JP2000329536A - 外観検査装置および外観検査方法 - Google Patents
外観検査装置および外観検査方法Info
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- JP2000329536A JP2000329536A JP11138882A JP13888299A JP2000329536A JP 2000329536 A JP2000329536 A JP 2000329536A JP 11138882 A JP11138882 A JP 11138882A JP 13888299 A JP13888299 A JP 13888299A JP 2000329536 A JP2000329536 A JP 2000329536A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、１回の画像取り込みで複数の検査
対象部品を検査するとともに、画像取り込み回数および
カメラまたは検査対象の移動回数を減らすことで検査の
高速化を図る外観検査装置および外観検査方法を提供す
ることを課題とする。 【解決手段】 １回の画像取り込みで複数の検査対象部
品２，…，２が撮像できる場合に、画像取り込み後にあ
らかじめ設定した各検査対象部品２毎の切り出し座標デ
ータに従った１部品の画像データ（画像データ信号ａ）
の切り出しとあらかじめ１部品に関して設定した検査デ
ータ（検査結果データ信号ｄ）に基づいた検査実行を画
像内の検査対象部品２の数だけ順々に実行する。
対象部品を検査するとともに、画像取り込み回数および
カメラまたは検査対象の移動回数を減らすことで検査の
高速化を図る外観検査装置および外観検査方法を提供す
ることを課題とする。 【解決手段】 １回の画像取り込みで複数の検査対象部
品２，…，２が撮像できる場合に、画像取り込み後にあ
らかじめ設定した各検査対象部品２毎の切り出し座標デ
ータに従った１部品の画像データ（画像データ信号ａ）
の切り出しとあらかじめ１部品に関して設定した検査デ
ータ（検査結果データ信号ｄ）に基づいた検査実行を画
像内の検査対象部品２の数だけ順々に実行する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣ（集積回路）
や電子部品の製造中または製造後に、サイズ計測や捺印
不良の検査、キズや汚れ等の検出のために用いられる外
観検査技術に係り、特に１回の画像取り込みで複数の検
査対象部品を検査するとともに、画像取り込み回数およ
びカメラまたは検査対象の移動回数を減らすことで検査
の高速化を図る外観検査装置および外観検査方法に関す
る。
や電子部品の製造中または製造後に、サイズ計測や捺印
不良の検査、キズや汚れ等の検出のために用いられる外
観検査技術に係り、特に１回の画像取り込みで複数の検
査対象部品を検査するとともに、画像取り込み回数およ
びカメラまたは検査対象の移動回数を減らすことで検査
の高速化を図る外観検査装置および外観検査方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＩＣ（集積回路）や電子部品の製
造中または製造後に、サイズの計測、捺印の不良の検
査、キズや汚れ等の検出のために用いられる各種の外観
検査装置がある。外観検査装置では、検査時間を短縮す
ることにより製造リードタイムを短縮させることがで
き、また、対象部品の製造タクトや製造量に合わせるた
めに複数の検査装置を導入する場合には高速に検査でき
るほど導入しなければならない検査装置の台数が少なく
てよく、さらに設備投資費用も少なくて済むので、少し
でも高速な検査装置が望まれている。一方、検査対象部
品の画像取り込み倍率は、視野に１個の検査対象部品が
撮像できるように調整されている場合が多いが、検査対
象部品のサイズの小さい場合は複数の部品を１視野で撮
像することができる。
造中または製造後に、サイズの計測、捺印の不良の検
査、キズや汚れ等の検出のために用いられる各種の外観
検査装置がある。外観検査装置では、検査時間を短縮す
ることにより製造リードタイムを短縮させることがで
き、また、対象部品の製造タクトや製造量に合わせるた
めに複数の検査装置を導入する場合には高速に検査でき
るほど導入しなければならない検査装置の台数が少なく
てよく、さらに設備投資費用も少なくて済むので、少し
でも高速な検査装置が望まれている。一方、検査対象部
品の画像取り込み倍率は、視野に１個の検査対象部品が
撮像できるように調整されている場合が多いが、検査対
象部品のサイズの小さい場合は複数の部品を１視野で撮
像することができる。
【０００３】このような高速処理が達成できる従来技術
としては、例えば、特開平８−３１３２２８号公報に記
載のものがある。すなわち、従来技術は、半導体装置を
案内するレールと、レール上に半導体装置を位置決めさ
せるストッパと、レールの一側に配置され位置決めされ
た半導体装置のリード列を検出するカメラと、カメラに
よる映像を映し出す表示装置と、表示装置の画面の画像
を２値化処理し２値化情報からリードの座標を求めリー
ド曲がりの有無を判定する制御装置とを備えるリード外
観検査装置であって、カメラによって半導体装置のリー
ド列を分割して検出し、検出による各映像を１台の表示
装置に同時に表示し、レール上に半導体装置を位置決め
させるストッパはレールに沿って複数配設され、交互に
動作して半導体装置を位置決めするリード外観検査装置
である。このようなリード外観検査装置によれば、第１
に、リード列の分割映像は、１台の表示装置に同時に表
示されるため、画像処理は１画面だけで良く、従来のよ
うに２画面とはならず処理時間が短縮され、第２に、カ
メラおよび表示装置はともに１台となり、リード外観検
査装置の製造コスト低減が達成でき、第３に、複数のス
トッパは交互に動作して半導体装置のリード列の一部を
カメラの視野内に順次位置させるため、単一のカメラで
もリード列全体を分割して順次検出することができる。
従って、ストッパを多数配置しておき、リード数によっ
てストッパを選択動作させる構造としておけば、品種変
更に伴うリード数変更に迅速に対処できるといった効果
が開示されている。
としては、例えば、特開平８−３１３２２８号公報に記
載のものがある。すなわち、従来技術は、半導体装置を
案内するレールと、レール上に半導体装置を位置決めさ
せるストッパと、レールの一側に配置され位置決めされ
た半導体装置のリード列を検出するカメラと、カメラに
よる映像を映し出す表示装置と、表示装置の画面の画像
を２値化処理し２値化情報からリードの座標を求めリー
ド曲がりの有無を判定する制御装置とを備えるリード外
観検査装置であって、カメラによって半導体装置のリー
ド列を分割して検出し、検出による各映像を１台の表示
装置に同時に表示し、レール上に半導体装置を位置決め
させるストッパはレールに沿って複数配設され、交互に
動作して半導体装置を位置決めするリード外観検査装置
である。このようなリード外観検査装置によれば、第１
に、リード列の分割映像は、１台の表示装置に同時に表
示されるため、画像処理は１画面だけで良く、従来のよ
うに２画面とはならず処理時間が短縮され、第２に、カ
メラおよび表示装置はともに１台となり、リード外観検
査装置の製造コスト低減が達成でき、第３に、複数のス
トッパは交互に動作して半導体装置のリード列の一部を
