CN101082592A - 不均检查方法、不均检查装置以及记录介质 - Google Patents

Abstract

在不均检查装置的对象图像生成部件61中，在拍摄基板而取得的多灰度的原始图像中遮蔽间隙的区域，从而准备对象图像。该间隙的区域对应于矩形区域间的区域，其中，该矩形区域与基板上的面板对应。在线条状不均要素确定部件63中，在将对象图像二值化了的二值图像中，以多条线条状不均要素线段分别确定多个线条状不均要素区域。各线条状不均要素区域的长度与宽度之比在规定值以上。然后，在线条状不均检测部件64中，检测长轴方向相同的、在相邻的矩形区域中沿长轴方向排列的两条线条状不均要素线段，从而能够容易地检测出横亘多个矩形区域延伸的线条状不均。

Description

不均检查方法、不均检查装置以及记录介质

技术领域

本发明涉及一种对基板上的线条状不均进行检查的技术。

背景技术

到目前为止，在显示装置用玻璃基板的主面上形成面板图案时，通过在该主面上涂敷抗蚀液而形成抗蚀膜。在形成抗蚀膜时，例如，当在涂敷抗蚀液之前的基板上存在微小的杂质时，有时会在喷出抗蚀液的狭缝中卡住杂质，从而在抗蚀膜上产生从该杂质的位置延伸的线条状不均。近年来，通过检测出基板上的这样的线条状不均的存在位置(或者检查线条状不均)，从而确定产生线条状不均的原因来改善制造工艺和所形成的图案等。

作为检测线条状不均的存在位置的方法的一个例子，在JP特开2005-345290号公报(文献1)中公开有这样一种方法：将检查对象的图像中的各像素依次作为关注像素，在以该关注像素为中心的规定大小的区域中，分别对倾角不同的多个角度基准线，计算出值为阈值以上的多个像素与通过该关注像素的角度基准线之间的距离的总和，将基于这些距离的总和的最小值的值作为该关注像素的值，由此取得表示线条状不均的存在位置的图像。

此外，在JP特开2006-105884号公报中，公开有这样一种方法：在对拍摄基板而得的图像实施低通滤波处理之后进行高通滤波处理时，通过将用于高通滤波处理的像素组限制为高通窗口(high pass window)的关注像素所属的区域内的像素，从而提高设定在待切割基板上的各区域的边缘附近的不均检查的精度。

另外，近年来还进行了这样的判定，即，根据不均对基板品质的影响程度(以下，称为“不均的强度”)来判定是否允许不均，在JP特开平9-68502号公报中公开了以下技术：在表示荫罩的图像中，在规定方向的各位置，将垂直于该方向排列的像素的值相乘，从而取得乘积数据，用该乘积数据的各值除以已使乘积数据平滑化的平滑化数据所对应的值，从而得到标准化数据，基于该标准化数据来判定是否允许荫罩的线条状不均(即，判定是否有缺陷)。另外，在JP特开平10-197451号公报中，提出有这样的方案：通过将拍摄对象物而得的图像的各像素值除以已使该图像平滑化的图像所对应的像素值，从而取得标准化图像，在标准化图像中，对象素的值与平均值之差的绝对值在规定的阈值以下的像素赋予0，从而生成新的图像，然后通过使该图像的像素的值相乘，从而判定是否允许不均。

但是，在基板上形成有多个面板的图案(即，基板将会被分割)的情况下，在基板上将分别相当于面板的显示区域的多个矩形区域设定为隔开间隙而纵横排列。此时，与在多个矩形区域内形成同样的图案的结构相对，由于在矩形区域的间隙形成各种图案，所以在将从基板取得的图像直接用于不均检查时，常常在矩形区域间的间隙所对应的区域产生虚报。因此，优选地，在进行不均检查时，在表示基板的图像中对矩形区域间的间隙所对应的区域赋予一定的像素值(即，遮蔽该区域)，这样来准备作为检查对象的图像。然而，在对这种图像进行线条状不均检查时，在基板上存在横亘多个矩形区域而延伸的线条状不均的情况下，虽然源于同一线条状不均，但在这些矩形区域分别检测出的多个线条状区域是相互独立的，导致无法高效的确定产生线条状不均的原因。

另外，近年来，为了分析基板上的线条状不均、判定作为基板的分割单位的每个区域的线条状不均是否优良，逐渐要求高精度的检测出基板上的线条状不均的存在位置并分别取得线条状不均对基板品质的影响程度(以下，称为“线条状不均的强度”)。但是，要利用上述文献1的方法高精度检测出线条状不均，需要使用多条角度基准线进行大量计算，并且在求线条状不均的评价值时，需要再次进行复杂的计算。因此，需要一种新方法，能够高精度的检测出线条状不均，并能够简单地取得线条状不均的强度。

并且，在基板上，除了上述的线条状不均以外，还存在会导致线条状不均的杂质自身等的点缺陷，并且还存在特征不明显的其它缺陷。在不均缺陷的检查中，在这些缺陷重合的情况下(即，在表示基板的对象图像中，表示这些缺陷的区域重合时)难以区别缺陷。

发明内容

本发明涉及一种对将会根据多个矩形区域而被切割的基板上的线条状不均进行检查的不均检查方法，目的在于，能够容易的检测出横亘多个矩形区域而延伸的线条状不均。

本发明提供一种不均检查方法，对基板上的线条状不均进行检查，该基板根据多个矩形区域将会被切割，该多个矩形区域具有相同的图案，并以隔开间隙而纵横排列的方式被设定，该部均检查方法包括：准备对象图像的工序，对拍摄基板而取得的多灰度原始图像上与间隙对应的区域进行遮蔽，从而准备对象图像；确定线条状不均要素区域的工序，在对对象图像进行了二值化的二值图像中，将长轴方向上的长度与垂直于长轴方向的方向上的宽度之比在规定值以上的多个闭区域，确定为多个线条状不均要素区域；检测工序，在多个线条状不均要素区域中检测出两个线条状不均要素区域，该两个线条状不均要素区域是长轴方向相同、并在长轴方向上排列、且在相邻的矩形区域内存在的区域。

根据本发明，能够容易地检测出横亘多个矩形区域延伸的线条状不均。

在本发明的一个优选的方式中，在确定线条状不均要素区域的工序中，利用代表该区域的线条状不均要素线段来确定线条状不均区域，在检测工序中，将线条状不均要素线段作为所对应的线条状要素区域进行处现，从而能够容易地检测出横亘多个矩形区域延伸的线条状不均。

在本发明的其它优选的方式中，不均检查方法还包括显示工序，在该显示工序中，在显示部件上显示连接两个线条状要素区域的连接区域的存在位置，从而能够容易地确认横亘多个矩形区域而延伸的线条状不均。

在本发明的一个方案中，执行准备对象图像的工序至检测工序，从而从对象图像中检测出表示线条状不均缺陷的线条状不均区域，该线条状不均区域的长轴方向上的长度与垂直于长轴方向的方向上的宽度之比在规定值以上，不均检查方法还包括：检测缺陷候补区域的工序，对对象图像进行二值化，从而检测出表示对象图像中的其它缺陷的候补的缺陷候补区域；第一判定工序，在缺陷候补区域与线条状不均区域的至少一部分重叠的情况下，对第一评价值和第二评价值进行比较，从而判定是否删除缺陷候补区域，其中，第一评价值与缺陷候补区域的缺陷强度有关，第二评价值与线条状不均区域的线条状不均缺陷的强度有关。由此，在缺陷候补区域与线条状不均区域的至少一部分重叠时，能够容易的判定是否要删除缺陷候补区域，其结果，能够可靠的确认线条状不均区域以及缺陷候补区域。

本发明提供一种不均检查装置以及记录介质，其中，该不均检查装置对将会被根据多个矩形区域切割的基板上的线条状不均进行检查，记录介质为一种计算机可读取的记录介质，记录有使计算机检查待切割基板上的线条状不均的程序。

通过下述的参照附图的详细说明，可更加明确上述的目的以及其它目的、特征、方式以及方式。

附图说明

图1是表示不均检查装置的结构的图。

图2是表示计算机的结构的图。

图3是表示计算机实现的功能结构的框图。

图4是表示第一实施方式的不均检查装置检查基板上的线条状不均的处理流程的图。

图5是表示对象图像的图。

图6A是表示二值图像的图。

图6B是表示二值图像的图。

图6C是表示二值图像的图。

图7是表示闭区域的图。

图8是表示用于说明判定可否连接线条状区域线段的图。

图9是用于说明连接线条状区域线段的图。

图10是重叠表示两个二值图像中的线条状区域线段的图。

图11是将连接线段重叠表示在对象图像上的图。

图12是表示计算机实现的功能结构的框图。

图13是表示第二实施方式的不均检查装置检查基板上的线条状不均的处理流程的图。

图14是表示用于说明区域组的图。

图15是表示不均检查装置中的其它的处理流程的图。

图16是表示不均检查装置中的另外其它的处理流程的图。

图17是表示计算机实现的功能结构的框图。

图18A是表示第三实施方式的不均检查装置检查基板上的不均缺陷的处理流程的图。

图18B是表示第三实施方式的不均检查装置检查基板上的不均缺陷的处理流程的图。

图19是表示检测线条状不均区域的处理流程的图。

图20是表示遮蔽图像的图

图21是表示检测点缺陷区域的处理流程的图。

图22是表示点缺陷区域的图。

图23是表示点缺陷区域的图。

图24是表示更新的遮蔽图像的图

图25是表示局部不均候补图像的图

图26是表示遮蔽图像的图。

图27是表示局部不均区域的图。

图28是表示局部不均区域的图。

图29是表示比较例的局部不均区域的图。

具体实施方式

图1是表示本发明的第一实施方式的不均检查装置1的结构的图。不均检查装置1是这样一种装置：取得形成在玻璃基板9上的图案形成用的抗蚀膜92的图像，并基于该图像来检查基板9的膜92上的线条状不均，该玻璃基板9用于液晶显示装置等显示装置，该图案形成用的抗蚀膜92是利用旋涂方式或刮刀式涂敷方式等涂敷装置在玻璃基板9的一个主面91上涂敷抗蚀液而形成的。此外，在本实施方式中的基板上形成有多个显示装置用的面板图案(或者预设形成有这些图案)。

在此，所谓基板9上的不均是通过局部的明暗变化而确定的一定面积以上的区域(但是，通常区域的边界不清楚)，而所谓线条状不均，定义为该区域的长轴方向上的长度α和垂直于长轴方向的方向上的宽度β之比(α/β)在规定值以上。当然，如果实质上满足该条件，则线条状不均的定义可以适当变更，还可以追加其它的条件。

如图1所示，不均检查装置1具有：载物台2，其保持基板9，并使形成有膜92的主面91(以下，称为“上表面91”)朝向上侧(图1中的+Z侧)；光照射部件3，其以规定的入射角向被保持在载物台2上的基板9上的膜92照射光；受光单元4，其接收从光照射部件3射出并被基板9的上表面91上的膜92反射的光；移动机构21，其使载物台2相对于光照射部件3以及受光单元4而进行相对移动；以及计算机5，其发挥作为不均检查装置1的控制部件的作用。

载物台2的+Z侧表面优选为黑色无光泽。移动机构21采用发动机211上连接有滚珠螺杆(省略图示)的结构，从而通过发动机211旋转，使载物台2沿导轨212而向沿着基板9的上表面91的图1中的X方向移动。

光照射部件3具有：卤素灯31，其作为发出白光(即，包括可视光区域的全部波长的光)的光源，圆柱状的石英棒32，其在与载物台2的移动方向垂直的图1中的Y方向延伸，以及圆柱透镜33，其在Y方向延伸。在光照射部件3中，卤素灯31安装在石英棒32的+Y侧的端部，因此，从卤素灯31入射到石英棒32的光被转换为在Y方向延伸的线状光(即，光束截面在Y方向上为长线状的光)，并从石英棒32的侧面射出，通过圆柱透镜33而导向基板9的上表面91。换言之，石英棒32及圆柱透镜33构成这样的光学系统：将来自卤素灯31的光转换成垂直于载物台2的移动方向的线状光，并将其导向基板9的上表面91。

