TWI533984B - Nozzle construction and adsorption method - Google Patents

Description

噴嘴構造及吸附方法

本發明，是有關於將透鏡等的零件吸附的噴嘴構造、及使用其的吸附方法。

將由複數枚的透鏡所構成的透鏡單元製造的情況時，是每次一枚地將透鏡貼裝在套筒內。此情況，為了將透鏡朝套筒內搬運，而使用具備噴嘴的頭(例如專利文獻1參照)。

首先，噴嘴是藉由吸引空氣使負壓發生，藉由該負壓，將待機於托盤的透鏡吸附。且，將頭移動，將透鏡朝套筒內搬運。其後，藉由噴嘴將空氣吐出，將透鏡配置於套筒內。

[習知技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2010-274395號公報

但是噴嘴會將塵埃吸入。此情況，將透鏡配置於套筒內時，會將塵埃噴附在透鏡，而附著此塵埃。因此考慮：藉由使噴嘴不與透鏡的中心相面對，而與周圍的凸緣相面對，使塵埃不會附著在透鏡的中心的方式。

但是在強烈要求生產效率的提高的狀況下，必需由高速將透鏡貼裝。因此，有必要將透鏡確實地保持，必需將噴嘴與透鏡的中心相面對使加強吸附的力。在此，將透鏡配置於套筒內時，因為會成為將塵埃朝透鏡的中心噴附，所以無法防止塵埃附著在透鏡的中心。

這種問題，不限定於將透鏡吸附的情況，電子零件等，將其他的零件吸附的情況時也共通。

本發明，是鑑於上述課題，其目的是提供一種噴嘴構造及吸附方法，防止塵埃附著在吸附的零件的中心。

(1)本發明，是一種噴嘴構造，是藉由吸引氣體使負壓發生，藉由該負壓將零件吸附，其後，將氣體吐出將前述零件的吸附解除，其特徵為，具備：基端通路，是將吸引或是吐出的氣體導引；及中心通路，是將前述基端通路，與相面對於前述零件的大致中心的中心開口連結，將被吸引的氣體從前述中心開口導引至前述基端通路；及周圍通路，是將前述基端通路，與位於前述中心開口的周圍的周圍開口連結，將吸引的氣體從前述周圍開口 導引至前述基端通路，另一方面，將吐出的氣體從前述基端通路導引至前述周圍開口；及閥，是設在前述基端通路及前述中心通路的連接部分，在氣體的吸引時將前述基端通路及前述中心通路彼此連接並容許來自前述中心開口的氣體的吸引，另一方面，在氣體的吐出時將前述基端通路及前述中心通路彼此之間切斷並拒絕氣體從前述中心開口吐出。

依據本發明的話，藉由吸引氣體使負壓發生，藉由該負壓將零件吸附的情況時，因為將吸引氣體的中心開口與零件的中心相面對，所以可加強將零件吸附的力。由此，可以確實地保持零件。進一步，將被吸附的零件搬運的情況，可以由高速處理。其後，將氣體吐出將零件的吸附解除的情況，因為從相面對於零件的中心的中心開口不將氣體吐出，而從位於其中心開口的周圍的周圍開口將氣體吐出，所以假設，在內部吸入了塵埃時，也不會朝零件的中心噴附塵埃。因此，可防止塵埃附著在零件的中心。

(2)且本發明，是如上述(1)的噴嘴構造，其中，前述閥，是藉由吸引或是吐出的氣體的壓力而作動。

依據上述發明的話，可以由簡單的構成實現閥。

(3)且本發明，是如上述(2)的噴嘴構造，其中，前述閥，是具備將吸引或是吐出的氣體的壓力 承受的受壓面。

依據上述發明的話，可以由簡單的構成實現閥。

(4)且本發明，是如上述(1)至(3)中任一的噴嘴構造，其中，具備與前述零件抵接的環狀的凸部，在前述凸部之前配置有前述周圍開口，並且前述中心開口是被配置在遠離被前述凸部包圍的內部空間中的前述零件的位置，藉由透過前述中心開口吸引前述內部空間的氣體，使在該內部空間發生負壓。

