JPH06229941A - 画像検査装置 - Google Patents
画像検査装置Info
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- JPH06229941A JPH06229941A JP5013410A JP1341093A JPH06229941A JP H06229941 A JPH06229941 A JP H06229941A JP 5013410 A JP5013410 A JP 5013410A JP 1341093 A JP1341093 A JP 1341093A JP H06229941 A JPH06229941 A JP H06229941A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被検査物の検査面画像の画素数や解像度の選
択が容易な画像検査装置を提供する。 【構成】 被検査物の検査面を撮像する撮像装置５と、
この撮像された被検査物の画像データを順次デジタルの
画像データに変換する画像データ入力部６と、この画像
データ入力部６から出力される画像データを記憶する画
像データ記憶部７と、画像データ入力部６から出力され
る画像データに基づいて被検査物の欠陥部分を抽出する
画像処理部８と、抽出された欠陥部分とその周辺の画像
データとの特徴量から被検査物の良否を判定する演算処
理部９と、画像データ入力部６と画像データ記憶部７と
画像処理部８とを接続するとともに画像データ入力部６
から画像クロックに同期して画像データが出力される画
像データ専用バス１０と、画像データ入力部６と画像デ
ータ記憶部７と画像処理部８とを演算処理部９に接続す
るデータバス１１とにより画像検査装置を形成した。
択が容易な画像検査装置を提供する。 【構成】 被検査物の検査面を撮像する撮像装置５と、
この撮像された被検査物の画像データを順次デジタルの
画像データに変換する画像データ入力部６と、この画像
データ入力部６から出力される画像データを記憶する画
像データ記憶部７と、画像データ入力部６から出力され
る画像データに基づいて被検査物の欠陥部分を抽出する
画像処理部８と、抽出された欠陥部分とその周辺の画像
データとの特徴量から被検査物の良否を判定する演算処
理部９と、画像データ入力部６と画像データ記憶部７と
画像処理部８とを接続するとともに画像データ入力部６
から画像クロックに同期して画像データが出力される画
像データ専用バス１０と、画像データ入力部６と画像デ
ータ記憶部７と画像処理部８とを演算処理部９に接続す
るデータバス１１とにより画像検査装置を形成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、工場等の生産設備にお
いて、被検査物の検査面を撮像装置で読取り、被検査物
上の欠陥を抽出し、被検査物の良否を判定する検査技術
に係り、被検査物画像の画素数や解像度の選択が容易な
画像検査装置に関する。
いて、被検査物の検査面を撮像装置で読取り、被検査物
上の欠陥を抽出し、被検査物の良否を判定する検査技術
に係り、被検査物画像の画素数や解像度の選択が容易な
画像検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、画像検査装置は、被検査物の検
査面の画像を撮像装置で読取って欠陥部分を抽出し、被
検査物の良否を判定するようにしたものであり、被検査
物を検査する時には、特に、被検査物上の欠陥が微小で
あるため、高解像の撮像手段で被検査物の画像を撮像し
ながら、被検査物の良否の判定を実施する必要がある。
ところが、汎用の画像検査装置では、通常、512画素×5
12ライン単位での画像データしか処理できない。
査面の画像を撮像装置で読取って欠陥部分を抽出し、被
検査物の良否を判定するようにしたものであり、被検査
物を検査する時には、特に、被検査物上の欠陥が微小で
あるため、高解像の撮像手段で被検査物の画像を撮像し
ながら、被検査物の良否の判定を実施する必要がある。
ところが、汎用の画像検査装置では、通常、512画素×5
12ライン単位での画像データしか処理できない。
【０００３】このような画像処理装置の従来例として、
例えば、第７回産業における画像センシング技術シンポ
ジウム講演論文集のP145〜P150に「４−２ 画像処理装
置を用いた各種オンライン表面検査装置」というタイト
ルで開示されているもがある。この表面検査装置の具体
例を図８及び図９に示す。まず、図８は高精細度表面き
ず検査装置のシステムフロー図を示すもので、この場
合、冷間薄板材のきずをオンラインで高精細度カメラ
（1440×1440画素）１により撮像し、画像処理装置２に
より画像強調して目視検査を行うようにしている。
例えば、第７回産業における画像センシング技術シンポ
ジウム講演論文集のP145〜P150に「４−２ 画像処理装
置を用いた各種オンライン表面検査装置」というタイト
ルで開示されているもがある。この表面検査装置の具体
例を図８及び図９に示す。まず、図８は高精細度表面き
ず検査装置のシステムフロー図を示すもので、この場
合、冷間薄板材のきずをオンラインで高精細度カメラ
（1440×1440画素）１により撮像し、画像処理装置２に
より画像強調して目視検査を行うようにしている。
【０００４】また、図９は角ビレット表面きず検査装置
のシステムフロー図を示すもので、この場合、蛍光磁粉
探傷法によって角ビレット表面の磁粉模様を複数のＣＣ
Ｄカメラ３で撮像し、画像処理装置４によってオンライ
ンリアルタイムで自動きず検出を行うようにしている。
のシステムフロー図を示すもので、この場合、蛍光磁粉
探傷法によって角ビレット表面の磁粉模様を複数のＣＣ
Ｄカメラ３で撮像し、画像処理装置４によってオンライ
ンリアルタイムで自動きず検出を行うようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
画像検査装置にあっては、専用の画像処理部を設けてそ
の処理結果を出力している。この時の画像処理部は専用
のハード構成となり、検査画面領域や検査アルゴリズム
等の自由度が少なくなり、新たな種類の欠陥を検査しよ
うとすると、画像処理部のハード構成の再設計が必要と
なる。
画像検査装置にあっては、専用の画像処理部を設けてそ
の処理結果を出力している。この時の画像処理部は専用
のハード構成となり、検査画面領域や検査アルゴリズム
等の自由度が少なくなり、新たな種類の欠陥を検査しよ
うとすると、画像処理部のハード構成の再設計が必要と
なる。
【０００６】具体的には、画像データの入力部と画像処
理部とが一体であるため、処理可能な画像の大きさが限
定されてしまう。また、画像処理部と入力部が分離した
構成であったとしても、処理可能な画像サイズが限定さ
れた回路構成である。特に、一次元の撮像装置を用いた
