TWI558922B - 螺栓鬆弛防止裝置及其安裝方法、第1、第2安裝治具、流體控制裝置及基板處理裝置 - Google Patents

螺栓鬆弛防止裝置及其安裝方法、第1、第2安裝治具、流體控制裝置及基板處理裝置 Download PDF

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Description

螺栓鬆弛防止裝置及其安裝方法、第1、第2安裝治具、流體控制裝置及基板處理裝置
本發明係關於使用複數個螺栓對被固定構件進行固定後之螺栓鬆弛防止裝置及用以安裝螺栓鬆弛防止裝置的安裝方法以及使用此安裝方法之安裝治具。
對一旦被適宜緊固之螺栓因受到振動等的影響而發生鬆弛的情況，已相當熟悉，並且，用以防止此鬆弛之螺栓鬆弛防止裝置或止鬆構件，亦已提出有多種方案。
例如，於專利文獻1揭示一種使用一對螺栓進行構件之安裝時的螺栓止鬆構件，係由板狀之本體、一體地設於本體且不能相對旋轉地嵌合於一螺栓之頭部的第1嵌合部、及一體地設於本體且不能相對旋轉地嵌合於另一螺栓之頭部的第2嵌合部所構成。
另外，於專利文獻2揭示一種流體控制裝置，其由複數個上段構件(具有通路塊之流體控制機器)及複數個下段構件(塊接頭)所構成。此流體控制裝置亦被稱為積體化流體控制裝置，且為使用螺栓將通路塊固定於下段構件之構成。於此種積體化流體控制裝置中，為了維持密封性，需要防止螺栓之鬆弛，但因為螺栓之周邊沒有充分的空間，所以，能設置於狹窄空間之螺栓鬆弛防止裝置及其安裝方法，已成為一項課題。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本國專利第3615738號公報
[專利文獻2]日本國專利第4238453號公報
根據該專利文獻1之螺栓止鬆構件，雖具有以一個構件進行止鬆之優點，但卻有構件之構造變得複雜，造成製造困難之問題，另外，還具有在使第1嵌合部嵌合於一螺栓上之狀態下，不容易進行使第2嵌合部嵌合於另一個螺栓上之安裝作業的問題。因此，要應用於該專利文獻2之流體控制裝置會有困難。
本發明之目的在於，提供一種構件之構造簡單且能容易進行安裝作業的螺栓鬆弛防止裝置及其安裝方法以及安裝治具。
本發明之螺栓鬆弛防止裝置，係使用複數個螺栓對被固定構件進行固定後之螺栓鬆弛防止裝置，該螺栓鬆弛防止裝置具有：複數個嵌合構件，其分別不能相對旋轉地嵌合於複數個螺栓之各頭部；及卡合構件，其橫跨複數個嵌合構件地安裝且卡合於各嵌合構件。
本發明所使用之螺栓，係可為JIS規格之六角螺栓、四角螺栓、附帶六角孔螺栓等，另外，亦可為將頭部加工成非圓形之特殊形狀螺栓。於JIS規格之附帶六角孔螺栓的情況下，以附帶直紋滾花者較為適宜。
嵌合構件係作成例如板狀，其內周面係作成與螺栓之外周形狀對應的形狀(於六角螺栓用之情況下，為六角形)，並且外周面係作成適宜之非圓形形狀(例如，六角 形、方形等)。於附帶直紋滾花之附帶六角孔螺栓的情況下，嵌合構件之內周面被作成滾花狀。附帶六角孔螺栓用之嵌合構件，亦可為將嵌合於六角孔之六角柱狀凸部設於方形板狀構件之中央部分者。
卡合構件係作成例板狀或框狀，且於卡合構件設有卡合於各嵌合構件之非圓形外周面的至少一部分以防止各嵌合構件之移動的卡合部。卡合部係作成與嵌合構件之非圓形外周面對應的形狀(若嵌合構件為六角形，則卡合部亦為六角形)。卡合構件之外形可作成方形、圓形等，其中以作成與安裝有螺栓之部分的形狀對應之形狀較為適宜。又，以卡合構件之外形係作成能藉安裝有螺栓之構件而予止轉的形狀更為適宜。
在此，嵌合構件之外周面及卡合構件的各卡合部之(非圓形)，係指正圓形以外之形狀，亦即於嵌合構件上安裝有卡合構件且嵌合構件與卡合構件相嵌合之情況下，成為不能相對旋轉之形狀。但嵌合構件與卡合構件之嵌合，不需要類似固定配合(壓入)那樣於最初之嵌合狀態下即變得不能相對旋轉，而只要是於相對旋轉時使嵌合構件之外周面的一部分與卡合構件之卡合部的一部分卡合者即可。這是因為即使為於嵌合狀態下亦不是完全不能旋轉的情況，當略有鬆弛便能發揮止轉功能時，因為此後嵌合構件無法再作旋轉，所以，亦可發揮止鬆作用之緣故。簡言之，卡合構件只要能防止嵌合構件之旋轉(移動)即可，其形狀可根據嵌合構件之形狀適宜地變更。
嵌合構件之非圓形外周面及卡合構件的卡合部之非 圓形內周面，除了六角形、方形外，還可為於圓形之外周面設置一或多個突起或缺口者。各嵌合構件係可作成於合成樹脂製板狀素材上設置通孔之形狀，從而可容易進行製作。
嵌合構件與螺栓頭部之嵌合，係作成不能相對旋轉(間隙實質上為零)，藉由阻止嵌合構件之旋轉，可阻止螺栓之旋轉(鬆弛)。嵌合構件係可分別單獨與螺栓嵌合，所以可容易地進行此等之嵌合。卡合構件係例如合成樹脂製，因而可彈性變形，藉此，可容易地進行橫跨於複數個嵌合構件之嵌合。
