JP2014165195A

JP2014165195A - 支持装置および支持方法

Info

Publication number: JP2014165195A
Application number: JP2013032177A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Takano; 健高野
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2013-02-21
Filing date: 2013-02-21
Publication date: 2014-09-08

Abstract

【課題】載置手段の安定性を維持することができる支持装置を提供する。
【解決手段】支持装置５は、基台５０と、被支持物ＷＦを載置する載置面５６を有する載置手段５５と、基台５０と載置手段５５との間に設けられ、基台５０に対して載置手段５５を昇降させる昇降手段６とを備え、昇降手段６は、載置手段５５の中央部に位置する中央昇降手段６０と、載置手段５５の外縁部に位置する外縁昇降手段７０とを有し、中央昇降手段６０および外縁昇降手段７０は、載置手段５５に設けられた載置面５６に対して傾斜する第１、第３傾斜面６２、７２を有する第１部材６１、７１と、基台５０に設けられた第１、第３傾斜面６２、７２に沿って移動する第２部材６４、７４とを有し、第１部材６１、７１および第２部材６４、７４が第１、第３傾斜面６２、７２に沿って相対移動することで載置手段５５を昇降させる。
【選択図】図１

Description

本発明は、支持装置および支持方法に関する。

従来、半導体製造工程において、半導体ウェハ（以下、単に「ウェハ」という場合がある）に接着シートを貼付するシート貼付装置において、ウェハを昇降可能に支持する支持装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載の支持装置では、内側テーブル部（載置手段）側の下部に設けられた上テーパ部（第１部材）と、外側テーブル部（基台）側に設けられた下テーパ部（第２部材）とを備え、昇降装置用駆動手段を駆動させることで、第２部材が第１部材のテーパ部の傾斜に沿って相対移動し、載置手段を昇降させるようになっている。

特開２００８−６０３１８号公報

しかしながら、特許文献１に記載のような従来の支持装置では、第２部材が一方向に移動したとき、第１部材における他方向側に支えがなくなり、載置手段の安定性が欠け、例えば、被支持物に接着シートを貼付するような場合、支えがないことで、接着シートを押圧する押圧力が不足したり、押圧力がばらついたりするといた不都合がある。このような不都合は、特に第１、第２部材に対して載置手段が大きくなると顕著化する。

本発明の目的は、載置手段の安定性を維持することができる支持装置および支持方法を提供することにある。

前記目的を達成するために、本発明の支持装置は、基台と、被支持物を載置する載置面を有する載置手段と、前記基台と前記載置手段との間に設けられ、前記基台に対して前記載置手段を昇降させる昇降手段とを備え、前記昇降手段は、前記載置手段の中央部に位置する中央昇降手段と、前記載置手段の外縁部に位置する外縁昇降手段とを有し、前記中央昇降手段および前記外縁昇降手段の少なくとも一方は、前記基台および前記載置手段のうちの一方に設けられた前記載置面に対して傾斜する傾斜面を有する第１部材と、前記基台および前記載置手段のうちの他方に設けられた前記傾斜面に沿って移動する第２部材とを有し、前記第１部材および第２部材が前記傾斜面に沿って相対移動することで前記載置手段を昇降させる、という構成を採用している。

一方、本発明の支持方法は、基台と、被支持物を載置する載置面を有する載置手段と、前記基台と前記載置手段との間に設けられ、前記基台に対して前記載置手段を昇降させる昇降手段とを備え、前記昇降手段は、前記載置手段の中央部に位置する中央昇降手段と、前記載置手段の外縁部に位置する外縁昇降手段とを有し、前記中央昇降手段および前記外縁昇降手段の少なくとも一方は、前記基台および前記載置手段のうちの一方に設けられた前記載置面に対して傾斜する傾斜面を有する第１部材と、前記基台および前記載置手段のうちの他方に設けられた前記傾斜面に沿って移動する第２部材とを有する支持装置を用い、前記第１部材および第２部材を前記傾斜面に沿って相対移動させることで前記載置手段を昇降させる、という構成を採用している。

