揮發性記憶體950可在節點L3或L12產生一輸出,此輸出與在每一非揮發性記憶體單元910的節點M15上的邏輯值有關,並由磁阻式隨機存取記憶體880的電阻值所決定。
對於第七應用方式,關於如第7H圖及第7I圖所述之第二替代方案,請參見第9A圖,在第7H圖及第7I圖中的第七型非揮發性記憶體單元910之節點M7可耦接至記憶體單元446的節點L1,而其節點M8可耦接至記憶體單元446的節點L2及其節點M9可耦接至記憶體單元446的節點L3,當磁阻式隨機存取記憶體880-3在重置步驟中被重置成具有第三高電阻及磁阻式隨機存取記憶體880-4在設定步驟中被設定成具有第三低電阻時,針對第一種情況,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(6)節點L7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(7)節點L10可切換成(或耦接至)編程電壓VPr,以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(8)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;及(9)通過節點L3從任何外部電路斷開鎖存非揮發性記憶體950單元。因此,磁阻式隨機存取記憶體880-3可被重置成具有第三高電阻及磁阻式隨機存取記憶體880-4可被設定成具有第三低電阻,請參見前述針對第7H圖及第7I圖中所做的說明。
對於第七應用方式,關於如第7H圖及第7I圖所述之第二替代方案,請參見第9A圖,當磁阻式隨機存取記憶體880-4在重置步驟中被重置成具有第四高電阻及磁阻式隨機存取記憶體880-3在設定步驟中被設定成具有第四低電阻時,針對第二種情況,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(6)節點L7可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(7)節點L10可切換成(或耦接至)編程電壓VPr,以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(8)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;及(9)通過節點L3從任何外部電路斷開鎖存非揮發性記憶體950單元。因此,磁阻式隨機存取記憶體880-3可被重置成具有第四低電阻及磁阻式隨機存取記憶體880-4可被設定成具有第四高電阻。
對於第七應用方式,關於如第7H圖及第7I圖及第9B圖所述之第二種替代方案及第9B圖,在初始階段時,亦即當鎖存非揮發性記憶體950單元初始化進行操作步驟時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc,以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接;及(5)節點L10可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,以開啟P型MOS電晶體943的通道,通過P型MOS電晶體943的通道使節點L4耦接至節點L1;及(6)節點L11可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以開啟N型MOS電晶體944的通道,通過N型MOS電晶體944的通道使節點L5耦接至節點L2。此時,非揮發性記憶體單元910的輸出M9可耦接至記憶體單元446的節點L3,使得每一非揮發性記憶體單元910的節點M9的邏輯值可鎖存在記憶體單元446中,連接至左邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元910的節點M9上的邏輯值相同,連接至右邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元910的節點M9上的邏輯值相反。
對於第七應用方式,關於如第7H圖、第7I圖及第9B圖所述之第二種替代方案及第9B圖,對於鎖存非揮發性記憶體950單元的操作時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;及(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接;(5)節點L10可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc,以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(6)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接。因此,鎖存非揮發性記憶體950可在節點L3或L12產生一輸出,此輸出與在每一非揮發性記憶體單元910的節點M9上的邏輯值有關,並由磁阻式隨機存取記憶體880-3及880-4的電阻值所決定。
對於第七應用方式,關於如第7J圖所述之第二替代方案,請參見第9A圖,在第7J圖中的第七型非揮發性記憶體單元910之節點M16可耦接至記憶體單元446的節點L1,而其節點M17可耦接至記憶體單元446的節點L2及其節點M18可耦接至記憶體單元446的節點L3,當磁阻式隨機存取記憶體880在重置步驟中被重置成具有第八高電阻時,針對第三種情況,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(6)節點L7可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(7)節點L10可切換成(或耦接至)編程電壓VPr,以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(8)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;及(9)通過節點L3從任何外部電路斷開鎖存非揮發性記憶體950單元。因此,磁阻式隨機存取記憶體880可被重置成具有第八高電阻,請參見前述針對第7J圖中所做的說明。。
對於第七應用方式,關於如第7J圖所述之第二替代方案,請參見第9A圖,當磁阻式隨機存取記憶體880在重置步驟中被重置成具有第四高電阻時,針對第四種情況,(1)節點L4係切換成浮空狀態(floating);(2)節點L5係切換成浮空狀態(floating);(3)節點L8可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以開啟P型MOS電晶體(或開關)941的通道並使節點L6耦接至節點L1;(4)節點L9可切換成(或耦接至)編程電壓VPr以開啟N型MOS電晶體(或開關)942的通道並使節點L7耦接至節點L2;(5)節點L6可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(6)節點L7可切換成(或耦接至)編程電壓VPr;(7)節點L10可切換成(或耦接至)編程電壓VPr,以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(8)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接;及(9)通過節點L3從任何外部電路斷開鎖存非揮發性記憶體950單元。因此,磁阻式隨機存取記憶體880-3可被重置成具有第八低電阻,請參見前述針對第7J圖中所做的說明。。
對於第七應用方式,關於如第7J圖及第9B圖所述之第二種替代方案及第9B圖,在初始階段時,亦即當鎖存非揮發性記憶體950單元初始化進行操作步驟時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc,以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接;及(5)節點L10可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,以開啟P型MOS電晶體943的通道,通過P型MOS電晶體943的通道使節點L4耦接至節點L1;及(6)節點L11可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以開啟N型MOS電晶體944的通道,通過N型MOS電晶體944的通道使節點L5耦接至節點L2。此時,非揮發性記憶體單元910的輸出M18可耦接至記憶體單元446的節點L3,使得每一非揮發性記憶體單元910的節點M18的邏輯值可鎖存在記憶體單元446中,連接至左邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元910的節點M18上的邏輯值相同,連接至右邊那對P型及N型MOS電晶體447及448的閘極之導線可鎖存一邏輯值,此邏輯值與在非揮發性記憶體單元910的節點M18上的邏輯值相反。
對於第七應用方式,關於如第7J圖及第9B圖所述之第二種替代方案及第9B圖,對於鎖存非揮發性記憶體950單元的操作時,(1)節點L4可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc;(2)節點L5可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;(3)節點L8可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc以關閉P型MOS電晶體(或開關)941的通道,而斷開節點L1與節點L6之間的連接;及(4)節點L9可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體(或開關)942的通道,而斷開節點L2與節點L7之間的連接;(5)節點L10可切換成(或耦接至)電源供應電壓Vcc,以關閉P型MOS電晶體943的通道,而斷開節點L1與節點L4之間的連接;(6)節點L11可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss以關閉N型MOS電晶體944的通道,而斷開節點L2與節點L5之間的連接。因此,鎖存非揮發性記憶體950可在節點L3或L12產生一輸出,此輸出與在每一非揮發性記憶體單元910的節點M18上的邏輯值有關,並由磁阻式隨機存取記憶體880的電阻值所決定。
通過/不通開關之說明
(1)第一型通過/不通開關
第10A圖係為根據本申請案之實施例所繪示之第一型通過/不通開關之電路 圖。請參見第10A圖,第一型通過/不通過開關258包括相互並聯配置的N型MOS電晶體222及P型MOS電晶體223。第一型通過/不通過開關258之每一N型MOS電晶體222及P型MOS電晶體223之通道的一端係耦接至節點N21,而另一端係耦接至節點N22。因此,第一型通過/不通過開關258可以開啟或切斷節點N21及節點N22之間的連接。第一型通過/不通過開關258之P型MOS電晶體223之閘極係耦接至節點SC-1,第一型通過/不通過開關258之N型MOS電晶體222之閘極係耦接至節點SC-2。
(2)第二型通過/不通開關
第10B圖係為根據本申請案之實施例所繪示之第二型通過/不通開關之電路圖。請參見第10B圖,第二型通過/不通過開關258包括N型MOS電晶體222及P型MOS電晶體223,相同於如第10A圖所繪示之第一型通過/不通過開關258之N型MOS電晶體222及P型MOS電晶體223。第二型通過/不通過開關258包括一反相器533,其輸入耦接於N型MOS電晶體222之閘極及節點SC-3,其輸出耦接於P型MOS電晶體223之閘極,反相器533適於將其輸入反向而形成其輸出。
(3)第三型通過/不通開關
第10C圖係為根據本申請案之實施例所繪示之第三型通過/不通開關之電路圖。請參見第10C圖,第三型通過/不通過開關258可以是多級三態緩衝器292或是開關緩衝器,在每一級中,均具有一對的P型MOS電晶體293及N型MOS電晶體294,兩者的汲極係相互地耦接在一起,而兩者的源極係分別地連接至電源端Vcc及接地端Vss。在本實施例中,多級三態緩衝器292係為二級三態緩衝器292,亦即為二級反相器,分別為第一級及第二級,分別具有一對的P型MOS電晶體293及N型MOS電晶體294。節點N21可以耦接至第一級之該對P型MOS電晶體293及N型MOS電晶體294的閘級,第一級之該對P型MOS電晶體293及N型MOS電晶體294的汲級耦接至第二級之該對P型MOS電晶體293及N型MOS電晶體294的閘級,第二級之該對P型MOS電晶體293及N型MOS電晶體294的汲級耦接至節點N22。
請參見第10C圖,多級三態緩衝器292還包括一開關機制,以致能或禁能多級三態緩衝器292,其中該開關機制包括:(1)一控制P型MOS電晶體295,其源極係耦接至電源端(Vcc),而其汲極係耦接至第一級及第二級之P型MOS電晶體293的源極;(2)一控制N型MOS電晶體296,其源極係耦接至接地端(Vss),而其汲極係耦接至第一級及第二級之N型MOS電晶體294的源極;以及(3)反相器297,其輸入耦接控制N型MOS電晶體296之閘級及節點SC-4,其輸出耦接控制P型MOS電晶體295之閘級,反相器297適於將其輸入反向而形成其輸出。
舉例而言,請參見第10C圖,當邏輯值“1”耦接至節點SC-4時,會開啟多級三態緩衝器292,則訊號可以從節點N21傳送至節點N22。當邏輯值“0”耦接至節點SC-4時,會關閉多級三態緩衝器292,則節點N21與節點N22之間並無訊號傳送。
(4)第四型通過/不通開關
第10D圖係為根據本申請案之實施例所繪示之第四型通過/不通開關之電路圖。請參見第10D圖,第四型通過/不通過開關258可以是多級三態緩衝器或是開關緩衝器,其係類似如第10C圖所繪示之多級三態緩衝器292。針對繪示於第10C圖及第10D圖中的相同標號所指示的元件,繪示於第10D圖中的該元件可以參考該元件於第10C圖中的說明。第10C圖與 第10D圖所繪示之電路之間的不同點係如下所述:請參見第10D圖,控制P型MOS電晶體295之汲極係耦接至第二級(即是輸出級)之P型MOS電晶體293的源極,但是並未耦接至第一級之P型MOS電晶體293的源極;第一級之P型MOS電晶體293的源極係耦接至電源端(Vcc)及控制P型MOS電晶體295之源極。控制N型MOS電晶體296之汲極係耦接至第二級(即是輸出級)之N型MOS電晶體294的源極,但是並未耦接至第一級之N型MOS電晶體294的源極;第一級之N型MOS電晶體294的源極係耦接至接地端(Vss)及N型MOS電晶體296之源極。
(5)第五型通過/不通開關
第10E圖係為根據本申請案之實施例所繪示之第五型通過/不通開關之電路圖。針對繪示於第10C圖及第10E圖中的相同標號所指示的元件,繪示於第10E圖中的該元件可以參考該元件於第10C圖中的說明。請參見第10E圖,第五型通過/不通過開關258可以包括一對的如第10C圖所繪示之多級三態緩衝器292或是開關緩衝器。位在左側之多級三態緩衝器292中的第一級的P型及N型MOS電晶體293及294之閘極係耦接至位在右側之多級三態緩衝器292中的第二級(即是輸出級)的P型及N型MOS電晶體293及294之汲極及耦接至節點N21。位在右側之多級三態緩衝器292中的第一級的P型及N型MOS電晶體293及294之閘極係耦接至位在左側之多級三態緩衝器292中的第二級(即是輸出級)的P型及N型MOS電晶體293及294之汲極及耦接至節點N22。針對位在左側之多級三態緩衝器292,其反相器297之輸入耦接其控制N型MOS電晶體296之閘級及節點SC-4,其反相器297之輸出耦接其控制P型MOS電晶體295之閘級,其反相器297適於將其輸入反向而形成其輸出。針對位在右側之多級三態緩衝器292,其反相器297之輸入耦接其控制N型MOS電晶體296之閘級及節點SC-6,其反相器297之輸出耦接其控制P型MOS電晶體295之閘級,其反相器297適於將其輸入反向而形成其輸出。
舉例而言,請參見第10E圖,當邏輯值“1”耦接至節點SC-5時,會開啟位在左側之多級三態緩衝器292,且當邏輯值“0”耦接至節點SC-6時,會關閉位在右側之多級三態緩衝器292,則訊號可以從節點N21傳送至節點N22。當邏輯值“0”耦接至節點SC-5時,會關閉位在左側之多級三態緩衝器292,且當邏輯值“1”耦接至節點SC-6時,會開啟位在右側之多級三態緩衝器292,則訊號可以從節點N22傳送至節點N21。當邏輯值“0”耦接至節點SC-5時,會關閉位在左側之多級三態緩衝器292,且當邏輯值“0”耦接至節點SC-6時,會關閉位在右側之多級三態緩衝器292,則節點N21與節點N22之間並無訊號傳送。當一邏輯值”1”耦接節點SC-5會開啟左側其中之一的多級三態緩衝器292,及一邏輯值”1”耦接節點SC-6會開啟右側其中之一的多級三態緩衝器292,信號傳輸可發生在從節點N21至節點N22的方向或從節點N22至節點21的方向上。
(6)第六型通過/不通開關
第10F圖係為根據本申請案之實施例所繪示之第六型通過/不通開關之電路圖。第六型通過/不通過開關258可以包括一對的多級三態緩衝器或是開關緩衝器,類似於如第10E圖所繪示之一對的多級三態緩衝器292。針對繪示於第10E圖及第10F圖中的相同標號所指示的元件,繪示於第10F圖中的該元件可以參考該元件於第2E圖中的說明。第10E圖與第10F圖所繪示之電路之間的不同點係如下所述:請參見第10F圖,針對每一多級三態緩衝器292,其控制P型MOS電晶體295之汲極係耦接至其第二級之P型MOS電晶體293的源極,但是並未耦接至其第一級之P型MOS電晶體293的源極;其第一級之P型MOS電晶體293的源極係耦接至電源 端(Vcc)及其控制P型MOS電晶體295之源極。針對每一多級三態緩衝器292,其控制N型MOS電晶體296之汲極係耦接至其第二級之N型MOS電晶體294的源極,但是並未耦接至其第一級之N型MOS電晶體294的源極;其第一級之N型MOS電晶體294的源極係耦接至接地端(Vss)及其控制N型MOS電晶體296之源極。
由通過/不通開關所組成之交叉點開關之說明
(1)第一型交叉點開關
第11A圖係為根據本申請案之實施例所繪示之由六個通過/不通開關所組成之第一型交叉點開關之電路圖。請參見第11A圖,六個通過/不通過開關258可組成第一型交叉點開關379,其中每一通過/不通過開關258可以是如第10A圖至第10F圖所繪示之第一型至第六型通過/不通開關之任一型。第一型交叉點開關379可以包括四個接點N23至N26,四個接點N23至N26之每一個可以透過六個通過/不通過開關258之其中之一個耦接四個接點N23至N26之另一個。第一型至第六型通過/不通開關之任一型均可應用在第3A圖所繪示之通過/不通過開關258,其節點N21及N22之其中之一個係耦接至四個接點N23至N26之其中之一個,其節點N21及N22之另一個係耦接至四個接點N23至N26之另一個。舉例而言,第一型交叉點開關379之接點N23適於透過其該些六個通過/不通過開關258其中第一個耦接至接點N24,第一個之該些六個通過/不通過開關258係位在接點N23及接點N24之間,以及/或者第一型交叉點開關379之接點N23適於透過其該些六個通過/不通過開關258其中第二個耦接至接點N25,第二個之該些六個通過/不通過開關258係位在接點N23及接點N25之間,以及/或者第一型交叉點開關379之接點N23適於透過其該些六個通過/不通過開關258其中第三個耦接至接點N26,第三個之該些六個通過/不通過開關258係位在接點N23及接點N26之間。
(2)第二型交叉點開關
第11B圖係為根據本申請案之實施例所繪示之由四個通過/不通開關所組成之第二型交叉點開關之電路圖。請參見第11B圖,四個通過/不通過開關258可組成第二型交叉點開關379,其中每一通過/不通過開關258可以是如第10A圖至第10F圖所繪示之第一型至第六型通過/不通開關之任一型。第二型交叉點開關379可以包括四個接點N23至N26,四個接點N23至N26之每一個可以透過六個通過/不通過開關258之其中兩個耦接四個接點N23至N26之另一個。第二型交叉點開關379之中心節點適於透過其四個通過/不通過開關258分別耦接至其四個接點N23至N26,第一型至第六型通過/不通開關之任一型均可應用在第3B圖所繪示之通過/不通過開關258,其節點N21及N22之其中之一個係耦接至四個接點N23至N26之其中之一個,其節點N21及N22之另一個係耦接至第二型交叉點開關379之中心節點。舉例而言,第二型交叉點開關379之接點N23適於透過其左側及上側的通過/不通過開關258耦接至接點N24、透過其左側及右側的通過/不通過開關258耦接至接點N25、以及/或者透過其左側及下側的通過/不通過開關258耦接至接點N26。
多工器(multiplexer(MUXER))之說明
(1)第一型多工器
第12A圖係為根據本申請案之實施例所繪示之第一型多工器之電路圖。請參見第12A圖,第一型多工器211具有並聯設置的第一組輸入及並聯設置的第二組輸入,且可根據其第二組輸入之組合從其第一組輸入中選擇其一作為其輸出。舉例而言,第一型多工器211可 以具有並聯設置的16個輸入D0-D15作為第一組輸入,及並聯設置的4個輸入A0-A3作為第二組輸入。第一型多工器211可根據其第二組之4個輸入A0-A3之組合從其第一組之16個輸入D0-D15中選擇其一作為其輸出Dout。
請參見第12A圖,第一型多工器211可以包括逐級耦接的多級三態緩衝器,例如為四級的三態緩衝器215、216、217及218。第一型多工器211可以具有八對共16個平行設置的三態緩衝器215設在第一級,其每一個的第一輸入係耦接至第一組之16個輸入D0-D15之其中之一,其每一個的第二輸入係與第二組之輸入A3有關。在第一級中八對共16個三態緩衝器215之每一個可以根據其第二輸入使其開啟或關閉,以控制是否要將其第一輸入傳送至其輸出。第一型多工器211可以包括一反相器219,其輸入係耦接至第二組之輸入A3,反相器219適於將其輸入反向而形成其輸出。在第一級中每一對三態緩衝器215之其中之一個可以根據耦接至反相器219之輸入及輸出其中之一之其第二輸入切換成開啟狀態,使其第一輸入傳送至其輸出;在第一級中每一對三態緩衝器215之其中另一個可以根據耦接至反相器219之輸入及輸出其中另一之其第二輸入切換成關閉狀態,使其第一輸入不會傳送至其輸出。在第一級之每一對三態緩衝器215中其輸出係相互耦接。舉例而言,在第一級中最上面一對的三態緩衝器215中的上面一個其第一輸入係耦接至第一組之輸入D0,而其第二輸入係耦接至反相器219之輸出;在第一級中最上面一對的三態緩衝器215中的下面一個其第一輸入係耦接至第一組之輸入D1,而其第二輸入係耦接至反相器219之輸入。在第一級中最上面一對的三態緩衝器215中的上面一個可根據其第二輸入切換成開啟狀態,使其第一輸入傳送至其輸出;在第一級中最上面一對的三態緩衝器215中的下面一個可根據其第二輸入切換成關閉狀態,使其第一輸入不會傳送至其輸出。因此,在第一級中八對的三態緩衝器215之每一對係根據分別耦接至反相器219之輸入及輸出的其兩個第二輸入以控制讓其兩個第一輸入之其中之一個傳送至其輸出,而其輸出會耦接至第二級三態緩衝器216之其中之一個之第一輸入。
請參見第12A圖,第一型多工器211可以具有四對共8個平行設置的三態緩衝器216設在第二級,其每一個的第一輸入係耦接至在第一級之三態緩衝器215其中之一對之輸出,其每一個的第二輸入係與第二組之輸入A2有關。在第二級中四對共8個三態緩衝器216之每一個可以根據其第二輸入使其開啟或關閉,以控制是否要將其第一輸入傳送至其輸出。第一型多工器211可以包括一反相器220,其輸入係耦接至第二組之輸入A2,反相器220適於將其輸入反向而形成其輸出。在第二級中每一對三態緩衝器216之其中之一個可以根據耦接至反相器220之輸入及輸出其中之一之其第二輸入切換成開啟狀態,使其第一輸入傳送至其輸出;在第二級中每一對三態緩衝器216之其中另一個可以根據耦接至反相器220之輸入及輸出其中另一之其第二輸入切換成關閉狀態,使其第一輸入不會傳送至其輸出。在第二級之每一對三態緩衝器216中其輸出係相互耦接。舉例而言,在第二級中最上面一對的三態緩衝器216中的上面一個其第一輸入係耦接至在第一級中最上面一對的三態緩衝器215之輸出,而其第二輸入係耦接至反相器220之輸出;在第二級中最上面一對的三態緩衝器216中的下面一個其第一輸入係耦接至在第一級中次上面一對的三態緩衝器215之輸出,而其第二輸入係耦接至反相器220之輸入。在第二級中最上面一對的三態緩衝器216中的上面一個可根據其第二輸入切換成開啟狀態,使其第一輸入傳送至其輸出;在第二級中最上面一對的三態緩衝器216中的下面一個可根據其第二輸入切換成關閉狀態,使其第一輸入不會傳送至其輸出。因此,在第二級中四對的三態緩衝 器216之每一對係根據分別耦接至反相器220之輸入及輸出的其兩個第二輸入以控制讓其兩個第一輸入之其中之一個傳送至其輸出,而其輸出會耦接至第三級三態緩衝器217之其中之一個之第一輸入。
請參見第12A圖,第一型多工器211可以具有兩對共4個平行設置的三態緩衝器217設在第三級,其每一個的第一輸入係耦接至在第二級之三態緩衝器216其中之一對之輸出,其每一個的第二輸入係與第二組之輸入A1有關。在第三級中兩對共4個三態緩衝器217之每一個可以根據其第二輸入使其開啟或關閉,以控制是否要將其第一輸入傳送至其輸出。第一型多工器211可以包括一反相器207,其輸入係耦接至第二組之輸入A1,反相器207適於將其輸入反向而形成其輸出。在第三級中每一對三態緩衝器217之其中之一個可以根據耦接至反相器207之輸入及輸出其中之一之其第二輸入切換成開啟狀態,使其第一輸入傳送至其輸出;在第三級中每一對三態緩衝器217之其中另一個可以根據耦接至反相器207之輸入及輸出其中另一之其第二輸入切換成關閉狀態,使其第一輸入不會傳送至其輸出。在第三級之每一對三態緩衝器217中其輸出係相互耦接。舉例而言,在第三級中上面一對的三態緩衝器217中的上面一個其第一輸入係耦接至在第二級中最上面一對的三態緩衝器216之輸出,而其第二輸入係耦接至反相器207之輸出;在第三級中上面一對的三態緩衝器217中的下面一個其第一輸入係耦接至在第二級中次上面一對的三態緩衝器216之輸出,而其第二輸入係耦接至反相器207之輸入。在第三級中上面一對的三態緩衝器217中的上面一個可根據其第二輸入切換成開啟狀態,使其第一輸入傳送至其輸出;在第三級中上面一對的三態緩衝器217中的下面一個可根據其第二輸入切換成關閉狀態,使其第一輸入不會傳送至其輸出。因此,在第三級中兩對的三態緩衝器217之每一對係根據分別耦接至反相器207之輸入及輸出的其兩個第二輸入以控制讓其兩個第一輸入之其中之一個傳送至其輸出,而其輸出會耦接至第四級三態緩衝器218之第一輸入。
請參見第4A圖,第一型多工器211可以具有一對共2個平行設置的三態緩衝器218設在第四級(即輸出級),其每一個的第一輸入係耦接至在第三級之三態緩衝器217其中之一對之輸出,其每一個的第二輸入係與第二組之輸入A0有關。在第四級(即輸出級)中一對共2個三態緩衝器218之每一個可以根據其第二輸入使其開啟或關閉,以控制是否要將其第一輸入傳送至其輸出。第一型多工器211可以包括一反相器208,其輸入係耦接至第二組之輸入A0,反相器208適於將其輸入反向而形成其輸出。在第四級(即輸出級)中該對三態緩衝器218之其中之一個可以根據耦接至反相器208之輸入及輸出其中之一之其第二輸入切換成開啟狀態,使其第一輸入傳送至其輸出;在第四級(即輸出級)中該對三態緩衝器218之其中另一個可以根據耦接至反相器208之輸入及輸出其中另一之其第二輸入切換成關閉狀態,使其第一輸入不會傳送至其輸出。在第四級(即輸出級)之該對三態緩衝器218中其輸出係相互耦接。舉例而言,在第四級(即輸出級)中該對三態緩衝器218中的上面一個其第一輸入係耦接至在第三級中上面一對的三態緩衝器217之輸出,而其第二輸入係耦接至反相器208之輸出;在第四級(即輸出級)中該對三態緩衝器218中的下面一個其第一輸入係耦接至在第三級中下面一對的三態緩衝器217之輸出,而其第二輸入係耦接至反相器208之輸入。在第四級(即輸出級)中該對的三態緩衝器218中的上面一個可根據其第二輸入切換成開啟狀態,使其第一輸入傳送至其輸出;在第四級(即輸出級)中該對的三態緩衝器218中的下面一個可根據其第二輸入切換成關閉狀態,使其第一輸入不會傳送至其輸出。因此,在第四級(即輸出級)中該對的三態緩衝器218係根據分別耦接至反相 器208之輸入及輸出的其兩個第二輸入以控制讓其兩個第一輸入之其中之一個傳送至其輸出,作為第一型多工器211之輸出Dout。
第12B圖係為根據本申請案之實施例所繪示之第一型多工器之三態緩衝器之電路圖。請參見第12A圖及第12B圖,每一該些三態緩衝器215、216、217及218可以包括(1)一P型MOS電晶體231,適於形成一通道,該通道之一端係位在所述每一該些三態緩衝器215、216、217及218之第一輸入,該通道之另一端係位在所述每一該些三態緩衝器215、216、217及218之輸出;(2)一N型MOS電晶體232,適於形成一通道,該通道之一端係位在所述每一該些三態緩衝器215、216、217及218之第一輸入,該通道之另一端係位在所述每一該些三態緩衝器215、216、217及218之輸出;以及(3)一反相器233,其輸入係耦接至N型MOS電晶體232之閘極且位在所述每一該些三態緩衝器215、216、217及218之第二輸入,反相器233適於將其輸入反向而形成其輸出,反相器233之輸出係耦接至P型MOS電晶體231之閘極。針對每一該些三態緩衝器215、216、217及218,當其反相器233之輸入的邏輯值係為“1”時,其P型及N型MOS電晶體231及232均切換為開啟的狀態,使其第一輸入可以經由其P型及N型MOS電晶體231及232之通道傳送至其輸出;當其反相器233之輸入的邏輯值係為“0”時,其P型及N型MOS電晶體231及232均切換為關閉的狀態,此時P型及N型MOS電晶體231及232並不會形成一通道,使其第一輸入並不會傳送至其輸出。在第一級中每對的兩個三態緩衝器215其分別的兩個反相器233之分別的兩個輸入係分別地耦接至與第二組之輸入A3有關的反相器219之輸出及輸入。在第二級中每對的兩個三態緩衝器216其分別的兩個反相器233之分別的兩個輸入係分別地耦接至與第二組之輸入A2有關的反相器220之輸出及輸入。在第三級中每對的兩個三態緩衝器217其分別的兩個反相器233之分別的兩個輸入係分別地耦接至與第二組之輸入A1有關的反相器207之輸出及輸入。在第四級(即輸出級)中該對的兩個三態緩衝器218其分別的兩個反相器233之分別的兩個輸入係分別地耦接至與第二組之輸入A0有關的反相器208之輸出及輸入。
據此,第一型多工器211可以根據其第二組之輸入A0-A3的組合從其第一組之輸入D0-D15中選擇其一作為其輸出Dout。
(2)第二型多工器
第12C圖係為根據本申請案之實施例所繪示之第二型多工器之電路圖。請參見第12C圖,第二型多工器211係類似如第12A圖及第12B圖所描述之第一型多工器211,但是還增設如第12C圖所描述之第三型通過/不通過開關292,其位在節點N21處之輸入會耦接至在最後一級(例如為第四級或輸出級)中該對的兩個三態緩衝器218之輸出。針對繪示於第10C圖、第12A圖、第12B圖及第12C圖中的相同標號所指示的元件,繪示於第12C圖中的該元件可以參考該元件於第10C圖、第12A圖或第12B圖中的說明。據此,請參見第12C圖,第三型通過/不通過開關292可以將其位在節點N21處之輸入放大而形成其位在節點N22處之輸出,作為第二型多工器211之輸出Dout。
據此,第二型多工器211可以根據其第二組之輸入A0-A3的組合從其第一組之輸入D0-D15中選擇其一作為其輸出Dout。
(3)第三型多工器
第12D圖係為根據本申請案之實施例所繪示之第三型多工器之電路圖。請參 見第12D圖,第三型多工器211係類似如第12A圖及第12B圖所描述之第一型多工器211,但是還增設如第10D圖所描述之第四型通過/不通過開關292,其位在節點N21處之輸入會耦接至在最後一級(例如為第四級或輸出級)中該對的兩個三態緩衝器218之輸出。針對繪示於第10C圖、第10D圖、第12A圖、第12B圖、第12C圖及第12D圖中的相同標號所指示的元件,繪示於第12D圖中的該元件可以參考該元件於第10C圖、第10D圖、第12A圖、第12B圖或第12C圖中的說明。據此,請參見第12D圖,第四型通過/不通過開關292可以將其位在節點N21處之輸入放大而形成其位在節點N22處之輸出,作為第三型多工器211之輸出Dout。
據此,第三型多工器211可以根據其第二組之輸入A0-A3的組合從其第一組之輸入D0-D15中選擇其一作為其輸出Dout。
此外,第一型、第二型或第三型多工器211之第一組之平行設置的輸入其數目係為2的n次方個,而第二組之平行設置的輸入其數目係為n個,該數目n可以是任何大於或等於2的整數,例如為介於2至64之間。第12E圖係為根據本申請案之實施例所繪示之多工器之電路圖。在本實施例中,請參見第12E圖,如第12A圖、第12C圖或第12D圖所描述之第一型、第二型或第三型多工器211可以修改為具有8個的第二組之輸入A0-A7及256個(亦即為2的8次方個)的第一組之輸入D0-D255(亦即為第二組之輸入A0-A7的所有組合所對應之結果值或編程碼)。第一型、第二型或第三型多工器211可以包括八級逐級耦接的三態緩衝器或是開關緩衝器,其每一個具有如第12B圖所繪示之架構。在第一級中平行設置的三態緩衝器或是開關緩衝器之數目可以是256個,其每一個的第一輸入可以耦接至多工器211之第一組之256個輸入D0-D255之其中之一,且根據與多工器211之第二組之輸入A7有關之其每一個的第二輸入可以使其每一個開啟或關閉,以控制是否要將其第一輸入傳送至其輸出。在第二級至第七級中平行設置的三態緩衝器或是開關緩衝器之每一個,其第一輸入可以耦接至該每一個之前一級的三態緩衝器或是開關緩衝器之輸出,且根據分別與多工器211之第二組之輸入A6-A1其中之一有關之其每一個的第二輸入可以使其每一個開啟或關閉,以控制是否要將其第一輸入傳送至其輸出。在第八級(即輸出級)中平行設置的三態緩衝器或是開關緩衝器之每一個,其第一輸入可以耦接至第七級的三態緩衝器或是開關緩衝器之輸出,且根據與多工器211之第二組之輸入A0有關之其每一個的第二輸入可以使其每一個開啟或關閉,以控制是否要將其第一輸入傳送至其輸出。此外,如第12C圖或第12D圖所描述之通過/不通過開關292可以增設於其中,亦即將其輸入耦接至在第八級(即輸出級)中該對三態緩衝器之輸出,並將其輸入放大而形成其輸出,作為多工器211之輸出Dout。
舉例而言,第12F圖係為根據本申請案之實施例所繪示之多工器之電路圖。請參見第12F圖,第二型多工器211包括第一組之平行設置的輸入D0、D1及D3及第二組之平行設置的輸入A0及A1。第二型多工器211可以包括逐級耦接的二級三態緩衝器217及218,第二型多工器211可以具有三個平行設置的三態緩衝器217設在第一級,其每一個的第一輸入係耦接至第一組之3個輸入D0-D2之其中之一,其每一個的第二輸入係與第二組之輸入A1有關。在第一級中共3個三態緩衝器217之每一個可以根據其第二輸入使其開啟或關閉,以控制是否要將其第一輸入傳送至其輸出。第二型多工器211可以包括反相器207,其輸入係耦接至第二組之輸入A1,反相器207適於將其輸入反向而形成其輸出。在第一級中上面一對的三態緩衝器217之其中之一個可以根據耦接至反相器207之輸入及輸出其中之一之其第二輸入切換成開啟狀態,使 其第一輸入傳送至其輸出;在第一級中上面一對的三態緩衝器217之其中另一個可以根據耦接至反相器207之輸入及輸出其中另一之其第二輸入切換成關閉狀態,使其第一輸入不會傳送至其輸出。在第一級之上面一對的三態緩衝器217中其輸出係相互耦接。因此,在第一級中上面一對的三態緩衝器217係根據分別耦接至三態緩衝器(反相器)217之輸入及輸出的其兩個第二輸入以控制讓其兩個第一輸入之其中之一個傳送至其輸出,而其輸出會耦接至第二級三態緩衝器218之其中之一個之第一輸入。在第一級中下面的三態緩衝器217係根據耦接至反相器207之輸出的其第二輸入,以控制是否要將其第一輸入傳送至其輸出,而其輸出會耦接至第二級(即輸出級)三態緩衝器218之其中另一個之第一輸入。
請參見第12F圖,第二型多工器211可以具有一對共2個平行設置的三態緩衝器218設在第二級或輸出級,其上面一個的第一輸入係耦接至在第一級中上面一對之三態緩衝器217之輸出,其上面一個的第二輸入係與第二組之輸入A0有關,其下面一個的第一輸入係耦接至在第一級中下面的三態緩衝器217之輸出,其下面一個的第二輸入係與第二組之輸入A0有關。在第二級(即輸出級)中一對共2個三態緩衝器218之每一個可以根據其第二輸入使其開啟或關閉,以控制是否要將其第一輸入傳送至其輸出。第二型多工器211可以包括反相器208,其輸入係耦接至第二組之輸入A0,反相器208適於將其輸入反向而形成其輸出。在第二級(即輸出級)中該對三態緩衝器218之其中之一個可以根據耦接至反相器208之輸入及輸出其中之一之其第二輸入切換成開啟狀態,使其第一輸入傳送至其輸出;在第二級(即輸出級)中該對三態緩衝器218之其中另一個可以根據耦接至反相器208之輸入及輸出其中另一之其第二輸入切換成關閉狀態,使其第一輸入不會傳送至其輸出。在第二級(即輸出級)之該對三態緩衝器218中其輸出係相互耦接。因此,在第二級(即輸出級)中該對的三態緩衝器218係根據分別耦接至反相器208之輸入及輸出的其兩個第二輸入以控制讓其兩個第一輸入之其中之一個傳送至其輸出。第二型多工器211還可以包括如第10C圖所描述之第三型通過/不通過開關292,其位在節點N21處之輸入會耦接至在第二級(即輸出級)中該對的兩個三態緩衝器218之輸出,第三型通過/不通過開關292可以將其位在節點N21處之輸入放大而形成其位在節點N22處之輸出,作為第二型多工器211之輸出Dout。
第12G圖係為根據本申請案之實施例所繪示之多工器之電路圖。請參見第12G圖,第二型多工器211包括第一組之平行設置的輸入D0-D3及第二組之平行設置的輸入A0及A1。第二型多工器211可以包括逐級耦接的二級三態緩衝器217及218,第二型多工器211可以具有三個平行設置的三態緩衝器217設在第一級,其每一個的第一輸入係耦接至第一組之3個輸入D0-D3之其中之一,其每一個的第二輸入係與第二組之輸入A1有關。在第一級中共3個三態緩衝器217之每一個可以根據其第二輸入使其開啟或關閉,以控制是否要將其第一輸入傳送至其輸出。第二型多工器211可以包括反相器207,其輸入係耦接至第二組之輸入A1,反相器207適於將其輸入反向而形成其輸出。在第一級中上面一對的三態緩衝器217之其中之一個可以根據耦接至反相器207之輸入及輸出其中之一之其第二輸入切換成開啟狀態,使其第一輸入傳送至其輸出;在第一級中上面一對的三態緩衝器217之其中另一個可以根據耦接至反相器207之輸入及輸出其中另一之其第二輸入切換成關閉狀態,使其第一輸入不會傳送至其輸出。在第一級之上面一對的三態緩衝器217中其輸出係相互耦接。因此,在第一級中上面一對的三態緩衝器217係根據分別耦接至三態緩衝器(反相器)217之輸入及輸出的其兩個第二輸入以 控制讓其兩個第一輸入之其中之一個傳送至其輸出,而其輸出會耦接至第二級三態緩衝器218之其中之一個之第一輸入(即輸出級),在第一級中下面一對的三態緩衝器217之其中之一個可以根據耦接至反相器207之輸入及輸出其中之一之其第二輸入切換成開啟狀態,使其第一輸入傳送至其輸出;在第一級中下面一對的三態緩衝器217之其中另一個可以根據耦接至反相器207之輸入及輸出其中另一之其第二輸入切換成關閉狀態,使其第一輸入不會傳送至其輸出。在第一級之下面一對的三態緩衝器217中其輸出係相互耦接。因此,在第一級中下面一對的三態緩衝器217係根據分別耦接至三態緩衝器(反相器)217之輸入及輸出的其兩個第二輸入以控制讓其兩個第一輸入之其中之一個傳送至其輸出,而其輸出會耦接至第二級其它的一個三態緩衝器218之其中之一個之第一輸入(即輸出級)。
請參見第12G圖,第二型多工器211可以具有一對共2個平行設置的三態緩衝器218設在第二級或輸出級,其上面一個的第一輸入係耦接至在第一級中上面一對之三態緩衝器217之輸出,其上面一個的第二輸入係與第二組之輸入A0有關,其下面一個的第一輸入係耦接至在第一級中下面的二個三態緩衝器217之一對該輸出,其下面一個的第二輸入係與第二組之輸入A0有關。在第二級(即輸出級)中一對共2個三態緩衝器218之每一個可以根據其第二輸入使其開啟或關閉,以控制是否要將其第一輸入傳送至其輸出。第二型多工器211可以包括反相器208,其輸入係耦接至第二組之輸入A0,反相器208適於將其輸入反向而形成其輸出。在第二級(即輸出級)中該對三態緩衝器218之其中之一個可以根據耦接至反相器208之輸入及輸出其中之一之其第二輸入切換成開啟狀態,使其第一輸入傳送至其輸出;在第二級(即輸出級)中該對三態緩衝器218之其中另一個可以根據耦接至反相器208之輸入及輸出其中另一之其第二輸入切換成關閉狀態,使其第一輸入不會傳送至其輸出。在第二級(即輸出級)之該對三態緩衝器218中其輸出係相互耦接。因此,在第二級(即輸出級)中該對的三態緩衝器218係根據分別耦接至反相器208之輸入及輸出的其兩個第二輸入以控制讓其兩個第一輸入之其中之一個傳送至其輸出。第二型多工器211還可以包括如第10C圖所描述之第三型通過/不通過開關292,其位在節點N21處之輸入會耦接至在第二級(即輸出級)中該對的兩個三態緩衝器218之輸出,第三型通過/不通過開關292可以將其位在節點N21處之輸入放大而形成其位在節點N22處之輸出,作為第二型多工器211之輸出Dout。
此外,請參見第12A圖至第12G圖,每一三態緩衝器215、216、217及218可以由一電晶體取代,例如為N型MOS電晶體或P型MOS電晶體,如第12H圖至第12L圖所示。第12H圖至第12L圖係為根據本申請案之實施例所繪示之多工器之電路圖。如第12H圖所繪示之第一型多工器211係類似於如第12A圖所繪示之第一型多工器211,而其不同處係在於每一三態緩衝器215、216、217及218係由一電晶體取代,例如為N型MOS電晶體或P型MOS電晶體。如第12I圖所繪示之第二型多工器211係類似於如第12C圖所繪示之第二型多工器211,而其不同處係在於每一三態緩衝器215、216、217及218係由一電晶體取代,例如為N型MOS電晶體或P型MOS電晶體。如第12J圖所繪示之第一型多工器211係類似於如第12D圖所繪示之第一型多工器211,而其不同處係在於每一三態緩衝器215、216、217及218係由一電晶體取代,例如為N型MOS電晶體或P型MOS電晶體。如第12K圖所繪示之第二型多工器211係類似於如第12F圖所繪示之第二型多工器211,而其不同處係在於每一三態緩衝器217及218係由一電晶體取代,例如為N型MOS電晶體或P型MOS電晶體。如第12L圖所繪示之第二型多工器211係類似 於如第12G圖所繪示之第二型多工器211,而其不同處係在於每一三態緩衝器217及218係由一電晶體取代,例如為N型MOS電晶體或P型MOS電晶體。
請參見第12H圖至第12L圖,每一電晶體215可以形成一通道,該通道之輸入端係耦接至如第12A圖至第12G圖所繪示之取代前三態緩衝器215之第一輸入所耦接之處,該通道之輸出端係耦接至如第12A圖至第12G圖所繪示之取代前三態緩衝器215之輸出所耦接之處,其閘極係耦接至如第12A圖至第12G圖所繪示之取代前三態緩衝器215之第二輸入所耦接之處。每一電晶體216可以形成一通道,該通道之輸入端係耦接至如第12A圖至第12G圖所繪示之取代前三態緩衝器216之第一輸入所耦接之處,該通道之輸出端係耦接至如第12A圖至第12G圖所繪示之取代前三態緩衝器216之輸出所耦接之處,其閘極係耦接至如第12A圖至第12G圖所繪示之取代前三態緩衝器216之第二輸入所耦接之處。每一三態緩衝器(反相器)217可以形成一通道,該通道之輸入端係耦接至如第12A圖至第12G圖所繪示之取代前三態緩衝器217之第一輸入所耦接之處,該通道之輸出端係耦接至如第12A圖至第12G圖所繪示之取代前三態緩衝器217之輸出所耦接之處,其閘極係耦接至如第12A圖至第12G圖所繪示之取代前三態緩衝器217之第二輸入所耦接之處。每一電晶體218可以形成一通道,該通道之輸入端係耦接至如第12A圖至第12G圖所繪示之取代前三態緩衝器218之第一輸入所耦接之處,該通道之輸出端係耦接至如第12A圖至第12G圖所繪示之取代前三態緩衝器218之輸出所耦接之處,其閘極係耦接至如第12A圖至第12G圖所繪示之取代前三態緩衝器218之第二輸入所耦接之處。
由多工器所組成之交叉點開關之說明
如第11A圖及第11B圖所描述之第一型及第二型交叉點開關379係由多個如第10A圖至第10F圖所繪示之通過/不通過開關258所構成。然而,交叉點開關379亦可由任一型之第一型至第三型多工器211所構成,如下所述:
(1)第三型交叉點開關
第11C圖係為根據本申請案之實施例所繪示之由多個多工器所組成之第三型交叉點開關之電路圖。請參見第11C圖,第三型交叉點開關379可以包括四個如第12A圖至第12L圖所繪示之第一型、第二型或第三型多工器211,其每一個包括第一組之三個輸入及第二組之兩個輸入,且適於根據其第二組之兩個輸入的組合從其第一組之三個輸入中選擇其一獲得其輸出。舉例而言,應用於第三型交叉點開關379之第二型多工器211可以參考如第12F圖及第12K圖所繪示之第二型多工器211。四個多工器211其中之一個之第一組之三個輸入D0-D2之每一個可以耦接至四個多工器211其中另兩個之第一組之三個輸入D0-D2其中之一及四個多工器211其中另一個之輸出Dout。因此,四個多工器211之每一個的第一組之三個輸入D0-D2可以分別耦接至在三個不同方向上分別延伸至四個多工器211之另外三個之輸出的三條金屬線路,且四個多工器211之每一個可以根據其第二組之輸入A0及A1的組合從其第一組之輸入D0-D2中選擇其一傳送至其輸出Dout。四個多工器211之每一個還包括通過/不通開關或開關緩衝器292,可以根據其輸入SC-4切換成開啟或關閉的狀態,讓根據其第二組之輸入A0及A1從其第一組之三個輸入D0-D2中所選擇的一個傳送至或是不傳送至其輸出Dout。舉例而言,上面的多工器211其第一組之三個輸入可以分別耦接至在三個不同方向上分別延伸至左側、下面及右側的多工器211之輸出Dout(位在節點N23、N26及N25)的三條金屬線路,且上面的多工器211可以根據其第二組之輸入A01及A11的組合從其第一組之輸入D0-D2中選擇其一傳送至其輸出Dout(位 在節點N24)。上面的多工器211之通過/不通開關或開關緩衝器292可以根據其輸入SC1-4切換成開啟或關閉的狀態,讓根據其第二組之輸入A01及A11從其第一組之三個輸入D0-D2中所選擇的一個傳送至或是不傳送至其輸出Dout(位在節點N24)。
(2)第四型交叉點開關
第11D圖係為根據本申請案之實施例所繪示之由多工器所構成之第四型交叉點開關之電路圖。請參見第11D圖,第四型交叉點開關379可以是由如第12A圖至第12L圖所描述之第一型至第三型中任一型多工器211所構成。舉例而言,當第四型交叉點開關379係如第12A圖、第12C圖、第12D圖及第12H圖至第12J圖所描述之第一型至第三型中任一型多工器211所構成時,第四型交叉點開關379可以根據其第二組之輸入A0-A3的組合,從其第一組之輸入D0-D15中選擇其一傳送至其輸出Dout。
大型輸入/輸出(I/O)電路之說明
第13A圖係為根據本申請案之實施例所繪示之大型I/O電路之電路圖。請參見第13A圖,半導體晶片可以包括多個I/O接墊272,耦接至其大型靜電放電(ESD)保護電路273、其大型驅動器274及其大型接收器275。大型靜電放電(ESD)保護電路、大型驅動器274及大型接收器275可組成一大型I/O電路341。大型靜電放電(ESD)保護電路273可以包括兩個二極體282及283,其中二極體282之陰極耦接至電源端(Vcc),其陽極耦接至節點281,而二極體283之陰極耦接至節點281,而其陽極耦接至接地端(Vss),節點281係耦接至I/O接墊272。
請參見第13A圖,大型驅動器274之第一輸入係耦接訊號(L_Enable),用以致能大型驅動器274,而其第二輸入耦接資料(L_Data_out),使得該資料(L_Data_out)可經大型驅動器274之放大或驅動以形成其輸出(位在節點281),經由I/O接墊272傳送至位在該半導體晶片之外部的電路。大型驅動器274可以包括一P型MOS電晶體285及一N型MOS電晶體286,兩者的汲極係相互耦接作為其輸出(位在節點281),兩者的源極係分別耦接至電源端(Vcc)及接地端(Vss)。大型驅動器274可以包括一非及(NAND)閘287及一非或(NOR)閘288,其中非及(NAND)閘287之輸出係耦接至P型MOS電晶體285之閘極,非或(NOR)閘288之輸出係耦接至N型MOS電晶體286之閘極。大型驅動器274之非及(NAND)閘287之第一輸入係耦接至大型驅動器274之反相器289之輸出,而其第二輸入係耦接至資料(L_Data_out),非及(NAND)閘287可以對其第一輸入及其第二輸入進行非及運算而產生其輸出,其輸出係耦接至P型MOS電晶體285之閘極。大型驅動器274之非或(NOR)閘288之第一輸入係耦接至資料(L_Data_out),而其第二輸入係耦接至訊號(L_Enable),非或(NOR)閘288可以對其第一輸入及其第二輸入進行非或運算而產生其輸出,其輸出係耦接至N型MOS電晶體286之閘極。反相器289之輸入係耦接訊號(L_Enable),並可將其輸入反向而形成其輸出,其輸出係耦接至非及(NAND)閘287之第一輸入。
請參見第13A圖,當訊號(L_Enable)係為邏輯值“1”時,非及(NAND)閘287之輸出係總是為邏輯值“1”,以關閉P型MOS電晶體285,而非或(NOR)閘288之輸出係總是為邏輯值“0”,以關閉N型MOS電晶體286。此時,訊號(L_Enable)會禁能大型驅動器274,使得資料(L_Data_out)不會傳送至大型驅動器274之輸出(位在節點281)。
請參見第13A圖,當訊號(L_Enable)係為邏輯值“0”時,會致能大型驅動器274。同時,當資料(L_Data_out)係為邏輯值“0”時,非及(NAND)閘287及非或(NOR)閘288之輸 出係為邏輯值“1”,以關閉P型MOS電晶體285及開啟N型MOS電晶體286,讓大型驅動器274之輸出(位在節點281)處在邏輯值“0”的狀態,並傳送至I/O接墊272。若是當資料(L_Data_out)係為邏輯值“1”時,非及(NAND)閘287及非或(NOR)閘288之輸出係為邏輯值“0”,以開啟P型MOS電晶體285及關閉N型MOS電晶體286,讓大型驅動器274之輸出(位在節點281)處在邏輯值“1”的狀態,並傳送至I/O接墊272。因此,訊號(L_Enable)可以致能大型驅動器274,以放大或驅動資料(L_Data_out)形成其輸出(位在節點281),並傳送至I/O接墊272。
請參見第13A圖,大型接收器275之第一輸入係耦接該I/O接墊272,可經由大型接收器275之放大或驅動以形成其輸出(L_Data_in),大型接收器275之第二輸入係耦接訊號(L_Inhibit),用以抑制大型接收器275產生與其第一輸入有關之其輸出(L_Data_in)。大型接收器275包括一非及(NAND)閘290,其第一輸入係耦接至該I/O接墊272,而其第二輸入係耦接訊號(L_Inhibit),非及(NAND)閘290可以對其第一輸入及其第二輸入進行非及運算而產生其輸出,其輸出係耦接至大型接收器275之反相器291。反相器291之輸入係耦接非及(NAND)閘290之輸出,並可將其輸入反向而形成其輸出,作為大型接收器275之輸出(L_Data_in)。
請參見第13A圖,當訊號(L_Inhibit)係為邏輯值“0”時,非及(NAND)閘290之輸出係總是為邏輯值“1”,而大型接收器275之輸出(L_Data_in)係總是為邏輯值“1”。此時,可以抑制大型接收器275產生與其第一輸入有關之其輸出(L_Data_in),其第一輸入係耦接至該I/O接墊272。
請參見第13A圖,當訊號(L_Inhibit)係為邏輯值“1”時,會啟動大型接收器275。同時,當由位在半導體晶片之外部的電路傳送至該I/O接墊272的資料係為邏輯值“1”時,非及(NAND)閘290之輸出係為邏輯值“0”,使得大型接收器275之輸出(L_Data_in)係為邏輯值“1”;當由位在半導體晶片之外部的電路傳送至該I/O接墊272的資料係為邏輯值“0”時,非及(NAND)閘290之輸出係為邏輯值“1”,使得大型接收器275之輸出(L_Data_in)係為邏輯值“0”。因此,訊號(L_Inhibit)可以啟動大型接收器275,以放大或驅動由位在半導體晶片之外部的電路傳送至該I/O接墊272的資料形成其輸出(L_Data_in)。
請參見第13A圖,該I/O接墊272之輸入電容,例如是由大型靜電放電(ESD)保護電路273及大型接收器275所產生的,而其範圍例如可介於2pF與100pF之間、介於2pF與50pF之間、介於2pF與30pF之間、大於2pF、大於5pF、大於10pF、大於15pF或是大於20pF。大型驅動器274之輸出電容或是驅動能力或負荷例如是介於2pF與100pF之間、介於2pF與50pF之間、介於2pF與30pF之間或是大於2pF、大於5pF、大於10pF、大於15pF或是大於20pF。大型靜電放電(ESD)保護電路273之尺寸例如是介於0.5pF與20pF之間、介於0.5pF與15pF之間、介於0.5pF與10pF之間、介於0.5pF與5pF之間、介於0.5pF與20pF之間、大於0.5pF、大於1pF、大於2pF、大於3pF、大於5pf或是大於10pF。
小型輸入/輸出(I/O)電路之說明
第13B圖係為根據本申請案之實施例所繪示之小型I/O電路之電路圖。請參見第13B圖,半導體晶片可以包括多個I/O金屬接墊372,耦接至其小型靜電放電(ESD)保護電路373、其小型驅動器374及其小型接收器375。小型靜電放電(ESD)保護電路、小型驅動器374及小型接收器375可組成一小型I/O電路203。小型靜電放電(ESD)保護電路373可以包括兩個二極體382及383,其中二極體382之陰極耦接至電源端(Vcc),其陽極耦接至節點381,而二極 體383之陰極耦接至節點381,而其陽極耦接至接地端(Vss),節點381係耦接至I/O金屬接墊372。
請參見第13B圖,小型驅動器374之第一輸入係耦接訊號(S_Enable),用以致能小型驅動器374,而其第二輸入耦接資料(S_Data_out),使得該資料(S_Data_out)可經小型驅動器374之放大或驅動以形成其輸出(位在節點381),經由I/O金屬接墊372傳送至位在該半導體晶片之外部的電路。小型驅動器374可以包括一P型MOS電晶體385及一N型MOS電晶體386,兩者的汲極係相互耦接作為其輸出(位在節點381),兩者的源極係分別耦接至電源端(Vcc)及接地端(Vss)。小型驅動器374可以包括一非及(NAND)閘387及一非或(NOR)閘388,其中非及(NAND)閘387之輸出係耦接至P型MOS電晶體385之閘極,非或(NOR)閘388之輸出係耦接至N型MOS電晶體386之閘極。小型驅動器374之非及(NAND)閘387之第一輸入係耦接至小型驅動器374之反相器389之輸出,而其第二輸入係耦接至資料(S_Data_out),非及(NAND)閘387可以對其第一輸入及其第二輸入進行非及運算而產生其輸出,其輸出係耦接至P型MOS電晶體385之閘極。小型驅動器374之非或(NOR)閘388之第一輸入係耦接至資料(S_Data_out),而其第二輸入係耦接至訊號(S_Enable),非或(NOR)閘388可以對其第一輸入及其第二輸入進行非或運算而產生其輸出,其輸出係耦接至N型MOS電晶體386之閘極。反相器389之輸入係耦接訊號(S_Enable),並可將其輸入反向而形成其輸出,其輸出係耦接至非及(NAND)閘387之第一輸入。
請參見第13B圖,當訊號(S_Enable)係為邏輯值“1”時,非及(NAND)閘387之輸出係總是為邏輯值“1”,以關閉P型MOS電晶體385,而非或(NOR)閘388之輸出係總是為邏輯值“0”,以關閉N型MOS電晶體386。此時,訊號(S_Enable)會禁能小型驅動器374,使得資料(S_Data_out)不會傳送至小型驅動器374之輸出(位在節點381)。
請參見第13B圖,當訊號(S_Enable)係為邏輯值“0”時,會致能小型驅動器374。同時,當資料(S_Data_out)係為邏輯值“0”時,非及(NAND)閘387及非或(NOR)閘388之輸出係為邏輯值“1”,以關閉P型MOS電晶體385及開啟N型MOS電晶體386,讓小型驅動器374之輸出(位在節點381)處在邏輯值“0”的狀態,並傳送至I/O金屬接墊372。若是當資料(S_Data_out)係為邏輯值“1”時,非及(NAND)閘387及非或(NOR)閘388之輸出係為邏輯值“0”,以開啟P型MOS電晶體385及關閉N型MOS電晶體386,讓小型驅動器374之輸出(位在節點381)處在邏輯值“1”的狀態,並傳送至I/O金屬接墊372。因此,訊號(S_Enable)可以致能小型驅動器374,以放大或驅動資料(S_Data_out)形成其輸出(位在節點381),並傳送至I/O金屬接墊372。
請參見第13B圖,小型接收器375之第一輸入係耦接該I/O金屬接墊372,可經由小型接收器375之放大或驅動以形成其輸出(S_Data_in),小型接收器375之第二輸入係耦接訊號(S_Inhibit),用以抑制小型接收器375產生與其第一輸入有關之其輸出(S_Data_in)。小型接收器375包括一非及(NAND)閘390,其第一輸入係耦接至該I/O金屬接墊372,而其第二輸入係耦接訊號(S_Inhibit),非及(NAND)閘290可以對其第一輸入及其第二輸入進行非及運算而產生其輸出,其輸出係耦接至小型接收器375之反相器391。反相器391之輸入係耦接非及(NAND)閘390之輸出,並可將其輸入反向而形成其輸出,作為小型接收器375之輸出(S_Data_in)。
請參見第13B圖,當訊號(S_Inhibit)係為邏輯值“0”時,非及(NAND)閘390之輸出係總是為邏輯值“1”,而小型接收器375之輸出(S_Data_in)係總是為邏輯值“1”。此時,可以抑制小型接收器375產生與其第一輸入有關之其輸出(S_Data_in),其第一輸入係耦接至該I/O金屬接墊372。
請參見第13B圖,當訊號(S_Inhibit)係為邏輯值“1”時,會啟動小型接收器375。同時,當由位在半導體晶片之外部的電路傳送至該I/O金屬接墊372的資料係為邏輯值“1”時,非及(NAND)閘390之輸出係為邏輯值“0”,使得小型接收器375之輸出(S_Data_in)係為邏輯值“1”;當由位在半導體晶片之外部的電路傳送至該I/O金屬接墊372的資料係為邏輯值“0”時,非及(NAND)閘390之輸出係為邏輯值“1”,使得小型接收器375之輸出(S_Data_in)係為邏輯值“0”。因此,訊號(S_Inhibit)可以啟動小型接收器375,以放大或驅動由位在半導體晶片之外部的電路傳送至該I/O金屬接墊372的資料形成其輸出(S_Data_in)。
請參見第13B圖,該I/O金屬接墊372之輸入電容,例如是由小型靜電放電(ESD)保護電路373及小型接收器375所產生的,而其範圍例如可介於0.1pF與10pF之間、介於0.1pF與5pF之間、介於0.1pF與3pF之間、介於0.1pF與2pF之間、小於10pF、小於5pF、小於3pF、小於1pF或是小於1pF。小型驅動器374之輸出電容或是驅動能力或負荷例如是介於0.1pF與10pF之間、介於0.1pF與5pF之間、介於0.1pF與3pF之間、介於0.1pF與2pF之間、小於10pF、小於5pF、小於3pF、小於2pF或是小於1pF。小型靜電放電(ESD)保護電路373之尺寸例如是介於0.05pF與10pF之間、介於0.05pF與5pF之間、介於0.05pF與2pF之間、介於0.05pF與1pF之間、小於5pF、小於3pF、小於2pF、小於1pF或是小於0.5pF。
可編程邏輯區塊之說明
第14A圖係為根據本申請案之實施例所繪示之可編程邏輯區塊之方塊圖。請參見第14A圖,可編程邏輯區塊(LB)201可以是各種形式,包括一查找表(LUT)210及一多工器211,可編程邏輯區塊(LB)201之多工器211包括第一組之輸入,例如為如第12A圖、第12C圖、第12D圖或第12G圖至第12I圖所繪示之D0-D15或是如第12E圖所繪示之D0-D255,其每一個係耦接儲存在查找表(LUT)210中之其中之一結果值或編程碼;可編程邏輯區塊(LB)201之多工器211還包括第二組之輸入,例如為如第12A圖、第12C圖、第12D圖或第12G圖至第12I圖所繪示之4個輸入A0-A3或是如第12E圖所繪示之8個輸入A0-A7,用於決定其第一組之輸入其中之一傳送至其輸出,例如為如第12A圖、第12C圖至第12E圖或第12G圖至第4I圖所繪示之Dout,作為可編程邏輯區塊(LB)201之輸出。多工器211之第二組之輸入,例如為如第12A圖、第12C圖、第12D圖或第12G圖至第12I圖所繪示之4個輸入A0-A3或是如第12E圖所繪示之8個輸入A0-A7,係作為可編程邏輯區塊(LB)201之輸入。
請參見第14A圖,可編程邏輯區塊(LB)201之查找表(LUT)210可以包括多個記憶體單元490,其每一個係儲存其中之一結果值或編程碼,而每一記憶體單元490係如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖、第5A圖至第5F圖、第6A圖至第6G圖或第7A圖至第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760、800、900或910或是如第9A圖及第9B圖所描述之鎖存非揮發性記憶體單元。可編程邏輯區塊(LB)201之多工器211之第一組之輸入,例如是如第12A圖、第12C圖、第12D圖或第12H圖至第12J圖所繪示之D0-D15或例如是如第12E圖所繪示 之D0-D255,每一輸入耦接至其中之一記憶體單元490的其中之一輸出,即是(1)如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖、第5A圖至第5F圖中用於查找表(LUT)210的非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760或800;(2)如第6E圖或第6G圖中用於查找表(LUT)210的非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端M3或M12;或(3)如第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖中用於查找表(LUT)210的非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端M6、M15、M9或M18,或(4)如第9A圖或第9B圖中用於查找表(LUT)210的鎖存非揮發性記憶體單元940或950的輸出L3或L12,因此儲存於每一記憶體單元490中的結果值或編程碼可以耦接至可編程邏輯區塊(LB)201之多工器211之第一組之其中之一輸入。
另外,當可編程邏輯區塊(LB)201之多工器211係為第二型或第三型時,如第12C圖、第12D圖或第12J圖所示,可編程邏輯區塊(LB)201還包括其他的記憶體單元490,用於儲存編程碼,而其輸出係耦接至其多工器211之多級三態緩衝器292之輸入SC-4。每一該些其他的記憶體單元490可參考第1A圖至第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖、第5A圖至第5F圖、第6A圖至第6G圖或第7A圖至第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760、800、900或910。在第12C圖、12D圖、12I圖或12J圖中的第二型或第三型的多工器211可用於可編程邏輯區塊(LB)201中,其本身的多級三態緩衝器292之輸入SC-4可耦接至記憶體單元490的其中之一輸出,即是(1)如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖、第5A圖至第5F圖中用於查找表(LUT)210的非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760或800;(2)如第6E圖或第6G圖中用於查找表(LUT)210的非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端M3或M12;(3)如第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖中用於查找表(LUT)210的非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端M6、M15、M9或M18;或(4)第9A圖或第9B圖中用於查找表(LUT)210的鎖存非揮發性記憶體單元940或950之輸出L3或L12。或者,對於可編程邏輯區塊(LB)201,中如第12C圖、第12D圖、第12I圖或第12J圖之第2類型或第三類型的多工器211,其輸入SC-4可耦接至記憶體單元490的輸出,記憶體單元490即是(1)如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖、第5A圖至第5F圖中用於查找表(LUT)210的非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760或800,該非揮發性記憶體(NVM)單元600,650,700,760或800耦接至如第9C圖中關關架構774;(2)如第6E圖或第6G圖中用於查找表(LUT)210的非揮發性記憶體(NVM)單元900的輸出端M3或M12,該非揮發性記憶體(NVM)單元900耦接至如第9C圖中關關架構774;或(3)如第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖中用於查找表(LUT)210的非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端M6、M15、M9或M18,用以儲存一編程碼以切換開啟或關閉記憶體單元490的輸出;或(4)在第9A圖或第9B圖中所描述之鎖存非揮發性記憶體(NVM)單元940或950的二相對應輸出L3及L12,用以保存或儲存一編程碼以切換”開啟”或關閉記憶體單元490的輸出,12C圖、第12D圖、第12I圖或第12J圖所示之反相器297可以省略。
可編程邏輯區塊(LB)201可包括查找表(LUT)210,該查找表(LUT)210可被編程至(並儲存為)或保存結果值(resulting values)或編程原始碼,該查找表(LUT)210可用於邏輯操作(運算)或布爾運算(Boolean operation),例如是AND、NAND、OR、NOR等操作運算,或結合上述二種或上述多種操作運算的一種操作運算,例如查找表(LUT)210可被編程以引導可編程邏輯區 塊(LB)201達到與邏輯運算器相同的操作運算,即如第14B圖中的OR邏輯閘/OR操作器,以本實施例而言,可編程邏輯區塊(LB)201具有二個輸入,例如是A0及A1,以及具有一輸出,例如是Dout,第14C圖顯示查找表(LUT)210用以達到如第14B圖所示之OR操作器,如第14C圖所示,查找表(LUT)210記錄或儲存如第14B圖中OR操作器的每一四個結果值或編程原始碼,其中四個結果值或編程原始碼係根據其輸入A0及A1的四種組合而產生,查找表(LUT)210可用分別儲存在四個記憶體單元490的四個結果值或編程原始碼進行編程,每一查找表(LUT)210可參考:(1)如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖或第5A圖至第5F圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760、800、900或910本身的輸出N0耦接至如第12G圖或第12L圖中用於可編程邏輯區塊(LB)201的第一組多工器211之四個輸入D0-D3其中之一;(2)如第6E圖或第6F圖中的非揮發性記憶體(NVM)單元本身的輸出M3或M12耦接至如第12G圖或第12L圖中用於可編程邏輯區塊(LB)201的第一組多工器211之四個輸入D0-D3其中之一;(3)如第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖中的非揮發性記憶體(NVM)單元本身的輸出M6,M15,M9或M18耦接至如第12G圖或第12L圖中用於可編程邏輯區塊(LB)201的第一組多工器211之四個輸入D0-D3其中之一;(4)如第9A圖或第9B圖中鎖存非揮發性記憶體單元940或950的輸出L3或L12耦接至如第12G圖或第12L圖中用於可編程邏輯區塊(LB)201的第一組多工器211之四個輸入D0-D3其中之一。多工器211可用於決定其第一組四個輸入為其輸出,如第12G圖或第12L圖中的輸出Dout,其中係依據本身第二組的輸入A0及A1的一種組合而決定。如第14A圖所示的多工器211的輸出Dout可作為可編程邏輯區塊(LB)201的輸出。
例如查找表(LUT)210可被編程以引導可編程邏輯區塊(LB)201達到與邏輯運算器相同的操作運算,即如第14D圖中查找表(LUT)210,以本實施例而言,可編程邏輯區塊(LB)201具有二個輸入,例如是A0及A1,以及具有一輸出,例如是Dout,第14E圖為用以達到如第14D圖所示查找表(LUT)210之AND操作器,如第14E圖所示,查找表(LUT)210記錄或儲存如第14D圖中AND操作器的每一四個結果值或編程原始碼,其中四個結果值或編程原始碼係根據其輸入A0及A1的四種組合而產生,查找表(LUT)210可用分別儲存在四個記憶體單元490的四個結果值或編程原始碼進行編程,每一記憶體單元490可參考:(1)如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖或第5A圖至第5F圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760、800、900或910本身的輸出N0耦接至如第12G圖或第12L圖中的第一組多工器211的四個輸入D0-D3其中之一,用於可編程邏輯區塊(LB)201;(2)第6E圖或第6G圖中的非揮發性記憶體單元的輸出M3或M12耦接至第12G圖或第12L圖中的第一組多工器211的四個輸入D0-D3其中之一,用於可編程邏輯區塊(LB)201;(3)第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖的非揮發性記憶體的輸出M6、M15、M9或M1耦接至第12G圖或第12L圖中的第一組多工器211的四個輸入D0-D3其中之一,用於可編程邏輯區塊(LB)201;或(4)第9A圖或第9B圖的鎖存非揮發性記憶體940或950的輸出L3或L12耦接至第12G圖或第12L圖中的第一組多工器211的四個輸入D0-D3其中之一,用於可編程邏輯區塊(LB)201,多工器211可根據第二組輸入A0至A3的其中之一組合決定第一組四個輸入(即是D0-D3)的其中之一成為其輸出(即是第12G圖或第12L圖內的Dout),第14A圖中多工器211的輸出Dout可作為可編程邏輯區塊(LB)201的輸出。
例如查找表(LUT)210可被編程以引導可編程邏輯區塊(LB)201達到與如第14F圖所示之邏輯運算器相同的操作運算,如第14F圖,可編程邏輯區塊(LB)201可以編程以執行邏輯運算或布林運算,例如為及(AND)運算、非及(NAND)運算、或(OR)運算、非或(NOR)運算。查找表(LUT)210可以編程讓可編程邏輯區塊(LB)201可以執行邏輯運算,例如與第6B圖所示之邏輯運算子所進行之邏輯運算相同。請參見第6B圖,該邏輯運算子例如包括平行排列之一及(AND)閘212及一非及(NAND)閘213,其中及(AND)閘212可以對其二輸入X0及X1(亦即為該邏輯運算子之二輸入)進行及(AND)運算以產生一輸出,非及(NAND)閘213可以對其二輸入X2及X3(亦即為該邏輯運算子之二輸入)進行非及(NAND)運算以產生一輸出。該邏輯運算子例如還包括一非及(NAND)閘214,其二輸入係分別耦接及(AND)閘212之輸出及非及(NAND)閘213之輸出,非及(NAND)閘214可以對其二輸入進行非及(NAND)運算以產生一輸出Y,作為該邏輯運算子之輸出。如第14A圖所繪示之可編程邏輯區塊(LB)201可以達成如第14B圖所繪示之邏輯運算子所進行之邏輯運算。就本實施例而言,可編程邏輯區塊(LB)201可以包括如上所述之4個輸入,例如為A0-A3,其第一個輸入A0係對等於該邏輯運算子之輸入X0,其第二個輸入A1係對等於該邏輯運算子之輸入X1,其第三個輸入A2係對等於該邏輯運算子之輸入X2,其第四個輸入A3係對等於該邏輯運算子之輸入X3。可編程邏輯區塊(LB)201可以包括如上所述之輸出Dout,係對等於該邏輯運算子之輸出Y。
第14G圖繪示查找表(LUT)210,可應用在達成如第14F圖所繪示之邏輯運算子所進行之邏輯運算。請參見第14G圖,查找表(LUT)210可以記錄或儲存如第14F圖所繪示之邏輯運算子依據其輸入X0-X3之16種組合而分別產生所有共16個之結果值或編程碼。查找表(LUT)210可以編程有該些16個結果值或編程碼儲存在16個記憶體單元490,每一查找表(LUT)210可參考:(1)如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖或第5A圖至第5F圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760、800、900或910本身的輸出N0耦接至第12A圖、第12C圖、第12D圖或第12H圖至第12J圖中的第一組多工器211的16個輸入D0-D15之其中之一,用於可編程邏輯區塊(LB)201;(2)如第6E圖或第6G圖的非揮發性記憶體的輸出M3或M12耦接至第12A圖、第12C圖、第12D圖或第12H圖至第12J圖中的第一組多工器211的16個輸入D0-D15之其中之一,用於可編程邏輯區塊(LB)201;(3)如第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖的非揮發性記憶體的輸出M6、M15、M9或M18耦接至第12A圖、第12C圖、第12D圖或第12H圖至第12J圖中的第一組多工器211的16個輸入D0-D15之其中之一,用於可編程邏輯區塊(LB)201;或(4)如第9A圖或第9B圖的鎖存非揮發性記憶體940或950的輸出L3或L12耦接至第12A圖、第12C圖、第12D圖或第12H圖至第12J圖中的第一組多工器211的16個輸入D0-D15之其中之一,用於可編程邏輯區塊(LB)201。多工器211可根據第二組輸入A0至A3的其中之一組合決定第一組16個輸入(即是D0-D15)的其中之一成為其輸出(即是第12A圖、第12C圖、第12D圖或第12H圖至第12J圖內的Dout),第14A圖中多工器211的輸出Dout可作為可編程邏輯區塊(LB)201的輸出。
或者,可編程邏輯區塊(LB)201可由多個可編程邏輯閘取代,經編程後可執行如第14B圖、第14D圖或第14F圖所示之邏輯運算或布林運算。
或者,多個可編程邏輯區塊(LB)201可經編程以整合形成一計算運算子,例如執行加法運算、減法運算、乘法運算或除法運算。計算運算子例如是加法器電路、多工器、 移位寄存器、浮點電路及乘法和/或除法電路。第14H圖為本發明實施例之運算操作器的方塊示意圖。舉例而言,如第14H圖中計算運算子可以將兩個二進制數字[A1,A0]及[A3,A2]相乘以產生一四個二進制數字之輸出[C3,C2,C1,C0],如第14I圖所示。運算操作器可將四個輸入[A1,A0]及[A3,A2]分別耦接至四個可編程邏輯區塊(LB)201中的每四個輸入端,其中運算操作器的每一個可以根據其輸入[A1,A0,A3,A2]之組合而產生其輸出,其輸出係為四個二進制數字[C3,C2,C1,C0]其中之一的二進制數字。在將二進制數字[A1,A0]乘以二進制數字[A3,A2]時,這4個可編程邏輯區塊(LB)201可以根據相同的其輸入[A1,A0,A3,A2]之組合而分別產生其輸出,亦即為四個二進制數字[C3,C2,C1,C0]其中之一,這4個可編程邏輯區塊(LB)201可以分別編程有查找表(LUT)210,亦即為Table-0、Table-1、Table-2及Table-3。
舉例而言,請參見第14A圖、第14H圖及第14I圖,許多記憶體單元490可以組成供作為每一查找表(LUT)210(Table-0、Table-1、Table-2或Table-3)之用,其中每一記憶體單元490可以參考如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖、第5A圖至第5F圖、第6A圖至第6G圖或第7A圖至第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760、800、900或910,或是第9A圖或第9B圖中的鎖存非揮發性記憶體940或950,可以儲存對應於四個二進制數字C0-C3其中之一的其中之一結果值或編程碼。這4個可編程邏輯區塊(LB)201中的第一個可編程邏輯區塊(LB)201本身的多工器211所提供的第一組輸入(即是D0-D15),其每一輸入(即是D0-D15)耦接至其中之一記憶體單元490的輸出,用於Table-0的查找表(LUT)210,以及多工器211所提供的第二組輸入(即是A0-A3),用以決定第一組輸入(即是D0-D15)的其中之一成為多工器211的輸出(即Dout,),以作為第一個可編程邏輯區塊(LB)201的輸出C0;第二個可編程邏輯區塊(LB)201本身的多工器211所提供的第一組輸入(即是D0-D15),其每一輸入(即是D0-D15)耦接至其中之一記憶體單元490的輸出,用於Table-1的查找表(LUT)210,以及多工器211所提供的第二組輸入(即是A0-A3),用以決定第一組輸入(即是D0-D15)的其中之一成為多工器211的輸出(即Dout,),以作為第二個可編程邏輯區塊(LB)201的輸出C1;第三個可編程邏輯區塊(LB)201本身的多工器211所提供的第一組輸入(即是D0-D15),其每一輸入(即是D0-D15)耦接至其中之一記憶體單元490的輸出,用於Table-2的查找表(LUT)210,以及多工器211所提供的第二組輸入(即是A0-A3),用以決定第一組輸入(即是D0-D15)的其中之一成為多工器211的輸出(即Dout,),以作為第三個可編程邏輯區塊(LB)201的輸出C2;第四個可編程邏輯區塊(LB)201本身的多工器211所提供的第一組輸入(即是D0-D15),其每一輸入(即是D0-D15)耦接至其中之一記憶體單元490的輸出,用於Table-3的查找表(LUT)210,以及多工器211所提供的第二組輸入(即是A0-A3),用以決定第一組輸入(即是D0-D15)的其中之一成為多工器211的輸出(即Dout,),以作為第四個可編程邏輯區塊(LB)201的輸出C3。
因此,請參見第14H圖及第14I圖,這4個可編程邏輯區塊(LB)201可以構成該計算運算子,並且可以根據相同的其輸入之組合[A1,A0,A3,A2]分別產生二進制的其輸出C0-C3,以組成四個二進制數字[C0,C1,C2,C3]。在本實施例中,這4個可編程邏輯區塊(LB)201之相同的輸入即為該計算運算子之輸入,這4個可編程邏輯區塊(LB)201之輸出C0-C3即為該計算運算子之輸出。該計算運算子可以根據其四位元輸入之組合[A1,A0,A3,A2]產生四個二進制數字[C0,C1,C2,C3]之輸出。
