JP2011047999A - 欠陥画素アドレス検出方法並びに検出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 安価な手段で精度高く欠陥画素のアドレスを検出することができる欠陥画素アドレス検出方法と装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 検査対象である表示パネルの一部を撮影することができる移動可能な撮影装置を用い、その撮影装置を移動させて発見された欠陥画素を撮影して、撮影された画像上で欠陥画素の位置を特定したときの当該撮影装置の移動距離と、検査対象である表示パネルにおける画素サイズ並びにその配列形態に関する情報とから、欠陥画素のアドレスを求める欠陥画素アドレス検出方法と装置を提供することによって解決する。
【選択図】 図３

Description

本発明は、液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイパネルなどの表示パネルにおける欠陥画素のアドレスを検出する欠陥画素アドレス検出方法並びに検出装置に関するものである。

液晶ディスプレイパネルなどの表示パネルにおいては、通常、セル工程の最終検査で、パネルを実際に点灯させて、欠陥画素の有無を調べる点灯検査が行われている。点灯検査は、検査対象となる表示パネルの画素が接続された信号線に対して外部より信号を供給することによって行われているが、この信号の供給方式には大別してフルコンタクト方式とショーティングバー方式の２種類がある。

フルコンタクト方式は、アクティブマトリックス基板に対応するＸ・Ｙそれぞれの信号線の電極に対して１対１で対応するように検査プローブを接触させて表示パネルを点灯させる方式であり、個々の画素を個別に点灯させることができるので、原理的には欠陥画素のアドレスを特定することが可能である。しかし、フルコンタクト方式で実際に欠陥画素のアドレスを特定するには、シグナルジェネレータで検査対象パネルの点灯制御を行いアドレスを算出することが必要であるところ、アドレス算出機能を備えたシグナルジェネレータは一般に高価であるので、フルコンタクト方式で欠陥画素のアドレスを検出するには装置が高価になるという欠点がある。

一方、ショーティングバー方式は複数の信号線の電極を接続し共通化し、一度に複数の画素に信号を供給して一括点灯させる方式であるので、欠陥画素を発見してもその欠陥画素のアドレスを特定することは、通常、非常に困難である。

ショーティングバー方式における上記欠点を解決するために、例えば特許文献１においては、検査対象である液晶パネルと対向配置されるモジュレータと呼ばれるパネルと、そのモジュレータと一定の位置関係にありモジュレータの表面を一枚の画像として捉えるＣＣＤカメラを用い、ＣＣＤカメラで撮影された画像と液晶パネルの画素アドレスとの対応関係に基づいて、欠陥画素のアドレスを検出するようにした装置が提案されている。しかし、この装置においては、感度の良いＣＣＤカメラや、表示パネルサイズのモジュレータが必要であり、検査装置を安価に構成することができないという不都合がある。

特開平９−５００１３号公報

本発明は、上記従来の点灯検査装置が有する欠点を解消するために為されたもので、高価なシグナルジェネレータやモジュレータなどの装置を必要とせず、安価な手段で精度高く欠陥画素のアドレスを検出することができる欠陥画素アドレス検出方法と欠陥画素アドレス検出装置を提供することを課題とする。

本発明者らは上記の課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、検査対象である表示パネルの一部を撮影することができる移動可能な撮影装置を用い、その撮影装置を移動させて発見された欠陥画素を撮影して、撮影された画像上で欠陥画素の位置を特定したときの当該撮影装置の移動距離と、検査対象である表示パネルにおける画素サイズ並びにその配列形態に関する情報とから、欠陥画素のアドレスを求めることができることを見出して、本発明を完成した。

すなわち、本発明は、複数の画素から構成される表示パネルにおける欠陥画素のアドレスを検出する方法であって、少なくとも、
（ア）検査対象である表示パネルを検査部にセットし、点灯させる工程、
（イ）点灯した表示パネルにおける欠陥画素の有無を検査する工程、
（ウ）欠陥画素を発見したとき、前記撮影装置を移動させて欠陥画素を撮影し、撮影された画像上で欠陥画素の位置を特定する工程、
（エ）特定された欠陥画素の画像上の位置と前記撮影装置の原点からのＸ、Ｙ軸方向の移動距離、及び、当該表示パネルにおける画素のサイズとその配列形態に関する情報に基づいて、特定された欠陥画素の表示パネルにおけるアドレスを求める工程、
を含む欠陥画素アドレス検出方法を提供することによって上記の課題を解決するものである。

また、本発明は、少なくともセットステージとプローブユニットを有し、検査対象である表示パネルを点灯させることができる検査部と、検査部にセットされた表示パネルに対して、Ｘ、Ｙ軸方向に移動可能な撮影装置と、前記撮影装置のＸ、Ｙ軸方向の移動距離を計測する計測装置と、前記撮影装置で撮影された画像を表示する表示装置と、検査対象である前記表示パネルにおける画素のサイズとその配列形態に関する情報を記憶する記憶装置と、前記表示装置に表示された画像上で欠陥画素の位置が特定されると、その欠陥画素の当該画像上での位置とその時の前記撮影装置のＸ、Ｙ軸方向の移動距離、及び、前記記憶装置に記憶されている前記表示パネルにおける画素のサイズとその配列形態に関する情報に基づいて、前記表示パネルにおける欠陥画素のアドレスを求めるようにプログラムされているアドレス演算装置とを備える欠陥画素アドレス検出装置を提供することによって、上記の課題を解決するものでもある。

本発明の欠陥画素アドレス検出方法並びに検出装置においては、移動可能な撮影装置を用いて、当該撮影装置の移動軸であるＸ、Ｙ軸と、検査対象である表示パネルにおけるＸ、Ｙ軸とのズレを補正するキャリブレーション工程又はキャリブレーション装置を設けるのが望ましい。撮影装置の移動軸であるＸ、Ｙ軸と、検査対象である表示パネルにおけるＸ、Ｙ軸とのズレは、例えば、表示パネルの２辺に設けられている都合３箇のアライメントマークを移動可能な撮影装置で撮影して、それらアライメントマークのＸ−Ｙ座標を読み取ることによって求めることができる。このようなキャリブレーション工程又はキャリブレーション装置は、検査対象である表示パネルの品種が変更された場合に行われるのが望ましい。キャリブレーション工程又はキャリブレーション装置を設けることにより、品種ごとに異なる表示パネルにおけるＸ、Ｙ軸に対する撮影装置のＸ、Ｙ移動軸の歪みを補正して、欠陥画素アドレスのより正確な検出が可能になる。

また、本発明の欠陥画素アドレス検出方法並びに検出装置においては、パネル傾き補正工程又はパネル傾き補正装置を設けるのが望ましい。検査対象である表示パネルは、新たに検査部にロードされるごとに所期の検査位置にアライメントされるものであるが、表示パネルごとに若干のズレが生じる可能性があるので、特に欠陥画素が発見されたときには、パネル傾き補正工程又はパネル傾き補正装置によって、当該表示パネルの傾きを補正するのが望ましい。パネル傾き補正工程又はパネル傾き補正装置は、例えば、表示パネルの１辺に設けられている少なくとも２箇所のアライメントマークを移動可能な撮影装置で撮影して、そのＸ−Ｙ座標を読み取り、先にキャリブレーション工程又はキャリブレーション装置で求められた対応する２箇所のアライメントマークのＸ−Ｙ座標との差を求め、この差に基づいて、キャリブレーション工程で得られたＸ軸及び／又はＹ軸座標軸のズレ量を補正することによって行われる。

さらに、本発明の欠陥画素アドレス検出方法並びに検出装置においては、色チェック工程又は色チェック装置を設けるのが望ましい。カラー表示の場合、通常、表示パネルはＲＧＢ三色の画素を規則的に配列して構成されているので、撮影装置がカラー撮影装置であれば、撮影装置で撮影された欠陥画素の周囲の画素の色を見ることによって、画像上で特定された欠陥画素の色がＲＧＢのどれであるのかを容易に判別することができる。したがって、欠陥画素の判別された色が、求められた欠陥画素のアドレスに対応する表示パネルにおける画素の色と一致しているか否かをチェックして、一致している場合には、そのアドレスを求める欠陥画素のアドレスとして採用し、一致していない場合には、そのアドレスに最も近接し、当該判別された色と同色の画素のアドレスを選択してそれを求める欠陥画素のアドレスとして採用することによって、欠陥画素アドレスの検出精度をより高めることができる。

