CN102678725B - 螺栓的防松装置及其安装方法以及安装夹具 - Google Patents

螺栓的防松装置及其安装方法以及安装夹具 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种螺栓的防松装置及其安装方法以及安装夹具。本发明提供一种螺栓的防松装置，其部件的构造简化、且能够容易地进行安装作业。具有：分别以不能相对旋转的方式嵌合在多根螺栓(5)的各头部上的多个嵌合部件(2、3)；横跨多个嵌合部件(2、3)地被嵌合的卡合部件(4)。各嵌合部件(2、3)的外周面(2b、3b)为非圆形，在卡合部件(4)上设有与多个嵌合部件(2、3)的各非圆形外周面(2b、3b)对应的多个卡合孔(非圆形卡合部)(8a、8b)。

Description

螺栓的防松装置及其安装方法以及安装夹具
技术领域
本发明涉及使用多根螺栓对被固定部件进行固定后的螺栓的防松装置及用于安装螺栓的防松装置的安装方法以及在该安装方法中使用的安装夹具。
背景技术
已知一度被适当紧固的螺栓受到振动等的影响时会发生松弛，也提出了各种防止该松弛的螺栓的防松装置或防松部件。
例如，专利文献1中，作为使用一对螺栓进行部件的安装时的螺栓的防松部件，公开了一种部件，包括：板状的主体；一体地设在主体上且以不能相对旋转的方式嵌合在一方的螺栓的头部上的第一嵌合部；一体地设在主体上且以不能相对旋转的方式嵌合在另一方的螺栓的头部上的第二嵌合部。
另一方面，专利文献2中公开了一种流体控制装置，由多个上层部件(具有通路块的流体控制仪器)以及多个下层部件(块状接头)构成。该流体控制装置也称作集成流体控制装置，是使用螺栓将通路块固定在下层部件上的结构。在这样的集成流体控制装置中，为了维持密封性需要防止螺栓的松动，但由于在螺栓的周边没有充分的空间，因此，能够设置在狭小空间内的螺栓的防松装置及其安装方法成为课题。
专利文献1：日本专利第3615738号公报
专利文献2：日本专利第4238453号公报
根据上述的专利文献1的螺栓的防松部件，虽然具有通过一个部件就能够进行防松的优点，但却存在着部件的构造变得复杂、制造困难的问题，另外，存在以下问题：在使第一嵌合部嵌合在一方的螺栓上的状态下，使第二嵌合部嵌合在另一方的螺栓上的安装作业较困难。因此，难以适用于上述的专利文献2的流体控制装置。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种部件的构造简洁化、且能够容易地进行安装作业的螺栓的防松装置及其安装方法以及安装夹具。
基于本发明的螺栓的防松装置，是使用多根螺栓将被固定部件进行固定后的螺栓的防松装置，具有：分别以不能相对旋转的方式嵌合在多根螺栓的各头部上的多个嵌合部件；横跨多个嵌合部件地安装且与各嵌合部件卡合的卡合部件。
本发明所使用的螺栓可以为在JIS中被标准化的六角螺栓、四边螺栓、带六角孔螺栓等，另外，还能够使用将头部加工成非圆形的特殊形状螺栓。在为JIS中被标准化的带六角孔螺栓的情况下，优选为平纹的带滚花螺栓。
嵌合部件为例如板状，内周面为与螺栓的外周形状对应的形状(在为六角螺栓用的情况下为六边形)，并且，外周面为适宜的非圆形形状(例如六边形、方形等)。在为带平纹的滚花的带六角孔螺栓的情况下，嵌合部件的内周面为滚花状。带六角孔螺栓用的嵌合部件可以是在方形板状部件的中央部分设有与六角孔嵌合的六棱柱状凸部的结构。
卡合部件呈例如板状或框状，在卡合部件上设有与各嵌合部件的非圆形外周面的至少一部分卡合从而防止其移动的卡合部。卡合部为与嵌合部件的非圆形外周面对应的形状(若嵌合部件为六边形，则卡合部也为六边形)。卡合部件的外形为方形、圆形等，优选为与安装有螺栓的部分的形状相应的形状。卡合部件的外形更优选为通过安装有螺栓的部件而被止转的形状。
这里，嵌合部件的外周面以及卡合部件的各卡合部的“非圆形”为完全的圆形以外的形状，是指在嵌合部件上安装有卡合部件、且嵌合部件和卡合部件嵌合的情况下，相对不能旋转的形状。不过，嵌合部件和卡合部件的嵌合，无需如过盈配合(压入)那样在最初的嵌合状态下不能相对旋转，只要在相对旋转时，嵌合部件的外周面的一部分与卡合部件的卡合部的一部分卡合即可。即使在嵌合状态下不是完全不能旋转的情况下，若稍微松弛则发挥止转功能，则在这以后，由于嵌合部件不能旋转，所以，能够发挥防松作用。总之，卡合部件只要能够防止嵌合部件的旋转(移动)即可，其形状能够与嵌合部件的形状相配合地进行适当变更。
