TWI435071B - Defect pixel address detection method and detection device - Google Patents

Defect pixel address detection method and detection device Download PDF

Info

Publication number
TWI435071B
TWI435071B TW99121702A TW99121702A TWI435071B TW I435071 B TWI435071 B TW I435071B TW 99121702 A TW99121702 A TW 99121702A TW 99121702 A TW99121702 A TW 99121702A TW I435071 B TWI435071 B TW I435071B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
address
pixel
defective pixel
display panel
axis
Prior art date
Application number
TW99121702A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201131160A (en
Inventor
Hidenori Ando
Shinichiro Imoto
Hironori Higashiho
Original Assignee
Nihon Micronics Kk
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nihon Micronics Kk filed Critical Nihon Micronics Kk
Publication of TW201131160A publication Critical patent/TW201131160A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI435071B publication Critical patent/TWI435071B/zh

Links

Landscapes

  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)

Description

缺陷畫素位址檢測方法以及檢測裝置
本發明係關於檢測出液晶顯示面板或電漿顯示器等之顯示面板中之缺陷畫素之位址的缺陷畫素位址檢測方法以及檢測裝置。
在液晶顯示面板等之顯示面板中,通常在晶胞工程之最終檢查,實際使面板點燈,執行調查有無缺陷畫素之點燈檢查。點燈檢查雖然係藉由從外部對連接有成為檢查對象之顯示面板之畫素的訊號線供給訊號而執行,但是該訊號之供給方式大致分為全面接觸(Full Contact)方式和短路片(shorting bar)方式的兩種。
全面接觸方式為以1對1對應於X、Y之各訊號線之電極,且該X、Y各訊號線係對應主動矩陣基板之方式,使檢查探針接觸而點燈顯示面板之方式,因可以使各個畫素個別點燈,故原則上可特定缺陷畫素之位址。但是,為了以全面接觸方式實際特定缺陷畫素之位址,必須以訊號產生器執行檢查對象面板之點燈控制,並算出位址,但是具備位址算出功能之訊號產生器,一般而言價格高,故有為了以全面接觸方式檢測出缺陷畫素之位址,裝置之價格變高之缺點。
另外,短路片方式因係連接複數訊號線之電極並予以共同化,一次對複數畫素供給訊號一起點燈之方式,故即 使發現缺陷畫素,要特定其缺陷畫素之位址,通常非常困難。
為了解決短路片方式中之上述缺點,在例如專利文獻1中,提案有根據與成為檢查對象之液晶面板對向配置之被稱為調制器的面板,和與其調制器具有一定位置關係,使用捕捉調制器之表面以當作一張畫像之CCD攝影機,根據以CCD攝影機攝影之畫像和液晶面板之畫素位址之對應關係,檢測出缺陷畫素之位址的裝置。但是,在該裝置中,需要感度佳之CCD攝影機或顯示面板尺寸之調制器,有無法便宜構成檢查裝置之缺點。
[先行技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本特開平9-50013號公報
本發明之課題係為了解決上述以往點燈檢查裝置具有之缺點而研究出,提供不需要價格高之訊號產生器和調制器等之裝置,可以藉由便宜手段精度高檢測出缺陷畫素之位址的缺陷畫素位址檢測方法和缺陷畫素位址檢測裝置。
本發明者為了解決上述課題,精心研究之結果,找出 使用可以攝影成為檢查對象之顯示面板之一部分的可移動攝影裝置,使其攝影裝置移動而攝影被發現之缺陷畫素,從在攝影到之畫像上特定缺陷畫素之位置之時之該攝影裝置之移動距離,和成為檢查對象之顯示面板中之與畫素尺寸以及其配列形態有關之資訊,求出缺陷畫素之位址,完成本發明。
即是,本發明係藉由提供缺陷畫素位址檢測方法來解決上述課題,其係用以檢測出由複數畫素所構成之顯示面板中之缺陷畫素之位址的方法,包含以下之工程的缺陷畫素位址檢測方法,(a)將成為檢查對象之顯示面板設置在檢查部,予以點燈之工程;(b)檢查點燈後之顯示面板中有無缺陷畫素之工程;(c)當發現缺陷畫素時,使上述攝影裝置移動而攝影缺陷畫素,在被攝影到之畫像上特定缺陷畫素之位置的工程;和(d)根據被特定之缺陷畫素之畫像上之位置和從上述攝影裝置之原點朝X、Y軸方向移動之移動距離,以及與該顯示面板中之畫素尺寸和其配列形態有關之資訊,求出被特定之缺陷畫素之顯示面板中之位址的工程。
再者,本發明係藉由提供缺陷畫素位址檢測裝置來解決上述課題,該缺陷畫素位址檢測裝置係具備:至少具有設置台和探針單元,可以點燈成為檢查對象之顯示面板的 檢查部;對被設置在檢查部之顯示面板,可在X、Y軸方向移動之攝影裝置;測量上述攝影裝置之X、Y軸方向之移動距離的測量裝置;顯示以上述攝影裝置攝影之畫像的顯示裝置;記憶與成為檢查對象之上述顯示面板中之畫素之尺寸和其配列形態有關之資訊之記憶裝置;和被程式控制成當在顯示在上述顯示裝置之畫像上,缺陷畫素之位置被特定時,則根據在其缺陷畫素之該畫像上之位置和此時之上述攝影裝置之X、Y軸方向之移動距離,以及被記憶於上述記憶裝置之與上述顯示面板中之畫素尺寸和其配列形態有關之資訊,求出上述顯示面板中之缺陷畫素之位址的位址運算裝置。
在本發明之缺陷畫素位址檢測方法以及檢測裝置中,使用可移動之攝影裝置,設置補正成為該攝影裝置之移動軸之X、Y軸,和成為檢查對象之顯示面板中之X、Y軸之偏移的校正工程或校正裝置為佳。成為攝影裝置之移動軸的X、Y軸,和成為為檢查對象之顯示面板中之X、Y軸之偏移,係例如可以藉由可移動之攝影裝置攝影設置在顯示面板之兩邊的合適3處的對準標記,藉由讀取該些對準標記之X-Y座標而求出。如此之校正工程或校正裝置係以在變更成為檢查對象之顯示面板之品種之時被執行為佳。藉由設置校正工程或校正裝置,僅補正每品種不同之攝影裝置之X、Y移動軸對顯示面板中之X、Y軸之變形,可更正確檢測出缺陷畫素位址。
再者,在本發明之缺陷畫素位址檢測方法以及檢測裝 置中,以設置面板傾斜補正工程或面板傾斜補正裝置為佳。成為檢查對象之顯示面板雖然於每次重新被裝載於檢查部時對準於所期待之檢查位置,但是因每顯示面板可能產生些許偏移,故尤其於發現缺陷畫素時,藉由面板傾斜補正工程或面板傾斜補正裝置,補正該顯示面板之傾斜為佳。面板傾斜補正工程或面板傾斜補正裝置係藉由例如以可移動之攝影裝置攝影被設置在顯示面板之一邊的至少兩處對準標記,讀取其X、Y座標,求出在先前校正工程或校正裝置中所求出之對應的兩處對準標記之X-Y座標之差,根據該差,在校正工程中所取得之X軸及/或Y軸座標軸之偏移量而執行。
