TWI458923B - Unit type clean room and its combination method - Google Patents

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TWI458923B
TWI458923B TW097123085A TW97123085A TWI458923B TW I458923 B TWI458923 B TW I458923B TW 097123085 A TW097123085 A TW 097123085A TW 97123085 A TW97123085 A TW 97123085A TW I458923 B TWI458923 B TW I458923B
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
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Description

單元型無塵室及其組合方法
本發明係關於一種單元型之無塵室。
以往為了新建或藉由改建等而設置無塵室，由於需要大規模的設備所以有較高的成本或設置場所等的問題以致無法容易地設置。
為了解決如此的問題，有提案一種專利文獻1所記載的無塵隔間單元(clean booth unit)及具備該無塵隔間單元的無塵室，作為既低成本且可無需過多設備負擔地設置的無塵室。
然而，前述無塵隔間單元及具備該無塵隔間單元的無塵室，係一種在進行精密機器之組裝等時於無塵室內配置複數個按照組裝線之小型的無塵隔間單元，且在相鄰的無塵隔間單元彼此間逐次地吸入空氣的形態，在需要多數個作業者及作業行程的狀態時由於需要多數個無塵隔間單元，所以如果只有一個無塵隔間單元的話即使是低成本但是一旦需要多數個，最終恐有花費較高成本之虞。
(專利文獻1)日本特開平6－272921號
因此，本發明之目的在於提供一種藉由形成單元型而 能容易地設置，且可自如地增減無塵室之數量，可自如地組合構成無塵室的各單元，且可一邊具備高性能的空氣清淨作用一邊具有較寬的作業空間之無塵室。
本發明係為了解決上述的課題，而提供一種單元型無塵室1之構成，其特徵在於：包含：機械室單元2，其係設置有空調機5及定風量裝置5a；及無塵室單元10，其係設置有夾介送風導管13來與前述空調機5連結的2具HEPA過濾器單元12、12a，且設置有夾介回氣導管14來與前述定風量裝置5a連結的回氣室15；以及前室單元6，其係設置有在進入前述無塵室單元10之前去除灰塵20a的空氣浴塵室9。
本發明係可將具有較寬的作業空間之無塵室內的空氣經常保持於清淨的狀態，又由於其為單元型之無塵室，所以不需要那麼大規模的設備就可容易地設置，故而可自如地增減無塵室之數目且可自由地組合構成無塵室的各單元。
本發明的單元型無塵室，係由機械室單元、前室單元、以及無塵室單元所構成，且為藉由將設置於機械室單元 的空調機及定風量裝置夾介送風導管及回氣導管來與設置於無塵室單元的HEPA過濾器單元連結而使空氣循環，則作為作業空間的無塵室內之空氣可經常保持經潔淨的狀態之單元型無塵室。
(實施例1)
第1圖係本發明的單元型無塵室之俯視圖。如第1圖所示，本發明的單元型無塵室1，係由機械室單元2、前室單元6以及無塵室單元10所構成，且連結至設置於前述機械室單元2之空調機5的送風導管13係與設置於無塵室單元10之HEPA過濾器單元12、12a連結，而連結至設置於前述機械室單元2之定風量裝置5a的回氣導管14係與設置於無塵室單元10之回氣室15連結。
