TWI595313B - 組成物、著色層、彩色濾光片、紅外線透過濾光片及其製造方法、以及紅外線感測器 - Google Patents
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Description
本發明是有關於一種組成物、紅外線透過濾光片及其製造方法、以及紅外線感測器。
彩色濾光片是於固體攝影元件或液晶顯示器中不可或缺的構成零件。尤其,於固體攝影元件用的彩色濾光片中,要求顏色分解性的提昇及顏色再現性的提昇。
此種彩色濾光片是具備多種色調的著色區域(著色硬化膜)而形成,通常,至少具備紅色、綠色、及藍色的著色區域(以下,亦稱為「著色圖案」或「著色畫素」)而形成。作為著色圖案的形成方法,首先,於第1種色調中,塗佈具有紅色、綠色、藍色的任一者的著色劑的著色感放射線性組成物,進行曝光、顯影,視需要進行加熱處理而形成該色調的著色圖案後,於第2種色調、第3種色調中重複相同的塗佈、曝光、顯影、視需要的加熱處理的製程。
作為彩色濾光片中的著色劑,顏料因具有鮮明的色調與高著色力而得到廣泛使用,尤其,較佳為使用經微細化、且顯示出適宜的顏色分解性的顏料。
另外,最近於固體攝影元件中,為了提昇解析度而要求使著色畫素變得微細(例如,一邊為1.0μm以下的著色圖案),但已知伴隨著色畫素的微細化,雜訊會增加。
固體攝影元件於各種用途中有效地用作光感測器。
例如,近紅外線因波長比可見光長,故難以散射,而亦可有效地用於距離測量或三維測量等。另外,近紅外線因不會被人、動物等的眼睛看見,故即便於夜間利用近紅外線光源照射被拍攝對象,被拍攝對象亦不會察覺,作為拍攝夜行性的野生動物的用途、防止犯罪用途,亦可不刺激對方而進行拍攝。對此種近紅外線進行感知的光感測器可擴展至各種用途,且殷切希望開發一種可用於對近紅外線進行感知的固體攝影元件的彩色濾光片。
例如,已知有被認為於近紅外波長區域~紅外波長區域中光的吸收小、該波長區域中的透光率高的樹脂黑色矩陣(resin black matrix)(例如,專利文獻1),但近紅外線區域的透過仍然不充分,尤其,難以用作用以檢測近紅外線區域的紅外線感測器中的紅外線透過濾光片。
另外,近年來要求非常薄的(例如厚度為1μm的)紅外線透過濾光片,但存在如下的問題:伴隨厚度變薄,紅外線透過濾光片對於可見光的遮光性容易下降(即,容易產生源自可見光成分
的雜訊),結果,作為紅外線感測器的性能下降。
先前技術文獻
專利文獻
專利文獻1:日本專利特開2009-69822號公報
本發明是鑒於上述狀況而成者,其課題在於達成下述的目的。
即,本發明的目的在於提供一種組成物、及使用該組成物的紅外線透過濾光片、紅外線透過濾光片的製造方法、以及紅外線感測器,上述組成物可製作即便非常薄(例如厚度為1μm),亦可於源自可見光成分的雜訊少的狀態下使紅外線(特別是近紅外線)透過的紅外線透過濾光片。
本發明者等人鑒於上述實際情況而進行努力研究的結果,發現如特定的波長範圍內的透光率的最大值、及其他特定的波長範圍內的透光率的最小值分別變成特定範圍內的紅外線透過濾光片可達成上述課題,從而完成了本發明。即,本發明如下所述。
[1]
一種組成物,其於形成為膜厚為1μm的膜時,上述膜的厚度方向的透光率於波長400nm~750nm的範圍內的最大值為20%以下,上述膜的厚度方向的透光率於波長900nm~1300nm的範圍內的最小值為90%以上。
[2]
如[1]所述的組成物,其含有著色劑。
[3]
如[2]所述的組成物,其含有有機顏料作為上述著色劑,上述有機顏料的含量為上述著色劑的總量的95質量%以上。
[4]
如[1]至[3]中任一項所述的組成物,其含有光聚合起始劑、及聚合性化合物。
[5]
如[4]所述的組成物,其更含有鹼可溶性樹脂。
[6]
如[5]所述的組成物,其中上述鹼可溶性樹脂為具有源自由下述式(ED)所表示的化合物的重複單元的樹脂。
R1及R2分別獨立地表示氫原子或烴基。
[7]
如[4]至[6]中任一項所述的組成物,其中上述光聚合起始劑為肟化合物。
[8]
一種紅外線透過濾光片,其由如[1]至[7]中任一項所述的組成物形成。
[9]
一種紅外線透過濾光片的製造方法,其包括:將如[1]至[8]中任一項所述的組成物賦予至基板上,而形成紅外線透過組成物層的步驟;將紅外線透過組成物層曝光成圖案狀的步驟;以及對曝光後的上述紅外線透過組成物層進行顯影而形成圖案的步驟。
[10]
一種紅外線感測器,其含有如[8]所述的紅外線透過濾光片、或藉由如[9]所述的紅外線透過濾光片的製造方法所獲得的紅外線透過濾光片。
根據本發明,可提供一種組成物、及使用該組成物的紅外線透過濾光片、紅外線透過濾光片的製造方法、以及紅外線感測器,上述組成物可製作即便非常薄(例如厚度為1μm),亦可於源自可見光成分等的雜訊少的狀態下使紅外線(特別是近紅外線)透過的紅外線透過濾光片。
以下,對本發明進行詳細說明。
以下所記載的構成要件的說明有時基於本發明的具有代表性的實施形態來進行,但本發明並不限定於此種實施形態。再者,於本說明書中,使用「~」來表示的數值範圍是指包含「~」的前後所記載的數值作為下限值及上限值的範圍。
本發明的組成物於形成為膜厚為1μm的膜時,膜的厚度方向的透光率於波長400nm~750nm的範圍內的最大值為20%以下,上述膜的厚度方向的透光率於波長900nm~1300nm的範圍內的最小值為90%以上。
上述波長400nm~750nm的範圍內的透光率的最大值較佳為17%以下,更佳為15%以下,進而更佳為13%以下。該波長400nm~750nm的範圍內的透光率的最大值通常為1%以上。
上述波長900nm~1300nm的範圍內的透光率的最小值較佳為90%以上,更佳為95%以上,進而更佳為98%以上。該波長900nm~1300nm的範圍內的透光率的最小值通常為99.9%以下。
另外,本發明的組成物較佳為於形成為膜厚為1μm的膜時,膜的厚度方向的透光率於波長400nm~750nm的範圍內的最大值為20%以下,上述膜的厚度方向的透光率於波長825nm~1300nm的範圍內的最小值為90%以上。
另外,本發明的組成物較佳為於形成為膜厚為1μm的膜時,膜的厚度方向的波長800nm下的透光率為50%以上。
以下表示由本發明中的組成物所形成的膜的分光特性、膜厚等的測定方法。
藉由旋塗等方法,以乾燥後的膜厚變成1μm的方式將本發明的組成物塗佈於玻璃基板上,而設置膜,並於100℃下利用加熱板乾燥120秒。
膜的膜厚是使用觸針式表面形狀測定器(優貝克(ULVAC)公司製造的DEKTAK150),對具有膜的乾燥後的基板進行測定。
使用紫外可見近紅外分光光度計(日立先端科技(Hitachi High-Technologies)公司製造的U-4100)的分光光度計(ref.(參考)玻璃基板),於波長300~1300nm的範圍內測定該具有膜的乾燥後的基板的透過率。
上述透光率的條件可藉由任何方法來達成,例如,如其後所詳述般,藉由使組成物含有2種以上的顏料,並且調整各顏料的種類及含量,而可適宜地達成上述透光率的條件。
本發明的組成物典型的是著色組成物,較佳為黑色組成物。
另外,本發明的組成物因使近紅外線透過,故亦可稱為近紅外線透過組成物。
以下,對可構成本發明的組成物的各成分進行說明。
<(A)著色劑>
本發明的組成物較佳為含有著色劑。
作為著色劑,可列舉顏料、及染料等。
顏料較佳為有機顏料,可列舉以下者。但是,本發明並不限定於該些顏料。
C.I.顏料黃(Pigment Yellow)1、2、3、4、5、6、10、11、12、13、14、15、16、17、18、20、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、86、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、185、187、188、193、194、199、213、214等(以上,黃色顏料),C.I.顏料橙(Pigment Orange)2、5、13、16、17:1、31、34、36、38、43、46、48、49、51、52、55、59、60、61、62、64、71、73等(以上,橙色顏料),C.I.顏料紅(Pigment Red)1、2、3、4、5、6、7、9、10、14、17、22、23、31、38、41、48:1、48:2、48:3、48:4、49、49:1、49:2、52:1、52:2、53:1、57:1、60:1、63:1、66、67、81:1、81:2、81:3、83、88、90、105、112、119、122、123、144、146、149、150、155、166、168、169、170、171、172、175、176、177、178、179、184、185、187、188、190、200、202、206、207、208、209、210、216、220、224、226、242、246、254、255、264、270、272、279等(以上,紅色顏料),C.I.顏料綠(Pigment Green)7、10、36、37、58等(以
上,綠色顏料),C.I.顏料紫(Pigment Violet)1、19、23、27、32、37、42等(以上,紫色顏料),C.I.顏料藍(Pigment Blue)1、2、15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、66、79、80等(以上,藍色顏料),C.I.顏料黑(Pigment Black)1、7等(以上,黑色顏料)
該些有機顏料可單獨使用、或將各種組合使用。
染料並無特別限制,可使用作為先前彩色濾光片用染料而公知的染料。
作為化學結構,可使用:吡唑偶氮系、苯胺基偶氮系、三苯基甲烷系、蒽醌系、蒽吡啶酮系、亞苄基系、氧雜菁系、吡唑并三唑偶氮系、吡啶酮偶氮系、花青系、吩噻嗪系、吡咯并吡唑甲亞胺系、氧雜蒽(xanthene)系、酞菁系、苯并吡喃系、靛藍系、吡咯亞甲基系等的染料。另外,亦可使用該些染料的多聚體。
另外,作為染料,有時可適宜地使用酸性染料及/或其衍生物。
此外,亦可有用地使用直接染料、鹼性染料、媒染染料、酸性媒染染料、偶氮染料、分散染料、油溶染料、食品染料、及/或該些的衍生物等。
以下列舉酸性染料的具體例,但並不限定於該些具體例。例如可列舉:
酸性茜素紫(acid alizarin violet)N;酸性黑(acid black)1、2、24、48;酸性藍(acid blue)1、7、9、15、18、23、25、27、29、40~45、62、70、74、80、83、86、87、90、92、103、112、113、120、129、138、147、158、171、182、192、243、324:1;酸性鉻紫(acid chrome violet)K;酸性品紅(acid Fuchsin);酸性綠(acid green)1、3、5、9、16、25、27、50;酸性橙(acid orange)6、7、8、10、12、50、51、52、56、63、74、95;酸性紅(acid red)1、4、8、14、17、18、26、27、29、31、34、35、37、42、44、50、51、52、57、66、73、80、87、88、91、92、94、97、103、111、114、129、133、134、138、143、145、150、151、158、176、183、198、211、215、216、217、249、252、257、260、266、274;酸性紫(acid violet)6B、7、9、17、19;酸性黃(acid yellow)1、3、7、9、11、17、23、25、29、34、36、42、54、72、73、76、79、98、99、111、112、114、116、184、243;食用黃(Food Yellow)3;及該些染料的衍生物。
另外,上述以外的偶氮系、二苯并哌喃系、酞菁系的酸性染料亦較佳,亦可較佳地使用C.I.溶劑藍(solvent Blue)44、38;C.I.溶劑橙(Solvent orange)45;玫瑰紅(Rhodamine)B、玫瑰紅110等酸性染料及該些染料的衍生物。
其中,作為染料,較佳為選自三芳基甲烷系、蒽醌系、甲亞胺系、亞苄基系、氧雜菁系、花青系、吩噻嗪系、吡咯并吡唑甲亞胺系、二苯并哌喃系、酞菁系、苯并吡喃系、靛藍系、吡
唑偶氮系、苯胺基偶氮系、吡唑并三唑偶氮系、吡啶酮偶氮系、蒽吡啶酮系、吡咯亞甲基系中的著色劑。
進而,亦可將顏料與染料組合使用。
尤其,本發明的組成物較佳為含有平均粒徑(r)滿足20nm≦r≦300nm,較佳為滿足25nm≦r≦250nm,特佳為滿足30nm≦r≦200nm的顏料。此處所述的「平均粒徑」是指關於顏料的一次粒子(單微晶)聚集而成的二次粒子的平均粒徑。平均一次粒徑可藉由如下方式求出:利用掃描式電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope,SEM)或穿透式電子顯微鏡(Transmission Electron Microscope,TEM)進行觀察,於粒子未凝聚的部分測量100個粒子的尺寸,並算出平均值。
另外,可用於本發明的顏料的二次粒子的粒徑分佈(以下,簡稱為「粒徑分佈」)理想的是處於(平均粒徑±100)nm內的二次粒子為整體的70質量%以上,較佳為80質量%以上。再者,於本發明中,粒徑分佈是利用散射強度分佈來測定。
具有上述平均粒徑及粒徑分佈的顏料可藉由如下方式來製備:較佳為將市售的顏料與視需要而使用的其他顏料(平均粒徑通常超過300nm)一同與分散劑及溶劑混合而製成顏料混合液,然後利用例如珠磨機、輥磨機等粉碎機進行粉碎,並進行混合、分散。以上述方式獲得的顏料通常變成顏料分散液的形態。
-顏料的微細化-
於本發明中,較佳為使用微細且經整粒化的有機顏料。顏料
的微細化藉由經過如下的步驟來達成:將顏料與水溶性有機溶劑及水溶性無機鹽類一同製備高黏度的液狀組成物,然後使用濕式粉碎裝置等,附加應力來加以磨碎。
作為顏料的微細化步驟中所使用的水溶性有機溶劑,可列舉:甲醇、乙醇、異丙醇、正丙醇、異丁醇、正丁醇、乙二醇、二乙二醇、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚、丙二醇、丙二醇單甲醚乙酸酯等。
另外,只要藉由少量使用而吸附於顏料上,且不流失於廢水中,則亦可使用水溶性低、或不具有水溶性的其他溶劑,例如苯、甲苯、二甲苯、乙基苯、氯苯、硝基苯、苯胺、吡啶、喹啉、四氫呋喃、二噁烷、乙酸乙酯、乙酸異丙酯、乙酸丁酯、己烷、庚烷、辛烷、壬烷、癸烷、十一烷、十二烷、環己烷、甲基環己烷、鹵化烴、丙酮、甲基乙基酮、甲基異丁基酮、環己酮、二甲基甲醯胺、二甲基亞碸、N-甲基吡咯啶酮等。
用於顏料的微細化步驟的溶劑可僅為1種,視需要亦可將2種以上混合使用。
作為本發明中用於顏料的微細化步驟的水溶性無機鹽,可列舉:氯化鈉、氯化鉀、氯化鈣、氯化鋇、硫酸鈉等。
微細化步驟中的水溶性無機鹽的使用量為顏料的1質量倍~50質量倍,水溶性無機鹽的使用量多會具有磨碎效果,但就生產性的觀點而言,更佳的量為1質量倍~10質量倍。另外,較佳為使用水分為1%以下的無機鹽類。
相對於顏料100質量份,微細化步驟中的水溶性有機溶劑的使用量為50質量份~300質量份的範圍,較佳為100質量份~200質量份的範圍。
顏料的微細化步驟中的濕式粉碎裝置的運轉條件並無特別限制,但為了使利用粉碎介質的磨碎有效地進行,裝置為捏合機(kneader)時的運轉條件較佳為裝置內的刀片(blade)的轉速為10rpm~200rpm,另外,雙軸的旋轉比相對大時磨碎效果大而較佳。運轉時間較佳為與乾式粉碎時間相加為1小時~8小時,裝置的內溫較佳為50℃~150℃。另外,作為粉碎介質的水溶性無機鹽較佳為粉碎粒度為5μm~50μm、粒徑的分佈尖銳、且為球形。
本發明的組成物為了使形成為膜厚為1μm的膜時的膜的厚度方向的透光率於波長400nm~750nm的範圍內的最大值變成20%以下,使上述膜的厚度方向的透光率於900nm~1300nm的範圍內的最小值變成90%以上,較佳為含有顏料,更佳為含有2種以上的顏料。2種以上的顏料較佳為將紅色顏料、黃色顏料、藍色顏料、及紫色顏料組合而形成。
本發明的組成物更佳為含有作為紅色顏料的C.I.顏料紅254、作為黃色顏料的C.I.顏料黃139、作為藍色顏料的C.I.顏料藍15:6、及作為紫色顏料的C.I.顏料紫23。
當本發明的組成物中所含有的2種以上的顏料為將紅色顏料、黃色顏料、藍色顏料、及紫色顏料組合而形成時,較佳為
紅色顏料相對於所有顏料的質量比為0.2以上、0.5以下,黃色顏料相對於所有顏料的質量比為0.1以上、0.2以下,藍色顏料相對於所有顏料的質量比為0.25以上、0.55以下,紫色顏料相對於所有顏料的質量比為0.05以上、0.15以下,更佳為紅色顏料相對於所有顏料的質量比為0.3以上、0.4以下,黃色顏料相對於所有顏料的質量比為0.1以上、0.2以下,藍色顏料相對於所有顏料的質量比為0.3以上、0.4以下,紫色顏料相對於所有顏料的質量比為0.05以上、0.15以下。
本發明的組成物含有有機顏料作為著色劑,相對於著色劑的總量,有機顏料的含量較佳為95質量%以上,更佳為97質量%以上,進而更佳為99質量%以上。相對於著色劑的總量,有機顏料的含量為100質量%以下。
相對於組成物的總固體成分(於後述的著色感放射線組成物中為著色感放射線組成物的總固體成分),著色劑(更佳為有機顏料)的含量較佳為20質量%~70質量%,更佳為25質量%~65質量%,進而更佳為30質量%~60質量%,藉此,組成物可適宜地達成形成為膜厚為1μm的膜時的上述透光率的條件。
(顏料分散液的製備)
如上所述,本發明的組成物較佳為含有顏料,於此情況下,較佳為視需要將顏料與顏料分散劑、有機溶劑、顏料衍生物、及高分子化合物等其他成分等一同分散來製備顏料分散液,並使所獲得的顏料分散液與(B)光聚合起始劑、(C)聚合性化合物、及
視需要而添加的其他成分混合來製備。
以下,對顏料分散液的組成、顏料分散液的製備的方法進行詳述。
顏料分散液的製備方法並無特別限制,作為分散的方法,例如可藉由如下方式來進行:使用利用氧化鋯珠等的珠粒分散機(例如,格茨曼(GETZMANN)公司製造的Dispermat)等,使事先將顏料與顏料分散劑等混合,並利用均質機等事先進行分散而成者進行微分散。
<顏料分散劑>
作為可用於顏料分散液的製備的顏料分散劑,可列舉:高分子分散劑[例如聚醯胺胺與其鹽、聚羧酸與其鹽、高分子量不飽和酸酯、改質聚胺基甲酸酯、改質聚酯、改質聚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸系共聚物、萘磺酸甲醛縮合物]、及聚氧乙烯烷基磷酸酯、聚氧乙烯烷基胺、烷醇胺等界面活性劑、以及顏料衍生物等。
高分子分散劑根據其結構而可進一步分類成直鏈狀高分子、末端改質型高分子、接枝型高分子、嵌段型高分子。
作為具有針對顏料表面的固定部位的末端改質型高分子,例如可列舉:日本專利特開平3-112992號公報、日本專利特表2003-533455號公報等中所記載的於末端具有磷酸基的高分子,日本專利特開2002-273191號公報等中所記載的於末端具有磺酸基的高分子,日本專利特開平9-77994號公報等中所記載的具有有機色素的部分骨架或雜環的高分子等。另外,日本專利特
開2007-277514號公報中所記載的於高分子末端導入有2個以上針對顏料表面的固定部位(酸基、鹼性基、有機色素的部分骨架或雜環等)的高分子的分散穩定性亦優異,而較佳。
作為具有針對顏料表面的固定部位的接枝型高分子,例如可列舉:日本專利特開昭54-37082號公報、日本專利特表平8-507960號公報、日本專利特開2009-258668號公報等中所記載的聚(低級伸烷基亞胺)與聚酯的反應產物,日本專利特開平9-169821號公報等中所記載的聚烯丙基胺與聚酯的反應產物,日本專利特開平10-339949號公報、日本專利特開2004-37986號公報等中所記載的大分子單體(macromonomer)與氮原子單體的共聚物,日本專利特開2003-238837號公報、日本專利特開2008-9426號公報、日本專利特開2008-81732號公報等中所記載的具有有機色素的部分骨架或雜環的接枝型高分子,日本專利特開2010-106268號公報等中所記載的大分子單體與含有酸基的單體的共聚物等。尤其,就顏料分散物的分散性、分散穩定性、及著色感放射線性組成物所顯示出的顯影性的觀點而言,特佳為日本專利特開2009-203462號公報中所記載的具有鹼性基與酸性基的兩性分散樹脂。
