KR20120107099A - 기판 케이스 및 기판 수용 장치 - Google Patents

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가부시키가이샤 니콘
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Abstract

[과제] 시트 모양의 기판의 핸들링성을 높이는 것이다.
[해결 수단] 회로 생성 프로세스가 시행된 회로 영역을 가지는 시트 모양의 기판이 휘감기는 축부와, 해당 축부에 감긴 상태의 기판을 수용하는 커버부를 구비하며, 축부는, 기판의 감기시작 일단부 중, 회로 영역과 다른 영역을 유지하는 유지부를 가진다.

Description

기판 케이스 및 기판 수용 장치 {SUBSTRATE CASE AND SUBSTRATE ACCOMMODATION APPARATUS}
본 발명은, 기판 케이스 및 기판 수용 장치에 관한 것이다.
디스플레이 장치 등의 표시 장치를 구성하는 표시 소자로서, 예를 들면 액정 표시 소자, 유기 전계 발광(유기 EL) 소자, 전자 페이퍼에 이용되는 전기 영동(泳動) 소자 등이 알려져 있다. 현재, 이들 표시 소자로서, 기판 표면에 박막 트랜지스터로 불리는 스위칭 소자(Thin Film Transistor：TFT)를 형성한 후, 그 위에 각각의 표시 디바이스를 형성하는 능동적 소자(액티브 디바이스)가 주류로 되어가고 있다.
근년에는, 시트 모양의 기판(예를 들면 필름 부재 등) 상에 표시 소자를 형성하는 기술이 제안되고 있다. 이와 같은 기술로서, 예를 들면 롤·투·롤 방식(이하, 단지 「롤 방식」이라고 표기함)으로 불리는 방법이 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 롤 방식은, 기판 공급측의 공급용 롤러에 감긴 1매의 시트 모양의 기판(예를 들면, 띠 모양의 필름 부재)을 송출함과 아울러 송출된 기판을 기판 회수측의 회수용 롤러로 권취하면서 기판을 반송한다.
그리고, 기판이 송출되고 나서 권취될 때까지의 사이에, 복수의 처리 장치를 이용하여, TFT를 구성하는 게이트 전극, 게이트 산화막, 반도체막, 소스·드레인 전극 등을 형성한 후, 표시 소자의 구성요소를 기판 상에 순차적으로 형성한다. 예를 들면 기판 상에 유기 EL소자를 형성하는 경우에는, 발광층이나 양극, 음극, 전기 회로 등을 기판 상에 순차적으로 형성한다. 소자가 형성된 후의 기판은, 예를 들면, 띠 모양인 채로 후속 공정의 처리 장치에 반송되거나, 혹은 해당 기판을 절단함에 의해서 개개의 표시 장치로서 출하되거나 한다.
[특허 문헌 1] 국제공개 제2006／100868호 팜플렛
그렇지만, 이와 같이 형성된 기판을 노출 상태로 반송 혹은 출하하는 경우, 시트 모양의 기판이나 표시 소자, 스위칭 소자 등의 손상, 파손, 변형 혹은 이물의 부착 등이 고려되기 때문에, 신중하게 취급하는 것이 필요하다. 이 때문에, 예를 들면 출하시 혹은 반송시 등에서의 기판의 핸들링성을 높이는 것이 중요해진다.
상기와 같은 문제를 감안하여, 본 발명은, 시트 모양의 기판의 핸들링성을 높이는 것이 가능한 기판 케이스 및 기판 수용 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 제1 형태에 따르면, 회로 생성 프로세스가 시행된 회로 영역을 가지는 시트 모양의 기판이 휘감기는 축부와, 해당 축부에 감긴 상태의 기판을 수용하는 커버부를 구비하며, 축부는, 기판의 감기시작 일단부 중, 회로 영역과 다른 영역을 유지하는 유지부를 가지는 기판 케이스가 제공된다.
본 발명의 제2 형태에 따르면, 회로 생성 프로세스가 시행된 회로 영역을 가지는 시트 모양의 기판을 축부에 휘감는 휘감음 기구와, 기판을 휘감은 상태의 축부를 커버부에 수용하는 반송 기구를 구비하는 기판 수용 장치가 제공된다.
본 발명에 의하면, 시트 모양의 기판의 핸들링성을 높일 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시의 형태에 관한 기판 케이스의 구성을 나타내는 사시도.
도 2는 본 실시 형태에 관한 축부의 구성을 나타내는 사시도.
도 3은 본 실시 형태에 관한 축부의 일부의 구성을 나타내는 단면도.
도 4는 본 실시 형태에 관한 축부의 A－A 단면에 따른 구성을 나타내는 도면.
도 5는 본 실시 형태에 관한 커버부의 구성을 나타내는 사시도.
도 6은 본 실시 형태에 관한 기판 수용 장치의 구성을 나타내는 모식도.
도 7은 본 실시 형태에 관한 기판 수용 장치의 일부의 구성을 나타내는 평면도.
도 8은 본 실시 형태에 관한 기판 처리 장치 및 기판 수용 장치의 구성을 나타내는 모식도.
도 9는 본 실시 형태에 관한 시트 기판의 일부의 구성을 나타내는 도면.
도 10은 본 실시 형태에 관한 기판 수용 장치의 동작을 나타내는 도면.
도 11은 도 10의 동작도.
도 12는 본 발명에 관한 기판 케이스의 다른 구성을 나타내는 도면으로, (a) 사시도, (b) 단면도.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.
도 1은, 본 발명의 실시의 형태에 관한 기판 케이스(1)의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 기판 케이스(1)는 축부(2) 및 커버부(3)를 가지고 있으며, 축부(2)에 커버부(3)가 장착된 구성으로 되어 있다.
도 2는, 커버부(3)가 떼어내진 축부(2)의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 축부(2)는, 예를 들면 대략 원통 모양으로 형성되어 있으며, 예를 들면 필름 부재 등 시트 모양으로 형성된 기판(시트 기판, FB)이 휘감기는 부분이다. 축부(2)는, 예를 들면 경질의 골판지나 카턴(carton)지 등, 재생 가능한 재료를 이용하여 형성되어 있다. 물론, 다른 재료를 이용하여 형성된 구성이라도 상관없다.
본 실시 형태에서는, 시트 기판(FB)으로서, 예를 들면 수지 필름이나 스테인리스강 등의 박(箔, 포일(foil))이 이용된다. 예를 들면, 수지 필름은, 폴리에틸렌 수지, 폴리프로필렌 수지, 폴리에스테르 수지, 에틸렌 비닐 공중합체 수지, 폴리염화비닐 수지, 셀룰로오스 수지, 폴리아미드 수지, 폴리이미드 수지, 폴리카보네이트 수지, 폴리스티렌 수지, 아세트산 비닐 수지 등의 재료를 이용할 수 있다. 시트 기판(FB)에는, 회로 생성 프로세스가 시행된 회로 영역(RA, 도 9 참조)이 형성되어 있다.
