JP2014165196A - 支持装置および支持方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】部品点数の増加や装置の大型化を招来することなく載置手段の安定性を維持することができる支持装置を提供する。
【解決手段】支持装置5は、被支持物WFを載置する載置面60を有する載置手段6と、載置手段6を支える支え手段7と、載置手段6と支え手段7とを相対回転させる回動手段8とを備え、載置手段6および支え手段7のうち一方に載置面60に対して傾斜する傾斜面64を有する第1部材62が設けられ、載置手段6および支え手段7のうち他方に傾斜面64に沿って移動する第2部材72が設けられ、載置手段6および支え手段7は、回動手段8によって相対回転されることで第1部材62および第2部材72が傾斜面64に沿って相対移動し、相互に離間接近可能に設けられている。
【選択図】図1
【解決手段】支持装置5は、被支持物WFを載置する載置面60を有する載置手段6と、載置手段6を支える支え手段7と、載置手段6と支え手段7とを相対回転させる回動手段8とを備え、載置手段6および支え手段7のうち一方に載置面60に対して傾斜する傾斜面64を有する第1部材62が設けられ、載置手段6および支え手段7のうち他方に傾斜面64に沿って移動する第2部材72が設けられ、載置手段6および支え手段7は、回動手段8によって相対回転されることで第1部材62および第2部材72が傾斜面64に沿って相対移動し、相互に離間接近可能に設けられている。
【選択図】図1
Description
本発明は、支持装置および支持方法に関する。
従来、半導体製造工程において、半導体ウェハ(以下、単に「ウェハ」という場合がある)に接着シートを貼付するシート貼付装置において、ウェハを昇降可能に支持する支持装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1に記載の支持装置では、内側テーブル部(載置手段)側の下部に設けられた上テーパ部(第1部材)と、外側テーブル部(支え手段)側に設けられた下テーパ部(第2部材)とを備え、昇降装置用駆動手段を駆動させることで、第2部材が第1部材のテーパ部の傾斜に沿って相対移動し、載置手段を昇降させるようになっている。
特許文献1に記載の支持装置では、内側テーブル部(載置手段)側の下部に設けられた上テーパ部(第1部材)と、外側テーブル部(支え手段)側に設けられた下テーパ部(第2部材)とを備え、昇降装置用駆動手段を駆動させることで、第2部材が第1部材のテーパ部の傾斜に沿って相対移動し、載置手段を昇降させるようになっている。
しかしながら、特許文献1に記載のような従来の支持装置では、昇降装置用駆動手段のモータの回転動作を一旦ウェハ載置面と平行な方向に第2部材を移動させる直線動作に変換した後、ウェハ載置面に直交する方向の動作に変換するため、部品点数が多くなったり、装置が大型化したりするという不都合がある。
本発明の目的は、部品点数の増加や装置の大型化を招来することなく載置手段の安定性を維持することができる支持装置および支持方法を提供することにある。
前記目的を達成するために、本発明の支持装置は、被支持物を載置する載置面を有する載置手段と、前記載置手段を支える支え手段と、前記載置手段と前記支え手段とを相対回転させる回動手段とを備え、前記載置手段および前記支え手段のうち一方に前記載置面に対して傾斜した傾斜面を有する第1部材が設けられ、前記載置手段および前記支え手段のうち他方に前記傾斜面に沿って相対移動する第2部材が設けられ、前記載置手段および前記支え手段は、前記回動手段によって相対回転されることで前記第1部材および前記第2部材が前記傾斜面に沿って相対移動し、相互に離間接近可能に設けられている、という構成を採用している。
一方、本発明の支持方法は、被支持物を載置する載置面を有する載置手段と、前記載置手段を支える支え手段とを備え、前記載置手段および前記支え手段のうち一方に前記載置面に対して傾斜した傾斜面を有する第1部材が設けられ、前記載置手段および前記支え手段のうち他方に前記傾斜面に沿って相対移動する第2部材が設けられた支持装置を用い、前記載置手段および前記支え手段を相対回転させることで前記第1部材および前記第2部材を前記傾斜面に沿って相対移動させ、相互に離間接近させる、という構成を採用している。
以上のような本発明によれば、回動手段による回転動作を直接載置面に直交する方向の動作(載置手段および支え手段を相互に離間接近させる方向の動作)に変換することができ、部品点数の増加や装置の大型化を招来することなく載置手段の安定性を維持することができる。