さらに、本発明の欠陥画素アドレス検出方法並びに検出装置の望ましい態様においては、変位補正工程又は変位補正装置が設けられている。変位補正工程又は変位補正装置は、欠陥画素を発見したとき、前記撮影装置を移動させて欠陥画素と同じＸ軸及び／又はＹ軸座標上における表示パネルの画素マトリックスの辺部付近を撮影し、当該辺部付近の画素が前記撮影装置のＸ軸及び／又はＹ軸原点に対してどちらの方向に、どれだけ変位しているかを求めて、それを欠陥画素アドレスの検出に利用するものである。このように、変位補正工程又は変位補正装置が設けられている場合には、上述した色チェック工程又は色チェック装置では欠陥画素のアドレスを十分に特定できない場合であっても、欠陥画素アドレスをより正確に求めることが可能になる。

また、本発明の欠陥画素アドレス検出方法並びに検出装置の望ましい態様においては、アドレス補正工程又はアドレス補正装置が設けられている。アドレス補正工程又はアドレス補正装置は、先の欠陥画素について行われた色チェック工程又は色チェック装置による画素アドレスの補正値、又は変位補正工程又は変位補正装置による画素アドレスの補正値を記憶しておき、この補正値に基づいて、同一表示パネルにおける後続する欠陥画素の求められたアドレスを補正するものである。このアドレス補正工程又はアドレス補正装置は、撮影装置で撮影された画像上の欠陥画素の位置と、実際の表示パネル上での欠陥画素の位置とのズレの方向及び量が、同一表示パネルにおいては表示パネル上の欠陥画素の位置に関わらずほぼ同じであると見なせる場合に有効である。このアドレス補正工程又はアドレス補正装置を備える場合には、一度、色チェック工程又は変位補正工程によってアドレスの補正値を求めておくと、その後に検出される欠陥画素については色チェック工程又は変位補正工程を行う必要がなくなるという利点が得られる。

本発明の欠陥画素アドレス検出方法並びに検出装置は、フルコンタクト方式及びショーティングバー方式のいずれの点灯方式にも適用が可能であり、対象とする表示パネルも、液晶ディスプレイパネルに限られず、複数の画素から構成される表示パネルであればどのようなタイプの表示パネルも対象とすることができる。例えば、プラズマディスプレイパネル、ＥＬディスプレイパネル、ＬＥＤを用いるディスプレイパネル、ＦＥＤパネルなども表示パネルも本発明の欠陥画素アドレス検出方法並びに検出装置対象とすることができる。

本発明の欠陥画素アドレス検出方法並びに検出装置は、移動可能な撮影装置を用い、その撮影装置の移動距離と、検査対象である表示パネルにおける画素サイズ並びにその配列形態に関する情報とから、欠陥画素のアドレスを求めるものであるので、装置が簡単で、安価に製造できるとともに、欠陥画素の正確なアドレスを求めることができるという利点がある。また、キャリブレーション工程又は装置、パネル傾き補正工程又は装置、色チェック工程又は装置、又は変位補正工程又は装置を備えることによって、より精度の高い欠陥画素アドレスの検出が可能になるという利点がある。

本発明の欠陥画素アドレス検出装置の一例を示す正面図である。 図１の要部だけを示す図である。 本発明の欠陥画素アドレス検出方法の一例の手順を示すフローチャートである。 モニタ画面の一例を示す図である。 図４の部分拡大図である。 表示パネルにおける画素マトリックスを構成する多数の画素の配列形態を実物に対応させて示した配列マップを模式的に表す図である。 欠陥画素と配列マップの他の位置関係を例示する図である。 欠陥画素と配列マップのさらに他の位置関係を例示する図である。 撮影装置でＹ軸原点付近における画素マトリックスを撮影した状態を示す図である。 撮影装置でＸ軸原点付近における画素マトリックスを撮影した状態を示す図である。

以下、図面を用いて本発明を詳細に説明するが、本発明が図示のものに限られないことは勿論である。

図１は、本発明の欠陥画素アドレス検出装置の一例を示す正面図である。図１において、１は欠陥画素アドレス検出装置、２はその検査部、３はローダ部、４は検体対象である表示パネルである。本例においては、表示パネル４が液晶パネルである場合について説明をするが、本発明が対象とする表示パネル４が液晶パネルに限られないことは上述したとおりである。５ａ、５ｂは、それぞれデータ側プローブユニット及びゲート側プローブユニット、６ａ、６ｂは、それぞれデータ側プローブブロック及びデータ側プローブブロックである。図に示すとおり、データ側プローブユニット５ａ及びゲート側プローブユニット５ｂの各々には、それぞれ複数のデータ側プローブブロック６ａ及びゲート側プローブブロック６ｂが取り付けられている。７ａ、７ｂ、７ｃはアライメント用カメラ、８はモニタ画面、９は制御装置であり、制御装置９は、図示しない各種記憶装置、演算処理装置、外部との間で信号やデータの入出力を行う入出力インターフェイス、及び入出力装置を備えている。

１０は移動可能な撮影装置である。撮影装置１０としては、例えばＣＣＤカメラを使用することができる。撮影装置１０で撮影された画像は、例えばモニタ画面８に表示される。１１は撮影装置１０を移動させるための取手、１２は撮影装置１０をＸ軸に沿って移動可能に支持するＸ軸ガイド機構、１３、１３は撮影装置１０を、Ｘ軸ガイド機構１２とともに、Ｙ軸に沿って移動可能に支持するＹ軸ガイド機構である。Ｘ軸ガイド機構１２及びＹ軸ガイド機構１３、１３、若しくは撮影装置１０には、撮影装置１０のＸ軸方向及びＹ軸方向の移動距離を少なくともμｍ単位で計測できるリニアスケールが設けられており、例えば取手１１を利用して検査員が撮影装置１０をＸ、Ｙ軸方向に移動させると、そのＸ軸方向及びＹ軸方向の移動距離が計測されて、モニタ画面８上に撮影装置１０の撮影画像とともに表示されるようになっている。

撮影装置１０のＸ軸ガイド機構１２及びＹ軸ガイド機構１３、１３に沿った移動は、撮影装置１０若しくはＸ、Ｙ軸ガイド機構１２、１３に駆動機構を設けて、自走方式で行わせることも可能である。駆動機構としては例えばパルスモータを用いることができ、その場合には、パルスモータを駆動するパルス数をカウントすることによって、撮影装置１０の移動距離を計測することができる。なお、撮影装置１０を自走方式で移動させる場合には、モニタ画面８や、制御装置９に備えられている図示しない入力装置を介して、検査員が適宜その移動方向及び移動距離を指示できることは勿論である。

図２は、図１の要部だけを取り出して示した図であり、便宜上、データ側プローブユニット５ａとゲート側プローブユニット５ｂを表示パネル４からやや離れた位置に表示してある。図２に示すとおり、表示パネル４の上辺と左辺の各コーナーには、合計３個のアライメントマーク１４ａ、１４ｂ、１４ｃが設けられている。このアライメントマーク１４ａ、１４ｂ、１４ｃをアライメント用カメラ７ａ、７ｂ、７ｃで撮影しつつ、アライメントが行われることになる。

また、図２に示すように、撮影装置１０は、Ｘ軸ガイド機構１２及びＹ軸ガイド機構１３、１３に沿って、図中矢印で示す方向に移動し、表示パネル４上のどの位置へも移動可能で表示パネル４の表面を撮影することができる。撮影装置１０の移動経路は、データ側及びゲート側の各プローブブロック６ａ、６ｂや、アライメント用カメラ７ａ、７ｂ、７ｃよりも表示パネル４から離れた位置に設定されているので、プローブブロック６ａ、６ｂや、アライメント用カメラ７ａ、７ｂ、７ｃが、撮影装置１０のＸ、Ｙ軸方向の移動の妨げとなることはない。

なお、後述するとおり、本発明の欠陥画素アドレス検出装置においては、撮影装置１０でアライメントマーク１４ａ、１４ｂ、１４ｃを撮影する必要があるので、アライメント用カメラ７ａ、７ｂ、７ｃは、データ側プローブユニット５ａ又はゲート側プローブユニット５ｂに移動可能に取り付けられており、撮影装置１０でアライメントマーク１４ａ、１４ｂ、又は１４ｃを撮影する場合には、その撮影の妨げにならない位置に移動できるようになっている。また、場合によっては、アライメント用カメラ７ａ、７ｂ、７ｃのうちのいずれか１つ、若しくは２つ以上を、撮影装置１０で代用するようにしても良い。

図３は、本発明の欠陥画素アドレス検出方法の手順を示すフローチャートである。以下、図１に示す欠陥画素アドレス検出装置及び図３に示すフローチャートに基づいて、本発明の欠陥画素アドレス検出方法を説明する。