축부(2)는, 제1 단부(21), 제2 단부(22), 리브부(23), 연결부(24) 및 유지부(25)를 가지고 있다. 제1 단부(21)의 표면, 제2 단부(22)의 표면 및 리브부(23)의 표면에는, 시트 기판(FB) 중 회로 영역(RA)이 형성된 면과는 반대측의 면이 맞닿아진다. 제1 단부(21), 제2 단부(22) 및 리브부(23)는, 연결부(24)에 의해서 연결된 구성으로 되어 있다.
제1 단부(21) 및 제2 단부(22)는, 시트 기판(FB)의 짧은 방향의 양단부, 즉, 시트 기판(FB)의 측단부(F1 및 F2)가 각각 맞닿아지게 되어 있다. 제1 단부(21) 및 제2 단부(22)에는, 외부의 회전 구동 기구나 반송 기구에 접속되는 피접속부(27 및 28)가 마련되어 있다. 이 때문에, 축부(2)를 회전시키는 경우나 반송하는 경우에는, 높은 구동 효율 또는 반송 효율을 얻을 수 있도록 되어 있다.
리브부(23)에는, 시트 기판(FB) 중 측단부 사이의 주요 부분이 맞닿아진다. 리브부(23)는, 제1 단부(21)와 제2 단부(22)와의 사이에 1개 이상 마련되어 있다. 본 실시 형태에서는, 리브부(23)는, 예를 들면 5개 마련되어 있다. 리브부(23)는, 축부(2)의 길이 방향을 따라서 배치되어 있다. 축부(2)는, 시트 기판(FB)의 주요 부분에 맞닿아지는 부분을 리브부(23)로 함으로써 일정한 강성을 유지하면서 경량화된 구성으로 되어 있다.
제1 단부(21), 제2 단부(22) 및 리브부(23) 각각의 간격은, 예를 들면 모두 등간격으로 해도 상관없고, 본 실시 형태와 같이, 예를 들면 제1 단부(21)와 해당 제1 단부(21)의 바로 근처의 리브부(23)과의 간격이 리브부(23)끼리의 간격보다도 작게 되어 있으며, 마찬가지로, 제2 단부(22)와 해당 제2 단부(22)의 바로 근처의 리브부(23)와의 간격이 리브부(23)끼리의 간격보다도 작게 되어 있는 구성이라도 상관없다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 유지부(25)는, 상기 시트 기판(FB)의 감기시작 단부(FH, 도 9 등 참조)로서 회로 영역(RA)으로부터 벗어난 영역을 유지한다. 유지부(25)는, 슬롯부(26)를 가지고 있다. 슬롯부(26)는, 시트 기판(FB)의 일단부(여기에서는, 단부(FH))가 삽입되는 개구부를 가지고 있다. 슬롯부(26)는, 축부(2)의 길이 방향을 따라서 예를 들면 제1 단부(21)와 제2 단부(22)와의 사이에 형성되어 있으며, 축부(2)의 지름 방향으로는 예를 들면 축부(2)의 표면으로부터 중심으로 향하여 형성되어 있다.
도 4는, 도 2에서의 A－A단면에 따른 구성을 나타내고 있다. 　
도 2 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에서는, 복수의 리브부(23)의 각각 일부에 노치부(23a)가 형성되어 있으며, 해당 노치부(23a)에 슬롯부(26)가 삽입된 구성으로 되어 있다. 따라서, 슬롯부(26)에 삽입되는 시트 기판(FB)의 감기시작 일단부는, 예를 들면 제1 단부(21)나 제2 단부(22)에 유지 되는 부분에 비해 짧은 방향의 치수가 작게 되도록 미리 형성된 다음에 슬롯부(26)에 삽입되도록 되어 있다. 이 슬롯부(26)는, 예를 들면 축부(2)의 표면 둘레에 걸쳐 복수 개소에 마련되어 있다. 본 실시 형태에서는, 슬롯부(26)가, 예를 들면 90°씩 어긋난 위치에 4개소 마련되어 있다.
또한, 시트 기판(FB)의 감기시작 일단부에 별도의 부재(예를 들면, 시트 기판(FB)의 리더 부재 등)를 붙인 구성으로 하고, 시트 기판(FB)의 짧은 방향에서의 해당 별도의 부재의 치수가, 시트 기판(FB)의 동일 방향의 치수에 비해 작게 되도록 구성해도 상관없다. 이 경우, 별도의 부재를 시트 기판(FB)에 붙이는 가공만으로 완료되기 때문에, 예를 들면 시트 기판(FB)을 절단하는 등의 번잡한 가공을 행하지 않아도 된다.
또, 제1 단부(21)나 제2 단부(22)의 일부에도 해당 슬롯부(26)를 배치시키기 위한 노치부를 마련하는 구성으로 하고, 슬롯부(26)가 제1 단부(21) 및 제2 단부(22)의 일부에까지 마련된 구성으로 해도 상관없다. 이 경우에는, 시트 기판(FB)의 감기시작 일단부를 가공하지 않고 해당 일단부를 슬롯부(26)에 삽입할 수 있게 된다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 슬롯부(26)는, 축부의 표면으로부터 중심을 향하여, 간격이 서서히 좁아지도록 형성되어 있다. 이 때문에, 슬롯부(26)에 시트 기판(FB)을 끼워 넣으면, 시트 기판(FB)이 슬롯부(26) 중 해당 간격이 좁아진 부분에 끼워져 유지되도록 되어 있다. 또한, 슬롯부(26)에, 시트 기판(FB)을 끼워 넣어 유지함과 아울러, 고정 핀(27)으로, 제1 단부(21) 또는 제2 단부(22)에 시트 기판(FB)의 단부(FH)를 더 고정해도 괜찮다.
구체적으로 설명하면, 슬롯부(26)의 내부에, 시트 기판(FB)의 폭방향에 관해서, 고정 핀(27)을 착탈 가능하게 복수 마련하고, 이 고정 핀(27)에 의해서, 시트 기판(FB)의 감기시작 일단부를 슬릿부(27)에 고정한다. 고정 핀(27)을 이용하여 시트 기판(FB)의 감기시작 일단부를 고정함으로써, 시트 기판(FB)의 일단부가 축부(2)의 길이 방향에 대해서 경사져 버리는 것을 회피할 수 있도록 되어 있다.