カメラの視野内に順次位置させるため、単一のカメラで
もリード列全体を分割して順次検出することができる。
従って、ストッパを多数配置しておき、リード数によっ
てストッパを選択動作させる構造としておけば、品種変
更に伴うリード数変更に迅速に対処できるといった効果
が開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術は、検出したい不良のサイズや測定したい精度の必要
以上に倍率を上げる必要はないので適切な倍率を設定す
ることで複数の部品を１回の画像取り込みで撮像するこ
とができる場合もあるが、１回の画像取り込みで１部品
の検査しか実行することが難しいという問題点があっ
た。
術は、検出したい不良のサイズや測定したい精度の必要
以上に倍率を上げる必要はないので適切な倍率を設定す
ることで複数の部品を１回の画像取り込みで撮像するこ
とができる場合もあるが、１回の画像取り込みで１部品
の検査しか実行することが難しいという問題点があっ
た。
【０００５】本発明は斯かる問題点を鑑みてなされたも
のであり、その目的とするところは、１回の画像取り込
みで複数の検査対象部品を検査するとともに、画像取り
込み回数およびカメラまたは検査対象の移動回数を減ら
すことで検査の高速化を図る外観検査装置および外観検
査方法を提供する点にある。
のであり、その目的とするところは、１回の画像取り込
みで複数の検査対象部品を検査するとともに、画像取り
込み回数およびカメラまたは検査対象の移動回数を減ら
すことで検査の高速化を図る外観検査装置および外観検
査方法を提供する点にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明の
要旨は、１回の画像取り込みで複数の検査対象部品を検
査するとともに、画像取り込み回数およびカメラまたは
検査対象の移動回数を減らすことで検査の高速化を図る
外観検査装置であって、 １回の画像取り込みで複数の
検査対象部品が撮像できる場合に、画像取り込み後にあ
らかじめ設定した当該検査対象部品のそれぞれの切り出
し座標データに従った１部品の画像データの切り出し処
理を当該取り込んだ画像内の当該検査対象部品の数だけ
順々に実行する手段と、あらかじめ１部品に関して設定
した検査データに基づいた検査実行を前記取り込んだ画
像内の前記検査対象部品の数だけ順々に実行する手段を
有することを特徴とする外観検査装置に存する。また請
求項２に記載の発明の要旨は、１回の画像取り込みで複
数の前記検査対象部品の検査を実行する手段を有するこ
とを特徴とする請求項１に記載の外観検査装置に存す
る。また請求項３に記載の発明の要旨は、複数の前記検
査対象部品の画像を取り込んで画像データ信号を生成・
出力するＣＣＤカメラと、前記ＣＣＤカメラから出力さ
れる前記画像データ信号を受け取り、当該画像データ信
号を記憶する画像データ記憶手段と、あらかじめ取り込
み画像内における前記検査対象部品毎の切り出し座標デ
ータ信号を登録しておく切り出し座標記憶手段と、前記
切り出し座標記憶手段から前記切り出し座標データ信号
を受け取り、前記切り出し座標データ信号に従って、前
記画像データ記憶手段から前記検査対象部品の１個毎の
切り出し画像データ信号を読み出して前記切り出し画像
データ信号を出力する画像切り出し手段と、あらかじめ
前記検査対象部品の１個に関して設定された検査領域座
標や画像処理手順、判定パラメータなどの情報を含む検
査結果データ信号を記憶させておく検査データ記憶手段
と、前記検査対象部品の１個毎の前記画像データ信号で
ある前記切り出し画像データ信号を前記画像切り出し手
段から受け取り、前記検査データ記憶手段から読み出し
た検査データである前記検査結果データ信号に従って検
査を実行するとともに、当該検査の結果データである検
査結果データを出力する少なくとも１つ以上の検査実行
手段と、前記検査実行手段のそれぞれから前記検査結果
データを受け取るとともに、当該検査結果データの表示
および／または当該検査結果データの外部への出力を実
行する検査結果出力手段を有することを特徴とする請求
項１または２に記載の外観検査装置に存する。また請求
項４に記載の発明の要旨は、前記検査実行手段のそれぞ
れは、取り込み画像内の前記検査対象部品の数分だけ、
前記切り出し画像データ信号を入力し検査を実行して前
記検査結果データを出力するように構成されていること
を特徴とする請求項３に記載の外観検査装置に存する。
また請求項５に記載の発明の要旨は、１回の画像取り込
みで複数の検査対象部品を検査するとともに、画像取り
込み回数およびカメラまたは検査対象の移動回数を減ら
すことで検査の高速化を図る外観検査方法であって、
１回の画像取り込みで複数の検査対象部品が撮像できる
場合に、画像取り込み後にあらかじめ設定した当該検査
対象部品のそれぞれの切り出し座標データに従った１部
品の画像データの切り出し処理を当該取り込んだ画像内
の当該検査対象部品の数だけ順々に実行する工程と、あ
らかじめ１部品に関して設定した検査データに基づいた
検査実行を前記取り込んだ画像内の前記検査対象部品の
数だけ順々に実行する工程を有することを特徴とする外
観検査方法に存する。また請求項６に記載の発明の要旨
は、１回の画像取り込みで複数の前記検査対象部品の検
査を実行する工程を有することを特徴とする請求項５に
記載の外観検査方法に存する。また請求項７に記載の発
明の要旨は、複数の前記検査対象部品の画像を取り込ん
で画像データ信号を生成・出力するカメラ撮影工程と、
前記カメラ撮影工程から出力される前記画像データ信号
を受け取り、当該画像データ信号を記憶する画像データ
記憶工程と、あらかじめ取り込み画像内における前記検
査対象部品毎の切り出し座標データ信号を登録しておく
切り出し座標記憶工程と、前記切り出し座標記憶工程か
ら前記切り出し座標データ信号を受け取り、前記切り出
し座標データ信号に従って、前記画像データ記憶工程か
ら前記検査対象部品の１個毎の切り出し画像データ信号
を読み出して前記切り出し画像データ信号を出力する画
像切り出し工程と、あらかじめ前記検査対象部品の１個
に関して設定された検査領域座標や画像処理手順、判定
パラメータなどの情報を含む検査結果データ信号を記憶
させておく検査データ記憶工程と、前記検査対象部品の
１個毎の前記画像データ信号である前記切り出し画像デ
ータ信号を前記画像切り出し工程から受け取り、前記検
査データ記憶工程から読み出した検査データである前記
検査結果データ信号に従って検査を実行するとともに、
当該検査の結果データである検査結果データを出力する
検査実行工程と、前記検査結果データを受け取るととも
に、当該検査結果データの表示および／または当該検査
結果データの外部への出力を実行する検査結果出力工程
を有することを特徴とする請求項５または６に記載の外
観検査方法に存する。また請求項８に記載の発明の要旨
は、前記検査実行工程は、取り込み画像内の前記検査対
象部品の数分だけ、前記切り出し画像データ信号を入力
し検査を実行して前記検査結果データを出力する工程を
含むことを特徴とする請求項７に記載の外観検査方法に
存する。
要旨は、１回の画像取り込みで複数の検査対象部品を検
査するとともに、画像取り込み回数およびカメラまたは
検査対象の移動回数を減らすことで検査の高速化を図る
外観検査装置であって、 １回の画像取り込みで複数の
検査対象部品が撮像できる場合に、画像取り込み後にあ
