JP2013516049A - 基板ケース及び基板収容装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2009年12月29日に出願された米国特許仮出願第61/282,198号、及び2010年12月22日に出願された米国特許出願第12/976,149号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
図1は、本発明の実施の形態に係る基板ケース1の構成を示す斜視図である。
図1に示すように、基板ケース1は軸部2及びカバー部3を有しており、軸部2にカバー部3が装着された構成になっている。
図2に示すように、軸部2は、例えば略円筒状に形成されており、例えばフィルム部材などシート状に形成された基板(シート基板)FBが巻きつけられる部分である。軸部2は、例えば硬質のダンボールやカートン紙など、再生可能な材料を用いて形成されている。勿論、他の材料を用いて形成された構成であっても構わない。
図2において、保持部25のスロット部26は、シート基板FBの先端部の幅に合わせるように、両端(第一端部21、第二端部22)まで延びて形成されている。
図2及び図4に示すように、本実施形態では、複数のリブ部23のそれぞれに一部に切り欠き部23aが形成されており、当該切り欠き部23aにスロット部26が挿入された構成となっている。従って、スロット部26に挿入されるシート基板FBの巻き始めの一端部は、例えば第一端部21や第二端部22に保持される部分に比べて短手方向の寸法が小さくなるように予め形成された上でスロット部26に挿入されるようになっている。このスロット部26は、例えば軸部2の表面一周に亘って複数箇所に設けられている。本実施形態では、スロット部26が、例えば90°ずつずれた位置に4箇所設けられている。
図1及び図5に示すように、カバー部3は、軸部2に巻かれた状態のシート基板FBを例えば軸部2ごと収容する。カバー部3は、軸部2と同様、例えば硬質のダンボールやカートン紙など、再生可能な材料を用いて形成されている。勿論、他の材料を用いて形成された構成であっても構わない。
図6は、基板収容装置100の概略構成図である。
図6に示すように、基板収容装置100は、基板搬入部101、収容処理部102、ケース供給部103及び制御装置CONTを有している。
図8は、基板収容装置100を基板処理装置FPAに接続して用いた場合の構成を示す図である。
搬送装置230は、基板供給部SUから供給されるシート基板FBを基板処理部PR内で搬送すると共に、基板回収部CL側へ搬送するローラー装置Rを有している。ローラー装置Rは、シート基板FBの搬送経路に沿って例えば複数設けられている。複数のローラー装置Rのうち少なくとも一部のローラー装置Rには、駆動機構(不図示)が取り付けられている。このようなローラー装置Rが回転することにより、シート基板FBが所定方向に搬送されるようになっている。複数のローラー装置Rのうち例えば一部のローラー装置Rが搬送方向と直交する方向に移動可能に設けられた構成であっても構わない。
制御装置CONTは、ケース搬送機構116を制御して、ケース搬送機構116をケース供給部103に移動させ、基板ケース1を収容処理部102へ搬入させる。本実施形態では、カバー部3の軸部保持部31が軸部2の第一端部21及び第二端部22を露出するように保持しているため、当該第一端部21に形成される被接続部27及び第二端部22に形成される被接続部28が露出された状態となっている。したがって、カバー部3と軸部2とが一体的になっている状態であっても、ケース搬送機構116の移動子116aを被接続部27及び28のそれぞれに接続させることができる。
上記実施形態においては、軸部2とカバー部3とを分離した状態で軸部2にシート基板FBを巻き付ける構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無く、例えば軸部2とカバー部3とが一体となっている状態で軸部2にシート基板FBを巻き付け可能な構成であっても構わない。
Claims (22)
