KR20120104112A

KR20120104112A - 볼트 풀림 방지 장치, 그 부착 방법과 부착 지그, 유체 제어 장치 및 기판 처리 장치

Info

Publication number: KR20120104112A
Application number: KR1020120024374A
Authority: KR
Inventors: 노리히코 아미쿠라; 사토시 가가츠메; 마사히코 사토; 유키오 나이토; 사토시 무토; 도모히로 나카타; 츠토무 시노하라; 미치오 야마지
Original assignee: 가부시키가이샤 후지킨; 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Priority date: 2011-03-11
Filing date: 2012-03-09
Publication date: 2012-09-20
Also published as: KR102025945B1; CN102678725A; TW201243176A; US20150233412A1; US9103366B2; TWI558922B; US9494180B2; JP2012189160A; US20120230757A1; CN102678725B; US9835195B2; US20170097034A1; JP5798766B2

Abstract

본 발명은 부재의 구조가 간소화되어 있고, 부착 작업을 용이하게 행할 수 있는 볼트 풀림 방지 장치를 제공한다.
복수 개의 볼트(5)의 각 헤드부에 각각 상대 회전 불가능하게 감합되는 복수 개의 감합 부재(2, 3)와, 복수 개의 감합 부재(2, 3)에 걸쳐 감합되는 결합 부재(4)를 구비한다. 각 감합 부재(2, 3)의 외주면(2b, 3b)이 비원형으로 되고, 결합 부재(4)에, 복수 개의 감합 부재(2, 3)의 각 비원형 외주면(2b, 3b)에 대응하는 복수의 결합 구멍(비원형 결합부)(8a, 8b)이 마련되어 있다.

Description

볼트 풀림 방지 장치, 그 부착 방법과 부착 지그, 유체 제어 장치 및 기판 처리 장치{APPARATUS FOR PREVENTING LOOSENESS OF BOLT, ATTACHING METHOD AND ATTACHING JIG THEREFOR, FLUID CONTROL DEVICE AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}

본 발명은, 복수 개의 볼트를 사용하여 피고정 부재를 고정한 후에 볼트의 풀림을 방지하기 위한 볼트 풀림 방지 장치, 이 볼트 풀림 방지 장치를 부착하기 위한 부착 방법과 이 부착 방법에서 사용되는 부착 지그에 관한 것이다.

일단 적절히 체결된 볼트가 진동 등의 영향을 받아 풀리는 것은 잘 알려져 있으며, 이것을 방지하는 볼트 풀림 방지 장치 또는 잠금 부재도 여러 가지의 것이 제안되어 있다.

예를 들어, 특허문헌 1에는, 한 쌍의 볼트를 사용하여 부재를 부착할 때의 볼트 잠금 부재로서, 플레이트형의 본체와, 본체에 일체적으로 설치되고 한쪽의 볼트의 헤드부에 상대 회전 불가능하게 감합되는 제1 감합부와, 본체에 일체적으로 설치되고 다른 쪽의 볼트의 헤드부에 상대 회전 불가능하게 감합되는 제2 감합부로 이루어지는 것이 개시되어 있다.

한편, 특허문헌 2에는, 복수의 상단 부재(통로 블록을 갖는 유체 제어 기기) 및 복수의 하단 부재(블록 조인트)로 이루어지는 유체 제어 장치가 개시되어 있다. 이 유체 제어 장치는 집적화 유체 제어 장치라고도 불리며, 통로 블록을 볼트를 사용하여 하단 부재에 고정하는 구성으로 되어 있다. 이러한 집적화 유체 제어 장치에서는, 시일성을 유지하기 위해서 볼트의 풀림을 방지하는 것이 필요하지만, 볼트의 주변에는 충분한 스페이스가 없기 때문에, 좁은 스페이스에 설치할 수 있는 볼트 풀림 방지 장치 및 그 부착 방법이 과제로 되어 있다.

특허문헌 1 : 일본 특허 제3615738호 공보 특허문헌 2 : 일본 특허 제4238453호 공보

상기한 특허문헌 1의 볼트 잠금 부재에 의하면, 하나의 부재로 잠금을 행할 수 있다는 이점이 있지만, 부재의 구조가 복잡해져 제조가 곤란해진다는 문제가 있고, 또한, 한쪽의 볼트에 제1 감합부를 감합한 상태로, 다른 쪽의 볼트에 제2 감합부를 감합하는 부착 작업이 곤란하다는 문제가 있었다. 따라서, 상기한 특허문헌 2의 유체 제어 장치에 적용하는 것은 곤란하다.

본 발명의 목적은, 부재의 구조가 간소화되어 있고, 부착 작업을 용이하게 행할 수 있는 볼트 풀림 방지 장치 및 그 부착 방법과 부착 지그를 제공하는 것에 있다.

본 발명에 따른 볼트 풀림 방지 장치는, 복수 개의 볼트를 사용하여 피고정 부재를 고정한 후의 볼트의 풀림을 방지하는 볼트 풀림 방지 장치로서, 복수 개의 볼트의 각 헤드부에 각각 상대 회전 불가능하게 감합되는 복수 개의 감합 부재와, 복수 개의 감합 부재에 걸쳐 부착되어 각 감합 부재에 결합하는 결합 부재를 갖는 것이다.

본 발명에서 사용되는 볼트는, JIS에서 규격되어 있는 육각 볼트, 사각 볼트, 육각구멍 형성 볼트 등으로 할 수 있고, 또한, 헤드부를 비원형으로 가공한 특수형 볼트로 할 수도 있다. JIS에서 규격되어 있는 육각구멍 형성 볼트의 경우에는, 직선 널링(Knurling)이 마련된 것이 바람직하다.

감합 부재는, 예를 들어 판형으로 되고, 내주면이 볼트의 외주 형상에 대응한 형상(육각 볼트용의 경우에는, 육각형)으로 되며, 외주면이 적절한 비원형 형상(예를 들어 육각형, 사각형 등)으로 된다. 직선 널링이 마련된 육각구멍 형성 볼트의 경우에는, 감합 부재의 내주면이 널링형으로 된다. 육각구멍 형성 볼트용의 감합 부재는, 육각구멍에 감합되는 육각기둥형 볼록부가 사각형 판형 부재의 중앙 부분에 설치되는 것이어도 좋다.

결합 부재는, 예를 들어 판형 또는 프레임형으로 이루어지고, 결합 부재에 각 감합 부재의 비원형 외주면의 적어도 일부에 결합하여 그 이동을 방지하는 결합부가 설치된다. 결합부는, 감합 부재의 비원형 외주면에 대응한 형상(감합 부재가 육각형이면, 결합부도 육각형)으로 된다. 결합 부재의 외형은, 사각형, 원형 등으로 되고, 바람직하게는, 볼트가 부착되는 부분의 형상을 따른 형상으로 된다. 결합 부재의 외형은, 볼트가 부착되는 부재에 의해서 회전 고정되는 형상으로 되는 것이 보다 바람직하다.

