TWI739997B - 間隔裝置及間隔方法 - Google Patents

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Abstract

[課題] 提供可以確實地將黏接薄片之端部保持於間隔用保持手段之間隔裝置及間隔方法。 　　[解決手段] 具備：複數間隔用保持手段(20)，其係保持在黏接薄片(AS)之一方之表面(AS1)和另一方之表面(AS2)之至少一方，黏貼有複數被黏物(CP)或被分割而成為複數被黏物(CP)之一體物(WK)中之該黏接薄片(AS)之端部(AE1)；間隔手段(30)，其係使保持黏接薄片(AS)之端部(AE1)之間隔保持手段(20)做相對性移動，對黏接薄片(AS)賦予張力而擴大被黏物(CP)之彼此間隔，且具有收授手段(40)，其係保持一體物(WK)而將該一體物(WK)收授至複數間隔用保持手段(20)；收授手段(40)具備：複數收授用保持手段(41)，其係保持在一體物(WK)中之黏接薄片(AS)之另外端部(AE2)；張力賦予手段(42)，其係使保持黏接薄片(AS)之另外端部(AE2)之收授用保持手段(41)做相對性移動，對間隔用保持手段(20)保持的包含端部(AE1)之黏接薄片(AS)之外緣部賦予特定張力；及搬運手段(43)，其係搬運以收授用保持手段(41)保持的一體物(WK)。

Description

間隔裝置及間隔方法
本發明係關於間隔裝置及間隔方法。
以往，所知的有使被黏貼於黏接薄片之複數被黏物之彼此間隔擴大的間隔裝置(例如，參照專利文獻1)。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1] 日本特開2014-232843號公報
[發明所欲解決之課題]
但是，在專利文獻1所記載之以往的間隔裝置中，黏貼有晶圓W(被黏物)之切割膠帶S(黏接薄片)，因被黏貼於框件F般之框狀構件而進行朝拉伸手段26(間隔用保持手段)的收授，故當無如此之框狀構件時，產生黏接薄片之端部下垂，或動搖，而無法確實地將該黏接薄片之端部收授至間隔用保持手段這樣的不良情形。
本發明之目的係在於提供可以確實地將黏接薄片之端部保持於間隔用保持手段之間隔裝置及間隔方法。 [用以解決課題之手段]
本發明採用記載於請求項之構成。 [發明效果]
若藉由本發明時，因對間隔用保持手段保持的包含端部之黏接薄片之外緣部，賦予特定張力，將一體物收授至間隔用保持手段，故不會有黏接黏片之端部下垂，搖動之情形，可以確實地將該黏接薄片之端部保持於間隔用保持手段。
以下，根據圖面說明本發明之實施型態。 　　另外，本實施型態中之X軸、Y軸、Z軸分別具有正交之關係，X軸及Y軸設為特定平面內之軸，Z軸設為與上述特定平面正交之軸。並且，在本實施型態中，以從與Y軸平行之箭頭BD方向觀看之情況為基準，在無舉出成為基準之圖示而表示方向之情況下，「上」為Z軸之箭頭方向，「下」為其相反方向，「左」為X軸之箭頭方向，「右」為其相反方向，「前」為Y軸箭頭方向，「後」為其相反方向。
本發明之間隔裝置10具備：複數間隔用保持手段20，其係保持在黏接薄片AS之一方之表面AS1，黏貼有複數被黏物CP之一體物WK中之該黏接薄片AS之端部AE1；間隔手段30，其係使保持黏接薄片AS之端部AE1之間隔用保持手段20做相對性移動，對黏接薄片AS賦予張力而使被黏物CP之彼此間隔擴大；收授手段40，其係保持一體物WK而將該一體物WK收授至複數間隔用保持手段20；及檢測手段50，其係攝影機或投影機等的攝影手段，或者光學感測器或超音波感測器等之各種感測器。另外，本實施型態之一體物WK在俯視正方形之黏接薄片AS之中央部，被黏貼有複數被黏物CP。