並且,在本發明之缺陷畫素位址檢測方法以及檢測裝置中,以設置顏色確認工程或顏色確認裝置為佳。於彩色顯示之時,通常顯示面板因係規則配列RGB三色之畫素而被構成,故攝影裝置若為彩色攝影裝置時,可以藉由觀看以攝影裝置所攝影之缺陷畫素周圍之畫素的顏色,容易判別在畫像上所特定之缺陷畫素之顏色為RGB中之哪一個。因此,確認缺陷畫素之被判別的顏色,是否與對應於所求出之缺陷畫素之位址之顯示面板中之畫素之顏色一致,於一致之時,將其位址當作欲求出之缺陷畫素之位址而予以採用,於不一致之時,選擇最接近於其位址,與該被判別之顏色相同顏色之畫素之位址而將其當作欲求出之缺陷畫素之位址而採用,依此可以更提高缺陷畫素位址之檢測精度。
並且,在本發明之缺陷畫素位址檢測方法以及檢測裝置之較佳態樣中,設置移位補正工程或移位補正裝置。移位補正工程或移位補正裝置係當發現缺陷畫素之時,使上述攝影裝置移動而攝影與缺陷畫素相同之X軸及/或Y軸座標上之顯示面板之畫素矩陣之邊部附近,求出該邊部附近之畫素對上述攝影裝置之X軸及/或Y軸原點移位至哪個方向移位多少,將此利用於檢測出缺陷畫素位址。如此一來,於設置有移位補正工程或移位補正裝置之時,即使在上述顏色確認工程或顏色確認裝置中無法充分特定缺陷畫素之位址之時,亦可更正確求出缺陷畫素位址。
再者,在本發明之缺陷畫素位址檢測方法以及檢測裝置之較佳態樣中,設置位址補正工程或位址補正裝置。位址補正工程或位址補正裝置係記憶針對先前之缺陷畫素所執行之依據顏色確認工程或顏色確認裝置的畫素位址之補正值,或依據移位補正工程或移位補正裝置之畫素位址之補正值,根據該補正值,補正在相同顯示面板中後續求出缺陷畫素之位址。該位址補正工程或位址補正裝置係於以攝影裝置所攝影之畫像上之缺陷畫素之位置,和實際上之顯示面板上之缺陷畫素之位置之偏移方向及偏移量,在相同顯示面板中不管顯示面板上之缺陷畫素之位置,視為幾乎相同之時為有效。於具備有該位址補正工程或位址補正裝置之時,則取得當一次藉由顏色確認工程或移位補正工程求出位址之補正值時,針對之後被檢測出之缺陷畫素,則不需要執行顏色確認工程或移位補正工程之優點。
本發明之缺陷畫素位址檢測方法以及檢測裝置亦可適用於全面接觸方式及短路片方式中之任一點燈方式,成為對象之顯示面板也不限定於液晶顯示面板,若為由複數畫素構成之顯示面板,亦可將任何類型之顯示面板設為對象。例如,電漿顯示面板、EL顯示面板、使用LED之顯示面板、FED面板等也可以設為本發明之缺陷畫素位址檢測方法以及檢測裝置對象。
本發明之缺陷畫素位址檢測方法以及檢測裝置,因使用可移動之攝影裝置,由其攝影裝置之移動距離,和成為檢查對象之顯示面板中之與畫素尺寸以及其配列形態有關之資訊,求出缺陷畫素之位址,故有裝置簡單,並可便宜製造,並且可以求出缺陷畫素之正確位址的優點。再者,藉由校正工程或裝置、面板傾斜補正工程或裝置、顏色確認工程或裝置、或移位補正工程或裝置,有可精度更高檢測出缺陷畫素位址之優點。
以下,使用圖面詳細說明本發明,但是本發明當然不限定於圖示者。
第1圖為本發明之缺陷畫素位址檢測裝置之一例的前視圖。在第1圖中,1為缺陷畫素位址檢測裝置,2為其檢查部,3為裝載部,4為成為檢體對象之顯示面板。在本例 中,雖然針對顯示面板4為液晶面板之情形予以說明,但是本發明成為對象之顯示面板4並不限定於液晶面板之情形係如同上述般。5a、5b各為資料側探針單元及閘極側探針單元,6a、6b各為資料側探針區及資料側探針區。如圖示般,分別在資料側探針單元5a及閘極側探針單元5b上,各安裝複數資料側探針區6a及閘極側探針區6b。7a、7b、7c為對準用攝影機,8為螢幕畫面,9為控制裝置,控制裝置9具備有在無圖示之各種記憶裝置、運算處理裝置、在與外部之間,執行訊號或資料之輸入輸出之介面,以及輸入輸出裝置。
10為可移動之攝影裝置。就以攝影裝置10而言,可以使用例如CCD攝影機。以攝影裝置10攝影之畫像係被顯示在例如螢幕畫面8。11為用以使攝影裝置10移動之把手,12為沿著X軸可移動支撐攝影裝置10之X軸引導機構,13、13為與X軸引導機構12同時沿著Y軸可移動支撐攝影裝置10之Y軸引導機構。X軸引導機構12及Y軸引導機構13、13或攝影裝置10,設置有至少以μm單位測量攝影裝置10之X軸方向及Y軸方向之移動距離的直線比例尺,例如當利用把手11檢查員將攝影裝置10在X、Y軸方向移動時,則測量其X軸方向及Y軸方向之移動距離,在螢幕畫面8上也顯示攝影裝置10之攝影畫像。
沿著攝影裝置10之X軸引導機構12及Y軸引導機構13、13之移動,亦可以在攝影裝置10或X、Y軸引導機構12、13設置驅動機構,以自走方式來執行。以驅動機構而 言,可以使用脈衝馬達,此時藉由計數驅動脈衝馬達之脈衝數,可以測量攝影裝置10之移動距離。並且,於以自走方式使攝影裝置10移動之時,經螢幕畫面8、控制裝置9所具備之無圖示之輸入裝置,檢查員當然可以適當指示其移動方向以及移動距離。
第2圖為僅取出第1圖之重要部位而予以表示之圖示,為了方便,將資料側探針單元5a和閘極側探針單元5b表示在自顯示面板4些微離開之位置上。如第2圖所示般,在顯示面板4之上邊和左邊之各偶角,設置有合計3個之對準標記14a、14b、14c。邊以對準用攝影機7a、7b、7c攝影該對準標記14a、14b、14c,邊執行對準。
再者,如第2圖所示般,攝影裝置10係可以藉由沿著X軸引導機構12及Y軸引導機構13、13,朝圖中箭頭所表示之方向移動,並也可朝顯示面板4上之任何位置移動,攝影顯示面板4之表面。攝影裝置10之移動路徑因被設定在較資料側及閘極側之各探針區6a、6b,或對準用攝影機7a、7b、7c離開顯示面板4之位置,故探針區6a、6b或對準用攝影機7a、7b、7c不會妨礙攝影裝置10在X、Y軸方向之移動。
並且,如後述般,在本發明之缺陷畫素位址檢測裝置中,因必須以攝影裝置10攝影對準標記14a、14b、14c,故對準用攝影機7a、7b、7c可移動被安裝在資料側探針單元5a或閘極側探針單元5b,於以攝影裝置10攝影對準標記14a、14b或14c之時,則可以移動至不會妨礙其攝影之位 置。再者,依據狀況不同,即使以攝影裝置10代替對準用攝影機7a、7b、7c中之任一者或兩個以上亦可。
第3圖為本發明之缺陷畫素位址檢測方法之程序的流程圖。以下,根據第1圖所示之缺陷畫素位址檢測裝置及第3圖所示之流程圖,說明本發明之缺陷畫素位址檢測方法。
(裝載新品種面板)
首先,裝載部3係從無圖示之搬運裝置,以例如機械手取入成為檢查對象之顯示面板4,設置在可在XYZθ方向之設置台,搬運至檢查部2。依此,裝載部3係將顯示面板4裝載在檢查部2。第3圖之流程圖中之「新品種面板裝載」,係切換成為檢查對象之顯示面板4之品種,表示將新品種之顯示面板4裝載於檢查部2之工程。
(對準)
當新品種之顯示面板4被搬運至檢查部2時,接著執行對準工程。該對準工程係以檢查部2中之資料側及閘極側之探針區6a、6b之所有探針,確實接觸於顯示面板4之所有電極之方式,進行兩者之定位的工程,與以往所進行之對準無任何改變之處。即是,當被設置在設置台之顯示面板4裝載於檢查部2之時,載置設置台之XYZθ驅動台被驅動,以資料側及閘極側之探針區6a、6b之所有探針和顯示面板4之全電極確實接觸之方式,使顯示面板4移動,而將 顯示面板4對準於檢查部2中之特定檢查位置。該對準通常係藉由對準用攝影機14a、14b或14c,攝影對準標記7a、7b、7c中之至少兩個對準標記,以該些中之至少兩個對準標記來到對準用攝影機14a、14b或14c之視野內之標準位置之方式,藉由使設置台移動而進行。並且,此時,即使使用無圖示之顯微鏡,確認資料側及閘極側之探針區6a、6b之所有探針,是否確實與顯示面板4之所有電極接觸亦可。
