TWI604289B

TWI604289B - Control system, support device, control device, and control method

Info

Publication number: TWI604289B
Application number: TW105117795A
Authority: TW
Inventors: Masato Tanaka; Takashi Kurosawa
Original assignee: Azbil Corp
Priority date: 2015-07-31
Filing date: 2016-06-06
Publication date: 2017-11-01
Also published as: US20170031342A1; TW201712457A; CN106406254B; JP2017033229A; JP6588763B2; US10146218B2; CN106406254A

Description

控制系統、支援裝置、控制裝置、及控制方法

本發明涉及用於支援從複數個控制裝置收集到的時序資料間的時刻確認的支援技術。

近年來，在半導體製造裝置中，EES(Equipment Engineering System，設備工程系統)正轉移向實用階段。其主要目的是以裝置自身作為對象的故障狀況探測FD(Fault Detection，故障檢測)、故障狀況預測FP(Fault Prediction，故障預報)(參照非專利文獻1等)。在這些FD/FP中，存在裝置控制層級、模組層級、子系統、I/O設備層級這樣的分級化的把握方法。並且，I/O設備層級的主體是感測器、致動器。

關於這些I/O設備層級中的致動器，針對經位元串(0，1)的資料(致動器資料)就能完成的序列控制上的動作，可以說尤其處於實用階段。

另一方面，關於感測器，溫度、壓力、流量等處理量成為對象資料。關於它們，在毫秒等級下保存所有資料不能說是合理的。

在這樣的技術背景下，提出了具備進行代表值化的運算模組和進行檢查的檢查模組的EES對應的基板處理裝置(專利文獻1)等。代表值是指最大值、最小值、平均值等，由此如果能夠實現FD/FP，則能夠大幅削減通信量、必要記憶體量等，所以是高效能的。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2010-219460號公報

非專利文獻

非專利文獻1：「裝置裝置機能性能確認關解說書」、半導體生產技術專門委員會、社団法人電子情報技術產業協會、2005-3-23

作為利用代表值的FD/FP，已知為如以下的內容。

由劣化導致的加熱器(Heater)斷線預測：加熱器電阻值(非處理量)的平均值緩緩上升

由過電流導致的加熱器斷線探測：加熱器電阻值的最大值突發性地上升

然而，僅經處理量的簡單的代表值化，FD/FP成立的情況較少。因此，利用經大量的感測器測量的資料、特別是時序資料間的關聯性(連動性)來實施FD/FP得到廣泛普及。

在該情況下，根據資料的種類或者FD/FP的目的，存在要求多個時序資料間的精密的時刻同步的情形。另一方面，根據資料收集的構成，也存在在處理所謂的大資料的計算機上無法實現時刻同步的處理的情形。即，在難以附加經時刻確認的時間戳記的情況下，至少在資料收集後無法確認取得資料的時間點。因此，針對時刻同步的確認，要求進行改進。

本發明為了解決這樣的課題，其目的在於，提供一種能夠支援從複數個控制裝置收集到的時序資料間的時刻同步確認(時刻同步確認對應恢復)的支援技術。

為了達到這樣的目的，本發明涉及一種控制系統，具備：複數個控制裝置，其藉由輸出根據所輸入的設定值和控制量計算出的操作量來控制設備；資料收集裝置，其將包括在上述控制裝置中的上述控制中使用的上述操作量的控制資料作為時序資料而依次收集；以及支援裝置，其按一定的時刻確認週期將時刻確認訊號一併發送到上述各控制裝置，上述控制裝置在接收到上述時刻確認訊號時，在與上述控制相關的1個控制週期，將時刻確認資料作為上述操作量強制地輸出，上述時刻確認資料用於使與相互的控制裝置相關的控制資料同步。

另外，在本發明的上述控制系統的一個構成例中，上述時刻確認資料由在上述控制裝置中的穩定控制狀態下由不被作為上述操作量輸出的奇異值構成。

另外，在本發明的上述控制系統的一個構成例中，作為上述時刻確認訊號，上述支援裝置發送以使上述操作量成為上述奇異值的方式指示上述控制裝置中的設定參數的變更的訊號。

另外，在本發明的上述控制系統的一個構成例中，上述時刻確認訊號由指示在針對上述控制裝置中的上述操作量的極限處理中使用的操作量下限值或者操作量上限值之變更的訊號構成，上述控制裝置在接收到上述時刻確認訊號時，根據上述時刻確認訊號而使操作量下限值或者操作量上限值變更，從而代替上述操作量而強制地輸出由上述奇異值構成的上述時刻確認資料。