二次元の画像処理では、大画面の画像データが入力可能
でありながら画像処理部の大きさで処理が限定されてし
まう。したがって、大画面の画像処理を実現するために
は、複数の撮像装置を用いて撮像領域を分割して画像処
理部に入力しなければならない。ところが、このような
分割処理では、撮像装置が異なるために個々の撮像装置
でばらついた画像データが画像処理部に入力され、画像
処理の結果に悪影響を与えてしまう。そのため、画像デ
ータのばらつきに影響されない画像処理のアルゴリズム
が必要となる。特に、階調画像データではその影響が大
きい。
理部とが一体であるため、処理可能な画像の大きさが限
定されてしまう。また、画像処理部と入力部が分離した
構成であったとしても、処理可能な画像サイズが限定さ
れた回路構成である。特に、一次元の撮像装置を用いた
二次元の画像処理では、大画面の画像データが入力可能
でありながら画像処理部の大きさで処理が限定されてし
まう。したがって、大画面の画像処理を実現するために
は、複数の撮像装置を用いて撮像領域を分割して画像処
理部に入力しなければならない。ところが、このような
分割処理では、撮像装置が異なるために個々の撮像装置
でばらついた画像データが画像処理部に入力され、画像
処理の結果に悪影響を与えてしまう。そのため、画像デ
ータのばらつきに影響されない画像処理のアルゴリズム
が必要となる。特に、階調画像データではその影響が大
きい。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、被検査物の検査面を撮像する撮像装置と、この撮像
装置により撮像して得られた前記被検査物の画像データ
を順次デジタルの画像データに変換処理する画像データ
入力部と、この画像データ入力部から出力される画像デ
ータを記憶する画像データ記憶部と、前記画像データ入
力部から出力される画像データに基づいて前記被検査物
の欠陥部分を抽出する画像処理部と、この画像処理部に
より抽出された欠陥部分とその周辺の画像データとの特
徴量から前記被検査物の良否を判定する演算処理部と、
前記画像データ入力部と前記画像データ記憶部と前記画
像処理部とを接続するとともに前記画像データ入力部か
ら画像クロックに同期して画像データが出力される画像
データ専用バスと、前記画像データ入力部と前記画像デ
ータ記憶部と前記画像処理部とを前記演算処理部に接続
するデータバスとにより画像検査装置を形成した。
は、被検査物の検査面を撮像する撮像装置と、この撮像
装置により撮像して得られた前記被検査物の画像データ
を順次デジタルの画像データに変換処理する画像データ
入力部と、この画像データ入力部から出力される画像デ
ータを記憶する画像データ記憶部と、前記画像データ入
力部から出力される画像データに基づいて前記被検査物
の欠陥部分を抽出する画像処理部と、この画像処理部に
より抽出された欠陥部分とその周辺の画像データとの特
徴量から前記被検査物の良否を判定する演算処理部と、
前記画像データ入力部と前記画像データ記憶部と前記画
像処理部とを接続するとともに前記画像データ入力部か
ら画像クロックに同期して画像データが出力される画像
データ専用バスと、前記画像データ入力部と前記画像デ
ータ記憶部と前記画像処理部とを前記演算処理部に接続
するデータバスとにより画像検査装置を形成した。
【０００８】請求項２記載の発明では、請求項１記載の
発明において、水平及び垂直同期信号を出力する同期信
号出力手段とその水平及び垂直同期信号と画像クロック
とに同期して画像データを画像データ専用バスに出力す
る画像データ出力手段とを画像データ入力部内に設け、
画像データ記憶部と画像処理部とで記憶及び欠陥抽出処
理される画像データの有効画像領域は前記画像クロック
と前記水平及び垂直同期信号とに同期する任意の画素数
と任意のライン数とにより形成されるものとした。
発明において、水平及び垂直同期信号を出力する同期信
号出力手段とその水平及び垂直同期信号と画像クロック
とに同期して画像データを画像データ専用バスに出力す
る画像データ出力手段とを画像データ入力部内に設け、
画像データ記憶部と画像処理部とで記憶及び欠陥抽出処
理される画像データの有効画像領域は前記画像クロック
と前記水平及び垂直同期信号とに同期する任意の画素数
と任意のライン数とにより形成されるものとした。
【０００９】請求項３記載の発明では、請求項２記載の
発明において、画像データ専用バスから画像データ記憶
部と画像処理部とに水平及び垂直同期信号と画像クロッ
クとに同期した任意有効画像領域の画像データを同時に
取り込むとともに記憶及び欠陥抽出処理を同時に実施す
る画像データ同時取込み処理手段を設け、演算処理部に
前記画像データ記憶部に記憶された画像データと前記画
像処理部で抽出された欠陥部分の位置データとを読出す
ためのデータバスを設けた。
発明において、画像データ専用バスから画像データ記憶
部と画像処理部とに水平及び垂直同期信号と画像クロッ
クとに同期した任意有効画像領域の画像データを同時に
取り込むとともに記憶及び欠陥抽出処理を同時に実施す
る画像データ同時取込み処理手段を設け、演算処理部に
前記画像データ記憶部に記憶された画像データと前記画
像処理部で抽出された欠陥部分の位置データとを読出す
ためのデータバスを設けた。
【００１０】請求項４記載の発明では、請求項３記載の
発明において、画像データ入力部に複数の撮像装置とこ
れらの撮像装置の数と同数の画像データ専用バスとを接
続し、これらの画像データ専用バスの各々に画像データ
記憶部と画像処理部とを接続した。
発明において、画像データ入力部に複数の撮像装置とこ
れらの撮像装置の数と同数の画像データ専用バスとを接
続し、これらの画像データ専用バスの各々に画像データ
記憶部と画像処理部とを接続した。
【００１１】請求項５記載の発明では、請求項３記載の
発明において、画像データ入力部に複数の撮像装置とこ
れらの撮像装置の数と同数の画像データ専用バスとを接
続し、これらの画像データ専用バスの各々に画像データ
記憶部と画像処理部と演算処理部とを接続した。
発明において、画像データ入力部に複数の撮像装置とこ
れらの撮像装置の数と同数の画像データ専用バスとを接
続し、これらの画像データ専用バスの各々に画像データ
記憶部と画像処理部と演算処理部とを接続した。
【００１２】請求項６記載の発明では、請求項５記載の
発明において、画像データ入力部に接続された各々の画
像データ専用バスに一つ以上の画像データ記憶部と一つ
以上の画像処理部とを接続した。
発明において、画像データ入力部に接続された各々の画
像データ専用バスに一つ以上の画像データ記憶部と一つ
以上の画像処理部とを接続した。
【００１３】請求項７記載の発明では、請求項５記載の
発明において、画像データ入力部に接続された各々の画
