JPS6130897U - Ｘ−ｙステ−ジ機構 - Google Patents

Ｘ−ｙステ−ジ機構

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Publication number
JPS6130897U
JPS6130897U JP11449284U JP11449284U JPS6130897U JP S6130897 U JPS6130897 U JP S6130897U JP 11449284 U JP11449284 U JP 11449284U JP 11449284 U JP11449284 U JP 11449284U JP S6130897 U JPS6130897 U JP S6130897U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
guide
stage mechanism
stage
groove
slidably fitted
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11449284U
Other languages
English (en)
Inventor
良 高橋
Original Assignee
横河メディカルシステム株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 横河メディカルシステム株式会社 filed Critical 横河メディカルシステム株式会社
Priority to JP11449284U priority Critical patent/JPS6130897U/ja
Publication of JPS6130897U publication Critical patent/JPS6130897U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す構成因、第２図及び第
３図は本考案で用いるガイド桟構の他の具体例を示す構
成図、第４図は従来のＸ − Ｙ．ステージ機構の一例
を示す構成図である。 ２・・・ベース、３・・・ステーシ、４・・・ガイド機
構、２１．３１・・・溝部、４１．４２・・・ガイド部
材、４３，４４・・・サラネジ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 互いに直交するように重ね合わせて一体化された少なく
    とも１対のガイド部材よりなるガイト機構と、該ガイド
    機構の一方の面のガイド部材が摺動自在聖嵌合する溝部
    が形成されたベースと、前記ガイド機構の他方の面のガ
    イド部材が摺動自在に嵌合する溝部が形成されたステー
    ジとて構成されたことを特徴とするＸ−Ｙステージ機構
    。
JP11449284U 1984-07-27 1984-07-27 Ｘ−ｙステ−ジ機構 Pending JPS6130897U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11449284U JPS6130897U (ja) 1984-07-27 1984-07-27 Ｘ−ｙステ−ジ機構

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11449284U JPS6130897U (ja) 1984-07-27 1984-07-27 Ｘ−ｙステ−ジ機構

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6130897U true JPS6130897U (ja) 1986-02-24

Family

ID=30673509

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11449284U Pending JPS6130897U (ja) 1984-07-27 1984-07-27 Ｘ−ｙステ−ジ機構

Country Status (1)

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JP (1) JPS6130897U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0259007U (ja) * 1988-10-25 1990-04-27
JPH02118491A (ja) * 1988-10-28 1990-05-02 Canon Inc 静圧気体軸受ｘｙステージ

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52104247A (en) * 1976-02-27 1977-09-01 Nippon Chemical Ind Cross motion stage

Patent Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JPH0259007U (ja) * 1988-10-25 1990-04-27
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