JP2000162145A - 不良個所解析装置 - Google Patents
不良個所解析装置Info
- Publication number
- JP2000162145A JP2000162145A JP10341202A JP34120298A JP2000162145A JP 2000162145 A JP2000162145 A JP 2000162145A JP 10341202 A JP10341202 A JP 10341202A JP 34120298 A JP34120298 A JP 34120298A JP 2000162145 A JP2000162145 A JP 2000162145A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defective
- ccd
- inspected
- pixel
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 不良原因の解析作業の効率が向上する不良個
所解析装置を提供すること。 【解決手段】 ＣＣＤ等の不良個所の解析装置におい
て、電気的に被検査装置であるＣＣＤ１０の不良個所の
アドレスを検出して出力する手段１３と、ＣＣＤ１０を
移動させる手段１２、１９と、ＣＣＤ１０の一部を拡大
して表示する手段１８、１９と、不良個所のアドレスに
基づき、拡大表示手段にＣＣＤの不良個所が表示される
ように移動手段１２、１９を制御する手段１４とを備え
る。本発明によれば、検出された不良画素アドレスに対
応する画素を自動的に拡大表示することができ、不良個
所の解析作業効率が向上する。
所解析装置を提供すること。 【解決手段】 ＣＣＤ等の不良個所の解析装置におい
て、電気的に被検査装置であるＣＣＤ１０の不良個所の
アドレスを検出して出力する手段１３と、ＣＣＤ１０を
移動させる手段１２、１９と、ＣＣＤ１０の一部を拡大
して表示する手段１８、１９と、不良個所のアドレスに
基づき、拡大表示手段にＣＣＤの不良個所が表示される
ように移動手段１２、１９を制御する手段１４とを備え
る。本発明によれば、検出された不良画素アドレスに対
応する画素を自動的に拡大表示することができ、不良個
所の解析作業効率が向上する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は不良個所解析装置に
関し、特に、不良原因の解析作業の効率が向上する不良
個所解析装置に関するものである。
関し、特に、不良原因の解析作業の効率が向上する不良
個所解析装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＣＣＤ撮像素子（以下ＣＣＤと記
す）等の被検査装置における不良個所の解析作業におい
ては、まず、例えばＣＣＤを駆動してＣＣＤからの出力
映像信号を監視することによって不良画素およびそのア
ドレスを電気的に検出し、次に、ＣＣＤ素子の表面をモ
ニタ装置に拡大表示可能な撮像機によって不良画素を持
つＣＣＤを撮像し、ＣＣＤ表面の不良画素のある箇所に
大まかなマーキングを行う。そして、作業者が顕微鏡を
使用して目視によってマーキングしたエリア内を解析
（ダストの付着などの不良原因の解明）していた。な
お、関連する従来例としては、特許第2510687号公報等
がある。
す）等の被検査装置における不良個所の解析作業におい
ては、まず、例えばＣＣＤを駆動してＣＣＤからの出力
映像信号を監視することによって不良画素およびそのア
ドレスを電気的に検出し、次に、ＣＣＤ素子の表面をモ
ニタ装置に拡大表示可能な撮像機によって不良画素を持
つＣＣＤを撮像し、ＣＣＤ表面の不良画素のある箇所に
大まかなマーキングを行う。そして、作業者が顕微鏡を
使用して目視によってマーキングしたエリア内を解析
（ダストの付着などの不良原因の解明）していた。な
お、関連する従来例としては、特許第2510687号公報等
がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】近年、ＣＣＤは多画素
化が進んで１つの画素の大きさは小さくなり、数ミクロ
ン程度の大きさとなっている。従って、前記したよう
な、従来の解析作業においては、不良画素を迅速に発見
することが困難となり、解析時間が増加するという問題
点があった。また、解析作業が停滞することにより歩留
まりが向上せずに低い状態が継続してしまうという問題
点もあった。本発明の目的は、前記のような従来技術の
問題点を解決し、不良原因の解析作業の効率が向上する