像データ専用バスに一つの画像データ記憶部と異なる欠
陥抽出処理機能を有する二つ以上の画像処理部とを接続
した。
発明において、画像データ入力部に接続された各々の画
像データ専用バスに一つの画像データ記憶部と異なる欠
陥抽出処理機能を有する二つ以上の画像処理部とを接続
した。
【００１４】
【作用】請求項１記載の発明においては、被検査物の欠
陥部分の抽出処理と画像データの記憶処理とを画像処理
部と画像データ記憶部との二つのモジュールに分離して
いるため、画像検査装置の構成に自由度をもたせるとと
もに、被検査物の欠陥部分の抽出処理を画像データの記
憶処理と並行して同時に行うことが可能となる。
陥部分の抽出処理と画像データの記憶処理とを画像処理
部と画像データ記憶部との二つのモジュールに分離して
いるため、画像検査装置の構成に自由度をもたせるとと
もに、被検査物の欠陥部分の抽出処理を画像データの記
憶処理と並行して同時に行うことが可能となる。
【００１５】請求項２記載の発明においては、水平及び
垂直同期信号と画像クロックとで同期をとって任意の位
置から画像データの記憶及び欠陥抽出処理を行うことが
可能となる。
垂直同期信号と画像クロックとで同期をとって任意の位
置から画像データの記憶及び欠陥抽出処理を行うことが
可能となる。
【００１６】請求項３記載の発明においては、画像デー
タ記憶部と画像処理部とに画像データ専用バスから水平
及び垂直同期信号と画像クロックとに同期した任意有効
画像領域の画像データを同時に取り込んで記憶及び欠陥
抽出処理を同時に行った後、データバスによって画像デ
ータ記憶部に記憶された画像データと画像処理部で抽出
された欠陥部分の位置データとを演算処理部に読出し、
この演算処理部で特徴量を計算して欠陥部分の良否判定
を行うことで、より精度の高い検査結果を得ることが可
能となる。
タ記憶部と画像処理部とに画像データ専用バスから水平
及び垂直同期信号と画像クロックとに同期した任意有効
画像領域の画像データを同時に取り込んで記憶及び欠陥
抽出処理を同時に行った後、データバスによって画像デ
ータ記憶部に記憶された画像データと画像処理部で抽出
された欠陥部分の位置データとを演算処理部に読出し、
この演算処理部で特徴量を計算して欠陥部分の良否判定
を行うことで、より精度の高い検査結果を得ることが可
能となる。
【００１７】請求項４記載の発明においては、複数の被
検査物の各々に撮像装置を配置することにより、小さな
システム構成で被検査物の欠陥部分を抽出するための同
一の検査処理を複数の被検査物に対して同時に行うこと
が可能となる。この時、演算処理部が単一であるため、
被検査物の欠陥部分の良否判定は一つの演算処理部で処
理される。
検査物の各々に撮像装置を配置することにより、小さな
システム構成で被検査物の欠陥部分を抽出するための同
一の検査処理を複数の被検査物に対して同時に行うこと
が可能となる。この時、演算処理部が単一であるため、
被検査物の欠陥部分の良否判定は一つの演算処理部で処
理される。
【００１８】請求項５記載の発明においては、複数の被
検査物の各々に撮像装置を配置することにより、被検査
物の欠陥部分を抽出するための同一の検査処理を複数の
被検査物に対して同時に行うことが可能となる。この
時、演算処理部が画像データ記憶部や画像処理部と同数
であるため、被検査物の欠陥部分の良否判定を高速で行
うことが可能となる。
検査物の各々に撮像装置を配置することにより、被検査
物の欠陥部分を抽出するための同一の検査処理を複数の
被検査物に対して同時に行うことが可能となる。この
時、演算処理部が画像データ記憶部や画像処理部と同数
であるため、被検査物の欠陥部分の良否判定を高速で行
うことが可能となる。
【００１９】請求項６記載の発明においては、同一の画
像データ専用バスに一つ以上の画像データ記憶部と画像
処理部とを接続することで、同一の撮像装置から入力さ
れた画像データを分割した異なる有効画像領域で同一の
欠陥抽出処理を同時に行うことが可能となる。
像データ専用バスに一つ以上の画像データ記憶部と画像
処理部とを接続することで、同一の撮像装置から入力さ
れた画像データを分割した異なる有効画像領域で同一の
欠陥抽出処理を同時に行うことが可能となる。
【００２０】請求項７記載の発明においては、同一の画
像データ専用バスに一つの画像データ記憶部と異なる欠
陥抽出処理機能を有する二つ以上の画像処理部とを接続
することで、同一の有効画像領域に対する種別の異なる
欠陥抽出処理を同時に行うことが可能となる。
像データ専用バスに一つの画像データ記憶部と異なる欠
陥抽出処理機能を有する二つ以上の画像処理部とを接続
することで、同一の有効画像領域に対する種別の異なる
欠陥抽出処理を同時に行うことが可能となる。
【００２１】
【実施例】本発明の第一の実施例を図１ないし図３に基
づいて説明する。本実施例の画像検査装置は、被検査物
の検査面の画像を読取り、読取られた画像データから欠
陥部分の位置を抽出するアルゴリズムを実施し、抽出さ
れた欠陥領域の画像データの特徴量を計算し、その計算
された特徴量から欠陥部分の良否判定をすることで、被
検査物画像の解像度や大きさの変更に柔軟に対応したハ
ード構成を実現し、高速な処理ともに一次元の撮像装置
を用いても2048画素×2048ライン以上の画像の処理を可
能としたものである。以下、このような画像検査装置を
具体的に説明する。この画像検査装置は、被検査物（図
示せず）の検査面を撮像する一次元又は二次元の撮像装
置５と、この撮像装置５により撮像して得られた前記被
検査物の画像データを順次デジタルの画像データに変換
処理する画像データ入力部６と、この画像データ入力部
６から出力される画像データＤを記憶する画像データ記
憶部７と、前記画像データ入力部６から出力される画像
データＤに基づいて前記被検査物の欠陥部分を抽出する
画像処理部８と、この画像処理部８により抽出された欠
陥部分とその周辺の画像データＤとの特徴量から前記被
検査物の良否を判定する演算処理部９と、前記画像デー
タ入力部６と前記画像データ記憶部７と前記画像処理部
８とを接続するとともに前記画像データ入力部６から画
像クロックＡに同期して画像データＤが出力される画像
データ専用バス１０と、前記画像データ入力部６と前記
画像データ記憶部７と前記画像処理部８とを前記演算処
理部９に接続するデータバス１１とにより形成されてい
る。
づいて説明する。本実施例の画像検査装置は、被検査物
の検査面の画像を読取り、読取られた画像データから欠
陥部分の位置を抽出するアルゴリズムを実施し、抽出さ
れた欠陥領域の画像データの特徴量を計算し、その計算
された特徴量から欠陥部分の良否判定をすることで、被
検査物画像の解像度や大きさの変更に柔軟に対応したハ
ード構成を実現し、高速な処理ともに一次元の撮像装置
を用いても2048画素×2048ライン以上の画像の処理を可