〈新品種パネルロード〉
まず、ローダ部３は、図示しない搬送装置から、例えば機械ハンドで検査対象となる表示パネル４を取り込み、ＸＹＺθ方向に移動可能なセットステージにセットして、検査部２へと搬送する。これによって、ローダ部３は表示パネル４を検査部２にロードする。図３のフローチャートにおける「新品種パネルロード」は、検査対象である表示パネル４の品種が切り変わり、新しい品種の表示パネル４が検査部２にロードされる工程を示している。

〈アライメント〉
新品種の表示パネル４が検査部２に搬送されると、次に、アライメント工程が行われる。このアライメント工程は、検査部２におけるデータ側及びゲート側のプローブブロック６ａ、６ｂの全てのプローブが、表示パネル４の全ての電極と確実に接触するように、両者の位置合わせをする工程であり、従来から行われているアライメントと何ら変わるところはない。すなわち、セットステージにセットされた表示パネル４が検査部２にロードされると、セットステージが載置されているＸＹＺθ駆動台が駆動され、データ側及びゲート側のプローブブロック６ａ、６ｂの全プローブと、表示パネル４の全電極とが確実に接触するように、表示パネル４を移動させて、表示パネル４を検査部２における所定の検査位置にアライメントする。このアライメントは、通常、アライメント用カメラ１４ａ、１４ｂ、又は１４ｃによって、アライメントマーク７ａ、７ｂ、７ｃのうち、少なくとも２個のアライメントマークを撮影し、それら少なくとも２個のアライメントマークがアライメント用カメラ１４ａ、１４ｂ、又は１４ｃの視野内の標準位置にくるように、セットステージを移動させることによって行われる。なお、このとき、図示しない顕微鏡を用いて、データ側及びゲート側のプローブブロック６ａ、６ｂの全てのプローブが、表示パネル４の全ての電極と確実に接触しているかどうかを確認するようにしても良い。

〈キャリブレーション〉
アライメント工程が終了すると、図３のフローチャートに示すようにキャリブレーション工程が行われる。このキャリブレーション工程は、撮影装置１０のＸ、Ｙ移動軸と、表示パネル４の３個のアライメントマーク１４ａ、１４ｂ、１４ｃで形成されるＸ、Ｙ軸とのズレをみる工程であり、検査対象パネルの品種が切り換えられて、新品種の表示パネル４が検査部２にロードされたときに行われる工程である。キャリブレーション工程は、検査対象パネルの品種切り換えのときだけに限らず、同一品種パネルの検査中にも必要に応じて適宜のタイミングで行っても良い。また、撮影装置１０のＸ、Ｙ移動軸と、表示パネル４の３個のアライメントマーク１４ａ、１４ｂ、１４ｃで形成されるＸ、Ｙ軸との間にズレがないと予想できる場合、或いは既に当該品種のパネルについてのキャリブレーションデータを得ている場合には、キャリブレーション工程は行わなくても良い。

キャリブレーションは移動可能な撮影装置１０で３個のアライメントマーク１４ａ、１４ｂ、１４ｃを撮影することによって行われる。すなわち、まず撮影装置１０の視野内の基準点を、表示パネル４において３個のアライメントマーク１４ａ、１４ｂ、１４ｃが設けられている２辺の交点にあるアライメントマーク１４ａの基準位置に合わせる。撮影装置１０の基準点としては、例えばその視野の中心点を基準点とすることができ、視野内の中心点は、輝度や色を変えた点や直交する十字線の交点などによって表示することができる。また、アライメントマーク１４ａの基準位置としては、例えば、アライメントマーク１４ａが十字形の図形である場合には、その中心点や、十字形図形の重心位置を基準位置とすることができる。この位置合わせは、制御装置９内に備えられている演算処理装置による画像処理とパターンマッチングによって自動的に行われる。

撮影装置１０の視野内の基準点がアライメントマーク１４ａの基準位置に一致すると、制御装置９は、その時の撮影装置１０の位置、つまり、Ｘ軸リニアスケール及びＹ軸リニアスケール又はモータのパルス数によって示される撮影装置１０の任意の点からのＸ軸及びＹ軸方向の移動距離を、撮影装置１０の原点のＸ、Ｙ座標として記憶装置に記憶する。なお、撮影装置１０の原点のＸ、Ｙ座標は、撮影装置１０の任意の点からのＸ、Ｙ軸方向の移動距離であっても良いが、撮影装置１０の視野内の基準点がアライメントマーク１４ａの基準位置に一致したときにＸ軸リニアスケール及びＹ軸リニアスケール又はモータのパルス数によって示される撮影装置１０のＸ、Ｙ軸方向の移動距離を共に「０（μｍ）」にリセットし、撮影装置１０の原点のＸ、Ｙ座標を（０，０）にするのが望ましい。

このとき、アライメントマーク１４ａの基準位置を表示パネル４の原点として選択すれば、上述のように撮影装置１０の視野内の基準点をアライメントマーク１４ａの基準位置と一致させ、その時の撮影装置１０の位置を原点とすることによって、撮影装置１０の原点を表示パネル４の原点と一致させたことになる。

なお、撮影装置１０の原点を表示パネル４の原点と一致させる作業は、キャリブレーション工程とは別に行うことも可能である。例えば、表示パネル４を構成する画素マトリックスの最も左上の画素の左上隅を表示パネル４の原点として選択する場合には、アライメントが終了した後に、或いは、後述するとおりアライメント後の点灯検査において欠陥画素が発見されたときに、撮影装置１０を移動させて、その視野内の基準点を表示パネル４の原点として選択した画素マトリックスの最も左上の画素の左上隅に一致させ、その位置を撮影装置１０の原点として設定することによって、撮影装置１０の原点を表示パネル４の原点と一致させることができる。このように、撮影装置１０の原点を表示パネル４の原点と一致させることによって、表示パネル４における特定の位置と、撮影装置１０の位置とが対応付けられるので、撮影装置１０の位置、つまり撮影装置１０のＸ、Ｙ座標は、表示パネル４のＸ、Ｙ座標と対応することになる。

上述のようにして、撮影装置１０の視野内の基準点をアライメントマーク１４ａの基準位置に一致させ、その時の撮影装置１０のＸ、Ｙ座標（ｘ１，ｙ１）を記憶した後に、撮影装置１０をさらに移動させ、その視野内の基準点を今度は表示パネル４の上辺の右隅に位置するアライメントマーク１４ｂの基準位置に一致させ、その時の撮影装置１０の原点からの移動距離、すなわち、Ｘ、Ｙ座標（ｘ２，ｙ２）を読み取る。

Ｘ軸ガイド機構１２によってガイドされる撮影装置１０のＸ軸が、アライメントマーク１４ａ及び１４ｂで構成される表示パネル４のＸ軸と一致している場合には、ｙ１＝ｙ２となる筈であるが、仮にｙ１≠ｙ２となった場合には、撮影装置１０のＸ軸と表示パネル４のＸ軸とはずれていることになり、そのズレの量は、アライメントマーク１４ａと１４ｂとの距離、すなわち、（ｘ２−ｘ１）に対して（ｙ２−ｙ１）ということになる。制御装置９は、アライメントマーク１４ｂの座標（ｘ２、ｙ２）と共に、Ｘ軸のズレ量として、この２つの値（ｘ２−ｘ１）及び（ｙ２−ｙ１）を適宜の記憶装置に記憶する。制御装置９は、（ｘ２−ｘ１）及び（ｙ２−ｙ１）の値から、撮影装置１０のＸ軸とアライメントマーク１４ａ及び１４ｂで構成される表示パネル４のＸ軸との間の角度を算出し、その角度をＸ軸のズレ量として記憶装置に記憶するようにしても良い。

同様にして、次に、撮影装置１０の基準点を表示パネル４の左辺の下隅に位置するアライメントマーク１４ｃの基準位置に一致させ、その時の撮影装置１０の原点からの移動距離、すなわち、Ｘ、Ｙ座標（ｘ３，ｙ３）を読み取る。Ｙ軸ガイド機構１３、１３によってガイドされる撮影装置１０のＹ軸が、アライメントマーク１４ａ及び１４ｃで構成される表示パネル４のＹ軸と一致している場合には、ｘ１＝ｘ３となる筈であるが、仮にｘ１≠ｘ３となった場合には、撮影装置１０のＹ軸と表示パネル４のＹ軸とはずれていることになり、そのズレの量は、アライメントマーク１４ａと１４ｃとの距離、すなわち、（ｙ３−ｙ１）に対して（ｘ３−ｘ１）ということになり、制御装置９は、アライメントマーク１４ｃの座標（ｘ３、ｙ３）と共に、Ｙ軸のズレ量として、この２つの値（ｙ３−ｙ１）及び（ｘ３−ｘ１）を適宜の記憶装置に記憶する。Ｘ軸における場合と同様に、制御装置９は、（ｙ３−ｙ１）及び（ｘ３−ｘ１）の値から、撮影装置１０のＹ軸とアライメントマーク１４ａ及び１４ｃで構成される表示パネル４のＹ軸との間の角度を算出し、その角度をＹ軸のズレ量として記憶装置に記憶するようにしても良い。

