KR101756496B1

KR101756496B1 - 기판 처리 장치

Info

Publication number: KR101756496B1
Application number: KR1020127025863A
Authority: KR
Inventors: 도모히데 하마다; 게이 나라; 다카시 마스카와; 도루 기우치
Original assignee: 가부시키가이샤 니콘
Priority date: 2010-04-09
Filing date: 2011-04-11
Publication date: 2017-07-10
Also published as: HK1175059A1; JPWO2011126132A1; CN102835189A; TWI557834B; KR20170049634A; KR20180058853A; KR101887856B1; CN102835189B; TW201731010A; JP5708642B2; TW201620067A; JP2014195070A; WO2011126132A1; HK1219171A1; KR20130041777A; TWI611500B; KR101756628B1; JP5858068B2; CN105632978A; TWI587433B

Abstract

띠 모양으로 형성된 기판의 짧은 방향을 세운 상태로, 기판을 공급하는 기판 공급부와, 해당 기판 공급부로부터 공급되는 기판을 세운 상태로 반송하는 반송부 및 해당 반송부에 의한 기판의 반송 경로를 따라서 배치되어 세운 상태의 기판의 피처리면에 대해서 처리를 행하는 복수의 처리부를 가지는 기판 처리부와, 해당 기판 처리부에서 처리가 행해진 기판을 세운 상태로 회수하는 기판 회수부를 구비한다.

Description

기판 처리 장치 {SUBSTRATE PROCESSING DEVICE}

본 발명은, 기판 처리 장치에 관한 것이다.

본원은, 2010년 4월 9일에 출원된 미국 가출원 61/322347호 및 2010년 4월 9일에 출원된 미국 가출원 61/322417호에 근거하여 우선권을 주장하고, 그 내용을 여기에 원용한다.

디스플레이 장치 등의 표시 장치를 구성하는 표시 소자로서, 예를 들면 액정 표시 소자, 유기 전계 발광(유기 EL) 소자, 전자 페이퍼(paper)에 이용되는 전기 영동(泳動) 소자 등이 알려져 있다. 현재, 이들의 표시 소자로서, 기판 표면에 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor：TFT)로 불리는 스위칭 소자나 증폭 소자 또는 전류 구동 소자 등을 형성한 후, 그 위에 각각의 표시 디바이스를 형성하는 능동적 표시 소자(액티브 디스플레이 디바이스)가 주류가 되어오고 있다.

최근에는, 시트 모양의 기판(예를 들면 필름 부재 등) 상에 표시 소자를 형성하는 기술이 제안되고 있다. 이와 같은 기술로서, 예를 들면 롤·투·롤 방식(이하, 단지「롤 방식」이라고 표기함)으로 불리는 수법이 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 롤 방식은, 기판 공급측의 공급용 롤러에 감긴 기판(예를 들면, 띠 모양의 필름 부재)을 송출함과 아울러, 송출된 기판을 기판 회수측의 회수용 롤러에서 권취하면서 기판을 반송한다.

그리고, 기판이 송출되고 나서 권취될 때까지의 사이에, 예를 들면 복수의 반송 롤러 등을 이용하여 기판을 반송하면서, 복수의 처리 장치를 이용하여 TFT를 구성하는 게이트 전극, 게이트 절연막, 반도체막, 소스·드레인 전극 등을 형성하고, 기판의 피처리면 상에 표시 소자의 구성 요소를 순차 형성한다. 예를 들면, 유기 EL 소자를 형성하는 경우에는, 발광층, 양극, 음극, 전기 회로 등을 기판 상에 순차 형성한다.

특허 문헌 1 : 국제공개 제2006/100868호 팜플렛

그렇지만, 상기의 수법에서는, 기판의 반송 경로를 따라서 처리 장치를 배치할 필요가 있기 때문에, 예를 들면 기판의 반송 형태에 따라서는 장치 전체가 대형화해 버린다.

본 발명에 관한 형태는, 공간 절약화가 가능한 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

일 형태에 의한 기판 처리 장치는, 띠 모양으로 형성된 기판을 길이 방향으로 반송하고, 상기 기판의 피처리면을 처리하는 기판 처리 장치로서, 상기 기판의 짧은 방향을 수평 방향에 대해서 교차한 상태로, 상기 기판을 공급하는 기판 공급부와, 상기 기판 공급부로부터 공급되는 상기 기판을 상기 교차한 상태로 반송하는 반송부 및 해당 반송부에 의한 상기 기판의 반송 경로를 따라서 배치되어 상기 교차한 상태의 상기 기판의 피처리면에 대해서 처리를 행하는 복수의 처리부를 가지는 기판 처리부와, 상기 기판 처리부에서 처리가 행해진 상기 기판을 상기 교차한 상태로 회수하는 기판 회수부를 구비한다.

일 형태에 의한 기판 처리 장치는, 띠 모양으로 형성된 기판을 길이 방향으로 반송하고, 상기 기판의 피처리면을 처리하는 기판 처리 장치로서, 제1 지지부 및 제2 지지부를 구비하는 지지 기구와, 상기 제1 지지부에 상기 기판을 반송하는 제1 반송 기구와, 상기 기판의 피처리면이 상기 제1 지지부로 반송된 후, 상기 기판의 반송 방향을 상기 제2 지지부를 향하여 반송 방향을 변환하는 변환부와, 상기 기판 중, 상기 제1 지지부에서 지지된 피처리면에 제1 처리를 행하는 제1 처리부와, 상기 기판 중, 상기 제2 지지부에서 지지된 피처리면에 제2 처리를 행하는 제2 처리부를 구비한다.

본 발명에 관한 형태에 의하면, 공간 절약화가 가능한 기판 처리 장치를 제공할 수 있다.

도 1은 제1 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 구성을 나타내는 사시도.
도 2는 본 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 구성을 나타내는 평면도.
도 3은 제2 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 구성을 나타내는 평면도.
도 4는 제3 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 구성을 나타내는 평면도.
도 5는 제4 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 구성을 나타내는 사시도.
도 6은 본 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 구성을 나타내는 평면도.
도 7은 본 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 구성을 나타내는 평면도.
도 8은 본 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 구성을 나타내는 평면도.
도 9는 제５ 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 구성을 나타내는 사시도.
도 10은 제6 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 구성을 나타내는 평면도.
도 11은 제7 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 구성을 나타내는 평면도.
도 12는 다른 실시 형태에 의한 기판 처리 장치의 구성을 나타내는 평면도.

[제1 실시 형태］　

다음에, 제1 실시 형태에 관한 기판 처리 장치를 설명한다. 도 1은, 본 실시 형태의 기판 처리 장치(FPA4)의 구성을 나타내는 사시도이다. 도 2는, 기판 처리 장치(FPA4)의 구성을 나타내는 평면도이다.

도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 장치(FPA)는, 시트 기판(예를 들면, 띠 모양의 필름 부재, FB)을 공급하는 기판 공급부(SU), 시트 기판(FB)의 표면(피처리면, Fp)에 대해서 처리를 행하는 기판 처리부(PR), 해당 기판 처리부(PR)를 수용하는 챔버(CB, 도 1에서는 도시 생략), 시트 기판(FB)을 회수하는 기판 회수부(CL) 및 이들의 각 부를 제어하는 제어부(CONT)를 가지고 있다. 기판 처리 장치(FPA)는, 예를 들면 공장 등에 설치된다. 본 실시 형태에서는, 시트 기판(FB)은, 세워진 상태로 공급되고, 처리되어, 회수되도록 되어 있다. 본 실시 형태에서, 위 세운 상태는, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)을 수평면(XY 평면)에 대해서 소정 각도로 교차한 상태, 예를 들면, 경사진 상태, 혹은 거의 수직으로 배치한 상태를 포함한다. 환언하면, 이 시트 기판(FB)의 기판 처리면(Fp)을 세운 상태는, 기판(FB)의 단척(短尺) 방향(짧은 방향)이 비수평(非水平) 자세인 상태도 포함하는다.

이하의 설명에서는, XYZ 직교 좌표계를 설정하고, 이 XYZ 직교 좌표계를 참조하면서 각 부재의 위치 관계에 대해서 설명한다. 구체적으로는, 수평면 상의 소정 방향을 X축 방향, 해당 수평면 상에서 X축 방향에 직교하는 방향을 Y축 방향, 연직 방향을 Z축 방향으로 한다. 또, X축, Y축, 및 Z축 주위의 회전(경사) 방향을 각각, θX, θY, 및 θZ 방향으로 한다.

또, 실시 형태에서, 시트 기판(FB)의 기판 처리면(Fp)을 수평면에 대해서 거의 수직으로 한 상태를 예로 설명한다.

기판 처리 장치(FPA)는, 기판 공급부(SU)로부터 롤 모양으로 감긴 시트 기판(FB)이 송출되고 나서, 기판 회수부(CL)에서 시트 기판(FB)을 롤 모양으로 회수할 때까지의 사이에, 시트 기판(FB)의 표면에 각종 처리를 실행하는 롤·투·롤 방식(이하, 단지「롤 방식」이라고 표기함)의 장치이다. 기판 처리 장치(FPA)는, 시트 기판(FB) 상에 예를 들면 유기 EL소자, 액정 표시 소자 등의 표시 소자(전자 디바이스)를 형성하는 경우에 이용할 수 있다. 물론, 이들의 소자 이외의 소자를 형성하는 경우에 기판 처리 장치(FPA)를 이용해도 상관없다.

기판 처리 장치(FPA)에서 처리 대상이 되는 시트 기판(FB)으로서는, 예를 들면 수지 필름이나 스테인리스강 등의 박(箔, 포일)을 이용할 수 있다. 예를 들면, 수지 필름은, 폴리에틸렌 수지, 폴리프로필렌 수지, 폴리에스테르 수지, 에틸렌 비닐 공중합체 수지, 폴리염화비닐 수지, 셀룰로오스 수지, 폴리아미드 수지, 폴리이미드 수지, 폴리카보네이트 수지, 폴리스티렌 수지, 아세트산 비닐 수지 등의 재료를 이용할 수 있다.

시트 기판(FB)의 단척 방향(짧은 방향)의 치수는 예를 들면 50cm ~ 2m정도로 형성되어 있고, 장척(長尺) 방향(길이 방향)의 치수는 예를 들면 10m 이상으로 형성되어 있다. 물론, 이 치수는 일례에 불과하며, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 시트 기판의 단척 방향의 치수가 50cm 이하라도 상관없고, 2m 이상이라도 상관없다. 또, 시트 기판(FB)의 장척 방향의 치수가 10m 이하라도 상관없다.

시트 기판(FB)은, 예를 들면, 1mm 이하의 두께를 가지며, 가요성(可撓性)을 가지도록 형성되어 있다. 여기서 가요성이란, 예를 들면 기판에 적어도 자중 정도의 소정의 힘을 가해도 단선하거나 파단하거나 하는 것은 아니고, 해당 기판을 굽히는 것이 가능한 성질을 말한다. 또, 예를 들면 상기 소정의 힘에 의해서 굴곡하는 성질도 가요성에 포함된다. 또, 상기 가요성은, 해당 기판의 재질, 크기, 두께, 또는 온도 등의 환경 등에 따라 변한다. 또한, 시트 기판(FB)으로서는, 1매의 띠 모양의 기판을 이용해도 상관없지만, 복수의 단위 기판을 접속하여 띠 모양으로 형성되는 구성으로 해도 상관없다.

시트 기판(FB)은, 예를 들면 200℃ 정도의 열을 받아도 실질적으로 치수가 변하지 않도록 열팽창 계수가 작은 것이 바람직하다. 예를 들면, 무기 필러(filler)를 수지 필름에 혼합하여 열팽창 계수를 작게 할 수 있다. 무기 필러의 예로서는, 산화 티탄, 산화 아연, 알루미나, 산화 규소 등을 들 수 있다.

기판 공급부(SU)는, 공급 포트(10, 도 1에서는 도시 생략)와, 해당 공급 포트(10) 내에 배치된 축 부재(11) 및 지지부(12)를 가지고 있다. 축 부재(11)는, 예를 들면 원기둥 모양으로 형성되며, 중심축이 예를 들면 Z 방향에 거의 평행하게 되도록 배치되어 있다. 이 때문에, 축 부재(11)에는, 시트 기판(FB)이 세워진 상태로 감기도록 되어 있다. 축 부재(11)는, 예를 들면 지지부(12)에 대해서 착탈 가능하게 마련되어 있다. 지지부(12)는, 해당 축 부재(11)를 원주 방향(예를 들면 θZ 방향)으로 회전 가능하게 지지한다. 기판 공급부(SU)는, 예를 들면 롤 모양으로 감긴 시트 기판(FB)을, 해당 시트 기판(FB)의 단척 방향을 세운 상태, 즉, Z 방향과 일치한 상태(환언하면, 해당 시트 기판(FB)이 비수평인 자세)에서 기판 처리부(PR)로 송출하여 공급한다.