作為藉由自由基聚合來製造具有針對顏料表面的固定部位的接枝型高分子時所使用的大分子單體,可使用公知的大分子單體,可列舉:東亞合成(股份)製造的大分子單體AA-6(末端基為甲基丙烯醯基的聚甲基丙烯酸甲酯)、AS-6(末端基為甲基
丙烯醯基的聚苯乙烯)、AN-6S(末端基為甲基丙烯醯基的苯乙烯與丙烯腈的共聚物)、AB-6(末端基為甲基丙烯醯基的聚丙烯酸丁酯),大賽璐(DAICEL)化學工業(股份)製造的PLACCEL FM5(甲基丙烯酸2-羥基乙酯的ε-己內酯5莫耳當量加成物)、FA10L(丙烯酸2-羥基乙酯的ε-己內酯10莫耳當量加成物),以及日本專利特開平2-272009號公報中所記載的聚酯系大分子單體等。該些之中,尤其就顏料分散物的分散性、分散穩定性、及使用顏料分散物的著色感放射線性組成物所顯示出的顯影性的觀點而言,特佳為柔軟性且親溶劑性優異的聚酯系大分子單體,進而,最佳為由日本專利特開平2-272009號公報中所記載的聚酯系大分子單體所表示的聚酯系大分子單體。
作為具有針對顏料表面的固定部位的嵌段型高分子,較佳為日本專利特開2003-49110號公報、日本專利特開2009-52010號公報等中所記載的嵌段型高分子。
顏料分散劑亦可作為市售品而獲得,作為此種市售品的具體例,可列舉:畢克化學(BYKChemie)公司製造的「Disperbyk-101(聚醯胺胺磷酸鹽)、107(羧酸酯)、110(含有酸基的共聚物)、130(聚醯胺)、161、162、163、164、165、166、170(高分子共聚物)」、「BYK-P104、P105(高分子量不飽和聚羧酸)」,埃夫卡(EFKA)公司製造的「EFKA4047、4050~4010~4165(聚胺基甲酸酯系)、EFKA4330~4340(嵌段共聚物)、4400~4402(改質聚丙烯酸酯)、5010(聚酯醯胺)、5765(高分子量
聚羧酸鹽)、6220(脂肪酸聚酯)、6745(酞菁衍生物)、6750(偶氮顏料衍生物)」,味之素精細化學(Ajinomoto Fine-Techno)公司製造的「AJISPER PB821、PB822、PB880、PB881」,共榮社化學公司製造的「FLOWLEN TG-710(胺基甲酸酯寡聚物)」、「POLYFLOW No.50E、No.300(丙烯酸系共聚物)」,楠本化成公司製造的「DISPARLON KS-860、873SN、874、#2150(脂肪族多元羧酸)、#7004(聚醚酯)、DA-703-50、DA-705、DA-725」,花王公司製造的「DEMOL RN、N(萘磺酸甲醛聚縮合物)、MS、C、SN-B(芳香族磺酸甲醛聚縮合物)」、「HOMOGENOL L-18(高分子聚羧酸)」、「EMULGEN 920、930、935、985(聚氧乙烯壬基苯基醚)」、「ACETAMIN 86(硬脂基胺乙酸酯)」,日本路博潤(Lubrizol)(股份)製造的「SOLSPERSE 5000(酞菁衍生物)、22000(偶氮顏料衍生物)、13240(聚酯胺)、3000、17000、27000(末端部具有功能部的高分子)、24000、28000、32000、38500(接枝型高分子)」,日光化學(Nikko Chemicals)公司製造的「NIKKOL T106(聚氧乙烯去水山梨醇單油酸酯)、MYS-IEX(聚氧乙烯單硬脂酸酯)」,川研精細化學(Kawaken Fine Chemicals)(股份)製造的HINOACT T-8000E等,信越化學工業(股份)製造的有機矽氧烷聚合物KP341,裕商(股份)製造的「W001:陽離子系界面活性劑」、聚氧乙烯月桂醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油醚、聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚、聚乙二醇二月桂酸酯、聚乙二醇二硬脂酸酯、去水山梨醇脂肪酸酯等非離子系界面
活性劑、「W004、W005、W017」等陰離子系界面活性劑,森下產業(股份)製造的「EFKA-46、EFKA-47、EFKA-47EA、EFKA Polymer100、EFKA Polymer400、EFKA Polymer401、EFKA Polymer450」,聖諾普科(San Nopco)(股份)製造的「DISPERSE AID6、DISPERSE AID8、DISPERSE AID15、DISPERSE AID9100」等高分子分散劑,艾迪科(ADEKA)(股份)製造的「ADEKA PLURONIC L31、F38、L42、L44、L61、L64、F68、L72、P95、F77、P84、F87、P94、L101、P103、F108、L121、P-123」,以及三洋化成(股份)製造的「IONET S-20」等。
另外,亦可將藉由使聚合性不飽和化合物於二硫代羰基化合物等可逆加成裂解鏈轉移劑(reversible addition-fragmentation chain transfer,RAFT劑)、及自由基起始劑的存在下進行自由基聚合所獲得的嵌段共聚物、或分子量分佈窄的共聚物用作顏料分散劑。作為此種樹脂的具體例,可列舉日本專利特開2008-242081號公報、日本專利特開2008-176218號公報等中所記載的樹脂。另外,亦可將此種嵌段共聚物或分子量分佈窄的共聚物用作鹼可溶性樹脂。
接枝共聚物(以下,亦稱為「特定樹脂1」)作為顏料分散劑亦較佳。上述接枝共聚物具有除氫原子以外的原子數為40~10000的範圍的接枝鏈。此情況下的接枝鏈表示自共聚物的主鏈的根部(自主鏈進行分支的基中鍵結於主鏈的原子)至自主鏈進行分支的基的末端為止。於分散組成物中,該特定樹脂是對顏料賦
予分散性的分散樹脂,因具有由接枝鏈所產生的與溶劑的親和性,故顏料的分散性、及經時後的分散穩定性優異。另外,可認為當製成分散組成物時,接枝鏈與溶劑顯示出良好的相互作用,藉此塗佈膜的膜厚的均一性惡化的情況得到抑制。
作為上述接枝共聚物,較佳為每1條接枝鏈的除氫原子以外的原子數為40~10000,更佳為每1條接枝鏈的除氫原子以外的原子數為100~500,進而更佳為每1條接枝鏈的除氫原子以外的原子數為150~260。若該數過少,則接枝鏈短,因此有時立體排斥效果變小,分散性或分散穩定性下降。另一方面,若該數過多,則接枝鏈變得過長,有時對於顏料的吸附力下降,分散性或分散穩定性下降。再者,所謂每1條接枝鏈的除氫原子以外的原子數,是指自鍵結於構成主鏈的高分子鏈的根部的原子,至自主鏈進行分支的分支聚合物的末端為止所含有的氫原子以外的原子的數量。另外,當於接枝共聚物中包含2種以上的接枝鏈時,只要至少1種接枝鏈的除氫原子以外的原子數滿足上述必要條件即可。
作為接枝鏈的聚合物結構,可使用聚(甲基)丙烯酸結構、聚酯結構、聚胺基甲酸酯結構、聚脲結構、聚醯胺結構、聚醚結構等,為了藉由提昇接枝鏈與溶劑的相互作用性來提高分散性或分散穩定性,較佳為具有聚(甲基)丙烯酸結構、聚酯結構、或聚醚結構的接枝鏈,更佳為具有聚酯結構、或聚醚結構。
接枝共聚物較佳為包含具有上述接枝鏈的結構單元(重
複單元),例如可藉由根據常規方法,使具有聚合物結構作為接枝鏈的大分子單體進行聚合來獲得,作為此種大分子單體的結構,只要具有可與聚合物主鏈部進行反應的取代基、且具有滿足必要條件的接枝鏈,則並無特別限定,較佳為可適宜地使用具有反應性雙鍵性基的大分子單體。
作為可適宜地用於特定樹脂1的合成的市售大分子單體,可列舉:AA-6(東亞合成公司製造)、AA-10(東亞合成公司製造)、AB-6(東亞合成公司製造)、AS-6(東亞合成公司製造)、AN-6(東亞合成公司製造)、AW-6(東亞合成公司製造)、AA-714(東亞合成公司製造)、AY-707(東亞合成公司製造)、AY-714(東亞合成公司製造)、AK-5(東亞合成公司製造)、AK-30(東亞合成公司製造)、AK-32(東亞合成公司製造)、Blemmer PP-100(日油公司製造)、Blemmer PP-500(日油公司製造)、Blemmer PP-800(日油公司製造)、Blemmer PP-1000(日油公司製造)、Blemmer 55-PET-800(日油公司製造)、Blemmer PME-4000(日油公司製造)、Blemmer PSE-400(日油公司製造)、Blemmer PSE-1300(日油公司製造)、Blemmer 43PAPE-600B(日油公司製造)等。其中,可較佳地列舉AA-6(東亞合成公司製造)、AA-10(東亞合成公司製造)、AB-6(東亞合成公司製造)、AS-6(東亞合成公司製造)、AN-6(東亞合成公司製造)、Blemmer PME-4000(日油公司製造)等。
特定樹脂1較佳為至少含有由下述式(1)~式(4)的
任一者所表示的結構單元作為具有上述接枝鏈的結構單元。
X1、X2、X3、X4、及X5分別獨立地表示氫原子或一價的有機基。就合成上的制約的觀點而言,較佳為氫原子、或碳數為1~12的烷基,更佳為氫原子或甲基,特佳為甲基。
W1、W2、W3、及W4分別獨立地表示氧原子或NH,特佳為氧原子。
R3表示分支或直鏈的伸烷基(碳數較佳為1~10,更佳為2或3),就分散穩定性的觀點而言,較佳為由-CH2-CH(CH3)-所表示的基、或由-CH(CH3)-CH2-所表示的基。亦可於特定樹脂中混合使用2種以上的結構不同的R3。
Y1、Y2、Y3、及Y4分別獨立地為二價的連結基,結構上並無特別限制。具體而言,可列舉下述的(Y-1)~(Y-21)的連結基等。下述結構中,A、B分別表示與式(1)~式(4)中的左末端基、右末端基的鍵結。下述所示的結構之中,就合成的簡便性而言,更佳為(Y-2)、(Y-13)。
Z1、Z2、Z3、及Z4分別獨立地為氫原子或一價的取代基,取代基的結構並無特別限定,具體而言,可列舉:烷基、羥基、烷氧基、芳氧基、或雜芳氧基、烷基硫醚基、芳基硫醚基、或者雜芳基硫醚基、胺基等。其中,尤其就提昇分散性的觀點而言,較佳為具有立體排斥效果,作為由Z1~Z3所表示的一價的取代基,較佳為分別獨立且碳數為5~24的烷基或碳數為5~24的烷氧基,其中,特佳為分別獨立且具有碳數為5~24的分支烷基的烷氧基、或具有碳數為5~24的環狀烷基的烷氧基。另外,作為
由Z4所表示的一價的取代基,較佳為碳數為5~24的烷基,其中,較佳為分別獨立且碳數為5~24的分支烷基或者碳數為5~24的環狀烷基。
n、m、p、及q分別為1~500的整數。
j及k分別獨立地表示2~8的整數。
就分散穩定性的觀點而言,j及k較佳為4~6的整數,最佳為5。
R4表示氫原子或一價的有機基,結構上並無特別限定,但較佳為氫原子、烷基、芳基、雜芳基,更佳為氫原子、烷基。當該R4為烷基時,作為該烷基,較佳為碳數為1~20的直鏈狀烷基、碳數為3~20的分支狀烷基、或碳數為5~20的環狀烷基,更佳為碳數為1~20的直鏈狀烷基,特佳為碳數為1~6的直鏈狀烷基。亦可於特定樹脂中混合使用2種以上的結構不同的R4。
作為由上述式(1)所表示的結構單元,就分散穩定性的觀點而言,更佳為由下述式(1A)或式(2A)所表示的結構單元。
式(1A)中,X1、Y1、Z1及n的含義與式(1)中的X1、Y1、Z1及n相同,較佳的範圍亦相同。
式(2A)中,X2、Y2、Z2及m的含義與式(2)中的X2、Y2、Z2及m相同,較佳的範圍亦相同。
作為特定樹脂1,更佳為具有由上述式(1A)所表示的結構單元者。
於特定樹脂1中,以質量換算計,相對於特定樹脂1的總質量,較佳為於10%~75%的範圍內包含具有上述接枝鏈的結構單元(重複單元),更佳為於12%~50%的範圍內包含具有上述接枝鏈的結構單元(重複單元),特佳為於15%~40%的範圍內包含具有上述接枝鏈的結構單元(重複單元)。若為該範圍內,則顏料的分散性或分散穩定性高,使用分散組成物所形成的塗佈膜的膜厚的均一性變得更良好。另外,作為特定樹脂1,亦可為2種以上的結構不同的接枝共聚物的組合。
另外,特定樹脂1較佳為如下的聚合物,即相對於特定樹脂1的總質量,以25質量%以上、90質量%以下包含具有酸基的結構單元(重複單元)。相對於特定樹脂1的總質量,具有酸基的結構單元的含量更佳為50質量%以上、80質量%以下,最佳為60質量%以上、75質量%以下。
另外,藉由具有酸基的結構單元的含量為上述範圍內,而可將特定樹脂1的酸值適宜地調整至下述的較佳的範圍內。
另外,酸基亦可作為除接枝鏈以外,可與顏料形成相互
作用的官能基發揮功能。
作為上述酸基,例如可列舉羧酸基、磺酸基、磷酸基、酚性羥基等,就對於顏料的吸附力、及分散性.分散穩定性的觀點而言,較佳為選自羧酸基、磺酸基、及磷酸基中的至少1種,特佳為羧酸基。
進而,酸基結構較佳為自樹脂結構的主鏈起相隔5個原子以上的結構。進而,作為酸基,最佳為鍵結於芳香環上的羧酸。
作為上述酸基,可單獨使用該些酸基的1種、或將2種以上組合使用。
上述特定樹脂1的酸值較佳為70mgKOH/g以上、350mgKOH/g以下的範圍,更佳為80mgKOH/g以上、300mgKOH/g以下的範圍,進而更佳為100mgKOH/g以上、250mgKOH/g以下的範圍。藉由將酸值設為上述範圍,即便於將分散組成物塗佈在大尺寸(例如12吋)的晶圓上的情況下,亦可更確實地獲得晶圓的中心部與周邊部的膜厚差小的膜。
特定樹脂1的酸值例如可根據特定樹脂中的酸基的平均含量而算出。另外,藉由使構成特定樹脂的含有酸基的單體單元的含量變化,而可獲得具有所期望的酸值的樹脂。
特定樹脂1可進一步包括具有除上述接枝鏈及酸基以外的可與顏料形成相互作用的官能基的結構單元(重複單元)。此種具有其他可與顏料形成相互作用的官能基的結構單元於結構上並無特別限定,例如可列舉具有鹼性基的結構單元、具有配位性基
的結構單元、含有具有反應性的基的結構單元等。
作為上述鹼性基,例如可列舉:一級胺基、二級胺基、三級胺基、含有N原子的雜環、醯胺基等。特佳為對於顏料的吸附力良好、且分散性.分散穩定性高的三級胺基。作為上述鹼性基,可單獨使用該些基的1種、或將2種以上組合使用。
特定樹脂1可含有具有鹼性基的結構單元(重複單元),亦可不含具有鹼性基的結構單元(重複單元),當含有具有鹼性基的結構單元(重複單元)時,相對於特定樹脂1的總質量,具有鹼性基的結構單元的含量為0.1質量%以上、50質量%以下,特佳為0.1質量%以上、30質量%以下。
作為上述配位性基、具有反應性的基,例如可列舉:乙醯基乙醯氧基、三烷氧基矽烷基、異氰酸酯基(isocyanate group)、酸酐殘基、醯氯殘基等。特佳為對於顏料的吸附力良好、分散性.分散穩定性高的乙醯基乙醯氧基。作為上述配位性基、具有反應性的基,可單獨使用該些基的1種、或將2種以上組合使用。
特定樹脂可含有包含配位性基或具有反應性的基的結構單元(重複單元),亦可不含包含配位性基或具有反應性的基的結構單元(重複單元),當含有包含配位性基或具有反應性的基的結構單元(重複單元)時,相對於特定樹脂的總質量,包含配位性基或具有反應性的基的結構單元的含量為0.1質量%以上、50質量%以下,特佳為0.1質量%以上、30質量%以下。
特定樹脂1可藉由先前公知的方法來合成。作為合成時
所使用的溶劑,例如可列舉:二氯化乙烯、環己酮、甲基乙基酮、丙酮、甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙酸2-甲氧基乙酯、1-甲氧基-2-丙醇、乙酸1-甲氧基-2-丙酯、N,N-二甲基甲醯胺、N,N-二甲基乙醯胺、二甲基亞碸、甲苯、乙酸乙酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯等。該些溶劑可單獨使用、或混合2種以上。
作為上述特定樹脂1的具體例,可列舉以下的例示化合物1~例示化合物32,但本發明並不限定於該些例示化合物。下述例示化合物中,一併記載於各結構單元中的數值(一併記載於主鏈重複單元中的數值)表示該結構單元的含量[質量%:記載為(wt%)]。一併記載於側鏈的重複部位中的數值表示該重複部位的重複數。
[化5]
[化6]
[化7]
[化8]
[化9]
[化10]
[化11]
[化12]
[化13]
特定樹脂1的重量平均分子量(藉由凝膠滲透層析法(Gel Permeation Chromatography,GPC)所測定的聚苯乙烯換算值)較佳為5,000以上、300,000以下,更佳為7,000以上、100,000以下,特佳為10,000以上、50,000以下。
作為顏料分散劑,使用主鏈及側鏈的至少一者上含有氮原子的寡聚亞胺系分散劑亦較佳。作為寡聚亞胺系分散劑,較佳為如下的分散樹脂(以下,適宜稱為「特定樹脂2」),該分散樹脂包含具有含有pKa為14以下的官能基的部分結構X的重複單元、及含有原子數為40~10,000的側鏈Y的側鏈,且於主鏈及側鏈的
至少一者上具有鹼性氮原子。此處,鹼性氮原子只要是呈現鹼性的氮原子,則並無特別限制。
作為特定樹脂2,亦可具有與上述部分結構X等成對的部分結構W,部分結構W較佳為具有pKb為14以下的氮原子的結構部,更佳為含有具有pKb為10以下的氮原子的結構。所謂鹼強度pKb,是指於水溫25℃下的pKb,其是用以定量地表示鹼的強度的指標之一,且含義與鹼性度常數相同。鹼強度pKb與後述的酸強度pKa處於pKb=14-pKa的關係。再者,當部分結構X與部分結構W成對而形成鹽結構時,設想部分結構X與部分結構W已解離的結構,而作為質子(H+)或氫氧化物離子(OH-)與其進行離子鍵結而成的化合物來評價其pKa及pKb。關於部分結構X,其後進一步說明其詳細情況。
部分結構X的較佳的範圍的詳細含義與後述的部分結構X相同。另外,關於上述側鏈Y,其較佳的範圍的詳細含義亦同樣與後述的側鏈Y相同。上述W較佳為側鏈Y的連結部解離而變成離子鍵結性的部位的結構。
作為特定樹脂2的一例,可列舉由下述式[B]所表示的樹脂。
[化14]
上述式中,x、y、及z分別表示重複單元的聚合莫耳比,較佳為x為5~50,y為5~60,z為10~90。l表示聚酯鏈的連結數,且為可形成原子數為40~10,000的側鏈的整數,l較佳為5~100,000,更佳為20~20,000,進而更佳為40~2,000。由式中的x來規定共聚比的重複單元為部分結構X,由式中的z來規定共聚比的重複單元為部分結構Y。
特定樹脂2特佳為具有重複單元與側鏈(ii)的分散樹脂(以下,適宜稱為「特定樹脂(B1)」),上述重複單元(i)是(i)選自聚(低級伸烷基亞胺)系重複單元、聚烯丙基胺系重複單元、聚二烯丙基胺系重複單元、間二甲苯二胺-表氯醇聚縮合物系重複單元、及聚乙烯基胺系重複單元中的至少1種具有鹼性氮原子的重複單元,並具有鍵結於上述鹼性氮原子上、且含有pKa為14以下的官能基的部分結構X,上述側鏈(ii)含有原子數為40~10,000的側鏈Y。
特定樹脂(B1)具有上述重複單元(i)。藉此,分散樹脂對於粒子表面的吸附力提昇,且可減少粒子間的相互作用。聚(低級伸烷基亞胺)可為鏈狀,亦可為網狀。此處,所謂低級伸烷基亞胺,是指含有碳數為1~5的伸烷基鏈的伸烷基亞胺。上述重複
單元(i)較佳為形成特定樹脂(B1)中的主鏈部。該主鏈部的數量平均分子量,即自特定樹脂(B1)中去除含有上述側鏈Y部分的側鏈後的部分的數量平均分子量較佳為100~10,000,更佳為200~5,000,最佳為300~2,000。主鏈部的數量平均分子量可藉由利用GPC法所得的聚苯乙烯換算值來測定。
作為特定樹脂(B1),較佳為含有由下述式(I-1)所表示的重複單元及由式(I-2)所表示的重複單元、或由式(I-1)所表示的重複單元及由式(I-2a)所表示的重複單元的分散樹脂。
R1及R2分別獨立地表示氫原子、鹵素原子或烷基(較佳為碳數為1~6)。a分別獨立地表示1~5的整數。*表示重複單元間的連結部。
R8及R9為含義與R1相同的基。
L為單鍵、伸烷基(較佳為碳數為1~6)、伸烯基(較佳為碳數為2~6)、伸芳基(較佳為碳數為6~24)、伸雜芳基(較佳為碳數為1~6)、亞胺基(較佳為碳數為0~6)、醚基、硫醚基、羰基、或與該些的組合相關的連結基。其中,較佳為單鍵或
-CR5R6-NR7-(亞胺基變成X或Y)。此處,R5及R6分別獨立地表示氫原子、鹵素原子、烷基(較佳為碳數為1~6)。R7為氫原子或碳數為1~6的烷基。
La為與CR8CR9及N一同形成環結構的結構部位,較佳為與CR8CR9的碳原子一同形成碳數為3~7的非芳香族雜環的結構部位。更佳為與CR8CR9的碳原子及N(氮原子)一同形成5員~7員的非芳香族雜環的結構部位,進而更佳為形成5員的非芳香族雜環的結構部位,特佳為形成吡咯啶的結構部位。其中,該結構部位可進而具有烷基等取代基。
X表示具有pKa為14以下的官能基的基。
Y表示原子數為40~10,000的側鏈。