另外，本發明涉及一種在控制系統中使用的支援裝置，上述控制系統具備：複數個控制裝置，其藉由輸出根據所輸入的設定值和控制量計算出的操作量來控制設備；以及資料收集裝置，其將包括在這些控制裝置中的控制中使用的上述操作量的控制資料作為時序資料而依次收集，上述支援裝置將時刻確認訊號按一定的時刻確認週期一併發送到上述各控制裝置，上述時刻確認訊號用於將時刻確認資料在與上述控制相關的1個控制週期作為上述操作量強制地輸出，上述時刻確認資料用於使與上述控制裝置相關的控制資料相互同步。

另外，本發明涉及一種控制裝置，其在同一控制系統中被使用複數個，藉由輸出根據所輸入的設定值和控制量計算出的操作量來控制設備，並且藉由資料收集裝置將包括與該控制相關的操作量的控制資料作為時序資料而依次收集，上述控制裝置在接收到按一定的時刻確認週期從支援裝置向各控制裝置一併發送的時刻確認訊號時，在與上述控制相關的1個控制週期，將時刻確認資料作為上述操作量強制地輸出，上述時刻確認資料用於使與相互的控制裝置相關的控制資料同步。

另外，本發明涉及一種控制方法，具備：控制步驟，複數個控制裝置藉由輸出根據所輸入的設定值和控制量計算出的操作量來控制設備；資料收集步驟，資料收集裝置將包括在上述控制裝置中的上述控制中使用的上述操作量的控制資料作為時序資料而依次收集；以及支援步驟，支援裝置按一定的時刻確認週期將時刻確認訊號一併發送到上述各控制裝置，在上述控制步驟中，在接收到上述時刻確認訊號時，在與上述控制相關的1個控制週期，將時刻確認資料作為上述操作量強制地輸出，上述時刻確認資料用於使與相互的控制裝置相關的控制資料同步。

根據本發明，在從各控制裝置並聯地收集到的時序資料中，作為操作量而按時刻確認週期記錄有時刻確認資料。因此，以該時刻確認資料表示相同時刻作為基準，能夠容易並且精密地確認各時序資料的時刻同步。

1‧‧‧控制系統

10‧‧‧控制裝置

11‧‧‧設定值取得部

12‧‧‧控制量輸入部

13‧‧‧操作量計算部

14‧‧‧時刻確認收訊部

15‧‧‧極限處理部

16‧‧‧操作量輸出部

20‧‧‧資料收集裝置

21‧‧‧設定值取得部

22‧‧‧控制量取得部

23‧‧‧操作量取得部

24‧‧‧資料儲存部

30‧‧‧支援裝置

31‧‧‧控制週期計數部

32‧‧‧時刻確認發送部

50‧‧‧設備

SP‧‧‧設定值

PV‧‧‧控制量

MV‧‧‧操作量

OL‧‧‧操作量下限值

OH‧‧‧操作量上限值

圖1是示出本實施形態的控制系統的構成的方塊圖。

圖2是示出本實施形態的控制系統的應用例的說明圖。

圖3是習知的資料收集例。

圖4是應用本發明的資料收集例。

圖5是與圖4相關的時間差校正例。

[發明的原理1]

首先，說明本發明的原理1。

在溫度、壓力等處理系統的控制對象中，在一次控制週期期間關聯的資料發生變動的範圍、時機受到極限。特別著眼於瞬間變動而立即返回到原來的現象可以說幾近於無。

並且，想到了在資料收集時以前僅在一瞬間(例如，1個控制週期的短時間)加入無法預測的急劇變動，從而能夠將其用作資料收集後的虛擬的時刻確認資料(有意的異常數值)。即，能夠針對複數個時序資料而同步地加入時刻確認資料，從而確認時刻同步。此外，這樣的雜訊尖(spike noise)的變動在資料收集後能夠經中值濾波器去除，所以處理也變得容易。

[發明的原理2]