能としたものである。以下、このような画像検査装置を
具体的に説明する。この画像検査装置は、被検査物（図
示せず）の検査面を撮像する一次元又は二次元の撮像装
置５と、この撮像装置５により撮像して得られた前記被
検査物の画像データを順次デジタルの画像データに変換
処理する画像データ入力部６と、この画像データ入力部
６から出力される画像データＤを記憶する画像データ記
憶部７と、前記画像データ入力部６から出力される画像
データＤに基づいて前記被検査物の欠陥部分を抽出する
画像処理部８と、この画像処理部８により抽出された欠
陥部分とその周辺の画像データＤとの特徴量から前記被
検査物の良否を判定する演算処理部９と、前記画像デー
タ入力部６と前記画像データ記憶部７と前記画像処理部
８とを接続するとともに前記画像データ入力部６から画
像クロックＡに同期して画像データＤが出力される画像
データ専用バス１０と、前記画像データ入力部６と前記
画像データ記憶部７と前記画像処理部８とを前記演算処
理部９に接続するデータバス１１とにより形成されてい
る。
【００２２】また、前記画像データ入力部６内には、垂
直同期信号Ｂと水平同期信号Ｃとを出力する同期信号出
力手段（図示せず）と、その垂直及び水平同期信号Ｂ，
Ｃと前記画像クロックＡとに同期して画像データＤを前
記画像データ専用バス１０に出力する画像データ出力手
段（図示せず）とが設けられている。これにより、前記
画像データ記憶部８と前記画像処理部７とで記憶及び欠
陥抽出処理される画像データＤの有効画像領域Ｅは、前
記画像クロックＡと前記垂直及び水平同期信号Ｂ，Ｃと
に同期する垂直方向の任意のライン数と水平方向の任意
の画素数とにより形成される。
直同期信号Ｂと水平同期信号Ｃとを出力する同期信号出
力手段（図示せず）と、その垂直及び水平同期信号Ｂ，
Ｃと前記画像クロックＡとに同期して画像データＤを前
記画像データ専用バス１０に出力する画像データ出力手
段（図示せず）とが設けられている。これにより、前記
画像データ記憶部８と前記画像処理部７とで記憶及び欠
陥抽出処理される画像データＤの有効画像領域Ｅは、前
記画像クロックＡと前記垂直及び水平同期信号Ｂ，Ｃと
に同期する垂直方向の任意のライン数と水平方向の任意
の画素数とにより形成される。
【００２３】一方、前記画像データ記憶部７と前記画像
処理部８との各々の入力側には、図３に示すように、前
記画像データ専用バス１０から前記垂直及び水平同期信
号Ｂ，Ｃと前記画像クロックＡとに同期した任意の有効
画像領域Ｅの画像データＤを同時に取り込むとともに記
憶及び欠陥抽出処理を同時に実施する画像データ同時取
込み処理手段としての画像データ専用バス入力回路１２
が設けられている。そして、前記画像データ記憶部７
は、前記画像データ専用バス１０から前記画像データ専
用バス入力回路１２を通して画像データ記憶回路１３に
任意の有効画像領域Ｅの画像データＤを取り込んで記憶
処理を行い、その処理結果をデータバス用Ｉ／Ｆ回路１
４を通して前記データバス１１に出力する構造とされ、
前記画像処理部８は、前記画像データ専用バス１０から
前記画像データ専用バス入力回路１２を通して画像処理
回路１５に任意の有効画像領域Ｅの画像データＤを取り
込んで欠陥抽出処理を行い、その処理結果をデータバス
用Ｉ／Ｆ回路１４を通して前記データバス１１に出力す
る構造とされている。ただし、このデータバス１１に
は、前記画像データ記憶部７に記憶された画像データＤ
と前記画像処理部８で抽出された欠陥部分の位置データ
とを前記演算処理部９に読出すための専用のバスが備え
られている。
処理部８との各々の入力側には、図３に示すように、前
記画像データ専用バス１０から前記垂直及び水平同期信
号Ｂ，Ｃと前記画像クロックＡとに同期した任意の有効
画像領域Ｅの画像データＤを同時に取り込むとともに記
憶及び欠陥抽出処理を同時に実施する画像データ同時取
込み処理手段としての画像データ専用バス入力回路１２
が設けられている。そして、前記画像データ記憶部７
は、前記画像データ専用バス１０から前記画像データ専
用バス入力回路１２を通して画像データ記憶回路１３に
任意の有効画像領域Ｅの画像データＤを取り込んで記憶
処理を行い、その処理結果をデータバス用Ｉ／Ｆ回路１
４を通して前記データバス１１に出力する構造とされ、
前記画像処理部８は、前記画像データ専用バス１０から
前記画像データ専用バス入力回路１２を通して画像処理
回路１５に任意の有効画像領域Ｅの画像データＤを取り
込んで欠陥抽出処理を行い、その処理結果をデータバス
用Ｉ／Ｆ回路１４を通して前記データバス１１に出力す
る構造とされている。ただし、このデータバス１１に
は、前記画像データ記憶部７に記憶された画像データＤ
と前記画像処理部８で抽出された欠陥部分の位置データ
とを前記演算処理部９に読出すための専用のバスが備え
られている。
【００２４】このような構成において、被検査物の検査
面が撮像装置５により撮像され、この撮像して得られた
画像データが画像データ入力部６に送られる。すると、
画像データ入力部６では、送られてきた被検査物の画像
データが順次デジタルの画像データに変換され、画像ク
ロックＡと垂直及び水平同期信号Ｂ，Ｃとに同期した画
像データＤが画像データ専用バス１０に出力される。そ
して、画像データ専用バス１０から垂直及び水平同期信
号Ｂ，Ｃと画像クロックＡとに同期した任意の有効画像
領域Ｅの画像データＤが画像データ記憶部７と画像処理
部８とに同時に取り込まれて、同時に記憶及び欠陥抽出
処理が行われる。その後、抽出された欠陥部分の位置デ
ータとその周辺の画像データとが画像処理部８と画像デ
ータ記憶部７とからそれぞれ読出されてデータバス１１
を通して演算処理部９に送られ、この演算処理部９で特
徴量（画像データの分散、平均、最大、最小等）が計算
されて被検査物の良否が判定される。
面が撮像装置５により撮像され、この撮像して得られた
画像データが画像データ入力部６に送られる。すると、
画像データ入力部６では、送られてきた被検査物の画像
データが順次デジタルの画像データに変換され、画像ク
ロックＡと垂直及び水平同期信号Ｂ，Ｃとに同期した画
像データＤが画像データ専用バス１０に出力される。そ
して、画像データ専用バス１０から垂直及び水平同期信
号Ｂ，Ｃと画像クロックＡとに同期した任意の有効画像
領域Ｅの画像データＤが画像データ記憶部７と画像処理
部８とに同時に取り込まれて、同時に記憶及び欠陥抽出
処理が行われる。その後、抽出された欠陥部分の位置デ
ータとその周辺の画像データとが画像処理部８と画像デ
ータ記憶部７とからそれぞれ読出されてデータバス１１
を通して演算処理部９に送られ、この演算処理部９で特
徴量（画像データの分散、平均、最大、最小等）が計算
されて被検査物の良否が判定される。
【００２５】このように、本実施例では、画像データ入