又，卡合構件與嵌合構件之嵌合，雖不能相對旋轉，但亦可略帶間隙。於具有間隙之情況下，嵌合構件能進行相當於此間隙程度之旋轉，伴隨此，螺栓亦可相應旋轉，但螺栓不會作超出此間隙以上的鬆弛，所以，可使鬆弛量成為既定值以下(實質上為零)。當然間隙實質上亦可為零，但藉由設置若干之間隙，可更為容易地進行使卡合件朝嵌合構件的嵌合。
複數個嵌合構件通常係作成相同形狀，但不侷限於此。於嵌合構件均為相同形狀之情況下，第1卡合部與第2卡合部亦可為相同形狀，但不侷限於此，亦可將第2卡合部作成較大，以使第2卡合部較多地取得該間隙。另外，以第1卡合部與第2卡合部被間隔較為適宜，但亦可不用間隔，而整合成能包含所有之嵌合構件的一個卡合部。
以卡合構件係具有自一側與複數個嵌合構件之外周 面對向的第1對向壁部、自另一側與複數個嵌合構件之外周面對向的第2對向壁部、及連結兩對向壁部之連結壁部較為適宜。藉由此種構成，可將橫跨式地安裝於複數個嵌合構件之卡合構件的形狀簡單化，且可容易地確保強度。
卡合構件之各卡合部係具有作成卡合孔的情況，該卡合孔具有與各嵌合構件之非圓形外周面對應的非圓形內周面且設於連結壁部。
另外，卡合構件之連結壁部係具有藉由在相鄰之嵌合構件間相互嵌合而與第1對向壁部及第2對向壁部一起形成卡合部的突出部。
應用本發明之螺栓鬆弛防止裝置所進行之緊固(固定構造)，不受限制，例如，其可應用於流體控制裝置之通路塊的固定構造。因為於此通路塊需要密封部，所以於螺栓鬆弛之情況下，造成密封性降低，因而對螺栓之止鬆變得極為重要。
於應用在流體控制裝置之通路塊的固定構造時，以各螺栓係於頭部圓周面形成有直紋滾花之附帶六角孔螺栓，各附帶六角孔螺栓係使其頭部自被固定構件(通路塊)突出且貫通被固定構件，於自被固定構件露出之各附帶六角孔螺栓的頭部分別嵌合有外周面形狀為方形且內周面形成有滾花之嵌合構件，橫跨式地嵌合於複數個嵌合構件之卡合構件係由被固定構件所擋止較為適宜。
通路塊係作成例如立方體狀，且形成有適宜之形狀的流體通路，伴隨此設有密封部。於此通路塊之安裝時 ，以挾持密封部之方式配置有複數個螺栓，藉以確保其密封性，且通路塊被安裝於支撐構件上。通路塊係具有僅以此通路塊作為一個構件而予使用的情況，另外，亦有藉由一體地安裝於致動器上，而作為閥之通路形成部分的情況。
複數個螺栓之具體數量可為例如一對(2個)，但亦可為2個以上，此時，複數個螺栓不需要呈直線狀排列，只要配合螺栓之位置而使卡合構件變化即可。
以該螺栓鬆弛防止裝置係使用適宜之安裝治具(用以安裝嵌合構件之第1安裝治具及用以安裝卡合構件的第2安裝治具)所進行較為適宜。
第1發明之螺栓鬆弛防止裝置之安裝方法，其特徵為：使用具有保持嵌合構件之外周面的保持部及抵接於嵌合構件且能相對於保持部作移動之按壓部的第1安裝治具，於將嵌合構件保持於第1安裝治具之保持部的狀態下，將嵌合構件安裝於螺栓上，然後使第1安裝治具之按壓部移動，藉此使嵌合構件自第1安裝治具之保持部脫離。
根據本發明之螺栓鬆弛防止裝置之安裝方法，作為安裝嵌合構件時之空間，即使是於螺栓之上方具有空間但於螺栓之周邊(前後及左右)無充分之空間的情況下，仍可確實地將嵌合構件嵌合於螺栓上。
另外，第2發明之螺栓鬆弛防止裝置之安裝方法，其特徵為：於卡合構件上設置螺孔，使用具有螺合於此螺孔之陽螺紋部的第2安裝治具，於將卡合構件螺合於第2安裝治具之狀態下，以橫跨於複數個嵌合構件上之方式 按壓第2安裝治具，藉此將卡合構件安裝於複數個嵌合構件上。
根據本發明之螺栓鬆弛防止裝置之安裝方法，作為安裝卡合構件時之空間，即使是於螺栓及嵌合構件之上方具有空間，但於螺栓及嵌合構件之周邊(前後及左右)無充分之空間的情況，仍可確實地將卡合構件嵌合於嵌合構件上。
本發明之第1安裝治具，其特徵為具有：中空軸，其於前端一體地設有保持嵌合構件之外周面的保持部；把持部，其設於中空軸之基端部；及內軸，其於前端一體地設有抵接於嵌合構件之按壓部，並且，該內軸能沿軸向移動地插入於中空軸內，且基端部自中空軸突出。
根據本發明之第1安裝治具，可解消使嵌合構件嵌合於螺栓之後，嵌合構件不容易自第1安裝治具脫離的問題。
另外，第1發明之第2安裝治具，其特徵為具有：軸體，其於前端具有螺合於設在卡合構件之螺孔的陽螺紋部；及補強板，其抵接於卡合構件；軸體係可相對旋轉地安裝於補強板上。
根據第1發明之第2安裝治具，可藉由補強板來矯正卡合構件的翹曲，所以，可平滑地進行將卡合構件安裝於複數個嵌合構件時的嵌合。
另外，第2發明之第2安裝治具，其特徵為：該第2安裝治具係由附帶補強板之軸體及可拆裝式地安裝於此軸體上之輔助軸體所構成；附帶補強板之軸體具有於前 端具有螺合於設在卡合構件之一端部的螺孔之陽螺紋部之主軸體、及抵接於卡合構件之補強板；主軸體係可相對旋轉地安裝於補強板上；於補強板上之一端部設有供主軸體穿通之通孔，且於另一端部設有螺孔；輔助軸體係於前端具有螺合於補強板之螺孔的陽螺紋部。