不良個所解析装置を提供することにある。
化が進んで１つの画素の大きさは小さくなり、数ミクロ
ン程度の大きさとなっている。従って、前記したよう
な、従来の解析作業においては、不良画素を迅速に発見
することが困難となり、解析時間が増加するという問題
点があった。また、解析作業が停滞することにより歩留
まりが向上せずに低い状態が継続してしまうという問題
点もあった。本発明の目的は、前記のような従来技術の
問題点を解決し、不良原因の解析作業の効率が向上する
不良個所解析装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、不良個所解析
装置において、電気的に被検査装置の不良個所のアドレ
スを検出して出力する特性検査手段と、制御信号に基づ
き被検査装置を移動させる移動手段と、被検査装置の一
部を拡大して表示する拡大表示手段と、前記不良個所の
アドレス情報に基づき、前記拡大表示手段に被検査装置
の不良個所が表示されるように前記移動手段を制御する
制御手段とを備えたことを特徴とする。本発明によれ
ば、検出された不良画素画素を自動的に順次拡大表示す
ることができる。
装置において、電気的に被検査装置の不良個所のアドレ
スを検出して出力する特性検査手段と、制御信号に基づ
き被検査装置を移動させる移動手段と、被検査装置の一
部を拡大して表示する拡大表示手段と、前記不良個所の
アドレス情報に基づき、前記拡大表示手段に被検査装置
の不良個所が表示されるように前記移動手段を制御する
制御手段とを備えたことを特徴とする。本発明によれ
ば、検出された不良画素画素を自動的に順次拡大表示す
ることができる。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を詳細
に説明する。図１は、本発明を適用した不良個所解析装
置の一例であるＣＣＤ不良解析装置の構成を示すブロッ
ク図である。装着基板１１は、ＸＹ可動テーブル１２上
に設置されており、被検査装置であるＣＣＤ素子１０が
装着されている。装着基板１１はＣＣＤ特性検査装置１
３と可撓性ケーブルによって接続されている。
に説明する。図１は、本発明を適用した不良個所解析装
置の一例であるＣＣＤ不良解析装置の構成を示すブロッ
ク図である。装着基板１１は、ＸＹ可動テーブル１２上
に設置されており、被検査装置であるＣＣＤ素子１０が
装着されている。装着基板１１はＣＣＤ特性検査装置１
３と可撓性ケーブルによって接続されている。
【０００６】ＣＣＤ特性検査装置１３は、ＣＣＤ素子１
０を駆動するクロック等の制御信号を発生する駆動回路
や、ＣＣＤ素子１０から読み出された画像信号を画素ご
とに所定値と比較することによって不良画素およびその
画素アドレスを検出する検査回路を備えている。なお、
このようなＣＣＤ特性検査装置自体は周知である。
０を駆動するクロック等の制御信号を発生する駆動回路
や、ＣＣＤ素子１０から読み出された画像信号を画素ご
とに所定値と比較することによって不良画素およびその
画素アドレスを検出する検査回路を備えている。なお、
このようなＣＣＤ特性検査装置自体は周知である。
【０００７】カメラ１８は、例えば顕微鏡にビデオカメ
ラを接続したものであり、顕微鏡によって拡大されたＣ
ＣＤ素子１０の表面画像をビデオカメラによって撮影
し、画像信号を出力するものである。なお、作業者が顕
微鏡を直接覗くことによって視認することも可能であ
る。
ラを接続したものであり、顕微鏡によって拡大されたＣ
ＣＤ素子１０の表面画像をビデオカメラによって撮影
し、画像信号を出力するものである。なお、作業者が顕
微鏡を直接覗くことによって視認することも可能であ
る。
【０００８】出力されたＣＣＤ表面の画像信号は、モニ
タ１７に出力されて視認されると共に、コンピュータ１
４にも入力される。コンピュータ１４は、ＣＣＤ特性検
査装置１３から入力される不良画素アドレス情報、カメ
ラから入力されるＣＣＤ表面画像情報、キーボード１６
から入力されるＣＣＤ素子の構造に関する情報等に基づ
き、後述するような方法でＣＣＤの不良個所の座標情報
を算出し、ＸＹ可動テーブル駆動装置１９を制御して、
所望の不良個所がカメラ１８によって撮影される位置ま
で装着基板１１を移動させる。ディスプレイ１５は各種
制御情報を表示する。
タ１７に出力されて視認されると共に、コンピュータ１
４にも入力される。コンピュータ１４は、ＣＣＤ特性検
査装置１３から入力される不良画素アドレス情報、カメ
ラから入力されるＣＣＤ表面画像情報、キーボード１６