依據上述發明的話，因為由被凸部包圍的內部空間的負壓將零件吸附，所以可加強吸附力。

(5)且本發明，是如上述(1)至(4)中任一的噴嘴構造，其中，具備突起，其是從前述中心開口或是前述周圍開口位置的先端部，在氣體的吐出時成為突出的狀態，另一方面，在氣體的吸引時成為退避的狀態。

依據上述發明的話，在被吸附的零件上，隨附在該零件的別的零件若被載置的情況時，藉由突起，將該別的零件推壓。由此，防止該別的零件被吐出的氣體吹掉。

(6)且本發明，是如上述(5)的噴嘴構造，其中，前述突起，是藉由吸引或是吐出的氣體的壓力而作動。

依據上述發明的話，由簡單的構成就可以實現突起。

(7)且本發明，是一種吸附方法，是使用上述(1)至(6)中任一的噴嘴構造的吸附方法，藉由從前述中心開口及前述周圍開口吸引氣體使負壓發生，藉由該負壓將前述零件吸附，另一方面，從前述周圍開口將氣體吐出將前述零件的吸附解除。

(8)且本發明，是如上述(7)的吸附方法，其中，將前述零件的吸附解除時，實行：從前述周圍開口將氣體吐出的吐出步驟；及在與前述吐出步驟同時或是其後，將前述噴嘴由規定的速度上昇使殘存於前述中心通路的負壓重設的負壓重設步驟；及在前述負壓重設步驟之後，將前述噴嘴一旦停止之後再度上昇，或是將前述噴嘴由比前述規定的速度更高速地上昇使前述噴嘴退避的噴嘴退避步驟。

依據上述發明的話，在解除零件的吸附之後，可防止藉由殘存於中心通路的負壓再度將零件吸附。

依據本發明的上述(1)至(6)的噴嘴構造、以及上述(7)及(8)的吸附方法的話，可達成防止塵埃附著在被吸附的零件的中心的優異的效果。

1‧‧‧透鏡搬運裝置

2，22‧‧‧噴嘴

3‧‧‧噴嘴本體

3a‧‧‧先端部

4，24‧‧‧閥

5‧‧‧推壓構件

6‧‧‧基端通路

7‧‧‧中心通路

8‧‧‧周圍通路

9‧‧‧推壓構件收容空間

10‧‧‧中心開口

11‧‧‧周圍開口

12‧‧‧突出開口

13‧‧‧受壓面

14‧‧‧凸緣

15‧‧‧通氣孔

16‧‧‧插入孔

17‧‧‧突起

23‧‧‧噴嘴本體

23a‧‧‧先端部

23b‧‧‧凸部

33‧‧‧受壓面

XA1‧‧‧透鏡(零件)

SP1‧‧‧規定的速度

SP2‧‧‧高速

S100‧‧‧吐出步驟

S200‧‧‧負壓重設步驟

S300‧‧‧噴嘴退避步驟

[第1圖]具備採用了本發明的實施例的噴嘴構造的 噴嘴之透鏡搬運裝置的前視圖。

[第2圖]噴嘴的剖面圖，(A)是顯示氣體的吸引時，(B)是顯示氣體的吐出時。

[第3圖]噴嘴的底面圖。

[第4圖]說明將透鏡吸附的流程的噴嘴的剖面圖，(A)是顯示將透鏡吸附之前的狀態，(B)是顯示將透鏡吸附之後的狀態。

[第5圖]說明將透鏡的吸附解除的流程的噴嘴的剖面圖，(A)是顯示將透鏡的吸附解除之前的狀態，(B)是顯示實行吐出步驟的狀態，(C)是顯示實行負壓重設步驟的狀態，(D)是顯示實行噴嘴退避步驟的狀態。