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、水平面内の軸とし、Z軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、水平面内の軸とし、Z軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
図1、2において、シート貼付装置1は、被支持物としてのウェハWFに接着シートASを貼付する貼付手段2と、ウェハWFを支持する支持装置5と、スライダ9Aで支持装置5を支持し、貼付手段2と支持装置5とを相対移動させる移動手段であって駆動機器としてのリニアモータ9とを備えている。
貼付手段2は、一方の面が接着面ADとされた接着シートASが帯状の剥離シートRL上に仮着された原反RSを支持する支持ローラ21と、原反RSを案内する複数のガイドローラ22と、剥離シートRLを折り返し当該剥離シートRLから接着シートASを剥離する剥離手段としての剥離板23と、接着シートASをウェハWFに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ24と、駆動機器としての回動モータ25によって駆動する駆動ローラ26との間に剥離シートRLを挟み込むピンチローラ27と、図示しない駆動機器によって駆動し、剥離シートRLを回収する回収ローラ28とを備え、その全体がフレーム29に支持されている。
支持装置5は、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段によってウェハWFを吸着保持する平面視すなわち上方から見た外形形状が円形形状の載置面60を有する載置手段としてのテーブル6と、テーブル6を支える支え手段としてのテーブル台7と、テーブル6とテーブル台7とを相対回転させる回動手段8とを備え、リニアモータ9のスライダ9Aに支持された基台50の基台上面51上に配置されている。
テーブル6は、その下面61の外縁部に下方に突出したリブ部62を備え、当該リブ部62の下面側には、載置面60に対して角度α1傾斜した傾斜面64を有する3個所の第1部材としての上傾斜部63が設けられ、それぞれの傾斜面64は、載置面60に対して略直交する上当接面65によって連続的に繋がり、当該テーブル6の周方向に並んでいる。
テーブル台7は、その上面71の外縁部に上方に突出したリブ部72を備え、当該リブ部72の上面側には、基台上面51に対して角度α1傾斜した傾斜面74を有する3個所の第2部材としての下傾斜部73が設けられ、それぞれの傾斜面74は、基台上面51に対して略直交する下当接面75によって連続的に繋がり、当該テーブル台7の周方向に並んでいる。このような構成により、テーブル台7の傾斜面74上にテーブル6の傾斜面64が接触するように載置することで、基台上面51と載置面60とが平行に配置されるようになっている。
回動手段8は、テーブル台7の上面71の中央に配置された駆動機器としての回動モータ80の出力軸80A(図1中AAで示す拡大図参照)に支持されるとともに、上方に突出した凸部82を中央に有する下係合部材81と、テーブル6の下面61の中央に配置されるとともに、上方に凹み凸部82が摺動可能な凹部86を中央に有する上係合部材85とを備えている。
以上のシート貼付装置1において、ウェハWFに接着シートASを貼付する手順を説明する。
先ず、オペレータが原反RSを図1に示すようにセットする。その後、図示しない操作パネル等を介して運転開始の信号が入力されると、ウェハWFの厚さ、接着シートASの厚さ、ウェハWFに対する接着シートASの押圧力などに応じて、支持装置5がテーブル6を昇降させる。なお、このテーブル55の昇降は、図示しない光学センサや撮像手段等の検知手段の検出結果を基に行ってもよいし、予めウェハWFの厚さ、接着シートASの厚さ、ウェハWFに対する接着シートASの押圧力が分かっているときは、その高さに対応するように行ってもよい。例えば、テーブル6を上昇させる際には、回動手段8が回動モータ80を駆動し、下係合部材81を図2中矢印DR1で示すように、平面視で反時計回転方向に回転させる。これにより、凸部82の側面で凹部86の側面を押圧してテーブル6が反時計回り方向に回転され、上傾斜部63および下傾斜部73が傾斜面64に沿って相対移動することでテーブル6が上昇する。このテーブル6の上昇とともに、凹部86は凸部82に摺動して上昇する。逆に、テーブル6を下降させる際には、回動手段8が回動モータ80を駆動し、下係合部材81を図2中矢印DR2で示すように、平面視で時計回転方向に回転させる。これにより、上述と同様にしてテーブル6が下降する。