공급 포트(10) 내에는, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)을 보호하는 보호 기판(PB)이 감긴 축 부재(13)가 마련되어 있다. 또한, 공급 포트(10) 내에 마련된 축 부재(13)를 보호 기판 공급부로 칭해도 괜찮다. 보호 기판(PB)은, 기판 처리부(PR)에서의 처리가 완료한 후, 기판 회수부(CL)에 의해서 회수되기 전에 시트 기판(FB)에 붙여지는 기판이다. 보호 기판(PB)은, 시트 기판(FB)과 마찬가지로, 예를 들면 띠 모양으로 형성되며, 가요성을 가지는 구성이다. 축 부재(13)는, 예를 들면 원통 모양으로 형성되어 있으며, 중심축이 예를 들면 Z 방향에 거의 평행하게 되도록 배치되어 있다. 이 때문에, 축 부재(13)에는, 보호 기판(PB)이 세워진 상태로 감기도록 되어 있다. 축 부재(13)는, 지지부(14)에 의해서 원주 방향(예를 들면 θZ 방향)으로 회전 가능하게 지지되어 있다. 축 부재(13)는, 예를 들면 지지부(14)에 대해서 착탈 가능하게 마련되어 있다. 기판 공급부(SU)는, 보호 기판(PB)을 세운 상태로 기판 처리부(PR)로 송출하여 공급한다.

기판 회수부(CL)는, 보호 기판(PB)이 붙여진 상태로 기판 처리부(PR)로부터 반송되는 시트 기판(FB)을, 해당 시트 기판(FB) 및 보호 기판(PB)의 단척 방향을 세운 상태로 권취하여 회수한다. 기판 회수부(CL)의 회수 포트(20, 도 1에서는 도시 생략)에는, 기판 공급부(SU)와 마찬가지로, 시트 기판(FB) 및 보호 기판(PB)을 감기 위한 축 부재(21)와, 해당 축 부재(21)를 회전 가능하게 지지하는 지지부(22)가 마련되어 있다. 축 부재(21)는, 예를 들면 지지부(22)에 대해서 착탈 가능하게 마련되어 있다.

기판 공급부(SU)의 공급 포트(10)와, 기판 회수부(CL)의 회수 포트(20)는, 예를 들면 기판 처리부(PR)를 수용하는 챔버(CB)의 외부에 배치되어 있다. 공급 포트(10) 및 회수 포트(20)는, 챔버(CB)의 예를 들면 -Y측의 면에 배치되어 있으며, 기판 처리부(PR)에 대해서 예를 들면 X 방향으로 나란히 배치되어 있다. 이와 같이 공급 포트(10)와 회수 포트(20)가 일(一) 개소에 모아서 배치되어 있기 때문에, 해당 공급 포트(10) 및 회수 포트(20)에 대해서 효율적으로 액세스(access) 할 수 있도록 되어 있다.

기판 처리부(PR)는, 기판 공급부(SU)로부터 공급되는 시트 기판(FB)을 세운 상태로 기판 회수부(CL)로 반송함과 아울러, 반송 과정에서 세운 상태의 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에 대해서 처리를 행한다. 기판 처리부(PR)는, 예를 들면 반송 기구 등의 반송 장치(30), 처리 장치(40) 및 얼라이먼트 장치(미도시) 등을 가지고 있다. 기판 처리부(PR)는, 공조 관리된 클린 챔버(CB) 내에 수용되어, 환경 온도나 환경 습도가 일정하게 되도록 관리됨과 아울러, 먼지 등으로부터 상기 각 장치가 보호되도록 되어 있다.

도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 반송 장치(30)는, 복수(예를 들면 6개)의 안내 롤러(R101 ~ R106)와, 2개의 처리 롤러(31 및 32)를 가지고 있다. 안내 롤러(R101 ~ R104)는, 기판 공급부(SU)로부터 기판 회수부(CL)까지 시트 기판(FB)을 안내한다. 안내 롤러(R105 및 R106)는, 기판 공급부(SU)로부터 기판 회수부(CL)까지, 시트 기판(FB)과는 다른 경로에서 보호 기판(PB)을 안내한다.

안내 롤러(R101 ~ R106)는, 예를 들면 회전축이 Z축 방향에 거의 평행하게 되도록 배치되어 있다. 이 때문에, 안내 롤러(R101 ~ R104)에서는, 시트 기판(FB)이 세워진 상태(전술한 바와 같이, 기판(FB)의 단척 방향이 실질적으로 비수평인 자세)에서 걸리도록 되어 있다. 또, 안내 롤러(R105 및 R106)에서는, 보호 기판(PB)이 세워진 상태로 걸리도록 되어 있다. 안내 롤러(R101 ~ R106)는, 예를 들면 구동 기구가 마련된 구성이라도 상관없다. 안내 롤러(R101 ~ R104)는, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)이 감기게 되기 때문에, 예를 들면 각 안내 롤러(R101 ~ R104)의 원통면에 기체층을 형성하는 미도시한 기체층 형성 장치가 마련된 구성으로 해도 상관없다. 이와 같은 구성에 의해, 시트 기판(FB)은 적어도 안내 롤러(R101 ~ R104)의 사이를 소정의 텐션을 유지하여 보내어진다.

처리 롤러(31 및 32)는, 예를 들면 안내 롤러(R101 ~ R104)에 의한 시트 기판(FB)의 안내 경로에 배치되어 있다. 처리 롤러(31 및 32)는, 챔버(CB) 내에서 예를 들면 Y 방향 상의 위치가 동일하게 되도록 배치되어 있다. 본 실시 형태에서는, 예를 들면 처리 롤러(31 및 32)가, 함께 챔버(CB) 내에서 Y 방향의 거의 중앙부에 배치되어 있다.

처리 롤러(31 및 32)는, 각각 원통 모양(일례로서, 직경 1 ~ 수 m 정도의 드럼 모양)으로 형성되어 있다. 처리 롤러(31 및 32)는, 예를 들면 중심축이 Z 방향에 거의 평행하게 되도록 배치되어 있으며, 시트 기판(FB)이 세워진 상태로 걸리도록 되어 있다. 처리 롤러(31 및 32)는, 예를 들면 안내 롤러(R101 ~ R104) 보다도 큰 지름이 되도록 형성되어 있다.

처리 롤러(31 및 32)는, 기판 공급부(SU)에 접속되는 공급구(SUa)와, 기판 회수부(CL)에 접속되는 회수구(CLa)를 사이에 두는 위치에 각각 마련되어 있다. 보다 구체적으로는, 처리 롤러(31)가 공급구(SUa)의 -X측에 배치되어 있으며, 처리 롤러(32)가 회수구(CLa)의 ＋X측에 배치되어 있다.

기판 처리부(PR) 내에서의 시트 기판(FB)의 반송 방향으로서는, 우선, 예를 들면 공급구(SUa)로부터 ＋Y 방향으로 반송되고, 안내 롤러(R101)에 의해서 -X 방향(단 -Y측으로 45°경사진 방향)으로 반송 방향이 변환된다. 안내 롤러(R101)를 경유한 시트 기판(FB)은, 처리 롤러(31)에 의해서 접혀, 반송 방향이 ＋X 방향으로 변환된다. 처리 롤러(31)로부터 ＋X 방향으로 접힌 시트 기판(FB)은, 안내 롤러(R102)에 의해서 ＋Y 방향으로 반송 방향이 변환되고, 처리 장치(40)의 일부(예비 가공 장치(44))에 의해서 반송 방향이 -Y 방향으로 변환된다. 예비 가공 장치(44)를 경유한 시트 기판(FB)은, 안내 롤러(R103)에 의해서 ＋X 방향으로 반송 방향이 변환되고, 처리 롤러(32)에 의해서 접혀 -X 방향(단 ＋Y측으로 45°경사진 방향)으로 반송 방향이 변환된다. 처리 롤러(32)를 경유한 시트 기판(FB)은, 안내 롤러(R104)에 의해서 -Y 방향으로 반송 방향이 변환되어, 회수구(CLa)로 반송된다. 이와 같이, 반송 장치(30)는, 챔버(CB) 내에서 X 방향 및 Y 방향으로 반송 방향을 빈번하게 바꾸면서 시트 기판(FB)을 반송한다.

처리 장치(40)는, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에 대해서 예를 들면 유기 EL소자를 형성하기 위한 장치이다. 본 실시 형태에서는, 예를 들면 처리 장치(40)로서, 예를 들면 세정 장치(41), TFT층 형성 장치(42), 건조 장치(건조부, 43), 예비 가공 장치(44), 발광층 형성 장치(45), 라미네이트 장치(46) 등이 이용되고 있다. 이 외, 예를 들면 피처리면(Fp) 상에 격벽을 형성하기 위한 격벽 형성 장치(미도시) 등, 다른 장치가 마련되어 있어도 상관없다.

이와 같은 처리 장치(40)의 종류로서는, 예를 들면 액적 도포 장치(예를 들면 잉크젯형 도포 장치, 스크린 인쇄형 도포 장치 등), 증착 장치, 스퍼터링(sputtering) 장치 등의 성막 장치나, 노광 장치, 현상 장치, 표면 개질 장치, 세정 장치 등 각종 장치가 이용된다. 이들의 각 장치는, 예를 들면 시트 기판(FB)의 반송 경로 상에 적절히 마련되어 있다.

세정 장치(41)는, 시트 기판(FB)을 세정하는 제1 세정 장치(41A)와, 보호 기판(PB)을 세정하는 제2 세정 장치(41B)를 가지고 있다. 제1 세정 장치(41A)는, 시트 기판(FB)의 반송 경로에서 예를 들면 공급구(SUa, 도 2 참조)와 처리 롤러(31)와의 사이에 마련되어 있다. 또, 제2 세정 장치(41B)는, 보호 기판(PB)의 반송 경로에서 예를 들면 공급구(SUb)와 라미네이트 장치(46)와의 사이에 마련되어 있다. 세정 장치(41)는, 챔버(CB)의 외부로부터 내부로 공급된 시트 기판(FB)이나 보호 기판(PB)을 청정화한다.

TFT층 형성 장치(42)는, 유기 EL소자를 구동하기 위한 TFT 소자나 전극을 형성하는 장치이다. TFT층 형성 장치(42)는, 예를 들면 제1 형성 장치(42A), 제2 형성 장치(42B) 및 제3 형성 장치(42C)를 가지고 있다. 제1 형성 장치(42A)는, 처리 롤러(31)의 -Y측에 배치되어 있다. 제2 형성 장치(42B)는, 처리 롤러(31)의 -X측에 배치되어 있다. 제3 형성 장치(42C)는, 처리 롤러(31)의 ＋Y측에 배치되어 있다. 처리 롤러(31)의 ＋X측은, 빈 상태로 되어 있으며, 예를 들면 안내 롤러(R101)가 배치되어 있다.

이들 제1 형성 장치(42A), 제2 형성 장치(42B) 및 제3 형성 장치(42C)는, 예를 들면 처리 롤러(31)의 주위에 마련되어 있다. TFT 소자 및 전극을 형성하는 일련의 공정은, 예를 들면 제1 형성 장치(42A), 제2 형성 장치(42B) 및 제3 형성 장치(42C)에 의해서 분담하여 행해지도록 되어 있다.

제1 형성 장치(42A), 제2 형성 장치(42B) 및 제3 형성 장치(42C)는, 각각 처리 롤러(31)를 향해 있으며, 세워진 상태로 처리 롤러(31)에 감긴 시트 기판(FB)에 대해서 처리가 가능하게 되어 있다. 처리 롤러(31)는, TFT층 형성 장치(42)에 의한 처리가 행해질 때에, 시트 기판(FB)을 지지하는 지지부가 된다.