特定樹脂(B1)較佳為進而具有由式(I-3)、式(I-4)、或式(I-5)所表示的重複單元作為共聚成分。藉由特定樹脂(B1)含有此種重複單元,而可進一步提昇分散性能。
R1、R2、R8、R9、L、La、a及*的含義與式(I-1)、式(I-2)、式(I-2a)中的規定相同。
Ya表示具有陰離子基的原子數為40~10,000的側鏈。
由式(I-3)所表示的重複單元可藉由向主鏈部具有一級胺基或二級胺基的樹脂中添加具有與胺進行反應而形成鹽的基的寡聚物或聚合物並進行反應來形成。Ya較佳為後述式(III-2)。
於式(I-1)~式(I-5)中,R1及R2特佳為氫原子。就獲得原料的觀點而言,較佳為a為2。
特定樹脂(B1)亦可進而包含含有一級胺基或三級胺基的低級伸烷基亞胺作為重複單元。再者,於此種低級伸烷基亞胺重複單元中的氮原子上,亦可進而鍵結由上述X、Y或Ya所表示的基。另外,含有於此種主鏈結構上鍵結有由X所表示的基的重複單元、及於此種主鏈結構上鍵結有Y的重複單元兩者的樹脂亦包含於特定樹脂(B1)中。
就保存穩定性.顯影性的觀點而言,於特定樹脂(B1)中所含有的所有重複單元中,較佳為含有1莫耳%~80莫耳%的由式(I-1)所表示的重複單元,最佳為含有3莫耳%~50莫耳%的由式(I-1)所表示的重複單元。就保存穩定性的觀點而言,於特定樹脂(B1)中所含有的所有重複單元中,較佳為含有10莫耳%~90莫耳%的由式(I-2)所表示的重複單元,最佳為含有30莫耳%~70莫耳%的由式(I-2)所表示的重複單元。就分散穩定性及親疏水性的平衡的觀點而言,重複單元(I-1)及重複單元(I-2)的含有比[(I-1):(I-2)]以莫耳比計較佳為10:1~1:100的範圍,更佳為1:1~1:10的範圍。就效果的觀點而言,於特定樹脂(B1)中所含有的所有重複單元中,較佳為含有0.5莫耳%~20
莫耳%的視需要而併用的由式(I-3)所表示的重複單元,最佳為含有1莫耳%~10莫耳%的視需要而併用的由式(I-3)所表示的重複單元。再者,聚合物鏈Ya進行離子鍵結可藉由紅外分光法或鹼滴定來確認。
再者,關於上述式(I-2)的共聚比的說明對於由式(I-2a)、式(I-4)、式(I-5)所表示的重複單元而言亦為相同的含義,當包含兩者時是指其總量。
.部分結構X
上述各式中的部分結構X具有水溫25℃下的pKa為14以下的官能基。此處所述的「pKa」是指化學便覽(II)(修訂4版,1993年,日本化學會編,丸善股份有限公司)中所記載的定義的pKa。「pKa為14以下的官能基」只要是物性滿足該條件者即可,其結構等並無特別限定,可列舉pKa滿足上述範圍的公知的官能基,尤其,較佳為pKa為12以下的官能基,特佳為pKa為11以下的官能基。不特別存在下限值,但較實際的是-5以上。作為部分結構X,具體而言,例如可列舉羧酸基(pKa:3~5左右)、磺酸(pKa:-3~-2左右)、-COCH2CO-(pKa:8~10左右)、-COCH2CN(pKa:8~11左右)、-CONHCO-、酚性羥基、-RFCH2OH或-(RF)2CHOH(RF表示全氟伸烷基或全氟烷基。pKa:9~11左右)、磺醯胺基(pKa:9~11左右)等,特佳為羧酸基(pKa:3~5左右)、磺酸基(pKa:-3~-2左右)、-COCH2CO-(pKa:8~10左右)。
藉由部分結構X所具有的官能基的pKa為14以下,而可達成與高折射粒子的相互作用。部分結構X較佳為直接鍵結於上述具有鹼性氮原子的重複單元中的鹼性氮原子上。部分結構X不僅能夠以進行共價鍵結而形成鹽的形態來連結,亦能夠以進行離子鍵結而形成鹽的形態來連結。作為部分結構X,特佳為具有由下述式(V-1)、式(V-2)或式(V-3)所表示的結構者。
U表示單鍵或二價的連結基。
d及e分別獨立地表示0或1。
Q表示醯基或烷氧基羰基。
作為由U所表示的二價的連結基,例如可列舉伸烷基(更具體而言,例如-CH2-、-CH2CH2-、-CH2CHMe-(Me為甲基)、-(CH2)5-、-CH2CH(n-C10H21)-等)、含有氧的伸烷基(更具體而言,例如-CH2OCH2-、-CH2CH2OCH2CH2-等)、伸芳基(例如伸苯基、伸甲苯基、伸聯苯基、伸萘基、伸呋喃基、伸吡咯基等)、伸烷氧基(例如伸乙氧基、伸丙氧基、伸苯氧基等)等,特佳為碳數為1~30的伸烷基或碳數為6~20的伸芳基,最佳為碳數為1~20的伸烷基或碳數為6~15的伸芳基。
另外,就生產性的觀點而言,d較佳為1,另外,e較佳為0。
Q表示醯基或烷氧基羰基。作為Q中的醯基,較佳為碳數為1~30的醯基(例如甲醯基、乙醯基、正丙醯基、苯甲醯基等),特佳為乙醯基。作為Q中的烷氧基羰基,Q特佳為醯基,就製造的容易性、原料(X的前驅物Xa)的獲得性的觀點而言,較佳為乙醯基。
部分結構X較佳為與具有鹼性氮原子的重複單元中的該鹼性氮原子鍵結。藉此,二氧化鈦粒子的分散性.分散穩定性飛躍性地提昇。可認為部分結構X亦賦予溶劑溶解性,並抑制樹脂的經時的析出,藉此有助於分散穩定性。進而,部分結構X因含有pKa為14以下的官能基,故亦作為鹼可溶性基發揮功能。藉此,可認為顯影性提昇,並可實現分散性.分散穩定性.顯影性的並存。
部分結構X中的pKa為14以下的官能基的含量並無特別限制,但相對於特定樹脂(B1)1g,較佳為0.01mmol~5mmol,特佳為0.05mmol~1mmol。另外,就酸值的觀點而言,含有特定樹脂(B1)的酸值變成5mgKOH/g~50mgKOH/g左右的量的上述官能基就顯影性的觀點而言較佳。
.側鏈Y
作為Y,可列舉能夠與特定樹脂(B1)的主鏈部連結的聚酯、聚醯胺、聚醯亞胺、聚(甲基)丙烯酸酯等公知的聚合物鏈。Y中的與特定樹脂(B1)的鍵結部位較佳為側鏈Y的末端。
Y較佳為與選自聚(低級伸烷基亞胺)系重複單元、聚烯
丙基胺系重複單元、聚二烯丙基胺系重複單元、間二甲苯二胺-表氯醇聚縮合物系重複單元、及聚乙烯基胺系重複單元中的至少1種具有氮原子的重複單元的上述氮原子鍵結。選自聚(低級伸烷基亞胺)系重複單元、聚烯丙基胺系重複單元、聚二烯丙基胺系重複單元、間二甲苯二胺-表氯醇聚縮合物系重複單元、及聚乙烯基胺系重複單元中的至少1種具有鹼性氮原子的重複單元等的主鏈部與Y的鍵結方式為共價鍵結、離子鍵結、或共價鍵結及離子鍵結的混合。Y與上述主鏈部的鍵結方式的比率為共價鍵結:離子鍵結=100:0~0:100,較佳為95:5~5:95,特佳為90:10~10:90。
Y較佳為與上述具有鹼性氮原子的重複單元的上述氮原子進行醯胺鍵結、或作為羧酸鹽而進行離子鍵結。
作為上述側鏈Y的原子數,就分散性.分散穩定性.顯影性的觀點而言,較佳為50~5,000,更佳為60~3,000。
另外,Y的數量平均分子量可藉由利用GPC法所得的聚苯乙烯換算值來測定。此時,較實際的是於將Y導入至樹脂中前的狀態下測定其分子量。Y的數量平均分子量特佳為1,000~50,000,就分散性.分散穩定性.顯影性的觀點而言,最佳為1,000~30,000。Y的分子量可根據成為Y的原料的高分子化合物來特別規定,其測定方法依照後述利用GPC的測定條件。
相對於主鏈,較佳為於樹脂1分子中連結有2個以上的由Y所表示的側鏈結構,特佳為連結有5個以上的由Y所表示的側鏈
結構。
尤其,Y較佳為具有由式(III-1)所表示的結構者。
式(III-1)中,Z為具有聚酯鏈作為部分結構的聚合物或寡聚物,表示自具有由HO-CO-Z所表示的游離的羧酸的聚酯中去除羧基後的殘基。當特定樹脂(B1)含有由式(I-3)~式(I-5)所表示的重複單元時,較佳為Ya為式(III-2)。
式(III-2)中,Z的含義與式(III-1)中的Z相同。上述部分結構Y中,於一末端具有羧基的聚酯可藉由羧酸與內酯的聚縮合、含有羥基的羧酸的聚縮合、二元醇與二元羧酸(或環狀酸酐)的聚縮合等而獲得。
Z較佳為-(LB)nB-ZB。
ZB表示氫原子或一價的有機基。當ZB為有機基時,較佳為烷基(較佳為碳數為1~30)、芳基、雜環基等。ZB可進而具有取代
基,作為該取代基,可列舉碳數為6~24的芳基、碳數為3~24的雜環基。
LB為伸烷基(較佳為碳數為1~6)、伸烯基(較佳為碳數為2~6)、伸芳基(較佳為碳數為6~24)、伸雜芳基(較佳為碳數為1~6)、亞胺基(較佳為碳數為0~6)、醚基、硫醚基、羰基、或與該些的組合相關的連結基。其中,較佳為伸烷基(較佳為碳數為1~6)、醚基、羰基、或與該些的組合相關的連結基。伸烷基可為分支,亦可為直鏈。伸烷基可具有取代基,較佳的取代基為烷基(較佳的碳數為1~6)、醯基(較佳的碳數為2~6)、烷氧基(較佳的碳數為1~6)、或烷氧基羰基(較佳的碳數為2~8)。nB為5~100,000的整數。nB個LB可為彼此不同的結構。
以下,藉由樹脂所具有的重複單元的具體結構與其組合來表示特定樹脂2的具體形態,但本發明並不限定於此。下述式中,k、l、m、及n分別表示重複單元的聚合莫耳比,k為1~80,l為10~90,m為0~80,n為0~70,且k+l+m+n=100。由k、l、m所定義者,僅由k、l所定義者分別表示k+l+m=100、k+l=100。p及q表示聚酯鏈的連結數,且分別獨立地表示5~100,000。Ra表示氫原子或烷基羰基。
[化20]
[化21]
[化22]
[化23]
[化24]
[化25]
[化26]
[化27]
[化28]
[化29]
作為合成特定樹脂2的方法,可藉由日本專利特願2011-190180號的公開公報中所記載的方法來合成。
上述特定樹脂2的重量平均分子量作為利用GPC測定所得的聚苯乙烯換算值,較佳為3,000~100,000,更佳為5,000~55,000。若重量平均分子量為上述範圍內,則導入至聚合物的末端的多個上述吸附部位的效果得以充分地發揮,可發揮對於二氧化鈦粒子表面的吸附性優異的性能。
再者,於本說明書中,GPC是使用HLC-8020GPC(東曹(Tosoh)(股份)製造),並將管柱設為TSKgel SuperHZM-H、TSKgel SuperHZ4000、TSKgel SuperHZ200(東曹公司製造)來進行測定。載體只要適宜選定即可,但只要可溶解,便使用四氫呋喃。
該些顏料分散劑可單獨使用,亦可將2種以上組合使用。於本發明中,特佳為將顏料衍生物與高分子分散劑組合使用。另外,顏料分散劑亦可將上述具有針對顏料表面的固定部位的末端改質型高分子、接枝型高分子、嵌段型高分子與作為顏料分散劑的後述的鹼可溶性樹脂併用來使用。再者,作為顏料分散劑,亦可使用後述的鹼可溶性樹脂、由通式(ED)所表示的化合物。
作為顏料分散液中的顏料分散劑的含量,相對於顏料100質量份,較佳為1質量份~80質量份,更佳為5質量份~70質量份,進而更佳為10質量份~60質量份。
具體而言,若為使用高分子分散劑的情況,則作為其使用量,相對於顏料100質量份,以質量換算計較佳為5份~100份的範圍,更佳為10份~80份的範圍。
<顏料衍生物>
顏料分散液較佳為更含有顏料衍生物。
所謂顏料衍生物,是指具有利用酸性基、鹼性基或鄰苯二甲醯亞胺甲基取代有機顏料的一部分而成的結構的化合物。作為顏料衍生物,就分散性及分散穩定性的觀點而言,較佳為含有具有酸性基或鹼性基的顏料衍生物。
作為用以構成顏料衍生物的有機顏料,可列舉:二酮吡咯并吡咯系顏料、偶氮系顏料、酞菁系顏料、蒽醌系顏料、喹吖啶酮系顏料、二噁嗪系顏料、紫環酮(perinone)系顏料、苝系顏料、硫靛藍系顏料、異吲哚啉系顏料、異吲哚啉酮系顏料、喹啉
黃系顏料、還原(threne)系顏料、金屬錯合物系顏料等。
另外,作為顏料衍生物所具有的酸性基,較佳為磺酸基、羧酸基及其四級銨鹽,更佳為羧酸基及磺酸基,特佳為磺酸基。作為顏料衍生物所具有的鹼性基,較佳為胺基,特佳為三級胺基。
作為顏料衍生物,尤其較佳為喹啉系、苯并咪唑酮系及異吲哚啉系的顏料衍生物,更佳為喹啉系及苯并咪唑酮系的顏料衍生物。
相對於顏料的總質量,顏料分散液中的顏料衍生物的含量較佳為1質量%~50質量%,更佳為3質量%~30質量%。顏料衍生物可僅使用1種,亦可併用2種以上。
另外,當併用顏料衍生物時,作為顏料衍生物的使用量,相對於顏料100質量份,以質量換算計較佳為處於1份~30份的範圍內,更佳為處於3份~20份的範圍內,特佳為處於5份~15份的範圍內。
<有機溶劑>
顏料分散液較佳為含有有機溶劑。
有機溶劑根據顏料分散液中所含有的各成分的溶解性、或將顏料分散液應用於著色感放射線性組成物時的塗佈性等來選擇。作為有機溶劑,可使用酯類、醚類、酮類、芳香族烴類。其中,較佳為3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙基溶纖劑乙酸酯、乳酸乙酯、二乙二醇二甲醚、乙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、2-庚酮、環己酮、二乙二醇單乙醚乙酸酯、二乙二醇單丁醚乙酸
酯、丙二醇甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯,使用後述的著色感放射線性組成物中可含有的(F)有機溶劑亦較佳。
作為顏料分散液中的有機溶劑的含量,較佳為50質量%~95質量%,更佳為70質量%~90質量%。
<高分子化合物>
於顏料分散液中,除上述各成分以外,就提昇分散穩定性、控制將顏料分散液應用於著色感放射線性組成物時的顯影性等的觀點而言,可更含有高分子化合物。
作為高分子化合物,例如可列舉:聚醯胺胺與其鹽、聚羧酸與其鹽、高分子量不飽和酸酯、改質聚胺基甲酸酯、改質聚酯、改質聚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸系共聚物(特佳為含有羧酸基且於側鏈上含有聚合性基的(甲基)丙烯酸系共聚物)、萘磺酸甲醛縮合物等。此種高分子材料是以吸附於顏料的表面來防止再凝聚的方式發揮作用,因此較佳為具有針對顏料表面的固定部位的末端改質型高分子、接枝型高分子、嵌段型高分子,例如可列舉包括含有雜環的單體與具有乙烯性不飽和鍵的聚合性寡聚物作為共聚物單元的接枝共聚物。
作為其他高分子材料,進而可列舉:聚醯胺胺磷酸鹽、高分子量不飽和聚羧酸、聚醚酯、芳香族磺酸甲醛聚縮合物、聚氧乙烯壬基苯基醚、聚酯胺、聚氧乙烯去水山梨醇單油酸酯、聚氧乙烯單硬脂酸酯等。
該些高分子材料可單獨使用,亦可將2種以上組合使用。
作為顏料分散液中的高分子材料的含量,相對於顏料,較佳為20質量%~80質量%,更佳為30質量%~70質量%,進而更佳為40質量%~60質量%。
[著色感放射線性組成物的製備]
上述組成物(典型的是含有(A)著色劑(例如顏料分散液)的著色組成物)較佳為含有(B)光聚合起始劑、(C)聚合性化合物、及視需要的(D)紫外線吸收劑、(E)鹼可溶性樹脂、(F)有機溶劑、界面活性劑等各成分的著色感放射線性組成物(更佳為黑色感放射線性組成物)。
該些著色感放射線性組成物可用於形成本發明的紅外線透過濾光片,例如,將使著色感放射線性組成物進行聚合硬化而成的著色硬化膜用作紅外線透過濾光片。
以下,對本發明中的組成物(特別是著色感放射線性組成物)中可更含有的各成分進行詳細說明。
再者,於本發明中的組成物中,所謂總固體成分,是指自組成物的總組成中去除有機溶劑後的成分的總質量。
於本說明書中,「烷基」表示「直鏈、分支及環狀」的烷基,另外,可經取代基取代,亦可未經取代。
另外,於本說明書中,「(甲基)丙烯酸酯」表示丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯兩者、或任一者,「(甲基)丙烯酸」表示丙烯酸及甲基丙烯酸兩者、或任一者,「(甲基)丙烯醯基」表示丙烯醯基及甲基丙烯醯基兩者、或任一者。
另外,於本說明書中,「單量體」與「單體」的含義相同。本發明中的單量體有別於寡聚物及聚合物,是指重量平均分子量為2,000以下的化合物。於本說明書中,所謂聚合性化合物,是指具有聚合性官能基的化合物,可為單量體,亦可為聚合物。所謂聚合性官能基,是指參與聚合反應的基。
另外,於本說明書中的基(原子團)的表述中,未記載經取代及未經取代的表述包含不具有取代基的基(原子團),並且亦包含具有取代基的基(原子團)。例如,所謂「烷基」,不僅包含不具有取代基的烷基(未經取代的烷基),亦包含具有取代基的烷基(經取代的烷基)。
於本說明書中,「步驟」這一用語不僅是指獨立的步驟,當無法與其他步驟明確地加以區分時,只要達成該步驟的預期的作用,則亦包含於本用語中。
於本發明中,所謂「放射線」,是指包含可見光線、紫外線、遠紫外線、電子束、及X射線等者。
<(B)光聚合起始劑>
本發明的組成物(典型的是著色感放射線性組成物)較佳為含有(B)光聚合起始劑。
作為本發明中的光聚合起始劑(以下,有時簡稱為「聚合起始劑」),可使用以下所述的作為光聚合起始劑而習知者。
作為光聚合起始劑,只要具有使上述聚合性化合物的聚合開始的能力,則並無特別限制,可自公知的光聚合起始劑中適
宜選擇。例如,較佳為對於自紫外線區域至可見光線具有感光性者。另外,可為與經光激發的增感劑產生某種作用,而生成活性自由基的活性劑,亦可為如對應於單體的種類而使陽離子聚合開始的起始劑。
另外,光聚合起始劑較佳為含有至少1種如下的化合物,該化合物於約300nm~800nm(更佳為330nm~500nm)的範圍內至少具有約50的分子吸光係數。
作為光聚合起始劑,例如可列舉:鹵化烴衍生物(例如具有三嗪骨架者、具有噁二唑骨架者等)、醯基氧化膦等醯基膦化合物、六芳基聯咪唑、肟衍生物等肟化合物、有機過氧化物、硫化合物、酮化合物、芳香族鎓鹽、酮肟醚、胺基苯乙酮化合物、羥基苯乙酮等。該些之中,較佳為肟化合物。
作為上述具有三嗪骨架的鹵化烴化合物,例如可列舉:若林等著「日本化學學會通報(Bull.Chem.Soc.Japan)」,42,2924(1969)中記載的化合物,英國專利1388492號說明書中記載的化合物,日本專利特開昭53-133428號公報中記載的化合物,德國專利3337024號說明書中記載的化合物,F.C.Schaefer等的「有機化學期刊(J.Org.Chem.)」;29,1527(1964)中記載的化合物,日本專利特開昭62-58241號公報中記載的化合物,日本專利特開平5-281728號公報中記載的化合物,日本專利特開平5-34920號公報中記載的化合物,美國專利第4212976號說明書中所記載的化合物等。
作為上述美國專利第4212976號說明書中所記載的化合物,例如可列舉:具有噁二唑骨架的化合物(例如2-三氯甲基-5-苯基-1,3,4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(4-氯苯基)-1,3,4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(1-萘基)-1,3,4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(2-萘基)-1,3,4-噁二唑、2-三溴甲基-5-苯基-1,3,4-噁二唑、2-三溴甲基-5-(2-萘基)-1,3,4-噁二唑;2-三氯甲基-5-苯乙烯基-1,3,4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(4-氯苯乙烯基)-1,3,4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(4-甲氧基苯乙烯基)-1,3,4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(1-萘基)-1,3,4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(4-正丁氧基苯乙烯基)-1,3,4-噁二唑、2-三溴甲基-5-苯乙烯基-1,3,4-噁二唑等)等。
另外,作為上述以外的聚合起始劑,可列舉:吖啶衍生物(例如9-苯基吖啶、1,7-雙(9,9'-吖啶基)庚烷等)、N-苯基甘胺酸等、聚鹵素化合物(例如四溴化碳、苯基三溴甲基碸、苯基三氯甲基酮等)、香豆素(coumarin)類(例如3-(2-苯并呋喃醯基)-7-二乙胺基香豆素、3-(2-苯并呋喃甲醯基)-7-(1-吡咯啶基)香豆素、3-苯甲醯基-7-二乙胺基香豆素、3-(2-甲氧基苯甲醯基)-7-二乙胺基香豆素、3-(4-二甲胺基苯甲醯基)-7-二乙胺基香豆素、3,3'-羰基雙(5,7-二-正丙氧基香豆素)、3,3'-羰基雙(7-二乙胺基香豆素)、3-苯甲醯基-7-甲氧基香豆素、3-(2-呋喃甲醯基)-7-二乙胺基香豆素、3-(4-二乙胺基桂皮醯基)-7-二乙胺基香豆素、7-甲氧基-3-(3-吡啶基羰基)香豆素、3-苯甲醯基-5,7-二丙氧基香豆素、7-苯并三唑-2-基香豆素,另外,日本專利特開平5-19475號公報、日本專利特