接下來，說明本發明的原理2。

例如，在PID(Proportional-Integral-Derivative，比例-積分-微分)控制系統中處理的代表性的時序資料是設定值SP、控制量PV、操作量MV。其中的設定值SP、控制量PV為PID運算的前級的資料，所以，假如將虛擬的時刻確認資料(有意的異常數值)加入到它們中，則根據訊號路徑，在PID運算中產生紊亂。即，將訊號路徑與資料儲存路徑分開的做法成為PID控制用戶的負擔。

如果這樣考慮，則操作量MV成為PID運算的後級，所以在控制對象的頻率特性中，如果是無法跟隨的高頻的異常值，則對控制不造成影響。進而，作為針對所有的PID運算方式都不對PID運算的內部變量造成影響的方法，著眼于優選利用處於PID運算自身的後級側的操作量MV的上下限處理。並且還想到針對複數個控制回路，從上一級側同時在短時間內強制變更操作量上下限值的處理。

接下來，參照附圖，說明本發明的一個實施形態。

[控制系統]

首先，參照圖1和圖2，說明本實施形態的控制系統1。該控制系統1是與上述發明原理1和2對應的實施例。圖1是示出本實施形態的控制系統的構成的方塊圖。圖2是示出本實施形態的控制系統的應用例的說明圖。

圖1所示的控制系統1是根據PID等處理控制來控制各種設備50的系統，包括複數個控制裝置10、針對這些每個控制裝置10而設置的資料收集裝置20.以及作為在這些控制裝置10和資料收集裝置20中共有的功能的支援裝置30。

此外，此處為了容易理解發明，以針對每個控制裝置10而設置資料收集裝置20的情況為例進行說明，但既可以經1個資料收集裝置20來收集來自複數個控制裝置10的控制資料，也可以將該資料收集裝置20的功能搭載於伺服器等上一級裝置(未圖示)中。

另外，關於支援裝置30，既可以安裝到某一個控制裝置10中而向其他控制裝置10發送時刻確認訊號，也可以安裝到上述一個資料收集裝置20的更上一級裝置中，向各控制裝置10發送時刻確認訊號。

在圖2中，作為應用控制系統1的設備50的例子，示出了應用於在半導體製造裝置中使用的加熱裝置的情況，作為控制裝置10，使用調整爐F的內部溫度的溫度調節計。在爐F的內部，配置複數個加熱器H，針對這些每個加熱器H，設置控制裝置(溫度調節計)10、電力調整器PC、溫度感測器S和資料收集裝置20。

控制裝置(溫度調節計)10以一定的控制週期，根據預先被操作輸入而登記在內部儲存部(未圖示)中的設定值SP以及由藉由溫度感測器S檢測到的爐F的內部溫度構成的控制量PV，新計算操作量MV，電力調整器PC根據來自控制裝置10的操作量MV來調整供給到加熱器H的電力，從而控制加熱器H附近的爐內溫度。

另一方面，資料收集裝置20將與對應的控制裝置10中的控制相關的設定值SP、控制量PV和操作量MV等控制資料(控制參數)作為時序資料而依次收集。

本發明在這樣的控制系統1中，根據從支援裝置30按一定的時刻確認週期發送的時刻確認訊號，從各控制裝置10將用於使與相互的控制裝置10相關的控制資料同步的時刻確認資料在1個控制週期強制地作為操作量MV輸出。由此，在藉由各資料收集裝置20從分別對應的控制裝置10並聯地收集到的時序資料中，作為操作量MV而按時刻確認週期記錄有時刻確認資料。因此，以該時刻確認資料表示相同時刻作為基準，能夠容易並且精密地確認各時序資料的時刻同步。

接下來，參照圖1和圖2，詳細說明本實施形態的控制系統1的構成。

[控制裝置]

首先，說明控制裝置10的構成。在控制裝置10中，作為主要功能部，設置有設定值取得部11、控制量輸入部12、操作量計算部13、時刻確認收訊部14、極限處理部15和操作量輸出部16。

設定值取得部11具有取得預先被操作輸入並登記在內部儲存部(未圖示)中的設定值SP的功能。此時，在不進行操作輸入而從上一級裝置設定設定值SP的情況下，取得從上一級裝置指示的設定值SP並登記在內部儲存部中。