건조 장치(43)는, 시트 기판(FB)을 예를 들면 가열하는 것에 의해, 해당 시트 기판(FB)에 형성된 TFT 소자나 전극 등을 안정화시키는 장치이다. 건조 장치(43)는, 시트 기판(FB)의 반송 경로에서, 처리 롤러(31)와 처리 롤러(32)와의 사이에 배치되어 있다. 건조 장치(43)는, 예를 들면 Y 방향에서 보아, 처리 롤러(31) 및 처리 롤러(32)와 일부 겹치도록 배치되어 있다.

도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 예비 가공 장치(44)는, 시트 기판(FB)에 발광층을 형성할 때의 예비 공정(예를 들면, 절연층 형성 공정 등)을 행하는 장치이다. 예비 가공 장치(44)는, 시트 기판(FB)의 반송 경로에서, 건조 장치(43)와 함께, 예를 들면 처리 롤러(31)와 처리 롤러(32)와의 사이에 배치되어 있다. 예비 가공 장치(44)는, 예를 들면 제1 가공 장치(44A), 제2 가공 장치(44B) 및 제3 가공 장치(44C)를 가지고 있으며, 일련의 예비 가공 공정이 분담하여 행해지도록 되어 있다.

발광층 형성 장치(45)는, 유기 EL소자를 구성하는 발광층을 형성하는 장치이다. 발광층 형성 장치(45)는, 예를 들면 제1 형성 장치(45A), 제2 형성 장치(45B) 및 제3 형성 장치(45C)를 가지고 있다. 해당 제1 형성 장치(45A), 제2 형성 장치(45B) 및 제3 형성 장치(45C)는, 예를 들면 처리 롤러(32)의 주위에 마련되어 있다. 발광층을 형성하는 일련의 공정은, 예를 들면 제1 형성 장치(45A), 제2 형성 장치(45B) 및 제3 형성 장치(45C)에 의해서 분담하여 행해지도록 되어 있다.

제1 형성 장치(45A)는, 처리 롤러(32)의 ＋Y측에 배치되어 있다. 제2 형성 장치(45B)는, 처리 롤러(32)의 ＋X측에 배치되어 있다. 제3 형성 장치(45C)는, 처리 롤러(32)의 -Y측에 배치되어 있다. 처리 롤러(32)의 -X측은, 빈 상태로 되어 있으며, 예를 들면 안내 롤러(R104)가 배치되어 있다.

라미네이트 장치(46)는, 시트 기판(FB)과 보호 기판(보호재, PB)을 접합시키는 장치이다. 라미네이트 장치(46)는, 시트 기판(FB)의 반송 경로에서, 예를 들면 처리 롤러(32)와 회수구(CLa)와의 사이에 배치되어 있다. 라미네이트 장치(46)는, 예를 들면 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)측에 보호 기판(PB)을 대향 배치시켜, 시트 기판(FB)과 보호 기판(PB)과의 사이에서 위치 맞춤을 행하고, 그 후, 시트 기판(FB)과 보호 기판(PB)을 접합시키는 구성으로 되어 있다.

상기의 처리 장치(40) 중, 예를 들면 TFT층 형성 장치(42)의 제1 형성 장치(42A)와, 제1 세정 장치(41A)와, 제2 세정 장치(41B)와, 발광층 형성 장치(45)의 제3 형성 장치(45C)가 X 방향에서 보아 겹치도록 배치되어 있다. 또, TFT층 형성 장치(42)의 제2 형성 장치(42B)와, 처리 롤러(31)와, 처리 롤러(32)와, 발광층 형성 장치(45)의 제2 형성 장치(45B)가 X 방향에서 보아 겹치도록 배치되어 있다. 또한, TFT층 형성 장치(42)의 제3 형성 장치(42C)와, 건조 장치(43)와, 발광층 형성 장치(45)의 제1 형성 장치(45A)가 X 방향에서 보아 겹치도록 배치되어 있다.

또, 예를 들면 TFT층 형성 장치(42)의 제1 형성 장치(42A)와, 처리 롤러(31)와, 제3 형성 장치(42C)가 Y 방향에서 보아 겹치도록 배치되어 있다. 또, 예를 들면 세정 장치(41A 및 41B)와 건조 장치(43)가 Y 방향에서 보아 겹치도록 배치되어 있다. 또, 예비 가공 장치(44)와 라미네이트 장치(46)가 Y 방향에서 보아 겹치도록 배치되어 있다. 게다가, 발광층 형성 장치(45)의 제1 형성 장치(45A)와, 처리 롤러(32)와, 제3 형성 장치(45C)가 Y 방향에서 보아 겹치도록 배치되어 있다. 이와 같이, 반송 장치(30) 및 처리 장치(40)는, X 방향 및 Y 방향으로 보았을 때에 겹치는 부분이 많게 되도록 밀집하여 배치되어 있다.

상기와 같이 구성된 기판 처리 장치(FPA)는, 제어부(CONT)의 제어에 의해, 롤 방식에 의해서 유기 EL소자, 액정 표시 소자 등의 표시 소자(전자 디바이스)를 제조한다. 이하, 상기 구성의 기판 처리 장치(FPA)를 이용하여 표시 소자를 제조하는 공정을 설명한다.

우선, 축 부재(11)에 롤 모양으로 감긴 띠 모양의 시트 기판(FB)을 기판 공급부(SU)의 공급 포트(10) 내의 지지부(12)에 장착한다. 또, 축 부재(13)에 감긴 띠 모양의 보호 기판(PB)을 기판 공급부(SU)의 공급 포트(10) 내의 지지부(14)에 장착한다. 게다가, 회수용 축 부재(21)를 기판 회수부(CL)의 회수 포트(20) 내의 지지부(22)에 장착한다.

제어부(CONT)는, 이 상태로부터 지지부(12)를 통하여 축 부재(11)를 회전시켜, 기판 공급부(SU)로부터 해당 시트 기판(FB)이 송출하도록 한다. 기판 공급부(SU)로부터 송출된 시트 기판(FB)은, 기판 처리부(PR)의 공급구(SUa)로부터 챔버(CB) 내로 공급된다. 제어부(CONT)는, 챔버(CB) 내로 공급된 시트 기판(FB)을 반송 장치(30)로 반송시키면서, 각 처리 장치(40)에 의해서 해당 시트 기판(FB)에 대해서 처리를 행하게 한다. 본 실시 형태에서는, 가공용 롤러(31, 32) 및 각 롤러(R101 ~ R106)에 적절히 마련된 회전 구동용 모터에 의해, 시트 기판(FB)에 소정의 텐션이 가해지도록, 제어부(CONT)가 각 모터를 순차적으로 제어한다.

이 동작에 의해, 기판 처리부(PR)로 공급된 시트 기판(FB)은, 제1 세정 장치(41A)에 의해서 세정되고, 안내 롤러(R101)에 의해서 처리 롤러(31)로 안내된다. 시트 기판(FB)은, 피처리면(Fp)이 TFT층 형성 장치(42)의 제1 형성 장치(42A), 제2 형성 장치(42B) 및 제3 형성 장치(42C)를 각각 향하도록, 처리 롤러(31)에 세워진 상태로 감겨 걸린다. 처리 롤러(31)에 감겨 걸린 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에는, 해당 TFT층 형성 장치(42)에 의해서 TFT 소자나 배선 등이 형성된다.

처리 롤러(31)를 경유한 시트 기판(FB)은, 건조 장치(43)로 공급되어, 예를 들면 가열 처리 등의 건조 처리가 시행된다. 건조 처리 후의 시트 기판(FB)은, 예를 들면 안내 롤러(R102)를 통하여 예비 가공 장치(44)로 공급된다. 예비 가공 장치(44)에서는, 예를 들면 제1 가공 장치(44A) ~ 제3 가공 장치(44C)에서, 시트 기판(FB)에 절연막이나 정공(正孔) 주입층 또는 전자 주입층 등이 형성된다.

예비 가공 후의 시트 기판(FB)은, 예를 들면 안내 롤러(R103)를 통하여 처리 롤러(32)로 안내된다. 시트 기판(FB)은, 피처리면(Fp)이 발광층 형성 장치(45)의 제1 형성 장치(45A), 제2 형성 장치(45B) 및 제3 형성 장치(45C)를 각각 향하도록, 처리 롤러(32)에 세워진 상태로 감겨 걸린다. 처리 롤러(32)에 감겨 걸린 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에는, 해당 발광층 형성 장치(45)에 의해서 발광층 등이 형성된다.

처리 롤러(32)를 경유한 시트 기판(FB)은, 라미네이트 장치(46)로 공급되어, 피처리면(Fp)에 보호 기판(PB)이 붙여진다. 보호 기판(보호재, PB)이 붙여진 후의 시트 기판(FB)은, 예를 들면 회수구(CLa)로부터 기판 회수부(CL)로 회수된다. 기판 회수부(CL)로 회수된 시트 기판(FB)은, 회수 포트(20) 내의 축 부재(21)에 롤 모양으로 감겨진다. 축 부재(21)에 소정량의 시트 기판(FB)이 감기면, 시트 기판(FB)을 예를 들면 절단하여, 시트 기판(FB)이 감긴 축 부재(21)를 지지부(22)로부터 떼어낸다. 해당 지지부(22)에는, 예를 들면 시트 기판(FB)이 감겨 있지 않은 새로운 축 부재(21)를 장착한다.

제어부(CONT)는, 이와 같은 처리를 실시하게 하는 것에 의해, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에 대해서 소자를 형성해 간다.

이상과 같이, 본 실시 형태에 의하면, 띠 모양으로 형성된 시트 기판(FB)의 짧은 방향을 세운 상태로 해당 시트 기판(FB)을 공급하는 기판 공급부(SU)와, 해당 기판 공급부(SU)로부터 공급되는 시트 기판(FB)을 세운 상태로 반송하는 반송 장치(30) 및 해당 반송 장치(30)에 의한 시트 기판(FB)의 반송 경로를 따라서 배치되어 세운 상태의 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에 대해서 처리를 행하는 복수의 처리 장치(40)를 가지는 기판 처리부(PR)와, 해당 기판 처리부(PR)에서 처리가 행해진 시트 기판(FB)을 세운 상태로 회수하는 기판 회수부(CL)를 구비하므로, 시트 기판(FB)의 반송 방향을 수평 방향(X 방향 및 Y 방향)으로 변환하기 쉬운 구성이 된다.

이 때문에, 처리 장치(40)의 X 방향 및 Y 방향에서의 레이아웃의 선택의 폭을 넓힐 수 있으며, 예를 들면 기판 처리 장치(FPA4)의 장치 면적이 극력(極力) 작게 되도록 처리 장치(40)를 배치시키는 레이아웃을 선택할 수도 있다. 이것에 의해, 기판 처리 장치(FPA4)의 공간 절약화를 도모할 수 있다.

[제2 실시 형태］　

다음에, 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 기판 처리 장치를 설명한다. 　

도 3은, 기판 처리 장치(FPA2)의 구성을 나타내는 평면도이다. 기판 처리 장치(FPA2)에서는, 기판 처리부(PR)의 구성이 제1 실시 형태와는 다르다. 다른 구성에 대해서는, 예를 들면 제1 실시 형태와 동일 구성으로 할 수 있다. 본 실시 형태에서는, 해당 차이점을 중심으로 설명한다.

도 3에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 장치(FPA2)는, 기판 공급부(SU), 기판 처리부(PR), 기판 회수부(CL), 챔버(CB) 및 제어부(CONT)를 가지고 있다. 기판 처리부(PR)는, 챔버(CB) 내에 수용되어 있다. 기판 공급부(SU)는, 원통 모양으로 형성되어 중심축이 Z 방향에 평행하게 되도록 배치된 축 부재(111)와, 해당 축 부재(111)를 회전 가능하게 지지하는 지지부(112)를 가지고 있다. 축 부재(111)에는, 시트 기판(FB)이 세워진 상태로 감겨져 있다. 또한, 설명의 간략화를 위해, 도 3에는, 기판 공급부(SU)에서 보호 기판을 공급하는 구성을 생략하여 나타내고 있다. 기판 회수부(CL)는, 원통 모양으로 형성되어 중심축이 Z 방향에 평행하게 되도록 배치된 축 부재(121)와, 해당 축 부재(121)를 회전 가능하게 지지하는 지지부(122)를 가지고 있다.

기판 처리부(PR)의 반송 장치(130)는, 챔버(CB) 내의 평면에서 볼 때 중앙부에 처리 반송 롤러(131)를 가지고 있다. 처리 반송 롤러(131)는, 예를 들면 원통 모양으로 형성되어 있으며, 중심축이 Z 방향에 평행하게 되도록 배치되어 있다. 처리 반송 롤러(131)는, 예를 들면 θZ 방향으로 회전 가능하게 마련되어 있다. 시트 기판(FB)은, 해당 처리 반송 롤러(131)에 세워진 상태로 걸리도록 되어 있다. 이와 같이, 기판 처리부(PR)에서는, 시트 기판(FB)이 세워진 상태로 반송되게 된다.

