DE3330536C2 - Deckenkonstruktion für Reinräume - Google Patents

Deckenkonstruktion für Reinräume

Info

Publication number
DE3330536C2
DE3330536C2 DE3330536A DE3330536A DE3330536C2 DE 3330536 C2 DE3330536 C2 DE 3330536C2 DE 3330536 A DE3330536 A DE 3330536A DE 3330536 A DE3330536 A DE 3330536A DE 3330536 C2 DE3330536 C2 DE 3330536C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
ceiling
plate
shaped elements
air
construction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE3330536A
Other languages
English (en)
Other versions
DE3330536A1 (de
Inventor
Wilhelm 6308 Münzenberg Hölle
Wolf Dipl.-Ing. 1000 Berlin Ziemer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
FLAEKT NACKA SE AB
Original Assignee
FLAEKT NACKA SE AB
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by FLAEKT NACKA SE AB filed Critical FLAEKT NACKA SE AB
Priority to DE3330536A priority Critical patent/DE3330536C2/de
Priority to US06/642,426 priority patent/US4554766A/en
Priority to GB08421169A priority patent/GB2145448B/en
Priority to FR8413139A priority patent/FR2551117B1/fr
Priority to JP59175820A priority patent/JPS60105847A/ja
Publication of DE3330536A1 publication Critical patent/DE3330536A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3330536C2 publication Critical patent/DE3330536C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • EFIXED CONSTRUCTIONS
    • E04BUILDING
    • E04BGENERAL BUILDING CONSTRUCTIONS; WALLS, e.g. PARTITIONS; ROOFS; FLOORS; CEILINGS; INSULATION OR OTHER PROTECTION OF BUILDINGS
    • E04B9/00Ceilings; Construction of ceilings, e.g. false ceilings; Ceiling construction with regard to insulation
    • E04B9/02Ceilings; Construction of ceilings, e.g. false ceilings; Ceiling construction with regard to insulation having means for ventilation or vapour discharge