제1 단부(21) 및 제2 단부(22) 중 적어도 일방에는, 제1 단부(21) 및 제2 단부(22)의 적어도 일방의 표면과 함께, 시트 기판(FB)의 감기종료 단부(FH)를 협지(挾持, 끼워지지)하는 클램프 기구(29)가 마련되어 있다. 도 3은, 클램프 기구(29)의 구성을 나타내는 단면도이다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 클램프 기구(29)는, 누름판(29a) 및 금속 핀(29b)을 가지고 있으며, 금속 핀(29b)에 의해서 누름판(29a)이 제1 단부(21) 또는 제2 단부(22)에 고정되도록 되어 있다.
누름판(29a)은, 제1 단부(21) 또는 제2 단부(22)에 접촉하는 접촉부(29aa)와, 금속 핀(29b)이 삽입되는 관통공이 형성된 금속핀 장착부(29ab)와, 제1 단부(21) 및 제2 단부(22) 중 적어도 일방에 클램프 기구(29)가 장착되었을 때에, 제1 단부(21) 또는 제2 단부(22)와의 사이에 틈새를 형성하는 비접촉부(29ac)를 구비한다. 즉, 누름판(29a)은, 누름판(29a)의 양단 중, 일방의 단부에는 접촉부(29aa)를 구비하고, 타방의 단부에는 비접촉부(29ac)를 구비하며, 접촉부(29aa)와 비접촉부(29ac)와의 사이에는 금속핀 장착부(29ab)를 구비하는 구성이고, 그 단면에서 볼 때에는, 예를 들면 L자 모양으로 형성되어 있다. 제1 단부(21) 또는 제2 단부(22)에 누름판(29a)이 장착되었을 때에, 비접촉부(29ac)와, 제1 단부(21)의 표면 또는 제2 단부(22)의 표면과의 사이에 형성되는 틈새는, 시트 기판(FB)의 두께만큼의 크기이다. 또한, 시트 기판(FB)의 감기종료 타단부에, 감기시작 일단부와 마찬가지로, 별도의 부재를 붙인 구성으로 해도 좋다.
도 5는, 축부(2)로부터 떼어내진 상태의 커버부(3)의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 1 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 커버부(3)는, 축부(2)에 감긴 상태의 시트 기판(FB)을 예를 들면 축부(2)마다 수용한다. 커버부(3)는, 축부(2)와 마찬가지로, 예를 들면 경질의 골판지나 카턴지 등, 재생 가능한 재료를 이용하여 형성되어 있다. 물론, 다른 재료를 이용하여 형성된 구성이라도 상관없다.
도 5를 참조하여, 커버부(3)는, 커버 부재(30(30A 및 30B))와, 힌지부(33)를 가지고 있으며, 2개의 커버 부재(30)가 힌지부(33)를 매개로 개폐 가능하게 접속된 구성으로 되어 있다. 각 커버 부재(30)는, 양단부 각각에 마련된 축부 유지부(31(31A 및 31B))와, 보호부(32(32A 및 32B))와, 덮개부(34(34A 및 34B))를 가지고 있다. 또한, 커버 부재(30)의 외면(外面)에 도시하지 않은 손잡이 등이 마련된 구성이라도 상관없다.
축부 유지부(31A, 31B)의 구성은 동일한 구성이므로, 축부 유지부(31A)에 대해서 설명하고, 축부 유지부(31B)의 설명은 생략한다. 축부 유지부(31A)는, 축부(2)에 장착했을 때에 해당 축부(2)의 제1 단부(21)를 유지하는 부분이다. 보호부(32)는, 축부 유지부(31A)에 접속되어 축부(2)의 원주 방향을 따라서 만곡(灣曲)하도록 형성되어 있으며, 축부(2)에 감긴 시트 기판(FB)을 덮는 부분이다. 축부 유지부(31A)는, 제1 단부(21)가 노출되도록 축부(2)를 유지하는 구성으로 되어 있다. 힌지부(33)는, 예를 들면 2개의 커버 부재(30)를 개방 방향으로 탄성력을 작용시키는 탄성부(도시하지 않음)를 가지고 있다.
덮개부(34)는, 보호부(32)의 단부에 마련되어 있으며, 커버 부재(30A)와 커버 부재(30B)를 폐쇄한 상태에서 덮개부(34A)와 덮개부(34B)가 겹치도록 되어 있다. 예를 들면 덮개부(34A)와 덮개부(34B)가 겹친 상태에서, 고정 도구(35) 등을 이용하여 덮개부(34A)와 덮개부(34B)가 개방되지 않도록 고정함으로써, 커버 부재(30A)와 커버 부재(30B)와의 폐쇄 상태를 유지할 수 있도록 되어 있다.
다음에, 상기와 같이 구성된 기판 케이스(1)에 시트 기판(FB)을 수용하는 기판 수용 장치(100)의 구성을 설명한다. 　
도 6은, 기판 수용 장치(100)의 개략 구성도이다. 　
도 6에 나타내는 바와 같이, 기판 수용 장치(100)는, 기판 반입부(101), 수용 처리부(102), 케이스 공급부(103) 및 제어 장치(CONT)를 가지고 있다.
기판 반입부(101)는, 기판 수용 장치(100)의 내부에 시트 기판(FB)을 반입하는 기판 반입구(101a)를 가지고 있다. 기판 반입부(101)에는, 시트 기판(FB)의 반송 경로를 따라서 반송 롤러(101R) 및 가이드 부재(101G)가 마련되어 있다.
반송 롤러(101R)는, 해당 반송 경로를 따라서 예를 들면 복수 마련되어 있으며, 시트 기판(FB)을 수용 처리부(102)로 반송한다. 가이드 부재(101G)는, 반송 롤러(101R)에 의해서 반송되는 시트 기판(FB)을 안내한다. 기판 반입부(101) 중, 시트 기판(FB)의 반송 경로 상에는, 기판 절단부(104)가 마련되어 있다. 기판 절단부(104)는, 예를 들면 띠 모양으로 형성된 시트 기판(FB)을 개개의 시트 기판(FB)으로 절단한다.
수용 처리부(102)는, 벽부재(105A 및 105B)를 사이에 두고 기판 반입부(101)에 인접하여 배치되어 있다. 수용 처리부(102)는, 벽부재(105A)와 벽부재(105B)와의 사이에 형성되는 개구부(105C)를 통하여 기판 반입부(101)에 접속되어 있다. 수용 처리부(102)에는, 벽부재(105A)로부터 시트 기판(FB)의 반송 방향을 따라서 연장하는 가이드 부재(106)가 마련되어 있다.
