JP6851456B1 - クリーンルーム - Google Patents

Abstract

【課題】既存室に清浄室を効率的に配置できるとともに、既存天井を撤去することなく清浄室の天井高を容易に確保できるクリーンルームを提供する。【解決手段】複数の清浄室２５〜２８と、前記清浄室に隣接配置されるとともに、既存室１０との間で通気可能な少なくとも２つの前室２３，２４とを備え、前室２３，２４と清浄室２５〜２８とを仕切る仕切壁３０〜３３に、清浄室の空気を吸込み洗浄して前室に排気する排気側ファンフィルタユニット４０〜４３が設けられ、既存天井１１の下方に天井２１が設けられ、天井２１に、少なくとも前室２３，２４から既存室１０に流出した空気を吸込み洗浄して清浄室に給気する給気側ファンフィルタユニット４５が設けられている。【選択図】図１

Description

本発明は、クリーンルームに関する。

既存の工場等で部分的に清浄度の高い作業空間を簡易的に構築することができるクリーンブースの一例として特許文献１に記載のものが知られている。
このクリーンブースは、既存の床面上にブースを構築することによって清浄室を形成してなるクリーンブースであって、上記床面上に気密性を確保して設置される巾木に吸気口を設け、上記巾木及び清浄室の少なくとも四隅に設けられる柱あるいは上記清浄室を形成する周囲壁の内部に上記吸気口から吸い込んだ空気を天井部の空間に戻す戻り空気通路を形成し、この戻り空気を天井部の空間に設置された送風機によりフィルタを通して上記清浄室内に吹き出すよう構成すると共に、上記天井部の空間に対して外部からの空気取り入れ口を設け、この空気取り入れ口にフィルタを設置したことを特徴とする。

このようなクリーンブースによれば、クリーンブースに取り入れる空気をフィルタにより濾過して取り入れるようにしているため、空気の汚染防止とフィルタの目詰まりの原因となる塵埃を除去でき、また、清浄室に吹き出された清浄空気を外部に流出させることなく、巾木に設けられた吸気口から柱あるいは周囲壁の内部に形成した戻り空気通路を経由して天井部のチャンバー空間内に戻すクローズド方式を採用しているため、設置環境が清浄エリアに制約されることがなくなり、既設の工場施設内等の一般空調ゾーンにも設置可能となる。

特開２００１−１３３００１号公報

ところで、上述した従来のクリーンブースは、基本的に１つの清浄室を有しているため、工場等の既存室に複数の清浄室を設けたい場合、複数のクリーンブースを設置することになる。しかし、従来のクリーンブースを複数設ける場合、クリーンブースは清浄室の外側に設けられた戻りダクトカバーを有するとともに、隣り合うクリーンブース間に所定の間隔を設ける必要があるため、既存室に直接クリーンルームを設ける場合に比して、清浄室を効率的に配置し難いという問題がある。
また、上述したクリーンブースは、１つの清浄室に対して１つの前室を有しているため、既存室に複数のクリーンブースを設置すると、それに応じて前室の数も多くなり、この点においても、清浄室を効率的に配置し難いという問題がある。

さらに、上述した従来のクリーンブースでは、清浄室の上側に天井チャンバーを形成するための戻りダクトカバーが設けられ、この戻りダクトカバーが既存室の既存天井の下方に配置され、この戻りダクトカバーの下方に清浄室の天井が設けられているため、清浄室の天井高を確保し難いという問題がある。

本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、既存室に清浄室を効率的に配置できるとともに、清浄室の天井高を容易に確保できるクリーンルームを提供することを目的とする。