請參見第14H圖及第14I圖,舉3乘以3的例子而言,這4個可編程邏輯區塊(LB)201之輸入的組合[A1,A0,A3,A2]均為[1,1,1,1],根據其輸入的組合可以決定二進制的其輸出[C3,C2,C1,C0]係為[1,0,0,1]。第一個可編程邏輯區塊(LB)201可以根據輸入的組合([A1,A0,A3,A2]=[1,1,1,1]),產生其輸出C0,係為邏輯值為“1”之二進制數字;第二個可編程邏輯區塊(LB)201可以根據輸入的組合([A1,A0,A3,A2]=[1,1,1,1]),產生其輸出C1,係為邏輯值為“0”之二進制數字;第三個可編程邏輯區塊(LB)201可以根據輸入的組合([A1,A0,A3,A2]=[1,1,1,1]),產生其輸出C2,係為邏輯值為“0”之二進制數字;第四個可編程邏輯區塊(LB)201可以根據輸入的組合([A1,A0,A3,A2]=[1,1,1,1]),產生其輸出C3,係為邏輯值為“1”之二進制數字。
或者,這4個可編程邏輯區塊(LB)201可由多個可編程邏輯閘取代,經編程後可形成如14J圖所示之電路執行計算運算,其相同於前述這4個可編程邏輯區塊(LB)201所執行之計算運算。計算運算子可以編程以形成如14J圖所示之電路,可對兩個二進制數字[A1,A0]及[A3,A2]進行乘法運算以獲得四個二進制數字[C3,C2,C1,C0],其運算結果如第14H圖及第14I圖所示。請參見第14J圖,該計算運算子可以編程有一及(AND)閘234,可以對其二輸入(亦即為該計算運算子之二輸入A0及A3)進行及(AND)運算以產生其輸出;該計算運算子還編程有一及(AND)閘235,可以對其二輸入(亦即為該計算運算子之二輸入A0及A2)進行及(AND)運算以產生其輸出,作為該計算運算子之輸出C0;該計算運算子還編程有一及(AND)閘236,可以對其二輸入(亦即為該計算運算子之二輸入A1及A2)進行及(AND)運算以產生其輸出;該計算運算子還編程有一及(AND)閘237,可以對其二輸入(亦即為該計算運算子之二輸入A1及A3)進行及(AND)運算以產生其輸出;該計算運算子還編程有一互斥或(ExOR)閘238,可以對分別耦接至及(AND)閘234及236之輸出的其二輸入進行互斥或(Exclusive-OR)運算以產生其輸出,作為該計算運算子之輸出C1;該計算運算子還編程有一及(AND)閘239,可以對分別耦接至及(AND)閘234及236之輸出的其二輸入進行及(AND)運算以產生其輸出;該計算運算子還編程有一互斥或(ExOR)閘242,可以對分別耦接至及(AND)閘239及237之輸出的其二輸入進行互斥或(Exclusive-OR)運算以產生其輸出,作為該計算運算子之輸出C2;該計算運算子還編程有一及(AND)閘253,可以對分別耦接至及(AND)閘239及237之輸出的其二輸入進行及(AND)運算以產生其輸出,作為該計算運算子之輸出C3。
綜上所述,可編程邏輯區塊(LB)201可以設有用於查找表(LUT)210之2的n次方個的記憶體單元490,儲存針對n個其輸入的所有組合(共2的n次方個組合)所對應之2的n次方個的結果值或編程碼。舉例而言,數目n可以是任何大於或等於2的整數,例如是介於2到64之間。例如請參見第14A圖、第14G圖、第14H圖及第14J圖,可編程邏輯區塊(LB)201之輸入的數目可以是等於4,故針對其輸入的所有組合所對應之結果值或編程碼之數目係為2的4次方個,亦即為16個。
如上所述,如第14A圖所繪示之可編程邏輯區塊(LB)201可以對其輸入執行邏輯運算以產生其輸出,其中該邏輯運算包括布林運算,例如是及(AND)運算、非及(NAND)運算、或(OR)運算、非或(NOR)運算。此外,如第14A圖所繪示之可編程邏輯區塊(LB)201亦可以對其輸入執行計算運算以產生其輸出,其中該計算運算包括加法運算、減法運算、乘法運算或除法運算。
可編程交互連接線之說明
第15A圖係為根據本申請案之實施例所繪示之由通過/不通開關所編程之可編程交互連接線之方塊圖。請參見第15A圖,如第10A圖至第10F圖所繪示之第一型至第六型之通過/不通過開關258可編程以控制二可編程交互連接線361是否要讓其相互耦接,其中之一可編程交互連接線361係耦接至通過/不通過開關258之節點N21,而其中另一可編程交互連接線361係耦接至通過/不通過開關258之節點N22。因此,通過/不通過開關258可以切換成開啟狀態,讓該其中之一可編程交互連接線361可經由通過/不通過開關258耦接至該其中另一可編程交互連接線361;或者,通過/不通過開關258亦可以切換成關閉狀態,讓該其中之一可編程交互連接線361不經由通過/不通過開關258耦接至該其中另一可編程交互連接線361。
請參見第15A圖,記憶體單元362可以經由一固定交互連接線364(即是”不可編程的交互連接線”)耦接通過/不通過開關258,用以控制開啟或關閉通過/不通過開關258,其中記憶體單元362為第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖、第5A圖至第5F圖、第6A圖至第6G圖或第7A圖至第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760、800、900或910,記憶體單元362或是為第9A圖或第9B圖中的鎖存非揮發性記憶體940或950。當可編程交互連接線361係透過如第10A圖所繪示之第一型通過/不通過開關258在編程時,第一型通過/不通過開關258之每一節點SC-1及SC-2可耦接至記憶體單元362之二個反相輸出端,其可參考以下:(1)與第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖或第5A圖至第5F圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、非揮發性記憶體(NVM)單元650、非揮發性記憶體(NVM)單元700、非揮發性記憶體(NVM)單元760或非揮發性記憶體(NVM)單元800相關聯的二個反相輸出端N0;(2)與第6E圖或第6G圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元900的輸出端M3或M12相關聯之二個反相輸出端;或(3)與第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端M6、M15、M9或M18相關聯之二個反相輸出端;或(4)第9A圖或第9B圖中鎖存非揮發性記憶體940或950的二相對應輸出L3及L12。從而接收與儲存在記憶體單元362中之編程碼有關的記憶體單元362的二個反相輸出,以控制開啟或關閉第一型通過/不通過開關258,讓分別耦接第一型通過/不通過開關258之二節點N21及N22的二可編程交互連接線361呈相互耦合狀態或呈斷路狀態。
如第10B圖所示之第二型通過/不通過開關258可用於可編程交互連接線361,第二型通過/不通過開關258之節點SC-3可耦接至記憶體單元362的輸出端,其可參考以下說明:(1)第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖或第5A圖至第5F圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、非揮發性記憶體(NVM)單元650、非揮發性記憶體(NVM)單元700、非揮發性記憶體(NVM)單元760或非揮發性記憶體(NVM)單元800的輸出端N0;(2)第6E圖或第6G圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元900的輸出端M3或M12;(3)與第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端M6、M15、M9或M18;或(4)第9A圖或第9B圖中鎖存非揮發性記憶體940或950的輸出L3或L12,從而接收與儲存在記憶體單元362中之編程碼有關的記憶體單元362的輸出,以控制開啟或關閉第二型通過/不通過開關258,讓分別耦接第二型通過/不通過開關258之二節點N21及N22的二可編程交互連接線361呈相互耦合狀態或呈斷路狀態。
在第10C圖或第10D圖中的第三或第四型通過/不通過開關258可使用在編程可編程交互連連接線,第三或第四型通過/不通過開關258的節點SC-4可耦接至記憶體單元362的一輸出,此記憶體單元362的輸出可參考(1)第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖或第5A圖至第5F圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、非揮發性記憶體(NVM)單元650、非揮發性記憶體(NVM)單元700、非揮發性記憶體(NVM)單元760或非揮發性記憶體(NVM)單元800的輸出端N0;(2)第6E圖或第6G圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元900的輸出端M3或M12;(3)第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端M6、M15、M9或M18相關聯之輸出端;或(4)第9A圖或第9B圖中鎖存非揮發性記憶體940或950的輸出L3或L12。從而接收與儲存在記憶體單元362中之編程碼有關的記憶體單元362的二個輸出,以控制開啟或關閉第三型或第四型通過/不通過開關258,讓分別耦接第三型或第四型通過/不通過開關258之二節點N21及N22的二可編程交互連接線361呈相互耦合狀態或呈斷路狀態。或者,其控制P型MOS電晶體295及N型的MOS電晶體296的閘極端可分別可耦接至記憶體單元362的二反相輸出,此二反相輸出可參考(1)與第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖或第5A圖至第5F圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、非揮發性記憶體(NVM)單元650、非揮發性記憶體(NVM)單元700、非揮發性記憶體(NVM)單元760或非揮發性記憶體(NVM)單元800的輸出端N0相關連的二反相輸出;(2)與第6E圖或第6G圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元900的輸出端M3或M12相關連的二反相輸出;(3)與第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端M6、M15、M9或M18相關連的二反相輸出;或(4)第9A圖或第9B圖中鎖存非揮發性記憶體940或950的輸出L3或L12。從而接收與儲存在記憶體單元362中之編程碼有關的記憶體單元362的二個反相輸出,以控制開啟或關閉第三型或第四型通過/不通過開關258,讓分別耦接第三型或第四型通過/不通過開關258之二節點N21及N22的二可編程交互連接線361呈相互耦合狀態或呈斷路狀態,其中在第三型或第四型通過/不通過開關258中其反相器297可被選擇性的省略。
在第10E圖或第10F圖中的第五型或第六型通過/不通過開關258可使用在編程可編程交互連連接線,第五型或第六型通過/不通過開關258的節點SC-5及SC-6耦接至二記憶體單元362的二相對應的輸出,此記憶體單元362的每一輸出可參考(1)第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖或第5A圖至第5F圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、非揮發性記憶體(NVM)單元650、非揮發性記憶體(NVM)單元700、非揮發性記憶體(NVM)單元760或非揮發性記憶體(NVM)單元800的輸出端N0;(2)第6E圖或第6G圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元900的輸出端M3或M12;(3)第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端M6、M15、M9或M18相關聯之輸出端;或(4)第9A圖或第9B圖中鎖存非揮發性記憶體940或950的輸出L3或L12。從而分別接收與儲存在二記憶體單元362中之二編程碼有關的二記憶體單元362的二個相對應輸出,以控制開啟或關閉第五型或第六型通過/不通過開關258,讓分別耦接第五型或第六型通過/不通過開關258之二節點N21及N22的二可編程交互連接線361呈相互耦合狀態或呈斷路狀態。或者,(1)在其左側控制P型MOS電晶體295及N型的MOS電晶體296的閘極端可分別耦接至其中之一記憶體單元362的二反相輸出,此二反相輸出可參考(1)與第1A圖、第1H圖、第2A圖至 第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖或第5A圖至第5F圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、非揮發性記憶體(NVM)單元650、非揮發性記憶體(NVM)單元700、非揮發性記憶體(NVM)單元760或非揮發性記憶體(NVM)單元800的輸出端N0相關連的二反相輸出;(2)與第6E圖或第6G圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元900的輸出端M3或M12相關連的二反相輸出;(3)與第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端M6、M15、M9或M18相關連的二反相輸出;或(4)第9A圖或第9B圖中鎖存非揮發性記憶體940或950的輸出L3及L12。從而接收與儲存在其中之一記憶體單元362中之編程碼有關的記憶體單元362的二個反相輸出,及以(2)在其右側控制P型MOS電晶體295及N型的MOS電晶體296的閘極端可分別耦接至其它的(另一)記憶體單元362的二反相輸出,此二反相輸出可參考(1)與第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖或第5A圖至第5F圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、非揮發性記憶體(NVM)單元650、非揮發性記憶體(NVM)單元700、非揮發性記憶體(NVM)單元760或非揮發性記憶體(NVM)單元800的輸出端N0相關連的二反相輸出;(2)與第6E圖或第6G圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元900的輸出端M3或M12相關連的二反相輸出;(3)與第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端M6、M15、M9或M18相關連的二反相輸出;或(4)第9A圖或第9B圖中鎖存非揮發性記憶體940或950的輸出L3及L12。從而接收與儲存在其它的(另一)記憶體單元362中之編程碼有關的記憶體單元362的二個反相輸出,以控制開啟或關閉第五型或第六型通過/不通過開關258,讓分別耦接第五型或第六型通過/不通過開關258之二節點N21及N22的二可編程交互連接線361呈相互耦合狀態或呈斷路狀態,其中在第五型或第六型通過/不通過開關258中其反相器297可被選擇性的省略。
在編程記憶體單元362之前或是在編程記憶體單元362當時,可編程交互連接線361是不會用於訊號傳輸的,而透過編程記憶體單元362可以讓通過/不通過開關258切換成開啟狀態,以耦接該二可編程交互連接線361,用於訊號傳輸;或者,透過編成記憶體單元362可讓通過/不通過開關258切換成關閉狀態,以切斷該二可編程交互連接線361之耦接。同樣地,如第11A圖及第11B圖所繪示之第一型及第二型交叉點開關379係由多個上述任一型之通過/不通過開關258所構成,其中每一通過/不通過開關258之節點(SC-1及SC-2)、SC-3、SC-4或(SC-5及SC-6)係可耦接至記憶體單元362之輸出(如上所述),以接收與儲存在記憶體單元362中之編程碼有關的其輸出來控制開啟或關閉該每一通過/不通過開關258,讓分別耦接該每一通過/不通過開關258之二節點N21及N22的二可編程交互連接線361呈相互耦合狀態或呈斷路狀態。
第15B圖係為根據本申請案之實施例所繪示之由交叉點開關編程之可編程交互連接線之線路圖。請參見第15B圖,四條可編程交互連接線361係分別耦接如第11C圖所繪示之第三型交叉點開關379之四節點N23-N26。因此,該四條可編程交互連接線361之其中之一條可以透過第三型交叉點開關379之切換以耦接至其另外一條、其另外兩條或是其另外三條;因此,每一多工器211之三輸入係耦接該四條可編程交互連接線361之其中三條,而其輸出係耦接該四條可編程交互連接線361之另一條,每一多工器211可以根據其第二組之二輸入A0及A1讓其第一組之該三輸入其中之一傳送至其輸出。當交叉點開關379係由四個第一型多工器211所構成時,其每一第一型多工器211之第二組之二輸入A0及A1係分別經由複數固定交互連接線364(即是不可編程的交互連接線)耦接二記憶單元262之輸出(亦即為記憶單元398之輸 出Out1或Out2),每一記憶單元398之輸出可參考(1)第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖或第5A圖至第5F圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、非揮發性記憶體(NVM)單元650、非揮發性記憶體(NVM)單元700、非揮發性記憶體(NVM)單元760或非揮發性記憶體(NVM)單元800的輸出N0;(2)第6E圖或第6G圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元900的輸出端M3或M12;(3)第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端M6、M15、M9或M18;或(4)第9A圖或第9B圖中鎖存非揮發性記憶體940或950的輸出L3或L12。當交叉點開關379係由四個第12F圖或第12K圖的第二型或第三型多工器211所構成時,其每一多工器211之第二組之二輸入A0及A1係分別經由複數固定交互連接線364(即是不可編程的交互連接線)耦接二記憶單元262之輸出(亦即為記憶單元398之輸出Out1或Out2),每一記憶單元398之輸出可參考(1)第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖或第5A圖至第5F圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、非揮發性記憶體(NVM)單元650、非揮發性記憶體(NVM)單元700、非揮發性記憶體(NVM)單元760或非揮發性記憶體(NVM)單元800的輸出N0;(2)第6E圖或第6G圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元900的輸出端M3或M12;(3)第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端M6、M15、M9或M18;或(4)第9A圖或第9B圖中鎖存非揮發性記憶體940或950的輸出L3或L12,及其節點SC-4分別經由複數固定交互連接線364(即是不可編程的交互連接線)耦接至另一記憶體單元362的輸出,此記憶體單元362的輸出可參考(1)第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖或第5A圖至第5F圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、非揮發性記憶體(NVM)單元650、非揮發性記憶體(NVM)單元700、非揮發性記憶體(NVM)單元760或非揮發性記憶體(NVM)單元800的輸出N0;(2)第6E圖或第6G圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元900的輸出端M3或M12;(3)第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端M6、M15、M9或M18;或(4)第9A圖或第9B圖中鎖存非揮發性記憶體940或950的輸出L3或L12。或者,其控制P型及N型MOS電晶體295及296之閘極係分別耦接至另一記憶體單元362之二反相輸出,其可參考如下所示:(1)第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖或第5A圖至第5F圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、非揮發性記憶體(NVM)單元650、非揮發性記憶體(NVM)單元700、非揮發性記憶體(NVM)單元760或非揮發性記憶體(NVM)單元800相關聯的二個反相輸出端N0;(2)第6E圖或第6G圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元900的輸出端M3或M12相關聯之二個反相輸出端;(3)與第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端M6、M15、M9或M18相關聯之二個反相輸出端;或(4)第9A圖或第9B圖中鎖存非揮發性記憶體940或950的輸出L3及L12,以接收與儲存在另一記憶體單元362中之編程碼有關的其二反相輸出來控制開啟或關閉其第三型或第四型通過/不通過開關258,讓其第三型或第四型通過/不通過開關258之輸入與輸出Dout呈相互耦合狀態或呈斷路狀態,此時其反相器297係可省去的。因此,每一多工器211之三輸入係耦接該四條可編程交互連接線361之其中三條,而其輸出係耦接該四條可編程交互連接線361之另一條,每一多工器211可以根據其第二組之二輸入A0及A1讓其第一組之該三輸入其中之一傳送至其輸出,或者再根據節點SC-4之邏輯值或在控制P型及N型MOS電晶體295及296之閘極之邏輯值讓其第一組之該三輸入其中 之一傳送至其輸出。
舉例而言,請參見第11C圖及第15B圖,以下說明係以交叉點開關379由四個第二型或第三型多工器211所構成為例。上面的多工器211之每一第二組之輸入A01、A11及節點SC1-4分別耦接至三個記憶體單元362-1的輸出,每一個記憶體單元362-1可參考(1)第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖或第5A圖至第5F圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、非揮發性記憶體(NVM)單元650、非揮發性記憶體(NVM)單元700、非揮發性記憶體(NVM)單元760或非揮發性記憶體(NVM)單元800的輸出N0;(2)第6E圖或第6G圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元900的輸出端M3或M12;(3)第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端M6、M15、M9或M18;或(4)第9A圖或第9B圖中鎖存非揮發性記憶體940或950的輸出L3或L12,左邊的多工器211之第二組之每一輸入A02、A12及節點SC2-4分別耦接至三個記憶體單元362-2的輸出,每一個記憶體單元362-2可參考(1)第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖或第5A圖至第5F圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、非揮發性記憶體(NVM)單元650、非揮發性記憶體(NVM)單元700、非揮發性記憶體(NVM)單元760或非揮發性記憶體(NVM)單元800的輸出N0;(2)第6E圖或第6G圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元900的輸出端M3或M12;(3)第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端M6、M15、M9或M18;或(4)第9A圖或第9B圖中鎖存非揮發性記憶體940或950的輸出L3或L12。下面的多工器211之每一第二組之輸入A03、A13及節點SC3-4分別耦接至三個記憶體單元362-3的輸出,每一個記憶體單元362-3可參考(1)第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖或第5A圖至第5F圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、非揮發性記憶體(NVM)單元650、非揮發性記憶體(NVM)單元700、非揮發性記憶體(NVM)單元760或非揮發性記憶體(NVM)單元800的輸出N0;(2)第6E圖或第6G圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元900的輸出端M3或M12;(3)第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端M6、M15、M9或M18;或(4)第9A圖或第9B圖中鎖存非揮發性記憶體940或950的輸出L3或L12,在右側的一多工器211的其第二組輸入A04,、A14及SC4-4分別耦接至三個記憶體單元362-4的輸出,每一個記憶體單元362-3可參考(1)第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖或第5A圖至第5F圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、非揮發性記憶體(NVM)單元650、非揮發性記憶體(NVM)單元700、非揮發性記憶體(NVM)單元760或非揮發性記憶體(NVM)單元800的輸出N0;(2)第6E圖或第6G圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元900的輸出端M3或M12;(3)第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端M6、M15、M9或M18;或(4)第9A圖或第9B圖中鎖存非揮發性記憶體940或950的輸出L3或L12。在編程記憶體單元362-1、362-2、362-3及362-4之前或是在編程記憶體單元362-1、362-2、362-3及362-4當時,四條可編程交互連接線361是不會用於訊號傳輸的,而透過編程記憶體單元362-1、362-2、362-3及362-4可以讓四個第二型或第三型多工器211之每一個從其三個第一組之輸入中選擇其一傳送至其輸出,使得四條可編程交互連接線361其中之一條耦接四條可編程交互連接線361其中另一條、其中另兩條或其中另三條,用於訊號傳輸。
第15C圖係為根據本申請案之實施例所繪示之由交叉點開關編程之可編程交 互連接線之線路圖。請參見第15C圖,如第11D圖所繪示之第四型交叉點開關379之第一組之輸入(例如是16個輸入D0-D15)之每一個係耦接多條可編程交互連接線361(例如是16條)其中之一條,而其輸出Dout係耦接另一條可編程交互連接線361,使得第四型交叉點開關379可以從與其輸入耦接之該些多條可編程交互連接線361中選擇其中之一條以耦接至該另一條可編程交互連接線361。第四型交叉點開關379之第二組之輸入A0-A3分別耦接至四個記憶體單元362的輸出,每一個記憶體單元362可參考(1)之每一個係耦接如第9A圖中一反相器770的輸出Inv_out,其中反相器770本身的輸入Inv_in耦接至一記憶體單元362的輸出,其可參考(1)第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖或第5A圖至第5F圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、非揮發性記憶體(NVM)單元650、非揮發性記憶體(NVM)單元700、非揮發性記憶體(NVM)單元760或非揮發性記憶體(NVM)單元800的輸出N0;(2)第6E圖或第6G圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元900的輸出端M3或M12;(3)第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出端M6、M15、M9或M18;或(4)第9A圖或第9B圖中鎖存非揮發性記憶體940或950的輸出L3或L12。以分別接收與儲存在四個記憶體單元362中輸出之四個編程碼有關的其輸出,來控制第四型交叉點開關379以從其第一組之輸入(例如為耦接該16條可編程交互連接線361之其輸入D0-D15)中選擇其中之一個傳送至其輸出(例如為耦接該另一條可編程交互連接線361之其輸出Dout)。在編程記憶體單元362之前或是在編程記憶體單元362當時,該些多條可編程交互連接線361及該另一條可編程交互連接線361是不會用於訊號傳輸的,而透過編程記憶體單元362可以讓第四型交叉點開關379從其第一組之輸入中選擇其一傳送至其輸出,使得該些多條可編程交互連接線361其中之一條耦接至該另一條可編程交互連接線361,用於訊號傳輸。
如第15A圖至第15C圖所示,用於可編程交互連接線361,每一記憶體單元362可以係如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖、第5A圖至第5F圖、第6A圖至第6G圖或第7A圖至第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760、800、900或910,記憶體單元362或可以係第9A圖或第9B圖中鎖存非揮發性記憶體940或950。對於可編程交互連接線361,在非揮發性記憶體(NVM)單元362被編程、抹除或當非揮發性記憶體(NVM)單元362開始編程或抹除之前,可編程交互連接線361可不用於信號傳輸,在非揮發性記憶體(NVM)單元362被編程、抹除後,當通過/不通過開關258編程且經由非揮發性記憶體(NVM)單元362開啟時,可編程交互連接線361可在操作時被用在信號傳輸,或當通過/不通過開關258編程且經由非揮發性記憶體(NVM)單元362關閉時,可編程交互連接線361在操作時不使用在信號傳輸。
例如,第15D圖為一對第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元,此類型的非揮發性記憶體(NVM)單元的輸出耦接至通過/不通過開關,依據本發明之上述實施例以開啟或關閉通過/不通過開關,第3A圖至第3C圖、第15D圖中以相同數字代表的元件,第15D圖相同數字的元件規格及說明可參考第3A圖至第3C圖所揭露之規格及說明,如第15D圖所示,一對第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700的二相對應輸出,它們的每一節點N0分別耦接至如第10A圖中通過/不通過開關258的N型MOS電晶體222及P型MOS電晶體223之一閘極端(在操作時),以建立或切斷二節點N21及節點N22之間的連接,此外第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700可使他們的節點N2相互耦接。
如第15D圖所示,在一第一種情況下,當通過/不通過開關258開始編程至開啟時,(1)在該對中之非揮發性記憶體(NVM)單元700的公共節點N2耦接至己切換成抹除電壓VEr或編程電壓VPr的第二N型條帶705;(2)在該對中上面的一非揮發性記憶體(NVM)單元700之節點N3耦接至己切換成編程電壓VPr的第一N型條帶702;(3)在該對中下面的一非揮發性記憶體(NVM)單元700之節點N3耦接至己切換成接地參考電壓Vss的第一N型條帶702;(4)在該對中的非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N4可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,因此,對於下面的一非揮發性記憶體(NVM)單元700,電子被補獲/陷入在其浮閘極710中,以隧穿閘極氧化物711至其節點N2,從而浮閘極710可被抹除至邏輯值”1”而關閉其第一P型MOS電晶體730及第二P型MOS電晶體740及開啟其N型MOS電晶體750,對於上面的一第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700,電子可從其節點N4至其浮閘極710隧穿其閘極氧化物711,以將電子補獲/陷入在其浮閘極710中,而使得浮閘極710可被編程(抹除)至邏輯值”0”,以開啟/導通其第一P型MOS電晶體730及第二P型MOS電晶體740,並關閉其N型MOS電晶體750。
如第15D圖所示,在一第二種情況下,當通過/不通過開關258開始編程至關閉時,(1)在該對中之非揮發性記憶體(NVM)單元700的公共節點N2耦接至己切換成抹除電壓VEr或編程電壓VPr的第二N型條帶705,;(2)在該對中上面的一非揮發性記憶體(NVM)單元700之節點N3耦接至己切換成接地參考電壓Vss的第一N型條帶702;(3)在該對中下面的一非揮發性記憶體(NVM)單元700之節點N3耦接至己切換成編程電壓VPr的第一N型條帶702;(4)在該對中的非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N4可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,因此,對於上面的一非揮發性記憶體(NVM)單元700,電子被補獲/陷入在其浮閘極710中,以隧穿閘極氧化物711至其節點N2,從而浮閘極710可被抹除至邏輯值”1”而關閉其第一P型MOS電晶體730及第二P型MOS電晶體740及開啟其N型MOS電晶體750,對於下面的一第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700,電子可從其節點N4至其浮閘極710隧穿其閘極氧化物711,以將電子補獲/陷入在其浮閘極710中,而使得浮閘極710可被編程(抹除)至邏輯值”0”,以開啟/導通其第一P型MOS電晶體730及第二P型MOS電晶體740,並關閉其N型MOS電晶體750。
如第15D圖所示,在該對第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700編程及抹除後,該對第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700可被操作,在操作時(1)該對非揮發性記憶體(NVM)單元700的公共節點N2耦接至己切換成介於電源供應電壓Vcc與接地參考電壓Vss之間的一電壓的第二N型條帶705,例如是電源供應電壓Vcc、接地參考電壓Vss或一半的電源供應電壓Vcc,或是將公共節點N2係切換成浮空狀態(floating);(2)該對非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N4可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;以及(3)該對非揮發性記憶體(NVM)單元7000節點N3耦接至己切換成電源供應電壓Vcc的第一N型條帶702,因此在第一種情況下,通過/不通過開關258的P型MOS電晶體223之閘極端(也就在第10A圖中的SC-1)可經由N型MOS電晶體750的通道耦接至下面一個該對非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N4至接地參考電壓Vss,以使得通過/不通過開關258的P型MOS電晶體223被開啟,以及通過/不通過開關258的N型MOS電晶體222之閘極端(也就在第10A圖中的SC-2)可經由第一P型MOS電晶體730的通道耦接至上面一個己切換成電源供應電壓Vcc的該對非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N3,以使得通過/不通過開關258的N型MOS電晶體222被開啟,因此,節點N21與 節點N22之間的連接經由通過/不通過開關258而建立。因此在第二種情況下,通過/不通過開關258的P型MOS電晶體223之閘極端(也就在第10A圖中的SC-1)可經由第一P型MOS電晶體730的通道耦接至己切換成電源供應電壓Vcc的下面一個該對非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N3,以使得通過/不通過開關258的P型MOS電晶體223被關閉,以及通過/不通過開關258的N型MOS電晶體222之閘極端(也就在第10A圖中的SC-2)可經由N型MOS電晶體750的通道耦接至上面一個該對非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N4至接地參考電壓Vss,以使得通過/不通過開關258的N型MOS電晶體222被關閉,因此,節點N21與節點N22之間的連接經由通過/不通過開關258而關閉不導通。
第15E圖為第三類型及第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元的電路示意圖,其輸出耦接至通過/不通過開關依據本發明之一實施例以切換導通或不導通,第3A圖至第3C圖、第4A圖至第4C圖、第15D圖及第15E圖以相同數字代表的元件,第15E圖相同數字的元件規格及說明可參考第3A圖至第3C圖、第4A圖至第4C圖、第15D圖所揭露之規格及說明,如第15E圖所示,一對第三類型及第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元700及非揮發性記憶體(NVM)單元760可具有二相對應的輸出位在他們的節點N0,其每一節點N0耦接至如第10A圖中通過/不通過開關258的一P型MOS電晶體223及一N型MOS電晶體222的閘極端,以建立或斷開節點N21及節點N22之間的連接,另外,該對第三類型及第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元700及非揮發性記憶體(NVM)單元760他們的節點N2相互耦接,該對第三類型及第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元700及非揮發性記憶體(NVM)單元760他們的節點N3相互耦接。
如第15E圖所示,在一預編程狀態時,(1)該對第三類型及第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元700及非揮發性記憶體(NVM)單元760的公共節點N2耦接至己切換成編程電壓VPr的第二N型條帶705;(2)該對第三類型及第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元700及非揮發性記憶體(NVM)單元760的公共節點N3耦接至己切換成編程電壓VPr的第一N型條帶702;及(3)該對第三類型及第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元700及非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N4耦接至己切換成接地參考電壓Vss的第一N型條帶702,因此,對於該對第三類型及第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元700及非揮發性記憶體(NVM)單元760,電子可從其節點N4至其浮閘極710隧穿閘極氧化物711而被捕獲/陷入在其浮閘極710內,從而將浮閘極710編程至一邏輯值”0”。
如第15E圖所示,在預編程狀態後,在第一種情況下,當通過/不通過開關258被編程而開啟,(1)該對第三類型及第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元700及非揮發性記憶體(NVM)單元760的公共節點N2耦接至己切換成接地參考電壓Vss的第二N型條帶705;(2)該對第三類型及第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元700及非揮發性記憶體(NVM)單元760的公共節點N3耦接至他們的第一N型條帶702,以切換成(或耦接至)抹除電壓VEr;及(3)該對第三類型及第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元700及非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N4切換成(耦接至)接地參考電壓Vss,因此,對於該對非揮發性記憶體(NVM)單元760,被捕獲/陷入在其浮閘極710的電子可隧穿閘極氧化物711至其節點N3,因此其浮閘極710可被抹除至邏輯值”1”而關閉其第一P型MOS電晶體730及其第二P型MOS電晶體740並開啟其N型MOS電晶體750,對於該對非揮發性記憶體(NVM)單元700,其浮閘極710可保持在邏輯值”0”而開啟其第一P型MOS電晶體730及其第二P型MOS電晶體740並關閉其N型MOS電晶體750。
如第15E圖所示,在預編程狀態後,在第二種情況下,當通過/不通過開關258被編程而關閉,(1)該對第三類型及第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元700及非揮發性記憶體(NVM)單元760的公共節點N2耦接至己切換成抹除電壓VEr的第二N型條帶705;(2)該對第三類型及第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元700及非揮發性記憶體(NVM)單元760的公共節點N3耦接至己切換成接地參考電壓Vss的第一N型條帶702;及(3)該對第三類型及第四類型非揮發性記憶體(NVM)單元700及非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N4切換成(耦接至)接地參考電壓Vss,因此,對於該對非揮發性記憶體(NVM)單元700,被捕獲/陷入在其浮閘極710的電子可隧穿閘極氧化物711至其節點N2,因此其浮閘極710可被抹除至邏輯值”1”而關閉其第一P型MOS電晶體730及其第二P型MOS電晶體740並開啟其N型MOS電晶體750,對於該對非揮發性記憶體(NVM)單元760,其浮閘極710可保持在邏輯值”0”而開啟其第一P型MOS電晶體730及其第二P型MOS電晶體740並關閉其N型MOS電晶體750。
如第15E圖所示,在該對非揮發性記憶體(NVM)單元700及非揮發性記憶體(NVM)單元760編程及抹除後,該對非揮發性記憶體(NVM)單元700及非揮發性記憶體(NVM)單元760可被操作,在操作時(1)該對非揮發性記憶體(NVM)單元700及非揮發性記憶體(NVM)單元760的公共節點N2耦接至己切換成介於電源供應電壓Vcc與接地參考電壓Vss之間的一電壓的第二N型條帶705,例如是電源供應電壓Vcc、接地參考電壓Vss或一半的電源供應電壓Vcc,或是將公共節點N2係切換成浮空狀態(floating);(2)該對非揮發性記憶體(NVM)單元700及非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N4可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss;以及(3)該對非揮發性記憶體(NVM)單元7000及非揮發性記憶體(NVM)單元760的公共節點N3耦接至己切換成電源供應電壓Vcc的第一N型條帶702,因此在第一種情況下,通過/不通過開關258的P型MOS電晶體223之閘極端(也就在第10A圖中的SC-1)可經由N型MOS電晶體750的通道耦接至下面一個該對非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N4至接地參考電壓Vss,以使得通過/不通過開關258的P型MOS電晶體223被開啟,以及通過/不通過開關258的N型MOS電晶體222之閘極端(也就在第10A圖中的SC-2)可經由第一P型MOS電晶體730的通道耦接至己切換成電源供應電壓Vcc的該對非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N3,以使得通過/不通過開關258的N型MOS電晶體222被開啟,因此,節點N21與節點N22之間的連接經由通過/不通過開關258而建立。因此在第二種情況下,通過/不通過開關258的P型MOS電晶體223之閘極端(也就在第10A圖中的SC-1)可經由第一P型MOS電晶體730的通道耦接至己切換成電源供應電壓Vcc的該對非揮發性記憶體(NVM)單元760的節點N3,以使得通過/不通過開關258的P型MOS電晶體223被關閉,以及通過/不通過開關258的N型MOS電晶體222之閘極端(也就在第10A圖中的SC-2)可經由N型MOS電晶體750的通道耦接至該對非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N4至接地參考電壓Vss,以使得通過/不通過開關258的N型MOS電晶體222被關閉,因此,節點N21與節點N22之間的連接經由通過/不通過開關258而關閉不導通。
第15F圖為第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元的電路示意圖,根據本發明之實施例,該第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元提供一對N型MOS電晶體及P型MOS電晶體用於一通過/不通過開關,第3A圖至第3C圖、第3T圖至第3W圖、第10A圖、第15A圖及第15F圖以相同數字代表的元件,第15F圖相同數字的元件規格及說明可參考第3A圖至第3C圖、第3T圖至第3W圖、第10A圖、第15A圖所揭露之規格及說明,如第15F圖所示,上面的一個第三類型 非揮發性記憶體(NVM)單元700與第3T圖中的第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700具有相同結構,下面的一個非揮發性記憶體(NVM)單元700與第3U圖、第3V圖及第3W圖中的第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700具有相同結構,在第10A圖中的N型MOS電晶體222可經由第3T圖中的N型MOS電晶體750提供,及在第10A圖中的P型MOS電晶體223可經由第3U圖中的P型MOS電晶體764提供,第3T圖中的N型MOS電晶體750本身的節點N6耦接至第3U圖中的P型MOS電晶體764之節點N6,以形成通過/不通過開關258的公共節點N21,第3T圖中的N型MOS電晶體750本身的節點N7耦接至如第3U圖中的P型MOS電晶體764之節點N7,以形成通過/不通過開關258的公共節點N22。
如第15A圖及第15F圖所示,一可編程交互連接線361耦接至通過/不通過開關258的節點N21,及另一可編程交互連接線361耦接至通過/不通過開關258的節點N22,N型MOS電晶體222本身的節點SC-2耦接至如第3T圖中的第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700之浮閘極710,及P型MOS電晶體223本身的節點SC-1耦接如第3U圖中的第三類型非揮發性記憶體(NVM)單元700的浮閘極710,另外,如第15F圖所示,如第3T圖中上面的一個非揮發性記憶體(NVM)單元700本身的節點N2耦接至如第3U圖中下面的一非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N3,在此以作為一公共節點N7,如第3T圖中上面的一個非揮發性記憶體(NVM)單元700本身的節點N3耦接至如第3U圖中下面的一非揮發性記憶體(NVM)單元700的節點N2,在此以作為一公共節點N18。
如第15F圖所示,當通過/不通過開關258開始編程以開啟(1)公共節點N17可切換成(或耦接至)抹除電壓VEr或編程電壓VPr;(2)公共節點N18可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,因此,對於上面的一該對非揮發性記憶體(NVM)單元700,被捕獲/陷入在本身的浮閘極710中的電子可隧穿閘極氧化物711至節點N17,以使其浮閘極710可被抹除至邏輯值”1”而開啟本身N型MOS電晶體222,對於下面的一該對非揮發性記憶體(NVM)單元700,電子可從節點N18至本身浮閘極710而隧穿本身的閘極氧化物711,而被捕獲/陷入在本身的浮閘極710中,以使其浮閘極710可被抹除至邏輯值”0”而開啟本身P型MOS電晶體223,因此可開啟通過/不通過開關258,以及在節點N21及節點N22之間的連接可經由通過/不通過開關258而建立。
如第15F圖所示,當通過/不通過開關258開始編程以關閉(1)公共節點N18可切換成(或耦接至)抹除電壓VEr或編程電壓VPr;(2)公共節點N17可切換成(或耦接至)接地參考電壓Vss,因此,對於下面的一該對非揮發性記憶體(NVM)單元700,被捕獲/陷入在本身的浮閘極710中的電子可隧穿閘極氧化物711至節點N18,以使其浮閘極710可被抹除至邏輯值”1”而關閉本身第三類型P型MOS電晶體223,對於上面的一該對非揮發性記憶體(NVM)單元700,電子可從節點N17至本身浮閘極710而隧穿本身的閘極氧化物711,而被捕獲/陷入在本身的浮閘極710中,以使其浮閘極710可被抹除至邏輯值”0”而關閉本身N型MOS電晶體222,因此通過/不通過開關258可被關閉,以及在節點N21及節點N22之間的連接可經由通過/不通過開關258而關閉斷開。
對於上述所有實施例的抹除、編程及操作步驟說明,抹除電壓VEr可大於或等於編程電壓VPr,而編程電壓VPr大於或等於電源供應電壓Vcc,而電源供應電壓Vcc大於或等於接地參考電壓Vss。
固定交互連接線之說明
在編程用於如第14A圖或第14H圖所描述之查找表(LUT)210之記憶體單元490及用於如第15A圖至第15C圖所描述之可編程交互連接線361之記憶體單元362之前或當時,透過不是現場可編程的固定交互連接線364可用於訊號傳輸或是電源/接地供應至(1)用於如第15A圖至第15C圖所描述之可編程邏輯區塊(LB)201之查找表(LUT)210之記憶體單元490,用以編程記憶體單元490;及/或(2)用於如第7A圖至第7C圖所描述之可編程交互連接線361之記憶體單元362,用以編程記憶體單元362。在編程用於查找表(LUT)210之記憶體單元490及用於可編程交互連接線361之記憶體單元362之後,在操作時固定交互連接線364還可用於訊號傳輸或是電源/接地供應。
商品化標準現場可編程閘陣列(FPGA)積體電路(IC)晶片之說明
第16A圖係為根據本申請案之實施例所繪示之商品化標準現場可編程閘陣列(FPGA)積體電路(IC)晶片之上視方塊圖。請參見第16A圖,標準商業化FPGA IC晶片200係利用較先進之半導體技術世代進行設計及製造,例如是先進於或小於或等於30nm、20nm或10nm之製程,由於採用成熟的半導體技術世代,故在追求製造成本極小化的同時,可讓晶片尺寸及製造良率最適化。標準商業化FPGA IC晶片200之面積係介於400mm2至9mm2之間、介於225mm2至9mm2之間、介於144mm2至16mm2之間、介於100mm2至16mm2之間、介於75mm2至16mm2之間或介於50mm2至16mm2之間。應用先進半導體技術世代之標準商業化FPGA IC晶片200所使用之電晶體或半導體元件可以是鰭式場效電晶體(FINFET)、絕緣層上長矽之鰭式場效電晶體(FINFET SOI)、全空乏型之絕緣層上長矽之金屬氧化物半導體之場效電晶體(FDSOI MOSFET)、半空乏型之絕緣層上長矽之金屬氧化物半導體之場效電晶體(PDSOI MOSFET)或傳統的金屬氧化物半導體之場效電晶體。
請參見第16A圖,由於標準商業化FPGA IC晶片200係為商品化標準IC晶片,故標準商業化FPGA IC晶片200僅需減少至少量類型即可,因此採用先進之半導體技術世代製造之標準商業化FPGA IC晶片200所需的昂貴光罩或光罩組在數量上可以減少,用於一半導體技術世代之光罩組可以減少至3組至20組之間、3組至10組之間或是3組至5組之間,其一次性工程費用(NRE)也會大幅地減少。由於標準商業化FPGA IC晶片200之類型很少,因此製造過程可以最適化達到非常高的製造晶片產能。再者,可以簡化晶片的存貨管理,達到高效能及高效率之目標,故可縮短晶片交貨時間,是非常具成本效益的。
請參見第16A圖,各種類型之標準商業化FPGA IC晶片200包括:(1)如第14A圖或第14H圖所描述之多個可編程邏輯區塊(LB)201,係以陣列的方式排列於其中間區域;(2)第11A圖至第11D圖及第15A圖至第15F圖中複數交叉點開關379設置在每一可編程邏輯區塊(LB)201的周圍;(3)多條晶片內交互連接線502,其中每一條係在相鄰之二可編程邏輯區塊(LB)201之間的上方空間延伸;以及(4)如第13B圖所描述之多個小型I/O電路203,其中每一個的輸出S_Data_in係耦接一條或多條之晶片內交互連接線502,其中每一個的每一輸入S_Data_out、S_Enable或S_Inhibit係耦接另外一條或多條之晶片內交互連接線502。
請參見第16A圖,每一晶片內交互連接線502可分成是如第15A圖至第15C圖所描述之可編程交互連接線361及固定交互連接線364。標準商業化FPGA IC晶片200具有如第13B圖所描述之小型I/O電路203,其每一個之輸出S_Data_in係耦接至一或多條之可編程交互連接線361及/或一或多條之固定交互連接線364,其每一個之輸 入S_Data_out、S_Enable或S_Inhibit係耦接至其他一或多條之可編程交互連接線361及/或其他一或多條之固定交互連接線364。
請參見第16A圖,如第14A圖至第14J圖所描述之每一可編程邏輯區塊(LB)201,其輸入A0-A3之每一個係耦接至晶片內(INTRA-CHIP)交互連接線502的一或多條之可編程交互連接線361及/或一或多條之固定交互連接線364,以對其輸入進行一邏輯運算或計算運算而產生一輸出Dout,耦接至晶片內(INTRA-CHIP)交互連接線502的另一或其它多條之可編程交互連接線361及/或其他一或多條之固定交互連接線364,其中該邏輯運算包括布林運算,例如是及(AND)運算、非及(NAND)運算、或(OR)運算、非或(NOR)運算,而該計算運算例如是加法運算、減法運算、乘法運算或除法運算。
請參見第16A圖,標準商業化FPGA IC晶片200可以包括多個I/O金屬接墊372,如第13B圖所描述的內容,其每一個係垂直地設在其中之一小型I/O電路203上方,並連接該其中之一小型I/O電路203之節點381。在第一時脈中,其中之一如第14A圖至第14J圖所繪示之可編程邏輯區塊(LB)201之輸出Dout可以經由其中之一或多條之可編程交互連接線361及/或一或多個交叉點開關379(其中每一交叉點開關379位在二個交互連接的可編程交互連接線361之間),而傳送至其中之一小型I/O電路203之小型驅動器374之輸入S_Data_out,該其中之一小型I/O電路203之小型驅動器374可以放大其輸入S_Data_out至垂直地位在該其中之一小型I/O電路203之上方的I/O金屬接墊372以傳送至標準商業化FPGA IC晶片200之外部的電路。在第二時脈中,來自標準商業化FPGA IC晶片200之外部的電路之訊號可經由該I/O金屬接墊372傳送至該其中之一小型I/O電路203之小型接收器375,該其中之一小型I/O電路203之小型接收器375可以放大該訊號至其輸出S_Data_in,經由其中另一或多條之可編程交互連接線361及/或一或多個交叉點開關379(其中每一交叉點開關379位在二個交互連接的可編程交互連接線361之間)可以傳送至如第14A圖至第14J圖中其他的可編程邏輯區塊(LB)201之輸入A0-A3其中之一個。
如第16A圖所示,標準商業化FPGA IC晶片200可提供如第13B圖所示平行設置複數小型I/O電路203,用於標準商業化FPGA IC晶片200的每一數複數輸入/輸出(I/O)埠,其具有2n條的數量,其中”n”可以係從2至8之間的整數範圍內,標準商業化FPGA IC晶片200的複數I/O埠具有2n條的數量,其中”n”可以係從2至5之間的整數範圍內,例如,標準商業化FPGA IC晶片200的複數I/O埠具有4個並分別定義為第1個I/O埠、第2個I/O埠、第3個I/O埠及第4個I/O埠,標準商業化FPGA IC晶片200的每一第1個I/O埠、第2個I/O埠、第3個I/O埠及第4個I/O埠具有64個小型I/O電路203,每一小型I/O電路203可參考如第13B圖中的小型I/O電路203,小型I/O電路203以64位元頻寬從標準商業化FPGA IC晶片200的外部電路用於接收或傳送資料。
如第16A圖所示,標準商業化FPGA IC晶片200更包括一晶片賦能(chip-enable(CE))接墊209用以開啟或關閉(禁用)標準商業化FPGA IC晶片200,例如當一邏輯值”0”耦接至晶片賦能(CE)接墊209時,標準商業化FPGA IC晶片200可開啟處理資料及/或操作使用標準商業化FPGA IC晶片200的外部電路,當邏輯值”1”耦接至晶片賦能(CE)接墊209時,標準商業化FPGA IC晶片200則被禁止(關閉)處理資料及/或禁止操作使用標準商業化FPGA IC晶片200的外部電路。
如第16A圖所示,對於標準商業化FPGA IC晶片200,它更可包括(1)一輸入 賦能(IE)接墊221耦接至如第13B圖中本身的每一小型I/O電路203之小型接收器375的第一輸入,用於每一I/O埠中並用以接收來自其外部電路的S抑制(S_Inhibit_in)信號,以激活或抑制其每一小型I/O電路203的小型接收器375;及(2)複數輸入選擇(input selection(IS))接墊226用以從其複數I/O埠中選擇其中之一接收資料(即是第13B圖中的S_Data),其中係經由從外部電路的複數I/O埠中選擇其中之一的金屬接墊372接收信號,例如,對於標準商業化FPGA IC晶片200,其輸入選擇接墊226的數量為二個(例如是IS1及IS2接墊),用於從本身的第一、第二、第三及第四I/O埠中選擇其中之一在64位元頻寬下接收資料,也就是如第13B圖中的S_Data,經由從外界電路中的第一、第二、第三及第四的I/O埠中選擇其中之一的64條平行的金屬接墊372接收資料。提供(1)一邏輯值”0”耦接至晶片賦能(CE)接墊209;(2)一邏輯值”1”耦接至輸入賦能(IE)接墊221;(3)一邏輯值”0”耦接至IS1接墊226;及(4)一邏輯值”0”耦接至IS2接墊226,標準商業化FPGA IC晶片200能激活/啟用其第一、第二、第三及第四I/O埠中的小型I/O電路203的小型接收器375,並且從第一、第二、第三及第四I/O埠選擇其第一個I/O埠,並且經由從標準商業化FPGA IC晶片200的外部電路中的第一I/O埠的64個平行金屬接墊372,在64位元頻寬下接收資料,其中沒有被選擇到的第二、第三及第四I/O埠不會從標準商業化FPGA IC晶片200的外部電路接收資料;提供(1)一邏輯值”0”耦接至晶片賦能(CE)接墊209;(2)一邏輯值”1”耦接至輸入賦能(IE)接墊221;(3)一邏輯值”1”耦接至IS1接墊226;及(4)一邏輯值”0”耦接至IS2接墊226,標準商業化FPGA IC晶片200能激活/啟用其第一、第二、第三及第四I/O埠中的小型I/O電路203的小型接收器375,並且從第一、第二、第三及第四I/O埠選擇其第二個I/O埠,並且經由從標準商業化FPGA IC晶片200的外部電路中的第二I/O埠的64個平行金屬接墊372,在64位元頻寬下接收資料,其中沒有被選擇到的第一、第三及第四I/O埠不會從標準商業化FPGA IC晶片200的外部電路接收資料;提供(1)一邏輯值”0”耦接至晶片賦能(CE)接墊209;(2)一邏輯值”1”耦接至輸入賦能(IE)接墊221;(3)一邏輯值”0”耦接至IS1接墊226;及(4)一邏輯值”1”耦接至IS2接墊226,標準商業化FPGA IC晶片200能激活/啟用其第一、第二、第三及第四I/O埠中的小型I/O電路203的小型接收器375,並且從第一、第二、第三及第四I/O埠選擇其第三個I/O埠,並且經由從標準商業化FPGA IC晶片200的外部電路中的第三I/O埠的64個平行金屬接墊372,在64位元頻寬下接收資料,其中沒有被選擇到的第一、第二及第四I/O埠不會從標準商業化FPGA IC晶片200的外部電路接收資料;提供(1)一邏輯值”0”耦接至晶片賦能(CE)接墊209;(2)一邏輯值”1”耦接至輸入賦能(IE)接墊221;(3)一邏輯值”1”耦接至IS1接墊226;及(4)一邏輯值”0”耦接至IS2接墊226,標準商業化FPGA IC晶片200能激活/啟用其第一、第二、第三及第四I/O埠中的小型I/O電路203的小型接收器375,並且從第一、第二、第三及第四I/O埠選擇其第四個I/O埠,並且經由從標準商業化FPGA IC晶片200的外部電路中的第四I/O埠的64個平行金屬接墊372,在64位元頻寬下接收資料,其中沒有被選擇到的第一、第二及第三I/O埠不會從標準商業化FPGA IC晶片200的外部電路接收資料;提供(1)一邏輯值”0”耦接至晶片賦能(CE)接墊209;(2)一邏輯值”0”耦接至輸入賦能(IE)接墊221;第一、第二、第三及第四I/O埠,該標準商業化FPGA IC晶片200被啟用以抑制其小型I/O電路203的小型接收器375。
如第16A圖所示,對於標準商業化FPGA IC晶片200,它更可包括(1)一輸入賦能(OE)接墊221耦接至如第13B圖中本身的每一小型I/O電路203之小型驅動器374的第二輸入,用於每一I/O埠中並用以接收來自其外部電路的S賦能(S_Enable)信號,以啟用或禁用其每 一小型I/O電路203的小型驅動器374;及(2)複數輸出選擇(Ourput selection(OS)接墊228用以從其複數I/O埠中選擇其中之一驅動(drive)或通過(pass)資料(即是第13B圖中的S_Data_out),其中係經由複數I/O埠中選擇其中之一金屬接墊372傳輸信號至外部電路,例如,對於標準商業化FPGA IC晶片200,其輸出選擇接墊226的數量為二個(例如是OS1及OS2接墊),用於從本身的第一、第二、第三及第四I/O埠中選擇其中之一在64位元頻寬下驅動或通過資料,也就是如第13B圖中的S_Data_out,經由第一、第二、第三及第四的I/O埠中選擇其中之一的64條平行的金屬接墊372傳輸資料至外界電路。提供(1)一邏輯值”0”耦接至晶片賦能(CE)接墊209;(2)一邏輯值”0”耦接至輸入賦能(OE)接墊221;(3)一邏輯值”0”耦接至OS1接墊228;及(4)一邏輯值”0”耦接至OS2接墊228,標準商業化FPGA IC晶片200能激啟用其第一、第二、第三及第四I/O埠中的小型I/O電路203的小型驅動器374,並且從第一、第二、第三及第四I/O埠選擇其第一個I/O埠,並且經由第一I/O埠的64個平行金屬接墊372驅動或通過資料至標準商業化FPGA IC晶片200的外部電路,在64位元頻寬下驅動或通過資料資料,其中沒有被選擇到的第二、第三及第四I/O埠不會驅動或通過資料至標準商業化FPGA IC晶片200的外部電路;提供(1)一邏輯值”0”耦接至晶片賦能(CE)接墊209;(2)一邏輯值”0”耦接至輸入賦能(OE)接墊221;(3)一邏輯值”1”耦接至OS1接墊228;及(4)一邏輯值”0”耦接至OS2接墊228,標準商業化FPGA IC晶片200能激啟用其第一、第二、第三及第四I/O埠中的小型I/O電路203的小型驅動器374,並且從第一、第二、第三及第四I/O埠選擇其第二個I/O埠,並且經由第二I/O埠的64個平行金屬接墊372驅動或通過資料至標準商業化FPGA IC晶片200的外部電路,在64位元頻寬下驅動或通過資料資料,其中沒有被選擇到的第一、第三及第四I/O埠不會驅動或通過資料至標準商業化FPGA IC晶片200的外部電路;提供(1)一邏輯值”0”耦接至晶片賦能(CE)接墊209;(2)一邏輯值”0”耦接至輸入賦能(OE)接墊221;(3)一邏輯值”0”耦接至OS1接墊228;及(4)一邏輯值”1”耦接至OS2接墊228,標準商業化FPGA IC晶片200能激啟用其第一、第二、第三及第四I/O埠中的小型I/O電路203的小型驅動器374,並且從第一、第二、第三及第四I/O埠選擇其第三個I/O埠,並且經由第三I/O埠的64個平行金屬接墊372驅動或通過資料至標準商業化FPGA IC晶片200的外部電路,在64位元頻寬下驅動或通過資料資料,其中沒有被選擇到的第一、第二及第四I/O埠不會驅動或通過資料至標準商業化FPGA IC晶片200的外部電路;提供(1)一邏輯值”0”耦接至晶片賦能(CE)接墊209;(2)一邏輯值”0”耦接至輸入賦能(OE)接墊221;(3)一邏輯值”1”耦接至OS1接墊228;及(4)一邏輯值”0”耦接至OS2接墊228,標準商業化FPGA IC晶片200能激啟用其第一、第二、第三及第四I/O埠中的小型I/O電路203的小型驅動器374,並且從第一、第二、第三及第四I/O埠選擇其第四個I/O埠,並且經由第四I/O埠的64個平行金屬接墊372驅動或通過資料至標準商業化FPGA IC晶片200的外部電路,在64位元頻寬下驅動或通過資料資料,其中沒有被選擇到的第一、第二及第三I/O埠不會驅動或通過資料至標準商業化FPGA IC晶片200的外部電路;提供(1)一邏輯值”0”耦接至晶片賦能(CE)接墊209;(2)一邏輯值”0”耦接至輸入賦能(OE)接墊221;第一、第二、第三及第四I/O埠,該標準商業化FPGA IC晶片200被啟用以禁用其小型I/O電路203的小型驅動器374。
請參見第16A圖,標準商業化FPGA IC晶片200還包括(1)多個電源接墊205,可以經由一或多條之固定交互連接線364施加電源供應電壓Vcc至如第14A圖或第14H圖所描述之用於可編程邏輯區塊(LB)201之查找表(LUT)201之記憶體單元490及/或如第15A圖至第15C圖 所描述之用於交叉點開關379之記憶體單元362,其中電源供應電壓Vcc可以是介於0.2伏特至2.5伏特之間、介於0.2伏特至2伏特之間、介於0.2伏特至1.5伏特之間、介於0.1伏特至1伏特之間、介於0.2伏特至1伏特之間或是小於或等於2.5伏特、2伏特、1.8伏特、1.5伏特或1伏特;以及(2)多個接地接墊206用以提供接地參考電壓Vss至記憶體單元490,經由一或多條之固定交互連接線364用於在第14A圖或第14H圖中的可編程邏輯區塊(LB)201,及提供接地參考電壓Vss至記憶體單元362,經由一或多條之固定交互連接線364用於在第15A圖至第15C圖中交叉點開關379之記憶體單元362。
如第16A圖,標準商業化FPGA IC晶片200更可包括一時脈接墊229用於接收來自標準商業化FPGA IC晶片200的外部電路的時脈信號。
如第16A圖所示,對於標準商業化FPGA IC晶片200,其可編程邏輯區塊(LB)201可重新配置或建構在人工智能(AI)的應用上,例如,在一第一時脈,其可編程邏輯區塊(LB)201其中之一可具有其查找表(LUT)210以被編程用於如第14B圖或第14C圖的OR運算操作,然而,在發生一或多個事件之後,在一第二時脈,其可編程邏輯區塊(LB)201其中之一可具有其查找表(LUT)210以被編程用於如第14D圖或第14E圖的AND運算操作,以獲得更好的AI性能或表現。
I.商品化標準FPGA IC晶片之記憶單元、多工器及通過/不通開關之設置
第16B圖至第16E圖係為根據本申請案之實施例所繪示之用於可編程邏輯區塊(LB)之記憶單元(用於查找表)及多工器及用於可編程交互連接線之記憶單元及通過/不通開關之各種設置示意圖。通過/不通過開關258可以構成如第11A圖及第11B圖所繪示之第一型及第二型交叉點開關379。各種設置係如下所述:
(1)商品化標準FPGA IC晶片之記憶單元、多工器及通過/不通開關之第一種設置
請參見第16B圖,針對標準商業化FPGA IC晶片200之每一個可編程邏輯區塊(LB)201,用於其查找表(LUT)210之記憶體單元490可以配設在標準商業化FPGA IC晶片200之P型矽半導體基板2之第一區域上,與用於其查找表(LUT)210之記憶體單元490耦接之其多工器211可以配設在標準商業化FPGA IC晶片200之P型矽半導體基板2之第二區域上,其中該第一區域係相鄰該第二區域。每一個可編程邏輯區塊(LB)201可以包括一或多個多工器211及一或多組的記憶體單元490,每一組的記憶體單元490係用於其中之一查找表(LUT)210且耦接至其中之一多工器211之第一組之輸入D0-D15,該每一組的記憶體單元490之每一個可以儲存該其中之一查找表(LUT)210之結果值或編程碼其中之一個,且其輸出可以耦接至該其中之一多工器211之第一組之輸入D0-D15其中之一個。
請參見第16B圖,用於如第15A圖所描述之可編程交互連接線361之一組記憶體單元362可於相鄰之二可編程邏輯區塊(LB)201之間排列成一或多條線,用於如第15A圖所描述之可編程交互連接線361之一組通過/不通過開關258可於相鄰之二可編程邏輯區塊(LB)201之間排列成一或多條線,一組通過/不通過開關258配合一組記憶體單元362可構成如第11A圖或第11B圖所描述之一個交叉點開關379,每一組之通過/不通過開關258其中每一個耦接至每一組之記憶體單元362其中之一個或多個。
(2)商品化標準FPGA IC晶片之記憶單元、多工器及通過/不通開關之第二種 設置
請參見第16C圖,針對標準商業化FPGA IC晶片200,用於其所有查找表(LUT)210之記憶體單元490及用於其所有可編程交互連接線361之記憶體單元362可以聚集地設在其P型矽半導體基板2上中間區域中的記憶體陣列區塊395內。針對相同的可編程邏輯區塊(LB)201,用於其一或多個查找表(LUT)210之記憶體單元490及其一或多個多工器211係設置在分開的區域中,其中的一區域係容置用於其一或多個查找表(LUT)210之記憶體單元490,而其中的另一區域係容置其一或多個多工器211,用於其可編程交互連接線361之通過/不通過開關258係於相鄰之二可編程邏輯區塊(LB)201之多工器211之間排列成一或多條線。
(3)商品化標準FPGA IC晶片之記憶單元、多工器及通過/不通開關之第三種設置
請參見第16D圖,針對標準商業化FPGA IC晶片200,用於其所有查找表(LUT)210之記憶體單元490及用於其所有可編程交互連接線361之記憶體單元362可以聚集地設在其P型矽半導體基板2之分開的多個中間區域中的記憶體陣列區塊395a及395b內。針對相同的可編程邏輯區塊(LB)201,用於其一或多個查找表(LUT)210之記憶體單元490及其一或多個多工器211係設置在分開的區域中,其中的一區域係容置用於其一或多個查找表(LUT)210之記憶體單元490,而其中的另一區域係容置其一或多個多工器211,用於其可編程交互連接線361之通過/不通過開關258係於相鄰之二可編程邏輯區塊(LB)201之多工器211之間排列成一或多條線。針對標準商業化FPGA IC晶片200,其一些多工器211及其一些通過/不通過開關258係設在記憶體陣列區塊395a及395b之間。
(4)商品化標準FPGA IC晶片之記憶單元、多工器及通過/不通開關之第四種設置
請參見第16E圖,針對標準商業化FPGA IC晶片200,用於其可編程交互連接線361之記憶體單元362可以聚集地設在其P型矽半導體基板2上中間區域中的記憶體陣列區塊395內,且可以耦接至(1)位於其P型矽半導體基板2上之其多個第一群之通過/不通過開關258,多個第一群之通過/不通過開關258之每一個係位在同一列之其可編程邏輯區塊(LB)201其中相鄰兩個之間或是位在同一列之其可編程邏輯區塊(LB)201與其記憶體陣列區塊395之間;耦接至(2)位於其P型矽半導體基板2上之其多個第二群之通過/不通過開關258,多個第二群之通過/不通過開關258之每一個係位在同一行之其可編程邏輯區塊(LB)201其中相鄰兩個之間或是位在同一行之其可編程邏輯區塊(LB)201與其記憶體陣列區塊395之間;以及耦接至(3)位於其P型矽半導體基板2上之其多個第三群之通過/不通過開關258,多個第三群之通過/不通過開關258之每一個係位在同一行之第一群之通過/不通過開關258其中相鄰兩個之間及位在同一列之第二群之通過/不通過開關258其中相鄰兩個之間。針對標準商業化FPGA IC晶片200,每一個可編程邏輯區塊(LB)201可以包括一或多個多工器211及一或多組的記憶體單元490,每一組的記憶體單元490分別用於一或多個查找表(LUT)210且分別耦接至第16B圖的其中之一多工器211之第一組之輸入(即是D0-D15),其中在一或多個群組中的每一記憶體單元490可儲存其中之一查找表(LUT)210之結果值或編程碼,以用於一或多個查找表(LUT)210,且記憶體單元490的輸出可以耦接至一或多個多工器211中之第一組之輸入(即D0-D15)的其中之一個。
(5)商品化標準FPGA IC晶片之記憶單元、多工器及通過/不通開關之第五種 設置
請參見第16F圖,針對標準商業化FPGA IC晶片200,用於其可編程交互連接線361之記憶體單元362可以聚集地設在其P型矽半導體基板2上的多個記憶體陣列區塊395內,且可以耦接至(1)位於其P型矽半導體基板2上之其多個第一群之通過/不通過開關258,多個第一群之通過/不通過開關258之每一個係位在同一列之其可編程邏輯區塊(LB)201其中相鄰兩個之間或是位在同一列之其可編程邏輯區塊(LB)201與其記憶體陣列區塊395之間;耦接至(2)位於其P型矽半導體基板2上之其多個第二群之通過/不通過開關258,多個第二群之通過/不通過開關258之每一個係位在同一行之其可編程邏輯區塊(LB)201其中相鄰兩個之間或是位在同一行之其可編程邏輯區塊(LB)201與其記憶體陣列區塊395之間;以及耦接至(3)位於其P型矽半導體基板2上之其多個第三群之通過/不通過開關258,多個第三群之通過/不通過開關258之每一個係位在同一行之第一群之通過/不通過開關258其中相鄰兩個之間及位在同一列之第二群之通過/不通過開關258其中相鄰兩個之間。針對標準商業化FPGA IC晶片200,其每一個可編程邏輯區塊(LB)201可以包括一或多個多工器211及一或多組的記憶體單元490分別用於一或多個如第16B圖中的查找表(LUT)210,其中在一或多組中的每一記憶體單元490可儲存查找表(LUT)210的其中之一結果值或編程碼,且其輸出可以耦接至第一組多工器211之輸入D0-D15的其中之一。此外,一或多個之可編程邏輯區塊(LB)201可以設在記憶體陣列區塊395之間。
(6)用於第一種至第五種設置之記憶單元
如第16B圖至第16F圖所示,對於標準商業化FPGA IC晶片200,用於可編程交互連接線361的其每一記憶體單元362可以是:(1)如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖或第5A圖至第5F圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、非揮發性記憶體(NVM)單元650、非揮發性記憶體(NVM)單元700、非揮發性記憶體(NVM)單元760或非揮發性記憶體(NVM)單元800的輸出N0耦接至如第14A圖及第14F圖至第14J圖中可編程邏輯區塊(LB)201的第一組多工器211之輸入D0-D15其中之一;(2)如第6E圖或第6F圖中的非揮發性記憶體(NVM)單元900本身的輸出M3或M12耦接至如第14A圖及第14F圖至第14J圖中可編程邏輯區塊(LB)201的第一組多工器211之輸入D0-D15其中之一;(3)如第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖中的非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出M9或M18耦接至如第14A圖及第14F圖至第14J圖中可編程邏輯區塊(LB)201的第一組多工器211之輸入D0-D15其中之一;或(4)第9A圖或第9B圖中鎖存非揮發性記憶體940或950的輸出L3或L12耦接至如第14A圖及第14F圖至第14J圖中可編程邏輯區塊(LB)201的第一組多工器211之輸入D0-D15其中之一。對於標準商業化FPGA IC晶片200,用於可編程交互連接線361的其每一記憶體單元362可以是:(1)如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖或第5A圖至第5F圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、非揮發性記憶體(NVM)單元650、非揮發性記憶體(NVM)單元700、非揮發性記憶體(NVM)單元760或非揮發性記憶體(NVM)單元800的輸出N0耦接至第15A圖至第15F圖中其中之一交叉點開關379,或交叉點開關379的其中之一通過/不通過開關258;(2)如第6E圖或第6F圖中的非揮發性記憶體(NVM)單元900本身的輸出M3或M12耦接至第15A圖至第15F圖中其中之一交叉點開關379,或交叉點開關379的其中之一通過/不通過開關258;(3)如第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖中的非揮發性記憶體(NVM)單 元910的輸出M9或M18耦接至第15A圖至第15F圖中其中之一交叉點開關379,或交叉點開關379的其中之一通過/不通過開關258;或(4)如第9A圖或第9B圖中鎖存非揮發性記憶體940或950的輸出L3或L12耦接至第15A圖至第15F圖中其中之一交叉點開關379,或交叉點開關379的其中之一通過/不通過開關258。
II.商品化標準FPGA IC晶片之繞道交互連接線的設置
第16G圖係為根據本申請案之實施例所繪示之作為繞道交互連接線之可編程交互連接線之示意圖。請參見第16G圖,標準商業化FPGA IC晶片200可以包括第一組之可編程交互連接線361,作為繞道交互連接線279,其中每一條可以連接其中之一交叉點開關379至遠方的另一個交叉點開關379,而繞過其他一或多個的交叉點開關379,該些交叉點開關379可以是如第11A圖至第11D圖所繪示之第一型至第四型中的任一型。標準商業化FPGA IC晶片200可以包括第二組之可編程交互連接線361,並不會繞過任何的交叉點開關379,而每一繞道交互連接線279係平行於多條可透過交叉點開關379相互耦接之第二組之可編程交互連接線361。
舉例而言,如第11A圖至第11C圖所描述之交叉點開關379之節點N23及N25可以分別耦接第二組之可編程交互連接線361,而其節點N24及N26可以分別耦接繞道交互連接線279,故交叉點開關379可以從與其節點N24及N26耦接之兩條繞道交互連接線279及與其節點N23及N25耦接之兩條第二組之可編程交互連接線361中選擇其中之一條耦接至其中另外一條或多條。因此,該交叉點開關379可以切換以選擇與其節點N24耦接之繞道交互連接線279耦接至及與其節點N23耦接之第二組之可編程交互連接線361;或者,該交叉點開關379可以切換以選擇與其節點N23耦接之第二組之可編程交互連接線361耦接至及與其節點N25耦接之第二組之可編程交互連接線361;或者,該交叉點開關379可以切換以選擇與其節點N24耦接之繞道交互連接線279耦接至及與其節點N26耦接之繞道交互連接線279。
或者,舉例而言,如第11A圖至第11C圖所描述之交叉點開關379之節點N23-N26其中每一個可以耦接第二組之可編程交互連接線361,故交叉點開關379可以從與其節點N23-N26耦接之四條第二組之可編程交互連接線361中選擇其中之一條耦接至其中另外一條或多條。