根據第2發明之第2安裝治具，於在被固定構件之上方存在有妨礙第1發明之第2安裝治具的插入之部分的情況下，藉由使用此第2發明之第2安裝治具，可避免干涉而進行卡合構件之安裝。
本發明之流體控制裝置，其具有：流體控制機器，其具有作為複數個上段構件之通路塊；及塊接頭，其係作為複數個下段構件；且為使用螺栓將通路塊固定於下段構件之構成，該流體控制裝置之特徵為：作為用以進行該螺栓之止鬆的螺栓鬆弛防止裝置，具有上述任一種之螺栓鬆弛防止裝置。
於具有作為複數個上段構件之通路塊的流體控制機器及作為複數個下段構件之塊接頭之流體控制裝置中，為了維持密封性，需要防止螺栓之鬆弛，但因為於螺栓之周邊沒有充分之空間，所以，能設置於狹窄空間之螺栓鬆弛防止裝置，已成為一項課題，藉由作成具有該螺栓鬆弛防止裝置之流體控制裝置，可解決此課題。
此種流體控制裝置，係於具有收容被處理基板之處理容器、及將處理氣體供給於該處理容器內之處理氣體供給部之基板處理裝置中，適宜於作為設於該處理氣體供給部內之流體控制裝置使用。
根據本發明之螺栓鬆弛防止裝置，其具有：複數個嵌合構件，其分別不能相對旋轉地嵌合於複數個螺栓之各頭部；及卡合構件，其橫跨式地安裝於複數個嵌合構件且卡合於各嵌合構件，所以，於作成各嵌合構件相對於各螺栓不能相對旋轉之狀態下，因各嵌合構件之旋轉可由卡合構件所防止，所以，可確實地防止螺栓之鬆弛。
在此，嵌合構件係將其內周面作成與螺栓之外周形狀對應的形狀，並且將外周面作成適宜之非圓形形狀，且於卡合構件設有與複數個嵌合構件對應之卡合部，所以，可將各嵌合構件作成於板狀之素材上設有通孔的形狀，從而可容易地進行製作。另外，嵌合構件可分別單獨嵌合於螺栓上，所以，可容易地進行此等之嵌合，藉由使卡合構件彈性變形，亦可容易地進行使卡合構件橫跨於嵌合構件之嵌合。
另外，根據本發明之螺栓鬆弛防止裝置的安裝方法，作為安裝嵌合構件及卡合構件時之空間，即使是於螺栓之上方具有空間但於螺栓之周邊(前後及左右)無充分之空間的情況，仍可確實地將嵌合構件及卡合構件嵌合於對應之螺栓及嵌合構件上。
另外，根據本發明之螺栓鬆弛防止裝置之安裝治具，可使用此等治具來平滑地實施該螺栓鬆弛防止裝置之安裝方法。
[實施發明之形態]
以下，參照圖面，針對本發明之實施形態進行說明。以下之說明中，上下係指第18圖之上下，另外，稱同圖之右側為前方，同圖之左側為後方，同圖之紙面表面側為左，同背面側為右。
第18圖顯示作為以本發明之螺栓鬆弛防止裝置為對象的裝置之一例之積體化流體控制裝置，此流體控制裝置之一個管線(41)，係由複數個上段構件及複數個下段構件所構成，作為上段構件，配置有開閉閥(手動)(44)、壓力調節器(45)、壓力感測器(46)、逆V字形通路塊(47)、遮斷開放器(48)、質量流量控制器(49)、開閉閥(自動)(50)、逆V字形通路塊(51)、及過濾器(52)，並且，作為下段構件，配置有配置於兩端之附帶管接頭(53)的L字形通路塊接頭(54)、及連通相鄰之上段構件彼此間的V字形通路塊接頭(55)。另外，作為下段構件之各種接頭構件(54)(55)，係搭載於一個細長之副基板(43)上，並橫跨於此等下段構件(54)(55)安裝有作為上段構件的各種流體控制機器(44)(45)(46)(47)(48)(49)(50)(51)(52)，藉此形成一條管線(41)，且藉由將此管線(41)及與其類似之構成的複數條管線並排地配置於主基板(42)上，並藉由通路連接機構(56)連接各管線(41)之遮斷開放器(48)彼此間，可形成積體化流體控制裝置。
於該積體化流體控制裝置中，於質量流量控制器(49)之兩側配置有通路塊(49a)(49b)，此等通路塊(49a)(49b)係藉由一對螺栓(57)被固定於下段之V字形通路塊 接頭(55)上。另外，作為上段構件之開閉閥(手動)(44)、壓力調節器(45)、壓力感測器(46)、逆V字形通路塊(47)、開閉閥(自動)(50)、逆V字形通路塊(51)及過濾器(52)，分別具有通路塊(44a)(45a)(46a)(47a)(50a)(51a)(52a)，此等通路塊(44a)(45a)(46a)(47a)(50a)(51a)(52a)係藉由一對或2對螺栓(57)被固定於下段之通路塊接頭(54)(55)上。
於各通路塊(44a)(45a)(46a)(47a)(49a)(49b)(50a)(51a)(52a)設有能使螺栓(57)穿通之通孔，各螺栓(57)係使其頭部自通路塊(44a)(45a)(46a)(47a)(49a)(49b)(50a)(51a)(52a)之上面突出，且其前端部螺合於通路塊接頭(54)(55)上所設之陰螺紋部。