第2圖至第4圖係顯示第1圖所示的本發明的單元型無塵室之外觀的示意圖。亦即，第2圖係本發明的單元型無塵室之前視圖；第3圖係本發明的單元型無塵室之後視圖；第4圖係本發明的單元型無塵室之左側視圖；第5圖係本發明的單元型無塵室之A－A剖視圖。
如第2圖所示，連結機械室單元2與無塵室單元10的送風導管13及回氣導管14係配置於單元型無塵室1之正面。另外，單元型無塵室1，係由基座1a~1d所支撐。
如第3圖所示，分別在構成單元型無塵室1的機械室單元2之背面設置有進入於機械室3的機械室入口門2a，在前室單元6之背面設置有進入於前室7的前室入口門 6a。
又，在單元型無塵室1之室外設置有室外機16，前述室外機16係設置於機械室單元2之外側。
如第5圖之A－A剖視圖所示，前室單元6，係具有一旦進入前室入口門6a就立即進入於空氣浴塵室9用的空氣浴塵室入口9a之門。又，在連設機械室單元2與前室單元6的境界嵌板2f、與連設前室單元6與無塵室單元10的境界嵌板8b分別安裝有差壓阻尼器8、8a。
在此，如第5圖所示，機械室單元2之機械室天花板嵌板3b、境界嵌板2f、前室單元6之天花板及牆壁、無塵室單元10之天花板及牆壁係以絕熱嵌板17、17a所製成。又，在前室單元6及無塵室單元10使用地板材19。
以下，就構成單元型無塵室1的機械室單元2、無塵室單元10、前室單元6之各單元分別加以詳細說明。
第6圖至第9圖係顯示構成本發明的單元型無塵室之機械室單元的示意圖。第6圖係機械室單元的俯視圖；第7圖係機械室單元的前視圖；第8圖係機械室單元的後視圖；第9圖係沿著第6圖中所示之B－B線的機械室單元之剖視圖。
如第6圖至第9圖所示，構成本發明的單元型無塵室1之機械室單元2，係構成由機械室正面嵌板2b、機械室屋頂嵌板2c、機械室外牆嵌板2d、機械室背面嵌板2e以及境界嵌板2f、地板材3c所包圍而成之呈長方體狀的機械室3。此時，成為機械室3之天花板的機械室天花板嵌 板3b係以絕熱材所製成。又，在機械室外牆嵌板2d設置有彎頭蓋(bent cap)3a。
在前述機械室背面嵌板2e設置有機械室入口門2a，在進入機械室入口門2a馬上碰到的牆壁面(即境界嵌板2f)安裝有動力盤4及控制盤4a。前述動力盤4及控制盤4a，係用於使本發明的單元型無塵室1整體運轉者。
在機械室3之中程設置有空調機5，且與前述空調機5連結而設置有定風量裝置5a。在前述定風量裝置5a設置有外氣過濾器單元5c，前述外氣過濾器單元5c之前端係連接至設置於機械室正面嵌板2b的吸氣口5b。
在設置於機械室3的前述空調機5之上部連結有送風導管13，且在定風量裝置5a連結有回氣導管14。前述定風量裝置5a中，藉由從吸氣口5b吸入的外氣通過安裝於外氣過濾器單元5c之預過濾器5d來排除含於外氣中的灰塵，且送入於空調機5。更且，通過回氣導管14從無塵室11排出的空氣會進入定風量裝置5a，且與將前述灰塵予以排除掉的外氣一起送入於空調機5。
然後，被送入於空調機5的淨化空氣係通過連結至空調機5的送風導管13而送風至無塵室11，藉此空氣雖會循環於單元型無塵室1內，但是藉由定風量裝置5a而從空調機5通過送風導管13被送入至無塵室11的淨化空氣量或從吸氣口5b吸入的外氣量、從回氣導管14排出的無塵室11內之空氣量會以成為固定的方式受到控制。
第10圖至第12圖係顯示構成本發明的單元型無塵室 之無塵室單元的示意圖。第10圖係無塵室單元的俯視圖；第11圖係無塵室單元的前視圖；第12圖係沿著第10圖中所示之C－C線的無塵室單元之剖視圖。
如第10圖至第12圖所示，無塵室單元10係構成由無塵室正面嵌板10a、無塵室外牆嵌板10c、無塵室背面嵌板10d、境界嵌板8b以及無塵室屋頂嵌板10b所包圍而成之呈長方形狀的無塵室11。