前記目的を達成するために、本発明は、既存室の内部に設置されるクリーンルームであって、
複数の清浄室と、前記清浄室に隣接配置されるとともに、前記既存室との間で通気可能な少なくとも１つの前室とを備え、
前記前室と前記清浄室とを仕切る仕切壁に、前記清浄室の空気を吸込み洗浄して前記前室に排気する排気側ファンフィルタユニットが設けられ、
前記既存室の既存天井の下方に天井が設けられ、
前記天井に、少なくとも前記前室から前記既存室に流出した空気を吸込み洗浄して前記清浄室に給気する給気側ファンフィルタユニットが設けられていることを特徴とする。
この場合、清浄室の数を前室の数より多く設定する。

ここで、「複数の清浄室に隣接配置される少なくとも１つの前室」とは、複数の清浄室に１つの前室が隣接配置されている場合および複数の清浄室に複数の前室が隣接配置されている場合を含む。また、「複数の清浄室に複数の前室が隣接配置されている場合」とは、複数の清浄室のうちの１つの清浄室に１または複数の前室が隣接配置されているとともに、残りの１以上の清浄室に１または複数の前室が隣接配置されている場合を含む。

本発明においては、少なくとも１つの前室に、複数の清浄室が隣接配置されているので、従来のクリーンブースと異なり、清浄室の数に応じた前室は必要なく、清浄室の外側にカバーを設ける必要もなく、既存天井の下方に直接天井を設けることができるので、既存室に清浄室を効率的に配置できるとともに、既存天井を撤去することなく、清浄室の天井高を容易に確保できる。

また、清浄室内の空気が排気側ファンフィルタユニットによって吸い込まれて洗浄されたうえで、前室に排気され、少なくとも前室から既存室に流出した空気が給気側ファンフィルタユニットによって吸い込まれて洗浄されたうえで、清浄室に給気される、クローズドタイプであるため、清浄室を高い清浄度に保持することができる。
さらに、前室と清浄室とを仕切る仕切壁に排気側ファンフィルタユニットが設けられているので、この排気側ファンフィルタユニットを一時的に蓋部材等によって閉塞することによって、清浄室を過酸化水素ガス等によって容易に除染できる。

また、本発明の前記構成において、前記前室に空調機が設けられていてもよい。
空調機は、例えば、温度・湿度を制御できるものであればよい。

このような構成によれば、前室に設けられた空調機によって前室の空気の温度・湿度等を制御できるので、この制御された空気の少なくとも一部が前室から既存室に流出し、この流出した空気の少なくとも一部が給気側ファンフィルタユニットによって清浄室に給気されるので、各清浄室に空調機を設ける必要がなく、前室で熱負荷をキャンセルできる。したがって、省エネ、省コストに寄与できる。

また、本発明の前記構成において、前記排気側ファンフィルタユニットは、前記仕切壁の下部に設けられていてもよい。

このような構成によれば、清浄室において、天井に設けられた給気側ファンフィルタユニットによって洗浄された空気が下方に向かって吹き出され、仕切壁の下部に設けられた排気側ファンフィルタユニットによって前室に排気されるので、清浄室において気流は上方から下方に向かうようになるので、清浄室での気流の乱れを抑制できる。
また、排気側ファンフィルタユニットが、仕切壁の下部に設けられているので、排気側ファンフィルタユニットを天井に設ける場合に比して、排気側ファンフィルタユニットの取付け取外し作業やメンテナンスが容易となる。

また、本発明の前記構成において、前記給気側ファンフィルタユニットおよび前記排気側ファンフィルタユニットの出力を制御することによって、前記清浄室の圧力を制御可能であってもよい。

このような構成によれば、給気側ファンフィルタユニットおよび排気側ファンフィルタユニットの出力を制御することによって、清浄室の圧力を制御可能であるので、圧力が異なる複数の清浄室を前室に仕切壁を介して容易に隣接配置できるとともに、複数の清浄室の差圧管理を容易に行える。

本発明によれば、既存室に清浄室を効率的に配置できるとともに、清浄室の天井高を容易に確保できる。

本発明の第１実施形態に係るクリーンルームを示す平面図である。 図１におけるＡ−Ａ線視断面図である 本発明の第１実施形態に係るクリーンルームに設ける給気側ファンフィルタユニットの取付状態を示す要部の断面図である。 本発明の第２実施形態に係るクリーンルームを示す側断面図である。