여기서, 감합 부재의 외주면 및 결합 부재의 각 결합부의「비원형」은, 완전한 원형 이외의 형상으로서, 감합 부재에 결합 부재가 부착되어, 감합 부재와 결합 부재가 감합된 경우에, 상대 회전 불가능하게 되는 형상을 의미한다. 다만, 감합 부재와 결합 부재와의 감합은, 억지 끼워 맞춤(압입)과 같이 최초의 감합 상태에서 상대 회전 불가능하게 되어 있을 필요는 없고, 상대 회전했을 때에, 감합 부재의 외주면의 일부와 결합 부재의 결합부의 일부가 결합되는 것이면 된다. 감합 상태에서 완전히 회전 불가능하지 않은 경우라도, 조금 여유있게 회전 고정 기능이 발휘되면, 그 이후에는 감합 부재가 회전할 수 없기 때문에, 잠금 기능이 발휘되기 때문이다. 요컨대, 결합 부재는 감합 부재의 회전(이동)을 방지할 수 있으면 좋고, 그 형상은, 감합 부재의 형상에 맞추어 적절하게 변경된다.

감합 부재의 비원형 외주면 및 결합 부재의 결합부의 비원형 내주면은, 육각형, 사각형 외에, 원형의 외주면에 1 또는 복수의 돌기 또는 노치가 마련된 것이어도 좋다. 각 감합 부재는, 합성수지제 판형 소재에 관통 구멍이 마련된 형상으로 할 수 있고, 용이하게 제작할 수 있다.

감합 부재와 볼트 헤드부의 감합은, 상대 회전 불가능(여유가 실질적으로 제로)하게 되고, 감합 부재의 회전이 저지됨으로써, 볼트의 회전(풀림)이 저지된다. 감합 부재는, 각각 개별적으로 볼트에 감합되면 되기 때문에, 이들의 감합은 용이하게 행할 수 있다. 결합 부재는, 예를 들어 합성수지제로 함으로써 탄성 변형 가능하게 될 수 있고, 이에 따라, 복수의 감합 부재에 걸쳐 감합을 용이하게 행할 수 있다.

또한, 결합 부재와 감합 부재의 감합은, 상대 회전 불가능하지만, 약간의 여유가 있어도 좋다. 여유가 있는 경우, 감합 부재는, 그 여유분만큼 회전 가능해지고, 이에 따라, 볼트도 회전 가능하게 되지만, 여유 이상으로 볼트가 풀리는 일은 없기 때문에, 풀림량을 소정치 이하(실질적으로 제로)로 할 수 있다. 여유는 실질적으로 제로라도 물론 좋지만, 어느 정도의 여유를 둠으로써 결합 부재의 감합 부재에 대한 감합을 보다 용이하게 행할 수 있다.

복수의 감합 부재는, 통상, 동일 형상으로 되지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 감합 부재가 모두 동일 형상인 경우, 제1 결합부와 제2 결합부는, 동일 형상이어도 좋지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 제2 결합부를 크게 하여, 상기의 여유를 제2 결합부쪽으로 크게 취하도록 해도 좋다. 또한, 제1 결합부와 제2 결합부는 구획되는 것이 바람직하지만, 구획을 없애고, 모든 감합 부재를 포함하는 하나의 결합부로 통합하여도 좋다.

결합 부재는, 복수의 감합 부재의 외주면에 일방측으로부터 대향하는 제1 대향 벽부와, 복수의 감합 부재의 외주면에 타방측으로부터 대향하는 제2 대향 벽부와, 양 대향 벽부를 연결하는 연결 벽부를 갖는 것이 바람직하다. 이렇게 하면, 복수의 감합 부재에 걸쳐 부착되는 결합 부재의 형상을 간단하게 하면서 강도를 확보하는 것이 용이해진다.

결합 부재의 각 결합부는, 각 감합 부재의 비원형 외주면에 대응하는 비원형 내주면을 갖고 연결 벽부에 마련되는 결합 구멍으로 구성될 수도 있다.

또한, 결합 부재의 연결 벽부는, 인접하는 감합 부재의 사이에 감합됨으로써 제1 대향 벽부 및 제2 대향 벽부와 함께 결합부를 형성하는 돌출부를 구비할 수도 있다.

본 발명의 볼트 풀림 방지 장치가 적용되는 체결(고정 구조)은, 한정의 의미는 없지만, 예를 들어, 유체 제어 장치의 통로 블록의 고정 구조에 적용된다. 이 통로 블록에는 시일부가 필요하기 때문에, 볼트가 풀린 경우에, 시일성이 저하되게 되므로, 볼트의 잠금이 매우 중요해진다.

유체 제어 장치의 통로 블록의 고정 구조에 적용할 때에는, 각 볼트는 헤드부 둘레면에 직선 널링이 마련된 육각구멍 형성 볼트로 되어 있고, 각 육각구멍 형성 볼트는 그 헤드부가 피고정 부재(통로 블록)로부터 돌출하여 피고정 부재를 관통하며, 피고정 부재로부터 노출되는 각 육각구멍 형성 볼트의 헤드부에, 외주면 형상이 사각형이고 내주면에 널링이 마련된 감합 부재가 각각 감합되어 있으며, 복수의 감합 부재에 걸쳐 감합된 결합 부재가 피고정 부재에 고정되어 있는 것으로 하는 것이 바람직하다.

통로 블록은, 예를 들어, 직방체형으로 이루어지고, 적절한 형상의 유체 통로가 형성되어 있으며, 이에 따라 시일부가 설치된다. 이 통로 블록의 부착 시에는, 시일부를 사이에 끼우도록 복수 개의 볼트가 배치됨으로써, 그 시일성이 확보되고, 통로 블록이 지지 부재에 부착된다. 통로 블록은 자체만으로 하나의 부재로서 취급될 수 있고, 또한, 액츄에이터에 일체적으로 부착됨으로써 밸브의 통로 형성 부분으로 될 수도 있다.

복수 개의 볼트의 구체적인 수는, 예를 들어, 한 쌍(2개)이지만, 2개 이상도 가능하며, 이때, 복수의 볼트가 직선형으로 나열되어 있을 필요는 없고, 볼트의 위치에 따라 결합 부재를 변형하면 좋다.

상기한 볼트 풀림 방지 장치는, 적절한 부착 지그(감합 부재를 부착하기 위한 제1 부착 지그 및 결합 부재를 부착하기 위한 제2 부착 지그)를 사용하여 기능할 있는 것이 바람직하다.

제1 발명에 따른 볼트 풀림 방지 장치의 부착 방법은, 감합 부재의 외주면을 유지하는 유지부 및 감합 부재에 맞닿아 유지부에 대하여 이동 가능한 누름부를 갖는 제1 부착 지그를 사용하여, 감합 부재를 제1 부착 지그의 유지부에 유지한 상태로 감합 부재를 볼트에 부착한 후, 제1 부착 지그의 누름부를 이동시킴으로써 제1 부착 지그의 유지부로부터 감합 부재를 내보내는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 볼트 풀림 방지 장치의 부착 방법에 따르면, 감합 부재를 부착할 때의 스페이스로서, 볼트의 위쪽에는 스페이스가 있지만, 볼트의 주변(전후 및 좌우)에는 충분한 스페이스가 없는 경우라도, 감합 부재를 확실하게 볼트에 감합할 수 있다.