嵌合部件的非圆形外周面及卡合部件的卡合部的非圆形内周面除了六边形、方形以外，还可以在圆形的外周面设置一个或多个突起或切缺部。各嵌合部件能够形成为在合成树脂制板状原材料上设置贯穿孔的形状，能够容易地制作。
嵌合部件和螺栓头部的嵌合不能相对旋转(游隙实质上为零)，嵌合部件的旋转被阻止，由此，螺栓的旋转(松弛)被阻止。嵌合部件可以分别单独地嵌合在螺栓上，所以，他们的嵌合能够容易地进行。卡合部件能够通过例如合成树脂制并能够弹性变形，由此，横跨多个嵌合部件的嵌合能够容易地进行。
此外，卡合部件和嵌合部件的嵌合虽不能相对旋转，但稍有游隙也可以。在具有游隙的情况下，嵌合部件能够旋转该游隙的量，与此相伴地，螺栓也能够旋转，但由于螺栓不能松弛到游隙以上程度，所以，能够将松弛量设定为规定值以下(实质上为零)。游隙当然可以实质上为零，但通过设置某种程度的游隙，能够更容易地进行卡合部件向嵌合部件的嵌合。
多个嵌合部件通常形成为同一形状，但不限于此。在嵌合部件全部为同一形状的情况下，第一卡合部和第二卡合部可以为同一形状，但不限于此，还可以增大第二卡合部，并在第二卡合部一方较大地取得上述的游隙。另外，第一卡合部和第二卡合部优选被分隔，但也可以没有分隔部，而集中在如包括全部的嵌合部件那样的一个卡合部中。
优选地，卡合部件具有：从一侧与多个嵌合部件的外周面相对的第一相对壁部；从另一侧与多个嵌合部件的外周面相对的第二相对壁部；将两相对壁部连结的连结壁部。这样，能够容易地使横跨多个嵌合部件被安装的卡合部件的形状简单化且确保强度。
卡合部件的各卡合部可以是具有与各嵌合部件的非圆形外周面对应的非圆形内周面且设在连结壁部上的卡合孔。
另外，卡合部件的连结壁部具有通过嵌合在相邻的嵌合部件之间而与第一相对壁部以及第二相对壁部一起形成卡合部的突出部。
适用有本发明的螺栓的防松装置的紧固结构(固定构造)不受限定，例如，适用于流体控制装置的通路块的固定构造。在该通路块中，由于需要密封部，所以，在螺栓松弛的情况下，密封性降低，螺栓的防松极为重要。
在适用于流体控制装置的通路块的固定构造中时，优选地，各螺栓为在头部周面上形成有平纹的滚花的带六角孔螺栓，各带六角孔螺栓使其头部从被固定部件突出，并贯穿被固定部件，外周面形状为方形且在内周面上形成有滚花的嵌合部件分别被嵌合在从被固定部件露出的各带六角孔螺栓的头部上，横跨多个嵌合部件而被嵌合的卡合部件受到被固定部件止挡。
通路块，例如，形成为长方体状，形成有适当的形状的流体通路，与此相伴，设有密封部。在安装该通路块时，以隔着密封部的方式配置有多根螺栓，由此确保其密封性，通路块被安装在支承部件上。通路块可以仅作为一个部件处理，另外，还可以一体地安装在执行器上，由此而成为阀的通路形成部分。
多根螺栓的具体数量为例如一对(两根)，还能够为两根以上，此时，多根螺栓无需以直线状并列，配合螺栓的位置使卡合部件变形即可。
上述的螺栓的防松装置优选使用适当的安装夹具(用于安装嵌合部件的第一安装夹具以及用于安装卡合部件的第二安装夹具)进行。
第一技术方案的螺栓的防松装置的安装方法，其特征在于：在使用具有保持嵌合部件的外周面的保持部以及与嵌合部件抵接从而相对于保持部能够移动的推压部的第一安装夹具，而将嵌合部件保持在第一安装夹具的保持部上的状态下，将嵌合部件安装在螺栓上，然后，使第一安装夹具的推压部移动，由此，将嵌合部件从第一安装夹具的保持部拆下。
根据本发明的螺栓的防松装置的安装方法，作为安装嵌合部件时的空间，在螺栓的上方具有空间，但在螺栓的周边(前后以及左右)没有充分的空间的情况下，能够可靠地将嵌合部件嵌合在螺栓上。
另外，第二技术方案的螺栓的防松装置的安装方法，其特征在于：预先在卡合部件上设置螺纹孔，使用具有与该螺纹孔螺合的外螺纹部的第二安装夹具，将卡合部件螺合在第二安装夹具上，在该状态下，将第二安装夹具以横跨的方式向多个嵌合部件推压，由此将卡合部件安装在多个嵌合部件上。
根据本发明的螺栓的防松装置的安装方法，作为安装卡合部件时的空间，在螺栓以及嵌合部件的上方具有空间，但在螺栓以及嵌合部件的周边(前后以及左右)没有充分的空间的情况下，也能够将卡合部件可靠地嵌合在嵌合部件上。