以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
（第１実施形態）
図１および図２は本発明に係るクリーンルームの第１実施形態を示すもので、図１は平面図、図２は図１におけるＡ−Ａ線視断面図である。
本実施形態のクリーンルーム２０は、既存室１０の内部に設置されている。既存室１０は、例えば工場や研究所等に設けられた平面視矩形状の室であり、この既存室１０には扉１０ｃを開いて廊下等から入室できるようになっている。図２に示すように、既存室１０の上部には上階の床スラブ９の下方において既存天井１１が設けられている。

クリーンルーム２０は平面視略矩形状の室であり、既存室１０の略中央部に配置されている。また、クリーンルーム２０の外周壁を構成するとともに、互いに対向する長辺側の壁２０ａ，２０ａは、既存室１０の互いに対向する壁１０ａ，１０ａに対して所定の間隔をもって設けられている。また、クリーンルーム２０の外周壁を構成するとともに、互いに対向する短辺側の壁２０ｂ，２０ｂのうち、一方の壁２０ｂは既存室１０の互いに対向する壁１０ｂ，１０ｂのうちの、一方の壁１０ｂに対して所定の間隔をもって設けられ、他方の壁２０ｂは他方の壁１０ｂに若干の隙間をもって近接して設けられている。
また、クリーンルーム２０は、既存天井１１の下方に設けられており、クリーンルーム２０の天井２１は既存天井１１の下方に、当該既存天井１１と上下に所定間隔をもって設けられている。
また、クリーンルーム２０の外周壁を構成する壁２０ａ，２０ｂは気密構造となっている。例えば、壁２０ａ，２０ｂの上端部は天井２１にシール部材を介して気密に固定され、壁２０ａ，２０ｂの下端部は床にシール部材を介して気密に固定されている。

このようなクリーンルーム２０および後述する第２実施形態のクリーンルーム２０Ａを構成する壁（外周壁、内壁、仕切壁）や天井２１は断熱パネルによって形成されるとともに気密構造となっており、これによってクリーンルーム２０，２０Ａは高気密となっている。

クリーンルーム２０は、複数の清浄室２５〜２９と、清浄室２５〜２８に隣接配置されるとともに、既存室１０との間で通気可能な少なくとも１つ（本実施の形態では２つの）前室２３，２４とを備えている。
図１において、対向する壁２０ａ，２０ａのうち、扉１０ｃ側に近い壁２０ａの内側に前室２３が配置されている。この前室２３は既存室１０との間で通気可能となっている。すなわち、壁２０ａには扉２０ｃが設けられ、この扉２０ｃを開くことや、扉２０ｃおよび／または壁２０ａに設けられた通気口によって、前室２３は既存室１０との間で通気可能となっている。また、壁２０ａに、前室２３から既存室１０に向かう一方向にのみ空気を通すダンパを設け、このダンパにより前室２３を既存室１０との間で通気可能としてもよい。
また、前室２３の上方の天井２１に開口を設けることで、前室２３を既存室１０との間で通気可能としてもよいし、さらに開口に、前室２３の空気を天井２１と既存天井１１との間に給気するファンを設けてもよい。また、前室２３は平面視において略Ｌ字形に形成されている。

また、対向する壁２０ｂ，２０ｂのうち、壁２０ｂと僅かな隙間を隔てて近接配置されている壁２０ｂ内側に前室２４が配置され、さらに前室２４は壁２０ａにも面している。この前室２４は既存室１０との間で通気可能となっている。すなわち、壁２０ａには扉２０ｄが設けられ、この扉２０ｄを開くことや、扉２０ｄおよび／または壁２０ａに設けられた通気口によって、前室２４は既存室１０との間で通気可能となっている。また、壁２０ａに、前室２４から既存室１０に向かう一方向にのみ空気を通すダンパを設け、このダンパにより前室２４を既存室１０との間で通気可能としてもよい。
また、前室２４の上方の天井２１に開口を設けることで、前室２４を既存室１０との間で通気可能としてもよいし、さらに開口に、前室２４の空気を天井２１と既存天井１１との間に給気するファンを設けてもよい。
また、前室２４は前室２３に隣接配置されるとともに、後述する清浄室２５にも隣接されている。