から入力されるＣＣＤ素子の構造に関する情報等に基づ
き、後述するような方法でＣＣＤの不良個所の座標情報
を算出し、ＸＹ可動テーブル駆動装置１９を制御して、
所望の不良個所がカメラ１８によって撮影される位置ま
で装着基板１１を移動させる。ディスプレイ１５は各種
制御情報を表示する。
【０００９】作業者は、モニタ１７によって、あるいは
顕微鏡を直接覗くことによって、不良原因の解析を行
い、該不良箇所の解析が終了すると、例えばキーボード
１６から終了の指示を入力する。するとコンピュータ１
４は、次の不良個所へ装着基板１１を移動させる。
顕微鏡を直接覗くことによって、不良原因の解析を行
い、該不良箇所の解析が終了すると、例えばキーボード
１６から終了の指示を入力する。するとコンピュータ１
４は、次の不良個所へ装着基板１１を移動させる。
【００１０】図２は、本発明を適用したＣＣＤの不良解
析手順を示すフローチャートである。なお、解析処理を
行う前には、ＣＣＤ素子１０の構造（画素の配列）に関
する情報、例えばＣＣＤの左下（始点：(0,0)）および
右上（終点：(17,5)）の角の画素２０、２１の画像情報
および座標情報（ＣＣＤチップのパッケージに対する相
対座標、あるいはＣＣＤパッケージを装着基板１１に装
着した場合のＸＹ可動テーブル１２に対する相対座
標）、Ｘ方向およびＹ方向の総画素数の情報、１画素当
たりの大きさ（Ｘ方向およびＹ方向の長さ）等をキーボ
ード１６から入力しておく。
析手順を示すフローチャートである。なお、解析処理を
行う前には、ＣＣＤ素子１０の構造（画素の配列）に関
する情報、例えばＣＣＤの左下（始点：(0,0)）および
右上（終点：(17,5)）の角の画素２０、２１の画像情報
および座標情報（ＣＣＤチップのパッケージに対する相
対座標、あるいはＣＣＤパッケージを装着基板１１に装
着した場合のＸＹ可動テーブル１２に対する相対座
標）、Ｘ方向およびＹ方向の総画素数の情報、１画素当
たりの大きさ（Ｘ方向およびＹ方向の長さ）等をキーボ
ード１６から入力しておく。
【００１１】Ｓ１０においては、コンピュータ１４は、
ＣＣＤ特性検査装置１３を起動して、ＣＣＤ素子１０の
不良画素のアドレスを取得する。取得したアドレス情報
は内蔵するメモリに蓄積される。Ｓ１１においては、コ
ンピュータ１４は、ＸＹ可動テーブル駆動装置１９を制
御し、装着基板１１を移動させて、ＣＣＤ素子１０の基
準点画像（上記始点および終点画素２０、２１の画像）
を画像認識により検出し、該基準点画像の座標を検出す
る（基準点座標読み取り手段）。
ＣＣＤ特性検査装置１３を起動して、ＣＣＤ素子１０の
不良画素のアドレスを取得する。取得したアドレス情報
は内蔵するメモリに蓄積される。Ｓ１１においては、コ
ンピュータ１４は、ＸＹ可動テーブル駆動装置１９を制
御し、装着基板１１を移動させて、ＣＣＤ素子１０の基
準点画像（上記始点および終点画素２０、２１の画像）
を画像認識により検出し、該基準点画像の座標を検出す
る（基準点座標読み取り手段）。
【００１２】図３は、不良画素の座標情報の算出を説明
するための説明図である。なお、この実施例においては
説明を簡単にするために、Ｘ方向の総画素数を１８、Ｙ
方向の総画素数を６として説明する。基準点画像として
は、例えばＣＣＤの左下（始点：(0,0)）および右上
（終点：(17,5)）の角の画素の画像であってもよく、こ
の角の画素の画像情報および座標情報（Ｘ0，Ｙ0）およ
び（Ｘ1，Ｙ1）は前記したように予め入力されている。
するための説明図である。なお、この実施例においては
説明を簡単にするために、Ｘ方向の総画素数を１８、Ｙ
方向の総画素数を６として説明する。基準点画像として
は、例えばＣＣＤの左下（始点：(0,0)）および右上
（終点：(17,5)）の角の画素の画像であってもよく、こ
の角の画素の画像情報および座標情報（Ｘ0，Ｙ0）およ
び（Ｘ1，Ｙ1）は前記したように予め入力されている。
【００１３】しかし、ＣＣＤチップ２３のＣＣＤパッケ
ージ１０へのマウント誤差や、ＣＣＤパッケージ１０を
装着基板１１に装着する際の装着誤差が存在する。そこ
で、ＸＹ可動テーブル１１を予め入力されている基準点
の座標位置まで移動させ、その位置の周辺から目的とす
る基準点画像を探す。そして、目的とする画像がカメラ
１８によって取り込まれた画像の中心に来るようにＸＹ
可動テーブル１２を更に移動させ、そのときの座標情報
を基準点の座標として記憶する。
ージ１０へのマウント誤差や、ＣＣＤパッケージ１０を
装着基板１１に装着する際の装着誤差が存在する。そこ