らかじめ設定した当該検査対象部品のそれぞれの切り出
し座標データに従った１部品の画像データの切り出し処
理を当該取り込んだ画像内の当該検査対象部品の数だけ
順々に実行する手段と、あらかじめ１部品に関して設定
した検査データに基づいた検査実行を前記取り込んだ画
像内の前記検査対象部品の数だけ順々に実行する手段を
有することを特徴とする外観検査装置に存する。また請
求項２に記載の発明の要旨は、１回の画像取り込みで複
数の前記検査対象部品の検査を実行する手段を有するこ
とを特徴とする請求項１に記載の外観検査装置に存す
る。また請求項３に記載の発明の要旨は、複数の前記検
査対象部品の画像を取り込んで画像データ信号を生成・
出力するＣＣＤカメラと、前記ＣＣＤカメラから出力さ
れる前記画像データ信号を受け取り、当該画像データ信
号を記憶する画像データ記憶手段と、あらかじめ取り込
み画像内における前記検査対象部品毎の切り出し座標デ
ータ信号を登録しておく切り出し座標記憶手段と、前記
切り出し座標記憶手段から前記切り出し座標データ信号
を受け取り、前記切り出し座標データ信号に従って、前
記画像データ記憶手段から前記検査対象部品の１個毎の
切り出し画像データ信号を読み出して前記切り出し画像
データ信号を出力する画像切り出し手段と、あらかじめ
前記検査対象部品の１個に関して設定された検査領域座
標や画像処理手順、判定パラメータなどの情報を含む検
査結果データ信号を記憶させておく検査データ記憶手段
と、前記検査対象部品の１個毎の前記画像データ信号で
ある前記切り出し画像データ信号を前記画像切り出し手
段から受け取り、前記検査データ記憶手段から読み出し
た検査データである前記検査結果データ信号に従って検
査を実行するとともに、当該検査の結果データである検
査結果データを出力する少なくとも１つ以上の検査実行
手段と、前記検査実行手段のそれぞれから前記検査結果
データを受け取るとともに、当該検査結果データの表示
および／または当該検査結果データの外部への出力を実
行する検査結果出力手段を有することを特徴とする請求
項１または２に記載の外観検査装置に存する。また請求
項４に記載の発明の要旨は、前記検査実行手段のそれぞ
れは、取り込み画像内の前記検査対象部品の数分だけ、
前記切り出し画像データ信号を入力し検査を実行して前
記検査結果データを出力するように構成されていること
を特徴とする請求項３に記載の外観検査装置に存する。
また請求項５に記載の発明の要旨は、１回の画像取り込
みで複数の検査対象部品を検査するとともに、画像取り
込み回数およびカメラまたは検査対象の移動回数を減ら
すことで検査の高速化を図る外観検査方法であって、
１回の画像取り込みで複数の検査対象部品が撮像できる
場合に、画像取り込み後にあらかじめ設定した当該検査
対象部品のそれぞれの切り出し座標データに従った１部
品の画像データの切り出し処理を当該取り込んだ画像内
の当該検査対象部品の数だけ順々に実行する工程と、あ
らかじめ１部品に関して設定した検査データに基づいた
検査実行を前記取り込んだ画像内の前記検査対象部品の
数だけ順々に実行する工程を有することを特徴とする外
観検査方法に存する。また請求項６に記載の発明の要旨
は、１回の画像取り込みで複数の前記検査対象部品の検
査を実行する工程を有することを特徴とする請求項５に
記載の外観検査方法に存する。また請求項７に記載の発
明の要旨は、複数の前記検査対象部品の画像を取り込ん
で画像データ信号を生成・出力するカメラ撮影工程と、
前記カメラ撮影工程から出力される前記画像データ信号
を受け取り、当該画像データ信号を記憶する画像データ
記憶工程と、あらかじめ取り込み画像内における前記検
査対象部品毎の切り出し座標データ信号を登録しておく
切り出し座標記憶工程と、前記切り出し座標記憶工程か
ら前記切り出し座標データ信号を受け取り、前記切り出
し座標データ信号に従って、前記画像データ記憶工程か
ら前記検査対象部品の１個毎の切り出し画像データ信号
を読み出して前記切り出し画像データ信号を出力する画
像切り出し工程と、あらかじめ前記検査対象部品の１個
に関して設定された検査領域座標や画像処理手順、判定
パラメータなどの情報を含む検査結果データ信号を記憶
させておく検査データ記憶工程と、前記検査対象部品の
１個毎の前記画像データ信号である前記切り出し画像デ
ータ信号を前記画像切り出し工程から受け取り、前記検
査データ記憶工程から読み出した検査データである前記
検査結果データ信号に従って検査を実行するとともに、
当該検査の結果データである検査結果データを出力する
検査実行工程と、前記検査結果データを受け取るととも
に、当該検査結果データの表示および／または当該検査
結果データの外部への出力を実行する検査結果出力工程
を有することを特徴とする請求項５または６に記載の外
観検査方法に存する。また請求項８に記載の発明の要旨
は、前記検査実行工程は、取り込み画像内の前記検査対
象部品の数分だけ、前記切り出し画像データ信号を入力
し検査を実行して前記検査結果データを出力する工程を
含むことを特徴とする請求項７に記載の外観検査方法に
存する。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下に示す各実施の形態の特徴
は、１回の画像取り込みで複数の検査対象部品が撮像で
きる場合に、画像取り込み後にあらかじめ設定した検査
対象部品のそれぞれの切り出し座標データに従った１部
品の画像データの切り出しとあらかじめ１部品に関して
設定した検査データに基づいた検査実行を画像内の検査
対象部品の数だけ順々に実行することで、１回の画像取
り込みで複数の検査対象部品の検査を実行することがで
き、画像取り込み回数およびカメラまたは検査対象部品
の移動回数を減らすことができ、検査を高速化できるこ
とにある。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて
詳細に説明する。
は、１回の画像取り込みで複数の検査対象部品が撮像で
きる場合に、画像取り込み後にあらかじめ設定した検査
対象部品のそれぞれの切り出し座標データに従った１部
品の画像データの切り出しとあらかじめ１部品に関して
設定した検査データに基づいた検査実行を画像内の検査
対象部品の数だけ順々に実行することで、１回の画像取
り込みで複数の検査対象部品の検査を実行することがで
き、画像取り込み回数およびカメラまたは検査対象部品
の移動回数を減らすことができ、検査を高速化できるこ
とにある。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて
詳細に説明する。
【０００８】（第１の実施の形態）初めに、図面に基づ
き第１の実施形態を説明する。図１は本発明の第１の実
施の形態にかかる外観検査装置１０を説明するための機
能ブロック図である。図１において、１はＣＣＤカメ
ラ、２は検査対象部品、３は画像データ記憶手段、４は
画像切り出し手段、５は切り出し座標記憶手段、６は検
査実行手段、７は検査データ記憶手段、８は検査結果出
力手段、１０は外観検査装置、ａは画像データ信号、ｂ
は切り出し座標データ信号、ｃは切り出し画像データ信
号、ｄは検査結果データ信号、ｅは検査結果データを示
している。図１を参照すると、本実施の形態の外観検査
装置１０は、ＣＣＤカメラ１、検査対象部品２、画像デ
ータ記憶手段３、画像切り出し手段４、切り出し座標記
憶手段５、検査実行手段６、検査データ記憶手段７、検