本发明的第一安装夹具，其特征在于，具有：中空轴，在该中空轴的前端一体地设有保持嵌合部件的外周面的保持部；握持部，该握持部设在中空轴的基端部；内轴，在该内轴的前端一体地设有与嵌合部件抵接的推压部，该内轴以能够轴向移动的方式插入到中空轴内且基端部从中空轴突出。
根据本发明的第一安装夹具，在将嵌合部件嵌合在螺栓上后，能够解决嵌合部件难以从第一安装夹具拆下的问题。
另外，第一技术方案的第二安装夹具，其特征在于，具有：轴体，在该轴体的前端具有与设在卡合部件上的螺纹孔螺合的外螺纹部；加强板，该加强板与卡合部件抵接，轴体以能够相对旋转的方式安装在加强板上。
根据第一技术方案的第二安装夹具，由于能够通过加强板矫正卡合部件的翘曲，所以，能够顺畅地进行将卡合部件安装在多个嵌合部件上时的嵌合。
另外，第二技术方案的第二安装夹具，其特征在于，包括带加强板的轴体以及以能够装拆的方式安装在其上的辅助轴体，带加强板的轴体具有：主轴体，该主轴体在前端具有与设在卡合部件的一端部上的螺纹孔螺合的外螺纹部；加强板，该加强板与卡合部件抵接，主轴体以能够相对旋转的方式安装在加强板上，在加强板上，在一端部上设有供主轴体贯穿的贯穿孔，在另一端部上设有螺纹孔，辅助轴体在前端具有与加强板的螺纹孔螺合的外螺纹部。
根据第二技术方案的第二安装夹具，在被固定部件的上方存在妨碍第一技术方案的第二安装夹具的插入的部分的情况下，通过使用该第二技术方案的第二安装夹具，能够避免干涉，并进行卡合部件的安装。
本发明的流体控制装置，具有：流体控制仪器，其具有作为多个上层部件的通路块；块状接头，其作为作为多个下层部件，该流体控制装置是使用螺栓将通路块固定在下层部件上的结构，其特征在于：作为用于进行所述螺栓的防松的螺栓的防松装置，具有上述任一项的螺栓的防松装置。
流体控制装置具有：流体控制仪器，其具有作为多个上层部件的通路块；作为多个下层部件的块状接头，在该流体控制装置中，为了维持密封性需要防止螺栓的松弛，但由于在螺栓的周边不具有充分的空间，因此，能够设置在狭小的空间中的螺栓的防松装置成为课题，通过具有上述的螺栓的防松装置的流体控制装置，能够解决该课题。
在具有收容被处理基板的处理容器和向所述处理容器内供给处理气体的处理气体供给部的基板处理装置中，这样的流体控制装置优选作为设在所述处理气体供给部内的流体控制装置而被使用。
发明的效果
根据本发明的螺栓的防松装置，具有：分别以不能旋转的方式嵌合在多根螺栓的各头部的多个嵌合部件；横跨多个嵌合部件而被安装且与各嵌合部件卡合的卡合部件，所以，在各嵌合部件相对于各螺栓不能相对旋转的状态下，通过卡合部件防止各嵌合部件的旋转，所以，能够可靠地防止螺栓的松弛。
这里，嵌合部件的内周面形成为与螺栓的外周形状对应的形状，并且，外周面形成为适当的非圆形形状，卡合部件上可以设置与多个嵌合部件对应的卡合部，所以，能够将各嵌合部件形成为在板状的原材料上设有贯穿孔的形状，能够使制作容易。另外，嵌合部件可以分别单独嵌合在螺栓上，所以，他们的嵌合容易，通过使卡合部件弹性变形，能够容易地进行将卡合部件以横跨嵌合部件的方式进行的嵌合。
另外，根据本发明的螺栓的防松装置的安装方法，在作为安装嵌合部件以及卡合部件时的空间，在螺栓的上方具有空间，但在螺栓的周边(前后以及左右)没有充分的空间的情况下，能够将嵌合部件以及卡合部件可靠地嵌合在对应的螺栓以及嵌合部件上。
另外，根据本发明的螺栓的防松装置的安装夹具，通过使用这些夹具，能够顺畅地实施上述螺栓的防松装置的安装方法。
附图说明
图1是表示本发明的螺栓的防松装置的第一实施方式的立体图，示出了安装该防松装置时的最初的状态。
图2是表示本发明的螺栓的防松装置的第一实施方式的立体图，示出了安装该防松装置时的中间的状态。
图3是表示本发明的螺栓的防松装置的第一实施方式的立体图，示出了安装了该防松装置后的状态。
图4是安装了本发明的螺栓的防松装置的状态的俯视图。
图5是表示本发明的螺栓的防松装置的第二实施方式的立体图，示出了安装该防松装置时的中间的状态。
图6是表示本发明的螺栓的防松装置的第二实施方式的立体图，示出了安装了该防松装置后的状态。
图7是表示本发明的螺栓的防松装置的卡合部件的图，图7(a)是俯视图，图7(b)是沿图7(a)的b-b线的剖视图。
图8是表示本发明的第一安装夹具的立体图。
图9是表示第一安装夹具的主要部分的放大立体图。
图10是表示本发明的第二安装夹具的第一实施方式的立体图。
