JP4730895B2 - 針痕検出装置および針痕検出方法 - Google Patents
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Description
3 撮像部
9 基板
42 パッド領域取得部
43 針痕領域取得部
61,81 パッド領域
62〜64,821,831,832,841〜849 分割領域
65,85 クラスタ(真の針痕領域)
65a,85a クラスタ(針痕領域の候補)
82 中央部
83 エッジ近傍部
431 針痕閾値決定部
S11,S13,S17,S18 ステップ
Claims (10)
- 基板上に形成された配線パターンに含まれるパッドにプローブを接触させて電気的な検査を行った後において、前記パッド上の針痕を検出する針痕検出装置であって、
基板を撮像して矩形のパッドを含む対象領域を示す多階調の対象画像を取得する撮像部と、
前記対象画像から前記パッドの領域を示すパッド領域を取得するパッド領域取得部と、
前記対象画像の前記パッド領域を分割して得られる複数の分割領域を、前記複数の分割領域のそれぞれに対して個別に設定された針痕閾値にて2値化することにより、前記パッド上の針痕を示す針痕領域を取得する針痕領域取得部と、
を備え、
前記複数の分割領域が、前記パッド領域の中央部の分割領域、前記中央部の上側、下側、左側および右側、かつ、前記パッド領域のエッジ近傍の4個の分割領域、並びに、前記中央部の分割領域の外側、かつ、前記エッジ近傍の前記4個の分割領域の内側に位置する4個の分割領域を含み、
前記針痕領域取得部が、各分割領域に含まれる画素の値の最頻値、平均値、重心または中央値である代表値を求め、前記各分割領域に対し、前記代表値が大きいほど大きな値となる前記針痕閾値を決定する閾値決定部を有することを特徴とする針痕検出装置。 - 請求項1に記載の針痕検出装置であって、
前記針痕領域取得部において、前記パッド領域のエッジに近い分割領域ほど前記パッド領域外の画素の値に近い前記針痕閾値が設定されることを特徴とする針痕検出装置。 - 請求項1または2に記載の針痕検出装置であって、
前記針痕領域取得部が、2値化により取得された針痕領域の候補から所定の幅以下となるものを除外して前記針痕領域を取得することを特徴とする針痕検出装置。 - 基板上に形成された配線パターンに含まれるパッドにプローブを接触させて電気的な検査を行った後において、前記パッド上の針痕を検出する針痕検出装置であって、
基板を撮像して矩形のパッドを含む対象領域を示す多階調の対象画像を取得する撮像部と、
前記対象画像から前記パッドの領域を示すパッド領域を取得するパッド領域取得部と、
前記対象画像の前記パッド領域を分割して得られる複数の分割領域を、前記複数の分割領域のそれぞれに対して個別に設定された針痕閾値にて2値化することにより、前記パッド上の針痕を示す針痕領域を取得する針痕領域取得部と、
を備え、
前記パッドの表面に凹凸による縞状のパターンが形成されており、
前記複数の分割領域が、前記パッド領域の中央部を分割した領域と、前記中央部の上側、下側、左側および右側にて前記パッド領域のエッジ近傍部を分割した領域とを含み、前記複数の分割領域のそれぞれが前記パターンに従った形状とされ、
各分割領域に対して前記針痕閾値として上側針痕閾値および下側針痕閾値が個別に設定されており、
前記針痕領域取得部が、前記各分割領域に含まれる画素のうち、値が前記下側針痕閾値以上前記上側針痕閾値未満の画素の前記値を一の値に、値が前記下側針痕閾値未満または前記上側針痕閾値以上の画素の前記値を他の値に変換することにより、前記各分割領域を2値化し、
前記針痕領域取得部が、前記各分割領域に含まれる画素の値の最頻値、平均値、重心または中央値である代表値を求め、前記各分割領域に対する前記画素の値のヒストグラムにおいて前記代表値を中心とする所定の範囲に含まれる画素の値の重心を基準画素値とし、または、前記代表値を基準画素値とし、前記パッド領域の前記エッジ近傍部の分割領域に対する前記上側針痕閾値と前記下側針痕閾値との差が、前記パッド領域の前記中央部の分割領域に対する前記差よりも大きくなるように、前記基準画素値に範囲決定値を加えた値、および、前記基準画素値から前記範囲決定値を減じた値を前記上側針痕閾値および前記下側針痕閾値として決定する閾値決定部を有することを特徴とする針痕検出装置。 - 基板上に形成された配線パターンに含まれるパッドにプローブを接触させて電気的な検査を行った後において、前記パッド上の針痕を検出する針痕検出装置であって、