力部６に対して画像データ記憶部７と画像処理部８とを
分離した構成とすることで、画像データ専用バス１０に
より画像データ記憶部８と画像処理部８との複数接続が
可能となるため、被検査物画像の解像度や大きさの変更
に柔軟に対応したハード構成を実現することが可能とな
る。これにより、画像検査装置の構成に自由度をもたせ
るとともに、被検査物の欠陥部分の抽出処理を画像デー
タＤの記憶処理と並行して同時に行うことが可能とな
る。しかも、水平及び垂直同期信号Ｂ，Ｃと画像クロッ
クＡとで同期をとって任意の位置から画像データＤの記
憶及び欠陥抽出処理を行うことが可能となる。また、画
像データ専用バス１０から水平及び垂直同期信号Ｂ，Ｃ
と画像クロックＡとに同期した任意有効画像領域Ｅの画
像データＤを画像データ記憶部７と画像処理部８とに同
時に取り込んで同時に記憶及び欠陥抽出処理を行い、画
像データ記憶部７に記憶された画像データＤと画像処理
部８で抽出された欠陥部分の位置データとを演算処理部
９専用のデータバス１１により読出して被検査物の欠陥
部分の良否判定を行うことで、より精度の高い検査結果
を得ることが可能となる。
力部６に対して画像データ記憶部７と画像処理部８とを
分離した構成とすることで、画像データ専用バス１０に
より画像データ記憶部８と画像処理部８との複数接続が
可能となるため、被検査物画像の解像度や大きさの変更
に柔軟に対応したハード構成を実現することが可能とな
る。これにより、画像検査装置の構成に自由度をもたせ
るとともに、被検査物の欠陥部分の抽出処理を画像デー
タＤの記憶処理と並行して同時に行うことが可能とな
る。しかも、水平及び垂直同期信号Ｂ，Ｃと画像クロッ
クＡとで同期をとって任意の位置から画像データＤの記
憶及び欠陥抽出処理を行うことが可能となる。また、画
像データ専用バス１０から水平及び垂直同期信号Ｂ，Ｃ
と画像クロックＡとに同期した任意有効画像領域Ｅの画
像データＤを画像データ記憶部７と画像処理部８とに同
時に取り込んで同時に記憶及び欠陥抽出処理を行い、画
像データ記憶部７に記憶された画像データＤと画像処理
部８で抽出された欠陥部分の位置データとを演算処理部
９専用のデータバス１１により読出して被検査物の欠陥
部分の良否判定を行うことで、より精度の高い検査結果
を得ることが可能となる。
【００２６】次に、本発明の第二の実施例を図４に基づ
いて説明する。なお、図１ないし図３において説明した
部分と同一部分については同一符号で示し、説明も省略
する。本実施例は、異なる有効画像領域Ｅで同一の欠陥
抽出を同時に行う処理アルゴリズムを実施するようにし
たもので、図４（ａ）に示すように、図１に示した一つ
画像処理部８に代えて、複数（図示例では４つ）の画像
処理部８1 〜８4 を画像データ専用バス１０とデータバ
ス１１との間に接続したものである。この場合、図４
（ｂ）に示すように、それぞれの画像処理部８1 〜８4
に画像データ専用バス１０上の画像データＤを異なる有
効画像領域Ｅ1 〜Ｅ4 に分割して取り込むことで、画像
処理部８1 〜８4 毎に異なる有効画像領域Ｅ1 〜Ｅ4 で
同一の欠陥抽出処理を同時に行うことが可能となる。こ
れにより、大画像領域の欠陥抽出処理を行うことが可能
となる。
いて説明する。なお、図１ないし図３において説明した
部分と同一部分については同一符号で示し、説明も省略
する。本実施例は、異なる有効画像領域Ｅで同一の欠陥
抽出を同時に行う処理アルゴリズムを実施するようにし
たもので、図４（ａ）に示すように、図１に示した一つ
画像処理部８に代えて、複数（図示例では４つ）の画像
処理部８1 〜８4 を画像データ専用バス１０とデータバ
ス１１との間に接続したものである。この場合、図４
（ｂ）に示すように、それぞれの画像処理部８1 〜８4
に画像データ専用バス１０上の画像データＤを異なる有
効画像領域Ｅ1 〜Ｅ4 に分割して取り込むことで、画像
処理部８1 〜８4 毎に異なる有効画像領域Ｅ1 〜Ｅ4 で
同一の欠陥抽出処理を同時に行うことが可能となる。こ
れにより、大画像領域の欠陥抽出処理を行うことが可能
となる。
【００２７】また、変形例として、図５に示すように、
画像データ専用バス１０に複数（図示例では４つ）の画
像データ記憶部７1 〜７4 と画像処理部８1 〜８4 とを
接続し、これらの画像データ記憶部７1 と画像処理部８
1 、画像データ記憶部７2 と画像処理部８2 、画像デー
タ記憶部７3 と画像処理部８3 、画像データ記憶部７4
と画像処理部８4 との各組に対応する演算処理部９1 〜
９4 と、これらの演算処理部９1 〜９4 の各々に専用の
データバス１１1 〜１１4 とを設けても同様に実施可能
である。この場合、画像データ記憶部７1 〜７4 と画像
処理部８1 〜８4 との各々の組で記憶及び欠陥抽出処理
される異なる有効画像領域Ｅ1 〜Ｅ4 の特徴量を異なる
演算処理部９1 〜９4 で計算して良否判定を行うことに
より、図４の画像検査装置と比較して、被検査物の欠陥
部分の良否判定を高速で行うことが可能となる。
画像データ専用バス１０に複数（図示例では４つ）の画
像データ記憶部７1 〜７4 と画像処理部８1 〜８4 とを
接続し、これらの画像データ記憶部７1 と画像処理部８
1 、画像データ記憶部７2 と画像処理部８2 、画像デー
タ記憶部７3 と画像処理部８3 、画像データ記憶部７4
と画像処理部８4 との各組に対応する演算処理部９1 〜
９4 と、これらの演算処理部９1 〜９4 の各々に専用の
データバス１１1 〜１１4 とを設けても同様に実施可能
である。この場合、画像データ記憶部７1 〜７4 と画像
処理部８1 〜８4 との各々の組で記憶及び欠陥抽出処理
される異なる有効画像領域Ｅ1 〜Ｅ4 の特徴量を異なる
演算処理部９1 〜９4 で計算して良否判定を行うことに
より、図４の画像検査装置と比較して、被検査物の欠陥
部分の良否判定を高速で行うことが可能となる。
【００２８】次に、本発明の第三の実施例を図６に基づ
いて説明する。なお、図１ないし図３において説明した
部分と同一部分については同一符号で示し、説明も省略
する。本実施例では、同一の有効画像領域Ｅにおいて異
なる種別の欠陥抽出を同時に行う処理アルゴリズムを実
施するようにしたもので、図６に示すように、図１に示
した一つの画像処理部８に代えて、異なる欠陥抽出処理
機能を有する複数（図示例では３つ）の画像処理部８ａ
〜８ｃを画像データ専用バス１０とデータバス１１との
間に接続したものである。この場合、画像データ専用バ
ス１０上の同一の有効画像領域Ｅの画像データＤを各々
の画像処理部８ａ〜８ｃに取り込むことで、種別の異な
る欠陥部分を同時に抽出することが可能となる。例え
ば、きず等の微細な欠陥抽出用の画像処理部８と塗装ム
ラ等の大面積の欠陥抽出用の画像処理部８とを組合せる
ことにより同時に二種類の欠陥抽出処理を行うことが可