图11是表示第一实施方式的第二安装夹具的主要部分的放大立体图。
图12是表示使用第一安装夹具来安装本发明的螺栓的防松装置的方法的立体图。
图13是表示使用第一实施方式的第二安装夹具来安装本发明的螺栓的防松装置的方法的立体图。
图14是表示本发明的第二安装夹具的第二实施方式的立体图。
图15是表示第二实施方式的第二安装夹具的带加强板的轴体的放大立体图。
图16是表示第二实施方式的第二安装夹具的主要部分的放大立体图。
图17使表示使用第二实施方式的第二安装夹具来安装本发明的螺栓的防松装置的方法的立体图。
图18是表示作为以本发明的螺栓的防松装置作为对象的装置的1例的集成流体控制装置的侧视图。
附图标记的说明`
1螺栓的防松装置
2、3嵌合部件
2a、3a嵌合孔
2b、3b非圆形外周面
4卡合部件
5螺栓
5a头部周面
6第一相对壁部
7第二相对壁部
8连结壁部
8a、8b卡合孔(卡合部)
11通路块
12支承部件
14卡合部件
14a第一卡合部
14b第二卡合部
16第一相对壁部
17第二相对壁部
18连结壁部
18a下方突出部
19、20螺纹孔
21第一安装夹具
22中空轴
23保持部
24握持部
25内轴
26推压部
31第二安装夹具
32轴体
32a外螺纹部
33加强板
36第二安装夹具
37带加强板的轴体
38辅助轴体
39a外螺纹部
39主轴体
40加强板
40b螺纹孔
具体实施方式
参照以下附图说明本发明的实施方式。在以下的说明中，上下是指图18的上下，另外，将该图的右称为前、左称为后，将该图纸面表侧称为左、里侧称为右。
图18表示作为以本发明的螺栓的防松装置作为对象的装置的1例的集成流体控制装置，该流体控制装置的一条管线41由多个上层部件以及多个下层部件构成，作为上层部件，配置有开闭阀(手动)44、压力调节器45、压力传感器46、倒V字状通路块47、阻断开放器48、质量流量控制器49、开闭阀(自动)50、倒V字状通路块51以及过滤器52，并且，作为下层部件配置有：配置在两端的带管接头53的L字状通路块状接头54和将相邻的上层部件彼此之间连通的V字状通路块状接头55。而且，作为下层部件的各种接头部件54、55载置在一个细长的副基板43上，并且作为上层部件的各种流体控制仪器44、45、46、47、48、49、50、51、52以横跨这些下层部件54、55的方式安装，由此形成一条管线41，与该管线41为类似结构的多条管线并列地配置在主基板42上，并且，各管线41的阻断开放器48彼此通过通路连接机构56而连接，由此，形成集成流体控制装置。
在上述的流体控制装置中，在质量流量控制器49的两侧配置有通路块49a、49b，这些通路块49a、49b通过一对螺栓57固定在下层的V字状通路块状接头55上。另外，作为上层部件的开闭阀(手动)44、压力调节器45、压力传感器46、倒V字状通路块47、开闭阀(自动)50、倒V字状通路块51以及过滤器52分别具有通路块44a、45a、46a、47a、50a、51a、52a，这些通路块44a、45a、46a、47a、50a、51a、52a通过一对或两对螺栓57而固定在下层的通路块状接头54、55上。
在各通路块44a、45a、46a、47a、49a、49b、50a、51a、52a上设有供螺栓57贯穿的贯穿孔，各螺栓57使其头部从通路块44a、45a、46a、47a、49a、49b、50a、51a、52a的上表面突出，其前端部与设在通路块状接头54、55上的内螺纹部螺合。
本发明的螺栓的防松装置1的第一实施方式，是适用于上述的通路块44a、45a、46a、47a、49a、49b、50a、51a、52a的固定构造等的结构，如图1至图4所示，适用于进行将通路块(被固定部件)11固定在支承部件12上的一对螺栓5的防松，该防松装置1包括：以不能相对旋转的方式嵌合在各螺栓5的头部上的左右一对嵌合部件2、3；横跨一对嵌合部件2、3而嵌合的卡合部件4。
各螺栓5是同一形状的市售品(JIS标准产品)，是在头部周面5a全周上形成有平纹的滚花(多根与轴向平行地延伸的凸条以及凹槽)的带六角孔螺栓。
嵌合部件2、3是在板状体上形成有贯穿状的嵌合孔2a、3a的部件，嵌合部件2、3的各外周面2b、3b形成为正方形(非圆形的1例)。在嵌合孔2a、3a的内周面上形成有与螺栓5的头部周面5a的滚花对应的滚花(多根与轴向平行地延伸的凸条以及凹槽)。由此，嵌合部件2、3的嵌合孔2a、3a刚好与各螺栓5的头部周面5a的滚花嵌合。