控制量輸入部12具有輸入由設備50檢測到的與該控制裝置10對應的控制量PV的功能。

操作量計算部13具有如下功能：例如根據PID控制等的控制用演算法，以一定的控制週期，根據由設定值取得部11取得的設定值SP以及由控制量輸入部12輸入的控制量PV，依次計算新的操作量MV。

時刻確認收訊部14具有等待並接收從支援裝置30發送的時刻確認訊號、並且將接收到的時刻確認訊號輸出到極限處理部15的功能。

極限處理部15具有：進行在由預先設定的操作量下限值OL和操作量上限值OH構成的限定範圍內修正由操作量計算部13計算出的操作量MV的極限處理的功能；以及與經時刻確認收訊部14接收到時刻確認訊號相應地，在與該時刻確認訊號的接收時對應的1個控制週期，使操作量下限值OL或者操作量上限值OH暫時地採用經該時刻確認訊號指示的時刻確認用極限值，在沒有接收到時刻確認訊號的情況下，使操作量下限值OL或者操作量上限值OH採用通常的控制用極限值的功能。

操作量輸出部16具有將經極限處理部15進行了極限處理的操作量MV輸出到設備50中與該控制裝置10對應的電力調整器PC的功能。

[資料收集裝置]

接下來，說明資料收集裝置20的構成。在資料收集裝置20中，作為主要功能部，設置有設定值取得部21、控制量取得部22、操作量取得部23和資料儲存部24。

設定值取得部21具有從與該資料收集裝置20對應的控制裝置10取得設定值SP的功能。

控制量取得部22具有取得從設備50對與該資料收集裝置20對應的控制裝置10輸入的控制量PV的功能。

操作量取得部23具有取得從與該資料收集裝置20對應的控制裝置10對設備50輸出的操作量MV的功能。

資料儲存部24具有如下功能：在同一控制週期中，將由經設定值取得部21、控制量取得部22和操作量取得部23分別取得的設定值SP、控制量PV和操作量MV構成的控制資料的組依次儲存為每個控制週期的時序資料。

[支援裝置]

接下來，說明支援裝置30的構成。在支援裝置30中，作為主要功能部，設置有控制週期計數部31和時刻確認發送部32。

控制週期計數部31具有對在控制裝置10中使用的控制週期進行計數的功能。

時刻確認發送部32具有在根據控制週期計數部31中的計數結果確認了時刻確認週期的到來的時間點將時刻確認訊號一併發送到各控制裝置10的功能。

在本實施形態中，設為時刻確認週期相當於控制週期的規定數N(N是2以上的整數)倍，在控制週期計數部31中，根據規定的時鐘訊號生成控制週期，在該控制週期的計數結果達到N次的時間點，確認為時刻確認週期到來。

時刻確認訊號是用於指示將從控制裝置10輸出的操作量MV變更成在穩定控制狀態下不被作為操作量MV而輸出的奇異值的訊號，例如使用指示針對在針對控制裝置10中的操作量MV的極限處理中使用的操作量下限值OL或者操作量上限值OH的設定變更的訊號。

[控制系統的動作]

接下來，詳細說明本實施形態的控制系統1的動作。

[控制裝置]

首先，說明控制裝置10的動作。控制裝置10針對預先設定的每個控制週期，執行以下的處理。

首先，設定值取得部11從預先藉由操作輸入而被登記的內部儲存部取得設定值SP。另外，控制量輸入部12輸入由設備50檢測到的與該控制裝置10對應的控制量PV。

其後，操作量計算部13根據由設定值取得部11取得的設定值SP以及由控制量輸入部12輸入的控制量PV，計算新的操作量MV。

接下來，極限處理部15針對由操作量計算部13計算出的新的操作量MV，進行在被預先設定為在通常的控制中使用的控制用極限值的操作量下限值OL與操作量上限值OH的範圍內進行修正的極限處理。

其後，操作量輸出部16將經極限處理部15進行了極限處理的操作量MV輸出到設備50，結束一系列的處理。

另一方面，時刻確認收訊部14等待並接收從支援裝置30發送的時刻確認訊號，與時刻確認訊號的接收相應地，將該時刻確認訊號輸出到極限處理部15。

在由時刻確認收訊部14接收到時刻確認訊號的情況下，極限處理部15在與該時刻確認訊號的接收時對應的1個控制週期，使操作量下限值OL或者操作量上限值OH暫時地採用經該時刻確認訊號指示的時刻確認用極限值，在沒有接收到時刻確認訊號的情況下，使操作量下限值OL或者操作量上限值OH採用原來的控制用極限值。