如第16G圖所示,對於標準商業化FPGA IC晶片200,複數的交叉點開關379環繞一區域278,其中可設置多個記憶體單元362在其中,每一交叉點開關379可參考至:(1)如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖或第5A圖至第5F圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、非揮發性記憶體(NVM)單元650、非揮發性記憶體(NVM)單元700、非揮發性記憶體(NVM)單元760或非揮發性記憶體(NVM)單元800的輸出N0耦接至如第15A圖至第15F圖中複數交叉點開關379或耦接交叉點開關379其中之一的其中之一通過/不通過開關258;(2)如第6E圖或第6F圖中的非揮發性記憶體(NVM)單元900本身的輸出M3或M12耦接至如第15A圖至第15F圖中複數交叉點開關379或耦接交叉點開關379其中之一的其中之一通過/不通過開關258;(3)如第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖中的非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出M9或M18耦接至如第15A圖至第15F圖中複數交叉點開關379或耦接交叉點開關379其中之一的其中之一通過/不通過開關258;或(4)如第9A圖或第9B圖中鎖存非揮發性記憶體940或950的輸出L3或L12耦接至如第15A圖至第15F圖中複數交叉點開關379或耦接交叉點開關379其中之一的其中之一通過/不通過開關258。對於標準商業化FPGA IC晶片200,用 於其可編程邏輯區塊(LB)201的查找表(LUT)210在區域278中更包括複數記憶體單元490,每一記憶體單元490可參考:(1)如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖或第5A圖至第5F圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、非揮發性記憶體(NVM)單元650、非揮發性記憶體(NVM)單元700、非揮發性記憶體(NVM)單元760或非揮發性記憶體(NVM)單元800的輸出N0耦接至如第14A圖及第14F圖至第14J圖中用於可編程邏輯區塊(LB)201的第一組多工器211之輸入D0-D15其中之一;(2)如第6E圖或第6F圖中的非揮發性記憶體(NVM)單元900本身的輸出M3或M12耦接至第14A圖及第14F圖至第14J圖中用於可編程邏輯區塊(LB)201的第一組多工器211之輸入D0-D15其中之一;(3)如第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖中的非揮發性記憶體(NVM)單元910的輸出M9或M18耦接至第14A圖及第14F圖至第14J圖中用於可編程邏輯區塊(LB)201的第一組多工器211之輸入D0-D15其中之一;或(4)如第9A圖或第9B圖中鎖存非揮發性記憶體940或950的輸出L3或L12耦接至第14A圖及第14F圖至第14J圖中用於可編程邏輯區塊(LB)201的第一組多工器211之輸入D0-D15其中之一。用於交叉點開關379的記憶體單元362可設置在一或複數環圍繞著可編程邏輯區塊(LB)201,圍繞在區域278的第二群(組)中的複數可編程交互連接線361可分別耦接可編程邏輯區塊(LB)201的多工器211之第二組輸入(即是A0-A3)至圍繞在區域278的複數交叉點開關379,圍繞在區域278的第二組(群)中的一可編程交互連接線361耦接至可編程邏輯區塊(LB)201的多工器211之輸出(即是Dout)至圍繞在區域278的一交叉點開關379。
因此,請參見第16G圖,其中之一個可編程邏輯區塊(LB)201之多工器211之輸出Dout可以(1)輪流地經過一或多條之第二組之可編程交互連接線361及一或多個的交叉點開關379傳送至其中之一繞道交互連接線279,(2)接著輪流地經過一或多個的交叉點開關379及一或多條之繞道交互連接線279從該其中之一繞道交互連接線279傳送至另一條之第二組之可編程交互連接線361,以及(3)最後輪流地經過一或多個的交叉點開關379及一或多條之第二組之可編程交互連接線361從該另一條之第二組之可編程交互連接線361傳送至另一個可編程邏輯區塊(LB)201之多工器211之第二組之輸入A0-A3其中之一個。
III.商品化標準FPGA IC晶片之交叉點開關的設置
第16H圖係為根據本申請案之實施例所繪示之商品化標準FPGA IC晶片之交叉點開關之設置的示意圖。請參見第16H圖,標準商業化FPGA IC晶片200可以包括:(1)矩陣排列之可編程邏輯區塊(LB)201;(2)多個連接區塊(CB)455,其中每一個係設在同一列或同一行之相鄰兩個的可編程邏輯區塊(LB)201之間;以及(3)多個開關區塊(SB)456,其中每一個係設在同一列或同一行之相鄰兩個的連接區塊(CB)455之間。每一連接區塊(CB)455可以設有如第11D圖及第15C圖所繪示之多個第四型交叉點開關379,而每一開關區塊(SB)456可以設有如第11C圖及第15B圖所繪示之多個第三型交叉點開關379。
請參見第16H圖,針對每一個連接區塊(CB)455,其每一個第四型交叉點開關379之輸入D0-D15其中每一個係耦接至可編程交互連接線361其中之一條,而其輸出Dout係耦接至可編程交互連接線361其中另一條。可編程交互連接線361可以耦接連接區塊(CB)455之如第11D圖及第14C圖所繪示之第四型交叉點開關379之輸入D0-D15其中之一個至(1)如第14A圖或第14H圖所繪示之可編程邏輯區塊(LB)201之輸出Dout,或是至(2)開關區塊(SB)456之如第11C圖及第15B圖所繪示之第三型交叉點開關379之節點N23-N26其中之一個。或者,可編程交互連接 線361可以耦接連接區塊(CB)455之如第11D圖及第15C圖所繪示之第四型交叉點開關379之輸出Dout至(1)如第14A圖或第14H圖所繪示之可編程邏輯區塊(LB)201之輸入A0-A3其中之一個,或是至(2)開關區塊(SB)456之如第11C圖及第15B圖所繪示之第三型交叉點開關379之節點N23-N26其中之一個。
舉例而言,請參見第16H圖,連接區塊(CB)455之如第11D圖及第15C圖所繪示之交叉點開關379之輸入D0-D15其中之一或多個可以透過可編程交互連接線361其中之一條或多條耦接位在其第一側之如第14A圖或第14H圖所繪示之可編程邏輯區塊(LB)201之輸出Dout,連接區塊(CB)455之如第3D圖及第7C圖所繪示之交叉點開關379之輸入D0-D15其中另一或多個可以透過可編程交互連接線361其中之一條或多條耦接位在相對於其第一側之其第二側之如第14A圖或第14H圖所繪示之可編程邏輯區塊(LB)201之輸出Dout,連接區塊(CB)455之如第11D圖及第15C圖所繪示之交叉點開關379之輸入D0-D15其中另一或多個可以透過可編程交互連接線361其中之一條或多條耦接位在其第三側之開關區塊(SB)456之如第11C圖及第15B圖所繪示之交叉點開關379之節點N23-N26其中之一個,連接區塊(CB)455之如第11D圖及第15C圖所繪示之交叉點開關379之輸入D0-D15其中另一或多個可以透過可編程交互連接線361其中之一條或多條耦接位在相對於其第三側之其第四側之開關區塊(SB)456之如第11C圖及第15B圖所繪示之交叉點開關379之節點N23-N26其中之一個。連接區塊(CB)455之如第11D圖及第15C圖所繪示之交叉點開關379之輸出Dout可以透過可編程交互連接線361其中之一條耦接位在其第三側或第四側之開關區塊(SB)456之如第11C圖及第15B圖所繪示之交叉點開關379之節點N23-N26其中之一個,或透過可編程交互連接線361其中之一條耦接位在其第一側或第二側之如第14A圖或第14H圖所繪示之可編程邏輯區塊(LB)201之輸入A0-A3其中之一個。
請參見第16H圖,針對每一開關區塊(SB)456,如第11C圖及第15B圖所繪示之第三型交叉點開關379之四個節點N23-N26可以分別一一耦接在四個不同方向上的可編程交互連接線361。舉例而言,該每一開關區塊(SB)456之如第11C圖及第15B圖所繪示之第三型交叉點開關379之節點N23可以經由該四個可編程交互連接線361其中之一條耦接位於其左側之連接區塊(CB)455之如第11D圖及第15C圖所繪示之第四型交叉點開關379之輸入D0-D15其中之一個或是其輸出Dout,該每一開關區塊(SB)456之如第11C圖及第15B圖所繪示之第三型交叉點開關379之節點N24可以經由該四個可編程交互連接線361其中另一條耦接位於其上側之連接區塊(CB)455之如第11D圖及第15C圖所繪示之第四型交叉點開關379之輸入D0-D15其中之一個或是其輸出Dout,該每一開關區塊(SB)456之如第11C圖及第15B圖所繪示之第三型交叉點開關379之節點N25可以經由該四個可編程交互連接線361其中另一條耦接位於其右側之連接區塊(CB)455之如第11D圖及第15C圖所繪示之第四型交叉點開關379之輸入D0-D15其中之一個或是其輸出Dout,且該每一開關區塊(SB)456之如第11C圖及第15B圖所繪示之第三型交叉點開關379之節點N25可以經由該四個可編程交互連接線361其中另一條耦接位於其下側之連接區塊(CB)455之如第11D圖及第15C圖所繪示之第四型交叉點開關379之輸入D0-D15其中之一個或是其輸出Dout。
因此,請參見第16H圖,訊號可以從其中之一個的可編程邏輯區塊(LB)201經由多個的開關區塊(SB)456傳送至其中另一個的可編程邏輯區塊(LB)201,位於該些多個的開關區塊(SB)456其中每相鄰兩個之間係設有連接區塊(CB)455供該訊號的傳送,位於該其中之一個 的可編程邏輯區塊(LB)201與該些多個的開關區塊(SB)456其中之一個之間係設有連接區塊(CB)455供該訊號的傳送,位於該其中另一個的可編程邏輯區塊(LB)201與該些多個的開關區塊(SB)456其中之一個之間係設有連接區塊(CB)455供該訊號的傳送。舉例而言,該訊號可以從如第14A圖或第14H圖所繪示之該其中之一個的可編程邏輯區塊(LB)201之輸出Dout經由其中之一條的可編程交互連接線361傳送至第一個的連接區塊(CB)455之如第11D圖及第15C圖所繪示之第四型交叉點開關379之輸入D0-D15其中之一個,接著該第一個的連接區塊(CB)455之如第11D圖及第15C圖所繪示之第四型交叉點開關379可以切換該其中之一個的輸入D0-D15耦接至其輸出Dout供該訊號的傳送,使得該訊號可以從其輸出經由其中另一條的可編程交互連接線361傳送至其中之一個的開關區塊(SB)456之如第11C圖及第15B圖所繪示之第三型交叉點開關379之節點N23,接著該其中之一個的開關區塊(SB)456之如第11C圖及第15B圖所繪示之第三型交叉點開關379可以切換其節點N23耦接至其節點N25供該訊號的傳送,使得該訊號可以從其節點N25經由其中另一條的可編程交互連接線361傳送至第二個的連接區塊(CB)455之如第11D圖及第15C圖所繪示之第四型交叉點開關379之輸入D0-D15其中之一個,接著該第二個的連接區塊(CB)455之如第11D圖及第15C圖所繪示之第四型交叉點開關379可以切換該其中之一個的輸入D0-D15耦接至其輸出Dout供該訊號的傳送,使得該訊號可以從其輸出經由其中另一條的可編程交互連接線361傳送至如第14A圖或第14H圖所繪示之該其中另一個的可編程邏輯區塊(LB)201之輸入A0-A3其中之一個。
IV.商品化標準FPGA IC晶片之修復
第16I圖係為根據本申請案之實施例所繪示之修復商品化標準FPGA IC晶片之示意圖。請參見第16I圖,標準商業化FPGA IC晶片200具有可編程邏輯區塊(LB)201,其中備用的一個201-s可以取代其中壞掉的一個。標準商業化FPGA IC晶片200包括:(1)多個修復用輸入開關陣列276,其中每一個的多個輸出之每一個係串聯地耦接至如第14A圖或第14H圖所繪示之可編程邏輯區塊(LB)201之輸入A0-A3其中之一個;以及(2)多個修復用輸出開關陣列277,其中每一個的一或多個輸入係分別一一串聯地耦接至如第14A圖或第14H圖所繪示之可編程邏輯區塊(LB)201之一或多個的輸出Dout。此外,標準商業化FPGA IC晶片200還包括:(1)多個備用之修復用輸入開關陣列276-s,其中每一個的多個輸出之每一個係並聯地耦接至其他每一個備用之修復用輸入開關陣列276-s之輸出的其中之一個,且串聯地耦接至如第14A圖或第14H圖所繪示之可編程邏輯區塊(LB)201之輸入A0-A3其中之一個;以及(2)多個備用之修復用輸出開關陣列277-s,其中每一個的一或多個輸入係分別一一並聯地耦接至其他每一個備用之修復用輸出開關陣列277-s之一或多個輸入,分別一一串聯地耦接至如第14A圖或第14H圖所繪示之可編程邏輯區塊(LB)201之一或多個的輸出Dout。每一個備用之修復用輸入開關陣列276-s具有多個輸入,其中每一個係並聯地耦接其中之一修復用輸入開關陣列276之輸入的其中之一個。每一個備用之修復用輸出開關陣列277-s具有一或多個輸出,分別一一並聯地耦接其中之一修復用輸出開關陣列277之一或多個輸出。
因此,請參見第16I圖,當其中之一個的可編程邏輯區塊(LB)201壞掉時,可以關閉分別耦接該其中之一個的可編程邏輯區塊(LB)201之輸入及輸出的其中之一個的修復用輸入開關陣列276及其中之一個的修復用輸出開關陣列277,而開啟具有輸入分別一一並聯地耦接該其中之一個的修復用輸入開關陣列276之輸入之備用之修復用輸入開關陣列276-s,開啟具 有輸出分別一一並聯地耦接該其中之一個的修復用輸出開關陣列277之輸出之備用之修復用輸出開關陣列277-s,並關閉其他備用之修復用輸入開關陣列276-s及備用之修復用輸出開關陣列277-s。如此,備用的可編程邏輯區塊(LB)201-s可以取代壞掉的該其中之一個的可編程邏輯區塊(LB)201。
第16J圖係為根據本申請案之實施例所繪示之修復商品化標準FPGA IC晶片之示意圖。請參照第16J圖,可編程邏輯區塊(LB)201係為陣列的形式排列。當其中之一個位在其中之一行上的可編程邏輯區塊(LB)201壞掉時,將關閉位在該其中之一行上的所有可編程邏輯區塊(LB)201,而開啟位在其中之一行上的所有備用的可編程邏輯區塊(LB)201-s。接著,可編程邏輯區塊(LB)201及備用的可編程邏輯區塊(LB)201-s之行號將重新編號,修復後行號經重新編號之每一行每一列的可編程邏輯區塊(LB)201所執行的運算係相同於修復前行號未重新編號之與其行號相同之每一行及與其列號相同之每一列的可編程邏輯區塊(LB)201所執行的運算。舉例而言,當位在第N-1行中的可編程邏輯區塊(LB)201其中之一個壞掉時,將關閉位在第N-1行中所有可編程邏輯區塊(LB)201,而開啟位在最右邊一行中所有備用的可編程邏輯區塊(LB)201-s。接著,可編程邏輯區塊(LB)201及備用的可編程邏輯區塊(LB)201-s之行號將重新編號,修復前供所有備用的可編程邏輯區塊(LB)201-s設置的最右邊一行在修復可編程邏輯區塊(LB)201後將重新編號為第1行,修復前供可編程邏輯區塊(LB)201-s設置的第1行在修復可編程邏輯區塊(LB)201後將重新編號為第2行,以此類推。修復前供可編程邏輯區塊(LB)201-s設置的第n-2行在修復可編程邏輯區塊(LB)201後將重新編號為第n-1行,其中n系為介於3至N的整數。修復後行號經重新編號之第m行每一列的可編程邏輯區塊(LB)201所執行的運算係相同於修復前行號未重新編號之第m行及與其列號相同之每一列的可編程邏輯區塊(LB)201所執行的運算,其中m係為介於1至N的整數。舉例而言,修復後行號經重新編號之第1行每一列的可編程邏輯區塊(LB)201所執行的運算係相同於修復前行號未重新編號之第1行及與其列號相同之每一列的可編程邏輯區塊(LB)201所執行的運算。
用於標準商業FPGA IC晶片的可編程邏輯區塊
另外,第16K圖為本發明實施例用於一標準商業化FPGA IC晶片的一可編程邏輯區塊(LB)方塊示意圖,如第16K圖所示,如第16A圖中的每一可編程邏輯區塊(LB)201可包括:(1)用於固定連接線加法器的一或多個單元(A)2011具有的數量範圍例如係介於1至16個;(2)用於固定連接線多工器的一或多個單元(M)2012具有的數量範圍例如係介於1至16個;(3)用於緩存及暫存器的一或多個單元(C/R)2013,其容量範圍例如係介於256至2048位元之間;(4)用於邏輯操作運算的複數單元(LC)具有的數量範圍例如係介於64至2048個。如第16A圖中的每一該可編程邏輯區塊(LB)201可更包括複數區塊內交互連接線2015,其中每一區塊內交互連接線2015延伸到其相鄰的二個單元2011、單元2012、單元2013及單元2014之間的間隔上並且排列成矩陣,對於每一可編程邏輯區塊(LB),其晶片內(INTRA-CHIP)交互連接線502可分成可編程交互連接線361及如第15A圖至第15C圖中的固定交互連接線364;其區塊內交互連接線2015的可編程交互連接線361可分別耦接至標準商業化FPGA IC晶片200的晶片內(INTRA-CHIP)交互連接線502,以及其區塊內交互連接線2015的固定交互連接線364可分別耦接至標準商業化FPGA IC晶片200的晶片內(INTRA-CHIP)交互連接線502之固定交互連接線364。
如第16A圖及第16K圖所示,用於邏輯操作運算的每一單元(LC)2014可排列如第14A圖中的一或多個邏輯架構,該邏輯架構的具有記憶體單元490,例如具有4到256個記憶體單元490,每一記憶體單元490用於查找表(LUT)210,且分別耦接至多工器211的第一組輸入端,此第一組輸入端的數目例如是4到256個,並且根據多工器的第二組輸入來選擇其中之一成為其輸出,其中第二組輸入的數目例如是2至8個輸入,第二組的每一輸入耦接至區塊內交互連接線2015的可編程交互連接線361或固定交互連接線364之其中之一。舉例而言,用於其查找表(LUT)210的邏輯架構可具有16個記憶體單元490,分別耦接至第一組的多工器211的16個輸入,依據其多工器211的第二組的4個輸入並經由其多工器211從16個中選擇其一輸入成為其輸出,其中第二組的4個輸入耦接至如第14A圖至第14F圖至第14J圖中區塊內交互連接線2015的可編程交互連接線361或固定交互連接線364之其中之一。另外用於邏輯操作運算的每一該單元(LC)2014可排列配置成一暫存器,用以暫時地保存邏輯架構的輸出或邏輯架構之第二組多工器211其中之一輸入。
第16L圖為本發明實施例的一加法器的一單元之電路示意圖,第16M圖為本發明實施例用於一加法器的一單元的一增加單元(adding unit)的電路示意圖,如第16A圖、第16L圖及第16M圖,用於固定連接線加法器的每一單元(A)2011可包括複數加法單元2016經由階段性的串聯及逐級相互耦接,例如第16K圖中用於固定連接線加法器的每一該單元(A)2011包括如第16L圖及第16M圖中經由階段性的串聯及逐級相互耦接之8級的加法單元2016,以將其耦接至區塊內交互連接線2015的八個可編程交互連接線361及固定交互連接線364所耦接的第一位元輸入(A7,A6,A5,A4,A3,A2,A1,A0)與耦接至區塊內交互連接線2015的另外八個可編程交互連接線361及固定交互連接線364的第二8位元輸入(B7,B6,B5,B4,B3,B2,B1,B0)相加而獲得耦接至區塊內交互連接線2015的另外9個可編程交互連接線361及固定交互連接線364的9位元輸出(Cout,S7,S6,S5,S4,S3,S2,S1,S0)。如第16L圖及第16M圖所示,第一級加法單元2016可將用於固定連接線加法器的每一單元(A)2011的輸入A0所耦接的第一輸入In1與每一單元(A)2011的輸入A0所耦接的第二輸入In2相加,同時需考慮來自於上次計算的結果(previous computation result),即是進位輸入(carry-in input)Cin,而其中上次計算的結果(即是,進位輸入Cin),以獲得其二輸出,其中之一輸出Out作為用於固定連接線加法器的每一單元(A)2011的輸出S0,而其它的一輸出為一進位輸出(carry-out Output)Cout耦接至第二級的加法單元2016之一進位輸入(carry-in input)Cin,第二級至第七級的每一加法單元2016可將耦接至用於固定連接線加法器的每一單元(A)2011的輸入A1,A2,A3,A4,A5及A6其中之一的第一輸入In1與耦接至每一單元(A)2011的輸入B1,B2,B3,B4,B5及B6其中之一的第二輸入In2相加而獲得其二輸出,並且同時考慮其進位輸入(carry-in input)Cin,此進位輸入(carry-in input)Cin係來自於前一級(個)第一級至第六級的其中之一加法單元2016的進位輸出(carry-out Output)Cout,其中之一輸出作為用於固定連接線加法器的每一單元(A)2011的S1,S2,S3,S4,S5及S6輸出其中之一,而其它的一輸出為一進位輸出Cout則係耦接至下一級在第二級至第八級的其中之一加法單元2016的進位輸入Cin,例如,第七級的加法單元2016可將用於固定連接線加法器中耦接至每一單元(A)2011的輸入A6的第一輸入In1與耦接至每一單元(A)2011的輸入B6的第二輸入In2相加而獲得其二輸出,同時考慮其進位輸入Cin,此進位輸入Cin係來自於第六級的加法單元2016的進位輸出Cout,其中之一輸出Out作為用於固定連接線加法器的每一單元(A)2011的輸出S6,及其它一個輸出為一進位輸出Cout並且耦 接至第八級的加法單元2016的一進位輸入Cin。第八級的加法單元2016可將用於固定連接線加法器中耦接至每一單元(A)2011的輸入A7的第一輸入In1與耦接至每一單元(A)2011的輸入B7的第二輸入In2相加而獲得其二輸出,同時考慮其進位輸入Cin,此進位輸入Cin係來自於第七級的加法單元2016的進位輸出Cout,其中之一輸出Out作為用於固定連接線加法器的每一單元(A)2011的輸出S7,及其它一個輸出為一進位輸出Cout作為用於固定連接線加法器的每一單元(A)2011的進位輸出Cout。
如第16L圖及第16M圖,第一級至第八級的每一加法單元2016可包括(1)一ExOR閘342用以對其第一輸入及第二輸入執行互斥或(Exclusive-OR)運算操作而獲得其輸出,其中第一輸入及第二輸入分別耦接至第一級至第八級每一加法單元2016的第一輸入In1及第二輸入In2;(2)一ExOR閘343用以對其第一輸入及第二輸入執行互斥或(Exclusive-OR)運算操作而獲得其輸出,該輸出作為第一級至第八級的每一該加法單元2016的輸出Out,其中第一輸入耦接至互斥或閘342的輸出,第二輸入係耦接至第一級至第八級的每一該加法單元2016的進位輸入Cin;(3)一AND閘344用以對其第一輸入及第二輸入執行互斥或(Exclusive-OR)運算操作而獲得其輸出,其中第一輸入耦接至第一級至第八級的每一加法單元2016的進位輸入Cin,而第二輸入耦接至ExOR閘342的輸出;(4)一AND閘345用以對其第一輸入及第二輸入執行互斥或(Exclusive-OR)運算操作而獲得其輸出,其中第一輸入及第二輸入分別耦接至第一級至第八級的每一加法單元2016的第二輸入In2及第一輸入In1;及(5)一或閘346用以對其第一輸入及第二輸入執行”或(OR)”運算操作而獲得其輸出,此輸出係作為第一級至第八級的每一加法單元2016的進位輸出Cout,其中第一輸入耦接至AND閘344的輸出,而第二輸入耦接至AND閘345的輸出。
第16N圖為本發明實施例一固定連接線乘法器的一單元電路示意圖,如第16A圖及第16N圖,用於固定連接線多工器的每一單元(M)2012可包括複數級的加法單元2016階段性的串聯及逐級相互耦接,其中每一級的架構如第16M圖所示,例如,用於固定連接線多工器中如第16K圖的每一該單元(M)2012包括7個加法單元2016排列成8個(階)級,每一加法單元2016階段性的串聯及逐級相互耦接,如第16N圖及第16M圖所示,將耦接至區塊內交互連接線2015的8個可編程交互連接線361及固定交互連接線364的其第一8位元輸入(X7,X6,X5,X4,X3,X2,X1,X0)coupling to eight of the可編程交互連接線361 and固定交互連接線364 of the區塊內交互連接線2015 by its second 8-bit input(Y7,Y6,Y5,Y4,Y3,Y2,Y1,Y0)乘於耦接至另一區塊內交互連接線2015的另外8個可編程交互連接線361及固定交互連接線364的其第二8位元輸入(Y7,Y6,Y5,Y4,Y3,Y2,Y1,Y0)而獲得其16位元輸出(P15,P14,P13,P12,P11,P10,P9,P8,P7,P6,P5,P4,P3,P2,P1,P0),其中此6位元輸出耦接至區塊內交互連接線2015的另外16個可編程交互連接線361及固定交互連接線364,如第16N圖及第16M圖所示,用於固定連接線多工器的每一單元(M)2012可包括64個AND閘347,每一AND閘347用於對其第一輸入執行AND運算操作而獲得其輸出,其中第一輸入耦接至用於固定連接線多工器的每一單元(M)2012的第一8個輸入(X7,X6,X5,X4,X3,X2,X1及X0)其中之一,而其第二輸入係耦接至用於固定連接線多工器的每一單元(M)2012的第二8個輸入(Y7,Y6,Y5,Y4,Y3,Y2,Y1及Y0)其中之一,更為詳細的說明,用於固定連接線多工器的每一單元(M)2012,其64個AND閘347排列設置成8行,其中每一個AND閘347分別具有的第一輸入及第二輸入,每一第一8個輸入(X7,X6,X5,X4,X3,X2,X1及X0)及每一第二8個輸入(Y7,Y6,Y5,Y4,Y3,Y2,Y1及Y0)形成64個組合(8乘8),在第一行 的8個AND閘347可對他們第一相對應的輸入執行AND運算操作而獲得他們相對應的輸出,其中第一相對應的輸入分別耦接至從左至右排列設置的第一8個輸入(X7,X6,X5,X4,X3,X2,X1及X0),及他們第二相對應的輸入耦接至其第二輸入Y0;在第二行的8個AND閘347可對他們第一相對應的輸入執行AND運算操作而獲得他們相對應的輸出,其中第一相對應的輸入分別耦接至從左至右排列設置的第一8個輸入(X7,X6,X5,X4,X3,X2,X1及X0),及他們第二相對應的輸入耦接至其第二輸入Y1;在第三行的8個AND閘347可對他們第一相對應的輸入執行AND運算操作而獲得他們相對應的輸出,其中第一相對應的輸入分別耦接至從左至右排列設置的第一8個輸入(X7,X6,X5,X4,X3,X2,X1及X0),及他們第二相對應的輸入耦接至其第二輸入Y2;在第四行的8個AND閘347可對他們第一相對應的輸入執行AND運算操作而獲得他們相對應的輸出,其中第一相對應的輸入分別耦接至從左至右排列設置的第一8個輸入(X7,X6,X5,X4,X3,X2,X1及X0),及他們第二相對應的輸入耦接至其第二輸入Y3;在第五行的8個AND閘347可對他們第一相對應的輸入執行AND運算操作而獲得他們相對應的輸出,其中第一相對應的輸入分別耦接至從左至右排列設置的第一8個輸入(X7,X6,X5,X4,X3,X2,X1及X0),及他們第二相對應的輸入耦接至其第二輸入Y4;在第六行的8個AND閘347可對他們第一相對應的輸入執行AND運算操作而獲得他們相對應的輸出,其中第一相對應的輸入分別耦接至從左至右排列設置的第一8個輸入(X7,X6,X5,X4,X3,X2,X1及X0),及他們第二相對應的輸入耦接至其第二輸入Y5;在第七行的8個AND閘347可對他們第一相對應的輸入執行AND運算操作而獲得他們相對應的輸出,其中第一相對應的輸入分別耦接至從左至右排列設置的第一8個輸入(X7,X6,X5,X4,X3,X2,X1及X0),及他們第二相對應的輸入耦接至其第二輸入Y6;在第八行的8個AND閘347可對他們第一相對應的輸入執行AND運算操作而獲得他們相對應的輸出,其中第一相對應的輸入分別耦接至從左至右排列設置的第一8個輸入(X7,X6,X5,X4,X3,X2,X1及X0),及他們第二相對應的輸入耦接至其第二輸入Y7。
如第16M圖及第16N圖所示,用於固定連接線多工器的每一單元(M)2012,在第一行中其最右邊的一AND閘347的輸出可作為其輸出P0,用於固定連接線多工器的每一該單元(M)2012,在第一行中左邊7個加法單元2016的輸出可分別耦接至第二級的7個加法單元2016的第一輸入In1,用於固定連接線多工器的每一該單元(M)2012,在第二行中右邊7個加法單元2016的輸出可分別耦接至第二級的7個加法單元2016的第二輸入In2。
如第16M圖及第16N圖,用於固定連接線多工器的每一該單元(M)2012,第一級的其7個加法單元2016,將他們的第一相對應輸入In1與第二相對應輸入In2相加而獲得他們相對應的輸出Out,同時考慮他們相對應且位在邏輯值”0”的進位輸入Cin,最右側的一個輸出作為其輸出P1,及左側6個輸出可分別耦接至第二級的7個加法單元2016中的右邊6個的第一輸入In1,及他們的相對應的進位輸出Cout分別耦接至第二級的7個加法單元2016的進位輸入Cin。用於固定連接線多工器的每一該單元(M)2012,在該第二行中最左側之AND閘347的輸出耦接至第二級的最左側的一個加法單元2016之第一輸入In1,用於固定連接線多工器的每一該單元(M)2012,在該第三行中右側7個AND閘347的輸出可分別耦接至第二級的7個加法單元2016的第二輸入In2。
如第16M圖及第16N圖所示,用於固定連接線多工器的每一該單元(M)2012,每一第二級至第六級的其7個加法單元2016,將他們的第一相對應輸入In1與第二相對應輸 入In2相加而獲得他們相對應的輸出Out,同時考慮他們相對應的進位輸入Cin,最右側的一個輸出作為其輸出P1-P6其中之一,及左側6個輸出可分別耦接至第三級至第七級中下一級(階)的7個加法單元2016的右側6個第一輸入In1,以及他們的相對應的進位輸出Cout分別耦接至第三級及第七級的下一級(階)中的7個加法單元2016的進位輸入Cin。用於固定連接線多工器的每一該單元(M)2012,在每一該第三行至第七行中最左側之AND閘347的輸出耦接至第三級及第七級的其中之一級最左側的一個加法單元2016之第一輸入In1,用於固定連接線多工器的每一該單元(M)2012,在每一該第四行至第八行中右側7個AND閘347的輸出可分別耦接至第三級及第七級的其中之一級的7個加法單元2016的第二輸入In2。
例如,如第16M圖及第16N圖所示,用於固定連接線多工器的每一該單元(M)2012,第二級的7個加法單元2016可將他們的第一相對的輸入In1與他們的第二相對應的輸入In2相加而獲得他們的相對應的輸出Out,同時需考慮他們的相對應的進位輸入Cin,最右側的一輸出可係其輸出P2及左側6個輸出分別耦接至第三級的7個加法單元2016之中右側的6個第一輸入In1,及他們的相對應的進位輸出Cout分別耦接至第三級中7個加法單元2016的進位輸入Cin。用於固定連接線多工器的每一該單元(M)2012,在第三行中最左側一AND閘347的輸出耦接至第三級中最左側一加法單元2016的第一輸入In1,用於固定連接線多工器的每一該單元(M)2012,在第四行中右側7個AND閘347的輸出可分別耦接至第三級的7個加法單元2016的第二輸入In2。
如第16M圖及第16N圖所示,用於固定連接線多工器的每一該單元(M)2012,第七級的7個加法單元2016可將他們的第一相對的輸入In1與他們的第二相對應的輸入In2相加而獲得他們的相對應的輸出Out,同時需考慮他們的相對應的進位輸入Cin,最右側的一輸出可係其輸出P7及左側6個輸出分別耦接至第八級的7個加法單元2016之中右側的6個第二輸入In2,及他們的相對應的進位輸出Cout分別耦接至第八級中7個加法單元2016的第一輸入In1。用於固定連接線多工器的每一該單元(M)2012,在第八行中最左側一AND閘347的輸出耦接至第八級中最左側一加法單元2016的第二輸入In2。
如第16M圖及第16N圖所示,用於固定連接線多工器的每一該單元(M)2012的第八級中7個加法單元2016中最右側的一加法單元2016可將其第一輸入In1與其第二輸入In2相加而獲得其輸出Out,同時需考慮其位在邏輯值”0”的進位輸入Cin,而其輸出係作為用於固定連接線多工器的每一該單元(M)2012的輸出P8,以及其進位輸出Cout耦接至用於固定連接線多工器的每一該單元(M)2012的第八級的7個加法單元2016中的第二個最右側(由左到其最右邊的一個)一加法單元2016的進位輸入Cin,用於固定連接線多工器的每一該單元(M)2012的第八級的7個加法單元2016中每一第二個最右側的一個加法單元2016到第二個最左側的一個加法單元2016,可將其第一輸入In1與其第二輸入In2相加而獲得其輸出Out,同時需考慮其相對應的進位輸入Cin,此輸出作為用於固定連接線多工器的每一該單元(M)2012的輸出P9至輸出P13其中之一輸出,以及其進位輸出Cout耦接至用於固定連接線多工器的每一該單元(M)2012的第八級的7個加法單元2016中的第三個最右側一個到最左側的一個的進位輸入Cin,即是左側至每一第二個最右側一個到第二個最左側的一個,用於固定連接線多工器的每一該單元(M)2012的第八級中7個加法單元2016的最左側的一個加法單元2016可將其第一輸入In1與其第二輸入In2相加而獲得其輸出Out,同時需考慮其進位輸入Cin,此輸出可作為用於固定連接線多工器的每一該單 元(M)2012的輸出P14,及其進位輸出Cout作為輸出P15。
用於緩存及暫存器的每一該單元(C/R)2013如第16K圖所示,其用於暫時的保存及儲存(1)用於固定連接線加法器的單元(A)2011的輸入及輸出,例如第16L圖及第16M圖中的第一級的加法單元的進位輸入Cin、其第一8位元輸入(A7,A6,A5,A4,A3,A2,A1,A0)、第二8位元輸入(B7,B6,B5,B4,B3,B2,B1,B0)及/或其9位位元的輸出(Cout,S7,S6,S5,S4,S3,S2,S1,S0);(2)用於固定連接線多工器的單元(M)2012的輸入及輸出,例如第16M圖及第16N圖中,其第一8位元輸入(X7,X6,X5,X4,X3,X2,X1,X0)、第二8位元輸入(Y7,Y6,Y5,Y4,Y3,Y2,Y1,Y0)及/或其16位元輸出(P15,P14,P13,P12,P11,P10,P9,P8,P7,P6,P5,P4,P3,P2,P1,P0);(3)用於邏輯操作運算的單元(LC)2014的輸入及輸出,即是其邏輯架構的輸出,或其邏輯架構的第二組多工器211的該些輸入的其中之一輸入。
專用於可編程交互連接(dedicated programmable-interconnection,DPI)之積體電路(IC)晶片之說明
第17圖係為根據本申請案之實施例所繪示之專用於可編程交互連接(dedicated programmable-interconnection,DPI)之積體電路(IC)晶片之上視圖。請參照第17圖,專用於可編程交互連接(DPI)之積體電路(IC)晶片410係利用較先進之半導體技術世代進行設計及製造,例如是先進於或小於或等於30nm、20nm或10nm之製程,由於採用成熟的半導體技術世代,故在追求製造成本極小化的同時,可讓晶片尺寸及製造良率最適化。專用於可編程交互連接(DPI)之積體電路(IC)晶片410之面積係介於400mm2至9mm2之間、介於225mm2至9mm2之間、介於144mm2至16mm2之間、介於100mm2至16mm2之間、介於75mm2至16mm2之間或介於50mm2至16mm2之間。應用先進半導體技術世代之專用於可編程交互連接(DPI)之積體電路(IC)晶片410所使用之電晶體或半導體元件可以是鰭式場效電晶體(FINFET)、絕緣層上長矽之鰭式場效電晶體(FINFET SOI)、全空乏型之絕緣層上長矽之金屬氧化物半導體之場效電晶體(FDSOI MOSFET)、半空乏型之絕緣層上長矽之金屬氧化物半導體之場效電晶體(PDSOI MOSFET)或傳統的金屬氧化物半導體之場效電晶體。
請參見第17圖,由於專用於可編程交互連接(DPI)之積體電路(IC)晶片410係為商品化標準IC晶片,故專用於可編程交互連接(DPI)之積體電路(IC)晶片410僅需減少至少量類型即可,因此採用先進之半導體技術世代製造之專用於可編程交互連接(DPI)之積體電路(IC)晶片410所需的昂貴光罩或光罩組在數量上可以減少,用於一半導體技術世代之光罩組可以減少至3組至20組之間、3組至10組之間或是3組至5組之間,其一次性工程費用(NRE)也會大幅地減少。由於專用於可編程交互連接(DPI)之積體電路(IC)晶片410之類型很少,因此製造過程可以最適化達到非常高的製造晶片產能。再者,可以簡化晶片的存貨管理,達到高效能及高效率之目標,故可縮短晶片交貨時間,是非常具成本效益的。
請參見第17圖,各種類型之專用於可編程交互連接(DPI)之積體電路(IC)晶片410包括:(1)多個記憶體矩陣區塊423,係以陣列的方式排列於其中間區域;(2)如第11A圖、第11B圖、第11C圖或第11D圖所描述之多組的交叉點開關379,其中每一組係在記憶體矩陣區塊423其中之一個的周圍環繞成一環或多環的樣式;以及(3)如第13B圖所描述之多個小型I/O電路203,其中每一個的輸出S_Data_in係經由可編程交互連接線361其中之一條耦接其中之一個如第11A圖至第11C圖所繪示之交叉點開關379之節點N23-N26其中之一個或是經由可編程交互連 接線361其中另一條耦接其中之一個如第11D圖所繪示之交叉點開關379之輸入D0-D15其中之一個,及輸出S_Data_out係經由可編程交互連接線361其中另一條耦接至如第11A圖至第11C圖中其另一交叉點開關379的節點N23至節點N16其中之一節點,或是經由另一可編程交互連接線361耦接至如第11D圖中其另一交叉點開關379的輸出Dout,在每個記憶體矩陣區塊423為複數個記憶體單元362,每一記憶體矩陣區塊423可以係(1)如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖、第5A圖至第5F圖中的非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760或800,其具有輸出N0耦接至如第11A圖、第11B圖及第15A圖之一交叉點開關379的其中之一通過/不通過開關258,其中交叉點開關379靠近每一該記憶體矩陣區塊423,以使非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760或800可開啟或關閉其中之一通過/不通過開關258;(2)如第6E圖或第6G圖非揮發性記憶體(NVM)單元900具有輸出M3及輸出M12耦接至如第11A圖、第11B圖及第15A圖之一交叉點開關379的其中之一通過/不通過開關258,其中交叉點開關379靠近每一該記憶體矩陣區塊423,以使非揮發性記憶體(NVM)單元900可開啟或關閉其中之一通過/不通過開關258;(3)如第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖非揮發性記憶體(NVM)單元910具有輸出M3、M12、M9或M18耦接至如第11A圖、第11B圖及第15A圖之一交叉點開關379的其中之一通過/不通過開關258,其中交叉點開關379靠近每一該記憶體矩陣區塊423,以使非揮發性記憶體(NVM)單元910可開啟或關閉其中之一通過/不通過開關258;或(4)如第9A圖或第9B圖鎖存非揮發性記憶體(NVM)單元940或950具有輸出L3或L12耦接至如第11A圖、第11B圖及第15A圖之一交叉點開關379的其中之一通過/不通過開關258,其中交叉點開關379靠近每一該記憶體矩陣區塊423,以使鎖存非揮發性記憶體(NVM)單元940或950可開啟或關閉其中之一通過/不通過開關258。
或者,在每個記憶體矩陣區塊423為複數個記憶體單元362,每一記憶體單元362可以係(1)如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖、第5A圖至第5F圖中的非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760或800,其具有輸出N0耦接至第二組的其中之一輸入(即是A0及A1)及第11C圖及第15B圖中其中之一交叉點開關379的其中之一多工器211的輸入SC-4,其中交叉點開關379靠近每一該記憶體矩陣區塊423;(2)如第6E圖或第6G圖非揮發性記憶體(NVM)單元900具有輸出M3及輸出M12耦接至第二組的其中之一輸入(即是A0及A1)及第11C圖及第15B圖中其中之一交叉點開關379的其中之一多工器211的輸入SC-4,其中交叉點開關379靠近每一該記憶體矩陣區塊423;(3)如第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖非揮發性記憶體(NVM)單元910具有輸出M3、M12、M9或M18耦接至第二組的其中之一輸入(即是A0及A1)及第11C圖及第15B圖中其中之一交叉點開關379的其中之一多工器211的輸入SC-4,其中交叉點開關379靠近每一該記憶體矩陣區塊423;或(4)如第9A圖或第9B圖鎖存非揮發性記憶體(NVM)單元940或950具有輸出L3或L12耦接至第二組的其中之一輸入(即是A0及A1)及第11C圖及第15B圖中其中之一交叉點開關379的其中之一多工器211的輸入SC-4,其中交叉點開關379靠近每一該記憶體矩陣區塊423。或者,在每個記憶體矩陣區塊423為複數個記憶體單元362,每一記憶體單元362可以係(1)如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖、第5A圖至第5F圖中的非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760或800,其具有輸出N0耦接至第11D圖及第15C圖中其中之一交叉點開關379的其中之一第二組多工器211的其中之一輸入(即 是A0至A3),其中交叉點開關379靠近每一該記憶體矩陣區塊423;(2)如第6E圖或第6G圖非揮發性記憶體(NVM)單元900具有輸出M3及輸出M12耦接至第11D圖及第15C圖中其中之一交叉點開關379的其中之一第二組多工器211的其中之一輸入(即是A0至A3),其中交叉點開關379靠近每一該記憶體矩陣區塊423;(3)如第7E圖、第7G圖、第7H圖或第7J圖非揮發性記憶體(NVM)單元910具有輸出M3、M12、M9或M18耦接至第11D圖及第15C圖中其中之一交叉點開關379的其中之一第二組多工器211的其中之一輸入(即是A0至A3),其中交叉點開關379靠近每一該記憶體矩陣區塊423;或(4)如第9A圖或第9B圖鎖存非揮發性記憶體(NVM)單元940或950具有輸出L3或L12耦接至第11D圖及第15C圖中其中之一交叉點開關379的其中之一第二組多工器211的其中之一輸入(即是A0至A3),其中交叉點開關379靠近每一該記憶體矩陣區塊423。
請參見第17圖,DPI IC晶片410包括多條晶片內交互連接線(未繪示),其中每一條可以在相鄰兩個記憶體矩陣區塊423之間的上方空間延伸,且可以是如第15A圖至第15C圖所描述之可編程交互連接線361或是固定交互連接線364。DPI IC晶片410之如第13B圖所描述之小型I/O電路203其每一個之輸出S_Data_in係耦接至一或多條之可編程交互連接線361及/或一或多條之固定交互連接線364,其每一個之輸入S_Data_out、S_Enable或S_Inhibit係耦接至其他一或多條之可編程交互連接線361及/或其他一或多條之固定交互連接線364。
請參見第17圖,DPI IC晶片410可以包括多個I/O金屬接墊372,如第13B圖所描述的內容,其每一個係垂直地設在其中之一小型I/O電路203上方,並連接該其中之一小型I/O電路203之節點381。在第一時脈中,來自如第11A圖至第11C圖、第15A圖及第15B圖所繪示之交叉點開關379之節點N23-N26其中之一的訊號,或是如第11D圖及第15C圖所繪示之交叉點開關379之輸出Dout,可以經由其中之一或多條之可編程交互連接線361傳送至其中之一小型I/O電路203之小型驅動器374之輸入S_Data_out,該其中之一小型I/O電路203之小型驅動器374可以放大其輸入S_Data_out至垂直地位在該其中之一小型I/O電路203之上方的I/O金屬接墊372以傳送至DPI IC晶片410之外部的電路。在第二時脈中,來自DPI IC晶片410之外部的電路之訊號可經由該I/O金屬接墊372傳送至該其中之一小型I/O電路203之小型接收器375,該其中之一小型I/O電路203之小型接收器375可以放大該訊號至其輸出S_Data_in,經由其中另一或多條之可編程交互連接線361可以傳送至其他的如第11A圖至第11C圖、第15A圖及第15B圖所繪示之交叉點開關379之節點N23-N26其中之一,或者可以傳送至其他的如第11D圖及第15C圖所繪示之交叉點開關379之輸入D0-D15其中之一個。請參見第17圖,DPI IC晶片410還包括(1)多個電源接墊205,可以經由一或多條之固定交互連接線364施加電源供應電壓Vcc至如第15A圖至第15C圖所描述之用於交叉點開關379之記憶體單元362,其中電源供應電壓Vcc可以是介於0.2伏特至2.5伏特之間、介於0.2伏特至2伏特之間、介於0.2伏特至1.5伏特之間、介於0.1伏特至1伏特之間、介於0.2伏特至1伏特之間或是小於或等於2.5伏特、2伏特、1.8伏特、1.5伏特或1伏特;以及(2)多個接地接墊206,可以經由一或多條之固定交互連接線364傳送接地參考電壓Vss至如第15A圖至第15C圖所描述之用於交叉點開關379之記憶體單元362。
專用於輸入/輸出(I/O)之晶片的說明
第18圖係為根據本申請案之實施例所繪示之專用於輸入/輸出(I/O)之晶片的方塊圖。請參照第18圖,專用於輸入/輸出(I/O)之晶片265包括複數個大型I/O電路341(僅繪示其中之一個)及複數個小型I/O電路203(僅繪示其中之一個)。大型I/O電路341可以參考如第13A圖所 敘述之內容,小型I/O電路203可以參考如第5B圖所敘述之內容。
請參照第13A圖、第13B圖及第18圖,每一大型I/O電路341之大型驅動器274之輸入L_Data_out係耦接其中之一小型I/O電路203之小型接收器375之輸出S_Data_in。每一大型I/O電路341之大型接收器275之輸出L_Data_in係耦接其中之一小型I/O電路203之小型驅動器374之輸入S_Data_out。當利用訊號(L_Enable)致能大型驅動器274且同時利用訊號(S_Inhibit)啟動小型接收器375時,會利用訊號(L_Inhibit)抑制大型接收器275且同時利用訊號(S_Enable)禁能小型驅動器374,此時資料可以從小型I/O電路203之I/O金屬接墊372依序經過小型接收器375及大型驅動器274傳送至大型I/O電路341之I/O接墊272。當利用訊號(L_Inhibit)啟動大型接收器275且同時利用訊號(S_Enable)致能小型驅動器374時,會利用訊號(L_Enable)禁能大型驅動器274且同時利用訊號(S_Inhibit)抑制小型驅動器374,此時資料可以從大型I/O電路341之I/O接墊272依序經過大型接收器275及小型驅動器374傳送至小型I/O電路203之I/O金屬接墊372。
邏輯驅動器之說明
各種的商品化標準邏輯驅動器(亦可稱為邏輯運算封裝結構、邏輯運算封裝驅動器、邏輯運算裝置、邏輯運算模組、邏輯運算碟片或邏輯運算碟片驅動器等)係介紹如下:
I.第一型之邏輯驅動器
第19A圖係為根據本申請案之實施例所繪示之第一型商品化標準邏輯驅動器之上視示意圖。請參見第19A圖,商品化標準邏輯驅動器300可以封裝有複數個如第16A圖至第16J圖所描述之標準商業化FPGA IC晶片200、一或多個的動態隨機記憶體(DRAM積體電路(IC)晶片321及一專用控制晶片260,排列成陣列的形式,其中專用控制晶片260係由標準商業化FPGA IC晶片200及DRAM IC晶片321所包圍環繞,且可以位在DRAM IC晶片321之間及/或標準商業化FPGA IC晶片200之間。位在商品化標準邏輯驅動器300之右側中間的DRAM IC晶片321可以設於位在商品化標準邏輯驅動器300之右側上面及右側下面的二標準商業化FPGA IC晶片200之間。位在商品化標準邏輯驅動器300的左側中間一DRAM IC晶片321可配置設置在商品化標準邏輯驅動器300之左側上面及商品化標準邏輯驅動器300之左側下面的二標準商業化FPGA IC晶片200之間。標準商業化FPGA IC晶片200其中數個可以在商品化標準邏輯驅動器300之上側排列成一條線。標準商業化FPGA IC晶片200其中數個可以在商品化標準邏輯驅動器300之下側排列成一條線。
請參見第19A圖,商品化標準邏輯驅動器300可以包括多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371,其中每一條可以在標準商業化FPGA IC晶片200、DRAM IC晶片321及專用控制晶片260其中相鄰的兩個之間的上方空間中延伸。商品化標準邏輯驅動器300可以包括複數個DPI IC晶片410,對準於垂直延伸之一束晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371及水平延伸之一束晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之交叉點處,每一DPI IC晶片410之周圍角落處係設有標準商業化FPGA IC晶片200、DRAM IC晶片321及專用控制晶片260其中四個。舉例而言,位在專用控制晶片260之左上角處的第一個DPI IC晶片410與位在該第一個DPI IC晶片410左上角處的第一個標準商業化FPGA IC晶片200之間的最短距離即為第一個標準商業化FPGA IC晶片200之右下角與第一個DPI IC晶片410之左上角之間的距離;第一個DPI IC晶片410與位在該第一個DPI IC晶片410右上角處的第二個標準商業化FPGA IC晶片200之間的最短距離即為第二個 標準商業化FPGA IC晶片200之左下角與第一個DPI IC晶片410之右上角之間的距離;第一個DPI IC晶片410與位在該第一個DPI IC晶片410左下角處的DRAM IC晶片321之間的最短距離即為DRAM IC晶片321之右上角與第一個DPI IC晶片410之左下角之間的距離;第一個DPI IC晶片410與位在該第一個DPI IC晶片410右下角處的專用控制晶片260之間的最短距離即為專用控制晶片260之左上角與第一個DPI IC晶片410之右下角之間的距離。
請參見第19A圖,每一晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371可以是如第15A圖至第15F圖及所描述之可編程交互連接線361或固定交互連接線364,並可參見前述之“可編程交互連接線之說明”及“固定交互連接線之說明”。訊號之傳輸可以(1)經由標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203,在晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361與標準商業化FPGA IC晶片200之晶片內交互連接線502之可編程交互連接線361之間進行;或者(2)經由DPI IC晶片410之小型I/O電路203,在晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361與DPI IC晶片410之晶片內交互連接線之可編程交互連接線361之間進行。訊號之傳輸可以(1)經由標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203,在晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364與標準商業化FPGA IC晶片200之晶片內交互連接線502之固定交互連接線364之間進行;或者(2)經由DPI IC晶片410之小型I/O電路203,在晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364與DPI IC晶片410之晶片內交互連接線之固定交互連接線364之間進行。
請參見第19A圖,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的DPI IC晶片410,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至專用控制晶片260,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至二個DRAM IC晶片321,晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371的一或多個可編程交互連接線361或一或多個固定交互連接線364耦接來自於每一標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200至其它的標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200,使每一標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200相互連接。每一個的DPI IC晶片410可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至二個DRAM IC晶片321,每一個的DPI IC晶片410可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至其它的DPI IC晶片410。每一個的DRAM IC晶片321可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至專用控制晶片260。每一個的DRAM IC晶片321可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至其它的DRAM IC晶片321。
因此,請參見第19A圖,第一個的標準商業化FPGA IC晶片200之第一個的可編程邏輯區塊(LB)201(如第14A圖或第14H圖中的可編程邏輯區塊(LB)201),其輸出Dout可以經由其中之一個的DPI IC晶片410之交叉點開關379傳送至第二個的標準商業化FPGA IC晶片200之第二個的可編程邏輯區塊(LB)201之輸入A0-A3其中之一個。據此,第一個的可編程邏輯區塊(LB)201之輸出Dout傳送至第二個的可編程邏輯區塊(LB)201之輸入A0-A3其中之一個之過 程係依序地經過(1)第一個的標準商業化FPGA IC晶片200之晶片內交互連接線502之可編程交互連接線361、(2)第一組之晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361、(3)該其中之一個的DPI IC晶片410之第一組之晶片內交互連接線之可編程交互連接線361、(4)該其中之一個的DPI IC晶片410之交叉點開關379、(5)該其中之一個的DPI IC晶片410之第二組之晶片內交互連接線之可編程交互連接線361、(6)第二組之晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361、以及(2)第二個的標準商業化FPGA IC晶片200之晶片內交互連接線502之可編程交互連接線361。
或者,請參見第19A圖,其中之一個的標準商業化FPGA IC晶片200之第一個的可編程邏輯區塊(LB)201(如第14A圖或第14H圖中的可編程邏輯區塊(LB)201),其輸出Dout可以經由其中之一個的DPI IC晶片410之交叉點開關379傳送至該其中之一個的標準商業化FPGA IC晶片200之第二個的可編程邏輯區塊(LB)201之輸入A0-A3其中之一個。據此,第一個的可編程邏輯區塊(LB)201之輸出Dout傳送至第二個的可編程邏輯區塊(LB)201之輸入A0-A3其中之一個之過程係依序地經過(1)該其中之一個的標準商業化FPGA IC晶片200之第一組之晶片內交互連接線502之可編程交互連接線361、(2)第一組之晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361、(3)該其中之一個的DPI IC晶片410之第一組之晶片內交互連接線之可編程交互連接線361、(4)該其中之一個的DPI IC晶片410之交叉點開關379、(5)該其中之一個的DPI IC晶片410之第二組之晶片內交互連接線之可編程交互連接線361、(6)第二組之晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361、以及(7)該其中之一個的標準商業化FPGA IC晶片200之第二組之晶片內交互連接線502之可編程交互連接線361。
請參見第19A圖,商品化標準邏輯驅動器300可以包括多個專用I/O晶片265,位在商品化標準邏輯驅動器300之周圍區域,其係環繞商品化標準邏輯驅動器300之中間區域,其中商品化標準邏輯驅動器300之中間區域係容置有標準商業化FPGA IC晶片200、DRAM IC晶片321、專用控制晶片260及DPI IC晶片410。每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265,每一個的DPI IC晶片410可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265,其中之一DRAM IC晶片321可以經由晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371的一或多條可編程交互連接線361及一或多條固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265,專用控制晶片260可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265。每一專用I/O晶片265可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至其它的專用I/O晶片265。
請參見第19A圖,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以參考如第16A圖至第16J圖所揭露之內容,而每一個的DPI IC晶片410可以參考如第17圖所揭露之內容。
請參見第19A圖,每一個專用I/O晶片265及專用控制晶片260可以利用較舊或較成熟之半導體技術世代進行設計及製造,例如是舊於或大於或等於40nm、50nm、90nm、130nm、250nm、350nm或500nm之技術製程。在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,每一個專用I/O晶片265及專用控制晶片260所採用的半導體技術世代可以是比每一個的標準商業 化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410所採用的半導體技術世代晚於或舊於1個世代、2個世代、3個世代、4個世代、5個世代或超過5個世代。
請參見第19A圖,每一個專用I/O晶片265及專用控制晶片260所使用的電晶體或半導體元件可以是全空乏型之絕緣層上長矽之金屬氧化物半導體之場效電晶體(FDSOI MOSFET)、半空乏型之絕緣層上長矽之金屬氧化物半導體之場效電晶體(PDSOI MOSFET)或傳統的金屬氧化物半導體之場效電晶體。在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265及專用控制晶片260之電晶體或半導體元件可以是不同於用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之電晶體或半導體元件。舉例而言,在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265及專用控制晶片260之電晶體或半導體元件可以是傳統的金屬氧化物半導體之場效電晶體,而用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之電晶體或半導體元件可以是鰭式場效電晶體(FINFET);或者,在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265及專用控制晶片260之電晶體或半導體元件可以是全空乏型之絕緣層上長矽之金屬氧化物半導體之場效電晶體(FDSOI MOSFET),而用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之電晶體或半導體元件可以是鰭式場效電晶體(FINFET)。
如第19A圖所示,商品化標準邏輯驅動器300可包括用於處理及/或計算的高速存取資料功用之一或多個高速DRAM IC晶片321,每一DRAM IC晶片321所使用的製造技術或節點係先進於或小於40nm,例如是40nm、30nm、20nm、15nm或10nm。每一DRAM IC晶片321的密度(density)係大於或等於64M(Mb)、128Mb、256Mb、1Gb、4Gb、8Gb、16Gb、32Gb、128Gb、256Gb或512Gb。需要處理或計算的資料可從儲存在DRAM IC晶片321內的資料取得或存取,而來自於標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200的處理或計算產生的結果數據可儲存在DRAM IC晶片321。
請參見第19A圖,在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265及專用控制晶片260之電源供應電壓Vcc可以是大於或等於1.5V、2V、2.5V、3V、3.5V、4V或5V,而用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之電源供應電壓Vcc可以是介於0.2V至2.5V之間、介於0.2V至2V之間、介於0.2V至1.5V之間、介於0.1V至1V之間、介於0.2V至1V之間或是小於或等於2.5V、2V、1.8V、1.5V或1V。在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265及專用控制晶片260之電源供應電壓Vcc可以是不同於用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之電源供應電壓Vcc。舉例而言,在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265及專用控制晶片260之電源供應電壓Vcc可以是4V,而用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之電源供應電壓Vcc可以是1.5V;或者,封裝在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265及專用控制晶片260之電源供應電壓Vcc可以是2.5V,而用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之電源供應電壓Vcc可以是0.75V。
請參見第19A圖,在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265及專用控制晶片260之半導體元件之場效電晶體(FET)之閘極氧化物之物理厚度係大於或等於5nm、6nm、7.5nm、10nm、12.5nm或15nm,而用於每一個的標準商業化FPGA IC 晶片200及每一個的DPI IC晶片410之場效電晶體(FET)之閘極氧化物之物理厚度係小於或等於4.5nm、4nm、3nm或2nm。在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265及專用控制晶片260之半導體元件之場效電晶體(FET)之閘極氧化物之物理厚度係不同於用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之場效電晶體(FET)之閘極氧化物之物理厚度。舉例而言,在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265及專用控制晶片260之半導體元件之場效電晶體(FET)之閘極氧化物之物理厚度可以是10nm,而用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之場效電晶體(FET)之閘極氧化物之物理厚度可以是3nm;或者,在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265及專用控制晶片260之半導體元件之場效電晶體(FET)之閘極氧化物之物理厚度可以是7.5nm,而用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之場效電晶體(FET)之閘極氧化物之物理厚度可以是2nm。
請參見第19A圖,在商品化標準邏輯驅動器300中多晶片封裝的每一專用I/O晶片265(如第18圖所示)可設置具有如第13A圖及第18圖所揭露之複數個大型I/O電路341及I/O接墊272,使商品化標準邏輯驅動器300用於一或多個(2個、3個、4個或多於4個)的通用序列匯流排(USB)連接埠、一或多個IEEE 1394連接埠、一或多個乙太網路連接埠、一或多個HDMI連接埠、一或多個VGA連接埠、一或多個音源連接端或串行連接埠(例如RS-232或通訊(COM)連接埠)、無線收發I/O連接埠及/或藍芽收發器I/O連接埠等。每一個的專用I/O晶片265可以包括如第13A圖及第18圖中的複數個大型I/O電路341及I/O接墊272,供商品化標準邏輯驅動器300用於串行高級技術附件接介面(SATA)連接埠或周邊零件連接介面(PCIe)連接埠,以連結一記憶體驅動器。
請參見第19A圖,標準商業化FPGA IC晶片200可以具有如下所述之標準規格或特性:(1)每一個的標準商業化FPGA IC晶片200之可編程邏輯區塊(LB)201之數目可以是大於或等於16K、64K、256K、512K、1M、4M、16M、64M、256M、1G或4G;(2)每一個的標準商業化FPGA IC晶片200之可編程邏輯區塊(LB)201其中每一個之輸入的數目可以是大於或等於4、8、16、32、64、128或256;(3)施加至每一個的標準商業化FPGA IC晶片200之電源接墊205之電源供應電壓(Vcc)可以是介於0.2V至2.5V之間、介於0.2V至2V之間、介於0.2V至1.5V之間、介於0.1V至1V之間、介於0.2V至1V之間或是小於或等於2.5V、2V、1.8V、1.5V或1V;(4)所有標準商業化FPGA IC晶片200之I/O金屬接墊372具有相同的布局及數目,且在所有標準商業化FPGA IC晶片200之相同相對位置上的I/O金屬接墊372具有相同的功能。
II.第二型之邏輯驅動器
第19B圖係為根據本申請案之實施例所繪示之第二型商品化標準邏輯驅動器之上視示意圖。請參見第19B圖,專用控制晶片260與專用I/O晶片265之功能可以結合至一專用控制及I/O晶片266中,亦即為專用控制及I/O晶片,用以執行上述專用控制晶片260之功能與專用I/O晶片265之功能,故專用控制及I/O晶片266具有如第18圖所繪示的電路結構。如第19A圖所繪示的專用控制晶片260可以由專用控制及I/O晶片266取代,設在專用控制晶片260所放置的位置,如第19B圖所示。針對繪示於第19A圖及第19B圖中的相同標號所指示的元件,繪示於第19B圖中的該元件可以參考該元件於第19A圖中的說明。
針對線路的連接而言,請參見第19B圖,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至專用控制及I/O晶片266,每一個的DPI IC晶片410可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至專用控制及I/O晶片266,專用控制及I/O晶片266可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265,且專用控制及I/O晶片266可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至二個DRAM IC晶片321。
請參見第19B圖,每一個專用I/O晶片265及專用控制及I/O晶片266可以利用較舊或較成熟之半導體技術世代進行設計及製造,例如是舊於或大於或等於40nm、50nm、90nm、130nm、250nm、350nm或500nm之技術製程。在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,每一個專用I/O晶片265及專用控制及I/O晶片266所採用的半導體技術世代可以是比每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410所採用的半導體技術世代晚於或舊於1個世代、2個世代、3個世代、4個世代、5個世代或超過5個世代。
請參見第19B圖,每一個專用I/O晶片265及專用控制及I/O晶片266所使用的電晶體或半導體元件可以是全空乏型之絕緣層上長矽之金屬氧化物半導體之場效電晶體(FDSOI MOSFET)、半空乏型之絕緣層上長矽之金屬氧化物半導體之場效電晶體(PDSOI MOSFET)或傳統的金屬氧化物半導體之場效電晶體。在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265及專用控制及I/O晶片266之電晶體或半導體元件可以是不同於用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之電晶體或半導體元件。舉例而言,在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265及專用控制及I/O晶片266之電晶體或半導體元件可以是傳統的金屬氧化物半導體之場效電晶體,而用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之電晶體或半導體元件可以是鰭式場效電晶體(FINFET);或者,在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265及專用控制及I/O晶片266之電晶體或半導體元件可以是全空乏型之絕緣層上長矽之金屬氧化物半導體之場效電晶體(FDSOI MOSFET),而用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之電晶體或半導體元件可以是鰭式場效電晶體(FINFET)。
請參見第19B圖,在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265及專用控制及I/O晶片266之電源供應電壓Vcc可以是大於或等於1.5V、2V、2.5V、3V、3.5V、4V或5V,而用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之電源供應電壓Vcc可以是介於0.2V至2.5V之間、介於0.2V至2V之間、介於0.2V至1.5V之間、介於0.1V至1V之間、介於0.2V至1V之間或是小於或等於2.5V、2V、1.8V、1.5V或1V。在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265及專用控制及I/O晶片266之電源供應電壓Vcc可以是不同於用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之電源供應電壓Vcc。舉例而言,在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265及專用控制及I/O晶片266之電源供應電壓Vcc可以是4V,而用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之電源供應電壓Vcc可以是1.5V;或者,在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專 用I/O晶片265及專用控制及I/O晶片266之電源供應電壓Vcc可以是2.5V,而用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之電源供應電壓Vcc可以是0.75V。
請參見第19B圖,在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265及專用控制及I/O晶片266之半導體元件之場效電晶體(FET)之閘極氧化物之物理厚度係大於或等於5nm、6nm、7.5nm、10nm、12.5nm或15nm,而用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之場效電晶體(FET)之閘極氧化物之物理厚度係小於等於4.5nm、4nm、3nm或2nm。在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265及專用控制及I/O晶片266之半導體元件之場效電晶體(FET)之閘極氧化物之物理厚度係不同於用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之場效電晶體(FET)之閘極氧化物之物理厚度。舉例而言,在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265及專用控制及I/O晶片266之半導體元件之場效電晶體(FET)之閘極氧化物之物理厚度可以是10nm,而用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之場效電晶體(FET)之閘極氧化物之物理厚度可以是3nm;或者,在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265及專用控制及I/O晶片266之半導體元件之場效電晶體(FET)之閘極氧化物之物理厚度可以是7.5nm,而用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之場效電晶體(FET)之閘極氧化物之物理厚度可以是2nm。
III.第三型之邏輯驅動器
第19C圖係為根據本申請案之實施例所繪示之第三型商品化標準邏輯驅動器之上視示意圖。如第19C圖所繪示之結構係類似如第19A圖所繪示之結構,不同處係在於創新的專用積體電路(ASIC)或客戶自有工具(COT)晶片402(以下簡寫為IAC晶片)還可以設在商品化標準邏輯驅動器300中。針對繪示於第19A圖及第19C圖中的相同標號所指示的元件,繪示於第19C圖中的該元件可以參考該元件於第19A圖中的說明。
請參見第19C圖,IAC晶片402可包括智財(IP)電路、專用電路、邏輯電路、混合型訊號電路、射頻電路、傳送器電路、接收器電路及/或收發器電路等。每一個專用I/O晶片265、專用控制晶片260及IAC晶片402可以利用較舊或較成熟之半導體技術世代進行設計及製造,例如是舊於或大於或等於40nm、50nm、90nm、130nm、250nm、350nm或500nm之技術製程。或者,先進的半導體技術世代亦可以用於製造IAC晶片402,例如是利用先進於或小於或等於40nm、20nm或10nm之半導體技術世代來製造IAC晶片402。在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,每一個專用I/O晶片265、專用控制晶片260及IAC晶片402所採用的半導體技術世代可以是比每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410所採用的半導體技術世代晚於或舊於1個世代、2個世代、3個世代、4個世代、5個世代或超過5個世代。IAC晶片402所使用的電晶體或半導體元件可以是鰭式場效電晶體(FINFET)、絕緣層上長矽之鰭式場效電晶體(FINFET SOI)、全空乏型之絕緣層上長矽之金屬氧化物半導體之場效電晶體(FDSOI MOSFET)、半空乏型之絕緣層上長矽之金屬氧化物半導體之場效電晶體(PDSOI MOSFET)或傳統的金屬氧化物半導體之場效電晶體。在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265、專用控制晶片260及IAC晶片402之電晶體或半導體元件可以是不同於用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之電晶體或半導體元件。舉例而言,在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265、專用控制晶 片260及IAC晶片402之電晶體或半導體元件可以是傳統的金屬氧化物半導體之場效電晶體,而用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之電晶體或半導體元件可以是鰭式場效電晶體(FINFET);或者,在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265、專用控制晶片260及IAC晶片402之電晶體或半導體元件可以是全空乏型之絕緣層上長矽之金屬氧化物半導體之場效電晶體(FDSOI MOSFET),而用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之電晶體或半導體元件可以是鰭式場效電晶體(FINFET)。
在本實施例中,由於IAC晶片402可以利用較舊或較成熟之半導體技術世代進行設計及製造,例如是舊於或大於或等於40nm、50nm、90nm、130nm、250nm、350nm或500nm之技術製程,因此其一次性工程費用(NRE)會少於傳統利用先進半導體技術世代(例如是先進於或是小於或等於30nm、20nm或10nm)所設計或製造的專用積體電路(ASIC)或客戶自有工具(COT)晶片。舉例而言,利用先進半導體技術世代(例如是先進於或是小於或等於30nm、20nm或10nm)設計或製造的專用積體電路(ASIC)或客戶自有工具(COT)晶片所需的一次性工程費用(NRE)可能會超過5百萬美金、一千萬美金、兩千萬美金或甚至超過5千萬美金或1億美金。在16nm技術世代時,用於專用積體電路(ASIC)或客戶自有工具(COT)晶片所需的光罩組之成本會超過2百萬美金、5百萬美金或1千萬美金,然而若是利用本實施例之第三型商品化標準邏輯驅動器300,則可以配設有利用較舊半導體世代所製造的IAC晶片402,即可達成相同或類似的創新或應用,故其一次性工程費用(NRE)可以減少至少於一千萬美金、7百萬美金、5百萬美金、3百萬美金或1百萬美金。相較於現今或傳統的專用積體電路(ASIC)或客戶自有工具(COT)晶片之實現,在第三型商品化標準邏輯驅動器300中達成相同或類似創新或應用所需的IAC晶片402之一次性工程費用(NRE)可以少超過2倍、5倍、10倍、20倍或30倍。
針對線路的連接而言,請參見第19C圖,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至IAC晶片402,每一個的DPI IC晶片410可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至IAC晶片402,IAC晶片402可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265,IAC晶片402可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至專用控制晶片260,且IAC晶片402可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至二個DRAM IC晶片321。
