JPS581174U - プロ−ビング装置 - Google Patents

プロ−ビング装置

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Publication number
JPS581174U
JPS581174U JP9372881U JP9372881U JPS581174U JP S581174 U JPS581174 U JP S581174U JP 9372881 U JP9372881 U JP 9372881U JP 9372881 U JP9372881 U JP 9372881U JP S581174 U JPS581174 U JP S581174U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probe
fixed
shaft
probing device
push
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9372881U
Other languages
English (en)
Inventor
政幸 川原田
漆原 武
Original Assignee
株式会社日立製作所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
Priority to JP9372881U priority Critical patent/JPS581174U/ja
Publication of JPS581174U publication Critical patent/JPS581174U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は一般に使用されているプロービング装置の正面
図、第2図は市販されているプローブの断面図、第3図
は市販されているプローブをプローブホルダに取り付け
た時の断面図、第4図はリード間隔が広いLSIやSS
Iへのプロービング側面図、第5図はリード間隔が狭い
フラットパッケージタイプLSIへのプロービング側面
図、第6図は本考案装置の側面図、第7図はスプリング
を使用、しない本考案装置のプローブの外観図、第8図
はプッシュプルソレンイド(市販品)の電流−吸引力特
性図、第9図〜第11図は本考案装置におけるプロービ
ング状態を説明した側面図である。 1・・・・・・プロービング装置架台、2・・・・・・
プリント基板、3・・・・・・LS1.4・・・・・・
Xテーブル、5・・・・・・Yテーブル、6・・・・・
・プローブ駆動ユニット、7・・・・・・プローブコン
タクト、8・・・・・・プローブソケット、9・・・・
・・プローブカバー、10・・・・・・コイルスフリン
グ、11・・・・・・プローブ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. XYテーブルのXテーブルに固定されたシリンダ等のア
    クチュエータと、そのアクチュエータで上下動するプロ
    ーブヘッドと、そのプローブヘッドを位置決めおよびス
    ライドさせるためのガイドレールと、プローブヘッドに
    固定されたプッシュプル形ソレノイドと、そのプッシュ
    プル形ソレノイドのアマチャに固定されたシャフトと、
    そのシャフトを位置決めおよびスライドさせるための軸
    受と、シャフトの先端に固定されたプローブホルダと、
    そのプローブホルダに取り付けられたプローブとを備え
    ていることを特徴とするプロービング装置。
JP9372881U 1981-06-26 1981-06-26 プロ−ビング装置 Pending JPS581174U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9372881U JPS581174U (ja) 1981-06-26 1981-06-26 プロ−ビング装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9372881U JPS581174U (ja) 1981-06-26 1981-06-26 プロ−ビング装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS581174U true JPS581174U (ja) 1983-01-06

Family

ID=29888693

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9372881U Pending JPS581174U (ja) 1981-06-26 1981-06-26 プロ−ビング装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS581174U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63304180A (ja) * 1987-04-16 1988-12-12 テラダイン・インコーポレーテッド 印刷回路板テスト装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS504859A (ja) * 1973-05-17 1975-01-18

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS504859A (ja) * 1973-05-17 1975-01-18

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63304180A (ja) * 1987-04-16 1988-12-12 テラダイン・インコーポレーテッド 印刷回路板テスト装置

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