처리 반송 롤러(131)는, 예를 들면 미도시한 회전 구동 기구를 가지고 있다. 해당 회전 구동 기구는, 예를 들면 제어부(CONT)에 의해서 제어되도록 되어 있다. 공급구(SUa)로부터 공급된 시트 기판(FB)은, 해당 처리 반송 롤러(131)에 걸려 회수구(CLa)로 반송되도록 되어 있다. 처리 반송 롤러(131)에는, 예를 들면 피처리면(Fp)이 외측을 향하도록 시트 기판(FB)이 걸린다.

기판 처리부(PR)는, 처리 반송 롤러(131)의 주위에, 해당 처리 반송 롤러(131)의 원통면을 따르도록, 복수의 처리 장치(140)가 배치되어 있다. 해당 처리 장치(140)로서는, 예를 들면 제1 실시 형태에서 설명한 각종 처리 장치가 이용된다. 도 3에 나타내는 예에서는, 복수의 처리 장치(140)로서, TFT층 형성 공정을 행하는 각 처리 장치, 발광층 형성 공정의 전(前)처리(예비 공정)를 행하는 각 처리 장치, 발광층 형성 공정을 행하는 각 처리 장치가, 처리 반송 롤러(131)의 원주 방향을 따라서 일렬로 늘어서 있다. 복수의 처리 장치(140)는, 각각 처리 반송 롤러(131)를 향해 있다.

상기의 기판 처리 장치(FPA2)에서는, 기판 공급부(SU)로부터 기판 처리부(PR)에 대해서 세워진 상태로 시트 기판(FB)이 공급된다. 시트 기판(FB)은, 기판 처리부(PR)에서 처리 반송 롤러(131)에 세워진 상태로 걸려 기판 회수부(CL)로 반송된다. 또, 복수의 처리 장치(140)에 의해, 예를 들면 처리 반송 롤러(131)에 세워진 상태로 걸린 시트 기판(FB)에 대해서 순차적으로 처리가 행해진다.

이와 같이, 본 실시 형태에 의하면, 처리 반송 롤러(131)가, 세워진 상태로 감기는 시트 기판(FB)을 지지하는 기능과, 해당 시트 기판(FB)을 세운 상태로 반송하는 기능을 겸하게 된다. 이것에 의해, 기판 처리 장치(FPA2)의 공간 절약화를 도모할 수 있다. 또, 전(全)공정을 1개의 처리 반송 롤러(131)의 주위에서 행하는 것으로 했으므로, 기판 처리부(PR) 내의 장치의 레이아웃을 단순화할 수 있다.

[제3 실시 형태］　

다음에, 본 발명의 제3 실시 형태에 관한 기판 처리 장치를 설명한다. 　

도 4는, 기판 처리 장치(FPA3)의 구성을 나타내는 평면도이다. 기판 처리 장치(FPA3)에서는, 기판 처리부(PR)의 구성이 제1 실시 형태와는 다르다. 다른 구성에 대해서는, 예를 들면 제1 실시 형태와 동일 구성으로 할 수 있다. 본 실시 형태에서는, 해당 차이점을 중심으로 설명한다.

도 4에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 장치(FPA3)는, 기판 처리부(PR)에서, 제2 실시 형태에서 설명한 처리 반송 롤러가 복수 마련된 구성으로 되어 있다. 본 실시 형태에서는, 기판 처리부(PR)의 반송 장치(230)는, 안내 롤러(R111 ~ R114)와, 처리 반송 롤러(231 ~ 233)를 가지고 있다.

안내 롤러(R111 ~ R114) 및 처리 반송 롤러(231 ~ 233)는, 각각 원통 모양으로 형성되어 있으며, 중심축이 각각 Z 방향에 평행하게 되도록 배치되어 있다. 처리 반송 롤러(231 ~ 233)는, 안내 롤러(R111 ~ R114) 보다도 지름이 크게 되도록 형성되어 있다. 시트 기판(FB)은, 해당 처리 반송 롤러(231 ~ 233) 및 안내 롤러(R111 ~ R114)에 세워진 상태로 걸리도록 되어 있다. 이와 같이, 기판 처리부(PR)에서는, 시트 기판(FB)이 세워진 상태로 반송되게 된다.

반송 장치(230)의 배치로서는, 예를 들면 안내 롤러(R111 ~ R114)는, 챔버(CB)의 거의 중앙부에 종횡으로 2열씩 늘어선 상태로 배치되어 있다. 또, 처리 반송 롤러(231 ~ 233)는, 해당 4개의 안내 롤러(R111 ~ R114)를 3 방향(－X 방향,＋Y 방향 및 -X 방향)으로부터 둘러싸도록 배치되어 있다.

기판 처리부(PR)는, 처리 반송 롤러(231 ~ 233)의 주위에, 해당 처리 반송 롤러(231 ~ 233)의 원통면을 따르도록, 각각 복수의 처리 장치(241 ~ 243)가 배치되어 있다. 해당 처리 장치(241 ~ 243)로서는, 예를 들면 제1 실시 형태에서 설명한 각종 처리 장치가 이용된다. 예를 들면, 처리 장치(241)로서 TFT층 형성 공정을 행하는 각 처리 장치를 이용하고, 처리 장치(242)로서 발광층 형성 공정의 전처리(예비 공정)를 행하는 각 처리 장치를 이용하며, 처리 장치(243)로서 발광층 형성 공정을 행하는 각 처리 장치를 이용하도록 해도 상관없다. 각 처리 장치(241 ~ 243)는, 예를 들면 처리 반송 롤러(231 ~ 233)를 향해 있다.

기판 처리부(PR)는, 복수의 처리 반송 롤러(231 ~ 233)는, 예를 들면 원통 모양으로 형성되어 있으며, 중심축이 Z 방향에 평행하게 되도록 배치되어 있다. 처리 반송 롤러(131)는, 예를 들면 θZ 방향으로 회전 가능하게 마련되어 있다.

처리 반송 롤러(231 ~ 233)는, 예를 들면 미도시한 회전 구동 기구를 가지고 있다. 해당 회전 구동 기구는, 예를 들면 제어부(CONT)에 의해서 제어되도록 되어 있다. 공급구(SUa)로부터 공급된 시트 기판(FB)은, 해당 처리 반송 롤러(231 ~ 233)에 걸려 회수구(CLa)로 반송되도록 되어 있다. 처리 반송 롤러(231 ~ 233)에는, 예를 들면 피처리면(Fp)이 외측을 향하도록 시트 기판(FB)이 걸린다. 한편, 안내 롤러(R111 ~ R114)에는, 피처리면(Fp)이 내측을 향하도록 시트 기판(FB)이 걸린다.

상기의 기판 처리 장치(FPA3)에서는, 기판 공급부(SU)로부터 기판 처리부(PR)에 대해서 세워진 상태로 시트 기판(FB)이 공급된다. 시트 기판(FB)은, 기판 처리부(PR)에서 처리 반송 롤러(231 ~ 233)에 세워진 상태로 걸려 기판 회수부(CL)로 반송된다. 또, 복수의 처리 장치(241 ~ 243)에 의해, 예를 들면 처리 반송 롤러(231 ~ 233)에 세워진 상태로 걸린 시트 기판(FB)에 대해서, 각각 순차적으로 처리가 행해진다.

이와 같이, 본 실시 형태에 의하면, 복수의 처리 반송 롤러(231 ~ 233)를 이용하는 것에 의해, 예를 들면 복수의 영역에서, 각각 연속한 처리를 분담시켜 행하게 할 수 있다. 이것에 의해, 레이아웃의 선택의 폭이 넓어지게 된다. 또, 본 실시 형태에 의하면, 안내 롤러(R111 ~ R114)를 예를 들면 챔버(CB)의 중앙부에 모은 구성으로 했으므로, 예를 들면 해당 챔버(CB)의 중앙부에 건조 장치 등의 처리 장치(244)를 배치시킴으로써, 각 처리 반송 롤러(231 ~ 233)에서 처리된 시트 기판(FB)의 건조 처리 등의 처리를 공통화할 수 있다. 이것에 의해, 공간 절약화를 도모할 수 있다.

[제4 실시 형태］　

이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 제4 실시 형태를 설명한다. 이하, 상기 실시 형태와 동일 부호가 부여된 구성품에 관한 설명은 적절히 생략한다.

도 5는, 기판 처리 장치(FPA)의 구성을 나타내는 사시도이다. 도 6은, 기판 처리 장치(FPA)의 구성을 나타내는 평면도이다.

제4 실시 형태에서, 반송 장치(30)는, 복수(예를 들면 10개)의 안내 롤러(R1 ~ R10)와, 드럼 기구(DRM)와, 처리 롤러(32)를 가지고 있다. 안내 롤러(R1 ~ R8)는, 기판 공급부(SU)로부터 기판 회수부(CL)까지 시트 기판(FB)을 안내한다. 안내 롤러(R9 및 R10)는, 기판 공급부(SU)로부터 기판 회수부(CL)까지, 시트 기판(FB)과는 다른 경로로 보호 기판(PB)을 안내한다. 또한, 드럼 기구(DRM)를 제1 드럼 기구, 처리 롤러(32)를 제2 드럼 기구로 해도 좋다.

안내 롤러(R1 ~ R3, R6 ~ R10)는, 예를 들면 회전축이 Z축 방향에 거의 평행하게 되도록 배치되어 있다. 이 때문에, 안내 롤러(R1 ~ R3, R6 ~ R8)에서는, 시트 기판(FB)이 세워진 상태로 걸리도록 되어 있다. 또, 안내 롤러(R9 및 R10)에서는, 보호 기판(PB)이 세워진 상태로 걸리도록 되어 있다. 안내 롤러(R1 ~ R10)는, 예를 들면 구동 기구가 마련된 구성이라도 상관없다. 예를 들면 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)이 감기는 안내 롤러(R1, R4, R7, R8)에 대해서는, 원통면에 기체층(에어 베어링)을 형성하는 미도시한 기체층 형성 장치가 마련된 구성으로 해도 상관없다. 어떻게 하든, 본 실시 형태의 경우, 시트 기판(FB)은 적어도 안내 롤러(R1 ~ R9)의 사이를 소정의 텐션을 유지하여 보내어진다.

도 7은, 기판 처리부(PR) 중 드럼 기구(DRM)의 근방의 구성을 나타내는 사시도이다.

도 7에 나타내는 바와 같이, 드럼 기구(DRM)는, 회전 중심축이 Z 방향과 거의 평행하게 되도록 배치된 원통 부재(CYL)와, 해당 원통 부재(CYL)를 원주 방향으로 회전 가능하게 지지하는 회전 구동 기구(구동부, ACT)를 가지고 있다. 원통 부재(CYL)는, 제1 원통부(제1 롤러, CY1)와, 제2 원통부(제2 롤러, CY2)와, 가이드부(G)를 가지고 있다.

제1 원통부(CY1) 및 제2 원통부(CY2)는, 각각 해당 원통 부재(CYL)의 원통면의 일부분이다. 제1 원통부(CY1) 및 제2 원통부(CY2)는, 함께 1개의 원통 부재(CYL)의 일부분이기 때문에, 원통 부재(CYL)가 회전하면 제1 원통부(CY1) 및 제2 원통부(CY2)가 일체적으로 회전하도록 되어 있다.

제1 원통부(CY1) 및 제2 원통부(CY2)는, 예를 들면 가이드부(G)에 의해서 Z 방향으로 분할되어 있다. 환언하면, 제2 원통부(CY2)는, 제1 원통부(CY1)에 대해서 Z 방향의 위치, 즉 수평 방향에 대해서 교차하는 방향의 위치가 다르다. 제1 원통부(CY1)는 가이드부(G)의 ＋Z측(상부)에 배치되어 있으며, 제2 원통부(CY2)는 가이드부(G)의 -Z측(하부)에 배치되어 있다. 제1 원통부(CY1) 및 제2 원통부(CY2)는, 예를 들면 서로 동일한 지름을 가지도록 형성되어 있다. 제1 원통부(CY1) 및 제2 원통부(CY2)는, 예를 들면 안내 롤러(R1 ~ R10) 보다도 큰 지름(예를 들면 직경 1 m 이상)이 되도록 형성되어 있다. 가이드부(G)는, 시트 기판(FB) 중 제1 원통부(CY1)에 감긴 부분 및 제2 원통부(CY2)에 감긴 부분이 XY 평면에 평행한 면을 따라서 반송되도록 안내한다.

