TWI499546B

TWI499546B - A substrate cartridge and a substrate accommodating device

Info

Publication number: TWI499546B
Application number: TW099146204A
Authority: TW
Inventors: 水谷英夫; 木內徹; 川口透; 增川孝志
Original assignee: 尼康股份有限公司
Priority date: 2009-12-29
Filing date: 2010-12-28
Publication date: 2015-09-11
Also published as: KR101706412B1; CN102712436B; US10541160B2; US20200118847A1; CN102712436A; WO2011081220A1; JP5708649B2; JP2013516049A; US20110155838A1; US11342206B2; KR20120107099A; TW201132567A

Description

基板盒及基板收容裝置

本發明係關於基板盒及基板收容裝置。

本案係依據2009年12月29日申請之美國專利暫時申請61/282,198號、及2010年12月22日申請之美國專利申請12/976,149號主張優先權，將其內容援引於本案中。

作為構成顯示裝置等顯示裝置之顯示元件，已知有例如液晶顯示元件、有機電致發光(有機EL)元件、電子紙所使用之電泳元件等。現在，作為此等之顯示元件，於基板表面形成稱為薄膜電晶體之開關元件(Thin Film Transistor：TFT)後，再於其上形成各顯示元件之主動元件(active device)漸漸成為主流。

近年來，已有提案於片狀基板(例如薄膜構件等)上形成顯示元件之技術。作為此種技術，已知有例如稱為捲軸(roll-to-roll)方式(以下簡稱「捲軸方式」)之方法(例如參照專利文獻1)。捲軸方式係一面送出捲繞於基板供應側之供應用滾筒滾筒之1片片狀基板(例如帶狀薄膜構件)，並且用基板回收側之回收用滾筒捲取所送出之基板，一面搬送基板。

接著，於基板被送出後到捲取之間，使用複數個處理裝置，形成構成TFT之閘電極、閘氧化膜、半導體膜、源-汲電極等後，將顯示元件之構成要件依序形成於基板上。例如，當於基板上形成有機電致發光元件時，將發光層與陽極、陰極、電路等依序形成於基板上。元件形成後之基板係例如保持帶狀搬送至後製程之處理裝置，或切斷該基板，藉此作為個別顯示裝置予以出貨。

專利文獻1：國際公開第2006/100868號說明書

然而，當以露出以此方式形成之基板之狀態進行搬送或出貨時，為考量片狀基板或顯示元件、開關元件等之損傷、破損、變形或異物附著等，必須慎重加以處理。因此，例如，出貨時或搬送時等，提高基板之搬運性至為重要。

本發明之形態之目的在於，提供可提高片狀基板之搬運性之基板盒及基板收容裝置。

依本發明之第1形態，提供一種基板盒，其特徵在於，具備：軸部，捲繞有片狀基板，該片狀基板具有經電路生成處理後之電路區域；以及罩部，用以收容捲繞於該軸部之狀態之該基板；該軸部，具有保持該基板之開始捲繞之一端部中與該電路區域不同之區域之保持部。

依本發明之第2形態，提供一種基板收容裝置，其特徵在於，具備：捲繞機構，用以將具有經電路生成處理後之電路區域之片狀基板捲繞於軸部；以及搬送機構，用以將捲繞有該基板之狀態之該軸部收容於罩部。

依本發明之形態，可提高片狀基板之搬運性。

以下，參照圖式說明本發明之實施形態。

第1圖係表示本發明之實施形態之基板盒1之構成之立體圖。

如第1圖所示，基板盒1具有軸部2及罩部3，成為於軸部2安裝有罩部3之構成。

第2圖係表示罩部3拆下後之軸部2之構成之立體圖。

如第2圖所示，軸部2係形成為例如大致圓筒狀，捲繞有形成為例如薄膜構件等片狀之基板(片狀基板)FB之部分。軸部2係使用例如硬質之瓦楞紙或紙箱紙等可再生之材料形成。當然，亦可係使用其他材料形成之構成。

本實施形態中，作為片狀基板FB，可使用例如樹脂膜或不銹鋼等之箔(foil)。樹脂膜可使用例如聚乙烯樹脂、聚丙烯樹脂、聚酯樹脂、乙烯共聚物樹脂、聚氯乙烯樹脂、纖維素樹脂、聚醯胺樹脂、聚醯亞胺樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚苯乙烯樹脂、醋酸乙烯樹脂等材料。於片狀基板FB形成有經電路生成處理後之電路區域RA(參照第9圖)。

軸部2具有：第一端部21、第二端部22、肋部23、連結部24、以及保持部25。於第一端部21之表面、第二端部22之表面、以及肋部23之表面抵接有與片狀基板FB中形成有電路區域RA面之為相反側之面。