査結果出力手段８を備えている。
き第１の実施形態を説明する。図１は本発明の第１の実
施の形態にかかる外観検査装置１０を説明するための機
能ブロック図である。図１において、１はＣＣＤカメ
ラ、２は検査対象部品、３は画像データ記憶手段、４は
画像切り出し手段、５は切り出し座標記憶手段、６は検
査実行手段、７は検査データ記憶手段、８は検査結果出
力手段、１０は外観検査装置、ａは画像データ信号、ｂ
は切り出し座標データ信号、ｃは切り出し画像データ信
号、ｄは検査結果データ信号、ｅは検査結果データを示
している。図１を参照すると、本実施の形態の外観検査
装置１０は、ＣＣＤカメラ１、検査対象部品２、画像デ
ータ記憶手段３、画像切り出し手段４、切り出し座標記
憶手段５、検査実行手段６、検査データ記憶手段７、検
査結果出力手段８を備えている。
【０００９】ＣＣＤカメラ１は、複数の検査対象部品
２，…，２の画像を取り込む。画像データ記憶手段３
は、ＣＣＤカメラ１から出力される画像データ信号ａを
受け取り、当該画像データ信号ａを記憶する。切り出し
座標記憶手段５には、あらかじめ取り込み画像内におけ
る検査対象部品２毎の切り出し座標データ信号ｂを登録
しておく。画像切り出し手段４は、切り出し座標記憶手
段５から切り出し座標データ信号ｂを受け取り、切り出
し座標データ信号ｂに従って、画像データ記憶手段３か
ら検査対象部品２の１個毎の切り出し画像データ（切り
出し画像データ信号ｃ）を読み出して検査実行手段６へ
切り出し画像データ信号ｃを出力する。検査データ記憶
手段７には、あらかじめ検査対象部品２の１個に関して
設定された検査領域座標や画像処理手順、判定パラメー
タなどの情報を含む検査データ（検査結果データ信号
ｄ）を記憶させておく。検査実行手段６は、画像データ
信号ａから検査対象部品２の１個毎の画像データである
切り出し画像データ信号ｃを受け取り、検査データ記憶
手段７から読み出した検査データ（検査結果データ信号
ｄ）に従って検査を実行するとともに、当該検査の結果
データ（検査結果データｅ）を検査結果出力手段８に出
力する。また検査実行手段６は、取り込み画像内の検査
対象部品２の数分だけ、切り出し画像データ信号ｃを入
力し検査を実行して当該検査結果（検査結果データｅ）
を出力する。検査結果出力手段８は、検査結果データｅ
を受け取り、検査結果（検査結果データｅ）を表示した
り検査結果（検査結果データｅ）を外部へ出力したりす
る。
２，…，２の画像を取り込む。画像データ記憶手段３
は、ＣＣＤカメラ１から出力される画像データ信号ａを
受け取り、当該画像データ信号ａを記憶する。切り出し
座標記憶手段５には、あらかじめ取り込み画像内におけ
る検査対象部品２毎の切り出し座標データ信号ｂを登録
しておく。画像切り出し手段４は、切り出し座標記憶手
段５から切り出し座標データ信号ｂを受け取り、切り出
し座標データ信号ｂに従って、画像データ記憶手段３か
ら検査対象部品２の１個毎の切り出し画像データ（切り
出し画像データ信号ｃ）を読み出して検査実行手段６へ
切り出し画像データ信号ｃを出力する。検査データ記憶
手段７には、あらかじめ検査対象部品２の１個に関して
設定された検査領域座標や画像処理手順、判定パラメー
タなどの情報を含む検査データ（検査結果データ信号
ｄ）を記憶させておく。検査実行手段６は、画像データ
信号ａから検査対象部品２の１個毎の画像データである
切り出し画像データ信号ｃを受け取り、検査データ記憶
手段７から読み出した検査データ（検査結果データ信号
ｄ）に従って検査を実行するとともに、当該検査の結果
データ（検査結果データｅ）を検査結果出力手段８に出
力する。また検査実行手段６は、取り込み画像内の検査
対象部品２の数分だけ、切り出し画像データ信号ｃを入
力し検査を実行して当該検査結果（検査結果データｅ）
を出力する。検査結果出力手段８は、検査結果データｅ
を受け取り、検査結果（検査結果データｅ）を表示した
り検査結果（検査結果データｅ）を外部へ出力したりす
る。
【００１０】次に外観検査装置１０の動作（外観検査方
法）について説明する。以下では、ＣＣＤカメラ１は複
数の検査対象部品２，…，２の画像を取り込むと想定し
て説明を進めるが、これに特に限定されることなく、固
定されたＣＣＤカメラ１の撮像エリア内に検査対象部品
２を移動させる構成や、検査対象部品２群に対してＣＣ
Ｄカメラ１が移動する構成であっても同様の作用効果を
有する。
法）について説明する。以下では、ＣＣＤカメラ１は複
数の検査対象部品２，…，２の画像を取り込むと想定し
て説明を進めるが、これに特に限定されることなく、固
定されたＣＣＤカメラ１の撮像エリア内に検査対象部品
２を移動させる構成や、検査対象部品２群に対してＣＣ
Ｄカメラ１が移動する構成であっても同様の作用効果を
有する。
【００１１】図２に検査対象部品２がＩＣである場合の
４つの検査対象部品Ｔ１，…，Ｔ４の画像を取り込んだ
一例を示す。図２において、Ｔ１，…，Ｔ４は検査対象
部品、Ｒ１，…，Ｒ４は画像切り出し領域を示してい
る。図２を参照すると、まず最初に、ＣＣＤカメラ１と
検査対象部品２の相対的な座標を、画像取り込みの毎に
ほぼ同じになるように移動を制御する。
４つの検査対象部品Ｔ１，…，Ｔ４の画像を取り込んだ
一例を示す。図２において、Ｔ１，…，Ｔ４は検査対象
部品、Ｒ１，…，Ｒ４は画像切り出し領域を示してい
る。図２を参照すると、まず最初に、ＣＣＤカメラ１と
検査対象部品２の相対的な座標を、画像取り込みの毎に
ほぼ同じになるように移動を制御する。
【００１２】続いて、画像データ記憶手段３は、ＣＣＤ
カメラ１から出力される画像データ信号ａを受け取り、
画像データ（画像データ信号ａ）を記憶する。画像切り
出し手段４は、切り出し座標記憶手段５に記憶されてい
る検査対象部品２毎の取り込み画像内の切り出し座標デ
ータである切り出し座標データ信号ｂを受け取り、当該
切り出し座標データ信号ｂに従って画像データ記憶手段
３から切り出し画像データ信号ｃを読み出して検査実行
手段６へ切り出し画像データ信号ｃを出力する。
カメラ１から出力される画像データ信号ａを受け取り、
画像データ（画像データ信号ａ）を記憶する。画像切り
出し手段４は、切り出し座標記憶手段５に記憶されてい
る検査対象部品２毎の取り込み画像内の切り出し座標デ
ータである切り出し座標データ信号ｂを受け取り、当該
切り出し座標データ信号ｂに従って画像データ記憶手段
３から切り出し画像データ信号ｃを読み出して検査実行
手段６へ切り出し画像データ信号ｃを出力する。
【００１３】図２に示す例では、切り出し座標記憶手段
５にあらかじめ切り出し座標データとして、画像切り出
し領域Ｒ１，…，Ｒ４の座標データを登録しておく。画
像切り出し手段４は、まず画像切り出し領域Ｒ１に相当
する座標の画像データ（画像データ信号ａ）を画像デー
タ記憶手段３から読み出して検査実行手段６に出力す
る。
５にあらかじめ切り出し座標データとして、画像切り出
し領域Ｒ１，…，Ｒ４の座標データを登録しておく。画
像切り出し手段４は、まず画像切り出し領域Ｒ１に相当
する座標の画像データ（画像データ信号ａ）を画像デー
タ記憶手段３から読み出して検査実行手段６に出力す
る。
【００１４】検査データ記憶手段７には、あらかじめ検
査対象部品２の１個に関して設定された検査領域座標や
画像処理手順、判定パラメータなどの情報を含む検査デ
ータ（検査結果データ信号ｄ）を記憶させておく。