本發明之螺栓鬆弛防止裝置(1)的第1實施形態，係可應用於該通路塊(44a)(45a)(46a)(47a)(49a)(49b)(50a)(51a)(52a)之固定構造等者，如第1至第4圖所示，其係適合於進行用以將通路塊(被固定構件)(11)固定於支撐構件(12)之一對螺栓(5)的止鬆者，由不能相對旋轉地嵌合於各螺栓(5)之頭部的左右一對之嵌合構件(2)(3)、及橫跨式地嵌合於一對嵌合構件(2)(3)之卡合構件(4)所構成。
各螺栓(5)係相同形狀之市售產品(JIS規格產品)，是於頭部圓周面(5a)之全周形成有直紋滾花(複數條與軸向平行延伸之凸條及凹槽)的附帶六角孔螺栓。
嵌合構件(2)(3)係於板狀體形成有貫通狀之嵌合孔(2a)(3a)者，嵌合構件(2)(3)之各外周面(2b)(3b)係作成正 方形(非圓形之一例)。於嵌合孔(2a)(3a)之內周面形成有與螺栓(5)的頭部圓周面(5a)的滾花對應之滾花(複數條與軸向平行延伸之凸條及凹槽)。藉此，嵌合構件(2)(3)之嵌合孔(2a)(3a)係以恰好能與螺栓(5)的頭部圓周面(5a)的滾花嵌合的方式構成。
卡合構件(4)具有自前側(一側)與左右一對之嵌合構件(2)(3)的外周面對向之第1對向壁部(6)、自後側(另一側)與一對之嵌合構件(2)(3)的外周面對向之第2對向壁部(7)、及連結兩對向壁部(6)(7)之連結壁部(8)。於連結壁部(8)上形成有能分別嵌合於各嵌合構件(2)(3)之方形的左(第1)及右(第2)的卡合孔(8a)(8b)。左卡合孔(8a)之內周面係作成與左側之嵌合構件(2)的方形外周面(2b)對應的方形，右卡合孔(8b)之內周面係作成與右側之嵌合構件(3)的方形外周面(3b)對應的方形，藉此，形成有卡合於各嵌合構件(2)(3)之非圓形外周面的至少一部分而作為防止各嵌合構件之移動的卡合部之卡合孔(8a)(8b)。左卡合孔(8a)與右卡合孔(8b)之間係由間隔壁(8c)所間隔。於使卡合構件(4)嵌合於嵌合構件(2)(3)之狀態下，卡合構件(4)之上面係比嵌合構件(2)(3)的上面略位於上方。
根據該螺栓鬆弛防止裝置(1)，於作成各嵌合構件相對於各螺栓(5)不能相對旋轉之狀態下，因卡合構件(4)可防止各嵌合構件(2)(3)之旋轉，故可確實地防止螺栓(5)之鬆弛。
嵌合構件(2)(3)係將其內周面作成與螺栓(5)之外周 形狀對應的形狀，並且將外周面作成適宜之非圓形形狀，且於卡合構件(4)設有與各嵌合構件(2)(3)對應之卡合孔(8a)(8b)，所以，可將各嵌合構件(2)(3)(4)作成於合成樹脂製之板狀體上設有通孔的形狀，從而可容易地進行製作。
另外，嵌合構件(2)(3)可分別單獨嵌合於螺栓(5)上，所以，可容易地進行此等之嵌合。另外，卡合構件(4)係作成例如合成樹脂製之板狀體，藉此，可使卡合構件彈性變形，可容易地進行朝嵌合構件(2)(3)之嵌合。
又，於第4圖中，各嵌合構件(2)(3)與各卡合孔(8a)(8b)係顯示間隙大致為零，但即使於各嵌合構件(2)(3)與各卡合孔(8a)(8b)之間略微存在有間隙，實質上亦不會有藉卡合構件(4)防止各嵌合構件(2)(3)旋轉的效果降低之情形，所以，不會有螺栓(5)之鬆弛防止效果降低之情形。因此，藉由留取較大之間隙，還可更為容易地進行使卡合構件(4)嵌合於嵌合構件(2)(3)之作業。
另外，各嵌合構件(2)(3)與各卡合孔(卡合部)(8a)(8b)，係藉由將卡合部作成方形之孔(8a)(8b)，而形成為能於周面之4面全部抵接(4面均具有卡合面之功能)，但只要至少一面具有卡合面之功能即可，所以卡合部不侷限於方形之孔(8a)(8b)。
第5至第7圖顯示嵌合構件(2)(3)為與上述構成相同形狀之情況時的卡合構件之不同實施形態。
於同圖中，卡合構件(14)具有自前側(一側)與左右一對之嵌合構件(2)(3)的外周面對向的第1對向壁部(16)、 自後側(另一側)與一對之嵌合構件(2)(3)的外周面對向的第2對向壁部(17)、及連結兩對向壁部(16)(17)之連結壁部(18)。
連結壁部(18)係將其下面承載於各嵌合構件(2)(3)的上面，並且，還於連結壁部(18)設有用以確認螺栓(5)之狀態的視窗(18b)。
如第7(b)圖所示，於連結壁部(18)之下面(內側面)當中的未承載於嵌合構件(2)(3)的上面之中間部分形成有嵌合於兩嵌合構件(2)(3)之間的四角柱狀之下方突出部(18a)。藉此，於本實施形態中，形成有第1卡合部(14a)，該第1卡合部(14a)係藉由兩對向壁部(16)(17)之左部彼此及下方突出部(18a)之左面卡合於左側之嵌合構件(2)之非圓形外周面的至少一部分以防止嵌合構件(2)之移動，並形成有第2卡合部(14b)，該第2卡合部(14b)係藉由兩對向壁部(16)(17)之右部彼此及下方突出部(18a)之右面卡合於右側之嵌合構件(3)之非圓形外周面的至少一部分以防止嵌合構件(3)之移動。