- 回路生成プロセスが施された回路領域を有するシート状の基板が巻きつけられる軸部と、
前記軸部に巻かれた状態の前記基板を収容するカバー部とを備え、
前記軸部は、前記基板の巻き始めの一端部のうち、前記回路領域と異なる領域を保持する保持部を有する
基板ケース。 - 前記保持部は、前記軸部の表面から内部に向けて形成されたスロット部を有する
請求項1に記載の基板ケース。 - 前記スロット部は、前記軸部の表面から内部に向けて間隔が徐々に狭くなる
請求項2に記載の基板ケース。 - 前記スロット部は、前記軸部の表面一周に亘って複数設けられる
請求項2又は3に記載の基板ケース。 - 前記保持部は、前記基板の巻き始めの一端部を前記軸部に固定する固定ピンを有する
請求項1から請求項4のうちいずれか一項に記載の基板ケース。 - 前記基板を前記軸部に巻いた状態で、前記基板の他端部のうち前記回路領域と異なる領域を前記軸部又は前記カバー部のうち少なくとも一方に固定させる固定部を更に備える
請求項1から請求項5のうちいずれか一項に記載の基板ケース。 - 前記固定部は、前記基板を挟むクランプ機構を有する
請求項6に記載の基板ケース。 - 前記軸部は、
前記基板の裏面のうち、一方の側端部の裏面が当接する第一端部と、前記基板の裏面のうち、他方の側端部の裏面が当接する第二端部と、前記基板の裏面のうち、前記第一端部と前記第二端部との間の中間部の裏面の少なくとも一部が当接する1つ以上のリブ部と、前記第一端部と前記第二端部と前記リブ部とを連結する連結部と
を有する
請求項1から請求項7のうちいずれか一項に記載の基板ケース。 - 前記第一端部及び前記第二端部の少なくとも一方は、前記軸部を駆動する駆動機構及び前記軸部を搬送する搬送機構のうち少なくとも一方に接続される被接続部を有する
請求項1から請求項8のうちいずれか一項に記載の基板ケース。 - 前記カバー部は、前記軸部を保持する軸部保持部を有する
請求項1から請求項9のうちいずれか一項に記載の基板ケース。 - 前記軸部保持部は、前記軸部の一部を露出させる露出部を有する
請求項10に記載の基板ケース。 - 前記カバー部は、前記基板を通過させる開口部を有する
請求項1から請求項11のうちいずれか一項に記載の基板ケース。 - 前記カバー部は、開閉可能に形成された蓋部を有する
請求項1から請求項12のうちいずれか一項に記載の基板ケース。 - 前記蓋部は、前記軸部を出し入れ可能に形成されている
請求項13に記載の基板ケース。 - 前記蓋部の閉状態を保持する閉状態保持部を更に備える
請求項13又は請求項14に記載の基板ケース。 - 回路生成プロセスが施された回路領域を有するシート状の基板を軸部に巻きつける巻き付け機構と、
前記基板を巻きつけた状態の前記軸部をカバー部に収容する搬送機構と
を備える基板収容装置。 - 前記巻き付け機構は、前記軸部を回転させる駆動機構を有する
請求項16に記載の基板収容装置。 - 前記巻き付け機構及び前記搬送機構は、前記軸部に接続する接続部を有する
請求項16又は請求項17に記載の基板収容装置。 - 前記軸部は、前記基板の巻き始めの一端部のうち、前記回路領域と異なる領域を保持する保持部を有し、
前記巻き付け機構は、前記保持部の位置を調整する位置調整機構を有する
請求項16から請求項18のうちいずれか一項に記載の基板収容装置。 - 前記カバー部は、前記基板を通過させる開口部を備え、
前記位置調整機構は、前記保持部と前記開口部とが対応するように前記保持部の位置を調整する
請求項19に記載の基板収容装置。 - 前記基板を前記軸部に巻いた状態で、前記基板の他端部のうち前記回路領域と異なる領域を前記軸部又は前記カバー部のうち少なくとも一方に固定させる固定機構を更に備える
請求項16から請求項20のうちいずれか一項に記載の基板収容装置。 - 前記カバー部として、開閉可能に形成された蓋部が設けられたカバー部が用いられ、
前記搬送機構は、前記蓋部を開閉させる開閉機構を有する
請求項16から請求項21のうちいずれか一項に記載の基板収容装置。
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