基板を撮像して矩形のパッドを含む対象領域を示す多階調の対象画像を取得する撮像部と、
前記対象画像から前記パッドの領域を示すパッド領域を取得するパッド領域取得部と、
前記対象画像の前記パッド領域を分割して得られる複数の分割領域を、前記複数の分割領域のそれぞれに対して個別に設定された針痕閾値にて2値化することにより、前記パッド上の針痕を示す針痕領域を取得する針痕領域取得部と、
を備え、
前記複数の分割領域が、前記パッド領域の中央部の分割領域、前記中央部の上側、下側、左側および右側、かつ、前記パッド領域のエッジ近傍の4個の分割領域、並びに、前記中央部の分割領域の外側、かつ、前記エッジ近傍の前記4個の分割領域の内側に位置する4個の分割領域を含み、
各分割領域に対して前記針痕閾値として上側針痕閾値および下側針痕閾値が個別に設定されており、
前記針痕領域取得部が、前記各分割領域に含まれる画素のうち、値が前記下側針痕閾値以上前記上側針痕閾値未満の画素の前記値を一の値に、値が前記下側針痕閾値未満または前記上側針痕閾値以上の画素の前記値を他の値に変換することにより、前記各分割領域を2値化し、
前記針痕領域取得部が、前記各分割領域に含まれる画素の値の最頻値、平均値、重心または中央値である代表値を求め、前記各分割領域に対する前記画素の値のヒストグラムにおいて前記代表値を中心とする所定の範囲に含まれる画素の値の重心を基準画素値とし、または、前記代表値を基準画素値とし、前記パッド領域の前記エッジ近傍の分割領域に対する前記上側針痕閾値と前記下側針痕閾値との差が、前記パッド領域の前記中央部の分割領域に対する前記差よりも大きくなるように、前記基準画素値に範囲決定値を加えた値、および、前記基準画素値から前記範囲決定値を減じた値を前記上側針痕閾値および前記下側針痕閾値として決定する閾値決定部を有することを特徴とする針痕検出装置。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の針痕検出装置であって、
前記針痕領域取得部が、2値化により取得された針痕領域の候補から所定の面積以下となるものを除外して前記針痕領域を取得することを特徴とする針痕検出装置。 - 基板上に形成された配線パターンに含まれるパッドにプローブを接触させて電気的な検査を行った後において、前記パッド上の針痕を検出する針痕検出方法であって、
基板を撮像して矩形のパッドを含む対象領域を示す多階調の対象画像を取得する工程と、
前記対象画像から前記パッドの領域を示すパッド領域を取得する工程と、
前記対象画像の前記パッド領域を分割して得られる複数の分割領域を、前記複数の分割領域のそれぞれに対して個別に設定された針痕閾値にて2値化することにより、前記パッド上の針痕を示す針痕領域を取得する工程と、
を備え、
前記複数の分割領域が、前記パッド領域の中央部の分割領域、前記中央部の上側、下側、左側および右側、かつ、前記パッド領域のエッジ近傍の4個の分割領域、並びに、前記中央部の分割領域の外側、かつ、前記エッジ近傍の前記4個の分割領域の内側に位置する4個の分割領域を含み、
前記針痕領域を取得する工程において、各分割領域に含まれる画素の値の最頻値、平均値、重心または中央値である代表値が求められ、前記各分割領域に対し、前記代表値が大きいほど大きな値となる前記針痕閾値が決定されることを特徴とする針痕検出方法。 - 基板上に形成された配線パターンに含まれるパッドにプローブを接触させて電気的な検査を行った後において、前記パッド上の針痕を検出する針痕検出方法であって、
基板を撮像して矩形のパッドを含む対象領域を示す多階調の対象画像を取得する工程と、
前記対象画像から前記パッドの領域を示すパッド領域を取得する工程と、