以上のような本発明によれば、中央昇降手段に第１部材と第２部材とを設けた場合、第２部材が傾斜面に対して一方向側に移動し、傾斜面の他方向側に支えがなくなったとしても、外縁昇降手段が載置手段の外縁側を支持するため、当該載置手段の安定性を維持することができる（効果１）。また、外縁昇降手段に第１部材と第２部材とを設けた場合、載置手段側から入力される荷重を傾斜面によって分散させ、載置手段の外縁を確実に支持することができ、当該載置手段の安定性を維持することができる（効果２）。さらに、中央昇降手段と外縁昇降手段との両方にそれぞれ第１部材と第２部材とを設けた場合、上記効果１と効果２との両方を奏することができる。

本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。シート貼付装置の平面図。（Ａ）〜（Ｄ）は、本発明の変形例に係る外縁昇降手段の側面図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、水平面内の軸とし、Ｚ軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。

図１、２において、シート貼付装置１は、被支持物としてのウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付する貼付手段２と、ウェハＷＦを支持する支持装置５と、スライダ９Ａで支持装置５を支持し、貼付手段２と支持装置５とを相対移動させる移動手段であって駆動機器としてのリニアモータ９とを備えている。

貼付手段２は、一方の面が接着面ＡＤとされた接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬ上に仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内する複数のガイドローラ２２と、剥離シートＲＬを折り返し当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板２３と、接着シートＡＳをウェハＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ２４と、駆動機器としての回動モータ２５によって駆動する駆動ローラ２６との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２７と、図示しない駆動機器によって駆動し、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２８とを備え、その全体がフレーム２９に支持されている。

支持装置５は、リニアモータ９のスライダ９Ａに支持された基台５０と、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段によってウェハＷＦを吸着保持する平面視すなわち上方から見た外形形状が矩形形状の載置面５６を有する載置手段としてのテーブル５５と、基台５０とテーブル５５との間に設けられ、基台５０に対してテーブル５５を昇降させる昇降手段６とを備えている。

昇降手段６は、テーブル５５の中央部に位置する中央昇降手段６０と、テーブル５５の外縁部である四隅にそれぞれ位置する４個の外縁昇降手段７０と、基台５０の上面に設けられ、テーブル５５の下面から突出したシャフト８１を摺動させてテーブル５５がＸＹ平面内で移動することを防止する４個のずれ防止手段としてのシャフトサポータ８２とを備えている。

中央昇降手段６０および外縁昇降手段７０は、テーブル５５側に設けられ載置面５６に対して傾斜する第１、第３傾斜面６２、７２を有する第１部材としての第１、第３くさび６１、７１と、基台５０側に設けられ第１、第３傾斜面６２、７２に面接触する第２、第４傾斜面６５、７５を有するとともに、第１、第３傾斜面６２、７２に沿って移動する第２部材としての第２、第４くさび６４、７４と、第２、第４くさび６４、７４を出力軸６８、７８で支持する駆動機器としての直動モータ６７、７７とを備えている。
第１、第３くさび６１、７１がテーブル５５の下面５７に固定され、第２、第４くさび６４、７４が直動モータ６７、７７の駆動によって基台５０の上面５１上を摺動することで、第１、第３くさび６１、７１および第２、第４くさび６４、７４がそれぞれ第１、第３傾斜面６２、７２に沿って相対移動し、テーブル５５を昇降させるようになっている。
第１くさび６１と第２くさび６４とは等しい形状とされ、第３くさび７１と第４くさび７４とは等しい形状とされ、第１〜第４くさび６１、６４、７１、７４は、全て側面視台形形状に形成されている。
なお、第１、第２くさび６１、６４における左右方向の距離ＷＤＡは、第３、第４くさび７１、７４における左右方向の距離ＷＤＢの２倍となっている。また、第１くさび６１におけるテーブル５５の下面５７に接する面と第１傾斜面６２とのなす角度および、第２くさび６４における基台５０の上面５１に接する面と第２傾斜面６５とのなす角度は等しく、角度ＡＮＡに設定されている。さらに、第３くさび７１におけるテーブル５５の下面５７に接する面と第３傾斜面７２とのなす角度および、第４くさび７４における基台５０の上面５１に接する面と第４傾斜面７５とのなす角度は等しく、角度ＡＮＡの２倍の角度ＡＮＢに設定されている。また、第１、第２傾斜面６２、６５の頂点６２Ｔ、６５Ｔ高さＨＴＡおよび、底点６２Ｂ、６５Ｂ高さＨＴａは、第３、第４傾斜面７２、７５の頂点７２Ｔ、７５Ｔ高さＨＴＢおよび底点７２Ｂ、７５Ｂ高さＨＴｂと等しくなっている。