査対象部品２の１個に関して設定された検査領域座標や
画像処理手順、判定パラメータなどの情報を含む検査デ
ータ（検査結果データ信号ｄ）を記憶させておく。
【００１５】検査実行手段６は、検査データ記憶手段７
から読み出した検査データ（検査結果データ信号ｄ）に
従って、画像切り出し領域Ｒ１に相当する座標の画像デ
ータ（画像データ信号ａ）の検査を実行し検査結果デー
タ信号ｄを検査結果出力手段８に出力する。
から読み出した検査データ（検査結果データ信号ｄ）に
従って、画像切り出し領域Ｒ１に相当する座標の画像デ
ータ（画像データ信号ａ）の検査を実行し検査結果デー
タ信号ｄを検査結果出力手段８に出力する。
【００１６】続いて、画像切り出し手段４は、画像切り
出し領域Ｒ２に相当する座標の画像データ（画像データ
信号ａ）を画像データ記憶手段３から読み出して検査実
行手段６に出力する。この処理を画像切り出し領域の数
分だけ実行する。なお、画像切り出し手段４が複数の切
り出し領域に相当する座標の画像データ（画像データ信
号ａ）を検査実行手段６に出力するタイミングとして
は、前の切り出し領域の検査が終了する毎に出力する方
法、始めに取り込み画像内全ての切り出し領域の画像デ
ータ（画像データ信号ａ）を出力して検査実行手段６内
に記憶させておく方法、検査実行手段６が１つの切り出
し領域の検査を実行している時に次の切り出し領域の画
像を出力し検査実行手段６内に記憶させておく方法など
が考えられるが、本実施の形態ではタイミングを制限す
るものではなく、いずれの方法も適用できる。
出し領域Ｒ２に相当する座標の画像データ（画像データ
信号ａ）を画像データ記憶手段３から読み出して検査実
行手段６に出力する。この処理を画像切り出し領域の数
分だけ実行する。なお、画像切り出し手段４が複数の切
り出し領域に相当する座標の画像データ（画像データ信
号ａ）を検査実行手段６に出力するタイミングとして
は、前の切り出し領域の検査が終了する毎に出力する方
法、始めに取り込み画像内全ての切り出し領域の画像デ
ータ（画像データ信号ａ）を出力して検査実行手段６内
に記憶させておく方法、検査実行手段６が１つの切り出
し領域の検査を実行している時に次の切り出し領域の画
像を出力し検査実行手段６内に記憶させておく方法など
が考えられるが、本実施の形態ではタイミングを制限す
るものではなく、いずれの方法も適用できる。
【００１７】検査結果出力手段８は、検査結果データ信
号ｄを受け取って検査結果（検査結果データｅ）を表示
したり、検査結果（検査結果データｅ）を外部へ出力す
る。検査結果（検査結果データｅ）は、１つの検査対象
部品２の検査が終わる毎に出力してもよいし、また取り
込み画像内の複数の検査対象部品２，…，２の検査結果
（検査結果データｅ）をまとめて出力してもよい。
号ｄを受け取って検査結果（検査結果データｅ）を表示
したり、検査結果（検査結果データｅ）を外部へ出力す
る。検査結果（検査結果データｅ）は、１つの検査対象
部品２の検査が終わる毎に出力してもよいし、また取り
込み画像内の複数の検査対象部品２，…，２の検査結果
（検査結果データｅ）をまとめて出力してもよい。
【００１８】図６は従来技術の外観検査装置１００を説
明するためのブロック図である。図６を参照すると、従
来の外観検査装置１００において、図６に示すようにＣ
ＣＤカメラ１０１は、検査対象部品１０２の画像を取り
込み、画像データ記憶手段１０３に記憶する。検査実行
手段１０４は、画像データ記憶手段１０３の画像データ
（画像データ信号ａ）を読み出して、あらかじめ検査対
象部品１０２に関して設定された検査領域座標や画像処
理手順、判定パラメータなどの検査情報に従って、検査
を実行し検査結果データｅを検査結果出力手段１０５に
出力する。検査結果出力手段１０５は、検査結果（検査
結果データｅ）を表示したり、検査結果（検査結果デー
タｅ）を外部へ出力する。従って、複数の検査対象部品
１０２，…，１０２の検査を行うためには、１つの検査
対象部品１０２の上へ移動して画像を取り込み、その部
品に関する検査を行った後、次の検査対象部品１０２の
上へ移動して画像取り込みと検査を行う動作を繰り返す
ことになり、検査対象部品１０２の数分だけ画像取り込
みと移動を行わなければならない。
明するためのブロック図である。図６を参照すると、従
来の外観検査装置１００において、図６に示すようにＣ
ＣＤカメラ１０１は、検査対象部品１０２の画像を取り
込み、画像データ記憶手段１０３に記憶する。検査実行
手段１０４は、画像データ記憶手段１０３の画像データ
（画像データ信号ａ）を読み出して、あらかじめ検査対
象部品１０２に関して設定された検査領域座標や画像処
理手順、判定パラメータなどの検査情報に従って、検査
を実行し検査結果データｅを検査結果出力手段１０５に
出力する。検査結果出力手段１０５は、検査結果（検査
結果データｅ）を表示したり、検査結果（検査結果デー
タｅ）を外部へ出力する。従って、複数の検査対象部品
１０２，…，１０２の検査を行うためには、１つの検査
対象部品１０２の上へ移動して画像を取り込み、その部
品に関する検査を行った後、次の検査対象部品１０２の
上へ移動して画像取り込みと検査を行う動作を繰り返す
ことになり、検査対象部品１０２の数分だけ画像取り込
みと移動を行わなければならない。
【００１９】次に、図３，４を用いて本発明の有効性を
説明する。図３，４では、検査対象部品２が８個あり、
ＣＣＤカメラ１の視野に４個の検査対象部品２が撮像さ
れるケースを想定して説明を進める。図３は、本実施の
形態において、１回目の画像取り込みの後、視野内の４
つの部品について順々に検査を行うとともに、次の検査
位置への移動および画像取り込みを並行して行った場合
のタイミングチャートである。図３を参照すると、本実
施の形態では、１回の画像取り込みで４個の検査対象部
品２の検査を行うので、８個の検査対象部品２では、画
像取り込みは２回で、移動は１回でよい。また、本発明
では１部品の検査実行時間が次の画面へ移動するよりも
短い場合であって１回の移動時間内に複数の検査実行を
行うことができるので、高速化の効果が大きいことがわ
かる。
説明する。図３，４では、検査対象部品２が８個あり、
ＣＣＤカメラ１の視野に４個の検査対象部品２が撮像さ
れるケースを想定して説明を進める。図３は、本実施の
形態において、１回目の画像取り込みの後、視野内の４
つの部品について順々に検査を行うとともに、次の検査
位置への移動および画像取り込みを並行して行った場合
のタイミングチャートである。図３を参照すると、本実
施の形態では、１回の画像取り込みで４個の検査対象部
品２の検査を行うので、８個の検査対象部品２では、画
像取り込みは２回で、移動は１回でよい。また、本発明
では１部品の検査実行時間が次の画面へ移動するよりも
短い場合であって１回の移動時間内に複数の検査実行を
行うことができるので、高速化の効果が大きいことがわ
かる。
【００２０】図４は、従来の一般的な外観検査方法にお
いて、１回目の画像取り込みの後、１個の検査対象部品
２に関する検査を実行するとともに、次の検査対象部品
２の位置へ移動および画像取り込みを並行して行った場
合のタイミングチャートである。図４を参照すると、従
来の一般的な外観検査方法では、１回の画像取り込みで
１個の検査対象部品２の検査を行うので、８個の検査対
象部品２では、８回の画像取り込みと７回の移動を行う
必要がある。また、検査時間よりも移動時間のほうが長