なお、以上の説明では、キャリブレーション工程は、移動可能な撮影装置１０で３個のアライメントマーク１４ａ、１４ｂ、１４ｃを撮影することによって行われたが、アライメントマーク１４ａ、１４ｂ、１４ｃに代わる目印が表示パネル４に存在する場合には、それらの目印を移動可能な撮影装置１０で撮影して、それら目印のＸ、Ｙ座標を得、表示パネル４のＸ、Ｙ座標軸と撮影装置１０のＸ、Ｙ移動軸とのズレ量を求めるようにしても良い。

〈点灯検査〉及び〈欠陥の有無〉
以上のようにして、アライメント工程及びキャリブレーション工程が終了すると、次に制御装置９は、データ側プローブブロック６ａ及びゲート側プローブブロック６ｂを介して表示パネル４の電極に信号を供給し、表示パネル４を点灯させる。点灯状態で、欠陥画素の有無が作業員による目視によって検査される。なお、欠陥画素の有無の検査は、作業員による目視検査ではなく、機械による自動検査に委ねても良い。例えば、表示パネル４の表示面をＣＣＤカメラ等で撮影し、その画像を画像処理することで、欠陥画素の有無を自動的に検査することができる。

〈パネル傾き補正〉
点灯検査において欠陥画素が発見されると、その表示パネル４がキャリブレーション工程の後に新たにアライメント工程が行われた表示パネルである場合には、パネル傾き補正工程が行われる。すなわち、キャリブレーション工程の後に行われるアライメント工程は、前述したアライメント工程と同様に、アライメント用カメラ１４ａ、１４ｂ、又は１４ｃによって、アライメントマーク７ａ、７ｂ、７ｃのうち、少なくとも２個のアライメントマークを撮影し、それら少なくとも２個のアライメントマークがアライメント用カメラ１４ａ、１４ｂ、又は１４ｃの視野内の標準位置にくるようにセットステージを移動させることによって行われるものであるが、この新たなアライメント工程によって検査位置にセットされる表示パネル４の位置は、キャリブレーション工程が行われたときの表示パネル４の位置と微妙にずれている可能性があるので、このズレを補正するために行われるのが、パネル傾き補正工程である。なお、アライメント毎に表示パネル４の位置がずれる恐れがない場合には、パネル傾き補正工程は行わなくても良い。

パネル傾き補正工程は、撮影装置１０によって、少なくとも２箇所のアライメントマークを撮影することによって行われる。すなわち、まず、撮影装置１０を移動させてアライメントマーク１４ａを撮影し、アライメントマーク１４ａの基準位置のＸ、Ｙ座標（ｘ１’，ｙ１’）を読み取り、次に、アライメントマーク１４ｂを撮影し、アライメントマーク１４ｂのＸ、Ｙ座標（ｘ２’，ｙ２’）を読み取る。初回のアライメントとそれ以降のアライメントにおいて表示パネル４の位置に変化がなければ、ｘ１’＝ｘ１、ｙ１’＝ｙ１であるとともに、ｘ２’＝ｘ２、ｙ２’＝ｙ２となる筈である。しかし、これら４つの等式のいずれかが成り立たない場合には、表示パネル４の位置にズレがあり、表示パネル４が初回のアライメント時に比べて傾いていることになるので、制御装置９は、原点のズレ量を表す（ｘ１’−ｘ１）及び（ｙ１’−ｙ１）の値と、初回アライメントからの傾き量を表す（ｘ２’−ｘ１’）及び｛（ｙ２’−ｙ２）−（ｙ１’−ｙ１）｝を、パネル傾き補正量として記憶装置に記憶する。なお、制御装置９は、原点のズレ量を表す（ｘ１’−ｘ１）及び（ｙ１’−ｙ１）の値と、（ｘ２’−ｘ１’）及び｛（ｙ２’−ｙ２）−（ｙ１’−ｙ１）｝の値から算出される、初回のアライメントと今回のアライメントにおける表示パネル４のＸ軸のズレの角度をパネル傾き補正量として記憶するようにしても良い。

なお、表示パネル４のＹ軸の傾きについても、撮影装置１０でアライメントマーク１４ｃを撮影することによって求めるようにしても良いが、表示パネル４の傾きはＸ軸もＹ軸も同じであると合理的に推測できるので、先に求めたＸ軸の傾き量又はズレの角度をＹ軸についても利用することができる。したがって、パネル傾き補正工程において、撮影装置１０によって撮影するのは、表示パネル４の同一辺上にある少なくとも２箇所のアライメントマーク１４ａ及び１４ｂか、１４ａ及び１４ｃで十分である。

なお、上述の例においては、少なくとも２箇所のアライメントマークの撮影と基準位置座標の読み取りは、いずれも移動可能な撮影装置１０を用いて行ったが、２箇所のアライメントマークの双方若しくは１箇所については、その撮影と基準位置座標の読み取りを、アライメント用カメラ７ａ、７ｂ、又は７ｃを用いて行うようにしても良い。少なくとも２箇所のアライメントマークの双方又は一方をアライメント用カメラ７ａ、７ｂ、又は７ｃを用いて撮影する場合には、その位置まで撮影装置１０を移動させる必要がないので、移動に要する時間を節約することができるという利点が得られる。

また、以上の説明では、パネル傾き補正工程は、移動可能な撮影装置１０若しくはアライメント用カメラ７ａ、７ｂ、７ｃで少なくとも２個所のアライメントマーク１４ａ、１４ｂ、又は１４ｃを撮影することによって行われたが、アライメントマーク１４ａ、１４ｂ、１４ｃに代わる目印が表示パネル４に存在し、キャリブレーション工程が、それらの目印のＸ、Ｙ座標に基づいて、表示パネル４のＸ、Ｙ座標軸と、撮影装置１０のＸ、Ｙ移動軸とのズレ量を求めることによって行われた場合には、パネル傾き補正工程においても、アライメントマーク１４ａ、１４ｂ、又は１４ｃに代えて、キャリブレーション工程で用いられたのと同じ目印のうちの少なくとも２箇所の目印を用いるようにしても良い。

〈欠陥画素へ撮影装置移動〉
パネル傾き補正が終了すると、発見した欠陥画素の位置に撮影装置１０を移動させて欠陥画素を含む表示パネル４の表面領域を撮影する。撮影装置１０の移動は検査員が例えば撮影装置１０の取手１１を持って手動で行う。撮影装置１０が、撮影装置１０若しくはＸ軸及びＹ軸ガイド機構１２、１３に備えられた駆動機構によって駆動される自走式の撮影装置である場合には、適宜の入力装置から制御装置９を介して、移動方向や移動距離を指定することによって撮影装置１０を移動させても良い。撮影された画像はモニタ画面８に表示される。モニタ画面の一例を模式的に図４に示す。

図４において８はモニタ画面であり、モニタ画面８には撮影装置１０によって撮影された画像１５が表示されている。Ｃ、Ｃ、Ｃ・・・は画素である。本例の場合、表示パネル４はカラー表示パネルであり、それを撮影する撮影装置１０もカラー撮影装置であるので、表示パネル４は、それぞれＲ（赤）、Ｇ（緑）、又はＢ（青）の色を示す画素が縦横に規則正しく整列した画素マトリックスの画像１５として表示される（図では、各画素の中央に「Ｒ」、「Ｇ」、又は「Ｂ」と表示することによって、各画素の色を示している）。Ｌｘ、Ｌｙは撮影画像の視野に表示される縦横の中心線であり、中心線Ｌｘ及びＬｙの交点Ｓが撮影視野の中心であり、撮影装置１０の基準点である。

基準点ＳのＸ、Ｙ座標、すなわち、原点からのＸ軸方向及びＹ軸方向の移動距離は、画像１５の右側に「基準位置」として表示されている。図示の例の場合、基準点ＳのＸ座標は「３３１．５２８ｍｍ」、Ｙ座標は「２１０．２２７ｍｍ」となっている。「基準位置」の上部には、「キャリブレーション」で得られたズレ量と、パネル傾き補正で得られたパネル傾き補正量とが、それぞれ、角度で示されている。図示の例の場合には、キャリブレーション工程で求められたＸ軸のズレ量は「０．５００度」、Ｙ軸のズレ量は「マイナス０．２００度」、パネル傾き補正量は「０．０４０度」である。「基準位置」に示されている基準点のＸ、Ｙ座標は、Ｘ、Ｙ軸のズレ量の補正、及び、パネル傾き補正量を考慮して補正された値であるが、補正前の値を表示するようにしても良い。

