JP6417175B2 - 評価装置および評価方法 - Google Patents
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Description
一方で、センサのFD/FPに関しては、温度、圧力、流量などのプロセス量が対象データになる。これらのデータについては、msec.レベルで全てのデータを保存するのが合理的とは言えない。そこで、センサのデータを装置が管理する処理単位毎に、あるいは一定の期間毎に代表値化して、代表値化した値をチェックするEES対応の基板処理装置(特許文献1参照)などが提案されている。代表値とは、最大値、最小値、平均値などである。これらの代表値によりFD/FPが実現できれば、全てのデータを監視する場合と比較して通信量、必要メモリ量などを大幅に削減できるので効率的である。
また、本発明の評価装置の1構成例において、前記評価指標算出手段は、前記操作量MVと前記基準変化パターンMVXとの差が正値の評価指標と、前記操作量MVと前記基準変化パターンMVXとの差が負値の評価指標とに分けて前記評価指標を算出することを特徴とするものである。
フィードバック制御の特に設定値SPランプ入力の場合(設定値SPを一定の変化率ΔSPで徐々に変化させる場合)、制御量PVは設定値SPに追従する制御動作になる。すなわち、制御量PVは高い再現性をもって補償される。したがって、制御可能な程度の装置劣化(例えば少しずつの経年変化など)が発生していたとしても、制御量PVには差異が現れ難い。このように制御量PVに差異が現れ難いという点は、特許文献2のように設定値SPステップ入力を扱う場合と大きく異なる部分である。
制御応答全般について考えた場合、(A)前半の正側(MV−MVX>0)の総和、(B)前半の負側(MV−MVX<0)の総和、(C)後半の正側(MV−MVX>0)の総和、(D)後半の負側(MV−MVX<0)の総和の4つに評価指標を分けることで、制御応答全般で正側と負側の差異が相殺されることも起こり難くできるので好適である。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図4は本発明の実施の形態に係る評価装置の構成を示すブロック図である。本実施の形態は、上記発明の原理1、発明の原理2に対応する例である。ここでは、評価装置を簡易型のコントローラ(温調計)で実現する例として説明する。本実施の形態の評価装置は、従来から温調計に設けられている一般的構成である温調計制御機能部1と、本実施の形態の特徴的構成である評価機能部2とから構成される。
図5は本実施の形態の適用対象となる加熱装置の構成を示すブロック図である。加熱装置は、処理対象の被加熱物を加熱する加熱処理炉100と、電気ヒータ101と、加熱処理炉100内の温度を計測する温度センサ102と、加熱処理炉100内の温度を制御する温調計103と、電力調整器104と、電力供給回路105と、加熱装置全体を制御するPLC(Programmable Logic Controller)106とから構成される。
基準変化パターンMVXは、制御対象の装置(本実施の形態の例では加熱装置)に劣化がないときの制御応答中の標準的な操作量MVを、設定値SPの変更開始時点以後の各時間毎に定めたものである。基準変化パターンMVXは、例えば変更情報の内容で設定値SPを変更する試験を予め実施して確認しておけばよい。
制御量PVは、計測器(図5の例では温度センサ102)によって計測され、制御量入力部11を介して操作量算出部12と評価指標算出部21〜24とに入力される(図6ステップS5)。
操作量出力部13は、操作量算出部12によって算出された操作量MVを制御対象に出力する(図6ステップS7)。図5の例では、電力調整器104が操作量MVの実際の出力先となる。
次に、評価指標算出部21は、設定値SPの変更が開始されると、基準操作量記憶部20に記憶されている基準変化パターンMVXを参照し、(MVi−MVXi)の正値の積算値Aを次式のように算出する(図6ステップS13)。
A=Σ(MVi−MVXi) ・・・(1)
B=Σ(MVi−MVXi) ・・・(2)
評価指標算出部22は、制御応答前半において(MVi−MVXi)<0の場合に限り、式(2)の計算を行う。