(校正)
當對準工程結束時,則如第3圖之流程圖所示般,進行校正工程。該校正工程係觀看攝影裝置10之X、Y移動軸,和顯示面板4之3個對準標記14a、14b、14c所形成之X、Y軸之偏移的工程,切換檢查對象面板之品種,於新品種之顯示面板4被裝載於檢查部2之時所執行之工程。校正工程不僅限於檢查對象面板之品種切換之時,即使於相同品種面板之檢查中因應所需在適當時序進行亦可。再者,於可以預測在攝影裝置10之X、Y移動軸,和以顯示面板4之3個對準標記14a、14b、14c所形成之X、Y軸之間無偏移之時,或於已取得針對該品種之面板之校正資料之時,即使不執行校正工程亦可。
校正係藉由可移動之攝影裝置10攝影3個對準標記14a、14b、14c而進行。即是,首先,將攝影裝置10之視野內之基準點,對準位於在顯示面板4設置有3個之對準標 記14a、14b、14c之兩邊之交點的對準標記14a之基準位置。就以攝影裝置10之基準點而言,可例如將其視野之中心點設為基準點,視野內之中心點可以藉由改變亮度或顏色之點或正交之十字線之交點等來表示。再者,就以對準標記14a之基準位置而言,於例如對準標記14a為十字形之圖形時,則可以將其中心點或十字形圖形之重心位置設為基準位置。該定位係藉由依據控制裝置9內所具備之運算處理裝置的畫像處理和圖案配合而自動性執行。
當攝影裝置10之視野內之基準點與對準標記14a之基準位置一致時,控制裝置9係將此時之攝影裝置10之位置,即是來自X軸直線比例尺及Y軸直線比例尺或馬達之脈衝數量所表示之攝影裝置10之任意點的X軸及Y軸方向之移動距離,當作攝影裝置10之原點之X、Y座標而記憶於記憶裝置。並且,攝影裝置10之原點之X、Y座標即使為來自攝影裝置10之任意點的X、Y軸方向之移動距離亦可,但攝影裝置10之視野內之基準點與對準標記14a之基準位置一致之時,則以將藉由X軸線性比例尺及Y軸線性比例尺或馬達之脈衝數所表示之攝影裝置10之X軸、Y軸方向之移動距離,皆設置成「0(μm)」,並將攝影裝置10之原點之X、Y座標設為(0、0)為佳。
此時,若將對準標記14a之基準位置當作顯示面板4之原點而予以選擇時,則如上述般,使攝影裝置10之視野內之基準點與對準標記14a之基準位置一致,將此時之攝影裝置10之位置設為原點,依此使攝影裝置10之原點與顯示 面板4之原點一致。
並且,使攝影裝置10之原點與顯示面板4之原點一致之作業,亦可與校正工程分別進行。例如,於將構成顯示面板4之畫素矩陣之最左上方之畫素之左上角當作顯示面板4之原點而予以選擇之時,於對準結束之後,或是如後述般,當在對準後之點燈檢查中發現缺陷畫素之時,則使攝影裝置10移動,使其視野內之基準點與當作顯示面板4之原點而選擇之畫素矩陣之最左上之畫素之左上角一致,藉由將其位置設為攝影裝置10之原點而予以設定,可以使攝影裝置10之原點與顯示面板4之原點一致。如此一來,因藉由使攝影裝置10之原點與顯示面板4之原點一致,使顯示面板4中之特定位置和攝影裝置10之位置對應,故攝影裝置10之位置,即是攝影裝置10之X、Y座標則與顯示面板4之X、Y座標對應。
如上述般,使攝影裝置10之視野內之基準點與對準標記14a之基準位置一致,記憶有此時之攝影裝置10之X、Y座標(x1、y1)之後,又使攝影裝置10移動,此次使其視野內之基準點與位於顯示面板4之上邊右角之對準標記14b之基準位置一致,讀取自此時之攝影裝置10之原點的移動距離,即是X、Y座標(x2、y2)。
藉由X軸引導機構12被引導之攝影裝置10之X軸,於以藉由對準標記14a及14b所構成之顯示面板4之X軸一致之時,應成為y1=y2,但是假設成為y1≠y2之時,攝影裝置10之X軸和顯示面板4之X軸則偏移,其偏移量則成為對準 標記14a和14b之距離,即是對(x2-x1)成為(y2-y1)。控制裝置9係與對準標記14b之座標(x2、y2),同時當作X軸之偏移量,將該兩個值(x2-x1)及(y2-y1)適當記憶於適當的記憶裝置。控制裝置9係從(x2-x1)及(y2-y1)之值,算出攝影裝置10之X軸和對準標記14a及14b所構成之顯示面板4之X軸之間之角度,即使將其角度當作X軸之偏移量而記憶於記憶裝置亦可。
同樣,接著使攝影裝置10之基準點與位於顯示面板4之左邊下角的對準標記14c之基準位置一致,讀取自此時之攝影裝置10之原點的移動距離,即是X、Y座標(x3、y3)。藉由Y軸引導機構13、13被引導之攝影裝置10之Y軸,於以藉由對準標記14a及14c所構成之顯示面板4之Y軸一致之時,應成為x1=x3,但是假設成為x1≠x3之時,攝影裝置10之Y軸和顯示面板4之Y軸則偏移,其偏移量則成為對準標記14a和14c之距離,即是對(y3-y1)成為(x3-x1),控制裝置9與對準標記14c之座標(x3、y3),同時當作Y軸之偏移量,將該兩個值(y3-y1)及(x3-x1)記憶於適當之記憶裝置。與X軸之情形相同,控制裝置9係從(y3-y1)及(x3-x1)之值,算出攝影裝置10之Y軸和對準標記14a及14c所構成之顯示面板4之Y軸之間之角度,即使將其角度當作Y軸之偏移量而記憶於記憶裝置亦可。
並且,在以上之說明中,校正工程雖然係藉由以可移動之攝影裝置10攝影3個對準標記14a、14b、14c而執行,但是即使於顯示面板4存在取代對準標記14a、14b、14c之 記號時,以可移動之攝影裝置10攝影該些記號,取得該些記號之X、Y座標,求出顯示面板4之X、Y座標軸和攝影裝置10之X、Y移動軸之偏移量亦可。
(點燈檢查)及(有無缺陷)
如上述般,當結束對準工程及校正工程時,接著控制裝置9係經資料側探針區6a及閘極側探針區6b而對顯示面板4之電極供給訊號,並使顯示面板4點燈。在點燈狀態下,藉由作業員以目視檢查有無缺陷。並且,檢查有無缺陷畫素,並非藉由作業員的目視檢查,即使藉由機械的自動檢查亦可。例如,可以藉由以CCD攝影機等攝影顯示面板4之顯示面,並將其畫像施予畫像處理,依此自動性檢查有無缺陷畫素。
(面板傾斜補正)
當在點燈檢查中發現缺陷畫素時,其顯示面板4為於校正工程後新執行對準工程之顯示面板之時,則執行面板傾斜補正工程。即是,於校正工程之後執行之對準工程,與上述對準工程相同,藉由對準用攝影機14a、14b或14c,攝影對準標記7a、7b、7c中之至少兩個對準標記,以該些中之至少兩個對準標記來到對準用攝影機14a、14b或14c之視野內之標準位置之方式,藉由使設置台移動而進行,但是藉由該新的對準工程而設置在檢查位置之顯示面板4之位置,因有與執行校正工程之時之顯示面板4之位 置些微偏移之可能性,故為了補正該偏移所執行的工程為面板傾斜補正工程。並且,於每對準不會有顯示面板4之位置偏移之虞時,即使不執行面板傾斜補正工程亦可。
面板傾斜補正工程係藉由利用攝影裝置10,攝影至少兩處之對準標記而執行。即是,首先,使攝影裝置10移動而攝影對準標記14a,並讀取對準標記14a之基準位置之X、Y座標(x1’、y1’),接著,攝影對準標記14b,讀取對準標記14b之X、Y座標(x2’、y2’)。若在初次之對準和以後之對準中,顯示面板4之位置變化之時,應成為x1’=x1、y1’=y1,同時x2’=x2、y2’=y2。但是,於該些4個等式中之任一式不成立時,則在顯示面板4之位置具有偏移,因顯示面板4比初次之對準時傾斜,故控制裝置9將表示原點之偏移量之(x1’-x1)及(y1’-y1)之值,和表示來自初次對準之傾斜量之(x2’-x1’)及{(y2’-y2)-(y1’-y1)}當作面板傾斜補正量而記憶於記憶裝置。並且,控制裝置9係由表示原點之偏移量之(x1’-x1)及(y1’-y1)之值,和(x2’-x1’)及{(y2’-y2)-(y1’-y1)}之值算出,將初次之對準和此次之對準中之顯示面板4之X軸之偏移角度當作面板傾斜補正量而予以記憶亦可。