第一端部21、第二端部22、以及肋部23為藉由連結部24連結之構成。

第一端部21及第二端部22分別抵接有片狀基板FB之短邊方向之兩端部，亦即片狀基板FB之側端部F1及F2。於第一端部21及第二端部22設有連接於外部之旋轉驅動機構及搬送機構之被連接部27及28。因此，當使軸部2旋轉或搬送時，可獲得高驅動效率或高搬送效率。

於肋部23抵接有片狀基板FB中側端部間之主要部分。於第一端部21與第二端部22之間設置1個以上之肋部23。本實施形態中，肋部23係設置例如5個。肋部23係沿軸部2之長度方向配置。將抵接於片狀基板FB之主要部分之部分作為肋部23，藉此可使軸部2成為可保持一定剛性且輕量化之構成。

第一端部21、第二端部22、以及肋部23之各間隔亦可例如全部作成等間隔，亦可如本實施形態，例如第一端部21與該第一端部21所緊鄰之肋部23之間隔較肋部23彼此之間隔小，同樣地，第二端部22與該第二端部22所緊鄰之肋部23之間隔較肋部23彼此之間隔小。

如第2圖所示，保持部25係保持該片狀基板FB之開始捲繞之端部FH(參照第9圖等，捲取用之導引端部)，即從電路區域RA偏離之區域。保持部25具有槽部26。槽部26具有供片狀基板FB之一端部(此處為端部FH)插入之開口部。槽部26係沿軸部2之長度方向形成於例如第一端部21與第二端部22之間，例如從軸部2之表面向中心形成於軸部2之徑方向。

第2圖中，保持部25之槽部26以配合片狀基板FB之前端部寬度之方式，延伸至兩端(第一端部21、第二端部22)形成。

第4圖係表示沿第2圖中之A-A剖面之構成。

如第2圖及第4圖所示，本實施形態中，於複數個肋部23之一部分皆形成有缺口部23a，於該缺口部23a插入有槽部26。因此，插入槽部26之片狀基板FB開始捲繞之一端部預先形成為相較於例如保持於第一端部21或第二端部22之部分在短邊方向之尺寸為小，藉此可插入槽部26。該槽部26係例如沿軸部2之表面一周設置複數處。本實施形態中，槽部26在例如各偏離90°位置設置4處。

另外，亦可將另一構件(例如片狀基板FB之導頭構件等)貼附於片狀基板FB開始捲繞之一端部，片狀基板FB之短邊方向之該另一構件之尺寸以相較於片狀基板FB之同方向之尺寸為小之方式構成。此時，由於僅以將另一構件貼附於片狀基板FB之加工即可，因此不必進行例如將片狀基板FB切斷等繁雜之加工即可。

又，亦可作成用以使該槽部26配置於第一端部21或第二端部22之一部分之缺口部之構成，亦可作成槽部26設置至第一端部21及第二端部22之一部分之構成。此時可不必加工片狀基板FB開始捲繞之一端部而將該一端部插入槽部26。

如第4圖所示，槽部26係從軸部表面向中心，以間隔逐漸變窄之方式形成。因此，在片狀基板FB插入槽部26後，片狀基板FB被槽部26中該間隔變窄之部分夾住而予以保持。另外，亦可將片狀基板FB插入槽部26予以保持，並且進一步用固定銷26p將片狀基板FB之端部FH固定於第一端部21或第二端部22。

具體而言，於槽部26之內部，在片狀基板FB之寬度方向以可拆裝方式設置複數個固定銷26p，藉由該固定銷26p，將片狀基板FB開始捲繞之一端部固定於槽部26。使用固定銷26p固定片狀基板FB開始捲繞之一端部，藉此可避免片狀基板FB開始捲繞之一端部對軸部2之長度方向傾斜。

於第一端部21及第二端部22中至少一方設有鉗機構29，該鉗機構29係與第一端部21及第二端部22之至少一方之表面一起挾持片狀基板FB捲繞結束之端部FH(捲取用之終端部)。第3圖係表示鉗機構29之構成之剖面圖。如第3圖所示，鉗機構29具有壓板29a及金屬銷29b，藉由金屬銷29b使壓板29a固定於第一端部21及第二端部22。

壓板29a具備：接觸於第一端部21或第二端部22之接觸部29aa；形成有金屬銷29b插入之貫穿孔之金屬銷安裝部29ab；以及非接觸部29ac，當於第一端部21及第二端部22中至少一方安裝有鉗機構29時，係與第一端部21或與第二端部22之間形成間隙。亦即，壓板29a係在壓板29a之兩端中於一端部具備接觸部29aa且於另一端部具備非接觸部29ac，於接觸部29aa與非接觸部29ac之間具備金屬銷安裝部29ab之構成，其剖面圖係形成為例如L字形。於第一端部21或第二端部22安裝有壓板29a時，形成於非接觸部29ac與第一端部21之表面或第二端部22之表面之間之間隙係片狀基板FB之厚度部分之大小。另外，亦可作成於片狀基板FB結束捲繞之另一端部，與開始捲繞之一端部同樣地貼附有另一構件之構成。