以上のシート貼付装置１において、ウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、オペレータが原反ＲＳを図１に示すようにセットする。その後、図示しない操作パネル等を介して運転開始の信号が入力されると、ウェハＷＦの厚さ、接着シートＡＳの厚さ、ウェハＷＦに対する接着シートＡＳの押圧力などに応じて、支持装置５がテーブル５５を昇降させる。なお、このテーブル５５の昇降は、図示しない光学センサや撮像手段等の検知手段の検出結果を基に行ってもよいし、予めウェハＷＦの厚さ、接着シートＡＳの厚さ、ウェハＷＦに対する接着シートＡＳの押圧力が分かっているときは、その高さに対応するように行ってもよい。例えば、テーブル５５を上昇させる際には、中央昇降手段６０および外縁昇降手段７０が直動モータ６７、７７を駆動し、第２くさび６４を左方向に移動させるとともに、第４くさび７４をテーブル５５の外側に移動させる。逆に、テーブル５５を下降させる際には、第２くさび６４を右方向に移動させるとともに、第４くさび７４をテーブル５５の内側に移動させる。すると、テーブル５５は、シャフト８１とシャフトサポータ８２との摺動によって昇降する。このとき、中央昇降手段６０が第２くさび６４を第４くさび７４の移動速度の２倍の速度で等しい時間移動させることで、中央昇降手段６０によるテーブル５５の中央の昇降速度および昇降量と、外縁昇降手段７０によるテーブル５５の外縁部の昇降速度および昇降量とを等くし、載置面５６を水平な状態としたままテーブル５５を昇降させることができる。

次いで、貼付手段２が回動モータ２５および図示しない駆動機器を駆動して原反ＲＳを繰り出し、接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離板２３によって所定量剥離され、当該先端部が図示しない検知手段に検知されると、回動モータ２５および図示しない駆動機器の駆動を停止してスタンバイ状態となる。
そして、図示しない搬送手段がテーブル５５の載置面５６上にウェハＷＦを載置すると、支持装置５が図示しない吸引手段を駆動し、ウェハＷＦを吸着保持した後、移動手段がリニアモータ９を駆動し、テーブル５５を左方向に搬送する。そして、このテーブル５５の搬送に合わせ、貼付手段２が回動モータ２５および図示しない駆動機器を駆動して、テーブル５５の搬送に同期させて接着シートＡＳを繰り出し、押圧ローラ２４が接着シートＡＳをウェハＷＦに押圧して貼付する。
このとき、第１、第３傾斜面６２、７２と第２、第４傾斜面６５、７５とが面接触した状態でテーブル５５を所定の位置で維持できるため、テーブル５５の自重や押圧ローラ２４からの押圧力を面で受け止めることができ、大きな荷重に耐えることができる上、第１〜第４くさび６１、６４、７１、７４の経時的な精度低下を抑制することが可能となる。
なお、図１に示すように、第３傾斜面７２の頂点７２Ｔをテーブル５５の外縁（左右）下方に位置させ、テーブル５５が最も下がった状態でも当該頂点７２Ｔが第４傾斜面７５上から外れることがないように設定しておけば、テーブル５５の外縁は、第３、第４くさび７１、７４を介して常に基台５０で支持されるので、当該テーブル５５外縁位置の安定性を維持することができる。
その後、接着シートＡＳが貼付されたウェハＷＦは、図示しない搬送手段等によって次工程へ搬送され、テーブル５５が図１に示す位置に復帰し、以降上述と同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、中央昇降手段６０に第１くさび６１と第２くさび６４とを設けているので、第２くさび６４が第１傾斜面６２（第２傾斜面６５）に対して左方向側に移動し、第１くさび６１の右方向側に支えがなくなったとしても、外縁昇降手段７０がテーブル５５の右側の外縁側を支持しているため、当該テーブル５５の安定性を維持することができ、ウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付するような場合でも、支えがないことで接着シートＡＳを押圧する押圧力が不足したり、押圧力がばらついたりするといた不都合を防止することができる。また、外縁昇降手段７０に第３くさび７１と第４くさび７４とを設けているので、テーブル５５側から入力される荷重を第３、第４傾斜面７２、７５によって分散させ、すなわち、Ｚ軸方向の荷重をＸ軸方向に分散させ、テーブル５５の外縁を確実に支持することができ、当該テーブル５５の安定性を維持することができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

