JP6718581B2 - 吸着保持装置 - Google Patents
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Description
前記吸着パッド内にバッフル部材を設け、前記吸着パッド内の基部側から供給される気体を前記バッフル部材により該吸着パッドの内壁に沿うように偏向させて導出し、前記吸着パッドの内壁に付着した異物を該吸着パッドの外部へと排出することを特徴とする。
5、32…吸引口 16…挿入孔
34…アダプタ 36…バッフル部材
46…保持孔 50…流通孔
52…係合軸部 54…邪魔板部
58…クリアランス
Claims (5)
- 吸着パッドを介して吸気することで、前記吸着パッド内を負圧に保持してワークを吸着する吸着保持装置であって、
前記吸着パッド内にバッフル部材を設け、前記吸着パッド内の基部側から供給される気体を前記バッフル部材により該吸着パッドの内壁に沿うように偏向させて導出し、前記吸着パッドの内壁に付着した異物を該吸着パッドの外部へと排出することを特徴とする吸着保持装置。 - 請求項1記載の吸着保持装置において、前記バッフル部材は前記吸着パッドの前記基部に設けられたアダプタに係着され、前記アダプタに設けられた流通孔から供給される気体の噴出方向を偏向して前記吸着パッドの内壁に沿うように導出する邪魔板部を有することを特徴とする吸着保持装置。
- 請求項2記載の吸着保持装置において、前記アダプタは前記バッフル部材を係着する保持孔を有するとともに、前記保持孔に同芯的に複数の前記流通孔を設け、前記バッフル部材を構成する前記邪魔板部の周縁底面と前記アダプタの前記流通孔が臨む上面との間でクリアランスが設けられることを特徴とする吸着保持装置。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の吸着保持装置において、前記吸着パッドの吸引口が上方を向いて開口して保持されることを特徴とする吸着保持装置。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の吸着保持装置において、前記吸着パッドから吸引された気体が流通する吸引通路が、前記気体の供給通路と別個に設けられていることを特徴とする吸着保持装置。
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