[第6圖]說明將透鏡的吸附解除的流程的流程圖。

[第7圖]採用了別的形態的噴嘴構造的噴嘴的剖面圖，(A)是顯示氣體的吸引時，(B)是顯示氣體的吐出時。

以下，參照圖面，詳細說明具備採用了本發明的實施例的噴嘴構造的噴嘴2的透鏡搬運裝置1。

首先，使用第1圖，說明透鏡搬運裝置1的構成。第1圖，是透鏡搬運裝置1的前視圖。又，在本圖及之後的各圖中，將一部分的構成適宜省略，將圖面簡略化。且，在本圖及之後的各圖中，將構件的大小、形狀、 厚度等適宜地誇張表現。

如第1圖所示的透鏡搬運裝置1，是被設在將由複數枚的透鏡所構成的透鏡單元製造的線。此透鏡搬運裝置1，是由噴嘴2將待機於托盤YA1的透鏡XA1吸附，將該透鏡XA1，朝構成透鏡單元的套筒ZA1內搬運。

具體而言，透鏡搬運裝置1，是具備：噴嘴2、及頭(圖示省略)、及昇降機構(圖示省略)、及移動機構(圖示省略)、及泵單元(圖示省略)等。

噴嘴2，是藉由泵單元(圖示省略)動作。即，噴嘴2，是藉由吸引氣體(外氣)使負壓發生，藉由該負壓，將待機於托盤YA1的透鏡XA1吸附，其後，在套筒ZA1內，將氣體(例如壓縮空氣)吐出將透鏡XA1的吸附解除。又，噴嘴2的構造的詳細，是如後述。

在頭(圖示省略)中，安裝有噴嘴2。此頭，是藉由昇降機構昇降，並且藉由移動機構朝水平方向移動。即，頭，其本身是藉由昇降將噴嘴2昇降。且，頭，其本身是藉由朝水平方向移動而將噴嘴2朝水平方向移動。

泵單元(圖示省略)，是與噴嘴2連接。此泵單元，是藉由使負壓發生使從噴嘴2吸引氣體。且，泵單元，是藉由使正壓發生而從噴嘴2將氣體吐出。

接著，使用第1圖，對於透鏡搬運裝置1的動作說明。

首先，朝待機於托盤YA1的透鏡XA1的正上將噴嘴2移動。且，將噴嘴2，下降至與透鏡XA1抵接之前的高度。其後，噴嘴2，是藉由吸引氣體使負壓發生，藉由該負壓將透鏡XA1吸附。

且將被吸附在噴嘴2的透鏡XA1上昇之後，移動至套筒ZA1的正上。其後，將透鏡XA1，下降至與套筒ZA1內的凸緣(符號省略)抵接之前的高度。從其，從噴嘴2將氣體吐出，將透鏡XA1的吸附解除。由此，可以將待機於托盤YA1的透鏡XA1，朝套筒ZA1內搬運。

又，將透鏡XA1的吸附解除的高度，是從透鏡XA1與套筒ZA1內的凸緣(符號省略)抵接的位置，10μm以上30μm以下的高度較佳，15μm以上25μm以下的高度更佳，20μm的高度最佳。

接著，使用第2圖(A)、第2圖(B)及第3圖，說明噴嘴2的構成。第2圖(A)，是噴嘴2的剖面圖，顯示氣體的吸引時。第2圖(B)，是噴嘴2的剖面圖，顯示氣體的吐出時。第3圖，是噴嘴2的底面圖。

如第2圖(A)、第2圖(B)及第3圖所示，噴嘴2，是具備：噴嘴本體3、及閥4、及複數條(在本實施例中為3條)的推壓構件5。

在噴嘴本體3中，形成有：基端通路6、及中心通路7、及複數條(在本實施例中為3條)的周圍通路8、及推壓構件收容空間9等。

基端通路6，是將噴嘴本體3的基端側(第2圖(A)及第2圖(B)中的上側，第3圖中的後側)的中央呈縱地貫通設置，與中心通路7、複數周圍通路8、及複數推壓構件收容空間9連接。此基端通路6，是將吸引的氣體從周圍通路8導引至泵單元(圖示省略)，另一方面，將吐出的氣體從泵單元導引至中心通路7及複數周圍通路8。