例えば、第２、第４くさび６４、７４を第１部材とし、第１、第３くさび６１、７１を第２部材として、第１、第３くさび６１、７１および第２、第４くさび６４、７４がそれぞれ第２、第４傾斜面６５、７５に沿って相対移動し、テーブル５５を昇降させるようにしてもよい。さらに、第２、第３くさび６４、７１を第１部材とし、第１、第４くさび６１、７４を第２部材として、第１、第４くさび６１、７４および第２、第３くさび６４、７１がそれぞれ第２、第３傾斜面６５、７２に沿って相対移動し、テーブル５５を昇降させるようにしてもよい。また、第１、第４くさび６１、７４を第１部材とし、第２、第３くさび６４、７１を第２部材として、第２、第３くさび６４、７１および第１、第４くさび６１、７４がそれぞれ第１、第４傾斜面６２、７５に沿って相対移動し、テーブル５５を昇降させるようにしてもよい。
さらに、図３（Ａ）に示すように、テーブル５５の下面５７において左右方向に延びる駆動機器としてリニアモータ７７Ａのスライダ７８Ａに固定された第３くさび７１と、第４傾斜面７５と第３くさび７１の第３傾斜面７２とが面接触するように基台５０の上面５１に固定された第４くさび７４とを備え、リニアモータ７７Ａを駆動し、第３くさび７１を移動させることでテーブル５５を昇降させる外縁昇降手段７０Ａを、外縁昇降手段７０の代わりに設けてもよい。この場合、リニアモータ７７Ａとスライダ７８Ａと第３くさび７１とで第１部材が構成される。
また、図３（Ｂ）に示すように、図１と同様にテーブル５５の下面５７に固定された第３くさび７１と、基台５０の上面５１において左右方向に延びる駆動機器としてリニアモータ７７Ｂと、リニアモータ７７Ｂのスライダ７８Ｂに固定されたブラケット７６Ｂに回転可能に支持されるとともに、第３くさび７１の第３傾斜面７２に略線接触する第２部材としてのローラ７４Ｂとを備え、リニアモータ７７Ｂを駆動し、ローラ７４Ｂを移動させることでテーブル５５を昇降させる外縁昇降手段７０Ｂを、外縁昇降手段７０の代わりに設けてもよい。なお、ローラ７４Ｂの代わりに、第３傾斜面７２に略点接触する第２部材としての球状体７９Ｂを設けてもよい。また、ローラ７４Ｂおよびブラケット７６Ｂの代わりに、突起部材を設けてもよい。
さらに、図３（Ｃ）に示すように、基台５０の上面５１に固定された駆動機器としての直動モータ７７Ｃの出力軸７８Ｃの先端をテーブル５５の下面５７に固定し、直動モータ７７Ｃを駆動することでテーブル５５を昇降させる外縁昇降手段７０Ｃを、外縁昇降手段７０の代わりに設けてもよい。
また、図３（Ｄ）に示すように、第３、第４傾斜面７２、７５が、図１中の第３、第４傾斜面７２、７５のそれぞれと反対側に傾斜するように、第３、第４くさび７１、７４を設けた外縁昇降手段７０Ｄを、外縁昇降手段７０の代わりに設けてもよい。