並且,即使針對顯示面板4之Y軸之傾斜,藉由利用攝影裝置10攝影對準標記14c而求出亦可,但是顯示面板4之傾斜因可以合理性推測不論在X軸和Y軸都相同,故即使針對Y軸亦可以利用X軸之傾斜量或偏移之角度。因 此,在面板傾斜補正工程中,藉由攝影裝置10攝影位於顯示面板4之相同邊上之至少兩處的對準標記14a及14b或14a及14c則足夠。
並且,在上述例中,至少兩處之對準標記之攝影和基準位置座標之讀取,雖然任一者皆使用可移動之攝影裝置10而執行,但是針對兩處之對準標記之雙方或1處,即使使用對準用攝影機7a、7b或7c執行其攝影和基準位置座標之讀取亦可。於使用對準用攝影機7a、7b或7c攝影至少兩處之對準標記之雙方或一方之時,因不需要使攝影裝置10移動至其位置,故取得可以節省移動所需之時間之優點。
再者,在以上之說明中,面板傾斜補正工程係藉由利用可移動之攝影裝置10或對準用攝影機7a、7b、7c攝影至少兩處之對準標記14a、14b或14c而進行,但是於顯示面板4存在取代對準標記14a、14b、14c之記號,校正工程藉由根據該些記號之X、Y座標,求出顯示面板4之X、Y座標和攝影裝置10之X、Y移動軸之偏移量而執行之時,即使在面板傾斜補正工程中,使用與在校正工程中所使用者相同之記號中之至少兩處的記號來取代對準標記14a、14b或14c亦可。
(朝缺陷畫素移動攝影裝置)
當結束面板傾斜補正時,使攝影裝置10移動至發現之缺陷畫素之位置,而攝影包含缺陷畫素之顯示面板4之表面區域。攝影裝置10之移動係檢查員握住攝影裝置10之把 手11而以手動執行。攝影裝置10為攝影裝置10或X軸及Y軸引導機構12、13所具備之驅動機構而被驅動之自走式之攝影裝置之時,即使藉由從適當之輸入裝置經控制裝置9,指定移動方向或移動距離,而使攝影裝置10移動亦可。被攝影之畫像被顯示在螢幕畫面8。在第4圖模式性表示螢幕畫面之一例。
在第4圖中,8為螢幕畫面,在螢幕畫面8顯示藉由攝影裝置10所攝影之畫像15。C、C、C…為畫素。本例之時,顯示面板4為彩色顯示面板,因攝影此之攝影裝置10也為彩色攝影裝置,故顯示面板4係以各表示R(紅)、G(綠)或B(藍)之顏色的畫素縱橫規則一致排列之畫素矩陣之畫像15而被顯示(在圖中,藉由在各畫素中央表示「R」、「G」或「B」,表示各畫素之顏色)。Lx、Ly為顯示在攝影畫像之視野的縱橫之中心線,中心線Lx及Ly之交點S為攝影視野之中心,為攝影裝置10之基準點。
基準點S之X、Y座標,即是自原點之X軸方向及Y軸方向之移動距離,係以「基準位置」顯示在畫像15之右側。於圖示之例之時,基準點S之X座標成為「331.528mm」,Y座標成為「210.227mm」。在「基準位置」之上部,各以角度表示以「校正」所取得之偏移量,和以面板傾斜補正所取得之面板傾斜補正量。於圖示之例之時,以校正工程所求出之X軸之偏移量為「0.500度」,Y軸之偏移量為「負0.200度」,面板傾斜補正量為「0.040度」。「基準位置」所表示之基準點之X、Y座標 為X、Y軸之偏移量之補正及考慮面板傾斜補正量而被補正之值,但是即使表示補正前之值亦可。
並且,根據以校正工程所求出之X軸及Y軸之偏移量補正基準點S之X、Y座標之方法並非特別者。例如,可以藉由使用旋轉行列或變形行列而執行座標變換之已知的數學手法,補正基準點S之X、Y座標。
即使針對面板傾斜補正量也相同,於以角度表示面板傾斜補正量之時,則單純對在校正工程所取得之X軸及Y軸之偏移量之角度加算或減算其角度,若與上述相同,求出基準點S之被補正之X、Y座標即可。無論哪一種,根據在校正工程中求出之偏移量及面板傾斜補正量而補正基準點S之X、Y座標,係純粹數學性之問題,該項技藝者顯然可慮各種方法。上述之方法只不過為其一例,本發明並非限定於上述補正之方法。
(特定缺陷畫素)
在第4圖中,在基準點S之右下畫有陰影線之畫素Cn表示缺陷畫素之一例。當檢查員判斷畫素Cn為缺陷畫素時,則在螢幕畫面8上特定該畫素Cn。特定係可以藉由在螢幕畫面8上以手指等接觸畫素Cn之位置,或使滑鼠之指示器移動至畫素Cn之處,藉由在其位置點選而執行。當特定畫素Cn時,控制裝置9算出該畫素Cn之X、Y座標。該算出係如下般被執行。
第5圖為第4圖之部分放大圖,僅放大表示畫像15中之 缺陷畫素Cn之周邊。控制裝置9係畫像處理畫像15,辨識缺陷畫素Cn之各邊之邊緣部份,根據其畫像15上之位置,算出來自基準點S之各邊之距離△x1、△x2、△y1、△y2。控制裝置9接著係對第4圖之「基準位置」所表示之基準點S之X、Y座標加算或減算所算出之值,求出在X軸方向及Y軸方向持有寬度之缺陷畫素位置,以「畫素位置」顯示在螢幕畫面8上之本例中,缺陷畫素Cn於X軸方向中係在「331.538mm」至「331.558mm」之範圍,於Y軸方向中係在「210.248mm」至「210.288mm」之範圍。
並且,藉由校正之偏移量的補正及面板傾斜補正量之補正,即使如上述般針對基準點S之X、Y座標執行亦可,即使於對基準點S之X、Y座標加算或減算從基準點S至缺陷畫素Cn之各邊的距離之後執行亦可。
(缺陷畫素之顏色判別)
缺陷畫素Cn因不知何麼原因不被驅動,故在畫像15上僅觀看到黑色,其原本之顯示顏色不明。但是,顯示面板4中之畫素矩陣因通常係根據其顯示色RGB規則一致被配列,故從周圍之畫素之顯示色可以知道缺陷畫素Cn之原來顯示色。
例如,在第5圖之例中,從畫素矩陣之橫方向之行從左向右,係以R→G→B→R…之順序被配列,縱方向之列係以從上朝下以R→R→R…、G→G→G…之方式,並列任一者皆為相同顏色。因此,當該配列之規則性適用於缺陷 畫素Cn時,可知缺陷畫素Cn之原本顯示色為「G」。如此之判別通常係藉由依據控制裝置9將畫像15予以訊號處理而自動性被執行,但是即使藉由檢查員目視畫像15來判別亦可。被判別之缺陷畫素Cn之顯示色係在第4圖之螢幕畫面8上,被顯示於「畫素位置」之下之「顯示色」的欄位上。
並且,如此之缺陷畫素Cn之原來之顯示色之判別,如同後述般,係為了更正確檢測缺陷畫素位址而執行,有被執行之一方當然為佳,但是也不一定要執行。
(位址值算出)
接著,根據如上述般所求出之缺陷畫素Cn之位置,算出缺陷畫素Cn之顯示面板4上之位址。該算出係如下般被執行。
第6圖為模式性表示針對顯示面板4,使構成畫素矩陣之多數畫素之配列形態對應於實物而予以表示之配列地圖之一例的圖示。圖中,16為配列地圖,17為畫素矩陣,付符號C之各長方形表示畫素。該配列地圖16係針對該顯示面板4,可以根據事先所知之針對各畫素之尺寸和其配列形態之資訊,即是各畫素之縱橫之尺寸和顯示色、畫素矩陣之行數、列數、各行、各列之畫素之數量、各畫素之配置間隔等而作成。如此之資訊係於每次新品種之顯示面板成為檢查對象之時,從適當之輸入裝置被輸入至控制裝置9。或者,即使於事先知道該些資訊和顯示面板之品種之 對應關係之時,以裝載部3或檢查部2自動性讀取被記在顯示面板之識別號碼等,自控制裝置9內之記憶裝置讀出,或經適當之通訊手段而自外部之記憶裝置讀取亦可。