根據本實施形態之卡合構件(14)，與將卡合部作成方形之孔(8a)(8b)的卡合構件(4)相比，可容易地進行嵌合構件(2)(3)之嵌合，另外，藉由增加連結壁部(18)之厚度，可提高強度，從而變得不容易產生翹曲等。
可是，於將以本發明之螺栓鬆弛防止裝置作為對象的裝置作為一例之積體化流體控制裝置(第18圖)中，例如，於藉由一對螺栓(57)將配置於質量流量控制器(49)兩側之通路塊(49a)(49b)固定於下段之V字形通路塊接頭 (55)上的情況下，於通路塊(49a)(49b)之前後及左右幾乎沒有作業空間，因此，需要藉由從上方進行之作業來安裝該嵌合構件(2)(3)(4)(14)。
在此，因為於通路塊(49a)(49b)之前後及左右沒有可供手插入之程度的空間，所以，於各嵌合構件(2)(3)(4)(14)之安裝時，以使用由第8及第9圖所示之第1安裝治具(21)及第10及第11圖所示之第1實施形態的第2安裝治具(31)或第14至第16圖所示之第2實施形態的第2安裝治具(36)所構成之2種類之治具進行安裝較為適宜。
為了能使用該第2安裝治具(31)(36)，如第5至第7圖所示，於卡合構件(14)之中央部及兩端部分別設有螺孔(19)(20)。
如第8及第9圖所示，第1實施形態之第1安裝治具(21)，其具有：中空軸(22)，其於前端一體地設有保持嵌合構件(2)(3)之外周面(2b)(3b)的保持部(23)；把持部(24)，其一體地設於中空軸(22)之基端部；及內軸(25)，其於前端一體地設有抵接於嵌合構件(2)(3)之上面的按壓部(26)，並且，內軸(25)能沿軸向移動地插入於中空軸(22)內，且基端部自中空軸(22)突出。
如第9圖所作之放大顯示，保持部(23)係藉由前後壁(27)(28)及頂壁(29)而形成為大致字形，且藉由摩擦力將嵌合構件(2)(3)保持於前後壁(27)(28)之間。前壁(27)係由以恰好與後壁(28)對向而挾持嵌合構件(2)(3)之外周面(2b)(3b)的對向部(27a)、及連接於對向部(27a)之下方的下方突出部(27b)所構成。下方突出部(27b)係將其外 面形成為與對向部(27a)處於同一平面，下方突出部(27b)之內面，係以於使保持嵌合構件(2)(3)之第1安裝治具(21)移動至安裝位置(將嵌合構件(2)(3)安裝於各螺栓(5)的位置)時，能被引導至作為被固定構件之連結塊(11)的前面之方式，以比對向部(27a)之內面更為下凹之方式所形成。
如第9(b)圖所作之放大顯示，按壓部(26)係由板狀之方形部(26a)、及設於其下面之板狀的圓形部(26b)所構成。圓形部(26b)係作成能寬鬆地嵌合於嵌合構件(2)(3)之內周面(2a)(3a)內的大小。方形部(26a)係將其外周緣部作成順應嵌合構件(2)(3)之外周緣部的形狀。
按壓部(26)係與內軸(25)形成一體，所以，藉由使內軸(25)相對於中空軸(22)移動，亦可使按壓部(26)移動。按壓部(26)係可被移動至如第9(a)圖所示之將嵌合構件(2)(3)挾持於保持部(23)之前後壁(27)(28)間且抵接於保持部(23)之頂壁(29)的位置、及如第9(b)圖所示之藉由自保持部(23)之頂壁(29)離開而移動至下方(前壁(27)與後壁(28)之開口部側)以使嵌合構件(2)(3)自保持部(23)脫離之位置。
如第10及第11圖所示，第2安裝治具(31)具有於前端具有螺合於設在卡合構件(14)之中央部的螺孔(19)的陽螺紋部(32a)的軸體(32)、及抵接於卡合構件(14)之上面的補強板(33)。
於軸體(32)之上端部(基端部)一體地設有把持部(32b)，於軸體(32)之下端部(前端部)上之比陽螺紋部 (32a)更上方的部分設有補強陽螺紋部(32a)之凸緣部(32c)。
於補強板(33)之下面中央部設有凹部(33a)，軸體(32)係使陽螺紋部(32a)自補強板(33)之凹部(33a)的底面突出，並藉由E環(34)以能相對旋轉之方式安裝於補強板(33)上。
陽螺紋部(32a)之前端係於卡合構件(14)之安裝前及安裝完成之時間點上，位於不自補強板(33)之下面突出的位置。為了使卡合構件(14)保持於第2安裝治具(31)上(第11(b)圖)，如第11(a)圖所示，只要使卡合構件(14)與第2安裝治具(31)對向，且將卡合構件(14)之上面壓接於補強板(33)之下面，於此狀態下使軸體(32)旋轉，將陽螺紋部(32a)螺合於卡合構件(14)之螺孔(19)上即可。
使用第1安裝治具(21)將嵌合構件(2)朝螺栓(5)之安裝，係如第12圖所示進行。