中心通路7，是將噴嘴本體3的先端側(第2圖(A)及第2圖(B)中的下側，第3圖中的前方側)的中央呈縱地貫通設置，將基端通路6與中心開口10連繋。此中心通路7，是將吸引的氣體從中心開口10導引至基端通路6，另一方面，不會導引吐出的氣體。

複數周圍通路8，是各別將噴嘴本體3的先端側(第2圖(A)及第2圖(B)中的下側、第3圖中的前方側)、中心通路7的周圍呈縱地貫通設置，將基端通路6與周圍開口11連繋。這些複數周圍通路8，是各別，將被吸引的氣體從周圍開口11導引至基端通路6，另一方面，將吐出的氣體從基端通路6導引至周圍開口11。

複數推壓構件收容空間9，各別是噴嘴本體3的先端側(第2圖(A)及第2圖(B)中的下側，第3圖中的前方側)，且成為與複數周圍通路8交互的方式，且，將中心通路7的周圍呈縱地貫通設置，將基端通路6與突出開口12連繋。這些複數推壓構件收容空間9，是 各別使基端側(第2圖(A)及第2圖(B)中的上側，第3圖中的後側)的徑相對地大，使先端側(第2圖(A)及第2圖(B)中的下側，第3圖中的前方側)的徑相對地小，而具有2段構造。且，複數推壓構件收容空間9，是各別在朝上下方向(第2圖(A)及第2圖(B)中的上下方向，第3圖中的後及前方的方向)可往復動的狀態下將推壓構件5收容。

又，中心開口10、複數周圍開口11、及複數突出開口12，是各別位於噴嘴本體3的先端部3a。

閥4，是在基端通路6及中心通路7的連接部分，在朝上下方向(第2圖(A)及第2圖(B)中的上下方向，在第3圖中的後及前方的方向)可往復動的狀態下被設置。具體而言，閥4，是由：將吸引或是吐出的氣體的壓力(基端通路6內的氣體的壓力)承受的受壓面13、及設在此受壓面13的周圍的凸緣14所構成。

受壓面13，其上面是相面對於基端通路6，並且其下面是相面對於中心通路7、複數周圍通路8、及複數推壓構件收容空間9。在此受壓面13中，在相面對於複數周圍通路8的各位置形成有通氣孔15，並且在相面對於複數推壓構件收容空間9的各位置形成有插入孔16。

凸緣14，是在受壓面13及基端通路6之間時常形成空間，防止受壓面13將基端通路6塞住。

這種閥4，是將吸引或是吐出的氣體的壓力 (基端通路6內的氣體的壓力)由受壓面13承受，藉由該氣體的壓力而作動。

即，閥4，是在氣體的吸引時(第2圖(A)參照)，藉由基端通路6內的氣體的壓力(負壓)上昇，透過通氣孔15將基端通路6及中心通路7彼此連接並容許從中心開口10吸引氣體。此時，基端通路6及複數周圍通路8，是透過通氣孔15彼此連接，容許從複數周圍開口11吸引氣體。

另一方面，閥4，是在氣體的吐出時(第2圖(B)參照)，藉由自重或是基端通路6內的氣體的壓力(正壓)下降，藉由由受壓面13將中心通路7塞住，將基端通路6及中心通路7彼此切斷並拒絕從中心開口10吐出氣體。此時，基端通路6及複數周圍通路8，是透過通氣孔15彼此連接，容許從複數周圍開口11吐出氣體。

複數條的推壓構件5，是各別在朝上下方向(第2圖(A)及第2圖(B)中的上下方向，第3圖中的後及前方的方向)可往復動的狀態下被設在推壓構件收容空間9。這些複數條的推壓構件5，是各別使基端側(第2圖(A)及第2圖(B)中的上側，第3圖中的後側)的徑相對地大，使先端側(第2圖(A)及第2圖(B)中的下側，第3圖中的前方側)的徑相對地小，而具有2段構造。

且複數條的推壓構件5，是各別使基端側的徑，比推壓構件收容空間9的基端側的徑稍小，且，比推 壓構件收容空間9的先端側的徑更大。且，複數條的推壓構件5，是各別使先端側的徑，比推壓構件收容空間9的先端側的徑稍小。