卡合部件4具有：从前侧(一侧)与左右一对嵌合部件2、3的外周面相对的第一相对壁部6；从后侧(另一侧)与一对嵌合部件2、3的外周面相对的第二相对壁部7；将两相对壁部6、7连结的连结壁部8。在连结壁部8上形成有能够分别与各嵌合部件2、3嵌合的方形的左(第一)、右(第二)卡合孔8a、8b。左卡合孔8a的内周面形成为与左侧的嵌合部件2的方形外周面2b对应的方形，右卡合孔8b的内周面形成为与右侧的嵌合部件3的方形外周面3b对应的方形，由此，形成有作为卡合部的卡合孔8a、8b，其与各嵌合部件2、3的非圆形外周面的至少一部分卡合从而防止其移动。左卡合孔8a和右卡合孔8b之间通过分隔部8c而隔开。卡合部件4在嵌合在嵌合部件2、3上的状态下，其上表面与嵌合部件2、3的上表面相比稍稍位于上方。
通过上述的螺栓的防松装置1，在各嵌合部件2、3相对于各螺栓5不能相对旋转的状态下，能够通过卡合部件4防止各嵌合部件2、3的旋转，因此，能够可靠地防止螺栓5的松弛。
嵌合部件2、3的内周面形成为与螺栓5的外周形状相对应的形状，并且，外周面形成为适当的非圆形形状，在卡合部件4上设有与各嵌合部件2、3对应的卡合孔8a、8b即可，所以，能够将各嵌合部件2、3、4形成为在合成树脂制的板状体上设有贯穿孔的形状，是制作容易的部件。
嵌合部件2、3分别单独嵌合在螺栓5上即可，因此各部件的嵌合容易。另外，卡合部件4是例如合成树脂制的板状体，由此，能够弹性变形，向嵌合部件2、3的嵌合容易。
此外，在图4中，示出了各嵌合部件2、3和各卡合孔8a、8b之间的间隙大致为零的情况，但是，即使在各嵌合部件2、3和各卡合孔8a、8b之间稍微存在游隙，由于实质上通过卡合部件4防止各嵌合部件2、3的旋转的效果不会降低，所以，螺栓5的防松的效果不会降低。因此，还可以通过取得较大的游隙从而使将卡合部件4嵌合在嵌合部件2、3上的作业更容易。
另外，作为各嵌合部件2、3和各卡合孔(卡合部)8a、8b，通过将卡合部形成为方形的孔8a、8b，由此，以周面的全部四个面进行抵接(四个面都发挥卡合面的作用)，不过，只要至少一个面发挥卡合面的作用即可，所以，卡合部不限于方形的孔8a、8b。
在图5至图7中，示出了嵌合部件2、3为与上述的部件相同形状的情况下的卡合部件的不同的实施方式。
图5中，卡合部件14具有：从前侧(一侧)与左右一对嵌合部件2、3的外周面相对的第一相对壁部16；从后侧(另一侧)与一对嵌合部件2、3的外周面相对的第二相对壁部17；将两相对壁部16、17连结的连结壁部18。
连结壁部18的下表面被支承在各嵌合部件2、3的上表面上，在连结壁部18上还设有用于确认螺栓5的状态的窗18b。
在连结壁部18的下表面(内面)中的未被嵌合部件2、3的上表面支承的中间部分上，如图7(b)所示，形成有嵌合在两嵌合部件2、3之间的四棱柱状的下方突出部18a。由此，在本实施方式中，通过两相对壁部16、17的左部彼此以及下方突出部18a的左面，形成与左方的嵌合部件2的非圆形外周面的至少一部分卡合并防止其移动的第一卡合部14a，通过两相对壁部16、17的右部彼此以及下方突出部18a的右面，形成与右方的嵌合部件3的非圆形外周面的至少一部分卡合并防止其移动的第二卡合部14b。
根据本实施方式的卡合部件14，与卡合部形成为方形的孔8a、8b的卡合部件4相比，嵌合部件2、3的嵌合变得容易，另外，连结壁部18的厚度变厚，由此，强度提高，不易发生翘曲。
此外，在作为基于本发明的以螺栓的防松装置为对象的装置的1例的集成流体控制装置(图18)中，例如，在将配置在质量流量控制器49的两侧的通路块49a、49b通过一对螺栓57固定在下层的V字状通路块状接头55上的情况下，在通路块49a、49b的前后以及左右几乎没有作业空间，因此，需要通过从上方进行的作业来安装上述的嵌合部件2、3、4、14。
这里，由于在通路块49a、49b的前后以及左右没有能够供手插入程度的空间，所以，在进行各嵌合部件2、3、4、14的安装时，优选使用图8、图9所示的第一安装夹具21及图10、图11所示的第一实施方式的第二安装夹具31或图14至图16所示的第二实施方式的第二安装夹具36构成的两种夹具来进行。