IV.第四型之邏輯驅動器
第19D圖係為根據本申請案之實施例所繪示之第四型商品化標準邏輯驅動器之上視示意圖。請參見第19D圖,專用控制晶片260與IAC晶片402之功能可以結合至一DCIAC晶片267中,亦即為專用控制及IAC晶片(以下簡寫為DCIAC晶片),用以執行上述專用控制晶片260之功能與IAC晶片402之功能。如第19D圖所繪示之結構係類似如第19A圖所繪示之結構,不同處係在於DCIAC晶片267還可以設在商品化標準邏輯驅動器300中。如第19A圖所繪示的專用控制晶片260可以由DCIAC晶片267取代,設在專用控制晶片260所放置的位置,如第19D圖所示。針對繪示於第19A圖及第19D圖中的相同標號所指示的元件,繪示於第19D圖中 的該元件可以參考該元件於第19A圖中的說明。DCIAC晶片267可包括控制電路、智財(IP)電路、專用電路、邏輯電路、混合型訊號電路、射頻電路、傳送器電路、接收器電路及/或收發器電路等。
請參見第19D圖,每一個專用I/O晶片265及DCIAC晶片267可以利用較舊或較成熟之半導體技術世代進行設計及製造,例如是舊於或大於或等於40nm、50nm、90nm、130nm、250nm、350nm或500nm之技術製程。或者,先進的半導體技術世代亦可以用於製造DCIAC晶片267,例如是利用先進於或小於或等於40nm、20nm或10nm之半導體技術世代來製造DCIAC晶片267。在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,每一個專用I/O晶片265及DCIAC晶片267所採用的半導體技術世代可以是比每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410所採用的半導體技術世代晚於或舊於1個世代、2個世代、3個世代、4個世代、5個世代或超過5個世代。DCIAC晶片267所使用的電晶體或半導體元件可以是鰭式場效電晶體(FINFET)、絕緣層上長矽之鰭式場效電晶體(FINFET SOI)、全空乏型之絕緣層上長矽之金屬氧化物半導體之場效電晶體(FDSOI MOSFET)、半空乏型之絕緣層上長矽之金屬氧化物半導體之場效電晶體(PDSOI MOSFET)或傳統的金屬氧化物半導體之場效電晶體。在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265及DCIAC晶片267之電晶體或半導體元件可以是不同於用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之電晶體或半導體元件。舉例而言,在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265及DCIAC晶片267之電晶體或半導體元件可以是傳統的金屬氧化物半導體之場效電晶體,而用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之電晶體或半導體元件可以是鰭式場效電晶體(FINFET);或者,在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265及DCIAC晶片267之電晶體或半導體元件可以是全空乏型之絕緣層上長矽之金屬氧化物半導體之場效電晶體(FDSOI MOSFET),而用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之電晶體或半導體元件可以是鰭式場效電晶體(FINFET)。
在本實施例中,由於DCIAC晶片267可以利用較舊或較成熟之半導體技術世代進行設計及製造,例如是舊於或大於或等於40nm、50nm、90nm、130nm、250nm、350nm或500nm之技術製程,因此其一次性工程費用(NRE)會少於傳統利用先進半導體技術世代(例如是先進於或是小於或等於30nm、20nm或10nm)所設計或製造的專用積體電路(ASIC)或客戶自有工具(COT)晶片。舉例而言,利用先進半導體技術世代(例如是先進於或是小於或等於30nm、20nm或10nm)設計或製造的專用積體電路(ASIC)或客戶自有工具(COT)晶片所需的一次性工程費用(NRE)可能會超過5百萬美金、一千萬美金、兩千萬美金或甚至超過5千萬美金或1億美金。在16nm技術世代時,用於專用積體電路(ASIC)或客戶自有工具(COT)晶片所需的光罩組之成本會超過2百萬美金、5百萬美金或1千萬美金,然而若是利用本實施例之第四型商品化標準邏輯驅動器300,則可以配設有利用較舊半導體世代所製造的DCIAC晶片267,即可達成相同或類似的創新或應用,故其一次性工程費用(NRE)可以減少至少於一千萬美金、7百萬美金、5百萬美金、3百萬美金或1百萬美金。相較於現今或傳統的專用積體電路(ASIC)或客戶自有工具(COT)晶片之實現,在第四型商品化標準邏輯驅動器300中達成相同或類似創新或應用所需的DCIAC晶片267之一次性工程費用(NRE)可以少超過2倍、5倍、10倍、20倍或30倍。
針對線路的連接而言,請參見第19D圖,每一個的標準商業化FPGA IC晶 片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至DCIAC晶片267,每一個的DPI IC晶片410可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至DCIAC晶片267,DCIAC晶片267可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265,且DCIAC晶片267可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至二個DRAM IC晶片321。
V.第五型之邏輯驅動器
第19E圖係為根據本申請案之實施例所繪示之第五型商品化標準邏輯驅動器之上視示意圖。請參見第19E圖,如第19C圖所繪示之專用控制晶片260、專用I/O晶片265與IAC晶片402之功能可以結合至一單一晶片中,亦即為專用控制、專用IO及IAC晶片(以下簡寫為DCDI/OIAC晶片),用以執行上述專用控制晶片260之功能、專用I/O晶片265之功能與IAC晶片402之功能。如第19E圖所繪示之結構係類似如第19A圖所繪示之結構,不同處係在於DCDI/OIAC晶片268還可以設在商品化標準邏輯驅動器300中。如第19A圖所繪示的專用控制晶片260可以由DCDI/OIAC晶片268取代,設在專用控制晶片260所放置的位置,如第19E圖所示。針對繪示於第19A圖及第19E圖中的相同標號所指示的元件,繪示於第19E圖中的該元件可以參考該元件於第19A圖中的說明。DCDI/OIAC晶片268具有如第18圖所繪示的電路結構,且DCDI/OIAC晶片268可包括控制電路、智財(IP)電路、專用電路、邏輯電路、混合型訊號電路、射頻電路、傳送器電路、接收器電路及/或收發器電路等。
請參見第19E圖,每一個專用I/O晶片265及DCDI/OIAC晶片268可以利用較舊或較成熟之半導體技術世代進行設計及製造,例如是舊於或大於或等於40nm、50nm、90nm、130nm、250nm、350nm或500nm之技術製程。或者,先進的半導體技術世代亦可以用於製造DCDI/OIAC晶片268,例如是利用先進於或小於或等於40nm、20nm或10nm之半導體技術世代來製造DCDI/OIAC晶片268。在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,每一個專用I/O晶片265及DCDI/OIAC晶片268所採用的半導體技術世代可以是比每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410所採用的半導體技術世代晚於或舊於1個世代、2個世代、3個世代、4個世代、5個世代或超過5個世代。DCDI/OIAC晶片268所使用的電晶體或半導體元件可以是鰭式場效電晶體(FINFET)、絕緣層上長矽之鰭式場效電晶體(FINFET SOI)、全空乏型之絕緣層上長矽之金屬氧化物半導體之場效電晶體(FDSOI MOSFET)、半空乏型之絕緣層上長矽之金屬氧化物半導體之場效電晶體(PDSOI MOSFET)或傳統的金屬氧化物半導體之場效電晶體。在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265及DCDI/OIAC晶片268之電晶體或半導體元件可以是不同於用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之電晶體或半導體元件。舉例而言,在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265及DCDI/OIAC晶片268之電晶體或半導體元件可以是傳統的金屬氧化物半導體之場效電晶體,而用於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之電晶體或半導體元件可以是鰭式場效電晶體(FINFET);或者,在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,用於每一個專用I/O晶片265及DCDI/OIAC晶片268之電晶體或半導體元件可以是全空乏型之絕緣層上長矽之金屬氧化物半導體之場效電晶體(FDSOI MOSFET),而用於每一個的標 準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410之電晶體或半導體元件可以是鰭式場效電晶體(FINFET)。
在本實施例中,由於DCDI/OIAC晶片268可以利用較舊或較成熟之半導體技術世代進行設計及製造,例如是舊於或大於或等於40nm、50nm、90nm、130nm、250nm、350nm或500nm之技術製程,因此其一次性工程費用(NRE)會少於傳統利用先進半導體技術世代(例如是先進於或是小於或等於30nm、20nm或10nm)所設計或製造的專用積體電路(ASIC)或客戶自有工具(COT)晶片。舉例而言,利用先進半導體技術世代(例如是先進於或是小於或等於30nm、20nm或10nm)設計或製造的專用積體電路(ASIC)或客戶自有工具(COT)晶片所需的一次性工程費用(NRE)可能會超過5百萬美金、一千萬美金、兩千萬美金或甚至超過5千萬美金或1億美金。在16nm技術世代時,用於專用積體電路(ASIC)或客戶自有工具(COT)晶片所需的光罩組之成本會超過2百萬美金、5百萬美金或1千萬美金,然而若是利用本實施例之第五型商品化標準邏輯驅動器300,則可以配設有利用較舊半導體世代所製造的DCDI/OIAC晶片268,即可達成相同或類似的創新或應用,故其一次性工程費用(NRE)可以減少至少於一千萬美金、7百萬美金、5百萬美金、3百萬美金或1百萬美金。相較於現今或傳統的專用積體電路(ASIC)或客戶自有工具(COT)晶片之實現,在第五型商品化標準邏輯驅動器300中達成相同或類似創新或應用所需的DCDI/OIAC晶片268之一次性工程費用(NRE)可以少超過2倍、5倍、10倍、20倍或30倍。
針對線路的連接而言,請參見第19E圖,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至DCDI/OIAC晶片268,每一個的DPI IC晶片410可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至DCDI/OIAC晶片268,DCDI/OIAC晶片268可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265,且DCDI/OIAC晶片268可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至二個DRAM IC晶片321。
VI.第六型之邏輯驅動器
第19F圖及第19G圖係為根據本申請案之實施例所繪示之第六型商品化標準邏輯驅動器之上視示意圖。請參見第19F圖及第19G圖,如第19A圖至第19E圖所繪示之商品化標準邏輯驅動器300還可以包括一處理及/或計算(PC)積體電路(IC)晶片269(後文中稱為PCIC晶片),例如是中央處理器(CPU)晶片、圖像處理器(GPU)晶片、數位訊號處理(DSP)晶片、張量處理器(TPU)晶片或應用處理器(APU)晶片。應用處理器(APU)晶片可以(1)結合中央處理器(CPU)及數位訊號處理(DSP)單元以進行相互運作;(2)結合中央處理器(CPU)及圖像處理器(GPU)以進行相互運作;(3)結合圖像處理器(GPU)及數位訊號處理(DSP)單元以進行相互運作;或是(4)結合中央處理器(CPU)、圖像處理器(GPU)及數位訊號處理(DSP)單元以進行相互運作。如第19F圖所繪示之結構係類似如第19A圖、第19B圖、第19D圖及第19E圖所繪示之結構,不同處係在於PCIC晶片269還可以設在商品化標準邏輯驅動器300中,靠近如第19A圖所繪示之結構中的專用控制晶片260、靠近如第19B圖所繪示之結構中的專用控制及I/O晶片266、靠近如第19D圖所繪示之結構中的DCIAC晶片267或靠近如第19E圖所繪示之結構中的DCDI/OIAC晶片268。如 第19G圖所繪示之結構係類似如第19C圖所繪示之結構,不同處係在於PCIC晶片269還可以設在商品化標準邏輯驅動器300中,且設在靠近專用控制晶片260的位置。針對繪示於第19A圖、第19B圖、第19D圖、第19E圖及第19F圖中的相同標號所指示的元件,繪示於第19F圖中的該元件可以參考該元件於第19A圖、第19B圖、第19D圖及第19E圖中的說明。針對繪示於第19A圖、第19C圖及第19G圖中的相同標號所指示的元件,繪示於第19G圖中的該元件可以參考該元件於第19A圖及第19C圖中的說明。
請參見第19F圖及第19G圖,在垂直延伸的相鄰兩束之晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之間與在水平延伸的相鄰兩束之晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之間存在一中心區域,在該中心區域內設有PCIC晶片269及其中之一個的專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268。針對線路的連接而言,請參見第19F圖及第19G圖,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至PCIC晶片269,每一個的DPI IC晶片410可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至PCIC晶片269,PCIC晶片269可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至專用I/O晶片265,PCIC晶片269可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268,且PCIC晶片269可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至二個DRAM IC晶片321。此外,PCIC晶片269可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至如第19G圖所繪示之IAC晶片402。先進的半導體技術世代可以用於製造PCIC晶片269,例如是利用先進於或小於或等於40nm、20nm或10nm之半導體技術世代來製造PCIC晶片269。PCIC晶片269所採用的半導體技術世代可以是相同於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410所採用的半導體技術世代,或是比每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410所採用的半導體技術世代晚於或舊於1個世代。PCIC晶片269所使用的電晶體或半導體元件可以是鰭式場效電晶體(FINFET)、絕緣層上長矽之鰭式場效電晶體(FINFET SOI)、全空乏型之絕緣層上長矽之金屬氧化物半導體之場效電晶體(FDSOI MOSFET)、半空乏型之絕緣層上長矽之金屬氧化物半導體之場效電晶體(PDSOI MOSFET)或傳統的金屬氧化物半導體之場效電晶體。
VII.第七型之邏輯驅動器
第19H圖及第19I圖係為根據本申請案之實施例所繪示之第七型商品化標準邏輯驅動器之上視示意圖。請參見第19H圖及第19I圖,如第19A圖至第19E圖所繪示之商品化標準邏輯驅動器300還可以包括兩個PCIC晶片269,例如是從中央處理器(CPU)晶片、圖像處理器(GPU)晶片、數位訊號處理(DSP)晶片及張量處理器(TPU)晶片之組合中選出其中兩個。舉例而言,(1)其中之一個的PCIC晶片269可以是中央處理器(CPU)晶片,而另一個的PCIC晶片269可以是圖像處理器(GPU)晶片;(2)其中之一個的PCIC晶片269可以是中央處理器(CPU)晶片,而另一個的PCIC晶片269可以是數位訊號處理(DSP)晶片;(3)其中之一個的PCIC晶片269可以是中央處理器(CPU)晶片,而另一個的PCIC晶片269可以是張量處理器(TPU)晶片;(4)其中之一個 的PCIC晶片269可以是圖像處理器(GPU)晶片,而另一個的PCIC晶片269可以是數位訊號處理(DSP)晶片;(5)其中之一個的PCIC晶片269可以是圖像處理器(GPU)晶片,而另一個的PCIC晶片269可以是張量處理器(TPU)晶片;(6)其中之一個的PCIC晶片269可以是數位訊號處理(DSP)晶片,而另一個的PCIC晶片269可以是張量處理器(TPU)晶片。如第19H圖所繪示之結構係類似如第19A圖、第19B圖、第19D圖及第19E圖所繪示之結構,不同處係在於兩個PCIC晶片269還可以設在商品化標準邏輯驅動器300中,靠近如第19A圖所繪示之結構中的專用控制晶片260、靠近如第19B圖所繪示之結構中的專用控制及I/O晶片266、靠近如第19D圖所繪示之結構中的DCIAC晶片267或靠近如第19E圖所繪示之結構中的DCDI/OIAC晶片268。如第19I圖所繪示之結構係類似如第19C圖所繪示之結構,不同處係在於兩個PCIC晶片269還可以設在商品化標準邏輯驅動器300中,且設在靠近專用控制晶片260的位置。針對繪示於第19A圖、第19B圖、第19D圖、第19E圖及第19H圖中的相同標號所指示的元件,繪示於第19H圖中的該元件可以參考該元件於第19A圖、第19B圖、第19D圖及第19E圖中的說明。針對繪示於第19A圖、第19C圖及第19I圖中的相同標號所指示的元件,繪示於第19I圖中的該元件可以參考該元件於第19A圖及第19C圖中的說明。
請參見第19H圖及第19I圖,在垂直延伸的相鄰兩束之晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之間與在水平延伸的相鄰兩束之晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之間存在一中心區域,在該中心區域內設有兩個PCIC晶片269及其中之一個的專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268。針對線路的連接而言,請參見第19H及第191,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361及固定交互連接線364耦接至全部的PCIC晶片269,每一個的DPI IC晶片410可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至二個PCIC晶片269。此外,每一個的PCIC晶片269可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265。每一個的PCIC晶片269可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265。其中之一PCIC晶片269可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268。每一個的PCIC晶片269可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至二個DRAM IC晶片321。每一個的PCIC晶片269可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至其它的PCIC晶片269。每一個的PCIC晶片269可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至如第19G圖所示的IAC晶片402。先進的半導體技術世代可以用於製造PCIC晶片269,例如是利用先進於或小於或等於40nm、20nm或10nm之半導體技術世代來製造PCIC晶片269。PCIC晶片269所採用的半導體技術世代可以是相同於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410所採用的半導體技術世代,或是比每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410所採用的半導體技術世代晚於或舊於1個世代。PCIC晶片269所使用的電晶體或半導體元件可以是鰭式場效電晶體(FINFET)、絕緣層上長矽之鰭式場效電晶體(FINFET SOI)、全空乏型之絕緣層上長矽之金屬氧化物半導體之場效電晶體(FDSOI MOSFET)、半空乏型之絕緣層上長矽之金屬氧化物半導體之場效電晶體(PDSOI MOSFET)或傳統的金屬氧化物半導體之場效電晶體。
VIII.第八型之邏輯驅動器
第19J圖及第19K圖係為根據本申請案之實施例所繪示之第八型商品化標準邏輯驅動器之上視示意圖。請參見第19J圖及第19K圖,如第19A圖至第19E圖所繪示之商品化標準邏輯驅動器300還可以包括三個PCIC晶片269,例如是從中央處理器(CPU)晶片、圖像處理器(GPU)晶片、數位訊號處理(DSP)晶片及張量處理器(TPU)晶片之組合中選出其中三個。舉例而言,(1)其中之一個的PCIC晶片269可以是中央處理器(CPU)晶片,另一個的PCIC晶片269可以是圖像處理器(GPU)晶片,而最後一個的PCIC晶片269可以是數位訊號處理(DSP)晶片;(2)其中之一個的PCIC晶片269可以是中央處理器(CPU)晶片,另一個的PCIC晶片269可以是圖像處理器(GPU)晶片,而最後一個的PCIC晶片269可以是張量處理器(TPU)晶片;(3)其中之一個的PCIC晶片269可以是中央處理器(CPU)晶片,另一個的PCIC晶片269可以是數位訊號處理(DSP)晶片,而最後一個的PCIC晶片269可以是張量處理器(TPU)晶片;(4)其中之一個的PCIC晶片269可以是圖像處理器(GPU)晶片,另一個的PCIC晶片269可以是數位訊號處理(DSP)晶片,而最後一個的PCIC晶片269可以是張量處理器(TPU)晶片。如第19J圖所繪示之結構係類似如第19A圖、第19B圖、第19D圖及第19E圖所繪示之結構,不同處係在於三個PCIC晶片269還可以設在商品化標準邏輯驅動器300中,靠近如第19A圖所繪示之結構中的專用控制晶片260、靠近如第19B圖所繪示之結構中的專用控制及I/O晶片266、靠近如第19D圖所繪示之結構中的DCIAC晶片267或靠近如第19E圖所繪示之結構中的DCDI/OIAC晶片268。如第19K圖所繪示之結構係類似如第19C圖所繪示之結構,不同處係在於三個PCIC晶片269還可以設在商品化標準邏輯驅動器300中,且設在靠近專用控制晶片260的位置。針對繪示於第19A圖、第19B圖、第19D圖、第19E圖及第19J圖中的相同標號所指示的元件,繪示於第19J圖中的該元件可以參考該元件於第19A圖、第19B圖、第19D圖及第19E圖中的說明。針對繪示於第19A圖、第19C圖及第19K圖中的相同標號所指示的元件,繪示於第19K圖中的該元件可以參考該元件於第19A圖及第19C圖中的說明。
請參見第19J圖及第19K圖,在垂直延伸的相鄰兩束之晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之間與在水平延伸的相鄰兩束之晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之間存在一中心區域,在該中心區域內設有三個PCIC晶片269及其中之一個的專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268。針對線路的連接而言,請參見第19J及第19K,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的PCIC晶片269,每一個的DPI IC晶片410可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的PCIC晶片269,每一個的PCIC晶片269可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265,每一個的PCIC晶片269可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268,每一個的PCIC晶片269可以透過一或多 條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至二個DRAM IC晶片321,每一個的PCIC晶片269可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至其他兩個的PCIC晶片269。此外,每一個的PCIC晶片269可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至如第19G圖所繪示之IAC晶片402。先進的半導體技術世代可以用於製造PCIC晶片269,例如是利用先進於或小於或等於40nm、20nm或10nm之半導體技術世代來製造PCIC晶片269。PCIC晶片269所採用的半導體技術世代可以是相同於每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410所採用的半導體技術世代,或是比每一個的標準商業化FPGA IC晶片200及每一個的DPI IC晶片410所採用的半導體技術世代晚於或舊於1個世代。PCIC晶片269所使用的電晶體或半導體元件可以是鰭式場效電晶體(FINFET)、絕緣層上長矽之鰭式場效電晶體(FINFET SOI)、全空乏型之絕緣層上長矽之金屬氧化物半導體之場效電晶體(FDSOI MOSFET)、半空乏型之絕緣層上長矽之金屬氧化物半導體之場效電晶體(PDSOI MOSFET)或傳統的金屬氧化物半導體之場效電晶體。
IX.第九型之邏輯驅動器
第19L圖係為根據本申請案之實施例所繪示之第九型商品化標準邏輯驅動器之上視示意圖。針對繪示於第19A圖至第19L圖中的相同標號所指示的元件,繪示於第19L圖中的該元件可以參考該元件於第19A圖至第19K圖中的說明。請參見第19L圖,第九型商品化標準邏輯驅動器300可以封裝有一或多個的PCIC晶片269、如第16A圖至第16J圖所描述的一或多個的標準商業化FPGA IC晶片200、一或多個的非揮發性記憶體IC晶片250、一或多個的揮發性(VM)積體電路(IC)晶片324、一或多個的高速高頻寬的記憶體(HBM)積體電路(IC)晶片251及專用控制晶片260,設置成陣列的形式,其中PCIC晶片269、標準商業化FPGA IC晶片200、非揮發性記憶體IC晶片250、揮發性記憶體(VM)IC晶片324及HBM IC晶片251可以圍繞著設在中間區域的專用控制晶片260設置。PCIC晶片269之組合可以包括(1)多個GPU晶片,例如是2個、3個、4個或超過4個的GPU晶片;(2)一或多個的CPU晶片及/或一或多個的GPU晶片;(3)一或多個的CPU晶片及/或一或多個的DSP晶片;(4)一或多個的CPU晶片、一或多個的GPU晶片及/或一或多個的DSP晶片;(5)一或多個的CPU晶片及/或一或多個的TPU晶片;或是(6)一或多個的CPU晶片、一或多個的DSP晶片及/或一或多個的TPU晶片。HBM IC晶片251可以是高速高頻寬的動態隨機存取記憶體(DRAM)晶片、高速高頻寬的靜態隨機存取記憶體(SRAM)晶片、高速及高頻寬NVM晶片、高速及高頻寬磁阻式隨機存取記憶體(MRAM)晶片或高速及高頻寬電阻式隨機存取記憶體(RRAM)晶片。PCIC晶片269及標準商業化FPGA IC晶片200可以與HBM IC晶片251配合運作,進行高速及高頻寬的平行處理及/或平行運算。PCIC晶片269及標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200可與HBM IC晶片251一起運算操作,用於高速及高頻寬的平行處理及/或平行運算。
請參見第19L圖,商品化標準邏輯驅動器300可以包括晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371可以在標準商業化FPGA IC晶片200、非揮發性記憶體IC晶片250、揮發性記憶體(VM)IC晶片324、專用控制晶片260、PCIC晶片269及HBM IC晶片251其中相鄰的兩個之間。商品化標準邏輯驅動器300可以包括複數個DPI IC晶片410,對準於垂直延伸之一束晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371及水平延伸之一束晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之交叉點 處。每一DPI IC晶片410係設在標準商業化FPGA IC晶片200、非揮發性記憶體IC晶片250、揮發性記憶體(VM)IC晶片324、專用控制晶片260、PCIC晶片269及HBM IC晶片251其中四個的周圍及該其中四個的角落處。每一晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371可以是如第7A圖至第7C圖及所描述之可編程交互連接線361或固定交互連接線364,並可參見前述之“可編程交互連接線之說明”及“固定交互連接線之說明”。訊號之傳輸可以(1)經由標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203,在晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361與標準商業化FPGA IC晶片200之晶片內交互連接線502之可編程交互連接線361之間進行;或者(2)經由DPI IC晶片410之小型I/O電路203,在晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361與DPI IC晶片410之晶片內交互連接線之可編程交互連接線361之間進行。訊號之傳輸可以(1)經由標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203,在晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364與標準商業化FPGA IC晶片200之晶片內交互連接線502之固定交互連接線364之間進行;或者(2)經由DPI IC晶片410之小型I/O電路203,在晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364與DPI IC晶片410之晶片內交互連接線之固定交互連接線364之間進行。
請參見第19L圖,標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的DPI IC晶片410,標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至專用控制晶片260,標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的非揮發性記憶體IC晶片250,標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至VM IC晶片324,標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的PCIC晶片269,標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的HBM IC晶片251,每一個的DPI IC晶片410可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至專用控制晶片260,每一個的DPI IC晶片410可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至非揮發性記憶體IC晶片250,每一個的DPI IC晶片410可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至VMIC晶片324。每一個的DPI IC晶片410可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的PCIC晶片269。每一個DPI IC晶片410可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至HBM IC晶片251,每一個DPI IC晶片410可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至其它的DPI IC晶片410,每一個PCIC晶片269可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至HBM IC晶片251,而在每一該PCIC晶片269與該HBM IC晶片251之間所進行傳輸的資料位元寬度可以是大於或等於64、128、256、512、1024、2048、4096、8K或16K,每一個 的PCIC晶片269可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至專用控制晶片260,每一個的PCIC晶片269可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至非揮發性記憶體IC晶片250,每一個的PCIC晶片269可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至揮發性記憶體(VM)IC晶片324,非揮發性記憶體IC晶片250可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至專用控制晶片260,非揮發性記憶體IC晶片250可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至揮發性記憶體(VM)IC晶片324,非揮發性記憶體IC晶片250可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至HBM IC晶片251,揮發性記憶體(VM)IC晶片324可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至專用控制晶片260,揮發性記憶體(VM)IC晶片324可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至HBM IC晶片251,HBM IC晶片251可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至專用控制晶片260,每一個的PCIC晶片269可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至其他全部的PCIC晶片269。
請參見第19L圖,商品化標準邏輯驅動器300可以包括多個專用I/O晶片265,位在商品化標準邏輯驅動器300之周圍區域,其係環繞商品化標準邏輯驅動器300之中間區域,其中商品化標準邏輯驅動器300之中間區域係容置有標準商業化FPGA IC晶片200、非揮發性記憶體IC晶片250、揮發性記憶體(VM)IC晶片324、專用控制晶片260、PCIC晶片269、HBM IC晶片251及DPI IC晶片410。每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265,每一個的DPI IC晶片410可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265,非揮發性記憶體IC晶片250可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265,揮發性記憶體(VM)IC晶片324可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265,每一個的PCIC晶片269可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265,專用控制晶片260可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265,每一PCIC晶片269可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265,HBM IC晶片251可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265。每一專用I/O晶片265可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至其它的專用I/O晶片265。
請參見第19L圖,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以參考如第16A圖 至第16J圖所揭露之內容,而每一個的DPI IC晶片410可以參考如第17圖所揭露之內容。此外,標準商業化FPGA IC晶片200、DPI IC晶片410、專用I/O晶片265、專用控制晶片260還可以參考如第19A圖所揭露之內容。
舉例而言,請參見第19L圖,在商品化標準邏輯驅動器300中全部的PCIC晶片269可以是多個GPU晶片,例如是2個、3個、4個或超過4個的GPU晶片,而HBM IC晶片251可以全部是高速高頻寬的動態隨機存取記憶體(DRAM)晶片、全部是高速高頻寬的靜態隨機存取記憶體(SRAM)晶片、全部是磁阻式隨機存取記憶體(MRAM)晶片或全部是電阻式隨機存取記憶體(RRAM)晶片,而在其中之一個例如是GPU晶片的PCIC晶片269與HBM IC晶片251之間所進行傳輸的資料位元寬度可以是大於或等於64、128、256、512、1024、2048、4096、8K或16K。
舉例而言,請參見第19L圖,在商品化標準邏輯驅動器300中全部的PCIC晶片269可以是多個TPU晶片,例如是2個、3個、4個或超過4個的TPU晶片,而HBM IC晶片251可以是高速高頻寬的動態隨機存取記憶體(DRAM)晶片、高速高頻寬的靜態隨機存取記憶體(SRAM)晶片、磁阻式隨機存取記憶體(MRAM)晶片或電阻式隨機存取記憶體(RRAM)晶片,而在其中之一個例如是TPU晶片的PCIC晶片269與HBM IC晶片251之間所進行傳輸的資料位元寬度可以是大於或等於64、128、256、512、1024、2048、4096、8K或16K。
如第19L圖所示,非揮發性記憶體IC晶片250可使用先進NAND快閃技術或下一世代製程技術或設計及製造,例如,技術先進於或等於45nm、28nm、20nm、16nm及(或)10nm,其中先進的NAND快閃技術可包括在平面快閃記憶體(2D-NAND)結構或立體快閃記憶體(3D NAND)結構中使用單一單層式儲存(Single Level Cells(SLC))技術或多層式儲存(multiple level cells(MLC))技術(例如,雙層儲存(Double Level Cells DLC)或三層儲存(triple Level cells TLC))。3D NAND結構可包括複數NAND記憶單元的堆疊層(或級),例如大於或等於4、8、16、32或72個NAND記憶單元的堆疊層。每一商品化標準邏輯驅動器300可具有一標準非揮發性記憶體密度、容量或尺寸,其大於或等於64MB、512MB、1GB、4GB、16GB、64GB、128GB、256GB或512GB,其中”B”為字節(bytes),每一字節有8位元(bits)。
X.第十型之邏輯驅動器
第19M圖係為根據本申請案之實施例所繪示之第十型商品化標準邏輯驅動器之上視示意圖。針對繪示於第19A圖至第19M圖中的相同標號所指示的元件,繪示於第19M圖中的該元件可以參考該元件於第19A圖至第19L圖中的說明。請參見第19M圖,第十型商品化標準邏輯驅動器300封裝有如上所述的PCIC晶片269,例如是多個的PCIC晶片(例如是GPU)269a及一個的PCIC晶片(例如是CPU)269b。再者,商品化標準邏輯驅動器300還封裝有多個的HBM IC晶片251,其每一個係相鄰於其中之一個的PCIC晶片(例如是GPU)269a,用於與該其中之一個的PCIC晶片(例如是GPU)269a進行高速與高頻寬的資料傳輸。在商品化標準邏輯驅動器300中,每一個的HBM IC晶片251可以是高速高頻寬的動態隨機存取記憶體(DRAM)晶片、高速高頻寬的靜態隨機存取記憶體(SRAM)晶片、磁阻式隨機存取記憶體(MRAM)晶片或電阻式隨機存取記憶體(RRAM)晶片。PCIC晶片(例如是CPU)269b、專用控制晶片260、標準商業化FPGA IC晶片200、PCIC晶片(例如是GPU)269a、非揮發性記憶體IC晶片250及HBM IC晶片251係在商品化標準邏輯驅動器300中排列成矩陣的形式,其中PCIC晶片(例如是CPU)269b及專用控制晶 片260係設在其中間區域,被容置有標準商業化FPGA IC晶片200、PCIC晶片(例如是GPU)269a、非揮發性記憶體IC晶片250及HBM IC晶片251之周邊區域環繞。
請參見第19M圖,第十型商品化標準邏輯驅動器300包括晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371,可以在標準商業化FPGA IC晶片200、非揮發性記憶體IC晶片250、專用控制晶片260、PCIC晶片(例如是GPU)269a、PCIC晶片(例如是CPU)269b及HBM IC晶片251其中相鄰的兩個之間。商品化標準邏輯驅動器300可以包括複數個DPI IC晶片410,對準於垂直延伸之一束晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371及水平延伸之一束晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之交叉點處。每一DPI IC晶片410係設在標準商業化FPGA IC晶片200、非揮發性記憶體IC晶片250、專用控制晶片260、PCIC晶片(例如是GPU)269a、PCIC晶片(例如是CPU)269b及HBM IC晶片251其中四個的周圍及該其中四個的角落處。每一晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371可以是如第7A圖至第7C圖及所描述之可編程交互連接線361或固定交互連接線364,並可參見前述之“可編程交互連接線之說明”及“固定交互連接線之說明”。訊號之傳輸可以(1)經由標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203,在晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361與標準商業化FPGA IC晶片200之晶片內交互連接線502之可編程交互連接線361之間進行;或者(2)經由DPI IC晶片410之小型I/O電路203,在晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361與DPI IC晶片410之晶片內交互連接線之可編程交互連接線361之間進行。訊號之傳輸可以(1)經由標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203,在晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364與標準商業化FPGA IC晶片200之晶片內交互連接線502之固定交互連接線364之間進行;或者(2)經由DPI IC晶片410之小型I/O電路203,在晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364與DPI IC晶片410之晶片內交互連接線之固定交互連接線364之間進行。
請參見第19M圖,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的DPI IC晶片410,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至專用控制晶片260,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至二個非揮發性記憶體IC晶片250,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的PCIC晶片(例如是GPU)269a,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至PCIC晶片(例如是CPU)269b,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的HBM IC晶片251,每一標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至其它的標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200,每一個的DPI IC晶片410可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至專用控制晶片260,每一個的DPI IC晶片410可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的非揮發性記憶 體IC晶片250,每一個的DPI IC晶片410可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的PCIC晶片(例如是GPU)269a,每一個的DPI IC晶片410可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至PCIC晶片(例如是CPU)269b,每一個的DPI IC晶片410可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的HBM IC晶片251,每一個的DPI IC晶片410可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至其它的DPI IC晶片410,PCIC晶片(例如是CPU)269b可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的PCIC晶片(例如是GPU)269a,PCIC晶片(例如是CPU)269b可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至二個非揮發性記憶體IC晶片250,PCIC晶片(例如是CPU)269b可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的HBM IC晶片251,其中之一個的PCIC晶片(例如是GPU)269a可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至其中之一個的HBM IC晶片251,且在該其中之一個的PCIC晶片(例如是GPU)269a與該其中之一個的HBM IC晶片251之間所進行傳輸的資料位元寬度可以是大於或等於64、128、256、512、1024、2048、4096、8K或16K,每一個的PCIC晶片(例如是GPU)269a可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至二個非揮發性記憶體IC晶片250,每一個的PCIC晶片(例如是GPU)269a可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至其它的PCIC晶片(例如是GPU)269a,每一個的非揮發性記憶體IC晶片250可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至專用控制晶片260,每一個的HBM IC晶片251可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至專用控制晶片260,每一個的PCIC晶片(例如是GPU)269a可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至專用控制晶片260,PCIC晶片(例如是CPU)269b可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至專用控制晶片260,每一個的非揮發性記憶體IC晶片250可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的HBM IC晶片251,每一個的非揮發性記憶體IC晶片250可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至其它的非揮發性記憶體IC晶片250,每一個的HBM IC晶片251可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至其它的HBM IC晶片251。
請參見第19M圖,商品化標準邏輯驅動器300可以包括多個專用I/O晶片265,位在商品化標準邏輯驅動器300之周圍區域,其係環繞商品化標準邏輯驅動器300之中間區域,其中商品化標準邏輯驅動器300之中間區域係容置有標準商業化FPGA IC晶片200、DRAM IC晶片321、專用控制晶片260、PCIC晶片(例如是GPU)269a、PCIC晶片(例如是CPU)269b、HBM IC晶片251及DPI IC晶片410。每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以經由一或多條晶片 間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265,每一個的DPI IC晶片410可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265,每一個的DRAM IC晶片321可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265,專用控制晶片260可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265,每一個的PCIC晶片(例如是GPU)269a可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265,PCIC晶片(例如是CPU)269b可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265,每一個的HBM IC晶片251可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265。
因此,在第十型商品化標準邏輯驅動器300中,PCIC晶片(例如是GPU)269a可以與HBM IC晶片251配合運作,進行高速、高頻寬的平行處理及/或平行運算。請參見第19M圖,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以參考如第16A圖至第16J圖所揭露之內容,而每一個的DPI IC晶片410可以參考如第17圖所揭露之內容。此外,標準商業化FPGA IC晶片200、DPI IC晶片410、專用I/O晶片265、專用控制晶片260還可以參考如第19A圖所揭露之內容。
如第19M圖所示,非揮發性記憶體IC晶片250可使用先進NAND快閃技術或下一世代製程技術或設計及製造,例如,技術先進於或等於45nm、28nm、20nm、16nm及(或)10nm,其中先進的NAND快閃技術可包括在平面快閃記憶體(2D-NAND)結構或立體快閃記憶體(3D NAND)結構中使用單一單層式儲存(Single Level Cells(SLC))技術或多層式儲存(multiple level cells(MLC))技術(例如,雙層儲存(Double Level Cells DLC)或三層儲存(triple Level cells TLC))。3D NAND結構可包括複數NAND記憶單元的堆疊層(或級),例如大於或等於4、8、16、32或72個NAND記憶單元的堆疊層。每一商品化標準邏輯驅動器300可具有一標準非揮發性記憶體密度、容量或尺寸,其大於或等於64MB、512MB、1GB、4GB、16GB、64GB、128GB、256GB或512GB,其中”B”為字節(bytes),每一字節有8位元(bits)。
XI.第十一型之邏輯運算驅動
第19N圖係為根據本申請案之實施例所繪示之第十一型商品化標準邏輯驅動器之上視示意圖。針對繪示於第19A圖至第19N圖中的相同標號所指示的元件,繪示於第19N圖中的該元件可以參考該元件於第19A圖至第19M圖中的說明。請參見第19N圖,第十一型商品化標準邏輯驅動器300封裝有如上所述的PCIC晶片269,例如是多個的TPU晶片269c及一個的PCIC晶片(例如是CPU)269b。再者,商品化標準邏輯驅動器300還封裝有多個的HBM IC晶片251,其每一個係相鄰於其中之一個的TPU晶片269c,用於與該其中之一個的TPU晶片269c進行高速與高頻寬的資料傳輸。在商品化標準邏輯驅動器300中,每一個的HBM IC晶片251可以是高速高頻寬的動態隨機存取記憶體(DRAM)晶片、高速高頻寬的靜態隨機存取記憶體(SRAM)晶片、磁阻式隨機存取記憶體(MRAM)晶片或電阻式隨機存取記憶體(RRAM)晶片。PCIC晶片(例如是CPU)269b、專用控制晶片260、標準商業化FPGA IC晶片200、TPU晶 片269c、非揮發性記憶體IC晶片250及HBM IC晶片251係在商品化標準邏輯驅動器300中排列成矩陣的形式,其中PCIC晶片(例如是CPU)269b及專用控制晶片260係設在其中間區域,被容置有標準商業化FPGA IC晶片200、TPU晶片269c、非揮發性記憶體IC晶片250及HBM IC晶片251之周邊區域環繞。
請參見第19N圖,第十一型商品化標準邏輯驅動器300包括晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371,可以在標準商業化FPGA IC晶片200、非揮發性記憶體IC晶片250、專用控制晶片260、TPU晶片269c、PCIC晶片(例如是CPU)269b及HBM IC晶片251其中相鄰的兩個之間。商品化標準邏輯驅動器300可以包括複數個DPI IC晶片410,對準於垂直延伸之一束晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371及水平延伸之一束晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之交叉點處。每一DPI IC晶片410係設在標準商業化FPGA IC晶片200、非揮發性記憶體IC晶片250、專用控制晶片260、TPU晶片269c、PCIC晶片(例如是CPU)269b及HBM IC晶片251其中四個的周圍及該其中四個的角落處。每一晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371可以是如第7A圖至第7C圖及所描述之可編程交互連接線361或固定交互連接線364,並可參見前述之“可編程交互連接線之說明”及“固定交互連接線之說明”。訊號之傳輸可以(1)經由標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203,在晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361與標準商業化FPGA IC晶片200之晶片內交互連接線502之可編程交互連接線361之間進行;或者(2)經由DPI IC晶片410之小型I/O電路203,在晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361與DPI IC晶片410之晶片內交互連接線之可編程交互連接線361之間進行。訊號之傳輸可以(1)經由標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203,在晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364與標準商業化FPGA IC晶片200之晶片內交互連接線502之固定交互連接線364之間進行;或者(2)經由DPI IC晶片410之小型I/O電路203,在晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364與DPI IC晶片410之晶片內交互連接線之固定交互連接線364之間進行。
請參見第19N圖,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的DPI IC晶片410,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至專用控制晶片260,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的非揮發性記憶體IC晶片250,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的TPU晶片269c,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至PCIC晶片(例如是CPU)269b,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的HBM IC晶片251,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至其它的標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200,每一個的DPI IC晶片410可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至專用控制 晶片260,每一個的DPI IC晶片410可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的非揮發性記憶體IC晶片250,每一個的DPI IC晶片410可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的TPU晶片269c,每一個的DPI IC晶片410可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至PCIC晶片(例如是CPU)269b,每一個的DPI IC晶片410可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的HBM IC晶片251,每一個的DPI IC晶片410可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至其它的DPI IC晶片410,PCIC晶片(例如是CPU)269b可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的TPU晶片269c,PCIC晶片(例如是CPU)269b可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至二個非揮發性記憶體IC晶片250,PCIC晶片(例如是CPU)269b可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的HBM IC晶片251,其中之一個的TPU晶片269c可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至其中之一個的HBM IC晶片251,且在該其中之一個的TPU晶片269c與該其中之一個的HBM IC晶片251之間所進行傳輸的資料位元寬度可以是大於或等於64、128、256、512、1024、2048、4096、8K或16K,每一個的TPU晶片269c可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至二個非揮發性記憶體IC晶片250,每一個的TPU晶片269c可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至其它的TPU晶片269c,每一個的非揮發性記憶體IC晶片250可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至專用控制晶片260,每一個的HBM IC晶片251可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至專用控制晶片260,每一個的TPU晶片269c可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至專用控制晶片260,PCIC晶片(例如是CPU)269b可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至專用控制晶片260,每一個的非揮發性記憶體IC晶片250可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至HBM IC晶片251,每一個的非揮發性記憶體IC晶片250可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至其它的非揮發性記憶體IC晶片250,每一個的HBM IC晶片251可以透過一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至其它的HBM IC晶片251。
請參見第19N圖,商品化標準邏輯驅動器300可以包括多個專用I/O晶片265,位在商品化標準邏輯驅動器300之周圍區域,其係環繞商品化標準邏輯驅動器300之中間區域,其中商品化標準邏輯驅動器300之中間區域係容置有標準商業化FPGA IC晶片200、DRAM IC晶片321、專用控制晶片260、TPU晶片269c、PCIC晶片(例如是CPU)269b、HBM IC晶片251及DPI IC晶片410。每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265,每一個的DPI IC晶片410可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265,每一個的DRAM IC晶片321可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265,專用控制晶片260可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265,每一個的TPU晶片269c可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265,PCIC晶片(例如是CPU)269b可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265,每一個的HBM IC晶片251可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361或固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265。
請參見第19N圖,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200可以參考如第16A圖至第16J圖所揭露之內容,而每一個的DPI IC晶片410可以參考如第17圖所揭露之內容。此外,標準商業化FPGA IC晶片200、DPI IC晶片410、專用I/O晶片265、專用控制晶片260還可以參考如第19A圖所揭露之內容。
如第19N圖所示,非揮發性記憶體IC晶片250可使用先進NAND快閃技術或下一世代製程技術或設計及製造,例如,技術先進於或等於45nm、28nm、20nm、16nm及(或)10nm,其中先進的NAND快閃技術可包括在平面快閃記憶體(2D-NAND)結構或立體快閃記憶體(3D NAND)結構中使用單一單層式儲存(Single Level Cells(SLC))技術或多層式儲存(multiple level cells(MLC))技術(例如,雙層儲存(Double Level Cells DLC)或三層儲存(triple Level cells TLC))。3D NAND結構可包括複數NAND記憶單元的堆疊層(或級),例如大於或等於4、8、16、32或72個NAND記憶單元的堆疊層。每一商品化標準邏輯驅動器300可具有一標準非揮發性記憶體密度、容量或尺寸,其大於或等於64MB、512MB、1GB、4GB、16GB、64GB、128GB、256GB或512GB,其中”B”為字節(bytes),每一字節有8位元(bits)。
綜上所述,請參見第19F圖至第19N圖,當標準商業化FPGA IC晶片200之可編程交互連接線361及DPI IC晶片410之可編程交互連接線361經編程之後,經編程後之可編程交互連接線361可同時配合標準商業化FPGA IC晶片200之固定交互連接線364及DPI IC晶片410之固定交互連接線364針對特定的應用提供特定的功能。在相同的商品化標準邏輯驅動器300中,標準商業化FPGA IC晶片200可同時配合例如是GPU晶片、CPU晶片、TPU晶片或DSP晶片之PCIC晶片269之運作針對下列應用提供強大的功能及運算:人工智能(AI)、機器學習、深入學習、大數據、物聯網(IOT)、工業電腦、虛擬現實(VR)、增強現實(AR)、無人駕駛汽車電子、圖形處理(GP)、數字信號處理(DSP)、微控制(MC)及/或中央處理(CP)等。
如第19A圖至第19N圖,用於使用者或軟體開發者可提供商品化標準邏輯驅動器300及一軟體工具,除了現在的硬體開發人員,也可使用商品化標準邏輯驅動器300輕易的開發他們創新或特定的應用,軟體工具為使用者或軟體開發人員提供了流行的、通用的或容易學習的編程語言等功能,例如是C語言、Java、C++、C#、Scala、Swift、Matlab、Assembly Language、Pascal、Python、Visual Basic、PL/SQL或JavaScript等軟體程式語言,使用者或軟體開發者可將軟體代碼寫入商品化標準邏輯驅動器300中,軟體代碼可以轉換成結果值或編程代碼,以便加載到標準商業化邏輯運算器300中的非揮發性記憶體(NVM)單元870或非揮發性記憶體(NVM)單元880內,以滿足其所需的應用,例如,人工智能(Artificial Intelligence,AI)、機器學習、深度學習、大數據資料庫儲存或分析、物聯網(Internet Of Things,IOT)、虛擬實境(VR)、擴增實境(AR)、自動駕駛或無人駕駛車、車用電子圖形處理(GP)、數位訊號處理(DSP)、微控制器(MC)或中央處理器(CP)等功能或其中的任一種組合之應用或功能。
邏輯驅動器之交互連接
第20A圖及第20B圖係為根據本申請案之實施例所繪示之在邏輯驅動器中各種連接形式之示意圖。如第20A圖及第20B圖所示,二方塊200係代表在如第19A圖至第19N圖所繪示之商品化標準邏輯驅動器300中二不同群組之標準商業化FPGA IC晶片200,DPI IC晶片410係代表在如第19A圖至第19N圖所繪示之商品化標準邏輯驅動器300中DPI IC晶片410之組合,方塊265係代表在如第19A圖至第19N圖所繪示之商品化標準邏輯驅動器300中專用I/O晶片265之組合,方塊360係代表在如第19A圖至第19N圖所繪示之商品化標準邏輯驅動器300中專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268。
請參見第19A圖至第19N圖及第20A圖至第20B圖,專用I/O晶片265可以從位在商品化標準邏輯驅動器300之外的外部電路271載入結果值或第一編程碼,並經由晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371的固定交互連接線364及經由標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200的晶片內(INTRA-CHIP)交互連接線502之固定交互連接線364將結果值或第一編程碼傳輸至標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200的晶片內(INTRA-CHIP)交互連接線502中,用以編程如第14A圖或第14H圖中標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200的其中之一可編程邏輯區塊(LB)201。該專用I/O晶片265可以從位在商品化標準邏輯驅動器300之外的外部電路271載入結果值或第二編程碼,並經由晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371的固定交互連接線364及經由標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200的晶片內(INTRA-CHIP)交互連接線502之固定交互連接線364將結果值或第一編程碼由商品化標準邏輯驅動器300傳輸至標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200的記憶體單元362,用以編程如第10A圖至第10F圖、第11A圖至第11D圖及第15A圖至第15F圖中標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200的可編程邏輯區塊(LB)201或交叉點開關379其中之一,該專用I/O晶片265可以從位在商品化標準邏輯驅動器300之外的外部電路271載入結果值或第三編程碼,並經由晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371的固定交互連接線364及經由DPI IC晶片410的晶片內(INTRA-CHIP)交互連接線502之固定交互連接線364將結果值或第一編程碼由商品化標準邏輯驅動器300傳輸至DPI IC晶片410的記憶體單元362,用以編程如第10A圖至第10F圖、第11A圖至第11D圖及第15A圖至第15F圖中DPI IC晶片410的通過/不通過開關258或交叉點開關379其中之一。在一實施例中,位在商品化標準邏輯驅動器300之外的外部電路271並不允許由在商品化標準邏輯驅動器300中任何的標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200及DPI IC晶片410載入上述的結果值、第一編程碼、第二編程碼及第三編程碼;或者在其他實施例中,則可允許位在商品化標準邏輯驅動器300之外的外部電路271由在商品化標準邏輯驅動器300中的標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200及DPI IC晶片410其中之一或全部載入上述的結果值、第一編程碼、第二編程碼及第三編程碼。
I.邏輯驅動器之第一型交互連接架構
請參見第19A圖至第19N圖及第20A圖,每一個的專用I/O晶片265之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361耦接至全部的標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203,每一個的專用I/O晶片265之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361耦接至全部的DPI IC晶片410之小型I/O電路203,每一個的專用I/O晶片265之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361耦接至其他全部的專用I/O晶片265之小型I/O電路203,每一個的專用I/O晶片265之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364耦接至全部的標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203,每一個的專用I/O晶片265之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364耦接至全部的DPI IC晶片410之小型I/O電路203,每一個的專用I/O晶片265之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364耦接至其他全部的專用I/O晶片265之小型I/O電路203。
請參見第19A圖至第19N圖及第20A圖,每一個的DPI IC晶片410之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361耦接至全部的標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203,每一個的DPI IC晶片410之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361耦接至其他全部的DPI IC晶片410之小型I/O電路203,每一個的DPI IC晶片410之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364耦接至全部的標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203,每一個的DPI IC晶片410之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364耦接至其他全部的DPI IC晶片410之小型I/O電路203。
請參見第19A圖至第19N圖及第20A圖,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361耦接至其他全部的標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364耦接至其他全部的標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203。
請參見第19A圖至第19N圖及第20A圖,控制方塊360所代表之專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361耦接至全部的標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203,控制方塊360所代表之專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364耦接至全部的標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203,控制方塊360所代表之專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361耦接至全部的DPI IC晶片410之小型I/O電路203,控制方塊360所代表之專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接 線371之固定交互連接線364耦接至全部的DPI IC晶片410之小型I/O電路203,控制方塊360所代表之專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268之大型I/O電路341可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265之大型I/O電路341,控制方塊360所代表之專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268之大型I/O電路341可以耦接至位在商品化標準邏輯驅動器300之外的外部電路271。
請參見第19A圖至第19N圖及第20A圖,一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364耦接至每一專用I/O晶片265之一或多個大型I/O電路341至其它的專用I/O晶片265之一或多個大型I/O電路341,每一個的專用I/O晶片265之大型I/O電路341可以耦接至位在商品化標準邏輯驅動器300之外的外部電路271。
(1)用於編程記憶單元之交互連接線路
請參見第19A圖至第19N圖及第20A圖,另一方面,其中之一專用I/O晶片265具有一大型I/O電路341以驅動第三編程碼從商品化標準邏輯驅動器300的外部電路271傳送至其小型I/O電路203。針對該其中之一個的專用I/O晶片265,其中之一小型I/O電路203可以驅動第三編程碼經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364傳送至其中之一個的DPI IC晶片410之小型I/O電路203。針對該其中之一個的DPI IC晶片410,其小型I/O電路203可以驅動第三編程碼經由一或多條其晶片內交互連接線之固定交互連接線364傳送至其記憶體矩陣區塊423中其中之一記憶體單元362(如第17圖中的記憶體單元362),使得第三編程碼可以儲存於該其中之一個的其記憶體單元362中,用以編程如第10A圖至第10F圖、第11A圖至第11D圖及第15A圖至第15F圖中的通過/不通過開關258及/或交叉點開關379。
請參見第19A圖至第19N圖及第20A圖,其中之一專用I/O晶片265具有一大型I/O電路341以驅動第二編程碼從商品化標準邏輯驅動器300的外部電路271傳送至其小型I/O電路203。針對該其中之一個的專用I/O晶片265,其中之一小型I/O電路203可以驅動第二編程碼經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364傳送至其中之一個的標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203。針對該其中之一個的標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200,其小型I/O電路203可以驅動第二編程碼經由一或多條其晶片內交互連接線502之固定交互連接線364傳送至其中之一個的其記憶體單元362,使得第二編程碼可以儲存於該其中之一個的其記憶體單元362中,用以編程如第10A圖至第10F圖、第11A圖至第11D圖及第15A圖至第15F圖中的通過/不通過開關258及/或交叉點開關379。