先ず、オペレータが原反RSを図1に示すようにセットする。その後、図示しない操作パネル等を介して運転開始の信号が入力されると、ウェハWFの厚さ、接着シートASの厚さ、ウェハWFに対する接着シートASの押圧力などに応じて、支持装置5がテーブル6を昇降させる。なお、このテーブル55の昇降は、図示しない光学センサや撮像手段等の検知手段の検出結果を基に行ってもよいし、予めウェハWFの厚さ、接着シートASの厚さ、ウェハWFに対する接着シートASの押圧力が分かっているときは、その高さに対応するように行ってもよい。例えば、テーブル6を上昇させる際には、回動手段8が回動モータ80を駆動し、下係合部材81を図2中矢印DR1で示すように、平面視で反時計回転方向に回転させる。これにより、凸部82の側面で凹部86の側面を押圧してテーブル6が反時計回り方向に回転され、上傾斜部63および下傾斜部73が傾斜面64に沿って相対移動することでテーブル6が上昇する。このテーブル6の上昇とともに、凹部86は凸部82に摺動して上昇する。逆に、テーブル6を下降させる際には、回動手段8が回動モータ80を駆動し、下係合部材81を図2中矢印DR2で示すように、平面視で時計回転方向に回転させる。これにより、上述と同様にしてテーブル6が下降する。
次いで、貼付手段2が回動モータ25および図示しない駆動機器を駆動して原反RSを繰り出し、接着シートASの繰出方向先端部が剥離板23によって所定量剥離され、当該先端部が図示しない検知手段に検知されると、回動モータ25および図示しない駆動機器の駆動を停止してスタンバイ状態となる。
そして、図示しない搬送手段がテーブル6の載置面60上にウェハWFを載置すると、支持装置5が図示しない吸引手段を駆動し、ウェハWFを吸着保持した後、移動手段がリニアモータ9を駆動し、テーブル6を左方向に搬送する。そして、このテーブル6の搬送に合わせ、貼付手段2が回動モータ25および図示しない駆動機器を駆動して、テーブル6の搬送に同期させて接着シートASを繰り出し、押圧ローラ24が接着シートASをウェハWFに押圧して貼付する。
このとき、上傾斜部63の傾斜面64と下傾斜部73の傾斜面74とが面接触した状態でテーブル6を所定の位置で維持できるため、テーブル6の自重や押圧ローラ24からの押圧力を面で受け止めることができ、大きな荷重に耐えることができる上、テーブル6およびテーブル台7の経時的な精度低下を抑制することが可能となる。
その後、接着シートASが貼付されたウェハWFは、図示しない搬送手段等によって次工程へ搬送され、テーブル6が図1に示す位置に復帰し、以降上述と同様の動作が繰り返される。
そして、図示しない搬送手段がテーブル6の載置面60上にウェハWFを載置すると、支持装置5が図示しない吸引手段を駆動し、ウェハWFを吸着保持した後、移動手段がリニアモータ9を駆動し、テーブル6を左方向に搬送する。そして、このテーブル6の搬送に合わせ、貼付手段2が回動モータ25および図示しない駆動機器を駆動して、テーブル6の搬送に同期させて接着シートASを繰り出し、押圧ローラ24が接着シートASをウェハWFに押圧して貼付する。
このとき、上傾斜部63の傾斜面64と下傾斜部73の傾斜面74とが面接触した状態でテーブル6を所定の位置で維持できるため、テーブル6の自重や押圧ローラ24からの押圧力を面で受け止めることができ、大きな荷重に耐えることができる上、テーブル6およびテーブル台7の経時的な精度低下を抑制することが可能となる。
その後、接着シートASが貼付されたウェハWFは、図示しない搬送手段等によって次工程へ搬送され、テーブル6が図1に示す位置に復帰し、以降上述と同様の動作が繰り返される。
以上のような実施形態によれば、回動手段8による回転動作を直接載置面60に直交する方向の動作に変換することができ、部品点数の増加や装置の大型化を招来することなくテーブル6の安定性を維持することができる。
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
例えば、下傾斜部73を第1部材とし、上傾斜部63を第2部材として、上傾斜部63および下傾斜部73を傾斜面74に沿って相対移動させることでテーブル6を昇降させてもよい。
さらに、図3(A)に示すように、上面71に固定されたブラケット73Aに回転可能に支持されるとともに、テーブル6の各傾斜面64の傾斜方向の下端側および上端側にそれぞれ略線接触する第2部材としてのローラ72Aを備えたテーブル台7Aを、テーブル台7の代わりに設け、第1部材としての上傾斜部63およびローラ72Aが傾斜面64に沿って相対移動することでテーブル6が昇降するように構成してもよい。この場合も、各ローラ72A上にテーブル6の傾斜面64が接触するように載置することで、基台上面51と載置面60とが平行に配置されるようになっている。なお、テーブルの下面61にブラケット73Aおよび第2部材としてのローラ72Aと同様の第2部材を備えたテーブルをテーブル6の代わりに設け、第1部材としての下傾斜部73を有するテーブル台7と組み合わせてもよい。なお、図3(A)に示すように、一対のローラ72Aに高低差を持たせたことで、これら一対のローラ72Aの外縁に接する仮想平面を傾斜面とし、これら一対のローラ72Aが第1部材となり、上傾斜部63が第2部材となり得る。また、ローラ72Aの代わりに、傾斜面64(74)に略点接触する第2部材としての球状体を設けてもよい。さらに、ローラ72Aおよびブラケット73Aの代わりに、突起部材を設けてもよい。