なお、基準点ＳのＸ、Ｙ座標をキャリブレーション工程で求められたＸ軸及びＹ軸のズレ量に基づいて補正する仕方は格別のものではない。例えば、回転行列や歪み行列を用いて座標変換を行う既知の数学的手法で基準点ＳのＸ、Ｙ座標を補正することができる。

パネル傾き補正量についても同様であり、パネル傾き補正量が角度で表されている場合には、その角度を単純にキャリブレーション工程で求められたＸ軸及びＹ軸のズレ量の角度に加算又は減算して、上記と同様に基準点Ｓの補正されたＸ、Ｙ座標を求めれば良い。いずれにせよ、基準点ＳのＸ、Ｙ座標を、キャリブレーション工程で求められたズレ量及びパネル傾き補正量に基づいて補正することは、純粋に数学的な問題であり、種々のやり方が考えられることは当業者には自明である。上述したやり方はその一例に過ぎず、本発明は、上述した補正の仕方に限定されるものではない。

〈欠陥画素を特定〉
図４において、基準点Ｓの右下にハッチングを付した画素Ｃｎが欠陥画素の一例を示している。検査員は画素Ｃｎが欠陥画素であると判断すると、この画素Ｃｎをモニタ画面８上で特定する。特定は、モニタ画面８上で画素Ｃｎの位置を指等でタッチするか、マウスのポインタを画素Ｃｎの場所に移動させ、その位置でクリックすることによって行うことができる。画素Ｃｎが特定されると制御装置９は、この画素ＣｎのＸ、Ｙ座標を算出する。この算出は、例えば以下のようにして行われる。

図５は図４の部分拡大図であり、画像１５における欠陥画素Ｃｎの周辺のみを拡大して示している。制御装置９は画像１５を画像処理して、欠陥画素Ｃｎの各辺のエッジ部分を認識し、その画像１５上の位置に基づいて、基準点Ｓからの各辺の距離△ｘ１、△ｘ２、△ｙ１、△ｙ２を算出する。制御装置９は、続いて、算出された値を、図４の「基準位置」に示されている基準点ＳのＸ、Ｙ座標に加算又は減算して、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に幅をもった欠陥画素位置を求め、「画素位置」としてモニタ画面８上に表示する本例において欠陥画素Ｃｎは、Ｘ軸方向においては「３３１．５３８ｍｍ」から「３３１．５５８ｍｍ」の範囲にあり、Ｙ軸方向においては「２１０．２４８ｍｍ」から「２１０．２８８ｍｍ」の範囲にある。

なお、キャリブレーションによるズレ量の補正及びパネル傾き補正量の補正は、上述したように基準点ＳのＸ、Ｙ座標について行っても良いし、基準点ＳのＸ、Ｙ座標に基準点Ｓから欠陥画素Ｃｎの各辺までの距離を加算又は減算した後に行っても良い。

〈欠陥画素の色判別〉
欠陥画素Ｃｎは、何らかの原因で駆動されていないので、画像１５上では黒く見えるだけで、その本来の表示色は不明である。しかし、表示パネル４における画素マトリックスは通常その表示色ＲＧＢに基づいて規則正しく配列されているので、周囲の画素の表示色から欠陥画素Ｃｎの本来の表示色を知ることができる。

例えば図５の例においては、画素マトリックスの横方向の行は左から右に向かってＲ→Ｇ→Ｂ→Ｒ・・・の順に配列されており、縦方向の列は、上から下に向かってＲ→Ｒ→Ｒ・・・、Ｇ→Ｇ→Ｇ・・・というように、いずれも同じ色が並んでいる。したがって、この配列の規則性を欠陥画素Ｃｎに当てはめると、欠陥画素Ｃｎの本来の表示色は「Ｇ」であることが分かる。このような判別は、通常、制御装置９によって画像１５を信号処理することで自動的に行われるが、検査員が画像１５を目視することによって判別しても良い。判別された欠陥画素Ｃｎの表示色は、図４のモニタ画面８上で、「画素位置」の下の「表示色」の欄に表示される。

なお、このような欠陥画素Ｃｎの本来の表示色の判別は、後述するとおり、欠陥画素アドレスをより正確に検出するために行われるものであり、行われた方がより好ましいことは勿論であるが、必ず必要というわけではない。

〈アドレス値算出〉
次に、上述のようにして求められた欠陥画素Ｃｎの位置に基づいて、欠陥画素Ｃｎの表示パネル４上のアドレスが算出される。この算出は以下のようにして行われる。

図６は、表示パネル４について、画素マトリックスを構成する多数の画素の配列形態を実物に対応させて示した配列マップの一例を模式的に示した図である。図中、１６は配列マップし、１７は画素マトリックス、符号Ｃを付した各長方形は画素を表している。この配列マップ１６は、当該表示パネル４について、予め知られている各画素のサイズとその配列形態についての情報、すなわち、各画素の縦横のサイズと表示色、画素マトリックスの行数、列数、各行、各列を構成する画素の数、各画素の配置間隔などに基づいて作成することができる。このような情報は新しい品種の表示パネルが検査対象となる度に、適宜の入力装置から制御装置９に入力される。或いは、これらの情報と表示パネルの品種との対応関係が予め分かっている場合には、表示パネルに付された識別番号等をローダ部３又は検査部２で自動的に読み取って、制御装置９内の記憶装置から読み出すか、適宜の通信手段を介して外部の記憶装置から読み込むようにしても良い。

本例において、配列マップ１６は、画素マトリックス１７の最も左上に位置する画素の左上隅Ｇｐを原点として作成されており、原点ＧｐのＸ、Ｙ座標は図に示すとおり（０，０）である。なお、撮影装置１０の原点が表示パネル４におけるこの原点Ｇｐと一致していることはいうまでもない。欠陥画素のアドレスは、この配列マップ１６に、先に求められた画像１５上での欠陥画素Ｃｎの存在位置を当てはめることによって求められる。この当てはめは以下のようにして行われる。すなわち、画像１５に撮影された欠陥画素Ｃｎは、Ｘ軸座標が「３３１．５３８−３３１．５５８ｍｍ」の範囲にあり、Ｙ軸座標が「２１０．２４８−２１０．２８８ｍｍ」の範囲にあるので、制御装置９は、欠陥画素ＣｎのＸ座標及びＹ座標を、それぞれ、表示パネル４を構成する画素の横の大きさ及び縦の大きさに配置間隔を加味した数値で除し、その商を求めることによって、配列マップ１６上でこれらのＸ、Ｙ座標に対応する位置にある画素のアドレスを求めることができる。因みに、欠陥画素ＣｎのＸ、Ｙ座標の範囲が、配列マップ１６上で複数の画素にまたがる場合、制御装置９は、欠陥画素ＣｎのＸ、Ｙ座標の範囲と重なる面積が最も大きい画素を欠陥画素と判断し、そのアドレスを欠陥画素アドレスとして出力する。

制御装置９は、上述したようなやり方で欠陥画素アドレスを算出するようにプログラムされており、制御装置９が、それらのプログラムと一体になって、欠陥画素のアドレス演算装置を形成していることはいうまでもない。なお、欠陥画素ＣｎのＸ、Ｙ座標の範囲と重なる面積が最も大きく、かつ、等しい複数の画素が存在する場合には、配列マップ１６だけからでは欠陥画素のアドレスを最終的に決定することができないことになり、後述する色チェック工程や変位補正工程が有効となる。

原点Ｇｐとなり得るのは画素マトリックス１７の最も左上に位置する画素の左上隅に限られない。画素マトリックス１７の最も左下に位置する画素の左下隅であっても良いし、表示パネル４の左上隅に設けられたアライメントマーク１４ａの基準位置と画素マトリックスとの位置関係が明らかである場合には、アライメントマーク１４ａの基準位置であっても良い。画素マトリックス１７との位置関係が明らかで、撮影装置１０の原点が表示パネル４の選択された原点と一致していれば、いずれの点を原点Ｇｐとするかは自由である。

求められた欠陥画素Ｃｎのアドレス（α，β）は、図４に示すモニタ画面８において、「画素アドレス」として表示され、検査員が「確認」ボタンを押すと、欠陥画素Ｃｎのアドレス情報が制御装置９の記憶装置に記憶されるか、又はネット上にあるホストコンピュータに送信され、欠陥画素アドレスが検出されたことになる。

