JP7000738B2 - 品質監視システム及びプログラム - Google Patents
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Description
特許文献1 米国特許第6885907号明細書
20 監視対象
30 プロセス運転データベース
40 品質データベース
90 ネットワーク
100 プロセス監視システム
200 開始タイミング決定部
210 品質判定部
220 開始タイミング情報決定部
230 品質判定閾値決定部
270 判定情報決定部
280 実績情報取得部
300 開始タイミング調整部
310 品質判定指標算出部
320 品質判定部
330 開始タイミング決定用閾値
340 開始タイミング判定用変数
350 品質判定閾値
700 領域
Claims (6)
- バッチプロセスで製造された複数の製品のそれぞれの品質を示す情報と、前記バッチプロセスにおける複数種類のプロセス変数の値とを取得する実績情報取得部と、
前記複数種類のプロセス変数のそれぞれについて、それぞれのプロセス変数の値と第1の閾値との比較結果に基づいて、前記バッチプロセスにおける複数のバッチのそれぞれが開始したタイミングである開始タイミングを決定する開始タイミング決定部と、
前記複数種類のプロセス変数のそれぞれについて前記開始タイミング決定部が決定した前記複数のバッチのそれぞれの前記開始タイミングから始まるバッチ処理期間内の前記プロセス変数の値に基づき、前記複数の製品のそれぞれの品質を判定する品質判定部と、
前記品質判定部により判定された前記複数の製品のそれぞれの品質と、前記実績情報取得部が取得した前記複数の製品のそれぞれの品質との一致度が予め定められた値を超えるように、前記複数種類のプロセス変数のうち前記開始タイミングを決定するために用いる前記プロセス変数の種類と、前記開始タイミングを決定するために用いる前記第1の閾値とを決定する開始タイミング情報決定部と
を備える品質監視システム。 - 前記品質判定部は、前記複数種類のプロセス変数のそれぞれについて前記開始タイミング決定部が決定した前記複数のバッチのそれぞれの前記開始タイミングから始まるバッチ処理期間内の前記プロセス変数の値に基づいて算出された品質判定指標と第2の閾値との比較結果に基づいて、前記複数の製品のそれぞれの品質を判定する
請求項1に記載の品質監視システム。 - 前記品質判定部は、前記品質判定指標と前記第2の閾値との比較結果に基づいて、製品の品質異常を判定し、
前記実績情報取得部が取得した前記品質を示す情報と前記品質判定部の判定結果とに基づいて、前記品質判定部による品質異常のある製品の検出漏れ率及び誤検出率の少なくとも一方が、予め定められた値より低くなるように、前記第2の閾値を決定する品質判定閾値決定部
をさらに備える請求項2に記載の品質監視システム。 - 前記品質判定部により判定された前記複数の製品のそれぞれの品質と、前記実績情報取得部が取得した前記複数の製品のそれぞれの品質との一致度が予め定められた値を超えるように、前記第2の閾値を決定する品質判定閾値決定部
をさらに備える請求項2に記載の品質監視システム。 - バッチプロセスで製造された複数の製品のそれぞれの品質を示す情報と、前記バッチプロセスにおける複数種類のプロセス変数の値とを取得する実績情報取得部と、
前記複数種類のプロセス変数のそれぞれについて、それぞれのプロセス変数の値と第1の閾値との比較結果に基づいて、前記バッチプロセスにおける複数のバッチのそれぞれが開始したタイミングである開始タイミングを決定する開始タイミング決定部と、
前記複数種類のプロセス変数のそれぞれについて前記開始タイミング決定部が決定した前記複数のバッチのそれぞれの前記開始タイミングから始まるバッチ処理期間内の前記プロセス変数の値に基づいて算出された品質判定指標と第2の閾値との比較結果に基づいて、前記複数の製品の品質異常を判定する品質判定部と、
前記実績情報取得部が取得した前記品質を示す情報と前記品質判定部の判定結果とに基づいて、前記品質判定部による品質異常のある製品の検出漏れ率及び誤検出率の少なくとも一方が予め定められた値より低くなるように、前記複数種類のプロセス変数のうち前記開始タイミングを決定するために用いる前記プロセス変数の種類と、前記開始タイミングを決定するために用いる前記第1の閾値と、前記第2の閾値とを決定する決定部と
を備える品質監視システム。 - コンピュータを、請求項1から5のいずれか一項に記載の品質監視システムとして機能させるためのプログラム。
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