시트 기판(FB)의 반송 경로에서, 제1 원통부(CY1)와 제2 원통부(CY2)와의 사이에는, 안내 롤러(R2 ~ R5)가 배치되어 있다. 안내 롤러(R2)는, 제1 원통부(CY1)에 의해 반바퀴 정도로 U자 모양으로 접혀 ＋X 방향으로 반송되는 시트 기판(FB)을 -Y 방향으로 접는다. 안내 롤러(R3)는, －Y 방향으로 접힌 시트 기판(FB)을 -X 방향으로 접는다.

안내 롤러(R4 및 R5)는, 예를 들면 ＋Z측의 단부가 ＋X측으로 경사진 상태로 배치되어 있다. 안내 롤러(R4)는, 안내 롤러(R3)를 통하여 -X 방향으로 안내되어 온 시트 기판(FB)을, 경사진 하부 방향(＋X 방향으로서 -Z측으로 경사진 방향)으로 접는다. 안내 롤러(R5)는, 안내 롤러(R4)의 경사진 하부 방향(＋X 방향으로서 -Z측으로 경사진 방향) 상에 배치되어 있다. 안내 롤러(R5)는, 안내 롤러(R4)로부터 경사진 하부 방향으로 반송되는 시트 기판(FB)을 -X 방향으로 접어서, 제2 원통부(CY2)를 향하게 한다.

안내 롤러(R4 및 R5)는, 도 7의 구성의 경우는 그 회전축선이 서로 거의 평행을 유지함과 아울러 XZ 평면 내에서 소정량 만큼 경사지도록 설정되어 있다. 또 안내 롤러(R4 및 R5)에는, 예를 들면 회전축의 경사(경사량이나 경사 방향)를 조정 가능하게 하기 위한 액추에이터가 마련되어 있다. 안내 롤러(R4 및 R5) 중 적어도 일방의 해당 회전축의 경사 상태를 조정하는 것에 의해, 안내 롤러(R5)로부터 -X 방향으로 송출되는 시트 기판(FB)의 반송 방향을 수평(X축과 평행)으로 하면서, 시트 기판의 Z 방향의 위치를 거의 일정하게 유지할 수 있다. 안내 롤러(R4 및 R5)의 적어도 일방의 회전축의 경사 상태의 조정은, 예를 들면, 안내 롤러(R5)로부터 -X 방향으로 송출되는 시트 기판(FB)의 자세나 위치의 변화를 정밀하게 모니터하는 센서로부터의 계측 신호를 받는 제어부(CONT)가, 경사 조정용 액추에이터를 구동함에 의해서 제어 가능하게 되어 있다.

이와 같이, 안내 롤러(R2 ~ R5)는, 제1 원통부(CY1)의 외주면에 감긴 후의 시트 기판(FB)의 반송 방향이 제2 원통부(CY2)를 향하는 방향이 되도록, 시트 기판(FB)의 반송 방향을 변환한다. 특히 안내 롤러(R4, R5)의 쌍에 의해서, 시트 기판(FB)의 송출 방향(－X 방향)은 바꾸지 않고, Z 방향의 높이 위치를 소정량(본 실시 형태에서는 시트 기판의 Z 방향의 폭길이 분(分) 이상)만 시프트(shift) 시킬 수 있다. 또한, 본 실시 형태와 같이 시트 기판을 접어서 Z 방향으로 평행 시프트 시키는 경우, 안내 롤러(R4)와 안내 롤러(R5)의 사이에서는 시트 기판(FB)이 XZ면 내에서 경사져 보내어지지만, 이 경사량은 시트 기판의 폭 길이, 안내 롤러(R4, R5)의 X 방향의 간격, 안내 롤러(R4, R5)의 회전 중심축의 경사 각도나 경사 방향 등에 의해 기하학적으로 정해진다. 따라서 본 실시 형태의 경우, 안내 롤러(R4, R5)를, 각 회전 중심축이 XZ면 내에서 함께 45도만 경사지도록, Z 방향의 상하에 병설하면, 안내 롤러(R4)와 안내 롤러(R5)의 사이를 지나가는 시트 기판을 수직(경사량 90도)으로 할 수도 있다.

또, 안내 롤러(R2 ~ R5)에 의해, 시트 기판(FB)은, 예를 들면 안내 롤러(R1)의 위치에서 안내되는 시트 기판(FB)의 -Z측(하부)의 공간으로 안내되게 된다. 이와 같이, 본 실시 형태에서는 제1 원통부(CY1)로의 시트 기판(FB)의 감김 방향에 대해서 제2 원통부(CY2)로의 시트 기판(FB)의 감김 방향이 동일한 방향이 되어, 시트 기판(FB)의 표리(表裏)가 반전하지 않도록, 안내 롤러(R2 ~ R5)에 의해서 시트 기판(FB)이 안내된다.

도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 처리 롤러(32)는, 예를 들면 안내 롤러(R1 ~ R4)에 의한 시트 기판(FB)의 안내 경로에 배치되어 있다. 처리 롤러(32)는, 예를 들면 원통 모양으로 형성되어 있다. 처리 롤러(32)는, 예를 들면 중심축이 Z 방향에 거의 평행하게 되도록 배치되어 있으며, 시트 기판(FB)이 세워진 상태로 걸리도록 되어 있다. 처리 롤러(32)는, 예를 들면 안내 롤러(R1 ~ R10) 보다도 큰 지름이 되도록 형성되어 있다. 해당 처리 롤러(32)의 지름이 상기의 제1 원통부(CY1) 및 제2 원통부(CY2)와 거의 동일한 지름이 되도록 구성해도 상관없다.

세정 장치(41)는, 챔버(CB)의 외부로부터 내부로 공급된 시트 기판(FB)이나 보호 기판(PB)을 청정화하기 위해 마련되며, 시트 기판(FB)을 세정하는 제1 세정 장치(41A)와, 보호 기판(PB)을 세정하는 제2 세정 장치(41B)를 가지고 있다. 제1 세정 장치(41A)는, 시트 기판(FB)의 반송 경로에서 예를 들면 공급구(SUa, 도 6 참조)와 원통 부재(CYL)와의 사이에 마련되어 있다. 또, 제2 세정 장치(41B)는, 보호 기판(PB)의 반송 경로에서, 예를 들면 공급구(SUb)와 라미네이트 장치(46)와의 사이에 마련되어 있다.

드럼 기구(DRM)의 주위에 배치된 TFT층 형성 장치(42)는, 유기 EL소자를 구동하기 위한 TFT 소자나 전극, 배선층 등을 형성하는 장치이다. TFT층 형성 장치(42)는, 예를 들면 제1 형성 장치(42A), 제2 형성 장치(42B) 및 제3 형성 장치(42C)를 가지고 있다. 제1 형성 장치(42A)는, 원통 부재(CYL)의 -Y측에 배치되어 있다. 제2 형성 장치(42B)는, 원통 부재(CYL)의 -X측에 배치되어 있다. 제3 형성 장치(42C)는, 원통 부재(CYL)의 ＋Y측에 배치되어 있다.

이와 같이 제1 형성 장치(42A), 제2 형성 장치(42B) 및 제3 형성 장치(42C)가, 원통 부재(CYL)의 주위에 마련되어, TFT 소자 및 전극, 배선층 등을 형성하는 일련의 공정은, 예를 들면 제1 형성 장치(42A), 제2 형성 장치(42B) 및 제3 형성 장치(42C)에 의해서 분담하여 행해지도록 되어 있다.

도 8은, 제1 형성 장치(42A), 제2 형성 장치(42B) 및 제3 형성 장치(42C)와, 드럼 기구(DRM)의 원통 부재(CYL)와의 관계를 나타내는 도면이다. 　

도 8에 나타내는 바와 같이, 제1 형성 장치(42A), 제2 형성 장치(42B), 제3 형성 장치(42C)는, 각각 2개의 처리부(42A1 및 42A2), 처리부(42B1 및 42B2), 처리부(42C1 및 42C2)를 가지고 있다. 처리부(42A1, 42B1, 42C1)는, 각각 제1 원통부(CY1)에 대향하여 마련되어 있으며, 해당 제1 원통부(CY1)에 걸린 시트 기판(FB)에 대해서 처리 가능하게 되어 있다. 처리부(42A2, 42B2, 42C2)는, 각각 제2 원통부(CY2)에 대향하여 마련되어 있으며, 해당 제2 원통부(CY2)에 걸린 시트 기판(FB)에 대해서 처리 가능하게 되어 있다. 이와 같이, 제1 형성 장치(42A), 제2 형성 장치(42B) 및 제3 형성 장치(42C)는, 세워진 상태로 감긴 시트 기판(FB)에 대해서 처리가 가능하게 되어 있다. 또한, 제1 원통부(CY1) 및 제2 원통부(CY2)는, TFT층 형성 장치(42)에 의한 처리가 행해질 때에, 시트 기판(FB)을 지지하는 지지부가 된다.

또, 제1 원통부(CY1) 및 제2 원통부(CY2)가 시트 기판(FB)을 지지하는 지지부가 된 경우, 드럼 기구를 지지 기구로 환언할 수 있다.

도 5 ~ 도 7에 나타내는 바와 같이, 건조 장치(43)는, 시트 기판(FB)을 예를 들면 가열하는 것에 의해, 해당 시트 기판(FB)에 형성된 TFT 소자나 전극 등을 안정화시키는 장치이다. 건조 장치(43)의 -X측의 면에는, 도 7에 나타내는 바와 같이 2개의 삽입구(43a 및 43b)가 마련되어 있다. 삽입구(43a)는, ＋Z측에 배치되어 있으며, 제1 원통부(CY1)를 경유한 시트 기판(FB)이 삽입된다. 삽입구(43b)는, －Z측에 배치되어 있으며, 제2 원통부(CY2)를 경유한 시트 기판(FB)이 삽입된다.

건조 장치(43)의 ＋X측의 면에는, 2개의 배출구(43c 및 43d)가 마련되어 있다. 배출구(43c)는, ＋Z측에 배치되어 있으며, 삽입구(43a)로부터 삽입되어 건조 처리가 행해진 시트 기판(FB)이 배출된다. 배출구(43d)는, －Z측에 배치되어 있으며, 삽입구(43b)로부터 삽입되어 건조 처리가 행해진 시트 기판(FB)이 배출된다.

도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 예비 가공 장치(44)는, 시트 기판(FB)에 발광층을 형성할 때의 예비 공정(예를 들면, 절연층 형성 공정 등)을 행하는 장치이다. 예비 가공 장치(44)는, 시트 기판(FB)의 반송 경로에서, 건조 장치(43)와 함께, 예를 들면 드럼 기구(DRM)의 원통 부재(CYL)와 처리 롤러(32)와의 사이에 배치되어 있다. 예비 가공 장치(44)는, 예를 들면 제1 가공 장치(44A), 제2 가공 장치(44B) 및 제3 가공 장치(44C)를 가지고 있으며, 일련의 예비 가공 공정이 분담하여 행해지도록 되어 있다.

상기의 처리 장치(40) 중, 예를 들면 TFT층 형성 장치(42)의 제1 형성 장치(42A)와, 제1 세정 장치(41A)와, 제2 세정 장치(41B)와, 발광층 형성 장치(45)의 제3 형성 장치(45C)가 제1 방향(본 실시 형태에서는 제1 방향으로서 X 방향)을 따라서 배치되어 있다. 또, TFT층 형성 장치(42)의 제2 형성 장치(42B)와, 원통 부재(CYL)와, 처리 롤러(32)와, 발광층 형성 장치(45)의 제2 형성 장치(45B)가 X 방향을 따라서 배치되어 있다. 게다가, TFT층 형성 장치(42)의 제3 형성 장치(42C)와, 건조 장치(43)와, 발광층 형성 장치(45)의 제1 형성 장치(45A)가 X 방향을 따라서 배치되어 있다.