なお、前室２３は清浄室２５に入る前の室であるのに対し、前室２４は清浄室２５に入る前の室ではなく、機械室等として利用される室であるが、ここでは前室とする。また、前室２３と前室２４とは壁を隔てた別室となっているが、当該壁を設けないで、一つの室（前室）としてもよい。

本実施の形態のクリーンルーム２０では、清浄室２５〜２８に前室２３が隣接配置されている。また、清浄室２５に前室２４が隣接配置されている。つまり、清浄室２５に前室２３および前室２４が隣接配置されている。
清浄室２５は、一次更衣室として使用される室であって、手洗乾燥機が設置されている。この清浄室２５と前室２４とを仕切る仕切壁３０に、清浄室２５の空気を吸込み洗浄して前室２４に排気する排気側ファンフィルタユニット４０が設けられている。仕切壁３０は、互い平行離間して設けられた一対の壁３０ａ，３０ａを有しており、これら壁３０ａ，３０ａに排気側ファンフィルタユニット４０が設けられている。また、清浄室２５と前室２３とを仕切る壁に扉２５ｃが設けられているが、清浄室２５と前室２４とを仕切る壁には扉や通気口が設けられていない。
また、清浄室２５は清浄度グレードＣ（ＩＳＯ８相当）に保持されている。

清浄室２６は準備室として使用される室であり、清浄室２５に隣接配置され、これら清浄室２５，２６を仕切る壁には扉２６ｃが設けられている。清浄室２５，２６は扉２６ｃを開けることや扉２６ｃに設けられた通気口を介して連通されているので、等しい清浄度に保持されている。例えば清浄室２５，２６は清浄度グレードＣ（ＩＳＯ８相当）に保持されている。
また、清浄室２６と前室２３とを仕切る仕切壁３１には、清浄室２６の空気を吸込み洗浄して前室２３に排気する排気側ファンフィルタユニット４１が設けられている。仕切壁３１は、互い平行離間して設けられた一対の壁３１ａ，３１ａを有しており、これら壁３１ａ，３１ａに排気側ファンフィルタユニット４１が設けられている。
また、洗浄室２５，２６の圧力は前室２３，２４の圧力より高く設定されている。このような圧力設定は、排気側ファンフィルタユニット４０〜４３および後述する給気側ファンフィルタユニット４５の出力を調整するとによって行うことができる。

清浄室２７は二次着衣室として使用される室であり、前室２３の他に清浄室２６および清浄室２９に隣接している。清浄室２７と前室２３とを仕切る仕切壁３２には、清浄室２７の空気を吸込み洗浄して前室２３に排気する排気側ファンフィルタユニット４２が設けられている。仕切壁３２は、互い平行離間して設けられた一対の壁３２ａ，３２ａを有しており、これら壁３２ａ，３２ａに排気側ファンフィルタユニット４２が設けられている。清浄室２７と清浄室２６とを仕切る壁に扉２７ｃが設けられている。清浄室２７は、清浄度がグレードＢ（ＩＳＯ７相当）に保持されている。清浄室２７はこれと隣接する清浄室２６より清浄度が高く設定されている。清浄室２７は扉２７ｃを開くことや扉２７ｃに設けられた通気口によって連通されているが、排気側ファンフィルタユニット４２および後述する給気側ファンフィルタユニット４５の出力を調整して、清浄室２７の圧力を清浄室２６の圧力より高くすることによって、清浄室２７は、清浄度がグレードＢ（ＩＳＯ７相当）に保持されている。