在图1中，从光照射部3到基板9的光路由点划线表示(对于从基板9到受光单元4的光路也相同)。从光照射部3射出的光的一部分被基板9的上表面91上的膜92的+Z侧的上表面反射。膜92对从光照射部件3射出的光具有透光性，而在来自光照射部件3的光中，未被膜92的上表面反射的光透过膜92而被基板9的上表面91(即，膜92的下表面)反射。在不均检查装置1中，被基板9的膜92的上表面反射的光和被基板9的上表面91反射的光的干涉光入射到受光单元4，从而经由滤光器43以及透镜42将规定波长的干涉光导向拍摄部件41。

拍摄部件41设有线性传感器，该线性传感器具有在Y方向以直线状排列的多个受光元件(例如，CCD(Charge Coupled Device：电荷耦合器件))，由线性传感器接收由基板9反射的干涉光，从而可取得干涉光的强度分布(即，各受光元件的输出值在Y方向的分布)。实际上，伴随着基板9向X方向移动，由摄像部件41的线性传感器410反复取得干涉光的强度分布，从而可以取得基板9上的膜92的二维图像。

如图2所示，计算机5是普通的计算机系统的结构，即，在总线上连接进行各种计算处理的CPU51、存储基本程序的ROM52以及存储各种信息的RAM53。在总线上，还通过接口(I/F)等适当的连接有存储信息的硬盘54、作为显示各种信息的显示部件的显示器55、接收操作人员的输入操作的键盘56a以及鼠标56b(以下，总称为“输入部件56”)、从光盘、磁盘、光磁盘等计算机可读取的记录介质8中读取信息的读取装置57、以及连接到不均检查装置1的其它构成要素的通信部件58。

在计算机5中，事先通过读取装置57从记录介质8读取程序541，并将其存储在硬盘54中。然后，将程序541复制到RAM53中，同时CPU51根据RAM53内的程序执行计算处理(即，计算机执行程序)，从而计算机5作为检查基板9上的线条状不均的计算部件而工作。

图3是表示功能结构的框图，该功能是通过CPU51根据程序541进行工作而由CPU51、ROM52、RAM53、硬盘54等实现的。在图3中，表示计算部件6内的对象图像生成部件61、二值图像取得部件62、线条状不均要素确定部件63、线条状不均检测部件64以及显示控制部件65通过CPU51等实现的功能。此外，这些功能可以通过专用的电路来实现，也可以局部的使用专用的电路。

接着，针对通过不均检查装置1进行的线条状不均的检查流程进行说明。图4是表示不均检查装置1检查基板9的膜92上的线条状不均的处理流程的图。在检查基板9上的线条状不均时，首先，将基极9保持在位于图1中实线所示的检查开始位置的载物台2上，然后载物台2开始向+X方向的移动。接着，将从光照射部件3射出的、相对于基板9的上表面91以规定的入射角入射的光线，照射到上表面91上的直线状照射区域(以下称为“线状照射区域”)，并使线状照射区域相对于基板9移动。来自光照射部件3的光被基板9的上表面91反射，其中干涉光被导向摄像部件41，并被线性传感器接收，从而取得基板9上的线状照射区域中的干涉光的强度分布。基于规定的转换公式，将线传感器的各受光元件的输出值转化为例如8bit(当然，也可以是8bit以外)的值(像素值)，并将其传送到计算机5。

在不均检查装置1中，在载物台2向+X方向移动期间，与载物台2移动同步的反复取得摄像部件41中的干涉光的强度分布、并反复将像素值输出到计算机5。并且，当载物台2移动到检查结束位置时，移动机构21使载物台2停止移动，照明光也停止照射。如上所述，用拍摄部件41来拍摄基板9上的整个膜92，从而取得多灰度的二维图像(实施后述处理前的图像，以下称为“原始图像”)，并将其输入到计算机5的计算部件6中(步骤S11)。

接着，在计算部件6的对象图像生成部件61中，压缩原始图像而生成第一图像。此时，如果将在原始图像中位于座标(X，Y)的像素的像素值表示为F_XY，则在以s_a像素×s_a像素的范围为单位压缩原始图像而生成的第一图像中，位于座标(x，y)的关注像素的像素值A_xy可由式(1)来求出。

$A_{\mathrm{xy}}=\underset{X=s_{a}x}{\overset{s_a(x+1)-1}{\mathrm{\Σ}}}\underset{Y=s_{a}y}{\overset{s_a(Y+1)-1}{\mathrm{\Σ}}}{F}_{\mathrm{XY}}/{s_a}^2---\left(1\right)$

在本实施方式中，s_a为4(像素)，因此通过式(1)的计算可知第一图像的S/N比已提高到原始图像的4倍。生成第一图像(压缩后的原始图像)，对第一图像进行低通滤波处理，从而生成在第一图像中抑制了高频噪点的影响而平滑化的第二图像。决定低通滤波处理的计算范围的窗口(window)是边长为(2s₁+1)像素的正方形，而且，利用关注像素附近的各像素在第一图像中的像素值A(参见式(1))，并通过式(2)，可求出第二图像中位于座标(x，y)的关注像素的像素值L_xy。

$L_{\mathrm{xy}}=\underset{X=x-s_1}{\overset{x+s_1}{\mathrm{\Σ}}}\underset{Y=y-s_1}{\overset{Y+s_1}{\mathrm{\Σ}}}{A}_{\mathrm{XY}}/{(2s_1+1)}^2---\left(2\right)$

然后，对第二图像进行高通滤波处理，从而生成从第二图像中除去了低频的浓度变动的第三图像，该低频的浓度变动会妨碍后述对比度增强处理。此时，利用关注像素附近的各像素在第二图像中的像素值L(参见式(2))，并通过式(3)，可求出位于座标(x，y)的关注像素的像素值H_xy ¹。

$H_{\mathrm{xy}}^1=L_{\mathrm{xy}}/(\underset{X=x-s_2}{\overset{x+s_2}{\mathrm{\Σ}}}\underset{Y=y-s_2}{\overset{Y+s_2}{\mathrm{\Σ}}}{L}_{\mathrm{XY}}/{(2s_2+1)}^2)---\left(3\right)$

式(3)表示这种情况，即，采用以关注像素为中心的、各边长为(2s₂+1)像素的正方形窗口，作为决定高通滤波处理的计算范围的窗口。如上所述，在对象图像生成部件61中，通过对压缩了原始图像的第一图像实施低通滤波处理，然后再实施高通滤波处理，从而对规定的空间频率范围进行带通滤波处理(步骤S12)。

在对象图像生成部件61中，还对第三图像进行对比度增强处理而生成增强图像(步骤S13)。在增强图像中，可利用第三图像中的关注像素的像素值H_xy ¹、对比度系数r_c、以及背景值b，通过式(4)来求出位于座标(x，y)的关注像素的像素值E_xy。在本实施方式中，r_c为0.01、0.02、0.05或者0.1，而b为127。

$E_{\mathrm{xy}}=b((H_{\mathrm{xy}}^1-1)/r_c+1)---\left(4\right)$

在此，在基板9的上表面91隔开间隙而纵横地排列设定有多个矩形区域(以下称为“矩形显示区域”)，该矩形区域分别与显示装置的面板上的显示区域相对应并具有相同的图案，并且基板9将会根据多个矩形显示区域而被切割(即，将会切割为多个部位(面板))。在对象图像生成部件61中，在增强图像中通过对与基板9上的矩形显示区域外的部分对应的区域(以下，称为“背景区域”)赋予背景值b，从而如图5所示，生成实质上遮蔽了背景区域719(在图5中标以平行斜线表示)的新图像(如后所述，为计算部件6中进行的以下处理的对象的图像，以下称为“对象图像”)71(步骤S14)，以备后用。此外，在图5中简化表示多灰度的对象图像7l，实际上图5中的矩形显示区域711和背景区域719之间的界线不一定明确。另外，对象图形71的平均浓度(即，像素值的平均值)约为127。

当通过象图像生成部件61生成对象图像71时，在二值图像取得部件62中，将小于背景值127的值103～122分别作为阈值而对对象图像71进行二值化处理。具体来说，将对象图像的各像素值和各阈值(以下称为“下阈值”)相比较，通过对值在下阈值以下的像素赋予“1”，对大于下闽值的像素赋予“0”，从而取得分别与下阈值103～122对应的20个二值图像。

图6A至图6C是表示二值图像的图，图6A表示将下阈值设为117时的二值图像，图6B表示将下阂值设为112时的二值图像，图6C表示将下阈值设为103时的二值图像。如图6A至图6C所示，在将小于背景值的值作为下阈值而取得二值图像的上述处理中，随着下阈值变小(远离背景值127)，二值图像中值为1的像素(图6A～图6C中的白色像素)的数目也变少。

接着，在二值图像取得部件62中，使大于背景值127的值132～151分别作为阈值(以下，称为“上阈值”)，在对象图像中对值在上阈值以上的像素赋予“1”，对小于上阈值的像素赋予“0”，从而取得分别与值132～151对应的20个二值图像。在将大于背景值的值作为上阈值而取得二值图像的上述处理中，随着上阈值变大(远离背景值127)，二值图像中的值为1的像素数变少。

如上所述，通过在二值图像取得部件62中以多个阈值将对象图像71二值化，从而取得分别与多个阈值对应的多个(在本实施方式中为40个)二值图像(步骤S15)。此外，不论是在利用下阈值还是上阈值时，所取得的二值图像中的与背景区域对应的区域的值都为零。

当取得多个二值图像时，在线条状不均要素确定部件63的线条状区域确定部件631中，在各二值图像中确定通过标示而相互连续的值为1的像素的集合(以下称为“闭区域”)，从处理对象中除去规定的面积(像素数)以下的闭区域，并将除去的区域从二值图像中删除。接着，通过计算出各闭区域的力矩(Moment)来求出惯性主轴的方向(角度)，并求出相对该闭区域沿惯性主轴的方向的外接矩形。此外，通常惯性主轴的方向为闭区域的长轴方向。在以下的说明中，惯性主轴是指沿着闭区域的长轴方向。

图7是表示二值图像中的多个闭区域721a、721b、721c的图。在图7中，对各闭区域721a～721c的外接矩形标以附图标记722a～722c并以细线表示。在线条状区域确定部件631中，还在各闭区域721a～721c的外接矩形722a～722c中，对惯性主轴的方向上的长度L1与垂直于惯性主轴的方向上的宽度W1之比(L1/W1)与规定值(例如2)进行比较，将比为规定值以上的闭区域721a、721b作为线条状区域(以下，标以与闭区域721a、721b相同的附图标记)，而将其它的闭区域721c从二值图像中删除。

这样，在线条状区域确定部件631中，在多个二值图像中分别计算出闭区域的力矩，从而确定长轴方向上的长度与垂直于长轴方向的方向上的宽度之比在规定值以上的线条状区域(步骤S16)。此外，由于下阈值或者上阈值越接近背景值则二值图像中的闭区域就越大，所以即使以某一下阈值或者上阈值的二值图像作为线条状区域进行检测，在接近背景值的下阈值或者上阈值的二值图像中有时也在相同位置出现纵横比较小的闭区域，但并不能认为可检测出线条状区域。另外，在各线条状区域721a、721b中，分别将线段(在图7中以点划线表示)确定为代表该线条状区域721a、721b的线条状区域线段724a、724b，其中，该线段经过重心723a、723b并沿惯性主轴的方向延伸，并且两端点设定在外接矩形722a、722b的边上。

接着，在线条状不均要素确定部件63的线条状区域更新部件632中，在各二值图像中，对与基板9上的多个矩形显示区域711(参照图5)对应的多个区域(以下，同样称为“矩形显示区域”)中的一个矩形显示区域(以下，称为“关注矩形显示区域”)进行观察，并将关注矩形显示区域内所含的多个线条状区域线段中的任意一条线条状区域线段确定为特定线条状区域线段。而且，在各特定线条状区域线段和关注矩形显示区域内的其它线条状区域线段之间，判定这些线条状不均区域线段可否连接。

图8是用于说明判定线条状区域线段可否连接的图。在图8中以增强相互的倾角不同的方式图示了图7中的线条状区域线段724a、724b。以线条状区域线段724a作为特定线条状区域线段，在判定其与线条状区域线段724b之间可否连接时，首先，求出连接特定线条状区域线段724A所代表的线条状区域721a的重心723a(也可以是线条状区域线段的中点。以下也相同)和线条状区域线段724b所代表的线条状区域721b的重心723b的直线(在图8中以标有附图标记R1的虚线表示)。接着，确认D1、D2、D3、D4的值是否全部在规定的第一阈值以下，其中，D1、D2是特定线条状区域线段724a的端点725a、726a和直线R1之间的距离，D3、D4是线条状区域线段724b的端点725b、726b和直线R1之间的距离(即，从端点725A、726a、725b、726b向直线R1做的垂线的长度)。