第5圖係表示從軸部2拆下後之狀態之罩部3之構成之立體圖。如第1圖及第5圖所示，罩部3係將捲繞於軸部2之狀態之片狀基板FB連同例如軸部2一起收容。罩部3係與軸部2相同，使用例如硬質之瓦楞紙或紙箱紙等可再生之材料形成。當然，亦可係使用其他材料形成之構成。

參照第5圖，罩部3具有罩構件30(30A及30B)、以及鉸鏈部33，2個罩構件30係透過鉸鏈部33成為以可開關方式連接之構成。各罩構件30具有分別設置於兩端部之軸部保持部31(31A及31B)、保護部32(32A及32B)、以及蓋部34(34A及34B)。另外，亦可係於罩構件30之外面設置有未圖示之把手等之構成。

由於軸部保持部31A、31B之構成係相同之構成，因此僅針對軸部保持部31A加以說明，軸部保持部31B之說明予以省略。軸部保持部31A係當安裝於軸部2時用以保持該軸部2之第一端部21之部分。保護部32係連接於軸部保持部31A，以沿軸部2之圓周方向彎曲之方式形成，係用以覆蓋捲繞於軸部2之片狀基板FB之部分。軸部保持部31A係以露出第一端部21之方式保持軸部2之構成。鉸鏈部33具有彈性部(未圖示)，例如用以於打開2個罩構件30之方向使彈力動作。

蓋部34係設置於保護部32之端部，在關閉罩構件30A與罩構件30B之狀態下，蓋部34A與蓋部34B係重疊。例如，在蓋部34A與蓋部34B重疊之狀態下，使用扣具35等將蓋部34A與蓋部34B固定成無法打開，藉此可保持罩構件30A與罩構件30B之關狀態。

接著，說明於以上述方式構成基板盒1收容片狀基板FB之基板收容裝置100之構成。

第6圖係基板收容裝置100之概略構成圖。

如第6圖所示，基板收容裝置100具有：基板搬入部101、收容處理部102、盒供應部103、以及控制裝置CONT。

基板搬入部101，具有將片狀基板FB搬入基板收容裝置100之內部之基板搬入口101a。於基板搬入口101a沿片狀基板FB之搬送路徑設置有搬送滾筒101R及導引構件101G。

搬送滾筒101R沿該搬送路徑設置例如複數個，將片狀基板FB往收容處理部102搬送。導引構件101G係導引藉由搬送滾筒101R所搬送之片狀基板FB。基板搬入部101中，於片狀基板FB之搬送路徑上設置有基板切斷部104。基板切斷部104係將例如形成帶狀之片狀基板FB切斷成各個片狀基板FB。

收容處理部102係隔著壁構件105A及105B與基板搬入部101相鄰配置。收容處理部102係透過形成於壁構件105A與105B間之開口部105C連接於基板搬入部101。於收容處理部102設有從壁構件105A沿片狀基板FB之搬送方向延伸之導引構件106。

導引構件106係導引從開口部105C搬送之片狀基板FB。導引構件106具有關節部107，較該關節部107靠片狀基板FB之搬送方向下游側之部位(前端部分106a)係彎折。該前端部分106a係連接於例如支承機構108之一端。支承機構108之另一端係連接於壁構件105A。因此，前端部分106a係透過支承機構108支承於壁構件105A。

支承機構108具有例如活塞機構與汽缸機構等，以可伸縮方式形成於支承方向。支承機構108之伸縮量可藉由未圖示之調整機構等進行調整。支承機構108係以既定伸縮量進行伸縮，藉此前端部分106a能以關節部107為中心以所欲角度彎折。

收容處理部102具有搬送片狀基板FB之搬送機構110。搬送機構110具有搬送滾筒110a及110b。第7圖係表示前端部分106a之構成之俯視圖。另外，在第7圖中，係省略第6圖所示之構成要件中之部分圖示而表示。如第7圖所示，搬送滾筒110a係設置於導引面106b之上方。搬送滾筒110b係安裝於例如前端部分106a。搬送滾筒110a及搬送滾筒110b係於與片狀基板FB之搬送方向正交之方向配置複數個。

如第6圖所示，各搬送滾筒110a係透過例如支承臂110c及關節部110d連接於壁構件105B。支承臂110c係設成能以關節部110d為中心旋動，旋動量可藉由未圖示之調整機構進行調整。藉由調整支承臂110c之旋動量，而可依據前端部分106a之彎曲角度調整搬送滾筒110b對搬送滾筒110b之位置。