また、図１中符号ＡＡで示すように、テーブル５５に第３くさび７１を設けずに、テーブル５５の下面５７の一部を傾斜させることで第３傾斜面５８Ｅを形成してもよいし、図３（Ｂ）、（Ｄ）に示す構成においても、第３くさび７１を設けずに、テーブル５５の下面５７に第３傾斜面５８Ｅと同様の傾斜面を形成してもよい。また、図３（Ａ）に示す構成においても、第４くさび７４を設けずに、基台５０の上面５１の一部を傾斜させることで第４傾斜面を形成してもよい。このように、テーブル５５の下面５７の一部を第３傾斜面５８Ｅとしたり、基台５０の上面５１の一部を第４傾斜面としたりすることで、部品点数を少なくできる上、例えば、傾斜面が載置面５６に対して位置ずれすることを防止できる。
また、図３（Ａ）に示す構成において、第４くさび７４の代わりに図３（Ｂ）に示すようなローラ７４Ｂまたは球状体７９Ｂを支持するブラケット７６Ｂを基台５０の上面５１に固定してもよい。
さらに、図２中二点鎖線（右側不図示）で示すように、前後方向に並ぶそれぞれ２個の第４くさび７４および直動モータ７７の代わりに、テーブル５５の左辺または右辺に対応する長さの１個または２個の第４くさび７４Ｆを１個または２個の直動モータ７７が移動させる構成としてもよい。同様に、前後方向に並ぶそれぞれ２個の第３くさび７１の代わりに、テーブル５５の左辺または右辺に対応する長さの１個または２個の第３くさびとしてもよい。これと同様に、第１、第２くさび６１、６４もテーブル５５の左辺または右辺に対応する長さとしてもよい。

また、図１、図３（Ａ）、（Ｂ）、（Ｄ）に示す外縁昇降手段７０、７０Ａ、７０Ｂ、７０Ｄが、それぞれ第３傾斜面７２を用いてテーブル５５を昇降させる構成の場合、中央昇降手段６０を図３（Ｃ）に示すような駆動機器としての直動モータによって構成してもよい。さらに、図１に示す外縁昇降手段７０において、第４くさび７４を第１部材または第２部材とし、第３くさび７１を第１部材または第２部材として、第３傾斜面７２または第４傾斜面７５を用いてテーブル５５を昇降させる構成の場合、中央昇降手段６０を図３（Ｃ）に示すような駆動機器としての直動モータによって構成してもよい。
また、図１に示す中央昇降手段６０において、第１くさび６１を第１部材または第２部材とし、第２くさび６４を第１部材または第２部材として、第１傾斜面６２または第２傾斜面６５を用いてテーブル５５を昇降させる構成の場合、外縁昇降手段７０の代わりに図３（Ｃ）に示すような外縁昇降手段７０Ｃを設けてもよい。
さらに、中央昇降手段６０として、図３（Ａ）、（Ｂ）、（Ｄ）に示すような構成を適用してもよい。
また、外縁昇降手段７０、７０Ａ〜７０Ｄ、ずれ防止手段は、１〜３個、５個以上設けられてもよいし、テーブル５５の外縁部四隅に配置しなくてもよい。
さらに、距離ＷＤＡは、距離ＷＤＢの２倍でなくてもよいし、角度ＡＮＢは、角度ＡＮＡの２倍でなくてもよく、例えば０．５倍、３倍等であってもよい。このような倍率の場合、中央昇降手段６０が第２くさび６４を第４くさび７４の移動速度の０．５倍、３倍の速度で等しい時間移動させるとよい。また、角度ＡＮＡと角度ＡＮＢとが等しい場合には、１台の駆動機器としての直動モータが第２くさび６４と第４くさび７４との両方を移動させてもよい。なお、中央昇降手段６０および外縁昇降手段７０が直動モータ６７、７７を駆動するタイミングは、相互に同時でもよいし同時でなくてもよい。
さらに、リングフレームを載置する外側テーブルをテーブル５５を囲むように設け、リングフレームに対してウェハＷＦを昇降させるようにしてもよいし、リングフレームを載置する外側テーブルも本願と同様の構成で昇降する構成としてもよい。
また、載置面５６、基台５０の形状は、円形、楕円形、三角形、四角形などの多角形、その他の異形であってもよい。
さらに、第１くさび６１と第２くさび６４とは等しい形状としなくてもよいし、第３くさび７１と第４くさび７４とは等しい形状としなくてもよい。第１〜第４くさび６１、６４、７１、７４は、全て側面視台形形状でなくてもよく、例えば、側面視三角形形状等であってもよい。
また、ずれ防止手段は、図３（Ｃ）に示すような駆動機器としての直動モータで構成してもよいし、レールとこのレールに沿って移動するスライダからなるスライド機構等で構成してもよい。
さらに、テーブル５５を基台５０側に付勢し、当該テーブル５５の下降を補助する下降補助手段としての駆動機器や、ゴムやばね等の弾性部材等を設けてもよい。