首先，拿著保持部(23)之前後壁(27)(28)間挾持有嵌合構件(2)之第1安裝治具(21)的把持部(24)，插入連結塊(11)上方的空間，且以使保持部(23)之前壁(27)的下方突出部(27b)沿著連結塊(11)的前面之方式，使嵌合構件(2)抵接於螺栓(5)(第12(a)圖)。然後，一面以螺栓(5)之頭部與嵌合構件(2)嵌合的方式進行微調整，一面將第1安裝治具(21)朝下方壓入(第12(b)圖)。接著，藉由將內軸(25)朝下方按壓而相對地使中空軸(22)朝上方移動(第12(c)圖)。藉此，嵌合構件(2)受到按壓部(26)之按壓，自保持部(23)離開而被安裝於螺栓(5)上。接著，使第1安裝治具 (21)朝上方移動，藉此完成安裝(第12(d)圖)。
有關嵌合構件(3)對右側之螺栓(5)的安裝，亦同樣使用第1安裝治具(21)進行。
藉由使用第1安裝治具(21)依上述方式進行嵌合構件(2)(3)之朝螺栓(5)的安裝，作為安裝嵌合構件(2)(3)時之空間，即使於螺栓(5)之上方具有空間但於螺栓(5)之周邊(前後及左右)無充分之空間的情況下，仍可確實地將嵌合構件(2)(3)嵌合於螺栓(5)上。另外，藉由以嵌合構件(2)(3)被按壓部(26)按壓而自保持部(23)離開的方式構成，可防止於使嵌合構件(2)(3)嵌合於螺栓(5)之後，嵌合構件(2)(3)不容易自第1安裝治具(21)脫離的問題。
使用第2安裝治具(31)將嵌合構件(14)朝嵌合構件(2)(3)之安裝，係如第13圖所示進行。
使卡合構件(14)螺合於第2安裝治具(31)上，拿著把持部(32b)插入連結塊(11)上方的空間，使卡合構件(14)朝下方移動(第13(a)圖)。接著，一面以卡合構件(14)與一對嵌合構件(2)(3)相互嵌合之方式進行微調整，一面將第2安裝治具(31)朝下方壓入(第13(b)圖)。使軸體(32)朝解除螺合之方向旋轉，去除螺合(第13(c)圖)，藉此，第2安裝治具(31)與卡合構件(14)分離，所以，藉由只使第2安裝治具(31)朝上方移動，以完成此安裝。
藉由使用第2安裝治具(31)依上述方式進行卡合構件(14)朝嵌合構件(2)(3)之安裝，作為安裝卡合構件(14)時之空間，即使於螺栓(5)及嵌合構件(2)(3)之上方具有空間但於螺栓(5)及嵌合構件(2)(3)之周邊(前後及左右) 無充分之空間的情況下，仍可確實地使卡合構件(14)嵌合於嵌合構件(2)(3)上。另外，於第2安裝治具(31)上設有補強板(33)，所以，藉由使補強板(33)抵接於卡合構件(14)，可矯正卡合構件(14)之翹曲，可平滑地進行將卡合構件(14)安裝於一對嵌合構件(2)(3)時的嵌合。
於該第13圖中，雖不存在有阻礙第2安裝治具(31)朝連結塊(11)上方之空間的插入之部分，但例如，於第18圖中以符號所示之質量流量控制器(49)的前後面設有通信電纜連接用之連接器，所以會有無法插入第10及第11圖所示之第2安裝治具(31)的情況。
第14至第16圖所示之第2實施形態的第2安裝治具(36)，係有利於在連結塊(11)之左右中央部的上方存在有干涉部分之情況下使用者，其係由附帶補強板之軸體(37)及可拆裝式地安裝於附帶補強板之軸體(37)上之輔助軸體(38)所構成。
附帶補強板之軸體(37)係與第10及第11圖所示之第1實施形態的第2安裝治具(31)類似的形狀，其具有於前端具有螺合於設在卡合構件(14)之螺孔(20)的陽螺紋部(39a)的主軸體(39)、及抵接於卡合構件(14)之上面的補強板(40)。在此，附帶補強板之軸體(37)與第1實施形態的第2安裝治具(31)之差異點在於，於補強板(40)之端部安裝有主軸體(39)，且於補強板(40)上，設有用以供主軸體(39)穿通之通孔的凹部(40a)不是設於中央部而是設於一端部，且於另一端部設有螺孔(40b)。藉此，相對於整體成為略T字形之第1實施形態的第2安裝治具(31)，附帶 補強板之軸體(37)係整體形成為略L字形。
輔助軸體(38)係於前端具有能螺合於補強板(40)之螺孔(40b)的陽螺紋部(38a)。
除上述外，附帶補強板之軸體(37)係與第1實施形態的第2安裝治具(31)相同地形成，如第14及第15圖所示，於主軸體(39)之基端部(上端部)一體地設有把持部(39b)。另外，如第16圖所示，於軸體(39)之前端部(下端部)上之比陽螺紋部(39a)更上方的部分設有補強陽螺紋部(39a)之凸緣部(39c)，主軸體(39)係使陽螺紋部(39a)自補強板(40)之凹部(40a)的底面突出，並藉由E環(34)以能相對旋轉之方式安裝於補強板(40)上。
陽螺紋部(39a)之前端係於卡合構件(14)之安裝前及安裝完成之時間點上，位於不自補強板(40)之下面突出的位置。為了使卡合構件(14)保持於附帶補強板之軸體(37)上(第16(b)圖)，如第16(a)圖所示，只要使卡合構件(14)與附帶補強板之軸體(37)對向，且將卡合構件(14)之上面壓接於補強板(40)之下面，於此狀態下使主軸體(39)旋轉，將陽螺紋部(39a)螺合於卡合構件(14)之螺孔(20)上即可。