或者,請參見第19A圖至第19N圖及第20A圖,其中之一個的專用I/O晶片265具有一其大型I/O電路341以從商品化標準邏輯驅動器300的外部電路271驅動結果值或第一編程碼傳送至其中之一小型I/O電路203。針對該其中之一個的專用I/O晶片265,其中之一小型I/O電路203可以驅動結果值或第一編程碼經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364傳送至其中之一個的標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203。針對該其中之一個的標準商業化FPGA IC晶片200,其小型I/O電路203可以驅動結果值或第一編程碼經由一或多條其晶片內交互連接線502之固定交互連接線364傳送至其中之一個的其記憶體單元490,使得結果值或第一編程碼可以儲存於該其中之一個的其記憶體單元490中,用以編程如第14A圖或第14H圖中的可編程邏輯區塊(LB)201。
(2)用於運作之交互連接線路
請參見第19A圖至第19N圖及第20A圖,在一實施例中,其中之一個的專用I/O晶片265之大型I/O電路341可以驅動來自商品化標準邏輯驅動器300之外的外部電路271之訊號至其小型I/O電路203,該其中之一個的專用I/O晶片265之小型I/O電路203可以驅動該訊號經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361傳送至其中之一個的DPI IC晶片410之第一個的小型I/O電路203。針對該其中之一個的DPI IC晶片410,其第一個的小型I/O電路203可以驅動該訊號經由其晶片內交互連接線之第一個的可編程交互連接線361傳送至其交叉點開關379,其交叉點開關379可以將該訊號由其晶片內交互連接線之第一個的可編程交互連接線361切換至其晶片內交互連接線之第二個的可編程交互連接線361進行傳送,以傳送至其第二個的小型I/O電路203,其第二個的小型I/O電路203可以驅動該訊號經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361傳送至其中之一個的標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203。針對該其中之一個的標準商業化FPGA IC晶片200,其小型I/O電路203可以驅動該訊號經由如第16G圖所繪示之其晶片內交互連接線502之第一組之可編程交互連接線361及繞道交互連接線279傳送至其交叉點開關379,其交叉點開關379可以將該訊號由其晶片內交互連接線502之第一組之可編程交互連接線361及繞道交互連接線279切換至其晶片內交互連接線502之第二組之可編程交互連接線361及繞道交互連接線279進行傳送,以傳送至如第14A圖或第14H圖中的可編程邏輯區塊(LB)201之輸入A0-A3的其中之一個。
請參見第19A圖至第19N圖及第20A圖,在另一實施例中,第一個的標準商業化FPGA IC晶片200之可編程邏輯區塊(LB)201(如第14A圖或第14H圖中的可編程邏輯區塊(LB)201)可以產生輸出Dout,經由其晶片內交互連接線502之第一組之可編程交互連接線361及繞道交互連接線279可以傳送至其交叉點開關379,其交叉點開關379可以將該輸出Dout經由其晶片內交互連接線502之第一組之可編程交互連接線361及繞道交互連接線279切換至其晶片內交互連接線502之第二組之可編程交互連接線361及繞道交互連接線279進行傳送,以傳送至其小型I/O電路203,其小型I/O電路203可以驅動該輸出Dout經由一或多條之晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361傳送至其中之一個的DPI IC晶片410之第一個的小型I/O電路203。針對該其中之一個的DPI IC晶片410,其第一個的小型I/O電路203可以驅動該輸出Dout經由其晶片內交互連接線之第一組之可編程交互連接線361傳送至其交叉點開關379,其交叉點開關379可以將該輸出Dout由其晶片內交互連接線之第一組之可編程交互連接線361切換至其晶片內交互連接線之第二組之可編程交互連接線361進行傳送,以傳送至其第二個的小型I/O電路203,其第二個的小型I/O電路203可以驅動該輸出Dout經由一或多條之晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361傳送至第二個的標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203。針對第二個的標準商業化FPGA IC晶片200,其小型I/O電路203可以驅動該輸出Dout經由如第16G圖所繪示之其晶片內交互連接線502之第一組之可編程交互連接線361及繞道交互連接線279傳送至其交叉點開關379,其交叉點開關379可以將該輸出Dout由其晶片內交互連接線502之第一組之可編程交互連接線361及繞道交互連接線279切換至其晶片內交互連接線502之第二組之可編程交互連接線361及繞道交互連接線279進行傳送,以傳送至如第14A圖或第14H圖中的可編程邏輯區塊(LB)201之輸入A0-A3的其中之一個。
請參見第19A圖至第19N圖及第20A圖,在另一實施例中,標準商業化FPGA IC晶片200之可編程邏輯區塊(LB)201(如第14A圖或第14H圖中的可編程邏輯區塊(LB)201)可以產生輸出Dout,經由其晶片內交互連接線502之第一組之可編程交互連接線361及繞道交互連接線279可以傳送至其交叉點開關379,其交叉點開關379可以將該輸出Dout經由其晶片內交互連接線502之第一組之可編程交互連接線361及繞道交互連接線279切換至其晶片內交互連接線502之第二組之可編程交互連接線361及繞道交互連接線279進行傳送,以傳送至其小型I/O電路203,其小型I/O電路203可以驅動該輸出Dout經由一或多條之晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361傳送至其中之一個的DPI IC晶片410之第一個的小型I/O電路203。針對該其中之一個的DPI IC晶片410,其第一個的小型I/O電路203可以驅動該輸出Dout經由其晶片內交互連接線之第一組之可編程交互連接線361傳送至其交叉點開關379,其交叉點開關379可以將該輸出Dout由其晶片內交互連接線之第一組之可編程交互連接線361切換至其晶片內交互連接線之第二組之可編程交互連接線361進行傳送,以傳送至其第二個的小型I/O電路203,其第二個的小型I/O電路203可以驅動該輸出Dout經由一或多條之晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361傳送至其中之一個的專用I/O晶片265之小型I/O電路203。針對該其中之一個的專用I/O晶片265,其小型I/O電路203可以驅動該輸出Dout傳送至其大型I/O電路341,以傳送至位在商品化標準邏輯驅動器300之外的外部電路271。
(3)用於控制之交互連接線路
請參見第19A圖至第19N圖及第20A圖,在一實施例中,針對控制方塊360所代表之專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268,其大型I/O電路341可以由位在商品化標準邏輯驅動器300之外的外部電路271接收控制指令,或是可以傳送控制指令至位在商品化標準邏輯驅動器300之外的外部電路271。
請參見第19A圖至第19N圖及第20A圖,在另一實施例中,其中之一個的專用I/O晶片265之第一個的大型I/O電路341可以驅動來自位在商品化標準邏輯驅動器300之外的外部電路271之控制指令傳送至其第二個的大型I/O電路341,其第二個的大型I/O電路341可以驅動控制指令經由一或多條之晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364傳送至控制方塊360所代表之專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268之大型I/O電路341。
請參見第19A圖至第19N圖及第20A圖,在另一實施例中,控制方塊360所代表之專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268之大型I/O電路341可以驅動控制指令經由一或多條之晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364傳送至其中之一個的專用I/O晶片265之第一個的大型I/O電路341,該其中之一個的專用I/O晶片265之第一個的大型I/O電路341可以驅動控制指令傳送至其第二個的大型I/O電路341,以傳送至位在商品化標準邏輯驅動器300之外的外部電路271。
因此,請參見第19A圖至第19N圖及第20A圖,控制指令可以由位在商品化標準邏輯驅動器300之外的外部電路271傳送至控制方塊360所代表之專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268,或是由控制方塊360所代表之專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268傳送至位在商品化標準邏輯驅動器300之外的外部電路271。
II.邏輯驅動器之第二型交互連接架構
請參見第19A圖至第19N圖及第20B圖,每一個的專用I/O晶片265之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361耦接至全部的標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203,每一個的專用I/O晶片265之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361耦接至全部的DPI IC晶片410之小型I/O電路203,每一個的專用I/O晶片265之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361耦接至其他全部的專用I/O晶片265之小型I/O電路203,每一個的專用I/O晶片265之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364耦接至全部的標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203,每一個的專用I/O晶片265之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364耦接至全部的DPI IC晶片410之小型I/O電路203,每一個的專用I/O晶片265之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364耦接至其他全部的專用I/O晶片265之小型I/O電路203。
請參見第19A圖至第19N圖及第20B圖,每一個的DPI IC晶片410之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361耦接至全部的標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203,每一個的DPI IC晶片410之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361耦接至其他全部的DPI IC晶片410之小型I/O電路203,每一個的DPI IC晶片410之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364耦接至全部的標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203,每一個的DPI IC晶片410之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364耦接至其他全部的DPI IC晶片410之小型I/O電路203。
請參見第19A圖至第19N圖及第20B圖,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361耦接至其他全部的標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203,每一個的標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364耦接至其他全部的標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203。
請參見第19A圖至第19N圖及第20B圖,控制方塊360所代表之專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268之大型I/O電路341可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364耦接至全部的專用I/O晶片265之大型I/O電路341,控制方塊360所代表之專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268之一或多個大型I/O電路341可以耦接至位在商品化標準邏輯驅動器300之外的外部電路271。
請參見第19A圖至第19N圖及第20B圖,控制方塊360所代表之每一專用I/O晶片265之大型I/O電路341可以經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364耦接至全部其它的專用I/O晶片265之大型I/O電路341,控制方塊360所代表之每一專用I/O晶片265之一或多個大型I/O電路341可以耦接至位在商品化標準邏輯驅動器300之外的外部電路271。
如第19A圖至第19N圖及第20B圖所示,在本實施例之商品化標準邏輯驅動 器300中,晶片控制方塊360所代表之專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268並不具有輸入電容、輸出電容、驅動能力或驅動負荷小於2pF之I/O電路,而具有如第13A圖所描述之大型I/O電路341,進行上述的耦接。控制方塊360所代表之專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268可以經由一或多個的專用I/O晶片265傳送控制指令或其他訊號至全部的標準商業化FPGA IC晶片200,控制方塊360所代表之專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268可以經由一或多個的專用I/O晶片265傳送控制指令或其他訊號至全部的DPI IC晶片410,控制方塊360所代表之專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268並不可以在不經由專用I/O晶片265之情況下傳送控制指令或其他訊號至標準商業化FPGA IC晶片200,控制方塊360所代表之專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268並不可以在不經由專用I/O晶片265之情況下傳送控制指令或其他訊號至DPI IC晶片410。
(1)用於編程記憶單元之交互連接線路
請參見第19A圖至第19N圖及第20B圖,在一實施例中,其中之一專用I/O晶片265可具有一其大型I/O電路341用以驅動第三編程碼從商品化標準邏輯驅動器300的外部電路271至其中之一小型I/O電路203。針對該其中之一個的專用I/O晶片265,其小型I/O電路203可以驅動第三編程碼經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364傳送至其中之一個的DPI IC晶片410之小型I/O電路203。針對該其中之一個的DPI IC晶片410,其小型I/O電路203可以驅動第三編程碼經由一或多條其晶片內交互連接線之固定交互連接線364傳送至其記憶體矩陣區塊423中其中之一記憶體單元362(如第17圖所描述之記憶體單元362),使得第三編程碼可以儲存於該其中之一個的其記憶體單元362中,用以編程如第10A圖至第10F圖、第11A圖至第11D圖及第15A圖至第15F圖中的通過/不通過開關258及/或交叉點開關379。
或者,請參見第19A圖至第19N圖及第20B圖,其中之一專用I/O晶片265具有一其大型I/O電路341以從商品化標準邏輯驅動器300之外的外部電路271驅動第二編程碼傳送至其中之一其小型I/O電路203。針對該其中之一個的專用I/O晶片265,其中之一小型I/O電路203可以驅動第二編程碼經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364傳送至其中之一個的標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203。針對該其中之一個的標準商業化FPGA IC晶片200,其小型I/O電路203可以驅動第二編程碼經由一或多條其晶片內交互連接線502之固定交互連接線364傳送至其中之一個的其記憶體單元362,使得第二編程碼可以儲存於該其中之一個的其記憶體單元362中,用以編程如第10A圖至第10F圖、第11A圖至第11D圖及第15A圖至第15F圖中的通過/不通過開關258及/或交叉點開關379。
或者,請參見第19A圖至第19N圖及第20B圖,其中之一專用I/O晶片265具有一其大型I/O電路341以從商品化標準邏輯驅動器300之外的外部電路271驅動第一編程碼傳送至其中之一其小型I/O電路203。針對該其中之一個的專用I/O晶片265,其中之一小型I/O電路203可以驅動結果值或第一編程碼經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364傳送至其中之一個的標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203。針對該其中之一個的標準商業化FPGA IC晶片200,其小型I/O電路203可以驅動結果值或第一編程碼經由一或多條其晶片內交互連接線502之固定交互連接線364傳送至其中之一個的其記憶體單 元490,使得結果值或第一編程碼可以儲存於該其中之一個的其記憶體單元490中,用以編程如第14A圖或第14H圖中的可編程邏輯區塊(LB)201。
(2)用於運作之交互連接線路
請參見第19A圖至第19N圖及第20B圖,在一實施例中,其中之一個的專用I/O晶片265之大型I/O電路341可以驅動來自商品化標準邏輯驅動器300之外的外部電路271之訊號至其小型I/O電路203,該其中之一個的專用I/O晶片265之小型I/O電路203可以驅動該訊號經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361傳送至其中之一個的DPI IC晶片410之第一個的小型I/O電路203。針對該其中之一個的DPI IC晶片410,其第一個的小型I/O電路203可以驅動該訊號經由其晶片內交互連接線之第一個的可編程交互連接線361傳送至其交叉點開關379,其交叉點開關379可以將該訊號由其晶片內交互連接線之第一個的可編程交互連接線361切換至其晶片內交互連接線之第二個的可編程交互連接線361進行傳送,以傳送至其第二個的小型I/O電路203,其第二個的小型I/O電路203可以驅動該訊號經由一或多條晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361傳送至其中之一個的標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203。針對該其中之一個的標準商業化FPGA IC晶片200,其小型I/O電路203可以驅動該訊號經由如第16G圖所繪示之其晶片內交互連接線502之第一組之可編程交互連接線361及繞道交互連接線279傳送至其交叉點開關379,其交叉點開關379可以將該訊號由其晶片內交互連接線502之第一組之可編程交互連接線361及繞道交互連接線279切換至其晶片內交互連接線502之第二組之可編程交互連接線361及繞道交互連接線279進行傳送,以傳送至如第14A圖或第14H圖中的可編程邏輯區塊(LB)201之輸入A0-A3的其中之一個。
請參見第19A圖至第19N圖及第20B圖,在另一實施例中,第一個的標準商業化FPGA IC晶片200之可編程邏輯區塊(LB)201(如第14A圖或第14H圖中的可編程邏輯區塊(LB)201)可以產生輸出Dout,經由其晶片內交互連接線502之第一組之可編程交互連接線361及繞道交互連接線279可以傳送至其交叉點開關379,其交叉點開關379可以將該輸出Dout經由其晶片內交互連接線502之第一組之可編程交互連接線361及繞道交互連接線279切換至其晶片內交互連接線502之第二組之可編程交互連接線361及繞道交互連接線279進行傳送,以傳送至其小型I/O電路203,其小型I/O電路203可以驅動該輸出Dout經由一或多條之晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361傳送至其中之一個的DPI IC晶片410之第一個的小型I/O電路203。針對該其中之一個的DPI IC晶片410,其第一個的小型I/O電路203可以驅動該輸出Dout經由其晶片內交互連接線之第一組之可編程交互連接線361傳送至其交叉點開關379,其交叉點開關379可以將該輸出Dout由其晶片內交互連接線之第一組之可編程交互連接線361切換至其晶片內交互連接線之第二組之可編程交互連接線361進行傳送,以傳送至其第二個的小型I/O電路203,其第二個的小型I/O電路203可以驅動該輸出Dout經由一或多條之晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361傳送至第二個的標準商業化FPGA IC晶片200之小型I/O電路203。針對第二個的標準商業化FPGA IC晶片200,其小型I/O電路203可以驅動該輸出Dout經由如第16G圖所繪示之其晶片內交互連接線502之第一組之可編程交互連接線361及繞道交互連接線279傳送至其交叉點開關379,其交叉點開關379可以將該輸出Dout由其晶片內交互連接線502之第一組之可編程交互連接線361及繞道交互連接線279切換至其晶片內交互連接線502之第二組之可編程交互連接線361及繞道交互連接線279進行傳送,以傳送至如 第14A圖或第14H圖中的可編程邏輯區塊(LB)201之輸入A0-A3的其中之一個。
請參見第19A圖至第19N圖及第20B圖,在另一方面,對於標準商業化FPGA IC晶片200,如第14A圖或第14H圖中的其中之一可編程邏輯區塊(LB)201可以產生輸出Dout,經由其晶片內交互連接線502之第一組之可編程交互連接線361及繞道交互連接線279可以傳送至其中之一交叉點開關379,其交叉點開關379可以將該輸出Dout經由其晶片內交互連接線502之第一組之可編程交互連接線361及繞道交互連接線279切換至其晶片內交互連接線502之第二組之可編程交互連接線361及繞道交互連接線279進行傳送,以傳送至其小型I/O電路203,其小型I/O電路203可以驅動該輸出Dout經由一或多條之晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361傳送至其中之一個的DPI IC晶片410之第一個的小型I/O電路203。針對該其中之一個的DPI IC晶片410,其第一個的小型I/O電路203可以驅動該輸出Dout經由其晶片內交互連接線之第一組之可編程交互連接線361傳送至其交叉點開關379,其交叉點開關379可以將該輸出Dout由其晶片內交互連接線之第一組之可編程交互連接線361切換至其晶片內交互連接線之第二組之可編程交互連接線361進行傳送,以傳送至其第二個的小型I/O電路203,其第二個的小型I/O電路203可以驅動該輸出Dout經由一或多條之晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之可編程交互連接線361傳送至其中之一個的專用I/O晶片265之小型I/O電路203。針對該其中之一個的專用I/O晶片265,其小型I/O電路203可以驅動該輸出Dout傳送至其大型I/O電路341,以傳送至位在商品化標準邏輯驅動器300之外的外部電路271。
(3)用於控制之交互連接線路
請參見第19A圖至第19N圖及第20B圖,在一實施例中,針對控制方塊360所代表之專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268,其大型I/O電路341可以由位在商品化標準邏輯驅動器300之外的外部電路271接收控制指令,或是可以傳送控制指令至位在商品化標準邏輯驅動器300之外的外部電路271。
請參見第19A圖至第19N圖及第20B圖,在另一實施例中,其中之一個的專用I/O晶片265之第一個的大型I/O電路341可以驅動來自位在商品化標準邏輯驅動器300之外的外部電路271之控制指令傳送至其第二個的大型I/O電路341,其第二個的大型I/O電路341可以驅動控制指令經由一或多條之晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364傳送至控制方塊360所代表之專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268之大型I/O電路341。
請參見第19A圖至第19N圖及第20B圖,在另一實施例中,控制方塊360所代表之專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268之大型I/O電路341可以驅動控制指令經由一或多條之晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371之固定交互連接線364傳送至其中之一個的專用I/O晶片265之第一個的大型I/O電路341,該其中之一個的專用I/O晶片265之第一個的大型I/O電路341可以驅動控制指令傳送至其第二個的大型I/O電路341,以傳送至位在商品化標準邏輯驅動器300之外的外部電路271。
因此,請參見第19A圖至第19N圖及第20B圖,控制指令可以由位在商品化標準邏輯驅動器300之外的外部電路271傳送至控制方塊360所代表之專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268,或是由控制方塊360所代表之專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268傳送至位在商品化標 準邏輯驅動器300之外的外部電路271。
用於標準商業化FPGA IC晶片及高頻寬記憶體(HBM)IC晶片的資料匯流排(Data Buses)
如第20C圖為本發明實施例用於一或多個標準商業化FPGA IC晶片及HBM IC晶片251的複數資料匯流排的方塊示意圖,如第19L圖至第19N圖及第20C圖所示,商品化標準邏輯驅動器300可具有複數個資料匯流排315,每一資料匯流排315係由多個可編程交互連接線361及/或多個固定交互連接線364所建構形成,例如,用於商品化標準邏輯驅動器300,複數個其可編程交互連接線361可編程獲得其資料匯流排315,可替換方案,複數可編程交互連接線361可編程成與複數個其固定交互連接線364組合而獲得其中之一其資料匯流排315,可替換方案,複數其固定交互連接線364可結合而獲得其中之一其資料匯流排315。
如第20C圖所示,其中之一資料匯流排315耦接至複數標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200及複數HBM IC晶片251(圖中僅顯示一個),例如,在一第一時脈下,其中之一資料匯流排315可切換成(或耦接至)其中之一第一標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200的其中之一I/O埠至其中之一第二標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200的其中之一標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200,該第一標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200的該其中之一I/O埠可依據如第16A圖中其中之一該第一標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200的晶片賦能(CE)接墊209、輸入賦能(IE)接墊221、輸入選擇接墊226及輸入賦能(OE)接墊221的邏輯值而選擇其中之一,以從其中之一資料匯流排315接收資料;一該第二標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200的其中之一I/O埠可依據第16A圖中其中之一該第一標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200的晶片賦能(CE)接墊209、輸入賦能(IE)接墊221、輸入賦能(OE)接墊221及輸出選擇接墊228而選擇其中之一,以驅動或通過資料至其中之一資料匯流排315。因此,在第一時脈中,該第二標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200的其中之一I/O埠可驅動或通過資料經由一資料匯流排315傳送至該第一標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200的其中之一I/O埠,在該第一時脈中,不使用其中之一資料匯流排315在資料傳輸上,而係經由所耦接的其它的標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200或是經由所耦接的HBM IC晶片251。
如第20C圖所示,在一第二時脈下,其中之一資料匯流排315可切換成(或耦接至)其中之一第一標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200的其中之一I/O埠至其中之一第一HBM IC晶片251的其中之一I/O埠,該第一標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200的該其中之一I/O埠可依據如第16A圖中其中之一該第一標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200的晶片賦能(CE)接墊209、輸入賦能(IE)接墊221、輸入選擇接墊226及輸入賦能(OE)接墊221的邏輯值而選擇其中之一,以從其中之一資料匯流排315接收資料;一該第一HBM IC晶片251的其中之一I/O埠可被選擇去驅動或通過資料至其中之一資料匯流排315。因此,在第二時脈中,該第一HBM IC晶片251的其中之一I/O埠可驅動或通過資料經由一資料匯流排315傳送至該第一標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200的其中之一I/O埠,在該第二時脈中,不使用其中之一資料匯流排315在資料傳輸上,而係經由所耦接的其它的標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200或是經由所耦接的HBM IC晶片251。
另外,如第20C圖所示,在一第三時脈下,其中之一資料匯流排315可切換成(或耦接至)其中之第一標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200的該其中之一I/O埠至其中之 該第一HBM IC晶片251的其中之一I/O埠,該第一標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200的該其中之一I/O埠可依據如第16A圖中其中之一該第二標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200的晶片賦能(CE)接墊209、輸入賦能(IE)接墊221、輸出選擇接墊228及輸入賦能(OE)接墊221的邏輯值而選擇其中之一,以驅動或通過資料至其中之一該資料匯流排315;一該第一HBM IC晶片251的其中之一I/O埠可被選擇從其中之一該資料匯流排315接收資料。因此,在第三時脈中,該標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200的其中之一I/O埠可驅動或通過資料經由一資料匯流排315傳送至該HBM IC晶片251的其中之一I/O埠,在該第三時脈中,不使用其中之一資料匯流排315在資料傳輸上,而係經由所耦接的其它的標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200或是經由所耦接的HBM IC晶片251。
如第20C圖所示,在一第四時脈下,其中之一資料匯流排315可切換成(或耦接至)其中之一HBM IC晶片251的其中之一I/O埠至其中之一第二HBM IC晶片251的其中之一I/O埠,該第二HBM IC晶片251被選擇而驅動或通過資料至其中之一資料匯流排315接收資料;一該第一HBM IC晶片251的其中之一I/O埠可被選擇從其中之一資料匯流排315來接收資料。因此,在第四時脈中,該第二HBM IC晶片251的其中之一I/O埠可驅動或通過資料經由一資料匯流排315傳送至該第一HBM IC晶片251的其中之一I/O埠,在該第四時脈中,不使用其中之一資料匯流排315在資料傳輸上,而係經由所耦接的其它的標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200或是經由所耦接的HBM IC晶片251。
資料下載至記憶體單元的演算法
第21A圖為本發明實施例中用於資料下載至記憶體單元的算法方塊圖,如第21A圖所示,用於下載資料至如第16A圖至第16J圖中的商業化標準商業化FPGA IC晶片200的複數記憶體單元490或記憶體單元362及下載至如第17圖的DPI IC晶片410中的記憶體矩陣區塊423之複數記憶體單元362內,一緩衝/驅動單元或緩衝/驅動單元340可提供用於驅動資料,例如產生值(resulting values)或編程碼,串聯輸出至緩衝/驅動單元或緩衝/驅動單元340,並且並聯放大資料至商業化標準商業化FPGA IC晶片200的複數記憶體單元490或記憶體單元362及(或)至DPI IC晶片410的複數記憶體單元362上,此外,控制單元337可用來控制緩衝/驅動單元340,用以緩衝結果值或編程碼,並以串聯方式傳輸至其輸出端及以並聯方式驅動它們至其輸出端,緩衝/驅動單元340的每一輸出耦接至如第16A圖至第16J圖中標準商業化FPGA IC晶片200的其中之一記憶體單元490及記憶體單元362,及/或每一輸出耦接至如第17圖DPI IC晶片410的記憶體矩陣區塊423之一記憶體單元362。
第21B圖為本發明實施例用於資料下載的結構示意圖,如第13B圖,在SATA的標準中,接合接合接點586包含:(1)複數記憶體單元446(也就是如第8圖中一複數SRAM單元);(2)如第8圖所示複數電晶體(開關)449中的每一電晶體(開關)449之通道之一端並聯耦接至其它的或另一個電晶體(開關)449的每一個,其係經由如第8圖中一位元線452或位元條(bit-bar)線453耦接至緩衝/驅動單元340的輸入,及其它端串聯耦接至如第16A圖至第16J圖中的商業化標準商業化FPGA IC晶片200的一複數記憶體單元490或記憶體單元362或如第17圖中DPI IC晶片410中記憶體矩陣區塊423的一複數記憶體單元362。
如第21B圖所示,控制單元337通過如第8圖中的複數字元線451耦接至電晶體(開關)449的複數閘極端,由此,控制單元337用於依次並且打開在每一時脈週期(clock cycles)的每一第一時脈期間(clock periods)之電晶體(開關)449及關閉其它的電晶體(開關)449,以及控制單元337可用以關閉每一時脈週期(clock cycles)的每一第二時脈期間(clock periods)全部的電晶體(開關)449,控制單元337用於打開在每一時脈週期內的一第二時脈期間中所有的開關336及關閉在每一時脈週期內的每一第一時脈期間內的所有開關336,而位在緩衝/驅動單元340與標準商業化FPGA IC晶片200的記憶體單元490或記憶體單元362之間具有一位元寬度等於或大於2、4、8、16、32或64寬度,或是緩衝/驅動單元340與DPIIC晶片410的記憶體單元362之間具有一位元寬度等於或大於2、4、8、16、32或64寬度。
例如,如第21B圖所示,在一第一個時脈週期內的一第一個第一時脈期間、控制單元337可打開最底端的一個電晶體(開關)449及關閉其它的電晶體(開關)449,由此從緩衝/驅動單元340輸入之第一資料(例如是一第一個第一產生值或編程碼)通過最底端一個電晶體(開關)449之通道而鎖存或儲存在最底端的一個記憶體單元446,接著,在第一個時脈週期內的第二個第一時脈期間可打開第二底端一電晶體(開關)449及關閉其它的電晶體(開關)449,由此從緩衝/驅動單元340輸入的第二資料(例如是第二個產生值或編程碼)通過第二底部的一個電晶體(開關)449的通道,而鎖存或儲存在第二底部的一個記憶體單元446,在第一個時脈週期中,控制單元337可依序打開電晶體(開關)449,並且在第一個時脈期間中依次打開電晶體(開關)449的其他部分,從而從第一個產生值或編程碼中取出第一組數據緩衝/驅動單元340的輸入可以依次逐一通過電晶體(開關)449的通道被鎖存或存儲在記憶體單元446中。在第一個時脈週期中,從緩衝/驅動單元340的輸入的資料依序且逐一鎖存或儲存在所有的記憶體單元446之後,控制單元337可打開在第二時脈期間內的全部的開關336及關閉全部的電晶體(開關)449,從而鎖存或儲存在記憶體單元446內的資料可分別通過開關336的通道並連通過至如第16A圖至第16J圖之商業化標準商業化FPGA IC晶片200的一第一組複數記憶體單元490及(或)記憶體單元362,及(或)至如第17圖中的DPI IC晶片410的記憶體矩陣區塊423之複數記憶體單元362。
接著,如第21B圖所示,在一第二個時脈週期,控制單元337及緩衝/驅動單元340可進行與上面第一個時脈週期中所示的相同步驟。在第二個時脈週期中,控制單元337可依序且逐一打開電晶體(開關)449及關閉在第一時脈期間內的其它的電晶體(開關)449,由此來自從緩衝/驅動單元340輸入的資料(例如是一第二組產生值或編程碼)可分別依序且逐一經由電晶體(開關)449通過鎖存或儲存在記憶體單元446,在第二個時脈週期中,從緩衝/驅動單元340輸入的資料依序且逐一鎖存或儲存在所有的記憶體單元446中後,控制單元337可打開所有的開關336及關閉在第二時脈期間中所有的電晶體(開關)449,由此鎖存或儲存在記憶體單元446的資料可並聯的經由開關336的複數通道分別地通過至如第16A圖至第16J圖中的商業化標準商業化FPGA IC晶片200的第二組複數記憶體單元490及(或)記憶體單元362及(或)如第17圖中DPI IC晶片410的記憶體矩陣區塊423之複數記憶體單元362。
如第21B圖所示,上述步驟可以重複多次以使得從緩衝/驅動單元340輸入的資料(例如是產生值或編程碼)下載至如第16A圖至第16J圖中的商業化標準商業化FPGA IC晶片200的複數記憶體單元490或記憶體單元362及或如第17圖中DPI IC晶片410的記憶體矩陣區塊423之複數記憶體單元362,緩衝/驅動單元340可將來自其單個輸入的資料鎖存,並增加(放大)資料位寬(bit-width)至如第16A圖至第16J圖中的商業化標準商業化FPGA IC晶片200的複數記憶體單元490及(或)記憶體單元362及(或)在如第19A圖至第19N圖中商品化標準邏輯驅動 器300的DPI IC晶片410(如第17圖)中的記憶體矩陣區塊423之複數記憶體單元362。
或者,在一外部連結(peripheral-component-interconnect(PCI))標準下,如第21A圖及第21B圖,一複數緩衝/驅動單元340可並聯提供至緩衝器資料(例如是產生值或編程碼),此緩衝/驅動單元340的數量例如等於或大於4、8、16、32或64個,緩衝/驅動單元340並聯地將來自其本身輸入及驅動或放大的資料(傳輸)至如第16A圖至第16J圖中的商業化標準商業化FPGA IC晶片200的複數記憶體單元490及(或)記憶體單元362及或在如第19A圖至第19N圖中商品化標準邏輯驅動器300的DPI IC晶片410(如第17圖中)的記憶體矩陣區塊423之複數記憶體單元362,每一緩衝/驅動單元340可執行與上述說明相同的功能。
I.用於控制單元、緩衝/驅動單元及複數記憶體單元的第一種排列(佈局)方式
如第21A圖至第21B圖所示,如第16A圖至第16J圖中商業化標準商業化FPGA IC晶片200與其外部電路之間的位寬為32位元的情況下,緩衝/驅動單元340的數量為32個可並聯設在來自其32個相對應輸入的商業化標準商業化FPGA IC晶片200至緩衝器資料(例如是產生值或編程碼)中,並耦接至外部電路(即具有並聯32位元的位寬(bit width))及驅動或放大資料至如第16A圖至第16J圖中的商業化標準商業化FPGA IC晶片200的複數記憶體單元490及(或)記憶體單元362,其中記憶體單元490及(或)記憶體單元362係如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖、第5A圖至第5F圖、第6A圖至第6G圖或第7A圖至第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760、800、900或910,或是如第9A圖或第9B圖所描述之鎖存非揮發性記憶體(NVM)單元940或950,在每一時脈週期中,設置在商業化標準商業化FPGA IC晶片200中的控制單元337可依序且逐一打開每一32個緩衝/驅動單元340之電晶體(開關)449及關閉在第一個時脈期間中每一32個緩衝/驅動單元340之其它的電晶體(開關)449及在第一時脈期間中關閉每一32個緩衝/驅動單元340的全部開關336,因此來自每一32個緩衝/驅動單元340的資料(例如是產生值或編程碼)可依序且逐一經由每一32個緩衝/驅動單元340之電晶體(開關)449的通道通過鎖存或儲存在每一32個緩衝/驅動單元340之記憶體單元446內,在每一個時脈週期中,來自其32個相對應並聯輸入之資料依序且逐一鎖存或儲存在全部32個緩衝/驅動單元340的記憶體單元446之後,控制單元337可打開全部32個緩衝/驅動單元340的開關336及關閉在第二時脈期間內全部32個緩衝/驅動單元340的電晶體(開關)449,因此鎖存或儲存在全部32個緩衝/驅動單元340的記憶體單元446的資料,可並聯且個別地經由32個緩衝/驅動單元340之開關336的通道通過至第16A圖至第16J圖中的商業化標準商業化FPGA IC晶片200的複數記憶體單元490及(或)記憶體單元362,其中記憶體單元490及(或)記憶體單元362係如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖、第5A圖至第5F圖、第6A圖至第6G圖或第7A圖至第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760、800、900或910,或是如第9A圖或第9B圖所描述之鎖存非揮發性記憶體(NVM)單元940或950。
對於如第19A圖至第19N圖的每一單層封裝商品化標準邏輯驅動器300,每一複數標準商業化FPGA IC晶片200可具有用於如上所述之控制單元337、緩衝/驅動單元340及複數記憶體單元490及記憶體單元362的第一種排列(佈局)方式,其中記憶體單元490及(或)記憶體單元362係如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖、 第5A圖至第5F圖、第6A圖至第6G圖或第7A圖至第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760、800、900或910,或是如第9A圖或第9B圖所描述之鎖存非揮發性記憶體(NVM)單元940或950。
II.用於控制單元、緩衝/驅動單元及複數記憶體單元的第二種排列(佈局)方式
如第21A圖至第21B圖所示,如第21A圖至第21B圖所示,如第17圖中DPI IC晶片410與其外部電路之間的位寬為32位元的情況下,緩衝/驅動單元340的數量為32個可並聯設在來自其32個相對應輸入的DPI IC晶片410至緩衝器資料(例如是編程碼)中,並耦接至外部電路(即具有並聯32位元的位寬(bit width))及驅動或放大資料至如如第16A圖至第16J圖中的DPI IC晶片410的複數記憶體單元490及(或)記憶體單元362,其中記憶體單元490及(或)記憶體單元362可參考非揮發性記憶體矩陣區塊423單元,如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖、第5A圖至第5F圖、第6A圖至第6G圖或第7A圖至第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760、800、900或910,或是如第9A圖或第9B圖所描述之鎖存非揮發性記憶體(NVM)單元940或950。在每一時脈週期中,設置在DPI IC晶片410中的控制單元337可依序且逐一打開每一32個緩衝/驅動單元340之電晶體(開關)449及關閉在第一個時脈期間中每一32個緩衝/驅動單元340之其它的電晶體(開關)449,及在第一時脈期間中關閉每一32個緩衝/驅動單元340的全部開關336,因此來自每一32個緩衝/驅動單元340的資料(例如是產生值或編程碼)可依序且逐一經由每一32個緩衝/驅動單元340之電晶體(開關)449的通道通過鎖存或儲存在每一32個緩衝/驅動單元340之記憶體單元446內,在每一個時脈週期中,來自其32個相對應並聯輸入之資料依序且逐一鎖存或儲存在全部32個緩衝/驅動單元340的記憶體單元446之後,控制單元337可打開全部32個緩衝/驅動單元340的開關336及關閉在第二時脈期間內全部32個緩衝/驅動單元340的電晶體(開關)449,因此鎖存或儲存在全部32個緩衝/驅動單元340的記憶體單元446的資料,可並聯且個別地經由32個緩衝/驅動單元340之開關336的通道通過至第9圖中的DPI IC晶片410的記憶體矩陣區塊423之複數記憶體單元362,其中記憶體單元490及(或)記憶體單元362可參考非揮發性記憶體矩陣區塊423單元,如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖、第5A圖至第5F圖、第6A圖至第6G圖或第7A圖至第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760、800、900或910,或是如第9A圖或第9B圖所描述之鎖存非揮發性記憶體(NVM)單元940或950。
對於如第19A圖至第19N圖中的每一單層封裝商品化標準邏輯驅動器300,每一複數DPI IC晶片410可具有用於如上所述之控制單元337、緩衝/驅動單元340及複數記憶體單元362的第二種排列(佈局)方式,其中記憶體單元362係如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖、第5A圖至第5F圖、第6A圖至第6G圖或第7A圖至第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760、800、900或910,或是如第9A圖或第9B圖所描述之鎖存非揮發性記憶體(NVM)單元940或950。
III.用於控制單元、緩衝/驅動單元及複數記憶體單元的第三種排列(佈局)方式
如第21A圖至第21B圖所示,用於如第19A圖至19N圖中單層封裝商品化標準邏輯驅動器300的控制單元337、緩衝/驅動單元340及複數記憶體單元490及記憶體單元362的第三種排列(佈局)方式,其中記憶體單元490及(或)記憶體單元362可參考非揮發性記憶體矩陣區塊423單元,如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖、第5A圖至第5F圖、第6A圖至第6G圖或第7A圖至第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760、800、900或910,或是如第9A圖或第9B圖所描述之鎖存非揮發性記憶體(NVM)單元940或950。第三種排列(佈局)方式與用於單層封裝商品化標準邏輯驅動器300的每一複數標準商業化FPGA IC晶片200之控制單元337、緩衝/驅動單元340及複數記憶體單元490及記憶體單元362的第一種排列(佈局)方式相似,但二者之間的差別在於第三種排列中的控制單元337設置在如第19A圖至第19N圖中專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268中,而不是設置在單層封裝商品化標準邏輯驅動器300的任一複數標準商業化FPGA IC晶片200中,控制單元337設置在專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268中可以是(1)經由一個字元線451通過一控制命令至在一複數標準商業化FPGA IC晶片200中緩衝/驅動單元340的一個電晶體(開關)449,其中字元線451係由一固定交互連接線364或晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371所提供;或(2)經由一個字元線454通過一控制命令至在一個複數標準商業化FPGA IC晶片200中緩衝/驅動單元340的全部開關336,其中字元線454係由另一固定交互連接線364或晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371所提供。
用於控制單元、緩衝/驅動單元及複數記憶體單元的第四種排列(佈局)方式
如第21A圖至第21B圖所示,用於如第19A圖至19N圖中單層封裝商品化標準邏輯驅動器300的控制單元337、緩衝/驅動單元340及複數記憶體單元362的第四種排列(佈局)方式,其中記憶體單元490及(或)記憶體單元362可參考非揮發性記憶體矩陣區塊423單元,如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖、第5A圖至第5F圖、第6A圖至第6G圖或第7A圖至第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760、800、900或910,或是如第9A圖或第9B圖所描述之鎖存非揮發性記憶體(NVM)單元940或950。第四種排列(佈局)方式與用於單層封裝商品化標準邏輯驅動器300的每一複數DPI IC晶片410之控制單元337、緩衝/驅動單元340及複數記憶體單元362的第二種排列(佈局)方式相似,但二者之間的差別在於第四種排列中的控制單元337設置在如第19A圖至第19N圖中專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268中,而不是設置在單層封裝商品化標準邏輯驅動器300的任一複數DPI IC晶片410中,控制單元337設置在專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268中可以是(1)經由一個字元線451通過一控制命令至在一複數DPI IC晶片410中緩衝/驅動單元340的一個電晶體(開關)449,其中字元線451係由一固定交互連接線364或晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371所提供;或(2)經由一個字元線454通過一控制命令至在一個複數DPI IC晶片410中緩衝/驅動單元340的全部開關336,其中字元線454係由另一固定交互連接線364或晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371所提供。
用於邏輯驅動器的控制單元、緩衝/驅動單元及複數記憶體單元的第五種排列(佈局)方式
如第21A圖至第21圖所示,用於如第19B圖、第19E圖、第19F圖、第19H圖及第19J圖中單層封裝商品化標準邏輯驅動器300的控制單元337、緩衝/驅動單元340及複數記憶體單元490及記憶體單元362的第五種排列(佈局)方式,其中記憶體單元490及(或)記憶體單元362可參考如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖、第5A圖至第5F圖、第6A圖至第6G圖或第7A圖至第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760、800、900或910,或是如第9A圖或第9B圖所描述之鎖存非揮發性記憶體(NVM)單元940或950。第五種排列(佈局)方式與用於單層封裝商品化標準邏輯驅動器300的每一複數標準商業化FPGA IC晶片200之控制單元337、緩衝/驅動單元340及複數記憶體單元490及記憶體單元362的第一種排列(佈局)方式相似,但二者之間的差別在於第五種排列中的控制單元337及緩衝/驅動單元340二者皆設置在如如第19B圖、第19E圖、第19F圖、第19H圖及第19J圖中專用控制及I/O晶片266或DCDI/OIAC晶片268中,而不是設置在單層封裝商品化標準邏輯驅動器300的任一複數標準商業化FPGA IC晶片200中,資料可串聯方式傳送至設置在專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268內的緩衝/驅動單元340,以鎖存或存儲該資料在緩衝/驅動單元340的記憶體單元446中,設置在專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268內的緩衝/驅動單元340,可以並聯方式從記憶體單元446依序的傳送資料至一標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200的記憶體單元490及(或)記憶體單元362,其中記憶體單元490及(或)記憶體單元362可參考如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖、第5A圖至第5F圖、第6A圖至第6G圖或第7A圖至第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760、800、900或910,其中傳送資料係依據以下順序傳送,平行設置在專用控制及I/O晶片266或DCDI/OIAC晶片268的小型I/O電路203、平行設置在晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371的固定交互連接線364及平行設置在一標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200的小型I/O電路203。
VI.用於邏輯驅動器的控制單元、緩衝/驅動單元及複數記憶體單元的第六種排列(佈局)方式
如第21A圖至第21圖所示,用於如第19B圖、第19E圖、第19F圖、第19H圖及第19J圖中單層封裝商品化標準邏輯驅動器300的控制單元337、緩衝/驅動單元340及記憶體單元362的第六種排列(佈局)方式,其中記憶體單元362可參考如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖、第5A圖至第5F圖、第6A圖至第6G圖或第7A圖至第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760、800、900或910,或是如第9A圖或第9B圖所描述之鎖存非揮發性記憶體(NVM)單元940或950。第六種排列(佈局)方式與用於單層封裝商品化標準邏輯驅動器300的每一複數DPI IC晶片410之控制單元337、緩衝/驅動單元340及複數記憶體單元490及記憶體單元362的第二種排列(佈局)方式相似,但二者之間的差別在於第六種排列中的控制單元337及緩衝/驅動單元340二者皆設置在如如第19B圖、第19E圖、第19F圖、第19H圖及第19J圖中專用控制及I/O晶片266或DCDI/OIAC晶片268中,而不是設置在單層封裝商品化標準邏輯驅動器300的任一複數DPI IC晶片410中,資料可串聯方式傳送至設置在專用控制晶片260、專用控制及I/O晶 片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268內的緩衝/驅動單元340,以鎖存或存儲該資料在緩衝/驅動單元340的記憶體單元446中,設置在專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268內的緩衝/驅動單元340,可以並聯方式從記憶體單元446依序的傳送資料至一DPI IC晶片410的記憶體單元490及(或)記憶體單元362,其中記憶體單元490及(或)記憶體單元362可參考非揮發性記憶體矩陣區塊423單元,如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖、第5A圖至第5F圖、第6A圖至第6G圖或第7A圖至第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760、800、900或910,或是如第9A圖或第9B圖所描述之鎖存非揮發性記憶體(NVM)單元940或950,其中傳送資料係依據以下順序傳送,平行設置在專用控制及I/O晶片266或DCDI/OIAC晶片268的小型I/O電路203、平行設置在晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371的固定交互連接線364及平行設置在一DPI IC晶片410的小型I/O電路203。
用於邏輯驅動器的控制單元、緩衝/驅動單元及複數記憶體單元的第七種排列(佈局)方式
如第21A圖至第21B圖所示,用於如第19A圖至19N圖中單層封裝商品化標準邏輯驅動器300的控制單元337、緩衝/驅動單元340及複數記憶體單元490及記憶體單元362的第七種排列(佈局)方式,其中記憶體單元490及(或)記憶體單元362可參考非揮發性記憶體矩陣區塊423單元,如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖、第5A圖至第5F圖、第6A圖至第6G圖或第7A圖至第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760、800、900或910,或是如第9A圖或第9B圖所描述之鎖存非揮發性記憶體(NVM)單元940或950。第七種排列(佈局)方式與用於單層封裝商品化標準邏輯驅動器300的每一複數標準商業化FPGA IC晶片200之控制單元337、緩衝/驅動單元340及複數記憶體單元490及記憶體單元362的第一種排列(佈局)方式相似,但二者之間的差別在於第七種排列中的控制單元337設置在如第19A圖至第19N圖中專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268中,而不是設置在單層封裝商品化標準邏輯驅動器300的任一複數標準商業化FPGA IC晶片200中,另外,緩衝/驅動單元340在第七種排列中係設置在如第19A圖至第19N圖的一個複數專用I/O晶片265內,而不是設置在單層封裝商品化標準邏輯驅動器300的任一複數標準商業化FPGA IC晶片200中,控制單元337設置在專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268中可以是(1)經由一個字元線451通過一控制命令至在一複數專用I/O晶片265中緩衝/驅動單元340的一個電晶體(開關)449,其中字元線451係由一固定交互連接線364或晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371所提供;或(2)經由一個字元線454通過一控制命令至在一個複數專用I/O晶片265中緩衝/驅動單元340的全部開關336,其中字元線454係由另一固定交互連接線364或晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371所提供。資料可串聯傳輸至一個複數專用I/O晶片265中的緩衝/驅動單元340,鎖存或儲存在緩衝/驅動單元340的記憶體單元446內,在一個複數專用I/O晶片265的緩衝/驅動單元340可依序並聯通過來自其本身記憶體單元446的資料至一個複數標準商業化FPGA IC晶片200的一組複數記憶體單元490及記憶體單元362,其中記憶體單元490及(或)記憶體單元362可參考非揮發性記憶體矩陣區塊423單元,如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖、第5A圖至第5F圖、第6A圖至第6G圖 或第7A圖至第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760、800、900或910,或是如第9A圖或第9B圖所描述之鎖存非揮發性記憶體(NVM)單元940或950,依序通過一個複數專用I/O晶片265的小型I/O電路203、晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371的一組並聯固定交互連接線364及一個複數標準商業化FPGA IC晶片200的一組並聯複數小型I/O電路203。
VIII.用於邏輯驅動器的控制單元、緩衝/驅動單元及複數記憶體單元的第八種排列(佈局)方式
如第21A圖至第21B圖所示,用於如第19A圖至19N圖中單層封裝商品化標準邏輯驅動器300的控制單元337、緩衝/驅動單元340及複數記憶體單元362的第八種排列(佈局)方式,其中記憶體單元490及(或)記憶體單元362可參考非揮發性記憶體矩陣區塊423單元,如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖、第5A圖至第5F圖、第6A圖至第6G圖或第7A圖至第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760、800、900或910,或是如第9A圖或第9B圖所描述之鎖存非揮發性記憶體(NVM)單元940或950。第八種排列(佈局)方式與用於單層封裝商品化標準邏輯驅動器300的每一複數DPI IC晶片410之控制單元337、緩衝/驅動單元340及複數記憶體單元362的第一種排列(佈局)方式相似,但二者之間的差別在於第八種排列中的控制單元337設置在如第19A圖至第19N圖中專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268中,而不是設置在單層封裝商品化標準邏輯驅動器300的任一複數DPI IC晶片410中,另外,緩衝/驅動單元340在第八種排列中係設置在如第119A圖至第19N圖的一個複數專用I/O晶片265內,而不是設置在單層封裝商品化標準邏輯驅動器300的任一複數DPI IC晶片410中,控制單元337設置在專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268中可以是(1)經由一個字元線451通過一控制命令至在一複數專用I/O晶片265中緩衝/驅動單元340的一個電晶體(開關)449,其中字元線451係由一固定交互連接線364或晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371所提供;及(2)經由一個字元線454通過一控制命令至在一個複數專用I/O晶片265中緩衝/驅動單元340的全部開關336,其中字元線454係由另一固定交互連接線364或晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371所提供,資料可串聯傳輸至一個複數專用I/O晶片265中的緩衝/驅動單元340,鎖存或儲存在緩衝/驅動單元340的記憶體單元446內,在一個複數專用I/O晶片265的緩衝/驅動單元340可依序並聯通過來自其本身記憶體單元446的資料至一個複數DPI IC晶片410的一組複數記憶體單元490及記憶體單元362,其中記憶體單元490及(或)記憶體單元362可參考非揮發性記憶體矩陣區塊423單元,如第1A圖、第1H圖、第2A圖至第2E圖、第3A圖至第3W圖、第4A圖至第4S圖、第5A圖至第5F圖、第6A圖至第6G圖或第7A圖至第7J圖所描述之非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760非揮發性記憶體(NVM)單元600、650、700、760、800、900或910,或是如第9A圖或第9B圖所描述之鎖存非揮發性記憶體(NVM)單元940或950,其依序通過一個複數專用I/O晶片265的一組並聯複數小型I/O電路203、晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371的一組並聯晶片間(INTER-CHIP)交互連接線371的固定交互連接線364及一個複數DPI IC晶片410的一組並聯複數小型I/O電路203。
晶片(FISC)的第一交互連接線結構及其製造方法
每一標準商業化FPGA IC晶片200、DPI IC晶片410、專用I/O晶片265、專用控制 晶片260、專用控制及I/O晶片266、IAC晶片402、DCIAC晶片267、DCDI/OIAC晶片268、DRAM IC晶片321、非揮發性記憶體(NVM)IC晶片250、高速高頻寬的記憶體(HBM)IC晶片251及PC IC晶片269可經由下列步驟形成:
第22A圖為本發明實施例中半導體晶圓剖面圖,如第22A圖所示,一半導體基板或半導體半導體基板(晶圓)2可以是一矽基板或矽晶圓、砷化鎵(GaAs)基板、砷化鎵晶圓、矽鍺(SiGe)基板、矽鍺晶圓、絕緣層上覆矽基板(SOI),其基板晶圓尺寸例如是直徑8吋、12吋或18吋。
如第22A圖所示,複數半導體元件4形成在半導體基板2的半導體元件區域上,半導體元件4可包括一記憶體單元、一邏輯運算電路、一被動元件(例如是一電阻、一電容、一電感或一過濾器或一主動元件,其中主動元件例如是p-通道金屬氧化物半導體(MOS)元件、n-通道MOS元件、CMOS(互補金屬氧化物半導體)元件、BJT(雙極結晶體管)元件、BiCMOS(雙極CMOS)元件、FIN場效電晶體(FINFET)元件、FINFET在矽在絕緣體上(FINFET on Silicon-On-Insulator(FINFET SOI)、全空乏絕緣上覆矽MOSFET(Fully Depleted Silicon-On-Insulator(FDSOI)MOSFET)、部分空乏絕緣上覆矽MOSFET(Partially Depleted Silicon-On-Insulator(PDSOI)MOSFET)或常規的MOSFET,而半導體元件4可作為標準商業化FPGA IC晶片200、DPI IC晶片410、專用I/O晶片265、專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、IAC晶片402、DCIAC晶片267、DCDI/OIAC晶片268、非揮發性記憶體(NVM)IC晶片250、DRAM IC晶片321、運算及(或)PC IC晶片269中的複數電晶體。
關於單層封裝邏輯驅動器300如第19A圖至第19N圖所示,對於每一標準商業化FPGA IC晶片200,半導體元件4可組成可編程邏輯區塊(LB)201的多工器211、可編程邏輯區塊201中用於由固定連接線所構成加法器的每一單元(A)2011、可編程邏輯區塊201中用於由固定連接線所構成乘法器的每一單元(M)2012、可編程邏輯區塊201中用於緩存及暫存器的每一單元(C/R)2013、用於可編程邏輯區塊201中查找表210的記憶體單元490、用於通過/不通過開關258、交叉點開關379及小型I/O電路203的記憶體單元362,如上述第16A圖至第16N圖所示;對於每一DPI IC晶片410,半導體元件4可組成用於通過/不通過開關258之記憶體單元362、通過/不通過開關258、交叉點開關379及小型I/O電路203的,如上述第17圖所示,對於每一專用I/O晶片265、專用控制及I/O晶片266或DCDI/OIAC晶片268,半導體元件4可組成如上述第18圖中的大型I/O電路341及小型I/O電路203;半導體元件4可組成控制單元337如第21A圖及第21B圖所示,其可設置在每一標準商業化FPGA IC晶片200、每一DPI IC晶片410、專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268中;半導體元件4可組成緩衝/驅動單元340如上述第21A圖及第21B圖所示,其可設置在每一標準商業化FPGA IC晶片200、每一DPI IC晶片410、每一專用I/O晶片265、專用控制及I/O晶片266或DCDI/OIAC晶片268中。
如第22A圖,形成在半導體基板2上的第一交互連接線結構(FISC)20連接至半導體元件4,在晶片(FISC)上或內的第一交互連接線結構(FISC)20經由晶圓製程形成在半導體基板2上,第一交互連接線結構(FISC)20可包括4至15層或6至12層的圖案化交互連接線金屬層6(在此圖只顯示3層),其中圖案化交互連接線金屬層6具有金屬接墊、線及交互連接線8及複數金屬栓塞10,第一交互連接線結構(FISC)20的金屬接墊、線及交互連接線8及金屬栓塞10可用於 如第16A圖中的每一標準商業化FPGA IC晶片200中複數晶片內交互連接線502的複數可編程交互連接線361及固定交互連接線364,第一交互連接線結構(FISC)20的第一交互連接線結構(FISC)20可包括複數絕緣介電層12及交互連接線金屬層6在每二相鄰層複數絕緣介電層12之間,第一交互連接線結構(FISC)20的每一交互連接線金屬層6可包括金屬接墊、線及交互連接線8在其頂部,而金屬栓塞10在其底部,第一交互連接線結構(FISC)20的複數絕緣介電層12其中之一可在交互連接線金屬層6中二相鄰之金屬接墊、線及交互連接線8之間,其中在第一交互連接線結構(FISC)20頂部具有金屬栓塞10在複數絕緣介電層12內,每一第一交互連接線結構(FISC)20的交互連接線金屬層6中,金屬接墊、線及交互連接線8之厚度t1小於3μm(例如係介於3nm至500nm之間、介於10nm至1000nm之間或介於10nm至3000nm之間,或厚度大於或等於5nm、10nm、30nm、50nm、100nm、200nm、300nm、500nm或1000nm),或其寬度例如係介於3nm至500nm之間、介於10nm至1000nm之間,或窄於5nm、10nm、20nm、30nm、70nm、100nm、300nm、500nm或100nm,例如,第一交互連接線結構(FISC)20中的金屬栓塞10及金屬接墊、線及交互連接線8主要係由銅金屬製成,經由如下所述之一鑲嵌製程,例如是單一鑲嵌製程或雙鑲嵌製程,在第一交互連接線結構(FISC)20的交互連接線金屬層6中的每一金屬接墊、線及交互連接線8可包括一銅層,此銅層之厚度小於3μm(例如可介於0.2μm至2μm之間),在第一交互連接線結構(FISC)20的每一絕緣介電層12可之厚度例如係介於3nm至500nm之間、介於10nm至1000nm之間,或厚度大於5nm、10nm、30nm、50nm、100nm、200nm、300nm、500nm或1000nm。
I.FISC之單一鑲嵌製程
在下文中,第22B圖至第22H圖繪示第一交互連接線結構(FISC)20的單一鑲嵌製程,請參見第22B圖,提供一第一絕緣介電層12及第一絕緣介電層12中的複數金屬栓塞10或金屬接墊、線及交互連接線8(圖中只顯示1個)在,且複數金屬栓塞10或金屬接墊、線及交互連接線8的上表面被曝露,最頂層的第一絕緣介電層12可例如是一低介電係數介電層,例如是碳氧化矽(SiOC)層。
如第22C圖所示,使用一化學氣相沉積(chemical vapor deposition(CVD)方式沉積一第二絕緣介電層12(上面那層)在第一絕緣介電層12(下面那層)上或上方,及在第一絕緣介電層12中的複數金屬栓塞10及金屬接墊、線及交互連接線8曝露的表面上,第二絕緣介電層12(上面那層)可經由(a)沉積一分層用之底部蝕刻停止層12a,例如是碳基氮化矽(SiNC)層,形成在第一絕緣介電層12(下面那層)最頂層上及在第一絕緣介電層12(下面那層)中的複數金屬栓塞10及金屬接墊、線及交互連接線8曝露的表面上,及(b)接著沉積一低介電係數介電層12b在分層用之底部蝕刻停止層12a上,例如是一SiOC層,低介電係數介電層12b可具有低介電常數材質,其低介電常數小於二氧化矽(SiO2)的介電常數,SiCN層、SiOC層、SiOC層、SiO2層經由化學氣相沉積方式沉積,用於第一交互連接線結構(FISC)20的第一及第二絕緣介電層12的材質包括無機材料或包括有矽、氮、碳及(或)氧的化合物。
接著,如第22D圖所示,一光阻層15塗佈在第二絕緣介電層12(上面那層)上,然後光阻層15曝光及顯影以形成溝槽或開孔15a(在圖上只顯示1個)在光阻層15內,接著如第22E圖所示,執行一蝕刻製程形成溝槽或開孔12d(圖中只顯示1個)在第二絕緣介電層12(上面那層)內及在光阻層15內的溝槽或開孔15a下方,接著,如第22F圖所示,光阻層15可被移除。
接著,如第22G圖所示,黏著層18可沉積在第二絕緣介電層12(上面那層)的上表面、在第二絕緣介電層12中溝槽或開孔12D的側壁上及在第一絕緣介電層12(下面那層)內複數金屬栓塞10或金屬接墊、線及交互連接線8的上表面,例如經由濺鍍或CVD一黏著層(Ti層或TiN層)18(其厚度例如係介於1nm至50nm之間),接著,電鍍用種子層22可例如經由濺鍍或CVD一電鍍用種子層22(其厚度例如是介於3nm至200nm之間)在黏著層18上,接著一銅金屬層24(其厚度係介於10nm至3000nm之間、介於10nm至1000nm之間或介於10nm至500nm之間)可電鍍形成在電鍍用種子層22上。
接著,如第22H圖所示,利用一化學機械研磨製程移除位在第二絕緣介電層12(上面那層)之溝槽或開孔12d外的黏著層18、電鍍用種子層22溝槽或開孔銅金屬層24,直到第二絕緣介電層12(上面那層)的上表面被曝露,剩餘或保留在第二絕緣介電層12(上面那層)之溝槽或開孔12d中的金屬被用作為第一交互連接線結構(FISC)20中每一交互連接線金屬層6的金屬栓塞10或金屬接墊、線及交互連接線8。
在單一鑲嵌製程中,銅電鍍製程步驟及化學機械研磨製程步驟用於較低層的交互連接線金屬層6中的金屬接墊、線及交互連接線8,然後再依順序執行一次在絕緣介電層12中較低層的交互連接線金屬層6之金屬栓塞10在較低的交互連接線金屬層6上,換一種說法,在單一鑲嵌銅製程中,銅電鍍製程步驟及化學機械研磨製程步驟被執行2次,以形成較低層的交互連接線金屬層6的金屬接墊、線及交互連接線8,及在絕緣介電層12內較高層的交互連接線金屬層6之金屬栓塞10在較低層交互連接線金屬層6上。
II. FISC之雙鑲嵌製程
或者,一雙鑲嵌製程可被用以製造金屬栓塞10及第一交互連接線結構(FISC)20的金屬接墊、線及交互連接線8,如第22I圖至14Q圖所示,請參見第22I圖,提供第一絕緣介電層12及金屬接墊、線及交互連接線8(圖中只顯示1個),其中金屬接墊、線及交互連接線8係位在第一絕緣介電層12內且曝露上表面,最頂層的第一絕緣介電層12例如可係SiCN層或SiN層,接著介電疊層包括第二及第三絕緣介電層12沉積在第一絕緣介電層12最頂層上及在第一絕緣介電層12中金屬接墊、線及交互連接線8曝露的上表面,介電疊層從底部至頂部包括:(a)一底部低介電係數介電層12e在第一絕緣介電層12(較低的那層)上,例如是SiOC層(用作為一金屬間介電層以形成金屬栓塞10);(b)一分隔用之中間蝕刻停止層12f在底部低介電係數介電層12e上,例如是SiCN層或SiN層;(c)一頂層低介電SiOC層12g(用作為在同一交互連接線金屬層6的金屬接墊、線及交互連接線8之間的絕緣介電材質)在分隔用之中間蝕刻停止層12f上;(d)一分隔用之頂部蝕刻停止層12h形成在頂層低介電SiOC層12g上,分隔用之頂部蝕刻停止層12h例如是SiCN層或SiN層,全部的SiCN層、SiN層或SiOC層可經由化學氣相沉積方式沉積。底部低介電係數介電層12e及分隔用之中間蝕刻停止層12f可組成第二絕緣介電層12(中間的那層);頂層低介電SiOC層12g及分隔用之頂部蝕刻停止層12h可組成第三絕緣介電層12(頂部的那層)。
接著,如第22J圖所示,一第一光阻層15塗佈在第三絕緣介電層12(頂部那層)的頂部區分蝕刻停止層12h上,然後第一光阻層15被曝露及顯影以形成溝槽或開孔15A(圖中只顯示1個)在第一光阻層15內,以曝露第三絕緣介電層12(頂部那層)的頂部區分蝕刻停止層12h,接著,如第22K圖所示,進行一蝕刻製程以形成溝槽或頂部開口12i(圖上只顯示1個)在第三絕緣介 電層12(頂部那層)及在第一光阻層15內溝槽或開孔15A下方,及停止在第二絕緣介電層12(中間那層)的分隔用之中間蝕刻停止層12f,溝槽或頂部開口12i用於之後形成交互連接線金屬層6的金屬接墊、線及交互連接線8的雙鑲嵌銅製程,接著第22L圖,第一光阻層15可被移除。
接著,如第22M圖所示,第二光阻層17塗佈在第三絕緣介電層12(頂部那層)分隔用之頂部蝕刻停止層12h及第二絕緣介電層12(中間那層)的分隔用之中間蝕刻停止層12f,然後第二光阻層17被曝露及顯影以形成溝槽或開孔17a(圖中只顯示1個)在第二光阻層17以曝露第二絕緣介電層12(中間那層)的分隔用之中間蝕刻停止層12f,接著,如第22N圖所示,執行一蝕刻製程以形成開口及孔洞12j(圖中只顯示1個)在第二絕緣介電層12(中間那層)及第二光阻層17內溝槽或開孔17a的下方,及停止在第一絕緣介電層12內的金屬接墊、線及交互連接線8(圖中只顯示1個),開口及孔洞12j可用於之後雙鑲嵌銅製程以形成在第二絕緣介電層12內的金屬栓塞10,也就是金屬間介電層,接著,如第22O圖所示,移除第二光阻層17,第二及第三絕緣介電層12(中間層及上層)可組成介電疊層,位在介電疊層(也就是第三絕緣介電層12(頂部那層)頂部內的溝槽或頂部開口12i可與位在介電疊層(也就是第二絕緣介電層12(中間那層)底部的開口及孔洞12j重疊,而且溝槽或頂部開口12i比複數開口及孔洞12j具有較大的尺寸,換句話說,以上視圖觀之,位在介電疊層(也就是第二絕緣介電層12(中間那層))底部的開口及孔洞12j被位在介電疊層(也就是第三絕緣介電層12(頂部那層)頂部內溝槽或頂部開口12i圍繞或困於內側。