なお、以上は、欠陥が点欠陥であり、欠陥画素が独立した１個の画素である場合について説明したが、欠陥が線欠陥又は面欠陥であり、隣接した複数の画素が欠陥画素である場合も、上述したのと同様に欠陥画素アドレスを求めることができる。すなわち、検査員が画像１５上で隣接した複数の欠陥画素から構成される欠陥を発見した場合には、そのぞれぞれの欠陥画素を順次画像１５上で特定する。複数の欠陥画素が特定されると、制御装置９に設けられているアドレス演算装置は、その隣接した複数の欠陥画素によって形成される欠陥領域の各頂点のＸ、Ｙ座標を求め、それらのＸ、Ｙ座標を上記の配列マップ１６に当てはめるか、それらのＸ、Ｙ座標から計算によって、複数の欠陥画素アドレスを算出するとともに、欠陥の種類を判別する。得られた欠陥画素のアドレス及び欠陥種類についての情報は、制御装置９内の記憶装置に記憶されるか、又はネット上にあるホストコンピュータに送信され、欠陥画素アドレスが、欠陥の種類とともに、検出されたことになる。なお、欠陥の種類の判別は検査員が行っても良い。

〈色チェック〉
以上のとおり、撮影装置１０によって撮影された欠陥画素ＣｎのＸ、Ｙ座標に基づいて欠陥画素アドレスを求めることが可能であるが、欠陥画素の表示色を判断材料に入れると、欠陥画素アドレスの検出はより正確なものとなるので好ましい。

色チェック工程を「ＯＮ」にして制御装置９に色チェック工程を行わせると、制御装置９は、先に画像１５上で周囲の画素の表示色に基づいて判別した欠陥画素Ｃｎの表示色「Ｇ」と、求められた画素Ｃ_{（α，β）}の表示色「Ｇ」とを比較する。求められた画素Ｃ_{（α，β）}の表示色が「Ｇ」であることは、当該表示パネル４についての画素の配列形態についての情報から知ることができる。欠陥画素Ｃｎの表示色と画素Ｃ_{（α，β）}の表示色は共に「Ｇ」であり一致しているので、制御装置９は、画素Ｃ_{（α，β）}のアドレス（α，β）を欠陥画素アドレスと判断する。なお、画素Ｃ_{（α，β）}の表示色はモニタ画面８に「アドレス色」として表示されるので、検査員は、欠陥画素Ｃｎの表示色と、表示された「アドレス色」との一致、不一致をモニタ画面８上で確認することができる。

図７は、欠陥画素Ｃｎと配列マップ１６の他の位置関係を例示する図である。例えば、欠陥画素ＣｎのＸ、Ｙ座標を配列マップ１６に当てはめたとき、図７上段に示すように、欠陥画素Ｃｎ_１の位置が２つの画素、すなわち、Ｃ_{（α３，β１）}とＣ_{（α４，β１）}との両方にまたがった場合には、制御装置９は、欠陥画素のアドレス候補として、（α３，β１）と（α４，β１）の２つのアドレスを挙げ、配列マップ１６或いは座標計算だけからは、欠陥画素のアドレスを最終的に決定することができない。このような場合には色チェックが有効となる。

すなわち、色チェック工程を「ＯＮ」にして制御装置９に色チェック工程を行わせると、制御装置９は、まず１番目の候補である（α３，β１）の表示色を、画像１５に基づいて判別した欠陥画素Ｃｎ_１の表示色「Ｇ」と比較する。画素Ｃ_{（α３，β１）}の表示色は「Ｒ」であり、欠陥画素Ｃｎ_１の表示色「Ｇ」とは一致していないので、制御装置９は、アドレス（α３，β１）は欠陥画素Ｃｎ_１のアドレスではないと判断してアドレス候補から外すとともに、アドレス（α３，β１）と最も近接し、表示色が欠陥画素Ｃｎ_１の「Ｇ」と同じ画素Ｃ_{（α４，β１）}を探し、その画素のアドレス（α４，β１）を欠陥画素のアドレスとする。

次に、制御装置９は、２番目の候補である（α４，β１）の表示色を欠陥画素Ｃｎ_１の表示色「Ｇ」と比較する。画素Ｃ_{（α４，β１）}の表示色は「Ｇ」であり、欠陥画素Ｃｎ_１の表示色「Ｇ」と一致しているので、制御装置９は、アドレス（α４，β１）を欠陥画素Ｃｎ_１のアドレスとする。

このように、２つの候補について行った色チェック工程の結果、共に同じアドレス（α４，β１）が欠陥画素アドレスとして得られたので、制御装置９は、そのアドレス（α４，β１）を欠陥画素アドレスとして、モニタ画面８上に出力する。

同様に、図７中段に示すように、欠陥画素Ｃｎ_２の位置が画素Ｃ_{（α２，β２）}とほぼ重なった場合、色チェック工程がなければ、制御装置９は、画素Ｃ_{（α２，β２）}のアドレス（α２，β２）を欠陥画素のアドレスと判断する可能性がある。しかし、このような場合にも色チェック工程を行わせると、制御装置９は、画素Ｃ_{（α２，β２）}の表示色「Ｂ」と、欠陥画素Ｃｎ_２の表示色「Ｇ」とを比較し、両色が一致していないので、制御装置９は、アドレス（α２，β２）は欠陥画素Ｃｎ_１のアドレスではないと判断する。同時に、制御装置９は、アドレス（α２，β２）と最も近接し、かつ、表示色が欠陥画素Ｃｎ_２の「Ｇ」と同じ画素Ｃ_{（α１，β２）}を見出し、そのアドレス（α１，β２）を欠陥画素のアドレスとする。このように、色チェック工程を経ることによって、欠陥画素アドレスの検出をより正確なものとすることができる。

次に、図７下段に示すように、欠陥画素Ｃｎ_３の位置が画素Ｃ_{（α４，β２）}、Ｃ_{（α４，β３）}、Ｃ_{（α５，β２）}、及びＣ_{（α５，β３）}の４つの画素にまたがる場合、制御装置９は、まず欠陥画素Ｃｎ_３のＸ、Ｙ座標の範囲と重なる面積が最も大きい画素を選択する。その結果、もしも、画素Ｃ_{（α４，β３）}及びＣ_{（α５，β３）}の２つの画素が欠陥画素Ｃｎ_３と重なる面積が最も大きく、かつ、同じ画素として残った場合には、先に、図７の上段に示す例で説明したように、色チェック工程を「ＯＮ」にして制御装置９に色チェック工程を行わせることによって、欠陥画素Ｃｎ_３と表示色が同じ「Ｇ」である画素Ｃ_{（α４，β３）}のアドレス（α４、β３）を欠陥画素の正確なアドレスとすることができる。

制御装置９は、上述したようなやり方で色チェック工程を行うようにプログラムされており、制御装置９は、そのプログラムと一体となって、色チェック装置を形成していることになる。なお、上述したような色チェック工程は、色チェック装置を形成する制御装置によって自動的に行われるが、検査員が、欠陥画素の表示色と、求められたアドレスの画素の表示色とを比較することによって行うようにしても良い。すなわち、モニタ画面８上の「表示色」の欄に表示される欠陥画素の表示色と、同じくモニタ画面８上の「アドレス色」の欄に表示される表示色とを比較し、両色が一致していない場合には、検査員は、モニタ画面８における「変更」ボタンを押し、その上に位置する矢印ボタンで画素アドレスを上下左右のいずれかの方向に変更して、「表示色」の欄に表示される色と、「アドレス色」の欄に表示される色とを一致させ、両色が一致した状態で、「確認」ボタンを押して、当該変更したアドレスを欠陥画素のアドレスとすることができる。

ところで、表示色が一致しない場合に、求められたアドレスと最も近接し、表示色が欠陥画素と同じ画素のアドレスを欠陥画素のアドレスとするのは、上述したキャリブレーション工程やパネル傾き補正工程などを経て、撮影装置１０の原点からの移動距離に基づいて求められる欠陥画素のＸ、Ｙ座標と、表示パネル４の配列マップ１６におけるＸ、Ｙ座標とのズレが、仮に存在するとしても、最小限に留められているという前提があるからである。このような前提は通常正しく成立するが、より正確なアドレス検出が望まれる場合には、以下に示す変位補正工程を行うことができる。

〈変位補正〉
欠陥画素Ｃｎを発見したときに、撮影装置１０を移動させて欠陥画素Ｃｎと同じＸ軸及び／又はＹ軸座標上における表示パネル４の画素マトリックス１７の辺部付近を撮影し、当該辺部付近の画素が撮影装置１０のＸ軸及び／又はＹ軸原点に対して、どちらの方向にどれだけ変位しているかを調べて、求められた変位方向及び／又は変位量を欠陥画素Ｃｎのアドレスを求める際に加味するのが変位補正工程であり、例えば以下のような場合に行われる。