で、ＸＹ可動テーブル１１を予め入力されている基準点
の座標位置まで移動させ、その位置の周辺から目的とす
る基準点画像を探す。そして、目的とする画像がカメラ
１８によって取り込まれた画像の中心に来るようにＸＹ
可動テーブル１２を更に移動させ、そのときの座標情報
を基準点の座標として記憶する。
【００１４】Ｓ１２においては、アドレスの示す不良個
所までのＸＹ可動テーブル１２の移動量を計算する。例
えば、Ｘ方向の総画素数をＭx、Ｙ方向の総画素数をＭy
とし、Ｓ１０において入力されたアドレスが(Ａx,Ａy)
であったとすると、不良画素の座標情報Ｘk、Ｙkはそれ
ぞれ下記のように計算される。
所までのＸＹ可動テーブル１２の移動量を計算する。例
えば、Ｘ方向の総画素数をＭx、Ｙ方向の総画素数をＭy
とし、Ｓ１０において入力されたアドレスが(Ａx,Ａy)
であったとすると、不良画素の座標情報Ｘk、Ｙkはそれ
ぞれ下記のように計算される。
【００１５】 Ｘk＝Ｘ0＋（Ｘ1−Ｘ0）*Ａx／（Ｍx−１）， Ｙk＝Ｙ0＋（Ｙ1−Ｙ0）*Ａx／（Ｍy−１）
【００１６】Ｓ１３においては、Ｓ１２において計算し
た不良個所の座標情報に基づき、ＸＹ可動テーブル１２
を不良個所へ移動するようにＸＹ可動テーブル駆動装置
１９を制御する。Ｓ１４においては、作業者がモニタに
１７に表示された不良個所周辺の拡大映像、あるいは顕
微鏡（１８）を直接覗いて目視により不良個所をチェッ
クする。そして、該箇所のチェックが完了すると、例え
ばキーボード１６からチェック完了の指示を入力する。
た不良個所の座標情報に基づき、ＸＹ可動テーブル１２
を不良個所へ移動するようにＸＹ可動テーブル駆動装置
１９を制御する。Ｓ１４においては、作業者がモニタに
１７に表示された不良個所周辺の拡大映像、あるいは顕
微鏡（１８）を直接覗いて目視により不良個所をチェッ
クする。そして、該箇所のチェックが完了すると、例え
ばキーボード１６からチェック完了の指示を入力する。
【００１７】Ｓ１５においては、全ての不良個所のアド
レスについてチェックが終了したか否かが判定され、判
定結果が否定の場合にはＳ１２に戻り、次の不良アドレ
スについてチェックを繰り返す。以上のような構成およ
び動作によって、作業者は不良個所を探す手間が省け、
解析作業に専念することが可能となり、作業効率が向上
する。
レスについてチェックが終了したか否かが判定され、判
定結果が否定の場合にはＳ１２に戻り、次の不良アドレ
スについてチェックを繰り返す。以上のような構成およ
び動作によって、作業者は不良個所を探す手間が省け、
解析作業に専念することが可能となり、作業効率が向上
する。
【００１８】以上、本発明の実施例を開示したが、本発
明には下記のような変形例も考えられる。実施例におい
てはＣＣＤチップのＸＹ軸がＸＹ可動テーブルのＸＹ座
標軸と平行に搭載されることを前提としているが、ＣＣ
ＤチップのＸＹ軸がＸＹ可動テーブルのＸＹ座標軸に対
して傾いて搭載される場合もある。この場合には、図２
のＳ１１において検出したＣＣＤチップの対角線の位置
にある２つの基準点の座標データおよび１画素のＸＹ方
向の長さ、ＸＹ方向の総画素数から傾きの値を算出する
ことができる。従って、Ｓ１２における不良個所の座標
の算出においても、傾きを考慮して座標を算出すればよ
い。
明には下記のような変形例も考えられる。実施例におい
てはＣＣＤチップのＸＹ軸がＸＹ可動テーブルのＸＹ座
標軸と平行に搭載されることを前提としているが、ＣＣ
ＤチップのＸＹ軸がＸＹ可動テーブルのＸＹ座標軸に対
して傾いて搭載される場合もある。この場合には、図２
のＳ１１において検出したＣＣＤチップの対角線の位置
にある２つの基準点の座標データおよび１画素のＸＹ方
向の長さ、ＸＹ方向の総画素数から傾きの値を算出する
ことができる。従って、Ｓ１２における不良個所の座標
の算出においても、傾きを考慮して座標を算出すればよ
い。
【００１９】また、ＣＣＤ素子のＸＹ可動テーブルへの
搭載誤差が小さい場合には、Ｓ１１において画像認識に
よる基準点の座標情報の獲得を省略し、予め入力されて
いる基準点の座標情報に基づいてＸＹ可動テーブルの制
御を行ってもよい。
搭載誤差が小さい場合には、Ｓ１１において画像認識に
よる基準点の座標情報の獲得を省略し、予め入力されて
いる基準点の座標情報に基づいてＸＹ可動テーブルの制
御を行ってもよい。
【００２０】実施例においてはＸＹ可動テーブル上に装
着基板１１を搭載して、ＣＣＤ特性検査装置１３によっ
て不良アドレスの検出を行っているが、ＣＣＤ特性検査
装置１３による不良アドレスの検出処理はテーブル上で