また、図3(B)に示すように、上傾斜部63の各傾斜面64にレール67Bを配置したテーブル6Bをテーブル6の代わりに設け、下傾斜部73の各傾斜面74にレール67B上をスライドするスライダ77Bを配置したテーブル台7Bをテーブル台7の代わりに設け、スライダ77Bをレール67Bに沿って移動させることでテーブル6Bを昇降させてもよい。この場合、上傾斜部63とレール67Bとで第1部材が構成され、下傾斜部73とスライダ77Bとで第2部材が構成される。なお、上傾斜部63の各傾斜面64に駆動機器としてのリニアモータ8Bを設けて第1部材とし、下傾斜部73の各傾斜面74にリニアモータ8Bのスライダ81Bを設けて第2部材としてもよく、この場合、リニアモータ8Bが回動手段となり、上記実施形態で示した回動手段8を省略できる。また、レール67Bを下傾斜部73に設けて第1部材とし、スライダ77Bを上傾斜部63に設けて第2部材としたり、リニアモータ8Bを下傾斜部73に設けて第1部材とし、スライダ81Bを上傾斜部63に設けて第2部材としたりしてもよい。
さらに、図3(C)に示すように、上傾斜部63および下傾斜部73をそれぞれ1個ずつ設けたテーブル6Cおよびテーブル台7Cとしてもよく、上傾斜部63および下傾斜部73の数は、2でもよいし、4以上でもよい。
また、傾斜面64のXY平面内の厚みは、テーブル6の外縁から上係合部材85に接する位置までの間で任意に設定することができるし、上係合部材85がない場合は、テーブル6の下面中央で接していてもよい。
さらに、傾斜面74のXY平面内の厚みは、テーブル台7の外縁から回動モータ80または下係合部材81に接する位置までの間で任意に設定することができるし、回動モータ80や下係合部材81がない場合は、テーブル台7の下面中央で接していてもよい。
また、リブ部62およびリブ部72は、テーブル6およびテーブル台7の外縁に接していなくてもよいし、テーブル6やテーブル台7の周方向に並んで不連続であってもよいし、テーブル6やテーブル台7の周方向に並んでいなくてもよい。
さらに、上記実施形態では、テーブル6が上係合部材85の凹部86の延出方向にずれる可能性があるので、例えば、テーブル6の外縁が摺動可能な筒状部材やシャフト部材等のずれ防止手段を基台上面51上やテーブル台7の側面に設けてもよい。
さらに、図3(A)に示すように、上面71に固定されたブラケット73Aに回転可能に支持されるとともに、テーブル6の各傾斜面64の傾斜方向の下端側および上端側にそれぞれ略線接触する第2部材としてのローラ72Aを備えたテーブル台7Aを、テーブル台7の代わりに設け、第1部材としての上傾斜部63およびローラ72Aが傾斜面64に沿って相対移動することでテーブル6が昇降するように構成してもよい。この場合も、各ローラ72A上にテーブル6の傾斜面64が接触するように載置することで、基台上面51と載置面60とが平行に配置されるようになっている。なお、テーブルの下面61にブラケット73Aおよび第2部材としてのローラ72Aと同様の第2部材を備えたテーブルをテーブル6の代わりに設け、第1部材としての下傾斜部73を有するテーブル台7と組み合わせてもよい。なお、図3(A)に示すように、一対のローラ72Aに高低差を持たせたことで、これら一対のローラ72Aの外縁に接する仮想平面を傾斜面とし、これら一対のローラ72Aが第1部材となり、上傾斜部63が第2部材となり得る。また、ローラ72Aの代わりに、傾斜面64(74)に略点接触する第2部材としての球状体を設けてもよい。さらに、ローラ72Aおよびブラケット73Aの代わりに、突起部材を設けてもよい。
また、図3(B)に示すように、上傾斜部63の各傾斜面64にレール67Bを配置したテーブル6Bをテーブル6の代わりに設け、下傾斜部73の各傾斜面74にレール67B上をスライドするスライダ77Bを配置したテーブル台7Bをテーブル台7の代わりに設け、スライダ77Bをレール67Bに沿って移動させることでテーブル6Bを昇降させてもよい。この場合、上傾斜部63とレール67Bとで第1部材が構成され、下傾斜部73とスライダ77Bとで第2部材が構成される。なお、上傾斜部63の各傾斜面64に駆動機器としてのリニアモータ8Bを設けて第1部材とし、下傾斜部73の各傾斜面74にリニアモータ8Bのスライダ81Bを設けて第2部材としてもよく、この場合、リニアモータ8Bが回動手段となり、上記実施形態で示した回動手段8を省略できる。また、レール67Bを下傾斜部73に設けて第1部材とし、スライダ77Bを上傾斜部63に設けて第2部材としたり、リニアモータ8Bを下傾斜部73に設けて第1部材とし、スライダ81Bを上傾斜部63に設けて第2部材としたりしてもよい。