図８は、欠陥画素Ｃｎと配列マップ１６のさらに他の位置関係を例示する図である。例えば、欠陥画素Ｃｎ_４のＸ、Ｙ座標を配列マップ１６に当てはめたとき、図８に示すように、画素Ｃ_{（α１３，β１２）}と重なった場合、画像１５上で判別された欠陥画素Ｃｎ_４の表示色が「Ｒ」であれば、画素Ｃ_{（α１３，β１２）}の表示色も「Ｒ」であるので、色チェック工程を経ても、欠陥画素Ｃｎ_４のアドレスは（α１３，β１２）と判断される。しかし、このときに更に正確を期するのであれば、上述した変位補正工程を行うことができる。

すなわち、欠陥画素Ｃｎ_４の中心のＸ軸座標が仮に「０．２７４ｍｍ」であるとすると、撮影装置１０を移動させて欠陥画素Ｃｎ_４と同じＸ軸座標「０．２７４ｍｍ」上における表示パネル４の画素マトリックス１７の辺部付近を撮影する。この撮影した状態を図９に示す。

図９に示すとおり、撮影装置１０の基準点ＳのＸ、Ｙ座標は（０．２７４ｍｍ，０．０００ｍｍ）であり、基準点Ｓが欠陥画素Ｃｎ_４と同じＸ軸座標上で、撮影装置１０のＹ軸原点となる位置まで撮影装置１０が移動し、表示パネル４の画素マトリックス１７の上辺付近が撮影されている。画像１５中に表示されているＬｘ線が撮影装置１０のＹ軸原点（すなわち、Ｙ座標が「０」の線）と一致している。なお、この場合、撮影装置１０の原点は、前述したとおり、表示パネル４の画素マトリックス１７における最も左上の画素の左上隅Ｇｐと一致している。

この状態で図９を見ると、表示パネル４の画素マトリックス１７の上辺は、Ｘ座標「０．２７４ｍｍ」において、約０．７５画素長（画素の縦の長さ）程度、撮影装置１０のＹ軸原点よりも上にずれていることが分かる。制御装置９は、画像１５を解析して、Ｘ座標「０．２７４ｍｍ」の位置にある画素Ｃ_{（α１３，β１）}の上辺のエッジ部の位置を求め、撮影装置１０のＹ軸原点に対する変位の方向を求めるとともに、その変位の大きさを計測する。制御装置９は、この求められた変位の方向及び変位の大きさを欠陥画素Ｃｎ_４のアドレス計算に反映させ、欠陥画素Ｃｎ_４のＸ、Ｙ座標を再計算する。本例の場合、再計算された欠陥画素Ｃｎ_４のＸ、Ｙ座標は、図８に示す位置よりも上方に約０．７５画素長（画素の縦の長さ）程度移動した位置となるであろうから、その大部分が画素Ｃ_{（α１３，β１１）}と重なることになり、制御装置９は、当初、（α１３，β１２）としていた欠陥画素Ｃｎ_４のアドレスを（α１３，β１１）に変更することになる。

また、図８に示すように、例えば、欠陥画素Ｃｎ_５のＸ、Ｙ座標を配列マップ１６に当てはめたとき、画素Ｃ_{（α１２，β１３）}と大部分が重なってはいるが、画素Ｃ_{（α１２，β１３）}の表示色「Ｂ」が、画像１５上で判別された欠陥画素Ｃｎ_５の表示色が「Ｇ」と一致しない場合には、前述した色チェック工程によれば、欠陥画素Ｃｎ_５のアドレスは、画素Ｃ_{（α１２，β１３）}と最も近接し、表示色が欠陥画素Ｃｎ_５と同じ「Ｇ」である画素Ｃ_{（α１１，β１３）}と判断される。このような場合にも、より正確を期するのであれば、上述した変位補正工程を行うことができる。

すなわち、欠陥画素Ｃｎ_５の中心のＹ軸座標が仮に「１．３７０ｍｍ」であるとすると、撮影装置１０を移動させて欠陥画素Ｃｎ_５と同じＹ軸座標「１．３７０４ｍｍ」上における表示パネル４の画素マトリックス１７の辺部付近を撮影する。この撮影した状態を図１０に示す。

図１０に示すとおり、撮影装置１０の基準点ＳのＸ、Ｙ座標は（０．０００ｍｍ，１．３７０ｍｍ）であり、基準点Ｓが欠陥画素Ｃｎ_５と同じＹ軸座標上で、撮影装置１０のＸ軸原点となる位置まで撮影装置１０が移動し、表示パネル４の画素マトリックス１７の左辺付近が撮影されている。画像１５中に表示されているＬｙ線が撮影装置１０のＸ軸原点（すなわち、Ｘ座標が「０」の線）と一致している。

この状態で図１０を見ると、表示パネル４の画素マトリックス１７の左辺は、Ｙ座標「１．３７０ｍｍ」において、約１．５画素幅（画素の横の長さ）程度、撮影装置１０のＸ軸原点よりも右にずれていることが分かる。制御装置９は、画像１５を解析して、Ｙ座標「１．３７０ｍｍ」の位置にある画素Ｃ_{（α１，β１３）}の左辺のエッジ部の位置を求め、撮影装置１０のＸ軸原点に対する変位の方向を求めるとともに、その変位の大きさを計測する。制御装置９は、この求められた変位の方向及び変位の大きさを欠陥画素Ｃｎ_５のアドレス計算に反映させ、欠陥画素Ｃｎ_５のＸ、Ｙ座標を再計算する。本例の場合、再計算された欠陥画素Ｃｎ_５のＸ、Ｙ座標は、図８に示す位置よりも右方に約１．５画素幅（画素の横の長さ）程度移動した位置となるであろうから、画素Ｃ_{（α１３，β１３）}と画素Ｃ_{（α１４，β１３）}の両方にまたがることになる。この再計算された位置関係で色チェック工程を再度行うと、表示色が一致し、最も近接する画素は、画素Ｃ_{（α１４，β１３）}となり、制御装置９は、当初、（α１１，β１３）としていた欠陥画素Ｃｎ_５のアドレスを（α１４，β１３）に変更することになる。

このように変位補正工程を行うことにより、欠陥画素アドレスの検出は、より一層精度の高いものとなる。制御装置９は、上述したようなやり方で変位補正工程を行うようにプログラムされており、制御装置９は、そのプログラムと一体となって、変位補正装置を形成している。

なお、表示パネル４上に欠陥画素が複数存在する場合には、上述した＜欠陥画素へ撮影装置移動＞から＜変位補正＞までの工程を繰り返せば良い。このとき、先に検出された欠陥画素のアドレス値に基づいて、後続する欠陥画素について算出されたアドレス値を補正するようにしても良い。例えば、先に検出された欠陥画素Ｃｎについては、＜アドレス値算出＞工程では、アドレス値（αｎ，βｍ）が得られたところ、＜色チェック＞及び／又は＜変位補正＞を行った結果、欠陥画素Ｃｎｍのアドレス値が（αｎ＋ｘ，βｍ＋ｙ）に変更された場合、この変更値（＋ｘ，＋ｙ）を例えば制御装置９に記憶させ、後続する欠陥画素Ｃｎ’について算出されたアドレス値（αｐ，βｑ）を（αｐ＋ｘ，βｑ＋ｙ）に自動的に変更し、その変更されたアドレスを求める欠陥画素のアドレスとするようにしても良い。

〈パネルアンロード〉
上述した〈欠陥画素へ撮影装置移動〉から〈アドレス値算出〉までの工程が、発見された欠陥画素の数だけ繰り返され、さらに〈色チェック〉工程と〈変位補正〉工程とが必要に応じて行われ、全ての発見された欠陥画像について、そのアドレスが検出されると、表示パネル４は、ローダ部３によって検査部２からアンロードされる。

〈次のパネルをロード〉〈アライメント〉
続いて、次の検査対象パネルがローダ部３によって検査部２にロードされ、アライメントが行われる。このアライメントは、例えば、前述したアライメント工程と同様に、アライメント用カメラ１４ａ、１４ｂ、又は１４ｃによって、アライメントマーク７ａ、７ｂ、７ｃのうち、少なくとも２個のアライメントマークを撮影し、それら少なくとも２個のアライメントマークがアライメント用カメラ１４ａ、１４ｂ、又は１４ｃの視野内の標準位置にくるようにセットステージを移動させることによって行われる。アライメントが終了すると、続いて、〈点灯検査（目視）〉以降の工程が行われる。

なお、〈点灯検査（目視）〉において、欠陥画像が発見されたかった表示パネル４は、図３のフローチャートにおいて右側に示すとおり、ローダ部３によって検査部２からアンロードされる。続いて、新たな表示パネル４がローダ部３によって検査部２にロードされ、上述した２回目以降のアライメントが行われ、それが終了すると、〈点灯検査（目視）〉以降の工程が行われる。