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Architecture (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Civil Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Ventilation (AREA)
  • Building Environments (AREA)
  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Deckenkonstruktion für Reinräume, mit einer im Abstand unterhalb einer Rohdecke unter Bildung einer Druckkammer angeordneten Zwischendecke, die aus Hochleistungs-Schwebstoffiltern zusammengesetzt ist, einer im Abstand unterhalb der Zwischendecke unter Bildung einer Luftverteilerkammer angeordneten unteren Decke, die aus plattenförmigen Elementen mit vertikalen Durchtrittsöffnungen für eine vertikal nach unten gerichtete Luftströmung zusammengesetzt ist, und Deckenleuchten.
In verschiedenen Industriezweigen, bei denen Fertigungs- und Montagearbeiten unter Einhaltung einer besonders hohen Reinheit durchgeführt werden müssen, hat er. sich als erforderlich erwiesen, Arbeitsräume mit einer geregelten, partikelarmen Luftströmung bereitzustellen, die unter der Benennung »weiße Räume« oder »reine Räume« bekannt sind.
Die Deckenkonstruktion für Reinräume soll in Verbindung mit einem Luftförderapparat eine partikelfreie Luftströmung mit einer über die Deckenfläche gleichmäßigen Strömungsgeschwindigkeit erzeugen. Diese Deckenkonstruktion soll zugleich mehrere Funktionen, und zwar die Luftverteilung, Luftfilterung und Beleuchtung des Raumes erfüllen.
Bei einer bekannten Deckenkonstruktion für Reinräume der genannten Art (DE-OS 20 28 777) sind die plattenförmigen Elemente der unteren Decke durch Lochbleche gebildet und die Deckenleuchten sind unterhalb dieser unteren Decke oder im Bereich derselben angeordnet Dabei bilden die Lochbleche der unteren Decke im wesentlichen einen Berührungsschutz für die Hochleistungs-Schwebstoffilier, deren Filterpapier bekanntlich gegen Berührung sehr empfindlich ist Die kurzen Bohmngen der Lochbleche können keine ausreichend gute laminare Strömung bewirken. Darül sr hinaus führen die unterhalb der unteren Decke oder im Bereich derselben angeordneten Deckenleuchten in Form von Leuchtstoffröhren aufgrund von Konvektion und aufgrund ihrer Anordnung zu Turbulenzen in der Luftströmung, die ebenfalls die Laminarität der Luftsvömung ungünstig beeinflussen. Schließlich liefern die Leuchtstoffröhren kein gleichmäßiges sowie blendfreies Licht. Eine blendfreie Gestaltung der Deckenleuchte würde zu einer Vergrößerung der Lampenkonstruktion als solche führen mit der Felge, daß aufgrund der erläuterten Effekte die Turbulenzeinwirkung auf die Luftströmung noch größer wäre.
Es ist Aufgabe der Erfindung, eine Deckenkonstruktion der bezeichneten Art dahingehend weiterzubilden, daß über die gesamte Deckenfläche eine vertikale, turbulenzfreie, & h. laminare. Luftströmung gewährleistet und zugleich eine gleichmäßige sowie blendfreie Beleuchtung des Reinra; ms gesichert wird.
Diese Aufgabe wird durch die im Patentanspruch 1 angegebenen Merkmale gelöst
Durch die Maßnahme, daß die plattenförmigen Elemente der unteren Decke durch eine sowohl luftdurchlässige als auch lichtdurchlässige Kapillarstruktur gebildet sind, können die Deckenleuchten zwischen den Hochleistungs-Schwebstoffiltern eingebaut werden.
Dadurch liegen die Deckenleuchten nicht mehr in der von der Deckenkonstruktion ausgehenden Luftströmung, so daß die Luft sich in laminarer Strömung durch den Reinraum vertikal nach unten bewegen kann. Durch die Kapillarstruktur der unteren Decke und durch die darüber angeordneten Schwebstoffilter wird eine laminare Strömung über die gesamte Deckenfläche erreicht Aufgrund der Laminarität dieser derart ausgebildeten Verdrängungsströmung über den gesamten horizontalen Querschnitt des Reinraums werden partikelabgebende Körper von der Strömung umschlossen, so daß die Partikel auf dem kürzesten Weg — ohne Querkontamination — nach unten von dem Reinraum abgeführt werden.
Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Lösung besteht darin, daß die Kapillarstruktur aufgrund des Lichtleiteffekts ihrer Röhrchen einen hohen Lichtdurchtnttsfaktor aufweist und deshalb eine gleichmäßige und zugleich blendfreie Ausleuchtung des damit ausgestatteten Reinraums gewährleistet ist. Dies ist eine Folge der hohen Lichttransmission der Kapillarstruktur unter gleichzeitiger Lichtstreuung, die eine diffuse, schlagschattenfreie Ausleuchtung des Raumes sicherstellt