또한, 제2 발명에 따른 볼트 풀림 방지 장치의 부착 방법은, 결합 부재에 나사 구멍을 마련해 두고, 이 나사 구멍에 나사 결합되는 수나사부를 갖는 제2 부착 지그를 사용하여, 결합 부재를 제2 부착 지그에 나사 결합시킨 상태로, 제2 부착 지그를 복수 개의 감합 부재에 걸치도록 압박함으로써 결합 부재를 복수 개의 감합 부재에 부착하는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 볼트 풀림 방지 장치의 부착 방법에 따르면, 결합 부재를 부착할 때의 스페이스로서, 볼트 및 감합 부재의 위쪽에는 스페이스가 있지만, 볼트 및 감합 부재의 주변(전후 및 좌우)에는 충분한 스페이스가 없는 경우라도, 결합 부재를 확실히 감합 부재에 감합할 수 있다.

본 발명에 따른 제1 부착 지그는, 감합 부재의 외주면을 유지하는 유지부가 선단에 일체로 설치된 중공축과, 중공축의 기단부에 마련된 파지부와, 감합 부재에 맞닿는 누름부가 선단에 일체로 설치되고 중공축 내에 축방향으로 이동 가능하게 삽입되며 기단부가 중공축으로부터 돌출되어 있는 내축을 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 제1 부착 지그에 의하면, 감합 부재를 볼트에 감합한 후, 감합 부재를 제1 부착 지그로부터 떼어내기 어려운 문제를 해소할 수 있다.

또한, 제1 발명에 따른 제2 부착 지그는, 결합 부재에 마련된 나사 구멍에 나사 결합되는 수나사부를 선단에 갖는 축체와, 결합 부재에 맞닿는 보강판을 구비하고, 축체는, 상대 회전 가능하게 보강판에 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

제1 발명의 제2 부착 지그에 따르면, 보강판에 의해서 결합 부재의 휘어짐을 교정할 수 있기 때문에, 결합 부재를 복수 개의 감합 부재에 부착할 때의 감합을 원활하게 행할 수 있다.

또한, 제2 발명에 따른 제2 부착 지그는, 보강판이 부착된 축체 및 이 축체에 착탈 가능하게 부착되는 보조 축체를 구비하고, 보강판이 부착된 축체는, 결합 부재의 일단부에 마련된 나사 구멍에 나사 결합되는 수나사부를 선단에 갖는 주축체와, 결합 부재에 맞닿는 보강판을 구비하고, 주축체는 상대 회전 가능하게 보강판에 부착되어 있고, 보강판에는 주축체가 삽입 관통되는 관통 구멍이 일단부에, 나사 구멍이 타단부에 각각 마련되어 있으며, 보조 축체는 보강판의 나사 구멍에 나사 결합되는 수나사부를 선단에 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.

제2 발명의 제2 부착 지그에 의하면, 피고정 부재의 위쪽에 제1 발명의 제2 부착 지그의 삽입을 방해하는 부분이 존재하고 있는 경우에, 이 제2 발명의 제2 부착 지그를 사용함으로써 간섭을 피하여, 결합 부재의 부착을 행할 수 있다.

본 발명에 따른 유체 제어 장치는, 복수의 상단 부재로서의 통로 블록을 갖는 유체 제어 기기와, 복수의 하단 부재로서의 블록 조인트를 구비하고, 통로 블록을 볼트를 사용하여 하단 부재에 고정하는 구성으로 되어 있는 유체 제어 장치로서, 상기 볼트의 잠금을 행하기 위한 볼트 풀림 방지 장치로서, 상기 어느 하나의 볼트 풀림 방지 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.

복수의 상단 부재로서의 통로 블록을 갖는 유체 제어 기기 및 복수의 하단 부재로서의 블록 조인트를 구비하는 유체 제어 장치에 있어서는, 시일성을 유지하기 위해서 볼트의 풀림을 방지하는 것이 필요하지만, 볼트의 주변에는 충분한 스페이스가 없기 때문에, 좁은 스페이스에 설치 가능한 볼트 풀림 방지 장치가 과제로 되고 있고, 상기한 볼트 풀림 방지 장치를 구비하는 유체 제어 장치로 함으로써 이 과제를 해결할 수 있다.

이러한 유체 제어 장치는, 피처리 기판을 수용하는 처리 용기와, 상기 처리 용기 내에 처리 가스를 공급하는 처리 가스 공급부를 구비한 기판 처리 장치에서, 상기 처리 가스 공급부 내에 설치된 유체 제어 장치로서 적합하게 사용된다.

본 발명의 볼트 풀림 방지 장치에 따르면, 복수 개의 볼트의 각 헤드부에 각각 상대 회전 불가능하게 감합되는 복수 개의 감합 부재와, 복수 개의 감합 부재에 걸쳐 부착되어 각 감합 부재에 결합되는 결합 부재를 구비하고 있기 때문에, 각 볼트에 대한 각 감합 부재의 상대 회전이 불가능하게 된 상태에서, 각 감합 부재의 회전이 결합 부재에 의해서 방지되기 때문에 볼트의 풀림이 확실하게 방지된다.

여기서, 감합 부재는, 내주면이 볼트의 외주 형상에 대응한 형상으로 되고, 외주면이 적절한 비원형 형상으로 되며, 결합 부재에는 복수 개의 감합 부재에 대응하는 결합부가 마련되어 있으면 되기 때문에, 각 감합 부재를 판형의 소재에 관통 구멍이 마련된 형상으로 할 수 있어 용이하게 제작할 수 있다. 또한, 감합 부재는, 각각 개별적으로 볼트에 감합되면 되기 때문에, 이들의 감합이 용이하고, 결합 부재를 탄성 변형시킴으로써 결합 부재를 감합 부재에 걸쳐 감합하는 것도 용이하게 행할 수 있다.

또한, 본 발명의 볼트 풀림 방지 장치의 부착 방법에 따르면, 감합 부재 및 결합 부재를 부착할 때의 스페이스로서, 볼트의 위쪽에는 스페이스가 있지만, 볼트의 주변(전후 및 좌우)에는 충분한 스페이스가 없는 경우라도 감합 부재 및 결합 부재를 대응하는 볼트 및 감합 부재에 확실하게 감합할 수 있다.