開平7-271028號公報、日本專利特開2002-363206號公報、日本專利特開2002-363207號公報、日本專利特開2002-363208號公報、日本專利特開2002-363209號公報等中所記載的香豆素化合物等)、醯基氧化膦類(例如雙(2,4,6-三甲基苯甲醯基)-苯基氧化膦、雙(2,6-二甲氧基苯甲醯基)-2,4,4-三甲基-戊基苯基氧化膦、LucirinTPO等)、茂金屬類(例如雙(η5-2,4-環戊二烯-1-基)-雙(2,6-二氟-3-(1H-吡咯-1-基)-苯基)鈦、η5-環戊二烯基-η6-枯烯基-鐵(1+)-六氟磷酸酯(1-)等)、日本專利特開昭53-133428號公報、日本專利特公昭57-1819號公報、日本專利特公昭57-6096號公報、及美國專利第3615455號說明書中所記載的化合物等。
作為上述酮化合物,例如可列舉:二苯基酮、2-甲基二苯基酮、3-甲基二苯基酮、4-甲基二苯基酮、4-甲氧基二苯基酮、2-氯二苯基酮、4-氯二苯基酮、4-溴二苯基酮、2-羧基二苯基酮、2-乙氧基羰基二苯基酮、二苯基酮四羧酸或其四甲酯、4,4'-雙(二烷基胺基)二苯基酮類(例如4,4'-雙(二甲胺基)二苯基酮、4,4'-雙(二環己胺基)二苯基酮、4,4'-雙(二乙胺基)二苯基酮、4,4'-雙(二羥基乙胺基)二苯基酮、4-甲氧基-4'-二甲胺基二苯基酮、4,4'-二甲氧基二苯基酮、4-二甲胺基二苯基酮、4-二甲胺基苯乙酮、苯偶醯、蒽醌、2-第三丁基蒽醌、2-甲基蒽醌、菲醌、氧雜蒽酮(xanthone)、硫雜蒽酮(thioxanthone)、2-氯-硫雜蒽酮、2,4-二乙基硫雜蒽酮、茀酮、2-苄基-二甲胺基-1-(4-嗎啉基苯基)-1-丁酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉基-1-丙酮、2-羥基-2-甲基-[4-(1-甲基乙烯基)苯
基]丙醇寡聚物、安息香、安息香醚類(例如安息香甲醚、安息香乙醚、安息香丙醚、安息香異丙醚、安息香苯醚、苄基二甲基縮酮)、吖啶酮、氯吖啶酮、N-甲基吖啶酮、N-丁基吖啶酮、N-丁基-氯吖啶酮等。
作為聚合起始劑,亦可適宜地使用羥基苯乙酮化合物、胺基苯乙酮化合物、及醯基膦化合物。更具體而言,例如亦可使用日本專利特開平10-291969號公報中所記載的胺基苯乙酮系起始劑、日本專利第4225898號公報中所記載的醯基氧化膦系起始劑。
作為羥基苯乙酮系起始劑,可使用IRGACURE-184、DAROCUR-1173、IRGACURE-500、IRGACURE-2959、IRGACURE-127(商品名:均為巴斯夫(BASF)公司製造)。作為胺基苯乙酮系起始劑,可使用作為市售品的IRGACURE-907、IRGACURE-369、及IRGACURE-379(商品名:均為巴斯夫公司製造)。作為胺基苯乙酮系起始劑,亦可使用吸收波長與365nm或405nm等的長波光源匹配的日本專利特開2009-191179號公報中所記載的化合物。另外,作為醯基膦系起始劑,可使用作為市售品的IRGACURE-819或DAROCUR-TPO(商品名:均為巴斯夫公司製造)。
作為聚合起始劑,更佳為可列舉肟化合物。
藉由組成物含有肟化合物作為聚合起始劑,圖案對於自組成物的塗佈至曝光為止的時間(塗敷後延遲(Post Coating Delay,
PCD)的特性依存性(以下,亦簡稱為「PCD依存性」)變得良好。
作為肟化合物的具體例,可使用日本專利特開2001-233842號公報中記載的化合物、日本專利特開2000-80068號公報中記載的化合物、日本專利特開2006-342166號公報中記載的化合物。
作為本發明中可適宜地用作聚合起始劑的肟衍生物等肟化合物,例如可列舉:3-苯甲醯氧基亞胺基丁烷-2-酮、3-乙醯氧基亞胺基丁烷-2-酮、3-丙醯氧基亞胺基丁烷-2-酮、2-乙醯氧基亞胺基戊烷-3-酮、2-乙醯氧基亞胺基-1-苯基丙烷-1-酮、2-苯甲醯氧基亞胺基-1-苯基丙烷-1-酮、3-(4-甲苯磺醯氧基)亞胺基丁烷-2-酮、以及2-乙氧基羰氧基亞胺基-1-苯基丙烷-1-酮等。
作為肟化合物,可列舉:「英國化學會志,普爾金會刊II(J.C.S.Perkin II)」(1979年)pp.1653-1660、J.C.S.Perkin II(1979年)pp.156-162、「光聚合物科學與技術雜誌(Journal of Photopolymer Science and Technology)」(1995年)pp.202-232、日本專利特開2000-66385號公報中記載的化合物,日本專利特開2000-80068號公報、日本專利特表2004-534797號公報、日本專利特開2006-342166號公報的各公報中所記載的化合物等。
市售品亦可適宜地使用IRGACURE OXE-01(巴斯夫公司製造)、IRGACURE OXE-02(巴斯夫公司製造)、TRONLY TR-PBG-304、TRONLY TR-PBG-309、TRONLY TR-PBG-305(常州強力電子新材料有限公司(CHANGZHOU TRONLY NEW ELECTRONIC MATERIALS CO.,LTD)製造)。
另外,作為上述以外的肟化合物,亦可使用咔唑的N位上連結有肟的日本專利特表2009-519904號公報中所記載的化合物、二苯基酮部位上導入有雜取代基的美國專利7626957號公報中所記載的化合物、色素部位上導入有硝基的日本專利特開2010-15025號公報及美國專利公開2009-292039號中記載的化合物、國際公開專利2009-131189號公報中所記載的酮肟系化合物、同一分子內含有三嗪骨架與肟骨架的美國專利7556910號公報中所記載的化合物、於405nm下具有吸收最大值且對於g射線光源具有良好的感度的日本專利特開2009-221114號公報中記載的化合物等。
較佳為進而亦可適宜地使用日本專利特開2007-231000號公報、及日本專利特開2007-322744號公報中所記載的環狀肟化合物。環狀肟化合物之中,尤其日本專利特開2010-32985號公報、日本專利特開2010-185072號公報中所記載的於咔唑色素中縮環而成的環狀肟化合物具有高光吸收性,就高感度化的觀點而言較佳。
另外,於肟化合物的特定部位具有不飽和鍵的日本專利特開2009-242469號公報中所記載的化合物藉由使活性自由基自聚合惰性自由基中再生而可達成高感度化,亦可適宜地使用。
最佳為可列舉日本專利特開2007-269779號公報中所示的具有特定取代基的肟化合物、或日本專利特開2009-191061號公報中所示的具有硫代芳基的肟化合物。
具體而言,作為肟化合物,較佳為由下述通式(OX-1)所表示的化合物。再者,肟的N-O鍵可為(E)體的肟化合物,亦可為(Z)體的肟化合物,亦可為(E)體與(Z)體的混合物。
通式(OX-1)中,R及B分別獨立地表示一價的取代基,A表示二價的有機基,Ar表示芳基。
通式(OX-1)中,作為由R所表示的一價的取代基,較佳為一價的非金屬原子團。
作為上述一價的非金屬原子團,可列舉:烷基、芳基、醯基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、雜環基、烷硫基羰基、芳硫基羰基等。另外,該些基亦可具有1個以上的取代基。另外,上述取代基亦可由其他取代基進一步取代。
作為取代基,可列舉:鹵素原子、芳氧基、烷氧基羰基或芳氧基羰基、醯氧基、醯基、烷基、芳基等。
作為可具有取代基的烷基,較佳為碳數為1~30的烷基,具體而言,可例示:甲基、乙基、丙基、丁基、己基、辛基、癸基、十二基、十八基、異丙基、異丁基、第二丁基、第三丁基、1-乙基戊基、環戊基、環己基、三氟甲基、2-乙基己基、苯甲醯甲
基(phenacyl)、1-萘甲醯基甲基(1-naphthoylmethyl)、2-萘甲醯基甲基、4-甲基硫烷基苯甲醯甲基、4-苯基硫烷基苯甲醯甲基、4-二甲胺基苯甲醯甲基、4-氰基苯甲醯甲基、4-甲基苯甲醯甲基、2-甲基苯甲醯甲基、3-氟苯甲醯甲基、3-三氟甲基苯甲醯甲基、及3-硝基苯甲醯甲基。
作為可具有取代基的芳基,較佳為碳數為6~30的芳基,具體而言,可例示:苯基、聯苯基、1-萘基、2-萘基、9-蒽基、9-菲基、1-芘基、5-稠四苯基、1-茚基、2-薁(azulenyl)基、9-茀基、聯三苯基、聯四苯基、鄰甲苯基、間甲苯基、對甲苯基、二甲苯基、鄰枯烯基(o-cumenyl)、間枯烯基、對枯烯基、2,4,6-三甲苯基(mesityl)、並環戊二烯基(pentalenyl)、聯萘基、聯三萘基、聯四萘基、並環庚三烯基、伸聯苯基、二環戊二烯並苯基、丙[二]烯合茀基、苊基(acenaphthylenyl)、乙烯合蒽基、丙烯合萘基、茀基、蒽基、聯蒽基、聯三蒽基、聯四蒽基、蒽醌基、菲基、三亞苯基、芘基、基(chrysenyl)、稠四苯基、七曜烯基(pleiadenyl)、苉基(picenyl)、苝基(perylenyl)、聯五苯基(pentaphenyl)、稠五苯基(pentacenyl)、聯四苯基(tetraphenylenyl)、聯六苯基(hexaphenyl)、稠六苯基(hexacenyl)、茹基(rubicenyl)、蔻基(coronenyl)、聯伸三萘基(trinaphthylenyl)、聯七苯基(heptaphenyl)、稠七苯基(heptacenyl)、芘蒽基(pyranthrenyl)、及莪基(ovalenyl)。
作為可具有取代基的醯基,較佳為碳數為2~20的醯
基,具體而言,可例示:乙醯基、丙醯基、丁醯基、三氟乙醯基、戊醯基、苯甲醯基、1-萘甲醯基、2-萘甲醯基、4-甲基硫烷基苯甲醯基、4-苯基硫烷基苯甲醯基、4-二甲胺基苯甲醯基、4-二乙胺基苯甲醯基、2-氯苯甲醯基、2-甲基苯甲醯基、2-甲氧基苯甲醯基、2-丁氧基苯甲醯基、3-氯苯甲醯基、3-三氟甲基苯甲醯基、3-氰基苯甲醯基、3-硝基苯甲醯基、4-氟苯甲醯基、4-氰基苯甲醯基、及4-甲氧基苯甲醯基。
作為可具有取代基的烷氧基羰基,較佳為碳數為2~20的烷氧基羰基,具體而言,可例示:甲氧基羰基、乙氧基羰基、丙氧基羰基、丁氧基羰基、己氧基羰基、辛氧基羰基、癸氧基羰基、十八烷氧基羰基、及三氟甲氧基羰基。
作為可具有取代基的芳氧基羰基,具體而言,可例示:苯氧基羰基、1-萘氧基羰基、2-萘氧基羰基、4-甲基硫烷基苯氧基羰基、4-苯基硫烷基苯氧基羰基、4-二甲胺基苯氧基羰基、4-二乙胺基苯氧基羰基、2-氯苯氧基羰基、2-甲基苯氧基羰基、2-甲氧基苯氧基羰基、2-丁氧基苯氧基羰基、3-氯苯氧基羰基、3-三氟甲基苯氧基羰基、3-氰基苯氧基羰基、3-硝基苯氧基羰基、4-氟苯氧基羰基、4-氰基苯氧基羰基、及4-甲氧基苯氧基羰基。
作為可具有取代基的雜環基,較佳為含有氮原子、氧原子、硫原子或磷原子的芳香族或脂肪族的雜環。
具體而言,可例示:噻吩基(thienyl group)、苯并[b]噻吩基(benzo[b]thienyl group)、萘并[2,3-b]噻吩基
(naphtho[2,3-b]thienyl group)、噻蒽基(thianthrenyl group)、呋喃基(furyl group)、吡喃基(pyranyl group)、異苯并呋喃基(isobenzofuranyl group)、苯并哌喃基(chromenyl group)、基(xanthenyl group)、啡噁噻基(phenoxathiinyl group)、2H-吡咯基(2H-pyrrolyl group)、吡咯基(pyrrolyl group)、咪唑基(imidazolyl group)、吡唑基(pyrazolyl group)、吡啶基(pyridyl group)、吡嗪基(pyrazinyl group)、嘧啶基(pyrimidinyl group)、噠嗪基(pyridazinyl group)、吲嗪基(indolizinyl group)、異吲哚基(isoindolyl group)、3H-吲哚基(3H-indolyl group)、吲哚基(indolyl group)、1H-吲唑基(1H-indazolyl group)、嘌呤基(purinyl group)、4H-喹嗪基(4H-quinolizinyl group)、異喹啉基(isoquinolyl group)、喹啉基(quinolyl group)、呔嗪基(phthalazinyl group)、啶基(naphthyridinyl group)、喹噁啉基(quinoxalinyl group)、喹唑啉基(quinazolinyl group)、啉基(cinnolinyl group)、喋啶基(pteridinyl group)、4aH-咔唑基(4aH-carbazolyl group)、咔唑基(carbazolyl group)、β-咔啉基(β-carbolinyl group)、啡啶基(phenanthridinyl group)、吖啶基(acridinyl group)、啶基(perimidinyl group)、啡啉基(phenanthrolinyl group)、吩嗪基(phenazinyl group)、啡呻嗪基(phenarsazinyl group)、異噻唑基(isothiazolyl group)、吩噻嗪基(phenothiazinyl group)、異噁唑基(isoxazolyl group)、呋吖基(furazanyl group)、吩噁嗪基(phenoxazinyl group)、異基(isochromanyl group)、基
(chromanyl group)、吡咯啶基(pyrrolidinyl group)、吡咯啉基(pyrrolinyl group)、咪唑啶基(imidazolidinyl group)、咪唑啉基(imidazolinyl group)、吡唑啶基(pyrazolidinyl group)、吡唑啉基(pyrazolinyl group)、哌啶基(piperidyl group)、哌嗪基(piperazinyl group)、吲哚啉基(indolinyl group)、異吲哚啉基(isoindolinyl group)、啶基(quinuclidinyl group)、嗎啉基(morpholinyl group)、及噻噸酮基(thioxantholyl group)。
作為可具有取代基的烷硫基羰基,具體而言,可例示:甲硫基羰基、丙硫基羰基、丁硫基羰基、己硫基羰基、辛硫基羰基、癸硫基羰基、十八烷硫基羰基、及三氟甲硫基羰基。
作為可具有取代基的芳硫基羰基,具體而言,可列舉:1-萘硫基羰基、2-萘硫基羰基、4-甲基硫烷基苯硫基羰基、4-苯基硫烷基苯硫基羰基、4-二甲胺基苯硫基羰基、4-二乙胺基苯硫基羰基、2-氯苯硫基羰基、2-甲基苯硫基羰基、2-甲氧基苯硫基羰基、2-丁氧基苯硫基羰基、3-氯苯硫基羰基、3-三氟甲基苯硫基羰基、3-氰基苯硫基羰基、3-硝基苯硫基羰基、4-氟苯硫基羰基、4-氰基苯硫基羰基、及4-甲氧基苯硫基羰基。
上述通式(OX-1)中,作為由B所表示的一價的取代基,表示芳基、雜環基、芳基羰基、或雜環羰基。另外,該些基亦可具有1個以上的取代基。作為取代基,可例示上述取代基。另外,上述取代基亦可由其他取代基進一步取代。
其中,特佳為以下所示的結構。
下述的結構中,Y、X、及n的含義分別與後述的式(OX-2)中的Y、X、及n相同,較佳例亦相同。
通式(OX-1)中,作為由A所表示的二價的有機基,可列舉碳數為1~12的伸烷基、伸環烷基、伸炔基。另外,該些基亦可具有1個以上的取代基。作為取代基,可例示上述取代基。另外,上述取代基亦可由其他取代基進一步取代。
其中,作為式(OX-1)中的A,就提高感度、抑制由加熱經時所引起的著色的觀點而言,較佳為未經取代的伸烷基、經烷基(例如甲基、乙基、第三丁基、十二基)取代的伸烷基、經烯基(例如乙烯基、烯丙基)取代的伸烷基、經芳基(例如苯基、對甲苯基、二甲苯基、枯烯基、萘基、蒽基、菲基、苯乙烯基)取代的伸烷基。
通式(OX-1)中,作為由Ar所表示的芳基,較佳為碳數為6~30的芳基,另外,亦可具有取代基。作為取代基,可例示與導入至先前作為可具有取代基的芳基的具體例所列舉的取代芳基中的取代基相同者。
其中,就提高感度、抑制由加熱經時所引起的著色的觀點而言,較佳為經取代或未經取代的苯基。
就感度的觀點而言,於通式(OX-1)中,由通式(OX-1)中的Ar與鄰接於Ar的S所形成的「SAr」的結構較佳為以下所示的結構。再者,Me表示甲基,Et表示乙基。
肟化合物較佳為由下述通式(OX-2)所表示的化合物。
(通式(OX-2)中,R及X分別獨立地表示一價的取代基,A及Y分別獨立地表示二價的有機基,Ar表示芳基,n為0~5的整數)
通式(OX-2)中的R、A、及Ar的含義與上述通式(OX-1)中的R、A、及Ar相同,較佳例亦相同。
通式(OX-2)中,作為由X所表示的一價的取代基,可列舉:烷基、芳基、烷氧基、芳氧基、醯氧基、醯基、烷氧基羰基、胺基、雜環基、鹵素原子。另外,該些基亦可具有1個以上的取代基。作為取代基,可例示上述取代基。另外,上述取代基亦可由其他取代基進一步取代。
該些之中,作為通式(OX-2)中的X,就提昇溶劑溶解性與長波長區域的吸收效率的觀點而言,較佳為烷基。
另外,通式(OX-2)中的n表示0~5的整數,較佳為0~2的整數。
通式(OX-2)中,作為由Y所表示的二價的有機基,可列舉以下所示的結構。再者,以下所示的基中,「*」表示通式(OX-2)中,Y與鄰接的碳原子的鍵結位置。
[化34]
其中,作為光聚合起始劑,就高感度化的觀點而言,較佳為具有下述所示的結構者。
進而,肟化合物較佳為由下述通式(OX-3)所表示的化合物。
通式(OX-3)中,R及X分別獨立地表示一價的取代基,
A表示二價的有機基,Ar表示芳基,n為0~5的整數。
通式(OX-3)中的R、X、A、Ar、及n的含義分別與通式(OX-2)中的R、X、A、Ar、及n相同,較佳例亦相同。
以下表示可適宜地使用的肟化合物的具體例,但本發明並不限定於該些具體例。
[化38]
肟化合物是於350nm~500nm的波長區域中具有極大吸收波長者,較佳為於360nm~480nm的波長區域中具有吸收波長者,特佳為365nm及455nm的吸光度高的肟化合物。
就感度的觀點而言,肟化合物於365nm或455nm下的莫耳吸光係數較佳為1,000~300,000,更佳為2,000~300,000,特佳為5,000~200,000。
化合物的莫耳吸光係數可使用公知的方法來測定,具體而言,例如,較佳為藉由紫外可見分光光度計(瓦里安(Varian)公司製造的Carry-5 spctrophotometer),並利用乙酸乙酯溶劑,以0.01g/L的濃度進行測定。
本發明中所使用的光聚合起始劑視需要可將2種以上組合使用。
相對於組成物的總固體成分,作為光聚合起始劑於組成物中的含量(2種以上的情況下為總含量)較佳為0.1質量%~20質量%的範圍,更佳為0.5質量%~10質量%的範圍,特佳為1質量%~8質量%的範圍。若為該範圍內,則可獲得良好的感度與圖案形成性。
以提昇光聚合起始劑的自由基產生效率、感光波長的長波長化為目的,組成物亦可含有增感劑。作為可用於本發明的增感劑,較佳為以電子轉移機制或能量轉移機制使上述(B)光聚合起始劑增感者。
作為組成物中所使用的增感劑,例如可列舉日本專利特開2008-32803號公報的段落號[0101]~段落號[0154]中所記載的化合物。
就對於深部的光吸收效率與開始分解效率的觀點而言,以固體成分換算計,組成物中的增感劑的含量較佳為0.1質量%~20質量%,更佳為0.5質量%~15質量%。
增感劑可單獨使用1種,亦可併用2種以上。
<(C)聚合性化合物>
本發明的組成物(典型的是著色感放射線性組成物)較佳為含有(C)聚合性化合物。
作為聚合性化合物,具體而言,可自具有至少1個,較佳為2個以上的末端乙烯性不飽和鍵的化合物中選擇。其中,較佳為四官能以上的多官能聚合性化合物,更佳為五官能以上。
此種化合物群是於該技術領域中廣為人知的化合物,於本發明中,可無特別限定地使用該些化合物。該些化合物可為例如單體,預聚物,即二聚體、三聚體及寡聚物,或該些的混合物以及該些的多聚體等化學形態的任一種。本發明中的聚合性化合物可單獨使用一種,亦可併用2種以上。