C=Σ(MVj−MVXj) ・・・(3)
D=Σ(MVj−MVXj) ・・・(4)
評価指標算出部24は、制御応答後半において(MVj−MVXj)<0の場合に限り、式(4)の計算を行う。
ここで、制御応答全般とは、設定値SPの変更に伴って制御量PVが初期設定値SPIから最終目標設定値SPLに追従する制御応答期間全体を指すものとする。設定値変更部10は、設定値SPを初期設定値SPIから一定の変化率ΔSPでランプ状に変化させるので、設定値SPが最終目標設定値SPLにいつ達するかを予め計算することができ、設定値SPが最終目標設定値SPLに達する時刻に所定時間Tを足した時刻を、設定値SPの変更に伴う制御応答の終了時刻として予め計算することができる。終了時刻を決める所定時間Tをどのような値に設定すべきかは、設定値SPを変更する試験を予め実施して確認しておけばよい。
設定値SPの変更に伴う制御応答の終了後は、設定値SP=SPLに基づく制御がステップS4〜S7の処理によって継続されることになる。
Claims (6)
- 外部からの指示に従って設定値SPを変更する設定値変更手段と、
前記設定値SPと計測器によって計測される制御量PVとに基づき、フィードバック制御の動作として操作量MVを算出する操作量算出手段と、
前記操作量MVを制御対象に出力する操作量出力手段と、
前記設定値SPの変更に伴って前記制御量PVが前記設定値SPの初期設定値SPIから最終目標設定値SPLへと追従する制御応答における前記操作量MVの標準的な時間変化を示す基準変化パターンMVXを予め記憶する基準操作量記憶手段と、
この基準操作量記憶手段に記憶されている基準変化パターンMVXを参照し、前記制御応答中の前記操作量MVと前記基準変化パターンMVXとの差異を評価指標として算出する評価指標算出手段とを備え、
前記評価指標算出手段は、前記設定値SPが変更されたときに前記制御量PVが前記初期設定値SPIから前記最終目標設定値SPLへと追従する制御応答における前記評価指標を、この制御応答の前半の評価指標と後半の評価指標とに分けて算出することを特徴とする評価装置。 - 請求項1記載の評価装置において、
さらに、前記評価指標算出手段によって算出された評価指標を提示する評価指標提示手段を備えることを特徴とする評価装置。 - 請求項1または2記載の評価装置において、
前記評価指標算出手段は、前記操作量MVと前記基準変化パターンMVXとの差が正値の評価指標と、前記操作量MVと前記基準変化パターンMVXとの差が負値の評価指標とに分けて前記評価指標を算出することを特徴とする評価装置。 - 外部からの指示に従って設定値SPを変更する設定値変更ステップと、
前記設定値SPと計測器によって計測される制御量PVとに基づき、フィードバック制御の動作として操作量MVを算出する操作量算出ステップと、
前記操作量MVを制御対象に出力する操作量出力ステップと、
前記設定値SPの変更に伴って前記制御量PVが前記設定値SPの初期設定値SPIから最終目標設定値SPLへと追従する制御応答における前記操作量MVの標準的な時間変化を示す基準変化パターンMVXを予め記憶する基準操作量記憶手段を参照し、前記制御応答中の前記操作量MVと前記基準変化パターンMVXとの差異を評価指標として算出する評価指標算出ステップとを含み、
前記評価指標算出ステップは、前記設定値SPが変更されたときに前記制御量PVが前記初期設定値SPIから前記最終目標設定値SPLへと追従する制御応答における前記評価指標を、この制御応答の前半の評価指標と後半の評価指標とに分けて算出するステップを含むことを特徴とする評価方法。 - 請求項4記載の評価方法において、
さらに、前記評価指標算出ステップで算出した評価指標を提示する評価指標提示ステップを含むことを特徴とする評価方法。 - 請求項4または5記載の評価方法において、
前記評価指標算出ステップは、前記操作量MVと前記基準変化パターンMVXとの差が正値の評価指標と、前記操作量MVと前記基準変化パターンMVXとの差が負値の評価指標とに分けて前記評価指標を算出するステップを含むことを特徴とする評価方法。
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