在距离D1～D4中的任意一个大于第一阈值时，拒绝连接线条状区域线段。在距离D1～D4全部在第一阈值以下时，使特定线条状区域线段724a延伸的方向(特定线条状区域线段724a所示的线条状区域721a的长轴方向，以下同样称为“长轴方向”)与线条状区域线段724b的长轴方向大致相同(参照图7)，接着，求出在特定线条状区域线段724a和线条状区域线段724b之间最接近的端点726a、725b之间的距离D5、以及特定线条状区域线段724a和线条状区域线段724b的长度之和。

在距离D5与该长度之和的比大于规定的第二阈值时，拒绝连接线条状区域线段。在该比在规定的第二阈值以下时，特定线条状区域线段724a和线条状区域线段724b相互接近，并且求出距离D6与特定线条状区域线段724a和线条状区域线段724b的长度之和的比，该距离D6是特定线条状区域线段724a和线条状区域线段724b之间相距最远的端点725a、726b之间的距离。而且，该比在规定的第三阈值以上时，将特定线条状区域线段724a和线条状区域线段724b沿相同的长轴方向排列而允许连接；在不足第三阈值时，拒绝连接线条状区域线段。

接着，连接允许连接的特定线条状区域线段724a和线条状区域线段724b。具体来说，通过计算出将特定线条状区域线段724a在其中点分断的两条分断线段、以及将线条状区域线段724b在其中点分断的两条分断线段的集合的力矩，从而求出相对于四条分断线段的集合的惯性主轴的方向，如图9中标有附图标记R2的虚线(其中虚线的一部分变粗)所示，求出沿惯性主轴的方向延伸并经过四条分断线段的集合的重心的直线(即惯性主轴)。然后，从特定线条状区域线段724a以及线条状区域线段的各端点725a、726a、725b、726b向直线R2做垂线，求出垂线与R2的交点，取得四个交点中以相距最远的交点727a、727b为端点的线段，来作为新的线条状区域线段(图9中以虚线所示的直线R2中粗的虚线的部分)，从而两条线条状区域线段724a、724b被更新为一条线条状区域线段。

实际上，在决定了可允许与特定线条状区域线段724a进行连接的全部的线条状区域线段的基础上，将特定线条状区域线段724a与这些线条状区域线段同时连接。即，通过将特定线条状区域线段724a以及允许连接的多个线条状区域线段分别在其中点分断，从而取得多条分断线段，求出相对于这些分断线段的集合的惯性主轴，从特定线条状区域线段724a以及允许连接的多条线条状区域线段的端点向惯性主轴做垂线，求出以垂线与惯性主轴的多个交点中相距最远的两个交点为端点的线段，来作为新的线条状区域线段，从而特定线条状区域线段724a以及可允许连接的多条线条状区域线段被更新为一条线条状区域线段。

当判定其他线条状区域线段可否与特定线条状区域线段724a连接并进行了连接时，确定关注矩形显示区域内由特定线条状区域线段724a更新的线条状区域线段(在未连接时，是特定线条状区域线段724a)以外的一条线条状区域线段，来作为特定线条状区域线段，从而判定可否与其他的线条状区域线段连接以及进行连接。实际上，在多个二值图像中，分别通过将各矩形显示区域作为关注矩形显示区域来进行上述处理，从而在各矩形显示区域中所确定的多条线条状区域线段中，长轴方向相同、并在长轴方向上排列(即，以排列在同一线上的方式排列在长轴方向上)、且相互接近的多条线条状区域线段，被更新为一条线条状区域线段(步骤S17)。

接着，在线条状不均要素确定部件63的区域组取得部件633中，在二值化时的阈值相邻(在本实施方式中，阈值连续)的两个二值图像中，判定一个二值图像中的各线条状区域线段可否与另一个二值图像中的矩形显示区域内的线条状区域线段分为一组，其中，上述两个图像中的含有线条状区域线段的矩形显示区域相对应。

图10是重叠表示二值化时的阈值相邻的两个二值图像分别所含的线条状区域线段724d、724e的图。在判定两条线条状区域线段724d、724e可否分组时，首先，设定延长一条线条状区域线段724d的直线R3(其中，以虚线表示线条状区域线段724d延长的部分)，求出另一条线条状区域线段724e的两端点725e、726e各自与直线R3之间的距离D7、D8。在距离D7、D8双方都在规定的阈值以下时，对各线条状区域线段724d、724e，求出边与相互垂直的像素的排列方向(图10中的x方向以及y方向)平行的外接矩形727d、727e，在这些外接矩形727d、727e至少一部分相互重合时，允许将线条状区域线段724d、724e分为一组，从而将它们包含在同一组中。另一方面，延长一条线条状区域线段的直线与另一条线条状区域线段的两端点之间的距离大于阈值时、或者两条线条状区域线段的外接矩形不能相互重合时，这些线条状区域线段不能被分为一组。

这样一来，在各二值图像和阈值相邻的其它二值图像之间这样进行分组，即，将视为相互重叠的线条状区域线段包含在同一组中，并删除没有分组的线条状区域线段。由此，求出分别表示线条状不均的要素的多个组(步骤S18)。在阈值相邻的二值图像中处于规定的扁平度的闭区域即线条状区域的位置相互重合时，区域组取得部件633中的上述处理与将这些线条状区域确定为一组的处理等价。在以下的说明中，将分组后的线条状区域线段的集合称为区域组。

此外，在本实施方式中，生成二值图像时，利用上阈值以及下阈值来确定值远离背景值的闭区域，但在利用上阈值勾绘的二值图像和利用下阈值勾绘的二值图像之间，导致图像中的线条状区域的种类不同，由此不能对线条状区域线段进行分组。当然，也可以通过其他方法来进行区域组取得部件633中的线条状区域线段的分组。

另外，在线条状不均要素确定部件63中，确定区域组所含的多条线条状区域线段中最长的线条状区域线段，来作为代表区域组的线条状不均要素线段，将二值图像中与线条状不均压缩线段对应的不均区域作为线条状不均要素区域。在以下的说明中，由线条状不均要素线段来确定对象图像中与各线条状不均要素区域对应的区域(以下，同样称为“线条状不均要素区域”)。

接着，在线条状不均检测部件64中，将对象图像中的一个矩形显示区域设为对象矩形显示区域，与线条状区域更新部件632中的图8所示的处理同样地进行判定，即，判定对象矩形显示区域中的各线条状不均要素线段可否与对象矩形显示区域所相邻的多个矩形显示区域(以下，总称为“邻近矩形区域组”)各自所含的各线条状不均要素线段相连接。具体来说，在将图5的对象图像71中最左侧且最上侧的矩形显示区域711a作为对象矩形显示区域时，则对象矩形显示区域711a右方的矩形显示区域711b、对象矩形显示区域711a右下方的矩形显示区域711c以及对象矩形显示区域711a下方的矩形显示区域711d作为邻近矩形区域组。然后，确认分别属于对象矩形显示区域711a以及邻近矩形区域组711b～711d的两条线条状不均要素线段，在同时满足下述三个条件时，可允许连接两条线条状不均要素线段，而在其它的情况下拒绝连接(参照图8)，这三个条件为：连接分别与两条线条状不均要素线段对应的两条线条状不均要素区域的重心之间的直线、与两条线条状不均要素线段的各端点之间的距离，在规定的第四阈值以下；两条线条状不均要素线段之间最接近的端点间的距离与两条线条状不均要素线段的长度之和的比，在规定的第五阈值以下；两条线条状不均要素线段之间相距最远的端点之间的距离与两条线条状不均要素线段的长度之和的比，在规定的第六阈值以下。

在线条状不均检测部件64中，通过在多个矩形显示区域中依次切换对象矩形显示区域并反复进行上述处理(但是已经作为对象矩形显示区域的也可以不包含在相邻矩形显示区域组内)，从而在多条线条状区域线段中，检测出这样两条线条状不均要素线段的组合(步骤S19)，其中，这两条线条状不均要素线段的长轴方向相同，沿长轴方向相互接近排列，且分别存在于相互相邻的两个矩形显示区域内。而且，各组合涉及的两条线条状不均要素线段作为很可能来源于基板9上的一条线条状不均的线条状区域线段而相互关联。

在显示控制部件65中，与参照图9说明的方法同样的，根据相互关联的各组合所涉及的两条线条状不均要素线段来勾绘一条线段。即，通过将这些线条状不均要素线段从其中点分断，从而取得四条分断线段，然后求出相对于四条分断线段的集合的惯性主轴，从这些线条状不均要素线段的端点向惯性主轴做垂线，这些垂线与惯性主轴相交于四个交点，从而生成以这四个交点中相距最远的两个交点为端点的线段，来作为连接该两条线条状不均要素线段的连接线段。此外，在两条线条状不均要素线段中一条还与另一条线条状不均要素线段有关联的情况下，在这些全部的线条状不均要素线段中进行上述处理，从而生成一条连接线段。进而能够捕捉到，连接线段是连接了源于一条线条状不均的(可能性高的)多个线条状不均要素区域的连接区域(表示全部线条状不均的区域)的代表线段。

接着，由操作人员通过输入部件56而输入应该显示的连接线段长度的最小值，并通过计算部件6接收(步骤S20)，此时，如图11所示，在显示器55上，长度在最小值以上的连接线段731与对象图像71重叠显示(步骤S21)。即，将长度在最小值以上的连接区域的存在位置显示在显示器55上。由此，操作人员能够容易的确认横亘矩形显示区域711延伸并且长度在最小值以上的线条状不均。此外，同样也可以在显示器55上显示没有生成连接线段的线条状不均要素线段(即，显示不允许与其它线条状不均要素线段连接的线条状不均要素线段，即显示大致全部的以单体形式出现的单条线条状不均)但长度也在最小值以上的线条状不均。

此外，在不均检查装置1中，在显示器55上显示连接线段显示之前，在导出各连接线段的多条线条状不均要素线段所属的多个区域组中，求出存在线条状区域线段的二值图像所对应的阈值的范围，来作为线条状不均强度，在显示器55上显示连接线段时，可以通过变更各连接线段的颜色和宽度来确定线条状不均强度。另外，通过将相对于各连接线段的线条状不均强度以及连接线段的长度(如后述，实际上求出连接区域时，也可以是连接区域的面积)分别与规定强度阈值以及长度阈值(面积阈值)相比较，也可以判定是否允许连接线段所表示的多个线条状不均要素的集合、即线条状不均(即判定是否有缺陷)。

如上述说明，在不均检查装置1中，将拍摄基板9而得的多灰度的原始图像中的基板9上的矩形显示区域间的间隙所对应的区域遮蔽而准备对象图像，基于利用多个阈值而根据对象图像勾绘的多个二值图像，来分别确定代表线条状不均要素区域的多条线条状不均要素线段。然后，通过在多条线条状不均要素线段中，检测出长轴方向相同的、沿长轴方向排列的、并且存在于相邻的矩形显示区域内的两条线条状不均要素线段，从而能够容易地检测出横亘多个矩形显示区域延伸的线条状不均。由此，能够高精度的取得线条状不均的真实长度、起点或终点，其结果，能够有效地确定线条状不均的产生原因，从而可以改善制造工艺和形成的图案等。

另外，在线条状不均要素确定部件63中，在二值图像的一个矩形显示区域中所确定的多条线条状不均线段中，通过与由线条状不均检测部件64检测可连接的线条状不均要素线段时的处理同样的算法，来检测长轴方向相同的、沿长轴方向排列的、并且相邻的两条线条状区域线段，并将它们更新为一条线条状区域线段。在此，由于线条状不均要素线段为区域组所含的多条线条状区域线段中主轴最长的线条状区域线段，因此，线条状不均要素确定部件63对线条状区域线段进行的上述处理为：在一个矩形显示区域中所确定的多条线条状不均要素线段中，通过与线条状不均检测部件64中的处理同样的算法，检测出长轴方向相同的、沿长轴方向排列且相互接近的两条线条状不均要素线段，并将它们更新为一条线条状不均要素线段。这样，在线条状不均要素确定部件63中，通过实际将一个矩形显示区域中来源于相同的线条状不均的可能性高的多条线条状不均要素线段更新为一条线条状不均要素线段，从而在不均检查装置1中，可能够高效的进行线条状不均检测部件64和显示控制部件65中的后续处理。另外，在显示控制部件65中，在显示器55上，以连接了来源于一条线条状不均的两条线条状不均要素线段的连接线段，来显示连接区域的存在位置，从而操作人员能够容易地确认横亘多个矩形显示区域延伸的线条状不均。