为了能够使用上述第二安装夹具31、36，如图5至图7所示，在卡合部件14的中央部以及两端部上分别设有螺纹孔19、20。
第一实施方式的第一安装夹具21，如图8以及图9所示，具有：中空轴22，在该中空轴22的前端一体地设有保持部23，该保持部23对嵌合部件2、3的外周面2b、3b进行保持；握持部24，该握持部24一体地设在中空轴22的基端部；内轴25，在该内轴25的前端一体地设有与嵌合部件2、3的上表面抵接的推压部26，该内轴25以能够轴向移动的方式插入到中空轴22内且基端部从中空轴22突出。
如图9中放大表示的那样，保持部23通过前后壁27、28以及顶壁29形成为大致コ字状，通过摩擦力将嵌合部件2、3保持在前后壁27、28间。前壁27包括：与后壁28恰好相对并夹持嵌合部件2、3的外周面2b、3b的相对部27a；与相对部27a的下方相连的下方突出部27b。下方突出部27b的外表面与相对部27a共面，下方突出部27b的内表面以如下方式形成：当使保持嵌合部件2、3的第一安装夹具21移动到安装位置(将嵌合部件2、3安装到各螺栓5上的位置)时，以向被固定部件即连结块11的前表面引导的方式，与相对部27a的内表面相比凹陷地形成。
如图9(b)中放大表示的那样，推压部26包括：板状的方形部26a；设在其下表面上的板状的圆形部26b。圆形部26b形成为宽松地嵌合到嵌合部件2、3的内周面2a、3a内的大小。方形部26a的外周缘部形成为沿嵌合部件2、3的外周缘部的形状。
推压部26由于与内轴25为一体，所以，通过使内轴25相对于中空轴22移动，该推压部26能够移动。推压部26在以下两个位置移动：如图9(a)所示、嵌合部件2、3被夹持在保持部23的前后壁27、28之间、该推压部26与保持部23的顶壁29抵接的位置；如图9(b)所示、该推压部26从保持部23的顶壁29离开并向下方(前壁27和后壁28的开口部侧)移动由此使嵌合部件2、3从保持部23脱离的位置。
如图10以及图11所示，第二安装夹具31具有：在前端具有外螺纹部32a的轴体32，该外螺纹部32a螺合在设在卡合部件14的中央部上的螺纹孔19中；与卡合部件14的上表面抵接的加强板33。
在轴体32的上端部(基端部)一体地设有握持部32b，在轴体32的下端部(前端部)的与外螺纹部32a相比位于上方的部分上，设有对外螺纹部32a进行加强的凸缘部32c。
在加强板33的下表面中央部设有凹部33a，轴体32使外螺纹部32a从加强板33的凹部33a底面突出，并以能够相对旋转的方式通过E环34安装在加强板33上。
外螺纹部32a的前端，在卡合部件14的安装前以及结束时刻，位于不从加强板33的下表面突出的位置。在将卡合部件14保持在第二安装夹具31上时(图11(b))，如图11(a)所示，使卡合部件14与第二安装夹具31相对，将卡合部件14的上表面推压在加强板33的下表面上，在该状态下，使轴体32旋转，将外螺纹部32a螺合到卡合部件14的螺纹孔19中即可。
如图12所示那样，使用第一安装夹具21进行将嵌合部件2向螺栓5的安装。
首先，握持着在保持部23的前后壁27、28之间夹持有嵌合部件2的第一安装夹具21的握持部24将其插入到连结块11上方的空间中，使保持部23的前壁27的下方突出部27b沿着连结块11的前表面，从而将嵌合部件2推抵在螺栓5上(图12(a))。然后，边对螺栓5的头部和嵌合部件2以嵌合的方式进行微调整，边将第一安装夹具21向下方压入(图12(b))。接下来，通过将内轴25向下方推压而使中空轴22相对地向上方移动(图12(c))。至此，嵌合部件2被推压部26推压因而从保持部23离开，并被安装到螺栓5上。接着，使第一安装夹具21向上方移动，由此完成该安装(图12(d))。
关于嵌合部件3相对于右方的螺栓5的安装，使用第一安装夹具21以相同的方式进行。
如上所述地使用第一安装夹具21进行将嵌合部件2、3向螺栓5的安装，由此，即使是在作为安装嵌合部件2、3时的空间，在螺栓5的上方具有空间但在螺栓5的周边(前后以及左右)没有充分的空间的情况下，也能够使嵌合部件2、3可靠地嵌合在螺栓5上。另外，嵌合部件2、3被推压到推压部26上并从保持部23离开，由此能够防止将嵌合部件2、3嵌合在螺栓5上后嵌合部件2、3难以从第一安装夹具21脱离的问题。
如图13所示那样，使用第二安装夹具31进行将卡合部件14向嵌合部件2、3的安装。