更具體而言,作為單體及其預聚物的例子,可列舉不飽和羧酸(例如丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、巴豆酸、異巴豆酸、順丁烯二酸等)或其酯類、醯胺類、以及該些的多聚體,較佳為不飽和羧酸與脂肪族多元醇化合物的酯、及不飽和羧酸與脂肪族多元胺化合物的醯胺類、以及該些的多聚體。另外,亦可適宜地使用具有羥基或胺基、巰基等親核性取代基的不飽和羧酸酯或醯胺類與單官能或多官能異氰酸酯類或者環氧類的加成反應物,或者與單官能或多官能的羧酸的脫水縮合反應物等。另外,具有異氰酸酯基或環氧基等親電子性取代基的不飽和羧酸酯或醯胺類,與單官能或多官能的醇類、胺類、硫醇類的加成反應物;以及具有鹵基或甲苯磺醯氧基等離去性取代基的不飽和羧酸酯或醯胺類,與單官能或多官能的醇類、胺類、硫醇類的取代反應物亦合適。另外,作為其他例,亦可使用替換成不飽和膦酸、苯乙烯等乙烯基苯衍生物、乙烯基醚、烯丙基醚等的化合物群來代替上述不飽和羧酸。
作為該些的具體的化合物,於本發明中亦可適宜地使用日本專利特開2009-288705號公報的段落號[0095]~段落號[0108]中所記載的化合物。
另外,作為上述聚合性化合物,具有至少1個可進行加成聚合的乙烯基,且於常壓下具有100℃以上的沸點的含有乙烯性不飽和基的化合物亦較佳。作為其例,可列舉:聚乙二醇單(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇單(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯
等單官能的丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯;聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基乙烷三(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己二醇(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(丙烯醯氧基丙基)醚、三(丙烯醯氧基乙基)異三聚氰酸酯、甘油或三羥甲基乙烷等在多官能醇中加成環氧乙烷或環氧丙烷後進行(甲基)丙烯酸酯化而成者,如日本專利特公昭48-41708號、日本專利特公昭50-6034號、日本專利特開昭51-37193號各公報中所記載的(甲基)丙烯酸胺基甲酸酯類,日本專利特開昭48-64183號、日本專利特公昭49-43191號、日本專利特公昭52-30490號各公報中所記載的聚酯丙烯酸酯類,作為環氧樹脂與(甲基)丙烯酸的反應產物的環氧丙烯酸酯類等多官能的丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯、以及該些的混合物。
亦可列舉使多官能羧酸與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯等具有環狀醚基及乙烯性不飽和基的化合物進行反應而獲得的多官能(甲基)丙烯酸酯等。
另外,作為較佳的聚合性化合物,亦可使用日本專利特開2010-160418號、日本專利特開2010-129825號各公報,日本專利4364216號說明書等中所記載的具有茀環、且具有二官能以上的乙烯性不飽和基的化合物,酚酞基(cardo)樹脂。
另外,作為於常壓下具有100℃以上的沸點、且具有至少一個可進行加成聚合的乙烯性不飽和基的化合物,日本專利特
開2008-292970號公報的段落號[0254]~段落號[0257]中所記載的化合物亦合適。
除上述以外,亦可適宜地使用由下述通式(MO-1)~通式(MO-5)所表示的自由基聚合性單體。再者,式中,當T為氧伸烷基時,碳原子側的末端鍵結於R上。
[化40]
上述通式中,n為0~14,m為1~8。一分子內存在多個的R、T分別可相同,亦可不同。
由上述通式(MO-1)~通式(MO-5)所表示的各個聚合性化合物中,存在多個的R中的至少1個表示由-OC(=O)CH=CH2、或-OC(=O)C(CH3)=CH2所表示的基。
作為由上述通式(MO-1)~通式(MO-5)所表示的聚合性化合物的具體例,於本發明中亦可適宜地使用日本專利特開2007-269779號公報的段落號0248~段落號0251中所記載的化合物。
另外,於日本專利特開平10-62986號公報中作為通式(1)及通式(2)且與其具體例一同記載的化合物亦可用作聚合性化合物,上述化合物是於上述多官能醇中加成環氧乙烷或環氧丙烷後進行(甲基)丙烯酸酯化而成的化合物。
其中,作為聚合性化合物,較佳為二季戊四醇三丙烯酸酯(市售品為KAYARAD D-330;日本化藥股份有限公司製造),
二季戊四醇四丙烯酸酯(市售品為KAYARAD D-320;日本化藥股份有限公司製造)、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯(市售品為KAYARAD D-310;日本化藥股份有限公司製造),二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯(市售品為KAYARAD DPHA;日本化藥股份有限公司製造),及該些的(甲基)丙烯醯基介於乙二醇、丙二醇殘基之間的結構。
另外,作為聚合性化合物,亦可適宜地列舉2-(甲基)丙烯醯氧基乙基己酸酯酸式磷酸鹽(市售品為日本化藥股份有限公司製造的PM-20)、丙烯酸胺基甲酸酯(市售品為新中村化學公司製造的U-6LPA)等。
亦可使用該些的寡聚物型。以下表示較佳的聚合性化合物的形態。
作為聚合性化合物,亦可為具有羧基、磺酸基、磷酸基等酸基的多官能單體。如上所述,只要乙烯性化合物是如其為混合物的情況般具有未反應的羧基者,則可直接利用該乙烯性化合物,於必要時,亦可使上述乙烯性化合物的羥基與非芳香族羧酸酐進行反應而導入酸基。於此情況下,作為所使用的非芳香族羧酸酐的具體例,可列舉:四氫鄰苯二甲酸酐、烷基化四氫鄰苯二甲酸酐、六氫鄰苯二甲酸酐、烷基化六氫鄰苯二甲酸酐、丁二酸酐、順丁烯二酸酐。
於本發明中,具有酸基的單體為脂肪族聚羥基化合物與不飽和羧酸的酯,較佳為使脂肪族聚羥基化合物的未反應的羥基
與非芳香族羧酸酐進行反應而具有酸基的多官能單體,特佳為於該酯中,脂肪族聚羥基化合物為季戊四醇及/或二季戊四醇者。作為市售品,例如可列舉作為東亞合成股份有限公司製造的多元酸改質丙烯酸寡聚物的M-510、M-520等。
於本發明中的組成物中,該些聚合性化合物可單獨使用1種,但於聚合性化合物的製造方面,難以獲得單一的化合物,因此可將2種以上混合使用。
另外,視需要亦可併用不具有酸基的多官能單體與具有酸基的多官能單體作為聚合性化合物。
具有酸基的多官能單體的較佳的酸值為0.1mg-KOH/g~40mg-KOH/g,特佳為5mg-KOH/g~30mg-KOH/g。若多官能單體的酸值過低,則顯影溶解特性下降,若多官能單體的酸值過高,則製造或處理變得困難、光聚合性能下降、畫素的表面平滑性等硬化性變差。因此,當併用2種以上酸基不同的多官能單體時、或當併用不具有酸基的多官能單體時,必須以整體的多官能單體的酸值處於上述範圍內的方式進行調整。
另外,含有具有己內酯結構的多官能性單量體作為聚合性化合物亦為較佳的形態。
作為具有己內酯結構的聚合性化合物,只要其分子內具有己內酯結構,則並無特別限定,例如可列舉:藉由將三羥甲基乙烷、二-三羥甲基乙烷、三羥甲基丙烷、二-三羥甲基丙烷、季戊四醇、二季戊四醇、三季戊四醇、甘油、二甘油、三羥甲基三聚氰胺等
多元醇與(甲基)丙烯酸及ε-己內酯加以酯化而獲得的ε-己內酯改質多官能(甲基)丙烯酸酯。其中,較佳為具有由下述通式(Z-1)所表示的己內酯結構的多官能性單量體。
通式(Z-1)中,6個R均為由下述通式(Z-2)所表示的基、或6個R中的1個~5個為由下述通式(Z-2)所表示的基,剩餘為由下述通式(Z-3)所表示的基。
通式(Z-2)中,R1表示氫原子或甲基,m表示1或2,「*」表示鍵結鍵。
通式(Z-3)中,R1表示氫原子或甲基,「*」表示鍵結鍵。
具有此種己內酯結構的多官能性單量體例如可列舉:作為KAYARAD DPCA系列而由日本化藥(股份)所銷售的DPCA-20(上述式(Z-1)~式(Z-3)中,m=1,由式(Z-2)所表示的基的數量=2,R1均為氫原子的化合物)、DPCA-30(上述式(Z-1)~式(Z-3)中,m=1,由式(Z-2)所表示的基的數量=3,R1均為氫原子的化合物)、DPCA-60(上述式(Z-1)~式(Z-3)中,m=1,由式(Z-2)所表示的基的數量=6,R1均為氫原子的化合物)、DPCA-120(上述式(Z-1)~式(Z-3)中,m=2,由式(Z-2)所表示的基的數量=6,R1均為氫原子的化合物)等。
於本發明中,具有己內酯結構的多官能性單量體可單獨使用、或將2種以上混合使用。
作為本發明中的聚合性化合物,較佳為含有碳數為2以上的伸烷氧基(伸乙氧基、伸丙氧基、伸丁氧基等)的聚合性化合物。
含有碳數為2以上的伸烷氧基的聚合性化合物之中,特佳為選自由下述通式(i)或通式(ii)所表示的化合物的群組中的至少1種。
[化44]
通式(i)及通式(ii)中,E分別獨立地表示-((CH2)yCH2O)-、或-((CH2)yCH(CH3)O)-,y分別獨立地表示0~10的整數,X分別獨立地表示丙烯醯基、甲基丙烯醯基、氫原子、或羧基。
通式(i)中,由X所表示的丙烯醯基及甲基丙烯醯基的合計為3個或4個,m分別獨立地表示0~10的整數,各m的合計為0~40的整數。其中,當各m的合計為0時,X中的任一個為羧基。
通式(ii)中,由X所表示的丙烯醯基及甲基丙烯醯基的合計為5個或6個,n分別獨立地表示0~10的整數,各n的合計為0~60的整數。其中,當各n的合計為0時,X中的任一個為羧基。
通式(i)中,m較佳為0~6的整數,更佳為0~4的整數。另外,各m的合計較佳為2~40的整數,更佳為2~16的整數,特佳為4~8的整數。
通式(ii)中,n較佳為0~6的整數,更佳為0~4的整數。另外,各n的合計較佳為3~60的整數,更佳為3~24的整數,特佳為6~12的整數。
另外,通式(i)或通式(ii)中的-((CH2)yCH2O)-、或-((CH2)yCH(CH3)O)-較佳為氧原子側的末端鍵結於X上的形態。
由通式(i)或通式(ii)所表示的化合物可單獨使用1種,亦可併用2種以上。特佳為於通式(ii)中,6個X均為丙烯醯基的形態。
由通式(i)或通式(ii)所表示的化合物可由作為先前公知的步驟的如下步驟來合成:藉由使季戊四醇或二季戊四醇與環氧乙烷或環氧丙烷進行開環加成反應來使開環骨架鍵結的步驟、以及使開環骨架的末端羥基與例如(甲基)丙烯醯氯進行反應來導入(甲基)丙烯醯基的步驟。各步驟是廣為人知的步驟,所屬技術領域中具有通常知識者可容易地合成由通式(i)或通式(ii)所表示的化合物。
由通式(i)、通式(ii)所表示的化合物之中,更佳為季戊四醇衍生物及/或二季戊四醇衍生物。
具體而言,可列舉由下述式(a)~式(f)所表示的化合物(以下,亦稱為「例示化合物(a)~例示化合物(f)」),其中,較佳為例示化合物(a)、例示化合物(b)、例示化合物(e)、例示化合物(f)。
尤其,作為聚合性化合物,例示化合物(b)有效果,可格外地提昇本發明的效果。
[化45]
作為由通式(i)、通式(ii)所表示的聚合性化合物的市售品,例如可列舉:沙多瑪(Sartomer)公司製造的作為具有4個伸乙氧基鏈的四官能丙烯酸酯的SR-494、日本化藥股份有限公司製造的作為具有6個伸戊氧基鏈的六官能丙烯酸酯的DPCA-60、作為具有3個異伸丁氧基鏈的三官能丙烯酸酯的TPA-330等。
進而,作為聚合性化合物,亦可使用日本接著協會志vol.20、No.7(300頁~308頁)中作為光硬化性單體及寡聚物所介紹者。
作為組成物中的聚合性化合物的含量,相對於該組成物的總固體成分,較佳為2質量%~50質量%,更佳為2質量%~30質量%,進而更佳為2質量%~25質量%。
<(D)紫外線吸收劑>
進而,本發明的組成物(典型的是著色感放射線性組成物)較佳為含有(D)紫外線吸收劑。
紫外線吸收劑是波長365nm中的每1g的吸光係數超過100、且波長400nm以上中的每1g的吸光係數為10以下的化合物。再者,吸光係數是藉由紫外可見分光光度計(瓦里安公司製造的Carry-5 spctrophotometer),並利用乙酸乙酯溶劑,以0.01g/L的濃度進行測定所得的值。
若波長365nm中的每1g的吸光係數為100以下,則用以獲得紫外線吸收效果的添加量變多,配方容忍度(prescription
tolerance,亦即配方設計的自由度)下降,若波長400nm以上中的每1g的吸光係數超過10,則對可見區域的元件分光造成影響,故不佳。
作為本發明中的紫外線吸收劑,較佳為作為共軛二烯系化合物的由下述通式(I)所表示的化合物。若使用該共軛二烯系化合物,則尤其可抑制進行了低照度曝光時的其後的顯影性能變動,且可更有效地抑制圖案的線寬、膜厚、分光光譜等與圖案形成性相關的曝光照度依存性。
於上述通式(I)中,R1及R2分別獨立地表示氫原子、碳原子數為1~20的烷基、或碳原子數為6~20的芳基,R1與R2彼此可相同,亦可不同,但不同時表示氫原子。
由R1、R2所表示的碳原子數1~20的烷基例如可列舉甲基、乙基、丙基、正丁基、正己基、環己基、正癸基、正十二基、正十八基、二十基、甲氧基乙基、乙氧基丙基、2-乙基己基、羥乙基、氯丙基、N,N-二乙胺基丙基、氰基乙基、苯乙基(phenethyl)、苄基、對第三丁基苯乙基、對第三辛基苯氧基乙基、3-(2,4-二-第三戊基苯氧基)丙基、乙氧基羰基甲基、2-(2-羥基乙氧基)乙基、2-呋喃基乙基等,較佳為甲基、乙基、丙基、正丁基、
正己基。
由R1、R2所表示的烷基可具有取代基,作為具有取代基的烷基的取代基,例如可列舉:烷基、芳基、烷氧基、芳氧基、醯氧基、鹵素原子、醯基胺基、醯基、烷硫基、芳硫基、羥基、氰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、經取代的胺甲醯基、經取代的胺磺醯基、硝基、經取代的胺基、烷基磺醯基、芳基磺醯基等。
由R1、R2所表示的碳原子數6~20的芳基可為單環,亦可為縮合環,可為具有取代基的經取代取代的芳基、未經取代的芳基的任一者。例如可列舉:苯基、1-萘基、2-萘基、蒽基、菲基、茚基、苊基(acenaphthenyl group)、茀基等。作為具有取代基的取代芳基的取代基,例如可列舉:烷基、芳基、烷氧基、芳氧基、醯氧基、鹵素原子、醯基胺基、醯基、烷硫基、芳硫基、羥基、氰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、取代胺甲醯基、取代胺磺醯基、硝基、取代胺基、烷基磺醯基、芳基磺醯基等。其中,較佳為經取代或未經取代的苯基、1-萘基、2-萘基。
另外,R1及R2可與氮原子一同形成環狀胺基。作為環狀胺基,例如可列舉:哌啶基、嗎啉基、吡咯啶基(pyrrolidino)、六氫氮雜基(hexahydroazepino)、哌嗪基(piperazino)等。
上述之中,作為R1、R2,較佳為碳數為1~8的低級的烷基(例如甲基、乙基、異丙基、丁基、第二丁基、第三丁基、戊基、第三戊基、己基、辛基、2-乙基己基、第三辛基等)、或者經取代或未經取代的苯基(例如甲苯基、苯基、茴香基(anisyl)、
2,4,6-三甲苯基、氯苯基、2,4-二-第三戊基苯基等)。另外,R1與R2鍵結並包含由式中的N所表示的氮原子來形成環(例如哌啶環、吡咯啶環、嗎啉環等)亦較佳。
於上述通式(I)中,R3及R4表示拉電子基。此處,拉電子基是哈米特(Hammett)的取代基常數σp值(以下,簡稱為「σp值」)為0.20以上、1.0以下的拉電子基。較佳為σp值為0.30以上、0.8以下的拉電子基。
哈米特法則是為了定量地論述取代基對苯衍生物的反應或平衡所帶來的影響,而由L.P.哈米特(L.P.Hammett)於1935年所倡導的經驗法則,其於今日被廣泛承認妥當性。藉由哈米特法則所求出的取代基常數有σp值與σm值,該些值於許多普通書籍中有記載,例如詳見於J.A.迪安(J.A.Dean)編寫的「蘭氏化學手冊(Lange's Handbook of Chemistry)」第12版、1979年(麥格羅.希爾(Mc Graw-Hill))或「化學的領域增刊」、122號、96頁~103頁、1979年(南江堂),「化學評論(Chemical Reviews)」,91卷、165頁~195頁、1991年。於本發明中,並不意味著僅限定於具有該些書籍中所記載的文獻已知的值的取代基,即便該值為文獻未知的值,只要在根據哈米特法則進行測定時包含於其範圍內,則當然亦包含該取代基。
作為上述σp值為0.20以上、1.0以下的拉電子基的具體例,可列舉:醯基、醯氧基、胺甲醯基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、氰基、硝基、二烷基膦醯基、二芳基膦醯基、二芳基氧膦基、
烷基亞磺醯基、芳基亞磺醯基、烷基磺醯基、芳基磺醯基、磺醯氧基、醯硫基、胺磺醯基、硫氰酸酯基、硫代羰基、由至少2個以上的鹵素原子取代的烷基、由至少2個以上的鹵素原子取代的烷氧基、由至少2個以上的鹵素原子取代的芳氧基、由至少2個以上的鹵素原子取代的烷基胺基、由至少2個以上的鹵素原子取代的烷硫基、由σp值為0.20以上的其他拉電子基取代的芳基、雜環基、氯原子、溴原子、偶氮基、或硒氰酸酯基。該些取代基之中,可更具有取代基的基可進一步具有如先前所列舉的取代基。
上述之中,於本發明中,作為R3,較佳為選自氰基、-COOR5、-CONHR5、-COR5、-SO2R5中的基,另外,作為R4,較佳為選自氰基、-COOR6、-CONHR6、-COR6、-SO2R6中的基。R5及R6分別獨立地表示碳原子數為1~20的烷基、或碳原子數為6~20的芳基。由R5、R6所表示的碳原子數為1~20的烷基、碳原子數為6~20的芳基的含義與上述R1、R2中的情況相同,較佳的形態亦相同。
該些之中,作為R3、R4,較佳為醯基、胺甲醯基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、氰基、硝基、烷基磺醯基、芳基磺醯基、磺醯氧基、胺磺醯基,特佳為醯基、胺甲醯基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、氰基、烷基磺醯基、芳基磺醯基、磺醯氧基、胺磺醯基(sulfamoyl)。
另外,R3及R4可相互鍵結而形成環。
另外,可變成自上述R1、R2、R3、及R4的至少1個經
由連結基與乙烯基鍵結而成的單體衍生出的聚合物的形態。另外,亦可為與其他單體的共聚物。
於為上述共聚物的情況下,作為其他單體,例如有丙烯酸、α-氯丙烯酸、α-烷基丙烯酸(α-alkylacrylic acid)(例如自甲基丙烯酸等丙烯酸類衍生出的酯,較佳為低級烷基酯及醯胺(例如丙烯醯胺、甲基丙烯醯胺、第三丁基丙烯醯胺、丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸正丙酯、丙烯酸正丁酯、丙烯酸2-乙基己酯、丙烯酸正己酯、甲基丙烯酸辛酯、及甲基丙烯酸月桂酯、亞甲基雙丙烯醯胺等))、乙烯基酯(例如乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯及月桂酸乙烯酯等)、丙烯腈、甲基丙烯腈、芳香族乙烯基化合物(例如苯乙烯及其衍生物,例如乙烯基甲苯、二乙烯基苯、乙烯基苯乙酮、磺基苯乙烯、及苯乙烯亞磺酸等)、衣康酸、檸康酸、巴豆酸、亞乙烯基氯化物、乙烯基烷基醚(例如乙烯基乙醚等)、順丁烯二酸酯、N-乙烯基-2-吡咯啶酮、N-乙烯基吡啶、2-乙烯基吡啶及4-乙烯基吡啶等。
其中,特佳為丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、芳香族乙烯基化合物。
亦可一併使用2種以上的共聚單體化合物。例如,可使用丙烯酸正丁酯與二乙烯基苯、苯乙烯與甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸甲酯與甲基丙烯酸酯等。
以下,表示由上述通式(I)所表示的化合物的較佳的具體例[例示化合物(1)~例示化合物(14)]。但是,於本發明
中,並不受該些具體例限制。
[化49]
由上述通式(I)所表示的化合物可藉由日本專利特公昭44-29620號公報、日本專利特開53-128333號公報、日本專利
特開昭61-169831號公報、日本專利特開昭63-53543號公報、日本專利特開昭63-53544號公報、日本專利特開昭63-56651號公報中所記載的方法來合成。