Aus der US-PS 40 60 025 ist eine Deckenkonstruktion für Reinräume bekannt, bei welcher mit Abstand zur Rohdecke eine Unterdecke angeordnet ist die selbst wiederum aus zwei übereinander befindlichen Decken gebildet ist, die jeweils aus einer Vielzahl von Platten zusammengesetzt sind. Die Platten selbst weisen eine Vielzahl von vertikalen Bohrungen als Durchlässe für die Luft auf. Säe sind vorzugsweise aus lichtdurchlässigem Kunststoff geformt, wobei die oberen Platten vorzugsweise aus durchsichtigem Material und die unteren Platten aus durchscheinendem Material bestehen. Die
Leuchten sind an der Hauptdecke befestigt Bei dieser Deckenkonstruktion wird durch einen Lüftungskanal entsprechend aufbereitete und gefilterte Druckluft in den zwischen der Hauptdecke und der ersten Decke der Doppeldecke gebildeten Druckraum eingebracht Von dort tritt die Zuluft durch die vertikalen Durchlässe der Platten der ersten Decke in den Raum zwischen den beiden Decken der Doppeldecke ein und von dort durch die vertikalen Durchlässe der zweiten Decke der Doppeldecke in den Reinraum hinaus. Die Luftströmung selbst kann nicht vollständig turbulenzfrei sein, weil die freie Durchtrittsfläche der wie geschildert aufgebauten Doppeldecke nur einen kleinen Teil der Gesamtfläche der Deckenkonstruktion ausmacht und deshalb aufgrund des großen Abstandes zwischen den vertikalen Durchlässen in den Platten eine reinraumseitige, entsprechende Verwirbelung der in den Reinraum eintretenden Luft stattfindet Ein weiterer Nachteil der aus licht- und luftdurchlässigen Platten zusammengesetzten Doppeldecke dieser Deckenkonstruktion besteht darin, daß die zwei hintereinander angeordneten Plattenkonstruktionen Licht schlucken. Darüber hinaus ist diece Ausleuchtung nicht blendfrei.
Nach einer bevorzugten Weiterbildung weist die Kapillarstruktur der plattenförmigen Elemente ca. 1 mm weite und ca. 50 mm lange Kapillarröhrchen bei ca. 85% freier Fläche auf.
Hierdurch wird eine hohe Luftdnrchlässigkeit der erfindungsgemäßen Deckenkonstruktion erreicht
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung sind die plattenförmigen Elemente bzw. deren Röhrchen aus PoIycarbonat gefertigt und zwar gesponnen, wobei die Röhrchen miteinander zu der Kapillarstruktur verschweißt sind. Damit besitzen die plattenförmigen Elemente eine hohe Verwindungssteifigkeit mit der Folge, daß auch bei weitgespannten Decken eine Durchbiegung der Fiatten nicht auftritt
Nachstehend wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispieles unter Bezugnahme auf die Zeichnung weiter erläutert Es zeigt
F i g. 1 einen vertikalen Schnitt durch einen Teil eines Reinraums mit einer erfindungsgemäßen Deckenkonstruktion und
F i g. 2 eine teilweise Stirnansicht auf ein plattenförmiges Element das bei der Deckenkonstruktion eingesetzt wird.
Der in F i g. 1 dargestellte Reinraum 1 ist in Form eines Raummoduls ausgebildet welches einzeln oder von denen mehrere aneinandergefügt in einer beliebigen Halle oder einem entsprechend großen Raum aufgestellt werden kann bzw. können. Die Deckenkonstruktion kann aber auch unabhängig davon in bereits vorhandene Räume eingebaut werden, insbesondere dann, wenn entsprechende Möglichkeiten zur Anbringung eines Ventilatorteiles gegeben sind.
Dieser Ringraum 1 besitzt einen Boden 2, welcher ein gelochter Doppelboden sein kann. In entsprechendem Abstand über dem Boden 2 ist eine Rohdecke 3 angeordnet, die von einer Stahlkonstruktion 3a getragen ist welche auf vertikalen Stützen 4 ruht Der Reinraum Il ist ferner an seinen vier Seiten von vertikalen Wänden 12 begrenzt welche z. B. eine Dicke von 5 cm aufweisen.
Die Stahlkonstruktion 3a weist einen horizontal ausladenden Träger 5 auf, an welchem ein Ventilatorteil 6 angebracht ist Der Ventüatorteil 6 nimmt u. a. Ventilatoren 7, welche Radial/entilatoren sein; können, Vorfilter 8, Kühler 9, Schalldämpfer 10 und Schaltschrank 11 auf. Hierdurch ist die vom Ventilator 7 in dem Reinraum 1 einzubringende Luft bereits vorgefiltert und gekühlt und auch der Schallpegel des Ventilators ist reduziert
