JPS58196834U - Ｘｙｚステ−ジ - Google Patents

Ｘｙｚステ−ジ

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Publication number
JPS58196834U
JPS58196834U JP9306882U JP9306882U JPS58196834U JP S58196834 U JPS58196834 U JP S58196834U JP 9306882 U JP9306882 U JP 9306882U JP 9306882 U JP9306882 U JP 9306882U JP S58196834 U JPS58196834 U JP S58196834U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
xyz stage
stage
xyz
configuration
disposed
Prior art date
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Pending
Application number
JP9306882U
Other languages
English (en)
Inventor
石田　吉弘
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
Priority to JP9306882U priority Critical patent/JPS58196834U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の適用対象の１例を示す機械装置の構成
概念図、第２図は従来技術の１例を示す構成図、第３図
は本考案の１実施例を示す構成図である。 ６・・・・・・ステージベース、７・・・・・・Ｙスラ
イダ、ａ’・・・・・・Ｘスライダ、９・・・・・・Ｚ
スライダ、１１・・・・・・送りねじ、１２・こ・・・
・モータ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 斜面送り縮小微動機構のＺステージの上にＸＹステージ
    を配設した構成とすることを特徴とするｘｙｚステージ
    。
JP9306882U 1982-06-23 1982-06-23 Ｘｙｚステ−ジ Pending JPS58196834U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9306882U JPS58196834U (ja) 1982-06-23 1982-06-23 Ｘｙｚステ−ジ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9306882U JPS58196834U (ja) 1982-06-23 1982-06-23 Ｘｙｚステ−ジ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS58196834U true JPS58196834U (ja) 1983-12-27

Family

ID=30223655

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9306882U Pending JPS58196834U (ja) 1982-06-23 1982-06-23 Ｘｙｚステ−ジ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS58196834U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63155637U (ja) * 1987-03-31 1988-10-12
JPH01129105A (ja) * 1987-11-14 1989-05-22 Jeol Ltd 走査トンネル顕微鏡のスキャナ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63155637U (ja) * 1987-03-31 1988-10-12
JPH01129105A (ja) * 1987-11-14 1989-05-22 Jeol Ltd 走査トンネル顕微鏡のスキャナ

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