行う必要はなく、別の場所で不良アドレスの検出を行っ
てからＣＣＤ素子１０をＸＹ可動テーブル上に装着して
もよい。
着基板１１を搭載して、ＣＣＤ特性検査装置１３によっ
て不良アドレスの検出を行っているが、ＣＣＤ特性検査
装置１３による不良アドレスの検出処理はテーブル上で
行う必要はなく、別の場所で不良アドレスの検出を行っ
てからＣＣＤ素子１０をＸＹ可動テーブル上に装着して
もよい。
【００２１】実施例においてはＣＣＤ撮像素子の解析作
業について開示したが、本発明は、例えばメモリ素子な
ど、電気的に不良個所が検出可能な任意のＬＳＩの解析
に適用可能である。
業について開示したが、本発明は、例えばメモリ素子な
ど、電気的に不良個所が検出可能な任意のＬＳＩの解析
に適用可能である。
【００２２】
【発明の効果】以上述べたように、本発明においては、
ＣＣＤなどの不良個所解析装置において、電気的に被検
査装置の不良個所のアドレスを検出して、不良個所のア
ドレスに基づき、拡大表示手段に被検査装置の不良個所
が表示されるように移動手段を制御するように構成した
ので、検出された不良画素を自動的に拡大表示すること
ができ、不良原因の解析作業の効率が向上するという効
果がある。
ＣＣＤなどの不良個所解析装置において、電気的に被検
査装置の不良個所のアドレスを検出して、不良個所のア
ドレスに基づき、拡大表示手段に被検査装置の不良個所
が表示されるように移動手段を制御するように構成した
ので、検出された不良画素を自動的に拡大表示すること
ができ、不良原因の解析作業の効率が向上するという効
果がある。
【図１】本発明のＣＣＤ不良解析装置の構成を示すブロ
ック図である。
ック図である。
【図２】本発明のＣＣＤの不良解析手順を示すフローチ
ャートである。
ャートである。
【図３】不良画素の座標情報の算出を説明するための説
明図である。
明図である。
、１０…ＣＣＤ素子、１１…装着基板、１２…ＸＹ可動
テーブル駆動装置、１３…ＣＣＤ特性検査装置、１４…
コンピュータ、１５…ディスプレイ、１６…キーボー
ド、１７…モニタ、２０、２１…基準点画素、２２…不
良画素、２３…ＣＣＤチップ
テーブル駆動装置、１３…ＣＣＤ特性検査装置、１４…
コンピュータ、１５…ディスプレイ、１６…キーボー
ド、１７…モニタ、２０、２１…基準点画素、２２…不
良画素、２３…ＣＣＤチップ
Claims (3)
- 【請求項１】 電気的に被検査装置の不良個所のアドレ
スを検出して出力する特性検査手段と、 制御信号に基づき被検査装置を移動させる移動手段と、 被検査装置の一部を拡大して表示する拡大表示手段と、 前記不良個所のアドレス情報に基づき、前記拡大表示手
段に前記被検査装置の不良個所が表示されるように前記
移動手段を制御する制御手段とを備えたことを特徴とす
る不良個所解析装置。 - 【請求項２】 更に、前記被検査装置の基準点の座標情
報を自動的に検出する基準点座標読み取り手段を備えた
ことを特徴とする請求項１に記載の不良個所解析装置。 - 【請求項３】 前記被検査装置はＣＣＤ撮像素子であ
り、 前記特性検査手段は、前記ＣＣＤ撮像素子を駆動し、前
記ＣＣＤ撮像素子から読み出された画素毎の映像信号レ
ベルを所定値と比較することによって不良画素およびそ
のアドレスを検出するものであり、 前記移動手段は前記ＣＣＤ撮像素子を所定の位置に搭載
して２次元の任意の座標に移動可能な可動テーブル手段
であり、 前記拡大表示手段は、前記可動テーブル手段の特定の座
標範囲を拡大して撮影するための拡大光学系を備えたビ
デオカメラおよびモニタ手段からなり、 前記制御手段は、前記ＣＣＤ撮像素子の基準点となる画
素の座標情報、画素の配列情報および前記不良画素のア
ドレス情報に基づき、前記不良画素の座標を算出する座
標算出手段を備えていることを特徴とする請求項１に記
載の不良個所解析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10341202A JP2000162145A (ja) | 1998-12-01 | 1998-12-01 | 不良個所解析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10341202A JP2000162145A (ja) | 1998-12-01 | 1998-12-01 | 不良個所解析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000162145A true JP2000162145A (ja) | 2000-06-16 |