Unter der Rohdecke 3 ist über eine mit der Stahlkonstruktion 3a verbundene Aufhängung 113 eine Zwischendecke 14 in vorbestimmten Abstand angeordnet Sie besteht aus nebeneinander angeordneten, plattenartigen Hochleistungs-Schwebstoffiltern 15, in der Regel Filter mit Abmessungen von 762 χ 762 χ 150 mm. Diese Filter sind in einer an der Aufhängung 13 befestigte Rahmenkonstruktion 16 eingesetzt und darin z. B. mit Spannpratzen aus Edelstahl festgehalten. Zwischen den Hochleistungs-Schwebstoffiltern J5 sind in der Rahmenkonstruktion 16 Deckenleuchten 17 derart angeordnet daß deren Unterseiten bündig mit den Unterseiten der Hochleistungs-Schwebstoffilter 15 abschließen. Hochleistungs-Schwebstoffilter 15, Deckenleuchten 17 und die weiteren üblichen Installationsteile sind in der Rahmenkonstruktion 16 partikeldichi installiert Die Rahmenkonstruktion 16 erlaubt ferner sowohl stirnseitig als auch llngsseitig eine partikeldichte Verbindung anschließender Raummodule.
Zwischen der Rohdecke 3 und der Zwisr hendecke 14 ist eine Druckkammer 20 ausgebildet, in welche die Ausblasöffnung des Ventilators 7 einmündet. Dieser nachgeschaltet sind in der Druckkammer 20 ein Schalldämpfer 21, w !eher ein Diffusor-Schalldämpfer sein kann, sowie ein Prallblech integriert Hierdurch wird ein niedriges Schallniveau erreicht
Unterhalb der Zwischendecke 14 befindet sich schließlich eine untere Decke 18, die zweckmäßig von der Rahmenkonstruktion 16 abgehängt ist Diese untere Decke 18 ist aus plattenförmigen Elementen 19 zusammengesetzt welche eine Kapillarstruktur aufweisen, die in F i g. 2 gezeigt ist Die Kapillarstruktur besteht aus ungefähr 1 mm weiten und C3. 50 mm langen Kapillarröhrchen 19a, welche insgesamt eine freie Fläche von ca. 85% ermöglichen. Die Durchströmung der Kapillare erfolgt bei Reynolds-Zahlen < 50, wodurch eine laminare Strömung gewährleistet ist, die nach Austritt aus den Kapillarröhrchen 19a allenfalls mit geringer Turbulenz aufgrund der geringen Wandstärke bzw. der nicht durchströmten Packungslücken überlagert ist. Die Kapillarstruktur ist außerdem lichtdurchlässig in dem Sinne, daß die Lichtstrahlen der über der Kapillarnruktur angebrachten Deckenleuchten 17 mit nahezu Totalreflexion an den Kapillarröhrchen-Innenwänden eine gleichmäßige, blendfreie Ausleuchtung gewährleistet Die so angeordnete und ausgebildete Kapillarstruktur ergibt einerseits bei nur geringem Druckverlust eine »Vertical-Laminar-FIow«-Strömung und andererseits eine gute, blendfreie Ausleuchtung, die z. B. wichtig für EDV-Arbeitsplätze ist
Die plattenförmigen Elemente 19 können aus hochtrarspa.ii .-tem Polycarbonat gefertigt sein, wobei die Kapillarröhrchen senkrecht zur Plattenebene angeordnet und miteinander verklebt sind. Sie können aber auch aus Glas oder anderen entsprechend transparenten Materialien gefertigt sein. Die plattenförmigen Elemente 19 haben zudem die Eigenschaft, daß sie relativ belastbar sind, so daß sie in relativ großen Abmessungen zum Zusammensetzen der unteren Decke 18 verwendet werden können, ohne daß ein Verwölben 2u befürchten ist
Zwischen der Zwischendecke 14 und der unteren Decke 18 ist eine Luftverteilerkammer 23 ausgebildet, welche die unter Druc':· aus der Druckkammer 20 durch die Hochleistungs-Schwebstoffilter 15 hindurchtretende Zuluft aufnimmt und im wesentlichen gleichmäßig verteilt durch die Kapillaröffnungen der plattenförmigen
Elemente 19 hindurchtreten läßt.
Die Rahmenkonstruktion 16 besteht aus profiliertem, sendzimirverzinktem Stahlblech und ist so gestaltet, daß sie außer der tragenden Funktion auch eine Dichtfunktion übernimmt und zwar hinsichtlich der Aufnahme der Hochleistungs-Schwebstoffilter 15 und der partikeldichten Aufnahme der Deckenleuchten 17 und von Installationsleitungen. In die Rahmenkonstruktion 16 können eine Sprinklerleitung und ein Sprinklerkopf partikeldicht integriert und weitere Installationen wie elektroakustische Anlagen, Ionisationsmelder und dergleichen angeordnet werden.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
40
45
50