가이드 부재(106)는 개구부(105C)로부터 반송되는 시트 기판(FB)을 안내한다. 가이드 부재(106)는 관절부(107)를 가지고 있으며, 해당 관절부(107)보다도 시트 기판(FB)의 반송 방향 하류측의 부위(선단 부분(106a))가 절곡되도록 되어 있다. 해당 선단 부분(106a)은, 예를 들면 지지 기구(108)의 일단에 접속되어 있다. 지지 기구(108)는 타단이 벽부재(105A)에 접속되어 있다. 따라서, 선단 부분(106a)은 지지 기구(108)를 통하여 벽부재(105A)에 지지되어 있다.
지지 기구(108)는, 예를 들면 피스톤 기구나 에어 실린더 기구 등을 가지고 있으며, 지지 방향으로 신축 가능하게 형성되어 있다. 지지 기구(108)의 신축량은 도시하지 않은 조정 기구 등에 의해 조정 가능하게 되어 있다. 지지 기구(108)가 소정의 신축량으로 신축함에 의해, 선단 부분(106a)이 관절부(107)를 중심으로 원하는 각도로 절곡되도록 되어 있다.
수용 처리부(102)는, 시트 기판(FB)을 반송하는 반송 기구(110)를 가지고 있다. 반송 기구(110)는, 반송 롤러(110a 및 110b)를 가지고 있다. 도 7은, 선단 부분(106a)의 구성을 나타내는 평면도이다. 또한, 도 7에서는, 도 6에서 나타낸 구성요소 중 일부의 도시를 생략하여 나타내고 있다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 반송 롤러(110a)는 안내면(106b)의 상측에 마련된다. 반송 롤러(110b)는, 예를 들면 선단 부분(106a)에 장착된다. 반송 롤러(110a) 및 반송 롤러(110b)는, 시트 기판(FB)의 반송 방향과 직교하는 방향으로 복수 배치되어 있다.
도 6에 나타내는 바와 같이, 각 반송 롤러(110a)는, 예를 들면 지지 아암(110c) 및 관절부(110d)를 통하여 벽부재(105B)에 접속되어 있다. 지지 아암(110c)은, 관절부(110d)를 중심으로 회동 가능하게 마련되어 있으며, 회동량이 도시하지 않은 조정 기구에 의해서 조정 가능하게 되어 있다. 지지 아암(110c)의 회동량을 조정함으로써, 선단 부분(106a)의 휨각도에 따라서, 반송 롤러(110b)에 대한 반송 롤러(110b)의 위치를 조정할 수 있다.
반송 롤러(110b)는, 선단 부분(106a)에 형성된 오목부에 장착되어 있다. 이 오목부는, 반송 롤러(110a)를 근접시킨 상태에서 해당 반송 롤러(110a)와 겹치는 위치에 형성되어 있다. 반송 롤러(110b)는, 안내면(106b)과 거의 면일(面一, 단차가 없음) 상태가 되도록 해당 오목부 내에 배치되어 있다. 반송 롤러(110b) 상에 시트 기판(FB)이 배치되어 있는 경우, 반송 롤러(110a)를 선단 부분(106a)에 근접시킴으로써, 해당 반송 롤러(110a)와 반송 롤러(110b)에 의해 시트 기판(FB)을 끼울 수 있도록 되어 있다. 반송 롤러(110a) 및 반송 롤러(110b) 중 적어도 일방에는 도시하지 않은 회전 구동 기구가 마련되어 있다. 해당 회전 구동 기구에 의해, 반송 롤러(110a) 및 반송 롤러(110b)가 회전하고, 이 회전력에 의해서 시트 기판(FB)이 반송되도록 되어 있다.
선단 부분(106a) 중 시트 기판(FB)의 안내면(106b)에는, 위치 조정 기구(109)가 마련되어 있다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 위치 조정 기구(109)는, 안내면(106b) 상에 시트 기판(FB)의 반송 경로를 사이에 두도록 한 쌍 마련되어 있다. 한 쌍의 위치 조정 기구(109)는, 시트 기판(FB)의 측변에 각각 맞닿도록 되어 있다. 해당 위치 조정 기구(109)에 의해서 시트 기판(FB)을 반송하면서 해당 시트 기판(FB)의 반송 방향을 교정하고, 해당 시트 기판(FB)의 반송처의 위치 맞춤을 행하도록 되어 있다.
선단 부분(106a)에 대해서 시트 기판(FB)의 반송 방향의 하류측에는, 상기 축부(2)를 유지하여 회전시키는 회전 구동 기구(111)가 배치되어 있다. 회전 구동 기구(111)는, 예를 들면 도 7에 나타내는 바와 같이, 축부(2)의 회전축 방향의 양단부를 사이에 두는 위치에 마련된 한 쌍의 회전자(111a)와, 해당 한 쌍의 회전자(111a)를 구동하는 구동부(111b)를 가지고 있다. 회전자(111a)는, 축부(2)에 대해서 피접속부(27 및 28)에 각각 접속되도록 되어 있다. 구동부(111b)는, 예를 들면 도시하지 않은 모터 등을 가지고 있다.
회전자(111a)는, 구동부(111b)의 구동에 의해서 축부(2)에 대해서 착탈 가능하게 마련되어 있음과 아울러, 축부(2)의 길이 방향을 회전축으로 하여 회전 가능하게 마련되어 있다. 회전자(111a)가 피접속부(27 및 28)에 접속된 상태에서 회전하는 것에 의해, 축부(2)가 회전하도록 되어 있다.
도 6에 나타내는 바와 같이, 회전자(111a)는, 선단 부분(106a)에 근접하는 위치에서 축부(2)를 유지하도록 배치되어 있다. 선단 부분(106a)의 도면 중 상측에는, 해당 축부(2)에 대해서, 클램프 기구(29)를 장착하는 클램프 장착 기구(112)가 마련되어 있다. 클램프 장착 기구(112)는, 예를 들면 도시하지 않은 구동 기구를 가지고 있으며, 축부(2)에 접근 가능함과 아울러 해당 축부(2)로부터 퇴피 가능하게 마련되어 있다.
회전 구동 기구(111)의 도면 중 하측에는, 커버 유지부(113) 및 커버 개폐 기구(114)가 마련되어 있다. 커버 유지부(113)는, 상기 커버부(3)를 유지하는 부분이다. 커버 개폐 기구(114)는, 커버 유지부(113)를 개폐시키는 부분이다. 커버 개폐 기구(114)는, 커버부(3)에 대해서 고정 도구(35)를 착탈시키는 도시하지 않은 착탈 기구를 가지고 있다. 또, 커버 개폐 기구(114)는, 예를 들면 커버부(3)의 덮개부(34)를 유지하는 도시하지 않은 유지부를 가짐과 아울러, 해당 덮개부(34)를 유지한 상태에서 이동 가능하게 마련되어 있다.