搬送滾筒110b係安裝於形成於前端部分106a之凹部。在使搬送滾筒110a接近之狀態下該凹部形成於重疊於該搬送滾筒110a之位置。搬送滾筒110b係於該凹部內配置成與導引面106大致同一面之狀態。當搬送滾筒110b上配置有片狀基板FB時，藉由使搬送滾筒110a接近於前端部分106a而可以該搬送滾筒110a與搬送滾筒110b夾住片狀基板FB。於搬送滾筒110a與搬送滾筒110b中至少一方設置有未圖示之旋轉驅動機構。藉由該旋轉驅動機構，使搬送滾筒110a及搬送滾筒110b旋轉，藉由該旋轉力搬送片狀基板FB。

前端部分106a中，於片狀基板FB之導引面106b設置有位置調整機構109。如第7圖所示，位置調整機構109係於導引面106b上以隔著片狀基板FB之搬送路徑之方式設置有一對。一對位置調整機構109係分別抵接於片狀基板FB之側邊。藉由該位置調整機構109，一面搬送片狀基板FB一面矯正該片狀基板FB之搬送方向，以進行該片狀基板FB之搬送目的地之對齊。

相對於前端部分106a，於片狀基板FB之搬送方向之下游側配置有保持該軸部2並使之旋轉之旋轉驅動機構111。旋轉驅動機構111係例如第7圖所示，具有設置於隔著軸部2之轉軸方向之兩端部之位置之一對轉子111a、以及用以驅動該一對轉子111a之驅動部111b。轉子111a係對軸部2分別連接被連接部27及28。驅動部111b具有例如未圖示之馬達等。

轉子111a係設置成可藉由驅動部111b之驅動對軸部2拆裝，並設置成能以軸部2之長度方向為轉軸旋轉。轉子111a係以連接於被連接部27及28之狀態進行旋轉，藉此使軸部2進行旋轉。

如第6圖所示，轉子111a係配置成在接近於前端部分106a之位置保持軸部2。於前端部分106a之圖中上方，設有對該軸部2安裝鉗機構29之鉗安裝機構112。鉗安裝機構112具有例如未圖示之驅動機構，設置成可進出軸部2且能從該軸部2退避。

於旋轉驅動機構111之圖中下方設置有罩保持部113及罩開關機構114。罩保持部113係保持該罩部3之部分。罩開關機構114係使罩保持部113開關之部分。罩開關機構114，具有對罩部3使扣具拆裝之未圖示之拆裝機構。又，罩開關機構114具有例如保持罩部3之蓋部34之未圖示之保持部，且設置成能在保持該蓋部34之狀態下移動。

於旋轉驅動機構111及罩保持部113之下游側設置有搬出機構115。搬出機構115係連接於收容處理部102之盒搬出口102a，將基板盒1導引至盒搬出口102a之部分。搬出機構115具有以例如盒搬出口102a成為下方之方式傾斜之導引構件115a。基板盒1係於該導引構件115a上滾動而被導引至盒搬出口102a。

盒供應部103係配置於例如搬出機構115之圖中上方。於盒供應部103收容有複數個基板盒1。收容於盒供應部103之各基板盒1，其軸部2與罩部3形成為一體。盒供應部103係透過盒供應口103a連接於收容處理部102。

於盒供應部103與收容處理部102之間設置有盒搬送機構116。該盒搬送機構116係設置成可在盒供應部103與收容處理部102之間搬送基板盒1。盒搬送機構116具有連接於軸部2之被連接部27及28之動子116a、以及驅動該動子116a之驅動部116b。動子116a係於例如隔著軸部2之長度方向之端部之位置設有一對。驅動部116b係同步驅動一對動子116a。動子116a係設置成可相對例如盒供應部103、旋轉驅動機構111、以及罩保持部113移動。因此，盒搬送機構116係在該盒供應部103、旋轉驅動機構111、以及罩保持部113之間搬送基板盒1或其一部分。

以上述方式構成之基板收容裝置100係連接於例如於片狀基板FB形成電路區域之基板處理裝置等來使用。

第8圖係表示將基板收容裝置100連接於基板處理裝置FPA使用時之構成圖。

如第8圖所示，基板處理裝置FPA具有供應片狀基板(例如薄膜構件)FB之基板供應部SU、對片狀基板FB進行處理之基板處理部PR、以及前述之基板收容裝置100。基板處理裝置FPA係設置於例如工廠等使用。

基板處理裝置FPA，係藉由所謂捲軸(roll-to-roll)方式(以下稱為捲軸方式)，於片狀基板FB上形成電路區域RA等。首先，在設置於基板供應部SU之滾筒上作成為捲繞帶狀片狀基板FB之狀態，從基板供應部SU將該片狀基板FB送出。

基板處理部PR具備：搬送裝置230、在搬送過程對片狀基板FB之處理面Fp進行處理之處理裝置210。

搬送裝置230具有滾筒裝置R，用以將從基板供應部SU供應之片狀基板FB在基板處理部PR內進行搬送，並且往基板回收部CL側搬送。滾筒裝置R係沿片狀基板FB之搬送路徑設置例如複數個。於複數個滾筒裝置R中至少一部分之滾筒裝置R安裝有驅動機構(未圖示)。藉由此種滾筒裝置R之旋轉，片狀基板FB可往既定方向進行搬送。複數個滾筒裝置R中例如一部分之滾筒裝置R亦可係設置成可移動於與搬送方向正交之方向之構成。