間隔用保持手段20具備：下保持構件21，其係被支持於間隔手段30；作為驅動機器之旋轉馬達22，其係被支持於下保持構件21；及上保持構件23，其係被支持於其輸出軸22A。
間隔手段30具備：作為驅動機器的線性馬達31，和被支持於其滑件31A，在上面側支持下保持構件21之保持臂32。
收授手段40具備：複數收授用保持手段41，其係保持在一體物WK中之黏接薄片AS之另外端部AE2；張力賦予手段42，其係使保持黏接薄片AS之另外端部AE2之收授用保持手段41做相對性移動，對間隔用保持手段20保持的包含端部AE1之黏接薄片AS之外緣部賦予特定張力；及搬運手段43，其係搬運以收授用保持手段41保持的一體物WK。 　　收授用保持手段41具備藉由減壓泵或真空抽氣器等之無圖示的減壓手段能夠吸附保持的4台吸附墊41A，和支持各吸附墊41A之支持臂41B。 　　張力賦予手段42具備作為驅動機器之4台XY平台42A，其具備能夠在X軸方向及Y軸方向之兩軸方向移動的滑件42B，在各滑件42B分別支持有支持臂41B。 　　搬運手段43具備有：作為多關節機器人43A，其係藉由複數機械臂所構成；和底框43C，其係被支持在其作業部亦即前端機械臂43B，支持4台XY平台42A。另外，多關節機器人43A為能夠在其作業範圍內，以任何位置、任何角度使在前端機械臂43B支持之物移位的所謂6軸機器人等即可，例如可以例示揭示於日本特開2016-81974之多關節機器人111等。
說明以上之間隔裝置10之動作。 　　首先，對各構件在圖1(A)、(B)中以實線表示之初期位置待機的間隔裝置10，該間隔裝置10之使用者(以下，單稱為「使用者」)經由操作面板或個人電腦等之無圖示之操作手段而輸入自動運轉開始之訊號。如此一來，收授手段40驅動多關節機器人43A，使吸附墊41A抵接於被供給至無圖示之特定的一體物供給位置之一體物WK之黏接薄片AS之另外端部AE2之後，驅動無圖示之減壓手段，開始該黏接薄片AS之吸附保持。接著，收授手段40驅動多關節機器人43A，如圖1(B)中實線所示般，將以吸附墊41A所吸附保持之一體物WK搬運至各間隔用保持手段20之上方之後，驅動XY平台42A，以特定轉矩使吸附墊41A移動至黏接薄片AS之對角線方向，對間隔用保持手段20保持的包含端部AE1之黏接薄片AS之外緣部賦予特定張力。
此時，檢測手段50驅動攝影機等，進行被黏物CP之檢測，同時收授手段40驅動多關節機器人43A，根據該檢測手段50之檢測結果，邊進行被黏物CP之定位，邊如圖1(B)中以二點鏈線所示般，將對外緣部賦予特定張力之狀態的黏接薄片AS之端部AE1載置於下保持構件21上。收授手段40係以例如被黏物CP全體之中心位置不從該間隔裝置10之特定位置(例如，該間隔裝置10之中心位置)位置偏離之方式，或是被黏物CP全體之外輪廓邊或各被黏物CP之外輪廓邊分別與X軸和Y軸成為平行之方式，進行被黏物CP之定位。
之後，間隔用保持手段20驅動各旋轉馬達22，當以下保持構件21和上保持構件23保持黏接薄片AS之端部AE1時，收授手段40停止無圖示之減壓手段之驅動，解除黏接薄片AS之吸附保持之後，驅動多關節機器人43A，使吸附墊41A復位至初期位置。接著，間隔手段30驅動各線性馬達31，如圖1(C)所示般，使間隔用保持手段20彼此間隔開，對黏接薄片AS賦予張力而使被黏物CP之互相間隔擴大。此時。各被黏物CP係藉由黏接薄片AS之變形等，有彼此間隔不擴大成特定件間隔之情形。於是，根據檢測手段50之檢測結果，間隔手段30驅動各線性馬達31，以各被黏物CP之彼此間隔成為特定間隔之方式，使各間隔用保持手段20個別移動。
而且，藉由拾取裝置或搬運裝置等之無圖示之被黏物取出手段，所有的被黏物CP或特定量之被黏物CP從黏接薄片AS拆下時，間隔手段30驅動各線性馬達31，使各個滑件31A復位至初期位置之後，間隔用保持手段20驅動旋轉馬達22，使上保持構件23復位至初期位置。接著，作業員或無圖示之搬運手段去除殘留在下保持構件21上之黏接薄片AS，之後重複上述相同的動作。