接著,如第22P圖所示,黏著層18沉積經由濺鍍、CVD一Ti層或TiN層(其厚度例如可介於1nm至50nm之間),在第二及第三絕緣介電層12(中間及上面那層)上表面、在第三絕緣介電層12(上面那層)內的溝槽或頂部開口12i之側壁,在第二絕緣介電層12(中間那層)的開口及孔洞12j之側壁及在第一絕緣介電層12(底部那層)內的金屬接墊、線及交互連接線8的上表面。接著,電鍍用種子層22可經由例如是濺鍍、CVD沉積電鍍用種子層22(其厚度例如可介於3nm至200nm之間)在黏著層18上,接著銅金屬層24(其厚度例如是介於20nm至6000nm之間、介於10nm至3000之間、介於10nm至1000之間)可被電鍍形成在電鍍用種子層22上。
接著,如第22Q圖所示,利用一化學機械研磨製程移除位在第二及第三絕緣介電層12之開口及孔洞12j及溝槽或頂部開口12i外的黏著層18、電鍍用種子層22銅金屬層24,直到第三絕緣介電層12(上面那層)的上表面被曝露,剩餘或保留在第三絕緣介電層12(上面那層)之溝槽或頂部開口12i內的金屬可用作為第一交互連接線結構(FISC)20中的交互連接線金屬層6的金屬接墊、線及交互連接線8,剩餘或保留在第二絕緣介電層12(中間那層)之開口及孔洞12j內的金屬用作為第一交互連接線結構(FISC)20中的交互連接線金屬層6的金屬栓塞10,用於耦接位於金屬栓塞10之上方及下方的金屬接墊、線及交互連接線8。
在雙鑲嵌製程中,執行銅電鍍製程步驟及化學機械研磨製程步驟一次,即可在2個絕緣介電層12中形成金屬接墊、線及交互連接線8及金屬栓塞10。
因此,形成金屬接墊、線及交互連接線8及金屬栓塞10的製程利用單一鑲嵌銅製程完成,如第22B圖至第22H圖所示,或可利用雙鑲嵌銅製程完成,如第22I圖至第22Q圖所示,二種製程皆可重覆數次以形成第一交互連接線結構(FISC)20中複數層交互連接線金屬層6,第一交互連接線結構(FISC)20可包括4至15層或6至12層的交互連接線金屬層6,FISC中的交互連接線金屬層6最頂層可具有金屬接墊16,例如是複數銅接墊,此複數銅接墊係經由上述單一或雙鑲嵌製程,或經由濺鍍製程形成的複數鋁金屬接墊。
III.晶片之保護層(Passivation layer)
如第22A圖中所示,保護層14形成在晶片(FISC)的第一交互連接線結構(FISC)20上及在絕緣介電層12上,保護層14可以保護半導體元件4及交互連接線金屬層6不受到外界離子汙染及外界環境中水氣汙染而損壞,例如是鈉游離粒子,換句話說,保護層14可防止游離粒子(如鈉離子)、過渡金屬(如金、銀及銅)及防止雜質穿透至半導體元件4及穿透至交互連接線金屬層6,例如防止穿透至電晶體、多晶矽電阻元件及多晶矽電容元件。
如第22A圖所示,保護層14通常可由一或複數游離粒子補捉層構成,例如經由CVD製程沉積形成由SiN層、SiON層及(或)SiCN層所組合之保護層14,保護層14之厚度t3,例如是大於0.3μm、或介於0.3μm至1.5μm之間,最佳情況為,保護層14具有厚度大於0.3μm的氮化矽(SiN)層,而單一層或複數層所組成之游離粒子補捉層(例如是由SiN層、SiON層及(或)SiCN層所組合)之總厚度可厚於或等於100nm、150nm、200nm、300nm、450nm或500nm。
如第22A圖所示,在保護層14中形成一開口14a曝露第一交互連接線結構(FISC)20中的交互連接線金屬層6最頂層表面,金屬接墊16可用在訊號傳輸或連接至電源或接地端,金屬接墊16之厚度t4介於0.4μm至3μm之間或介於0.2μm至2μm之間,例如,金屬接墊16可由濺鍍鋁層或濺鍍鋁-銅合金層(其厚度係介於0.2μm至2μm之間)所組成,或者,金屬接墊16可包括電鍍銅金屬層24,其係經由如第22H圖中所示之單一鑲嵌製程或如第22Q圖中所示之雙鑲嵌製程所形成。
如第22A圖所示,從上視圖觀之,開口14a具有一橫向尺寸係介於0.5μm至20μm之間或介於20μm至200μm之間,從上視圖觀之,開口14a的形狀可以係一圓形,其圓形開口14a的直徑係介於0.5μm至200μm之間或是介於20μm至200μm之間,或者,從上視圖觀之,開口14a的形狀為方形,此方形開口14a的寬度係介於0.5μm至200μm之間或介於20μm至200μm之間,或者,從上視圖觀之,開口14a的形狀為多邊形,此多邊形的寬度係介於0.5μm至200μm之間或介於20μm至200μm之間,或者,從上視圖觀之,開口14a的形狀為長方形,此長方形開口14a具有一短邊寬度係介於0.5μm至200μm之間或介於20μm至200μm之間,另外,一些在金屬接墊16下方的一些半導體元件4被開口14a曝露,或者,沒有任何主動元件在開口14a曝露的金屬接墊16下方。
第一型式的微型凸塊
第23A圖至第23H圖為本發明實施例中形成微型凸塊或微型金屬柱在一晶片上的製程剖面圖,用於連接至晶片外部的電路、複數微型凸塊可形成在金屬接墊16上,其中金屬接墊16係位在保護層14之開口14a內所曝露的金屬表面。
第23A圖係為第22A圖的簡化圖,如第23B圖所示,具有厚度係介於0.001μm至0.7μm之間、介於0.01μm至0.5μm之間或介於0.03μm至0.35μm之間的一黏著層26濺鍍在保護層14及在金屬接墊16上,例如是被開口14A曝露的鋁金屬墊或銅金屬墊,黏著層26的材質可包括鈦、鈦-鎢合金、氮化鈦、鉻、鈦-鎢合金層、氮化鉭或上述材質的複合物,且黏著層26經由原子層(atomic-layer-deposition(ALD))沉積製程、化學氣相沉積(chemical vapor deposition(CVD))製程、蒸鍍製程形成在保護層14及在保護層14之開口14a之底部的金屬接墊16上,其中黏著層26的厚度係介於1nm至50nm之間。
接著,如第23C圖所示,厚度係介於0.001μm至1μm之間、介於0.03μm至3μm之間或介於0.05μm至0.5μm之間的電鍍用種子層28濺鍍在黏著層26上,或者電鍍用種子層28可經由原子層(ATOMIC-LAYER-DEPOSITION(ALD))沉積製程、化學氣相沉積(CHEMICAL VAPOR DEPOSITION(CVD))製程、蒸鍍製程、無電電鍍或物理氣相沉積方式形成,電鍍用種子層28有益於在表面上電鍍形成一金屬層,因此,電鍍用種子層28的材質種類隨著電鍍用種子層28上電鍍的金屬層材質而變化,當一銅層被電鍍在電鍍用種子層28上時,銅金屬則為電鍍用種子層28優先選擇的材質,例如電鍍用種子層28形成在黏著層26上或上方,例如可經由濺鍍或化學氣相沉積一銅種子層在黏著層26上。
接著,如第23D圖所示,厚度係介於5μm至300μm之間或介於20μm至50μm之間的光阻層30(例如是正型光阻層)塗佈在電鍍用種子層28上,光阻層30經由曝光、顯影等製程圖案化形成複數溝槽或開孔30a曝露出在金屬接墊16上方的電鍍用種子層28,在曝光製程中,可使用1X步進器,1X接觸式對準器或雷射掃描器進行光阻層30的曝光製程。
例如,光阻層30可經由旋塗塗佈一正型感光性聚合物層在電鍍用種子層28上,其中電鍍用種子層28的厚度係介於5μm至100μm之間,然後使用1X步進器,1X接觸式對準器或雷射掃描器進行感光聚合物層的曝光,其中雷射掃描器可產生波長範圍介於434至438nm的G線(G-LINE)、波長範圍介於403至407nm的H線(H-LINE)及波長範圍介於363至367nm的I線(I-LINE)的其中至少二種光線,也就是,G線(G-LINE)及H線(H-LINE)、G線(G-LINE)及I線(I-LINE)、H線(H-LINE)及I線(I-LINE)或G線(G-LINE)、H線(H-LINE)及I線(I-LINE)照在該感光性聚合物層上,然後顯影經曝光後的該感光性聚合物層,接著利用氧氣電漿或含有低於200PPM的氟及氧的電漿去除殘留在電鍍用種子層28上的聚合物材質或其它污染物,使得光阻層30可圖案化有複數開口30a於光阻層30中,曝露出位在金屬接墊16上的電鍍用種子層28。
接著,如第23D圖所示,在光阻層30中的每一溝槽或開孔30a可對準於保護層14中的開口14a,且曝露出位於溝槽或開孔30a之底部處的電鍍用種子層28上,再經由後續的製程可形成微型金屬柱或微型凸塊在每一溝槽或開孔30a內,而每一溝槽或開孔30a還從開口14a延伸至開口14a周圍的保護層14的環形區域處。
接著,如第23E圖所示,一金屬層32(例如是銅金屬)電鍍形成在由溝槽或開孔30a所曝露的電鍍用種子層28上,例如,於第一範例,金屬層32可電鍍厚度係介於3μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間或介於5μm至15μm之間的一銅層在由溝槽或開孔30a在所暴露出的由銅所構成的電鍍用種子層28上或者,於一第二範例中,金屬層32可藉由電鍍厚度係介於3μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間或介於5μm至15μm之間的一銅層在由溝槽或開孔30a所曝露的電鍍用種子層28,然後電鍍厚度係介於0.5μm至3μm之間一鎳金屬層在位於溝槽或開孔30a中的電鍍銅層上。接著,一銲錫層/銲錫凸塊33電鍍在位於溝槽或開孔30a中的金屬層32上,其中銲錫層/銲錫凸塊33之材質例如是錫、錫铅合金、錫銅合金、錫銀合金、錫銀銅合金(SAC)或錫銀銅鋅合金,此銲錫層/銲錫凸塊33的厚度係介於1μm至50μm之間、1μm至30μm之間、5μm至30μm之間、5μm至20μm之間、5μm至15μm之間、5μm至10μm之間、介於1μm至10μm之間或介於1μm至3μm之間。例如,對於第一範例而言, 銲錫層/銲錫凸塊33可電鍍在金屬層32的銅層上,或是對於第二範例而言,銲錫層/銲錫凸塊33電鍍在金屬層32的鎳金屬層上,銲錫層/銲錫凸塊33可以係含有錫、銅、銀、鉍、銦、鋅和/或銻的無鉛焊料。
如第23F圖所示,形成銲錫層/銲錫凸塊33後,使用含氨的有機溶劑將大部分的光阻層30移除,然而,來自光阻層30的殘留物會殘留在金屬層32及/或在電鍍用種子層28上,之後,利用氧氣電漿或含有低於200PPM的氟及氧的電漿將在金屬層32及/或從電鍍用種子層28上的殘留物去除接著,未在金屬層32下方的電鍍用種子層28及黏著層26被之後的乾蝕刻方法或濕蝕刻方法去除,至於濕蝕刻的方法,當黏著層26為鈦-鎢合金層時,可使用含有過氧化氫的溶液蝕刻;當黏著層26為鈦層時,可使用含有氟化氫的溶液蝕刻;當電鍍用種子層28為銅層時,可使用含氨水(NH4OH)的溶液蝕刻,至於乾蝕刻方法,當黏著層26為鈦層或鈦-鎢合金層時,可使用含氯等離子體蝕刻技術或RIE蝕刻技術蝕刻,通常,乾蝕刻方法蝕刻未在金屬層32下方的電鍍用種子層28及黏著層26可包括化學離子蝕刻技術、濺鍍蝕刻技術、氬氣濺鍍技術或化學氣相蝕刻技術進行蝕刻。
接著,如第23G圖所示,銲錫層/銲錫凸塊33可以進行迴焊而形成銲錫凸塊,因此,黏著層26、電鍍用種子層28、電鍍金屬層32及銲錫層/銲錫凸塊33可組成複數第一型微型金屬柱或凸塊34在保護層14的開口14a之底部之金屬接墊16上,每一第一型微型金屬柱或凸塊34之高度,此高度係從保護層14的上表面凸出量測,此高度係介於3μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於5μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間,或其高度是大於或等於30μm、20μm、15μm、10μm或3μm,且其水平剖面具有一最大尺寸(例如圓形的直徑、正方形或長方形的對角線)係介於3μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於5μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間,或其最大尺寸是小於或等於60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm,二相鄰之第一型微型金屬柱或凸塊34具有一空間(間距)尺寸係介於3μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於5μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間,或其間距是小於或等於60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm。
如第23H圖所示,如第23G圖中所述在半導體晶圓上形成第一型微型金屬柱或凸塊34後,半導體晶圓可經由雷射切割製程或一機械切割製程分離、分開成複數單獨的半導體晶片,這些半導體晶片100可經由接續第26L圖至第26W圖、第27N圖至第27T圖、第28A圖及第28B圖、第29A圖及第29B圖、第30G圖至第30O圖、第31A圖至第31C圖、第32A圖至第32F圖、第34A圖至第34M圖、第35A圖至第35D圖、第36A圖至第36C圖、第36A圖至第36F圖、第38A圖至第38C圖及第42A圖至第42G圖中的步驟進行封裝。
或者,第23I圖為本發明實施例中形成第二微型凸塊或第二微型金屬柱在一晶片上的製程剖面圖,在形成第23I圖中黏著層26之前,聚合物層36,也就是絕緣介電層包含一有機材質,例如是一聚合物或包括含碳之化合物,絕緣介電層可經由旋塗塗佈製程、壓合製程、網板製刷、噴塗製程或灌模製程形成在保護層14上,以及在聚合物層36中形成開口在金屬接墊16上,聚合物層36之厚度係介於3μm至30μm之間或介於5μm至15μm之間,且聚合物層36的材質可包括聚醯亞胺、苯基環丁烯(BenzoCycloButene(BCB))、聚對二甲苯、以環氧樹脂為基底之 材質或化合物、光感性環氧樹脂SU-8、彈性體或矽膠(silicone)。
在一種情況下,聚合物層36可經由旋轉塗佈形成厚度係介於6μm至50μm之間的負型感光聚酰亞胺層在保護層14上及在金屬接墊16上,然後烘烤轉塗佈形成的聚酰亞胺層,然後使用1X步進器,1X接觸式對準器或具有波長範圍介於434至438nm的G線(G-LINE)、波長範圍介於403至407nm的H線(H-LINE)及波長範圍介於363至367nm的I線(I-LINE)的其中至少二種光線的雷射掃描器進行烘烤的聚酰亞胺層曝光,也就是,G線(G-LINE)及H線(H-LINE)、G線(G-LINE)及I線(I-LINE)、H線(H-LINE)及I線(I-LINE)或G線(G-LINE)、H線(H-LINE)及I線(I-LINE)照在烘烤的聚酰亞胺層上,然後顯影曝光後的聚酰亞胺層以形成複數開口曝露出複數金屬接墊16,然後在溫度係介於180℃至400℃之間或溫度高於或等於100℃、125℃、150℃、175℃、200℃、225℃、250℃、275℃或300℃,且加熱或固化時間介於20分鐘至150分鐘,且在氮氣環境或無氧環境中,固化或加熱己顯影的聚酰亞胺層,己固化的聚酰亞胺層具有厚度係介於3μm至30μm之間,接著利用氧氣電漿或含有低於200PPM的氟及氧的電漿去除殘留的聚合物材質或來自於金屬接墊16的其它污染物。
因此,如第23I圖所示,第一型微型金屬柱或凸塊34形成在保護層14的開口14a之底部的金屬接墊16上及在環繞金屬接墊16的聚合物層36上,如第23I圖所示的微型金屬柱或凸塊34的規格或說明可以參照第23G圖所示的第一型微型金屬柱或凸塊34的規格或說明,每一第一型微型金屬柱或凸塊34之高度,此高度係從聚合物層36的上表面起向上量測,此高度係介於3μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於5μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間,或其高度是大於或等於30μm、20μm、15μm、10μm或3μm,且其水平剖面具有一最大尺寸(例如圓形的直徑、正方形或長方形的對角線)係介於3μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於5μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間,或其最大尺寸是小於或等於60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm,二相鄰之微型金屬柱或凸塊34具有一空間(間距)尺寸係介於3μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於5μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間,或其間距是小於或等於60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm。
第二型式的微型凸塊
或者,第23J圖及第23K圖為本發明實施例第二型式微型凸塊之剖面示意圖,請參見第23J圖及第23K圖,形成第二型式微型金屬柱或凸塊34的製程可參考如第23A圖至第23I圖所示形成第一型式微型金屬柱或凸塊34的製程,但二者不同在於如第23E圖至15I圖中的第一型式微型金屬柱或凸塊34可省略形成銲錫層/銲錫凸塊33,而第二型式微型金屬柱或凸塊34沒有形成銲錫層/銲錫凸塊33,因此如第23G圖之第一型式微型金屬柱或凸塊34的迴銲製程也在如第23J圖及第23K圖中的第二型式微型金屬柱或凸塊34製程中被省略。
因此,如第23J圖所示,黏著層26、黏著層26、電鍍金屬層32構成第二型式的微型金屬柱或凸塊34在保護層14中的開口14a所曝露的底部之金屬接墊16上,每一第二型式微型金屬柱或凸塊34之高度,此高度係從聚合物層36的上表面凸出量測,此高度係介於3μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於5μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間,或其高度是大於或等 於30μm、20μm、15μm、10μm或3μm,且其水平剖面具有一最大尺寸(例如圓形的直徑、正方形或長方形的對角線)係介於3μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於5μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間,或其最大尺寸是小於或等於60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm,二相鄰之第二型式微型金屬柱或凸塊34具有一空間(間距)尺寸係介於3μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於5μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間,或其間距是小於或等於60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm。
如第23K圖所示,第二型式微型金屬柱或凸塊34可形成在保護層14中開口14a之底部所曝露的金屬接墊16上及形成在金屬接墊16周圍的聚合物層36上,每一第二型式微型金屬柱或凸塊34從聚合物層36的上表面凸出一高度係介於3μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於5μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間,或其高度是大於或等於30μm、20μm、15μm、10μm或3μm,且其水平剖面具有一最大尺寸(例如圓形的直徑、正方形或長方形的對角線)係介於3μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於5μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間,或其最大尺寸是小於或等於60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm,二相鄰之第二型式微型金屬柱或凸塊34具有一空間(間距)尺寸係介於3μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於5μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間,或其間距是小於或等於60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm。
SISC位在保護層上的實施例
或者,微型金屬柱或凸塊34形成之前,一晶片(SISC)上或內的第二交互連接線結構可形成在保護層14及第一交互連接線結構(FISC)20上或上方,第24A圖至第24D圖為本發明實施例中形成交互連接線金屬層在一保護層上的製程剖面圖。
如第24A圖所示,製造SISC在保護層14上方的製程可接著從第23C圖的步驟開始,厚度係介於1μm至50μm之間的一光阻層38(例如是正型光阻層)旋轉塗佈或壓合方式形成在電鍍用種子層28上,光阻層38經由曝光、顯影等製程圖案化以形成溝槽或開孔38a曝露出電鍍用種子層28,使用1X步進器,1X接觸式對準器可產生波長範圍介於434至438nm的G線(G-LINE)、波長範圍介於403至407nm的H線(H-LINE)及波長範圍介於363至367nm的I線(I-LINE)的其中至少二種光線,也就是,G線(G-LINE)及H線(H-LINE)、G線(G-LINE)及I線(I-LINE)、H線(H-LINE)及I線(I-LINE)或G線(G-LINE)、H線(H-LINE)及I線(I-LINE)照在光阻層38上,然後顯影經曝光後的光阻層38,以形成複數開口曝露出電鍍用種子層28,接著利用氧氣電漿或含有低於200PPM的氟及氧的電漿去除殘留聚合物材質或來自於電鍍用種子層28的其它污染物,例如光阻層38可圖案化形成溝槽或開孔38a在光阻層38中,以曝露出電鍍用種子層28,通過以下後續製程以形成金屬接墊或連接線8在溝槽或開孔38a中及在電鍍用種子層28上,在光阻層38內的其中之一溝槽或開孔38a可對準保護層14中開口14a的區域。
接著,如第24B圖所示,一金屬層40(例如是銅金屬材質)可被電鍍在溝槽或開孔38a所曝露的電鍍用種子層28上,例如金屬層40可經由電鍍一厚度係介於0.3μm至20μm之間、0.5μm至5μm之間、1μm至10μm之間或2μm至10μm之間的銅層在溝槽或開孔38a所曝露的電 鍍用種子層28(銅材質)上。
如第24C圖所示,在形成金屬層40之後,移除大部分的光阻層38,接著,將未在金屬層40下方的電鍍用種子層28及黏著層26蝕刻去除,其中去除及蝕刻的製程可參考如上述第23F圖所揭露之製程說明所示,因此黏著層26、電鍍用種子層28及電鍍的金屬層40可圖案化形成一交互連接線金屬層27在保護層14上方。
接著,如第24D圖所示,一聚合物層42(例如是絕緣或金屬間介電層)形成在保護層14及金屬層40上,聚合物層42之開口42a位在交互連接線金屬層27的複數連接點上方,此聚合物層42的材質及製程與第23I圖中形成聚合物層36的材質及製程相同。
形成交互連接線金屬層27的製程可參見第23A圖、第23B圖及第24A圖至第24C圖之製程與如第24D圖所示形成聚合物層42的製程二者可交替的執行數次而製造如第24O圖中的SISC29,第24O圖為晶片(SISC)的第二交互連接線結構之剖面示意圖,其中第二交互連接線結構係由交互連接線金屬層27、複數聚合物層42及聚合物層51構成,其中聚合物層42及聚合物層51也就是絕緣物或金屬間介電層,或者可依據本發明之實施例而有所選擇佈置及安排。如第24O圖所示,SISC29可包含一上層交互連接線金屬層27,此交互連接線金屬層27具有在聚合物層42複數開口42a內的金屬栓塞27a及聚合物層42上的複數金屬接墊、金屬線或連接線27b,上層交互連接線金屬層27可通過聚合物層42內複數開口42a中的上層交互連接線金屬層27之金屬栓塞27a連接至下層交互連接線金屬層27,SISC29可包含最底端之交互連接線金屬層27,此最底端之交互連接線金屬層27具有保護層14複數開口14a內複數金屬栓塞27a及在保護層14上複數金屬接墊、金屬線或連接線27b,最底端的交互連接線金屬層27可通過保護層14複數開口14a內交互連接線金屬層27的最底端金屬栓塞27a連接至第一交互連接線結構(FISC)20的交互連接線金屬層6。
或者,如第24L圖、第24M圖及第24O圖所示,在最底端交互連接線金屬層27形成之前聚合物層51可形成在保護層14上,聚合物層51的材質及形成的製程與上述聚合物層36的材質及形成的製程相同,請見上述第23I圖所揭露之說明,在此種情況下,SISC29可包含由聚合物層51複數開口51a內金屬栓塞27a及在聚合物層51上的金屬接墊、金屬線或連接線27b所形成的最底端交互連接線金屬層27,最底端交互連接線金屬層27可通過保護層14複數開口14a內最底端交互連接線金屬層27的金屬栓塞27a及在聚合物層51複數開口51a連接至第一交互連接線結構(FISC)20的交互連接線金屬層6。
因此,SISC29可任選形成2至6層或3至5層的交互連接線金屬層27在保護層14上,對於SISC29的每一交互連接線金屬層27,其金屬接墊、金屬線或連接線27b的厚度例如係介於0.3μm至20μm之間、介於0.5μm至10μm之間、介於1μm至5μm之間、介於1μm至10μm之間或介於2μm至10μm之間,或其厚度大於或等於0.3μm、0.5μm、0.7μm、1μm、1.5μm、2μm或3μm,或其寬度例如係介於0.3μm至20μm之間、介於0.5μm至10μm之間、介於1μm至5μm之間、介於1μm至10μm之間、介於2μm至10μm之間,或其寬度係大於或等於0.3μm、0.5μm、0.7μm、1μm、1.5μm、2μm或3μm,每一聚合物層42及聚合物層51之厚度例如係介於0.3μm至20μm之間、介於0.5μm至10μm之間、介於1μm至5μm之間或介於1μm至10μm之間,或其厚度大於或等於0.3μm、0.5μm、0.7μm、1μm、1.5μm、2μm或3μm,SISC29的交互連接線金屬層27之金屬接墊、金屬線或連接線27b可被用於可編程交互連接線202。
如第24E圖至第24J圖為本發明實施例中形成第一型式微型金屬柱或微型凸塊在保護層上方的交互連接線金屬層上的製程剖面圖。如第24E圖所示,黏著層44可濺鍍在聚合物層42及在複數開口42a所曝露的金屬層40表面上,黏著層44的規格及其形成方法可以參照圖15B所示的黏著層26及其製造方法。一電鍍用種子層46可被濺鍍在黏著層44上,此電鍍用種子層46的規格及其形成方法可以參照第23C圖所示的電鍍用種子層28及其製造方法。
接著,如第24F圖所示,光阻層48形成在電鍍用種子層46上,光阻層48經由曝光、顯影等製程圖案化形成開口48a在光阻層48內曝露出電鍍用種子層46,此光阻層48的規格及其形成方法可以參照第23D圖所示的光阻層48及其製造方法。
接著,第24G圖所示,金屬層50電鍍形成在複數開口48a所曝露的電鍍用種子層46上,此金屬層50的規格及其形成方法可以參照第23E圖所示的金屬層32及其製造方法。接著,一銲錫層/銲錫凸塊33可電鍍在開口48a內的金屬層50上,銲錫層/銲錫凸塊33的規格說明及形成方法可參考如第23E圖所示銲錫層/銲錫凸塊33的規格說明及形成方法。
接著,如第24H圖所示,移除大部分光阻層48,然後未在金屬層50下方的電鍍用種子層46及黏著層44被蝕刻移除,移除光阻層48及蝕刻電鍍用種子層46及黏著層44的方法可以參見第23F圖所示的移除光阻層30及蝕刻電鍍用種子層28及黏著層26的方法。
接著,如第24I圖所示,銲錫層/銲錫凸塊33可迴銲形成複數個焊錫凸塊,因此,在SISC29最頂端聚合物層42開口42a之底部的SISC29之最頂端交互連接線金屬層27上可形成由黏著層44、電鍍用種子層46及電鍍金屬層50組成的第一型式微型金屬柱或凸塊34a之底部,第24I圖所示之第一型式微型金屬柱或凸塊34的規格及其形成方法可以參照第23G圖所示的第一型式微型金屬柱或凸塊34及其製造方法,每一微型金屬柱或凸塊34從SISC29最頂端聚合物層42的上表面凸起一高度,例如係介於3μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於5μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間、且其水平剖面具有一最大尺寸(例如圓形的直徑、正方形或長方形的對角線)係介於3μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於5μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間,或其最大尺寸是小於或等於60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm。二相鄰之第一型式微型金屬柱或凸塊34具有一空間(間距)尺寸係介於3μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於5μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間,或其間距是小於或等於60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm。
請參見第24N圖,如第23J圖或第23K圖中的第二型式微型金屬柱或凸塊34可形成在SISC29中位於最頂層的聚合物層42的開口42a之之底部處的最頂層之交互連接線金屬層27上,如第23J圖或第23K圖中的黏著層26、電鍍用種子層28、電鍍金屬層32構成第二型式微型金屬柱或凸塊34,每一第二型式微型金屬柱或凸塊34從SISC29之最頂層聚合物層42的上表面凸出一高度係介於3μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於5μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間,或其高度是大於或等於30μm、20μm、15μm、10μm或3μm,且其水平剖面具有一最大尺寸(例如圓形的直徑、正方形或長方形的對角線)係介於3μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於5μm至15μm之間或介 於3μm至10μm之間,或其最大尺寸是小於或等於60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm,二相鄰之第二型式微型金屬柱或凸塊34具有一空間(間距)尺寸係介於3μm至60μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於5μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間,或其間距是小於或等於60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm。
如第24J圖所示,在形成第一型式或第二型式微型金屬柱或凸塊34於如第24I圖所示之半導體晶圓上之後,半導體晶圓經由雷射切割或機械切割製程被切割分離成複數單獨半導體晶片100、積體電路晶片,半導體晶片100可以使用以下步驟進行封裝,如第26L圖至第26W圖、第27N圖至第27T圖、第28A圖至第28B圖、第29A圖至第29B圖、第30G圖至第30O圖、第31A圖至第31C圖、第32A圖至第32F圖、第34A圖至第34M圖、第35A圖至第35D圖、第36A圖至第36C圖、第36A圖至第36F圖、第38A圖至第38C圖及第42A圖至第42G圖所繪示之步驟。
如第24K圖,上述交互連接線金屬層27可包括一電源金屬交互連接線或接地金屬交互連接線連接至複數金屬接墊16,並提供微型金屬柱或凸塊34形成於其上,如第24M圖所示,上述交互連接線金屬層27可包括一金屬交互連接線連接至金屬接墊16,且不形成微金屬柱或凸塊於其上。
如第24J圖至第24O圖所示,第一交互連接線結構(FISC)20的交互連接線金屬層27可用於如第16A圖中的每一標準商業化FPGA IC晶片200的複數晶片內交互連接線502之可編程交互連接線361及固定交互連接線364。
FOIT用於多晶片在中介載板上(COIP)的覆晶封裝之方法
如第23H圖至第23K圖、第24J圖至第24O圖中的複數半導體晶片100可接合裝設(Mounted)在一中介載板上,此中介載板具有高密度的交互連接線用於半導體晶片100的扇出(fan-out)繞線及在半導體晶片100之間的繞線。
第25A圖至第25H圖為本發明第一型式金屬栓塞(Vias)的剖面示意圖,第26A圖至第26J圖為本發明第二型式金屬栓塞(Vias)的剖面示意圖。
請參見為形成第一型式金屬栓塞(即是深通孔形成之金屬栓塞)之第25A圖或為形成第二型式金屬栓塞(即是淺通孔形成之金屬栓塞)之第26A圖,提供一晶圓型式的基板552(例如是8吋、12吋或18吋)或是提供一面板形式(例如正方形或長方形,其寬度或長度大於或等於20公分(cm),30cm、50cm、75cm、100cm、150cm、200cm或300cm)的基板552,此基板552可以係一矽基板、一金屬基板、一陶瓷基板、一玻璃基板、一鋼基板、一塑膠材質基板、一聚合物基板、一環氧基底聚合物基板或是環氧基底之化合物板,例如在形成中介載板時一矽基板可被用作於基板552。
如第25A圖或第26A圖所示,一光罩絕緣層553可沉積形成在基板552上,即是在矽晶圓上,光罩絕緣層553可包括一熱生成的氧化矽(SiO2)及/或CVD氮化矽(Si3N4),隨後,將光阻層554(例如是正型光阻層)以旋塗方式形成在光罩絕緣層553上,利用曝光、顯影等技術對光阻層554進行圖案化,以在光阻層554中形成暴露光罩絕緣層553的多個開口554a。
接著,請參見為形成第一型式金屬栓塞之第25B圖或為形成第二型式金屬栓塞之第26B圖,在開口554a下方的光罩絕緣層553可經由乾蝕刻製程或濕蝕刻製程移除而在光罩絕 緣層553中及在開口554a下方形成複數開口或孔洞553a,對於形成第一型式金屬栓塞,如第25B圖所示之每一開口或孔洞553a在光罩絕緣層553內之深度係介於30μm至150μm之間或介於50μm至100μm之間且其寬度或最大橫向尺寸係介於5μm至50μm之間或介於5μm至15μm之間,對於形成第二型式金屬栓塞,如第26B圖所示之每一開口或孔洞553a在光罩絕緣層553內之深度係介於5μm至50μm之間或介於5μm至30μm之間且其寬度或最大橫向尺寸係介於20μm至150μm之間或介於30μm至80μm之間。
請參見為形成第一型式金屬栓塞之第25C圖或為形成第二型式金屬栓塞之第26C圖,移除光阻層554,接著光罩絕緣層553被使用作為一光罩/遮罩,在開口或孔洞553a下方的基板552可經由乾蝕刻或濕蝕刻的方式移除部分,而在基板552內且在開口或孔洞553a下方形成如第25C圖或第26C圖所示之孔洞552a。
對於如第25C圖之第一型式金屬栓塞,每一開孔552a可以為一深孔,其深度係介於30μm至150μm之間或介於50μm至100μm之間,其寬度或尺寸係介於5μm至50μm之間或介於5μm至15μm之間,對於如第26C圖中的第二型金屬栓塞,每一開孔552a可以為一淺孔,每一開孔552a的深度係介於5μm至50μm之間或介於5μm至30μm之間,其寬度或尺寸係介於20μm至120μm之間或介於20μm至80μm之間。
接著,如第25D圖所示為形成第一型式金屬栓塞或如第26D圖所示為形成第二型式金屬栓塞之光罩絕緣層553可被移除。接著,請參見為形成第一型式金屬栓塞之第25E圖或為形成第二型式金屬栓塞之第26E圖,一絕緣層555可形成在每一孔洞552a內的底部及側壁上及形成在基板552的上表面552b上,絕緣層555例如可包括熱生成氧化矽(SiO2)及/或一CVD氮化矽(Si3N4)。
接著,請參見為形成第一型式金屬栓塞之第25F圖或為形成第二型式金屬栓塞之第26F圖,一黏著/種子層556之形成可先藉由濺鍍或化學氣相沉積(Chemical Vapor Depositing,CVD)的方式形成一黏著層在絕緣層555上,該黏著層例如為一鈦層或氮化鈦(TiN)層,其厚度例如係介於1nm至50nm之間,接著藉由濺鍍或化學氣相沉積(Chemical Vapor Depositing,CVD)的方式形成一電鍍用種子層在該黏著層上,該電鍍用種子層例如為一銅層,其厚度例如係介於3nm至200nm之間,此黏著層及電鍍用種子層構成黏著/種子層556。
接著,如第25G圖所示為形成第一型式金屬栓塞,一銅層557電鍍形成在黏著/種子層556的電鍍用種子層上直到孔洞552a被銅層557填滿,如第26H所示,接著一化學機械研磨(CMP)或機械拋光製程可用於移除在孔洞552a之外的銅層557、黏著/種子層556及絕緣層555,直到基板552之上表面552b曝露於外,如第25H圖所示,在每一孔洞552a內未去除的銅層557、黏著/種子層556及絕緣層555構成一第一型式金屬栓塞558,每一第一型式金屬栓塞558在基板552中之深度係介於30μm至150μm之間或介於50μm至100μm之間,且其寬度或最大橫向尺寸係介於5μm至50μm之間或介於5μm至15μm之間。
而如第26G圖所示為形成第二型式金屬栓塞,一光阻層559(例如是正型光阻層)以旋塗方式形成在黏著/種子層556上,利用曝光、顯影等製程對光阻層559進行圖案化,以在光阻層559中形成多個開口559a,而曝露出在每一孔洞552a之底部及側壁上之黏著/種子層556的電鍍用種子層及位在每一孔洞552a之周圍的上表面552b的環形區域上之黏著/種子層556的電鍍用種子層。接著,如第26H圖所示,然後一銅層557電鍍在黏著/種子層556的電鍍 用種子層上直到開孔552a被銅層557填滿,接著如第26I圖所示之移除光阻層559,接著如第26J圖所示,可利用一化學機械研磨(CMP)或機械拋光製程移除在孔洞552a之外的銅層557、黏著/種子層556及絕緣層555,直到基板552之上表面552b曝露於外,如第26J圖所示,在每一孔洞552a內未去除的銅層557、黏著/種子層556及絕緣層555構成第二型式金屬栓塞558,每一第二型式金屬栓塞558在基板552中的深度係介於5μm至50μm之間或介於5μm至30μm之間,且其寬度或最大橫向尺寸係介於20μm至150μm之間或介於30μm至80μm之間。
接著,請參見為形成第一型式金屬栓塞之第25I圖或為形成第二型式金屬栓塞之第26K圖,中介載板的第一交互連接線結構(FISIP)560可以經由晶圓製程形成在基板552上,第一交互連接線結構(FISIP)560可包括2層至10層或3層至6層的圖案化交互連接線金屬層6(圖中只顯示2層),其具有如第22A圖所繪示的個金屬接墊、線及交互連接線8及金屬栓塞10,第一交互連接線結構(FISIP)560的金屬接墊及交互連接線8及金屬栓塞10可用於如第19A圖至第19N圖中晶片間交互連接線371的可編程交互連接線361及固定交互連接線364,第一交互連接線結構(FISIP)560可包括複數絕緣介電層12及交互連接線金屬層6,其中每一交互連接線金屬層6位在二相鄰絕緣介電層12之間,如第22A圖所示,第一交互連接線結構(FISIP)560的每一交互連接線金屬層6在其頂部可包括金屬接墊、線及交互連接線8,並在其底部可包括金屬栓塞10,第一交互連接線結構(FISIP)560的其中之一絕緣介電層12可位在交互連接線金屬層6的二相鄰金屬接墊、線及交互連接線8之間,其最頂層之一個具有金屬栓塞10在其中之一絕緣介電層12,在第一交互連接線結構(FISIP)560的每一交互連接線金屬層6,其可之厚度t11介於3nm至500nm之間、介於10nm至1000nm之間或介10nm至3000nm之間,或薄於或等於10nm、30nm、50nm、100nm、200nm、300nm、500nm或1000nm及其最小寬度等於或大於10nm、50nm、100nm、150nm、200nm或300nm,及二個相鄰的金屬接墊、線及交互連接線8具有一最小空間(space),其等於或於10nm、50nm、100nm、150nm、200nm或300nm,及二個相鄰的金屬接墊、線及交互連接線8具有一最小間距(pitch),其等於或於20nm、100nm、200nm、300nm、400nm或600nm,例如,金屬接墊、線及交互連接線8及金屬栓塞10主要由銅金屬經由如第22B圖至第22H圖中的鑲嵌(damascene)製程製成,或是如第22I圖至第22Q圖中的雙鑲嵌(damascene)製程製成。在第一交互連接線結構(FISIP)560的每一交互連接線金屬層6,其金屬接墊、線及交互連接線8可包括一銅層,此銅層之厚度小於3μm(例如可介於0.2μm至2μm之間),第一交互連接線結構(FISIP)560的每一絕緣介電層12可之厚度,例如可介於3nm至500nm之間、介於10nm至1000nm之間或介於10nm至3000nm之間,或是薄於或等於10nm、30nm、50nm、100nm、200nm、300nm、500nm或1000nm。
形成第一交互連接線結構(FISIP)560的製程可參考如第22B圖至第22H圖形成第一交互連接線結構(FISC)20之單鑲嵌製程,或者,形成第一交互連接線結構(FISIP)560的製程可參考如第22I圖至第22Q圖形成第一交互連接線結構(FISC)20之雙鑲嵌製程。
如第25I圖或第26K圖,如第22A圖中的一保護層14可形成在第一交互連接線結構(FISIP)560上,保護層14可保護第一交互連接線結構(FISIP)560的交互連接線金屬層6免受水分外來離子污染或水分濕氣或外部環境污染(例如鈉離子移動)的損害。換句話說,可以防止移動離子(例如鈉離子)、過渡金屬(例如金,銀和銅)及雜質穿過保護層14滲透到第一交互連接線結構(FISIP)560的交互連接線金屬層6。
如第25I圖或第26K圖,中介載板的保護層14的規格說明及其形成方法可參考第22A圖所示之半導體晶片100的規格說明,在保護層14內的一開口14A形成而曝露出在第一交互連接線結構(FISIP)560中位於最頂層的交互連接線金屬層6的一金屬接墊16,第一交互連接線結構(FISIP)560的金屬接墊16可用作為信號傳輸或用於電源或接地參考之連接,中介載板的金屬接墊16及開口14a的規格說明及其形成方法可參考第22A圖所示之半導體晶片100的規格說明,另外,在一開口14a曝露的金屬接墊16的垂直下方可有一金屬栓塞558。
或者,如第25I圖或第26K圖所示,一聚合物層(如第23I圖中的聚合物層36)可形成在保護層14上,在聚合物層內的每一開口可曝露出在開口14a之底部的一金屬接墊16。
或者,如第25I圖或第26K圖,用於中介載板的一第二交互連接線(SISIP)可形成在如第25I圖及第26K圖中中介載板的保護層14上,SISIP588的規格說明及其形成方法可參考如第24A圖至第24O圖中SISC29的規格說明及其形成方法,SISIP588可包括第24J圖至第24O圖中的一或複數交互連接線金屬層27及一或複數絕緣介電層或聚合物層42及/或聚合物層51,例如,SISIP588可包括如第24L圖、第24M圖及第24O圖中的聚合物層51直接形成在保護層14上且位在最底層交互連接線金屬層27的下方,SISIP588可包括如第24J圖至第24O圖中其中之一聚合物層42在其一或多個交互連接線金屬層27中最頂層的交互連接線金屬層27上,SISIP588中的每一交互連接線金屬層27可包括如第24J圖至第24O圖中黏著層26、在黏著層26上的電鍍用種子層28及在電鍍用種子層28上的金屬層40,其中一黏著/種子層589在此可代表黏著層26及電鍍用種子層28的組合,SISIP588的交互連接線金屬層27可用作為如第19A圖至第19N圖中的晶片間交互連接線371的可編程交互連接線361及固定交互連接線364,SISIP588可包括1至5層或1層至3層的交互連接線金屬層
在中介載板之正面上的微型凸塊
接著,請參見形成有第一型式金屬栓塞558之第25J圖或形成有第二型式金屬栓塞558之第26L圖,如第23A圖至第23K圖及第24E圖至第24N圖所示的第一型式或第二型式的複數微型金屬柱或凸塊34可形成在SISIP588中位於最頂層的交互連接線金屬層27上或是形成在第一交互連接線結構(FISIP)560最頂層交互連接線金屬層6上,形成在中介載板551上的第一型式或第二型式的微型金屬柱或凸塊34的規格說明及其形成方法可參考如第23A圖至第23K圖及第24J圖至第24O圖中形成在半導體晶片100上的第一型式或第二型式的微型金屬柱或凸塊34規格說明及其形成方法。
如第25K圖或第26M圖所示,一交互連接線結構561可由如第25I圖或第26K圖中的第一交互連接線結構(FISIP)560及保護層14構成,且如第23A圖至第23K圖及第24J圖至第24O圖中的第一型式或第二型式微型金屬柱或凸塊34之黏著層26形成在該金屬接墊16上及在開口14a周圍的保護層14上。
或者,如第25K圖或第26M圖所示,此交互連接線結構561可由如第25I圖或第26K圖中的第一交互連接線結構(FISIP)560及保護層14構成及還由另一聚合物層構成,該聚合物層形成在保護層14上,像是如第23I圖中的聚合物層,其中在聚合物層的開口(像是第23I圖中的開口36a)可曝露出其中之一金屬接墊16,及如第23A圖至第23K圖及第24J圖至第24O圖中的第一型式或第二型式微型金屬柱或凸塊34之黏著層26形成在該金屬接墊16上及在聚合物層的開口周圍的該聚合物層上。
或者,如第25K圖或第26M圖所示,此交互連接線結構561可由如第25I圖或第26K圖中的第一交互連接線結構(FISIP)560及保護層14構成及還由如第24J圖至第24O圖的SISIP588形成在保護層14上,其中在SISIP588中位於最頂層的聚合物層42內的每一開口42a可曝露SISIP588中位於最頂層的交互連接線金屬層27的一金屬接墊,及如第23A圖至第23K圖及第24J圖至第24O圖中的第一型式或第二型式微型金屬柱或凸塊34之黏著層26形成在該金屬接墊上及在開口中位於最頂層交互連接線金屬層27周圍的聚合物層42上。
在第25J圖或26L圖中,第二型式微型金屬柱或凸塊34可形成在交互連接線結構561中位於最頂層的交互連接線金屬層27上,但為了解釋後續過程,交互連接線結構561簡化成如圖25K或26M圖所示之結構。
多晶片在中介載板上(Multi-Chip-On-Interposer,COIP)的覆晶封裝製程
第25K圖至第25W圖及第26M圖至第26T圖為本發明之二實施例的形成COIP邏輯驅動器結構的製程,接著如第23H圖至第23K圖、第24J圖至第24O圖的半導體晶片100可具有第一型式或第二型式微型金屬柱或凸塊34接合至如第25K圖或第26M圖中中介載板551的第一型式或第二型式微型金屬柱或凸塊34上。
在第一種範例中,如第25L圖或第26N圖所示,如第23I圖、第24J圖至第24M圖或第24O圖中半導體晶片100具有第一型微型金屬柱或凸塊34接合至中介載板551的第二型式微型金屬柱或凸塊34,例如,半導體晶片100的第一型微型金屬柱或凸塊34可具有銲錫層/銲錫凸塊33接合至第二型中介載板551的微型金屬柱或凸塊34之電鍍銅層上,以形成如第25M圖或第26O圖中複數接合連接點563(bonded contacts)。
在第二種範例中,如第23J圖、第23K圖及第24N圖中半導體晶片100具有第二型式微型金屬柱或凸塊34接合至中介載板551的第一型微型金屬柱或凸塊34,例如,半導體晶片100的第二型式微型金屬柱或凸塊34可具有電鍍金屬層32,例如是銅層,接合至第一型中介載板551的微型金屬柱或凸塊34之銲錫層/銲錫凸塊33上,以形成如第25M圖或第26O圖中複數接合連接點563(bonded contacts)。
在第三種範例中,如第25L圖或第26N圖所示,如第23H圖、第23I圖、第24J圖至第24M圖或第24O圖中半導體晶片100具有第一型微型金屬柱或凸塊34接合至中介載板551的第一型微型金屬柱或凸塊34,例如,半導體晶片100的第一型微型金屬柱或凸塊34可具有銲錫層/銲錫凸塊33接合至第一型中介載板551的微型金屬柱或凸塊34之銲錫層/銲錫凸塊33上,以形成如第25M圖或第26O圖中複數接合連接點563(bonded contacts)。
如第19A圖至第19N圖所示的邏輯驅動器300,半導體晶片100可以是SRAM單元、DPI IC晶片410、非揮發性記憶體(NVM)IC晶片250、高速高頻寬的記憶體(HBM)IC晶片251、專用I/O晶片265、PC IC晶片269(例如是CPU晶片、GPU晶片、TPU晶片或APU晶片)、DRAM IC晶片321、專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、IAC晶片402、DCIAC晶片267及DCDI/OIAC晶片268其中之一,例如,二個如第25L圖或第26N圖中的半導體晶片100可以係為標準商業化FPGA IC晶片200及GPU晶片269分別從左至右排列設置,例如,二個如第25L圖或第26N圖中的半導體晶片100可係為標準商業化FPGA IC晶片200及CPU晶片269分別從左至右排列設置,例如,二個如第25L圖或第26N圖中的半導體晶片100可係為標準商業化FPGA IC晶片200及專用控制晶片260分別從左至右排列設置,例如,二個如第25L圖或 第26N圖中的半導體晶片100可以係二個標準商業化FPGA IC晶片200分別從左至右排列設置,例如,二個如第25L圖或第26N圖中的半導體晶片100可以係為標準商業化FPGA IC晶片200及非揮發性記憶體(NVM)IC晶片250分別從左至右排列設置,例如,二個如第25L圖或第26N圖中的半導體晶片100可以係為標準商業化FPGA IC晶片200及DRAM IC晶片321分別從左至右排列設置,例如,二個如第25L圖或第26N圖中的半導體晶片100可以係為標準商業化FPGA IC晶片200及高速高頻寬的記憶體(HBM)IC晶片251分別從左至右排列設置。
接著如第25M圖或第26O圖所示,一底部填充材料(underfill)564可經由點膠機以滴注(dispensing)方式將底部填充材料564填入半導體晶片100與中介載板551之間的間隙中,然後在等於或高於100℃、120℃或150℃的溫度下將底部填充材料564固化。
接著,在第25M圖的步驟之後請參考第25N圖,或在第26O圖的步驟之後請參考第26P圖,利用例如旋塗、網板印刷、點膠或灌模方式可形成一聚合物層565(例如是樹脂或化合物)在半導體晶片100之間的間隙中,並覆蓋半導體晶片100的背面100a,其中灌模的方法包括加壓成型(使用頂部和底部模具)或鑄造成型(使用滴注器),此聚合物層565的材質例如包括聚醯亞胺、苯基環丁烯(BenzoCycloButene(BCB))、聚對二甲苯、以環氧樹脂為基底之材質或化合物、光感性環氧樹脂SU-8、彈性體或矽膠(silicone),更詳細的說明,此聚合物層565例如可以是由日本Asahi Kasei公司所提供的感光性聚酰亞胺/PBO PIMELTM、或是由日本Nagase ChemteX公司提供的以環氧樹脂為基底之灌模化合物、樹脂或密封膠,此聚合物層565之後可經由加熱至一特定溫度被固化或交聯(cross-linked),此特定溫度例如是高於或等於50℃、70℃、90℃、100℃、125℃、150℃、175℃、200℃、225℃、250℃、275℃或300℃。
[0007]接著,在第25N圖的步驟之後請參考第25O圖,或在第26P圖的步驟之後請參考第26Q圖,一化學機械研磨、拋光或機械研磨可用以移除聚合物層565的頂層部分及半導體晶片100的頂層部分,及平面化聚合物層565直到全部半導體晶片100的背面100a全部曝露或直到半導體晶片100的其中之一背面100a被曝露。
接著,在第25O圖的步驟之後請參考第25P圖,或在第26Q圖的步驟之後請參考第26R圖,中介載板551的背面551a經由CMP之步驟或晶圓背面拋光之步驟研磨直到每一金屬栓塞558曝露於外,也就是在其背面的絕緣層555會被移除而形成一絕緣襯圍繞在其黏著/種子層556及銅層557的周圍,且其銅層557的背面或其黏著/種子層556的電鍍用種子層或黏著層的背面曝露於外。
在第25P圖的步驟之後請參考第25Q圖,利用例如旋塗、網板印刷、點膠或灌模方式可形成一聚合物層585(也就是絕緣介電層)在中介載板551的背面551a及在金屬栓塞558的背面上,及在聚合物層585的開口585a形成在金屬栓塞558的上並經由開口585a將其曝露,聚合物層585可包括例如是水聚醯亞胺、苯基環丁烯(BenzoCycloButene(BCB))、聚對二甲苯、以環氧樹脂為基底之材質或化合物、光感性環氧樹脂SU-8、彈性體或矽膠(silicone),聚合物層585的材質包括有機材質,例如是聚合物或還有碳的物質或化合物,聚合物層585的材質可以是光感性材質,可用於光阻層形成複數圖案化開口585a,以曝露金屬栓塞558,也就是聚合物層585可經由塗佈、光罩曝光及顯影等步驟而形成複數開口585a在聚合物層585內,在聚合物層585的開口585a可分別位在金屬栓塞558的上表面上以曝露金屬栓塞558,在某些應用或設計中,聚合物層585的開口585a的尺寸或橫向最大尺寸可小於在開口585a下方之金屬栓塞558的背面的尺寸或 橫向最大尺寸,接著聚合物層585(也就是絕緣介電層)在一特定溫度下硬化(固化),例如是例如是高於100℃、125℃、150℃、175℃、200℃、225℃、250℃、275℃或300℃,而硬化後的聚合物層585之厚度例如係介於3μm至30μm之間或介於5μm至15μm之間,聚合物層585可能會添加一些電介質顆粒或玻璃纖維,聚合物層585的材質及其形成方法可以參照第23I圖所示的聚合物層36的材質及其形成方法。
用於晶片在中介載板上(Multi-Chip-On-interposer,COIP)的中介載板背面的金屬凸塊之覆晶封裝方法
接著,複數金屬接墊、金屬柱或凸塊可形成在如第25R圖至第25V圖中中介載板551的背面,第25R圖至第25V圖為本發明實施例在一中介載板上形成複數金屬接墊、金屬柱或凸塊在金屬栓塞上的剖面示意圖及其製程。
接著,如第25R圖所示,一黏著/種子層566形成在聚合物層585及在金屬栓塞558的背面上,關於黏著/種子層566,其黏著層566a之厚度例如係介於0.001μm至0.7μm之間、介於0.01μm至0.5μm之間或介於0.03μm至0.35μm之間,且黏著層可首先濺鍍在聚合物層585上及在銅層557上,或在金屬栓塞558背面之黏著/種子層556的黏著層或電鍍用種子層上,關於黏著/種子層566,其黏著層566a的材質包括鈦、鈦-鎢合金、氮化鈦、鉻、鈦-鎢合金層、氮化鉭或上述材質的複合物,黏著層566a可經由ALD製程、CVD製程或蒸鍍製程形成,例如,黏著層566a可經由CVD沉積方式形成Ti層或TiN層(其厚度例如係介於1nm至200nm或介於5nm至50nm之間)在金屬栓塞558背面之聚合物層585及在銅層557上或在黏著/種子層556的黏著層或電鍍用種子層上。
接著,有關黏著/種子層566,一電鍍用種子層566b的厚度係介於0.001μm至1μm之間、介於0.03μm至2μm之間或介於0.05μm至0.5μm之間的一電鍍用種子層可濺鍍形成在整個黏著層566a的上表面上,或者,電鍍用種子層566b可經由原子層(ATOMIC-LAYER-DEPOSITION(ALD))沉積製程、化學氣相沉積(CHEMICAL VAPOR DEPOSITION(CVD))製程、蒸鍍製程、無電電鍍或物理氣相沉積方式形成。電鍍用種子層566b有益於在表面上電鍍形成一金屬層,因此,電鍍用種子層566b的材質種類隨著電鍍用種子層566b上所要電鍍的金屬層材質而變化,當用於在以下步驟中形成的第一型金屬柱或凸塊570的一銅層電鍍在電鍍用種子層566b上,電鍍用種子層566b的優選材質為銅金屬,當用於在以下步驟中形成的多個金屬接墊571或用於在以下步驟中形成的第二型金屬柱或凸塊570的一銅阻障層電鍍形成電鍍用種子層566b上,電鍍用種子層566b的優選材質為銅金屬,用於在以下步驟中形成的第三型金屬柱或凸塊570的一金層電鍍形成在電鍍用種子層566b上,電鍍用種子層566b的優選材質為金(Au)金屬,例如用於金屬接墊571或用於第一型式或第二型式金屬柱或凸塊570的電鍍用種子層566b可在以下步驟中形成,其可例如經由濺鍍或CVD沉積一銅種子層在黏著層566a上或上方,其中銅種子層之厚度例如可介於3nm至400nm之間或介於10nm至200nm之間,用於在以下步驟中形成的第三型金屬柱或凸塊570的一電鍍用種子層566b沉積形成在黏著層566a上,例如經由濺鍍或CVD沉積一金種子層在黏著層566a上,其中金種子層之厚度例如可介於1nm至300nm之間或介於1nm至50nm之間,黏著層566a及電鍍用種子層566b構成如第25Q圖中的黏著/種子層566。
接著,如第25S圖所示,厚度係介於5μm至50μm之間的光阻層567(例如是正型 光阻層)經旋轉塗佈或壓合方式形成在黏著/種子層566的電鍍用種子層566b上,光阻層567經由曝光、顯影等製程形成複數溝槽或複數開口567a在光阻層567內並曝露黏著/種子層566的電鍍用種子層566b,用1X步進器,具有波長範圍介於434至438nm的G-Line、波長範圍介於403至407nm的H-Line及波長範圍介於363至367nm的I-Line的其中至少二種光線的1X接觸式對準器或雷射掃描器可用於照光在光阻層567上而曝光光阻層567,也就是G-Line及H-Line、G-Line及I-Line、H-Line及I-Line或G-Line、H-Line及I-Line照在光阻層567上,然後使用氧氣離子(O2 plasma)或含氟離子在2000PPM及氧,並移除殘留在黏著/種子層566的電鍍用種子層566b的聚合物材質或其它污染物,使得光阻層567可被圖案化而形成複數開口567a,在光阻層567內並曝露位在金屬栓塞558上方的黏著/種子層566的電鍍用種子層566b。
如第25S圖所示,在光阻層567內的開口567a可對準聚合物層585的開口585a的,經由後續的製程形成金屬接墊或凸塊,黏著/種子層566曝露的電鍍用種子層566b位在開口567a之底部,及光阻層567之開口567a還從開口585a延伸至開口585a周圍的聚合物層585一環形區域上。
如第25T圖所示,金屬層568電鍍在曝露於複數開口567a的黏著/種子層566的電鍍用種子層566b上,用於形成複數金屬接墊,金屬層568可電鍍厚度係介於1μm至50μm之間、介於1μm至40μm之間、介於1μm至30μm之間、介於1μm至20μm之間、介於1μm至10μm之間、介於1μm至5μm之間或介於1μm至3μm之間的銅阻障層(例如是鎳層)在複數開口567a曝露的電鍍用種子層566b上。
如第25U圖所示,在形成金屬層568之後,移除大部分的光阻層567,然後未在金屬層568下方的黏著/種子層566被蝕刻去除,此移除及蝕刻的製程可分別參考如第23F圖中移除光阻層30及蝕刻電鍍用種子層28及黏著層26的製程,因此,黏著/種子層566及電鍍的金屬層568可被圖案化以形成複數金屬接墊571在金屬栓塞558上及在聚合物層585上,每一金屬接墊571可由黏著/種子層566及電鍍金屬層568構成而形成在黏著/種子層566的電鍍用種子層566b上。
接著,如第25V圖所示,複數銲錫球或凸塊569可經由網板印刷方法或錫球接合的方法形成在金屬接墊571上,然後經由一迴銲製程,銲錫球或凸塊569的材質可使用一無铅焊錫形成,其可包括錫、銅、銀、鉍、銦、鋅、銻或其他金屬,例如此無铅焊錫可包括錫-銀-銅焊錫、錫-銀焊錫或錫-銀-銅-鋅焊錫,銲錫球或凸塊569及金屬接墊571構成第四型金屬柱或凸塊570,其中之一第四型金屬柱或凸塊570可用於連接或耦接至邏輯驅動器300的其中之一半導體晶片100(例如第19A圖至第19N圖中的專用I/O晶片265)至在邏輯驅動器300外的外界電路或元件,其係連接之順序為經由其中之一接合連接點563、交互連接線金屬層27及/或SISIP588的交互連接線金屬層6及/或中介載板551的交互連接線結構561的第一交互連接線結構(FISIP)560及中介載板551的其中之一金屬栓塞558,每一第四型金屬柱或凸塊570從中介載板551的背面凸出一高度或是從聚合物層585的背面585b凸出一高度係介於5μm至150μm之間、介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間,或大於或等於75μm、50μm、30μm、20μm、15μm或10μm,及剖面的最大直徑(例如係圓形的直徑或是方形或長方形的對角線長度)例如係介於5μm至200μm之間、介於5μm至150μm之間、介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、 介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間,或大於或等於100μm、60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm,其中之一銲錫球或凸塊569中距離相鄰最近的銲錫球或凸塊569的距離例如可介於5μm至150μm之間、介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間,或小於或等於60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm。
或者,用於第一型金屬柱或凸塊570,如第25T圖的金屬層568可經由電鍍一銅層形成在由開口567a曝露且由銅材質形成的電鍍用種子層566b上,此銅層之厚度係介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間。
如第25U圖所示,在形成金屬層568之後,移除大部分的光阻層567,然後沒有在金屬層568下方的黏著/種子層566被蝕刻去除,其中移除及蝕刻的製程可分別參考如第23F圖中移除光阻層30及蝕刻電鍍用種子層28及黏著層26的製程,因此,黏著/種子層566及電鍍金屬層568可被圖案化而形成第一型金屬柱或凸塊570在金屬栓塞558上及在聚合物層585上,每一第一型金屬柱或凸塊570可由黏著/種子層566及在黏著/種子層566上的電鍍金屬層568構成。
第一型金屬柱或凸塊570的高度(從中介載板551的背面或從聚合物層585的背面585b凸出的高度)係介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間,或高度大於或等於50μm、30μm、20μm、15μm或5μm,且其水平剖面具有一最大尺寸(例如圓形的直徑、正方形或長方形的對角線)係介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間,或尺寸是大於或等於60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm。二相鄰第一型式金屬柱或凸塊570之間最小的距離例如係介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間,或尺寸是大於或等於60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm。
或者,對於第二型式的金屬柱或凸塊570,如第25T圖所示之金屬層568可經由電鍍一銅阻障層(例如鎳層)在複數開口567a曝露的電鍍用種子層電鍍用種子層566b(例如由銅材質製成)上,銅阻障層的厚度例係介於1μm至50μm之間、介於1μm至40μm之間、介於1μm至30μm之間、介於1μm至20μm之間、介於1μm至10μm之間、介於1μm至5μm之間、介於1μm至3μm之間,接著電鍍一焊錫層在複數開口567a內的銅阻障層上,此焊錫層厚度例如是介於1μm至150μm之間、介於1μm至120μm之間、介於5μm至120μm之間、介於5μm至100μm之間、介於5μm至75μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間、介於5μm至10μm之間、介於1μm至5μm之間、介於1μm至3μm之間,此焊錫層的材質可以是無铅銲錫,其包括錫、銅、銀、鉍、銦、鋅、銻或其他金屬,例如此無铅焊錫可包括錫-銀-銅(SAC)焊錫、錫-銀焊錫或錫-銀-銅-鋅焊錫,此外,第25U圖中去除大部分的光阻層567及未在金屬層568下方的黏著/種子層566之後,執行一迴焊製程迴焊焊錫層變成第二類型複數圓形焊錫球或凸塊。因此形成在其中之一金屬栓塞558及在聚合物層585上的每一第二型金屬柱或凸塊570可由黏著/種子層566、在黏著/種子層566上的銅阻障層及在銅阻障層的一錫球或凸塊所構成。
第二型式金屬柱或凸塊570從中介載板551的背面或從聚合物層585的背面585b凸起一高度係介於5μm至150μm之間、介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間,或大於、高等或等於75μm、50μm、30μm、20μm、15μm或10μm,及其水平剖面具有一最大尺寸(例如圓形的直徑、正方形或長方形的對角線)係介於5μm至200μm之間、介於5μm至150μm之間、介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間,或尺寸是大於或等於60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm,二相鄰之金屬柱或凸塊570具有一最小空間(間距)尺寸係介於5μm至150μm之間、介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間,或尺寸是大於或等於60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm。
或者,對於第三型式金屬柱或凸塊570,如第25R圖所示之電鍍用種子層566b可濺鍍或CVD沉積金種子層(厚度例如可介於1nm至300nm之間或1nm至100nm之間)在黏著層566a上形成,黏著層566a及電鍍用種子層566b組成如第25R圖所示的黏著/種子層566,如第25T圖所示的金屬層568可經由電鍍厚度例如可介於3μm至40μm之間或介於3μm至10μm之間的金層在複數開口567a曝露的電鍍用種子層566b上形成,其中電鍍用種子層566b係由金所形成,接著,移除大部分的光阻層567然後未在金屬層568下方的黏著/種子層566被蝕刻移除以形成第三型式金屬柱或凸塊570在金屬栓塞558及在聚合物層585上,每一第三型金屬柱或凸塊570可由黏著/種子層566及在黏著/種子層566的電鍍金屬層568(金層)構成。
第三型式金屬柱或凸塊570從中介載板551的背面或聚合物層585的背面585b凸起一高度係介於3μm至40μm之間、介於3μm至30μm之間、介於3μm至20μm之間、介於3μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間,或小於或等於40μm、30μm、20μm、15μm或10μm,及其水平剖面具有一最大尺寸(例如圓形的直徑、正方形或長方形的對角線)介於3μm至40μm之間、介於3μm至30μm之間、介於3μm至20μm之間、介於3μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間,或其最大尺寸是小於或等於40μm、30μm、20μm、15μm或10μm,二相鄰之金屬柱或凸塊570具有一最小空間(間距)尺寸係介於3μm至40μm之間、介於3μm至30μm之間、介於3μm至20μm之間、介於3μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間,或其間距是小於或等於40μm、30μm、20μm、15μm或10μm。
第一型、第二型或第三型金屬凸塊其中之一用作為連接或耦接至其中之一半導體晶片100,例如第19A圖至第19N圖中的邏輯驅動器300的專用I/O晶片265至在邏輯驅動器300外的外界電路或元件,依序經由其中之一接合連接點563、交互連接線金屬層27及/或SISIP588的交互連接線金屬層6及/或中介載板551的交互連接線結構561之第一交互連接線結構(FISIP)560及中介載板551的其中之一金屬栓塞558。
另外,如第26S圖為本發明實施例在一中介載板之第二型式金屬栓塞之背面上形成金屬柱或凸塊之剖面示意圖,在第26R圖之製程後請參考第26S圖所示,銲錫凸塊可經由網版印刷的方式或錫球接合的方式形成一第五型金屬柱或凸塊570在金屬栓塞558的背面,然後進行一迴銲製程,用於形成第五型金屬柱或凸塊570之焊錫凸塊的材質可以是一無铅焊錫形成,其可包括錫、銅、銀、鉍、銦、鋅、銻或其他金屬,例如此無铅焊錫可包括錫-銀-銅焊錫、錫-銀焊錫或錫-銀-銅-鋅焊錫,其中之一第五型金屬柱或凸塊570可用於連接或耦接邏輯驅動 器300的其中之一半導體晶片100(例如在第19A圖至第19N圖中的專用I/O晶片265)至在邏輯驅動器300外的外界電路或元件,依序經由其中之一接合連接點563、交互連接線金屬層27及/或SISIP588的交互連接線金屬層6及/或中介載板551的交互連接線結構561之第一交互連接線結構(FISIP)560及中介載板551的其中之一金屬栓塞558,每一第五型金屬柱或凸塊570從中介載板551的背面凸起一高度係介於5μm至150μm之間、介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間,或大於、高於或等於75μm、50μm、30μm、15μm或10μm,及其水平剖面具有一最大尺寸(例如圓形的直徑、正方形或長方形的對角線)介於5μm至200μm之間、介於5μm至150μm之間、介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間,或尺寸是大於或等於100μm、60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm,其中之一第五型金屬凸塊570至其最近的其中之一第五型金屬凸塊570具有一最小空間(間距)尺寸尺寸係介於5μm至150μm之間、介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間,或尺寸是大於或等於60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm。
用於多晶片在中介載板上(Multi-Chip-On-interposer,COIP)的覆晶封裝製程的切割
接著,如第25V圖或26S圖中的封裝結構可經由一雷射切割製程或經由一機械切割製程被分離、切割為複數單一晶片封裝,也就是如第25W圖或第26T圖所示之標準商業化COIP邏輯驅動器300或單層封裝邏輯驅動器。
標準商業化COIP邏輯驅動器300可是具有一定寬度、長度和厚度的正方形或矩形。對於標準商業化COIP邏輯驅動器300的形狀及尺寸可設定一工業化標準,例如標準商業化COIP邏輯驅動器300標準形狀可以是正方形,其寬度大於或等於4mm、7mm、10mm、12mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm或40mm,及厚度大於或等於0.03mm、0.05mm、0.1mm、0.3mm、0.5mm、1mm、2mm、3mm、4mm或5mm,或者,標準商業化COIP邏輯驅動器300標準形狀可以是長方形,其寬度大於或等於3mm、5mm、7mm、10mm、12mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm或40mm,其長度大於或等於5mm、7mm、10mm、12mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm、40mm、45mm或50mm,及其厚度大於或等於0.03mm、0.05mm、0.1mm、0.3mm、0.5mm、1mm、2mm、3mm、4mm或5mm。另外,位在邏輯驅動器300中中介載板551背面的金屬柱或凸塊570具有一標準腳位,例如在MxN的區域陣列中,其具有一標準尺寸的間距和間隔位在二相鄰金屬柱或凸塊570之間,金屬柱或凸塊570的位置也位在一標準位置上。
用於COIP邏輯驅動器的交互連接線
第27A圖及第27B圖為本發明實施例中設有第一型金屬栓塞之中介載板的各種交互連接線的剖面示意圖,第一型、第二型、第三型、第四型或第五型金屬柱或凸塊570可形成在中介載板551的第一型金屬栓塞558上,為了說明,第27A圖及第27B圖係以第四型的金屬柱或凸塊570為實施例,第28A圖及第28B圖為本發明實施例中設有第二型金屬栓塞之中介載板的各種交互連接線的剖面示意圖,第一型、第二型、第三型、第四型或第五型金屬柱或凸 塊570可形成在中介載板551的第二型金屬栓塞558上,為了說明,第28A圖及第28B圖係以第五型的金屬柱或凸塊570為實施例。
如第27A圖及第28A圖所示,中介載板551的SISIP588及/或FISIP560的交互連接線金屬層27及/或交互連接線金屬層6可連接一或多個金屬柱或凸塊570至其中之一半導體晶片100及連接其中之一半導體晶片100至另一個半導體晶片100,在第一種範例中,中介載板551的SISIP588及/或FISIP560的交互連接線金屬層27及交互連接線金屬層6構成第一交互連接線網路573,使其中多個金屬柱或凸塊570相互連接至每一其它或另一金屬柱或凸塊570,及連接複數半導體晶片100至每一其它或另一半導體晶片100,使其中多個的半導體晶片100相互連接,該其中多個的金屬柱或凸塊570及該其中多個的半導體晶片100可經由第一交互連接線網路573連接在一起,第一交互連接線網路573可以用於提供電源或接地供應的電源或接地平面或匯流排(power or ground plane or bus)。
如第27A圖及第28A圖所示,在第二種範例中,在第二範例中,中介載板551的SISIP588及/或FISIP560的交互連接線金屬層27及/或交互連接線金屬層6可構成一第二交互連接線網路574,使其中多個的金屬柱或凸塊570相互連接,及使位在其中之一半導體晶片100與中介載板551之間的其中多個接合連接點563相互連接,該其中多個的金屬柱或凸塊570及該其中個接合連接點563經由第二交互連接線網路574連接在一起,第二交互連接線網路574可以用於提供電源或接地供應的電源或接地平面或匯流排。
如第27A圖及第28A圖所示,在第三種範例中,中介載板551的SISIP588及/或FISIP560的交互連接線金屬層27及/或交互連接線金屬層6可構成第三交互連接線網路575,連接其中之一的金屬柱或凸塊570至位在其中之一的半導體晶片100與中介載板551之間的其中之一的接合連接點563,第三交互連接線網路575可以是用於信號傳輸的信號匯流排或連接線或用於提供電源或接地供應的一電源或接地平面或匯流排,例如,第三交互連接線網路575可係為一信號匯流排或連接線經由其中之一的接合連接點563耦接其中之如第13A圖所繪示之的大型I/O電路341。
如第27B圖及第28B圖所示,在第四種範例中,在第四範例中,中介載板551的SISIP588及/或FISIP560的交互連接線金屬層27及/或交互連接線金屬層6可構成一第四交互連接線網路576,其不連接至任一標準商業化COIP邏輯驅動器300的金屬柱或凸塊570,但可使其中多個半導體晶片100相互連接,第四交互連接線網路576可以是用於信號傳輸的晶片間交互連接線371的其中之一的可編程交互連接線361,例如,第四交互連接線網路576可以是信號匯流排或連接線,耦接其中之一的半導體晶片100的其中之一的如第13B圖所繪示之小型I/O電路203至其中另一個的半導體晶片100的其中之一的如第13B圖所繪示之小型I/O電路203。
如第27B圖及28B圖所示,在第四範例中,中介載板551的SISIP588及/或FISIP560的交互連接線金屬層27及/或交互連接線金屬層6可構成一第五交互連接線網路577,其第五交互連接線網路577不連接至標準商業化COIP邏輯驅動器300的任一金屬柱或凸塊570,但可使位在其中之一的半導體晶片100與中介載板551之間的其中多個的接合連接點563相互連接,第五交互連接線網路577可以是用於信號傳輸的信號匯流排或連接線。
用於具有TPVs晶片封裝的實施例
(1)形成TPVs及微型凸塊在中介載板上的第一實施例
此外,標準商業化COIP邏輯驅動器300可以在位於中介載板551之正面上的聚合物層565中形成有複數直通封裝金屬栓塞或直通聚合物金屬栓塞(TPVs),第29A圖至第29O圖繪示本發明實施例形成具有複數直通聚合物金屬栓塞(TPVs)的多晶片在中介載板上(chip-on-interposer,COIP)的邏輯驅動器,如第29A圖所示,利用形成如第25J圖或第26L圖所繪示之微型金屬柱或凸塊34之黏著/種子層580的方法,其係由黏著層26及位在黏著層26上的電鍍用種子層28構成(如第23B圖及第23C圖所示),來形成直通聚合物金屬栓塞(TPVs)582之黏著/種子層580在中介載板551的正面上。在第25I圖或第26K圖中的步驟後,用於形成微型金屬柱或凸塊34及直通聚合物金屬栓塞(TPVs)之黏著/種子層580可先形成在交互連接線結構561上,也就是在其聚合物層42上及位在其開口42a底部的其交互連接線金屬層27上。在此實施例中,交互連接線結構561包括第一交互連接線結構(FISIP)560、在第一交互連接線結構(FISIP)560上的保護層14及如第23I圖中在保護層14上的聚合物層36,其中在聚合物層36中每一開口36a的位置對準於其中之一的開口14a及其中之一的金屬接墊16,第29A圖中黏著層26及電鍍種子層28的規格說明及其形成方法可參考如第23B圖及第23C圖中黏著層26及電鍍種子層28的規格說明及其形成方法。第29A圖中聚合物層36的規格說明及其形成方法可參考如第23I圖中聚合物層36的規格說明及其形成方法。在形成中介載板551的製程其間,黏著/種子層580的黏著層26可形成在位於其保護層14中的開口14a之底部的其金屬接墊16上、在環繞金屬接墊16的其保護層14上及在其聚合物層36上,接著黏著/種子層580的電鍍用種子層28可形成在黏著/種子層580的黏著層26上。
接著,如第29B圖所示,一光阻層30可形成在黏著/種子層580的電鍍用種子層28上,在第29B圖中的光阻層30的規格說明及其製程可參考第23D圖中光阻層的規格說明及其製程,在光阻層30內的每一溝槽或開孔30a可對準於用於形成一微型金屬柱或凸塊的開口36a及開口14a,該微型金屬柱或凸塊經由執行以下製程而形成在每一溝槽或開孔30a內,並且在光阻層30內的每一溝槽或開孔30a會曝露出位在每一溝槽或開孔30a的底部之黏著/種子層580的電鍍用種子層28,並且可從該開口36a延伸至圍繞該開口36a周圍的聚合物層36的環形區域。
接著,如第29B圖所示,在形成第二型微金屬柱或凸塊時,一金屬層32(例如是銅金屬)可電鍍在被溝槽或開孔30a所曝露的電鍍用種子層28上,在第29B圖中的金屬層32的規格說明及其製程可參考第23E圖、第23J圖及第23K圖中的金屬層32的規格說明及其製程。或者,在形成第一型微金屬柱或凸塊時,一金屬層32(例如是銅金屬)可電鍍在被溝槽或開孔30a所曝露的電鍍用種子層28上及一銲錫層/銲錫凸塊33可被電鍍在金屬層32上,金屬層32及銲錫層/銲錫凸塊33的規格說明及其製程可參考第23E圖中的金屬層32及銲錫層/銲錫凸塊33的規格說明及其製程
接著,如第29C圖所示,大部分的光阻層30可使用一含有氨基的有機溶劑移除,去除光阻層30的製程可參考如第23F圖所示之製程。
接著,如第29D圖所示,形成在黏著/種子層580的電鍍種子層28上及形成在金屬層32上的光阻層581用於形成第二型微金屬柱、凸塊或金屬蓋的第一型微金屬柱或凸塊,在第29D圖中的光阻層581之材質及其形成方法可參考第23D圖中光阻層30的材質及其形成方法,在光阻層581的每一開口581a中可對準其中之一開口36a及其中之一開口14a,可依之後的製程 形成封裝穿孔(through package vias,TPVs)金屬在開口581a中,其中一開口581a曝露出位在底部之黏著/種子層580的電鍍種子層28,且此開口581a可延伸至圍繞該開口36a周圍的聚合物層36的環形區域,此光阻層581的厚度例如可介於5μm至300μm之間,介於5μm至200μm之間、介於5μm至150μm之間、介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間。