使卡合部件14与第二安装夹具31螺合，握持着握持部32b将其插入到连结块11上方的空间，并使其向下方移动(图13(a))。接下来，边对卡合部件14和一对嵌合部件2、3以嵌合的方式进行微调整，边将第二安装夹具31向下方压入(图13(b))。然后，使轴体32向解除螺合的方向旋转，将螺合解除(图13(c))，由此，第二安装夹具31和卡合部件14分离，所以，仅使第二安装夹具31向上方移动，由此完成该安装。
如上述那样使用第二安装夹具31进行卡合部件14向嵌合部件2、3的安装，由此，即使是在作为安装卡合部件14时的空间，在螺栓5以及嵌合部件2、3的上方具有空间但在螺栓5以及嵌合部件2、3的周边(前后以及左右)没有充分的空间的情况下，也能够可靠地使卡合部件14嵌合在嵌合部件2、3上。另外，由于在第二安装夹具31上设有加强板33，所以，通过使加强板33与卡合部件14抵接，能够矫正卡合部件14的翘曲，能够顺畅地进行将卡合部件14安装在一对卡合部件2、3上时的嵌合。
在上述的图13中，在连结块11上方的空间中虽不存在妨碍第二安装夹具31的插入的部分，但例如在图18中，在附图标记所示的质量流量控制器49的前后表面上设有通信线缆连接用的连接器，存在着无法插入图10以及图11所示的第二安装夹具31的情况。
图14至图16所示的第二实施方式的第二安装夹具36是在连结块11的左右的中央部的上方存在干涉的部分的情况下有用的夹具，包括带加强板的轴体37以及以能够装拆的方式安装在带加强板的轴体37上的辅助轴体38。
带加强板的轴体37具有：主轴体39，其形状与图10以及图11所示的第一实施方式的第二安装夹具31类似，在该主轴体39的前端具有与设在卡合部件14上的螺纹孔20螺合的外螺纹部39a；加强板40，该加强班40与卡合部件14的上表面抵接。这里，带加强板的轴体37与第一实施方式的第二安装夹具31的不同点在于，在加强板40的端部安装有主轴体39，在加强板40上，设有用于贯穿主轴体39的贯穿孔的凹部40a不位于中央部而是设在一端部，在另一端部设有螺纹孔40b。由此，相对于作为整体呈大致T字状的第一实施方式的第二安装夹具31，带加强板的轴体37作为整体形成为大致L字状。
辅助轴体38在前端具有与加强板40的螺纹孔40b螺合的外螺纹部38a。
除上述区别外，带加强板的轴体37与第一实施方式的第二安装夹具31同样地形成，如图14以及图15所示，在主轴体39的基端部(上端部)一体地设有握持部39b。另外，如图16所示，在轴体39的前端部(下端部)中的比外螺纹部39a靠上方的部分上设有对外螺纹部39a进行加强的凸缘部39c，主轴体39使外螺纹部39a从加强板40的凹部40a底面突出，并以能够相对旋转的方式通过E环34而安装在加强板40上。
外螺纹部39a的前端在卡合部件14的安装前以及结束时刻，位于不从加强板40的下表面突出的位置。在将卡合部件14保持在带加强板的轴体37上时(图16(b))，如图16(a)所示，使卡合部件14与带加强板的轴体37相对，将卡合部件14的上表面推压在加强板40的下表面上，在该状态下，使主轴体39旋转，从而将外螺纹部39a螺合在卡合部件14的螺纹孔20中即可。
如图17所示那样，使用第二实施方式的第二安装夹具36进行将卡合部件14向嵌合部件2、3的安装。
使卡合部件14与带加强板的轴体37螺合，握持着握持部39b将其插入到连结块11上方的空间，并使其向下方移动(图17(a))。此时，由于若加强板40保持水平便会与质量流量控制器49的通信线缆连接用连接器C发生干涉，所以，使加强板40倾斜，避免与连接器C的干涉，然后再使加强板40成为水平。然后，使辅助轴体38与加强板40螺合，由此在带加强板的轴体37上将辅助轴体38一体化(图17(b))。接下来，边对卡合部件14和一对嵌合部件2、3以嵌合的方式边进行微调整，便将由带加强板的轴体37以及辅助轴体38构成的第二安装夹具36向下方压入。然后，首先，将辅助轴体38从带加强板的轴体37上拆下(图17(c))，然后，使主轴体39相对于加强板40旋转，解除主轴体39和卡合部件14的螺合(图17(d))。由此，带加强板的轴体37和卡合部件14分离，所以，仅使带加强板的轴体37向上方移动，由此完成该安装。
如上述那样使用第二实施方式的第二安装夹具36进行将卡合部件14向嵌合部件2、3的安装，由此，即使在连结块11的上方存在妨碍第一实施方式的第二安装夹具31的插入的部分C的情况下，也能够避免干涉而进行卡合部件14的安装。