在本例中,配列地圖16係以位於畫素矩陣17之最左上之畫素之左上角Gp為原點而作成,原點Gp之X、Y座標如圖示般,為(0、0)。並且,當然攝影裝置10之原點與顯示面板4中之該原點Gp一致。缺陷畫素之位址係藉由先求出之畫像15上之缺陷畫素Cn之存在位置適用於該配列地圖16而求出。該適用係如下述般被執行。即是,畫像15所攝影到之缺陷畫素Cn係X軸座標因在「331.538-331.558mm」之範圍,Y軸座標係在「210.248-210.288mm」之範圍,故控制裝置9係以各對構成顯示面板4之畫素之橫軸之大小及縱軸之大小摻入配置間隔之數值,除以缺陷畫素Cn之X座標及Y座標,求出其商,依此可以在配列地圖16上,求出位於對應於該些X、Y座標之位置的畫素之位址。即是,缺陷畫素Cn之X、Y座標之範圍在配列地圖16上橫跨複數畫素之時,控制裝置9將與缺陷畫素Cn之X、Y座標之範圍重疊之面積最大判斷成缺陷畫素,將其位址當作缺陷畫素位址而予以輸出。
控制裝置9係被程式控制成以上述般之方法算出缺陷畫素位址,控制裝置9與該些程式成為一體,當然形成缺陷畫素之位址運算裝置。並且,與缺陷畫素Cn之X、Y座標之範圍最大,並且於存在相等之複數畫素之時,僅由配列地圖16無法最終決定缺陷畫素之位址,後述之顏色確認 工程或移位補正工程則有效。
能夠成為原點Gp並不限定於位於畫素矩陣17之最左上之畫素的左上角。即使為位於畫素矩陣17之最左下之畫素的左下角亦可,於被設置在表示面板4之左上角的對準標記14a之基準位置和畫素矩陣之位置關係為明確之時,即使為對準標記14a之基準位置亦可。若與畫素矩陣17之位置關係明確,攝影裝置10之原點與顯示面板4之被選擇之原點一致時,將任一點設為原點Gp則為自由。
所求出之缺陷畫素Cn之位置(α、β)係在第4圖所示之螢幕畫面8中,以「畫素位址」被顯示,當檢查員按下「確認」按鈕時,缺陷畫素Cn之位址資訊則被記憶於控制裝置9之記憶裝置,或被發送至位於網路上之主電腦,檢測出缺陷畫素位址。
並且,以上缺陷為點缺陷,針對缺陷畫素為獨立之一個畫素之時予以說明,但於缺陷為線缺陷或面缺陷,鄰接之複數畫素為缺陷畫素之時,也與上述相同,可以求出缺陷畫素位址。即是,於檢查員在畫像15上發現由鄰接之複數缺陷畫素所構成之缺陷之時,依序在畫像15上特定其各個缺陷畫素。當特定複數缺陷畫素時,設置在控制裝置9之位址運算裝置求出藉由其鄰接之複數缺陷畫素而形成之缺陷區域之各頂點之X、Y座標,藉由該些X、Y座標適用於上述配列地圖16,或由該些X、Y座標計算,算出複數缺陷畫素位址,並且判別缺陷之種類。針對所取得之缺陷畫素之位址及缺陷種類之資訊,係被記憶於控制裝置9內 之記憶裝置,或被發送至位於網路之主電腦,缺陷畫素位址與缺陷之種類皆被檢測出。並且,即使缺陷之種類之判別係由檢查員執行亦可。
(顏色確認)
如同上述般,根據藉由攝影裝置10所攝影之缺陷畫素Cn之X、Y座標,可求出缺陷畫素位址,當將缺陷畫素之顯示色放入至判斷材料時,缺陷畫素位址之檢測成為更正確,故為較理想。
當將顏色確認工程設為「ON」,使控制裝置9執行顏色確認工程時,控制裝置9則比較先在畫像15上根據周圍之畫素之顯示色而判別出之缺陷畫素Cn之顯示色「G」,和求出之畫素C(α,β) 之顯示色「G」。所求出之畫素C(α,β) 之顯示色為「G」係可以由針對該顯示面板4之畫素之配列形態之資訊而得知。缺陷畫素Cn之顯示色和畫素C(α,β) 之顯示色因皆為「G」一致,故控制裝置9則將畫素C(α,β) 之位址(α、β)判斷成缺陷畫素位址。並且,畫素C(α,β) 之顯示色因在螢幕畫面8上以「位址色」顯示,故檢查員可以在螢幕畫面8上確認缺陷畫素Cn之顯示色,和被顯示之「位址色」一致,不一致。
第7圖為例示缺陷畫素Cn和配列地圖16之其他位置關係之圖示。例如,當缺陷畫素Cn之X、Y座標適用於配列地圖16時,則如第7圖上段所示般,於缺陷畫素Cn1 之位置適用於兩個畫素,即是C(α3,β1) 和C(α4,β1 )之雙方 時,控制裝置9係作為缺陷畫素之位址候補,舉出(α3、β1)和(α4、β1)之兩個位址,僅由配列地圖16或座標計算,無法最終決定缺陷之位址。此時,顏色確認成為有效。
即是,當將顏色確認工程設為「ON」,使控制裝置9執行顏色確認工程時,控制裝置9則比較首先為第1號後補之(α3、β1)之顯示色,和根據畫像15而判別之缺陷畫素Cn1 的顯示色(G)。畫素C(α3,β1) 的顯示色為「R」,因與缺陷畫素Cn1 之顯示色「G」不一致,故控制裝置9判斷位址(α3、β1)非缺陷畫素Cn1 之位址,從位址後補除外,並且找尋最接近位址(α3、β1),且顯示色與缺陷畫素Cn1 之「G」相同之畫素C(α4,β1) ,將其畫素之位址(α4、β1)設為缺陷畫素之位址。
接著,控制裝置9將第2號後補之(α4、β1)之顯示色與缺陷畫素Cn1 之顯示色「G」做比較。畫素C(α4,β1) 之顯示色為「G」,因與缺陷畫素Cn1 之顯示色「G」一致,故控制裝置9係將位址(α4、β1)設為缺陷畫素Cn1 之位址。
如此一來,針對兩個候補所執行之顏色確認工程之結果,因取得作為缺陷畫素位址之皆為相同的位址(α4、β1),故控制裝置9係將其位址(α4、β1)當作缺陷畫素位址,輸出至螢幕畫面8上。
同樣,如第7圖中段所示般,於缺陷畫素Cn2 之位置與畫素C(α2,β2) 幾乎重疊之時,若不是顏色確認工程,控 制裝置9則有可能將畫素畫素C(α2,β2) 之位址(α2、β2)判斷成缺陷畫素之位址。但是,當即使於此時執行顏色確認工程時,控制裝置9比較畫素C(α2,β2) 之顯示色「B」,和缺陷畫素Cn2 之顯示色「G」,因兩顏色不一致,故控制裝置9係判斷位址(α2、β2)並非缺陷畫素Cn1 之位址。同時,控制裝置9找出最接近位址(α2、β2),並且顯示色與缺陷畫素Cn2 之「G」相同之畫素C(α1,β2) ,將其位址(α1、β2)設為缺陷畫素之位址。如此一來,藉由經過顏色確認工程,可以成為更正確缺陷畫素位址之檢測。
接著,如第7圖之下段所示般,缺陷畫素Cn3 之位置橫跨畫素C(α4,β2) 、C(α4,β3) 、C(α5,β2) 、及C(α5,β3) 之4個畫素之時,控制裝置9首先選擇缺陷畫素Cn3 之X、Y座標之範圍重疊之面積最大之畫素。其結果,如果畫素C(α4,β3) 及C(α5,β3) 之兩個畫素與缺陷畫素Cn3 重疊之面積最大,並且剩下相同畫素之時,首先,如第7圖之上段所示之例中說明般,將顏色確認工程設為「ON」,使控制裝置9執行顏色確認工程,依此可以將與缺陷畫素Cn3 顯示色相同之「G」的畫素C(α4,β3) 之位址(α4、β3)設為缺陷畫素之正確位址。
控制裝置9係被程式控制成以上述般之方法執行顏色確認,控制裝置9與其程式成為一體,形成顏色確認裝置。並且,上述般之顏色確認工程,雖然係藉由形成顏色確認裝置之控制裝置而自動性執行,但即使檢查員比較缺 陷畫素之顯示色和所求出之位址之畫素之顯示色而執行亦可。即是,被顯示在螢幕畫面8上之「顯示色」之欄位上之缺陷畫素之顯示色,同樣被顯示在螢幕畫面8上之「位址顏色」之欄位上之顯示色,於兩顏色一致之時,檢查員按下螢幕畫面8中之「變更」按鈕,以位於其上方之箭頭案將畫素位址變更成上下左右中之任一方向,使顯示於「顯示色」之欄位的顏色,和顯示於「位址色」之欄位的顏色一致,在兩色一致之狀態下,按下「確認」按鈕,可以將該變更位址設為缺陷畫素之位址。
然而,於顯示色不一致之時,將最接近於所求出之位址,且顯示色與缺陷畫素相同之畫素之位址設為缺陷畫素之位址,係因以經上述校正工程或面板傾斜補正工程,假設存在根據來自攝影裝置10之原點之移動距離而所求出之缺陷畫素之X、Y座標,和顯示面板4之配列地圖16中之X、Y座標之偏移時,也僅於最低限為前提之故。但是,雖然如此之前提通常正確成立,於希望檢測出更正確位址之時,則可以執行以下所示之移位補正工程。
(移位補正)
當發現缺陷畫素Cn時,使攝影裝置10移動而攝影缺畫素Cn相同之X軸及/或Y軸座標上中顯示面板4之畫素矩陣17之邊部附近,調查該邊部附近之畫素對攝影裝置10之X軸及/或Y軸原點,朝哪個方向移位多少,將所求出之移位方向及/或移位量摻入於求出缺陷畫素Cn之位址係移位補 正工程,例如在以下般之情形被執行。