前記対象画像の前記パッド領域を分割して得られる複数の分割領域を、前記複数の分割領域のそれぞれに対して個別に設定された針痕閾値にて2値化することにより、前記パッド上の針痕を示す針痕領域を取得する工程と、
を備え、
前記パッドの表面に凹凸による縞状のパターンが形成されており、
前記複数の分割領域が、前記パッド領域の中央部を分割した領域と、前記中央部の上側、下側、左側および右側にて前記パッド領域のエッジ近傍部を分割した領域とを含み、前記複数の分割領域のそれぞれが前記パターンに従った形状とされ、
各分割領域に対して前記針痕閾値として上側針痕閾値および下側針痕閾値が個別に設定されており、
前記針痕領域を取得する工程において、前記各分割領域に含まれる画素のうち、値が前記下側針痕閾値以上前記上側針痕閾値未満の画素の前記値を一の値に、値が前記下側針痕閾値未満または前記上側針痕閾値以上の画素の前記値を他の値に変換することにより、前記各分割領域が2値化され、
前記針痕領域を取得する工程が、前記各分割領域に含まれる画素の値の最頻値、平均値、重心または中央値である代表値を求め、前記各分割領域に対する前記画素の値のヒストグラムにおいて前記代表値を中心とする所定の範囲に含まれる画素の値の重心を基準画素値とし、または、前記代表値を基準画素値とし、前記パッド領域の前記エッジ近傍部の分割領域に対する前記上側針痕閾値と前記下側針痕閾値との差が、前記パッド領域の前記中央部の分割領域に対する前記差よりも大きくなるように、前記基準画素値に範囲決定値を加えた値、および、前記基準画素値から前記範囲決定値を減じた値を前記上側針痕閾値および前記下側針痕閾値として決定する工程を有することを特徴とする針痕検出方法。 - 基板上に形成された配線パターンに含まれるパッドにプローブを接触させて電気的な検査を行った後において、前記パッド上の針痕を検出する針痕検出方法であって、
基板を撮像して矩形のパッドを含む対象領域を示す多階調の対象画像を取得する工程と、
前記対象画像から前記パッドの領域を示すパッド領域を取得する工程と、
前記対象画像の前記パッド領域を分割して得られる複数の分割領域を、前記複数の分割領域のそれぞれに対して個別に設定された針痕閾値にて2値化することにより、前記パッド上の針痕を示す針痕領域を取得する工程と、
を備え、
前記複数の分割領域が、前記パッド領域の中央部の分割領域、前記中央部の上側、下側、左側および右側、かつ、前記パッド領域のエッジ近傍の4個の分割領域、並びに、前記中央部の分割領域の外側、かつ、前記エッジ近傍の前記4個の分割領域の内側に位置する4個の分割領域を含み、
各分割領域に対して前記針痕閾値として上側針痕閾値および下側針痕閾値が個別に設定されており、
前記針痕領域を取得する工程において、前記各分割領域に含まれる画素のうち、値が前記下側針痕閾値以上前記上側針痕閾値未満の画素の前記値を一の値に、値が前記下側針痕閾値未満または前記上側針痕閾値以上の画素の前記値を他の値に変換することにより、前記各分割領域が2値化され、
前記針痕領域を取得する工程が、前記各分割領域に含まれる画素の値の最頻値、平均値、重心または中央値である代表値を求め、前記各分割領域に対する前記画素の値のヒストグラムにおいて前記代表値を中心とする所定の範囲に含まれる画素の値の重心を基準画素値とし、または、前記代表値を基準画素値とし、前記パッド領域の前記エッジ近傍の分割領域に対する前記上側針痕閾値と前記下側針痕閾値との差が、前記パッド領域の前記中央部の分割領域に対する前記差よりも大きくなるように、前記基準画素値に範囲決定値を加えた値、および、前記基準画素値から前記範囲決定値を減じた値を前記上側針痕閾値および前記下側針痕閾値として決定する工程を有することを特徴とする針痕検出方法。 - 請求項7ないし9のいずれかに記載の針痕検出方法であって、
前記対象画像を取得する工程において、前記基板が撮像部に対して連続的に移動しつつ前記基板にフラッシュ光が照射されることを特徴とする針痕検出方法。
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