處理裝置210具有用以對藉由搬送裝置230搬送之片狀基板FB之處理面Fp形成例如電路區域RA之各種裝置。作為此種裝置，可舉出例如用以於處理面Fp上形成電極之電極形成裝置、及用以於處理面Fp形成開關元件之元件形成裝置等。又，當形成有機EL發光元件等之顯示元件時，可使用用以形成分隔壁之分隔壁形成裝置、以及形成發光層之發光層形成裝置等。更具體而言，可舉出液滴塗佈裝置(例如噴墨型塗佈裝置、旋轉塗佈型塗佈裝置等)、蒸鍍裝置、濺鍍裝置等成膜裝置、曝光裝置、顯影裝置、表面改質裝置、洗淨裝置等。此等各裝置係適當設置於例如片狀基板FB之搬送路徑上。另外，基板處理部PR亦可進一步具有對片狀基板FB進行對準動作等之對準機構等。

又，藉由搬送裝置230，在基板處理部PR內適當搬送片狀基板FB，並且藉由處理裝置210，例如第9圖所示之電路區域RA沿片狀基板FB上之長邊方向形成例如複數個。於形成於片狀基板FB之電路區域RA包含例如形成於顯示區域DA之顯示元件及開關元件、形成於驅動區域DR之驅動電路等。形成有電路區域RA之片狀基板FB係依序從基板處理部PR搬出。

片狀基板FB之寬度方向(短邊方向)之尺寸形成為例如1m～2m左右，X方向(長邊方向)之尺寸形成為例如10m以上。當然，此尺寸只不過是一例，並非限定於此。例如，片狀基板FB之Y方向之尺寸亦可係50cm以下，2m以上。又，片狀基板FB之X方向之尺寸亦可係10cm以下。

上述之基板收容裝置100係連接於例如基板處理裝置FPA內片狀基板FB之搬送方向之下游側來使用。從基板處理裝置FPA搬出之片狀基板FB係例如保持帶狀搬入至基板收容裝置100之基板搬入口101a。

接著，說明以上述方式構成之基板收容裝置100之動作。

控制裝置CONT係控制盒搬送機構116，使盒搬送機構116移動至盒供應部103，使基板盒1往收容理部102搬入。本實施形態中，由於罩部3之軸部保持部31係以露出軸部2之第一端部21及第二端部22之方式進行保持，因此形成於該第一端部21之被連接部27及形成於第二端部22之被連接部28成為露出狀態。因此，即使罩部3與軸部2係形成為一體之狀態，亦可將盒搬送機構116之動子116a分別連接於被連接部27及28。

然後，控制裝置CONT控制盒搬送機構116，使盒搬送機構116移動至罩保持部113而保持基板盒1之罩部3，並且使罩開關機構114形成為開狀態，使軸部2從罩部3分離。接著，控制裝置CONT使盒搬送機構116移動至旋轉驅動機構111，將從罩部3分離之軸部2交給旋轉驅動機構111。控制裝置CONT使軸部2保持於接近前端部分106a之位置，並且調整旋轉驅動機構111之旋轉位置，使軸部2之槽部26事先設定於朝片狀基板FB之搬送方向之上游側之狀態。

在該狀態下，控制裝置CONT使搬送滾筒101R驅動，以搬送已透過基板搬入口101a而搬入基板收容裝置100內之片狀基板FB。當片狀基板FB到達基板切斷部104時，控制裝置CONT使用基板切斷部104，例如第9圖所示將片狀基板FB依每一電路區域RA切斷。此時，例如於片狀基板FB開始捲繞之端部FH事先形成穿孔M。又，此時，亦可將端部FH之形狀調整成可插入槽部26之形狀。

如第10圖所示，片狀基板FB經切斷後，控制裝置CONT將切斷後之各片狀基板FB往收容處理部102搬送。片狀基板FB沿導引構件106被導引至收容處理部102內。控制裝置CONT驅動支承機構108，將前端部分106a支承成水平，使片狀基板FB可通過前端部分106a上。此時，軸部2之槽部26係配置於前端部分106a之附近。片狀基板FB，在通過前端部分106a上之過程，藉由位置調整機構109調整與搬送方向正交方向之位置。另外，支承機構108，係為了防止在基板盒1之軸部2搬送至旋轉驅動機構111之前基板盒1或軸部2干涉前端部分106a，亦可作成從前端部分106a水平方向往下方彎折之狀態。又，亦可控制支承機構108配合支承於旋轉驅動機構111之軸部2之高度，調整從前端部分106a送出之片狀基板FB之高度位置。