清浄室２９は二次脱衣室として使用される室であり、この清浄室２９と清浄室２６とを仕切る壁に扉２９ｃが設けられている。清浄室２９，２６は扉２９ｃを開けることや扉２９ｃや清浄室２９と清浄室２６とを仕切る壁に設けられた通気口を介して連通されているので、等しい清浄度に保持されている。したがって、清浄室２９は清浄度グレードＣ（ＩＳＯ８相当）に保持されている。また、清浄室２９の圧力は清浄室２５，２６の圧力と等しく設定されている。このような圧力設定は、これらの清浄室を仕切る仕切り壁に設けられた通気口によって清浄室２９，２５，２６を連通し、さらに、排気側ファンフィルタユニット４０，４１および後述する給気側ファンフィルタユニット４５の出力を調整するとによって行うことができる。

清浄室２８は細胞調整室として使用される室であり、前室２３の他に清浄室２７，２９に隣接している。清浄室２７と清浄室２８とを仕切る壁には扉２８ｄが設けられ、清浄室２９と清浄室２８とを仕切る壁には扉２８ｃが設けられている。
清浄室２８と前室２３とを仕切る仕切壁３３には、清浄室２８の空気を吸込み洗浄して前室２３に排気する排気側ファンフィルタユニット４３が設けられている。仕切壁３３は、互い平行離間して設けられた一対の壁３３ａ，３３ａを有しており、これら壁３３ａ，３３ａに排気側ファンフィルタユニット４３が設けられている。

また、清浄室２８は清浄度グレードＢ（ＩＳＯ７相当）に保持されている。清浄室２８の圧力は清浄室２７の圧力と等しく、清浄室２９の圧力より高く設定されている。このような圧力設定は、排気側ファンフィルタユニット４２および給気側ファンフィルタユニット４５の出力を調整するとによって行うことができる。
また、清浄室２８には安全キャビネット５０が設置されており、この安全キャビネット５０内が清浄度グレードＡ（ＩＳＯ５相当）に保持されている。なお、安全キャビネット５０の側方には、機器設置スペース５１が設けられている。

前記排気側ファンフィルタユニット４０〜４３は、送風機と高性能フィルタ（例えばＨＥＰＡフィルタ）とが一体的に設けられたものであり、出力すなわち送風機の回転速度を制御可能となっている。
また、清浄室２５〜２８の天井にはそれぞれ給気側ファンフィルタユニット４５が設けられている。給気側ファンフィルタユニット４５は、排気側ファンフィルタユニット４０〜４３と同様に、送風機と高性能フィルタ（ＨＥＰＡフィルタ）とが一体的に設けられたものであり、出力すなわち送風機の回転速度を制御可能となっている。

また、給気側ファンフィルタユニット４５は、天井２１の下方側、つまり洗浄室２５〜２８側からメンテナンス可能となっている。例えば、図３に示すように、洗浄室２５〜２８の天井２１には、当該天井２１の上面から上方に筒状に立ち上がる立上り壁２２が設けられ、この立上り壁２２の下端は洗浄室２５〜２８に開口し、上端は天井２１と既存天井１１との間の空間に開口している。そして、立上り壁２２の内部に給気側ファンフィルタユニット４５が設けられている。給気側ファンフィルタユニット４５は、ＨＥＰＡフィルタ等のフィルタ４５ａとファン４５ｂとを備えており、図３（ａ）に示すように、フィルタ４５ａの下面側にファン４５ｂを配置してもよいし、図３（ｂ）に示すように、ファン４５ｂの下面側にフィルタ４５ａを配置してもよい。