또, 예를 들면 TFT층 형성 장치(42)의 제1 형성 장치(42A)와, 원통 부재(CYL)와, 제3 형성 장치(42C)가 제2 방향(본 실시 형태에서는 X 방향과 교차하는 Y 방향)을 따라서 배치되어 있다. 또, 예를 들면 세정 장치(41A 및 41B)와 건조 장치(43)가 Y 방향을 따라서 배치되어 있다. 또, 예비 가공 장치(44)와 라미네이트 장치(46)가 Y 방향을 따라서 배치되어 있다. 게다가, 발광층 형성 장치(45)의 제1 형성 장치(45A)와, 처리 롤러(32)와, 제3 형성 장치(45C)가 Y 방향을 따라서 배치되어 있다. 이와 같이, 반송 장치(30) 및 처리 장치(40)는, X 방향 및 Y 방향을 따라서 배치되어 있기 때문에, X 방향 및 Y 방향으로부터 보았을 때에 각 장치가 서로 겹치는 부분이 많게 되도록 밀집하여 배치되어 있다.

제어부(CONT)는, 이 상태로부터 지지부(12)를 통하여 축 부재(11)를 회전시켜, 기판 공급부(SU)로부터 해당 시트 기판(FB)이 송출되도록 한다. 기판 공급부(SU)로부터 송출된 시트 기판(FB)은, 기판 처리부(PR)의 공급구(SUa)로부터 챔버(CB) 내로 공급된다. 제어부(CONT)는, 챔버(CB) 내로 공급된 시트 기판(FB)을 반송 장치(30)로 반송시키면서, 각 처리 장치(40)에 의해서 해당 시트 기판(FB)에 대해서 처리를 행하게 한다. 또한, 축 부재(11)에 롤 모양으로 감긴 시트 기판(FB)의 선단부 및 종단부에는, 처리 장치(FPA)로의 시트 기판의 자동 로딩을 용이하게 하기 위한 리더(reader)·시트를 붙여 두어도 좋다.

이 동작에 의해, 기판 처리부(PR)로 공급된 시트 기판(FB)은, 제1 세정 장치(41A)에 의해서 세정되고, 안내 롤러(R1)에 의해서 드럼 기구(DRM)의 제1 원통부(CY1)로 안내된다. 시트 기판(FB)은, 피처리면(Fp)이 TFT층 형성 장치(42)의 제1 형성 장치(42A), 제2 형성 장치(42B) 및 제3 형성 장치(42C)를 각각 향하도록, 제1 원통부(CY1)에 세워진 상태로 감겨 걸린다. 제1 원통부(CY1)에 감겨 걸린 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에는, 해당 TFT층 형성 장치(42, 예를 들면, 처리부(A1, B1 및 C1))에 의해서 TFT 소자나 배선 등이 형성된다.

제1 원통부(CY1)를 경유한 시트 기판(FB)은, 건조 장치(43)의 ＋Z측의 삽입구(43a)로부터 건조 장치(43)의 내부로 공급되어, 예를 들면 가열 처리 등의 건조 처리가 시행된다. 건조 처리 후의 시트 기판(FB)은, 건조 장치(43)의 ＋Z측의 배출구(43c)로부터 반출된다. 반출된 시트 기판(FB)은, 예를 들면 안내 롤러(R2)에 의해서 -Y 방향으로 안내되며, 안내 롤러(R3)에 의해서 -X 방향으로 안내된다. 안내 롤러(R3)를 통과한 시트 기판(FB)은, 안내 롤러(R4)에 의해서 경사진 하부 방향(＋X 방향으로서 -Z측으로 경사진 방향)으로 안내되며, 안내 롤러(R5)에 의해서 -X 방향으로 안내된다.

안내 롤러(R5)를 통과한 시트 기판(FB)은, 드럼 기구(DRM)의 제2 원통부(CY2)에 세워진 상태로 감겨 걸린다. 제2 원통부(CY2)에 감겨 걸린 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에는, 해당 TFT층 형성 장치(42, 예를 들면, 처리부(A2, B2 및 C2))에 의해서 TFT 소자나 배선 등에 필요한 층이 겹쳐 형성된다.

제2 원통부(CY2)를 경유한 시트 기판(FB)은, 건조 장치(43)의 -Z측의 삽입구(43b)로부터 건조 장치(43)의 내부로 공급되어, 예를 들면 가열 처리 등의 건조 처리가 재차 시행된다. 건조 처리 후의 시트 기판(FB)은, 건조 장치(43)의 -Z측의 배출구(43d)로부터 반출된다. 반출된 시트 기판(FB)은, 예를 들면 안내 롤러(R6)를 통하여 예비 가공 장치(44)로 공급된다. 예비 가공 장치(44)에서는, 예를 들면 제1 가공 장치(44A) ~ 제3 가공 장치(44C)에서, 시트 기판(FB)에 절연막이나 정공 주입층 또는 전자 주입층 등이 형성된다.

예비 가공 후의 시트 기판(FB)은, 예를 들면 안내 롤러(R7)를 통하여 처리 롤러(32)로 안내된다. 시트 기판(FB)은, 피처리면(Fp)이 발광층 형성 장치(45)의 제1 형성 장치(45A), 제2 형성 장치(45B) 및 제3 형성 장치(45C)를 각각 향하도록, 처리 롤러(32)에 세워진 상태로 감겨 걸린다. 처리 롤러(32)에 감겨 걸린 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에는, 해당 발광층 형성 장치(45)에 의해서 발광층 등이 형성된다.

처리 롤러(32)를 경유한 시트 기판(FB)은, 라미네이트 장치(46)로 공급되어, 피처리면(Fp)에 보호 기판(PB)이 붙여진다. 보호 기판(PB)이 붙여진 후의 시트 기판(FB)은, 예를 들면 회수구(CLa)로부터 기판 회수부(CL)로 회수된다. 기판 회수부(CL)로 회수된 시트 기판(FB)은, 회수 포트(20) 내의 축 부재(21)에 롤 모양으로 감겨진다. 축 부재(21)에 소정량의 시트 기판(FB)이 감기면, 시트 기판(FB)을 예를 들면 절단하여, 시트 기판(FB)이 감긴 축 부재(21)를 지지부(22)로부터 떼어낸다. 해당 지지부(22)에는, 예를 들면 시트 기판(FB)이 감겨있지 않은 새로운 축 부재(21)를 장착한다.

제어부(CONT)는, 이와 같은 처리를 행하게 하는 것에 의해, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)에 대해서 소자를 형성해 간다.

이상과 같이, 본 실시 형태에 의하면, 시트 기판(FB)이 드럼 기구(DRM)의 제1 원통부(CY1)의 외주면의 일부분에 감긴 후, 해당 시트 기판(FB)의 반송 방향이 제2 원통부(CY2)를 향하여 변환되어, 해당 시트 기판(FB)이 제2 원통부(CY2)에 감기는 구성으로 하고, 제1 원통부(CY1)의 일부분에 감긴 피처리면(Fp)에 제1 처리를 행함과 아울러, 제2 원통부의 일부분에 감긴 피처리면(Fp)에 제2 처리를 행하는 것으로 했으므로, 시트 기판(FB)에 대해서 고밀도로 처리를 행할 수 있다. 이것에 의해, 기판 처리 장치(FPA)의 공간 절약화를 도모하는 것이 가능해진다.

또한, 도 5 및 도 6에 나타낸 기판 처리 장치(FPA)에서는, 처리 롤러(32)에서, 시트 기판(FB)이 1회밖에 감겨 있지 않지만, 드럼 기구(DRM)의 원통 부재(CYL)와 마찬가지로, 제1 원통부 및 제2 원통부를 구비하는 2단의 원통부로 구성하고, 각 원통부에 시트 기판(FB)을 감도록 해도 괜찮다. 게다가, 이 구성에서, 발광층 형성 장치(45)를 제1 원통부 및 제2 원통부에 배치하도록 해도 괜찮다. 또한, 처리 롤러(32)를 2단의 원통부로 구성한 경우, 도 7에 나타낸 안내 롤러(R4, R5)와 같이, 각 회전 중심축이 경사진 2개의 안내 롤러를 사용하여, 시트 기판(FB)을 접을 수 있다.

[제５ 실시 형태］　

다음에, 본 발명의 제５ 실시 형태를 설명한다. 본 실시 형태에서는, 드럼 기구의 구성이 제4 실시 형태와는 다르기 때문에, 드럼 기구의 구성을 중심으로 설명한다. 도 9는, 본 실시 형태에 관한 드럼 기구(DRM2)의 구성을 나타내는 사시도이다.

전술의 실시 형태에서는, 제1 원통부(CY1) 및 제2 원통부(CY2)가 단일의 원통 부재(CYL)에 형성되어 있는 구성을 예로 들어 설명했지만, 제５ 실시 형태에서는, 도 9와 같이, 제1 원통부(CY1)와 제2 원통부(CY2)를 다른 원통 부재(예를 들면, 제1 원통 부재(C1) 및 제2 원통 부재(C2))에 형성하는 구성이 나타내어져 있다.

도 9에 나타내는 바와 같이, 제1 원통 부재(C1)와 제2 원통 부재(C2)가 Z 방향으로 떨어진 상태로 배치되어 있다. 제1 원통 부재(C1)의 ＋Z측의 단면(C1a)과, 제2 원통 부재(C2)의 -Z측의 단면(C2a)은, 서로 대향하고 있다. 회전축(SF)의 중심선은, 제1 원통 부재(C1)와 제2 원통 부재(C2)와의 사이에서 공통(XY면 내에서 동일한 위치)이 되도록 마련되어 있다.

도 9에 나타내는 구성에서는, 예를 들면 제1 원통 부재(C1)와 제2 원통 부재(C2)와의 사이에서, 지름이 다르다. 구체적으로는, 제1 원통 부재(C1)의 지름(D1)은, 제2 원통 부재(C2)의 지름(D2) 보다도 크게 되어 있다. 이와 같이, 제1 원통 부재(C1)와 제2 원통 부재(C2)가 다른 지름을 가지는 것에 의해, 반송 경로의 경로 길이를 조정할 수 있다.

회전 구동 기구(ACT2)는, 제1 원통 부재(C1)와 제2 원통 부재(C2)를 각각 독립하여 회전시킬 수 있는 구성이라도 상관없다. 또, 회전 구동 기구(ACT2)가 제1 원통 부재(C1) 및 제2 원통 부재(C2) 중 일방만을 회전시킬 수 있는 구성이라도 상관없다.

도 9에 나타내는 구성에 의하면, 예를 들면 안내 롤러(R21)를 통과한 시트 기판(FB)이 제1 원통부(CY1)에 감겨 걸리고, 안내 롤러(변환부, R22 및 R23)를 통하여 제2 원통부(CY2)로 안내된다. 제2 원통부(CY2)에 감겨 걸린 후의 시트 기판(FB)은, 안내 롤러(R24)를 통하여 안내된다.

제1 원통 부재(C1)와 제2 원통 부재(C2)의 직경의 차이는, 각 원통 부재(C1, C2)의 주위에 배치되는 각종 처리 장치의 가공 형태나 가공 조건, 가공부(가공 헤드부 등)의 설치 사이즈 등에 의존하여 생길 수 있다.

본 실시 형태에서는, 제1 원통 부재(C1)로부터 제2 원통 부재(C2)에 걸쳐서, 연속한 시트 기판(FB)이 보내어지기 때문에, 각 원통 부재(C1, C2)의 직경이 다른 경우는, 그 직경의 차분(差分)에 대응하여 회전 속도(rpm)에도 차이를 갖게 할 필요가 있다.

또, 제1 원통 부재(C1)와 제2 원통 부재(C2)의 각각, 혹은 어느 일방의 원통 부재에, 회전 구동용 모터를 마련하는 경우는, 시트 기판(FB)의 제1 원통 부재(C1)와 접촉하는 부분으로부터 제2 원통 부재(C2)와 접촉하는 부분까지의 사이에, 소정의 텐션을 가하는 것이 가능하다.

또한, 도 9에 나타내는 구성에서, 제1 원통 부재(C1)가 -Z측에 배치되고, 제2 원통 부재(C2)가 ＋Z측에 배치된 구성으로 되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 제1 원통 부재(C1)가 ＋Z측, 제2 원통 부재(C2)가 -Z측에 배치되어 있어도 상관없다.

[제6 실시 형태］　

다음에, 본 발명의 제6 실시 형태를 설명한다. 본 실시 형태에서는, 드럼 기구의 구성이 상기 실시 형태와는 다르기 때문에, 드럼 기구의 구성을 중심으로 설명한다. 도 10은, 본 실시 형태에 관한 드럼 기구(DRM3)의 구성을 나타내는 사시도이다.