또한, 본 발명의 볼트 풀림 방지 장치의 부착 지그에 따르면, 이들을 사용 함으로써, 상기 볼트 풀림 방지 장치의 부착 방법을 원활하게 실시할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 볼트 풀림 방지 장치의 제1 실시형태를 나타내는 사시도로서, 이것을 부착할 때의 최초 상태를 나타내고 있다.
도 2는 본 발명에 따른 볼트 풀림 방지 장치의 제1 실시형태를 나타내는 사시도로서, 이것을 부착할 때의 중간 상태를 나타내고 있다.
도 3은 본 발명에 따른 볼트 풀림 방지 장치의 제1 실시형태를 나타내는 사시도로서, 이것을 부착한 상태를 나타내고 있다.
도 4는 본 발명에 따른 볼트 풀림 방지 장치를 부착한 상태의 평면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 볼트 풀림 방지 장치의 제2 실시형태를 나타내는 사시도로서, 이것을 부착할 때의 중간 상태를 나타내고 있다.
도 6은 본 발명에 따른 볼트 풀림 방지 장치의 제2 실시형태를 나타내는 사시도로서, 이것을 부착한 상태를 나타내고 있다.
도 7은 본 발명에 따른 볼트 풀림 방지 장치의 결합 부재를 나타내는 도면으로, 도 7의 (a)는 평면도이고, 도 7의 (b)는 도 7의 (a)의 b-b선을 따르는 단면도이다.
도 8은 본 발명에 따른 제1 부착 지그를 나타내는 사시도이다.
도 9는 제1 부착 지그의 요부(要部)를 나타내는 확대 사시도이다.
도 10은 본 발명에 따른 제2 부착 지그의 제1 실시형태를 나타내는 사시도이다.
도 11은 제1 실시형태의 제2 부착 지그의 요부를 나타내는 확대 사시도이다.
도 12는 제1 부착 지그를 사용하여 본 발명에 따른 볼트 풀림 방지 장치를 부착하는 방법을 나타내는 사시도이다.
도 13은 제1 실시형태의 제2 부착 지그를 사용하여 본 발명에 따른 볼트 풀림 방지 장치를 부착하는 방법을 나타내는 사시도이다.
도 14는 본 발명에 따른 제2 부착 지그의 제2 실시형태를 나타내는 사시도이다.
도 15는 제2 실시형태의 제2 부착 지그의 보강판이 부착된 축체를 나타내는 확대 사시도이다.
도 16은 제2 실시형태의 제2 부착 지그의 요부를 나타내는 확대 사시도이다.
도 17은 제2 실시형태의 제2 부착 지그를 사용하여 본 발명에 따른 볼트 풀림 방지 장치를 부착하는 방법을 나타내는 사시도이다.
도 18은 본 발명에 따른 볼트 풀림 방지 장치가 대상으로 하는 장치의 일례로서의 집적화 유체 제어 장치를 나타내는 측면도이다.

본 발명의 실시형태를, 이하 도면을 참조하여 설명한다. 이하의 설명에서, 상하는 도 18의 상하를 말하는 것으로 하고, 동 도면의 우측을 전, 좌측을 후라고 하며, 동 도면의 지면 표면측을 좌, 지면 이면측을 우라 하는 것으로 한다.

도 18은, 본 발명에 따른 볼트 풀림 방지 장치가 대상으로 하는 장치의 일례로서의 집적화 유체 제어 장치를 나타내며, 이 유체 제어 장치의 하나의 라인(41)은, 복수의 상단 부재 및 복수의 하단 부재로 이루어지며, 상단 부재로서는, 개폐 밸브(수동)(44), 압력 조절기(45), 압력 센서(46), 역V자형 통로 블록(47), 차단 개방기(48), 매스플로우 컨트롤러(49), 개폐 밸브(자동)(50), 역V자형 통로 블록(51) 및 필터(52)가 배치되며, 하단 부재로서는, 양단에 배치된 관 조인트(53)가 부착된 L자형 통로 블록 조인트(54)와, 인접하는 상단 부재끼리를 연통시키는 V자형 통로 블록 조인트(55)가 배치되어 있다. 그리고, 하단 부재로서의 각종 조인트 부재(54, 55)가 하나의 가늘고 긴 부기판(副基板)(43) 상에 배치되고, 이들 하단 부재(54, 55)에 걸쳐 상단 부재로서의 각종 유체 제어 기기(44, 45, 46, 47, 48, 49, 50, 51, 52)가 부착됨으로써 하나의 라인(41)이 형성되고, 이 라인(41)과 유사의 구성으로 된 복수의 라인이 주(主)기판(42) 상에 병렬로 배치되고, 각 라인(4l)의 차단 개방기(48)끼리가 통로 접속 수단(56)에 의해 접속됨으로써 집적화 유체 제어 장치가 형성되어 있다.

상기한 유체 제어 장치에 있어서는, 매스플로우 컨트롤러(49)의 양측에 통로 블록(49a, 49b)이 배치되어 있고, 이들 통로 블록(49a, 49b)은, 한 쌍의 볼트(57)에 의해서, 하단의 V자형 통로 블록 조인트(55)에 고정되어 있다. 또한, 상단 부재인 개폐 밸브(수동)(44), 압력 조절기(45), 압력 센서(46), 역V자형 통로 블록(47), 개폐 밸브(자동)(50), 역V자형 통로 블록(51) 및 필터(52)는, 각각 통로 블록(44a, 45a, 46a, 47a, 50a, 51a, 52a)을 갖고, 이들 통로 블록(44a, 45a, 46a, 47a, 50a, 51a, 52a)은 1쌍 또는 2쌍의 볼트(57)에 의해서 하단의 통로 블록 조인트(54, 55)에 고정되어 있다.

각 통로 블록(44a, 45a, 46a, 47a, 49a, 49b, 50a, 51a, 52a)에는, 볼트(57)가 삽입 관통되는 관통 구멍이 마련되어 있고, 각 볼트(57)는 그 헤드부가 통로 블록(44a, 45a, 46a, 47a, 49a, 49b, 50a, 51a, 52a)의 상면으로부터 돌출하고, 그 선단부가 통로 블록 조인트(54, 55)에 설치된 나사부에 나사 결합되어 있다.

본 발명에 따른 볼트 풀림 방지 장치(1)의 제1 실시형태는, 상기한 통로 블록(44a, 45a, 46a, 47a, 49a, 49b, 50a, 51a, 52a)의 고정 구조 등에 적용되는 것으로, 도 1 내지 도 4에 나타내는 바와 같이, 통로 블록(피고정 부재)(11)을 지지 부재(12)에 고정하기 위한 한 쌍의 볼트(5)의 잠금을 행하기에 적합한 것으로, 각 볼트(5)의 헤드부에 상대 회전 불가능하게 감합되는 좌우 한 쌍의 감합 부재(2, 3)와, 한 쌍의 감합 부재(2, 3)에 걸쳐 감합되는 결합 부재(4)로 이루어진다.

각 볼트(5)는 동일 형상의 시판품(JIS 규격품)으로, 헤드부 둘레면(5a)의 전체 둘레에 직선 널링(복수 개의 축방향과 평행하게 연장되는 볼록 돌기 및 오목홈)이 마련된 육각구멍 형성 볼트로 되어 있다.

감합 부재(2, 3)는 판형체에 관통형의 감합 구멍(2a, 3a)이 형성된 것으로, 감합 부재(2, 3)의 각 외주면(2b, 3b)은 정방형(비원형의 일례)으로 되어 있다. 감합 구멍(2a, 3a)의 내주면에는 볼트(5)의 헤드부 둘레면(5a)의 널링에 대응하는 널링(복수 개의 축방향과 평행하게 신장되는 볼록 돌기 및 오목홈)이 형성되어 있다. 이에 따라, 감합 부재(2, 3)의 감합 구멍(2a, 3a)은, 각 볼트(5)의 헤드부 둘레면(5a)의 널링에 정확히 감합되도록 이루어져 있다.