又，控制裝置CONT係使搬送滾筒110a配置於前端部分106a之搬送滾筒110b上，設定成可搬送片狀基板FB之狀態。到達搬送滾筒110a及搬送滾筒110b間之片狀基板FB係藉由該搬送滾筒110a及搬送滾筒110b搬送至搬送方向之下游側，片狀基板FB開始捲繞之端部FH插入槽部26。端部FH對槽部26之插入量係以形成於端部FH之穿孔M成為槽部26之開口部附近之方式進行調整。例如，該插入量，控制裝置CONT亦可藉由片狀基板FB對槽部26之搬送量進行調整。或亦可考量端部FH插入槽部26之狀態，事先調整穿孔M之加工位置。由於片狀基板FB，僅與電路區域RA不同之區域插入槽部26並加以保持，因此可避免對電路區域RA之損壞。

片狀基板FB之端部FH插入槽部26後，控制裝置CONT係如第11圖所示，使轉子111a旋轉，藉此使軸部2旋轉。另外，使軸部2旋轉前，如前所述，亦可用固定銷26p固定槽部26內之端部FH。接著，藉由軸部2之旋轉，片狀基板FB捲繞於軸部2。此時，由於片狀基板FB之穿孔M沿捲取方向彎折，因此片狀基板FB之一部分不會突出，可平穩地進行捲繞。

片狀基板FB結束捲繞後，控制裝置CONT藉由鉗安裝機構112使鉗機構29安裝於軸部2，將捲繞於軸部2之片狀基板FB結束捲繞之端部FH固定於第一端部21及第二端部22之至少一方。安裝鉗機構29後，控制裝置CONT將軸部2從旋轉驅動機構111交給上述之盒搬送機構116，藉由盒搬送機構116使軸部2收容於罩部3內。

控制裝置CONT，在軸部2收容於罩部3內後，藉由罩開關機構114，將罩部3設定於關狀態，於罩部3之蓋部34安裝扣件35，使保持關狀態。藉此，軸部2與罩部3形成為一體，成為基板盒1之狀態，並且捲繞於軸部2之片狀基板FB被收容於罩部3。控制裝置CONT係藉由盒搬送機構116將基板盒1往搬出機構115搬送。基板盒1係透過搬出機構115搬送至盒搬出口102a，從該盒搬出口102a往基板收容裝置100之外部搬出。

例如於片狀基板FB之每一電路區域RA反覆進行上述之動作，藉此在形成有電路區域RA之片狀基板FB收容於基板盒1之狀態下，該基板盒1依序從盒搬出口102a搬出。以這種方式形成之基板盒1係例如以搬出之狀態出貨或搬送至後製程線等。

如以上所述，本實施形態之基板盒1具備：捲繞有具有經電路生成處理後之電路區域RA之片狀基板FB之軸部2、以及收容捲繞於該軸部2之狀態之片狀基板FB之罩部3，由於軸部2具有保持片狀基板FB開始捲繞之端部FH中與電路區域RA不同之區域之保持部25，因此不會對片狀基板FB之電路區域RA造成不良影響，可收容片狀基板FB。藉此，可提高片狀基板FB之搬運性。

又，由於本實施形態之基板收容裝置100具備：旋轉驅動機構111，作為捲繞機構，將具有經電路生成處理後之電路區域RA之片狀基板FB捲繞於軸部2；以及將捲繞有片狀基板FB之狀態之軸部2收容於罩部3之盒搬送機構116，因此可將片狀基板FB平穩地收容於基板盒1。藉此，可提高片狀基板FB之搬運性。

本發明之技術範圍並非限定於上述實施形態，在不脫離本發明之要旨之範圍，可加以適當變更。

上述實施形態中，係以軸部2與罩部3分離之狀態下，於軸部2捲繞片狀基板FB之構成為例加以說明，但並非限定於此，亦可係以例如軸部2與罩部3形成為一體之狀態將片狀基板FB捲繞於軸部2之構成。

此時，如第12A圖所示，亦可作成於罩部3設置有開口部3a構成。該罩部3，罩構件30A及30B係透過例如鉸鏈部33連接，於該罩構件30A與罩構件30B之開關之交界部分配置有開口部3a。又，罩部3之端部成為軸部2之被連接部27及28露出之狀態。因此，罩部3與軸部2可保持一體連接於外部之連接部(例如上述之轉子111a、動子116a等)。

第12B圖係表示沿第12A圖之B-B剖面之形狀之圖。如第12B圖所示，在軸部2，於對應於該開口部3a之位置設置有槽部26。另外，雖槽部26係從軸部2之表面向內部形成，但從軸部2之中心以稍偏離方式形成。此時，當捲繞片狀基板FB時，可使形成於片狀基板FB開始捲繞之端部FH之折彎角度變小。藉此，即使未形成例如上述實施形態之穿孔M，亦可在片狀基板FB不形成凹凸之情形下平穩地進行捲繞。