若藉由上述般之間隔裝置10時，因對間隔用保持手段20保持的包含端部AE1之黏接薄片AS之外緣部，賦予特定張力，將一體物WK收授至間隔用保持手段20，故不會有黏接黏片AS之端部AE1下垂，搖動之情形，可以確實地使該黏接薄片AS之端部AE1保持於間隔用保持手段20。
在本發明中之手段及工程只要能發揮針對該些手段及工程所說明的動作、功能或工程，就不受任何限定，況且，不完全受限於在上述實施型態中表示的僅一實施型態的構成物或工程。例如，間隔用保持手段若係以複數或單數所構成，能夠保持在黏接薄片之一方之表面和另一方之表面之至少一方，黏貼複數被黏物或被分割而成為複數之被黏物的一體物中之該黏接薄片之端部者時，且對照申請時之技術常識，若為在其技術範圍內者，則不受任何限定(即使其他手段及工程亦同)。
本發眀之間隔裝置如圖2(A)所示般，即使設為具備有下述構件的間隔裝置10A亦可：間隔用保持手段20；抵接手段60，其係在較黏接薄片AS中黏貼有複數被黏物CP之被黏物黏接區域CE更外側，亦即在間隔用保持手段20保持的被保持區域HE之內側，抵接於該黏接薄片AS；和間隔手段30A，其係使保持黏接薄片AS之端部AE1之間隔用保持手段20及抵接手段60做相對性移動，對黏接薄片AS賦予張力而使被黏物CP之彼此間隔擴大；和收授手段40。 　　另外，在間隔裝置10A中，對和間隔裝置10相等的構成，且具有相同功能者，賦予與該間隔裝置10相同之號碼，省略其構成說明，簡化動作說明。
間隔手段30A具備被支持於底板BP上之作為驅動機器之直驅式馬達33，以其輸出軸33A支持下保持構件21。 　　抵接手段60具備被支持於抵板BP上之圓筒狀的抵接構件61。
如此之間隔裝置10A與間隔裝置10相同，收授手段40驅動多關節機器人43A、無圖示之減壓手段及XY平台42，如圖2(A)中二點鏈線所示般，邊對以吸附墊41A吸附保持的黏接薄片AS之外緣部賦予特定張力，邊將黏接薄片AS之端部AE1載置於下保持構件21上。之後，間隔用保持手段20驅動各旋轉馬達22，如圖2(B)所示般，以下保持構件21和上保持構件23保持黏接薄片AS之端部AE1之後，間隔手段30A驅動各直驅式馬達33，使間隔用保持手段20下降而使間隔用保持手段20及抵接手段60做相對性移動，對黏接薄片AS賦予張力而使被黏物CP之彼此間隔擴大。之後，當藉由無圖式之被黏物取出手段，被黏物CP從黏接薄片AS被拆下時，各手段驅動各個驅動機器，使各構件復位至初期位置之後，拆下殘留在下保持構件21上之黏接薄片AS，之後重複上述相同的動作。
即使藉由如此之間隔裝置10A，亦可以取得與間隔裝置10相同之效果。
間隔用保持手段20即使為保持在另一方之表面AS2，或一方之表面AS1及另一方之表面AS2之雙方之表面黏貼複數被黏物CP之黏接薄片AS之端部AE1的構成亦可，即使為以機械式夾頭或夾頭汽缸等之把持手段、庫倫力、接合劑、黏接劑、磁力、柏努力吸附、驅動機器等保持黏接薄片AS之端部AE1的構成亦可 　　在間隔裝置10之情況下，間隔用保持手段20即使以例如將朝右方移動之該間隔用保持手段20設為一台，將朝左方移動之該間隔用保持手段20設為一台的兩台來構成亦可，即使以例如將朝右方、左方及其他方向移動之三台以上來構成亦可。 　　間隔用保持手段20為間隔裝置10A之情況下，即使為一台亦可即使為兩台以上亦可。