此外，集成流体控制装置以如下方式形成：与图18所示的管线41结构类似的多条管线在主基板42上并列地配置，并且，各管线41的阻断开放器48彼此通过通路连接机构56连接，由此形成的集成流体控制装置能够控制并供给多种气体，在具有收容被处理基板的处理容器和向所述处理容器内供给处理气体的处理气体供给部的基板处理装置中，这样的集成流体控制装置优选作为设在所述处理气体供给部内的流体控制装置而被使用。

Claims (10)

1.一种螺栓的防松装置，是使用多根螺栓将被固定部件进行固定后的螺栓的防松装置，其特征在于，具有：分别以不能相对旋转的方式嵌合在多根螺栓的各头部上的多个嵌合部件；设有与各嵌合部件卡合从而防止其移动的卡合部、并横跨多个嵌合部件地安装的卡合部件，
各螺栓为在头部周面上形成有平纹的滚花的带六角孔螺栓，各带六角孔螺栓使其头部从被固定部件突出，并贯穿被固定部件，
外周面形状为方形且在内周面上形成有滚花的嵌合部件分别被嵌合在从被固定部件露出的各带六角孔螺栓的头部上，
卡合部件具有：从一侧与多个嵌合部件的外周面相对的第一相对壁部；从另一侧与多个嵌合部件的外周面相对的第二相对壁部；将两相对壁部连结的连结壁部，
横跨多个嵌合部件而被嵌合的卡合部件受到被固定部件止挡。
2.如权利要求1所述的螺栓的防松装置，其特征在于：卡合部件的各卡合部为具有与各嵌合部件的方形外周面对应的方形内周面且设在连结壁部上的卡合孔。
3.如权利要求1所述的螺栓的防松装置，其特征在于：卡合部件的连结壁部具有通过嵌合在相邻的嵌合部件之间而与第一相对壁部以及第二相对壁部一起形成卡合部的突出部。
4.一种螺栓的防松装置的安装方法，是安装权利要求1到3任一项的螺栓的防松装置的方法，其特征在于：在使用具有保持嵌合部件的外周面的保持部以及与嵌合部件抵接从而相对于保持部能够移动的推压部的第一安装夹具，而将嵌合部件保持在第一安装夹具的保持部上的状态下，将嵌合部件安装在螺栓上，然后，使第一安装夹具的推压部移动，由此，将嵌合部件从第一安装夹具的保持部拆下。
5.一种螺栓的防松装置的安装方法，是安装权利要求1的螺栓的防松装置的方法，其特征在于：预先在卡合部件上设置螺纹孔，使用具有与该螺纹孔螺合的外螺纹部的第二安装夹具，将卡合部件螺合在第二安装夹具上，在该状态下，将第二安装夹具以横跨的方式向多个嵌合部件推压，由此将卡合部件安装在多个嵌合部件上。
6.一种第一安装夹具，是权利要求4的螺栓的防松装置的安装方法中使用的第一安装夹具，其特征在于，具有：中空轴，在该中空轴的前端一体地设有保持嵌合部件的外周面的保持部；握持部，该握持部设在中空轴的基端部；内轴，在该内轴的前端一体地设有与嵌合部件抵接的推压部，该内轴以能够轴向移动的方式插入到中空轴内且基端部从中空轴突出。
7.一种第二安装夹具，是权利要求5的螺栓的防松装置的安装方法中使用的第二安装夹具，其特征在于，具有：轴体，在该轴体的前端具有与设在卡合部件上的螺纹孔螺合的外螺纹部；加强板，该加强板与卡合部件抵接，轴体以能够相对旋转的方式安装在加强板上。
8.一种第二安装夹具，是权利要求5的螺栓的防松装置的安装方法中使用的第二安装夹具，其特征在于，包括带加强板的轴体以及以能够装拆的方式安装在其上的辅助轴体，带加强板的轴体具有：主轴体，该主轴体在前端具有与设在卡合部件的一端部上的螺纹孔螺合的外螺纹部；加强板，该加强板与卡合部件抵接，主轴体以能够相对旋转的方式安装在加强板上，在加强板上，在一端部上设有供主轴体贯穿的贯穿孔，在另一端部上设有螺纹孔，辅助轴体在前端具有与加强板的螺纹孔螺合的外螺纹部。
9.一种流体控制装置，具有：流体控制仪器，其具有作为多个上层部件的通路块；块状接头，其作为多个下层部件，该流体控制装置是使用螺栓将通路块固定在下层部件上的结构，其特征在于：作为用于进行所述螺栓的防松的螺栓的防松装置，具有权利要求1到3的任一项的螺栓的防松装置。
10.一种基板处理装置，具有：收容被处理基板的处理容器；向所述处理容器内供给处理气体的处理气体供给部，其特征在于：作为设在所述处理气体供给部内的流体控制装置，具有权利要求9的流体控制装置。
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