도 10에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에 관한 드럼 기구(DRM3)는, 제1 원통부(가공용 기준면, CY1)에 대해서 분리된 복수의 제2 원통부(가공용 기준면)를 배치한 구성으로 되어 있다. 구체적으로는, 드럼 기구(DRM3)는, 제1 원통부(CY1)에 대해서 2개의 제2 원통부(CY21 및 CY22)를 배치한 구성으로 되어 있다. 본 실시 형태에서는, 제1 원통부(CY1)와 제2 원통부(CY21, CY22)가 다른 원통 부재(예를 들면, 제1 원통 부재(C1) 및 제2 원통 부재(C21, C22))에 형성되어 있다.

드럼 기구(DRM3)는, 제1 원통 부재(C1)의 ＋Z측에 2개의 제2 원통 부재(C21 및 C22)가 배치된 구성으로 되어 있다. 2개의 제2 원통 부재(C21 및 C22)는, 예를 들면 동일한 지름(D4 및 D5)이 되도록 형성되어 있다. 제1 원통 부재(C1)의 지름(D3)은, 이들의 지름(D4 및 D5) 보다도 크게 되도록 형성되어 있다.

도 10에 나타내는 바와 같이, 제1 원통 부재(C1)와 제2 원통 부재(C21 및 C22)는, Z 방향으로 떨어진 상태로 배치되어 있다. 제1 원통 부재(C1)의 ＋Z측의 단면(C1a)과, 제2 원통 부재(C21 및 C22)의 -Z측의 단면(C21a 및 C22a)은, 서로 대향하고 있다. 제1 원통 부재(C1) 및 제2 원통 부재(C21, C22)는, 각각 별개의 회전축(SF1 및 SF21, SF22)을 가지고 있다. 회전축(SF1), 회전축(SF21) 및 회전축(SF22)은 서로 평행이 되도록 배치되어 있다. 회전 구동 기구(ACT3)는, 제1 원통 부재(C1), 제2 원통 부재(C21 및 C22)를, 각각 독립하여 회전 제어할 수 있다.

도 10에 나타내는 구성에 의하면, 예를 들면 안내 롤러(R31)를 통과한 시트 기판(FB)이 제1 원통부(CY1)에 감겨 걸리고, 변환부로서의 안내 롤러(R32 및 R33, 필요하면 추가의 안내 롤러를 마련함)를 통하여, Z 방향의 상단의 제2 원통부(CY2)로 안내된다. 제2 원통부(CY2)에 감겨 걸린 후의 시트 기판(FB)은, 안내 롤러(R34)를 통하여 제2 원통부(CY22)에 감겨 걸리고, 그 후는 안내 롤러(R35)를 통하여 안내된다. 도 10에 나타내는 구성에서, 제1 원통 부재(C1)가 -Z측에 배치되고, 제2 원통 부재(C21 및 C22)가 ＋Z측에 배치된 구성으로 되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 제1 원통 부재(C1)가 ＋Z측, 제2 원통 부재(C21 및 C22)가 -Z측에 배치되어 있어도 상관없다.

[제7 실시 형태］　

다음에, 본 발명의 제7 실시 형태를 설명한다. 본 실시 형태에서는, 드럼 기구의 구성이 상기 실시 형태와는 다르기 때문에, 드럼 기구의 구성을 중심으로 설명한다. 도 11은, 본 실시 형태에 관한 드럼 기구(DRM4)의 구성을 나타내는 사시도이다.

도 11에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에 관한 드럼 기구(DRM4)는, 제1 원통 부재(C1), 제2 원통 부재(C2) 및 제3 원통 부재(C3)가 마련되어 있다. 이들 제1 원통 부재(C1), 제2 원통 부재(C2) 및 제3 원통 부재(C3)는, Z 방향으로 3단으로 배치된 구성으로 되어 있다. 본 실시 형태에서는, 제1 원통 부재(C1)의 외주면인 제1 원통부(CY1), 제2 원통 부재(C2)의 외주면인 제2 원통부(CY2) 및 제3 원통 부재(C3)의 외주면인 제3 원통부(CY3)의 각각에 시트 기판이 걸쳐져, 일련의 가공과 처리가 시행된다.

제1 원통 부재(C1), 제2 원통 부재(C2), 제3 원통 부재(C3)는, Z 방향으로 떨어진 상태로 배치되어 있다. 제1 원통 부재(C1), 제2 원통 부재(C2), 제3 원통 부재(C3)의 인접하는 단면끼리는 서로 대향하고 있다. 회전축(SF)은, 제1 원통 부재(C1), 제2 원통 부재(C2), 제3 원통 부재(C3)의 사이에서 공용축(XY면 내에서의 위치가 동일)이 되도록 마련되어 있다.

제1 원통 부재(C1), 제2 원통 부재(C2), 제3 원통 부재(C3)는, 예를 들면 지름이 동일하게 되도록 형성되어 있다. 드럼 기구(DRM4)는, 회전 구동 기구(ACT4)를 가지고 있다. 회전 구동 기구(ACT4)는, 예를 들면 3개의 원통 부재(C1, C2, C3)를 일체적으로 회전시키는 구성, 혹은 모두 개별적으로 회전 구동시키는 구성이라도 상관없고, 제1 원통 부재(C1)와 제2 원통 부재(C2)를 각각 독립하여 회전시킬 수 있는 구성이라도 상관없다. 또, 회전 구동 기구(ACT4)가 3개의 원통 부재(C1, C2, C3) 중 어느 1개만을 모터 등으로 강제 회전시키는 구성으로 해도 상관없다.

도 11에 나타내는 구성에 의하면, 예를 들면 안내 롤러(R41)를 통과한 시트 기판(FB)이 제1 원통부(CY1)에 감겨 걸리고, 안내 롤러(변환부, R42 ~ R45)를 통하여 제2 원통부(CY2)로 안내된다. 제2 원통부(CY2)에 감겨 걸린 후의 시트 기판(FB)은, 안내 롤러(변환부, R46 ~ R49)를 통하여 제3 원통부(CY3)로 안내된다. 제3 원통부(CY3)에 감겨 걸린 후의 시트 기판(FB)은, 안내 롤러(R50)를 통하여 안내된다. 이와 같이, 본 실시 형태에서는, 제1 원통부(CY1)와 제2 원통부(CY2)의 사이에서의 시트 기판의 안내 구성을, 제2 원통부(CY2)와 제3 원통부(CY3)와의 사이에서도 동일하게 반복하는 구성이기 때문에, 드럼 기구(DRM4)를 사용한 처리 공정을 더 고밀도화(처리 장치의 설치 바닥 면적의 삭감)할 수 있다.

본 발명의 기술 범위는 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 적절히 변경을 더할 수 있다. 　

예를 들면, 상기 실시 형태에서는, 3개의 원통부(CY1, CY2, CY3)의 각각의 위치에서 시트 기판에 대한 처리·가공을 행하는 것을 생각했지만, 예를 들면, 제1 원통부(CY1)로부터 제2 원통부(CY2)까지의 사이에서 시트 기판(FB)에 대해서 처리를 행하지 않는 구성으로 해도 상관없다. 또, 방향 변환부로서의 기능을 가지는 안내 롤러의 장소에서, 시트 기판에 대한 처리를 행하는 구성으로 할 수도 있다.

도 12에 나타내는 바와 같이, 안내 롤러(R51)에 의해서 드럼 기구(DRM5)로 안내된 시트 기판(FB)은, 제1 원통부(CY1)에 감겨 걸리고, 안내 롤러(R52)를 통하여 안내된 후, 제2 원통부(CY2)에 이를 때까지의 경로에서, 예를 들면 회전축이 수평(XY 평면과 평행)이 되도록 배치된 안내 롤러(R53)에 감겨 걸린다. 여기서, 예를 들면 안내 롤러(R53)에, 해당 시트 기판(FB)을 가열하는 가열 장치(가열·건조용 드럼)를 마련하는 구성으로 할 수 있다. 즉, 안내 롤러(R53)를 가열 드럼으로서 구성할 수 있다. 이 경우, 시트 기판(FB) 중 안내 롤러(R53)에 감겨 걸린 부분이 가열되게 된다. 도 12와 같이, 안내 롤러(R53)는, 안내 롤러(R52)로부터 세워진 상태로 보내져 오는 시트 기판(FB)을, 안내 롤러(R54)에 세워진 상태로 보내기 위해, 꼬임을 주는 배치로 되어 있다.

예를 들면, 드럼 기구(DRM5)에서의 처리 장치(40)로서 도포 장치 등을 이용하는 경우에서, 도포 처리된 후의 시트 기판(FB)에 대해서 건조 처리 등을 행하는 것이 바람직하지만, 그러한 경우에, 안내 롤러(가열 처리용 회전 드럼, R53)에 도포 공정 직후의 시트 기판을 감아 걸어 건조 공정에 이용할 수 있다. 건조 처리 후의 시트 기판(FB)은, 예를 들면 안내 롤러(R54)를 통하여 제2 원통부(CY2)로 안내되고, 제2 원통부(CY2)에 감긴 후, 안내 롤러(R55)에 의해서 안내된다.

또, 상기 각 설명에서는, 예를 들면 시트 기판(FB)을 세운 상태로 반송하는 구성을 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 드럼 기구(DRM) 및 처리 롤러(32)의 적어도 일방에서는, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)을 수평면에 대해서 수직 또는 경사진 상태로 반송하고, 드럼 기구(DRM) 및 처리 롤러(32)의 적어도 일방으로 반송하는 반송 경로에서는, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)을 수평면에 대해서 실질적으로 평행하게 배치하는 구성이라도 상관없다. 또, 시트 기판(FB)의 반송 경로에서, 시트 기판(FB)을 세운 상태와 옆으로 한 상태를 조합하는 구성으로 해도 상관없다.

또한, 시트 기판(FB)을 비수평 자세, 예를 들면, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)을 수평면(XY 평면)에 대해서 소정 각도로 경사진 상태로 반송 또는 처리하는 경우에는, 드럼 기구(DRM)의 원통 부재(CYL), 처리 롤러(32), 안내 롤러(R1, R2, R6, R7, R8) 등의 회전 중심축을 Z 방향에 대해서 경사시키면 좋다. 　

예를 들면, 상기 실시 형태의 구성에 더하여, 도 1, 2, 5, 6에 나타낸 반송 장치(30)가, 안내 롤러(R101 ~ R106), 처리 롤러(31 및 32) 외에, 시트 기판(FB)의 자세를 조정하는 자세 조정 롤러를 가지는 구성으로 해도 상관없다.

이 자세 조정 롤러는, 예를 들면 시트 기판(FB)의 반송 경로에서 처리 장치(40)의 상류측에 배치할 수 있다. 또, 예를 들면 처리 장치(40)의 직전에 자세 조정 롤러를 배치한 구성으로 해도 상관없다. 자세 조정 롤러는, 예를 들면 중심축이 Z 방향에 평행하게 되도록 배치되어 있으며, X 방향, Y 방향 및 Z 방향으로 이동 가능하게 마련되어 있다. 또, 자세 조정 롤러는, 예를 들면 중심축이 Z축 방향에 대해서 경사지도록 배치되어 있다. 이 경우, 예를 들면 자세 조정 롤러의 경사나 위치를 변화시킴으로써, 시트 기판(FB)의 자세를 조정할 수 있다. 또, 상기의 안내 롤러나 처리 롤러, 처리 반송 롤러가 자세 조정 롤러를 겸하는 구성이라도 상관없다.

또, 상술한 실시 형태에서, 처리 롤러(31), 처리 롤러(32)가 원통 모양으로 형성되어 있는 예에 대해서 설명했지만, 원통 모양으로 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 처리 롤러(31)의 형상을 타원 또는 다각 기둥으로 하거나, 처리 롤러(31)의 표면의 일부에 곡률면을 형성하는 구성이라도 괜찮다. 이 경우, 처리 롤러(31), 처리 롤러(32)를 고정하고, 처리 롤러(31, 32)의 표면을 시트 기판(FB)이 접촉 또는 비접촉으로 미끄러지는 구성으로 하는 것이 바람직하다.