以下,對作為本發明的具有代表性的化合物的上述例示化合物(1)的合成方法進行具體說明。即,於乙酸酐(40ml)中,歷時2小時將3-苯胺基丙烯醛苯胺(3-Anilinoacrolein aniline)(13.3g)與乙酸乙基苯基磺醯酯(14.3g)加熱至85℃~90℃。於減壓乾燥下去除乙酸酐,添加乙醇(40ml)與二-正己胺(24.1g)後進行2小時回流。去除乙醇,將殘渣倒入至管柱中,並進行精製,若自乙醇進行再結晶,則可獲得目標物(熔點=95℃~96℃)。
於本發明中,上述各種紫外線吸收劑可單獨使用一種,亦可將兩種以上組合使用。
組成物可含有紫外線吸收劑,亦可不含紫外線吸收劑,當含有紫外線吸收劑時,以質量換算計,相對於本發明的組成物的總固體成分質量,紫外線吸收劑的含量較佳為0.01%以上、10%以下,更佳為0.01%以上、5%以下。
若紫外線吸收劑的含量未滿該範圍,則著色圖案中的側壁的粗糙惡化,無法精細地形成微細的圖案形狀(特別是矩形),若紫外線吸收劑的含量超過該範圍,則感度會下降。
另外,作為相對於上述(B)光聚合起始劑的(D)紫外線吸收劑的比率(D/B),以質量基準計為0.25~1.25。若比率D/B未滿0.25,則著色圖案中的側壁的粗糙惡化,無法精細地形成微
細的圖案形狀(特別是矩形),若超過1.25,則感度會下降。其中,就上述相同的理由而言,比率D/B較佳為0.3~1.1的範圍,更佳為0.4~1.0的範圍。
進而,本發明的組成物可含有(E)鹼可溶性樹脂、有機溶劑、界面活性劑等成分。
<(E)鹼可溶性樹脂>
本發明的組成物(典型的是著色感放射線性組成物)更含有(E)鹼可溶性樹脂亦較佳。藉由含有鹼可溶性樹脂,顯影性.圖案形成性提昇。
作為鹼可溶性樹脂,可為線狀有機高分子聚合物,可自分子(較佳為將丙烯酸系共聚物、苯乙烯系共聚物作為主鏈的分子)中具有至少1個促進鹼可溶性的基的鹼可溶性樹脂中適宜選擇。
對鹼可溶性樹脂進行說明。
作為鹼可溶性樹脂,就耐熱性的觀點而言,較佳為聚羥基苯乙烯系樹脂、聚矽氧烷系樹脂、丙烯酸系樹脂、丙烯醯胺系樹脂、丙烯酸/丙烯醯胺共聚物樹脂,就控制顯影性的觀點而言,較佳為丙烯酸系樹脂、丙烯醯胺系樹脂、丙烯酸/丙烯醯胺共聚物樹脂。
作為促進鹼可溶性的基(以下,亦稱為酸基),例如可列舉羧基、磷酸基、磺酸基、酚性羥基等,較佳為可溶於有機溶劑中、且可藉由弱鹼性水溶液來顯影者,作為特佳者,可列舉(甲基)丙烯酸。該些酸基可僅為1種,亦可為2種以上。
作為可於上述聚合後賦予酸基的單體,例如可列舉:(甲基)
丙烯酸2-羥基乙酯等具有羥基的單體、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯等具有環氧基的單體、(甲基)丙烯酸2-異氰酸基乙酯等具有異氰酸酯基的單體等。用以導入該些酸基的單量體可僅為1種,亦可為2種以上。於向鹼可溶性黏合劑中導入酸基時,例如只要將具有酸基的單體及/或可於聚合後賦予酸基的單體(以下,有時亦稱為「用以導入酸基的單量體」)作為單量體成分進行聚合即可。再者,當將可於聚合後賦予酸基的單體作為單量體成分來導入酸基時,於聚合後例如需要如後述般的用以賦予酸基的處理。
於製造鹼可溶性樹脂時,例如可應用利用公知的自由基聚合法的方法。利用自由基聚合法製造鹼可溶性樹脂時的溫度、壓力、自由基起始劑的種類及其量、溶劑的種類等聚合條件可由所屬技術領域中具有通常知識者容易地設定,亦可實驗性地規定條件。
作為鹼可溶性樹脂,較佳為側鏈上具有羧酸的聚合物,可列舉:甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸共聚物、衣康酸共聚物、巴豆酸共聚物、順丁烯二酸共聚物、部分酯化順丁烯二酸共聚物、酚醛清漆型樹脂等鹼可溶性酚樹脂等、以及側鏈上具有羧酸的酸性纖維素衍生物、於具有羥基的聚合物中加成酸酐而成者。尤其,(甲基)丙烯酸與可與其進行共聚的其他單量體的共聚物適合作為鹼可溶性樹脂。作為可與(甲基)丙烯酸進行共聚的其他單量體,可列舉:(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸芳基酯、乙烯基化合物等。作為(甲基)丙烯酸烷基酯及(甲基)丙烯酸芳基酯,可列舉(甲基)
丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸甲苯酯、(甲基)丙烯酸萘酯、(甲基)丙烯酸環己酯等,作為乙烯基化合物,可列舉苯乙烯、α-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯腈、乙酸乙烯酯、N-乙烯吡咯啶酮、甲基丙烯酸四氫糠酯(tetrahydrofurfuryl methacrylate)、聚苯乙烯大分子單體、聚甲基丙烯酸甲酯大分子單體等,作為日本專利特開平10-300922號公報中所記載的N位取代順丁烯二醯亞胺單體,可列舉N-苯基順丁烯二醯亞胺、N-環己基順丁烯二醯亞胺等。再者,該些可與(甲基)丙烯酸進行共聚的其他單量體可僅為1種,亦可為2種以上。
作為鹼可溶性酚樹脂,可適宜地用於將本發明的著色感光性組成物製成正型的組成物的情況。作為鹼可溶性酚樹脂,例如可列舉:酚醛清漆樹脂、或乙烯基聚合物等。
作為上述酚醛清漆樹脂,例如可列舉於酸觸媒的存在下使酚類與醛類進行縮合而獲得者。作為上述酚類,例如可列舉:苯酚、甲酚、乙基苯酚、丁基苯酚、二甲酚、苯基苯酚、兒茶酚、間苯二酚(resorcinol)、五倍子酚(pyrogallol)、萘酚、或雙酚A等。
作為上述醛類,例如可列舉:甲醛、三聚甲醛、乙醛、丙醛、或苯甲醛等。
上述酚類及醛類可單獨使用、或將2種以上組合使用。
作為上述酚醛清漆樹脂的具體例,例如可列舉:間甲酚、對甲酚或該些的混合物與甲醛的縮合產物。
上述酚醛清漆樹脂可利用分餾等方法來調節分子量分佈。另外,亦可於上述酚醛清漆樹脂中混合雙酚C或雙酚A等具有酚系羥基的低分子量成分。
另外,為了提昇本發明中的組成物的交聯效率,亦可使用具有聚合性基的鹼可溶性樹脂。作為具有聚合性基的鹼可溶性樹脂,有用的是側鏈上含有烯丙基、(甲基)丙烯醯基、烯丙氧基烷基等的鹼可溶性樹脂等。作為上述含有聚合性基的聚合物的例子,可列舉:Dianal NR系列(三菱麗陽股份有限公司製造),Photomer6173(含有COOH的丙烯酸聚胺基甲酸酯寡聚物,鑽石三葉草有限公司(Diamond Shamrock Co.Ltd.,)製造),Viscoat R-264、KS RESIST106(均為大阪有機化學工業股份有限公司製造),Cyclomer P系列、Placcel CF200系列(均為大賽璐化學工業股份有限公司製造),Ebecryl3800(大賽璐-UCB(Daicel-UCB)股份有限公司製造)等。
作為該些含有聚合性基的鹼可溶性樹脂,較佳為藉由事先使異氰酸酯基與OH基進行反應,殘留1個未反應的異氰酸基,且含有(甲基)丙烯醯基的化合物與含有羧基的丙烯酸樹脂的反應所獲得的經胺基甲酸酯改質的含有聚合性雙鍵的丙烯酸樹脂;藉由含有羧基的丙烯酸樹脂與分子內同時具有環氧基及聚合性雙鍵的化合物的反應所獲得的含有不飽和基的丙烯酸樹脂;酸側基型環
氧丙烯酸酯樹脂;使含有OH基的丙烯酸樹脂與具有聚合性雙鍵的二元酸酐進行反應而成的含有聚合性雙鍵的丙烯酸樹脂;使含有OH基的丙烯酸樹脂與異氰酸酯及具有聚合性基的化合物進行反應而成的樹脂;藉由對日本專利特開2002-229207號公報及日本專利特開2003-335814號公報中所記載的於α位或β位上具有鹵素原子或磺酸酯基等離去(leaving group)基、且於側鏈上具有酯基的樹脂進行鹼性處理所獲得的樹脂等。
作為鹼可溶性樹脂,特別合適的是(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸共聚物、或包含(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸/其他單體的多元共聚物。除此以外,可列舉:使甲基丙烯酸2-羥基乙酯進行共聚而成者,日本專利特開平7-140654號公報中所記載的(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯/聚苯乙烯大分子單體/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯/聚甲基丙烯酸甲酯大分子單體/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸2-羥基乙酯/聚苯乙烯大分子單體/甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸2-羥基乙酯/聚苯乙烯大分子單體/甲基丙烯酸苄酯(benzyl methacrylate)/甲基丙烯酸共聚物等。
作為鹼可溶性樹脂,較佳為含有具有源自由下述通式(ED)所表示的化合物(以下,亦適宜稱為「醚二聚體」)的重複單元的樹脂(a)。
藉由使用樹脂(a),本發明中的組成物可使PCD依存性變得良好。
通式(ED)中,R1及R2分別獨立地表示氫原子或烴基。
通式(ED)中,由R1及R2所表示的烴基較佳為碳數為1~25的烴基。
另外,上述烴基亦可具有取代基。
作為上述烴基,並無特別限制,例如可列舉:甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、第三丁基、第三戊基、硬脂基、月桂基、2-乙基己基等直鏈狀或分支狀的烷基;苯基等芳基;環己基、第三丁基環己基、二環戊二烯基、三環癸基、異冰片基、金剛烷基、2-甲基-2-金剛烷基等脂環式基;1-甲氧基乙基、1-乙氧基乙基等經烷氧基取代的烷基;苄基等經芳基取代的烷基等。該些之中,就耐熱性的觀點而言,特佳為如甲基、乙基、環己基、苄基等不易因酸或熱而離去的一級碳或二級碳的取代基。
作為醚二聚體的具體例,例如可列舉:二甲基-2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯(propenoate)、二乙基-2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(正丙基)-2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(異丙基)-2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(正丁基)-2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(異丁基)-2,2'-[氧基雙
(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(第三丁基)-2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(第三戊基)-2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(硬脂基)-2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(月桂基)-2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(2-乙基己基)-2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(1-甲氧基乙基)-2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(1-乙氧基乙基)-2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二苄基-2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二苯基-2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二環己基-2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(第三丁基環己基)-2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(二環戊二烯基)-2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(三環癸基)-2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(異冰片基)-2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二金剛烷基-2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二(2-甲基-2-金剛烷基)-2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯等。該些醚二聚體之中,特佳為二甲基-2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二乙基-2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二環己基-2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯、二苄基-2,2'-[氧基雙(亞甲基)]雙-2-丙烯酸酯。該些醚二聚體可僅為1種,亦可為2種以上。
用以獲得樹脂(a)的單量體中的醚二聚體的比例並無特別限制,但於所有單量體成分中,較佳為2質量%~60質量%,更佳為5質量%~55質量%,進而更佳為5質量%~50質量%。
樹脂(a)亦可為使其他單量體與醚二聚體一同進行共
聚而成的共聚物。
作為可與醚二聚體一同進行共聚的其他單量體,例如可列舉:用以導入酸基的單量體、用以導入自由基聚合性雙鍵的單量體、用以導入環氧基的單量體、及該些單量體以外的其他可進行共聚的單量體。此種單量體可僅使用1種,亦可使用2種以上。
作為用以導入酸基的單量體,例如可列舉:(甲基)丙烯酸或衣康酸等具有羧基的單體,N-羥苯基順丁烯二醯亞胺等具有酚性羥基的單體,順丁烯二酸酐、衣康酸酐等具有羧酸酐基的單體等。該些之中,特佳為(甲基)丙烯酸。
另外,用以導入酸基的單量體亦可為可於聚合後賦予酸基的單量體,例如可列舉:(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯等具有羥基的單量體、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯等具有環氧基的單量體、甲基丙烯酸2-異氰基乙酯(2-isocyanato ethyl(meth)acrylate)等具有異氰酸酯基的單量體等。於使用可於聚合後賦予酸基的單量體的情況下,必須進行於聚合後賦予酸基的處理。於聚合後賦予酸基的處理根據單量體的種類而不同,例如可列舉以下的處理。若為使用具有羥基的單量體的情況,則例如可列舉使丁二酸酐、四氫鄰苯二甲酸酐、順丁烯二酸酐等酸酐加成的處理。若為使用具有環氧基的單量體的情況,則例如可列舉使N-甲胺基苯甲酸、N-甲胺基苯酚等具有胺基與酸基的化合物加成,或者於使例如(甲基)丙烯酸般的酸加成後所生成的羥基中,使例如丁二酸酐、四氫鄰苯二甲酸酐、順丁烯二
酸酐等酸酐加成的處理。若為使用具有異氰酸酯基的單量體的情況,則例如可列舉使2-羥基丁酸等具有羥基與酸基的化合物加成的處理。
當用以獲得樹脂(a)的單量體包含用以導入酸基的單量體時,其含有比例並無特別限制,但於所有單量體成分中,較佳為5質量%~70質量%,更佳為10質量%~60質量%。
作為用以導入自由基聚合性雙鍵的單量體,例如可列舉:(甲基)丙烯酸、衣康酸等具有羧基的單體;順丁烯二酸酐、衣康酸酐等具有羧酸酐基的單體;(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧環己基甲酯、鄰(或間、或對)乙烯基苄基縮水甘油醚等具有環氧基的單體等。當使用用以導入自由基聚合性雙鍵的單量體時,必須進行用以於聚合後賦予自由基聚合性雙鍵的處理。用以於聚合後賦予自由基聚合性雙鍵的處理根據所使用的可賦予自由基聚合性雙鍵的單體的種類而不同,例如可列舉以下的處理。若為使用(甲基)丙烯酸或衣康酸等具有羧基的單體的情況,則可列舉使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧環己基甲酯、鄰(或間、或對)乙烯基苄基縮水甘油醚等具有環氧基與自由基聚合性雙鍵的化合物加成的處理。若為使用順丁烯二酸酐或衣康酸酐等具有羧酸酐基的單體的情況,則可列舉使(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯等具有羥基與自由基聚合性雙鍵的化合物加成的處理。若為使用(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧環己基甲酯、鄰(或間、或對)乙烯基苄基縮水甘油醚等具
有環氧基的單體的情況,則可列舉使(甲基)丙烯酸等具有酸基與自由基聚合性雙鍵的化合物加成的處理。
當用以獲得樹脂(a)的單量體包含用以導入自由基聚合性雙鍵的單量體時,其含有比例並無特別限制,但於所有單量體成分中,較佳為5質量%~70質量%,更佳為10質量%~60質量%。
作為用以導入環氧基的單量體,例如可列舉:(甲基)丙
烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧環己基甲酯、鄰(或間、或對)乙烯基苄基縮水甘油醚等。
當用以獲得樹脂(a)的單量體包含用以導入環氧基的單量體時,其含有比例並無特別限制,但於所有單量體成分中,較佳為5質量%~70質量%,更佳為10質量%~60質量%。
作為其他可進行共聚的單量體,例如可列舉:(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸第三丁酯、(甲基)丙烯酸甲基2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯等(甲基)丙烯酸酯類;苯乙烯、乙烯基甲苯、α-甲基苯乙烯等芳香族乙烯基化合物;N-苯基順丁烯二醯亞胺、N-環己基順丁烯二醯亞胺等N-取代順丁烯二醯亞胺類;丁二烯、異戊二烯等丁二烯或取代丁二烯化合物;乙烯、丙烯、氯乙烯、丙烯腈等乙烯或取代乙烯化合物;乙酸乙烯酯等乙烯基酯類等。該些之中,就透明性良好、不易損
害耐熱性的觀點而言,較佳為(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸苄酯、苯乙烯。
當用以獲得樹脂(a)的單量體包含其他可進行共聚的單量體時,其含有比例並無特別限制,但較佳為95質量%以下,更佳為85質量%以下。
樹脂(a)的重量平均分子量並無特別限制,但就著色感放射線性組成物的黏度、及由該組成物所形成的塗膜的耐熱性的觀點而言,較佳為2000~200000,更佳為5000~100000,進而更佳為5000~20000。
另外,當樹脂(a)具有酸基時,酸值較佳為30mgKOH/g~500mgKOH/g,更佳為50mgKOH/g~400mgKOH/g。
樹脂(a)可藉由使至少將醚二聚體作為必需成分的上述單量體進行聚合而容易地獲得。此時,醚二聚體的環化反應與聚合同時進行而形成四氫吡喃環結構。
作為應用於樹脂(a)的合成的聚合方法,並無特別限制,可採用先前公知的各種聚合方法,但特佳為利用溶液聚合法。詳細而言,例如可依據日本專利特開2004-300204號公報中所記載的樹脂(a)的合成方法,合成樹脂(a)。
以下,表示樹脂(a)的例示化合物,但本發明並不限定於該些例示化合物。下述所示的例示化合物的組成比為莫耳%。
[化52]
作為該些鹼可溶性樹脂中的適宜者,尤其包括(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸共聚物、或包含(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸/其他單體的多元共聚物。除此以外,可列舉:使甲基丙烯