如圖所示，無塵室正面嵌板10a、無塵室外牆嵌板10c、無塵室背面嵌板10d、境界嵌板8b以及無塵室屋頂嵌板10b，係成為外牆材18、18a與絕熱嵌板17、17a之雙層構造。
在無塵室11之天花板部分(即無塵室屋頂嵌板10b)併設有2具HEPA過濾器單元12、12a，在前述HEPA過濾器單元12、12a分別連結有送風導管13g、13f。前述送風導管13g、13f，係連結至設置於前述機械室單元2之空調機5的送風導管13之枝管。
如第10圖及第11圖所示，在無塵室單元10之正面下方(即無塵室正面嵌板10a之下方)埋設有回氣室15。在前述回氣室15連結有回氣導管14之終端14d。
從設置於前述機械室單元2之空調機5通過送風導管13而送來的淨化空氣，係通過送風導管13e從枝管13f、13g排出至HEPA過濾器單元12、12a。在前述HEPA過濾器單元12、12a可藉由淨化空氣通過HEPA過濾器而更進一步地清淨化，且供給至無塵室11內。
然後，無塵室11內的淨化空氣，會從回氣室15排出至回氣導管14內並藉由送至設置於機械室單元2之定風量裝置5a，而使無塵室11內之空氣經常循環。
由於無塵室11係為作業空間，所以為了可更寬廣地活用空間，除了在天花板(無塵室屋頂嵌板10b)與無塵室正面嵌板10a分別設置有HEPA過濾器單元12、12a與回氣室15以外並不配置多餘之物，而保持較寬廣的作業空間。
第13圖至第15圖係顯示本發明的單元型無塵室之前室單元的示意圖。第13圖係前室單元的俯視圖；第14圖係前室單元的前視圖；第15圖係前室單元的後視圖。
如第13圖至第15圖所示，前室單元6係由前室正面嵌板6b、前室屋頂嵌板6c、前室背面嵌板6d、境界嵌板2f所包圍而成的房間，且構成前室7與空氣浴塵室9。一旦進入設置於前室背面嵌板6d的前室入口門6a就成為前室7，在前室入口門6a之正面有進入於空氣浴塵室9用的空氣浴塵室入口9a之門。
前述空氣浴塵室9係成為較小的大致正方形之空間，且在進入空氣浴塵室入口9a馬上就碰到的左側有空氣浴塵室出口9b。
以下使用第16圖說明本發明的單元型無塵室之空氣循環及作業者之入室。第16圖係顯示本發明的單元型無塵室之空氣循環的俯視圖。元件符號20、21、21a、21b所示的箭頭係表示空氣之流動，元件符號22所示的黑圈 以及箭頭係表示作業者之動作。
本發明的單元型無塵室1，係首先從設置於機械室單元2之機械室正面嵌板2b的吸氣口5b將外氣20吸入至定風量裝置5a內。此時，外氣20係包含灰塵20a。
被吸入至定風量裝置5a內的外氣20，係通過外氣過濾器單元5c。由於在前述外氣過濾器單元5c安裝有預過濾器5d，所以可藉由通過外氣過濾器單元5c去除灰塵20a，且成為淨化空氣21而送至空調機5內。
然後，淨化空氣21係從連結於空調機5的送風導管13之前端13a送入至送風導管13內且流經所配管的送風導管13b、13c、13d，由於送風導管13之枝管13f、13g係連結至埋設於無塵室單元10之無塵室屋頂嵌板10b的2具HEPA過濾器單元12、12a的上部，所以淨化空氣21可分別從枝管13f送入至HEPA過濾器單元12a內、與進而流經送風導管13e從枝管13g送入至HEPA過濾器單元12內。
流經送風導管13，且從枝管13f、13g送入至HEPA過濾器單元12、12a內的淨化空氣21，可藉由安裝於前述HEPA過濾器單元12、12a的HEPA過濾器而更進一步地排除細微的灰塵20a，且成為非常潔淨的淨化空氣21a而排出至無塵室11內。
被排出至無塵室11內的淨化空氣21a，係藉由埋設於無塵室正面嵌板10a之回氣室15而從無塵室11內排出至回氣導管14。從回氣室15排出至回氣導管14的排氣 21b，係流入回氣導管14、14b、14c內，並排出至設置於回氣導管14之前端14a所連結的機械室單元2之定風量裝置5a內。