能となる。
いて説明する。なお、図１ないし図３において説明した
部分と同一部分については同一符号で示し、説明も省略
する。本実施例では、同一の有効画像領域Ｅにおいて異
なる種別の欠陥抽出を同時に行う処理アルゴリズムを実
施するようにしたもので、図６に示すように、図１に示
した一つの画像処理部８に代えて、異なる欠陥抽出処理
機能を有する複数（図示例では３つ）の画像処理部８ａ
〜８ｃを画像データ専用バス１０とデータバス１１との
間に接続したものである。この場合、画像データ専用バ
ス１０上の同一の有効画像領域Ｅの画像データＤを各々
の画像処理部８ａ〜８ｃに取り込むことで、種別の異な
る欠陥部分を同時に抽出することが可能となる。例え
ば、きず等の微細な欠陥抽出用の画像処理部８と塗装ム
ラ等の大面積の欠陥抽出用の画像処理部８とを組合せる
ことにより同時に二種類の欠陥抽出処理を行うことが可
能となる。
【００２９】次に、本発明の第四の実施例を図７に基づ
いて説明する。なお、図１ないし図３において説明した
部分と同一部分については同一符号で示し、説明も省略
する。本実施例は、複数の被検査物に対して同一の欠陥
抽出を同時に行う処理アルゴリズムを実施するようにし
たもので、図７に示すように、図１に示したそれぞれ一
つの撮像装置５、画像データ専用バス１０、画像データ
記憶部７、画像処理部８に代えて、複数（図示例では４
つ）の撮像装置５1 〜５4 とこれらの撮像装置５1 〜５
4 の数と同数の画像データ専用バス１０1 〜１０4 とを
画像データ入力部６に接続し、前記各画像データ専用バ
ス１０1 〜１０4 に画像データ記憶部７1 〜７4 の各々
と画像処理部８1〜８4の各々とを組にして一組ずつ接続
したものである。この場合、複数の被検査物の各々に撮
像装置５1 〜５4 を配置することにより、小さなシステ
ム構成で被検査物の欠陥部分を抽出するための同一の検
査処理を複数の被検査物に対して同時に実施することが
可能となる。
いて説明する。なお、図１ないし図３において説明した
部分と同一部分については同一符号で示し、説明も省略
する。本実施例は、複数の被検査物に対して同一の欠陥
抽出を同時に行う処理アルゴリズムを実施するようにし
たもので、図７に示すように、図１に示したそれぞれ一
つの撮像装置５、画像データ専用バス１０、画像データ
記憶部７、画像処理部８に代えて、複数（図示例では４
つ）の撮像装置５1 〜５4 とこれらの撮像装置５1 〜５
4 の数と同数の画像データ専用バス１０1 〜１０4 とを
画像データ入力部６に接続し、前記各画像データ専用バ
ス１０1 〜１０4 に画像データ記憶部７1 〜７4 の各々
と画像処理部８1〜８4の各々とを組にして一組ずつ接続
したものである。この場合、複数の被検査物の各々に撮
像装置５1 〜５4 を配置することにより、小さなシステ
ム構成で被検査物の欠陥部分を抽出するための同一の検
査処理を複数の被検査物に対して同時に実施することが
可能となる。
【００３０】なお、図７に示した画像データ専用バス１
０1 〜１０4 の各々に接続された画像データ記憶部７1
〜７4 と画像処理部８1〜８4との各組に対応する演算処
理部９と、これらの演算処理部９の各々に専用のデータ
バス１１とを設けても同様に実施可能である。この場
合、演算処理部９が画像データ記憶部７や画像処理部８
の数と同数であるため、図７に示した画像検査装置に比
較して、被検査物の欠陥部分の良否判定を高速で行うこ
とが可能となる。
０1 〜１０4 の各々に接続された画像データ記憶部７1
〜７4 と画像処理部８1〜８4との各組に対応する演算処
理部９と、これらの演算処理部９の各々に専用のデータ
バス１１とを設けても同様に実施可能である。この場
合、演算処理部９が画像データ記憶部７や画像処理部８
の数と同数であるため、図７に示した画像検査装置に比
較して、被検査物の欠陥部分の良否判定を高速で行うこ
とが可能となる。
【００３１】
【発明の効果】請求項１記載の発明は、被検査物の検査
面を撮像する撮像装置と、この撮像装置により撮像して
得られた前記被検査物の画像データを順次デジタルの画
像データに変換処理する画像データ入力部と、この画像
データ入力部から出力される画像データを記憶する画像
データ記憶部と、前記画像データ入力部から出力される
画像データに基づいて前記被検査物の欠陥部分を抽出す
る画像処理部と、この画像処理部により抽出された欠陥
部分とその周辺の画像データとの特徴量から前記被検査
物の良否を判定する演算処理部と、前記画像データ入力
部と前記画像データ記憶部と前記画像処理部とを接続す
るとともに前記画像データ入力部から画像クロックに同
期して画像データが出力される画像データ専用バスと、
前記画像データ入力部と前記画像データ記憶部と前記画
像処理部とを前記演算処理部に接続するデータバスとに
より画像検査装置を形成し、被検査物の欠陥部分の抽出
処理と画像データの記憶処理とを画像データ記憶部と画
像処理部との二つのモジュールに分離するようにしたの
で、画像検査装置の構成に自由度をもたせるとともに、
被検査物の欠陥部分の抽出処理を画像データの記憶処理
と並行して同時に行うことができるものである。
面を撮像する撮像装置と、この撮像装置により撮像して
得られた前記被検査物の画像データを順次デジタルの画
像データに変換処理する画像データ入力部と、この画像
データ入力部から出力される画像データを記憶する画像
データ記憶部と、前記画像データ入力部から出力される
画像データに基づいて前記被検査物の欠陥部分を抽出す
る画像処理部と、この画像処理部により抽出された欠陥
部分とその周辺の画像データとの特徴量から前記被検査
物の良否を判定する演算処理部と、前記画像データ入力
部と前記画像データ記憶部と前記画像処理部とを接続す
るとともに前記画像データ入力部から画像クロックに同
期して画像データが出力される画像データ専用バスと、
前記画像データ入力部と前記画像データ記憶部と前記画
像処理部とを前記演算処理部に接続するデータバスとに
より画像検査装置を形成し、被検査物の欠陥部分の抽出
処理と画像データの記憶処理とを画像データ記憶部と画
像処理部との二つのモジュールに分離するようにしたの
で、画像検査装置の構成に自由度をもたせるとともに、
被検査物の欠陥部分の抽出処理を画像データの記憶処理
と並行して同時に行うことができるものである。
【００３２】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、水平及び垂直同期信号を出力する同期信号
出力手段とその水平及び垂直同期信号と画像クロックと
に同期して画像データを画像データ専用バスに出力する
画像データ出力手段とを画像データ入力部内に設け、画
像データ記憶部と画像処理部とで記憶及び欠陥抽出処理
される画像データの有効画像領域は前記画像クロックと