또, 드럼 기구(DRM)의 원통 부재(CYL)도 마찬가지로, 원통 부재에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 원통 부재(CYL) 대신에, 각 처치(處置) 장치(40)가 시트 기판의 피처리면을 처리할 때에, 피처리면을 곡률면으로 안내할 수 있는 안내면이 형성된 안내 부재나, 피처리면을 평탄하게 안내할 수 있을 것 같은 안내면이 형성된 안내 부재를 이용해도 괜찮다. 또한, 안내 부재를 이용하는 경우에는, 시트 기판(FB)이 접촉 또는 비접촉으로 미끄러지는 구성으로 하는 것이 바람직하다.

또, 기판 공급부(SU)에 설치되는 롤 모양의 시트 기판(FB)의 선단에는, 시트 기판(FB)과 동일한 정도의 두께를 가지며, 시트 기판 보다도 강성이 높은 리더·시트를 소정의 길이로 붙여도 좋다. 그와 같이 해 두면, 새로운 시트 기판(FB)의 롤을 기판 공급부(SU)에 장착했을 때에, 시트 기판을 처리 장치(FPA4) 내로 자동 장전(裝塡)하는 것도 가능해진다.

또, 상기 각 설명에서는, 예를 들면 시트 기판(FB)을 세운 상태로 반송하는 구성을 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 처리 롤러(31) 및 처리 롤러(32) 중 적어도 일방에서는, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)을 수평면에 대해서 수직 또는 경사진 상태로 반송하고, 처리 롤러(31) 및 처리 롤러(32) 중 적어도 일방으로 반송하는 반송 경로에서는, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)을 수평면에 대해서 실질적으로 평행하게 배치하는 구성이라도 상관없다. 또, 시트 기판(FB)의 반송 경로에서, 시트 기판(FB)을 세운 상태와 옆으로 한 상태를 조합하는 구성으로 해도 상관없다.

또한, 시트 기판(FB)을 비수평 자세, 예를 들면, 시트 기판(FB)의 피처리면(Fp)을 수평면(XY 평면)에 대해서 소정 각도로 경사진 상태로 반송 또는 처리하는 경우에는, 처리 롤러(31), 처리 롤러(32), 안내 롤러(R101, R102, R103, R104, R8) 등의 회전 중심축을 Z 방향에 대해서 경사시키면 좋다.

FB … 시트 기판　 SU … 기판 공급부
PR … 기판 처리부 CB … 챔버
CL … 기판 회수부　 CONT … 제어부
Fp … 피처리면　 DRM … 드럼 기구
CYL … 원통 부재　 CY1 … 제1 원통부
CY2 … 제2 원통부　 ACT … 회전 구동 기구
C1 … 제1 원통 부재　 C2 … 제2 원통 부재
DRM ~ DRM5 … 드럼 기구
42A1, 42A2, 42B1, 42B2, 42C1, 42C2 … 처리부　
43 … 건조 장치
FPA, FPA4, FPA2, FPA3 … 기판 처리 장치
R101 ~ R106, R111 ~ R114 … 안내 롤러　 10 … 공급 포트 11, 13, 21, 111, 121 … 축 부재　
12, 14, 22, 112, 122 … 지지부　 20 … 회수 포트　
30, 130, 230 … 반송 장치 31, 32 … 처리 롤러　
40, 140, 241 ~ 244 … 처리 장치
131, 231 ~ 233 … 처리 반송 롤러

Claims

띠 모양으로 형성된 시트 기판을 길이 방향으로 반송하고, 상기 시트 기판의 피처리면을 처리하는 기판 처리 장치로서,
상기 시트 기판의 길이 방향과 직교하는 짧은 방향을 수평 방향에 대해서 교차한 연직 방향으로 세운 상태에서, 상기 시트 기판을 공급하는 기판 공급부와,
상기 시트 기판의 짧은 방향이 상기 연직 방향으로 세워진 상태에서, 상기 기판 공급부로부터 공급되는 상기 시트 기판의 일부를 지지하는 안내면을 구비한 제1 안내 부재와,
해당 제1 안내 부재의 안내면에 지지된 상기 시트 기판을 처리하는 제1 처리부와,
상기 제1 안내 부재에 대해서 상기 연직 방향으로 떨어져 배치되며, 상기 시트 기판의 짧은 방향이 상기 연직 방향으로 세워진 상태가 되도록 상기 시트 기판의 일부를 지지하는 안내면을 구비한 제2 안내 부재와,
해당 제2 안내 부재의 안내면에 대향하여 마련되는 제2 처리부와,
상기 제1 처리부에서 처리된 상기 시트 기판이, 상기 제2 처리부에 의해서 처리되도록, 상기 제1 안내 부재로부터의 상기 시트 기판을 상기 제2 안내 부재를 향하여 상기 연직 방향으로 접어서 반송하는 반송부와,
상기 제2 처리부에서 처리된 상기 시트 기판을, 상기 시트 기판의 짧은 방향을 상기 연직 방향으로 세운 상태에서 회수하는 기판 회수부를 구비하는 기판 처리 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 기판 공급부 및 상기 기판 회수부 중 적어도 일방은, 상기 시트 기판이 상기 짧은 방향을 상기 연직 방향으로 세운 상태에서 감기는 축 부재와, 해당 축 부재를 원주 방향으로 회전 가능하게 지지하는 지지부를 가지는 기판 처리 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 안내 부재, 상기 제1 처리부, 상기 제2 안내 부재, 상기 제2 처리부, 및 상기 반송부를 수용하는 챔버를 더 구비하며,
상기 기판 공급부 및 상기 기판 회수부는, 상기 챔버의 외부에 배치되는 기판 처리 장치.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 제1 안내 부재는, 상기 시트 기판이 상기 짧은 방향을 상기 연직 방향으로 세운 상태에서 걸리는 원통 모양의 안내면을 구비한 제1 원통 부재를 가지고,
상기 제2 안내 부재는, 상기 시트 기판이 상기 짧은 방향을 상기 연직 방향으로 세운 상태에서 걸리는 원통 모양의 안내면을 구비한 제2 원통 부재를 가지는 기판 처리 장치.
청구항 4에 있어서,
상기 제1 처리부는, 상기 제1 원통 부재의 주위에 배치되어, 상기 시트 기판에 대해서 제1 처리를 행하고,
상기 제2 처리부는, 상기 제2 원통 부재의 주위에 배치되어, 상기 시트 기판에 대해서 제1 처리와는 다른 제2 처리를 행하는 기판 처리 장치.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 시트 기판의 반송 경로 중, 상기 기판 공급부와 상기 제1 안내 부재와의 사이, 상기 제1 안내 부재와 상기 제2 안내 부재와의 사이, 상기 제2 안내 부재와 상기 기판 회수부와의 사이 중 적어도 하나에 배치되며, 상기 시트 기판에 상기 제1 처리부 및 상기 제2 처리부와는 다른 처리를 행하는 제3 처리부를 가지는 기판 처리 장치.
청구항 6에 있어서,
상기 제3 처리부는, 상기 시트 기판의 세정 처리, 상기 시트 기판의 건조 처리, 상기 제1 처리부 또는 상기 제2 처리부의 전(前)처리 중 적어도 하나를 행하는 기판 처리 장치.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 반송부는, 상기 제1 안내 부재와 상기 제2 안내 부재와의 사이에서, 상기 시트 기판을 상기 연직 방향으로 접어서 반송하는 복수의 롤러를 포함하며, 해당 복수의 롤러 중 적어도 하나를, 상기 시트 기판의 자세를 조정하는 자세 조정 롤러로 하는 기판 처리 장치.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 기판 회수부에 회수되는 상기 시트 기판에 붙이는 보호 기판을 공급하는 보호 기판 공급부를 더 구비하는 기판 처리 장치.
청구항 9에 있어서,
상기 보호 기판 공급부는, 상기 기판 회수부와 나란히 배치되어 있는 기판 처리 장치.
띠 모양으로 형성된 시트 기판을 길이 방향으로 반송하고, 상기 시트 기판의 피처리면을 처리하는 기판 처리 장치로서,
상기 시트 기판의 길이 방향과 직교하는 짧은 방향을 수평 방향에 대해서 교차한 연직 방향으로 세운 상태에서, 상기 시트 기판을 송출하는 제1 반송 기구와,
상기 연직 방향을 따른 중심축을 가지며, 상기 시트 기판의 짧은 방향을 상기 연직 방향으로 세운 상태에서, 상기 시트 기판의 일부를 상기 길이 방향으로 감아 지지하는 원통 모양의 안내면을 구비한 제1 원통 부재와,
해당 제1 원통 부재의 안내면에 지지되는 상기 시트 기판을 처리하는 제1 처리부와,
상기 제1 원통 부재에 대해서 상기 연직 방향으로 떨어져 배치됨과 아울러, 상기 연직 방향을 따른 중심축을 가지며, 상기 시트 기판의 짧은 방향을 상기 연직 방향으로 세운 상태에서, 상기 시트 기판의 일부를 상기 길이 방향으로 감아서 지지하는 원통 모양의 안내면을 구비한 제2 원통 부재와,
해당 제2 원통 부재의 안내면에 지지되는 상기 시트 기판을 처리하는 제2 처리부와,
상기 제1 처리부에서 처리된 상기 시트 기판이 상기 제2 처리부에 의해서 처리되도록, 상기 제1 원통 부재로부터 송출되는 상기 시트 기판을 상기 연직 방향으로 접어서 상기 제2 원통 부재를 향하여 반송하는 반송부를 구비하는 기판 처리 장치.
청구항 11에 있어서,
상기 제1 원통 부재 및 상기 제2 원통 부재는, 동일한 직경을 가지도록 형성되어 있는 기판 처리 장치.
청구항 11에 있어서,
상기 제1 원통 부재의 중심축과 상기 제2 원통 부재의 중심축은, 상기 수평 방향의 면내에서 공통이 되도록 마련되는 기판 처리 장치.
청구항 11에 있어서,
상기 제1 원통 부재 또는 상기 제2 원통 부재를, 상기 중심축의 둘레로 회전 가능하게 지지하는 지지 기구를 구비하는 기판 처리 장치.
청구항 14에 있어서,
상기 지지 기구는, 상기 제1 원통 부재와 상기 제2 원통 부재를 함께 회전 가능하게 지지하는 회전 기구를 구비하는 기판 처리 장치.
청구항 14에 있어서,
상기 지지 기구는, 상기 제1 원통 부재와 상기 제2 원통 부재를, 각각 독립하여 회전 가능하게 지지하는 회전 기구를 구비하는 기판 처리 장치.
청구항 11에 있어서,
상기 제1 원통 부재의 단면(端面)과 상기 제2 원통 부재의 단면(端面)은, 서로 대향하는 기판 처리 장치.
청구항 11에 있어서,
상기 반송부는, 상기 제1 원통 부재로의 상기 시트 기판의 반송 방향에 대해서, 상기 제2 원통 부재로의 상기 시트 기판의 반송 방향이 동일 방향이 되도록 상기 시트 기판을 안내함과 아울러, 상기 연직 방향으로 접는 복수의 안내 롤러를 가지는 기판 처리 장치.
청구항 18에 있어서,
상기 제1 처리부 및 상기 제2 처리부는, 상기 시트 기판에 도포막을 형성하는 도포 처리를 포함하는 기판 처리 장치.
청구항 19에 있어서,
상기 반송부의 상기 복수의 안내 롤러에 의한 상기 시트 기판의 안내 경로에서 상기 제1 원통 부재와 상기 제2 원통 부재와의 사이에 배치되며, 상기 도포막을 건조시키는 건조부를 더 가지는 기판 처리 장치.
청구항 11에 있어서,
상기 시트 기판을 롤 모양으로 감은 축 부재가 설치되는 공급부와,
상기 제2 처리부에서 처리된 상기 시트 기판을 롤 모양으로 감아 올리는 축 부재가 설치되는 회수부를 구비하며,
상기 공급부의 공급 포트와 상기 회수부의 회수 포트가 나란히 배치되는 기판 처리 장치.
청구항 11 내지 청구항 21 중 어느 하나의 항에 있어서,　
상기 제1 반송 기구는, 상기 시트 기판의 자세를 조정하는 자세 조정 롤러를 더 가지는 기판 처리 장치.
청구항 11 내지 청구항 21 중 어느 하나의 항에 있어서,　
상기 시트 기판에 대해서 보호재를 공급하는 보호재 공급부를 더 구비하는 기판 처리 장치.
청구항 23에 있어서,
상기 시트 기판에 상기 보호재를 붙이는 붙임부를 더 가지며,
상기 제1 반송 기구는, 상기 보호재 공급부로부터의 상기 보호재를 상기 붙임부로 안내하는 롤러를 가지는 기판 처리 장치.
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