い場合は、検査時間を短縮させても図４に示すように移
動時間内に１回の検査実行しか行うことができないため
にトータル短縮される時間は、最後の部品の検査時間の
短縮時間のみである。
いて、１回目の画像取り込みの後、１個の検査対象部品
２に関する検査を実行するとともに、次の検査対象部品
２の位置へ移動および画像取り込みを並行して行った場
合のタイミングチャートである。図４を参照すると、従
来の一般的な外観検査方法では、１回の画像取り込みで
１個の検査対象部品２の検査を行うので、８個の検査対
象部品２では、８回の画像取り込みと７回の移動を行う
必要がある。また、検査時間よりも移動時間のほうが長
い場合は、検査時間を短縮させても図４に示すように移
動時間内に１回の検査実行しか行うことができないため
にトータル短縮される時間は、最後の部品の検査時間の
短縮時間のみである。
【００２１】本発明では、画像取り込み回数と移動回数
が少なくてよいので、従来の方法よりも短時間で全ての
検査を行うことができるとともに、特に検査実行時間が
移動時間よりも短い場合は移動と並行して検査実行でき
る部品の数が多くなるのでより短時間で検査を完了させ
ることができることがわかる。また、本発明の外観検査
装置１０では、１視野内で撮像された複数の検査対象部
品２，…，２に関して検査を行うが、切り出し画像に対
して同じ検査データ（検査結果データ信号ｄ）により検
査を実行するので、視野内の複数の検査対象部品２，
…，２全てに対して同じ基準で検査を行うことができ
る。検査データ（検査結果データ信号ｄ）としては１部
品分しか設定しておく必要がなく、１視野で１部品の検
査を行う場合と検査データ（検査結果データ信号ｄ）の
サイズや設定の時間もほとんど増加しないという特長が
ある。
が少なくてよいので、従来の方法よりも短時間で全ての
検査を行うことができるとともに、特に検査実行時間が
移動時間よりも短い場合は移動と並行して検査実行でき
る部品の数が多くなるのでより短時間で検査を完了させ
ることができることがわかる。また、本発明の外観検査
装置１０では、１視野内で撮像された複数の検査対象部
品２，…，２に関して検査を行うが、切り出し画像に対
して同じ検査データ（検査結果データ信号ｄ）により検
査を実行するので、視野内の複数の検査対象部品２，
…，２全てに対して同じ基準で検査を行うことができ
る。検査データ（検査結果データ信号ｄ）としては１部
品分しか設定しておく必要がなく、１視野で１部品の検
査を行う場合と検査データ（検査結果データ信号ｄ）の
サイズや設定の時間もほとんど増加しないという特長が
ある。
【００２２】一方、１視野内で複数の部品検査を行う場
合、視野内の複数検査対象部品２に相当する座標に複数
の検査対象部品２，…，２の数分だけ検査データ（検査
結果データ信号ｄ）を作成しておき、個々の検査対象部
品２の画像切り出しを行わない方法も考えられるが、検
査データ（検査結果データ信号ｄ）を視野内の検査対象
部品２の数分設定しておかなければならないので、本発
明の方式に比べ検査データ（検査結果データ信号ｄ）の
作成に時間がかかる、検査データ（検査結果データ信号
ｄ）の容量が大きくなる、検査データ（検査結果データ
信号ｄ）の作成時の人為的なミスによりそれぞれの検査
対象部品２に対し異なる基準で検査を行ってしまい誤判
定してしまう可能性があるという問題点がある。
合、視野内の複数検査対象部品２に相当する座標に複数
の検査対象部品２，…，２の数分だけ検査データ（検査
結果データ信号ｄ）を作成しておき、個々の検査対象部
品２の画像切り出しを行わない方法も考えられるが、検
査データ（検査結果データ信号ｄ）を視野内の検査対象
部品２の数分設定しておかなければならないので、本発
明の方式に比べ検査データ（検査結果データ信号ｄ）の
作成に時間がかかる、検査データ（検査結果データ信号
ｄ）の容量が大きくなる、検査データ（検査結果データ
信号ｄ）の作成時の人為的なミスによりそれぞれの検査
対象部品２に対し異なる基準で検査を行ってしまい誤判
定してしまう可能性があるという問題点がある。
【００２３】以上説明したように第１の実施の形態によ
れば、以下に掲げる効果を奏する。まず第１の効果は、
画像取り込み回数と移動回数が少なくてよいので、従来
の方法よりも短時間で全ての検査を行うことができると
ともに、特に検査実行時間が移動時間よりも短い場合は
移動と並行して検査実行できる部品の数が多くなるの
で、より短時間で検査を完了をさせることができること
である。また第２の効果は、１視野内で撮像された複数
の検査対象部品２，…，２に関して検査を行うが、切り
出し画像に対して同じ検査データ（検査結果データ信号
ｄ）により検査を実行するので、視野内の複数の検査対
象部品２，…，２全てに対して同じ基準で検査を実行で
きることである。そして第３の効果は、検査データ（検
査結果データ信号ｄ）としては１部品分しか設定してお
く必要がなく、１視野で１部品の検査を行う場合と検査
データ（検査結果データ信号ｄ）のサイズや設定の時間
もほとんど増加しないことである。
れば、以下に掲げる効果を奏する。まず第１の効果は、
画像取り込み回数と移動回数が少なくてよいので、従来
の方法よりも短時間で全ての検査を行うことができると
ともに、特に検査実行時間が移動時間よりも短い場合は
移動と並行して検査実行できる部品の数が多くなるの
で、より短時間で検査を完了をさせることができること
である。また第２の効果は、１視野内で撮像された複数
の検査対象部品２，…，２に関して検査を行うが、切り
出し画像に対して同じ検査データ（検査結果データ信号
ｄ）により検査を実行するので、視野内の複数の検査対
象部品２，…，２全てに対して同じ基準で検査を実行で
きることである。そして第３の効果は、検査データ（検
査結果データ信号ｄ）としては１部品分しか設定してお
く必要がなく、１視野で１部品の検査を行う場合と検査
データ（検査結果データ信号ｄ）のサイズや設定の時間
もほとんど増加しないことである。
【００２４】（第２の実施の形態）次に、図面に基づき
第２の実施の形態を説明する。図５は本発明の第２の実
施の形態にかかる外観検査装置１０を説明するための機
能ブロック図である。なお、第１の実施の形態において
既に記述したものと同一の部分については、同一符号を
付し、重複した説明は省略する。図５において、６１，
６２，６３，６４は検査実行手段を示している。図５を
参照すると、本実施の形態は、画像切り出し手段４に対
して前述の検査実行手段６を複数（図５では検査実行手
段６１，６２，６３，６４の４つ）備え、検査実行手段
６１，６２，６３，６４を用いて複数の検査対象部品
２，…，２の検査実行を並列に処理することができる点
に特徴を有している。例えば、検査対象部品２が４個あ
る場合、４つの検査実行手段６（検査実行手段６１，６
２，６３，６４）は、それぞれ異なる検査対象部品２の
切り出し画像を受け取って、検査データ記憶手段７に記
憶された検査データ（検査結果データ信号ｄ）に従って
検査を実行して当該検査結果を検査結果出力手段８へ出
力する。
第２の実施の形態を説明する。図５は本発明の第２の実
施の形態にかかる外観検査装置１０を説明するための機
能ブロック図である。なお、第１の実施の形態において
既に記述したものと同一の部分については、同一符号を
付し、重複した説明は省略する。図５において、６１，
６２，６３，６４は検査実行手段を示している。図５を
参照すると、本実施の形態は、画像切り出し手段４に対