前記水平及び垂直同期信号とに同期する任意の画素数と
任意のライン数とにより形成されるものとしたので、水
平及び垂直同期信号と画像クロックとで同期をとって任
意の位置から画像データの記憶及び欠陥抽出処理を行う
ことができるものである。
明において、水平及び垂直同期信号を出力する同期信号
出力手段とその水平及び垂直同期信号と画像クロックと
に同期して画像データを画像データ専用バスに出力する
画像データ出力手段とを画像データ入力部内に設け、画
像データ記憶部と画像処理部とで記憶及び欠陥抽出処理
される画像データの有効画像領域は前記画像クロックと
前記水平及び垂直同期信号とに同期する任意の画素数と
任意のライン数とにより形成されるものとしたので、水
平及び垂直同期信号と画像クロックとで同期をとって任
意の位置から画像データの記憶及び欠陥抽出処理を行う
ことができるものである。
【００３３】請求項３記載の発明は、請求項２記載の発
明において、画像データ専用バスから画像データ記憶部
と画像処理部とに水平及び垂直同期信号と画像クロック
とに同期した任意有効画像領域の画像データを同時に取
り込むとともに記憶及び欠陥抽出処理を同時に実施する
画像データ同時取込み処理手段を設け、演算処理部に前
記画像データ記憶部に記憶された画像データと前記画像
処理部で抽出された欠陥部分の位置データとを読出すた
めのデータバスを設けたので、より精度の高い検査結果
を得ることができるものである。
明において、画像データ専用バスから画像データ記憶部
と画像処理部とに水平及び垂直同期信号と画像クロック
とに同期した任意有効画像領域の画像データを同時に取
り込むとともに記憶及び欠陥抽出処理を同時に実施する
画像データ同時取込み処理手段を設け、演算処理部に前
記画像データ記憶部に記憶された画像データと前記画像
処理部で抽出された欠陥部分の位置データとを読出すた
めのデータバスを設けたので、より精度の高い検査結果
を得ることができるものである。
【００３４】請求項４記載の発明は、請求項３記載の発
明において、画像データ入力部に複数の撮像装置とこれ
らの撮像装置の数と同数の画像データ専用バスとを接続
し、これらの画像データ専用バスの各々に画像データ記
憶部と画像処理部とを接続したので、複数の被検査物の
各々に撮像装置を配置することにより、小さなシステム
構成で被検査物の欠陥部分を抽出するための同一の検査
処理を複数の被検査物に対して同時に行うことができる
ものである。
明において、画像データ入力部に複数の撮像装置とこれ
らの撮像装置の数と同数の画像データ専用バスとを接続
し、これらの画像データ専用バスの各々に画像データ記
憶部と画像処理部とを接続したので、複数の被検査物の
各々に撮像装置を配置することにより、小さなシステム
構成で被検査物の欠陥部分を抽出するための同一の検査
処理を複数の被検査物に対して同時に行うことができる
ものである。
【００３５】請求項５記載の発明は、請求項３記載の発
明において、画像データ入力部に複数の撮像装置とこれ
らの撮像装置の数と同数の画像データ専用バスとを接続
し、これらの画像データ専用バスの各々に画像データ記
憶部と画像処理部と演算処理部とを接続したので、複数
の被検査物の各々に撮像装置を配置することにより、被
検査物の欠陥部分を抽出するための同一の検査処理を複
数の被検査物に対して同時に行うことができ、この時、
演算処理部が画像処理部や画像データ記憶部の数と同数
であるため、被検査物の欠陥部分の良否判定を高速で行
うことができるものである。
明において、画像データ入力部に複数の撮像装置とこれ
らの撮像装置の数と同数の画像データ専用バスとを接続
し、これらの画像データ専用バスの各々に画像データ記
憶部と画像処理部と演算処理部とを接続したので、複数
の被検査物の各々に撮像装置を配置することにより、被
検査物の欠陥部分を抽出するための同一の検査処理を複
数の被検査物に対して同時に行うことができ、この時、
演算処理部が画像処理部や画像データ記憶部の数と同数
であるため、被検査物の欠陥部分の良否判定を高速で行
うことができるものである。
【００３６】請求項６記載の発明は、請求項５記載の発
明において、画像データ入力部に接続された各々の画像
データ専用バスに一つ以上の画像データ記憶部と一つ以
上の画像処理部とを接続したので、同一の撮像装置から
入力された画像データを分割した異なる有効画像領域で
同一の欠陥抽出処理を同時に行うことができ、これによ
り、大画像領域の欠陥抽出処理を行うことができるもの
である。
明において、画像データ入力部に接続された各々の画像
データ専用バスに一つ以上の画像データ記憶部と一つ以
上の画像処理部とを接続したので、同一の撮像装置から
入力された画像データを分割した異なる有効画像領域で
同一の欠陥抽出処理を同時に行うことができ、これによ
り、大画像領域の欠陥抽出処理を行うことができるもの
である。
【００３７】請求項７記載の発明は、請求項５記載の発
明において、画像データ入力部に接続された各々の画像
データ専用バスに一つの画像データ記憶部と異なる欠陥
抽出処理機能を有する二つ以上の画像処理部とを接続し
たので、同一の画像領域に対する種別の異なる欠陥抽出
処理を同時に行うことができるものである。
明において、画像データ入力部に接続された各々の画像
データ専用バスに一つの画像データ記憶部と異なる欠陥
抽出処理機能を有する二つ以上の画像処理部とを接続し
たので、同一の画像領域に対する種別の異なる欠陥抽出
処理を同時に行うことができるものである。
【図１】本発明の第一の実施例を示すブロック図であ
る。
る。
【図２】画像データ専用バス上の各信号のタイミングチ
ャートである。
ャートである。
【図３】画像処理部と画像データ記憶部との内部構造を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
【図４】本発明の第二の実施例を示すもので、（ａ）は
単一演算処理のブロック図、（ｂ）は分割した有効画像
領域の平面図である。
単一演算処理のブロック図、（ｂ）は分割した有効画像
領域の平面図である。
【図５】その変形例を示す複数演算処理のブロック図で
ある。
ある。
【図６】本発明の第三の実施例を示すブロック図であ
る。
る。
【図７】本発明の第四の実施例を示すブロック図であ
る。
る。
【図８】従来例を示すブロック図である。
【図９】他の従来例を示すブロック図である。
５ 撮像装置 ６ 画像データ入力部 ７ 画像データ記憶部 ８ 画像処理部 ９ 演算処理部 １０ 画像データ専用バス １１ データバス Ａ 画像クロック Ｂ 垂直同期信号 Ｃ 水平同期信号 Ｄ 画像データ（デジタル） Ｅ 有効画像領域
Claims (7)
- 【請求項１】 被検査物の検査面を撮像する撮像装置
と、この撮像装置により撮像して得られた前記被検査物