회전 구동 기구(111) 및 커버 유지부(113)의 하류측에는, 반출 기구(115)가 마련되어 있다. 반출 기구(115)는, 수용 처리부(102)의 케이스 반출구(102a)에 접속되어 있으며, 기판 케이스(1)를 케이스 반출구(102a)로 안내하는 부분이다. 반출 기구(115)는, 예를 들면 케이스 반출구(102a)측이 하측이 되도록 경사진 가이드 부재(115a)를 가지고 있다. 기판 케이스(1)는, 해당 가이드 부재(115a) 상을 굴러서 케이스 반출구(102a)로 안내되도록 되어 있다.
케이스 공급부(103)는, 예를 들면 반출 기구(115)의 도면 중 상측에 배치되어 있다. 케이스 공급부(103)에는, 복수의 기판 케이스(1)가 수용되어 있다. 케이스 공급부(103)에 수용되어 있는 각 기판 케이스(1)는, 각각 축부(2)와 커버부(3)가 일체로 되어 있다. 케이스 공급부(103)는, 케이스 공급구(103a)를 통하여 수용 처리부(102)에 접속되어 있다.
케이스 공급부(103)와 수용 처리부(102)와의 사이에는, 케이스 반송 기구(116)가 마련되어 있다. 이 케이스 반송 기구(116)는, 케이스 공급부(103)와 수용 처리부(102)와의 사이에서 기판 케이스(1)를 반송 가능하게 마련되어 있다. 케이스 반송 기구(116)는, 축부(2)의 피접속부(27 및 28)에 접속되는 이동자(116a)와, 해당 이동자(116a)를 구동하는 구동부(116b)를 가지고 있다. 이동자(116a)는, 예를 들면 축부(2)의 길이 방향의 단부를 사이에 두는 위치에 한 쌍 마련되어 있다. 구동부(116b)는, 한 쌍의 이동자(116a)를 동기(同期)하여 구동하도록 되어 있다. 이동자(116a)는, 예를 들면 케이스 공급부(103), 회전 구동 기구(111) 및 커버 유지부(113) 각각에 대해서 이동 가능하게 마련되어 있다. 따라서, 케이스 반송 기구(116)는, 해당 케이스 공급부(103), 회전 구동 기구(111) 및 커버 유지부(113)의 사이에서, 기판 케이스(1) 또는 그 일부를 반송하도록 되어 있다.
상기와 같이 구성된 기판 수용 장치(100)는, 예를 들면 시트 기판(FB)에 회로 영역을 형성하는 기판 처리 장치 등에 접속하여 이용된다. 　
도 8은, 기판 수용 장치(100)를 기판 처리 장치(FPA)에 접속하여 이용했을 경우의 구성을 나타내는 도면이다.
도 8에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 장치(FPA)는, 시트 기판(예를 들면, 필름 부재, FB)을 공급하는 기판 공급부(SU), 시트 기판(FB)에 대해서 처리를 행하는 기판 처리부(PR) 및 전술한 기판 수용 장치(100)를 가지고 있다. 기판 처리 장치(FPA)는, 예를 들면 공장 등에 마련되어 이용된다.
기판 처리 장치(FPA)에서는, 이른바 롤·투·롤 방식(이하, '롤 방식'이라고 표기함)에 의해서 시트 기판(FB) 상에 회로 영역(RA) 등이 형성된다. 우선, 기판 공급부(SU)에 마련되는 롤러에 띠 모양의 시트 기판(FB)을 휘감은 상태로 하고, 기판 공급부(SU)로부터 해당 시트 기판(FB)이 송출되도록 한다.
기판 처리부(PR)는, 반송 장치(230)와, 반송 과정에서 시트 기판(FB)의 처리면(Fp)에 대해서 처리를 행하는 처리 장치(210)를 구비한다. 　
반송 장치(230)는, 기판 공급부(SU)로부터 공급되는 시트 기판(FB)을 기판 처리부(PR) 내로 반송함과 아울러, 기판 회수부(CL)측으로 반송하는 롤러 장치(R)를 가지고 있다. 롤러 장치(R)는, 시트 기판(FB)의 반송 경로를 따라서 예를 들면 복수 마련되어 있다. 복수의 롤러 장치(R) 중 적어도 일부의 롤러 장치(R)에는, 구동 기구(도시하지 않음)가 장착되어 있다. 이와 같은 롤러 장치(R)가 회전하는 것에 의해, 시트 기판(FB)이 소정 방향으로 반송되도록 되어 있다. 복수의 롤러 장치(R) 중 예를 들면 일부의 롤러 장치(R)가 반송 방향과 직교하는 방향으로 이동 가능하게 마련된 구성이라도 상관없다.
처리 장치(210)는, 반송 장치(230)에 의해서 반송된 시트 기판(FB)의 처리면(Fp)에 대해서, 예를 들면 회로 영역(RA)을 형성하기 위한 각종 장치를 가지고 있다. 이와 같은 장치로서는, 예를 들면 처리면(Fp) 상에 전극을 형성하기 위한 전극 형성 장치나, 처리면(Fp)에 스위칭 소자를 형성하는 소자 형성 장치 등을 들 수 있다. 또, 유기 EL소자 등의 표시 소자를 형성하는 경우에는, 격벽을 형성하기 위한 격벽 형성 장치, 발광층을 형성하는 발광층 형성 장치 등이 이용된다. 보다 구체적으로는, 액적 도포 장치(예를 들면 잉크젯형 도포 장치, 스핀 코트(spin coat)형 도포 장치 등), 증착 장치, 스패터링 장치 등의 성막(成膜) 장치나, 노광 장치, 현상 장치, 표면 개질 장치, 세정 장치 등을 들 수 있다. 이들 각 장치는, 예를 들면 시트 기판(FB)의 반송 경로 상에 적절히 마련되어 있다. 또한, 기판 처리부(PR)는, 시트 기판(FB)에 대해서 얼라이먼트 동작 등을 행하는 얼라이먼트 기구 등을 더 가지고 있어도 상관없다.
그리고, 반송 장치(230)에 의해서 시트 기판(FB)을 기판 처리부(PR) 내에서 적절히 반송함과 아울러, 처리 장치(210)에 의해서 예를 들면 도 9에 나타내는 바와 같은 회로 영역(RA)이 시트 기판(FB) 상의 길이 방향을 따라서 예를 들면 복수 형성된다. 시트 기판(FB)에 형성되는 회로 영역(RA)에는, 예를 들면 표시 영역(DA)에 형성되는 표시 소자 및 스위칭 소자나, 드라이버 영역(DR)에 형성되는 드라이버 회로 등을 포함하고 있다. 회로 영역(RA)이 형성된 시트 기판(FB)은, 순차적으로 기판 처리부(PR)로부터 반출된다.