第8圖為例示缺陷畫素Cn和配列地圖16之其他位置關係之圖示。例如,當缺陷畫素Cn4 之X、Y座標適用於配列地圖16時,則如第8圖所示般,於與畫素C(α13,β12) 重疊之時,若在畫像15上被判別之缺陷畫素Cn4 之顯示色為「R」時,畫素C(α13,β12) 之顯示色因也為「R」,故即使經過顏色確認工程,缺陷畫素Cn4 之位址則判斷成(α13、β12)。但是,此時,若期待更正確時,則可以執行上述之移位補正工程。
即是,當將缺陷畫素Cn4 之中心之X軸座標假設為「0.274mm」時,則使攝影裝置10移動,攝影與缺陷畫素Cn4 相同之X軸座標「0.274mm」上中之顯示面板4之畫素矩陣17之邊部附近。於第9圖表示該攝影之狀態。
如第9圖所示般,攝影裝置10之基準點S之X、Y座標為(0.274mm,0.000mm),在基準點S與缺陷畫素Cn4 相同之X軸座標上,攝影裝置10移動至成為攝影裝置10之Y軸原點之位置,攝影顯示面板4之畫素矩陣17之上邊附近。被顯示於畫像15中之Lx線與攝影裝置10之Y軸原點(即是,Y座標為「0」之線)一致。並且,此時,攝影裝置10之原點係如上述般,與顯示面板4之畫素矩陣17中之最左上畫素之左上角Gp一致。
當在該狀態下觀看第9圖時,可知顯示面板4之畫素矩陣17之上邊,係在X座標「0.274mm」中,以大約0.75畫素長(畫素之縱向長度)左右,偏移至攝影裝置10之Y軸 原點更上方。控制裝置9係解析畫像15,求出位於X座標「0.274mm」之位置的畫素C(α13,β1) 之上邊的邊緣部之位置,求出攝影裝置10對Y軸原點之移位之方向,並且測量其移位之大小。控制裝置9係將該所求出之移位之方向及移位之大小反映於缺陷畫素Cn4 之位址計算,並再計算缺陷畫素Cn4 之X、Y座標。於本例之時,被再計算之缺陷畫素Cn4 之X、Y座標由於在較第8圖所示之位置上方移動大約0.75畫素長(畫素之縱向長度)左右之位置,故其大部分與畫素C(α13,β11) 重疊,控制裝置9將當初作為(α13、β12)之缺陷畫素Cn4 之位址變更成(α13、β11)。
再者,如第8圖所示般,例如當缺陷畫素Cn5 之X、Y座標適用於配列地圖16時,雖然與畫素C(α12,β13 )大部分重疊,但是畫素C(α12,β13) 之顯示色「B」,與在畫像15上判別之缺陷畫素Cn5 之顯示色與「G」不一致之時,若藉由上述顏色確認工程時,缺陷畫素Cn5 之位址則判斷與畫素C(α12,β13) 最接近,顯示色與缺陷畫素Cn5 相同之「G」之畫素C(α11,β13) 。即使於此時,若期待更確認時,則可以執行上述之移位補正工程。
即是,當將缺陷畫素Cn5 之中心之Y軸座標假設為「1.370mm」時,則使攝影裝置10移動,攝影與缺陷畫素Cn5 相同之Y軸座標「1.3704mm」上中之顯示面板4之畫素矩陣17之邊部附近。於第10圖表示該攝影之狀態。
如第10圖所示般,攝影裝置10之基準點S之X、Y座標 為(0.000mm,1.370mm),在基準點S與缺陷畫素Cn5 相同之Y軸座標上,攝影裝置10移動至成為攝影裝置10之X軸原點之位置,攝影顯示面板4之畫素矩陣17之左邊附近。被顯示於畫像15中之Ly線與攝影裝置10之X軸原點(即是,X座標為「0」之線)一致。
當在該狀態下觀看第10圖時,可知顯示面板4之畫素矩陣17之左邊,係在Y座標「1.370mm」中,以大約1.5畫素寬(畫素之橫向長度)左右,偏移至攝影裝置10之X軸原點更右方。控制裝置9係解析畫像15,求出位於Y座標「1.370mm」之位置的畫素C(α1,β13) 之左邊的邊緣部之位置,求出攝影裝置10對X軸原點之移位之方向,並且測量其移位之大小。控制裝置9係將該所求出之移位之方向及移位之大小反映於缺陷畫素Cn5 之位址計算,並再計算缺陷畫素Cn5 之X、Y座標。於本例之時,被再計算之缺陷畫素Cn5 之X、Y座標由於在較第8圖所示之位置右方移動大約1.5畫素寬(畫素之橫向長度)左右之位置,故橫跨畫素C(α13,β13) 和畫素C(α14,β13) 之雙方。當在該再記算之位置關係再次執行顏色確認時,顯示色一致,且最接近之畫素成為畫素C(α14,β13) ,控制裝置9係將當初作為(α11、β13)之缺陷畫素之Cn5 之位址變更成(α14、β13)。
藉由執行如此移位補正工程,檢測缺陷畫素位址,係成為精度更高者。控制裝置9係被程式控制成以上述般之方法執行移位補正工程,控制裝置9與其程式成為一體, 形成移位補正裝置。
並且,於顯示面板4上存在複數缺陷畫素之時,若重複從上述(攝影裝移動至缺陷畫素)至(移位補正)為止之工程即可。此時,即使根據先前檢測出之缺陷畫素之位址值,補正針對後續之缺陷畫素而所算出之位址值亦可。例如,針對先前所檢測出之缺陷畫素Cn,在(位址值算出)工程中,取得位址值(αn、βm)時候,執行(顏色確認)及/或(移位補正)之結果,缺陷畫素Cnm之位址值被變更成(αn+x、βm+y)之時,使該變更值(+x、+y)記憶於例如控制裝置9,將針對後續缺陷畫素Cn’所算出之位址值(αp、βq)自動性變更成αp+x、βq+y),即使將其變更之位址設為欲求出的缺陷畫素之位址亦可。
(面板卸載)
從上述(攝影裝置移動至缺陷畫素)至(算出位址值)為止之工程,僅重複發現缺陷畫素之數量,並且又因應所需執行(顏色確認)工程和(移位補正)工程,針對所有被發現之缺陷畫象,當檢測出其位址時,顯示面板4則藉由裝載部3從檢查部2被卸載。
(裝載下一個面板)(對準)
接著,下一個檢查對象面板藉由裝載部3被裝載至檢查部2,執行對準。該對準例如與上述對準工程相同,藉 由對準用攝影機14a、14b或14c,攝影對準標記7a、7b、7c中之至少兩個對準標記,以該些中之至少兩個對準標記來到對準用攝影機14a、14b或14c之視野內之標準位置之方式使設置台移動而進行。當結束對準時,接著,執行(點燈檢查(目視)以後之工程。
並且,在(點燈檢查(目視)中,無發現缺陷畫素之顯示面板4,係如同第3圖之流程圖中右側所示般,藉由裝載部3從檢查部2被卸載。接著,新的顯示面板4藉由裝載部3被裝載於檢查部2,執行上述第2次以後之對準,當結束此時,執行(點燈檢查(目視)以後之工程。
[產業上之利用可行性]
如上述說明般,若藉由本發明之缺陷畫素檢測方法及檢測裝置時,使用簡單之裝置可檢測出精度高之缺陷畫素之位址。因此,以液晶顯示面板為首,在各種顯示面板之製造的產業領域中,具有相當大產業上之利用可行性。
1‧‧‧缺陷畫素檢測裝置
2‧‧‧檢查部
3‧‧‧裝載部
4‧‧‧顯示面板
5a、5b‧‧‧資料側、閘極側探針單元
6a、6b‧‧‧資料側、閘極側探針區
7a、7b、7c‧‧‧對準用攝影機
8‧‧‧螢幕畫面
9‧‧‧控制裝置
10‧‧‧攝影裝置
11‧‧‧把手
12‧‧‧X軸引導機構
13‧‧‧Y軸引導機構
14a、14b、14c‧‧‧對準標記
15‧‧‧畫像
16‧‧‧配列地圖
17‧‧‧畫素矩陣
c‧‧‧畫素
S‧‧‧基準點
Gp‧‧‧顯示面板原點
第1圖為本發明之缺陷畫素位址檢測裝置之一例的前視圖。
第2圖為表示第1圖之重要部位的圖式。
第3圖為表示本發明之缺陷畫素位址檢測方法之一例之程序的流程圖。
第4圖為螢幕畫面之一例的圖式。
第5圖為第4圖之部分放大圖。
第6圖為模式性表示使顯示面板中構成畫素矩陣之多數畫素之配列形態對應於實物而予以表示之配列地圖的圖示。
第7圖為例示缺陷畫素和配列地圖之其他位置關係之圖示。
第8圖為例示缺陷畫素和配列地圖之又一其他位置關係之圖示。
第9圖為表示以攝影裝置攝影Y軸原點附近之畫素矩陣之狀態圖。
第10圖為表示以攝影裝置攝影X軸原點附近之畫素矩陣之狀態圖。