Claims (3)

Patentansprüche:
1. Deckenkonstruktion für Reinräume, mit
— einer im Abstand unterhalb einer Rohdecke (3) unter Bildung einer Druckkammer (20) angeordneten Zwischendecke (14), die aus Hochleistungs-Schwebstoffiltern (15) zusammengesetzt ist,
— einer im Abstand unterhalb der Zwischendecke (14) unter Bildung einer Luftverteilerkammer (23) angeordneten unteren Decke (18), die aus plattenförmigen Elementen (19) mit vertikalen Durchtrittsöffnungen für eine vertikal nach unten gerichtete Luftströmung zusammengesetzt ist, und
— Deckenleuchten,
dadurch^ekennzeichnet, daß
— die plattenförmigen Elemente (19) der unteren Decke (18) durch eine sowohl luftdurchlässige als auch lichtdurchlässige Kapillarstruktur gebildet sind und
— die Deckenleuchten (17) oberhalb der unteren Decke (18) zwischen Gen Hochleistungs-Schwebstoffiltern (15) eingebaut sind.
2. Deckenkonstruktion nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die KapilJarstruktur der plattenförmigen Elemente (19) ca. 1 mm weite und ca. 50 mm lange Kapillarruhrchei. bei ca. 85% freier Fläche aufweist
3. Deckenkonstruktion nach A .sprach 2, dadurch gekennzeichnet, daß die plattenförmigen Elemente (19) aus Polycarbonat gefertigt sind.
DE3330536A 1983-08-24 1983-08-24 Deckenkonstruktion für Reinräume Expired DE3330536C2 (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3330536A DE3330536C2 (de) 1983-08-24 1983-08-24 Deckenkonstruktion für Reinräume
US06/642,426 US4554766A (en) 1983-08-24 1984-08-20 Ceiling construction for clean rooms
GB08421169A GB2145448B (en) 1983-08-24 1984-08-21 Ceiling construction for clean rooms
FR8413139A FR2551117B1 (fr) 1983-08-24 1984-08-23 Structure de plafond pour salles blanches
JP59175820A JPS60105847A (ja) 1983-08-24 1984-08-23 クリ−ンル−ムの天井構造