결합 부재(4)는 좌우 한 쌍의 감합 부재(2, 3)의 외주면에 전측(일방측)으로부터 대향하는 제1 대향 벽부(6)와, 한 쌍의 감합 부재(2, 3)의 외주면에 후측(타방측)으로부터 대향하는 제2 대향 벽부(7)와, 양 대향 벽부(6, 7)를 연결하는 연결 벽부(8)를 갖는다. 연결 벽부(8)에는 각 감합 부재(2, 3)에 각각 감합될 수 있는 사각형의 좌측(제1) 및 우측(제2) 결합 구멍(8a, 8b)이 형성되어 있다. 좌측 결합 구멍(8a)의 내주면은 좌측의 감합 부재(2)의 사각형 외주면(2b)에 대응하는 사각형으로 되어 있고, 우측 결합 구멍(8b)의 내주면은 우측의 감합 부재(3)의 사각형 외주면(3b)에 대응하는 사각형으로 되어 있으며, 이에 따라, 각 감합 부재(2, 3)의 비원형 외주면의 적어도 일부에 결합하여 그 이동을 방지하는 결합부로서의 결합 구멍(8a, 8b)이 형성되게 된다. 좌측 결합 구멍(8a)과 우측 결합 구멍(8b)의 사이는 칸막이(8c)에 의해서 구획되어 있다. 결합 부재(4)는 감합 부재(2, 3)에 감합된 상태에서, 그 상면이 감합 부재(2, 3)의 상면보다 약간 위쪽에 있다.

상기한 볼트 풀림 방지 장치(1)에 의하면, 각 볼트(5)에 대한 각 감합 부재(2, 3)의 상대 회전이 불가능하게 된 상태에서, 각 감합 부재(2, 3)의 회전이 결합 부재(4)에 의해서 방지되기 때문에, 볼트(5)의 풀림이 확실하게 방지된다.

감합 부재(2, 3)는, 내주면이 볼트(5)의 외주 형상에 대응한 형상으로 되고, 외주면이 적절한 비원형 형상으로 되며, 결합 부재(4)에는 각 감합 부재(2, 3)에 대응하는 결합 구멍(8a, 8b)이 마련되어 있으면 되기 때문에, 각 감합 부재(2, 3) 및 결합 부재(4)를 합성수지제의 판형체에 관통 구멍이 마련된 형상으로 할 수 있어, 용이하게 제작할 수 있다.

감합 부재(2, 3)는, 각각 개별적으로 볼트(5)에 감합되면 되기 때문에, 이들의 감합이 용이하다. 또한, 결합 부재(4)는, 예를 들어 합성수지제의 판형체로 이루어짐으로써 탄성 변형 가능하게 될 수 있어, 감합 부재(2, 3)로의 감합이 용이하게 된다.

또한, 도 4에 있어서, 각 감합 부재(2, 3)와 각 결합 구멍(8a, 8b)은, 여유가 거의 0으로서 나타내고 있지만, 각 감합 부재(2, 3)와 각 결합 구멍(8a, 8b)의 사이에 약간의 여유가 있더라도, 각 감합 부재(2, 3)의 회전이 결합 부재(4)에 의해서 방지되는 효과가 저하되는 일은 실질적으로 없으므로, 볼트(5)의 풀림 방지 효과가 저하되는 일은 없다. 따라서, 여유를 크게 취함으로써 결합 부재(4)를 감합 부재(2, 3)에 감합하는 작업을 보다 용이하게 할 수도 있다.

또한, 각 감합 부재(2, 3)와 각 결합 구멍(결합부; 8a, 8b)은, 결합부가 사각형의 구멍(8a, 8b)으로 이루어짐으로써, 둘레면의 4면 전체에서 맞닿도록 되어 있지만(4면 모두가 결합면의 기능을 갖고 있음), 적어도 1면이 결합면의 기능을 갖고 있으면 되기 때문에, 결합부가 사각형의 구멍(8a, 8b)으로 한정되는 것은 아니다.

도 5 내지 도 7은, 감합 부재(2, 3)가 상기한 것과 동일 형상인 경우의 결합 부재가 상이한 실시형태를 나타내고 있다.

이들 도면에 있어서, 결합 부재(14)는 좌우 한 쌍의 감합 부재(2, 3)의 외주면에 전측(일방측)으로부터 대향하는 제1 대향 벽부(16)와, 한 쌍의 감합 부재(2, 3)의 외주면에 후측(타방측)으로부터 대향하는 제2 대향 벽부(17)와, 양 대향 벽부(16, 17)를 연결하는 연결 벽부(18)를 구비한다.

연결 벽부(18)는, 그 하면이 각 감합 부재(2, 3)의 상면에서 받쳐지고, 연결 벽부(18)에는 볼트(5)의 상태를 확인하기 위한 창(18b)이 또한 마련되어 있다.

연결 벽부(18)의 하면(내면) 중에서 감합 부재(2, 3)의 상면에서 받쳐지지 않는 중간 부분에는, 도 7의 (b)에 나타내는 바와 같이, 양 감합 부재(2, 3)의 사이에 감합되는 사각기둥형의 하방 돌출부(18a)가 형성되어 있다. 이에 따라, 이 실시형태에서는, 양 대향 벽부(16, 17)의 좌측부들과 하방 돌출부(18a)의 좌측면에 의해서, 좌측의 감합 부재(2)의 비원형 외주면의 적어도 일부에 결합하여 그 이동을 방지하는 제1 결합부(l4a)가 형성되고, 양 대향 벽부(16, 17)의 우측부들과 하방 돌출부(18a)의 우측면에 의해서, 우측의 감합 부재(3)의 비원형 외주면의 적어도 일부에 결합하여 그 이동을 방지하는 제2 결합부(14b)가 형성된다.

이 실시형태의 결합 부재(14)에 의하면, 결합부가 사각형의 구멍(8a, 8b)으로 되어 있는 결합 부재(4)에 비교하여, 감합 부재(2, 3)의 감함이 용이하게 되고, 또한, 연결 벽부(18)의 두께가 두껍게 되어 있음으로써 강도가 향상되어, 휘어짐 등이 발생하기 어렵게 되어 있다.

그런데, 본 발명에 따른 볼트 풀림 방지 장치가 대상으로 하는 장치의 일례로서의 집적화 유체 제어 장치(도 18)에 있어서, 예를 들어, 매스플로우 컨트롤러(49)의 양측에 배치된 통로 블록(49a, 49b)을 한 쌍의 볼트(57)에 의해서 하단의 V자형 통로 블록 조인트(55)에 고정하는 경우, 통로 블록(49a, 49b)의 전후 및 좌우에는 작업 스페이스가 거의 없으므로, 위쪽으로부터의 작업에 의해서, 상기한 감합 부재(2, 3) 및 결합 부재(4, 14)를 부착할 필요가 있다.

여기서, 통로 블록(49a, 49b)의 전후 및 좌우에는 손을 넣을 수 있을 정도의 스페이스가 없기 때문에, 각 감합 부재(2, 3) 및 결합 부재(4, 14)의 부착 시에는, 도 8 및 도 19에 나타내는 제1 부착 지그(21)와 도 10 및 도 11에 나타내는 제1 실시형태의 제2 부착 지그(31) 또는 도 14 내지 도 16에 나타내는 제2 실시형태의 제2 부착 지그(32)로 이루어지는 2종류의 지그를 사용하여 행하는 것이 바람직하다.

상기 제2 부착 지그(31, 32)의 사용을 가능하게 하기 위해서, 결합 부재(14)에는 도 5 내지 도 7에 나타내는 바와 같이, 중앙부 및 양단부에 각각 나사 구멍(19, 20)이 설치되어 있다.