また、本発明における接着シートＡＳおよび被支持物の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはなく、感熱接着性のものが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜な加熱手段を設ければよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被支持物としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等の半導体ウェハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被支持物に貼付することができる。
また、支持装置５は、シート貼付装置１以外に塗布装置、検査装置等の他の装置に採用してもよい。塗布装置や検査装置の場合、塗布する塗布手段から被塗布物までの距離や検査する検査手段から被検査物までの距離が安定しないと、正確な塗布や検査ができないが、支持装置５を塗布装置や検査装置に採用することで、被塗布物や被検査物を載置するテーブル５５の安定性を維持することができ、正確な塗布や検査を行うことができる。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

５…支持装置
６…昇降手段
５０…基台
５５…テーブル（載置手段）
５６…載置面
５８Ｅ、６２、６５、７２、７５…傾斜面
６０、７０Ａ、７０Ｂ、７０Ｃ、７０Ｄ…中央昇降手段
６１…第１くさび（第１部材）（第２部材）
６４…第２くさび（第１部材）（第２部材）
７０、７０Ａ、７０Ｂ、７０Ｃ、７０Ｄ…外縁昇降手段
７１…第３くさび（第１部材）（第２部材）
７４…第４くさび（第１部材）（第２部材）
７４Ｂ…ローラ（第２部材）
７９Ｂ…球状体（第２部材）
ＷＦ…ウェハ（被支持物）

Claims

基台と、
被支持物を載置する載置面を有する載置手段と、
前記基台と前記載置手段との間に設けられ、前記基台に対して前記載置手段を昇降させる昇降手段とを備え、
前記昇降手段は、前記載置手段の中央部に位置する中央昇降手段と、前記載置手段の外縁部に位置する外縁昇降手段とを有し、
前記中央昇降手段および前記外縁昇降手段の少なくとも一方は、前記基台および前記載置手段のうちの一方に設けられた前記載置面に対して傾斜する傾斜面を有する第１部材と、前記基台および前記載置手段のうちの他方に設けられた前記傾斜面に沿って移動する第２部材とを有し、前記第１部材および第２部材が前記傾斜面に沿って相対移動することで前記載置手段を昇降させることを特徴とする支持装置。
基台と、
被支持物を載置する載置面を有する載置手段と、
前記基台と前記載置手段との間に設けられ、前記基台に対して前記載置手段を昇降させる昇降手段とを備え、
前記昇降手段は、前記載置手段の中央部に位置する中央昇降手段と、前記載置手段の外縁部に位置する外縁昇降手段とを有し、
前記中央昇降手段および前記外縁昇降手段の少なくとも一方は、前記基台および前記載置手段のうちの一方に設けられた前記載置面に対して傾斜する傾斜面を有する第１部材と、前記基台および前記載置手段のうちの他方に設けられた前記傾斜面に沿って移動する第２部材とを有する支持装置を用い、
前記第１部材および第２部材を前記傾斜面に沿って相対移動させることで前記載置手段を昇降させることを特徴とする支持方法。