接着，对本发明的第二实施方式进行说明。在以下的说明中，对在第一实施方式中的不均检查装置1所添加的功能进行说明。

图12是表示功能结构的框图，该功能是通过图2的CPU51根据程序541进行工作从而由CPU51、ROM52、RAM53、硬盘54等实现的。在图12中表示通过CPU51等执行计算部件16内的对象图像生成部件161、二值图像取得部件162、线条状区域确定部件163、区域组取得部件164、线条状不均强度取得部件165以及显示控制部件166的功能。在图12中，表示计算部件16内的对象图像生成部件161、二值图像取得部件162、线条状区域确定部件163、区域组取得部件164、线条状不均取得部件165以及显示控制部件166通过CPU51等实现的功能。在图12中，将图3线条状不均要素确定部件63简化表示为线条状区域确定部件163以及区域组取得部件164，并省略线条状不均检测部件64的图示。此外，这些功能可以通过专用电路来实现，也可以局部的使用专用电路。

接着，针对不均检查装置1进行的线条状不均检查的流程进行说明。图13是表示不均检查装置1检查基板9的膜92上的线条状不均的处理流程的图。图13中的步骤S111～S118的处理与图4的步骤S11～S18的处理相同。即，从对象图像取得多个二值图像之后，确定线条状区域(线条状区域线段)，然后进行分组，即，在各二值图像与阈值相邻的其它二值图像之间将视为相重叠的线条状区域线段分为一组。另外，按照需要进行图4的步骤S19的处理(在图13中，省略该处理的图示)，此时，将相互关联的区域组作为一个区域组进行处理。其结果，求出分别表示线条状不均的多个区域组。

另外，在区域组取得部件164中，按照需要，确定区域组所含的多条线条状区域线段中最长的线条状区域线段(以下，称为“代表线条状区域线段”)，使代表线条状区域线段之外的其他全部线条状区域线段重合在代表线条状区域线段上。具体来说，如果将图10所示的线条状区域线段724d作为代表线条状区域线段，则将与代表线条状区域线段724d相同的区域组所含的其它线条状区域线段724e更新为以交点728e、729e为端点的线段，交点728e、729e是分别从各端点725d、726d向代表线条状区域线段724d做垂线而与其相交的交点。

图14是用于说明区域组73的图。在图14中，抽象地表示利用上阈值勾绘的多个二值图像72。在图14中的多个二值图像72中，越上方的图像，所对应的阈值越大，而对于线条状区域线段731、732、733a、733b的长度，所对应的阈值越远离背景值则长度越短。此外，对于如图1 4中的线条状区域线段733a、733b这样包含在相同的二值图像中并属于相同的区域组的线条状区域线段，也可以按照需要进行连接。

当在多个二值图像中求出分别表示线条状不均的多个区域组时，在线条状不均强度取得部件165中，与各区域组有关的求出与存在线条状区域线段的二值图像对应的二值化时的阈值的范围，来作为线条状不均强度(步骤S119)。例如，在图14的情况下，由于线条状区域线段存在于三个二值图像72中，所以将包含线条状区域线段731、732、733a、733b的区域组73的线条状不均强度设为3。然后，通过将各区域组的线条状不均强度以及该区域组的代表线条状区域线段的长度(以下，称为“线条状不均长度”)分别与后述的强度阈值以及规定的长度阈值进行比较，从而判定是否允许该区域组所示的线条状不均(即，判定是否有缺陷)  (步骤S120)。此外，在判定是否允许线条状不均时，例如可以取代条状不均长度而利用与区域组的代表线条状区域线段对应的线条状区域的面积，将该面积与规定的面积阈值进行比较。

如上述说明，在本实施方式中的不均检查装置1中，以多个阈值对从基板9取得的多灰度的对象图像进行二值化，从而取得分别与多个阈值对应的二值图像，在多个二值图像中分别确定扁平度在规定值以上的闭区域、即线条状区域。然后，在多个二值图像中，求出存在于大致相同位置并且在同一方向延伸的线条状区域的集合，来作为表示线条状不均的区域组，与各区域组相关的取得与存在线条状区域的二值图像对应的阈值的范围，来作为线条状不均强度。由此，在不均检查装置1中，能够在高精度检测出线条状不均的同时，容易地取得线条状不均的强度。

在线条状区域确定部件163中，在二值图像中计算出各闭区域的力矩来决定长轴方向，在此基础上确定该闭区域是否为线条状区域，从而并不依赖于闭区域延伸的方向(闭区域的角度)，就能够高精度的确定线条状区域。另外，将长轴方向相同的、排列在长轴方向上并且互相接近的、同一矩形显示区域内的多条线条状区域线段更新为一条线条状区域线段，从而能够将来源于同一线条状不均(即，包含在相同的区域组)的可能性高的多条线条状区域线段作为一条线条状区域线段来进行处理，因此能够有高效的进行后续的区域组取得部件164以及线条状不均强度取得部件165中的处理。

在图13的处理中，利用与线条状不均强度有关的强度阈值来判定是否允许基板9上的线条状不均，但是实际上，在上述处理之前，强度阈值已经由操作人员决定，并准备在计算部件16中。以下，参照图15说明来说明在决定强度阈值时的不均检查装置1的处理。

在由操作人员决定强度阈值时，与图1 3的处理同样地求出区域组之后(步骤S118)，通过显示控制部件166，将各区域组所属的线条状区域线段分别与对象图像重叠而显示在显示器55上(步骤S121)。此时，如上述那样，除了代表线条状区域线段之外的全部线条状区域线段重叠在代表线条状区域线段上，在显示控制部件166中，按照在代表线条状区域线段上的各位置相互重叠的线条状区域线段的条数来变更颜色。因此，在显示器55上，显示部分或者几乎整体呈线条状不均强度所对应的颜色的线段，以使该线段表示区域组的存在位置，由此能够确定各区域组大致的线条状不均强度。由此，操作人员能够与线条状不均强度同时确认对象图像中存在线条状不均的位置，从而能够容易地决定用于判定是否允许基板9上的线条状不均的强度阈值。由操作人员通过输入部件56输入所决定的线条状不均强度，并通过计算部件16接收(步骤S122)。然后，按照上述的图13的处理步骤，利用所输入的线条状不均强度来对多个基板检查线条状不均。此外，如果可确定各区域组大致的线条状不均强度，则用何种方式对表示区域组的存在位置的线段进行显示均可，例如可以变更该线段的宽度。

在图15所示的处理中，结束线条状区域确定部件163以及区域组取得部件164中的处理，从而使区域组所属的各线条状区域线段与阈值有关联，由显示控制部件166来显示可确定线条状不均强度的线条状区域线段，因此，实质上线条状区域确定部件163以及区域组取得部件164中的处理包括取得线条状不均强度的处理。

接着，参照图16来说明由显示控制部件166进行显示控制的其它例子。在本处理例子中，在显示器55上，将表示区域组的存在位置的线段重叠显示在对象图像上，该区域组是，多个区域组中属于由操作人员预定的线条状不均强度的范围(以下，称为“设定强度范围”)内的区域组(步骤131)。由此，能够确定所需的线条状不均，从而能够高效地把握该线条状不均。

另外，在操作人员确认区域组包含于其他线条状不均强度的范围内时(步骤S132)，操作人员通过输入部件56输入来变更设定强度范围。当计算部件16接收到该输入时(步骤S133)，在显示控制部件166中变更设定强度范围，从而在显示器55上，重新将多个区域组中表示属于变更后的设定强度范围内的区域组的存在位置的线段重叠显示在对象图像上(步骤S134)。按照需要反复重新显示由操作人员变更的设定强度范围以及表示区域组的存在位置的线段(步骤S135、S133、S134)。由此，操作人员可以更准确地把握线条状不均和线条状不均强度实际的关系，其结果，能够更恰当的决定用于判定是否允许线条状不均的强度阈值。此外，与上述同样的，也可以基于线条状不均强度以外的值而在显示器55上显示区域组的存在位置，上述线条状不均强度以外的值是指：区域组所示的线条状不均的长度(即，代表线条状区域线段的长度)；与区域组的代表线条状区域线段对应的线条状区域的面积；或者与存在区域组所包含的线条状区域的二值图像对应的阈值的范围的代表值(例如平均值)等。

另外，在不均检查装置1的线条状不均强度取得部件165中，也可以取得对象图像中各矩形显示区域内的线条状不均的线条状不均强度的总和。例如，在区域组取得部件164中求出表示线条状不均的各区域组之后(图13：步骤S118)，通过线条状不均强度取得部件165取得各区域组所包含的线条状区域线段的长度之和，来作为该区域组的线条状不均强度，进一步取得分别与基板9的多个面板(成为该面板的部位)对应的对象图像中的矩形显示区域内所包含的线条状不均的线条状不均强度的总和(步骤S119)。由此，能够定量的取得基板9的多个面板上的各线条状不均的程度，其结果，能够容易地判定是否允许各面板的线条状不均。

接着，对本发明的第三实施方式进行说明。在以下的说明中，对在第一实施方式中的不均检查装置1所添加的功能进行说明。本实施方式的不均检查装置1是这样一种装置：在用于液晶显示装置等的显示装置的玻璃基板9中，取得通过在一个主面91上涂敷抗蚀液而形成的图案形成用的抗蚀膜92的图像，基于该图像来检查基板9的膜92上的不均缺陷。

在此，所谓基板9上的不均，是指通过局部的明暗变化而确定的一定面积以上的区域(但通常区域的边界不清楚)，将不均中明暗变化在一定值以上的不均定义为不均缺陷。另外，将不均缺陷中，其区域的长轴方向上的长度α和垂直于长轴方向的方向上的宽度β之比(α/β)在规定值以上的不均缺陷定义为线条状不均缺陷，剩下的不均缺陷定义为局部不均缺陷。通常因对基板9进行的处理不均匀而产生局部不均缺陷。当然，如果实质上满足该条件，则线条状不均缺陷的定义可以适当变更，还可以对线条状不均缺陷以及局部不均缺陷追加其它的条件。另外，在不均检查装置1中还能够检测出点缺陷，该点缺陷是指这种缺陷：明暗变化比不均缺陷急剧并且程度大(即，对比度大，区域的边界比较明确)，并且面积在规定的范围内(例如，为圆形的区域时，其在基板9上的直径为1mm以下，并且比图像中因噪点而产生的异常的区域大)。点缺陷通常是因下列原因而产生的，即：基板9上存在微小的杂质，或者涂敷抗蚀液时无意滴下液滴。

图17是表示功能结构的框图，该功能是通过图2的CPU51根据程序541进行工作从而由CPU51、ROM52、RAM53、硬盘54等实现的。在图17中表示计算部件26内的对象图像生成部件261、线条状不均检测部件262、点缺陷检测部件263、局部不均检测部件264、遮蔽图像生成部件265以及判定部件266通过CPU51等实现的功能。在图17中，线条状不均检测部件262具有图3的二值图像取得部件62以及线条状不均要素确定部件63的功能。此外，这些功能可以通过专用的电路来实现，也可以局部的使用专用的电路。

接着，针对利用不均检查装置1检查不均缺陷的流程进行说明。图18A以及图18B是表示不均检查装置1检查基板9的膜92上的不均缺陷的处理流程的图。另外，图19是表示线条状不均检测部件262检测线条状不均区域的处理流程的图，即表示在图18A中的步骤S215中进行的处理。

图18A中的步骤S211～S214以及图19中的步骤S2151～S2154的处理与图4的步骤S11～S18的处理相同。即，在从对象图像取得多个二值图像之后，确定线条状区域(线条状区域线段)，然后进行分组，即，在各二值图像与阈值相邻的其它二值图像之间将视为相重叠的线条状区域线段分为一组。另外，按照需要进行图4的步骤S19的处理(在图19中，省略该处理的图示)，此时，将相互关联的区域组作为一个区域组进行处理。其结果，求出分别表示线条状缺陷的多个区域组。

另外，在线条状不均检测部件262中，与第二实施方式中的代表线条状区域线段同样的，确定区域组所包含的多条线条状区域组线段中最长的线条状区域线段(在以下的说明中，称为“线条状不均区域线段”)，使线条状不均区域线段之外的全部线条状区域线段重叠在线条状不均区域线段上。具体来说，如果将图10所示的线条状区域线段724d确定为线条状不均区域线段，则将与线条状不均区域线段724d相同的区域组所含的其它线条状区域线段724e更新为以交点728e、729e为端点的线段，交点728e、729e是分别从各端点725d、726d向线条状不均区域线段724d做垂线而与其相交的交点。