さらに、図3(C)に示すように、上傾斜部63および下傾斜部73をそれぞれ1個ずつ設けたテーブル6Cおよびテーブル台7Cとしてもよく、上傾斜部63および下傾斜部73の数は、2でもよいし、4以上でもよい。
また、傾斜面64のXY平面内の厚みは、テーブル6の外縁から上係合部材85に接する位置までの間で任意に設定することができるし、上係合部材85がない場合は、テーブル6の下面中央で接していてもよい。
さらに、傾斜面74のXY平面内の厚みは、テーブル台7の外縁から回動モータ80または下係合部材81に接する位置までの間で任意に設定することができるし、回動モータ80や下係合部材81がない場合は、テーブル台7の下面中央で接していてもよい。
また、リブ部62およびリブ部72は、テーブル6およびテーブル台7の外縁に接していなくてもよいし、テーブル6やテーブル台7の周方向に並んで不連続であってもよいし、テーブル6やテーブル台7の周方向に並んでいなくてもよい。
さらに、上記実施形態では、テーブル6が上係合部材85の凹部86の延出方向にずれる可能性があるので、例えば、テーブル6の外縁が摺動可能な筒状部材やシャフト部材等のずれ防止手段を基台上面51上やテーブル台7の側面に設けてもよい。
また、上述の実施形態では、テーブル6が直接ウェハWFを支持する構成なので、当該テーブル6の昇降に伴ってウェハWFも回転してしまう。このようにウェハWFが回転することを防止するために、テーブル6の上面に駆動機器としての回動モータを配置し、当該回動モータの出力軸で載置面60を有する円盤を支持する構成としてもよい。この場合、回動モータ80にリンクさせ、回動モータ80の回転方向の逆方向に同じ回転角度、同じ回転速度で回動モータを回転させればよい。また、図1中二点鎖線で示すように、テーブル6を上テーブル部68Dと、上テーブル部68Dに対して摺動回転可能な下テーブル部67Dとに分け、上テーブル部68Dの外縁から下方に延びる複数のシャフト91Dを摺動させて、当該上テーブル部68Dが下テーブル部67Dと共に回転することを防止する回転規制手段としてのシャフトサポータ92Dを基台上面51上に設けてもよい。なお、シャフトサポータ92Dは、テーブル台7の側面に設けてもよい。
さらに、下係合部材81と上係合部材85との代わりにばね、弾性部材、プーリとベルトとで動力を伝達する手段等を採用してもよい。
また、下係合部材81と上係合部材85は、上下逆でもよいし、回動モータ80をテーブル6の下面61に設けてもよい。
さらに、回動手段8をテーブル6、テーブル台7の外側に配置してもよい。
また、リングフレームを載置する外側テーブルをテーブル6を囲むように設け、リングフレームに対してウェハWFを昇降させるようにしてもよいし、リングフレームを載置する外側テーブルも本願と同様の構成で昇降する構成としてもよい。
さらに、載置面60、テーブル6、テーブル台7および基台50の形状は、平面視で円形、楕円形、三角形や四角形などの多角形、その他の異形であってもよい。
また、テーブル6をテーブル台7側に付勢し、当該テーブル6の下降を補助する下降補助手段としての駆動機器や、ゴムやばね等の弾性部材等を設けてもよい。
また、下係合部材81と上係合部材85は、上下逆でもよいし、回動モータ80をテーブル6の下面61に設けてもよい。
さらに、回動手段8をテーブル6、テーブル台7の外側に配置してもよい。
また、リングフレームを載置する外側テーブルをテーブル6を囲むように設け、リングフレームに対してウェハWFを昇降させるようにしてもよいし、リングフレームを載置する外側テーブルも本願と同様の構成で昇降する構成としてもよい。
さらに、載置面60、テーブル6、テーブル台7および基台50の形状は、平面視で円形、楕円形、三角形や四角形などの多角形、その他の異形であってもよい。
また、テーブル6をテーブル台7側に付勢し、当該テーブル6の下降を補助する下降補助手段としての駆動機器や、ゴムやばね等の弾性部材等を設けてもよい。