このように、天井２１に設けられた立上り壁２２に給気側ファンフィルタユニット４５を設けることによって、天井２１の下方側、つまり洗浄室２５〜２８側から給気側ファンフィルタユニット４５のメンテナンスを行える。
また、天井裏、つまり天井２１の上方側から給気側ファンフィルタユニット４５のメンテナンスを行う必要がないので、立上り壁２２の上端と既存天井１１との間に作業用のスペースを確保する必要がなく、空気が流通可能な所定の隙間を設けるだけよい。このため、天井裏からメンテナンスを行う場合に比して、洗浄室２５〜２８の天井高を高くすることができる。

また、給気側ファンフィルタユニット４５は、少なくとも前室２３，２４から既存室１０に流出し、既存天井１１とクリーンルーム２０の天井２１との間に流入した空気を吸込み洗浄して清浄室２５〜２８に給気するようになっている。また、給気側ファンフィルタユニット４５によって、既存室１０内でかつクリーンルーム２０の外側にある空気を既存天井１１とクリーンルーム２０の天井２１との間に吸引して流入させるようになっている。

また、前室２３，２４にはそれぞれ空調機４６が設けられている。空調機４６は温度・湿度を制御する機能を有しており、前室２３，２４の壁面または床にそれぞれ固定されている。また、前室２３の壁面にはモニタリング機器４７が固定されており、このモニタリング機器４７に、前室２３，２４および清浄室２５〜２９の空気の清浄度、温度、湿度、前室２３，２４および清浄室２５〜２９の圧力、排気側ファンフィルタユニット４０〜４３および給気側ファンフィルタユニット４５の出力が表示されるようになっている。
また、モニタリング機器４７は、排気側ファンフィルタユニット４０〜４３の出力、給気側ファンフィルタユニット４５の出力および空調機４６の出力を制御する機能を備えており、当該モニタリング機器４７に温湿度や出力の設定値を入力することによって、排気側ファンフィルタユニット４０〜４１、給気側ファンフィルタユニット４５および空調機４６は自動的に制御され、これによって、前室２３，２４および清浄室２５〜２９の空気の清浄度、温度、湿度、前室２３，２４および清浄室２５〜２９の圧力を管理できるようになっている。

上述したように、クリーンルーム２０は、清浄度が異なる複数の清浄室２５〜２８が前室２３または前室２４に仕切壁３０〜３３を介して隣接し、当該仕切壁３０〜３３および、隣接する清浄室どうしを仕切る仕切り壁は全て気密構造となっている。例えば、仕切壁３０〜３３および隣接する清浄室どうしを仕切る仕切り壁の上端部は天井２１にシール部材を介して気密に固定され、仕切壁３０〜３３および隣接する清浄室どうしを仕切る仕切り壁の下端部は床にシール部材を介して気密に固定されている。
そして、清浄室２５〜２８の天井に設けられた給気側ファンフィルタユニット４５および仕切壁３０〜３３に設けられた排気側ファンフィルタユニット４０〜４３の出力を制御することによって、清浄室２５〜２８の清浄度が保持されている。

本実施形態のクリーンルーム２０では、２つの前室２３，２４に、複数の清浄室２５〜２８が隣接配置されているので、従来のクリーンブースと異なり、清浄室２５〜２８の数に応じた前室は必要なく、清浄室２５〜２８の外側にカバーを設ける必要もなく、既存室１０の既存天井１１に下方に直接クリーンルーム２０の天井２１を設けることができるので、既存室１０に清浄室２５〜２９を効率的に配置できるとともに、既存天井１１を撤去することなく、清浄室２５〜２９の天井高を容易に確保できる。

また、清浄室２５〜２８内の空気が排気側ファンフィルタユニット４０〜４３によって吸い込まれて洗浄されたうえで、前室２３，２４に排気され、少なくとも前室２３，２４から既存室１０に流出した空気は給気側ファンフィルタユニット４５によって吸い込まれて洗浄されたうえで、清浄室２５〜２８に給気される、クローズドタイプであるため、清浄室２５〜２８を高い清浄度に保持することができる。