Family
ID=18344171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10341202A Pending JP2000162145A (ja) | 1998-12-01 | 1998-12-01 | 不良個所解析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000162145A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101996543A (zh) * | 2009-08-25 | 2011-03-30 | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 | 缺陷像素地址检测方法以及检测装置 |
-
1998
- 1998-12-01 JP JP10341202A patent/JP2000162145A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101996543A (zh) * | 2009-08-25 | 2011-03-30 | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 | 缺陷像素地址检测方法以及检测装置 |
| CN101996543B (zh) * | 2009-08-25 | 2013-06-19 | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 | 缺陷像素地址检测方法以及检测装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4484844B2 (ja) | 画像二値化処理方法、画像処理装置及びコンピュータプログラム | |
| KR20090098893A (ko) | 프로브 검사 장치, 위치 이탈 보정 방법, 정보 처리 장치, 정보 처리 방법 및 프로그램 | |
| JP3181435B2 (ja) | 画像処理装置及び画像処理方法 | |
| JPH09265537A (ja) | 画像処理方法 | |
| JP2001043378A (ja) | 繰り返しパターン消去方法及びパターン欠陥検査装置 | |
| JP2002269560A (ja) | テンプレートマッチング方法、それを実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体、テンプレートマッチング装置、位置決め装置および実装装置 | |
| JP2000162145A (ja) | 不良個所解析装置 | |
| KR100293698B1 (ko) | 플라즈마디스플레이패널의패턴검사기및그검사방법 | |
| JP2009133696A (ja) | 基板の検査方法及び基板の検査装置 | |
| JPH1019789A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JP3123275B2 (ja) | 電子部品の欠品検査における検査データの作成方法 | |
| JP2885694B2 (ja) | 半導体基板表面の自動外観検査装置 | |
| JP2000266519A (ja) | 歪み量計測方法及び装置 | |
| JP3771329B2 (ja) | 電子部品の取付方向検査方法 | |
| JPS62298750A (ja) | プリント基板検査装置 | |
| JP7496288B2 (ja) | 導電性部材抽出装置および導電性部材抽出方法 | |
| JP2000340626A (ja) | パターン検査方法及び装置並びにパターン検査プログラムを記録した記録媒体 | |
| JPH0894534A (ja) | パターン欠陥検出装置 | |
| JPH0663751B2 (ja) | 電子部品の認識方式 | |
| JP3053653B2 (ja) | 光学式液晶ディスプレイ欠陥検査装置 | |
| JPH10117100A (ja) | 部品の位置検出方法 | |
| JP2000329536A (ja) | 外観検査装置および外観検査方法 | |
| JP2005093462A (ja) | 検査装置 | |
| JPH0642937A (ja) | はんだブリッジ検査方法 | |
| JPH0766262A (ja) | ボンディングワイヤ検査におけるネック部検出方法 |