在图14中的多个二值图像72中，越上方的图像，所对应的阈值越大，而对于线条状区域线段731、732、733a、733b的长度，所对应的阈值越远离背景值则长度越短。此外，对于如图14中的线条状区域线段733a、733b这样包含在相同的二值图像中并属于相同的区域组的线条状区域线段，也可以按照需要进行连接。

在线条状不均检测部件262中，检测出二值图像中与线条状不均区域线段对应的线条状区域，来作为表示线条状不均缺陷的线条状不均区域(步骤S2155)。通常，由于线条状不均区域大多为线状区域，所以在本实施方式中，利用条状不均区域线段来确定对象图像中与各线条状不均区域对应的区域(以下，同样称为“线条状不均区域”)。因此，实际上，确定上述的线条状不均区域线段的处理变成检测线条状不均区域的处理。而且，生成表示线条状不均区域线段的位置的图像(以下，称为“线段不均图像”)。此外，也可以取代线条状不均图像，而存储表示线条状不均区域线段的位置的列表(在后述的点缺陷图像以及局部不均候补图像中也相同)。另外，即使在未以线条状不均区域线段确定线条状不均区域(即，直接处理线条状不均区域)时，除特别提及的情况之外，以下处理也相同。

当以线条状不均区域线段来确定线条状不均区域时，在判定部件266的评价值取得部件2661中，与各线条状不均区域线段有关的取得存在区域组所包含的线条状区域线段的二值图像所对应的二值化时的阈值的范围，来被作为线条状不均最大强度(图18A：步骤S216)。例如，在图14的情况下，由于线条状区域线段存在于三个二值图像72中，所以将含有线条状区域线段731、732、733a、733b的区域组73的线条状不均最大强度设为3。将线条状不均最大强度与线条状不均区域线段关联，并通过评价值取得部件2661进行存储。

接着，在遮蔽图像生成部件265中，在各二值图像中对区域组所包含的线条状区域线段进行处理(膨胀处理)，使这些线段膨胀规定的像素，在处理后的多个二值图像中，将相互对应的像素值相加，从而生成图20所示的图像(如后所述，由于该图像用于在表示其它缺陷的图像中实质上遮蔽与线条状不均缺陷对应的区域，因此以下称其为“遮蔽图像”)  (步骤S217)。此外，在图20中，仅表示遮蔽图像的一部分，并以标有附图标记741的点划线来表示线条状不均区域线段，实际上，图20中标有平行斜线的区域742浓淡不一。

在此，如上所述，即使以某一下阈值或者上阈值的二值图像来检测二值图像中的线条状区域，有时也会在接近背景值的下阈值或者上阈值的二值图像中的相同位置出现纵横比较小的闭区域，但并不能认为可检测出线条状区域。因此，在上阈值或者下阈值处于对象图像中的线条状不均区域的浓度和线条状不均区域的周围区域的浓度之间时，会在与该阈值对应的二值图像中出现与线条状不均区域对应的线条状区域。对遮蔽图像中的各像素赋予与这种二值图像的个数对应的值，即，在该二值图像中，上述各像素的位置包含在线条状区域(准确的说，实施了膨胀处理的线条状区域线段)中，因此，在对象图像中的各线条状不均区域中，遮蔽图像实质上表示以周围的区域为基准的线条状不均缺陷的强度分布。此外，各线条状不均区域线段的线条状不均强度最大强度相当于遮蔽图像中对应的区域内的像素值的最大值。另外，在生成遮蔽图像时，可以不利用使线条状区域线段膨胀了的二值图像，而在多个二值图像中直接将相互对应的像素的值相加，从而生成遮蔽图像。

当生成了遮蔽图像时，利用点缺陷检测部件263从对象图像中检测表示基板9上的点缺陷的点缺陷区域(步骤S218)。图21是表示点缺陷检测部件263检测点缺陷区域的处理流程的图，即表示在图18A中的步骤S218中进行的处理。

在点缺陷检测部件263中，首先，将充分大于背景值127的值167作为阈值，在对象图像中对值在167以上的像素赋予“1”，对小于167的像素赋予“0”，从而取得一个二值图像。接着，将充分小于背景值127的值87作为阈值，在对象图像中对值在87以下的像素赋予“1”，对大于87的像素赋予“0”，从而取得另一个二值图像(步骤S2181)。

当取得分别与两个阈值对应的两个二值图像时，对各二值图像实施收缩处理，然后实施膨胀处理，从而从值为1的像素的集合中删除微小的像素。然后，在两个二值图像中，生成这样的图像来作为点缺陷(步骤S182)，即，该图像将相互对应的像素的值的或作为相同位置的像素的值。在点缺陷图像中，对在对象图像中值充分远离背景值127的像素(准确的说，相差40以上的像素)赋予值“1”。在点缺陷检测部件263中，在点缺陷图像中确定通过标示而相互连续的值为1的像素的集合(即闭区域)，如图22所示，检测出面积在规定范围内的闭区域751、752、753来作为表示点缺陷的点缺陷区域(以下，附以与闭区域751～753相同的附图标记)，并从点缺陷图像中删除其它闭区域(步骤S2183)。此外，在此阶段，点缺陷图像中的全部点缺陷区域751～753未必表示真正的点缺陷(即，起因于基板9上存在微小的杂质的、或在涂敷抗蚀液时无意中滴下液滴等的点缺陷)。

在检测点缺陷区域时，将比检测线条状不均区域时的阈值更远离对象图像的平均浓度即背景值的值作为阈值，来取得二值图像，所以通常点缺陷区域751～753的浓度与背景值之差大于线条状不均区域的浓度与背景值之差。实际上，点缺陷区域751～753的浓度超出了以对象图像的平均浓度为中心的对象图像的平均浓度的变化范围(例如，在对象图像的像素值的分布中，包括以背景值为中心的统计值为50％的像素的范围)。

当检测出点缺陷区域时，在判定部件266中，选择点缺陷图像中的一个点缺陷区域。例如，当选择了图22中的点缺陷区域751时，在判定部件266的评价值取得部件2661中，求出像素的值与背景值127之差的绝对值的平均值来作为评价值，即，在对象图像中与该点缺陷区域751对应的区域(以下，同样称为“点缺陷区域”)，求出像素值和背景值127之差的绝对值的平均值，来作为与点缺陷区域751中的点缺陷的强度有关的评价值A。如上所述，对象图像中的点缺陷区域751的像素的值小于在图21的步骤S2181中取得二值图像时所用的阈值87，或者大于阈值167，因此评价值A在40以上。

但是，由于求出的评价值A是平均值，即对象图像中的点缺陷区域751所包含的像素的值和对象图像的平均浓度之差的绝对值的平均值，所以计算评价值A与以下计算等价，即，在表示对象图像中的点缺陷区域的浓度和对象图像的平均浓度之差的图像中，求出与点缺陷区域751对应的区域所包含的像素的值的平均值(在后述的评价值E中也相同)。当然，与点缺陷的强度有关的评价值A也可以是平均值以外的代表值(例如，中央值)(在后述的评价值B、C、E～G中也相同)。

然后，在图20所示的遮蔽图像中，求出与该点缺陷区域751对应的区域(图20中标有附图标记743的两点划线所示的区域)的像素的值的平均值来作为评价值B。在此，遮蔽图像中的区域743所包含的大致全部的像素都包含在与线条状不均区域线段741对应的矩形区域742内，因此评价值B是与线条状不均区域线段741所示的线条状不均缺陷(即，线条状不均区域线段741所对应的线条状不均区域中的线条状不均缺陷)的强度有关的评价值。另外，如上所示，遮蔽图像表示在对象图像中的各线条状不均区域中以周围的区域为基准的线条状不均缺陷的强度分布，因此评价值B是基于对象图像中的线条状不均区域的浓度和线条状不均区域周围的区域的浓度之差的值。

在判定部件266中，当针对点缺陷区域751，通过评价值取得部件2661根据对象图像求出评价值A并且根据遮蔽图像求出评价值B时，确认评价值A和评价值B之比(评价值A/评价值B)是否在规定的阈值以下。在此，由于对于点缺陷区域751的评价值A和评价值B之比在阈值以下，从而判定需要从点缺陷图像中删除点缺陷区域751。

另外，在选择了图22中的点缺陷区域752的情况下，求出在对象图像中的点缺陷区域752中像素的值和背景值127之差的绝对值的平均值来作为评价值A，求出图20所示的遮蔽图像中与点缺陷区域752对应的区域(图20中标有附图标记744的两点划线表示的区域)的像素的值的平均值来作为评价值B。此外，由于遮蔽图像中的区域744所含的像素的值大致全部为零，所以对于点缺陷区域752的评价值B无限接近于零。而且，在判定部件266中，由于确认对于点缺陷区域752的评价值A和评价值B之比大于规定的阈值，因此判定为不需要从点缺陷图像中删除点缺陷区域752。

这样，在判定部件266中，针对点缺陷图像中的各点缺陷区域，通过比较评价值A和评价值B，从而判定是否要删除该点缺陷区域(步骤S219)，其中，评价值A基于对象图像中所对应的区域的浓度和对象图像的平均浓度的差，评价值B基于遮蔽图像中所对应的区域的浓度。然后，从点缺陷图像中删除判定为需要删除的点缺陷区域(步骤S220)。

实际上，如图22的点缺陷区域752这样，点缺陷区域不与线条状不均区域线段重叠时，常判定为不需要从点缺陷图像中删除该点缺陷区域。另一方面，如图22中的点缺陷区域751这样，点缺陷区域与线条状不均区域线段至少一部分重叠时，有时判定为需要从点缺陷图像中删除该点缺陷区域(如图22中的点缺陷区域751这样，并不一定删除)。因此，步骤S219中的判定部件266的处理实质上是一种判定工序，即，在点缺陷区域与线条状不均区域线段至少一部分重叠时，将与点缺陷区域中的点缺陷的强度有关的评价值A、和与线条状不均区域线段所示的线条状不均缺陷的强度有关的评价值B比较，从而判定是否要删除点缺陷区域。此外，如果考虑这样删除点缺陷区域，则点缺陷区域表示点缺陷的候补，点缺陷检测部件263为对表示缺陷的候补的区域进行检测的缺陷候补检测部件。

如图23所示，当删除了判定为需要删除的点缺陷区域时，在判定部件266中，例如，通过参照与线条状不均图像中的各线条状不均区域线段对应的点缺陷图像中的像素的值，来确定包含线条状不均区域线段741a(图23中以两点划线表示)的点缺陷区域754。接着，针对确定的点缺陷区域754，求出对象图像中所对应的区域的像素的值的平均值来作为评价值C。然后，将该点缺陷区域754所包含的线条状不均区域线段741a的线条状不均最大强度作为评价值D，在评价值C和评价值D之比(评价值C/评价值D)在规定的阈值以上时，判定为需要从线条状不均图像中删除线条状不均区域线段741a，而在该比不足该阈值时，不需要删除线条状不均区域线段741a(步骤S221)。

此时，对于在步骤S219的处理中判定为需要删除的点缺陷区域，由于并未存在于点缺陷图像中，所以即使假设存在该点缺陷区域所包含的线条状不均区域线段，也不能确定该线条状不均区域线段。因此，在步骤S211中判定部件266这样进行处理：在步骤S219中判定为不需要删除点缺陷区域时，确认该点缺陷区域是否包含线条状不均区域线段，在包含时判定是否要删除该线条状不均区域线段。然后，从线条状不均图像中删除需要删除的线条状不均区域线段(步骤S222)。

当删除了不需要的线条状不均区域线段时，评价值取得部件2661对点缺陷图像中的点缺陷区域实施程度较小(小于后述的步骤S230中的局部不均候补区域的膨胀的程度)的膨胀处理。由此，相互接近的点缺陷区域结合成为一个组(以下，同样称为“点缺陷区域”)，孤立的点缺陷区域稍稍变大。然后，对于膨胀后的各点缺陷区域，取得对象图像中膨胀处理前的点缺陷区域所包含的像素的值的平均值(在结合了多个点缺陷区域的膨胀后的点缺陷区域中，膨胀前的多个点缺陷区域所包含的像素值的平均值)，来作为该点缺陷区域的强度(以下，称为“点缺陷强度”)(步骤S223)。

