JPS63155637U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案を適用し得る縮小投影露光装
置の一例を示す概略構成図、第２図はこの考案の
一実施例を示す平面図、第３図は第２図の正面図
、第４図は第１図の―線断面図、第５図は第
２図の―線断面図、第６図は第４図の―
線断面図、第７図は第３図の―線断面図、第
８図は載置台の載置部を取り外した状態の平面図
、第９図は第７図の―線断面図である。 図中、１は基台、３は連結部材、４は案内筒、
６は摺動筒体、７は載置台、１０ａ〜１０ｄ，１
２ａ〜１２ｄはばね部、１５は載置部、１７は制
振材、１９ａ〜１９ｄは電磁石、２３ａ〜２３ｄ
は傾斜カム板、２９ａ〜２９ｄは回転ローラ、３
２はボールナツト、３３はステツピングモータ、
３５はボールねじ、３７ａ〜３７ｄは板ばね、４
１は近接スイツチである。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 基台に対して上下方向に移動可能な載置台
   を有する移動テーブル装置において、前記基台及
   び載置台間に可動自在に配設された可動体と、該
   可動体を可動させる可動機構と、前記可動体及び
   載置台の何れか一方に形成された当該可動体の可
   動方向に延長する傾斜カム面を有する複数のカム
   板及び他方に形成された当該カム板のカム面に係
   合するカムフオロワとを備えたことを特徴とする
   移動テーブル装置。 (2) 可動機構は複数の可動体に対して独立に可
   動制御するように構成されている実用新案登録請
   求の範囲第１項記載の移動テーブル装置。 (3) カムフオロワはカム板のカム面に転接する
   転動体を有する実用新案登録請求の範囲第１項記
   載の移動テーブル装置。 (4) 載置台は可動体に対向する板部と、該板部
   に弾性的に連結されて水平方向に微動可能な水平
   移動板部とを備えている実用新案登録請求の範囲
   第１項又は第２項記載の移動テーブル装置。 (5) 載置台の板部と水平移動板部との間に制振
   材が介挿されている実用新案登録請求の範囲第３
   項記載の移動テーブル装置。