這種複數條的推壓構件5，是各別作為從突出開口12突出的突起17的功能。即，複數條的推壓構件5，是各別，在氣體的吸引時(第2圖(A)參照)，藉由基端通路6內的氣體的壓力(負壓)上昇，將突起17從突出開口12退回。另一方面，複數條的推壓構件5，是各別，在氣體的吐出時(第2圖(B)參照)，藉由自重或是基端通路6內的氣體的壓力(正壓)下降，將突起17從突出開口12突出。

且下降的推壓構件5，其基端側(第2圖(A)及第2圖(B)中的上側，第3圖中的後側)的徑相對地大的部分，是將推壓構件收容空間9中的先端側(第2圖(A)及第2圖(B)中的下側，第3圖中的前方側)的徑相對地小的部分塞住。由此，防止氣體通過推壓構件收容空間9從突出開口12被吐出。

如此，突起17，是藉由推壓構件5的基端(符號省略)承受吸引或是吐出的氣體(基端通路6內的氣體)的壓力，藉由該氣體的壓力而作動。且，突起17，是在氣體的吐出時(第2圖(B)參照)，成為從噴嘴本體3的先端部3a突出的狀態，另一方面，在氣體的吸引時(第2圖(A)參照)，成為從噴嘴本體3的先端部3a退避的狀態。

接著，使用第4圖(A)及第4圖(B)，說明將透鏡XA1吸附的流程。第4圖(A)，是噴嘴2的剖面圖，顯示將透鏡XA1吸附之前的狀態。第4圖(B)，是噴嘴2的剖面圖，顯示將透鏡XA1吸附之後的狀態。又，隨附在該透鏡XA1的環XA2被載置在由噴嘴2吸附的透鏡XA1上。

首先，如第4圖(A)所示，將噴嘴本體3的先端部3a，下降至與透鏡XA1抵接之前的高度。由此，中心開口10，是相面對於透鏡XA1的大致中心。且，複數周圍開口11，是各別，相面對於位於透鏡XA1的周圍的凸緣部分(符號省略)。且，從各突出開口12突出的複數突起17，是各別，相面對於被載置在透鏡XA1上的環XA2。

其後，泵單元(圖示省略)是藉由將負壓發生，如第4圖(B)所示，突出的複數突起17是朝各突出開口12內退避，並且氣體是從中心開口10及複數周圍開口11被吸引。從中心開口10被吸引的氣體，是被中心通路7導引。從複數周圍開口11被吸引的氣體，是被各周圍通路8導引。由此，在形成於噴嘴本體3的先端部3a及透鏡XA1之間的空間(符號省略)發生負壓，藉由該負壓，使透鏡XA1被吸附在噴嘴本體3的先端部3a。

接著，使用第5圖(A)、第5圖(B)、第5圖(C)、第5圖(D)及第6圖，說明將透鏡XA1的吸附解除的流程。第5圖(A)，是噴嘴2的剖面圖，顯 示解除透鏡XA1的吸附之前的狀態。第5圖(B)，是噴嘴2的剖面圖，顯示實行吐出步驟S100的狀態。第5圖(C)，是噴嘴2的剖面圖，顯示實行負壓重設步驟S200的狀態。第5圖(D)，是噴嘴2的剖面圖，顯示實行噴嘴退避步驟S300的狀態。第6圖，是說明將透鏡XA1的吸附解除的流程的流程圖。

首先，如第5圖(A)所示，將被吸附在噴嘴2的透鏡XA1，下降至與載置面(符號省略)抵接之前的高度。

其後，泵單元(圖示省略)是藉由將正壓發生，如第5圖(B)所示，退避的複數突起17是從各突出開口12突出，並且被複數周圍通路8導引的氣體，是從各周圍開口11被吐出(第6圖中的S100參照)。由此，由噴嘴2所產生的透鏡XA1的吸附被解除。

但是負壓會殘存在噴嘴本體3的先端部3a及透鏡XA1之間發生的間隙(符號省略)、和中心通路7內。因此，將噴嘴2急退避的情況時，藉由殘存於噴嘴本體3的先端部3a及透鏡XA1之間發生的間隙、和中心通路7內的負壓，再度將透鏡XA1吸附。