接著,如第29E圖所示,用於形成TPVs的一金屬層582,例如是銅,可電鍍在由開口581a所曝露的電鍍用種子層28上,例如,用於形成TPVs之金屬層582可經由電鍍一銅層在由開口581a所曝露的黏著/種子層580的電鍍用種子層28(由銅材質所製成)上,其厚度例如可介於5μm至300μm之間、介於5μm至200μm之間、介於5μm至150μm之間、介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間。
接著,如第29F圖所示,大部分的光阻層581可使用一含有氨基的有機溶劑去除,然後將未在金屬層32及金屬層(用於形成TPVs)582下方的黏著/種子層580的電鍍電鍍種子層28及黏著層26蝕刻去除,此去除光阻層581及蝕刻黏著/種子層580的製程可參考如第23F圖中去除光阻層30及蝕刻電鍍用種子層28及黏著層26的製程,因此微型金屬柱或凸塊34及直通聚合物金屬栓塞(TPVs)582可形成在中介載板551上。
(2)用於形成TPVs及微型凸塊在中介載板上的第二實施例
或者,金屬栓塞(TPVs)582可形成在微型金屬柱或凸塊34上,第32A圖至第32E圖為本發明形成TPVs及微型凸塊在中介載板上的製程剖面示意圖,如第32A圖所繪示的步驟係接續如第29A圖的步驟,一光阻層30形成在黏著/種子層580的電鍍用種子層28上,第32A圖中的光阻層30的規格說明及其製程可參考如第23D圖所示的光阻層30的規格說明及其製程,在光阻層30內的每一溝槽或開孔30a可對準於其中之一的開口36a及其中之一的開口14a,該些微型金屬柱或凸塊及該些TPVs的接墊可經由執行以下製程而形成在每一溝槽或開孔30a內,並且在光阻層30內的每一溝槽或開孔30a會曝露出位在每一溝槽或開孔30a的底部之黏著/種子層580的電鍍用種子層28,並且可從該開口36a延伸至圍繞該開口36a周圍的聚合物層36的環形區域。
接著,如第32A圖所示,在形成第二型微型金屬柱或凸塊時,一金屬層32(例如銅)可電鍍在由溝槽或開孔30a所曝露的黏著/種子層580之電鍍用種子層28上,以形成該些微型金屬柱或凸塊及該些TPVs的接墊,在第32A圖中的金屬層32的規格說明及其製程可參考如第23E圖、第23J圖及第23K圖中的金屬層32的規格說明及其製程。
接著,如第32B圖所示,大部分的光阻層30可使用一含氨基的有機溶劑去除,此光阻層30去除的製程可參考第23F圖中的去除的製程。
接著,如第32C圖所示,一光阻層581形成在黏著/種子層580的電鍍用種子層28上及金屬層32上。在第32C圖中,光阻層581的規格說明及其製程可參考第23D圖中光阻層30的規格說明及其製程。在光阻層581內的每一開口581a係對準於用於形成其中之一的TPVs之接墊的金屬層32,曝露出位在其底部用於形成其中之一的TPVs之接墊的金屬層32,光阻層581之厚度例如可介於5μm至300μm之間、介於5μm至200μm之間、介於5μm至150μm之間、介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間。
接著,如第32D圖所示,用於形成TPVs的一金屬層582,例如是銅,可電鍍在由開口581a所曝露的用於形成TPVs之接墊的金屬層32上。例如,用於形成TPVs的金屬層582可經由電鍍一銅層在由開口581a所曝露之用於形成TPVs之接墊的金屬層32上,此接墊例如由銅材質製成,在金屬層32上用於形成TPVs之銅層的厚度例如係介於5μm至300μm之間、介於5μm至200μm之間、介於5μm至150μm之間、介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間。
接著,如第32E圖所示,大部分的光阻層81可使用含氨基的有機溶劑去除,然後將沒有在金屬層32下方的黏著/種子層580之黏著層26及電鍍用種子層28蝕刻去除,此去除光阻層581及蝕刻黏著/種子層580的製程可參考如第23F圖中去除光阻層30及蝕刻電鍍用種子層28及黏著層26的製程,因此微型金屬柱或凸塊34及直通聚合物金屬栓塞(TPVs)582可形成在中介載板551上。
(3)用於COIP邏輯驅動器的封裝
接著,如第29G圖或第30A圖所示,第23H圖、第23I圖、第24J圖至第24M圖或第24O圖中的每一半導體晶片100具有其第一型微型金屬柱或凸塊34可接合至如第29F圖或第32E圖中中介載板551的第二型微型金屬柱或凸塊34,以產生如第30H圖或第31A圖中的複數接合連接點563。或者,第23H圖、第23I圖、第24J圖至第24M圖或第24O圖中的每一半導體晶片100具有其第一型微型金屬柱或凸塊34可接合至如第29F圖中的第一型微型金屬柱或凸塊34,以產生如第29H圖或第30A圖中的複數接合連接點563。或者,如第23H圖、第23I圖、第24J圖至第24M圖或第24O圖中的每一半導體晶片100具有其第二型微型金屬柱或凸塊34可接合至如第29F圖中的中介載板551的第一型微型金屬柱或凸塊34,以產生如第29H圖或第30A圖中的複數接合連接點563,此接合的製程可參考如第25K圖或第26M圖中半導體晶片100的微型金屬柱或凸塊34接合至中介載板551的微型金屬柱或凸塊34的製程。
[00633]接著,如第29H圖及第29I圖所示或第30A圖所示,一底部填充材料564(例如是環氧樹脂或化合物)可利用點膠機(dispenser)以滴注(dispensing)方式將底部填充材料564填入半導體晶片100與如第29F圖或第32E圖中中介載板551之間的一間隙中,然後在等於或高於100℃、120℃或150℃的溫度下將底部填充材料564固化。第29I圖為本發明實施例點膠機移動以將底部填充材料注入在半導體晶片與中介載板之間的間隙的路徑上視圖,如第30I圖所示,一點膠機可延著多個路徑584移動,其中每一個路徑584設置在排成一行的金屬栓塞(TPVS)582與其中之一的半導體晶片100之間,藉以滴注底部填充材料564而流入半導體晶片100與中介載板551之間的間隙內,如第29H圖或第30A圖所示。
接著,如第29J圖或第30A圖所示,透過晶圓或面板製程,一聚合物層565(例如是樹脂或化合物)可經由旋轉塗佈、網版印刷、點膠或灌模方式填入至相鄰之二半導體晶片100之間的間隙中及相鄰之二金屬栓塞(TPVS)582之間的間隙中,並且覆蓋半導體晶片100的側壁100a及金屬栓塞(TPVs)582的末稍端,聚合物層565的規格說明及其製程可參考如第25N圖或第26P圖中聚合物層565的規格說明及其製程。
接著,如第29K圖或第30A圖所示,可利用一化學機械研磨(CMP)、研磨或拋光的方式去除聚合物層565的上層部分及半導體晶片100的上層部分,以及平坦化聚合物層565的上表面,直到全部的TPVs 582的末稍端全部曝露於外。
接著,如第29L圖或第30A圖所示,可利用CMP製程或晶圓背面研磨製程研磨如第29F圖或第32E圖中的中介載板551的背面551a,直到每一金屬栓塞558曝露於外,亦即將在其背面的其絕緣層555移除以形成一絕緣襯圍繞其黏著/種子層556及銅層557的周圍,且其銅層557的背面或其黏著/種子層556的黏著層的背面或電鍍用種子層的背面曝露於外。
接著,如第29M圖所示,如第25Q圖中的聚合物層585可形成在設有第一型金屬栓塞558之中介載板551的背面上,且如第25R圖至第25V圖中的金屬柱或凸塊570可形成在設有第一型金屬栓塞558之中介載板551的背面上,聚合物層585的規格說明及其製程可參考如第25Q圖的聚合物層585的規格說明及其製程,金屬柱或凸塊570的規格說明及其製程可參考如第25R圖至第25V圖中的金屬柱或凸塊570的規格說明及其製程。在此實施例中,直通封裝體金屬栓塞(TPVS)582可形成在聚合物層36上及形成在如第29F圖中的第一交互連接線結構(FISIP)560中最頂層的一金屬接墊、線及交互連接線8上,或者,如第32E圖所示,直通封裝體金屬栓塞(TPVs)582可形成在用於TPVs的接墊之金屬層32上。
或者,如第30A圖所示,如第26S圖中的複數金屬柱或凸塊570可形成在中介載板551的一背面上,其中金屬柱或凸塊570係由第二型金屬栓塞558形成,金屬柱或凸塊570的規格說明及其製程可參考如第26S圖中的相同的規格說明及其製程,在此範例中,金屬栓塞(TPVs)582可形成在聚合物層36上及形成在如第29F圖中的第一交互連接線結構(FISIP)560中最頂層的金屬接墊、線及交互連接線8上,或者,如第32E圖所示,金屬栓塞(TPVs)582可形成在金屬層32上用於TPVs的接墊。
接著,如第29M圖或第30A圖中的封裝結構可經由雷射切割製程或經由機械切割製程而被分離、切割成複數單一晶片封裝,也就是如第29N圖或第30B圖中的標準商業化COIP邏輯驅動器300或單層封裝邏輯驅動器。
或者,如第29O圖及第30C圖所示,在中介載板551的背面形成微型金屬柱或凸塊34後,如第29M圖或第30C圖所示,銲錫凸塊578可經由網版印刷或錫球接合的方式形成在曝露的金屬栓塞(TPVs)582末端,接著形成具有焊錫凸塊578的封裝結構可經由雷射切割製程或經由機械切割製程而被分離、切割成複數單一晶片封裝,也就是如第29O圖或第30C圖的標準商業化COIP邏輯驅動器300或單層封裝邏輯驅動器。此焊錫凸塊578可接合/連接至一外界電子元件,以將標準商業化COIP邏輯驅動器300連接至外界電子元件,形成焊錫凸塊578的材質可包括無铅焊錫,其可包括錫、銅、銀、鉍、銦、鋅、銻或其他金屬,例如此無铅焊錫可包括錫-銀-銅焊錫、錫-銀焊錫或錫-銀-銅-鋅焊錫,每一焊錫凸塊578從聚合物層565的背面565a凸起一高度係介於5μm至150μm之間、介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間,或大於、高於或等於75μm、50μm、30μm、15μm或10μm,及其水平剖面具有一最大尺寸(例如圓形的直徑、正方形或長方形的對角線)介於5μm至200μm之間、介於5μm至150μm之間、介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間,或尺寸是大於或等於100μm、60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm,其中之一焊錫凸塊578至其最近的其中之一焊錫凸塊578具有一最小空間(間距)尺寸係介於5μm至150μm之間、介於5μm至120μm之間、介於10μm至100μm之間、介於10μm至60μm之間、、介於10μm至40μm之間或介於10μm至30μm之間,或尺寸是大於或等 於60μm、50μm、40μm、30μm、20μm、15μm或10μm。
如第29N圖、第29O圖、第30B圖或第30C圖中的標準商業化COIP邏輯驅動器300可是具有一定寬度、長度和厚度的正方形或矩形。對於標準商業化COIP邏輯驅動器300的形狀及尺寸可設定一工業化標準,例如標準商業化COIP邏輯驅動器300標準形狀可以是正方形,其寬度大於或等於4mm、7mm、10mm、12mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm或40mm,及厚度大於或等於0.03mm、0.05mm、0.1mm、0.3mm、0.5mm、1mm、2mm、3mm、4mm或5mm,或者,標準商業化COIP邏輯驅動器300標準形狀可以是長方形,其寬度大於或等於3mm、5mm、7mm、10mm、12mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm或40mm,其長度大於或等於5mm、7mm、10mm、12mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm、40mm、45mm或50mm,及其厚度大於或等於0.03mm、0.05mm、0.1mm、0.3mm、0.5mm、1mm、2mm、3mm、4mm或5mm。另外,位在邏輯驅動器300中中介載板551背面的金屬柱或凸塊570具有一標準腳位,例如在MxN的區域陣列中,在二相鄰金屬柱或凸塊570之間具有一標準尺寸的間距或間隔,金屬柱或凸塊570的位置也位在一標準位置上。
用於COIP邏輯驅動器的POP封裝
第31A圖至第31C圖為本發明實施例製造封裝體上堆疊封裝體(POP)的製程示意圖,如第31A圖至第31C圖所示,當如第29N圖或第30B圖的上層的單層封裝邏輯驅動器接合在下層的單層封裝邏輯驅動器300時,在下層的單層封裝邏輯驅動器300之聚合物層565內之直通封裝體金屬栓塞(TPVS)582可以連接至位在該下層的單層封裝邏輯驅動器300之背面處的上層的單層封裝邏輯驅動器300之電路、交互連接線金屬結構、複數金屬接墊、複數金屬柱或凸塊及(或)複數元件,POP的製程如下所示:
首先,如第31A圖所示,複數下層的單層封裝邏輯驅動器300(在圖中只顯示一個)之金屬柱或凸塊570係接合至電路載體或基板110的複數位在其上側的金屬接墊109上,電路載體或基板110例如是PCB板、BGA板、軟性基板或薄膜、或陶瓷基板,底部填充材料114可填入電路載體或基板110與下層的單層封裝邏輯驅動器300之間的間隙中,或者,亦可以省去位於電路載體或基板110與下層的單層封裝邏輯驅動器300之間的底部填充材料114。接著,利用表面貼裝技術(surface-mount technology,SMT)可分別地將複數上層的單層封裝邏輯驅動器300(圖中只顯示一個)接合至下層的單層封裝邏輯驅動器300上。
對於SMT製程,焊錫、焊膏或助焊劑112可先印刷在下層的單層封裝邏輯驅動器300之TPVs 582的背面582a上,接著,如第31B圖所示,在上層的單層封裝邏輯驅動器300之金屬柱或凸塊570可放置在焊錫、焊膏或助焊劑112上。接著,利用迴焊或加熱製程使上層的單層封裝邏輯驅動器300的金屬柱或凸塊570接合至下層的單層封裝邏輯驅動器300的金屬栓塞(TPVS)582上。接著,底部填充材料114可填入於上層的單層封裝邏輯驅動器300與下層的單層封裝邏輯驅動器300之間的間隙中,或者,亦可以省去位於上層的單層封裝邏輯驅動器300與下層的單層封裝邏輯驅動器300之間的底部填充材料114。
接著,可選擇性地進行下列步驟,如第31B圖所示,其它如第29N圖或第30B圖中的複數單層封裝邏輯驅動器300的金屬柱或凸塊570可使用SMT製程接合至該些上層的單層封裝邏輯驅動器300的直通封裝體金屬栓塞(TPVs)582上,然後底部填充材料114可選擇性地形成在其二者之間的間隙中,該步驟可以重複多次以形成三個或三個以上的單層封裝邏輯驅動 器300堆疊在電路載體或基板110上。
接著,如第31B圖所示,複數焊錫球325可植球在電路載體或基板110的背面,接著,如第31C圖所示,電路載體或基板110可經由雷射切割或機械切割的方式被切割分離成複數單獨基板單元113,其中單獨基板單元113例如是PCB板、BGA板、軟性電路基板或薄膜、或陶瓷基板,因此可將數目i個的單層封裝邏輯驅動器300堆疊在單獨基板單元113上,其中i係大於或等於2個、3個、4個、5個、6個、7個或8個。
或者,如第31D圖至第31F圖為本發明實施例製造封裝體上堆疊封裝體(POP)的製程示意圖,如第31D圖及第31E圖所示,在分離成複數下層的單層封裝邏輯驅動器300之前,如第29N圖或第30B圖中複數上層的單層封裝邏輯驅動器300的金屬柱或凸塊570可經由SMT製程接合至如第29M圖或第30A圖所示在晶圓或面板製程中的直通封裝體金屬栓塞(TPVs)582上。
接著,如第31E圖所示,底部填充材料114可填入於如第29N圖或第30B圖中的每一上層的單層封裝邏輯驅動器300與如第29M圖或第30A圖所示之晶圓或面板之間的間隙中,或者,亦可以省去填入於如第29N圖或第30B圖中的每一上層的單層封裝邏輯驅動器300與如第29M圖或第30A圖所示之晶圓或面板之間的底部填充材料114。
接著,可選擇性地進行下列步驟,如第31E圖所示,其它如第29N圖或第30B圖中的複數單層封裝邏輯驅動器300的金屬柱或凸塊570可使用SMT製程接合至該些上層的單層封裝邏輯驅動器300的直通封裝體金屬栓塞(TPVs)582上,然後底部填充材料114可選擇地形成在其二者之間的間隙中,此步驟可重覆數次形成二個或二個以上的單層封裝邏輯驅動器300堆疊在如第29M圖或第30A圖所示之晶圓或面板上。
接著,如第31F圖所示,如第29M圖或第30A圖所示之晶圓或面板可經由雷射切割或機械切割的方式分離成複數下層的單層封裝邏輯驅動器300,由此,可將數目i個的單層封裝邏輯驅動器300堆疊在一起,其中i係大於或等於2個、3個、4個、5個、6個、7個或8個。接著,堆疊在一起的單層封裝邏輯驅動器300中最下層的一個的金屬柱或凸塊570可接合至如第31B圖中電路載體或基板110的複數位在其上側的金屬接墊109上,電路載體或基板110例如是BGA基板。接著,底部填充材料114可填入於電路載體或基板110與最下層的單層封裝邏輯驅動器300之間的間隙中,或者,亦可以省去位在電路載體或基板110與最下層的單層封裝邏輯驅動器300之間的底部填充材料114。接著,複數焊錫球325可植球在電路載體或基板110的背面,接著,電路載體或基板110可如第31C圖所示,被雷射切割或機械切割分離成複數單獨基板單元113(例如是PCB板、BGA板、軟性電路基板或薄膜、或陶瓷基板),因此可將數目i個的單層封裝邏輯驅動器300堆疊在單獨基板單元113上,其中i係大於或等於2個、3個、4個、5個、6個、7個或8個。
具有直通封裝體金屬栓塞(TPVs)582的單層封裝邏輯驅動器300可在垂直方向上堆疊以形成標準型式或標準尺寸的POP封裝,例如,單層封裝邏輯驅動器300及其下面提到的組合可以是正方形或長方形,其具有一定的寬度、長度及厚度,單層封裝邏輯驅動器300的形狀及尺寸具有一工業標準,例如單層封裝邏輯驅動器300的標準形狀及其下面提到的組合為正方形時,其寬度係大於或等於4mm、7mm、10mm、12mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm或40mm,且其具有的厚度係大於或等於0.03mm、0.05mm、0.1mm、0.3mm、0.5mm、1mm、2mm、3mm、4mm或5mm,或者,單層封裝邏輯驅動器300及其下面提到的組合 的標準形狀為長方形時,其寬度係大於或等於3mm、5mm、7mm、10mm、12mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm或40mm,其長度係大於或等於5mm、7mm、10mm、12mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm、40mm、40mm或50mm,且其具有的厚度係大於或等於0.03mm、0.05mm、0.1mm、0.3mm、0.5mm、1mm、2mm、3mm、4mm或5mm。
具有TPVs及BISD的晶片封裝實施例
或者,COIP邏輯驅動器300的背面金屬交互連接線結構(BISD)可設有位在半導體晶片100之背面的交互連接線,第33A圖至第33M圖為本發明實施例COIP邏輯驅動器的背面金屬交互連接線結構的製程示意圖。
在第29K圖的步驟後,請參考第33A圖所示,利用例如旋塗、網板印刷、點膠或灌模方式可形成聚合物層97(也就是絕緣介電層)在半導體晶片100的背面上及在聚合物層565的背面565a上,在聚合物層97內的開口97a可形成在金屬栓塞(TPVs)582的末端上方以曝露出TPVs的末端,聚合物層97可例如可包括聚醯亞胺、苯基環丁烯(BenzoCycloButene(BCB))、聚對二甲苯、以環氧樹脂為基底之材質或化合物、光感性環氧樹脂SU-8、彈性體或矽膠(silicone),聚合物層97可包括有機材質,例如一聚合物或含碳的化合物材質,聚合物層97可以是光感性材質,且可用作光阻層,藉以圖案化複數開口97a在聚合物層97中,且通過後續執行的製程可形成複數金屬栓塞在開口97a中,亦即聚合物層97可經由塗佈、光罩曝光及之後的顯影步驟形成有開口97a在其中的聚合物層。接著,聚合物層97(也就是絕緣介電層)在一溫度下固化(硬化),例如溫度係高於℃100℃、125℃、150℃、175℃、200℃、225℃、250℃、275℃或300℃,聚合物層97在固化後的厚度例如可介於2μm至50μm之間、介於3μm至50μm之間、介於3μm至30μm之間、介於3μm至20μm之間或介於3μm至15μm之間,或是厚度大於或等於2μm、3μm、5μm、10μm、20μm或30μm,聚合物層97可添加一些介電顆粒或玻璃纖維,聚合物層97的材料及其形成方法可以參考聚合物層36的材料及其形成方法,如圖23I所示。
接著,在聚合物層97上及直通封裝體金屬栓塞(TPVS)582之所暴露出的末端上以形成背面金屬交互連接線結構(BISD)79,如第33B圖所示,厚度例如介於0.001μm至0.7μm之間、介於0.01μm至0.5μm之間或介於0.03μm至0.35μm之間的黏著層81可濺鍍在聚合物層97上及在直通封裝體金屬栓塞(TPVs)582的末端上,黏著層81的材質可包括鈦、鈦-鎢合金、氮化鈦、鉻、鈦-鎢合金層、氮化鉭或上述材質的複合物,黏著層81可經由原子層沉積(ALD)製程、化學氣相沉積(CVD)製程或蒸鍍製程形成,例如,黏著層可經由化學氣相沉積(CVD)方式形成鈦(Ti)層或氮化鈦(TiN)層(其厚度例如係介於1nm至200nm之間或介於5nm至50nm之間)在聚合物層97上及在直通封裝體金屬栓塞(TPVs)582的末端上。
接著,如第33B圖所示,厚度例如介於0.001μm至1μm之間、介於0.03μm至2μm之間或介於0.05μm至0.5μm之間的電鍍用種子層83可濺鍍在黏著層81的整個表面上,或者,電鍍用種子層83可經由原子層沉積(ATOMIC-LAYER-DEPOSITION(ALD))製程、化學氣相沉積(CHEMICAL VAPOR DEPOSITION(CVD))製程、蒸鍍製程、無電電鍍或物理氣相沉積方式形成。電鍍用種子層83有益於在其表面上電鍍形成一金屬層,因此,電鍍用種子層83的材質種類會隨著電鍍用種子層83上電鍍的金屬層之材質而變化,當一銅層被電鍍在電鍍用種子層83上時,銅金屬則為電鍍用種子層83優先選擇的材質。例如,電鍍用種子層83形成在黏著層81上或上方,可經由濺鍍或CVD化學沉積方式形成材質為銅的電鍍用種子層83(其厚度例如 可介於3nm至300nm之間或介於10nm至120nm之間)在黏著層81上。該黏著層81及電鍍用種子層83可構成黏著/種子層579。
如第33C圖所示,厚度例如介於5μm至50μm之間的光阻層75(例如是正型光阻層)經旋轉塗佈或壓合方式形成在黏著/種子層579的電鍍用種子層83上,光阻層75經由曝光、顯影等製程形成複數溝槽或開孔75a在光阻層75內並曝露電鍍用種子層83,其中利用1X步進器、1X接觸式對準器或雷射掃描器可將波長範圍介於434至438nm的G-Line、波長範圍介於403至407nm的H-Line及波長範圍介於363至367nm的I-Line的其中至少二種光線的照光在光阻層75上而曝光光阻層75,也就是G-Line及H-Line、G-Line及I-Line、H-Line及I-Line或G-Line、H-Line及I-Line照在光阻層75上,然後顯影經曝露的光阻層75,之後可使用氧氣電漿(O2 plasma)或含小於2000PPM之氟及氧的電漿移除殘留在黏著/種子層579的電鍍用種子層83上的聚合物材質或其它污染物,使得光阻層75可被圖案化而形成複數溝槽或複數開孔75a於光阻層75中,並曝露黏著/種子層579的電鍍用種子層83,經由後續要執行的步驟(製程)可形成金屬接墊、金屬線或連接線在溝槽或開孔75a內及在黏著/種子層579的電鍍用種子層83上,位在光阻層75內其中之一的溝槽或開孔75a的區域可涵蓋位在聚合物層97內其中之一的溝槽或開孔97a的整個區域。
接著,如第33D圖所示,金屬層85(例如銅)電鍍形成在溝槽或開孔75a所曝露的黏著/種子層579的電鍍用種子層83(由銅材質所製成)上。例如,可經由電鍍方式形成金屬層85在由溝槽或開孔75a所曝露的黏著/種子層579的電鍍用種子層83(銅材質製成)上,此金屬層85的厚度例如可介於5μm至80μm之間、介於5μm至50μm之間、介於5μm至40μm之間、介於5μm至30μm之間、介於3μm至20μm之間、介於3μm至15μm之間或介於3μm至10μm之間。接著,如第33E圖所示,在形成金屬層85之後,大部分的光阻層75可被移除,接著沒有在金屬層85下方的黏著層81及電鍍用種子層83會被蝕刻去除,其中移除光阻層75及蝕刻電鍍用種子層83及黏著層81的製程可分別參考如第23F圖中所揭露之移除光阻層30及蝕刻電鍍電鍍種子層28及黏著層26的製程,因此,黏著層81、電鍍用種子層83及電鍍的金屬層85可圖案化以形成交互連接線金屬層77在聚合物層97上及在聚合物層97內的複數開口97a內,交互連接線金屬層77可以在聚合物層97之開口97a內形成有複數金屬栓塞77a及可以在聚合物層97上形成有複數金屬接墊、金屬線或連接線77b。
接著,如第33F圖所示,聚合物層87(也就是絕緣或金屬間介電層層)形成在聚合物層97及金屬層85上,且在聚合物層87內的複數開口87a係位在交互連接線金屬層77的連接點之上方,聚合物層87的厚度例如可介於3μm至30μm之間或介於5μm至15μm之間,聚合物層87可添加一些介電顆粒或玻璃纖維,聚合物層87的材質及其形成方法可以參考第33A圖或第23I圖中所示的聚合物層97或聚合物層36的材質及其形成方法。
如第33B圖至第33E圖所繪示的交互連接線金屬層77的形成過程與聚合物層87的形成過程可多次交替的執行以形成如第33G圖中的背面金屬交互連接線結構(BISD)79,如第33G圖所示,背面金屬交互連接線結構(BISD)79之上層的交互連接線金屬層77,可具有位在聚合物層87之開口87a內的其複數金屬栓塞77a及位在聚合物層87上的其複數金屬接墊、金屬線或連接線77b,上層的交互連接線金屬層77可通過位在聚合物層87之開口87a內的上層之交互連接線金屬層77的金屬栓塞77a連接至下層的交互連接線金屬層77,背面金屬交互連接線結構(BISD)79之最下層的交互連接線金屬層77可具有位在聚合物層97之開口97a內及在位直通封 裝體金屬栓塞(TPVS)582上之金屬栓塞77a及位在聚合物層97上之複數金屬接墊、金屬線或連接線77b。
接著,如第33H圖所示,複數金屬/銲錫凸塊583可選擇性地形成在最上層的交互連接線金屬層77的接墊77e上,其中此接墊77e被BISD 79之最上層的聚合物層87曝露,金屬/銲錫凸塊583可以是下列五種型式金屬柱或凸塊570之任一種型式,如第25R圖至第25V圖及第26S圖所繪示的內容。金屬/銲錫凸塊583的規格說明及其製程可參考如第25R圖至第25V圖及第26S圖中金屬柱或凸塊570的規格說明及其製程。
每一型之第一型至第三型金屬/銲錫凸塊583可分別參考如第25R圖至第25U圖中的第一型金屬柱或凸塊570至第三型金屬柱或凸塊570的規格說明,第一型至第三型金屬/銲錫凸塊583具有一黏著/種子層566,此黏著/種子層566具有形成在最頂層的交互連接線金屬層77的金屬接墊77e上之黏著層566a及形成在該黏著層566a上的電鍍用種子層566b,第一型至第三型金屬/銲錫凸塊583具有一金屬層568形成在黏著/種子層566的電鍍用種子層566b上。第四型金屬/銲錫凸塊583可參考如第25R圖至第25V圖中的第四型金屬柱或凸塊570的規格說明,其具有一黏著/種子層566,此黏著/種子層566具有形成在最頂層的交互連接線金屬層77的金屬接墊77e上之黏著層566a及形成在該黏著層566a上的電鍍用種子層566b,第四型金屬/銲錫凸塊583具有形成在黏著/種子層566的電鍍用種子層566b上之金屬層568及形成在金屬層568上的銲錫球或凸塊569。第五型金屬/銲錫凸塊583可參考如第26S圖中的第五型金屬柱或凸塊570的規格說明,其具有焊錫凸塊直接形成在最上層的交互連接線金屬層77的金屬接墊77e上。
或者,金屬/銲錫凸塊583可被省略而不形成在最上層的交互連接線金屬層77的金屬接墊77e上。
接著,如第33I圖所示,如第29F圖或第29D圖中的中介載板551的背面551a經由化學機械研磨製程或一晶圓背面研磨製程進行研磨,直到每一金屬栓塞558曝露,也就是在其背面的絕緣層555會被去除而形成一絕緣襯圍繞在其黏著/種子層556及銅層557周圍,且其銅層557的背面或其黏著/種子層556的電鍍用種子層或黏著層的背面曝露於外。
接著,如第33J圖所示,如第25R圖至第25V圖中的複數金屬柱或凸塊570可形成在中介載板551的一背面,其中金屬柱或凸塊570具有如第29F圖或第32E圖中的第一型金屬栓塞558,金屬柱或凸塊570的規格說明及其製程可參考如第25R圖至第25V圖中相同的規格說明及其製程。在沒有如第33J圖所示的金屬/銲錫凸塊583形成在最頂端的交互連接線金屬層77的其中之一金屬接墊77e上的情況下,所得到的結構如第33L圖所示。
或者,如第34A圖所示,如第26R圖中的複數金屬柱或凸塊570可形成在中介載板551的一背面,其中金屬柱或凸塊570具有第二型金屬栓塞558,金屬柱或凸塊570的規格說明及其製程可參考如第26R圖中相同的規格說明及其製程。或者,金屬栓塞(TPVs)582可形成在如第32E圖中的金屬層32上,在沒有如第33J圖所示的金屬/銲錫凸塊583形成在最頂端的交互連接線金屬層77的其中之一金屬接墊、金屬線或連接線77b上的情況下,所得到的結構如第34C圖所示。
接著,如第33J圖或第34A圖中的封裝結構可經由雷射切割製程或經由機械切割製程而被分離、切割成複數單一晶片封裝,也就是如第33K圖或第34B圖中的標準商業化COIP邏輯驅動器300或單層封裝邏輯驅動器。在沒有如第33K圖及第34B圖所示的金屬/銲錫 凸塊583形成在最頂端的交互連接線金屬層77的其中之一金屬接墊、金屬線或連接線77b上的情況下,所得到的結構如第33M圖及第34D圖所示。
如第33K圖及第34B圖所示,金屬/銲錫凸塊583或金屬接墊77e可形成在(1)在COIP邏輯驅動器300的每二相鄰半導體晶片100之間的複數間隙之上方;(2)COIP邏輯驅動器300的外圍區域的上方及COIP邏輯驅動器300的半導體晶片100的邊緣之外側的上方;(3)半導體晶片100的背面之上方。BISD 79可包括1層至6層或2層至5層的交互連接線金屬層77,BISD 79的每一交互連接線金屬層77的金屬接墊、線或連接線77b具有僅位在其底部處之黏著/種子層579的黏著層81及電鍍用種子層83,而黏著/種子層579的黏著層81及電鍍用種子層83並未形成位其側壁處。
如第33K圖及第34B圖所示,BISD 79的每一交互連接線金屬層77的金屬接墊、線或連接線77b的厚度例如可介於0.3μm至40μm之間、介於0.5μm至30μm之間、介於1μm至20μm之間、介於1μm至15μm之間、介於1μm至10μm之間或介於0.5μm至5μm之間,或厚度大於或等於0.3μm、0.7μm、1μm、2μm、3μm、5μm、7μm或10μm,其寬度例如係介於0.3μm至40μm之間、介於0.5μm至30μm之間、介於1μm至20μm之間、介於1μm至15μm之間、介於1μm至10μm之間或介於0.5μm至5μm之間,或厚度大於或等於0.3μm、0.7μm、1μm、2μm、3μm、5μm、7μm或10μm,在BISD 79的二相鄰複數交互連接線金屬層77之間的每一聚合物層87的厚度例如可介於0.3μm介於50μm之間、介於0.5μm至30μm之間、介於1μm至20μm之間、介於1μm至15μm之間、介於1μm至10μm之間或介於0.5μm至5μm之間,或厚度大於或等於0.3μm、0.7μm、1μm、1.5μm、2μm、3μm或5μm,在聚合物層87之開口87a內的複數交互連接線金屬層77的金屬栓塞77a的厚度或高度例如可介於3μm至50μm之間、3μm至30μm之間、3μm至20μm之間、3μm至15μm之間或厚度高於或等於3μm、5μm、10μm、20μm或30μm。
第33N圖為本發明實施例一金屬平面之上視圖,如第33N圖所示,交互連接線金屬層77可包括金屬平面77c及金屬平面77d分別用作為電源平面及接地平面,其中金屬平面77c及金屬平面77d的厚度例如係介於5μm介於50μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間或介於5μm至15μm之間,或厚度大於或等於5μm、10μm、20μm或30μm,金屬平面77c及金屬平面77d可設置成交錯或交叉型式,例如可設置成叉形(fork shape)的型式,也就是每一金屬平面77c及金屬平面77d具有複數平行延伸部及連接該些平行延伸部的一縱向連接部,其中之一的金屬平面77c及金屬平面77d的水平延伸部可排列在其中之另一個的二相鄰之水平延伸部之間,或者,如第33K圖及第34B圖所示,其中之一的交互連接線金屬層77(例如為最上層)可包含一金屬平面,用作為散熱器,其厚度例如可介於5μm至50μm之間、介於5μm至30μm之間、介於5μm至20μm之間或介於5μm至15μm之間,或厚度大於或等於5μm、10μm、20μm或30μm。
對直通封裝體金屬栓塞(TSVs),金屬接墊及金屬柱或凸塊進行編程
如第33K圖、第33M圖、第34B圖及34D圖所示,利用在一或多個DPI IC晶片410中的一或多個記憶體單元362可編程其中之一直通封裝體金屬栓塞(TPVs)582,亦即其中一或多個記憶體單元362可被編程以切換開啟或關閉分布在一或多個DPI IC晶片410內如第11A圖至第11C圖及第17圖所示的交叉點開關379,以形成一信號路徑,從該其中之一直通封 裝體金屬栓塞(TPVS)582經由晶片間交互連接線371的一或多個可編程交互連接線361延伸至如第19A圖至第19N圖中在邏輯驅動器300內任一標準商業化FPGA IC晶片200、專用I/O晶片265、VM IC晶片324、非揮發性記憶體(NVM)IC晶片250、高速高頻寬的記憶體(HBM)IC晶片251、DRAM IC晶片321、PC IC晶片269、專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268,其中晶片間交互連接線371係由中介載板551的第一交互連接線結構(FISIP)560及/或第二交互連接線結構(SISIP)588的交互連接線金屬層6及/或27及/或背面金屬交互連接線結構(BISD)79的交互連接線金屬層77所構成,因此直通封裝體金屬栓塞(TPVs)582係為可被編程的。
另外,如第33K圖、第33M圖、第34B圖及第34D圖所示,利用在一或複數DPI IC晶片410內的一或複數記憶體單元362可編程其中之一金屬柱或凸塊570,亦即其中一或複數記憶體單元362可被編程以切換開啟或關閉分布在一或複數DPI IC晶片410中如第11A圖至第11C圖及第17圖所示的交叉點開關379,以形成一信號路徑,從其中之一金屬柱或凸塊570經由晶片間交互連接線371的一或多個可編程交互連接線361延伸至第19A圖至第19N圖中單層封裝邏輯驅動器300內任一複數標準商業化FPGA IC晶片200、複數專用I/O晶片265、VM IC晶片324、複數處理IC晶片及複數PC IC晶片269、專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268,其中晶片間交互連接線371可由中介載板551的第一交互連接線結構(FISIP)560及/或第二交互連接線結構(SISIP)588的交互連接線金屬層6及/或27及/或背面金屬交互連接線結構(BISD)79的交互連接線金屬層77所構成,因此金屬柱或凸塊570係為可被編程的。
如第33M圖及第34D圖所示,利用在一或複數DPI IC晶片410內的一或複數記憶體單元362可編程其中之一金屬接墊77e,亦即其中一或複數記憶體單元362可被編程以切換開啟或關閉分布在一或複數DPI IC晶片410中如第11A圖至第11C圖及第17圖所示的交叉點開關379,以形成一信號路徑,從其中之一金屬接墊77e經由晶片間交互連接線371的一或多個可編程交互連接線361延伸至第19A圖至第19N圖中單層封裝邏輯驅動器300內任一複數標準商業化FPGA IC晶片200、複數專用I/O晶片265、複數VM IC晶片324、複數處理IC晶片及複數PC IC晶片269、專用控制晶片260、專用控制及I/O晶片266、DCIAC晶片267或DCDI/OIAC晶片268,其中晶片間交互連接線371係由中介載板551的第一交互連接線結構(FISIP)560及/或第二交互連接線結構(SISIP)588的交互連接線金屬層6及/或27及/或背面金屬交互連接線結構(BISD)79的交互連接線金屬層77所構成,因此金屬接墊77e係為可被編程的。
用於具有中介載板及BISD的邏輯驅動器的交互連接線
第35A圖至第35C圖為本發明實施例各種在單層封裝邏輯驅動器內的交互連接線網之剖面示意圖。
如第35C圖所示,中介載板551的第一交互連接線結構(FISIP)560及/或第二交互連接線結構(SISIP)588的交互連接線金屬層6及/或27可連接一或複數金屬柱或凸塊570至半導體晶片100,及連接半導體晶片100至另一半導體晶片100。在第一種情況下,中介載板551的第一交互連接線結構(FISIP)560及/或第二交互連接線結構(SISIP)588的交互連接線金屬層6及/或27組成背面金屬交互連接線結構(BISD)79的交互連接線金屬層77及直通封裝體金屬栓塞(TPVS)582可組成一第一交互連接線網411,使金屬柱或凸塊570相互連接、使半導體晶 片100相互連接及使金屬接墊77e相互連接,該些複數金屬柱或凸塊570、該些半導體晶片100及該些金屬接墊77e可經由第一交互連接線網411連接在一起,第一交互連接線網411可以是用於傳送訊號的訊號匯流排(bus)、或是用於電源或接地供應的電源或接地平面或匯流排。
如第35A圖所示,在第二種情況下,中介載板551的第一交互連接線結構(FISIP)560及/或第二交互連接線結構(SISIP)588的交互連接線金屬層6及/或27可組成一第二交互連接線網412,使金屬柱或凸塊570相互連接及使位於其中一半導體晶片100與中介載板551之間的接合連接點563相互連接,該些金屬柱或凸塊570及接合連接點563可經由第二交互連接線網412連接在一起,第二交互連接線網412可以是用於傳送訊號之訊號匯流排(bus)、或是用於電源或接地供應的電源或接地平面或匯流排。
如第35A圖,在第三種情況下,中介載板551的第一交互連接線結構(FISIP)560及/或第二交互連接線結構(SISIP)588的交互連接線金屬層6及/或27可組成一第三交互連接線網413,連接其中之一金屬柱或凸塊570至其中之一接合連接點563,第三交互連接線網413可以是用於傳送訊號之訊號匯流排(bus)、或是用於電源或接地供應的電源或接地平面或匯流排。
如第35A圖所示,在第四種情況下,中介載板551的第一交互連接線結構(FISIP)560及/或第二交互連接線結構(SISIP)588的交互連接線金屬層6及/或27可組成一第四交互連接線網414,並不會連接至單層封裝邏輯驅動器300的任一金屬柱或凸塊570,但會使半導體晶片100相互連接,第四交互連接線網414可以是用於訊號傳輸的晶片間交互連接線371的可編程交互連接線361。
如第35A圖所示,在第五種情況下,中介載板551的第一交互連接線結構(FISIP)560及/或第二交互連接線結構(SISIP)588的交互連接線金屬層6及/或27可組成一第五交互連接線網415,不連接至單層封裝邏輯驅動器300的任一金屬柱或凸塊570,但會使位於其中一半導體晶片200與中介載板551之間的接合連接點563相互連接,第五交互連接線網415可以是用於傳送訊號之訊號匯流排(bus)、或是用於電源或接地供應的電源或接地匯流排。
如第35A圖至第35C所示,背面金屬交互連接線結構(BISD)79的交互連接線金屬層77可通過直通封裝體金屬栓塞(TPVs)582連接至中介載板551的第二交互連接線結構(SISIP)588及/或第一交互連接線結構(FISIP)560的交互連接線金屬層27及/或6。例如,背面金屬交互連接線結構(BISD)79之第一群組金屬接墊77e可依序通過BISD 79的交互連接線金屬層77、直通封裝體金屬栓塞(TPVs)582及中介載板551的第二交互連接線結構(SISIP)588及/或第一交互連接線結構(FISIP)560的交互連接線金屬層27及/或6連接至其中一半導體晶片100,如第一交互連接線網411所示的連線結構及如第35A圖所示的第六交互連接線網419。另外,第一群組金屬接墊77e更依序通過BISD 79的交互連接線金屬層77、直通封裝體金屬栓塞(TPVs)582及中介載板551的第二交互連接線結構(SISIP)588及/或第一交互連接線結構(FISIP)560的交互連接線金屬層27及/或6連接至金屬柱或凸塊570,如第一交互連接線網411所示的連線結構。同時,第一群組金屬接墊77e可通過BISD 79的交互連接線金屬層77相互連接,且依序通過BISD 79的交互連接線金屬層77、直通封裝體金屬栓塞(TPVs)582及中介載板551的第二交互連接線結構(SISIP)588及/或第一交互連接線結構(FISIP)560的交互連接線金屬層27及/或6連接至金屬柱或凸塊570,其中在第一群組中的金屬接墊77e可分成位在其中一半導體晶片100的背面上方之第 一次群組及位在其中另一半導體晶片100的背面上方之第二次群組,如第一交互連接線網411所示的連線結構。或者,第一群組金屬接墊77e亦可不連接至單層封裝邏輯驅動器300的任一金屬柱或凸塊570,如第35A圖所示的第六交互連接線網419。
如第35A圖至第35C圖所示,背面金屬交互連接線結構(BISD)79之第二群組金屬接墊77e可不連接至單層封裝邏輯驅動器300的任一半導體晶片100,而依序經由BISD 79的交互連接線金屬層77、直通封裝體金屬栓塞(TPVs)582及中介載板551的第二交互連接線結構(SISIP)588及/或第一交互連接線結構(FISIP)560的交互連接線金屬層27及/或6連接至金屬柱或凸塊570,如第35A圖所示之一第七交互連接線420及如第35B圖所示之一第八交互連接線422。或者,在第二群組內的BISD 79的金屬接墊77e可不連接單層封裝邏輯驅動器300中任一半導體晶片100,但經由BISD 79的交互連接線金屬層77相互連接,且依序經由BISD 79的交互連接線金屬層77、直通封裝體金屬栓塞(TPVS)582及中介載板551的第二交互連接線結構(SISIP)588及/或第一交互連接線結構(FISIP)560的交互連接線金屬層27及/或6連接至金屬柱或凸塊570,其中在第二群組中的複數金屬接墊77e可分成位在其中一半導體晶片100之背面上方的第一次群組及位在其中另一半導體晶片100之背面上方的第二次群組,如第35B圖所示的第八交互連接線422。
如第35A圖至第35C圖所示,背面金屬交互連接線結構(BISD)79的交互連接線金屬層77可包括如第35D圖所示的用於電源供應的電源金屬平面77c及接地金屬平面77d,第35D圖為第35A圖至第35C圖的上視圖,顯示本發明實施例內邏輯驅動器的複數金屬接墊的佈局,如第35D圖所示,金屬接墊77e可佈局成一矩陣型式在單層封裝邏輯驅動器300的背面,其中一些金屬接墊77e可與半導體晶片100垂直對齊,第一群組金屬接墊77e以矩陣形式排列在晶片封裝體(也就是單層封裝邏輯驅動器300)的背部表面的中間區域,而第二群組金屬接墊77e係以矩陣形式排列在晶片封裝體(也就是單層封裝邏輯驅動器300)的背部表面的周邊區域,環繞該中間區域。超過90%或80%的第一群組金屬接墊77e可用於電源提供或接地參考,而超過50%或60%的第二群組金屬接墊77e可用於訊號傳輸,第二群組金屬接墊77e可沿著晶片封裝體(也就是單層封裝邏輯驅動器300)的邊緣環狀地排列成一或複數環,例如是1、2、3、4、5或6個環,其中第二群組金屬接墊77e的間距可小於第一群組金屬接墊77e的間距。
或者,如第35A圖至第35C圖所示,BISD 79的交互連接線金屬層77之其中一層(例如是最上層)可包括用於散熱之一散熱平面,直通封裝體金屬栓塞(TPVs)582可作為散熱金屬栓塞,形成在該散熱平面的下方。
用於COIP邏輯驅動器的POP封裝
第36A圖至第36F圖為本發明實施例製造一POP封裝製程示意圖,如第36A圖所示,當上面的單層封裝邏輯驅動器300(如第34M圖或第35D圖所示)裝設接合至在下面的單層封裝邏輯驅動器300(如第34M圖或第35D圖所示),下面的單層封裝邏輯驅動器300b的BISD 79通過由上面的單層封裝邏輯驅動器300的金屬柱或凸塊570耦接至上面的單層封裝邏輯驅動器300的中介載板551,POP封裝製造的製程如以下所示:
首先,如第36A圖所示,如第34M圖或第35D圖所繪示的下面的單層封裝邏輯驅動器300(圖中只顯示1個)的金屬柱或凸塊570裝設接合至電路載體或基板110表面的複數金屬接 墊109,路載體或基板110例如是PCB基板、BGA基板、軟性電路基板(或薄膜)或陶瓷電路基板,底部填充材料114填入電路載體或基板110與單層封裝邏輯驅動器300底部之間的間隙,或者,可以省略或跳過此填入底部填充材料114的步驟。接著,利用表面貼裝技術(surface-mount technology,SMT)將如第34M圖或第35D圖所繪示的上面的單層封裝邏輯驅動器300(圖中只顯示一個)裝設接合至下面的單層封裝邏輯驅動器300,其中焊錫、焊膏或助焊劑112可以係先印刷形成在下面單層封裝邏輯驅動器300的BISD 79之金屬接墊77e上。
接著,如第36A圖至第36B圖所示,上面的一單層封裝邏輯驅動器300的金屬柱或凸塊570與下層的焊錫、焊膏或助焊劑112接合後,接著如第30B圖所示,可進行一迴焊或加熱製程使上面的單層封裝邏輯驅動器300的金屬柱或凸塊570固定接合在下面的單層封裝邏輯驅動器300的BISD 79之金屬接墊77e上,接著,底部填充材料114可填入上面單層封裝邏輯驅動器300與下面單層封裝邏輯驅動器300之間的間隙中,或者,可將填入底部填充材料114的步驟省略。
在接著可選擇的步驟中,如第36B圖所示,其它複數單層封裝邏輯驅動器300(如第34M圖或第35D圖中所示)的金屬柱或凸塊570可使用表面貼裝技術(surface-mount technology,SMT)裝設接合至上面的複數個單層封裝邏輯驅動器300其中之一單層封裝邏輯驅動器300中BISD 79的金屬接墊77e,然後底部填充材料114可選性地形成在其間,此步驟可重覆數次以形成單層封裝邏輯驅動器300堆疊在三層型式或超過三層型式的結構在電路載體或基板110上。
接著,如第36B圖所示,銲錫球325以植球方式形成在電路載體或基板110的背面,接著,如第36C圖所示,電路載體或基板110被雷射切割或機械切割分離成複數單獨基板單元113(例如是PCB板、BGA板、軟性電路基板或薄膜,或陶瓷基板),因此可將i個數目的單層封裝邏輯驅動器300堆疊在一基板單元113上,其中i數目係大於或等於2個、3個、4個、5個、6個、7個或8個。
或者,第36D圖至第36F圖為本發明實施例製造POP封裝的製程示意圖,如第36D圖及第36E圖所示,如第34M圖或第35D圖所繪示的頂端的其中之一單層封裝邏輯驅動器300本身的金屬柱或凸塊570使用SMT技術固定或裝設接合在晶圓或面板層級的中介載板551的BISD 79之金屬接墊77e上,其中晶圓或面板層級的BISD 79如第34M圖或第35C圖中所示,其中晶圓或面板層級的BISD 79為切割分離成複數下面單層封裝邏輯驅動器300之前的封裝結構。
接著,如第36E圖所示,底部填充材料114可填入在上面單層封裝邏輯驅動器300與第34M圖或第35C圖中晶圓或面板層級封裝結構之間的間隙中,或者,填入底部填充材料114的步驟可以被跳過。
在接著可選擇的步驟中,如第36E圖所示,其它複數單層封裝邏輯驅動器300(如26M圖或第35D圖中所示)本身的金屬柱或凸塊570可使用表面貼裝技術(surface-mount technology,SMT)裝設接合至上面的複數個單層封裝邏輯驅動器300其中之一單層封裝邏輯驅動器300中BISD 79的金屬接墊77e,然後底部填充材料114可選性地形成在其間,此步驟可重覆數次以形成單層封裝邏輯驅動器300堆疊在二層型式或超過二層型式的第34M圖或第35C圖中晶圓或面板層級封裝結構上。
接著,如第36F圖所示,如第34M圖或第35C圖中晶圓或面板的結構(型式)的結構可經由雷射切割或機械切割分離成複數下面的單層封裝邏輯驅動器300,由此,將i個數目的單層封裝邏輯驅動器300堆疊在一起,其中i數目係大於或等於2個、3個、4個、5個、6個、7個或8個,接著,堆疊在一起的單層封裝邏輯驅動器300的最底部的單層封裝邏輯驅動器300的金屬柱或凸塊570可裝設接合在如第30A圖中電路載體或基板110上面的複數金屬接墊109,電路載體或基板110例如是BGA基板,接著,底部填充材料114可填入電路載體或基板110與最底部的單層封裝邏輯驅動器300之間的間隙中,或者填入電路載體或基板110的步驟可跳過省略。接著,銲錫球325可植球在電路載體或基板110的背面,接著,電路載體或基板110可如第36C圖所示,被雷射切割或機械切割分離成複數基板單元113(例如是PCB板、BGA板、軟性電路基板或薄膜,或陶瓷基板),因此可將i個數目的單層封裝邏輯驅動器300堆疊在一單獨基板單元113上,其中i數目係大於或等於2個、3個、4個、5個、6個、7個或8個。
具有金屬栓塞(TPVs)582的單層封裝邏輯驅動器300可在垂直方向堆疊以形成標準型式或標準尺寸的POP封裝,例如,單層封裝邏輯驅動器300可以是正方形或長方形,其具有一定的寬度、長度及厚度,單層封裝邏輯驅動器300的形狀及尺寸具有一工業標準,例如每一單層封裝邏輯驅動器300的標準形狀為正方形時,其寬度係大於或等於4mm、7mm、10mm、12mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm或40mm,且其具有的厚度係大於或等於0.03mm、0.05mm、0.1mm、0.3mm、0.5mm、1mm、2mm、3mm、4mm或5mm,或者,每一單層封裝邏輯驅動器300的標準形狀為長方形時,其寬度係大於或等於3mm、5mm、7mm、10mm、12mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm或40mm,其長度係大於或等於5mm、7mm、10mm、12mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm、40mm、40mm或50mm,且其具有的厚度係大於或等於0.03mm、0.05mm、0.1mm、0.3mm、0.5mm、1mm、2mm、3mm、4mm或5mm。
用於複數COIP驅動器堆疊在一起的交互連接線
第37A圖至第37C圖為本發明實施例在POP封裝中複數邏輯驅動器的各種連接型式剖面示意圖,如第37A圖所示,在POP封裝中,每一單層封裝邏輯驅動器300包括一或複數金屬栓塞(TPVs)582用於作為第一內部驅動交互連接線(first inter-drive interconnects)461堆疊及連接至其它或另一位在上面的一單層封裝邏輯驅動器300及(或)位在下面的一個單層封裝邏輯驅動器300,而不連接或耦接至在POP封裝結構內的任一半導體晶片100,在每一單層封裝邏輯驅動器300中每一第一內部驅動交互連接線461的形成,從頂端至底端分別為(i)BISD 79的一金屬接墊77e;(ii)BISD 79的交互連接線金屬層77之一堆疊部分;(iii)一金屬栓塞(TPVs)582;(iv)SISIP588的交互連接線金屬層27的一堆疊部分;及(v)中介載板551的其中之一金屬栓塞558;(vi)其中之一金屬柱或凸塊570。
或者,如第37A圖所示,在POP封裝的一第二內部驅動交互連接線462可提供類似第一內部驅動交互連接線461的功能,但是第二內部驅動交互連接線462可通過第一交互連接線結構(FISIP)560的交互連接線金屬層6及交互連接線金屬層627連接或耦接至一或複數半導體晶片100。
或者,如第37B圖所示,每一單層封裝邏輯驅動器300提供類似如第37A圖中的 第一內部驅動交互連接線461的一第三內部驅動交互連接線463,但是第三內部驅動交互連接線463沒有向下堆疊接合至一金屬柱或凸塊570,它是垂直地排列在第三內部驅動交互連接線463下方,以連接一低的單層封裝邏輯驅動器300或基板單元113,其第三內部驅動交互連接線463耦接至另一或複數金屬柱或凸塊570,它沒有垂直的排列在其金屬栓塞(TPVs)582的下方,但是垂直位在其中之一其半導體晶片100的下方,以連接一低的單層封裝邏輯驅動器300或基板單元113。
或者,如第37B圖所示每一單層封裝邏輯驅動器300可提供一第四內部驅動交互連接線464由以下部分組成,分別為(i)BISD 79本身的交互連接線金屬層77之一第一水平分佈部分;(ii)其中之一金屬栓塞(TPVs)582耦接至第一水平分佈部分的一或複數金屬接墊77e垂直位在一或複數的本身半導體晶片100上方;(iii)本身的中介載板551的交互連接線金屬層6之一第二水平分佈部分連接或耦接至其金屬栓塞(TPVs)582至一或複數本身的半導體晶片100。第四內部驅動交互連接線464的第二水平分佈部分耦接至其金屬柱或凸塊570,它沒有垂直排列在其中之一其金屬栓塞(TPVs)582的下方,但垂直的位在一或複數半導體晶片100的下方,連接一低的單層封裝邏輯驅動器300或基板單元113。
或者,如第37C圖所示,每一單層封裝邏輯驅動器300可提供一第五內部驅動交互連接線465,其係由以下組成:(i)本身BISD 79的交互連接線金屬層77的一第一水平分佈部分;(ii)其中之一其金屬栓塞(TPVs)582耦接至第一水平分佈部分的一或複數金屬接墊77e垂直位在一或複數半導體晶片100上方;及(iii)其第一交互連接線結構(FISIP)560的交互連接線金屬層6及/或交互連接線金屬層27的一第二水平分佈部分連接或耦接其金屬栓塞(TPVs)582至一或複數半導體晶片100,其第五內部驅動交互連接線465的第二水平分佈部分可不耦接任何金屬柱或凸塊570,而連接一低的單層封裝邏輯驅動器300或基板單元113。
沉浸式IC交互連接線環境(IIIE)
如第37A圖至第37C圖所示,單層封裝邏輯驅動器300可堆疊形成一超級豐富交互連接線結構或環境,其中他們的半導體晶片100代表標準商業化FPGA IC晶片200,而具有如第14A圖至第14J圖可編程邏輯區塊(LB)201及如第11A圖至第11D圖中交叉點開關379的標準商業化FPGA IC晶片200沉浸在超級豐富交互連接線結構或環境中,也就是編程3D沉浸IC交互連接線環境(IIIE),對於在其中之一單層封裝邏輯驅動器300的標準商業化FPGA IC晶片200,其包括(1)其中之一標準商業化FPGA IC晶片200的第一交互連接線結構(FISC)20之DRAM記憶體驅動器、其中之一標準商業化FPGA IC晶片200的SISC29之交互連接線金屬層27、在其中之一標準商業化FPGA IC晶片200與其中之一單層封裝邏輯驅動器300的中介載板551之間的接合連接點563、其中之一COIP邏輯驅動器300的中介載板551的SISIP588及/或第一交互連接線結構(FISIP)560的交互連接線金屬層6及/或交互連接線金屬層27(也就是晶片間交互連接線371)、及位在一較低的一個單層封裝邏輯驅動器300與其中之單層封裝邏輯驅動器300之間的金屬柱或凸塊570皆位在可編程邏輯區塊(LB)201及其中之一標準商業化FPGA IC晶片200的交叉點開關379的下方;(2)其中之一單層封裝邏輯驅動器300的BISD 79的交互連接線金屬層77及其中之一單層封裝邏輯驅動器300的BISD的銅接墊77e係提供在可編程邏輯區塊(LB)201及其中之一標準商業化FPGA IC晶片200的交叉點開關379的上方;及(3)單層封裝邏輯驅動器300的金屬栓塞(TPVs)582提供環繞可編程邏輯區塊(LB)201及其中之一標準商業化FPGA IC晶片200的交叉點 開關379。
可編程的3D IIIE所提供超級豐富交互連接線結構或環境包括半導體晶片100的第一交互連接線結構(FISC)20、半導體晶片100的SISC 29、在半導體晶片100與其中之一中介載板551之間的接合連接點563、中介載板551、每一COIP邏輯驅動器300的BISD 79、每一COIP邏輯驅動器300的金屬栓塞(TPVs)582及在每二coip邏輯驅動器300之間的金屬柱或凸塊570,以用於建構一三維(3D)交互連接線結構或系統,在水平方向交互連接線結構或系統可經由每一商業化標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200的交叉點開關379及每一單層封裝邏輯驅動器300的複數DPI IC晶片410進行編程,此外,在垂直方向的交互連接線結構或系統可由每一商業化標準商業化標準商業化FPGA IC晶片200及每一單層封裝邏輯驅動器300的複數DPI IC晶片410進行編程。
第38A圖至第38B圖為本發明實施例中複數邏輯區塊之間的交互連接線從人類神經系統中模擬的概念圖。在第38A圖及第38B圖與上述圖示中相同的元件圖號可參考上述圖示中的說明及規格,如第38A圖所示,可編程的3D IIIE與人類的大腦相似或類似,如第14A圖或第14H圖中的邏輯區塊相似或類似神經元或神經細胞,第一交互連接線結構(FISC)20的交互連接線金屬層6及(或)SISC29的交互連接線金屬層27係相以或類似連接神經元或可編程邏輯區塊/神經細胞的樹突(dendrites)201,用於一標準化商品標準商業化FPGA IC晶片200中的一可編程邏輯區塊(LB)201的輸入的接合連接點563連接至一標準商業化FPGA IC晶片200的小型I/O電路203的小型複數接收器375,與樹突末端處的突觸後細胞相似或類似。對於在一標準商業化FPGA IC晶片200內的二邏輯區塊之間的短距離,其第一交互連接線結構(FISC)20的交互連接線金屬層6和其SISC29的交互連接線金屬層27可建構一交互連接線482,如同一個神經元或神經細胞(可編輯邏輯區塊)201連接到另一個神經元或神經細胞(可編輯邏輯區塊)201的一軸突連接,對於標準商業化FPGA IC晶片200中的兩個之間的長距離、COIP邏輯驅動器300的中介載板551的第一交互連接線結構(FISIP)560及/或SISIP588之交互連接線金屬層6及/或交互連接線金屬層27、COIP邏輯驅動器300的BISD 79之交互連接線金屬層77及COIP邏輯驅動器300的金屬栓塞(TPVs)582可建構如同一個神經元或神經細胞(可編輯邏輯區塊)201連接到另一個神經元或神經細胞(可編輯邏輯區塊)201的一類軸突交互連接線482,位在第一標準商業化FPGA IC晶片200與其中之一中介載板551之間的接合連接點563用於(物理性)連接至類軸突交互連接線482可被編程為連接至一第二標準商業化FPGA IC晶片200的小型I/O電路203的小型驅動器374相似或類似在交互連接線(軸突)482的末端的突觸前細胞。
為了更詳細的說明,如第38A圖所示,標準商業化FPGA IC晶片200的一第一200-1包括邏輯區塊的第一及第二LB1及LB2像神經元一樣,第一交互連接線結構(FISC)20和SISC29像樹突481一樣耦接至邏輯區塊的第一和第二個LB1和LB2以及交叉點開關379編程用於本身第一交互連接線結構(FISC)20及SISC29的連接至邏輯區塊的第一和第二個LB1和LB2,標準商業化FPGA IC晶片200的一第二200-2可包括邏輯區塊201的第三及第四個LB3及LB4像神經元一樣,第一交互連接線結構(FISC)20及SISC29像樹突481耦接至邏輯區塊201的第三及第四LB3及LB4及交叉點開關379編程用於本身的第一交互連接線結構(FISC)20及SISC29的連接至邏輯區塊201的第三及第四個LB3及LB4,COIP邏輯驅動器300的一第一邏輯驅動器300-1可包括標準商業化FPGA IC晶片200的第一及第二200-1及200-2,標準 商業化FPGA IC晶片200的一第三200-3可包括邏輯區塊的一第五LB5像是神經元一樣,第一交互連接線結構(FISC)20及SISC29像是樹突481耦接至邏輯區塊的第五LB5及本身交叉點開關379可編程用於本身第一交互連接線結構(FISC)20及SISC29的連接至邏輯區塊的第五LB5,標準商業化FPGA IC晶片200的一第四200-4可包括邏輯區塊的一第六LB6像神經元一樣,第一交互連接線結構(FISC)20及SISC29像樹突481耦接至邏輯區塊及交叉點開關379的第六LB6編程用於本身第一交互連接線結構(FISC)20及SISC29的連接至邏輯區塊的第六LB6,COIP邏輯驅動器300的一第二邏輯驅動器300-2可包括標準商業化FPGA IC晶片200的第三及第四200-3及200-4,(1)從邏輯區塊LB1延伸一第一部分由第一交互連接線結構(FISC)20及SISC29的交互連接線金屬層6及交互連接線金屬層27;(2)從第一部分延伸的其中之一接合連接點563;(3)一第二部分,其係經由第一交互連接線結構(FISIP)560的交互連接線金屬層6及/或交互連接線金屬層27、中介載板551的SISIP588及/或COIP邏輯驅動器300的一第一邏輯驅動器300-1的金屬栓塞(TPVs)582及/或COIP邏輯驅動器300的一第一邏輯驅動器300-1的BISD 79的交互連接線金屬層77提供,第二部分從其中之一的接合連接點563延伸;(4)該其它的一接合連接點563從第二部分延伸;(5)一第三部分,其係經由第一交互連接線結構(FISC)20及SISC29的交互連接線金屬層6及交互連接線金屬層27提供,第三部分從其它的一接合連接點563延伸至可編程邏輯區塊LB2,以組成類軸突交互連接線482,類軸突交互連接線482可根據設置在類軸突交互連接線482的交叉點開關379之通過/不通過開關258的第一通過/不通過開關258-1至第五通過/不通過開關258-5的開關編程連接可編程邏輯區塊(LB)201的第一個LB1至邏輯區塊的第二個LB2至第六個LB6,通過/不通過開關258的第一個通過/不通過開關258-1可排列在標準商業化FPGA IC晶片200的第一個200-1,通過/不通過開關258的第二通過/不通過開關258-2及第三通過/不通過開關258-3可排列在COIP邏輯驅動器300的第一個300-1的DPI IC晶片410內,通過/不通過開關258的第四個258-4可排列在標準商業化FPGA IC晶片200的第三個200-3內,通過/不通過開關258的第五個258-5可排列在COIP邏輯驅動器300的第二個300-2內的DPI IC晶片410內,COIP邏輯驅動器300的第一個300-1可具有金屬接墊77e通過金屬柱或凸塊570耦接至COIP邏輯驅動器300的第二個300-2,或者,通過/不通過開關258的第一個通過/不通過開關258-1至第五個258-5設在類軸突交互連接線482上可省略,或者,設在類樹突交互連接線481的通過/不通過開關258可略。
另外,如第38B圖所示,類軸突交互連接線482可認定為一樹狀的結構,包括:(i)連接邏輯區塊的第一個LB1的主幹或莖;(ii)從主幹或莖分支的複數分枝用於連接本身的主幹或莖至邏輯區塊的一第二個LB2及第六個LB6;(iii)交叉點開關379的第一個379-1設在主幹或莖與本身每一分枝之間用於切換本身主幹或莖與本身一分枝之間的連接;(iv)從一本身的分枝分支出的複數次分枝用於連接一本身的分枝至邏輯區塊的第五個LB5及第六個LB6;及(v)交叉點開關379的一第二個379-2設在一本身的分枝及每一本身的次分枝之間,用於切換一本身的分枝與一本身的次分枝之間的連接,交叉點開關379的第一個379-1設在一COIP邏輯驅動器300的第一個300-1內的複數DPI IC晶片410,及交叉點開關379的第二個379-2可設在COIP邏輯驅動器300的第二個300-2內的複數DPI IC晶片410內,每一類樹突交互連接線481可包括:(i)一主幹連接至邏輯區塊的第一個LB1至第六個LB6其中之一;(ii)從主幹分支出的複數分枝;(iii)交叉點開關379設在本身主幹與本身每一分枝之間用於切換本身主幹與本身一分枝之間的連接,每一 邏輯區塊耦接至複數類樹突交互連接線481組成第一交互連接線結構(FISC)20的交互連接線金屬層6及SISC29的交互連接線金屬層27,每一邏輯區塊耦接至一或複數的類軸突交互連接線482的遠端之末端,從其它的邏輯區塊延伸,通過類樹突交互連接線481從每一邏輯區塊延伸。
如第38A圖及第38B圖,每一COIP邏輯驅動器300-1-1及300-2可提供一可用於系統/機器(裝置)計算或處理重配置可塑性或彈性及/或整體結構在每一可編程邏輯區塊(LB)201中除了可使用sequential、parallel、pipelined或Von Neumann等計算或處理系統結構及/或演算法之外,也可使用整體的及可變的記憶體單元及複數邏輯運算單元,具有可塑性、彈性及整體性的每一COIP邏輯驅動器300-1-1及300-2包括整體的及可變的記憶體單元及複數邏輯運算單元,用以改變或重新配置記憶體單元內的邏輯功能及/或計算(或運算)架構(或演算法)及/或記憶體(資料或訊息),COIP邏輯驅動器300-1或300-2的彈性及整體性的特性係相似或類似於人類大腦,大腦或神經具有彈性或整體性,大腦或神經的很多範例可改變(可塑性或彈性)並且在成年時重新配置,上述說明中的COIP邏輯驅動器300-1-1及300-2、標準商業化FPGA IC晶片200-1、標準商業化FPGA IC晶片200-2、標準商業化FPGA IC晶片200-3、標準商業化FPGA IC晶片200-4提供用於固定硬體(given fixed hardware)改變或重新配置邏輯功能及/或計算(或處理)的整體結構(或演算法)的能力,其中係使用儲存在附近的編程記憶體單元(PM)中的記憶(資料或訊息)達成,例如是儲存在用於交叉點開關379或通過/不通過開關258(如第15A圖至第15F圖所示)的記憶體單元362中的編程碼,在COIP邏輯驅動器300-1-1及300-2、標準商業化FPGA IC晶片200-1、標準商業化FPGA IC晶片200-2、標準商業化FPGA IC晶片200-3、標準商業化FPGA IC晶片200-4中,記憶(資料或訊息)儲存在PM的記憶體單元,用於改變或重新配置邏輯功能及/或計算(或處理)的整體結構(或演算法),而儲存在記憶體單元中的一些其它記憶僅用於資料或訊息(資料記憶單元,DM),例如是如第14A圖或第14H圖中用於查找表(LUT)210的記憶體單元490內的每一事件或編程碼或結果值的資料。
例如,第38C圖為本發明實施例用於一重新配置可塑性或彈性及/或整體架構的示意圖,如第38C圖所示,可編程邏輯區塊(LB)201的第三個LB3可包括4個邏輯單元LB31、LB32、LB33及LB34、一交叉點開關379、4組的編程記憶體(PM)單元362-1、362-2、362-3及362-4,其中交叉點開關379可參考如第15B圖中一交叉點開關379。對於第38C圖及第15B圖相同元件標號,在第38C圖所示的元件規格及說明可參考第15B圖所示的元件規格及說明,位在交叉點開關379的4端點的4個可編程交互連接線361耦接至4個邏輯單元LB31、LB32、LB33及LB34,其中邏輯單元LB31、LB32、LB33及LB34可具有相同的架構如第14A圖或第14H圖中可編程邏輯區塊(LB)201,其中可編程邏輯區塊(LB)201的其輸出Dout或其輸出A0-A3其中之一耦接至在交叉點開關379內位在4端的4個可編程交互連接線361其中之一,每一邏輯單元LB31、LB32、LB33及LB34耦接4組資料記憶體(DM)單元490-1、490-2、490-3或490-4其中之一用於在每一事性中儲存資料,及/或例如儲存結果值或編程碼作為其查找表(LUT)210,因此可改變或重新配置可編程邏輯區塊(LB)的邏輯功能及/或計算/處理架構或演算法。
COIP邏輯驅動器的彈性及整體性係根據複數事件,用於nth個事件,在COIP邏輯驅動器的nth個事件之後的整體單元(integral unit,IUn)的nth狀態(Sn)可包括邏輯單元、在nth狀態 的PM及DM、Ln、DMn,也就是Sn(IUn,Ln,PMn,DMn),該nth整體單元IUn可包括數種邏輯區塊、數種具有記憶(內容、資料或資訊等項目)的PM記憶體單元(如項目數量、數量及位址/位置),及數種具有記憶(內容、資料或資訊等項目)的DM記憶體(如項目數量、數量及位址/位置),用於特定邏輯功能、一組特定的PM及DM,該nth整體單元IUn係不同於其它的整體單元,該nth狀態及nth整體單元(IUn)係根據nth事件(En)之前的發生先前事件而生成產生。
某些事件可具有大的份量並被分類作為重大事件(GE),假如nth事件被分類為一GE,該nth狀態Sn(IUn,Ln,PMn,DMn)可被重新分配獲得一新的狀態Sn+1(IUn+1,Ln+1,PMn+1,DMn+1),像是人類大腦在深度睡眠時的重新分配大腦一樣,新產生的狀態可變成長期的記憶,用於一新的(n+1)th整體單元(IUn+1)的該新(n+1)th狀態(Sn+1)可依據重大事件(GE)之後的用於巨大重新分配的演算法及準則,演算法及準則例如以下所示:當該事件n(En)在數量上與先前的n-1事件完全不同時,此En被分類為一重大事件,以從nth狀態Sn(IUn,Ln,PMn,DMn)得到(n+1)th狀態Sn+1(IUn+1,Ln+1,PMn+1,DMn+1),在重大事件En後,該機器/系統執行具有某些特定標準的一重大重新分配,此重大重新分配包括濃縮或簡潔的流程及學習程序:
I.濃縮或簡潔的流程
(A)DM重新分配:(1)該機器/系統檢查DMn找到一致相同的記憶,DMn例如是在如第38C圖、第14A圖及第14H圖中資料記憶體單元490的結果值或編程碼,然後保持全部相同記憶中的唯一一個記憶而刪除所有其它相同的記憶;及(2)該機器/系統檢查DMn找到類似的記憶(其相似度在一特定的百分比x%,x%例如是等於或小於2%,3%,5% or 10%),DMn例如是在如第38C圖、第14A圖及第14H圖中資料記憶體單元490的結果值或編程碼,然後保持全部相似記憶中的一個或二個記憶而刪除所有其它相似的記憶;可替換方案,全部相似記憶中的一代表性記記憶(資料或訊息)可被產生及維持,並同時刪除所有類似的記憶。
(B)邏輯重新分配:(1)該機器/系統檢查PMn找到用於相對應邏輯功能一致相同的邏輯(PMs),PMn例如是在如第38C圖及第15B圖中資料記憶體單元490的編程碼,然後保持全部相同邏輯(PMs)中的唯一一個記憶而刪除所有其它相同的邏輯(PMs);及(2)該機器/系統檢查PMn找到類似的邏輯(PMs)(其相似度在一特定的差異百分比x%,x%例如是等於或小於2%,3%,5% or 10%),PMn例如是在如第38C圖及第15B圖中資料記憶體單元490的編程碼,然後保持全部相似邏輯(PMs)中的一個或二個邏輯(PMs)而刪除所有其它相似的邏輯(PMs);可替換方案,全部相似記憶中的一代表性記邏輯(PMs)(在PM中用於相對應代表性的邏輯資料或訊息)可被產生及維持,並同時刪除所有類似的邏輯(PMs)。
II.學習程序
根據Sn(IUn,Ln,PMn,DMn),執行一對數而選擇或篩選(記憶)有用的,重大的及重要的複數整體單元、邏輯、PMs,例如是如第38C圖及第15B圖中在編程記憶體單元362內的編程碼,例如是如第38C圖、第14A圖及第14H圖中在記憶體單元490內的結果值或編程碼,並且刪除(忘記)沒有用的、非重大的或非重要的整體單元、邏輯、PMs或DMs,PMs例如是如第38C圖及第15B圖中在編程記憶體單元362內的編程碼,而DMs例如是如第38C圖、第14A圖及第14H圖中在記憶體單元490內的結果值或編程碼,選擇或篩選演算法可根據一特定的統計方法,例如是根據先前n個事件中整體單元、邏輯、PMs及/或DMs之使用頻率,其中PMs例如是如第38C圖及第15B圖中在編程記憶體單元362內的編程碼,而DMs例如是如第38C圖、第14A圖及 第14H圖中在記憶體單元490內的結果值或編程碼,另一例子為,可使用貝氏推理之演算法產生Sn+1(IUn+1,Ln+1,PMn+1,DMn+1)。
在多數事件後用於系統/機器之狀態,該演算法及準則提供學習程序,COIP邏輯驅動器的彈性及整體性提供在機器學習及人工智慧上的應用。
使用可編程邏輯區塊(LB)LB3(作為GPS功能(全球定位系統)而獲得彈性及整體性的例子,如第38A圖至第38C圖所示:
例如,可編程邏輯區塊(LB)LB3的功能為GPS,記住路線並且能夠駕駛至數個位置,司機及/或機器/系統計劃駕駛從舊金山開到聖荷西,可編程邏輯區塊(LB)LB3的功能如下:
(1)在第一事件E1,司機及/或機器/系統看一張地圖,發現二條從舊金山到聖荷西的101號及208高速公路,該機器/系統使用邏輯單元LB31及LB32來計算及處理第一事件E1,及一第一邏輯配置L1以記憶第一事件E1及第一事件E1的相關資料、資訊或結果,那就是:該機器/系統(a)根據在可編程邏輯區塊(LB)LB3的編程記憶體單元362-1、編程記憶體單元362-2、編程記憶體單元362-3及編程記憶體單元362-4中的第一組編程記憶(PM1),以第一邏輯配置L1制定邏輯單元LB31及LB32;及(b)在可編程邏輯區塊(LB)LB3中資料記憶體單元490-1及記憶體單元490-2中,儲存一第一組資料記憶(data memories(DM1)),在第一事件E1之後,可編程邏輯區塊(LB)LB3內GPS功能的整體狀態可被定義為與用於第一事件E1的第一邏輯配置L1、該第一組編程記憶PM1及第一組資料記憶DM1的第一邏輯配置L1有關的S1LB3。
(2)在一第二事件E2,該司機及/或機器/系統決定行駛101號高速公路從舊金山至聖荷西,該機器/系統使用邏輯單元LB31及LB33來計算及處理第二事件E2,及一第二邏輯配置L2以記憶第二事件E2的相關資料、資訊或結果,那就是:該機器/系統(a)根據在可編程邏輯區塊(LB)LB3及/或第一組資料記憶DM1的編程記憶體單元362-1、編程記憶體單元362-2、編程記憶體單元362-3及編程記憶體單元362-4中的第二組編程記憶(PM2),以第二邏輯配置L2制定邏輯單元LB31及LB33;及(b)在可編程邏輯區塊(LB)LB3中資料記憶體單元490-1及記憶體單元490-3中儲存在一第二組資料記憶(DM2),在第二事件E2之後,可編程邏輯區塊(LB)LB3內GPS功能的整體狀態可被定義為與用於第二事件E2的第二邏輯配置L2、該第二組編程記憶PM2及第二組資料記憶DM2的第二邏輯配置L2有關的S2LB3。第二組資料記憶DM2可包括新增加的資訊,此新增資訊與第二事件E2及依據第一組資料記憶DM1資料做資料及資訊重新配置,從而保持第一事件E1有用的重要訊息。
(3)在一第三事件E3,該司機及/或機器/系統行駛101號高速公路從舊金山至聖荷西,該機器/系統使用邏輯單元LB31、LB32及LB33來計算及處理第三事件E3,及一第三邏輯配置L3來記憶第三事件E3的相關資料、資訊或結果,那就是:該機器/系統(a)根據在可編程邏輯區塊(LB)LB3及/或第二組資料記憶DM2的編程記憶體單元362-1、編程記憶體單元362-2、編程記憶體單元362-3及編程記憶體單元362-4中的第三組編程記憶(PM3),以第三邏輯配置L3制定邏輯單元LB31、LB32及LB33;及(b)在可編程邏輯區塊(LB)LB3中資料記憶體單元490-1、記憶體單元490-2及記憶體單元490-3中儲存在一第三組資料記憶(DM3),在第三事件E3之後,可編程邏輯區塊(LB)LB3內GPS功能的整體狀態可被定義為與用於第三事件E3的第三邏輯配置L3、該第三組編程記憶PM3及第三組資料記憶DM3的第三邏輯配置L3有關的S3LB3。第三組資料記 憶DM3可包括新增加的資訊,此新增資訊與第三事件E3及依據第一組資料記憶DM1及第二組資料記憶DM2做資料及資訊重新配置,從而保持第一事件E1第二事件E2的重要訊息。
(4)在第三事件E3的二個月之後,在一第四事件E4中,該司機及/或機器/系統行駛280號高速公路從舊金山至聖荷西,該機器/系統使用邏輯單元LB31、LB32、LB33及LB34來計算及處理第四事件E4,及一第四邏輯配置L4來記憶第四事件E4的相關資料、資訊或結果,那就是:該機器/系統(a)根據在可編程邏輯區塊(LB)LB3及/或第三組資料記憶DM3的編程記憶體單元362-1、編程記憶體單元362-2、編程記憶體單元362-3及編程記憶體單元362-4中的第四組編程記憶(PM4),以第四邏輯配置L4制定邏輯單元LB31、LB32、LB33及LB34;及(b)在可編程邏輯區塊(LB)LB3中資料記憶體單元490-1、記憶體單元490-2、記憶體單元490-3及記憶體單元490-4中儲存在一第四組資料記憶(DM4),在第四事件E4之後,可編程邏輯區塊(LB)LB3內GPS功能的整體狀態可被定義為與用於第四事件E4的第四邏輯配置L4、該第四組編程記憶PM4及第四組資料記憶DM4的第四邏輯配置L4有關的S4LB3。第四組資料記憶DM4可包括新增加的資訊,此新增資訊與第四事件E4及依據第一組資料記憶DM1、第二組資料記憶DM2及第三組資料記憶DM3做資料及資訊重新配置,從而保持第一事件E1、第二事件E2及第三事件E3的重要訊息。
(5)在第四事件E4的一星期之後,在一第五事件E5中,該司機及/或機器/系統行駛280號高速公路從舊金山至庫比蒂諾(Cupertino),庫比蒂諾(Cupertino)在第四事件E4的路線中的中間道路,該機器/系統使用在第四邏輯配置L4的邏輯單元LB31、LB32、LB33及LB34來計算及處理第五事件E5,及一第四邏輯配置L4來記憶第五事件E5的相關資料、資訊或結果,那就是:該機器/系統(a)根據在可編程邏輯區塊(LB)LB3的編程記憶體單元362-1、編程記憶體單元362-2、編程記憶體單元362-3及編程記憶體單元362-4及/或第四組資料記憶(DM4)中的第四組編程記憶(PM4),以第四邏輯配置L4制定邏輯單元LB31、LB32、LB33及LB34;及(b)儲存一第五組資料記憶(DM5)在可編程邏輯區塊(LB)LB3的資料記憶體單元490-1、記憶體單元490-2、記憶體單元490-3及記憶體單元490-4中,在第五事件E5之後,可編程邏輯區塊(LB)LB3內GPS功能的整體狀態可被定義為與用於第五事件E4的第四邏輯配置L4、該第四組編程記憶PM4及第五組資料記憶DM5的第四邏輯配置L4有關的S5LB3。第五組資料記憶DM5可包括新增加的資訊,此新增資訊與第五事件E5及依據第一組資料記憶DM1至第四組資料記憶DM4做資料及資訊重新配置,從而保持第一事件E1至第四事件E4的重要訊息。
(6)在第五事件E5的6個月後,在一第六事件E6,司機及/或機器/系統計劃從舊金山駕駛至洛杉磯,司機及/或機器/系統看一張地圖及找到二條從舊金山至洛衫磯的101號及5號高速公路,該機器/系統使用用於計算及處理第六事件E6的可編程邏輯區塊(LB)LB3的邏輯單元LB31及可編程邏輯區塊(LB)LB4的邏輯單元LB41,及一第六邏輯配置L6來記憶與第六事件E6的相關資料、訊息或結果,可編程邏輯區塊(LB)LB4與如第38C圖的可編程邏輯區塊(LB)LB3具有相同的架構,但在可編程邏輯區塊(LB)LB3內的四個邏輯單元LB31、LB32、LB33及LB34分別重新編號為LB41、LB42、LB43及LB44,那就是:該機器/系統(a)根據在可編程邏輯區塊(LB)LB3的編程記憶體單元362-1、編程記憶體單元362-2、編程記憶體單元362-3及編程記憶體單元362-4之一第六組編程記憶PM6及那些可編程邏輯區塊(LB)LB4及/或第五組資料記憶DM5,以第六邏輯配置L6制定邏輯單元LB31及LB41;及(b)儲 存一第六組資料記憶DM6在可編程邏輯區塊(LB)LB3及可編程邏輯區塊(LB)LB4的資料記憶體單元490-1。在第六事件E6後,在可編程邏輯區塊(LB)LB3及LB4內GPS功能的整體狀態可定義為S6LB3&4,此S6LB3&4與於第六事件E6的第六邏輯配置L6、該第六組編程記憶PM6及第六組資料記憶DM6有關。第六組資料記憶DM6可包括新增加的資訊,此新增資訊與第六事件E6及依據第一組資料記憶DM1至五組資料記憶DM5做資料及資訊重新配置,從而保持第一事件E1至第五事件E5的重要訊息。