제1 실시형태의 제1 부착 지그(21)는, 도 8 및 도 9에 나타내는 바와 같이, 감합 부재(2, 3)의 외주면(2b, 3b)을 유지하는 유지부(23)가 선단에 일체로 설치된 중공축(22)과, 중공축(22)의 기단부에 일체로 설치된 파지부(24)와, 감합 부재(2, 3)의 상면에 맞닿는 누름부(26)가 선단에 일체로 설치되고 중공축(22) 내에 축방향으로 이동 가능하게 삽입되며 기단부가 중공축(22)으로부터 돌출되어 있는 내축(25)을 구비한다.

유지부(23)는, 도 9에 확대하여 나타내는 바와 같이, 전후벽(27, 28) 및 정상벽(頂壁)(29)에 의해서 대략 コ자형으로 형성되어 있고, 마찰력에 의해서 감합 부재(2, 3)를 전후벽(27, 28) 사이에 유지하게 되어 있다. 전방벽(27)은, 후방벽(28)에 정확히 대향하고 감합 부재(2, 3)의 외주면(2b, 3b)을 협지하는 대향부(27a)와, 대향부(27a)의 아래쪽에 연결되는 하방 돌출부(27b)로 이루어진다. 하방 돌출부(27b)는 외면이 대향부(27a)와 동일면으로 있고, 하방 돌출부(27b)의 내면은 감합 부재(2, 3)를 유지한 제1 부착 지그(21)를 장착 위치[감합 부재(2, 3)를 각 볼트(5)에 장착하는 위치]까지 이동시킬 때에, 피고정 부재인 연결 블록(11)의 전면(前面)에 의해 안내되도록 대향부(27a)의 내면보다 오목하게 형성되어 있다.

누름부(26)는, 도 9의 (b)에 확대하여 나타내는 바와 같이, 판형의 사각형부(26a)와, 그 하면에 설치된 판형의 원형부(26b)로 이루어진다. 원형부(26b)는 감합 부재(2, 3)의 내주면(2a, 3a) 내에 느슨하게 감합되는 크기로 되어 있다. 사각형부(26a)는, 그 외주연부가 감합 부재(2, 3)의 외주연부를 따르는 형상으로 되어 있다.

누름부(26)는, 내축(25)과 일체로 되어 있기 때문에, 내축(25)을 중공축(22)에 대하여 이동시킴으로써 이동 가능하게 되어 있다. 누름부(26)는, 도 9의 (a)에 나타내는 바와 같이, 감합 부재(2, 3)가 유지부(23)의 전후벽(27, 28) 사이에 협지되어 유지부(23)의 정상벽(29)에 맞닿는 위치와, 도 9의 (b)에 나타내는 바와 같이, 유지부(23)의 정상벽(29)으로부터 떨어져 아래쪽[전방벽(27)과 후방벽(28)의 개구부측]으로 이동함으로써 감합 부재(2, 3)를 유지부(23)로부터 내보내는 위치로 이동된다.

제2 부착 지그(31)는, 도 10 및 도 11에 나타내는 바와 같이, 결합 부재(14)의 중앙부에 마련된 나사 구멍(19)에 나사 결합되는 수나사부(32a)를 선단에 갖는 축체(32)와, 결합 부재(14)의 상면에 접촉하는 보강판(33)을 구비한다.

축체(32)의 상단부(기단부)에는 파지부(32b)가 일체로 설치되어 있고, 축체(32)의 하단부(선단부)에 있어서의 수나사부(32a)보다 위쪽의 부분에는, 수나사부(32a)를 보강하는 플랜지부(32c)가 설치되어 있다.

보강판(33)의 하면 중앙부에는, 오목부(33a)가 마련되어 있고, 축체(32)는, 수나사부(32a)를 보강판(33)의 오목부(33a)의 바닥면으로부터 돌출시켜, 상대 회전 가능하도록 E링(34)에 의해서 보강판(33)에 부착되어 있다.

수나사부(32a)의 선단은, 결합 부재(14)의 부착 전 및 완료 시점에서는, 보강판(33)의 하면보다는 돌출되지 않은 위치에 위치된다. 결합 부재(14)를 제2 부착 지그(31)에 유지시키는 데에는(도 11의 (b)), 도 11의 (a)에 나타내는 바와 같이, 결합 부재(14)를 제2 부착 지그(11)에 대향시키고, 결합 부재(14)의 상면을 보강판(33)의 하면에 대하여 압박하고, 이 상태에서 축체(32)를 회전시키고, 수나사부(32a)를 결합 부재(14)의 나사 구멍(19)에 나사 결합하면 된다.

제1 부착 지그(21)를 사용하여 감합 부재(2)를 볼트(5)에 부착하는 것은, 도 12에 나타내는 바와 같이 행해진다.

우선, 유지부(23)의 전후벽(27, 28) 사이에 감합 부재(2)가 협지된 제1 부착 지그(21)의 파지부(24)를 잡고 연결 블록(11) 위쪽의 공간에 삽입하여, 유지부(23)의 전방벽(27)의 하방 돌출부(27b)를 연결 블록(11)의 전면을 따르도록 하여, 감합 부재(2)를 볼트(1))에 대하여 압박한다(도 12의 (a)). 그리고, 볼트(5)의 헤드부와 감합 부재(2)가 감합되도록 미세 조정하면서, 제1 부착 지그(21)를 아래쪽으로 밀어 넣는다(도 12의 (b)). 계속해서, 내축(25)을 아래쪽으로 누름으로써 상대적으로 중공축(22)을 위쪽으로 이동시킨다(도 12의 (c)). 이에 의해, 감합 부재(2)는 누름부(26)에 의해 눌려 유지부(23)로부터 분리되고 볼트(5)에 부착된다. 계속해서, 제1 부착 지그(21)를 위쪽으로 이동시킴으로써 이 부착이 완료된다(도 12의 (d)).

오른쪽의 볼트(5)에 대한 감합 부재(3)의 부착에 대해서도, 제1 부착 지그 (21)를 사용하여 동일하게 행해진다.

볼트(5)에 대한 감합 부재(2, 3)의 부착을 제1 부착 지그(21)를 사용하여 상기한 바와 같이 행함으로써, 감합 부재(2, 3)를 부착할 때의 스페이스로서, 볼트(5)의 위쪽에는 스페이스가 있지만, 볼트(5)의 주변(전후 및 좌우)에는 충분한 스페이스가 없는 경우라도, 감합 부재(2, 3)를 확실하게 볼트(5)에 감합할 수 있다. 또한, 감합 부재(2, 3)가 누름부(26)에 의해 눌려 유지부(23)로부터 분리되도록 이루어져 있기 때문에, 감합 부재(2, 3)를 볼트(5)에 감합한 후, 감합 부재(2, 3)가 제1 부착 지그(21)로부터 분리되기 어려운 문제가 방지된다.

제2 부착 지그(31)를 사용하여 결합 부재(14)를 감합 부재(2, 3)에 부착하는 것은, 도 13에 나타내는 바와 같이 행해진다.

결합 부재(14)를 제2 부착 지그(31)에 나사 결합하고, 파지부(32b)를 잡고 연결 블록(11) 위쪽의 공간에 삽입하여 아래쪽으로 이동시킨다(도 13의 (a)). 계속해서, 결합 부재(14)와 한 쌍의 감합 부재(2, 3)가 감합되도록 미세 조정하면서, 제2 부착 지그(31)를 아래쪽으로 밀어 넣는다(도 13의 (b)). 계속해서, 축체(32)를 나사 결합이 해제되는 방향으로 회전시켜 나사 결합을 풀고(도 13의 (c)), 이에 의해서, 제2 부착 지그(31)와 결합 부재(14)를 분리하기 때문에, 제2 부착 지그(31)만을 위쪽으로 이동시킴으로써 이 부착이 완료한다.