在此，在與吐出步驟S200同時或是其後，如第5圖(C)所示，將噴嘴2，稍為(例如50μm以上100μm以下)，由規定的速度SP1緩慢地上昇(第6圖中的S200參照)。由此，外氣會流入噴嘴本體3的先端部3a及透鏡XA1之間發生的間隙、和中心通路7。結果， 殘存在噴嘴本體3的先端部3a及透鏡XA1之間發生的間隙、和中心通路7內的負壓會被重設。

其後，如第5圖(D)所示，將噴嘴2，由比規定的速度SP1高速的高速SP2上昇(第6圖中的S300)。由此，噴嘴2被退避。

又，在此雖說明了，將噴嘴2，由規定的速度SP1緩慢地上昇，其後，由高速SP2上昇的情況的例，但是本發明不限定於此，在吐出步驟S200之後，將噴嘴2一旦停止之後再度上昇也可以。

依據以上說明了的噴嘴2的話，藉由吸引氣體將負壓發生，藉由該負壓將透鏡XA1吸附的情況時，因為將吸引氣體的中心開口10相面對在透鏡XA1的中心，所以可加強將透鏡XA1吸附的力。由此，可以將透鏡XA1確實地保持。進一步，可以將被吸附的透鏡XA1由高速搬運。其後，將氣體吐出將透鏡XA1的吸附解除的情況，因為不從相面對於透鏡XA1的中心的中心開口10將氣體吐出，而從位於其中心開口10的周圍的周圍開口11將氣體吐出，所以假設，即使在內部吸入了塵埃時，也不會朝透鏡XA1的中心噴附塵埃。因此，可防止塵埃附著在透鏡XA1的中心。

且閥4，因為是藉由吸引或是吐出的氣體的壓力而作動，所以可以由簡單的構成實現。且，閥4，因為具備將吸引或是吐出的氣體的壓力承受的受壓面13，所以可以由簡單的構成實現。

進一步，因為具備突起17，所以藉由突起17將被載置在被吸附的透鏡XA1上的環XA2推壓。由此，防止環XA2被吐出的氣體吹掉。

且突起17，因為是藉由吸引或是吐出的氣體的壓力而作動，所以可以由簡單的構成實現。

且將透鏡XA1的吸附解除時，因為實行負壓重設步驟S200，所以在解除透鏡XA1的吸附之後，可防止藉由殘存於中心通路7的負壓再度將透鏡XA1吸附。

接著，使用第7圖(A)及第7圖(B)，說明別的形態的噴嘴22的構成。第7圖(A)，是噴嘴22的剖面圖，顯示氣體的吸引時。第7圖(B)，是噴嘴22的剖面圖，顯示氣體的吐出時。又，在此，只有說明噴嘴22的特徵部分，對於與上述實施例的噴嘴2同樣的構成、作用、效果的說明是適宜地省略。

噴嘴22，與噴嘴2相比較，取代噴嘴本體3而具備噴嘴本體23的點不同。且，噴嘴22，與噴嘴2相比較，取代閥4而具備閥24的點不同。且，噴嘴22，與噴嘴2相比較，不具備推壓構件5的點不同。

在噴嘴本體23中，形成有：基端通路6、及中心通路7、及複數條(在本實施例中為3條)的周圍通路8等。在此噴嘴本體23的先端部23a中，形成有與透鏡XA1(第1圖參照)抵接的環狀的凸部23b。且，噴嘴本體23，是在先端部23a配置有中心開口10，並且在凸部23b之前配置有複數周圍開口11。即，中心開口10， 是被配置於遠離被凸部23b包圍的內部空間(符號省略)中的透鏡XA1的位置。