另外，如图24所示，在遮蔽图像生成部件265中，在对象图像中的(膨胀后的)点缺陷区域中，将各像素值和背景值127之差的绝对值乘以规定的系数并加上遮蔽图像对应的像素的值，从而更新图20的遮蔽图像(步骤S224)。由此，更新后的遮蔽图像表示对象图像中的线条状不均区域的线条状不均缺陷的强度分布，并且表示点缺陷区域的浓度和对象图像的平均浓度之差。此外，在图24的遮蔽图像中，对在上述处理中判定为不需要删除的图22中的点缺陷区域752、753所对应的区域744、745赋值，实际上区域744、745浓淡不一。

如上所述，在不均检查区域1中，在点缺陷区域与线条状不均区域线段至少一部分重叠的情况下，通过判定部件266来对与点缺陷区域中的点缺陷的强度有关的评价值、和与线条状不均区域线段中的线条状缺陷的强度有关的评价值进行比较，从而能够容易地判定是否要删除点缺陷区域。另外，由于与线条状不均缺陷的强度有关的评价值基于对象图像中的线条状不均区域的浓度和线条状不均区域周围的区域的浓度之差，因此，即使是存在于纵横比大的一定浓度的区域上的线条状不均缺陷等，也能够利用与线条状不均缺陷的特征对应的评价值而高精度的判定是否要删除点缺陷区域。并且，在判定为不需要删除点缺陷区域的情况下，确认点缺陷区域是否包含线条状不均区域线段，并在包含时判定是否要删除线条状不均区域线段，由此能够适当的删除不需要的线条状不均区域线段。

接着，在不均检查装置1中，在局部不均检测部件264中检测表示局部不均缺陷的候补的局部不均候补区域(步骤S225)。在此，所谓局部不均缺陷，是指在具有一定值以上的明暗变化的不均缺陷中除去了线条状不均缺陷的部分。由于通过与点缺陷检测部件263检测点缺陷区域的算法同样的算法来检测局部不均候补区域，因此下面以图21为基准来对局部不均检测部件264中的处理进行说明。

在局部不均检测部件264中，首先，以大于背景值127并且接近127的值132作为阈值，在对象图像中对值在132以上的像素赋予“1”，对值小于132的像素赋予“0”，从而取得一个二值图像。接着，通过将小于背景值127并且接近127的值122作为阈值，在对象图像中对值在122以下的像素赋予“1”，对值大于122的像素赋予“0”，从而取得另一个二值图像(步骤S2181)。

若取得分别与两个阈值对应的两个二值图像，则对各二值图像实施收缩处理，然后实施膨胀处理，由此在值为1的像素的集合中可删除微小部分。然后，在两个二值图像中，生成这样的图像来作为局部不均候补图像(步骤S2182)，即，该图像将相互对应的像素的值的或作为相同位置的像素的值。

图25是表示局部不均候补图像的一部分的图。在局部不均候补图像中，在对象图像中对值与背景值127相差一定值(在本实施方式为5)以上的像素赋予值“1”。在局部不均检测部件264中，在局部不均候补图像中检测出通过标示而相互连续的值为1的像素的集合(即，闭区域)，来作为表示局部不均缺陷的候补的局部不均候补区域(步骤S2183)。在图25中，对三个局部不均候补区域分别标有附图标记761、762、763。如上所述，局部不均检测部件264成为缺陷候补检测部件，其检测缺陷候补区域，在对象图像中，该缺陷候补区域表示线条状不均缺陷以及点缺陷以外的其他缺陷的候补。

当检测出局部不均候补区域时，在判定部件266中选择局部不均候补图像中的一个局部不均候补区域。例如，当选择了图25中的局部不均候补区域761时，在评价值取得部件2661中，求出在与对象图像中的局部不均候补区域761对应的区域(以下，同样称为“局部不均候补区域”)中像素的值与背景值127之差的绝对值的平均值，来作为与局部不均候补区域中的局部不均候补缺陷的强度有关的评价值E。

然后，求出图26所示的遮蔽图像中与该局部不均候补区域761对应的区域(与图26中浓淡不一的区域771大致重叠的区域)的像素的值的平均值，来作为评价值F。在此，在与局部不均候补区域761对应的遮蔽图像中的区域与浓淡不一的区域771大致重叠，区域771是上述的更新遮蔽图像时由于点缺陷区域而被赋值的区域，因此评价值F是与点缺陷区域中的点缺陷的强度有关的评价值。当针对局部不均候补区域761，通过评价值取得部件2661根据对象图像求出评价值E并且根据遮蔽图像求出评价值F时，在判定部件266中判定评价值E和评价值F之比(评价值E/评价值F)是否在规定的阈值以下。在此，由于该之比在阈值以下，从而判定为需要从局部不均候补图像中删除局部不均候补图像761。

另外，在选择了图25中的局部不均候补区域762的情况下，根据对象图像求出评价值E之后，在图26所示的遮蔽图像中求出与该局部不均候补区域762对应的区域(与图26中浓淡不一的区域772大致重叠的区域)的像素的值的平均值，来作为评价值F。此时，区域772是来源于图26中以点划线表示的线条状不均区域线段772a而赋值的区域，因此评价值F是与线条状不均区域线段772a所示的线条状不均缺陷的强度有关的评价值。而且，由于通过判定部件266确认评价值E和评价值F之比在规定的阈值以下，从而判定为需要从局部不均候补图像中删除局部不均候补区域762。

另一方面，在选择了图25中的局部不均候补区域763的情况下，在对象图像中的局部不均候补区域763中求出像素的值和背景值127之差的绝对值的平均值，来作为评价值E，在图26所示的遮蔽图像中求出与局部不均候补区域763对应的区域(图26中标有附图标记773的两点划线表示的区域)的像素的值的平均值，来作为评价值F。由于遮蔽图像中的区域773所含的像素的值大致全部为零，所以针对局部不均候补区域763的评价值F无限接近于零。而且，由于确认针对局部不均候补区域763的评价值E和评价值F之比大于规定的阈值，因此判定为不需要从点缺陷图像中删除局部不均候补区域763。

这样，在判定部件266中，针对局部不均候补图像中的各局部不均候补区域，通过比较评价值E和评价值F，从而判定是否要删除该局部不均候补区域(步骤S226)，其中，评价值E基于对象图像中所对应的区域的浓度和对象图像的平均浓度的差，评价值F基于遮蔽图像中所对应的区域的浓度。然后，从局部不均候补图像中删除判定为需要删除的局部不均候补区域(步骤S227)。在图25所示的局部不均候补图像中，仅留有局部不均候补区域763，该局部不均候补区域763作为表示真正的局部不均缺陷的区域(参照后述的图28)。

实际上，如图25的局部不均候补区域763这样，局部不均候补区域不与线条状不均区域线段重叠时，常判定为不需要从局部不均候补图像中删除该局部不均候补区域763。另一方面，如图25中的局部不均候补区域761、762这样，局部不均候补区域与线条状不均区域线段或点缺陷区域至少一部分重叠时，有时判定为需要从局部不均候补图像中删除该局部不均候补区域(如图25中的局部不均候补区域761、762这样，并不一定删除)。因此，步骤S226中的判定部件266的处理实质上是一种判定工序，即，在局部不均候补区域与线条状不均区域线段或点缺陷区域至少一部分重叠时，将与局部不均候补区域中的局部不均缺陷的强度有关的评价值E、和与线条状不均区域线段中的线条状不均缺陷或点缺陷区域中的点缺陷的强度有关的评价值F比较，从而判定是否要删除局部不均候补区域。由于进行了步骤S227的处理后的局部不均候补图像中的局部不均候补区域表示真正的局部不均缺陷，所以在以下的说明中，适当地对局部不均候补区域标以相同的附图标记并称其为局部不均区域，并将局部不均候补图像称为局部不均图像。

如图27所示，当删除了不需要的局部不均候补区域时，在判定部件266中，例如，通过参照与线条状不均图像中的各线条状不均区域线段对应的局部不均候补图像中的像素的值，来确定包含线条状不均区域线段741b(图27中以两点划线表示)的局部不均候补区域764。接着，针对确定的局部不均候补区域764，求出对象图像中所对应的区域的像素的值的平均值来作为评价值G。然后，将该局部不均候补区域764所包含的线条状不均区域线段741b的线条状不均最大强度作为评价值H，在评价值G和评价值H之比(评价值G/评价值H)在规定的阈值以上时，判定为需要从线条状不均图像中删除线条状不均区域线段741b，而在该比不足该阈值时，不需要删除线条状不均区域线段741b(步骤S228)。

此时，对于在步骤S226的处理中判定为需要删除的局部不均候补区域，由于并未存在于局部不均(候补)图像中，所以即使假设存在该局部不均候补区域所包含的线条状不均区域线段，也不能确定该线条状不均区域线段。因此，在步骤S228中判定部件266这样进行处理：在步骤S226中判定为不需要删除局部不均候补区域时，确认该局部不均候补区域是否包含线条状不均区域线段，在包含时判定是否要删除该线条状不均区域线段。

另外，也同样确定包含点缺陷区域的局部不均区域，并针对局部不均区域求出对象图像中所对应区域的像素的值的平均值作为评价值G。然后，将该局部不均区域所所包含的点缺陷区域的点缺陷强度作为评价值H，在评价值G和评价值H之比在规定的阈值以上时，判定为需要从点缺陷图像中删除点缺陷区域，而在该比不到该阈值的情况下，不需要删除点缺陷区域(步骤S228)。然后，从线条状不均图像或者点缺陷图像中，删除需要删除的线条状不均区域线段或者点缺陷区域(步骤S229)。

当删除完不需要的点缺陷区域以及线条状不均区域线段时，在局部不均图像中对局部不均区域实施程度较大(大于上述步骤S223中的点缺陷区域的膨胀的程度)的膨胀处理。由此，相邻的局部不均区域进行结合成为一个组(以下，同样称为“局部不均区域”)，如图28所示，孤立的局部不均区域763的面积变大(其中，在图28中以虚线表示膨胀处理后的局部不均区域763a，以两点划线表示在步骤S227中删除的局部不均候补区域)。然后，对于各局部不均区域763a，取得对象图像中膨胀处理前的局部不均区域所包含的像素值的平均值(在结合了多个局部不均区域的膨胀后的局部不均区域中，为膨胀前的多个局部不均区域所包含的像素的值的平均值)来作为该局部不均区域的强度(以下，称为“局部不均缺陷强度”)(步骤S230)。

在不均检查区域1中，按需要分别对线条状不均区域线段、点缺陷区域以及局部不均区域，将所取得的强度(即，线条状不均最大强度、点缺陷强度或者局部不均缺陷强度)以及区域的面积(在为线条状不均缺陷的情况下，与线条状不均区域线段对应的线条状不均区域的面积或者线条状不均区域线段的长度)分别与各不同种类的缺陷的规定的强度阈值以及面积阈值(长度阈值)进行比较，从而判定是否允许该区域所示的缺陷。另外，可以分别针对线条状不均区域线段、点缺陷区域以及局部不均候补区域，显示属于规定的强度范围、或者属于规定的面积范围(长度范围)的线段或区域的存在位置，例如，在显示器55上，利用与其强度或者面积对应的颜色的线等，可确定的显示强度或者面积。此时，操作人员可以对显示在显示器55上的缺陷区域进行确认，也可以通过输入部件56来输入判定是否允许时的强度阈值或者面积阈值。

如上所述，在不均检查区域1中，在局部不均候补区域与线条状不均区域线段或者点缺陷区域至少一部分重叠的情况下，通过判定部件266对与局部不均候补区域中的局部不均缺陷的强度有关的评价值和与线条状不均区域线段中的线条状缺陷的强度有关的评价值进行比较，或者和与点缺陷区域中的点缺陷强度有关的评价值进行比较。由此，能够容易地判定是否要删除局部不均候补缺陷区域，其结果，能够可靠地检测出线条状不均区域线段、点缺陷区域以及局部不均(候补)区域。

在此，假设不全部删除图25中的多个局部不均候补区域761～763，而实施步骤S230中的膨胀处理，此时，如图29中标有附图标记763b的虚线所示，表示线条状不均缺陷或者点缺陷的局部不均候补区域761、762也包含在表示最终的局部不均缺陷的区域中。与此相对，在本实施方式的不均检查装置1中，在多个局部不均候补区域中，删除作为线条状不均缺陷或者点缺陷的强度大于作为局部不均缺陷的强度的局部不均候补区域，从而能够高精度的表示局部不均缺陷的区域。