間隔手段30、30A即使非複數而係單數亦可，在此情況下，例如間隔裝置10即使設為以一台線性馬達之兩個滑件，分別以一台支持間隔用保持手段20，擴大被黏物CP之彼此間隔的構成，且將被黏物CP之彼此間隔僅在一軸方向(例如，X軸方向或Y軸方向等)擴大的構成亦可。 　　間隔手段30即使為在三軸以上之方向擴大彼此間隔(例如，X軸方向、Y軸方向及其他軸方向)的構成亦可，例如即使設為使在X軸方向移動之複數間隔用保持手段20分別在Y軸方向移動之構成(使在Y軸方向移動之複數間隔用保持手段20分別在X軸方向移動的構成)，擴大被黏物CP之彼此間隔亦可，即使為無法作動成被黏物CP之彼此間隔成為特定間隔的構成亦可。 　　間隔手段30A即使藉由邊使間隔用保持手段20停止或移動，邊使抵接手段60移動，使間隔用保持手段20及抵接手段60做相對性移動，對黏接薄片AS賦予張力而擴大被黏物CP之彼此間隔亦可。 　　間隔手段30、30A即使作業員操作按鈕或操作桿等，驅動線性馬達31、直驅式馬達33亦可，在此情況下，例如，即使構成將藉由檢測手段50的檢測結果顯示於螢幕或檢測器等之顯示器，以藉由顯示於該顯示器之檢測結果使被黏物CP之彼此間隔成為特定間隔之方式， 或是各被黏物CP之全體性集合形狀相對於基底的全體性集合形狀成為相似關係之方式，作業員驅動線性馬達31、直驅式馬達33亦可。
收授手段40即使不進行被黏物CP之定位，對外緣部賦予特定張力之狀態之黏接薄片AS之端部AE1在載置於下保持構件21上亦可。 　　張力賦予手段42即使對黏接物AS之外緣部，僅在X軸方向、Y軸方向或其他方向賦予特定張力亦可，即使非特定轉矩，使吸附墊41A移動特定距離而對黏接薄片AS之外緣部賦予特定張力亦可，即使使吸附墊41A移動至偏離黏接薄片AS之對角方向之方向亦可，即使非複數而係單數亦可，在此情況下，例如，即使設為以一台線性馬達之兩個滑件，分別以一組支持收授用保持手段41，對黏接薄片AS之外緣部賦予特定張力之構成，且僅在單軸方向(例如，X軸方向或Y軸方向等)擴大被黏物CP之彼此間隔的構成亦可。 　　收授用保持手段41即使為以機械式夾頭或夾頭汽缸等之把持手段、庫倫力、接合劑、黏接劑、磁力、柏努力吸附、驅動機器等保持黏接薄片AS之其他端部AE2的構成亦可。 　　張力賦予手段42即使作業員操作按鈕或操作桿等，驅動XY平台42A亦可，在此情況下，即使例如構成在螢幕或檢測器等之顯示器顯示XY平台42A輸出之轉矩，且構成被顯示於該顯示器之轉矩值成為特定值，或是在顯示器顯示XY平台42A之滑件42B之移動量，且以被顯示於該顯示器之移動量成為特定移動量之方式，作業員使XY平台42A驅動亦可。 　　收授手段40對黏接薄片AS之外緣部賦予的特定張力，若為該黏接薄片AS之外緣部不鬆弛之程度以上的張力時，使用者可以任意決定其值。
檢測手段50即使為例如作業員之目視亦可，在此情況下，為了以作業員之目視，對黏接薄片AS之外緣部賦予特定張力，或進行被黏物CP之位置和該間隔裝置10之定位，或使成為以被黏物CP之彼此間隔成為特定間隔，或使各被黏物CP之全體性集合形狀相對於基底的全體性集合形狀成為相似關係，即使構成操作驅動按鈕或操作桿等，而驅動XY平台42A、線性馬達31、直驅式馬達33亦可，即使在本發明之間隔裝置10、10A中無具備亦可。
抵接手段60除了角筒狀或橢圓筒狀之外，即使採用圓柱、角柱、橢圓柱等之其他形狀之抵接構件61亦可。
間隔裝置10即使構成首先收授手段40驅動XY平台42A，對黏接薄片AS之外緣部僅在X軸方向賦予特定張力之後，間隔用保持手段20驅動旋轉馬達22，僅以在X軸方向排列之間隔用保持手段20保持黏接薄片AS之端部AE1，之後，同樣地，對黏接薄片AS之外緣部，僅在Y軸方向賦予特定張力之後，僅以在Y軸方向排列之間隔用保持手段20保持黏接薄片AS之端部AE1亦可(在此情況下，即使X和Y相反亦可)。 　　在黏接薄片AS藉由特定能量，其黏接力下降之情況下，即使在以無圖式之被黏物取出手段從黏接薄片AS拆下被黏物CP之前，藉由能夠賦予特定能量之能量賦予手段使黏接薄片AS之黏接力下降亦可。另外，如此之能量賦予手段即使為所謂的波長之電磁波(例如，X射線或紅外線等)，將被加熱或冷卻之氣體或液體等之流體等作為能量而賦予至黏接薄片AS者亦可，若為能夠因應黏接薄片AS之構成而賦予可以降低該黏接薄片AS之黏接力的能量者時任何皆可。