另外，關於開口部3a之配置，並非限於第12A圖及第12B圖所示之構成，亦可係例如罩構件30A及罩構件30B之任一位置。

又，本實施形態中，已針對將具有經電路處理後之電路區域RA之片狀基板FB收容於基板盒1之構成加以說明。作為收容於基板盒1之片狀基板FB，亦可係具有經構成顯示裝置之所有電路處理後之電路區域RA者(完成品)，及經所有電路處理中一部分之電路處理後之電路區域RA者(半成品)。

又，本實施形態中，雖將基板切斷部104設置於基板搬入部101內，但亦可設置於收容處理部102內。例如，亦可設置於收容處理部102中前端部分106a之搬送方向下游側。

又，本實施形態中之基板盒1之罩構件30，雖以圓柱狀形成，但並非限定於圓柱狀，亦可以四角柱形成。

又，本實施形態中之基板盒1，雖針對以一個盒內收容一片片狀基板FB之構成加以說明，但亦可將二片以上之片狀基板FB切斷(或不切斷)後收容於一個盒內。

FB．．．片狀基板

RA．．．電路區域

FH．．．端部

1．．．基板盒

2．．．軸部

3．．．蓋部

21．．．第一端部

22．．．第二端部

23．．．肋部

25．．．保持部

26．．．槽部

26p．．．固定銷

27、28．．．被連接部

29．．．鉗機構

30．．．罩構件

34．．．蓋部

100．．．基板收容裝置

CONT．．．控制裝置

104．．．基板切斷部

109．．．位置調整機構

110．．．搬送機構

111．．．旋轉驅動機構

112．．．鉗安裝機構

113．．．罩保持部

114．．．罩開關機構

115．．．搬出機構

116．．．盒搬送機構

第1圖係表示本發明之實施形態之基板盒構成之立體圖。

第2圖係表示本實施形態之軸部構成之立體圖。

第3圖係表示本實施形態之軸部之一部分構成之剖面圖。

第4圖係表示沿本實施形態之軸部之A-A剖面之構成圖。

第5圖係表示本實施形態之蓋部構成之立體圖。

第6圖係表示本實施形態之基板收容裝置構成之示意圖。

第7圖係表示本實施形態之基板收容裝置之一部分構成之俯視圖。

第8圖係表示本實施形態之基板處理裝置及基板收容裝置構成之示意圖。

第9圖係表示本實施形態之片狀基板之一部分構成之圖。

第10圖係表示本實施形態之基板收容裝置之動作圖。

第11圖係表示本實施形態之基板收容裝置之動作圖。

第12A圖係表示本實施形態之基板盒之另一構成之立體圖。

第12B圖係表示本實施形態之基板盒之另一構成之剖面圖。

FB．．．片狀基板

1．．．基板盒

2．．．軸部

3．．．罩部

Claims

一種基板盒，其特徵在於，具備：軸部，捲繞有片狀基板，該片狀基板具有經電路生成處理後之電路區域；以及罩部，用以收容捲繞於該軸部之狀態之該基板；該軸部，具有與該基板之短邊方向之一側端部抵接之表面的第一端部、具有與該基板之短邊方向之另一側端部抵接之表面的第二端部、具有與該基板之該第一端部與該第二端部間之中間部抵接之表面之1個以上之肋部、以及保持該基板之開始捲繞之一端部中與該電路區域不同之區域之保持部；該保持部係以形成為間隔從該軸部之外周表面向內部逐漸變窄之槽部構成。
如申請專利範圍第1項之基板盒，其中，該槽部，係於該軸部之外周沿長度方向形成為供該基板之一端部插入。
如申請專利範圍第2項之基板盒，其中，該槽部沿該軸部表面之一周設置複數個。
如申請專利範圍第1項之基板盒，其中，該罩部，具備以在該基板捲繞於該軸部之狀態下覆蓋該基板之周圍整體之方式沿該軸構件之長度方向設置之罩構件、以及與該第一端部與該第二端部之各個抵接而將該罩構件保持成能對該軸部拆裝之軸部保持部。
如申請專利範圍第1~3項中任一項之基板盒，其進一步具備固定部，該固定部係在將該基板捲繞於該軸部之狀態下，使該基板另一端部中與該電路區域不同之區域固定於該軸部或該罩部中之至少一方。
如申請專利範圍第5項之基板盒，其中，該固定部具有夾住該基板之鉗機構。
如申請專利範圍第1~3項中任一項之基板盒，其中，該軸部進一步具有連結該第一端部、該第二端部、該肋部之連結部。
如申請專利範圍第7項之基板盒，其中，該第一端部及該第二端部之至少一方具有被連接部，該被連接部連接於驅動該軸部之驅動機構及搬送該軸部之搬送機構中之至少一方。