使用第2實施形態之第2安裝治具(31)將卡合構件(14)朝嵌合構件(2)(3)之安裝，係如第17圖所示進行。
使卡合構件(14)螺合於附帶補強板之軸體(37)上，拿著把持部(39b)插入連結塊(11)上方的空間，而使卡合構件(14)朝下方移動(第17(a)圖)。此時，於補強板(40)保持為水平狀態下，會與質量流量控制器(49)之通信電纜連 接用連接器(C)發生干涉，所以，可使補強板(40)傾斜，以避免與連接器(C)發生干涉之後，再將補強板(40)保持為水平。接著，藉由使輔助軸體(38)螺合於補強板(40)，將輔助軸體(38)與附帶補強板之軸體(37)一體化(第17(b)圖)。接著，一面以卡合構件(14)與一對嵌合構件(2)(3)相互嵌合之方式進行微調整，一面將由附帶補強板之軸體(37)及輔助軸體(38)所構成之第2安裝治具(36)朝下方壓入。然後，先使輔助軸體(38)自從附帶補強板之軸體(37)上脫離(第17(c)圖)，接著，使主軸體(39)相對於補強板(40)旋轉，去除主軸體(39)與卡合構件(14)之螺合(第17(d)圖)。藉此，附帶補強板之軸體(37)與卡合構件(14)分離，所以，藉由只使附帶補強板之軸體(37)朝上方移動，以完成此安裝。
藉由使用第2實施形態之第2安裝治具(36)依上述方式進行卡合構件(14)朝嵌合構件(2)(3)之安裝，即使於連結塊(11)之上方存在有妨礙第1實施形態之第2安裝治具(31)的插入之部分，仍可避免干涉而可進行卡合構件(14)之安裝。
又，由在主基板(42)上並排配置有與第18圖所示之管線(41)及類似構成之複數條管線、並藉由通路連接機構(56)連接各管線(41)之遮斷開放器(48)所形成之積體化流體控制裝置，係可控制並供給複數種類之氣體，此種積體化流體控制裝置係於具有收容被處理基板之處理容器、及將處理氣體供給於該處理容器內之處理氣體供給部之基板處理裝置中，適宜於作為設於該處理氣體供 給部內之流體控制裝置使用。
1‧‧‧螺栓鬆弛防止裝置
2、3‧‧‧嵌合構件
2a、3a‧‧‧嵌合孔
2b、3b‧‧‧非圓形外周面
4‧‧‧卡合構件
5‧‧‧螺栓
5a‧‧‧頭部圓周面
6‧‧‧第1對向壁部
7‧‧‧第2對向壁部
8‧‧‧連結壁部
8a、8b‧‧‧卡合孔
11‧‧‧通路塊
12‧‧‧支撐構件
14‧‧‧卡合構件
14a‧‧‧第1卡合部
14b‧‧‧第2卡合部
16‧‧‧第1對向壁部
17‧‧‧第2對向壁部
18‧‧‧連結壁部
18a‧‧‧下方突出部
19、20‧‧‧螺孔
21‧‧‧第1安裝治具
22‧‧‧中空軸
23‧‧‧保持部
24‧‧‧把持部
25‧‧‧內軸
26‧‧‧按壓部
31‧‧‧第2安裝治具
32‧‧‧軸體
32a‧‧‧陽螺紋部
33‧‧‧補強板
36‧‧‧第2安裝治具
37‧‧‧附帶補強板之軸體
38‧‧‧輔助軸體
39a‧‧‧陽螺紋部
39‧‧‧主軸體
40‧‧‧補強板
40b‧‧‧螺孔
第1圖為顯示本發明之螺栓鬆弛防止裝置的第1實施形態之立體圖，且顯示安裝此螺栓鬆弛防止裝置時之最初狀態。
第2圖為顯示本發明之螺栓鬆弛防止裝置的第1實施形態之立體圖，且顯示安裝此螺栓鬆弛防止裝置時之中間狀態。
第3圖為顯示本發明之螺栓鬆弛防止裝置的第1實施形態之立體圖，且顯示安裝上此螺栓鬆弛防止裝置後之狀態。
第4圖為顯示安裝上本發明之螺栓鬆弛防止裝置後之狀態的俯視圖。
第5圖為顯示本發明之螺栓鬆弛防止裝置的第2實施形態之立體圖，且顯示安裝此螺栓鬆弛防止裝置時之中間狀態。
第6圖為顯示本發明之螺栓鬆弛防止裝置的第2實施形態之立體圖，且顯示安裝上此螺栓鬆弛防止裝置後之狀態。
第7圖為本發明之螺栓鬆弛防止裝置的卡合構件之示意圖，第7(a)圖為俯視圖，第7(b)圖為沿第7(a)圖中之b-b線所作之剖視圖。
第8圖為顯示本發明之第1安裝治具的立體圖。
第9圖為顯示第1安裝治具之要部的放大立體圖。
第10圖為顯示本發明之第2安裝治具的第1實施形態 之立體圖。
第11圖為顯示第1實施形態之第2安裝治具的要部之放大立體圖。
第12圖為顯示使用第1安裝治具來安裝本發明之螺栓鬆弛防止裝置的方法之立體圖。
第13圖為顯示使用第1實施形態之第2安裝治具來安裝本發明之螺栓鬆弛防止裝置的方法之立體圖。
第14圖為顯示本發明之第2安裝治具的第2實施形態之立體圖。
第15圖為顯示第2實施形態之第2安裝治具的附帶補強板之軸體之放大立體圖。
第16圖為顯示第2實施形態之第2安裝治具的要部之放大立體圖。
第17圖為顯示使用第2實施形態之第2安裝治具來安裝本發明之螺栓鬆弛防止裝置的方法之立體圖。