제2 부착 지그(31)를 사용하여 결합 부재(14)를 감합 부재(2, 3)에 상기한 바와 같이 부착함으로써, 결합 부재(14)를 부착할 때의 스페이스로서, 볼트(5) 및 감합 부재(2, 3)의 위쪽에는 스페이스가 있지만, 볼트(5) 및 감합 부재(2, 3)의 주변(전후 및 좌우)에는 충분한 스페이스가 없는 경우라도, 결합 부재(14)를 감합 부재(2, 3)에 확실하게 감합할 수 있다. 또한, 제2 부착 지그(31)에 보강판(33)이 설치되어 있기 때문에, 보강판(33)을 결합 부재(14)에 맞닿게 함으로써, 결합 부재(14)의 휘어짐을 교정할 수 있고, 결합 부재(14)를 한 쌍의 결합 부재(2, 3)에 부착할 때의 감합을 원활하게 행할 수 있다.

상기한 도 13에 있어서는, 연결 블록(11) 위쪽의 공간에 제2 부착 지그(31)의 삽입을 저해하는 부분이 존재하지 않지만, 예를 들어, 도 18에서 부호로 나타내는 매스플로우 컨트롤러(49)의 전후면에, 통신 케이블 접속용 커넥터가 설치되어 있어, 도 10 및 도 11에 나타낸 제2 부착 지그(31)를 삽입할 수 없는 경우가 있다.

도 14 내지 도 16에 나타내는 제2 실시형태의 제2 부착 지그(36)는, 연결 블록(11)의 좌우의 중앙부의 위쪽에 간섭하는 부분이 존재하는 경우에 유용한 것으로, 보강판이 부착된 축체(37) 및 보강판이 부착된 축체(37)에 착탈 가능하게 부착되는 보조 축체(38)를 구비한다.

보강판이 부착된 축체(37)는, 도 10 및 도 11에 나타낸 제1 실시형태의 제2 부착 지그(31)와 유사한 형상으로, 결합 부재(14)에 마련된 나사 구멍(20)에 나사 결합되는 수나사부(39a)를 선단에 갖는 주축체(39)와, 결합 부재(14)의 상면에 맞닿는 보강판(40)을 갖는다. 여기서, 보강판이 부착된 축체(37)가 제1 실시형태의 제2 부착 지그(31)와 상이한 점으로서, 보강판(40)의 단부에 주축체(39)가 부착되어 있고, 보강판(40)에는 주축체(39)가 삽입 관통하기 위한 관통 구멍이 마련된 오목부(40a)가 중앙부가 아니라 일단부에 마련되어 있으며, 타단부에 나사 구멍(40b)이 설치되어 있다. 이에 따라, 보강판이 부착된 축체(37)는, 전체적으로 대략 T자형을 이루는 제1 실시형태의 제2 부착 지그(31)와 달리, 전체적으로 대략 L자형을 이루도록 형성되어 있다.

보조 축체(38)는 보강판(40)의 나사 구멍(40b)에 나사 결합되는 수나사부(38a)를 선단에 갖는다.

상기 이외에는, 보강판이 부착된 축체(37)는, 제1 실시형태의 제2 부착 지그(31)와 동일하게 형성되어 있고, 도 14 및 도 15에 나타내는 바와 같이, 주축체(39)의 기단부(상단부)에는, 파지부(39b)가 일체로 설치되어 있다. 또한, 도 16에 나타내는 바와 같이, 축체(39)의 선단부(하단부)에 있어서의 수나사부(39a)보다도 위쪽의 부분에는, 수나사부(39a)를 보강하는 플랜지부(39c)가 설치되어 있으며, 주축체(39)는 수나사부(39a)가 보강판(40)의 오목부(40a)의 바닥면으로부터 돌출하여, 상대 회전 가능하도록 E링(34)에 의해서 보강판(40)에 부착되어 있다.

수나사부(39a)의 선단은, 결합 부재(14)의 부착 전 및 완료 시점에서는, 보강판(40)의 하면보다는 돌출되지 않는 위치에 위치되어 있다. 결합 부재(14)를 보강판이 부착된 축체(37)에 유지시키기 위해서는(도 16의 (b)), 도 16의 (a)에 나타내는 바와 같이, 결합 부재(14)를 보강판이 부착된 축체(37)에 대향시키고, 결합 부재(14)의 상면을 보강판(40)의 하면에 대하여 압박하며, 이 상태에서, 주축체(39)를 회전시켜 수나사부(39a)를 결합 부재(14)의 나사 구멍(20)에 나사 결합하면 된다.

제2 실시형태의 제2 부착 지그(36)를 사용하여 결합 부재(14)를 감합 부재(2, 3)에 부착하는 것은, 도 17에 나타내는 바와 같이 행해진다.

결합 부재(14)를 보강판이 부착된 축체(37)에 나사 결합시키고, 파지부(39b)를 잡고 연결 블록(11) 위쪽의 공간에 삽입하여 아래쪽으로 이동시킨다(도 17의 (a)). 이때, 보강판(40)이 수평인 채로는 매스플로우 컨트롤러(49)의 통신 케이블 접속용 커넥터(C)와 간섭하기 때문에, 보강판(40)을 경사지게 하여 커넥터(C)와의 간섭을 피하고 나서, 보강판(40)을 수평으로 한다. 계속해서, 보조 축체(38)를 보강판(40)에 나사 결합시킴으로써 보강판이 부착된 축체(37)에 보조 축체(38)를 일체화한다(도 17의 (b)). 계속해서, 결합 부재(14)와 한 쌍의 감합 부재(2, 3)가 감합되도록 미세 조정하면서, 보강판이 부착된 축체(37) 및 보조 축체(38)로 이루어지는 제2 부착 지그(36)를 아래쪽으로 밀어 넣는다. 이후, 앞서 보조 축체(38)를 보강판이 부착된 축체(37)로부터 분리하고(도 17의 (c)), 계속해서, 주축체(39)를 보강판(40)에 대하여 회전시켜 주축체(39)와 결합 부재(14)의 나사 결합을 푼다(도 17의 (d)). 이에 의해서, 보강판이 부착된 축체(37)와 결합 부재(14)가 분리되기 때문에, 보강판이 부착된 축체(37)만을 위쪽으로 이동시킴으로써 이 부착이 완료된다.

제2 실시형태의 제2 부착 지그(36)를 사용하여 결합 부재(14)를 감합 부재(2, 3)에 부착함으로써, 연결 블록(11)의 위쪽에 제1 실시형태의 제2 부착 지그(31)의 삽입을 방해하는 부분(C)이 존재하고 있는 경우라도, 간섭을 피하여 결합 부재(14)를 부착할 수 있다.