して前述の検査実行手段６を複数（図５では検査実行手
段６１，６２，６３，６４の４つ）備え、検査実行手段
６１，６２，６３，６４を用いて複数の検査対象部品
２，…，２の検査実行を並列に処理することができる点
に特徴を有している。例えば、検査対象部品２が４個あ
る場合、４つの検査実行手段６（検査実行手段６１，６
２，６３，６４）は、それぞれ異なる検査対象部品２の
切り出し画像を受け取って、検査データ記憶手段７に記
憶された検査データ（検査結果データ信号ｄ）に従って
検査を実行して当該検査結果を検査結果出力手段８へ出
力する。
【００２５】以上説明したように第２の実施の形態によ
れば、以下に掲げる効果を奏する。まず第１の効果は、
画像取り込み回数と移動回数が少なくてよいので、従来
の方法よりも短時間で全ての検査を行うことができると
ともに、特に検査実行時間が移動時間よりも短い場合は
移動と並行して検査実行できる部品の数が多くなるの
で、より短時間で検査を完了をさせることができること
である。また第２の効果は、１視野内で撮像された複数
の検査対象部品２，…，２に関して検査を行うが、切り
出し画像に対して同じ検査データ（検査結果データ信号
ｄ）により検査を実行するので、視野内の複数の検査対
象部品２，…，２全てに対して同じ基準で検査を実行で
きることである。また第３の効果は、検査データ（検査
結果データ信号ｄ）としては１部品分しか設定しておく
必要がなく、１視野で１部品の検査を行う場合と検査デ
ータ（検査結果データ信号ｄ）のサイズや設定の時間も
ほとんど増加しないことである。そして第４の効果は、
検査実行手段６が１つの場合に比べ、複数の検査実行手
段６で並列して検査を実行することができるので、視野
内の複数の全ての検査結果（検査結果データｅ）が出る
までの時間を短縮できることである。
れば、以下に掲げる効果を奏する。まず第１の効果は、
画像取り込み回数と移動回数が少なくてよいので、従来
の方法よりも短時間で全ての検査を行うことができると
ともに、特に検査実行時間が移動時間よりも短い場合は
移動と並行して検査実行できる部品の数が多くなるの
で、より短時間で検査を完了をさせることができること
である。また第２の効果は、１視野内で撮像された複数
の検査対象部品２，…，２に関して検査を行うが、切り
出し画像に対して同じ検査データ（検査結果データ信号
ｄ）により検査を実行するので、視野内の複数の検査対
象部品２，…，２全てに対して同じ基準で検査を実行で
きることである。また第３の効果は、検査データ（検査
結果データ信号ｄ）としては１部品分しか設定しておく
必要がなく、１視野で１部品の検査を行う場合と検査デ
ータ（検査結果データ信号ｄ）のサイズや設定の時間も
ほとんど増加しないことである。そして第４の効果は、
検査実行手段６が１つの場合に比べ、複数の検査実行手
段６で並列して検査を実行することができるので、視野
内の複数の全ての検査結果（検査結果データｅ）が出る
までの時間を短縮できることである。
【００２６】なお、本発明が上記各実施の形態に限定さ
れず、本発明の技術思想の範囲内において、各実施形態
は適宜変更され得ることは明らかである。また上記構成
部材の数、位置、形状等は上記実施の形態に限定され
ず、本発明を実施する上で好適な数、位置、形状等にす
ることができる。また、各図において、同一構成要素に
は同一符号を付している。
れず、本発明の技術思想の範囲内において、各実施形態
は適宜変更され得ることは明らかである。また上記構成
部材の数、位置、形状等は上記実施の形態に限定され
ず、本発明を実施する上で好適な数、位置、形状等にす
ることができる。また、各図において、同一構成要素に
は同一符号を付している。
【００２７】
【発明の効果】本発明は以上のように構成されているの
で、以下に掲げる効果を奏する。まず第１の効果は、画
像取り込み回数と移動回数が少なくてよいので、従来の
方法よりも短時間で全ての検査を行うことができるとと
もに、特に検査実行時間が移動時間よりも短い場合は移
動と並行して検査実行できる部品の数が多くなるので、
より短時間で検査を完了をさせることができることであ
る。また第２の効果は、１視野内で撮像された複数の検
査対象部品に関して検査を行うが、切り出し画像に対し
て同じ検査データにより検査を実行するので、視野内の
複数の検査対象部品全てに対して同じ基準で検査を実行
できることである。また第３の効果は、検査データとし
ては１部品分しか設定しておく必要がなく、１視野で１
部品の検査を行う場合と検査データのサイズや設定の時
間もほとんど増加しないことである。
で、以下に掲げる効果を奏する。まず第１の効果は、画
像取り込み回数と移動回数が少なくてよいので、従来の
方法よりも短時間で全ての検査を行うことができるとと
もに、特に検査実行時間が移動時間よりも短い場合は移
動と並行して検査実行できる部品の数が多くなるので、
より短時間で検査を完了をさせることができることであ
る。また第２の効果は、１視野内で撮像された複数の検
査対象部品に関して検査を行うが、切り出し画像に対し
て同じ検査データにより検査を実行するので、視野内の
複数の検査対象部品全てに対して同じ基準で検査を実行
できることである。また第３の効果は、検査データとし
ては１部品分しか設定しておく必要がなく、１視野で１
部品の検査を行う場合と検査データのサイズや設定の時
間もほとんど増加しないことである。
【図１】本発明の第１の実施の形態にかかる外観検査装
置を説明するための機能ブロック図である。
置を説明するための機能ブロック図である。
【図２】検査対象部品がＩＣである場合の４つの検査対
象部品の画像を取り込んだ一例を示している。
象部品の画像を取り込んだ一例を示している。
【図３】本発明の第１の実施の形態にかかる外観検査方
法を説明するためのシーケンス・ダイアグラムである。
法を説明するためのシーケンス・ダイアグラムである。
【図４】従来技術の外観検査方法を説明するためのシー
ケンス・ダイアグラムである。
ケンス・ダイアグラムである。
【図５】本発明の第２の実施の形態にかかる外観検査装
置を説明するための機能ブロック図である。
置を説明するための機能ブロック図である。
【図６】従来技術の外観検査装置を説明するためのブロ
ック図である。
ック図である。
１…ＣＣＤカメラ ２，Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４…検査対象部品 ３…画像データ記憶手段 ４…画像切り出し手段 ５…切り出し座標記憶手段 ６，６１，６２，６３，６４…検査実行手段 ７…検査データ記憶手段 ８…検査結果出力手段 １０，１００…外観検査装置 ａ…画像データ信号 ｂ…切り出し座標データ信号 ｃ…切り出し画像データ信号 ｄ…検査結果データ信号 ｅ…検査結果データ Ｒ１，…，Ｒ４…画像切り出し領域
Claims (8)
- 【請求項１】 １回の画像取り込みで複数の検査対象部
品を検査するとともに、画像取り込み回数およびカメラ
または検査対象の移動回数を減らすことで検査の高速化
を図る外観検査装置であって、 １回の画像取り込みで複数の検査対象部品が撮像できる
場合に、画像取り込み後にあらかじめ設定した当該検査
対象部品のそれぞれの切り出し座標データに従った１部
品の画像データの切り出し処理を当該取り込んだ画像内
の当該検査対象部品の数だけ順々に実行する手段と、 あらかじめ１部品に関して設定した検査データに基づい