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3330536A DE3330536C2 (de) 1983-08-24 1983-08-24 Deckenkonstruktion für Reinräume

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3330536A1 DE3330536A1 (de) 1985-03-14
DE3330536C2 true DE3330536C2 (de) 1985-08-22

Family

ID=6207329

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE3330536A Expired DE3330536C2 (de) 1983-08-24 1983-08-24 Deckenkonstruktion für Reinräume

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4554766A (de)
JP (1) JPS60105847A (de)
DE (1) DE3330536C2 (de)
FR (1) FR2551117B1 (de)
GB (1) GB2145448B (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE8805774U1 (de) * 1988-04-30 1988-06-23 Babcock-BSH AG vormals Büttner-Schilde-Haas AG, 4150 Krefeld Tunnelmodul zum Aufbau eines Reinraumes in Laminar-Flow-Technik

Families Citing this family (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4667579A (en) * 1985-10-03 1987-05-26 Daw, Incorporated Cleanroom structure
JPS62164524U (de) * 1986-04-07 1987-10-19
JPH0332915Y2 (de) * 1986-07-21 1991-07-12
DE3812094A1 (de) * 1988-04-12 1989-10-26 Daldrop & Dr Ing Huber Gmbh & Deckenkonstruktion fuer reinraeume
US5613759A (en) * 1991-06-24 1997-03-25 Brod & Mcclung-Pace Co. Light and filter support structure
US5454756A (en) * 1991-08-21 1995-10-03 Pace Company Clean room ventilation system
US5192348A (en) * 1991-08-21 1993-03-09 Brod & Mcclung-Pace Co. Directional air diffuser panel for clean room ventilation system
US5256105A (en) * 1992-03-02 1993-10-26 Clean Air Technology, Inc. Washable seamless clean room
US5395429A (en) * 1993-06-23 1995-03-07 W. L. Gore & Associates, Inc. Diffusion panel for use in ultra-clean environments and method for employing same
US5344365A (en) * 1993-09-14 1994-09-06 Sematech, Inc. Integrated building and conveying structure for manufacturing under ultraclean conditions
US5564980A (en) * 1995-02-09 1996-10-15 Becker; Sydney J. Room air quality conditioning system
JP2914318B2 (ja) * 1996-09-26 1999-06-28 日本電気株式会社 クリーンルーム用フィルターの交換方法
US5871556A (en) * 1997-05-02 1999-02-16 Hepa Corporation Clean room air filter system with self-supporting filter units
DE19730180C2 (de) * 1997-07-15 2000-11-30 Wilhelmi Werke Ag Verfahren zur Raumklimatisierung und Klimadecke für ein solches Verfahren
US6533657B2 (en) * 2001-05-11 2003-03-18 Lockheed Martin Corporation Low noise duct system
FR2824626B1 (fr) * 2001-05-14 2004-04-16 Pierre Bridenne Procede et dispositif pour diffuser un flux de protection a l'egard d'une ambiance environnante
US6817941B1 (en) * 2001-10-25 2004-11-16 Lsi Logic Corporation Uniform airflow diffuser
DE202005009505U1 (de) * 2005-06-10 2006-10-19 M + W Zander Facility Engineering Gmbh Schwebstofffilter, insbesondere für den Einsatz in Reinräumen
US7513822B2 (en) 2005-06-18 2009-04-07 Flitsch Frederick A Method and apparatus for a cleanspace fabricator
US9059227B2 (en) 2005-06-18 2015-06-16 Futrfab, Inc. Methods and apparatus for vertically orienting substrate processing tools in a clean space
US10651063B2 (en) 2005-06-18 2020-05-12 Frederick A. Flitsch Methods of prototyping and manufacturing with cleanspace fabricators
US9159592B2 (en) 2005-06-18 2015-10-13 Futrfab, Inc. Method and apparatus for an automated tool handling system for a multilevel cleanspace fabricator
US9457442B2 (en) * 2005-06-18 2016-10-04 Futrfab, Inc. Method and apparatus to support process tool modules in a cleanspace fabricator
US10627809B2 (en) 2005-06-18 2020-04-21 Frederick A. Flitsch Multilevel fabricators
US11024527B2 (en) 2005-06-18 2021-06-01 Frederick A. Flitsch Methods and apparatus for novel fabricators with Cleanspace
US9339900B2 (en) 2005-08-18 2016-05-17 Futrfab, Inc. Apparatus to support a cleanspace fabricator
WO2007025199A2 (en) * 2005-08-26 2007-03-01 Flitsch Frederick A Multi-level cleanspace fabricator elevator system
CN105304529B (zh) 2005-09-18 2019-03-15 弗雷德里克·A·弗里奇 用于在洁净空间中垂直定位基片处理设备的方法和装置
EP2017539A1 (de) * 2007-06-07 2009-01-21 Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO Belüftungssystem
JP2009002634A (ja) * 2007-06-25 2009-01-08 Unitec Inc ユニット型クリーンルーム
EP2382514B1 (de) 2008-12-23 2018-10-17 Xoma (Us) Llc Flexibles produktionssystem
NZ598219A (en) 2009-08-16 2013-01-25 G Con Llc Modular, self-contained, mobile clean room with two air handling units and two power busses
US9795957B2 (en) * 2009-08-16 2017-10-24 G-Con Manufacturing, Inc. Modular, self-contained, mobile clean room
TW201239586A (en) * 2011-03-24 2012-10-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Container data center
CN104806043A (zh) * 2015-02-12 2015-07-29 芜湖锐进医疗设备有限公司 医疗器具生产工作间
WO2017195041A1 (en) 2016-05-12 2017-11-16 Price Industries Limited Laminar flow diffuser with integrated lighting
US11054169B2 (en) * 2016-05-12 2021-07-06 Price Industries Limited Laminar flow diffuser with integrated lighting
CN106121291B (zh) * 2016-06-27 2018-11-02 江苏帕珐尼洁净科技有限公司 一种具有内部循环风扇的超净间
CN106121292B (zh) * 2016-06-28 2018-11-27 江苏中瀚通讯技术有限公司 一种风扇排布整齐的超净间
CN106088673B (zh) * 2016-06-28 2018-11-20 江苏中瀚通讯技术有限公司 一种安装有回流风扇的超净间
US10224701B2 (en) * 2017-05-01 2019-03-05 Bluescope Buildings North America, Inc. Modular structural and electrical building system
US11512467B2 (en) 2019-07-16 2022-11-29 Exyte Management GmbH Ceiling module for the construction of a clean room
IL290639B (en) * 2019-08-15 2022-08-01 G Con Mfg Inc Removable roof panel for a modular and self-contained mobile cleanroom
US11492795B2 (en) 2020-08-31 2022-11-08 G-Con Manufacturing, Inc. Ballroom-style cleanroom assembled from modular buildings