시트 기판(FB)의 폭 방향(짧은 방향)의 치수는 예를 들면 1m ~ 2m 정도로 형성되어 있으며, X 방향(길이 방향)의 치수는 예를 들면 10m 이상으로 형성되어 있다. 물론, 이 치수는 일례에 불과하며, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 시트 기판(FB)의 Y 방향의 치수가 50cm 이하라도 상관없고, 2m 이상이라도 상관없다. 또, 시트 기판(FB)의 X 방향의 치수가 10m 이하라도 상관없다.
상기 기판 수용 장치(100)는, 예를 들면 기판 처리 장치(FPA) 중 시트 기판(FB)의 반송 방향의 하류측에 접속되어 이용된다. 기판 처리 장치(FPA)로부터 반출된 시트 기판(FB)은, 예를 들면 띠 모양인 채로, 기판 수용 장치(100)의 기판 반입구(101a)로 반입되도록 되어 있다.
다음에, 상기와 같이 구성된 기판 수용 장치(100)의 동작을 설명한다. 　
제어 장치(CONT)는, 케이스 반송 기구(116)를 제어하여, 케이스 반송 기구(116)를 케이스 공급부(103)에 이동시켜, 기판 케이스(1)를 수용 처리부(102)로 반입시킨다. 본 실시 형태에서는, 커버부(3)의 축부 유지부(31)가 축부(2)의 제1 단부(21) 및 제2 단부(22)를 노출하도록 유지하고 있기 때문에, 해당 제1 단부(21)에 형성되는 피접속부(27) 및 제2 단부(22)에 형성되는 피접속부(28)가 노출된 상태로 되어 있다. 따라서, 커버부(3)와 축부(2)가 일체로 되어 있는 상태라도, 케이스 반송 기구(116)의 이동자(116a)를 피접속부(27 및 28)의 각각에 접속시킬 수 있다.
그 후, 제어 장치(CONT)는, 케이스 반송 기구(116)를 제어하여, 케이스 반송 기구(116)를 커버 유지부(113)로 이동시키고, 기판 케이스(1)의 커버부(3)를 유지 시킴과 아울러, 커버 개폐 기구(114)를 개방 상태로 하여, 축부(2)를 커버부(3)로부터 분리시킨다. 다음에, 제어 장치(CONT)는, 케이스 반송 기구(116)를 회전 구동 기구(111)로 이동시켜, 커버부(3)로부터 분리시킨 축부(2)를 회전 구동 기구(111)에 넘긴다. 제어 장치(CONT)는, 축부(2)를 선단 부분(106a)에 근접하는 위치에 유지시킴과 아울러, 회전 구동 기구(111)의 회전 위치를 조정시켜 축부(2)의 슬롯부(26)가 시트 기판(FB)의 반송 방향의 상류측을 향하게 된 상태로 해 둔다.
이 상태에서, 제어 장치(CONT)는 반송 롤러(101R)를 구동시켜, 기판 반입구(101a)를 통하여 기판 수용 장치(100) 내로 반입된 시트 기판(FB)을 반송한다. 시트 기판(FB)이 기판 절단부(104)에 도달했을 때, 제어 장치(CONT)는, 기판 절단부(104)를 이용하여, 예를 들면 도 9에 나타내는 바와 같이, 시트 기판(FB)을 회로 영역(RA)마다 절단시킨다. 이 때, 예를 들면 시트 기판(FB)의 감기시작 단부(FH)에 절취선(M)을 형성해 둔다. 또, 이 때에 단부(FH)의 형상을 슬롯부(26)에 삽입 가능한 형상으로 조정해도 상관없다.
도 10에 나타내는 바와 같이, 시트 기판(FB)이 절단된 후, 제어 장치(CONT)는, 절단된 각 시트 기판(FB)을 수용 처리부(102)로 반송한다. 시트 기판(FB)은, 가이드 부재(106)를 따라서 수용 처리부(102) 내로 안내된다. 제어 장치(CONT)는, 지지 기구(108)를 구동시켜 선단 부분(106a)을 수평으로 지지하고, 시트 기판(FB)이 선단 부분(106a) 상을 통과하도록 한다. 이 때, 축부(2)의 슬롯부(26)가 선단 부분(106a)의 근방에 배치되게 된다. 시트 기판(FB)은, 선단 부분(106a) 상을 통과하는 과정에서, 위치 조정 기구(109)에 의해서 반송 방향의 직교 방향에서의 위치가 조정된다. 또한, 지지 기구(108)는, 회전 구동 기구(111)에 기판 케이스(1)의 축부(2)가 반송되기 전, 기판 케이스(1) 또는 축부(2)가 선단 부분(106a)에 간섭하는 것을 막기 위해서, 선단 부분(106a)을 수평 방향에서 하측으로 절곡된 상태로 해도 괜찮다. 또, 지지 기구(108)를 제어하고, 회전 구동 기구(111)에 지지된 축부(2)의 높이에 맞추어, 선단 부분(106a)으로부터 권출되는 시트 기판(FB)의 높이 위치를 조정해도 괜찮다.
또, 제어 장치(CONT)는, 반송 롤러(110a)를 선단 부분(106a)의 반송 롤러(110b) 상에 배치시켜, 시트 기판(FB)을 반송 가능한 상태로 한다. 반송 롤러(110a) 및 반송 롤러(110b)와의 사이에 도달한 시트 기판(FB)은, 해당 반송 롤러(110a) 및 반송 롤러(110b)에 의해서 반송 방향의 하류측으로 반송되어, 시트 기판(FB)의 감기시작 단부(FH)가 슬롯부(26)에 삽입된다. 슬롯부(26)에 대한 단부(FH)의 삽입량은, 단부(FH)에 형성된 절취선(M)이 슬롯부(26)의 개구부 부근이 되도록 조정된다. 예를 들면, 이 삽입량은, 제어 장치(CONT)가, 슬롯부(26)에 대한 시트 기판(FB)의 이송량에 의해서 조정해도 괜찮다. 혹은, 슬롯부(26)에 단부(FH)가 삽입된 상태를 고려하여, 미리 절취선(M)의 가공 위치를 조정해도 괜찮다. 시트 기판(FB)은, 회로 영역(RA)과는 다른 영역만이 슬롯부(26)에 삽입되어 유지되기 때문에, 회로 영역(RA)에 대한 손상 등이 회피되게 된다.