また、給気側ファンフィルタユニット４５および排気側ファンフィルタユニット４０〜４３の出力を制御することによって、清浄室２５〜２８の圧力を制御可能であるので、圧力が異なる複数の清浄室２５〜２８を前室２３，２４に仕切壁３０〜３３を介して容易に隣接配置できるとともに、複数の清浄室２５〜２８の差圧管理を容易に行え、さらに、清浄室２５〜２８の清浄度を確実に保持できる。
また、前室２３，２４と清浄室２５〜２８とを仕切る仕切壁３０〜３３に排気側ファンフィルタユニット４０〜４３が設けられているので、当該排気側ファンフィルタユニット４０〜４３を一時的に蓋部材等によって閉塞して養生することによって、清浄室２５〜２８を過酸化水素ガス等によって容易に除染できる。

また、前室２３，２４に温度・湿度を制御可能な空調機４６が設けられているので、空調機４６によって温度・湿度が制御された空気の少なくとも一部が前室２３，２４から既存室１０に流出し、この流出した空気の少なくとも一部が給気側ファンフィルタユニット４５によって清浄室２５〜２８に給気されるので、清浄室２５〜２８に空調機を設ける必要がなく、前室２３，２４で熱負荷をキャンセルできる。したがって、省エネ、省コストに寄与できる。
また、排気側ファンフィルタユニット４０〜４３が、仕切壁３０〜３３の下部に設けられているので、清浄室２５〜２８において、天井２１に設けられた給気側ファンフィルタユニット４５によって洗浄された空気が下方に向かって吹き出され、仕切壁３０〜３３の下部に設けられた排気側ファンフィルタユニット４０〜４３によって前室２３，２４に排気されるので、清浄室２５〜２８において、気流は上方から下方に向かうようになるので、気流の乱れを抑制できる。
また、排気側ファンフィルタユニット４０〜４３が、仕切壁３０〜３３の下部に設けられているので、排気側ファンフィルタユニットを天井に設ける場合に比して、排気側ファンフィルタユニット４０〜４３の取付け取外し作業やメンテナンスが容易となる。

（第２実施形態）
図４は本発明に係るクリーンルームの第２実施形態を示すもので、側断面図である。
なお、図４において、図２と同一構成には同一符号を付してその説明を省略する場合もある。
本実施形態のクリーンルーム２０Ａは、３つの清浄室５５〜５７と、清浄室５５，５６に隣接配置されるとともに、既存室１０との間で通気可能な１つの前室５３とを備えている。前室５３を左右に挟んで清浄室５５，５６が仕切壁６０，６１を介して、前室５３に対して隣接配置されている。また、清浄室５６に清浄室５７が仕切壁６２を介して隣接配置されている。前室５３には空調機４６が設けられている。

清浄室５５と前室５３とを仕切る仕切壁６０には、清浄室５５の空気を吸込み洗浄して前室５３に排気する排気側ファンフィルタユニット７０が設けられている。仕切壁６０は、互い平行離間して設けられた一対の壁６０ａ，６０ａを有しており、これら壁６０ａ，６０ａに排気側ファンフィルタユニット７０が仕切壁６０の下部に設けられている。また、清浄室５５には熱源となる内部機器８０が設けられている。

清浄室５６と前室５３とを仕切る仕切壁６１には、清浄室５６の空気を吸込み洗浄して前室５３に排気する排気側ファンフィルタユニット７１が設けられている。仕切壁６１は、互い平行離間して設けられた一対の壁６１ａ，６１ａを有しており、これら壁６１ａ，６１ａに排気側ファンフィルタユニット７１が仕切壁６１の下部に設けられている。また、清浄室５６には熱源となる内部機器８０が設けられている。
清浄室５７と清浄室５６とを仕切る仕切壁６２には、ダンパ７５が設けられている。このダンパ７５は清浄室５７から清浄室５６に向かう一方向のみに空気を通すものであり、仕切壁６２の上部に設けられている。

