JP4702953B2 - ムラ検査方法、ムラ検査装置およびプログラム - Google Patents
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Description
5 コンピュータ
9 基板
41 撮像部
55 ディスプレイ
62 2値画像取得部
63 筋領域特定部
64 領域グループ取得部
65 筋ムラ強度取得部
71 対象画像
72 2値画像
73 領域グループ
541 プログラム
721a,721b 筋領域
724a,724b,724d,724e,731,732,733a,733b 筋領域線分
S15〜S19,S21,S31,S34 ステップ
Claims (10)
- 対象物上の筋ムラを検査するムラ検査方法であって、
a)対象物から得られる多階調の対象画像を複数の閾値にて2値化することにより、前記複数の閾値にそれぞれ対応する複数の2値画像を取得する工程と、
b)前記複数の2値画像のそれぞれにおいて、長手方向における長さと前記長手方向に垂直な方向における幅との比が所定値以上となる筋領域を特定する工程と、
c)閾値が隣接する2つの2値画像において互いに重なる筋領域を同一の領域グループに含めるグループ化により、それぞれが筋ムラを示す少なくとも1つの領域グループを求める工程と、
d)前記少なくとも1つの領域グループのそれぞれに関して、筋領域が存在する2値画像に対応する閾値の範囲、または、筋領域の長さもしくは面積の和を、筋ムラ強度として取得する工程と、
を備えることを特徴とするムラ検査方法。 - 請求項1に記載のムラ検査方法であって、
e)前記少なくとも1つの領域グループのそれぞれのおよその筋ムラ強度を特定可能としつつ、前記少なくとも1つの領域グループの存在位置を表示部に表示する工程をさらに備えることを特徴とするムラ検査方法。 - 請求項1に記載のムラ検査方法であって、
f)前記少なくとも1つの領域グループのうち所定の筋ムラ強度の範囲に属するものの存在位置のみを表示部に表示する工程をさらに備えることを特徴とするムラ検査方法。 - 請求項3に記載のムラ検査方法であって、
前記f)工程が、前記筋ムラ強度の範囲を変更して前記少なくとも1つの領域グループのうち変更後の前記筋ムラ強度の範囲に属するものの存在位置のみを前記表示部に再表示する工程を備えることを特徴とするムラ検査方法。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載のムラ検査方法であって、
前記b)工程において、筋領域が当該領域を代表する筋領域線分にて特定され、前記c)工程および前記d)工程において、筋領域線分が、対応する筋領域として扱われることを特徴とするムラ検査方法。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載のムラ検査方法であって、
前記b)工程において、前記複数の2値画像のそれぞれにおいて閉領域のモーメントを算出して長手方向を決定した上で、前記閉領域が筋領域か否かが特定されることを特徴とするムラ検査方法。 - 請求項1ないし6のいずれかに記載のムラ検査方法であって、
前記b)工程において、長手方向が同一であり、前記長手方向に配列され、かつ、互いに近接する複数の筋領域が、1つの筋領域へと更新されることを特徴とするムラ検査方法。 - 請求項1ないし7のいずれかに記載のムラ検査方法であって、
前記対象物が複数の部位に切断される予定の基板であり、
前記d)工程において、前記複数の部位のそれぞれに対応する領域における筋ムラ強度の合計が取得されることを特徴とするムラ検査方法。 - 対象物上の筋ムラを検査するムラ検査装置であって、
対象物を撮像して多階調の元画像を取得する撮像部と、
前記元画像または前記元画像から導かれる画像である対象画像を複数の閾値にて2値化することにより、前記複数の閾値にそれぞれ対応する複数の2値画像を取得する2値画像取得部と、
前記複数の2値画像のそれぞれにおいて、長手方向における長さと前記長手方向に垂直な方向における幅との比が所定値以上となる筋領域を特定する筋領域特定部と、
閾値が隣接する2つの2値画像において互いに重なる筋領域を同一の領域グループに含めるグループ化により、それぞれが筋ムラを示す少なくとも1つの領域グループを求める領域グループ取得部と、
前記少なくとも1つの領域グループのそれぞれに関して、筋領域が存在する2値画像に対応する閾値の範囲、または、筋領域の長さもしくは面積の和を、筋ムラ強度として取得する筋ムラ強度取得部と、
を備えることを特徴とするムラ検査装置。 - 対象物上の筋ムラをコンピュータに検査させるプログラムであって、前記プログラムの前記コンピュータによる実行は、前記コンピュータに、
a)対象物から得られる多階調の対象画像を複数の閾値にて2値化することにより、前記複数の閾値にそれぞれ対応する複数の2値画像を取得する工程と、
b)前記複数の2値画像のそれぞれにおいて、長手方向における長さと前記長手方向に垂直な方向における幅との比が所定値以上となる筋領域を特定する工程と、
c)閾値が隣接する2つの2値画像において互いに重なる筋領域を同一の領域グループに含めるグループ化により、それぞれが筋ムラを示す少なくとも1つの領域グループを求める工程と、
d)前記少なくとも1つの領域グループのそれぞれに関して、筋領域が存在する2値画像に対応する閾値の範囲、または、筋領域の長さもしくは面積の和を、筋ムラ強度として取得する工程と、
を実行させることを特徴とするプログラム。
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