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1518162A (en) * 1922-04-14 1924-12-09 Parkinson Thomas Cooling room for hospitals
GB489423A (en) * 1935-12-17 1938-07-24 Burgess Lab Inc C F Improvements in ventilating system
GB494135A (en) * 1937-02-18 1938-10-20 Burgess Battery Co Ventilating and air distributing apparatus for rooms or enclosures
US2291220A (en) * 1938-01-13 1942-07-28 Burgess Battery Co Ventilating system
US3367257A (en) * 1965-03-23 1968-02-06 Pyle National Co Air control for white room
FR2110657A5 (de) * 1970-10-26 1972-06-02 Zwickert Charles
US4060025A (en) * 1976-09-30 1977-11-29 Pelosi Jr Michael H Air distribution ceiling
US4267769A (en) * 1979-02-22 1981-05-19 Environmental Air Control, Inc. Prefabricated knockdown clean room

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE8805774U1 (de) * 1988-04-30 1988-06-23 Babcock-BSH AG vormals Büttner-Schilde-Haas AG, 4150 Krefeld Tunnelmodul zum Aufbau eines Reinraumes in Laminar-Flow-Technik

Also Published As

Publication number Publication date
JPS60105847A (ja) 1985-06-11
US4554766A (en) 1985-11-26
GB2145448A (en) 1985-03-27
GB2145448B (en) 1986-07-30
DE3330536A1 (de) 1985-03-14
FR2551117A1 (fr) 1985-03-01
FR2551117B1 (fr) 1987-12-04
GB8421169D0 (en) 1984-09-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3330536C2 (de) Deckenkonstruktion für Reinräume
DE4122582C2 (de) Modul zum Aufbau einer Reinraumdecke
DE69219247T2 (de) Paneel mit gerichtetem Luftauslass für Reinraumlüftungssysteme
DE4328995C2 (de) Reinraumanlage
DE102007008019B4 (de) Luftauslass
EP0774617A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Leiten/Verteilen von Luft und Licht
EP2232159B1 (de) Deckeneinbauleuchte mit integriertem lüfter
EP2610541A1 (de) Decken-Beleuchtungsanordnung
DE8703913U1 (de) Luftdurchlaß für Klima- oder Lüftungsanlagen
DE2608792A1 (de) Mehrfachduese zur erzeugung radialer verdraengungsstroemungen
CH664616A5 (de) Haengeleuchte.
DE1679534B2 (de) Verfahren zum klimatisieren von grossraumbueros od.dgl. und anordnung zur durchfuehrung des verfahrens
DE3242918C2 (de)
DE2116866C2 (de) Wabendecke
DE1808220C (de) Anordnung zum Klimatisieren eines Raumes
DE1679529B2 (de) Vorrichtung zur Lüftung von Räumen
EP0625678B1 (de) Klima-Anlage für den Humanbereich
DE2031876C3 (de) Einsatz zur geräuscharmen Druckreduzierung der vom Verteilungssystem zu einem Austrittstrichter eines Raumes geführten Luft
DE4312959B4 (de) Reinraumdecke
DE102020132704A1 (de) Zuluftvorrichtung
DE10014759A1 (de) Deckenelement für Reinräume
AT505961B1 (de) Vorrichtung zum absaugen von raumluft
DE29520241U1 (de) Lichtdecke
DE29913020U1 (de) Zuluftdecke
DE3545419A1 (de) Vorrichtung zur beleuchtung von innenraeumen mit natuerlichem tageslicht

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee