JP4484844B2 - 画像二値化処理方法、画像処理装置及びコンピュータプログラム - Google Patents
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Description
基板上の電極パッドを撮像した原画像を二値化する画像二値化処理方法であって、
前記原画像を第1の閾値で二値化して電極の二値画像を生成する電極画像処理ステップと、
前記電極画像処理ステップで生成した前記電極の二値画像から、電極に物体が接触した痕と想定される部分を含む接触痕領域を算出する接触痕領域算出ステップと、
前記接触痕領域算出ステップで算出した接触痕領域に該当する領域の原画像を、前記第1の閾値とは別の第2の閾値で二値化して接触痕領域二値画像を生成する接触痕画像処理ステップと、
前記電極の二値画像と前記接触痕領域二値画像を、対応する画素ごとの論理和をとって合成する画像合成ステップと、
を備えることを特徴とする。
前記接触痕画像処理ステップにおける第2の閾値は、前記第1の閾値と前記高い輝度の極大値の間の輝度であることを特徴とする。
基板上の電極パッドを撮像した原画像を二値化する画像処理装置であって、
前記原画像を、第1の閾値で二値化して電極の二値画像を生成する電極画像処理手段と、
前記電極の二値画像から、電極に物体が接触した痕と想定される部分を含む接触痕領域を算出する接触痕領域算出手段と、
前記接触痕領域算出手段で算出した接触痕領域に該当する領域の原画像を、前記第1の閾値とは別の第2の閾値で二値化して接触痕領域二値画像を生成する接触痕画像処理手段と、
前記電極の二値画像と前記接触痕領域二値画像を、対応する画素ごとの論理和をとって合成する画像合成手段と、
を備えることを特徴とする。
前記接触痕画像処理手段における第2の閾値は、前記第1の閾値と前記高い輝度の極大値の間の輝度である、
ことを特徴とする。
前記原画像を、第1の閾値で二値化して電極の二値画像を生成する電極画像処理手段と、
前記電極の二値画像から、電極に物体が接触した痕と想定される部分を含む接触痕領域を算出する接触痕領域算出手段と、
前記接触痕領域算出手段で算出した接触痕領域に該当する領域の原画像を、前記第1の閾値とは別の第2の閾値で二値化して接触痕領域二値画像を生成する接触痕画像処理手段と、
前記電極の二値画像と前記接触痕領域二値画像を、対応する画素ごとの論理和をとって合成する画像合成手段、
として機能させることを特徴とする。
2 検査制御部、画像処理装置
4 プローブカード
4a プローブ
8 ウエハ(基板)
8a 電極パッド
9 基板撮像装置
16 チップ
20 内部バス
21 制御部(電極画像処理手段、接触痕領域算出手段、接触痕画像処理手段、画像合成手段)
22 主記憶部
23 外部記憶部
24 操作部
25 入出力部
26 表示部
31 二値化処理部(電極画像処理手段)
32 予想プローブ痕領域算出部(接触痕領域算出手段)
33 領域二値化処理部(接触痕画像処理手段)
34 画像合成部(画像合成手段)
35 画像データ保持部
36 原画像
37 電極二値画像
38 プローブ痕領域二値画像
39 プローブ痕認識二値画像
Claims (7)
- 基板上の電極パッドを撮像した原画像を二値化する画像二値化処理方法であって、
前記原画像を第1の閾値で二値化して電極の二値画像を生成する電極画像処理ステップと、
前記電極画像処理ステップで生成した前記電極の二値画像から、電極に物体が接触した痕と想定される部分を含む接触痕領域を算出する接触痕領域算出ステップと、
前記接触痕領域算出ステップで算出した接触痕領域に該当する領域の原画像を、前記第1の閾値とは別の第2の閾値で二値化して接触痕領域二値画像を生成する接触痕画像処理ステップと、
前記電極の二値画像と前記接触痕領域二値画像を、対応する画素ごとの論理和をとって合成する画像合成ステップと、
を備えることを特徴とする画像二値化処理方法。 - 前記接触痕領域算出ステップは、前記電極の二値画像のうち、最も面積の大きい黒色領域に外接する矩形領域を前記接触痕領域とすることを特徴とする請求項1に記載の画像二値化処理方法。
- 前記電極画像処理ステップにおける第1の閾値は、前記原画像の画素の輝度ごとの度数分布において、低い輝度の極大値と高い輝度の極大値の間の、頻度が最小の輝度であり、
前記接触痕画像処理ステップにおける第2の閾値は、前記第1の閾値と前記高い輝度の極大値の間の輝度である、
ことを特徴とする請求項1に記載の画像二値化処理方法。 - 基板上の電極パッドを撮像した原画像を二値化する画像処理装置であって、
前記原画像を、第1の閾値で二値化して電極の二値画像を生成する電極画像処理手段と、
前記電極の二値画像から、電極に物体が接触した痕と想定される部分を含む接触痕領域を算出する接触痕領域算出手段と、
前記接触痕領域算出手段で算出した接触痕領域に該当する領域の原画像を、前記第1の閾値とは別の第2の閾値で二値化して接触痕領域二値画像を生成する接触痕画像処理手段と、
前記電極の二値画像と前記接触痕領域二値画像を、対応する画素ごとの論理和をとって合成する画像合成手段と、
を備えることを特徴とする画像処理装置。 - 前記接触痕領域算出手段は、前記電極の二値画像のうち最も面積の大きい黒色領域に外接する矩形領域を前記接触痕領域とすることを特徴とする請求項4に記載の画像処理装置。
- 前記電極画像処理手段における第1の閾値は、前記原画像の画素の輝度ごとの度数分布において、低い輝度の極大値と高い輝度の極大値の間の、頻度が最小の輝度であり、
前記接触痕画像処理手段における第2の閾値は、前記第1の閾値と前記高い輝度の極大値の間の輝度である、
ことを特徴とする請求項4に記載の画像処理装置。 - 基板上の電極パッドを撮像した原画像を二値化するために、コンピュータを、
前記原画像を、第1の閾値で二値化して電極の二値画像を生成する電極画像処理手段と、
前記電極の二値画像から、電極に物体が接触した痕と想定される部分を含む接触痕領域を算出する接触痕領域算出手段と、
前記接触痕領域算出手段で算出した接触痕領域に該当する領域の原画像を、前記第1の閾値とは別の第2の閾値で二値化して接触痕領域二値画像を生成する接触痕画像処理手段と、
前記電極の二値画像と前記接触痕領域二値画像を、対応する画素ごとの論理和をとって合成する画像合成手段、
として機能させることを特徴とするコンピュータプログラム。
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