JP2007322256A - ムラ検査方法、ムラ検査装置およびプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ムラ検査装置の対象画像生成部61では、基板を撮像して取得される多階調の元画像において基板上の矩形領域間の隙間に対応する領域をマスクして対象画像が準備され、筋ムラ要素特定部63では対象画像を2値化した2値画像において長手方向における長さと長手方向に垂直な方向における幅との比が所定値以上となる複数の筋ムラ要素領域が複数の筋ムラ要素線分にてそれぞれ特定される。そして、筋ムラ検出部64において、複数の筋ムラ要素線分のうち、長手方向(線分が伸びる方向)が同一であり、長手方向に配列され、かつ、隣接する矩形領域内に存在する2つの筋ムラ要素線分が検出されることにより、複数の矩形領域に亘って伸びる筋ムラを容易に検出することができる。
【選択図】図3
Description
5 コンピュータ
8 記録媒体
9 基板
41 撮像部
55 ディスプレイ
61 対象画像生成部
63 筋ムラ要素特定部
64 筋ムラ検出部
71 対象画像
92 膜
541 プログラム
711,711a〜711d 矩形表示領域
719 背景領域
721a〜721c 閉領域
731 連結線分
S14〜S21 ステップ
Claims (8)
- 一様なパターンを有する複数の矩形領域が隙間を空けて縦横に整列して設定され、前記複数の矩形領域に従って多面取りされる基板上の筋ムラを検査するムラ検査方法であって、
a)前記基板を撮像して取得される多階調の元画像の前記隙間に対応する領域をマスクして対象画像を準備する工程と、
b)前記対象画像を2値化した2値画像において長手方向における長さと前記長手方向に垂直な方向における幅との比が所定値以上となる複数の閉領域を複数の筋ムラ要素領域として特定する工程と、
c)前記複数の筋ムラ要素領域のうち、前記長手方向が同一であり、前記長手方向に配列され、かつ、隣接する矩形領域内に存在する2つの筋ムラ要素領域を検出する工程と、
を備えることを特徴とするムラ検査方法。 - 請求項1に記載のムラ検査方法であって、
前記b)工程において筋ムラ要素領域が当該領域を代表する筋ムラ要素線分にて特定され、前記c)工程において筋ムラ要素線分が対応する筋ムラ要素領域として扱われることを特徴とするムラ検査方法。 - 請求項1または2に記載のムラ検査方法であって、
d)前記2つの筋ムラ要素領域を連結した連結領域の存在位置を表示部に表示する工程をさらに備えることを特徴とするムラ検査方法。 - 請求項3に記載のムラ検査方法であって、
e)前記d)工程の前に、前記d)工程において存在位置が表示される連結領域の長さの最小値の入力を受け付ける工程をさらに備えることを特徴とするムラ検査方法。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載のムラ検査方法であって、
前記b)工程が、一の矩形領域中に特定される複数の筋ムラ要素領域のうち、前記長手方向が同一であり、前記長手方向に配列され、かつ、互いに近接する2つの筋ムラ要素領域を、前記c)工程と同様のアルゴリズムにより検出し、前記2つの筋ムラ要素領域を1つの筋ムラ要素領域へと更新する工程を備えることを特徴とするムラ検査方法。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載のムラ検査方法であって、
前記基板が、一の主面上に液体が塗布されることにより形成された膜を有することを特徴とするムラ検査方法。 - 一様なパターンを有する複数の矩形領域が隙間を空けて縦横に整列して設定され、前記複数の矩形領域に従って多面取りされる基板上の筋ムラを検査するムラ検査装置であって、
前記基板を撮像して多階調の元画像を取得する撮像部と、
前記元画像の前記隙間に対応する領域をマスクして対象画像を生成する対象画像生成部と、
前記対象画像を2値化した2値画像において長手方向における長さと前記長手方向に垂直な方向における幅との比が所定値以上となる複数の閉領域を複数の筋ムラ要素領域として特定する筋ムラ要素特定部と、
前記複数の筋ムラ要素領域のうち、前記長手方向が同一であり、前記長手方向に配列され、かつ、隣接する矩形領域内に存在する2つの筋ムラ要素領域を検出する筋ムラ検出部と、
を備えることを特徴とするムラ検査装置。 - 一様なパターンを有する複数の矩形領域が隙間を空けて縦横に整列して設定され、前記複数の矩形領域に従って多面取りされる基板上の筋ムラをコンピュータに検査させるプログラムであって、前記プログラムの前記コンピュータによる実行は、前記コンピュータに、
a)前記基板を撮像して取得される多階調の元画像の前記隙間に対応する領域をマスクして対象画像を準備する工程と、
b)前記対象画像を2値化した2値画像において長手方向における長さと前記長手方向に垂直な方向における幅との比が所定値以上となる複数の閉領域を複数の筋ムラ要素領域として特定する工程と、
c)前記複数の筋ムラ要素領域のうち、前記長手方向が同一であり、前記長手方向に配列され、かつ、隣接する矩形領域内に存在する2つの筋ムラ要素領域を検出する工程と、
を実行させることを特徴とするプログラム。
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