然後，排出至定風量裝置5a內的排氣21b，係與從前述吸氣口5b吸入的外氣20被去除灰塵20a並經淨化而得的淨化空氣21匯流，且藉由流至空調機5、送風導管13，即可在本發明的單元型無塵室1內經常循環著經淨化過的空氣。
在無塵室11內進行作業的作業者22，係首先為了從前室入口門6a進入至前室7，且進入設置於前室7之深內部的空氣浴塵室9，並前進至空氣浴塵室入口9a，且進入至空氣浴塵室9。
作業者22係在空氣浴塵室9淋浴來去除沾在身體及衣服上的灰塵20a。然後由於會通過空氣浴塵室出口9b並進入無塵室11內，所以進入無塵室11的作業者22，可在身體及衣服不沾有灰塵20a等的潔淨狀態下進入至無塵室11。
(實施例2)
第17圖係顯示本發明的單元型無塵室之第2實施例的示意圖。如第17圖所示，在本發明的單元型無塵室1可安裝屋頂蓋23。
由於本發明的單元型無塵室1，係在組裝機械室單元2、前室單元6、無塵室單元10之各單元之後才進行送風 導管13及回氣導管14之配管作業，所以在對前述送風導管13及回氣導管14之配管進行施工之前，藉由在屋頂部分設置構架，且搭蓋屋頂蓋23，則無論在任何方向均可安裝屋頂蓋23。
1‧‧‧單元型無塵室
1a~1d‧‧‧基座
2‧‧‧機械室單元
2a‧‧‧機械室入口門
2b‧‧‧機械室正面嵌板
2c‧‧‧機械室屋頂嵌板
2d‧‧‧機械室外牆嵌板
2e‧‧‧機械室背面嵌板
2f‧‧‧境界嵌板
3‧‧‧機械室
3a‧‧‧彎頭蓋
3b‧‧‧機械室天花板嵌板
3c、19‧‧‧地板材
4‧‧‧動力盤
4a‧‧‧控制盤
5‧‧‧空調機
5a‧‧‧定風量裝置
5b‧‧‧吸氣口
5c‧‧‧外氣過濾器單元
5d‧‧‧預過濾器
6‧‧‧前室單元
6a‧‧‧前述入口門
6b‧‧‧前室正面嵌板
6c‧‧‧前室屋頂嵌板
6d‧‧‧前室背面嵌板
7‧‧‧前室
8、8a‧‧‧差壓阻尼器
8b‧‧‧境界嵌板
9‧‧‧空氣浴塵室
9a‧‧‧空氣浴塵室入口
9b‧‧‧空氣浴塵室出口
10‧‧‧無塵室單元
10a‧‧‧無塵室正面嵌板
10b‧‧‧無塵室屋頂嵌板
10c‧‧‧無塵室外牆嵌板
10d‧‧‧無塵室背面嵌板
11‧‧‧無塵室
12、12a‧‧‧HEPA過濾器單元
13、13b~13e‧‧‧送風導管
13a‧‧‧前端
13f、13g‧‧‧枝管
14、14b、14c‧‧‧回氣導管
14a‧‧‧前端
14d‧‧‧終端
15‧‧‧回氣室
16‧‧‧室外機
17、17a‧‧‧絕熱嵌板
18、18a‧‧‧外牆材
19‧‧‧底材
20‧‧‧外氣
20a‧‧‧灰塵
21、21a‧‧‧淨化空氣
21b‧‧‧排氣
22‧‧‧作業者
23‧‧‧屋頂蓋
第1圖係本發明的單元型無塵室之俯視圖。
第2圖係本發明的單元型無塵室之前視圖。
第3圖係本發明的單元型無塵室之後視圖。
第4圖係本發明的單元型無塵室之左側視圖。
第5圖係本發明的單元型無塵室之A－A剖視圖。
第6圖係構成本發明的單元型無塵室之機械室單元的俯視圖。
第7圖係構成本發明的單元型無塵室之機械室單元的前視圖。
第8圖係構成本發明的單元型無塵室之機械室單元的後視圖。
第9圖係構成本發明的單元型無塵室之機械室單元的B－B剖視圖。
第10圖係構成本發明的單元型無塵室之無塵室單元的俯視圖。
第11圖係構成本發明的單元型無塵室之無塵室單元的前視圖。
第12圖係構成本發明的單元型無塵室之無塵室單元 的C－C剖視圖。
第13圖係構成本發明的單元型無塵室之前室單元的俯視圖。
第14圖係構成本發明的單元型無塵室之前室單元的前視圖。
第15圖係構成本發明的單元型無塵室之前室單元的後視圖。
第16圖係顯示本發明的單元型無塵室之空氣循環的示意圖。