在極限處理中，在所輸入的操作量MV低於操作量下限值OL的情況下，作為操作量MV而輸出操作量下限值OL，在所輸入的操作量MV超過操作量上限值OH的情況下，作為操作量MV而輸出操作量上限值OH。通常，按相對於預先設定的操作量MV的範圍的百分率來設定這些操作量下限值OL和操作量上限值OH，在一般的溫度控制系統中，將操作量下限值OL設定為0%附近，將操作量上限值OH設定為100%附近。

在PID控制繼續的穩定控制狀態下，幾乎都是操作量MV成為比100%充分低的90%以下的情形，所以，如果僅在1個控制週期內將操作量上限值OH設定變更為0%，則將操作量MV強制地極限處理至作為奇異值的0%，在操作量MV中產生如雜訊尖的變動。

另外，在PID控制繼續的穩定控制狀態下，幾乎都是操作量MV成為比0%充分高的10%以上的情形，所以，僅在1個控制週期內將操作量下限值OL設為100%，則將操作量MV強制地極限處理至作為奇異值的100%，在操作量MV中產生如雜訊尖的變動。

由此，針對來自支援裝置30的每個時刻確認訊號，即針對每個時刻確認週期，輸出在控制裝置10中的穩定控制狀態下不被作為操作量MV而輸出的奇異值。因此，在經各資料收集裝置20從分別對應的控制裝置10並行地收集到的時序資料中，作為操作量MV而按時刻確認週期記錄有時刻確認資料。因此，以該時刻確認資料表示相同時刻作為基準，能夠容易並且精密地確認各時序資料的時刻同步。

[資料收集裝置]

接下來，說明資料收集裝置20的動作。資料收集裝置20針對預先設定的每個控制週期，執行以下的處理。

首先，設定值取得部21具有藉由與對應於該資料收集裝置20的控制裝置10進行資料通信來從該控制裝置10取得設定值SP的功能。

控制量取得部22具有取得從設備50對與該資料收集裝置20對應的控制裝置10輸入的控制量PV的功能。此時，既可以使從設備50向控制裝置10的訊號線分歧來取得控制量PV，也可以藉由與控制裝置10進行資料通信來取得控制量PV。

操作量取得部23具有取得從與該資料收集裝置20對應的控制裝置10對設備50輸出的操作量MV的功能。此時，既可以使從控制裝置10向設備50的訊號線分歧來取得操作量MV，也可以藉由與控制裝置10進行資料通信來取得操作量MV。

資料儲存部24在同一控制週期中，將由經設定值取得部21、控制量取得部22和操作量取得部23分別取得的設定值SP、控制量PV和操作量MV構成的控制資料的組依次儲存為每個控制週期的時序資料。

[支援裝置]

接下來，說明支援裝置30的動作。支援裝置30始終執行以下的處理。

首先，控制週期計數部31根據在內部產生的規定的時鐘訊號來生成在控制裝置10中使用的控制週期，對該控制週期進行計數。

時刻確認發送部32在控制週期計數部31中的計數結果成為規定數N、確認了時刻確認週期的到來的時間點，將時刻確認訊號一併發送到各控制裝置10。此時，作為時刻確認訊號，控制週期計數部31發送例如將操作量上限值OH設定變更為0%的指示、將操作量下限值OL設定變更為100%的指示。

由此，在與該時刻確認訊號的接收時對應的1個控制週期，將各控制裝置10的極限處理部15中使用的操作量上限值OH或者操作量下限值OL從控制用極限值暫時地變更成時刻確認用極限值，針對每個時刻確認週期，輸出在控制裝置10中的穩定控制狀態下不被作為操作量MV而輸出的奇異值。

因此，在經各資料收集裝置20從分別對應的控制裝置10並聯地收集到的時序資料中，作為操作量MV而按時刻確認週期記錄有時刻確認資料。因此，以該時刻確認資料表示相同時刻作為基準，能夠容易並且精密地確認各時序資料的時刻同步。