또한, 도 18에 나타낸 라인(41)과 유사한 구성으로 된 복수의 라인이 주기판(42) 상에 병렬로 배치되고, 각 라인(41)의 차단 개방기(48)끼리가 통로 접속 수단(56)에 의해 접속됨으로써 형성된 집적화 유체 제어 장치는, 복수 종류의 가스를 제어하여 공급할 수 있고, 이러한 집적화 유체 제어 장치는, 피처리 기판을 수용하는 처리 용기와, 상기 처리 용기 내에 처리 가스를 공급하는 처리 가스 공급부를 구비한 기판 처리 장치에서, 상기 처리 가스 공급부 내에 설치된 유체 제어 장치로서 적합하게 사용된다.

1 볼트 풀림 방지 장치 2, 3 감합 부재
2a, 3a 감합 구멍 2b, 3b 비원형 외주면
4 결합 부재 5 볼트
5a 헤드부 둘레면 6 제1 대향 벽부
7 제2 대향 벽부 8 연결 벽부
8a, 8b 결합 구멍(결합부) 11 통로 블록
12 지지 부재 14 결합 부재
14a 제1 결합부 14b 제2 결합부
16 제1 대향 벽부 17 제2 대향 벽부
18 연결 벽부 18a 하방 돌출부
19, 20 나사 구멍 21 제1 부착 지그
22 중공축 23 유지부
24 파지부 25 내축
26 누름부 31 제2 부착 지그
32 축체 32a 수나사부
33 보강판 36 제2 부착 지그
37 보강판이 부착된 축체 38 보조 축체
39a 수나사부 39 주축체
40 보강판 40b 나사 구멍

Claims

복수 개의 볼트를 사용하여 피고정 부재를 고정한 후의 볼트 풀림 방지 장치로서,
복수 개의 볼트의 각 헤드부에 각각 상대 회전 불가능하게 감합되는 복수 개의 감합 부재와, 복수 개의 감합 부재에 걸쳐 부착되어 각 감합 부재에 결합되는 결합 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 볼트 풀림 방지 장치.
제1항에 있어서, 각 감합 부재의 외주면이 비원형으로 되고, 결합 부재에, 각 감합 부재의 비원형 외주면의 적어도 일부에 결합하여 그 이동을 방지하는 결합부가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 볼트 풀림 방지 장치.
제2항에 있어서, 결합 부재는, 복수의 감합 부재의 외주면에 일방측으로부터 대향하는 제1 대향 벽부와, 복수의 감합 부재의 외주면에 타방측으로부터 대향하는 제2 대향 벽부와, 양 대향 벽부를 연결하는 연결 벽부를 구비하는 것을 특징으로 하는 볼트 풀림 방지 장치.
제3항에 있어서, 결합 부재의 각 결합부는, 각 감합 부재의 비원형 외주면에 대응하는 비원형 내주면을 갖고 연결 벽부에 마련되는 결합 구멍으로 구성되는 것을 특징으로 하는 볼트 풀림 방지 장치.
제3항에 있어서, 결합 부재의 연결 벽부는, 인접하는 감합 부재의 사이에 감합됨으로써 제1 대향 벽부 및 제2 대향 벽부와 함께 결합부를 형성하는 돌출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 볼트 풀림 방지 장치.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 각 볼트는, 헤드부 둘레면에 직선 널링이 마련된 육각구멍 형성 볼트로 구성되고, 각 육각구멍 형성 볼트는, 그 헤드부가 피고정 부재로부터 돌출하게 피고정 부재를 관통하며, 피고정 부재로부터 노출되어 있는 각 육각구멍 형성 볼트의 헤드부에, 외주면 형상이 사각형이고 내주면에 널링이 마련된 감합 부재가 각각 감합되고, 복수의 감합 부재에 걸쳐 감합된 결합 부재가 피고정 부재에서 받쳐져 있는 것을 특징으로 하는 볼트 풀림 방지 장치.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항의 볼트 풀림 방지 장치를 부착하는 방법으로서, 감합 부재의 외주면을 유지하는 유지부 및 감합 부재에 맞닿고 유지부에 대하여 이동 가능한 누름부를 구비하는 제1 부착 지그를 사용하여, 감합 부재를 제1 부착 지그의 유지부에 유지한 상태에서 감합 부재를 볼트에 부착하고, 그 후, 제1 부착 지그의 누름부를 이동시킴으로써 제1 부착 지그의 유지부로부터 감합 부재를 내보내는 것을 특징으로 하는 볼트 풀림 방지 장치의 부착 방법.
제1항의 볼트 풀림 방지 장치를 부착하는 방법으로서, 결합 부재에 나사 구멍을 마련해 두고, 이 나사 구멍에 나사 결합되는 수나사부를 갖는 제2 부착 지그를 사용하여, 결합 부재를 제2 부착 지그에 나사 결합한 상태에서, 제2 부착 지그를 복수 개의 감합 부재에 걸치도록 압박함으로써 결합 부재를 복수 개의 감합 부재에 부착하는 것을 특징으로 하는 볼트 풀림 방지 장치의 부착 방법.
제7항의 볼트 풀림 방지 장치의 부착 방법에서 사용되는 제1 부착 지그로서, 감합 부재의 외주면을 유지하는 유지부가 선단에 일체로 설치된 중공축과, 중공축의 기단부에 설치된 파지부와, 감합 부재에 접촉하는 누름부가 선단에 일체로 설치되고 중공축 내에 축방향으로 이동 가능하게 삽입되며 기단부가 중공축으로부터 돌출되어 있는 내축을 구비하는 것을 특징으로 하는 제1 부착 지그.
제8항의 볼트 풀림 방지 장치의 부착 방법에서 사용되는 제2 부착 지그로서, 결합 부재에 마련된 나사 구멍에 나사 결합되는 수나사부를 선단에 갖는 축체와, 결합 부재에 맞닿는 보강판을 구비하고, 축체는 상대 회전 가능하게 보강판에 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 제2 부착 지그.
제8항의 볼트 풀림 방지 장치의 부착 방법에서 사용되는 제2 부착 지그로서, 보강판이 부착된 축체 및 이 축체에 착탈 가능하게 부착되는 보조 축체를 구비하고, 보강판이 부착된 축체는 결합 부재의 일단부에 마련된 나사 구멍에 나사 결합하는 수나사부를 선단에 갖는 주축체와, 결합 부재에 접촉하는 보강판을 구비하고, 주축체는, 상대 회전 가능하게 보강판에 부착되어 있고, 보강판에는 주축체가 삽입 관통되는 관통 구멍이 일단부에, 나사 구멍이 타단부에 각각 마련되어 있으며, 보조축체는 보강판의 나사 구멍에 나사 결합되는 수나사부를 선단에 갖는 것을 특징으로 하는 제2 부착 지그.
복수의 상단 부재로서의 통로 블록을 갖는 유체 제어 기기와, 복수의 하단 부재로서의 블록 조인트를 구비하고, 통로 블록을 볼트를 사용하여 하단 부재에 고정하는 구성으로 되어 있는 유체 제어 장치로서,
상기 볼트의 잠금을 행하기 위한 볼트 풀림 방지 장치로서, 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항의 볼트 풀림 방지 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
피처리 기판을 수용하는 처리 용기와, 상기 처리 용기 내에 처리 가스를 공급하는 처리 가스 공급부를 구비하는 기판 처리 장치로서,
상기 처리 가스 공급부 내에 설치된 유체 제어 장치로서, 제12항의 유체 제어 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.