Claims (12)

  1. 一種缺陷畫素位址檢測方法,係用以檢測出由複數畫素所構成之顯示面板中之缺陷畫素之位址的方法,其特徵為:包含以下之工程的缺陷畫素位址檢測方法,(a)將成為檢查對象之顯示面板設置在檢查部,予以點燈之工程;(b)檢查點燈後之顯示面板中有無缺陷畫素之工程;(c)當發現缺陷畫素時,使攝影裝置移動而攝影缺陷畫素,在被攝影到之畫像上特定缺陷畫素之位置的工程;(d)根據被特定之缺陷畫素之畫像上之位置和從上述攝影裝置之原點朝X、Y軸方向移動之移動距離,以及與該顯示面板中之畫素尺寸和其配列形態有關之資訊,求出被特定之缺陷畫素之顯示面板中之位址的工程,(e)於被設置在檢查部之顯示面板為新品種面板之時,使用上述攝影裝置,求出該顯示面板中之X、Y軸方向和上述攝影裝置之X、Y軸方向之座標軸的偏移量,並將此予以記憶之校正工程;和(f)關於與該品種相同品種之顯示面板,根據上述座標軸之偏移量,補正在上述(d)工程中從上述攝影裝置原點朝X、Y軸方向移動之移動距離的工程。
  2. 如申請專利範圍第1項所記載之缺陷畫素位址檢測方法,其中,又包含以下工程, (g)當發現缺陷畫素時,使用上述攝影裝置,求出執行上述(e)之校正工程之時之顯示面板之X軸及/或Y軸,和此次之顯示面板之X軸及/或Y軸之偏移量以當作面板傾斜補正量的面板傾斜補正工程;和(h)根據所求出之面板傾斜補正量,補正在上述校正工程中所取得之座標軸之偏移量的工程。
  3. 如申請專利範圍第1或2項所記載之缺陷畫素位址檢測方法,其中,又包含以下工程,(i)自其周邊畫素之顏色判別在畫像上被特定之缺陷畫素之顏色的工程;(j)比較被判別出之缺陷畫素之顏色,和該顯示面板之在上述(d)工程中所求出之位址之畫素之顏色的工程;和(k)於兩顏色一致之時,以該位址當作欲求取的位址,於不一致之時,則將在該顯示面板中最接近於該位址,與被判別出之缺陷畫素之顏色相同顏色之畫素之位址當作欲求取之位址的顏色確認工程。
  4. 如申請專利範圍第1項所記載之缺陷畫素位址檢測方法,其中,又包含以下工程,(1)當發現缺陷畫素之時,使上述攝影裝置移動而攝影與缺陷畫素相同之X軸及/或Y軸座標上之顯示面板之畫素矩陣之邊部附近,求出該邊部附近之畫素對上述攝影裝置之X軸及/或Y軸原點之移位方向及/或移位量的工程;(m)於在上述(d)之工程中求出缺陷畫素之位址 之時摻入所求出之移位方向及/或移位量的移位補正工程。
  5. 如申請專利範圍第3項所記載之缺陷畫素位址檢測方法,其中,又包含以下工程,(1)當發現缺陷畫素之時,使上述攝影裝置移動而攝影與缺陷畫素相同之X軸及/或Y軸座標上之顯示面板之畫素矩陣之邊部附近,求出該邊部附近之畫素對上述攝影裝置之X軸及/或Y軸原點之移位方向及/或移位量的工程;(m’)於在上述(k)之工程中求出缺陷畫素之位址之時摻入所求出之移位方向及/或移位量的移位補正工程。
  6. 如申請專利範圍第5項所記載之缺陷畫素位址檢測方法,其中,又包含以下工程,(n)記憶在相同顯示面板中針對先前之缺陷畫素以上述(d)之工程所求出之缺陷畫素位址,和藉由上述(k)之顏色確認工程及/或上述(m)之移位補正工程所求出之缺陷畫素位址之位址差的工程;和(o)根據上述被記憶之位址差,針對後續之缺陷畫素,補正在上述(d)工程中所求出之缺陷畫素位址的位址補正工程。
  7. 一種缺陷畫素位址檢測裝置,其特徵為:具備:至少具有設置台和探針單元,可以使成為檢查對象之顯示面板點燈的檢查部;對被設置在檢查部之顯示面板,可在X、Y軸方向移動之攝影裝置;測量上述攝影 裝置之X、Y軸方向之移動距離的測量裝置;顯示以上述攝影裝置攝影之畫像的顯示裝置;記憶與成為檢查對象之上述顯示面板中之畫素之尺寸和其配列形態有關之資訊之記憶裝置;和被程式控制成當在顯示在上述顯示裝置之畫像上,缺陷畫素之位置被特定時,則根據在其缺陷畫素之該畫像上之位置和此時之上述攝影裝置之X、Y軸方向之移動距離,以及被記憶於上述記憶裝置之與上述顯示面板中之畫素尺寸和其配列形態有關之資訊,求出上述顯示面板中之缺陷畫素之位址的位址運算裝置,又具備:記憶使上述攝影裝置移動而攝影被設置在上述檢查部之顯示面板而所取得之該顯示面板中之X、Y軸方向和上述攝影裝置之X、Y軸方向之差以作為座標軸之偏移量的記憶裝置;和被程式控制成根據被記憶之該座標軸之偏移量,針對與上述顯示面板相同品種之顯示面板,補正從原點至缺陷畫素為止之上述攝影裝置之X、Y軸方向之移動距離的校正裝置。
  8. 如申請專利範圍第7項所記載之缺陷畫素位址檢測裝置,其中,具備:求出使上述攝影裝置移動而攝影被設置在檢查部之顯示面板而所取得之該顯示面板中之X軸及/或Y軸方向,和執行校正工程時之顯示面板之X及/或Y軸之偏移量,以當作面板傾斜補正量之運算裝置;和被程式控制成根據該被求出之面板傾斜補正量,而補正被設置在檢查部之上述顯示面板之X、Y座標軸之偏移量的面板傾斜補正裝置。
  9. 如申請專利範圍第7或8項所記載之缺陷畫素位址檢測裝置,其中,上述攝影裝置為可以辨識畫素之顏色的彩色攝影裝置,具備當在顯示於上述顯示裝置之畫像上,缺陷畫素之位置被特定時,則自其周邊畫素之顏色判別該缺陷畫素之顏色的顏色判別裝置;比較該被判別之顏色,和在該顯示面板中對應於被求出之缺陷畫素之位址的畫素之顏色的顏色比較裝置;和於兩顏色一致時,將上述被求出之位址當作欲求出之缺陷畫素之位址,於不一致之時,選擇最接近於上述被求出之位址,與上述被判別出之缺陷畫素之顏色相同顏色之畫素之位址而將其當作欲求出之缺陷畫素之位址的顏色確認裝置。
  10. 如申請專利範圍第7項所記載之缺陷畫素位址檢測裝置,其中,具備於使上述攝影裝置移動而攝影與缺陷畫素相同之X軸及/或Y軸座標上之顯示面板之畫素矩陣之周邊部時,求出該邊部附近之畫素對上述攝影裝置之X軸及/或Y軸原點之移位方向及/或移位量的移位測量裝置;和根據被求出之移位方向及/或移位量,變更或決定從上述位址運算裝置輸出之缺陷畫素位址的移位補正裝置。
  11. 如申請專利範圍第10項所記載之缺陷畫素位址檢測裝置,其中,具備於使上述攝影裝置移動而攝影與缺陷畫素相同之X軸及/或Y軸座標上之顯示面板之畫素矩陣之5周邊部時,求出該邊部附近之畫素對上述攝影裝置之X軸及/或Y軸原點之移位方向及/或移位量的移位測量裝置;和根據被求出之移位方向及/或移位量,變更或決定 從上述顏色確認裝置輸出之缺陷畫素位址的移位補正裝置。
  12. 如申請專利範圍第11項所記載之缺陷畫素位址檢測裝置,其中,具備:記憶在相同顯示面板中針對先前之缺陷畫素藉由位址運算裝置而求出之缺陷畫素位址,和藉由上述顏色確認裝置及/或上述移位補正裝置所求出之缺陷畫素位址之位址差的記憶裝置;和根據上述被記憶之位址差,針對後續之缺陷畫素,補正藉由位址運算裝置而求出之缺陷畫素位址的位址補正裝置。
TW99121702A 2009-08-25 2010-07-01 Defect pixel address detection method and detection device TWI435071B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009194216A JP5335614B2 (ja) 2009-08-25 2009-08-25 欠陥画素アドレス検出方法並びに検出装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201131160A TW201131160A (en) 2011-09-16
TWI435071B true TWI435071B (zh) 2014-04-21