另外，在判定部件266中，在判定是否要删除局部不均候补区域时，实质上取得与局部不均候补区域有关的评价值来作为区域中所含的像素的值的代表值，该区域是指，在表示对象图像中的局部不均候补区域的浓度和对象图像的平均浓度之差的图像中，与局部不均候补区域相对应的区域；并求出与线条状不均区域线段或者点缺陷区域有关的评价值来作为区域中所含的像素的值的代表值，该区域是指，在表示对象图像中的线条状不均区域内的线条状不均缺陷的强度分布、并表示点缺陷区域的浓度和对象图像的平均浓度之差的图像中，与局部不均候补区域相对应的区域。这样，在判定是否要删除局部不均候补区域时，在表示局部不均缺陷的浓度以及线条状不均缺陷或者点缺陷的浓度的两个图像中，利用分别根据与局部不均候补区域对应的区域而导出的两个评价值，能够适当的判定是否要删除局部不均候补区域。

并且，在不均检查装置1中，在判定为不需要删除局部不均候补区域时，确认局部不均候补区域是否包含线条状不均区域线段或者点缺陷区域，在包含的情况下判定是否要删除线条状不均区域线段或者点缺陷区域，从而能够适当的删除不需要的线条状不均区域线段或者点缺陷区域。由此，能够高精度的确定线条状不均区域线段、点缺陷区域以及局部不均区域，并能够取得各缺陷的强度，其结果，能够以高精度判定是否允许缺陷。另外，能够高效的确定被认为由于互不相同的原因而产生的线条状不均缺陷、点缺陷以及局部不均缺陷的产生原因，并能够改善制造工艺和形成的图案。

如上所述，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不仅限于上述实施方式，而可以进行各种变形。

在第一实施方式中，在图1的不均检查装置1中，可以在线条状不均要素确定部件63中不利用不均要素线段来确定线条状不均要素区域而进行线条状不均检查。此时，在确定线条状不均要素区域时，在线条状区域更新部件632中，将二值图像中多条长轴方向相同的、沿长轴方向排列并且相互接近线条状区域更新为一条线条状区域，在区域组取得部件633中，通过将阈值相邻的两个二值图像中相互重叠的线条状区域分为同一区域组，从而分别求出表示线条状不均要素的区域组。这里，由于在区域组所包含的多个不均区域中线条状不均要素的长轴方向的长度最长，所以上述线条状区域更新部件632中的处理实质上相当于以下处理，即，在二值图像中的一个矩形显示区域中所确定的多个线条状不均要素区域中，检测出长度方向相同的、沿长轴方向排列且相互接近的两条线条状不均要素区域，将两条线条状不均要素区域更新为一条线条状不均要素区域。另外，在线条状不均检测部件64中，在多条线条状不均要素中检测出长轴方向相同的、沿长轴方向排列并且存在于相互接近的矩形显示区域中的两条线条状不均要素区域，在显示控制部件65中，生成连接所检测出的两条线条状不均要素区域的连接区域，利用表示连接区域的边缘的线，将连接区域的存在位置与对象图像重叠显示在显示器55上。但是，在从能够更容易检测横亘多个矩形显示区域延伸的线条状不均的观点来看，优选这样处理：在线条状不均要素确定部件63中，以代表该区域的线条状不均要素线段来确定线条状不均要素区域，而在线条状不均检测部件64以及显示控制部件65中，将线条状不均要素线段作为所对应的线条状不均要素区域进行处理，从而力求简化处理。

在上述第一实施方式中，从根据对象图像而利用多个阈值勾绘的多个二值图像中确定线条状不均要素线段(或者线条状不均要素区域)，但在仅利用一个阈值而取得二值图像时，可以确定在该二值图像中长轴方向上的长度和垂直于长轴方向的方向上的宽度之比在规定值以上的多个闭区域，直接将其作为多个线条状不均要素区域。

在第一实施方式中，在线条状不均检测部件64中，在存在于相邻的矩形显示区域内的两条线条状不均要素线段的各组合中，求出通过两条线条状不均要素线段的重心的直线和各端点之间的距离，以及求出两条线条状不均要素之间最近的端点间距离和最远的端点间距离分别与两条线条状不均要素线段的长度之和的比，从而检测可连接的两条线条状不均要素线段，但判定为可连接的两个线条状不均要素线段并不一定要接近，只要至少长轴方向相同、沿长轴方向排列并且分别存在于相邻的两个矩形显示区域内即可。另外，也可以通过其它的算法来检测可连接的两条线条状不均要素线段，例如，在存在于相邻的矩形显示区域内的两条线条状不均要素线段的各组合中，求出两条线条状不均要素线段的延长线所成的角度等。

在上述第一实施方式中，在基板9上形成抗蚀膜，但只要是在一个主面上涂敷液体而形成的膜，形成在基板上的膜的材料也可以是抗蚀液以外的材料。不均检查装置1特别适于玻璃基板上的线条状不均的检查，但是也可以用于对这种其它的基板上的线条状不均进行检查，这种基板是指这样的基板：以隔开间隙而纵横排列的方式设有具有同样的图案的多个矩形区域，并根据上述多个矩形区域将会被切割。

在第二实施方式的不均检查装置1中，在线条状区域确定部件163中也可以不将线条状区域确定为线条状区域线段而进行线条状不均检查。此时，在线条状区域确定部件163中，将长轴方向相同的、沿长轴方向排列并且相互接近的多个线条状区域更新为一个线条状区域，在区域组取得部件164中，在阈值相邻的两个二值图像中将相互重叠的线条状区域分为同一域组中，从而分别求出表示线条状不均的区域组，然后，在线条状不均强度取得部件165中，与各区域组有关的取得与存在闭区域的二值图像对应的阈值、或者线条状区域的长轴方向的长度或者面积之和，来作为线条状不均强度。另外，在显示控制部件166中，将区域组所包含的多个线条状区域中表示长轴方向的长度最长的代表线条状区域的边缘的线重叠显示在对象图像上，从而可确认存在线条状不均的区域。但是，在从能够容易的检测线条状不均以及取得线条状不均强度的观点来看，优选这样处理：在线条状区域确定部件163中，以代表该区域的线条状区域线段来确定线条状区域，在区域组取得部件164以及线条状不均强度取得部件165中，将线条状区域线段作为所对应的线条状区域而进行处理，从而简化处理。

在区域组取得部件164中，有时也会只求出一个区域组，此时线条状不均强度取得部件165以及显示控制部件166中的处理与上述相同。即，在不均检查装置1中，利用区域组取得部件164求出至少一个区域组的情况下，通过线条状不均强度取得部件165至少与一个区域组分别有关的取得线条状不均强度，通过显示控制部件166将至少一个区域组的存在位置或者至少一个区域组中确定的区域的存在位置重叠显示在对象图像上。

在第二实施方式中，对象图像的二值化时的多个阈值并不一定要为连续的值，另外，也并不一定要使用上阈值以及下阈值这两个阈值。对阈值来说，只要通过二值图像取得部件162生成的二值图像的个数在两个以上，则可以为任意个数，但从降低计算部件16中的计算量并以一定的精度来检测线条状不均以及取得线条状不均强度的观点来看，优选使用5个以上的阈值取得5个以上的二值图像。

然而，在拍摄部件41中，通过接收干涉光而取得原始图像，但由于干涉光的强度相对于膜厚而周期性变化，所以当变更检查对象的基板上的膜厚时，原始图像的平均浓度(像素值的平均值)也发生变化。因此，在上述实施方式中，通过对象图像生成部件161(或者，对象图像生成部件261)中参照式(1)～式(4)说明的上述处理，能够准备出图像的平均浓度为大致一定的对象图像，从而能够在二值图像取得部件162(或者线条状不均检测部件262、点缺陷检测部件263以及部分不均检测部件264。以下也相同)中对象图像进行二值化时使用一定的阈值。然而，在拍摄部件41拍摄基板9时不使用干涉光的情况下、或者根据原始图像的平均浓度来变更二值图像取得部件162中的二值化的阈值等情况下，可以将拍摄部件41取得的原始图像直接作为对象图像，从而从原始图像中取得多个二值图像(或者，也可以直接检测线条状不均区域、点缺陷区域以及局部不均候补区域)。即，只要作为二值图像取得部件162中的二值化的对象的对象图像(或者是对线条状不均区域、点缺陷区域以及局部不均候补区域进行检测的对象图像)是原始图像或者根据原始图像勾绘的图像即可。

另外，在线条状区域确定部件163中，不一定要对二值图像中的各闭区域求出力矩，而可以对于闭区域求出分别沿预定的多个方向延伸的多个外接矩形，将这些外接矩形中面积最小的外接矩形的长轴方向上的长度和垂直于长轴方向的方向上的宽度之比与规定值进行比较，从而判定该闭区域是否为线条状区域。但是，优选这样处理：要以高精度确定线条状区域时，为了降低计算量，通过计算出闭区域的力矩而确定闭区域，该线条状区域是指，从某一位置以各种角度延伸为放射状的多个线条状区域(例如，起因于以下不均的区域：在利用旋涂方式的涂敷装置而在基板上形成抗蚀膜时，由于处理之前在基板上存在杂质而导致形成的以该杂质为起点的放射状的线条状不均)等。

在第二以及第三实施方式中的不均检查装置1中，作为检查对象的基板也不一定是形成抗蚀膜等的薄膜的基板。另外，不均检查装置1尤其适用于，对用于显示装置的玻璃基板或半导体基板等将会切割为多个部位的基板上的线条状不均的检查，但也可以用于检查基板以外的对象物上的线条状不均。

在第三实施方式中的不均检查装置1中，在点缺陷区域或者局部不均候补区域与线条状不均区域(或者线条状不均区域线段)至少一部分重叠的情况下，判定是否要删除点缺陷区域或者局部不均候补区域，但通过与线条状不均区域比较而判定是否要删除的缺陷也可以是表示点缺陷以及局部不均缺陷双方的候补的区域，或者是表示这些以外的缺陷的候补的区域。即，在不均检查装置1中，在检测表示线条状不均缺陷的线条状不均区域时，通过对对象图像进行二值化而进行检测，并且在表示对象图像中的其它缺陷的候补的缺陷候补区域与线条状不均区域至少一部分重叠时，通过对与缺陷候补区域中的缺陷的强度有关的评价值和与线条状不均区域中的线条状不均缺陷的强度有关的评价值进行比较，从而容易地判定是否要删除缺陷候补区域，其结果，能够可靠地检测出线条状不均区域以及缺陷候补区域。

另外，同样的，通过与点缺陷区域相比较而判定是否要删除的缺陷也可以是表示线条状不均缺陷以及局部不均缺陷双方的候补的区域、或者表示这些以外的缺陷的候补的区域。即，在不均检查装置1中，在检测表示点缺陷的点缺陷区域时，通过对对象图像进行二值化而进行检测，并且在表示对象图像中的其它缺陷的候补的缺陷候补区域与点缺陷区域至少一部分重叠时，通过对与缺陷候补区域中的缺陷的强度有关的评价值和与点缺陷区域中的点缺陷的强度有关的评价值进行比较，从而容易地判定是否要删除缺陷候补区域，其结果，能够可靠地检测出点缺陷区域以及缺陷候补区域。

在上述第三实施方式中，在图18A的步骤S221中，判定是否要删除全部的包含在点缺陷区域中的线条状不均区域线段，但判定是否要删除的线条状不均线段也可以大部分(长度(面积)相对于线条状不均区域线段的长度(或者线条状区域的面积)的比例在规定比例以上，而且，该规定比例接近1)包含在点缺陷区域中。在图18B的步骤S228中也同样，判定是否要删除的线条状不均区域线段或者点缺陷区域可以大部分包含在局部不均候补区域中。

另外，在上述第三实施方式中，通过线条状不均检测部件262生成多个二值图像，通过对各二值图像中的线条状区域线段进行分组，从而检测对象图像中的线条状不均区域，但也可以通过其它方法来检测线条状不均区域，只要能够检测出表示长轴方向上的长度和垂直于长轴方向的方向上的宽度之比在规定值以上的线条状不均缺陷的线条状不均区域即可。另外，检测线条状不均区域、点缺陷区域以及局部不均候补区域时的对象图像的二值化的阈值也可以适当变更，并且不一定要用多个阈值。但是从高精度的检测点缺陷区域以及局部不均候补区域的观点来看，优选这样处理：通过以多个阈值对对象图像进行二值化从而取得多个二值图像，然后在多个二值图像中求出相互对应的像素值的或，从而检测点缺陷区域以及局部不均候补区域。另外，也可以通过相同的方法来检测线条状不均区域，此时，可以将用上阈值确定的线条状区域以及用下阈值确定的线条状区域作为同种线条状区域进行处理。

