JPS581174U - プロ−ビング装置 - Google Patents
プロ−ビング装置Info
- Publication number
- JPS581174U JPS581174U JP9372881U JP9372881U JPS581174U JP S581174 U JPS581174 U JP S581174U JP 9372881 U JP9372881 U JP 9372881U JP 9372881 U JP9372881 U JP 9372881U JP S581174 U JPS581174 U JP S581174U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- fixed
- shaft
- probing device
- push
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は一般に使用されているプロービング装置の正面
図、第2図は市販されているプローブの断面図、第3図
は市販されているプローブをプローブホルダに取り付け
た時の断面図、第4図はリード間隔が広いLSIやSS
Iへのプロービング側面図、第5図はリード間隔が狭い
フラットパッケージタイプLSIへのプロービング側面
図、第6図は本考案装置の側面図、第7図はスプリング
を使用、しない本考案装置のプローブの外観図、第8図
はプッシュプルソレンイド(市販品)の電流−吸引力特
性図、第9図〜第11図は本考案装置におけるプロービ
ング状態を説明した側面図である。 1・・・・・・プロービング装置架台、2・・・・・・
プリント基板、3・・・・・・LS1.4・・・・・・
Xテーブル、5・・・・・・Yテーブル、6・・・・・
・プローブ駆動ユニット、7・・・・・・プローブコン
タクト、8・・・・・・プローブソケット、9・・・・
・・プローブカバー、10・・・・・・コイルスフリン
グ、11・・・・・・プローブ。
図、第2図は市販されているプローブの断面図、第3図
は市販されているプローブをプローブホルダに取り付け
た時の断面図、第4図はリード間隔が広いLSIやSS
Iへのプロービング側面図、第5図はリード間隔が狭い
フラットパッケージタイプLSIへのプロービング側面
図、第6図は本考案装置の側面図、第7図はスプリング
を使用、しない本考案装置のプローブの外観図、第8図
はプッシュプルソレンイド(市販品)の電流−吸引力特
性図、第9図〜第11図は本考案装置におけるプロービ
ング状態を説明した側面図である。 1・・・・・・プロービング装置架台、2・・・・・・
プリント基板、3・・・・・・LS1.4・・・・・・
Xテーブル、5・・・・・・Yテーブル、6・・・・・
・プローブ駆動ユニット、7・・・・・・プローブコン
タクト、8・・・・・・プローブソケット、9・・・・
・・プローブカバー、10・・・・・・コイルスフリン
グ、11・・・・・・プローブ。
Claims (1)
- XYテーブルのXテーブルに固定されたシリンダ等のア
クチュエータと、そのアクチュエータで上下動するプロ
ーブヘッドと、そのプローブヘッドを位置決めおよびス
ライドさせるためのガイドレールと、プローブヘッドに
固定されたプッシュプル形ソレノイドと、そのプッシュ
プル形ソレノイドのアマチャに固定されたシャフトと、
そのシャフトを位置決めおよびスライドさせるための軸
受と、シャフトの先端に固定されたプローブホルダと、
そのプローブホルダに取り付けられたプローブとを備え
ていることを特徴とするプロービング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9372881U JPS581174U (ja) | 1981-06-26 | 1981-06-26 | プロ−ビング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9372881U JPS581174U (ja) | 1981-06-26 | 1981-06-26 | プロ−ビング装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS581174U true JPS581174U (ja) | 1983-01-06 |
Family
ID=29888693
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9372881U Pending JPS581174U (ja) | 1981-06-26 | 1981-06-26 | プロ−ビング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS581174U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63304180A (ja) * | 1987-04-16 | 1988-12-12 | テラダイン・インコーポレーテッド | 印刷回路板テスト装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS504859A (ja) * | 1973-05-17 | 1975-01-18 |
-
1981
- 1981-06-26 JP JP9372881U patent/JPS581174U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS504859A (ja) * | 1973-05-17 | 1975-01-18 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63304180A (ja) * | 1987-04-16 | 1988-12-12 | テラダイン・インコーポレーテッド | 印刷回路板テスト装置 |
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