Family

ID=43786629

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW99121702A TWI435071B (zh) 2009-08-25 2010-07-01 Defect pixel address detection method and detection device

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP5335614B2 (zh)
CN (1) CN101996543B (zh)
TW (1) TWI435071B (zh)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102645435A (zh) * 2012-04-19 2012-08-22 深圳市华星光电技术有限公司 基板的检测方法和装置
TW201418701A (zh) * 2012-11-02 2014-05-16 Kinsus Interconnect Tech Corp 終端缺陷檢驗的方法
CN103559857B (zh) * 2013-10-31 2016-03-16 桂林机床电器有限公司 一种面向oled屏像素缺陷检测的方法及装置
CN106447657B (zh) * 2016-09-23 2019-04-05 电子科技大学 一种基于局部均值思想的ic粒子区域缺陷检测方法
CN107132233B (zh) * 2017-05-25 2020-06-12 京东方科技集团股份有限公司 显示面板中不良坐标位置的核验方法及系统
JP2019074323A (ja) * 2017-10-12 2019-05-16 株式会社日本マイクロニクス ディスプレイパネル検査装置およびディスプレイパネル検査方法
CN107749268B (zh) * 2017-10-27 2021-06-29 歌尔光学科技有限公司 屏幕检测方法及设备
CN108303424A (zh) * 2018-01-02 2018-07-20 京东方科技集团股份有限公司 显示面板检测装置及其检测方法
CN109001208A (zh) * 2018-05-28 2018-12-14 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 一种显示面板的缺陷定位装置及缺陷定位方法
CN112419404B (zh) * 2019-08-21 2024-07-02 北京初速度科技有限公司 一种地图资料的获取方法和装置

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2971809B2 (ja) * 1996-07-29 1999-11-08 横河エー・ディー・エス株式会社 表示装置における画素欠陥のマーク方法及びマーク装置
JP3501661B2 (ja) * 1998-10-12 2004-03-02 シャープ株式会社 液晶表示パネルの検査方法および検査装置
JP2000162145A (ja) * 1998-12-01 2000-06-16 Sony Corp 不良個所解析装置
JP3501671B2 (ja) * 1999-01-12 2004-03-02 シャープ株式会社 表示装置の欠陥絵素座標特定装置
JP3829024B2 (ja) * 1999-02-02 2006-10-04 松下電器産業株式会社 表示画面の検査方法と装置
JP3846840B2 (ja) * 2000-06-09 2006-11-15 株式会社日立国際電気 電子ディスプレイの検査方法及びその装置
JP2003061115A (ja) * 2001-08-20 2003-02-28 Hitachi Kokusai Electric Inc 電子ディスプレイ画質検査装置
JP3964267B2 (ja) * 2002-06-04 2007-08-22 大日本スクリーン製造株式会社 欠陥検出装置、欠陥検出方法、およびプログラム
JP3914216B2 (ja) * 2003-05-15 2007-05-16 松下電器産業株式会社 画像欠陥補正装置、及び、画像欠陥補正方法
JP2005244440A (ja) * 2004-02-25 2005-09-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 撮像装置、撮像方法
JP2005337797A (ja) * 2004-05-25 2005-12-08 Seiko Epson Corp 表示素子の画素位置取得方法および表示用パネルの検査方法
CN100445807C (zh) * 2004-06-25 2008-12-24 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 Lcd面板检测系统及方法
JP2007053634A (ja) * 2005-08-18 2007-03-01 Sony Corp 撮像装置、欠陥画素補正装置および方法
JP2009169340A (ja) * 2008-01-21 2009-07-30 Micronics Japan Co Ltd 表示用パネルの処理方法及び装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2011047999A (ja) 2011-03-10
CN101996543B (zh) 2013-06-19
CN101996543A (zh) 2011-03-30
JP5335614B2 (ja) 2013-11-06
TW201131160A (en) 2011-09-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI435071B (zh) Defect pixel address detection method and detection device
CN108362712B (zh) 一种基板母板及其检测方法
KR101117472B1 (ko) 육안 검사장치와 육안 검사방법
JP2011180136A (ja) 基板検査装置
JP4655644B2 (ja) 周期性パターンのムラ検査装置
JP2009115566A (ja) パネルの欠陥位置の特定装置
JPH0513443B2 (zh)
TWI244359B (en) Automatic optical detecting system for defect components on printed circuit board
JP2005337797A (ja) 表示素子の画素位置取得方法および表示用パネルの検査方法
JP2007212939A (ja) 位置ずれ検査方法、プログラム及び位置ずれ検査装置
CN102856214A (zh) 电路板置件方法
JP2004170394A (ja) 刷版検査装置及び刷版検査システム
JP2009079915A (ja) 微小寸法測定方法および測定装置
CN110658215A (zh) 一种基于机器视觉的pcb板自动拼接检测方法与装置
JPH08327658A (ja) 基板検査装置
JP2020091219A (ja) 検査性能診断装置、検査性能診断方法、検査性能診断装置用のプログラム、および、検査性能診断システム
JP2002250696A (ja) 平面表示パネルの欠陥検査装置
JP4313162B2 (ja) アライメントマーク検出方法及び検査装置
JP4401126B2 (ja) 寸法測定装置の所定部位登録方法
KR100643248B1 (ko) 표시패널의 검사방법과 표시패널의 검사장치
JP2012026857A (ja) 清掃作業支援装置
JP4009595B2 (ja) パターン欠陥検査装置およびパターン欠陥検査方法
CN109827759B (zh) 应用于光学模组的缺陷检测方法及检测装置
JPH10197399A (ja) 薄型表示機器の欠陥箇所位置決め装置
JP2012225824A (ja) 立体欠陥検査方法および検査装置