시트 기판(FB)의 단부(FH)가 슬롯부(26)에 삽입된 후, 제어 장치(CONT)는, 도 11에 나타내는 바와 같이, 회전자(111a)를 회전시킴으로써 축부(2)를 회전시킨다. 또한, 축부(2)를 회전시키기 전에, 전술한 바와 같이, 슬롯부(26) 내의 단부(FH)를 고정 핀(26p)으로 고정해도 좋다. 그리고, 축부(2)의 회전에 의해, 시트 기판(FB)이 축부(2)에 권취된다. 이 때, 시트 기판(FB)의 절취선(M)이 권취 방향을 따라서 절곡되기 때문에, 시트 기판(FB)의 일부가 돌출하지 않고 부드럽게 권취된다.
시트 기판(FB)을 다 감은 후, 제어 장치(CONT)는, 클램프 장착 기구(112)에 의해서 축부(2)에 클램프 기구(29)를 장착시켜, 축부(2)에 휘감은 시트 기판(FB)의 감기종료 단부(FH)를 제1 단부(21) 및 제2 단부(22)의 적어도 일방에 고정한다. 클램프 기구(29)를 장착한 후, 제어 장치(CONT)는, 축부(2)를 회전 구동 기구(111)로부터 상기 케이스 반송 기구(116)에 넘기도록 하고, 케이스 반송 기구(116)에 의해서 축부(2)를 커버부(3) 내에 수용시킨다.
제어 장치(CONT)는, 축부(2)가 커버부(3) 내에 수용된 후, 커버 개폐 기구(114)에 의해서 커버부(3)를 폐쇄 상태로 하고, 커버부(3)의 덮개부(34)에 고정 도구(35)를 장착하여 폐쇄 상태를 유지시킨다. 이것에 의해, 축부(2)와 커버부(3)가 일체가 되어 기판 케이스(1)의 상태로 됨과 아울러, 축부(2)에 휘감긴 시트 기판(FB)이 커버부(3)에 수용되게 된다. 제어 장치(CONT)는, 케이스 반송 기구(116)에 의해서 기판 케이스(1)를 반출 기구(115)로 반송한다. 기판 케이스(1)는, 반출 기구(115)를 통하여 케이스 반출구(102a)로 보내어지고, 해당 케이스 반출구(102a)로부터 기판 수용 장치(100)의 외부로 반출된다.
상기의 동작을, 예를 들면 시트 기판(FB)의 회로 영역(RA) 마다 반복하여 행하는 것에 의해, 회로 영역(RA)이 형성된 시트 기판(FB)이 기판 케이스(1)에 수용된 상태에서, 해당 기판 케이스(1)가 순차적으로 케이스 반출구(102a)로부터 반출되게 된다. 이와 같이 형성된 기판 케이스(1)는, 예를 들면 반출된 상태에서 출하되거나, 혹은, 후속 공정의 라인 등에 반송되거나 하게 된다.
이상과 같이, 본 실시 형태의 기판 케이스(1)는, 회로 생성 프로세스가 시행된 회로 영역(RA)을 가지는 시트 기판(FB)이 휘감기는 축부(2)와, 해당 축부(2)에 감긴 상태의 시트 기판(FB)을 수용하는 커버부(3)를 구비하며, 축부(2)는 시트 기판(FB)의 감기시작 단부(FH) 중, 회로 영역(RA)과 다른 영역을 유지하는 유지부(25)를 가지는 것으로 했으므로, 시트 기판(FB)의 회로 영역(RA)에 악영향을 미치지 않고, 시트 기판(FB)을 수용할 수 있다. 이것에 의해, 시트 기판(FB)의 핸들링성을 높일 수 있다.
또, 본 실시 형태의 기판 수용 장치(100)는, 회로 생성 프로세스가 시행된 회로 영역(RA)을 가지는 시트 기판(FB)을 축부(2)에 휘감는 휘감음 기구로서의 회전 구동 기구(111)와, 시트 기판(FB)을 휘감은 상태의 축부(2)를 커버부(3)에 수용하는 케이스 반송 기구(116)를 구비하는 것으로 했으므로, 시트 기판(FB)을 부드럽게 기판 케이스(1)에 수용할 수 있다. 이것에 의해, 시트 기판(FB)의 핸들링성을 높일 수 있다.
본 발명의 기술 범위는 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 적절히 변경을 더할 수 있다.
상기 실시 형태에서는, 축부(2)와 커버부(3)를 분리한 상태에서 축부(2)에 시트 기판(FB)을 휘감는 구성을 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되지는 않고, 예를 들면 축부(2)와 커버부(3)가 일체로 되어 있는 상태에서 축부(2)에 시트 기판(FB)을 휘감을 수 있는 구성이라도 상관없다.
이 경우, 예를 들면 도 12의 (a)에 나타내는 바와 같이, 커버부(3)에 개구부(3a)가 마련된 구성으로 할 수 있다. 이 커버부(3)는, 커버 부재(30A 및 30B)가 예를 들면 힌지부(33)를 매개로 접속되어 있으며, 해당 커버 부재(30A)와 커버 부재(30B)와의 개폐 경계 부분에 개구부(3a)가 배치된 구성으로 되어 있다. 또, 커버부(3)의 단부는, 축부(2)의 피접속부(27 및 28)가 노출한 상태로 되어 있다. 이 때문에, 커버부(3)와 축부(2)가 일체인 채로 외부의 접속부(예를 들면 상기의 회전자(111a), 이동자(116a) 등)에 접속시킬 수 있도록 되어 있다.
도 12의 (b)는, 도 12의 (a)의 B－B단면에 따른 형상을 나타내는 도면이다. 도 12의 (b)에 나타내는 바와 같이, 축부(2)에는, 이 개구부(3a)에 대응하는 위치에 슬롯부(26)가 마련되어 있다. 또한, 슬롯부(26)는, 축부(2)의 표면으로부터 내부에 걸쳐 형성되어 있지만, 축부(2)의 중심으로부터 약간 벗어나도록 형성되어 있다. 이 경우, 시트 기판(FB)을 휘감을 때, 시트 기판(FB)의 감기시작 단부(FH)에 형성되는 접는금의 각도를 얕게 할 수 있다. 이것에 의해, 예를 들면 상기 실시 형태와 같은 절취선(M)을 형성하지 않아도, 시트 기판(FB)에 요철이 형성되지 않고 부드럽게 휘감을 수 있다.
또한, 개구부(3a)의 배치에 대해서는, 도 12의 (a) 및 도 12의 (b)에 나타내어지는 구성에 한정되지 않고, 예를 들면 커버 부재(30A) 및 커버 부재(30B)의 어느 위치라도 상관없다.
또, 본 실시 형태에서는, 회로 프로세스가 시행된 회로 영역(RA)을 가지는 시트 기판(FB)을 기판 케이스(1)에 수용하는 구성에 대해서 설명했다. 기판 케이스(1)에 수용하는 시트 기판(FB)으로서는, 표시 장치를 구성하는 모든 회로 프로세스가 시행된 회로 영역(RA)을 가지는 것(완성품)이라도, 모든 회로 프로세스 중 일부의 회로 프로세스가 시행된 회로 영역(RA, 중간품)이라도 괜찮다.