第18圖為顯示作為以本發明之螺栓鬆弛防止裝置為對象的裝置之一例之積體化流體控制裝置的側視圖。
2、3‧‧‧嵌合構件
2a、3a‧‧‧嵌合孔
2b、3b‧‧‧非圓形外周面
4‧‧‧卡合構件
5‧‧‧螺栓
6‧‧‧第1對向壁部
7‧‧‧第2對向壁部
8‧‧‧連結壁部
8a、8b‧‧‧卡合孔
8c‧‧‧間隔壁
11‧‧‧通路塊
12‧‧‧支撐構件

Claims (10)

  1. 一種螺栓鬆弛防止裝置，係使用複數個螺栓對被固定構件進行固定後之螺栓鬆弛防止裝置，該螺栓鬆弛防止裝置之特徵為具有：複數個嵌合構件，係分別不能相對旋轉地嵌合於複數個螺栓之各頭部；及卡合構件，其設有卡合各嵌合構件以防止其移動之卡合部，且橫跨複數個嵌合構件而安裝；各螺栓係於頭部圓周面形成有直紋滾花之附帶六角孔螺栓，各附帶六角孔螺栓係使其頭部從被固定構件突出且貫通被固定構件，從被固定構件露出之各附帶六角孔螺栓的頭部分別嵌合有外周面形狀為方形且內周面形成有滾花之嵌合構件，卡合構件具有：第1對向壁部，其自一側與複數個嵌合構件之外周面對向；第2對向壁部，其自另一側與複數個嵌合構件之外周面對向；及連結壁部，其連結兩對向壁部，橫跨複數個嵌合構件而被嵌合的卡合構件係由被固定構件所擋止。
  2. 如申請專利範圍第1項之螺栓鬆弛防止裝置，其中卡合構件之各卡合部係作成卡合孔，其具有與各嵌合構件之方形外周面對應的方形內周面且設於連結壁部。
  3. 如申請專利範圍第1項之螺栓鬆弛防止裝置，其中卡 合構件之連結壁部係具有藉由在相鄰之嵌合構件間相互嵌合而與第1對向壁部及第2對向壁部一起形成卡合部的突出部。
  4. 一種螺栓鬆弛防止裝置之安裝方法，係用以安裝申請專利範圍第1至3項中任一項之螺栓鬆弛防止裝置之方法，該安裝方法之特徵為：使用具有保持嵌合構件之外周面的保持部及抵接於嵌合構件且能相對於保持部作移動之按壓部的第1安裝治具，在嵌合構件保持於第1安裝治具之保持部的狀態下，將嵌合構件安裝於螺栓上，然後使第1安裝治具之按壓部移動，藉此使嵌合構件自第1安裝治具之保持部脫離。
  5. 一種螺栓鬆弛防止裝置之安裝方法，係用以安裝如申請專利範圍第1項之螺栓鬆弛防止裝置的方法，該安裝方法之特微為：於卡合構件上設置螺孔，使用具有螺合於此螺孔之陽螺紋部的第2安裝治具，在卡合構件螺合於第2安裝治具之狀態下，以橫跨於複數個嵌合構件上之方式按壓第2安裝治具，藉此將卡合構件安裝於複數個嵌合構件上。
  6. 一種第1安裝治具，係使用在如申請專利範圍第4項之螺栓鬆弛防止裝置之安裝方法中，該第1安裝治具之特徵為具有：中空軸，其於前端一體地設有保持嵌合構件之外周面的保持部； 把持部，其設於中空軸之基端部；及內軸，其於前端一體地設有抵接於嵌合構件之按壓部，並且，該內軸能沿軸向移動地插入於中空軸內，且基端部自中空軸突出。
  7. 一種第2安裝治具，係使用在如申請專利範圍第5項之螺栓鬆弛防止裝置之安裝方法中，該第2安裝治具之特徵為具有：軸體，其於前端具有螺合於設在卡合構件之螺孔的陽螺紋部；及補強板，其抵接於卡合構件；軸體係可相對旋轉地安裝於補強板上。
  8. 一種第2安裝治具，係使用在如申請專利範圍第5項之螺栓鬆弛防止裝置之安裝方法中，該第2安裝治具之特徵為具有：該第2安裝治具係由附帶補強板之軸體及可拆裝式地安裝於此軸體上之輔助軸體所構成；附帶補強板之軸體具有於前端具有螺合於設在卡合構件之一端部的螺孔之陽螺紋部之主軸體、及抵接於卡合構件之補強板；主軸體係可相對旋轉地安裝於補強板上；於補強板上之一端部設有供主軸體穿通之通孔，且於另一端部設有螺孔；輔助軸體係於前端具有螺合於補強板之螺孔的陽螺紋部。
  9. 一種流體控制裝置，係具有：流體控制機器，其具有 作為複數個上段構件之通路塊；及塊接頭，其係作為複數個下段構件；且藉由橫跨塊接頭安裝流體控制機器而形成一管線，作成與此管線類似構成的複數管線並排地配置於主基板而形成流體控制裝置，其特徵為：通路塊係藉由一對或二對的螺栓而固定於塊接頭，作為用以進行該螺栓之防鬆的螺栓鬆弛防止裝置，係具有如申請專利範圍第1至3項中任一項之螺栓鬆弛防止裝置。
  10. 一種基板處理裝置，其具有收容被處理基板之處理容器、將處理氣體供給於該處理容器內之處理氣體供給部及設於處理氣體供給部內的流體控制裝置，該基板處理裝置之特徵為：流體控制裝置係具有：流體控制機器，其具有作為複數個上段構件之通路塊；及塊接頭，其係作為複數個下段構件；且藉由橫跨塊接頭安裝流體控制機器而形成一管線，作成與此管線類似構成的複數管線並排地配置於主基板而形成，作為用以進行該螺栓之防鬆的螺栓鬆弛防止裝置，係具有申請專利範圍第1至3項中任一項之螺栓鬆弛防止裝置。
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