また、清浄室５５〜５７の天井にはそれぞれ給気側ファンフィルタユニット４５が設けられている。給気側ファンフィルタユニット４５は、少なくとも前室５３から既存室１０に流出し、既存天井１１とクリーンルーム２０Ａの天井２１との間に流入した空気を吸込み洗浄して清浄室５５〜５７に給気するようになっている。また、給気側ファンフィルタユニット４５によって、既存室１０内でかつクリーンルーム２０Ａの外側にある空気を既存天井１１とクリーンルーム２０Ａの天井２１との間に吸引して流入させるようになっている。

清浄室５５の清浄度はグレードＢ（ＩＳＯ７相当）に保持され、清浄室５６，５７の清浄度はグレードＣ（ＩＳＯ８相当）に保持されている。また、前室５３の圧力指標を「±０」とすると、清浄室５５の圧力指標が「＋３」、清浄室５６の圧力指標が「＋１」、清浄室５７の圧力指標が「＋２」となるように、給気側ファンフィルタユニット４５および排気側ファンフィルタユニット７０，７１の出力が制御されている。

第２実施形態のクリーンルーム２０Ａでは、清浄室５５内の空気が排気側ファンフィルタユニット７０によって吸い込まれて洗浄されたうえで前室５３に排気されるとともに、清浄室５６内の空気が排気側ファンフィルタユニット７１によって吸い込まれて洗浄されたうえで前室５３に排気される。
また、清浄室５７内の空気は、ダンパ７５を通って清浄室５６に流入し、清浄室５６内の空気とともに、排気側ファンフィルタユニット７１によって吸い込まれて洗浄されたうえで前室５３に排気される。このように本実施形態においても、クリーンルーム２０Ａはクローズドタイプであるため、清浄室５５〜５７を高い清浄度に保持することができる。

また、清浄室５５〜５７にそれぞれ熱源となる内部機器８０が設けられているが、前室５３に温度・湿度を制御可能な空調機４６が設けられているので、空調機４６によって温度・湿度が制御された空気の少なくとも一部が前室５３から既存室１０に流出し、この流出した空気の少なくとも一部が給気側ファンフィルタユニット４５によって清浄室５５〜５７に給気されるので、清浄室５５〜５７に空調機を設けなくても、前室５３で熱負荷をキャンセルできる。したがって、省エネ、省コストに寄与できる。
なお、本実施形態においても、第１実施の形態と同様の効果を得ることができる。

１０ 既存室
１１ 既存天井
２０，２０Ａ クリーンルーム
２１ 天井
２３，２４，５３ 前室
２５〜２８、５５〜５７ 清浄室
３０〜３３、６０，６１ 仕切壁
４０〜４３、７０，７１ 排気側ファンフィルタユニット
４５ 給気側ファンフィルタユニット
４６ 空調機

Claims (4)

1. 既存室の内部に設置されるクリーンルームであって、
   複数の清浄室と、前記清浄室に隣接配置されるとともに、前記既存室との間で通気可能な少なくとも１つの前室とを備え、
   前記前室と前記清浄室とを仕切る仕切壁に、前記清浄室の空気を吸込み洗浄して前記前室に排気する排気側ファンフィルタユニットが設けられ、
   前記既存室の既存天井の下方に天井が設けられ、
   前記天井に、少なくとも前記前室から前記既存室に流出した空気を吸込み洗浄して前記清浄室に給気する給気側ファンフィルタユニットが設けられていることを特徴とするクリーンルーム。
2. 前記前室に空調機が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム。
3. 前記排気側ファンフィルタユニットは、前記仕切壁の下部に設けられていることを特徴とする請求項１または２にクリーンルーム。
4. 前記給気側ファンフィルタユニットおよび前記排気側ファンフィルタユニットの出力を制御することによって、前記清浄室の圧力を制御可能であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項のクリーンルーム。

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