た検査実行を前記取り込んだ画像内の前記検査対象部品
の数だけ順々に実行する手段を有することを特徴とする
外観検査装置。 - 【請求項２】 １回の画像取り込みで複数の前記検査対
象部品の検査を実行する手段を有することを特徴とする
請求項１に記載の外観検査装置。 - 【請求項３】 複数の前記検査対象部品の画像を取り込
んで画像データ信号を生成・出力するＣＣＤカメラと、 前記ＣＣＤカメラから出力される前記画像データ信号を
受け取り、当該画像データ信号を記憶する画像データ記
憶手段と、 あらかじめ取り込み画像内における前記検査対象部品毎
の切り出し座標データ信号を登録しておく切り出し座標
記憶手段と、 前記切り出し座標記憶手段から前記切り出し座標データ
信号を受け取り、前記切り出し座標データ信号に従っ
て、前記画像データ記憶手段から前記検査対象部品の１
個毎の切り出し画像データ信号を読み出して前記切り出
し画像データ信号を出力する画像切り出し手段と、 あらかじめ前記検査対象部品の１個に関して設定された
検査領域座標や画像処理手順、判定パラメータなどの情
報を含む検査結果データ信号を記憶させておく検査デー
タ記憶手段と、 前記検査対象部品の１個毎の前記画像データ信号である
前記切り出し画像データ信号を前記画像切り出し手段か
ら受け取り、前記検査データ記憶手段から読み出した検
査データである前記検査結果データ信号に従って検査を
実行するとともに、当該検査の結果データである検査結
果データを出力する少なくとも１つ以上の検査実行手段
と、 前記検査実行手段のそれぞれから前記検査結果データを
受け取るとともに、当該検査結果データの表示および／
または当該検査結果データの外部への出力を実行する検
査結果出力手段を有することを特徴とする請求項１また
は２に記載の外観検査装置。 - 【請求項４】 前記検査実行手段のそれぞれは、取り込
み画像内の前記検査対象部品の数分だけ、前記切り出し
画像データ信号を入力し検査を実行して前記検査結果デ
ータを出力するように構成されていることを特徴とする
請求項３に記載の外観検査装置。 - 【請求項５】 １回の画像取り込みで複数の検査対象部
品を検査するとともに、画像取り込み回数およびカメラ
または検査対象の移動回数を減らすことで検査の高速化
を図る外観検査方法であって、 １回の画像取り込みで複数の検査対象部品が撮像できる
場合に、画像取り込み後にあらかじめ設定した当該検査
対象部品のそれぞれの切り出し座標データに従った１部
品の画像データの切り出し処理を当該取り込んだ画像内
の当該検査対象部品の数だけ順々に実行する工程と、 あらかじめ１部品に関して設定した検査データに基づい
た検査実行を前記取り込んだ画像内の前記検査対象部品
の数だけ順々に実行する工程を有することを特徴とする
外観検査方法。 - 【請求項６】 １回の画像取り込みで複数の前記検査対
象部品の検査を実行する工程を有することを特徴とする
請求項５に記載の外観検査方法。 - 【請求項７】 複数の前記検査対象部品の画像を取り込
んで画像データ信号を生成・出力するカメラ撮影工程
と、 前記カメラ撮影工程から出力される前記画像データ信号
を受け取り、当該画像データ信号を記憶する画像データ
記憶工程と、 あらかじめ取り込み画像内における前記検査対象部品毎
の切り出し座標データ信号を登録しておく切り出し座標
記憶工程と、 前記切り出し座標記憶工程から前記切り出し座標データ
信号を受け取り、前記切り出し座標データ信号に従っ
て、前記画像データ記憶工程から前記検査対象部品の１
個毎の切り出し画像データ信号を読み出して前記切り出
し画像データ信号を出力する画像切り出し工程と、 あらかじめ前記検査対象部品の１個に関して設定された
検査領域座標や画像処理手順、判定パラメータなどの情
報を含む検査結果データ信号を記憶させておく検査デー
タ記憶工程と、 前記検査対象部品の１個毎の前記画像データ信号である
前記切り出し画像データ信号を前記画像切り出し工程か
ら受け取り、前記検査データ記憶工程から読み出した検
査データである前記検査結果データ信号に従って検査を
実行するとともに、当該検査の結果データである検査結
果データを出力する検査実行工程と、 前記検査結果データを受け取るとともに、当該検査結果
データの表示および／または当該検査結果データの外部
への出力を実行する検査結果出力工程を有することを特
徴とする請求項５または６に記載の外観検査方法。 - 【請求項８】 前記検査実行工程は、取り込み画像内の
前記検査対象部品の数分だけ、前記切り出し画像データ
信号を入力し検査を実行して前記検査結果データを出力
する工程を含むことを特徴とする請求項７に記載の外観
検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11138882A JP2000329536A (ja) | 1999-05-19 | 1999-05-19 | 外観検査装置および外観検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11138882A JP2000329536A (ja) | 1999-05-19 | 1999-05-19 | 外観検査装置および外観検査方法 |
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ID=15232329
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11138882A Pending JP2000329536A (ja) | 1999-05-19 | 1999-05-19 | 外観検査装置および外観検査方法 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005227931A (ja) * | 2004-02-12 | 2005-08-25 | Keyence Corp | 画像処理装置 |
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-
1999
- 1999-05-19 JP JP11138882A patent/JP2000329536A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005227931A (ja) * | 2004-02-12 | 2005-08-25 | Keyence Corp | 画像処理装置 |
| JP4521858B2 (ja) * | 2004-02-12 | 2010-08-11 | 株式会社キーエンス | 画像処理装置 |
| US7982779B2 (en) | 2004-02-12 | 2011-07-19 | Keyence Corporation | Image processing device and image processing method |
| CN113465529A (zh) * | 2021-08-31 | 2021-10-01 | 武汉飞恩微电子有限公司 | 一种基于视觉识别的芯片应变测量方法与系统 |
| CN113465529B (zh) * | 2021-08-31 | 2021-11-23 | 武汉飞恩微电子有限公司 | 一种基于视觉识别的芯片应变测量方法与系统 |
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