閥24，與閥4相比較，取代受壓面13而具備受壓面33的點不同。受壓面33，與受壓面13相比較，不具備插入孔16的點不同。

依據以上說明的噴嘴22的話，因為由被凸部23b包圍的內部空間的負壓將透鏡XA1吸附，所以可加強吸附力。

本發明，並非限定於上述實施例，在不脫離其宗旨及技術思想的範圍可進行各種的變形。且，各實施例及各變形例的構成，在可能的範圍可以適用在其他的實施例及其他的變形例。

即，在上述實施例中，各構成的位置、大小、長度、形狀、材質、方向、數量、溫度等可以適宜地變更。

或是在上述實施例中，雖說明了噴嘴2是將透鏡XA1吸附的情況的例，但是本發明不限定於此，將電子零件等其他的零件吸附者也可以。

[產業上的可利用性]

本發明的噴嘴構造，是可以利用在透鏡、電子零件等其他的零件的製造或是物流的領域。

2‧‧‧噴嘴

3‧‧‧噴嘴本體

3a‧‧‧先端部

4‧‧‧閥

5‧‧‧推壓構件

6‧‧‧基端通路

7‧‧‧中心通路

8‧‧‧周圍通路

9‧‧‧推壓構件收容空間

10‧‧‧中心開口

11‧‧‧周圍開口

12‧‧‧突出開口

13‧‧‧受壓面

14‧‧‧凸緣

15‧‧‧通氣孔

16‧‧‧插入孔

17‧‧‧突起

Claims (8)

1. 一種噴嘴構造，是藉由吸引氣體使負壓發生，藉由該負壓將零件吸附，其後，將氣體吐出將前述零件的吸附解除，其特徵為，具備：基端通路，是將吸引或是吐出的氣體導引；及中心通路，是將前述基端通路，與相面對於前述零件的大致中心的中心開口連結，將被吸引的氣體從前述中心開口導引至前述基端通路；及周圍通路，是將前述基端通路，與位於前述中心開口的周圍的周圍開口連結，將吸引的氣體從前述周圍開口導引至前述基端通路，另一方面，將吐出的氣體從前述基端通路導引至前述周圍開口；及閥，是設在前述基端通路及前述中心通路的連接部分，在氣體的吸引時將前述基端通路及前述中心通路彼此連接並容許來自前述中心開口的氣體的吸引，另一方面，在氣體的吐出時將前述基端通路及前述中心通路彼此之間切斷並拒絕氣體從前述中心開口吐出。
2. 如申請專利範圍第1項的噴嘴構造，其中，前述閥，是藉由吸引或是吐出的氣體的壓力而作動。
3. 如申請專利範圍第2項的噴嘴構造，其中，前述閥，是具備將吸引或是吐出的氣體的壓力承受的受壓面。
4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項的噴嘴構 造，其中，具備與前述零件抵接的環狀的凸部，在前述凸部之前配置有前述周圍開口，並且前述中心開口是被配置在遠離被前述凸部包圍的內部空間中的前述零件的位置，藉由透過前述中心開口吸引前述內部空間的氣體，使在該內部空間發生負壓。
5. 如申請專利範圍第1至3項中任一項的噴嘴構造，其中，具備突起，其是對於前述中心開口或是前述周圍開口位置的先端部，在氣體的吐出時成為突出的狀態，另一方面，在氣體的吸引時成為退避的狀態。
6. 如申請專利範圍第5項的噴嘴構造，其中，前述突起，是藉由吸引或是吐出的氣體的壓力而作動。
7. 一種吸附方法，是使用如申請專利範圍第1至6項中任一項的噴嘴構造，藉由從前述中心開口及前述周圍開口吸引氣體使負壓發生，藉由該負壓將前述零件吸附，另一方面，從前述周圍開口將氣體吐出將前述零件的吸附解除。
8. 如申請專利範圍第7項的吸附方法，其中，將前述零件的吸附解除時，實行：從前述周圍開口將氣體吐出的吐出步驟；及 在與前述吐出步驟同時或是其後，將前述噴嘴由規定的速度上昇使殘存於前述中心通路的負壓重設的負壓重設步驟；及在前述負壓重設步驟之後，將前述噴嘴一旦停止之後再度上昇，或是將前述噴嘴由比前述規定的速度更高速地上昇使前述噴嘴退避的噴嘴退避步驟。