如申請專利範圍第7或8項之基板盒，其中，該罩部，具備以在該基板捲繞於該軸部之狀態下覆蓋該基板之周圍整體之方式沿該軸構件之長度方向設置之罩構件、以及與該第一端部與該第二端部之各個抵接而將該罩構件保持成能對該軸部拆裝之軸部保持部。
如申請專利範圍第9項之基板盒，其中，該軸部保持部被設置成設於該第一端部或該第二端部之至少一方之該被連接部於該軸部之長度方向從該罩部露出。
如申請專利範圍第1~10項中任一項之基板盒，其中，該罩部具有為了使該基板通過而沿該軸部之長度方向形成之開口部。
如申請專利範圍第5或9項之基板盒，其中，該罩部之罩構件係可藉由沿著該軸部之長度方向之鉸鏈部來開關且具備該軸部保持部之一對蓋部，藉由開啟該一對蓋部而能使該軸部進出。
如申請專利範圍第1~12項中任一項之基板盒，其中，將該軸部與該罩部以硬質之瓦楞紙等可再生材料構成。
如申請專利範圍第1~12項中任一項之基板盒，其中，該罩部形成為覆蓋捲繞於該軸部之該基板之圓柱狀或四角柱。
一種基板收容裝置，其特徵在於，具備：捲繞機構，用以使具備保持部之軸部旋轉以將片狀基板捲繞於該軸部，該保持部係保持具有經電路生成處理後之電路區域之既定長度之該基板之一端部中與該電路區域不同之區域；位置調整機構，係在該捲繞前以該基板之一端部與該軸部之保持部對齊之方式調整該保持部之位置；以及搬送機構，用以將捲繞有該基板之狀態之該軸部收容於罩部。
如申請專利範圍第15項之基板收容裝置，其中，該保持部設於該軸部之表面之旋轉方向之至少一處，該位置調整機構係控制使該軸部旋轉之該捲繞機構之旋轉驅動部，以在該捲繞前，以該保持部與該基板之一端部對向之方式旋轉。
如申請專利範圍第15或16項之基板收容裝置，其中，該軸部具有：具有與該基板之短邊方向之一側端部之面抵接之表面的第一端部、具有與該基板之短邊方向之另一側端部之面抵接之表面的第二端部，該捲繞機構及該搬送機構，具有與該第一端部或該第二端部連接以將旋轉力傳遞至該軸部之連接部。
如申請專利範圍第15~17項中任一項之基板收容裝置，其中，該罩部具備使該基板通過之開口部；該位置調整機構，以該保持部與該開口部對應之方式調整該保持部之位置。
如申請專利範圍第15~18項中任一項之基板收容裝置，其中，該軸部之該保持部，係以形成為間隔從該軸部之外周表面向內部逐漸變窄、夾住該基板之一端部中與該電路區域不同之區域的槽部構成。
如申請專利範圍第15~19項中任一項之基板收容裝置，其進一步具備固定機構，該固定機構係在將該基板捲繞於該軸部之狀態下，使該基板另一端部中與該電路區域不同之區域固定於該軸部或該罩部中之至少一方。
如申請專利範圍第15~20項中任一項之基板收容裝置，其中，該罩部係以形成為可藉由沿著該軸部之長度方向之鉸鏈部來開關之一對罩構件構成，該搬送機構，具有使該一對罩構件開關之開關機構。
一種基板盒，係為了將以顯示區域與驅動區域構成之顯示元件之中間品或形成有完成品之片狀基板捲成圓形來收容，而具備：軸部，具備保持部，該保持部係將該片狀基板之長邊方向兩端中形成該顯示元件之區域外側之一端部可拆裝地保持；以及可開關之罩部，將以該軸部之保持部保持該片狀基板之一端部並繞該軸部捲繞成圓形之狀態之該片狀基板，與該軸部卡合並收容；該軸部具有：該片狀基板之寬度方向之一側端部之背面所抵接之第一端部、該片狀基板之寬度方向之另一側端部之背面所抵接之第二端部、在該軸部之軸方向中在該第一端部與該第二端部間之中間部與該片狀基板之背面抵接之1個以上之肋部。
如申請專利範圍第22項之基板盒，其中，該保持部具有形成為間隔從該軸部之表面向內部逐漸變窄之槽部。
如申請專利範圍第22或23項之基板盒，其中，該軸部進一步具有連結該第一端部、該第二端部、該肋部之連結部。
如申請專利範圍第24項之基板盒，其中，該第一端部及該第二端部之至少一方具有用以驅動該軸部之驅動機構或連接於用以搬送該軸部之搬送機構之被連接部。
如申請專利範圍第25項之基板盒，其中，該罩部具有與該軸部卡合而保持該軸部之軸部保持部；該軸部保持部具備使設於該第一端部及該第二端部之至少一方之該被連接部露出之露出部。
如申請專利範圍第22~26項中任一項之基板收容裝置，其中，該軸部與該罩部係藉由硬質之瓦楞紙或紙箱紙等可再生之材料構成。