在本發明中之黏接薄片AS及被黏物CP之材質、種類、形狀等並不特別限定。例如，黏接薄片AS或被黏物CP即使為圓形、橢圓形、三角形或四角形等之多角形、其他形狀亦可，黏接薄片AS即使為壓敏黏接性、熱敏性黏接性等之黏接型態者亦可。再者，黏接薄片AS即使為例如僅有黏接劑層之單層者，在基材和黏接劑層之間具有中間層者，在基材之上面具有覆蓋層等之3層以上者，並且可以從黏接劑層剝離基材的所謂兩面黏接薄片者亦可，如此之兩面黏接薄片即使具有單層或複層之中間層者，或無中間層之單層或複層者亦可。再者，作為被黏物CP，即使為例如食品、樹脂容器、矽半導體晶圓或化合物半導體晶圓等之半導體晶圓、半導體晶片、電路基板、光碟等之資訊記錄基板、玻璃板、鋼板、陶器、木板或樹脂等之單體物亦可，即使為以兩個以上所形成之複合物亦可，可以將任意型態之構件或物品等設為對象。另外，黏接薄片AS即使換成功能性、用途性的說法，例如資訊記載用標籤、裝飾用標籤、保護薄片、切割膠帶、晶粒黏接薄膜、晶粒結合膠帶、記錄層形成樹脂薄片等之任意薄片、薄膜、膠帶等亦可。 　　被黏物CP即使事先在黏接薄片AS存在複數亦可，即使在以間隔手段30、30A、其他機構或人工等賦予外力之時點，分割成複數，成為被分割成在黏接薄片AS上存在複數者亦可。作為如此地被分割而成為複數的被黏物CP，有例如對半導體晶圓或基板等照射雷射，在該半導體晶圓或基板等形成線狀或格子狀等之脆弱的脆弱層，在時而對黏接薄片AS賦予張力，時而直接性或間接性地對半導體晶圓或基板等賦予外力之時點被個片化，成為複數被黏物CP者，或例如以切斷刀切入樹脂或玻璃板等，先在該樹脂或玻璃板等形成線狀或格子狀等之不會貫通表背的切槽或裁線點等之切斷預定線，在時而對黏接薄片AS賦予張力，時而直接性或間接性地對樹脂或玻璃板等賦予外力之時點，被個片化成為複數被黏物CP等，不受到任何限定者。
在上述實施型態中之驅動機器除了可以採用旋轉馬達、直驅式馬達、線性馬達、單軸機器人、多關節機器人等之電動機器、汽缸、油壓汽缸、無桿式汽缸及旋轉汽缸等之致動器等，亦可以可採用直接性或間接性地組合該些者。
10、10A‧‧‧間隔裝置20‧‧‧間隔用保持手段30、30A‧‧‧間隔手段40‧‧‧收授手段41‧‧‧收授用保持手段42‧‧‧張力賦予手段43‧‧‧搬運手段60‧‧‧抵接手段AE1‧‧‧端部AE2‧‧‧另外的端部AS‧‧‧黏接薄片AS1‧‧‧一方之表面AS2‧‧‧另一方之表面CE‧‧‧被黏物黏接區域CP‧‧‧被黏物HE‧‧‧保持區域WK‧‧‧一體物
圖1(A)為與本發明之實施型態有關之間隔裝置之俯視圖。(B)、(C)為(A)之側視圖，其動作說明圖。 　　圖2(A)、(B)為本發明之其他例之說明圖。
10‧‧‧間隔裝置
20‧‧‧間隔用保持手段
21‧‧‧下保持構件
22‧‧‧旋轉馬達
22A‧‧‧輸出軸
23‧‧‧上保持構件
30‧‧‧間隔手段
31‧‧‧線性馬達
31A‧‧‧滑件
32‧‧‧保持臂
40‧‧‧收授手段
41‧‧‧收授用保持手段
41A‧‧‧吸附墊
41B‧‧‧支持臂
42‧‧‧張力賦予手段
42A‧‧‧XY平台
42B‧‧‧滑件
43‧‧‧搬運手段
43A‧‧‧多關節機器人
43B‧‧‧前端機械臂
43C‧‧‧底框
50‧‧‧檢測手段
AS‧‧‧黏接薄片
AS1‧‧‧一方之表面
AS2‧‧‧另一方之表面
AE1‧‧‧端部
AE2‧‧‧另外的端部
CP‧‧‧被黏物
WK‧‧‧一體物

Claims (4)