圖3是習知的資料收集例。此處，用圖表來示出由從3個控制裝置收集到的設定值SP、控制量PV和操作量MV構成的時序資料。在習知的資料收集中，不存在用於使3個時序資料在時間軸上同步的基準，所以，例如以收集時刻作為基準來進行時序資料間的時刻確認。因此，當在收集時刻中存在時間差的情況下，即使在各個時序資料的真正的相同時刻中產生時間差，操作員等資料確認者也無法識別該時間差。因此，無法確認FD/FP所需的精密的時刻同步。

圖4是應用本發明的資料收集例。此處，示出了作為時刻確認訊號而發送將操作量下限值OL設定變更為100%的訊號的例子，針對每個預先規定的時機、即由時刻確認週期構成的真正的相同時刻，包括各時序資料的操作量MV成為100%的尖峰狀的時刻確認資料。

因此，能夠以這些時刻確認資料作為基準而校正3個時序資料的時間差。圖5是與圖4相關的時間差校正例。由此，即使在收集時刻中存在時間差，在各個時序資料的真正的相同時刻中產生時間差，操作員等資料確認者也能夠容易地識別該時間差，能夠確認FD/FP所需的精密的時刻同步。此外，關於時序資料的時間差校正，資料確認者既可以經手動作業來進行，也可以自動地實施。另外，關於時刻確認資料，在畫面顯示時、向外部裝置轉送資料時，也可以藉由中值濾波器等來自動地去除。

[本實施形態的效果]

這樣，在本實施形態中，支援裝置30按一定的時刻確認週期將時刻確認訊號一併發送到各控制裝置10，這些控制裝置10在接收到時刻確認訊號時，在1個控制週期將用於使與相互的控制裝置10相關的控制資料同步的時刻確認資料強制地作為操作量輸出。

由此，在經各資料收集裝置20從分別對應的控制裝置10並聯地收集到的時序資料中，作為操作量MV而按時刻確認週期記錄有時刻確認資料。因此，以該時刻確認資料表示相同時刻作為基準，能夠容易並且精密地確認各時序資料的時刻同步。

另外，根據本實施形態，時刻確認資料使操作量MV尖峰狀地變動，所以，資料確認者在時序資料上能夠容易地進行識別，並且在時序資料的利用時經中值濾波器等能夠容易地去除，所以處理也變得容易。

另外，將時刻確認資料插入到作為PID運算的前級資料的設定值SP、控制量PV的情況下，根據訊號路徑，在PID運算中產生紊亂，所以將訊號路徑與資料儲存路徑分開的做法成為PID控制用戶的負擔。根據本實施形態，將時刻確認資料插入到PID運算的後級的操作量MV中，所以，能夠容易地避免對PID運算的影響。此外，被插入到操作量MV的時刻確認資料雖然被輸出到控制對象，但通常如果是控制裝置中的1個控制週期，則在控制對象的頻率特性中，成為無法跟隨的高頻的奇異值，所以對控制的影響是能夠充分忽略的程度。

另外，在本實施形態中，作為時刻確認資料，也可以使用在控制裝置10中的穩定控制狀態下不被作為操作量MV而輸出的奇異值。由此，能夠從所收集到的時序資料的操作量MV容易地分辨時刻確認資料。

另外，在本實施形態中，作為時刻確認訊號，支援裝置30也可以發送以使操作量MV成為奇異值的方式指示控制裝置10中的設定參數的變更的訊號。更具體地說，將時刻確認訊號設為指示在針對控制裝置10中的操作量MV的極限處理中使用的變更操作量下限值OL或者操作量上限值OH的訊號，在控制裝置10接收到時刻確認訊號時，根據該時刻確認訊號而使操作量下限值OL或者操作量上限值OH變更，從而也可以代替操作量MV而強制地輸出由奇異值構成的時刻確認資料。

由此，利用在控制裝置10中預先搭載的設定變更功能，具體地說，利用極限處理中使用的極限值的變更這樣的設定變更功能，能夠按時刻確認週期輸出時刻確認資料，無需大幅變更控制裝置10的構成而能夠應用本發明，能夠抑制本發明的導入成本。

[實施形態的擴展]

以上，參照實施形態來說明瞭本發明，但本發明不限定於上述實施形態。針對本發明的構成、詳細情況，能夠在本發明的範圍內進行本領域技術人員能夠理解的各種變更。另外，關於各實施形態，在不矛盾的範圍內能夠任意組合來實施。