また、本発明における接着シートASおよび被支持物の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートASは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはなく、感熱接着性のものが採用された場合は、当該接着シートASを加熱する適宜な加熱手段を設ければよい。また、このような接着シートASは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被支持物としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等の半導体ウェハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被支持物に貼付することができる。
また、支持装置5は、シート貼付装置1以外に塗布装置、検査装置等の他の装置に採用してもよい。塗布装置や検査装置の場合、塗布する塗布手段から被塗布物までの距離や検査する検査手段から被検査物までの距離が安定しないと、正確な塗布や検査ができないが、支持装置5を塗布装置や検査装置に採用することで、被塗布物や被検査物を載置するテーブル6の安定性を維持することができ、正確な塗布や検査を行うことができる。
また、支持装置5は、シート貼付装置1以外に塗布装置、検査装置等の他の装置に採用してもよい。塗布装置や検査装置の場合、塗布する塗布手段から被塗布物までの距離や検査する検査手段から被検査物までの距離が安定しないと、正確な塗布や検査ができないが、支持装置5を塗布装置や検査装置に採用することで、被塗布物や被検査物を載置するテーブル6の安定性を維持することができ、正確な塗布や検査を行うことができる。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
5…支持装置
6、6B、6C…テーブル(載置手段)
7、7A、7B、7C…テーブル台(支え手段)
8…回動手段
8B…リニアモータ(回動手段)
60…載置面
63…上傾斜部(第1部材)(第2部材)
64…傾斜面
72A…ローラ(第2部材)
73…下傾斜部(第1部材)(第2部材)
WF…ウェハ(被支持物)
6、6B、6C…テーブル(載置手段)
7、7A、7B、7C…テーブル台(支え手段)
8…回動手段
8B…リニアモータ(回動手段)
60…載置面
63…上傾斜部(第1部材)(第2部材)
64…傾斜面
72A…ローラ(第2部材)
73…下傾斜部(第1部材)(第2部材)
WF…ウェハ(被支持物)
Claims (2)
- 被支持物を載置する載置面を有する載置手段と、
前記載置手段を支える支え手段と、
前記載置手段と前記支え手段とを相対回転させる回動手段とを備え、
前記載置手段および前記支え手段のうち一方に前記載置面に対して傾斜した傾斜面を有する第1部材が設けられ、前記載置手段および前記支え手段のうち他方に前記傾斜面に沿って相対移動する第2部材が設けられ、
前記載置手段および前記支え手段は、前記回動手段によって相対回転されることで前記第1部材および前記第2部材が前記傾斜面に沿って相対移動し、相互に離間接近可能に設けられていることを特徴とする支持装置。 - 被支持物を載置する載置面を有する載置手段と、
前記載置手段を支える支え手段とを備え、
前記載置手段および前記支え手段のうち一方に前記載置面に対して傾斜した傾斜面を有する第1部材が設けられ、前記載置手段および前記支え手段のうち他方に前記傾斜面に沿って相対移動する第2部材が設けられた支持装置を用い、
前記載置手段および前記支え手段を相対回転させることで前記第1部材および前記第2部材を前記傾斜面に沿って相対移動させ、相互に離間接近させることを特徴とする支持方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013032178A JP2014165196A (ja) | 2013-02-21 | 2013-02-21 | 支持装置および支持方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020107455A (ja) * | 2018-12-27 | 2020-07-09 | 日新イオン機器株式会社 | 基板保持装置 |
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JP2008042016A (ja) * | 2006-08-08 | 2008-02-21 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハの保持方法および半導体ウエハ保持構造体 |
-
2013
- 2013-02-21 JP JP2013032178A patent/JP2014165196A/ja active Pending
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