  1. 一種間隔裝置，其特徵在於，具備：複數間隔用保持手段，其係保持在黏接薄片之一方之表面和另一方之表面之至少一方，黏貼有複數被黏物或被分割而成為複數被黏物之一體物中之該黏接薄片之端部；及間隔手段，其係使保持上述黏接薄片之端部之上述複數間隔用保持手段做相對性移動，對上述黏接薄片賦予張力而使上述被黏物之彼此間隔擴大，且具有收授手段，其係保持上述一體物而將該一體物收授至上述複數間隔用保持手段；上述收授手段具備：複數收授用保持手段，其係保持在上述一體物中之黏接薄片之另外端部；張力賦予手段，其係使保持上述黏接薄片之另外端部之上述收授用保持手段做相對性移動，對上述複數間隔用保持手段保持的包含端部之上述黏接薄片之外緣部賦予特定張力；及搬運手段，其係搬運以上述收授用保持手段保持的上述一體物。
  2. 一種間隔裝置，其特徵在於，具備：間隔用保持手段，其係保持在黏接薄片之一方之表面和另一方之表面之至少一方，黏貼有複數被黏物或被分割而成為複數被黏物之一體物中之該黏接薄片之端部；抵接手段，其係在較上述黏接薄片中黏貼有上述複數 被黏物之被黏物黏接區域更外側，亦即在上述間隔用保持手段保持的保持區域之內側，抵接於該黏接薄片；及間隔手段，其係使保持上述黏接薄片之端部之上述間隔用保持手段及上述抵接手段做相對性移動，對上述黏接薄片賦予張力而使上述被黏物之彼此間隔擴大，且具有收授手段，其係保持上述一體物而將該一體物收授至上述間隔用保持手段，上述收授手段具備：複數收授用保持手段，其係保持在上述一體物中之黏接薄片之另外端部；張力賦予手段，其係使保持上述黏接薄片之另外端部之上述收授用保持手段做相對性移動，對上述間隔用保持手段保持的包含端部之上述黏接薄片之外緣部賦予特定張力；及搬運手段，其係搬運以上述收授用保持手段保持的上述一體物。
  3. 一種間隔方法，其特徵在於，具備：間隔用保持工程，其係以複數間隔用保持手段，保持在黏接薄片之一方之表面和另一方之表面的至少一方，黏貼有複數被黏物或被分割而成為複數被黏物之一體物中之該黏接薄片之端部；及間隔工程，其係使保持上述黏接薄片之端部之上述複數間隔用保持手段做相對性移動，對上述黏接薄片賦予張力而使上述被黏物之彼此間隔擴大，且進一步具有收授工程，其係保持上述一體物而將該一體物收授至上述複數間隔保持手段， 上述收授工程具備：收授用保持工程，其係以複數收授用保持手段保持在上述一體物中之黏接薄片之另外端部；張力賦予工程，其係使保持上述黏接薄片之另外端部之上述收授用保持手段做相對性移動，對上述複數間隔用保持手段保持的包含端部之上述黏接薄片之外緣部賦予特定張力；及搬運工程，其係搬運以上述收授用保持手段保持的上述一體物。
  4. 一種間隔方法，其特徵在於，具備：間隔用保持工程，其係以間隔用保持手段，保持在黏接薄片之一方之表面和另一方之表面的至少一方，黏貼有複數被黏物或被分割而成為複數被黏物之一體物中之該黏接薄片之端部；及間隔工程，其係使在較上述黏接薄片中黏貼有上述複數被黏物之被黏物黏接區域更外側，亦即在上述間隔用保持手段保持的被保持區域之內側，抵接於該黏接薄片的抵接手段，和保持上述黏接薄片之端部的上述間隔保持手段做相對移動，對上述黏接薄片賦予張力而使上述被黏著物之彼此間隔擴大，且進一步具有收授工程，其係保持上述一體物而將該一體物收授至上述間隔用保持手段，上述收授工程具備：收授用保持工程，其係以複數收授用保持手段保持在上述一體物中之黏接薄片之另外端部；張力賦予工程，其係使保持上述黏接薄片之另外端部 之上述收授用保持手段做相對性移動，對上述間隔用保持手段保持的包含端部之上述黏接薄片之外緣部賦予特定張力；及搬運工程，其係搬運以上述收授用保持手段保持的上述一體物。
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