게다가, 본 실시 형태에서는, 기판 절단부(104)를 기판 반입부(101) 내에 설치했지만, 수용 처리부(102) 내에 설치해도 괜찮다. 예를 들면, 수용 처리부(102) 중, 선단 부분(106a)의 반송 방향 하류측에 설치해도 괜찮다.
또, 본 실시 형태에서의 기판 케이스(1)의 커버 부재(30)는, 원기둥 모양으로 형성했지만 원기둥 모양으로 한정되지 않고, 사각 기둥으로 형성해도 좋다.
또, 본 실시 형태에서의 기판 케이스(1)는, 한 개의 케이스에 한 매의 시트 기판(FB)을 수용하는 구성에 대해서 설명했지만, 한 개의 케이스에 두 매 이상의 시트 기판(FB)을 절단 혹은 절단하지 않고 수용해도 괜찮다.
FB … 시트 기판 RA … 회로 영역
FH … 단부 1 … 기판 케이스
2 … 축부 3 … 커버부
21 … 제1 단부 22 … 제2 단부
23 … 리브부 25 … 유지부
26 … 슬롯부 26p … 고정 핀
27, 28 … 피접속부 29 … 클램프 기구
30 … 커버 부재 34 … 덮개부
100 … 기판 수용 장치 CONT … 제어 장치
104 … 기판 절단부 109 … 위치 조정 기구
110 … 반송 기구 111 … 회전 구동 기구
112 … 클램프 장착 기구 113 … 커버 유지부
114 … 커버 개폐 기구 115 … 반출 기구
116 … 케이스 반송 기구

Claims (22)

  1. 회로 생성 프로세스가 시행된 회로 영역을 가지는 시트 모양의 기판이 휘감기는 축부와,
    상기 축부에 감긴 상태의 상기 기판을 수용하는 커버부를 구비하며,
    상기 축부는, 상기 기판의 감기시작 일단부 중, 상기 회로 영역과 다른 영역을 유지하는 유지부를 가지는 기판 케이스.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 유지부는, 상기 축부의 표면으로부터 중심을 향하여 형성된 슬롯부를 가지는 기판 케이스.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 슬롯부는, 상기 축부의 표면으로부터 중심을 향하여 간격이 서서히 좁아지는 기판 케이스.
  4. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
    상기 슬롯부는, 상기 축부의 표면 둘레에 걸쳐 복수 마련되는 기판 케이스.
  5. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 유지부는, 상기 기판의 감기시작 일단부를 상기 축부에 고정하는 고정 핀을 가지는 기판 케이스.
  6. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 기판을 상기 축부에 감은 상태에서, 상기 기판의 타단부 중 상기 회로 영역과 다른 영역을 상기 축부 또는 상기 커버부 중 적어도 일방에 고정시키는 고정부를 더 구비하는 기판 케이스.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 고정부는, 상기 기판을 끼우는 클램프 기구를 가지는 기판 케이스.
  8. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 축부는,　
    상기 기판의 이면(裏面) 중, 일방의 측단부의 이면이 맞닿는 제1 단부와, 상기 기판의 이면 중, 타방의 측단부의 이면이 맞닿는 제2 단부와, 상기 기판의 이면 중, 상기 제1 단부와 상기 제2 단부와의 사이의 중간부의 이면의 적어도 일부가 맞닿는 1개 이상의 리브(rib)부와, 상기 제1 단부와 상기 제2 단부와 상기 리브부를 연결하는 연결부를 가지는 기판 케이스.
  9. 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 제1 단부 및 상기 제2 단부의 적어도 일방은, 상기 축부를 구동하는 구동 기구 및 상기 축부를 반송하는 반송 기구 중 적어도 일방에 접속되는 피접속부(被接續部)를 가지는 기판 케이스.
  10. 청구항 1 내지 청구항 9 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 커버부는, 상기 축부를 유지하는 축부 유지부를 가지는 기판 케이스.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 축부 유지부는, 상기 축부의 일부를 노출시키는 노출부를 가지는 기판 케이스.
  12. 청구항 1 내지 청구항 11 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 커버부는, 상기 기판을 통과시키는 개구부를 가지는 기판 케이스.
  13. 청구항 1 내지 청구항 12 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 커버부는, 개폐 가능하게 형성된 덮개부를 가지는 기판 케이스.
  14. 청구항 13에 있어서,
    상기 덮개부는, 상기 축부를 출입 가능하게 형성되어 있는 기판 케이스.
  15. 청구항 13 또는 청구항 14에 있어서,
    상기 덮개부의 폐쇄 상태를 유지하는 폐쇄 상태 유지부를 더 구비하는 기판 케이스.
  16. 회로 생성 프로세스가 시행된 회로 영역을 가지는 시트 모양의 기판을 축부에 휘감는 휘감음 기구와,
    상기 기판을 휘감은 상태의 상기 축부를 커버부에 수용하는 반송 기구를 구비하는 기판 수용 장치.
  17. 청구항 16에 있어서,
    상기 휘감음 기구는, 상기 축부를 회전시키는 구동 기구를 가지는 기판 수용 장치.
  18. 청구항 16 또는 청구항 17에 있어서,
    상기 휘감음 기구 및 상기 반송 기구는, 상기 축부에 접속하는 접속부를 가지는 기판 수용 장치.
  19. 청구항 16 내지 청구항 18 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 축부는, 상기 기판의 감기시작 일단부 중, 상기 회로 영역과 다른 영역을 유지하는 유지부를 가지며,
    상기 휘감음 기구는, 상기 유지부의 위치를 조정하는 위치 조정 기구를 가지는 기판 수용 장치.
  20. 청구항 19에 있어서,
    상기 커버부는, 상기 기판을 통과시키는 개구부를 구비하며,
    상기 위치 조정 기구는, 상기 유지부와 상기 개구부가 대응하도록 상기 유지부의 위치를 조정하는 기판 수용 장치.
  21. 청구항 16 내지 청구항 20 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 기판을 상기 축부에 감은 상태에서, 상기 기판의 타단부 중 상기 회로 영역과 다른 영역을 상기 축부 또는 상기 커버부 중 적어도 일방에 고정시키는 고정 기구를 더 구비하는 기판 수용 장치.
  22. 청구항 16 내지 청구항 21 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 커버부로서, 개폐 가능하게 형성된 덮개부가 마련된 커버부가 이용되며,
    상기 반송 기구는, 상기 덮개부를 개폐시키는 개폐 기구를 가지는 기판 수용 장치.
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