第17圖係顯示本發明的單元型無塵室之第2實施例的示意圖。
1‧‧‧單元型無塵室
2‧‧‧機械室單元
2a‧‧‧機械室入口門
2f‧‧‧境界嵌板
3‧‧‧機械室
3a‧‧‧彎頭蓋
4‧‧‧動力盤
4a‧‧‧控制盤
5‧‧‧空調機
5a‧‧‧定風量裝置
5b‧‧‧吸氣口
5c‧‧‧外氣過濾器單元
5d‧‧‧預過濾器
6‧‧‧前室單元
6a‧‧‧前述入口門
7‧‧‧前室
8、8a‧‧‧差壓阻尼器
8b‧‧‧境界嵌板
9‧‧‧空氣浴塵室
9a‧‧‧空氣浴塵室入口
9b‧‧‧空氣浴塵室出口
10‧‧‧無塵室單元
11‧‧‧無塵室
12、12a‧‧‧HEPA過濾器單元
13、13b~13e‧‧‧送風導管
13a‧‧‧前端
13f、13g‧‧‧枝管
14、14b、14c‧‧‧回氣導管
14a‧‧‧前端
14d‧‧‧終端
15‧‧‧回氣室
16‧‧‧室外機
17‧‧‧絕熱嵌板

Claims (2)

  1. 一種單元型無塵室，其特徵在於：是由：機械室單元、無塵室單元、前室單元、送風導管、及回氣導管所構成；該機械室單元，在以：地板材、正面嵌板、境界嵌板、外牆嵌板、背面嵌板、及天花板嵌板所包圍的空間，設置有：外氣過濾器單元、定風量裝置、空調機；該正面嵌板，於前述地板材立起而設有將送到無塵室的空氣送入的吸氣口；該境界嵌板，位於下述前室側，具備有：使單元型無塵室運轉的動力盤、控制盤、及調整其與前室的氣壓的差壓阻尼器；該外牆嵌板與前述境界嵌板相面對；該背面嵌板，設置有與前述正面嵌板相面對的機械室入口門；該天花板嵌板，在上方承載著屋頂嵌板；該外氣過濾器單元，具備有與前述吸氣口連結的預過濾器；該定風量裝置，與前述外氣過濾器單元連結；該空調機，與前述定風量裝置連結，讓將清淨化空氣輸送到從前述正面嵌板朝外突出的無塵室的送風導管的前端及讓來自無塵室的排氣通過的回氣導管的前方連結；該無塵室單元，形成以地板材、正面嵌板、外牆嵌板、背面嵌板、及屋頂嵌板所包圍的無塵室空間；該正面嵌板，由於前述地板材立起的內側的絕熱材及外側的外牆材所構成，前述地板材設置有與朝外突出的回氣導管的末端連結的回氣室；該外牆嵌板，由位於朝向前述機械式單元側的面的內側的絕熱材及外側的外牆材所構 成；該背面嵌板，與前述正面嵌板相面對；該屋頂嵌板，配置在前述各嵌板上部，由設置有與前述送風導管的末端連結的HEPA過濾器單元的內側的絕熱材及外側的絕熱材所構成；該前室單元，位於前述機械室單元與前述無塵室單元之間，形成以：地板材、於前述地板材立起的正面嵌板、設置有與前述正面嵌板相面對的下述前室的入口門的背面嵌板、延伸至與前述無塵室單元的外牆嵌板相面對的側面一半處，具備有用來調節其與前述無塵室的氣壓的差壓阻尼器的絕熱嵌板也就是境界嵌板、及配置在該各嵌板上部，在上方承載著屋頂嵌板的絕熱嵌板所包圍的空間，該前室單元具有被分隔的空氣浴塵室，該空氣浴塵室，連接設置於分隔部，該分隔部連接設置於前述無塵室單元側的絕熱嵌板，連同前述分隔部一起將該前室單元分隔成：設置有前述前室的入口門的背面嵌板側的前室、與成為無塵室的一部分的開放空間；在前述前室側設置有入口，在前述開放空間側設置有出口，在進入到前述無塵室之前將灰塵去除；該送風導管，將前述機械室單元送風導管的前端與前述無塵室單元的末端連結；該回氣導管，將前述機械室單元回氣導管的前端與前述無塵室單元的回氣導管的末端連結。
  2. 一種如申請專利範圍第1項所記載之單元型無塵室的組合方法，其特徵為： 將前述機械室單元、前述無塵室單元、及前述前室單元組裝之後，在屋頂部分設置構架，且搭蓋屋頂蓋，在前述屋頂蓋下方進行前述送風導管的連接。
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