以上説明したとおり、本発明の欠陥画素検出方法及び検出装置によれば、簡単な装置を用いて精度の高い欠陥画素のアドレス検出が可能となる。したがって、液晶ディスプレイパネルを初め、種々のディスプレイパネルの製造に係わる産業分野において、多大なる産業上の利用可能性を有するものである。

１ 欠陥画素検出装置
２ 検査部
３ ローダ部
４ 表示パネル
５ａ、５ｂ データ側・ゲート側プローブユニット
６ａ、６ｂ データ側・ゲート側プローブブロック
７ａ、７ｂ、７ｃ アライメント用カメラ
８ モニタ画面
９ 制御装置
１０ 撮影装置
１１ 取手
１２ Ｘ軸ガイド機構
１３ Ｙ軸ガイド機構
１４ａ、１４ｂ、１４ｃ アライメントマーク
１５ 画像
１６ 配列マップ
１７ 画素マトリックス
ｃ 画素
Ｓ 基準点
Ｇｐ 表示パネル原点

Claims (12)

1. 複数の画素から構成される表示パネルにおける欠陥画素のアドレスを検出する方法であって、以下の工程を含む欠陥画素アドレス検出方法；
   （ア）検査対象である表示パネルを検査部にセットし、点灯させる工程、
   （イ）点灯した表示パネルにおける欠陥画素の有無を検査する工程、
   （ウ）欠陥画素を発見したとき、前記撮影装置を移動させて欠陥画素を撮影し、撮影された画像上で欠陥画素の位置を特定する工程、
   （エ）特定された欠陥画素の画像上の位置と前記撮影装置の原点からのＸ、Ｙ軸方向の移動距離、及び、当該表示パネルにおける画素のサイズとその配列形態に関する情報に基づいて、特定された欠陥画素の表示パネルにおけるアドレスを求める工程。
2. さらに、以下の工程を含む請求項１記載の欠陥画素アドレス検出方法；
   （オ）検査部にセットされた表示パネルが新品種パネルである場合、前記撮影装置を用いて、当該表示パネルにおけるＸ、Ｙ軸方向と、前記撮影装置のＸ、Ｙ軸方向との座標軸のズレ量を求め、これを記憶するキャリブレーション工程、
   （カ）当該品種と同一品種の表示パネルに関し、前記座標軸のズレ量に基づいて、前記（エ）の工程における前記撮影装置の原点からのＸ、Ｙ軸方向の移動距離を補正する工程。
3. さらに、以下の工程を含む請求項２記載の欠陥画素アドレス検出方法；
   （キ）欠陥画素を発見したとき、前記撮影装置を用いて、前記（オ）のキャリブレーション工程を行った時の表示パネルのＸ軸及び／又はＹ軸と、今回の表示パネルのＸ軸及び／又はＹ軸とのズレ量をパネル傾き補正量として求めるパネル傾き補正工程、
   （ク）求められたパネル傾き補正量に基づいて前記キャリブレーション工程で得られた座標軸のズレ量を補正する工程。
4. さらに、以下の工程を含む請求項１〜３のいずれかに記載の欠陥画素アドレス検出方法；
   （ケ）画像上で特定された欠陥画素の色をその周辺画素の色から判別する工程；
   （コ）判別された欠陥画素の色と、当該表示パネルにおける前記（エ）の工程で求められたアドレスの画素の色とを比較する工程；
   （サ）両色が一致している場合には、当該アドレスを求めるアドレスとし、一致していない場合には、当該表示パネルにおいて当該アドレスに最も近接し、判別された欠陥画素の色と同色の画素のアドレスを求めるアドレスとする色チェック工程。
5. さらに、以下の工程を含む請求項１〜４のいずれかに記載の欠陥画素アドレス検出方法；
   （シ）欠陥画素を発見したとき、前記撮影装置を移動させて欠陥画素と同じＸ軸及び／又はＹ軸座標上における表示パネルの画素マトリックスの辺部付近を撮影し、当該辺部付近の画素の前記撮影装置のＸ軸及び／又はＹ軸原点に対する変位方向及び／又は変位量を求める工程；
   （ス）求められた変位方向及び／又は変位量を、前記（エ）又は（サ）の工程において欠陥画素のアドレスを求める際に加味する変位補正工程。
6. さらに、以下の工程を含む請求項４又は５記載の欠陥画素アドレス検出方法；
   （セ）同一表示パネルにおいて、先の欠陥画素について上記（エ）の工程で求められた欠陥画素アドレスと、上記（サ）の色チェック工程及び／又は上記（ス）の変位補正工程によって求められた欠陥画素アドレスとのアドレス差を記憶する工程、
   （ソ）前記記憶されたアドレス差に基づいて、後続する欠陥画素について上記（エ）の工程で求められた欠陥画素アドレスを補正するアドレス補正工程。
7. 少なくともセットステージとプローブユニットを有し、検査対象である表示パネルを点灯させることができる検査部と、検査部にセットされた表示パネルに対して、Ｘ、Ｙ軸方向に移動可能な撮影装置と、前記撮影装置のＸ、Ｙ軸方向の移動距離を計測する計測装置と、前記撮影装置で撮影された画像を表示する表示装置と、検査対象である前記表示パネルにおける画素のサイズとその配列形態に関する情報を記憶する記憶装置と、前記表示装置に表示された画像上で欠陥画素の位置が特定されると、その欠陥画素の当該画像上での位置とその時の前記撮影装置のＸ、Ｙ軸方向の移動距離、及び、前記記憶装置に記憶されている前記表示パネルにおける画素のサイズとその配列形態に関する情報に基づいて、前記表示パネルにおける欠陥画素のアドレスを求めるようにプログラムされているアドレス演算装置とを備える欠陥画素アドレス検出装置。
8. 検査部にセットされた表示パネルを、前記撮影装置を移動させて撮影して得られる当該表示パネルにおけるＸ、Ｙ軸方向と、前記撮影装置のＸ、Ｙ軸方向との座標軸のズレ量として記憶する記憶装置と、記憶されている当該座標軸のズレ量に基づいて、原点から欠陥画素までの前記撮影装置のＸ、Ｙ軸方向の移動距離を補正するようにプログラムされているキャリブレーション装置とを備える請求項７記載の欠陥画素アドレス検出装置。
9. 検査部にセットされた表示パネルを、前記撮影装置を移動させて撮影して得られる当該表示パネルのＸ軸及び／又はＹ軸方向と、キャリブレーション工程を行った時の表示パネルのＸ軸及び／又はＹ軸とのズレ量をパネル傾き補正量として求める演算装置と、当該求められたパネル傾き補正量に基づいて検査部にセットされた前記表示パネルのＸ、Ｙ座標軸のズレ量を補正するようにプログラムされているパネル傾き補正装置とを備える請求項８記載の欠陥画素アドレス検出装置。
10. 前記撮影装置が画素の色を認識できるカラー撮影装置であり、前記表示装置に表示された画像上で欠陥画素の位置が特定されると、その周辺画素の色から当該欠陥画素の色を判別する色判別装置と、当該判別された色と、当該表示パネルにおける求められた欠陥画素のアドレスに対応する画素の色とを比較する色比較装置と、両色が一致しているときには、前記求められたアドレスを求める欠陥画素のアドレスとし、一致していない場合には、前記求められたアドレスに最も近接し、前記判別された欠陥画素の色と同色の画素のアドレスを選択してそれを求める欠陥画素のアドレスとする色チェック装置とを備えている請求項７〜９のいずれかに記載の欠陥画素アドレス検出装置。
11. 前記撮影装置を移動させて欠陥画素と同じＸ軸及び／又はＹ軸座標上における表示パネルの画素マトリックスの周辺部を撮影したときに、当該辺部付近の画素の前記撮影装置のＸ軸及び／又はＹ軸原点に対する変位方向及び／又は変位量を求める変位計測装置と、求められた変位方向及び／又は変位量に基づいて、前記アドレス演算装置及び／又は色補正装置から出力される欠陥画素アドレスを変更又は決定する変位補正装置とを備えている請求項７〜１０のいずれかに記載の欠陥画素アドレス検出装置。
12. 同一表示パネルにおいて、先の欠陥画素についてアドレス演算装置によって求められた欠陥画素アドレスと、上記色チェック装置及び／又は上記変位補正装置によって求められた欠陥画素アドレスとのアドレス差を記憶する記憶装置と、前記記憶されたアドレス差に基づいて、後続する欠陥画素についてアドレス演算装置によって求められた欠陥画素アドレスを補正するアドレス補正装置とを備えている請求項１０又は１１記載の欠陥画素アドレス検出装置。

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