虽然已对本发明进行了详细地叙述以及说明，但上述的说明只是示例，本发明并非限定于此。因此应该理解为，在不脱离本发明的范围内，可以有多种变形和实施方式。

Claims (31)

1.一种不均检查方法，对基板上的线条状不均进行检查，该基板根据多个矩形区域将会被切割，该多个矩形区域具有相同的图案，并以隔开间隙而纵横排列的方式被设定，其特征在于，包括：

准备对象图像的工序，对拍摄上述基板而取得的多灰度原始图像上与上述间隙对应的区域进行遮蔽，从而准备对象图像；

确定线条状不均要素区域的工序，在对上述对象图像进行了二值化的二值图像中，将长轴方向上的长度与垂直于上述长轴方向的方向上的宽度之比在规定值以上的多个闭区域，确定为多个线条状不均要素区域；

检测工序，在上述多个线条状不均要素区域中检测出两个线条状不均要素区域，该两个线条状不均要素区域是上述长轴方向相同、并在上述长轴方向上排列、且在相邻的矩形区域内存在的区域。

2.如权利要求1所记载的不均检查方法，其特征在于，

在上述确定线条状不均要素区域的工序中，利用代表该区域的线条状不均要素线段来确定线条状不均区域，

在上述检测工序中，将线条状不均要素线段作为所对应的线条状要素区域进行处理。

3.如权利要求1所记载的不均检查方法，其特征在于，

上述确定线条状不均要素区域的工序包括进行如下处理的工序，即，在一个矩形区域中所确定的多个线条状不均要素区域中，通过与上述检测工序相同的算法来检测出上述长轴方向相同、并在上述长轴方向上排列、且相互接近的两个线条状不均要素区域，并将上述两个线条状不均要素区域更新为一个线条状不均要素区域。

4.如权利要求1所记载的不均检查方法，其特征在于，

上述基板具有一个主面上涂敷液体而形成的膜。

5.如权利要求1所记载的不均检查方法，其特征在于，

上述确定线条状不均要素区域的工序包括：

取得二值图像的工序，利用多个阈值对上述对象图像进行二值化，从而取得分别与上述多个阈值对应的多个二值图像；

确定线条状区域的工序，分别在上述多个二值图像中，确定长轴方向上的长度与垂直于上述长轴方向的方向上的宽度之比在规定值以上的线条状区域；

确定线条状不均要素区域的工序，通过进行如下分组，即，使阈值相邻的两个二值图像中相互重叠的线条状区域属于同一区域组，由此求出分别表示线条状不均的至少一个区域组，从而确定上述多个线条状不均要素区域，

上述不均检查方法还包括取得线条状不均强度的工序，在该工序中，针对上述至少一个区域组，分别取得存在线条状区域的二值图像所对应的阈值范围、或者线条状区域的长度或面积之和而作为线条状不均强度。

6.如权利要求5所述的不均检查方法，其特征在于，

还包括显示区域组的线条状不均强度及存在位置的工序，在该工序中，在使上述至少一个区域组各自的大致的线条状不均强度变得能够确定的同时，将上述至少一个区域组的存在位置显示在显示部件上。

7.如权利要求5所述的不均检查方法，其特征在于，

还包括显示区域组的存在位置的工序，在显示部件上只显示上述至少一个区域组中属于规定的线条状不均强度范围之内的区域组的存在位置。

8.如权利要求7所述的不均检查方法，其特征在于，

上述存在位置显示工序包括重新显示区域组的存在位置的工序，变更上述线条状不均强度范围，从而重新在上述显示部件上只显示上述至少一个区域组中属于变更后的上述线条状不均强度范围之内的区域组的存在位置。

9.如权利要求5所述的不均检查方法，其特征在于，

在上述确定线条状区域的工序中，利用代表该区域的线条状区域线段确定线条状区域，

在上述检测线条状不均要素区域的工序以及上述取得线条状不均强度的工序中，将线条状区域线段作为所对应的线条状区域进行处理。

10.如权利要求5所述的不均检查方法，其特征在于，

在上述确定线条状区域的工序中，在上述多个二值图像中分别计算闭区域的力矩而决定长轴方向之后，确定上述闭区域是否为线条状区域。

11.如权利要求5所述的不均检查方法，其特征在于，

在上述确定线条状区域的工序中，将长轴方向相同、并在上述长轴方向上排列、且相互接近的多个线条状区域更新为一条线条状区域。

12.如权利要求5所述的不均检查方法，其特征在于，

在上述取得线条状不均强度的工序中，取得上述多个矩形区域各自的线条状不均强度的总和。

13.如权利要求1所述的不均检查方法，其特征在于，

执行上述准备对象图像的工序至上述检测工序，从而从上述对象图像中检测出表示线条状不均缺陷的线条状不均区域，该线条状不均区域的长轴方向上的长度与垂直于长轴方向的方向上的宽度之比在规定值以上，

上述不均检查方法还包括：

检测缺陷候补区域的工序，对上述对象图像进行二值化，从而检测出表示上述对象图像中的其它缺陷的候补的缺陷候补区域；

第一判定工序，在缺陷候补区域与上述线条状不均区域的至少一部分重叠的情况下，对第一评价值和第二评价值进行比较，从而判定是否删除上述缺陷候补区域，其中，上述第一评价值与上述缺陷候补区域的缺陷强度有关，上述第二评价值与上述线条状不均区域的线条状不均缺陷的强度有关。

14.如权利要求13所述的不均检查方法，其特征在于，还包括：

检测点缺陷区域的工序，从上述对象图像中检测出如下的区域而作为表示点缺陷的点缺陷区域，即，面积在规定的范围内，并且该区域的浓度与上述对象图像的平均浓度之差大于该区域的浓度与上述线条状不均区域的浓度之差；

第二判定工序，在缺陷候补区域与上述点缺陷区域的至少一部分重叠的情况下，对第三评价值和第四评价值进行比较，从而判定是否删除上述缺陷候补区域，其中，上述第三评价值与上述缺陷候补区域的缺陷强度有关，上述第四评价值与上述点缺陷区域的点缺陷的强度有关。

15.如权利要求13所述的不均检查方法，其特征在于，

上述第一评价值是基于上述对象图像中的上述缺陷候补区域的浓度和上述对象图像的平均浓度之差的值，上述第二评价值是基于上述对象图像中的上述线条状不均区域的浓度和上述线条状不均区域周围的区域的浓度之差的值。

16.如权利要求15所述的不均检查方法，其特征在于，

上述第一评价值是以下像素的值的代表值：在表示上述缺陷候补区域的浓度和上述对象图像的平均浓度之差的图像中，包含在与上述缺陷候补区域对应的区域中的像素；上述第二评价值是以下像素值的代表值：在表示上述线条状不均区域中的线条状不均缺陷的强度分布的图像中，包含在与上述缺陷候补区域对应的区域中的像素。

17.如权利要求15所述的不均检查方法，其特征在于，

在上述第一判定工序中判定为不需要删除上述缺陷候补区域的情况下，确认上述缺陷候补区域是否包含大部分的上述线条状不均区域，并在包含时，判定是否删除上述线条状不均区域。

18.如权利要求1～17中任意一项所述的不均检查方法，其特征在于，

还包括显示连接区域的存在位置的工序，在该工序中，将连接上述两个线条状不均要素区域的连接区域的存在位置显示在显示部件上。

19.如权利要求18所述的不均检查方法，其特征在于，

在上述显示连接区域的存在位置的工序之前还包括接收连接区域的长度最小值输入的工序，在该工序中，接收所输入的连接区域的长度的最小值，该连接区域是要在上述显示连接区域的存在位置的工序中显示其存在位置的连接区域。

20.一种不均检查装置，对基板上的线条状不均进行检查，该基板根据多个矩形区域将会被切割，该多个矩形区域具有相同的图案，并以隔开间隙而纵横排列的方式被设定，其特征在于，包括：

拍摄部件，其拍摄上述基板而取得多灰度原始图像；

对象图像生成部件，其对与上述原始对象的上述间隙对应的区域进行遮蔽，从而生成对象图像；

线条状不均要素确定部件，其在对上述对象图像进行二值化的二值图像中，将长轴方向上的长度与垂直于上述长轴方向的方向上的宽度之比在规定值以上的多个闭区域，确定为多个线条状不均要素区域；

线条状不均检测部件，其在上述多个线条状不均要素区域中检测出两个线条状不均要素区域，该两个线条状不均要素区域是上述长轴方向相同、并在上述长轴方向上排列、且在相邻的矩形区域内存在的区域。

21.如权利要求20所述的不均检查装置，其特征在于，

在上述线条状不均要素确定部件中，利用代表该区域的线条状不均要素线段来确定线条状不均区域，

在上述线条状不均检测部件中，将线条状不均要素线段作为所对应的线条状要素区域进行处理。

22.如权利要求20所述的不均检查装置，其特征在于，

在上述线条状不均要素确定部件中，在一个矩形区域中所确定的多个线条状不均要素区域中，通过与上述线条状不均检测部件中的处理相同的算法来检测出上述长轴方向相同、并在上述长轴方向上排列、且相互接近的两个线条状不均要素区域，并将上述两个线条状不均要素区域更新为一个线条状不均要素区域。

23.如权利要求20所述的不均检查装置，其特征在于，

上述基板具有一个主面上涂敷液体而形成的膜。

24.如权利要求20～23中任意一项所述的不均检查装置，其特征在于，

还具有显示部件，该显示部件显示连接上述两个线条状不均要素区域的连接区域的存在位置。

25.如权利要求24所述的不均检查装置，其特征在于，

在上述显示部件上进行显示之前，接收所输入的连接区域的长度的最小值，该连接区域是要在显示部件上显示其存在位置的连接区域。

26.一种记录介质，记录有使计算机对基板上的线条状不均进行检查的程序，并由计算机可读取，其中，上述基板根据多个矩形区域将会被切割，该多个矩形区域具有相同的图案，并以隔开间隙而纵横排列的方式被设定，其特征在于，上述计算机根据上述程序所执行的工序包括：

准备对象图像的工序，对拍摄上述基板而取得的多灰度原始图像上与上述间隙对应的区域进行遮蔽，从而准备对象图像；

确定线条状不均要素区域的工序，在对上述对象图像进行了二值化的二值图像中，将长轴方向上的长度与垂直于上述长轴方向的方向上的宽度之比在规定值以上的多个闭区域，确定为多个线条状不均要素区域；

检测工序，在上述多个线条状不均要素区域中检测出两个线条状不均要素区域，该两个线条状不均要素区域是上述长轴方向相同、并在上述长轴方向上排列、且在相邻的矩形区域内存在的区域。

27.如权利要求26所述的记录介质，其特征在于，

在上述确定线条状不均要素区域的工序中，利用代表该区域的线条状不均要素线段来确定线条状不均区域，

在上述检测工序中，将线条状不均要素线段作为所对应的线条状要素区域进行处理。

28.如权利要求26所述的记录介质，其特征在于，

上述确定线条状不均要素区域的工序包括进行如下处理的工序，即，在一个矩形区域中所确定的多个线条状不均要素区域中，通过与上述检测工序相同的算法来检测出上述长轴方向相同、并在上述长轴方向上排列、且相互接近的两个线条状不均要素区域，并将上述两个线条状不均要素区域更新为一个线条状不均要素区域。

29.如权利要求26所述的记录介质，其特征在于，

上述基板具有一个主面上涂敷液体而形成的膜。

30.如权利要求26～29的任意一项所述的记录介质，其特征在于，

上述计算机根据上述程序所执行的工序还包括显示连接区域的存在位置的工序，在该工序中，将连接上述两个线条状不均要素区域的连接区域的存在位置显示在显示部件上。

31.如权利要求30所述的记录介质，其特征在于，

上述计算机根据上述程序所执行的工序，在上述显示连接区域的存在位置的工序之前还包括接收连接区域的长度最小值输入的工序，在该工序中，接收所输入的连接区域的长度的最小值，该连接区域是要在上述显示连接区域的存在位置的工序中显示其存在位置的连接区域。

Images