の画像データを順次デジタルの画像データに変換処理す
る画像データ入力部と、この画像データ入力部から出力
される画像データを記憶する画像データ記憶部と、前記
画像データ入力部から出力される画像データに基づいて
前記被検査物の欠陥部分を抽出する画像処理部と、この
画像処理部により抽出された欠陥部分とその周辺の画像
データとの特徴量から前記被検査物の良否を判定する演
算処理部と、前記画像データ入力部と前記画像データ記
憶部と前記画像処理部とを接続するとともに前記画像デ
ータ入力部から画像クロックに同期して画像データが出
力される画像データ専用バスと、前記画像データ入力部
と前記画像データ記憶部と前記画像処理部とを前記演算
処理部に接続するデータバスとよりなることを特徴とす
る画像検査装置。 - 【請求項２】 水平及び垂直同期信号を出力する同期信
号出力手段とその水平及び垂直同期信号と画像クロック
とに同期して画像データを画像データ専用バスに出力す
る画像データ出力手段とを画像データ入力部内に設け、
画像データ記憶部と画像処理部とで記憶及び欠陥抽出処
理される画像データの有効画像領域は前記画像クロック
と前記水平及び垂直同期信号とに同期する任意の画素数
と任意のライン数とにより形成されていることを特徴と
する請求項１記載の画像検査装置。 - 【請求項３】 画像データ専用バスから画像データ記憶
部と画像処理部とに水平及び垂直同期信号と画像クロッ
クとに同期した任意有効画像領域の画像データを同時に
取り込むとともに記憶及び欠陥抽出処理を同時に実施す
る画像データ同時取込み処理手段を設け、演算処理部に
前記画像データ記憶部に記憶された画像データと前記画
像処理部で抽出された欠陥部分の位置データとを読出す
ためのデータバスを設けたことを特徴とする請求項２記
載の画像検査装置。 - 【請求項４】 画像データ入力部に複数の撮像装置とこ
れらの撮像装置の数と同数の画像データ専用バスとを接
続し、これらの画像データ専用バスの各々に画像データ
記憶部と画像処理部とを接続したことを特徴とする請求
項３記載の画像検査装置。 - 【請求項５】 画像データ入力部に複数の撮像装置とこ
れらの撮像装置の数と同数の画像データ専用バスとを接
続し、これらの画像データ専用バスの各々に画像データ
記憶部と画像処理部と演算処理部とを接続したことを特
徴とする請求項３記載の画像検査装置。 - 【請求項６】 画像データ入力部に接続された各々の画
像データ専用バスに一つ以上の画像データ記憶部と一つ
以上の画像処理部とを接続したことを特徴とする請求項
５記載の画像検査装置。 - 【請求項７】 画像データ入力部に接続された各々の画
像データ専用バスに一つの画像データ記憶部と異なる欠
陥抽出処理機能を有する二つ以上の画像処理部とを接続
したことを特徴とする請求項５記載の画像検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5013410A JPH06229941A (ja) | 1993-01-29 | 1993-01-29 | 画像検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5013410A JPH06229941A (ja) | 1993-01-29 | 1993-01-29 | 画像検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06229941A true JPH06229941A (ja) | 1994-08-19 |
Family
ID=11832368
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5013410A Pending JPH06229941A (ja) | 1993-01-29 | 1993-01-29 | 画像検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06229941A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0923317A (ja) * | 1995-07-06 | 1997-01-21 | Konica Corp | 画像処理装置 |
| JPH10302049A (ja) * | 1997-04-28 | 1998-11-13 | Kumamoto Techno Porisu Zaidan | 画像識別装置および方法および画像識別装置を備えた画像検出識別装置ならびに画像識別用プログラムを記録した媒体 |
| WO2000068882A1 (fr) * | 1999-05-10 | 2000-11-16 | Sony Corporation | Appareil et procede de traitement d'images, et robot associe |
| JP2001194322A (ja) * | 2000-01-14 | 2001-07-19 | Sharp Corp | 外観検査装置及び検査方法 |
| JP2003098098A (ja) * | 2001-09-21 | 2003-04-03 | Matsushita Electric Works Ltd | 画像処理装置および画像処理システム |
| WO2006080263A1 (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-03 | Ykk Corporation | 物品の外観検査装置 |
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| US8488199B2 (en) | 2009-12-14 | 2013-07-16 | Ricoh Company, Limited | Image output inspection system, image inspection apparatus, and computer program product |
| JP2020030145A (ja) * | 2018-08-23 | 2020-02-27 | 東京エレクトロンデバイス株式会社 | 検査装置及び検査システム |
-
1993
- 1993-01-29 JP JP5013410A patent/JPH06229941A/ja active Pending
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| JP4759810B2 (ja) * | 1999-05-10 | 2011-08-31 | ソニー株式会社 | 画像処理装置及びロボット装置並びに画像処理方法 |
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