酸2-羥基乙酯進行共聚而成者,日本專利特開平7-140654號公報中所記載的(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯/聚苯乙烯大分子單體/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯/聚甲基丙烯酸甲酯大分子單體/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸2-羥基乙酯/聚苯乙烯大分子單體/甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸2-羥基乙酯/聚苯乙烯大分子單體/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物等。
另外,為了提昇本發明中的組成物的交聯效率,亦可使用具有聚合性基的鹼可溶性樹脂。
作為具有聚合性基的鹼可溶性樹脂,有用的是側鏈上含有烯丙基、(甲基)丙烯醯基、烯丙氧基烷基等的鹼可溶性樹脂等。作為該些含有聚合性基的鹼可溶性樹脂,較佳為藉由事先使異氰酸酯基與OH基進行反應,殘留1個未反應的異氰酸酯基,且含有(甲基)丙烯醯基的化合物與含有羧基的丙烯酸樹脂的反應所獲得的經胺基甲酸酯改質的含有聚合性雙鍵的丙烯酸樹脂;藉由含有羧基的丙烯酸樹脂與分子內同時具有環氧基及聚合性雙鍵的化合物的反應所獲得的含有不飽和基的丙烯酸樹脂;酸側基(pendant)型環氧丙烯酸酯樹脂;使含有OH基的丙烯酸樹脂與具有聚合性雙鍵的二元酸酐進行反應而成的含有聚合性雙鍵的丙烯酸樹脂;使含有OH基的丙烯酸樹脂與異氰酸酯及具有聚合性基的化合物進行反應而成的樹脂;藉由對日本專利特開2002-229207號公報及日本專利特開2003-335814號公報中所記載的於α位或β位上具
有鹵素原子或磺酸酯基等離去基、且於側鏈上具有酯基的樹脂進行鹼性處理而獲得的樹脂等。
鹼可溶性樹脂的酸值較佳為30mgKOH/g~200mgKOH/g,更佳為50mgKOH/g~150mgKOH/g,最佳為70mgKOH/g~120mgKOH/g。
另外,鹼可溶性樹脂的重量平均分子量(Mw)較佳為2,000~50,000,更佳為5,000~30,000,最佳為7,000~20,000。
作為鹼可溶性樹脂,亦可使用含有源自由下述式(X)所表示的乙烯性不飽和單量體(a)的結構單元的樹脂。
(式(X)中,R1表示氫原子或甲基,R2表示碳數為2~10的伸烷基,R3表示氫原子或可含有苯環的碳數為1~20的烷基。n表示1~15的整數)
上述式(X)中,R2的伸烷基的碳數較佳為2~3。另外,R3的烷基的碳數為1~20,更佳為1~10,R3的烷基可含有苯環。作為由R3所表示的含有苯環的烷基,可列舉苄基、2-苯基(異)丙基等。
作為含有源自由上述式(X)所表示的乙烯性不飽和單
量體(a)的結構單元的樹脂的具體例,可列舉日本專利特開2012-247591號公報、日本專利特開2013-24934號公報中所記載的樹脂等。
作為鹼可溶性樹脂於組成物中的含量,相對於該組成物的總固體成分,較佳為1質量%~15質量%,更佳為2質量%~12質量%,特佳為3質量%~10質量%。
<(F)有機溶劑>
本發明的組成物(典型的是著色感放射線性組成物)較佳為含有(F)有機溶劑。
作為(F)有機溶劑的例子,例如可列舉以下者。
作為酯類,例如可適宜地列舉乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、甲酸戊酯、乙酸異戊酯、丙酸丁酯、丁酸異丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、氧基乙酸烷基酯(例如氧基乙酸甲酯、氧基乙酸乙酯、氧基乙酸丁酯(例如甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯等))、3-氧基丙酸烷基酯類(例如3-氧基丙酸甲酯、3-氧基丙酸乙酯等(例如3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯等))、2-氧基丙酸烷基酯類(例如:2-氧基丙酸甲酯、2-氧基丙酸乙酯、2-氧基丙酸丙酯等(例如2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯))、2-氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-氧基-2-甲基丙酸乙酯(例如2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧
基-2-甲基丙酸乙酯等)、丙酮酸甲酯(methyl pyruvate)、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙醯乙酸甲酯、乙醯乙酸乙酯、2-氧代丁酸甲酯(methyl 2-oxobutanoate)、2-氧代丁酸乙酯等;作為醚類,例如可適宜地列舉二乙二醇二甲醚,四氫呋喃,乙二醇單甲醚,乙二醇單乙醚,甲基溶纖劑乙酸酯,乙基溶纖劑乙酸酯,二乙二醇單甲醚,二乙二醇單乙醚,二乙二醇單丁醚,丙二醇單甲醚,丙二醇單甲醚乙酸酯,丙二醇單乙醚乙酸酯,丙二醇單丙醚乙酸酯等;並且,作為酮類,例如可適宜地列舉甲基乙基酮、環己酮、2-庚酮、3-庚酮等;並且,作為芳香族烴類,例如可適宜地列舉甲苯、二甲苯等。
有機溶劑可單獨使用1種,亦可將2種以上組合使用。
當將2種以上的有機溶劑組合使用時,特佳為包含選自上述3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙基溶纖劑乙酸酯、乳酸乙酯、二乙二醇二甲醚、乙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、2-庚酮、環己酮、乙基卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、丙二醇甲醚、及丙二醇甲醚乙酸酯中的2種以上的混合溶液。
作為組成物中所含有的有機溶劑的量,相對於組成物的總量,較佳為10質量%~90質量%,更佳為20質量%~80質量%,進而更佳為25質量%~75質量%。
<增感劑>
本發明的組成物(典型的是著色感放射線性組成物)亦能夠以提昇聚合起始劑的起始種(initiating species)的產生效率、或感光
波長的長波長化為目的,而含有增感劑。作為增感劑,可列舉於300nm~450nm的波長區域中具有吸收波長的增感劑。
作為增感劑,例如可列舉:如菲、蒽、芘、苝、聯伸三苯、9,10-二烷氧基蒽般的多核芳香族類,如螢光素、曙紅、赤蘚紅、玫瑰紅B、孟加拉玫瑰紅般的二苯并哌喃類,硫雜蒽酮類,花青類,部花青類,酞菁類,如噻嚀、亞甲藍、甲苯胺藍般的噻嗪類,吖啶類,蒽醌類,方酸鹽(squarylium)類,香豆素類,吩噻嗪類,吩嗪類,苯乙烯基苯類,偶氮化合物,二苯基甲烷,三苯基甲烷,二苯乙烯基苯類,咔唑類,卟啉,螺化合物,喹吖啶酮,靛藍,苯乙烯基,吡喃鎓化合物,吡咯亞甲基化合物,吡唑并三唑化合物,苯并噻唑化合物,巴比妥酸衍生物,硫代巴比妥酸衍生物,苯乙酮、二苯基酮、米其勒酮等芳香族酮化合物,N-芳基噁唑烷酮等雜環化合物等。
<鏈轉移劑>
於本發明的組成物(典型的是著色感放射線性組成物)中,若根據所使用的光聚合起始劑而添加鏈轉移劑,則較佳。作為鏈轉移劑,可列舉N,N-二烷基胺基苯甲酸烷基酯或硫醇系化合物,作為硫醇系化合物,可單獨使用2-巰基苯并噻唑、2-巰基-1-苯基苯并咪唑、3-巰基丙酸等,或將2種以上混合使用。
<聚合抑制劑>
於本發明中的組成物(典型的是著色感放射線性組成物)中,為了於該著色感放射線性組成物的製造過程中或保存過程中,阻
止聚合性化合物的不需要的熱聚合,理想的是添加少量的聚合抑制劑。
作為可用於本發明的聚合抑制劑,可列舉:對苯二酚、對甲氧基苯酚、二-第三丁基-對甲酚、五倍子酚、第三丁基兒茶酚、苯醌、4,4'-硫代雙(3-甲基-6-第三丁基苯酚)、2,2'-亞甲基雙(4-甲基-6-第三丁基苯酚)、N-亞硝基苯基羥基胺三價鈰鹽(N-nitrosophenylhydroxyamino cerium(III)salt)等。其中,較佳為對甲氧基苯酚。
相對於組成物的質量,聚合抑制劑的添加量較佳為約0.01質量%~約5質量%。
<基板密接劑>
進而,於本發明中,亦可將可提昇基板密接性的基板密接劑添加至組成物(典型的是著色感放射線性組成物)中。
作為基板密接劑,較佳為使用矽烷系偶合劑、鈦酸酯系偶合劑、鋁系偶合劑。作為矽烷系偶合劑,例如可列舉:γ-甲基丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷、γ-甲基丙烯醯氧基丙基三乙氧基矽烷、γ-丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷、γ-丙烯醯氧基丙基三乙氧基矽烷、γ-巰基丙基三甲氧基矽烷、γ-胺基丙基三乙氧基矽烷、苯基三甲氧基矽烷等。其中,作為基板密接劑,較佳為γ-甲基丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷。
就對組成物進行了曝光、顯影時,殘渣不殘留於未曝光部的觀點而言,相對於本發明的感放射線性組成物的總固體成
分,基板密接劑的含量較佳為0.1質量%以上、30質量%以下,更佳為0.5質量%以上、20質量%以下,特佳為1質量%以上、10質量%以下。
<界面活性劑>
於本發明的組成物(典型的是著色感放射線性組成物)中,就進一步提昇塗佈性的觀點而言,亦可添加各種界面活性劑。作為界面活性劑,可使用氟系界面活性劑、非離子系界面活性劑、陽離子系界面活性劑、陰離子系界面活性劑、矽酮系界面活性劑等各種界面活性劑。
尤其,組成物藉由含有氟系界面活性劑,作為塗佈液來製備時的液體特性(特別是流動性)進一步提昇,因此可進一步改善塗佈厚度的均一性或省液性。
即,當使用應用了含有氟系界面活性劑的組成物的塗佈液來形成膜時,使被塗佈面與塗佈液的界面張力下降,藉此對於被塗佈面的潤濕性得到改善,且對於被塗佈面的塗佈性提昇。因此,即便於以少量的液量形成幾μm左右的薄膜的情況下,就可更適宜地進行形成厚度不均小、厚度均一的膜的觀點而言亦有效。
氟系界面活性劑中的氟含有率合適的是3質量%~40質量%,更佳為5質量%~30質量%,特佳為7質量%~25質量%。就塗佈膜的厚度的均一性或省液性的觀點而言,氟含有率為該範圍內的氟系界面活性劑有效果,於組成物中的溶解性亦良好。
作為氟系界面活性劑,例如可列舉:Megafac F171、
Megafac F172、Megafac F173、Megafac F176、Megafac F177、Megafac F141、Megafac F142、Megafac F143、Megafac F144、Megafac R30、Megafac F437、Megafac F475、Megafac F479、Megafac F482、Megafac F554、Megafac F780、Megafac F781(以上,迪愛生(DIC)(股份)製造),Fluorad FC430、Fluorad FC431、Fluorad FC171(以上,住友3M(Sumitomo 3M)(股份)製造),Surflon S-382、Surflon SC-101、Surflon SC-103、Surflon SC-104、Surflon SC-105、Surflon SC1068、Surflon SC-381、Surflon SC-383、Surflon S393、Surflon KH-40(以上,旭硝子(股份)製造)等。
作為非離子系界面活性劑,具體而言,可列舉:甘油、三羥甲基丙烷、三羥甲基乙烷以及該些的乙氧基化物及丙氧基化物(例如甘油丙氧基化物、甘油乙氧基化物等)、聚氧乙烯月桂醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油醚、聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚、聚乙二醇二月桂酸酯、聚乙二醇二硬脂酸酯、去水山梨醇脂肪酸酯(巴斯夫公司製造的Pluronic L10、L31、L61、L62、10R5、17R2、25R2,Tetronic304、701、704、901、904、150R1),Solsperse20000(日本路博潤(股份)製造)等。
作為陽離子系界面活性劑,具體而言,可列舉:酞菁衍生物(商品名:EFKA-745,森下產業(股份)製造),有機矽氧烷聚合物KP341(信越化學工業(股份)製造),(甲基)丙烯酸系(共)聚合物Polyflow No.75、No.90、No.95(共榮社化學(股份)製造),W001(裕商(股份)製造)等。
作為陰離子系界面活性劑,具體而言,可列舉:W004、W005、W017(裕商(股份)公司製造)等。
作為矽酮系界面活性劑,例如可列舉:Toray Silicone DC3PA、Toray Silicone SH7PA、Toray Silicone DC11PA、Toray Silicone SH21PA、Toray Silicone SH28PA、Toray Silicone SH29PA、Toray Silicone SH30PA、Toray Silicone SH8400(以上,東麗.道康寧(股份)製造),TSF-4440、TSF-4300、TSF-4445、TSF-4460、TSF-4452(以上,邁圖高新材料(Momentive Performance Materials)公司製造),KP341、KF6001、KF6002(以上,信越矽利光(Shinetsu silicone)股份有限公司製造),BYK307、BYK323、BYK330(以上,畢克化學公司製造)等。
界面活性劑可僅使用1種,亦可組合2種以上。
相對於組成物的總質量,界面活性劑的添加量較佳為0.001質量%~2.0質量%,更佳為0.005質量%~1.0質量%。
<其他成分>
於本發明中的組成物(典型的是著色感放射線性組成物)中,視需要可含有N,N-二烷基胺基苯甲酸烷基酯或2-巰基苯并噻唑等鏈轉移劑,偶氮系化合物或過氧化物系化合物等熱聚合起始劑,熱聚合成分,為了提高膜的強度、感度的多官能硫醇或環氧化合物,烷氧基二苯基酮等紫外線吸收劑,鄰苯二甲酸二辛酯等塑化劑,低分子量有機羧酸等顯影性提昇劑,其他填充劑,上述特定黏合劑或鹼可溶性樹脂以外的高分子化合物,抗氧化劑,抗凝聚
劑等各種添加物。
另外,為了於顯影後藉由後加熱來提昇膜的硬化度,可添加熱硬化劑。作為熱硬化劑,可列舉:偶氮化合物、過氧化物等熱聚合起始劑,酚醛清漆樹脂,可溶酚醛(resol)樹脂,環氧化合物,苯乙烯化合物等。
[著色感放射線性組成物的製備]
本發明中的著色感放射線性組成物可藉由如下方式製備:將上述著色劑(當著色劑為顏料時,較佳為事先製備顏料分散液來使用)、光聚合起始劑、聚合性化合物、及視需要的紫外線吸收劑、鹼可溶性樹脂、界面活性劑等各成分一同攪拌混合,視需要實施如下所述的過濾,而製備著色感放射線性組成物。
為了去除異物或減少缺陷等,較佳為利用過濾器對本發明的著色感放射線性組成物進行過濾。只要是自先前以來用於過濾用途等的過濾器,則可無特別限定地使用。例如可列舉利用聚四氟乙烯(Polytetrafluoroethylene,PTFE)等氟樹脂,尼龍-6、尼龍-6,6等聚醯胺系樹脂,聚乙烯、聚丙烯等聚烯烴樹脂(高密度、含有超高分子量)等的過濾器。該些原材料之中,較佳為聚丙烯(包含高密度聚丙烯)。
過濾器的孔徑合適的是0.01μm~7.0μm左右,較佳為0.01μm~2.5μm左右,更佳為0.01μm~2.0μm左右。藉由設為該範圍,可確實地去除於後續步驟中阻礙均一及平滑的著色感放射線性組成物的製備的微細的異物。
當使用過濾器時,亦可將不同的過濾器加以組合。此時,利用第1種過濾器的過濾可僅進行1次,亦可進行2次以上。
另外,亦可於上述範圍內將孔徑不同的第1種過濾器加以組合。此處的孔徑可參照過濾器生產商的標稱值。作為市售的過濾器,例如可自日本頗爾(Pall)股份有限公司、愛多邦得科東洋(Advantec Toyo)股份有限公司、日本英特格(Nihon Entegris)股份有限公司(原日本密科理(Mykrolis)股份有限公司)、或北澤微濾器(Kitz Microfilter)股份有限公司等所提供的各種過濾器中進行選擇。
第2種過濾器可使用以與上述第1種過濾器相同的材料等所形成的過濾器。
例如,利用第1種過濾器的過濾亦可僅於分散液中進行,在混合其他成分後,進行第2次過濾。
[利用著色感放射線性組成物的紅外線透過濾光片的製造]
其次,對本發明的紅外線透過濾光片及其製造方法進行說明。
本發明的紅外線透過濾光片的特徵在於:於基板上具有使用上述組成物(較佳為著色感放射線性組成物)而成的著色區域(著色圖案)(較佳為黑色區域(黑色圖案))。
以下,針對本發明的紅外線透過濾光片,藉由其製造方法(本發明的紅外線透過濾光片的製造方法)來加以詳述。
構成本發明的紅外線透過濾光片的著色畫素的形成方
法可採用如下等方法:製備上述著色感放射線性組成物後藉由光微影法來設置的方法、或製備上述著色感放射線性組成物後藉由噴墨法來設置的方法。
該些方法之中,製備著色感放射線性組成物後藉由光微影法來設置的方法容易將微細的圖案設置成任意的形狀,而為較佳的形態。
以下,對利用製備著色感放射線性組成物後藉由光微影法來設置各著色畫素的方法,製作固體攝影元件用途的紅外線透過濾光片的方法進行敘述,但本發明的紅外線透過濾光片並不限定於此。
本發明的紅外線透過濾光片的製造方法的特徵在於包括:將上述著色感放射線性組成物賦予至基板上,而形成紅外線透過組成物層(著色層)的步驟(著色層形成步驟);將上述紅外線透過組成物層曝光成圖案狀的步驟(曝光步驟);以及對曝光後的上述紅外線透過組成物層進行顯影而形成圖案的步驟(顯影步驟)。
<著色層形成步驟>
於著色層形成步驟中,將著色感放射線性組成物塗佈於基板體上,而形成包含該著色感放射線性組成物的著色層(紅外線透過組成物層)。
作為可用於本步驟的基板,例如可列舉:固體攝影元件中所使用的電荷耦合元件(Charge Coupled Device,CCD)、互補
式金屬氧化物半導體(Complementary Metal Oxide Semiconductor,CMOS)、有機CMOS中的光電轉換元件基板、矽基板等,或者液晶顯示裝置等中所使用的無鹼玻璃、鈉玻璃、派熱司(Pyrex)(註冊商標)玻璃、石英玻璃、及使透明導電膜附著於該些玻璃上而成者等。該些基板有時亦形成有將各畫素隔離的黑色矩陣。
另外,為了改良與上部的層的密接、防止物質的擴散或使基板表面的平坦化,視需要亦可於該些基板上設置底塗層。
作為朝基板上塗佈本發明的著色感放射線性組成物的方法,可應用狹縫塗佈、噴墨法、旋轉塗佈、流延塗佈、輥塗、網版印刷法等各種塗佈方法。
塗佈於基板上的著色層(紅外線透過組成物層)的乾燥(預烘烤)可利用加熱板、烘箱等,於50℃~140℃的溫度下進行10秒~300秒。
著色層的乾燥後(預烘烤後)的膜厚為0.55μm~1.8μm的範圍,較佳為0.60μm以上、小於1.8μm,更佳為0.70μm以上、1.6μm以下,特佳為0.80μm以上、1.4μm以下。
<曝光步驟>
於曝光步驟中,將上述著色層形成步驟中所形成的著色層(紅外線透過組成物層)曝光成圖案狀。
於本步驟中的曝光中,著色層的曝光較佳為藉由藉由如下方式來進行:隔著規定的遮罩圖案進行曝光,並僅使經光照射的著
色層部分硬化。作為可於曝光時使用的放射線,尤其可較佳地使用g射線、h射線、i射線等放射線,特佳為i射線。照射量較佳為30mJ/cm2~1500mJ/cm2,更佳為50mJ/cm2~1000mJ/cm2,最佳為80mJ/cm2~500mJ/cm2。
<顯影步驟>
於曝光步驟之後,進行鹼顯影處理(顯影步驟),藉此使曝光後的未硬化部溶出至顯影液中,而使經光硬化的部分殘存。藉由該顯影步驟,而可形成包含著色畫素的圖案狀皮膜。
顯影方式可為浸漬方式、噴淋方式、噴霧方式、覆液(puddle)方式等任一種方式,亦可將該些方式與搖盪(swing)方式、旋轉方式、超音波方式等加以組合。
亦可於接觸顯影液前,事先利用水等潤濕被顯影面,而防止顯影不均。
作為顯影液,理想的是不會對基底的電路等造成損害的有機鹼性顯影液。作為顯影溫度,通常為20℃~30℃,顯影時間為20秒~90秒。
作為含有顯影液的鹼劑,例如可列舉:氨水、乙胺、二乙胺、二甲基乙醇胺、氫氧化四甲基銨、氫氧化四乙基銨、氫氧化四丁基銨、氫氧化苄基三甲基銨、膽鹼、吡咯、哌啶、1,8-二氮雜雙環-[5.4.0]-7-十一烯等有機鹼性化合物,氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸氫鈉、碳酸氫鉀等無機化合物等。