(7)在一第七事件E7中,該司機及/或機器/系統行駛5號高速公路從洛衫磯至舊金山,該機器/系統在第二邏輯配置L2及及/或在第六組資料記憶下使用邏輯單元LB31及LB33來計算及處理第七事件E7,及一第二邏輯配置L2來記憶第七事件E7的相關資料、資訊或結果,那就是:該機器/系統(a)根據在可編程邏輯區塊(LB)LB3的編程記憶體單元362-1、編程記憶體單元362-2、編程記憶體單元362-3及編程記憶體單元362-4中的第二組編程記憶(PM2),在第二邏輯配置L2上使用第六組資料記憶DM6在邏輯處理上,該第六組資料記憶DM6具有邏輯單元LB31及LB33;及(b)在可編程邏輯區塊(LB)LB3中資料記憶體單元490-1及記憶體單元490-3中儲存在一第七組資料記憶(DM7),在第七事件E7之後,可編程邏輯區塊(LB)LB3內GPS功能的整體狀態可被定義為與用於第七事件E7的第二邏輯配置L2、該第二組編程記憶PM2及第七組資料記憶DM7的第七邏輯配置L7有關的S7LB3。第七組資料記憶DM7可包括新增加的資訊,此新增資訊與第七事件E7及依據第一組資料記憶DM1至第六組資料記憶DM6做資料及資訊重新配置,從而保持第一事件E1至第六事件E6的重要訊息。
(8)在第七事件二星期後,在一第八事件E8,司機及/或機器/系統從5號高速公路從舊金山至洛衫磯,該機器/系統使用可編程邏輯區塊(LB)LB3的邏輯單元LB32、LB33及LB34及可編程邏輯區塊(LB)LB4的邏輯單元LB41及LB42用於計算及處理第八事件E8,及第八事件E8的一第八邏輯配置L8來記憶第八事件E8的相關資料、資訊或結果,可編程邏輯區塊(LB)LB4與如第38C圖的可編程邏輯區塊(LB)LB3具有相同架構,但在可編程邏輯區塊(LB)LB3的邏輯單元LB31、LB32、LB33及LB34在可編程邏輯區塊(LB)LB4中分別重新編號為LB41、LB42、LB43及LB44,第38D圖為本發明實施例用於第八事件E8的一重新配置可塑性或彈性及/或整體架構的示意圖,如第38A圖至第38D圖所示,可編程邏輯區塊(LB)LB3的交叉點開關379可具有其頂部端點切換沒有耦接至邏輯單元LB31(未繪製在第38D圖中但在第38C圖中),但耦接至一第一交互連接線結構(FISC)20的一第一部分及第二半導體晶片200-2的SISC29,像是用於可編程邏輯區塊(LB)LB3神經元的樹突481的其中之一,可編程邏輯區塊(LB)LB4的交叉點開關379可具有其右側端點切換沒有耦接至邏輯單元LB44(未繪製在圖中),但耦接至一第一交互連接線結構(FISC)20的一第二部分及第二半導體晶片200-2的SISC29,像是用於可編程邏輯區塊(LB)LB4神經元的樹突481的其中之一,經由該第一交互連接線結構(FISC)20的一第三部分及第二半導體晶片200-2的SISC29連接至該第一交互連接線結構(FISC)20的第一部分及第二半導體晶片200-2的SISC29;可編程邏輯區塊(LB)LB4的交叉點開關379可具有其底部端點切換沒有耦接至邏輯單元LB43,但耦接至一第一交互連接線結構(FISC)20的一第四部分及第二半導體晶片200-2的SISC29,像是用於可編程邏輯區塊(LB)LB4神經元的樹突481的其中之一。那就是:該機器/系統(a)根據在可編程邏輯區塊(LB)LB3的編程記憶體單元362-1、編程記憶體單元362-2、編程記憶體單元362-3及編程記憶 體單元362-4之一第八組編程記憶PM8及那些可編程邏輯區塊(LB)LB4及/或第七組資料記憶DM7,以第八邏輯配置L8制定邏輯單元LB31、LB32、LB33、LB34及LB42;及(b)儲存一第八組資料記憶DM8在可編程邏輯區塊(LB)LB3的資料記憶體單元490-1、記憶體單元490-2及記憶體單元490-3,及可編程邏輯區塊(LB)LB4的資料記憶體單元490-1及記憶體單元490-2。在第八事件E8後,在可編程邏輯區塊(LB)LB3及LB4內GPS功能的整體狀態可定義為S8LB3&4,此S8LB3&4與於第八事件E8的第八邏輯配置L8、該第八組編程記憶PM8及第八組資料記憶DM8有關。第八組資料記憶DM8可包括新增加的資訊,此新增資訊與第八事件E8及依據第一組資料記憶DM1至七組資料記憶DM7做資料及資訊重新配置,從而保持第一事件E1至第七事件E7的重要訊息。
(9)第八事件E8係與先前第一至第七事件E1-E7全然不同,其被分類成一重大事件E9並產生一整體狀態S9LB3,在第一至第八事件E1-E8之後,用於大幅度的重新配置在該重大事件E9上,司機及/或機器/系統可將第一至第八邏輯配置L1-L8重新配置成而獲得第九邏輯配置L9(1)根據在可編程邏輯區塊(LB)LB3的編程記憶體單元362-1、編程記憶體單元362-2、編程記憶體單元362-3及編程記憶體單元362-4中的第九組編程記憶PM9及/或第一至第八資料記憶DM1-DM8在第九邏輯配置L9下制定邏輯單元LB31、LB32、LB33及LB34,而用於在加州區域舊金山和洛杉磯之間的GPS功能,及(2)儲存一第九組資料記憶DM9在可編程邏輯區塊(LB)LB3的記憶體單元490-1、記憶體單元490-2、記憶體單元490-3及記憶體單元490-4。
該機器/系統可使用某個特定標準執行重大重新配置,重大的重新配置就是深度睡眠後大腦的重新配置,重大的重新配置包括濃縮或簡潔的流程及學習程序,如下所述:
在事件E9中用於重新配置資料記憶(DM)的濃縮或簡潔程序,該機器/系統可檢查第八組資料記憶DM8以找到相同的資料記憶,及保留可編程邏輯區塊(LB)LB3中相同的資料記憶的其中之一;可替換的方案,該機器/系統可檢查第八組資料記憶DM8以找到相似的資料記憶,其二者之間的相似度大於70%,例如可介於80%至90%之間,並從相似的資料記憶中僅選擇一個或二個作為用於相似資料記憶的一代表性資料記憶。
在事件E9中用於重新配置資料記憶(PM)的濃縮或簡潔程序,該機器/系統可檢查第八組編程記憶PM8對應的邏輯功能,以找到相對應邏輯功能相同的編程記憶,並且用於相對應的功能上只保留在可編程邏輯區塊(LB)LB3中相同的編程記憶中的其中之一,可替代之方案,該機器/系統可檢查用於相對應邏輯功能的第八組編程記憶PM8以找到相似的編程記憶,其在二者之間的相似度大於70%,例如係介於80%至99%之間,並從相似的編程記憶中僅選擇一個或二個作為用於相似編程記憶的一代表性編程記憶。
在事件E9的學習程序中,一演算法可被執行:(1)用於邏輯配置L1-L4,L6及L8的編程記憶PM1-PM4,PM6及PM8;及(2)資料記憶DM1-DM8的優化,例如是選擇或篩選該編程記憶PM1-PM4,PM6及PM8獲得有用、重大及重要的第九組編程記憶PM9其中之一及優化,例如是選擇或篩選該資料記憶DM1-DM8獲得有用、重大及重要的第九組資料記憶DM9其中之一;另外,此演算法可被執行以(1)用以邏輯配置L1-L4,L6及L8的編程記憶PM1-PM4,PM6及PM8;及(2)用於刪除沒有用的、不重大的或不重要的編程記憶PM1-PM4,PM6及PM8其中之一及刪除沒有用的、不重大的或不重要的資料記憶DM1-DM8其中之一。該演算法可依據統計方法執行,例如,事件E1-E8中的編程記憶PM1-PM4,PM6及PM8的使用頻率及/或在事件E1-E8中使用 資料記憶DM1-DM8的頻率。
用於邏輯驅動器及記憶體驅動器的POP封裝的組合
如上所述,COIP邏輯驅動器300可與如第19A圖至第19N圖中的半導體晶片100一起封裝,複數個COIP邏輯驅動器300可與一或複數個記憶體驅動器310併入一模組中,記憶體驅動器310可適用於儲存資料或應用程式,記憶體驅動器310可被分離2個型式(如第39A圖至24K圖所示),一個為非揮發性記憶體驅動器322,另一個為揮發性記憶體驅動器323,第39A圖至第39K圖為本發明實施例用於邏輸驅動器及記憶體驅動器的POP封裝之組合示意圖,記憶體驅動器310的結構及製程可參考第22A圖至第38C圖的說明,其記憶體驅動器310的結構及製程與第22A圖至第38C圖的說明及規格相同,但是半導體晶片100是非揮發性記憶體晶片用於非揮發性記憶體驅動器322;而半導體晶片100是揮發性記憶體晶片用於揮發性記憶體驅動器323。
如第39A圖所示,POP封裝可只與如第22A圖至第38C圖所示的基板單元113上的COIP邏輯驅動器300堆疊,一上面的COIP邏輯驅動器300的金屬柱或凸塊570裝設接合在其背面下面的COIP邏輯驅動器300的金屬接墊77e上,但是最下面的COIP邏輯驅動器300的金屬柱或凸塊570裝設接合在其基板單元113上面的金屬接墊109上。
如第39B圖所示,POP封裝可只與如第22A圖至第38C圖製成的基板單元113上的單層封裝非揮發性記憶體驅動器322堆疊,一上面的單層封裝非揮發性記憶體驅動器322的金屬柱或凸塊570裝設接合在其背面下面的單層封裝非揮發性記憶體驅動器322的金屬接墊77e上,但是最下面的單層封裝非揮發性記憶體驅動器322的金屬柱或凸塊570裝設接合在其基板單元113上面的金屬接墊109上。
如第39C圖所示,POP封裝可只與如第22A圖至第38C圖製成的基板單元113上的單層封裝揮發性記憶體驅動器323堆疊,一上面的單層封裝揮發性記憶體驅動器323的金屬柱或凸塊570裝設接合在其背面下面的單層封裝揮發性記憶體驅動器323的金屬接墊77e上,但是最下面的單層封裝揮發性記憶體驅動器323的金屬柱或凸塊570裝設接合在其基板單元113上面的金屬接墊109上。
如第39D圖所示,POP封裝可堆疊一群組COIP邏輯驅動器300及一群組如第22A圖至第38C圖製成的單層封裝揮發性記憶體驅動器323,此COIP邏輯驅動器300群組可排列在基板單元113上方及在單層封裝揮發性記憶體驅動器323群組的下方,例如,該群組中的二個COIP邏輯驅動器300可排列在基板單元113的上方及位在該群組的二個單層封裝揮發性記憶體驅動器323下方,一第一個COIP邏輯驅動器300的金屬柱或凸塊570裝設接合在其上側(面)基板單元113的金屬接墊109,一第二個COIP邏輯驅動器300的金屬柱或凸塊570裝設接合在其背面(下側)第一個COIP邏輯驅動器300的金屬接墊77e,一第一個單層封裝揮發性記憶體驅動器323的金屬柱或凸塊570裝設接合在其背面的第二個COIP邏輯驅動器300之金屬接墊77e上,及一第二個單層封裝揮發性記憶體驅動器323的金屬柱或凸塊570可裝設接合在其背面的第一個單層封裝揮發性記憶體驅動器323之金屬接墊77e上。
如第39E圖所示,POP封裝可與COIP邏輯驅動器300與如第22A圖至第38C圖製成的單層封裝揮發性記憶體驅動器323交替地堆疊,例如,一第一個COIP邏輯驅動器300的金屬柱或凸塊570可裝設接合在其上側(面)的基板單元113的金屬接墊109上,一第一個單層封裝揮 發性記憶體驅動器323的金屬柱或凸塊570裝設接合在其背面的第一個COIP邏輯驅動器300的金屬接墊77e上,一第二個COIP邏輯驅動器300的金屬柱或凸塊570裝設接合在其背面的第一個單層封裝揮發性記憶體驅動器323的金屬接墊77e上,及一第二個單層封裝揮發性記憶體驅動器323的金屬柱或凸塊570可裝設接合在其背面的第二個COIP邏輯驅動器300的金屬接墊77e上。
如第39F圖所示,POP封裝可堆疊一群組單層封裝非揮發性記憶體驅動器322及一群組如第22A圖至第38C圖製成的單層封裝揮發性記憶體驅動器323,此單層封裝揮發性記憶體驅動器323群組可排列在基板單元113上方及在單層封裝非揮發性記憶體驅動器322群組的下方,例如,該群組中的二個單層封裝揮發性記憶體驅動器323可排列在基板單元113的上方及位在該群組的二個單層封裝非揮發性記憶體驅動器322下方,一第一個單層封裝揮發性記憶體驅動器323的金屬柱或凸塊570裝設接合在其上側(面)基板單元113的金屬接墊109,一第二個單層封裝揮發性記憶體驅動器323的金屬柱或凸塊570裝設接合在其背面的第一個單層封裝揮發性記憶體驅動器323的金屬接墊77e上,一第一個單層封裝非揮發性記憶體驅動器322的金屬柱或凸塊570裝設接合在其背面的第二個單層封裝揮發性記憶體驅動器323的金屬接墊77e上,及一第二個單層封裝非揮發性記憶體驅動器322的金屬柱或凸塊570裝設接合在其背面的第一個單層封裝非揮發性記憶體驅動器322的金屬接墊77e上。
如第39G圖所示,POP封裝可堆疊一群組單層封裝非揮發性記憶體驅動器322及一群組如第22A圖至第38C圖製成的單層封裝揮發性記憶體驅動器323,此單層封裝非揮發性記憶體驅動器322群組可排列在基板單元113上方及在單層封裝揮發性記憶體驅動器323群組的下方,例如,該群組中的二個單層封裝非揮發性記憶體驅動器322可排列在基板單元113的上方及位在該群組的二個單層封裝揮發性記憶體驅動器323下方,一第一個單層封裝非揮發性記憶體驅動器322的金屬柱或凸塊570裝設接合在其上側(面)基板單元113的金屬接墊109,一第二個單層封裝非揮發性記憶體驅動器322的金屬柱或凸塊570裝設接合在其背面(下側)第一個單層封裝非揮發性記憶體驅動器322的金屬接墊77e,一第一個單層封裝揮發性記憶體驅動器323的金屬柱或凸塊570裝設接合在其背面的第二個單層封裝非揮發性記憶體驅動器322之金屬接墊77e上,及一第二個單層封裝揮發性記憶體驅動器323的金屬柱或凸塊570可裝設接合在其背面的第一個單層封裝揮發性記憶體驅動器323之金屬接墊77e上。
如第39H圖所示,POP封裝可與單層封裝非揮發性記憶體驅動器322與如第22A圖至第38C圖製成的單層封裝揮發性記憶體驅動器323交替地堆疊,例如,一第一個單層封裝揮發性記憶體驅動器323的金屬柱或凸塊570可裝設接合在其上側(面)的基板單元113的金屬接墊109上,一第一個單層封裝非揮發性記憶體驅動器322的金屬柱或凸塊570裝設接合在其背面的第一個單層封裝揮發性記憶體驅動器323的金屬接墊77e上,一第二個單層封裝揮發性記憶體驅動器323的金屬柱或凸塊570可裝設接合在其背面的第二個單層封裝揮發性記憶體驅動器323的金屬接墊77e上,一第二個單層封裝揮發性記憶體驅動器323的金屬柱或凸塊570可裝設接合在其背面的第一個單層封裝非揮發性記憶體驅動器322的金屬接墊77e上,及一第二個單層封裝非揮發性記憶體驅動器322的金屬柱或凸塊570可裝設接合在其背面的第二個單層封裝揮發性記憶體驅動器323的金屬接墊77e上。
如第39I圖所示,POP封裝可堆疊一群組COIP邏輯驅動器300、一群組單層封裝非揮發性記憶體驅動器322及一群組如第22A圖至第38C圖製成的單層封裝揮發性記憶體驅動 器323,此COIP邏輯驅動器300群組可排列在基板單元113上方及在單層封裝揮發性記憶體驅動器323群組的下方,及此單層封裝揮發性記憶體驅動器323群組可排列在COIP邏輯驅動器300上方及在單層封裝非揮發性記憶體驅動器322群組的下方,例如,該群組中的二個COIP邏輯驅動器300可排列在基板單元113的上方及位在該群組的二個單層封裝揮發性記憶體驅動器323下方,該群組中的二個單層封裝揮發性記憶體驅動器323可排列在COIP邏輯驅動器300的上方及位在該群組的二個單層封裝非揮發性記憶體驅動器322下方,一第一個COIP邏輯驅動器300的金屬柱或凸塊570裝設接合在其上側(面)基板單元113的金屬接墊109,一第二個COIP邏輯驅動器300的金屬柱或凸塊570裝設接合在其背面(下側)第一個COIP COIP邏輯驅動器300的金屬接墊77e,一第一個單層封裝揮發性記憶體驅動器323的金屬柱或凸塊570裝設接合在其背面的第二個COIP邏輯驅動器300之金屬接墊77e上,一第二個單層封裝揮發性記憶體驅動器323的金屬柱或凸塊570可裝設接合在其背面的第一個單層封裝揮發性記憶體驅動器323之金屬接墊77e上,一第一個單層封裝非揮發性記憶體驅動器322的金屬柱或凸塊570裝設接合在其背面的第二個單層封裝揮發性記憶體驅動器323之金屬接墊77e上,及一第二個單層封裝非揮發性記憶體驅動器322的金屬柱或凸塊570可裝設接合在其背面的第一個單層封裝非揮發性記憶體驅動器322之金屬接墊77e上。
如第39J圖所示,POP封裝可與COIP邏輯驅動器300、單層封裝非揮發性記憶體驅動器322與如第22A圖至第38C圖製成的單層封裝揮發性記憶體驅動器323交替地堆疊,例如,一第一個COIP邏輯驅動器300的金屬柱或凸塊570可裝設接合在其上側(面)的基板單元113的金屬接墊109上,一第一個單層封裝揮發性記憶體驅動器323的金屬柱或凸塊570可裝設接合在其背(面)的第一個COIP邏輯驅動器300的金屬接墊77e上,一第一個單層封裝非揮發性記憶體驅動器322的金屬柱或凸塊570裝設接合在其背面的第一個單層封裝揮發性記憶體驅動器323的金屬接墊77e上,一第二個COIP邏輯驅動器300的金屬柱或凸塊570可裝設接合在其背面的第一個單層封裝非揮發性記憶體驅動器322的金屬接墊77e上,一第二個單層封裝揮發性記憶體驅動器323的金屬柱或凸塊570可裝設接合在其背面的第二個COIP邏輯驅動器300的金屬接墊77e上,及一第二個單層封裝非揮發性記憶體驅動器322的金屬柱或凸塊570可裝設接合在其背面的第二個單層封裝揮發性記憶體驅動器323的金屬接墊77e上。
如第39K圖所示,POP封裝可堆疊成三個堆疊,一堆疊只有COIP邏輯驅動器300在如第22A圖至第38C圖製成的基板單元113上,另一堆疊為只有單層封裝非揮發性記憶體驅動器322在如第22A圖至第38C圖製成的基板單元113上,及其它一個堆疊只有單層封裝揮發性記憶體驅動器323在如第38A圖至第38I圖製成的基板單元113上,此結構的製程在COIP邏輯驅動器300、單層封裝非揮發性記憶體驅動器322及單層封裝揮發性記憶體驅動器323三個堆疊結構形成在電路載體或基板上,如第38A圖中的電路載體或基板110,將焊錫球325以植球方式設置在電路載體或基板的背面,然後經由雷射切割或機械切割的方式將電路載體或基板110切割成複數個單獨基板單元113,其中電路載體或基板例如是PCB基板或BGA基板。
第39L圖為本發明實施例中複數POP封裝的上視圖,其中第39K圖係沿著切割線A-A之剖面示意圖。另外,複數個I/O連接埠305可裝設接合在具有一或複數USB插頭、高畫質多媒體介面(high-definition-multimedia-interface(HDMI))插頭、音頻插頭、互聯網插頭、電源插頭和/或插入其中的視頻圖形陣列(VGA)插頭的基板單元113上。
邏輯驅動器的應用
經由使用商業化標準COIP邏輯驅動器300,可將現有的系統設計、製造生產及(或)產品產業改變成一商業化的系統/產品產業,像是現在商業化的DRAM、或快閃記憶體產業,一系統、電腦、智慧型手機或電子設備或裝置可變成一商業化標準硬體包括主要的記憶體驅動器310及COIP邏輯驅動器300,第40A圖至第40C圖為本發明實施例中邏輯運算及記憶體驅動器的各種應用之示意圖。如第40A圖至第40C圖,COIP邏輯驅動器300具有足夠大數量的輸入/輸出(I/O)以支持(支援)用於編程全部或大部分應用程式/用途的輸入/輸出I/O連接埠305。COIP邏輯驅動器300的I/Os(由金屬柱或凸塊570提供)支持用於編程所需求的I/O連接埠,例如,執行人工智能(Artificial Intelligence,AI)、機器學習、深度學習、大數據資料庫儲存或分析、物聯網(Internet Of Things,IOT)、工業電腦、虛擬實境(VR)、擴增實境(AR)、自動駕駛或無人駕駛車、車用電子圖形處理(Car GP)、數位訊號處理、微控制器及(或)中央處理(CP)的功能或任何組合的功能。COIP邏輯驅動器300可適用於(1)編程或配置I/O用於軟體或應用開發人員下載應用軟體或程式碼儲存在記憶體驅動器310,通過複數I/O連接埠305或連接器連接或耦接至COIP邏輯驅動器300的複數I/Os,及(2)執行複數I/Os通過複數I/OsI/O連接埠305或連接器連接或耦接至COIP邏輯驅動器300的複數I/Os,執行使用者的指令,例如產生一微軟word檔案、或一power point簡報檔案或excel檔案,複數I/OsI/O連接埠305或連接器連接或耦接至相對應COIP邏輯驅動器300的複數I/Os,可包括一或複數(2、3、4或大於4)USB連接端、一或複數IEEE 1394連接端、一或複數乙太網路連接端、一或複數HDMI連接端、一或複數VGA連接端、一或複數電源供應連接端、一或複數音源連接端或串行連接端,例如RS-232或通訊(COM)連接端、無線收發I/Os連接端及/或藍芽收發器I/O連接端等,複數I/OsI/O連接埠305或連接器可被設置、放置、組裝或連接在基板、軟板或母板上,例如PCB板、具有交互連接線結構的矽基板、具有交互連接線結構的金屬基板、具有交互連接線結構的玻璃基板、具有交互連接線結構陶瓷基板或具有交互連接線結構的軟性基板或薄膜126。COIP邏輯驅動器300可使用其本身的金屬柱或凸塊570裝設接合組裝在基板、軟板或母板,類似晶片封裝技術的覆晶封裝或使用在LCD驅動器封裝技術的COF封裝技術。
第40A圖為本發明實施例用於一邏輯運算及記憶體驅動器的應用示意圖,如第40A圖所示,一桌上型或膝上型電腦或、手機或機械人330可包含可編程的COIP邏輯驅動器300,其COIP邏輯驅動器300包括複數處理器,例如包含基頻處理器301、應用處理器302及其它處理器303,其中應用處理器302可包含CPU、南穚、北穚及圖形處理單元(GPU),而其它處理器303可包括射頻(RF)處理器、無線連接處理器及(或)液晶顯示器(LCD)控制模組。COIP邏輯驅動器300更可包含電源管理304的功能,經由軟體控制將每個處理器(301、302及303)獲得最低可用的電力需求功率。每一I/O連接埠305可連接COIP邏輯驅動器300的金屬柱或凸塊570群組至各種外部設備,例如,這些I/O連接埠305可包含I/O連接埠1以連接至電腦或、手機或機械人330的無線訊號通訊元件306,例如是全球定位系統(global-positioning-system(GPS))元件、無線區域網路(wireless-local-area-network(WLAN))元件、藍芽元件或射頻(RF)裝置,這些I/O連接埠305包含I/O連接埠2以連接至電腦或、手機或機械人330的各種顯示裝置307,例如是LCD顯示裝置或有機發光二極體顯示裝置,這些I/O連接埠305包含I/O連接埠3以連接至電腦或、手機或機械人330的照相機308,這些I/O連接埠305可包括I/O連接埠4以連接至電腦或、手機或機械 人330的音頻裝置309,例如是麥克風或掦聲器,這些I/O連接埠305或連接器連接或耦至邏輯驅動器相對應的複數I/Os可包括I/O連接埠5,例如是記憶體驅動器用途的串行高級技術附件(Serial Advanced Technology Attachment,SATA)連接端或外部連結(Peripheral Components Interconnect express,PCIe)連接端,用以與電腦或、手機或機械人330的記憶體驅動器、記憶體驅動器310通訊,其中記憶體驅動器310包括硬碟驅動器、快閃記憶體驅動器及(或)固態硬碟驅動器,這些I/O連接埠305可包含I/O連接埠6以連接至電腦或、手機或機械人330的鍵盤311,這些I/O連接埠305可包含I/O連接埠7以連接電腦或、手機或機械人330的乙太網路312。
或者,第40B圖為本發明實施例邏輯運算及記憶體驅動器的一應用示意圖,第40B圖的結構與第40A圖的結構相似,但是不同點在於電腦或、手機或機械人330在其內部更設置有電源管理晶片313而不是在COIP邏輯驅動器300的外面,其中電源管理晶片313適用於經由軟體控製的方式將每一COIP邏輯驅動器300、無線通訊元件306、顯示裝置307、照相機308、音頻裝置309、記憶體驅動器、記憶體驅動器310、鍵盤311及乙太網路312,放置(或設置)於可用最低電力需求狀態之。
或者,第40C圖為本發明實施例邏輯運算及記憶體驅動器之應用示意圖,如第40C圖所示,一桌上型或膝上型電腦或、手機或機械人330在另一實施例中可包括複數COIP邏輯驅動器300,該些COIP邏輯驅動器300可編程為複數處理器,例如,一第一個COIP邏輯驅動器300(也就左邊那個)可編成為基頻處理器301,一第二個COIP邏輯驅動器300(也就右邊那個)可被編程為應用處理器302,其包括2可包含CPU、南穚、北穚及圖形處理單元(GPU),第一個COIP邏輯驅動器300更包括一電源管理304的功能以使基頻處理器301經由軟體控制獲得最低可用的電力需求功率。第二個COIP邏輯驅動器300包括一電源管理304的功能以使應用處理器302經由軟體控制獲得最低可用的電力需求功率。第一個及第二個COIP邏輯驅動器300更包含各種I/O連接埠305以各種連接方式/裝置連接各種裝置,例如,這些I/O連接埠305可包含設置在第一個COIP邏輯驅動器300上的I/O連接埠1以連接至電腦或、手機或機械人330的無線訊號通訊元件306,例如是全球定位系統(global-positioning-system(GPS))元件、無線區域網路(wireless-local-area-network(WLAN))元件、藍芽元件或射頻(RF)裝置,這些I/O連接埠305包含設置在第二個COIP邏輯驅動器300上的I/O連接埠2以連接至電腦或、手機或機械人330的各種顯示裝置307,例如是LCD顯示裝置或有機發光二極體顯示裝置,這些I/O連接埠305包含設置在第二個COIP邏輯驅動器300上的I/O連接埠3以連接至電腦或、手機或機械人330的照相機308,這些I/O連接埠305可包括設置在第二個COIP邏輯驅動器300上的I/O連接埠4以連接至電腦或、手機或機械人330的音頻裝置309,例如是麥克風或掦聲器,這些I/O連接埠305可包括設置在第二個COIP邏輯驅動器300上的I/O連接埠5,用以與電腦或、手機或機械人330的記憶體驅動器、記憶體驅動器310連接,其中記憶體驅動器310包括磁碟或固態硬碟驅動器(SSD),這些I/O連接埠305可包含設置在第二個COIP邏輯驅動器300上的I/O連接埠6以連接至電腦或、手機或機械人330的鍵盤311,這些I/O連接埠305可包含設置在第二個COIP邏輯驅動器300上的I/O連接埠7,以連接電腦或、手機或機械人330的乙太網路312。每一第一個及第二個COIP邏輯驅動器300可具有專用I/O連接埠314用於第一個及第二個COIP邏輯驅動器300之間的資料傳輸,電腦或、手機或機械人330其內部更設置有電源管理晶片313而不是在第一個及第二個COIP邏輯驅動器300的外面,其中電源管理晶片313適用於經由軟體控製的方式將每一第 一個及第二個COIP邏輯驅動器300、無線通訊元件306、顯示裝置307、照相機308、音頻裝置309、記憶體驅動器、記憶體驅動器310、鍵盤311及乙太網路312,放置(或設置)於可用最低電力需求狀態之。
記憶體驅動器
本發明也與商業化標準記憶體驅動器、封裝、封裝驅動器、裝置、模組、硬碟、硬碟驅器、固態硬碟或固態硬碟記憶體驅動器310有關(其中310以下簡稱”驅動器”,即下文提到”驅動器”時,表示為商業化標準記憶體驅動器、封裝、封裝驅動器、裝置、模組、硬碟、硬碟驅器、固態硬碟或固態硬碟驅器),且記憶體驅動器310在一多晶片封裝內用於資料儲存複數商業化標準非揮發性記憶體(NVM)IC晶片250,第41A圖為本發明實施例商業化標準記憶體驅動器的上視圖,如第41A圖所示,記憶體驅動器310第一型式可以是一非揮發性記憶體驅動器322,其可用於如第39A圖至第39K圖中驅動器至驅動器的組裝,其封裝具有複數高速、高頻寬非揮發性記憶體(NVM)IC晶片250以半導體晶片100排列成一矩陣,其中記憶體驅動器310的結構及製程可參考COIP邏輯驅動器300的結構及製程,但是不同點在於第41A圖中半導體晶片100的排列,每一高速、高頻寬的非揮發性記憶體(NVM)IC晶片250可以是裸晶型式NAND快閃記憶體晶片或複數晶片封裝型式快閃記憶體晶片,即使記憶體驅動器310斷電時資料儲存在商業化標準記憶體驅動器310內的非揮發性記憶體(NVM)IC晶片250可保留,或者,高速、高頻寬非揮發性記憶體(NVM)IC晶片250可以是裸晶型式非揮發性隨機存取記憶體(NVRAM)IC晶片或是封裝型式的非揮發性隨機存取記憶體(NVRAM)IC晶片,NVRAM可以是鐵電隨機存取記憶體(Ferroelectric RAM(FRAM)),磁阻式隨機存取記憶體(Magnetoresistive RAM(MRAM))、相變化記憶體(Phase-change RAM(PRAM)),每一NAND快閃晶片250可具有標準記憶體密度、內量或尺寸大於或等於64Mb、512Mb、1Gb、4Gb、16Gb、64Gb、128Gb、256Gb或512Gb,其中”b”為位元,每一NAND快閃晶片250可使用先進NAND快閃技術或下一世代製程技術或設計及製造,例如,技術先進於或等於45nm、28nm、20nm、16nm及(或)10nm,其中先進的NAND快閃技術可包括在平面快閃記憶體(2D-NAND)結構或立體快閃記憶體(3D NAND)結構中使用單一單層式儲存(Single Level Cells(SLC))技術或多層式儲存(multiple level cells(MLC))技術(例如,雙層儲存(Double Level Cells DLC)或三層儲存(triple Level cells TLC)),此3D NAND結構可包括複數NAND記憶單元的堆疊層(或級),例如大於或等於4、8、16、32或72個NAND記憶單元的堆疊層。因此,商業化標準記憶體驅動器310可具有標準非揮發性記憶體,其記憶體密度、容量或尺寸大於或等於8MB、64MB、128GB、512GB、1GB、4GB、16GB、64GB、256GB或512GB,其中”B”代表8位元。
第41B圖為本發明實施例另一商業化標準記憶體驅動器的上視圖,如第41B圖所示,記憶體驅動器310的第二型式可以是非揮發性記憶體驅動器322,其用於如第39A圖至第39K圖中驅動器至驅動器封裝,其封裝具有複數如第41A圖非揮發性記憶體(NVM)IC晶片250、複數專用I/O晶片265及一專用控制晶片260用於半導體晶片100,其中非揮發性記憶體(NVM)IC晶片250及專用控制晶片260可排列成矩陣,記憶體驅動器310的結構及製程可參考COIP邏輯驅動器300的結構及製程,其不同之處在於如第41B圖中半導體晶片100的排列方式,非揮發性記憶體(NVM)IC晶片250可環繞專用控制晶片260,每一專用I/O晶片265可沿著記憶體驅動器310的邊緣排列,非揮發性記憶體(NVM)IC晶片250的規格可參考如第41A圖所述, 在記憶體驅動器310中的專用控制晶片260封裝的規格及說明可參考如第19A圖在COIP邏輯驅動器300中的專用控制晶片260封裝的規格及說明,在記憶體驅動器310中的專用I/O晶片265封裝的規格及說明可參考如第19A圖至第19N圖在COIP邏輯驅動器300中的專用I/O晶片265封裝的規格及說明。
第41C圖為本發明實施例另一商業化標準記憶體驅動器的上視圖,如第41C圖所示,專用控制晶片260及複數專用I/O晶片265具有組合成一專用控制及I/O晶片266(也就是專用控制晶片及專用I/O晶片),以執行上述控制及複數專用控制晶片260、I/O晶片265的複數功能,記憶體驅動器310的第三型式可以是非揮發性記憶體驅動器322,其用於如第39A圖至第39K圖中驅動器至驅動器封裝,其封裝具有複數如第41A圖非揮發性記憶體(NVM)IC晶片250、複數專用I/O晶片265及一專用控制及I/O晶片266用於半導體晶片100,其中非揮發性記憶體(NVM)IC晶片250及專用控制及I/O晶片266可排列成矩陣,記憶體驅動器310的結構及製程可參考COIP邏輯驅動器300的結構及製程,其不同之處在於如第41C圖中半導體晶片100的排列方式,非揮發性記憶體(NVM)IC晶片250可環繞專用控制及I/O晶片266,每一專用I/O晶片265可沿著記憶體驅動器310的邊緣排列,非揮發性記憶體(NVM)IC晶片250的規格可參考如第41A圖所述,在記憶體驅動器310中的專用控制及I/O晶片266封裝的規格及說明可參考如第19B圖在COIP邏輯驅動器300中的專用控制及I/O晶片266封裝的規格及說明,在記憶體驅動器310中的專用I/O晶片265封裝的規格及說明可參考如第19A圖至第19N圖在COIP邏輯驅動器300中的專用I/O晶片265封裝的規格及說明。
第41D圖為本發明實施例商業化標準記憶體驅動器的上視圖,如第41D圖所示,記憶體驅動器310的第四型式可以是揮發性記憶體驅動器323,其用於如第39A圖至第39K圖中驅動器至驅動器封裝,其封裝具有複數揮發性記憶體(VM)IC晶片324,例如是高速、高頻寬複數DRAM IC晶片如第19A圖至第19N圖中COIP邏輯驅動器300內的一可編程邏輯區塊(LB)201封裝或例如是高速、高頻寬及高位元寬快取SRAM晶片,用於半導體晶片100排列成一矩陣,其中記憶體驅動器310的結構及製程可以參考COIP邏輯驅動器300的結構及製程,但其不同之處在於如第41D圖半導體晶片100的排列方式。在一案列中記憶體驅動器310中全部的揮發性記憶體(VM)IC晶片324可以是複數DRAM IC晶片321,或者,記憶體驅動器310的所有揮發性記憶體(VM)IC晶片324都可以是SRAM晶片。或者,記憶體驅動器310的所有揮發性記憶體(VM)IC晶片324都可以是DRAM IC晶片及SRAM的晶片組合。
如第41E圖為本發明實施例另一商業化標準記憶體驅動器的上視圖,如第41E圖所示,一第五型式記憶體驅動器310可以係一揮發性記憶體驅動器323,其可用於如第39A圖至第39K圖中驅動器至驅動器封裝,其封裝具有複數揮發性記憶體(VM)IC晶片324,例如是高速、高頻寬複數DRAM IC晶片或高速高頻寬快取SRAM晶片、複數專用I/O晶片265及一專用控制晶片260用於半導體晶片100,其中揮發性記憶體(VM)IC晶片324及專用控制晶片260可排列成一矩陣,其中記憶體驅動器310的結構及製程可以參考COIP邏輯驅動器300的結構及製程,但其不同之處在於如第41E圖半導體晶片100的排列方式。在此案列中,用於安裝每個複數DRAM IC晶片321的位置可以被改變以用於安裝SRAM晶片,每一專用I/O晶片265可被揮發性記憶體晶片環繞,例如是複數DRAM IC晶片321或SRAM晶片,每一D複數專用I/O晶片265可沿著記憶體驅動器310的一邊緣排列,在一案列中記憶體驅動器310中全部的揮發性記憶體(VM) IC晶片324可以是複數DRAM IC晶片321,或者,記憶體驅動器310的所有揮發性記憶體(VM)IC晶片324都可以是SRAM晶片。或者,記憶體驅動器310的所有揮發性記憶體(VM)IC晶片324都可以是DRAM IC晶片及SRAM的晶片組合。封裝在記憶體驅動器310內的專用控制晶片260的規格說明可以參考封裝在如第19A圖中的COIP邏輯驅動器300之專用控制晶片260的規格說明,封裝在記憶體驅動器310中的專用I/O晶片265的規格說明可以參考封裝在如第19A圖至第19N圖中COIP邏輯驅動器300中的專用I/O晶片265規格說明。
如第41F圖為本發明實施例另一商業化標準記憶體驅動器的上視圖,如第41F圖所示,專用控制晶片260及複數專用I/O晶片265具有組合成一專用控制及I/O晶片266(也就是專用控制晶片及專用I/O晶片),以執行上述控制及複數專用控制晶片260、I/O晶片265的複數功能,記憶體驅動器310的第六型式可以是揮發性記憶體驅動器323,其用於如第39A圖至第39K圖中驅動器至驅動器封裝,封裝具有複數揮發性記憶體(VM)IC晶片324,例如是高速、高頻寬複數DRAM IC晶片如第19A圖至第19N圖中COIP邏輯驅動器300內的一揮發性記憶體(VM)IC晶片324封裝或例如是高速、高頻寬及高位元寬快取SRAM晶片、複數專用I/O晶片265及用於半導體晶片100的專用控制及I/O晶片266,其中揮發性記憶體(VM)IC晶片324及專用控制及I/O晶片266可排列成如第41F圖中的矩陣,專用控制及I/O晶片266可被揮發性記憶體晶片環繞,其中揮發性記憶體晶片係如是複數DRAM IC晶片321或SRAM晶片,在一案列中記憶體驅動器310中全部的揮發性記憶體(VM)IC晶片324可以是複數DRAM IC晶片321,或者,記憶體驅動器310的所有揮發性記憶體(VM)IC晶片324都可以是SRAM晶片。或者,記憶體驅動器310的所有揮發性記憶體(VM)IC晶片324都可以是DRAM IC晶片及SRAM的晶片組合。記憶體驅動器310的結構及製程可參考COIP邏輯驅動器300的結構及製程,但其不同之處在於如第41F圖中半導體晶片100的排列方式,每一專用I/O晶片265可沿著記憶體驅動器310的邊緣排列,封裝在記憶體驅動器310內的專用控制及I/O晶片266的規格說明可以參考封裝在如第19B圖中的COIP邏輯驅動器300之專用控制及I/O晶片266的規格說明,封裝在記憶體驅動器310中的專用I/O晶片265的規格說明可以參考封裝在如第19A圖至第19N圖中COIP邏輯驅動器300中的專用I/O晶片265規格說明,封裝在記憶體驅動器310中的複數DRAM IC晶片321的規格說明可以參考封裝在如第19A圖至第19N圖中COIP邏輯驅動器300中的複數DRAM IC晶片321規格說明。
或者,另一型式的記憶體驅動器310可包括非揮發性記憶體(NVM)IC晶片250及揮發性記憶體晶片的組合,例如,如第34A圖至第34C圖所示,用於安裝非揮發性記憶體(NVM)IC晶片250的某些位置可被改變用於安裝揮發性記憶體晶片,例如高速、高頻寬複數DRAM IC晶片321或高速、高頻寬SRAM晶片。
用於邏輯驅動器及記憶體驅動器的中介載板至中介載板封裝
或者,第42A圖至第42E圖為本發明實施例中用於邏輯及記憶體驅動器各種封裝之剖面示意圖。如第42A圖及第42D圖所示,COIP記憶體驅動器310具有銲錫球或凸塊569的金屬柱或凸塊570可分別接合COIP邏輯驅動器300的金屬柱或凸塊570之銲錫球或凸塊569以形成複數接合連接點586在COIIP記憶體、COIP邏輯運算記憶體驅動器310與COIP邏輯驅動器300之間,例如,由第四型式的金屬柱或凸塊570提供的一COIP邏輯及COIP記憶體驅動器300及310的複數銲錫球或凸塊569(如第26W圖所示)或複數金屬柱或凸塊570(如第27T圖所示)接合至其它的邏輯及記憶體驅動器300及310的第一型式金屬柱或凸塊570之銅層568,或是接合至如第27R圖 所示的金屬栓塞558的一曝露表面,以便形成接合連接點586在記憶體、邏輯運算記憶體驅動器310及COIP邏輯驅動器300之間。
對於在一COIP邏輯驅動器300的半導體晶片100之間的高速及高頻寬的通訊,其中半導體晶片100就是如第19A圖至第19N圖中非揮發性、非揮發性記憶體(NVM)IC晶片250或揮發性記憶體(VM)IC晶片324,記憶體驅動器310的一半導體晶片100可與半導體晶片100的COIP邏輯驅動器300對齊並垂直設置在COIP邏輯驅動器300的一半導體晶片100上方。
如第42A圖及第42D圖所示,記憶體驅動器310可包括經由金屬栓塞558及中介載板551的交互連接線金屬層6及/或交互連接線金屬層27提供的複數第一堆疊部分,其中每一第一堆疊部分可對齊並垂直的設置在一接合連接點586上或上方及位在本身的一半導體晶片100與一接合連接點586,另外,對於COIP記憶體驅動器310,其多個接合連接點563可分別可對齊並堆疊在本身第一堆疊部分上或上方及位在本身的一半導體晶片100及本身第一堆疊部分之間,以分別地連接本身的一半導體晶片100至第一堆疊部分。
如第42A圖及第42D圖所示,COIP邏輯驅動器300可包括經由金屬栓塞558及中介載板551本身的交互連接線金屬層6及/或交互連接線金屬層27提供的複數第二堆疊部分,其中每一第二堆疊部分可對齊並堆疊在一接合連接點586下或下方及位在本身的一半導體晶片100與一接合連接點586,另外,對於COIP邏輯驅動器300,其多個接合連接點563可分別可對齊並堆疊在本身第二堆疊部分下或下方及位在本身的一半導體晶片100及本身第二堆疊部分之間,以分別地連接本身的一半導體晶片100至第二堆疊部分。
因此,如第42A圖及第42D圖所示,此堆疊結構從下到上包括COIP邏輯驅動器300的其中之一接合連接點563、COIP邏輯驅動器300的中介載板551的其中之一第二堆疊部分、其中之一接合連接點586、COIP記憶體驅動器310的中介載板551的其中之一第一堆疊部分及COIP記憶體驅動器310的接合連接點563,可垂直堆疊在一起形成一垂直堆疊的路徑587在一COIP邏輯驅動器300的半導體晶片100與記憶體驅動器310之一半導體晶片100之間,用於訊號傳輸或電源或接地的輸送,在一範例,複數垂直堆疊之路徑587具有連接點數目等於或大於64、128、256、512、1024、2048、4096、8K或16K,例如,連接至COIP邏輯驅動器300的一半導體晶片100與COIP記憶體驅動器310的一半導體晶片100之間,用於電源或接地的輸送。
如第42A圖及第42D圖所示,COIP邏輯驅動器300的半導體晶片100的其中之一可包括如第13B圖中的小型I/O電路203,其小型I/O電路203具有驅動能力、負載、輸出電容或輸入電容介於0.01pF至10pF之間、介於0.05pF至5pF之間、介於0.01pF至2pF之間、介於0.01pF至1pF之間或小於10pF、5pF、3pF、2pF、1pF、0.5pF、或0.1pF,每一小型I/O電路203可經由其金屬接墊372其中之一耦接至垂直堆疊之路徑587其中之一,以及COIP邏輯驅動器300中的半導體晶片100的其中可包括如第13B圖中的小型I/O電路203,其小型I/O電路203具有驅動能力、負載、輸出電容或輸入電容介於0.01pF至10pF之間、介於0.05pF至5pF之間、介於0.01pF至2pF之間、介於0.01pF至1pF之間或小於10pF、5pF、3pF、2pF、1pF、0.5pF、或0.1pF,每一小型I/O電路203可經由其金屬接墊372其中之一耦接至垂直堆疊之路徑587其中之一,例如每一小型I/O電路203可組成小型ESD保護電路373、小型接收器375及小型驅動器374。
如第42A圖及第42D圖所示,每一COIP邏輯及COIP記憶體驅動器300及310本身 的BISD 79的金屬接墊77e上的金屬或金屬/銲錫凸塊583用於連接邏輯及記憶體驅動器300及310至一外部電路,對於每一COIP邏輯及COIP記憶體驅動器300及310本身可(1)依序通過其BISD 79的交互連接線金屬層77、一或多個其金屬栓塞(TPVs)582、其中介載板551的SISIP588及/或第一交互連接線結構(FISIP)560的交互連接線金屬層6及/或交互連接線金屬層27及一或多個其接合連接點563耦接至其其中之一半導體晶片100;(2)依序地通過其BISD 79之交互連接線金屬層77依序耦接至其它COIP邏輯及COIP記憶體驅動器300及310的一半導體晶片100、一或複數本身的金屬栓塞(TPVs)582、其中介載板551之SISIP588及/或第一交互連接線結構(FISIP)560的交互連接線金屬層6及/或交互連接線金屬層27、其中介載板551的一或多個金屬栓塞558、一或多個接合連接點586、其它COIP邏輯及COIP記憶體驅動器300及310的中介載板551的一或多個金屬栓塞558、其它COIP邏輯及COIP記憶體驅動器300及310的中介載板551之SISIP588及/或第一交互連接線結構(FISIP)560的交互連接線金屬層6及/或交互連接線金屬層27耦接至其它COIP邏輯及COIP記憶體驅動器300及310的其中之一半導體晶片100;或(3)依序通過其BISD 79的交互連接線金屬層77、一或多個其金屬栓塞(TPVs)582、其中介載板551之SISIP588及/或第一交互連接線結構(FISIP)560的交互連接線金屬層6及/或交互連接線金屬層27、其中介載板551的一或多個金屬栓塞558、一或多個接合連接點586、其它COIP邏輯及COIP記憶體驅動器300及310的中介載板551之一或多個金屬栓塞558、其它COIP邏輯及COIP記憶體驅動器300及310的中介載板551之SISIP588及/或第一交互連接線結構(FISIP)560的交互連接線金屬層6及/或交互連接線金屬層27、其它COIP邏輯及COIP記憶體驅動器300及310的一或多個金屬栓塞(TPVs)582及其它COIP邏輯及COIP記憶體驅動器300及310的BISD 79的交互連接線金屬層77耦接至其它COIP邏輯及COIP記憶體驅動器300及310的其中之一金屬/銲錫凸塊583。
或者,如第42B圖、第42C圖及第42E圖,此二圖的結構類於第42A圖所示的結構,對於第42B圖、第42C圖及第42E圖中所示的元件圖號若與第42A圖至第42E圖相同,其相同的元件圖號可參考上述第42A圖所揭露的元件規格及說明,其不同之處在於第42A圖及第42B圖中,COIP記憶體驅動器310不具有用於外部連接的金屬或金屬/銲錫凸塊583、BISD 79及金屬栓塞(TPVs)582,及記憶體驅動器310的半導體晶片100具有一背面曝露在記憶體驅動器310的環境中,而第42A圖與第42C圖不同之處在於,COIP邏輯驅動器300不具有用於外部連接的金屬或金屬/銲錫凸塊583、BISD 79及金屬栓塞(TPVs)582,及COIP邏輯驅動器300的半導體晶片100具有一背面曝露在COIP邏輯驅動器300的環境中,其不同之處在於第42A圖及第42E圖中,COIP邏輯驅動器300不具有用於外部連接的金屬或金屬/銲錫凸塊583、BISD 79及金屬栓塞(TPVs)582,及COIP邏輯驅動器300的半導體晶片100具有一背面與例如由銅或鋁製成的一散熱鰭片316接合。
如第42A圖至第42E圖所示,對於並聯訊號傳輸的例子,並聯的垂直堆疊之路徑587可排列在COIP邏輯驅動器300的一半導體晶片100與COIP記憶體驅動器310的一半導體晶片100之間,其中半導體晶片100例如第27F圖至第27N圖中的圖形處理單元(graphic-procession-unit,GPU)晶片,而半導體晶片100也就是如第42A圖至第42F圖所示的高位元寬及高頻寬緩存SRAM晶片、DRAM IC晶片或用於MRAM或RRAM的NVMIC晶片,而半導體晶片100具有一資料位元頻寬等於或大於64、128、256、512、1024、4096、8K或16K,或者,對於並聯訊號 傳輸的例子,並聯的垂直堆疊之路徑587可排列在COIP邏輯驅動器300的一半導體晶片100與COIP記憶體驅動器310的一半導體晶片100之間,其中半導體晶片100例如第19F圖至第19N圖中的TPU晶片,而半導體晶片100也就是如第42A圖至第42F圖所示的高位元寬及高頻寬緩存SRAM晶片、DRAM IC晶片或用於MRAM或RRAM的NVM晶片,而半導體晶片100具有一資料位元頻寬等於或大於64、128、256、512、1024、4096、8K或16K。
或者,第42F圖及第42G圖為本發明實施例一具有一或多個記憶體IC晶片的COIP邏輯驅動器封裝剖面示意圖,如第42F圖所示,一或多個記憶體IC晶片317,例如是高速、高頻存取SRAM晶片、DRAM IC晶片或用於MRAM或RRAM的NVMIC晶片,其記憶體IC晶片317可具有複數電性接點,例如是含錫凸塊或接墊,或銅凸塊或接墊在一主動表面上,用以接合至COIP邏輯驅動器300的金屬柱或凸塊570的銲錫球或凸塊569以形成複數接合連接點586在COIP邏輯驅動器300與每一記憶體IC晶片317之間,例如,COIP邏輯驅動器300可具有第4型式的金屬柱或凸塊570接合至每一記憶體IC晶片317的電性接點的一銅層,以在COIP邏輯驅動器300與該每一記憶體IC晶片317之間形成接合連接點586,其金屬柱或凸塊570具有如第26W圖中的銲錫球或凸塊569或是如第27T圖中的金屬柱或凸塊570,另一舉例,該COIP邏輯驅動器300具有第一型的金屬柱或凸塊570接合至每一記憶體IC晶片317的電性接點的一含錫層或凸塊,以在COIP邏輯驅動器300與該每一記憶體IC晶片317之間形成接合連接點586,其金屬柱或凸塊570具有如第26U圖中的銅層,接著一底部填充材料114填充在COIP邏輯驅動器300與每一記憶體IC晶片317之間的間隙中,覆蓋每一接合連接點586的側壁,底部填充材料114例如是聚合物材質。
對於在其中之一記憶體IC晶片317與COIP邏輯驅動器300的其中之一半導體晶片100之間的高速及高頻寬通信,其中半導體晶片100例如是在第19A圖至第19N圖中的標準商業化FPGA IC晶片200或PC IC晶片269,其中之一記憶體IC晶片317可與COIP邏輯驅動器300的其中之一半導體晶片100對準並且垂直排列在該COIP邏輯驅動器300的半導體晶片100上方,該記憶體IC晶片317的其中之一具有一組的電性接點分別與COIP邏輯驅動器300的第二堆疊部分對準並垂直排列在COIP邏輯驅動器300的第二堆疊部分上方,用以資料或信號傳輸或是在記憶體IC晶片317的其中之一與COIP邏輯驅動器300的半導體晶片100其中之一之間的電源/接地傳輸,其中每一第二堆疊部分係位在記憶體IC晶片317其中之一及COIP邏輯驅動器300的半導體晶片100其中之一之間,每一記憶體IC晶片317可具一組電性接點,每一電性接點垂直地排列在第二堆疊部分其中之一上方,並經由位在每一該電性接點與第二堆疊部分其中之一之間的接合連接點586,使該電性接點連接至第二堆疊部分的其中之一,因此,該組中的每一電性接點,其中之一該接合連接點586與其中之一該第二堆疊部分可堆疊在一起以形成垂直堆疊之路徑587。
在一範例,如第42F圖所示,多個垂直堆疊之路徑587具有等於或大於64、128、256、512、1024、2048、4096、8K或16K的數量,垂直堆疊之路徑587例如可連接COIP邏輯驅動器300的其中之一半導體晶片100與其中之一記憶體IC晶片317之間,用於並聯信號傳輸或用於電源或接地傳輸,在一範例,COIP邏輯驅動器300的其中之一半導體晶片100可包括如第13B圖中的小型I/O電路203,其小型I/O電路203具有驅動能力、負載、輸出電容或輸入電容介於0.01pF至10pF之間、介於0.05pF至5pF之間、介於0.01pF至2pF之間、介 於0.01pF至1pF之間或小於10pF、5pF、3pF、2pF、1pF、0.5pF、或0.1pF,每一小型I/O電路203可經由其金屬接墊372其中之一耦接至垂直堆疊之路徑587其中之一,及其中之一記憶體IC晶片317可包括如第13B圖中的小型I/O電路203,其小型I/O電路203具有驅動能力、負載、輸出電容或輸入電容介於0.01pF至10pF之間、介於0.05pF至5pF之間、介於0.01pF至2pF之間、介於0.01pF至1pF之間,每一小型I/O電路203可經由其金屬接墊372其中之一耦接至垂直堆疊之路徑587其中之一,例如每一小型I/O電路203可組成小型ESD保護電路373、小型接收器375及小型驅動器374。
如第42F圖,該COIP邏輯驅動器300具有金屬或金屬/銲錫凸塊583形成在BISD 79的金屬接墊77e上,用於連接COIP邏輯驅動器300至一外部電路,對於COIP邏輯驅動器300,其中之一金屬或金屬/銲錫凸塊583可依序(1)經由BISD 79的標準商業化FPGA IC晶片200、一或多個其金屬栓塞(TPVs)582、其中介載板551的SISIP588及/或第一交互連接線結構(FISIP)560的交互連接線金屬層6及/或交互連接線金屬層27、一或多個其接合連接點563耦接至其半導體晶片100其中之一;或(2)依序經由其BISD 79的交互連接線金屬層77、一或多個其金屬栓塞(TPVs)582、其中介載板551的SISIP588及/或第一交互連接線結構(FISIP)560的交互連接線金屬層6及/或交互連接線金屬層27及一或多個接合連接點586耦接至其中之一記憶體IC晶片317。
或者,如第42G圖,其結構類似於如第42F圖所示的結構,對於在第42F圖及第42G圖中相同的元件標號,在第42G圖中的元件標號之規格說明可參考第42F圖中相同的元件件標號,第42F圖及第42G圖不同在於一聚合物層318(例如是樹脂)經由灌模方式覆蓋在記憶體IC晶片317上,或者,底部填充材料114可被省略及聚合物層318更可填入邏輯驅動器300與每一記憶體IC晶片317之間的間隙中及覆蓋每一接合連接點586的側壁。
如第42F圖及第42G圖所示,對於並聯訊號傳輸的例子,並聯的垂直堆疊之路徑587可排列在COIP邏輯驅動器300的一半導體晶片100與其中之一記憶體IC晶片317之間,其中半導體晶片100例如第19F圖至第19N圖中的GPU晶片,而記憶體IC晶片317也就是高位元寬及高頻寬緩存SRAM晶片、DRAM IC晶片或用於MRAM或RRAM的NVMIC晶片,而半導體晶片100具有一資料位元頻寬等於或大於64、128、256、512、1024、4096、8K或16K,或者,對於並聯訊號傳輸的例子,並聯的垂直堆疊之路徑587可排列在COIP邏輯驅動器300的一半導體晶片100與其中之一記憶體IC晶片317之間,其中半導體晶片100例如第19F圖至第19N圖中的TPU晶片,而半導體晶片100也就是高位元寬及高頻寬緩存SRAM晶片、DRAM IC晶片或用於MRAM或RRAM的NVM晶片,而半導體晶片100具有一資料位元頻寬等於或大於64、128、256、512、1024、4096、8K或16K。
在資料中心與使用者之間的互聯網或網路
第43圖為本發明實施例多個資料中心與多個使用者之間的網路方塊示意圖,如第43圖所示,在雲端590上有複數個資料中心591經由網路592連接至每一其它或另一個資料中心591,在每一資料中心591可係上述說明中COIP邏輯驅動器300中的其中之一或複數個,或是上述說明中記憶體驅動器310中的其中之一或複數個而允許用於在一或多個使用者裝置593中,例如是電腦、智能手機或筆記本電腦、卸載和/或加速人工智能(AI)、機器學習、深度學習、大數據、物聯網(IOT)、工業電腦、虛擬實境(VR)、增強現實(AR)、汽車電子、圖形處理(GP)、視頻流、數字信號處理(DSP)、微控制(MC)和/或中央處理器(CP),當一或 多個使用者裝置593經由互聯網或網路連接至COIP邏輯驅動器300及或記憶體驅動器310在雲端590的其中之一資料中心591中,在每一資料中心591,COIP邏輯驅動器300可通過每一資料中心591的本地電路(local circuits)及/或互聯網或網路592相互耦接或接接另一COIP邏輯驅動器300,或是COIP邏輯驅動器300可通過每一資料中心591的本地電路(local circuits)及/或互聯網或網路592耦接至記憶體驅動器310,其中記憶體驅動器310可經由每一資料中心591的本地電路(local circuits)及/或互聯網或網路592耦接至每一其它或另一記憶體驅動器310。因此雲端590中的資料中心591中的COIP邏輯驅動器300及記憶體驅動器310可被使用作為使用者裝置593的基礎設施即服務(IaaS)資源,其與雲中租用虛擬存儲器(virtual memories,VM)類似,現場可編程閘極陣列(FPGA)可被視為虛擬邏輯(VL),可由使用者租用,在一情況中,每一COIP邏輯驅動器300在一或多個資料中心591中可包括標準商業化FPGA IC晶片200,其標準商業化FPGA IC晶片200可使用先進半導體IC製造技術或下一世代製程技術或設計及製造,例如,技術先進於28nm之技術,一軟體程式可使用一通用編程語言中被寫入使用者裝置593中,例如是C語言、Java、C++、C#、Scala、Swift、Matlab、Assembly Language、Pascal、Python、Visual Basic、PL/SQL或JavaScript等軟體程式語言,軟體程式可由使用者裝置590經由互聯網或網路592被上載(傳)至雲端590,以編程在資料中心591或雲端590中的COIP邏輯驅動器300,在雲端590中的被編程之COIP邏輯驅動器300可通過互聯網或網路592經由一或另一使用者裝置593使用在一應用上。
結論及優點
因此,現有的邏輯ASIC或COT IC晶片產業可經由使用商業化標準COIP邏輯驅動器300被改變成一商業化邏輯運算IC晶片產業,像是現有商業化DRAM或商業化快閃記憶體IC晶片產業,對於同一創新應用,因為商業化標準COIP邏輯驅動器300性能、功耗及工程及製造成本可比優於或等於ASICIC晶片或COTIC晶片,商業化標準COIP邏輯驅動器300可用於作為設計ASICIC晶片或COTIC晶片的代替品,現有邏輯ASICIC晶片或COTIC晶片設計、製造及(或)生產(包括包括無廠IC晶片設計及生產公司、IC晶圓廠或接單製造(可無產品)、公司及(或)、垂直整合IC晶片設計、製造及生產的公司)可變成像是現有商業化DRAM或快閃記憶體IC晶片設計、製造及(或)製造的公司;或像是DRAM模組設計、製造及(或)生產的公司;或像是記憶體模組、快閃USB棒或驅動器、快閃固態驅動器或硬碟驅動器設計、製造及(或)生產的公司。現有邏輯IC晶片或COTIC晶片設計及(或)製造公司(包括包括無廠IC晶片設計及生產公司、IC晶圓廠或接單製造(可無產品)、公司及(或)、垂直整合IC晶片設計、製造及生產的公司)可變成以下產業模式的公司:(1)設計、製造及(或)販賣複數標準商業化FPGA IC晶片200的公司;及(或)(2)設計、製造及(或)販賣商業化標準COIP邏輯驅動器300的公司,個人、使用者、客戶、軟體開發者應用程序開發人員可購買此商業化標準邏輯運算器及撰寫軟體之原始碼,進行針對他/她所期待的應用進行程序編寫,例如,在人工智能(Artificial Intelligence,AI)、機器學習、深度學習、大數據資料庫儲存或分析、物聯網(Internet Of Things,IOT)、工業電腦、虛擬實境(VR)、擴增實境(AR)、自動駕駛或無人駕駛車、車用電子圖形處理(GP)。此邏輯運算器可編寫執行例如是圖形晶片、基頻晶片、以太網路晶片、無線晶片(例如是802.11ac)或人工智能晶片等功能的晶片。此邏輯運算器或者可編寫執行人工智能、機器學習、深度學習、大數據資料庫儲存或分析、物聯網(Internet Of Things,IOT)、工業電腦、虛擬實境(VR)、擴增實境(AR)、 自動駕駛或無人駕駛車、車用電子圖形處理(GP)、數位訊號處理(DSP)、微控制器(MC)或中央處理器(CP)等功能或其中的任一種組合之功能。
本發明揭露一商業化標準邏輯驅動器,此商業化標準邏輯驅動器為一多晶片封裝用經由現場編程(field programming)方式達到計算及(或)處理功能,此晶片封裝包括數FPGA IC晶片及一或複數可應用在不同邏輯運算的非揮發性記憶體IC晶片,此二者不同點在於前者是一具有邏輯運算功能的計算/處理器,而後者為一具有記憶體功能的資料儲存器,此商業化標準邏輯驅動器所使用的非揮發性記憶體IC晶片是類似使用一商業化標準固態儲存硬碟(或驅動器)、一資料儲存硬碟、一資料儲存軟碟、一通用序列匯流排(Universal Serial Bus(USB))快閃記憶體碟(或驅動器)、一USB驅動器、一USB記憶棒、一快閃記憶碟或一USB記憶體。
本發明揭露一種商業化標準邏輯驅動器,可配設在熱插拔裝置內,供主機在運作時,可以在不斷電的情況下,將該熱插拔裝置插入於該主機上並與該主機耦接,使得該主機可配合該熱插拔裝置內的該邏輯驅動器運作。
本發明另一範例更揭露一降低NRE成本方法,此方法係經由商業化標準邏輯驅動器實現在半導體IC晶片上的創新及應用或加速工作量處理。具有創新想法或創新應用的人、使用者或開發者需購買此商業化標準邏輯驅動器及可寫入(或載入)此商業化標準邏輯驅動器的一開發或撰寫軟體原始碼或程式,用以實現他/她的創新想法或創新應用或加速工作量處理。此實現的方法與經由開發一ASIC晶片或COT IC晶片實現的方法相比較,本發明所提供實現的方法可降低NRE成本大於25倍或10倍以上。對於先進半導體技術或下一製程世代技術時(例如發展至小於30奈米(nm)或20奈米(nm)),對於ASIC晶片或COT晶片的NRE成本大幅地增加,例如增加超過美金5百萬元、美金1千萬元,甚至超過2千萬元、5千萬元或1億元。如ASIC晶片或COT IC晶片的16奈米技術或製程世代所需的光罩的成本就超過美金2百萬元、美金5百萬元或美金1千萬元,若使用邏輯驅動器實現相同或相似的創新或應用可將此NRE成本費用降低小於美金1仟萬元,甚至可小於美金7百萬元、美金5百萬元、美金3百萬元、美金2百萬元或美金1百萬元。本發明可激勵創新及降低實現IC晶片設計在創新上的障礙以及使用先進IC製程或下一製程世代上的障礙,例如使用比30奈米、20奈米或10奈米更先進的IC製程技術。
另一範例,本發明提供經由使用標準商業化邏輯驅動器來改變現在邏輯ASIC或COT IC晶片產業成為一商業化邏輯IC晶片產業的方法,像是現今商業化DRAM或商業化快閃記憶體IC晶片產業,在同一創新及應用上或是用於加速工作量為目標的應用上,標準商業邏輯驅動器從效能、功耗、工程及製造成本應可比現有的ASIC晶片或COT IC晶片好或相同,標準化商業化邏輯驅動器可作為設十ASIC或COT IC晶片的替代方案,現有邏輯ASICIC晶片或COTIC晶片設計、製造及(或)生產(包括包括無廠IC晶片設計及生產公司、IC晶圓廠或接單製造(可無產品)、公司及(或)、垂直整合IC晶片設計、製造及生產的公司)可變成像是現有商業化DRAM或快閃記憶體IC晶片設計、製造及(或)製造的公司;或像是DRAM模組設計、製造及(或)生產的公司;或像是記憶體模組、快閃USB棒或驅動器、快閃固態驅動器或硬碟驅動器設計、製造及(或)生產的公司。現有邏輯IC晶片或COTIC晶片設計及(或)製造公司(包括包括無廠IC晶片設計及生產公司、IC晶圓廠或接單製造(可無產品)、公司及(或)、垂直整合IC晶片設計、製造及生產的公司)可變成以下產業模式的公司:(1)設計、製造及(或)販賣複數標準商業化FPGA IC晶片200的公司;及(或)(2)設計、製造及(或)販賣商業化標準COIP邏輯驅動器300的 公司,個人、使用者、客戶、軟體開發者應用程序開發人員可購買此商業化標準邏輯運算器及撰寫軟體之原始碼,進行針對他/她所期待的應用進行程序編寫,例如,在人工智能(Artificial Intelligence,AI)、機器學習、深度學習、大數據資料庫儲存或分析、物聯網(Internet Of Things,IOT)、工業電腦、虛擬實境(VR)、擴增實境(AR)、自動駕駛或無人駕駛車、車用電子圖形處理(GP)。此邏輯運算器可編寫執行例如是圖形晶片、基頻晶片、以太網路晶片、無線晶片(例如是802.11ac)或人工智能晶片等功能的晶片。此邏輯運算器或者可編寫執行人工智能、機器學習、深度學習、大數據資料庫儲存或分析、物聯網(Internet Of Things,IOT)、工業電腦、虛擬實境(VR)、擴增實境(AR)、自動駕駛或無人駕駛車、車用電子圖形處理(GP)、數位訊號處理(DSP)、微控制器(MC)或中央處理器(CP)等功能或其中的任一種組合之功能。
另一範例,本發明提供經由使用標準商業化邏輯驅動器來改變邏輯ASIC或COT IC晶片硬體產業成為一軟體產業的方法,在同一創新及應用上或是用於加速工作量為目標的應用上,標準商業邏輯驅動器從效能、功耗、工程及製造成本應可比現有的ASIC晶片或COT IC晶片好或相同,現有的ASIC晶片或COT IC晶片的設計公司或供應商可變成軟體開發商或供應商,及變成以下的產業模式:(I)變成軟體公司針對自有的創新及應用進行軟體研發或軟體販售,進而讓客戶安裝軟體在客戶自己擁有的商業化標準邏輯運算器中;及/或(2)仍是販賣硬體的硬體公司而沒有進行ASIC晶片或COT IC晶片的設計及生產。他們可針對創新或新應用客戶或使用者可安裝自我研發的軟體可安裝在販賣的標準商業邏輯驅動器內的一或複數非揮發性記憶體IC晶片內,然後再賣給他們的客戶或使用者。客戶/用戶或開發商/公司他們也可針對所期望寫軟體原始碼在標準商業邏輯驅動器內(也就是將軟體原始碼安裝在標準商業邏輯驅動器內的非揮發性記憶體IC晶片內),例如在人工智能(Artificial Intelligence,AI)、機器學習、物聯網(Internet Of Things,IOT)、工業電腦、虛擬實境(VR)、擴增實境(AR)、自動駕駛或無人駕駛車、電子圖形處理(GP)、數位訊號處理(DSP)、微控制器(MC)或中央處理器(CP)等功能。用於系統、電腦、處理器、智慧型手機或電子儀器或裝置的設計、製造及(或)產品的公司可變成:(1)販賣商業化標準硬體的公司,對於本發明而言,此類型的公司仍是硬體公司,而硬體包括記憶體驅動器及邏輯驅動器;(2)為使用者開發系統及應用軟體,而安裝在使用者自有的商業化標準硬體中,對於本發明而言,此類型的公司是軟體公司;(3)安裝第三者所開發系統及應用軟體或程式在商業化標準硬體中以及販賣軟體下載硬體,對於本發明而言,此類型的公司是硬體公司。
本發明另一範例提供一方法以由以使用標準商業化邏輯驅動器改變現有邏輯ASIC或COT IC晶片硬體產業成為一網路產業,在同一創新及應用上或是用於加速工作量為目標的應用上,標準商業邏輯驅動器從效能、功耗、工程及製造成本應可比現有的ASIC晶片或COT IC晶片好或相同,標準商業邏輯驅動器可被使用作為設計SAIC或COT IC晶片的替代方案,標準商業邏輯驅動器可包括標準商業化FPGA晶片,其可使用在網路中的資料中心或雲端,以用於創新或應用或用於加速工作量為目標的應用。附加至網路上的標準商業邏輯驅動器可以用於卸載和加速所有或任何功能組合的面向服務的功能,其功能包括在人工智能(Artificial Intelligence,AI)、機器學習、深度學習、大數據資料庫儲存或分析、物聯網(Internet Of Things,IOT)、工業電腦、虛擬實境(VR)、擴增實境(AR)、自動駕駛或無人駕駛車、車用電子圖形處理(GP)。此邏輯運算器可編寫執行例如是圖形晶片、基頻晶片、以太網路晶片、無線晶片(例如 是802.11ac)或人工智能晶片等功能的晶片。此邏輯運算器或者可編寫執行人工智能、機器學習、深度學習、大數據資料庫儲存或分析、物聯網(Internet Of Things,IOT)、工業電腦、虛擬實境(VR)、擴增實境(AR)、自動駕駛或無人駕駛車、車用電子圖形處理(GP)、數位訊號處理(DSP)、微控制器(MC)或中央處理器(CP)等功能或其中的任一種組合之功能。標準商業邏輯驅動器被使用在網路上的資料中心或雲端,提供FPGAs作為IaaS資源給雲端用戶,使用在資料中心或雲端上的標準商業邏輯驅動器,其用戶或使用者可以租FPGAs,類似於在雲端中租用虛擬內存(VM)。在資料中心或雲端中使用標準商業邏輯驅動器就像是虛擬記憶體(VMs)一樣的虛擬邏輯(VLs)。
本發明另一範例揭露一開發套件或工具,作為一使用者或開發者使用(經由)商業化標準邏輯驅動器實現一創新技術或應用技術,具有創新技術、新應用概念或想法的使用者或開發者可購買商業化標準邏輯驅動器及使用相對應開發套件或工具進行開發,或軟體原始碼或程式撰寫而加載至商業化標準邏輯驅動器中的複數非揮發性記憶體晶片中,以作為實現他(或/她)的創新技術或應用概念想法。
本發明另一範例提供一”公開創新平台”用於使創作者輕易地及低成本的使用先進於28nm的IC技術世代在半導體晶片上執行或實現他們的創意或發明,其先進的技術世代例如是先進於20nm、16nm、10nm、7nm、5nm或3nm的技術世代,在早期1990年代時,創作者或發明人可經由設計IC晶片及在半導體代工廠使用1μm、0.8μm、0.5μm、0.35μm、0.18μm或0.13μm的技術世代,在幾十萬美元的成本之下製造而實現他們的創意或發明,當時的IC代工廠是”公共創新平台”,然而,當IC技術世代遷移至比28nm更先進的技術世代時,例如是先進於20nm、16nm、10nm、7nm、5nm或3nm的技術世代,只有少數大的系統商或IC設計公司(非公共的創新者或發明人)可以負擔得起半導體IC代工廠的費用,其使用這些先進世代的開發及實現的費用成本大約是高於1000萬美元,半導體IC代工廠現在己不是”公共創新平台”,而是俱樂部創新者或發明人的”俱樂部創新平台”,本發明所公開邏輯驅動器概念,包括商業化標準現場可編程邏輯閘陣列(FPGA)積體電路晶片(標準商業化FPGA IC晶片s),此標準商業化FPGA IC晶片提供公共創作者再次的回到1990年代一樣的半導體IC產業的”公共創新平台”,創作者可經由使用邏輯運算器及撰寫軟體程式執行或實現他們的創作或發明,其成本係低於500K或300 K美元,其中軟體程式係常見的軟體語,例如是C,Java,C++,C#,Scala,Swift,Matlab,Assembly Language,Pascal,Python,Visual Basic,PL/SQL或JavaScript等程式語言,創作者可使用他們自己擁有的標準商業化FPGA IC邏輯運算器或他們可以經由網路在資料中心或雲端租用邏輯運算器。
除非另有述及,否則經敘述於本專利說明書中之所有度量值、數值、等級、位置、程度、大小及其他規格,包括在下文請求項中,係為近似或額定值,而未必精確;其係意欲具有合理範圍,其係與其有關聯之功能及與此項技藝中所習用與其相關者一致。
已被陳述或說明者之中全無意欲或應被解釋為會造成任何組件、步驟、特徵、目的、利益、優點或公開之相當事物之專用,而不管其是否被敘述於請求項中。
保護之範圍係僅被請求項所限制。當明白本專利說明書及下文之執行歷程加以解釋後,該範圍係意欲且應該被解釋為如與被使用於請求項中之語文之一般意義一致一樣寬廣,及涵蓋所有結構性與功能性相當事物。
583:金屬/銲錫凸塊
77e:接墊
77:交互連接線金屬層
582:金屬栓塞
585:開口或孔洞
564:底部填充材料
563:接合連接點
551:中介載板
114:底部填充材料
565:聚合物層
100:半導體晶片
79:BISD
560:第一交互連接線結構
310:記憶體驅動器
300:邏輯驅動器

Claims (26)

  1. 一晶片封裝結構,包括:一中介載板,包括:一矽基板;複數金屬通孔連接線(metal vias)穿設在該矽基板中;一第一交互連接線金屬層位在該矽基板上方;一第二交互連接線金屬層位在該矽基板及該第一交互連接線金屬層上方;以及一絕緣介電層位在該矽基板上方且位在該第一交互連接線金屬層與該第二交互連接線金屬層之間;一第一半導體積體電路(IC)晶片位在該中介載板上方,其中該第一半導體積體電路(IC)晶片包括一可編程邏輯電路用以被編程執行一邏輯操作,其中該可編程邏輯電路包括:多個第一非揮發記憶體單元,分別用以儲存一查找表(LUT)的多個結果值;多個第一鎖存電路分別耦接至該第一非揮發記憶體單元,其中每一該第一鎖存電路用以鎖存與該查找表中的其中之一該結果值相關聯的資料,該查找表係來自於該些第一非揮發記憶體單元中的一個非揮發記憶體單元;以及一第一多工器,包括用於該邏輯操作之一第一輸入資料組的一第一組輸入點及一第二輸入資料組的一第二組輸入點,其中該第二輸入資料組與鎖存在該些第一鎖存電路中的資料相關聯,其中該第一多工器用以依據該第一輸入資料組從該第二輸入資料組中選擇一輸入資料,作為該邏輯操作的一輸出資料;以及多個第一金屬凸塊位在該中介載板的一底部上,其中該些第一金屬凸塊分別耦接該些金屬通孔連接線。
  2. 如申請專利範圍第1項所請求之晶片封裝結構,其中該第一鎖存電路耦接該第一多工器的該第二組輸入點之一輸入點,其中該第一鎖存電路包括: 一第一P型MOS電晶體,其一汲極端耦接該第一非揮發性記憶體單元的一第一端點,其中一電源供應電壓可經由該第一P型MOS電晶體耦接該第一非揮發性記憶體單元的該第一端點;一第一N型MOS電晶體,其一汲極端耦接該第一非揮發性記憶體單元的一第二端點,其中一接地參考電壓可經由該第一N型MOS電晶體耦接該第一非揮發性記憶體單元的該第二端點,其中該第一P型MOS電晶體的一閘極端耦接該第一N型MOS電晶體的一閘極端以形成一第一共同閘極端;以及一反相器,包括一第二P型MOS電晶體及一第二N型MOS電晶體,其中該第二P型MOS電晶體的一閘極端耦接該第二N型MOS電晶體的一閘極端以形成一第二共同閘極端,及該第二P型MOS電晶體的一汲極端耦接該第二N型MOS電晶體的一汲極端以形成一共同汲極端,其中該第一共同閘極端耦接該共同汲極端以形成一第一鎖存節點,以及第二閘極端耦接該第一非揮發性記憶體單元的一輸出端以形成一第二鎖存節點,其中在該第一鎖存節點中鎖存的資料係相對應於鎖存在第二鎖存節點中鎖存的資料。
  3. 如申請專利範圍第2項所請求之晶片封裝結構,其中該第二鎖存節點耦接該第一多工器的該第二組輸入點的該輸人點,而鎖存在該第二鎖存節點的資料與該第一多工器的該第二組輸入點的該輸入資料相關聯。
  4. 如申請專利範圍第2項所請求之晶片封裝結構,其中該第一非揮發性記憶體單元包括一第一電阻式隨機存取記憶體(RRAM)單元及一第二電阻式隨機存取記憶體單元,其中該第一電阻式隨機存取記憶體的一第一端點耦接該第一P型MOS電晶體的該汲極端,而該第一電阻式隨機存取記憶體的一第二端點耦接該第二共同閘極端,該第二電阻式隨機存取記憶體單元的一第一端點耦接該第一N型MOS電晶體的該汲極端,而該第二電阻式隨機存取記憶體的一第二端點耦接該第二共同閘極端及該第一電阻式隨機存取記憶體單元的該第二端點。
  5. 如申請專利範圍第2項所請求之晶片封裝結構,其中該第一非揮發性記憶體單元包括一電阻式隨機存取記憶體(RRAM)單元及一電阻,其中該電阻式隨機存取記憶體單元一第一端點耦接該第一P型MOS電晶體的該汲極端及一第二端點耦接該第二共同閘極端,該電阻的一第一端點耦接該第一N型MOS電晶體的該汲極端及一第二端點耦接該第二共同閘極端及該電阻式隨機存取記憶體單元的該第二端點。
  6. 如申請專利範圍第1項所請求之晶片封裝結構,更包括一數位訊號處理(DSP)晶片位在該中介載板上方且與該第一半導體積體電路(IC)晶片位在同一水平面上,其中該數位訊號處理晶片耦接該中介載板。
  7. 如申請專利範圍第1項所請求之晶片封裝結構,更包括一中央處理器(CPU)晶片位在該中介載板上方且與該第一半導體積體電路(IC)晶片位在同一水平面上,其中該中央處理器晶片耦接該中介載板。
  8. 如申請專利範圍第1項所請求之晶片封裝結構,更包括一圖形處理器(GPU)晶片位在該中介載板上方且與該第一半導體積體電路(IC)晶片位在同一水平面上,其中該圖形處理器晶片耦接該中介載板。
  9. 如申請專利範圍第1項所請求之晶片封裝結構,其中該第一非揮發記憶體單元包括一浮空閘極N型MOS電晶體及一浮空閘極P型MOS電晶體,其中該浮空閘極N型MOS電晶體的一閘極端耦接該浮空閘極P型MOS電晶體的一閘極端,而該浮空閘極N型MOS電晶體的一汲極端耦接該浮空閘極P型MOS電晶體的一汲極端及其中之一個該第一鎖存電路,其中該浮空閘極N型MOS電晶體的該閘極端與該該浮空閘極P型MOS電晶體的該閘極端為浮空(floating)狀態。
  10. 如申請專利範圍第2項所請求之晶片封裝結構,其中該第一非揮發性記憶體單元包括一浮空閘極N型MOS電晶體及一浮空閘極P型MOS電晶體,其中該浮空閘極N型MOS電晶體的一閘極端耦接該浮空閘極P型MOS電晶體的一閘極端,其中該浮 空閘極N型MOS電晶體的該閘極端與該該浮空閘極P型MOS電晶體的該閘極端為浮空(floating)狀態,其中該浮空閘極P型MOS電晶體的一源極端耦接該浮空閘極P型MOS電晶體的該汲極端,而該浮空閘極P型MOS電晶體的一汲極端耦接該第二共同閘極端,其中該浮空閘極N型MOS電晶體包括一源極端耦接該浮空閘極N型MOS電晶體的該汲極端,而該浮空閘極N型MOS電晶體的一汲極端耦接該第二共同閘極端及該浮空閘極P型MOS電晶體的該汲極端。
  11. 如申請專利範圍第2項所請求之晶片封裝結構,其中該第一非揮發性記憶體單元包括一第一磁阻式隨機存取記憶體(MRAM)單元及一第二磁阻式隨機存取記憶體單元,其中該第一磁阻式隨機存取記憶體的一第一端點耦接該第一P型MOS電晶體的該汲極端,而該第一磁阻式隨機存取記憶體的一第二端點耦接該第二共同閘極端,該第二磁阻式隨機存取記憶體單元的一第一端點耦接該第一N型MOS電晶體的該汲極端,而該第二磁阻式隨機存取記憶體的一第二端點耦接該第二共同閘極端及該第一磁阻式隨機存取記憶體單元的該第二端點。
  12. 如申請專利範圍第2項所請求之晶片封裝結構,其中該第一非揮發性記憶體單元包括一磁阻式隨機存取記憶體(MRAM)單元及一電阻,其中該磁阻式隨機存取記憶體單元一第一端點耦接該第一P型MOS電晶體的該汲極端及一第二端點耦接該第二共同閘極端,該電阻的一第一端點耦接該第一N型MOS電晶體的該汲極端及一第二端點耦接該第二共同閘極端及該磁阻式隨機存取記憶體單元的該第二端點。
  13. 如申請專利範圍第1項所請求之晶片封裝結構,其中該第一非揮發性記憶體單元包括一磁阻式隨機存取記憶體(MRAM)單元耦接其中之一該第一鎖存電路,其中該磁阻式隨機存取記憶體單元包括一第一磁性層、一第二磁性層及一氧化物層位在該第一磁性層與該第二磁性層之間。
  14. 如申請專利範圍第13項所請求之晶片封裝結構,其中該氧化物層包括氧化鎂。
  15. 如申請專利範圍第13項所請求之晶片封裝結構,其中該第一磁性層包括鈷(Co)、鐵(Fe)及硼(B)。
  16. 如申請專利範圍第13項所請求之晶片封裝結構,其中該磁阻式隨機存取記憶體單元更包括一反鐵磁層(anti-ferromagnetic,AF),其中該第一磁性層位在該氧化物層與該反鐵磁層之間。
  17. 如申請專利範圍第1項所請求之晶片封裝結構,其中該第一非揮發性記憶體單元包括一電阻式隨機存取記憶體(RRAM)單元耦接其中之一該第一鎖存電路,其中該電阻式隨機存取記憶體(RRAM)單元包括二個電極及一電阻層位在二該電極之間。
  18. 如申請專利範圍第17項所請求之晶片封裝結構,其中該電阻層包括氧化鉿(hafnium oxide)。
  19. 如申請專利範圍第1項所請求之晶片封裝結構,其中該第一半導體積體電路(IC)晶片包括:一第二非揮發記憶體單元,用以儲存一第一編程碼;一第二鎖存電路,耦接該第二非揮發記憶體單元,其中該第二鎖存電路用以將來自於該第二非揮發記憶體單元中的該第一編程碼相關聯的資料鎖存;一可配置開關,包括一第二多工器耦接該第二鎖存電路、一第一可編程交互連接線、一第二可編程交互連接線及一第三可編程交互連接線耦接該第二多工器,其中該第二多工器用以依據在該第二鎖存電路中所鎖存的資料從該第一可編程交互連接線及該第二可編程交互連接線中選擇是否耦接該第三可編程交互連接線。
  20. 如申請專利範圍第19項所請求之晶片封裝結構,其中該第一半導體積體電路(IC)晶片更包括:一第三非揮發性記憶體單元,用以儲存一第二編程碼;以及一第三鎖存電路,耦接該第三非揮發性記憶體單元,其中該第三鎖存電路用以鎖存來自於該第 三非揮發性記憶體單元之該第二編程碼相關聯的資料;其中該可配置開關更包括:一開關緩衝器,耦接該第三鎖存電路,其中該開關緩衝器用以依據鎖存在該第三鎖存電路的資料控制該第二多工器與該第三可編程交互連接線之間的連接。
  21. 如申請專利範圍第1項所請求之晶片封裝結構,更包括多個第二金屬凸塊位在該中介載板與該第一半導體積體電路(IC)晶片之間及一底部填充材料位在該中介載板與該第一半導體積體電路(IC)晶片之間,其中該底部填充材料包覆該些第二金屬凸塊。
  22. 如申請專利範圍第1項所請求之晶片封裝結構,其中該絕緣介電層包括厚度大於或等於3微米的一聚合物層,且該第二交互連接線金屬層包括厚度介於2微米至10微米之間的一金屬線,其中該金屬線包括一銅層及一黏著層位在該銅層的底部但沒有位在該銅層的側壁上。
  23. 如申請專利範圍第1項所請求之晶片封裝結構,其中該絕緣介電層包括矽且厚度介於10奈米至2000奈米之間,該第一交互連接線金屬層包括厚度介於10奈米至2000奈米之間的一金屬線,其中該金屬線包括一銅層及一黏著層位在該銅層的底部及位在該銅層的側壁上。
  24. 如申請專利範圍第1項所請求之晶片封裝結構,其中該第一半導體積體電路(IC)晶片包括一現場可編程邏輯閘陣列(FPGA)積體電路晶片。
  25. 如申請專利範圍第1項所請求之晶片封裝結構,更包括一第二半導體積體電路(IC)晶片位在該中介載板的上方且與該第一半導體積體電路(IC)晶片位在相同的水平面上,其中該第二半導體積體電路(IC)晶片耦接該中介載板,其中該第一半導體積體電路(IC)晶片包括一輸入/輸出(I/O)電路經由該中介載板的該第一交互連接線金屬層及該第二交互連接線金屬層中的其中之一耦接該第二半導體積體電路(IC)晶片,其中該輸入/輸出(I/O)電路包括驅動能力介於0.1皮法(pF)與2皮法之間的一驅動器。
  26. 如申請專利範圍第1項所請求之晶片封裝結構,更包括一第二半導體積體電路(IC)晶片位在該中介載板的上方且與該第一半導體積體電路(IC)晶片位在相同的水平面上,其中該第二半導體積體電路(IC)晶片耦接該中介載板,其中該第一半導體積體電路(IC)晶片包括一輸入/輸出(I/O)電路經由該中介載板的該第一交互連接線金屬層及該第二交互連接線金屬層中的其中之一耦接該第二半導體積體電路(IC)晶片,其中該輸入/輸出(I/O)電路包括驅動能力介於0.1皮法(pF)與1皮法之間的一驅動器。
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