作為顯影液,可較佳地使用以濃度變成0.001質量%~10質量
%,較佳為變成0.01質量%~1質量%的方式,利用純水對該些鹼劑進行稀釋而成的鹼性水溶液。再者,於使用了包含此種鹼性水溶液的顯影液的情況下,通常於顯影後,利用純水進行清洗(淋洗)而將剩餘的顯影液清洗去除,並實施乾燥。
再者,於本發明的製造方法中,於進行了上述著色層形成步驟、曝光步驟、及顯影步驟後,視需要亦可包含藉由後加熱(後烘烤)或後曝光來將所形成的著色圖案硬化的硬化步驟。後烘烤是用以實現完全硬化的顯影後的加熱處理,通常進行100℃~270℃的熱硬化處理。
當使用光時,可藉由g射線、h射線、i射線、KrF或ArF等準分子雷射、電子束、X射線等來進行,較佳為利用現有的高壓水銀燈於20℃~50℃左右的低溫下進行,照射時間為10秒~180秒,較佳為30秒~60秒。當併用後曝光與後加熱時,較佳為先實施後曝光。
藉由進行以上所說明的著色層形成步驟、曝光步驟、及顯影步驟(進而,視需要的硬化步驟),而製作紅外線透過濾光片。
再者,可僅藉由本發明的顯示出特定的分光特性的著色畫素來構成紅外線透過濾光片,亦可構成具有上述顯示出分光特性的著色畫素與紅色、綠色、藍色、洋紅色、黃色、青色、黑色、無色等的著色畫素的彩色濾光片。當與其他顏色的畫素一同構成彩色濾光片時,可先設置本發明的顯示出特定的分光特性的著色畫素,亦可後設置本發明的顯示出特定的分光特性的著色畫素。
本發明中的著色感放射線性組成物即便於例如附著在塗佈裝置噴出部的噴嘴、塗佈裝置的配管部、塗佈裝置內等的情況下,亦可使用公知的清洗液容易地清洗去除。於此情況下,為了進行效率更高的清洗去除,較佳為將上述作為著色感放射線性組成物中所含有的有機溶劑所揭示的有機溶劑用作清洗液。
另外,日本專利特開平7-128867號公報、日本專利特開平7-146562號公報、日本專利特開平8-278637號公報、日本專利特開2000-273370號公報、日本專利特開2006-85140號公報、日本專利特開2006-291191號公報、日本專利特開2007-2101號公報、日本專利特開2007-2102號公報、日本專利特開2007-281523號公報等中所記載的清洗液亦可適宜地用作本發明的著色感放射線性組成物的清洗去除用的清洗液。
作為清洗液,較佳為使用伸烷基二醇單烷基醚羧酸酯、或伸烷基二醇單烷基醚。
可用作清洗液的該些有機溶劑可單獨使用,亦可將2種以上混合使用。
當將2種以上的有機溶劑混合時,較佳為將具有羥基的有機溶劑與不具有羥基的有機溶劑混合而成的混合溶劑。具有羥基的有機溶劑與不具有羥基的有機溶劑的質量比為1/99~99/1,較佳為10/90~90/10,更佳為20/80~80/20。作為混合溶劑,特佳為比率為60/40的丙二醇單甲醚乙酸酯(Propylene Glycol Monomethyl Ether Acetate,PGMEA)與丙二醇單甲醚(Propylene Glycol
Monomethyl Ether,PGME)的混合溶劑。
再者,為了提昇清洗液對於著色感放射線性組成物的滲透性,亦可向清洗液中添加上述作為著色感放射線性組成物可含有的界面活性劑所揭示的界面活性劑。
另外,藉由本發明的紅外線透過濾光片的製造方法所製造的本發明的紅外線透過濾光片可適宜地搭載於CCD感測器、CMOS感測器、有機CMOS感測器、銅銦硒化鎵(Copper Indium Gallium Selenide,CIGS)圖像感測器等的固體攝影元件中。特別適合搭載於如超過100萬畫素的高解析度的CCD感測器、CMOS感測器、有機CMOS感測器的固體攝影元件中。本發明的紅外線透過濾光片例如亦可配置在構成CCD元件的各畫素的受光部與用於聚光的微透鏡之間。
[紅外線感測器]
本發明的紅外線感測器具備本發明的紅外線透過濾光片。作為本發明的紅外線感測器的構成是具備紅外線透過濾光片的構成,只要是作為固體攝影元件發揮功能的構成,則並無特別限定,例如可列舉如下的構成。
該構成如下:於基板上具有構成固體攝影元件(CCD感測器、CMOS感測器、有機CMOS感測器等)的受光區域的多個光電二極體、及包含多晶矽等的轉移電極,於上述光電二極體及上述轉移電極上具有僅對光電二極體的受光部開口的包含鎢等的遮光膜,於遮光膜上具有以覆蓋遮光膜的整個面、及光電二極體
受光部的方式形成的包含氮化矽等的元件保護膜,於上述元件保護膜上具有本發明的紅外線透過濾光片。
進而,亦可為如下的構成等:於上述元件保護層上、且於紅外線透過濾光片下(靠近基板之側)具有聚光裝置(例如微透鏡等。以下相同)的構成,或者於紅外線透過濾光片上具有聚光裝置的構成。
再者,有機CMOS感測器是包含作為光電轉換層的薄膜的全色感光性有機光電轉換膜、及CMOS訊號讀出基板而構成,且為有機材料擔載捕捉光並將其轉換成電訊號的作用,無機材料擔載將電訊號導出至外部的作用的2層構成的混合構造,原理上可相對於入射光使開口率變成100%。有機光電轉換膜為構造自由的連續膜且可鋪設於CMOS訊號讀出基板上,因此無需價格高的微細加工製程,而適合畫素微細化。
[實施例]
以下,藉由實施例來更具體地說明本發明,但本發明只要不超出其主旨,則並不限定於以下的實施例。再者,只要事先無特別說明,則「份」、「%」為質量基準。
[分散樹脂1]
作為分散樹脂1,使用日本專利特開2009-69822號公報的段落[0172]及段落[0173]中所記載的鹼可溶性樹脂-3。
[分散樹脂2]
作為分散樹脂2,使用以下所示的化合物(重複單元中的比為
莫耳比)。
[分散樹脂3]
作為分散樹脂3,使用以下所示的化合物(重複單元中的比為莫耳比,一併記載於側鏈的重複部位中的數值表示該重複部位的重複數)。
[分散樹脂4]
作為分散樹脂4,使用以下所示的化合物(重複單元中的比為莫耳比,一併記載於側鏈的重複部位中的數值表示該重複部位的重複數)。
[化57]
分散樹脂4(Mw:7950)
[分散劑1]
作為分散劑1,使用日本專利特開2009-69822號公報的段落[0175]中所記載的分散劑-1。
[顏料分散液B-1的製備]
使用直徑為0.3mm的氧化鋯珠,並利用珠磨機(帶有減壓機構的高壓分散機NANO-3000-10(日本BEE(股份)製造))將下述組成的混合液混合、分散3小時,而製備顏料分散液B-1。
.包含紅色顏料(C.I.顏料紅254)及黃色顏料(C.I.顏料黃139)的混合顏料 11.8份
.分散劑:畢克公司製造的BYK-111 9.1份
.有機溶劑:丙二醇甲醚乙酸酯 79.1份
[顏料分散液B-2的製備]
使用直徑為0.3mm的氧化鋯珠,並利用珠磨機(帶有減壓機構的高壓分散機NANO-3000-10(日本BEE(股份)製造))將下述組成的混合液混合、分散3小時,而製備顏料分散液B-2。
.包含藍色顏料(C.I.顏料藍15:6)及紫色顏料(C.I.顏料紫23)的混合顏料 12.6份
.分散劑:畢克公司製造的BYK-111 2.0份
.上述分散樹脂2 3.3份
.有機溶劑:環己酮 31.2份
.有機溶劑:丙二醇甲醚乙酸酯(PGMEA) 50.9份
[顏料分散液B-3的製備]
使用直徑為0.3mm的氧化鋯珠,並利用珠磨機(帶有減壓機構的高壓分散機NANO-3000-10(日本BEE(股份)製造))將下述組成的混合液混合、分散3小時,而製備顏料分散液B-3。
.包含紅色顏料(C.I.顏料紅254)、黃色顏料(C.I.顏料黃150)、藍色顏料(C.I.顏料藍15:6)、紫色顏料(C.I.顏料紫23)及綠色顏料(C.I.顏料綠36)的混合顏料 13.5份
.上述分散劑1 2.2份
.分散助劑:路博潤公司製造的S12000 0.5份
.上述分散樹脂1 3.8份
.有機溶劑:PGMEA 80.0份
[顏料分散液B-4的製備]
使用直徑為0.3mm的氧化鋯珠,並利用珠磨機(帶有減壓機構的高壓分散機NANO-3000-10(日本BEE(股份)製造))將下述組成的混合液混合、分散3小時,而製備顏料分散液B-4。
.包含紅色顏料(C.I.顏料紅254)、黃色顏料(C.I.顏料黃150)、藍色顏料(C.I.顏料藍15:6)、紫色顏料(C.I.顏料紫23)及綠色顏料(C.I.顏料綠36)的混合顏料 12.1份
.分散劑:畢克公司製造的BYK-161 6.7份
.分散助劑:路博潤公司製造的S12000 0.7份
.有機溶劑:PGMEA 80.5份
[顏料分散液B-5的製備]
使用直徑為0.3mm的氧化鋯珠,並利用珠磨機(帶有減壓機構的高壓分散機NANO-3000-10(日本BEE(股份)製造))將下述組成的混合液混合、分散3小時,而製備顏料分散液B-5。
.黑色顏料(碳黑;C.I.顏料黑7) 16.3份
.分散劑:畢克公司製造的BYK-161 2.9份
.分散助劑:路博潤公司製造的S12000 0.8份
.有機溶劑:PGMEA 80.0份
[顏料分散液B-6的製備]
使用直徑為0.3mm的氧化鋯珠,並利用珠磨機(帶有減壓機構的高壓分散機NANO-3000-10(日本BEE(股份)製造))將下述組成的混合液混合、分散3小時,而製備顏料分散液B-6。
.包含紅色顏料(C.I.顏料紅254)、黃色顏料(C.I.顏料黃139)、藍色顏料(C.I.顏料藍15:6)及紫色顏料(C.I.顏料紫23)的混合顏料 20.0份
.分散劑1 3.4份
.上述分散樹脂1 6.4份
.有機溶劑:PGMEA 70.2份
[顏料分散液B-7的製備]
使用直徑為0.3mm的氧化鋯珠,並利用珠磨機(帶有減壓機構的高壓分散機NANO-3000-10(日本BEE(股份)製造))將下述組成的混合液混合、分散3小時,而製備顏料分散液B-7。
.藍色顏料(C.I.顏料藍15:6) 10.6份
.分散劑:上述分散樹脂3 3.2份
.有機溶劑:PGMEA 86.2份
[顏料分散液B-8的製備]
使用直徑為0.3mm的氧化鋯珠,並利用珠磨機(帶有減壓機構的高壓分散機NANO-3000-10(日本BEE(股份)製造))將下述組成的混合液混合、分散3小時,而製備顏料分散液B-8。
.紅色顏料(C.I.顏料紅254) 13.1份
.分散劑:上述分散樹脂4 3.9份
.有機溶劑:PGMEA 83.0份
[顏料分散液B-9的製備]
使用直徑為0.3mm的氧化鋯珠,並利用珠磨機(帶有減壓機構的高壓分散機NANO-3000-10(日本BEE(股份)製造))將下述組成的混合液混合、分散3小時,而製備顏料分散液B-9。
.黃色顏料(C.I.顏料黃139) 15.0份
.分散劑:畢克公司製造的BYK-111 2.3份
.下述鹼可溶性樹脂1 3.0份
.有機溶劑:PGMEA 79.7份
[顏料分散液B-10的製備]
使用直徑為0.3mm的氧化鋯珠,並利用珠磨機(帶有減壓機構的高壓分散機NANO-3000-10(日本BEE(股份)製造))將下述組成的混合液混合、分散3小時,而製備顏料分散液B-10。
.紫色顏料(C.I.顏料紫23) 15.0份
.分散劑:畢克公司製造的BYK-111 1.5份
.下述鹼可溶性樹脂1 3.8份
.有機溶劑:PGMEA 79.7份
(實施例1)
[著色感放射線性組成物的製備]
將下述的成分混合,製備實施例1的著色感放射線性組成物。
.顏料分散液B-1(各顏料的質量比參照下述表1) 46.5份
.顏料分散液B-2(各顏料的質量比參照下述表1) 37.1份
.下述鹼可溶性樹脂1 1.1份
.下述聚合性化合物1 1.8份
.下述聚合性化合物2 0.6份
.光聚合起始劑:下述聚合起始劑1 0.9份
.界面活性劑1:迪愛生股份有限公司製造的Megafac F-781F的1.00質量%PGMEA溶液 4.2份
.聚合抑制劑:對甲氧基苯酚 0.001份
.有機溶劑1:PGMEA 7.8份
[化58]
鹼可溶性樹脂1(重複單元中的比為莫耳比),Mw:11.000
[化61]
聚合起始劑1
(實施例2~實施例10、比較例1~比較例4)
於實施例1的著色感放射線性組成物的製備中,將顏料分散液、鹼可溶性樹脂、聚合性化合物、光聚合起始劑、界面活性劑及有機溶劑變更成下述表2中所示者及量(質量份)(顏料分散液
中的各顏料的質量比參照上述表1。另外,表2中,無數值者表示未使用),而製備實施例2~實施例10及比較例1~比較例4的各著色感放射線性組成物。
以下表示該些實施例及比較例中所使用的材料之中,以上未記載者。
.聚合性化合物4:新中村化學公司製造的U-6LPA(丙烯酸胺基甲酸酯)
.聚合性化合物5:日本化藥公司製造的PM-21(2-(甲基)丙烯醯氧基乙基己酸酯酸式磷酸鹽)
[化63]
聚合性化合物6(左側化合物與右側化合物的莫耳比=6:4)
.光聚合起始劑3:巴斯夫公司製造的IRGACURE379.光聚合起始劑4:日本專利特開2009-69822號公報的段落
[0177]中所記載的光聚合起始劑-1(肟系起始劑)
.有機溶劑2:乙酸3-甲氧基丁酯
.鹼可溶性樹脂2:上述分散樹脂2
.鹼可溶性樹脂3:日本專利特開2009-69822號公報的段落[0170]中所記載的鹼可溶性樹脂-1(環氧丙烯酸酯樹脂)
使用所獲得的各著色感放射線性組成物來評價分光特性。將結果匯總並示於表2。
[分光特性]
將各著色感放射線性組成物旋塗於玻璃基板上,以後烘烤後的膜厚變成1.0μm的方式進行塗佈,於100℃下利用加熱板乾燥120秒,乾燥後,進而利用200℃的加熱板進行300秒加熱處理(後烘烤)。
利用紫外可見近紅外分光光度計U-4100(日立先端科技製造)的分光光度計(ref.玻璃基板),於波長300nm~1300nm的範圍內測定具有著色層的基板的透光率。
[紅外線透過濾光片的製作]
使用旋轉塗佈機,以乾燥後的膜厚變成1.0μm的方式,將實施例1~實施例10及比較例1~比較例4的各著色感放射線性組成物塗佈於矽晶圓上,然後利用100℃的加熱板進行120秒加熱處理(預烘烤)。
繼而,使用i射線步進式曝光裝置FPA-3000i5+(佳能(Canon)(股份)製造),並利用形成有1.4μm見方的正方形畫素圖案的光罩,以50mJ/cm2為單位自50mJ/cm2進行曝光至750mJ/cm2為止,藉此決定對上述正方形畫素圖案進行解析的最佳曝光量,並以該最佳曝光量進行曝光。
其後,將形成有經曝光的塗佈膜的矽晶圓載置於旋轉.噴淋顯影機(DW-30型,Chemitronics(股份)製造)的水平旋轉台上,
使用CD-2060(富士軟片電子材料(Fujifilm Electronic Materials)(股份)製造)於23℃下進行60秒覆液式顯影,而於矽晶圓上形成著色圖案。
利用純水對形成有著色圖案的矽晶圓進行淋洗處理,其後進行噴霧乾燥。
進而,使用200℃的加熱板進行300秒加熱處理(後烘烤),而分別獲得作為實施例1~實施例10及比較例1~比較例4的紅外線透過濾光片的具有著色圖案的矽晶圓。
<評價>
(可見光雜訊性能)
使用紫外可見近紅外分光光度計U-4100(日立先端科技公司製造)的分光光度計(ref.玻璃基板),求出以上述方式獲得的紅外線透過濾光片的厚度方向的於波長400nm~700nm的可見光區域中的平均透光率t1[%]、與於波長825nm~1300nm的可見光區域中的平均透光率t2[%]的比(t1/t2=x),並根據以下的評價基準進行評價。評分越高,表示源自可見光成分的雜訊越少,性能越優異。
<評價基準>
5:x≦0.06
4:0.06<x≦0.065
3:0.065<x≦0.07
2:0.07<x≦0.08
1:0.08<x
(PCD依存性)
於上述[紅外線透過濾光片的製作]中,測定塗佈著色感放射線性組成物後立即進行曝光時的圖案尺寸(正方形畫素圖案的一邊)w1、與塗佈後72小時後進行曝光時的圖案尺寸(正方形畫素圖案的一邊)w2的差的絕對值(△w=| w2-w1 |),並根據以下的評價基準進行評價。評分越高,表示對於PCD的依存性越低,性能越優異。
<評價基準>
5:△w<0.01
4:0.01≦△w<0.03
3:0.03≦△w<0.05
2:0.05≦△w<0.10
1:0.10≦△w
可知與由比較例的著色感放射線性組成物所形成的比較例的紅外線透過濾光片相比,由實施例的著色感放射線性組成物所形成的實施例的紅外線透過濾光片均可於源自可見光成分的雜訊少的狀態下,使紅外線(特別是近紅外線)透過。
另外,藉由使用包含具有源自由上述式(ED)所表示的化合物的重複單元的鹼可溶性樹脂、及肟化合物(光聚合起始劑)的至少任一者的著色感放射線性組成物所形成的實施例1~實施例10的紅外線透過濾光片的PCD依存性更優異,藉由使用含有上述兩者的著色感放射線性組成物所形成的實施例1~實施例6及實施例10的紅外線透過濾光片變成PCD依存性進而更優異的結果。
另外,「波長400nm~750nm的範圍內的透光率的最大值」為13%以下、「波長900nm~1300nm的範圍內的透光率的最小值」為98%以上的實施例1、實施例2、實施例7~實施例9的紅外線透過濾光片變成可見光雜訊性能更優異的結果。
[產業上之可利用性]
根據本發明,可提供一種組成物、及使用該組成物的紅外線透過濾光片、紅外線透過濾光片的製造方法、以及紅外線感測器,上述組成物可製作即便非常薄(例如厚度為1μm),亦可於源自可見光成分等的雜訊少的狀態下使紅外線(特別是近紅外線)透過的紅外線透過濾光片。
雖然詳細地且參照特定的實施形態對本發明進行了說明,但對於所屬技術領域中具有通常知識者而言明確的是,可不
脫離本發明的精神與範圍而施加各種變更或修正。
本申請是基於2012年11月29日申請的日本專利申請(日本專利特願2012-261422)者,其內容作為參照而編入至本申請中。
Claims (17)
- 一種組成物,其於形成為膜厚為1μm的膜時,上述膜的厚度方向的透光率於波長400nm~750nm的範圍內的最大值為20%以下,上述膜的厚度方向的透光率於波長900nm~1300nm的範圍內的最小值為90%以上,所述組成物含有著色劑,所述組成物含有紅色顏料、黃色顏料、藍色顏料以及紫色顏料作為所述著色劑,所述紅色顏料相對於所有顏料的質量比為0.2以上、0.5以下,所述黃色顏料相對於所有顏料的質量比為0.1以上、0.2以下,所述藍色顏料相對於所有顏料的質量比為0.25以上、0.55以下,所述紫色顏料相對於所有顏料的質量比為0.05以上、0.15以下。
- 如申請專利範圍第1項所述的組成物,其含有有機顏料作為上述著色劑,上述有機顏料的含量為上述著色劑的總量的95質量%以上。
- 如申請專利範圍第1項所述的組成物,其中相對於組成物的總固體成分,所述著色劑的含量為30質量%~60質量%。
- 如申請專利範圍第1項所述的組成物,其含有C.I.顏料紅254作為所述紅色顏料。
- 如申請專利範圍第1項所述的組成物,其含有C.I.顏料黃139或C.I.顏料黃150作為所述黃色顏料。
- 如申請專利範圍第1項所述的組成物,其含有C.I.顏料藍 15:6作為所述藍色顏料。
- 如申請專利範圍第1項所述的組成物,其含有C.I.顏料紫23作為所述紫色顏料。
- 如申請專利範圍第1項所述的組成物,其中所述紅色顏料為C.I.顏料紅254,所述黃色顏料為C.I.顏料黃139或C.I.顏料黃150,所述藍色顏料為C.I.顏料藍15:6,所述紫色顏料為C.I.顏料紫23。
- 如申請專利範圍第1項至第8項中任一項所述的組成物,其含有光聚合起始劑、及聚合性化合物。
- 如申請專利範圍第9項所述的組成物,其更含有鹼可溶性樹脂。
- 如申請專利範圍第10項所述的組成物,其中上述鹼可溶性樹脂為具有源自由下述式(ED)所表示的化合物的重複單元的樹脂,
- 如申請專利範圍第9項所述的組成物,其中上述光聚合起始劑為肟化合物。
- 一種著色層,其由如申請專利範圍第1項至第12項中任一項所述的組成物形成,且所述著色層的膜厚為0.55μm~1.8μm。
- 一種紅外線透過濾光片,其由如申請專利範圍第1項至第12項中任一項所述的組成物形成。
- 一種彩色濾光片,其具有:如申請專利範圍第1項至第12項中任一項所述的組成物所形成的著色畫素;以及紅色、綠色、藍色、洋紅色、黃色、青色、黑色或無色的著色畫素。
- 一種紅外線透過濾光片的製造方法,其包括:將如申請專利範圍第1項至第12項中任一項所述的組成物賦予至基板上,而形成紅外線透過組成物層的步驟;將上述紅外線透過組成物層曝光成圖案狀的步驟;以及對曝光後的上述紅外線透過組成物層進行顯影而形成圖案的步驟。
- 一種紅外線感測器,其含有如申請專利範圍第14項所述的紅外線透過濾光片、或藉由如申請專利範圍第16項所述的紅外線透過濾光片的製造方法所獲得的紅外線透過濾光片。
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